KR20210004398A - Rotational stage - Google Patents

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KR20210004398A
KR20210004398A KR1020190080764A KR20190080764A KR20210004398A KR 20210004398 A KR20210004398 A KR 20210004398A KR 1020190080764 A KR1020190080764 A KR 1020190080764A KR 20190080764 A KR20190080764 A KR 20190080764A KR 20210004398 A KR20210004398 A KR 20210004398A
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권오식
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퀸시스(주)
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Abstract

A rotational stage of the present invention comprises: a rotation plate rotatably supported by a housing; a driving motor generating a rotary motion; and a driving force conversion unit converting the driving force of the driving motor and transmitting the converted driving force to the rotation plate. The driving force conversion unit includes a screw bar connected to the driving motor, a nut block screwed to the screw bar and moves linearly, a bearing unit fixed to a side surface of the rotation plate, a pre-load block fixed to the nut block and rotating the rotation plate by pressing the bearing unit when the nut block moves linearly. When the rotation plate rotates in first and second directions, the occurrence of jamming between the block and the bearing can be prevented, and the precise driving is possible.

Description

회전 스테이지{ROTATIONAL STAGE} Rotary stage {ROTATIONAL STAGE}

본 발명은 모션 동작시 흔들림이나 끼임 현상을 방지할 수 있어 정밀 제어가 가능하고 작동 불량을 방지할 수 있는 회전 스테이지에 관한 것이다. The present invention relates to a rotating stage capable of preventing shaking or jamming during motion operation, enabling precise control and preventing malfunction.

일반적으로 반도체, 광학제품 및 전자제품 등의 제조 공정에 사용되는 장비에는 수마이크로 또는 나노 수준의 위치 결정을 정확하게 수행할 수 있도록 위치 결정용 스테이지 장치가 사용된다. In general, for equipment used in manufacturing processes such as semiconductors, optical products, and electronic products, a positioning stage device is used to accurately perform positioning on a micro or nano level.

이러한 위치 결정용 스테이지는 전자 주사 현미경에서의 대물 위치 조정, 셀 조작, 마이크로 가공 및 조립, 광학 장치의 위치 및 자세 결정, 웨이퍼 정렬 등 최근 첨단 기술 분야에서 필수적인 장비로 사용되고 있다.These positioning stages are used as essential equipment in recent high-tech fields, such as object positioning in an electron scanning microscope, cell manipulation, micro-machining and assembly, positioning and positioning of optical devices, and wafer alignment.

일반적인 스테이지 장치는 스테이지의 평면상에 형성된 X축 및 Y축 방향으로 스테이지를 미세 직선 이동시켜 평면상의 위치를 정렬시키도록 구성되고 있는데, 최근에는 이러한 직선 이동 방식을 통한 위치 정렬 기능 이외에도 스테이지의 평면 상에서 스테이지를 수평 회전 이동시켜 평면상의 위치를 정렬시키는 회전 이동 방식을 통한 위치 정렬 기능이 요구되고 있다. A typical stage device is configured to align the position on the plane by moving the stage finely in the X-axis and Y-axis directions formed on the plane of the stage.In recent years, in addition to the position alignment function through this linear movement method, There is a need for a position alignment function through a rotational movement method in which the stage is horizontally rotated to align the position on a plane.

종래의 회전 각도 정밀조절장치는 등록특허공보 10-1901824(2018년 09월 18일)에 개시된 바와 같이, 검사 스테이지와 연결되는 회전유닛과, 회전 구동력을 발생시키는 구동유닛과, 구동유닛의 회전 구동력을 회전 플레이트의 회전운동으로 변환하는 구동력 변환유닛을 포함하고, 구동력 변환유닛은 회전 플레이트에 편심된 위치에 연결되는 연결부와, 연결부에 고정되는 회전 베어링과, 회전 베어링을 연결부에 가압 고정하는 고정부재로 구성된다. As disclosed in Patent Publication No. 10-1901824 (September 18, 2018), a conventional rotation angle precision adjustment device includes a rotation unit connected to an inspection stage, a driving unit generating a rotation driving force, and a rotation driving force of the driving unit. And a driving force conversion unit for converting the rotational motion of the rotating plate, wherein the driving force conversion unit includes a connecting portion connected to a position eccentric to the rotating plate, a rotating bearing fixed to the connecting portion, and a fixing member pressing and fixing the rotating bearing to the connecting portion. Consists of

이와 같은 종래의 회전 각도 정밀조절장치는 회전 베어링이 고정부재에 의해 연결부에 가압 고정된 상태이기 때문에 작동 과정에서 끼임 현상이 발생될 수 있고, 사용기간이 길어짐에 따라 회전 베어링의 고정이 헐거워지면서 흔들림이 발생되는 문제가 있다. In such a conventional rotating angle precision adjusting device, since the rotating bearing is pressed and fixed to the connection part by the fixing member, pinching may occur during the operation process, and the fixing of the rotating bearing becomes loose and shakes as the use period increases. There is a problem with this occurring.

등록특허공보 10-1901824(2018년 09월 18일)Registered Patent Publication 10-1901824 (September 18, 2018)

따라서, 본 발명의 목적은 회전판을 제1방향 회전 및 제2방향으로 회전시킬 때 예압블록이 베어링을 각각 독립적으로 가압함으로써, 끼임 현상이 발생되는 것을 방지하고, 베어링과 예압블록 사이에 유격이 발생되어 흔들림이 발생되는 것을 방지할 수 있는 회전 스테이지를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to prevent jamming from occurring by the preload block independently pressing the bearings when rotating the rotating plate in the first direction and the second direction, and a gap is generated between the bearing and the preload block. It is to provide a rotating stage that can prevent vibration from occurring.

본 발명의 다른 목적은 센서의 위치를 외부에서 조절할 수 있어 센서 위치 조정이 쉽고 편리한 회전 스테이지를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an easy and convenient rotating stage for adjusting the sensor position because the position of the sensor can be adjusted externally.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 회전 스테이지는 하우징에 회전 가능하게 지지되는 회전판과, 회전 운동을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터의 구동력을 변환하여 회전판에 전달하는 구동력 변환부를 포함하고, 상기 구동력 변환부는 상기 구동모터와 연결되는 스크류 바와, 상기 스크류 바에 나사 결합되어 직선 이동되는 너트 블록과, 상기 회전판의 측면에 고정되는 베어링 유닛과, 상기 너트 블록에 고정되어 너트 블록이 직선 이동되면 베어링 유닛을 가압하여 회전판을 회전시키는 예압 블록을 포함한다.In order to achieve the above object, the rotating stage of the present invention includes a rotating plate rotatably supported by a housing, a driving motor generating rotational motion, and a driving force converting unit converting the driving force of the driving motor and transmitting it to the rotating plate, The driving force conversion unit includes a screw bar connected to the driving motor, a nut block screwed to the screw bar to move linearly, a bearing unit fixed to a side of the rotating plate, and a bearing unit fixed to the nut block to move the nut block linearly. It includes a preload block for rotating the rotating plate by pressing the unit.

상기 너트 블록은 상기 스크류 바에 나사 결합되는 너트부와, 상기 너트부의 상부에 평판 형태로 형성되어 예압 블록이 고정되는 고정판과, 상기 고정판의 하면에 형성되어 너트 블록이 직선 이동되도록 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다.The nut block includes a nut part screwed to the screw bar, a fixing plate formed in a flat plate shape above the nut part to fix a preload block, and a guide part formed on a lower surface of the fixing plate to guide the nut block to move linearly. can do.

상기 예압 블록은 상기 고정판의 일측에 고정되어 베어링 유닛이 제1방향으로 이동되도록 가압하는 제1예압 블록과, 상기 고정판의 타측에 고정되고 제1예압블록과 마주보게 배치되어 베어링 유닛이 제2방향으로 이동되도록 가압하는 제2예압 블록을 포함할 수 있다.The preload block is fixed to one side of the fixing plate to pressurize the bearing unit to move in the first direction, and the preload block is fixed to the other side of the fixing plate and disposed to face the first preload block so that the bearing unit is in a second direction. It may include a second preload block for pressing to move to.

상기 베어링 유닛은 상기 회전판의 측면에 상기 회전판과 수평하게 연결되는 홀더와, 상기 홀더에 수직 방향으로 고정되는 샤프트와, 상기 샤프트에 순차적으로 삽입되는 제1베어링 및 제2베어링과, 상기 제1베어링과 제2베어링 사이에 삽입되어 두 베어링 사이를 분리하는 스페이서와, 상기 샤프트의 하면에 체결되어 제1베어링 및 제2베어링이 샤프트에서 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 볼트를 포함하고, 상기 제1베어링은 제2베어링에 비해 높이가 높게 위치될 수 있다.The bearing unit includes a holder horizontally connected to the rotation plate on the side of the rotation plate, a shaft fixed in a vertical direction to the holder, a first bearing and a second bearing sequentially inserted into the shaft, and the first bearing. A spacer that is inserted between the and the second bearing to separate the two bearings, and a release preventing bolt that is fastened to a lower surface of the shaft to prevent the first and second bearings from being separated from the shaft, and the first bearing The silver may be positioned higher in height than the second bearing.

상기 제1베어링은 제1예압블록과 접촉되고, 상기 제2베어링은 제2예압블록과 접촉되며, 상기 제1예압블록은 제2예압블록에 비해 높이가 높게 형성될 수 있다.The first bearing may be in contact with the first preload block, the second bearing may be in contact with the second preload block, and the first preload block may have a height higher than that of the second preload block.

상기 너트 블록의 위치를 감지하는 센서부를 더 포함하고, 상기 센서부는 구동력 변환부의 측면에 장착되는 센서 플레이트와, 상기 센서 플레이트의 내면에 위치 조정이 가능하도록 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 제1센서, 제2센서 및 제3센서와, 상기 너트 블록에 장착되어 제1센서, 제2센서 및 제3센서가 신호를 감지할 수 있도록 하는 센서 도그를 포함하고, 상기 센서 플레이트에는 외부에서 제1센서, 제2센서 및 제3센서의 위치를 변경할 수 있도록 공구가 삽입되는 센서 위치 조정홀이 형성될 수 있다. Further comprising a sensor unit for detecting the position of the nut block, the sensor unit is a sensor plate mounted on the side of the driving force conversion unit, a first sensor disposed to be slidably movable to adjust the position on the inner surface of the sensor plate, A second sensor and a third sensor, and a sensor dog mounted on the nut block to allow the first sensor, the second sensor, and the third sensor to detect a signal, and the sensor plate includes a first sensor and a first sensor. A sensor position adjustment hole into which a tool is inserted may be formed so as to change the positions of the second sensor and the third sensor.

상기한 바와 같이, 본 발명의 회전 스테이지는 회전판을 제1방향으로 회전시킬 때 제1예압블록이 제1베어링을 가압하고, 회전판을 제2방향으로 회전시킬 때 제2예압블록이 제2베어링을 가압하여 끼임 현상이 발생되는 것을 방지하고, 베어링과 예압블록 사이에 유격이 발생되어 흔들림이 발생되는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the rotating stage of the present invention, the first preload block presses the first bearing when rotating the rotating plate in the first direction, and the second preload block presses the second bearing when rotating the rotating plate in the second direction. It is possible to prevent the occurrence of pinching by pressing, and it is possible to prevent vibration due to a gap between the bearing and the preload block.

또한, 센서 플레이트에는 센서 위치 조정홀이 형성되어 외부에서 제1센서, 제2센서 및 제3센서의 위치를 변경할 수 있어 센서 위치 조정이 쉽고 편리하다. In addition, since a sensor position adjustment hole is formed in the sensor plate, the positions of the first sensor, the second sensor, and the third sensor can be changed from the outside, making it easy and convenient to adjust the sensor position.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 커버가 개방된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 구동력 전달부의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 구동력 전달부의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱부의 사시도이다. 1 is a perspective view of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of an open cover of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a driving force transmission unit of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
6 is a side view of a driving force transmission unit of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a sensing unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary according to the intention or custom of users or operators. Definitions of these terms should be made based on the contents throughout the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 커버가 개방된 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 스테이지의 분해 사시도이다. 1 is a perspective view of a rotation stage according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a rotation stage according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cover of a rotation stage according to an embodiment of the present invention. It is an open perspective view, and Figure 4 is an exploded perspective view of a rotating stage according to an embodiment of the present invention.

일 실시예에 따른 회전 스테이지는 도 1 내지 도 4를 참고하면, 하우징(10)과, 하우징(10)에 회전 가능하게 지지되는 회전판(12)과, 회전 운동을 발생시키는 구동모터(20)와, 구동모터(20)의 구동력을 변환하여 회전판(12)에 전달하는 구동력 변환부(30)와, 회전판(12)의 회전위치 및 회전범위를 감지하는 센서부(40)를 포함한다. 1 to 4, the rotation stage according to an embodiment includes a housing 10, a rotating plate 12 rotatably supported by the housing 10, a driving motor 20 generating a rotational motion, and , A driving force converting unit 30 for converting the driving force of the driving motor 20 and transmitting it to the rotating plate 12, and a sensor unit 40 detecting a rotational position and a rotation range of the rotating plate 12.

회전판(12)은 원판 형태이고, 하우징(10)에 자유 회전 가능하게 장착되고, 회전판(12)의 측면에는 구동력 변환부(30)가 수평하게 장착되는 평면 형태의 장착부(14)가 형성된다. The rotating plate 12 has a disk shape, and is mounted to the housing 10 so as to be freely rotatable, and on the side of the rotating plate 12, a plane-shaped mounting portion 14 on which the driving force converting unit 30 is horizontally mounted is formed.

구동력 변환부(30)는 구동모터(20)와 연결되는 스크류 바(32)와, 스크류 바(32)에 나사 결합되어 직선 이동되는 너트 블록(70)과, 회전판(12)의 장착부(14)에 고정되는 베어링 유닛(50)과, 너트 블록(70)에 고정되고 베어링 유닛(50)에 접촉되어 너트 블록(70)이 직선 이동되면 베어링 유닛(50)을 가압하여 회전판(12)을 회전시키는 예압 블록(60,62)을 포함한다. The driving force conversion unit 30 includes a screw bar 32 connected to the driving motor 20, a nut block 70 that is screwed to the screw bar 32 to move linearly, and a mounting portion 14 of the rotating plate 12 When the nut block 70 is linearly moved by the bearing unit 50 fixed to the bearing unit 50 and fixed to the nut block 70 and in contact with the bearing unit 50, the bearing unit 50 is pressed to rotate the rotating plate 12. Includes preload blocks 60 and 62.

스크류 바(32)의 한쪽 끝부분에는 베어링(24)이 장착되고, 다른쪽 끝부분은 전면 커버(26)에 회전 가능하게 지지된다. 베어링(24)은 후면 커버(28)에 장착되며, 전면 커버(26)에는 구동모터(20)와 스크류 바(32) 사이를 연결하는 연결부(34)가 설치된다.A bearing 24 is mounted at one end of the screw bar 32, and the other end is rotatably supported by the front cover 26. The bearing 24 is mounted on the rear cover 28, and the connecting portion 34 connecting the driving motor 20 and the screw bar 32 is installed on the front cover 26.

전면 커버(26)와 후면 커버(28) 사이의 측면에는 센서 플레이트(42)가 장착된다. A sensor plate 42 is mounted on the side between the front cover 26 and the rear cover 28.

너트 블록(70)은 스크류 바(32)에 나사 결합되는 너트부(72)와, 너트부(72)의 상면에 평판 형태로 형성되어 예압 블록(60,62)이 고정되는 고정판(74)과, 고정판(74)의 하면에 형성되어 너트 블록(70)이 직선 이동되도록 가이드하는 가이드부(76)를 포함한다. The nut block 70 includes a nut portion 72 that is screwed to the screw bar 32, and a fixing plate 74 on which the preload blocks 60 and 62 are fixed by being formed in a flat plate shape on the upper surface of the nut portion 72. , It is formed on the lower surface of the fixing plate 74 and includes a guide portion 76 for guiding the nut block 70 to move linearly.

하우징(10)의 측면에는 가이드 블록(78)이 형성되고 가이드부(76)가 가이드 블록(78)의 측면에 접촉되어 슬라이드 이동되면서 너트 블록(70)이 직선 이동되도록 가이드한다. A guide block 78 is formed on the side surface of the housing 10, and the guide portion 76 is in contact with the side surface of the guide block 78 and slides, thereby guiding the nut block 70 to move linearly.

예압 블록(60,62)은 너트 블록(70)의 고정판(74) 일단에 고정되어 베어링 유닛(50)을 제1방향으로 이동되도록 가압하는 제1예압블록(60)과, 고정판(74)의 타단에 고정되고 제1예압블록(60)과 일정 간격을 두고 고정되며 베어링 유닛(50)이 제2방향으로 이동되도록 가압하는 제2예압블록(62)을 포함한다. The preload blocks 60 and 62 are fixed to one end of the fixing plate 74 of the nut block 70 and pressurize the bearing unit 50 to move in the first direction. It includes a second preload block 62 that is fixed to the other end, is fixed at a predetermined interval from the first preload block 60 and pressurizes the bearing unit 50 to move in the second direction.

제1예압블록(60)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 고정판(74)에 볼트 체결되는 제1볼트 체결부(64)와, 제1볼트 체결부(64)의 측면에서 돌출되어 베어링 유닛(50)의 제1베어링(52)을 가압하는 제1베어링 가압부(66)를 포함한다. The first preload block 60 protrudes from the side of the first bolt fastening part 64 and the first bolt fastening part 64, which are bolted to the fixing plate 74, as shown in FIGS. 5 and 6. It includes a first bearing pressing portion 66 for pressing the first bearing 52 of the bearing unit 50.

제2예압블록(62)은 고정판(74)에 볼트 체결되는 제2볼트 체결부(68)와, 제2볼트 체결부(68)의 측면에서 돌출되어 베어링 유닛(50)의 제2베어링(54)을 가압하는 제2베어링 가압부(69)를 포함한다. The second preload block 62 is a second bolt fastening part 68 that is bolted to the fixing plate 74, and a second bearing 54 of the bearing unit 50 protruding from the side of the second bolt fastening part 68. ) And a second bearing pressing portion 69 for pressing.

여기에서, 제1베어링 가압부(66)는 제2베어링 가압부(69)에 비해 높이가 높게 형성된다. Here, the first bearing pressing portion 66 is formed to have a height higher than that of the second bearing pressing portion 69.

베어링 유닛(50)은 회전판(12)의 측면에 형성되는 장착부(14)에 회전판(12)과 수평하게 연결되는 홀더(56)와, 홀더(56)에 수직 방향으로 고정되는 샤프트(58)와, 샤프트(58)에 순차적으로 삽입되는 제1베어링(52) 및 제2베어링(54)과 제1베어링(52)과 제2베어링(54) 사이에 삽입되어 두 베어링(52,54)이 독립적으로 회전되도록 분리하는 스페이서(82)와, 샤프트(58)의 하면에 체결되어 제1베어링(52) 및 제2베어링(54)이 샤프트(58)에서 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 볼트(80)를 포함한다. The bearing unit 50 includes a holder 56 horizontally connected to the rotation plate 12 to a mounting portion 14 formed on the side of the rotation plate 12, and a shaft 58 fixed in a vertical direction to the holder 56. , The first bearing 52 and the second bearing 54 and the first bearing 52 and the second bearing 54 that are sequentially inserted into the shaft 58 are inserted between the two bearings 52 and 54 independently. A spacer 82 that separates so as to be rotated in a direction, and a separation prevention bolt 80 that is fastened to the lower surface of the shaft 58 to prevent the first bearing 52 and the second bearing 54 from being separated from the shaft 58 Includes.

여기에서, 제1베어링(52)과 제2베어링(54)은 서로 독립하여 각각 회전되고 제1베어링(52)이 제2베어링(54)에 비해 높은 위치에 배치된다. 제1예압블록(60)과 제2예압블록(62) 사이의 간격은 제1베어링(52) 및 제2베어링(54)의 외경과 동일하게 형성되어 제1예압블록(60)의 제1베어링 가압부(66)가 제1베어링(52)에 접촉되고 제2예압블록(62)의 제2베어링 가압부(69)가 제2베어링(54)에 접촉된 상태를 유지한다. Here, the first bearing 52 and the second bearing 54 are rotated independently of each other, and the first bearing 52 is disposed at a higher position than the second bearing 54. The distance between the first preload block 60 and the second preload block 62 is formed equal to the outer diameters of the first bearing 52 and the second bearing 54, so that the first bearing of the first preload block 60 The pressing portion 66 is in contact with the first bearing 52 and the second bearing pressing portion 69 of the second preload block 62 is kept in contact with the second bearing 54.

이와 같이, 제1베어링(52) 및 제2베어링(54)에 각각 독립적으로 제1예압블록 (60)및 제2예압블록(62)이 접촉되므로 끼임 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 예압블록(60,62)과 베어링(52,54) 사이의 벌어짐으로 인한 흔들림이 없어 정밀한 측정이 가능하다. In this way, since the first preload block 60 and the second preload block 62 independently contact the first bearing 52 and the second bearing 54, it is possible to prevent jamming from occurring, and the preload There is no shaking due to the gap between the blocks 60 and 62 and the bearings 52 and 54, so precise measurement is possible.

구동력 변환부(30)의 작용을 살펴보면, 구동모터(20)가 일방향으로 구동되면 스크류 바(32)가 일방향으로 회전되고 스크류 바(32)에 나사 결합된 너트 블록(70)이 제1방향으로 직선 이동된다. 이때, 너트 블록(70)에 고정된 제1예압블록(60)이 제1베어링(52)을 가압하여 베어링 유닛(50)이 제1방향으로 이동되도록 하고 회전판(12)이 일방향으로 회전된다. Looking at the action of the driving force conversion unit 30, when the drive motor 20 is driven in one direction, the screw bar 32 is rotated in one direction, and the nut block 70 screwed to the screw bar 32 is moved in the first direction. It moves in a straight line. At this time, the first preload block 60 fixed to the nut block 70 presses the first bearing 52 so that the bearing unit 50 moves in the first direction, and the rotating plate 12 rotates in one direction.

그리고 구동모터(20)가 타방향으로 구동되면 스크류 바(32)가 타방향으로 회전되고 스크류 바(32)에 나사 결합된 너트 블록(70)이 제2방향으로 직선 이동된다. 이때, 너트 블록(70)에 고정된 제2예압블록(62)이 제2베어링(54)을 가압하여 베어링 유닛(50)이 제2방향으로 이동되도록 하고 회전판(12)이 타방향으로 회전된다. And when the driving motor 20 is driven in the other direction, the screw bar 32 is rotated in the other direction, and the nut block 70 screwed to the screw bar 32 is linearly moved in the second direction. At this time, the second preload block 62 fixed to the nut block 70 presses the second bearing 54 to move the bearing unit 50 in the second direction, and the rotating plate 12 rotates in the other direction. .

센서부(40)는 너트 블록(70)의 이동된 위치를 감지하여 그 신호를 제어부로 전달하는 것으로, 회전판(12)의 회전범위 및 현재 위치를 감지하여 그 신호를 제어부로 인가한다.The sensor unit 40 senses the moved position of the nut block 70 and transmits the signal to the control unit, and applies the signal to the control unit by sensing the rotation range and the current position of the rotating plate 12.

센서부(40)는 도 7에 도시된 바왁같이, 구동력 변환부(30)의 측면에 장착되는 센서 플레이트(42)와, 센서 플레이트(42)의 내면에 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 제1센서(90), 제2센서(92) 및 제3센서(94)와, 너트 블록(70)에 장착되어 제1센서(90), 제2센서(92) 및 제3센서(94)가 신호를 감지할 수 있도록 하는 센서 도그(96)를 포함한다. The sensor unit 40 includes a sensor plate 42 mounted on the side of the driving force conversion unit 30, and a first sensor disposed to be slidably movable on the inner surface of the sensor plate 42, as shown in FIG. 90), the second sensor 92 and the third sensor 94, and mounted on the nut block 70, the first sensor 90, the second sensor 92 and the third sensor 94 detect the signal It includes a sensor dog 96 to enable it.

센서부(40)는 사용자의 선택에 따라 회전판(12)의 회전범위를 조정하고자 할 경우 제1센서(90), 제2센서(92) 및 제3센서(94)의 위치를 변경해야 된다. 이를 위해 제1센서(90), 제2센서(92) 및 제3센서(94)는 센서 플레이트의 내면에 수평방향으로 슬라이드 이동 가능하게 장착되고, 센서 플레이트에는 외부에서 제1센서, 제2센서 및 제3센서의 위치를 변경할 수 있도록 공구가 삽입되는 센서 위치 조정홀(44,46,48)이 형성된다. 센서 위치 조정홀(44,46,48)을 통해 공구를 삽입하여 제1센서(90), 제2센서(92) 및 제3센서(94)의 위치를 변경할 수 있어 센서의 위치 조정을 쉽고 편리하게 할 수 있다. The sensor unit 40 needs to change the positions of the first sensor 90, the second sensor 92, and the third sensor 94 in order to adjust the rotation range of the rotating plate 12 according to the user's selection. To this end, the first sensor 90, the second sensor 92, and the third sensor 94 are mounted to be slidable horizontally on the inner surface of the sensor plate, and the first sensor and the second sensor from the outside are mounted on the sensor plate. And sensor position adjustment holes 44, 46, and 48 into which a tool is inserted so as to change the position of the third sensor. The position of the first sensor 90, the second sensor 92, and the third sensor 94 can be changed by inserting a tool through the sensor position adjustment holes 44, 46, 48, making it easy and convenient to adjust the position of the sensor. I can do it.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다. In the above, the present invention has been illustrated and described by way of example and description of specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs within the scope not departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible by those who have

10: 하우징 12: 회전판
20: 구동모터 30: 구동력 변환부
32: 스크류 바 40: 센서부
50: 베어링 유닛 52: 제1베어링
54: 제2베어링 60: 제1예압블록
62: 제2예압 블록 70: 너트 블록
10: housing 12: rotating plate
20: drive motor 30: driving force conversion unit
32: screw bar 40: sensor unit
50: bearing unit 52: first bearing
54: second bearing 60: first preload block
62: second preload block 70: nut block

Claims (6)

하우징에 회전 가능하게 지지되는 회전판; 회전 운동을 발생시키는 구동모터; 및 상기 구동모터의 구동력을 변환하여 회전판에 전달하는 구동력 변환부;를 포함하고,
상기 구동력 변환부는 상기 구동모터와 연결되는 스크류 바;
상기 스크류 바에 나사 결합되어 직선 이동되는 너트 블록;
상기 회전판의 측면에 고정되는 베어링 유닛; 및
상기 너트 블록에 고정되어 너트 블록이 직선 이동되면 베어링 유닛을 가압하여 회전판을 회전시키는 예압 블록을 포함하는 회전 스테이지.A rotating plate rotatably supported on the housing; A drive motor generating rotational motion; And a driving force conversion unit converting the driving force of the driving motor and transmitting it to the rotating plate;
The driving force converting unit includes a screw bar connected to the driving motor;
A nut block that is screwed to the screw bar to move linearly;
A bearing unit fixed to the side of the rotating plate; And
Rotating stage comprising a preload block fixed to the nut block to rotate the rotating plate by pressing the bearing unit when the nut block is linearly moved. 제1항에 있어서,
상기 너트 블록은 상기 스크류 바에 나사 결합되는 너트부;
상기 너트부의 상부에 평판 형태로 형성되어 예압 블록이 고정되는 고정판; 및
상기 고정판의 하면에 형성되어 너트 블록이 직선 이동되도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 회전 스테이지.The method of claim 1,
The nut block includes a nut portion screwed to the screw bar;
A fixing plate formed in a flat plate shape above the nut part to fix a preload block; And
A rotation stage including a guide portion formed on a lower surface of the fixing plate to guide the nut block to be linearly moved. 제2항에 있어서,
상기 예압 블록은 상기 고정판의 일측에 고정되어 베어링 유닛이 제1방향으로 이동되도록 가압하는 제1예압 블록; 및
상기 고정판의 타측에 고정되고 제1예압블록과 마주보게 배치되어 베어링 유닛이 제2방향으로 이동되도록 가압하는 제2예압 블록을 포함하는 회전 스테이지.The method of claim 2,
The preload block is fixed to one side of the fixing plate to pressurize the bearing unit to move in a first direction; And
A rotating stage comprising a second preload block fixed to the other side of the fixing plate and disposed to face the first preload block to pressurize the bearing unit to move in a second direction. 제3항에 있어서,
상기 베어링 유닛은 상기 회전판의 측면에 상기 회전판과 수평하게 연결되는 홀더;
상기 홀더에 수직 방향으로 고정되는 샤프트;
상기 샤프트에 순차적으로 삽입되는 제1베어링 및 제2베어링;
상기 제1베어링과 제2베어링 사이에 삽입되어 두 베어링 사이를 분리하는 스페이서; 및
상기 샤프트의 하면에 체결되어 제1베어링 및 제2베어링이 샤프트에서 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 볼트를 포함하고,
상기 제1베어링은 제2베어링에 비해 높이가 높게 위치되는 회전 스테이지.The method of claim 3,
The bearing unit may include a holder horizontally connected to the rotating plate on a side surface of the rotating plate;
A shaft fixed to the holder in a vertical direction;
A first bearing and a second bearing sequentially inserted into the shaft;
A spacer inserted between the first bearing and the second bearing to separate the two bearings; And
It is fastened to the lower surface of the shaft and includes a release preventing bolt for preventing the first bearing and the second bearing from being separated from the shaft,
The first bearing is a rotating stage that is positioned higher than the second bearing. 제4항에 있어서,
상기 제1베어링은 제1예압블록과 접촉되고, 상기 제2베어링은 제2예압블록과 접촉되며, 상기 제1예압블록은 제2예압블록에 비해 높이가 높게 형성되는 회전 스테이지. The method of claim 4,
The first bearing is in contact with the first preload block, the second bearing is in contact with the second preload block, and the first preload block is formed with a height higher than that of the second preload block. 제1항에 있어서,
상기 너트 블록의 위치를 감지하는 센서부를 더 포함하고,
상기 센서부는 구동력 변환부의 측면에 장착되는 센서 플레이트;
상기 센서 플레이트의 내면에 위치 조정이 가능하도록 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 제1센서, 제2센서 및 제3센서; 및
상기 너트 블록에 장착되어 제1센서, 제2센서 및 제3센서가 신호를 감지할 수 있도록 하는 센서 도그를 포함하고,
상기 센서 플레이트에는 외부에서 제1센서, 제2센서 및 제3센서의 위치를 변경할 수 있도록 공구가 삽입되는 센서 위치 조정홀이 형성되는 회전 스테이지.
The method of claim 1,
Further comprising a sensor unit for detecting the position of the nut block,
The sensor unit may include a sensor plate mounted on a side surface of the driving force conversion unit;
A first sensor, a second sensor, and a third sensor disposed on the inner surface of the sensor plate so as to be slidably moved to enable position adjustment; And
It includes a sensor dog mounted on the nut block to enable the first sensor, the second sensor and the third sensor to detect a signal,
A rotation stage in which a sensor position adjustment hole into which a tool is inserted so as to change the positions of the first sensor, the second sensor, and the third sensor from the outside is formed on the sensor plate.
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JP2002341076A (en) * 2001-05-16 2002-11-27 Nippon Thompson Co Ltd Angle adjusting table device
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