KR20200087153A - Intermittent application device - Google Patents

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KR20200087153A
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아츠시 와타나베
겐타 요코이
가츠히코 우에다
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토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
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Abstract

도포 속도를 올려도, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 막 두께의 균일화를 도모할 수 있는 간헐 도포 장치를 제공한다. 구체적으로는, 본 발명의 간헐 도포 장치(1)는, 도액(20)을 공급하는 공급부(10)와, 공급부로부터 공급된 도액을, 공급로(21)를 통해 기재(30)의 표면에 도포하는 도포부(15)와, 공급로를 개폐하는 밸브체(42)를 갖는 공급 밸브(12)와, 밸브체를 구동하는 구동부를 구비하고, 구동부는, 제1 에어 실린더(13)와, 제2 에어 실린더(14)로 구성되고, 제1 에어 실린더는, 밸브체에 연결된 제1 피스톤(52)의 왕복 동작에 의해, 밸브체의 개폐를 제어하고, 제2 에어 실린더는, 밸브체에 연결된 제2 피스톤(62)이, 제1 피스톤이 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 구동된다.An intermittent coating device capable of uniformizing the film thickness of a coating film at an application start end even when the coating speed is increased. Specifically, the intermittent coating device 1 of the present invention, the supply unit 10 for supplying the coating solution 20 and the coating solution supplied from the supply unit, is applied to the surface of the substrate 30 through the supply path 21 It has a coating unit 15 to be provided, a supply valve 12 having a valve body 42 for opening and closing a supply path, and a driving unit for driving the valve body, the driving unit comprising: a first air cylinder 13, and 2 air cylinders 14, the first air cylinder controls the opening and closing of the valve body by the reciprocating action of the first piston 52 connected to the valve body, and the second air cylinder is connected to the valve body The second piston 62 is driven in a direction in which the first piston closes the valve body.

Description

간헐 도포 장치Intermittent application device

본 발명은, 연속적으로 반송되는 기재의 표면에, 도액을 간헐적으로 도포하여, 도포 영역과 미도포 영역을 단속적으로 형성하는 간헐 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an intermittent coating device that intermittently applies a coating liquid to a surface of a substrate that is continuously conveyed to intermittently form a coating area and an uncoated area.

종래의 간헐 도공 장치는, 예를 들어 특허문헌 1 등에 기재되어 있는 바와 같이, 도액 탱크로부터 공급된 도액을, 도포 다이로부터 기재 표면에 토출시키는 유로와, 도액을 도액 탱크로 회수시키는 유로의 전환을, 2개의 전환 밸브(공급 밸브, 회수 밸브)에 의해 행하고 있다. 이에 의해, 도액 탱크로부터의 도액의 공급을 연속적으로 행하면서, 연속적으로 반송되는 기재의 표면에, 도포 영역과 미도포 영역을 단속적으로 형성할 수 있다.Conventional intermittent coating apparatuses, for example, as described in Patent Document 1 and the like, switch the flow path for discharging the coating liquid supplied from the coating liquid tank to the surface of the substrate from the coating die and the flow path for recovering the coating liquid to the coating liquid tank. , It is performed by two switching valves (supply valve, recovery valve). Thereby, while continuously supplying the coating liquid from the coating liquid tank, the application|coating area and an uncoated area can be intermittently formed in the surface of the base material conveyed continuously.

일본 특허 공개 제2014-188449호 공보Japanese Patent Publication No. 2014-188449

단위 시간당의 도포 면적을 증가시켜, 생산성을 향상시키기 위해서는, 도포 다이로부터의 도액의 단위 시간당의 토출량, 및 기재의 반송 속도(즉, 도포 속도)를 올릴 필요가 있다.In order to increase the application area per unit time and improve productivity, it is necessary to increase the discharge amount per unit time of the coating liquid from the application die and the transfer speed (i.e., application rate) of the substrate.

기판의 반송 속도를 올린 경우, 연속 반송되는 기재의 표면에, 소정의 타이밍에, 도포 영역 및 미도포 영역을 형성하기 위해서는, 2개의 전환 밸브(공급 밸브, 회수 밸브)의 전환을 빠르게 행할 필요가 있고, 그러기 위해서는, 전환 밸브의 구동 속도를 올릴 필요가 있다. 그 때문에, 전환 밸브의 구동에는, 전동 액추에이터(예를 들어, 서보 모터)보다 응답성이 우수한 에어 실린더를 사용하는 것이 바람직하다.When the substrate transfer speed is increased, it is necessary to rapidly switch between two switching valves (supply valves and recovery valves) in order to form an application area and an uncoated area on a surface of a substrate to be continuously transported at a predetermined timing. In order to do so, it is necessary to increase the driving speed of the switching valve. Therefore, it is preferable to use an air cylinder superior in responsiveness to an electric actuator (for example, a servo motor) for driving the switching valve.

그러나 에어 실린더를 사용하여 전환 밸브를 고속으로 구동시킨 경우, 에어 실린더 내에 입력되는 공기압이나, 밸브체에 연결된 피스톤의 스트로크 내에서의 속도를, 고정밀도로 제어하는 것이 어렵다. 그 때문에, 기재 표면에 형성되는 도포막의 막 두께를 균일하게 형성하는 것이 곤란해진다. 특히, 도액의 공급 개시 시에는, 밸브체의 이동에 의해 가압 상태로 되므로, 도포 다이로부터의 도액의 토출량이 일순간 많아진다. 그 때문에, 도포 개시 단부에 있어서, 도포막의 막 두께가 두꺼워진다(부풀어 오른다)라고 하는 문제가 발생한다. 그러나 종래, 도포 속도를 올렸을 때에 발생하는, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 융기에 대해서는, 고려되지 않았다.However, when the switching valve is driven at high speed using an air cylinder, it is difficult to accurately control the air pressure input into the air cylinder or the speed in the stroke of the piston connected to the valve body. Therefore, it becomes difficult to uniformly form the film thickness of the coating film formed on the surface of the substrate. Particularly, when the supply of the coating liquid is started, the valve body moves to a pressurized state, so that the discharge amount of the coating liquid from the coating die increases instantly. Therefore, a problem that the film thickness of the coating film is thickened (swells) occurs at the application start end. However, conventionally, the elevation of the coating film at the application start end, which occurs when the application speed is increased, was not considered.

본 발명은, 상기 과제에 비추어 이루어진 것이며, 그 주 목적은, 에어 실린더를 사용하여 전환 밸브의 구동을 행하는 간헐 도포 장치에 있어서, 도포 속도를 올려도, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 막 두께의 균일화를 도모할 수 있는 간헐 도포 장치를 제공하는 데 있다.This invention is made|formed in light of the said subject, The main objective is in the intermittent application apparatus which drives a switching valve using an air cylinder, Even if the application speed is raised, the film thickness of the coating film at the application start end is made uniform. It is to provide an intermittent coating device that can be achieved.

본 발명에 관한 간헐 도포 장치는, 연속적으로 반송되는 기재의 표면에, 도액을 간헐적으로 도포하여, 도포 영역과 미도포 영역을 단속적으로 형성하는 간헐 도포 장치이며, 도액을 공급하는 공급부와, 공급부로부터 공급된 도액을, 공급로를 통해, 기재의 표면에 도포하는 도포부와, 공급로를 개폐하는 밸브체를 갖는 공급 밸브와, 밸브체를 구동하는 구동부를 구비하고, 구동부는, 제1 에어 실린더와, 제2 에어 실린더로 구성되고, 제1 에어 실린더는, 밸브체에 연결된 제1 피스톤의 왕복 동작에 의해, 밸브체의 개폐를 제어하고, 제2 에어 실린더는, 밸브체에 연결된 제2 피스톤이, 제1 피스톤이 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 구동된다.The intermittent coating device according to the present invention is an intermittent coating device that intermittently applies a coating liquid to a surface of a substrate that is continuously conveyed to intermittently form an application region and an uncoated region, and a supply portion for supplying a coating liquid and a supply portion A coating part for applying the supplied coating liquid to the surface of the substrate through a supply passage, a supply valve having a valve body for opening and closing the supply passage, and a driving part for driving the valve body, the driving part comprising: a first air cylinder W, consisting of a second air cylinder, the first air cylinder controls the opening and closing of the valve body by the reciprocating action of the first piston connected to the valve body, and the second air cylinder is the second piston connected to the valve body The first piston is driven in a direction to close the valve body.

본 발명에 따르면, 에어 실린더를 사용하여 전환 밸브의 구동을 행하는 간헐 도포 장치에 있어서, 도포 속도를 올려도, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 막 두께의 균일화를 도모할 수 있는 간헐 도포 장치를 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the intermittent application apparatus which drives a switching valve using an air cylinder is provided, the intermittent application apparatus which can achieve the uniformity of the film thickness of the coating film at the application start end even if the application speed is increased. Can.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 간헐 도포 장치의 구성을 모식적으로 도시한 도면이다.
도 2는 제1 및 제2 에어 실린더에 의해, 공급 밸브의 개폐를 구동하는 동작을 도시한 도면이며, (a)는 공급 밸브를 폐쇄하는 동작을 도시하고, (b)는 공급 밸브를 개방하는 동작을 도시한다.
도 3은 본 발명의 간헐 도포 장치를 사용하여 도포 영역/미도포 영역을 형성하였을 때의 도포막의 막 두께를 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 제2 에어 실린더의 배치를 도시한 도면이며, (a)는 공급 밸브를 폐쇄하는 동작을 도시하고, (b)는 공급 밸브를 개방하는 동작을 도시한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 브레이크 기구의 구성을 도시한 도면이며, (a)는 공급 밸브를 폐쇄하는 동작을 도시하고, (b)는 공급 밸브를 개방하는 동작을 도시한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 브레이크 기구의 구성을 도시한 도면이며, (a)는 공급 밸브를 폐쇄하는 동작을 도시하고, (b)는 공급 밸브를 개방하는 동작을 도시한다.
도 7은 종래의 간헐 도포 장치의 일반적인 구성을 도시한 도면이다.
도 8은 종래의 에어 실린더에 의해, 공급 밸브의 개폐를 구동하는 동작을 도시한 도면이며, (a)는 공급 밸브를 폐쇄하는 동작을 도시하고, (b)는 공급 밸브를 개방하는 동작을 도시한다.
도 9는 종래의 간헐 도포에 있어서의 공급 밸브 및 회수 밸브의 개폐 동작과, 간헐 도포에 의해 도포 영역/미도포 영역을 형성하였을 때의 도포막의 막 두께를 도시한 도면이다.
도 10은 종래의 간헐 도포에 있어서의 공급 밸브 및 회수 밸브의 개폐 동작을 도시한 도면이다.
도 11은 종래의 간헐 도포에 의해 도포 영역/미도포 영역을 형성하였을 때의 도포막의 막 두께를 도시한 도면이다.1 is a diagram schematically showing a configuration of an intermittent coating device according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing the operation of driving the opening and closing of the supply valve by the first and second air cylinders, (a) shows the operation of closing the supply valve, (b) is opening the supply valve The operation is shown.
Fig. 3 is a side view showing the film thickness of the coated film when the coated area/uncoated area is formed using the intermittent coating device of the present invention.
4 is a view showing the arrangement of the second air cylinder in another embodiment of the present invention, (a) shows the operation of closing the supply valve, (b) shows the operation of opening the supply valve do.
5 is a view showing the configuration of a brake mechanism in another embodiment of the present invention, (a) shows the operation of closing the supply valve, and (b) shows the operation of opening the supply valve.
Fig. 6 is a view showing the configuration of a brake mechanism in another embodiment of the present invention, (a) showing the operation of closing the supply valve, and (b) the operation of opening the supply valve.
7 is a view showing a general configuration of a conventional intermittent coating device.
8 is a view showing an operation of driving the opening and closing of the supply valve by a conventional air cylinder, (a) shows the operation of closing the supply valve, (b) shows the operation of opening the supply valve do.
9 is a view showing the opening and closing operations of the supply valve and the recovery valve in the conventional intermittent coating, and the film thickness of the coated film when the coated area/uncoated area is formed by intermittent coating.
10 is a view showing opening and closing operations of a supply valve and a recovery valve in a conventional intermittent application.
Fig. 11 is a view showing the film thickness of the coated film when the coated area/uncoated area is formed by conventional intermittent coating.

본 발명의 실시 형태를 설명하기 전에, 종래의 간헐 도포 장치에 있어서의 문제점을 설명한다.Before explaining the embodiment of the present invention, a problem in the conventional intermittent coating device will be described.

도 7은, 종래의 간헐 도포 장치(100)의 일반적인 구성을 도시한 도면이다.7 is a view showing a general configuration of a conventional intermittent coating device 100.

도 7에 도시하는 바와 같이, 도액 탱크(110)에 수용된 도액(120)은, 공급로(121)의 도중에 마련된 펌프(111)에 의해 송액되어, 도포 다이(115) 내의 매니폴드(116)에 공급된다. 그리고 매니폴드(116)에 공급된 도액(120)은, 도포 다이(115)의 슬릿으로부터 토출되어, 기재(130)의 표면에 도포막(131)이 형성된다.As shown in FIG. 7, the coating liquid 120 accommodated in the coating tank 110 is fed by the pump 111 provided in the middle of the supply path 121, and is transferred to the manifold 116 in the coating die 115. Is supplied. And the coating liquid 120 supplied to the manifold 116 is discharged from the slit of the coating die 115, and the coating film 131 is formed on the surface of the base material 130.

펌프(111)와 도포 다이(115) 사이의 공급로(121)에는, 공급로(121)를 개폐하는 밸브체를 갖는 공급 밸브(112)가 마련되어 있다. 또한, 공급로(121)의 도중으로부터, 도액 탱크(110)에 접속된 회수로(122)가 분기되고, 회수로(122)에는, 회수로(122)가 개폐되는 밸브체를 갖는 회수 밸브(117)가 마련되어 있다. 또한, 공급 밸브(112) 및 회수 밸브(117)의 밸브체는, 각각, 에어 실린더(113, 118)에 의해 구동되고, 그 구동은, 제어부(119)에 의해 제어된다.In the supply path 121 between the pump 111 and the application die 115, a supply valve 112 having a valve body that opens and closes the supply path 121 is provided. In addition, a recovery valve (122) having a valve body that branches from the middle of the supply path (121) connected to the plating tank (110), and the recovery path (122) opens and closes the recovery path (122) 117) is provided. In addition, the valve bodies of the supply valve 112 and the recovery valve 117 are driven by the air cylinders 113 and 118, respectively, and the driving is controlled by the control unit 119.

도 8은, 에어 실린더(113)에 의해, 공급 밸브(112)의 개폐를 구동하는 동작을 도시한 도면이며, 도 8의 (a)는 공급 밸브(112)를 폐쇄하는 동작을 도시하고, 도 8의 (b)는 공급 밸브(112)를 개방하는 동작을 도시하고 있다.8 is a view showing an operation of driving the opening and closing of the supply valve 112 by the air cylinder 113, and FIG. 8(a) shows the operation of closing the supply valve 112, and FIG. 8(b) shows the operation of opening the supply valve 112.

공급 밸브(112)는, 밸브체(142)와, 밸브 시트(143) 사이에 두고 공급로(121)로부터 도액(120)이 들어가는 액류실(141), 및 공급로(121)로부터 도액(120)이 나오는 액류실(140)을 갖고 있다. 또한, 에어 실린더(113)는, 피스톤(152)을 사이에 두고, 압공실(150, 151)을 갖고, 피스톤(152)은, 로드(153)를 통해, 밸브체(142)에 연결되어 있다.The supply valve 112 is placed between the valve body 142 and the valve seat 143, and the liquid flow chamber 141 through which the coating liquid 120 enters from the supply path 121, and the coating liquid 120 from the supply path 121 ). In addition, the air cylinder 113 has the pressure chambers 150 and 151 with the piston 152 interposed therebetween, and the piston 152 is connected to the valve body 142 via a rod 153. .

도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 압공실(151)에, 압력 P의 압력 공기를 공급함으로써, 피스톤(152)이 밸브체(142)와 반대 방향으로 이동한다. 이에 의해, 피스톤(152)과 일체적으로 밸브체(142)가 이동하여, 밸브 시트(143)와 접촉함으로써, 공급 밸브(112)가 폐쇄되어, 도액(120)의 공급이 정지한다.As shown in FIG. 8(a), the piston 152 moves in the opposite direction to the valve body 142 by supplying pressure air with a pressure P to the pressure chamber 151. Thereby, the valve body 142 moves integrally with the piston 152, and by contacting the valve seat 143, the supply valve 112 is closed, and supply of the coating liquid 120 is stopped.

다음으로, 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이, 압공실(150)에, 압력 P의 압력 공기를 공급함으로써, 피스톤(152)이 밸브체(142)의 방향으로 이동한다. 이에 의해, 피스톤(152)과 일체적으로 밸브체(142)가 이동하여, 밸브 시트(143)로부터 이격됨으로써, 공급 밸브(112)가 개방되어, 도액(120)의 공급이 개시된다.Next, as shown in FIG. 8(b), the piston 152 moves in the direction of the valve body 142 by supplying pressure air at a pressure P to the pressure chamber 150. Thereby, the valve body 142 moves integrally with the piston 152, and is spaced from the valve seat 143, so that the supply valve 112 is opened, and supply of the coating liquid 120 is started.

또한, 압공실(150, 151)에 대한 압력 공기의 공급, 및 대기 개방(혹은 배기)은, 예를 들어 솔레노이드 밸브를 사용하여 행할 수 있다. 또한, 피스톤(152)의 이동을 고정밀도로 제어하기 위해서는, 압공실(150, 151)에 공급하는 압력 공기의 압력 P는, 동일한 크기로 하는 것이 바람직하다.In addition, supply of pressure air to the pressure chambers 150 and 151, and opening of the atmosphere (or exhaust) can be performed using, for example, a solenoid valve. In addition, in order to control the movement of the piston 152 with high precision, it is preferable that the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chambers 150 and 151 is the same size.

또한, 에어 실린더(118)에 의해, 회수 밸브(117)의 개폐를 구동하는 동작도, 공급 밸브(112)의 동작과 동일하므로, 설명을 생략한다.In addition, since the operation of driving the opening and closing of the recovery valve 117 by the air cylinder 118 is the same as the operation of the supply valve 112, description thereof is omitted.

도 9는, 간헐 도포에 있어서의 공급 밸브(112) 및 회수 밸브(117)의 개폐 동작과, 간헐 도포에 의해 도포 영역/미도포 영역을 형성하였을 때의 도포막의 막 두께를 도시한 도면이다.FIG. 9 is a diagram showing the opening and closing operations of the supply valve 112 and the recovery valve 117 in intermittent coating, and the film thickness of the coated film when the coated area/uncoated area is formed by intermittent coating.

도 9에 도시하는 바와 같이, 도포 영역을 형성할 때는, 공급 밸브(112)를 개방하고, 회수 밸브(117)를 폐쇄하여, 도포 다이(115)로부터 도액(120)을 기재(130)의 표면에 도포하여, 도포 영역을 형성한다. 또한, 미도포 영역을 형성할 때는, 공급 밸브(112)를 폐쇄하고, 회수 밸브(117)를 개방하여, 회수로(122)를 통해, 도액(120)을 도액 탱크(110)에 회수한다.As shown in FIG. 9, when forming the application region, the supply valve 112 is opened, the recovery valve 117 is closed, and the coating liquid 120 is applied from the application die 115 to the surface of the substrate 130. It is applied to form an application area. In addition, when forming the uncoated region, the supply valve 112 is closed, the recovery valve 117 is opened, and the coating liquid 120 is recovered in the coating liquid tank 110 through the recovery path 122.

도포 영역을 형성할 때, 도액(120)의 공급 개시 시에는, 공급 밸브(112)의 밸브체(142)의 이동에 의해, 도포 다이(115)로 통하는 공급로(121) 내의 도액(120)은 압력이 상승하므로, 도포 다이(115)로부터의 도액(120)의 토출량이 일순간 많아진다. 그 때문에, 도 9에 도시하는 바와 같이, 도포 개시 단부에 있어서, 도포막의 부풀어 오름이 발생한다.When forming the application region, when the supply of the coating liquid 120 starts, the coating liquid 120 in the supply path 121 through the coating die 115 is moved by the movement of the valve body 142 of the supply valve 112. Since the silver pressure increases, the discharge amount of the coating liquid 120 from the coating die 115 increases instantaneously. Therefore, as shown in FIG. 9, swelling of the coating film occurs at the application start end.

그래서 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소하기 위해, 도 10에 도시하는 바와 같이, 회수 밸브(117)를 폐쇄하는 타이밍을, 조금 늦추는 방법이 있다. 이에 의해, 도액(120)의 공급 개시 시에 상승한 공급로(121) 내의 도액(120)의 압력을, 회수로(122) 측으로 해방시킬 수 있으므로, 도 10에 도시하는 바와 같이, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소할 수 있다.Therefore, in order to eliminate the swelling of the coating film at the application start end, there is a method of slightly delaying the timing of closing the recovery valve 117 as shown in FIG. 10. As a result, since the pressure of the coating liquid 120 in the supply path 121 that has risen at the start of the supply of the coating liquid 120 can be released to the recovery path 122 side, as shown in FIG. 10, at the coating start end. The swelling of the coating film in can be eliminated.

그러나 생산성을 향상시키기 위해, 도포 다이(115)로부터의 도액(120)의 단위 시간당의 토출량을 올리면, 상기한 방법만으로는, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소하는 것이 어려워진다. 또한, 생산성을 향상시키기 위해, 기재(130)의 반송 속도를 올리면, 미도포 영역을 형성하는 시간(공급 밸브(112)가 폐쇄되어 있는 시간)이 매우 짧아진다. 예를 들어, 기재(130)의 반송 속도를 60m/분으로 한 경우, 미도포 영역의 길이를 10㎜로 하면, 공급 밸브(112)가 폐쇄되어 있는 시간은, 10msec로, 매우 짧아진다. 그 때문에, 회수 밸브(117)를 폐쇄하는 타이밍을, 공급 밸브(112)를 개방하는 타이밍에 동기하여 제어하는 것이 어려워진다.However, in order to improve the productivity, when the discharge amount per unit time of the coating liquid 120 from the coating die 115 is increased, it is difficult to eliminate the swelling of the coating film at the coating start end only by the above method. In addition, in order to improve productivity, when the transfer speed of the substrate 130 is increased, the time for forming the uncoated region (the time during which the supply valve 112 is closed) becomes very short. For example, when the conveyance speed of the substrate 130 is 60 m/min, when the length of the uncoated region is 10 mm, the time during which the supply valve 112 is closed becomes very short, 10 msec. Therefore, it becomes difficult to control the timing of closing the recovery valve 117 in synchronization with the timing of opening the supply valve 112.

그래서 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소하는 방법으로서, 도액(120)의 공급 개시 시에, 도포 다이(115)로 통하는 공급로(121) 내의 도액(120)의 압력 상승을 억제하기 위해, 공급 밸브(112)를 개방할 때의 에어 실린더(113)의 피스톤(152)의 이동 속도를 낮추는 것을 생각할 수 있다. 그러기 위해서는, 압공실(150)에 공급하는 압력 공기의 압력 P를 낮출 필요가 있다.Therefore, as a method of eliminating the swelling of the coating film at the application start end, suppressing the pressure rise of the coating liquid 120 in the supply path 121 leading to the coating die 115 at the start of supply of the coating liquid 120 For this, it is conceivable to lower the moving speed of the piston 152 of the air cylinder 113 when opening the supply valve 112. To do this, it is necessary to lower the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 150.

그러나 이 경우, 공급 밸브(112)를 폐쇄할 때에 압공실(151)에 공급하는 압력 공기의 압력 P1과, 공급 밸브(112)를 개방할 때에 압공실(150)에 공급하는 압력 공기의 압력 P2가, 다른 크기(P1>P2)로 되어 버린다. 그 때문에, 압공실(150, 151)에 대한 압력 공기의 공급/대기 개방의 전환을 계속 행한 경우, 압공실(150, 151)에 공급되는 압력 공기의 압력 P1, P2에 압력차가 발생하기 때문에, 피스톤(152)의 왕복 동작이 불안정해진다. 예를 들어, 전환 시의 압공실(150, 151) 내의 잔압이나, 솔레노이드 밸브로부터 압공실(150, 151)까지의 배관에 있어서의 압력 손실 등의 요인에 의해, 피스톤(152)의 왕복 동작이 불안정에 있다.However, in this case, the pressure P 1 of the pressure air supplied to the pressure chamber 151 when the supply valve 112 is closed, and the pressure air pressure supplied to the pressure chamber 150 when the supply valve 112 is opened. P 2 has a different size (P 1 >P 2 ). Therefore, when the supply/air opening of the pressure air to the pressure chambers 150 and 151 is continuously switched, a pressure difference occurs in the pressures P 1 and P 2 of the pressure air supplied to the pressure chambers 150 and 151 Therefore, the reciprocating motion of the piston 152 becomes unstable. For example, the reciprocating motion of the piston 152 may be caused by factors such as residual pressure in the pressure chambers 150 and 151 at the time of switching or pressure loss in the pipe from the solenoid valve to the pressure chambers 150 and 151. Is unstable.

그 때문에, 공급 밸브(112)를 개방할 때의 에어 실린더(113)의 피스톤(152)의 이동 속도를 낮춘 경우, 도 11에 도시하는 바와 같이, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 융기는 해소되지만, 도포막의 막 두께 형상이 불안정해진다. 그 결과, 도포 영역의 길이 L1, L2, L3에 변동이 발생해 버린다.Therefore, when the moving speed of the piston 152 of the air cylinder 113 when the supply valve 112 is opened is lowered, as shown in Fig. 11, the swelling of the coating film at the coating start end is eliminated. , The film thickness shape of the coating film becomes unstable. As a result, fluctuations occur in the lengths L 1 , L 2 , and L 3 of the coating region.

그래서 본원 발명자(들)은, 공급 밸브를 개방할 때의 에어 실린더의 피스톤의 이동 속도를 낮추는 수단으로서, 공급 밸브의 밸브체를 구동하는 에어 실린더에, 에어 실린더의 피스톤의 이동 방향에 거스르는 방향으로 하중을 가하는 에어 신다를, 브레이크 실린더로서 부가하는 것을 생각해내어, 본 발명을 상도하기에 이르렀다.Therefore, the inventor(s) of the present application is a means for lowering the moving speed of the piston of the air cylinder when the supply valve is opened, in an air cylinder driving the valve body of the supply valve, in a direction opposite to the moving direction of the piston of the air cylinder. It was conceived to add a load-bearing air cylinder as a brake cylinder, leading to the invention.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 효과를 제공하는 범위를 일탈하지 않는 범위에서, 적절하게 변경은 가능하다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on drawing. In addition, this invention is not limited to the following embodiment. In addition, a change can be appropriately made without departing from the scope of providing the effects of the present invention.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 간헐 도포 장치의 구성을 모식적으로 도시한 도면이다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 간헐 도포 장치는, 연속적으로 반송되는 기재의 표면에, 도액을 간헐적으로 도포하여, 도포 영역과 미도포 영역을 단속적으로 형성하는 장치이다.1 is a diagram schematically showing a configuration of an intermittent coating device according to an embodiment of the present invention. In addition, the intermittent coating device in the present embodiment is a device that intermittently applies a coating liquid to the surface of a substrate that is continuously conveyed to intermittently form an application area and an uncoated area.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 간헐 도포 장치(1)는, 도액(20)을 공급하는 도액 탱크(공급부)(10)와, 도액 탱크(10)로부터 공급된 도액(20)을, 공급로(21)를 통해, 기재(30)의 표면에 도포하는 도포 다이(도포부)(15)와, 공급로(21)를 개폐하는 밸브체를 갖는 공급 밸브(12)와, 밸브체를 구동하는 구동부를 구비하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 구동부는, 제1 에어 실린더(13)와, 제2 에어 실린더(14)로 구성되어 있다. 또한, 제1 에어 실린더(13)의 구동은, 제어부(19)에 의해 제어된다.As shown in FIG. 1, the intermittent coating device 1 in the present embodiment includes a coating liquid tank (supply unit) 10 for supplying the coating liquid 20 and a coating liquid 20 supplied from the coating liquid tank 10. ), a supply die (12) for applying to the surface of the substrate (30) through the supply path (21) (15), and a supply valve (12) having a valve body for opening and closing the supply path (21), It is equipped with the drive part which drives a valve body. Moreover, the drive part in this embodiment is comprised by the 1st air cylinder 13 and the 2nd air cylinder 14. In addition, the driving of the first air cylinder 13 is controlled by the control unit 19.

도액 탱크(10)에 수용된 도액(20)은, 공급로(21)의 도중에 마련된 펌프(11)에 의해 송액되어, 도포 다이(15) 내의 매니폴드(16)에 공급된다. 그리고 매니폴드(16)에 공급된 도액(20)은, 도포 다이(15)의 슬릿으로부터 토출되어, 기재(30)의 표면에 도포막(31)이 형성된다.The coating liquid 20 accommodated in the coating liquid tank 10 is supplied by the pump 11 provided in the middle of the supply path 21 and supplied to the manifold 16 in the application die 15. And the coating liquid 20 supplied to the manifold 16 is discharged from the slit of the coating die 15, and the coating film 31 is formed on the surface of the base 30.

또한, 공급로(21)의 도중으로부터, 도액 탱크(10)에 접속된 회수로(22)가 분기되고, 회수로(22)에는, 회수로(122)가 개폐되는 밸브체를 갖는 회수 밸브(17)가 마련되어 있다. 회수 밸브(17)의 밸브체는, 에어 실린더(18)에 의해 구동되고, 그 구동은, 제어부(19)에 의해 제어된다.Further, from the middle of the supply passage 21, the recovery passage 22 connected to the plating tank 10 is branched, and the recovery passage 22 has a recovery valve having a valve body that opens and closes the recovery passage 122 ( 17) is provided. The valve body of the recovery valve 17 is driven by the air cylinder 18, and the driving is controlled by the control unit 19.

도 2는, 제1 및 제2 에어 실린더(13, 14)에 의해, 공급 밸브(12)의 개폐를 구동하는 동작을 도시한 도면이며, 도 2의 (a)는 공급 밸브(12)를 폐쇄하는 동작을 도시하고, 도 2의 (b)는 공급 밸브(12)를 개방하는 동작을 도시하고 있다.2 is a view showing the operation of driving the opening and closing of the supply valve 12 by the first and second air cylinders 13 and 14, and FIG. 2(a) closes the supply valve 12 Fig. 2(b) shows the operation of opening the supply valve 12.

공급 밸브(12)는, 밸브체(42)와, 밸브 시트(43)를 사이에 두고, 공급로(21)로부터 도액(20)이 들어가는 액류실(41), 및 공급로(21)로부터 도액(20)이 나오는 액류실(40)을 갖고 있다.The supply valve 12 has a valve body 42 and a valve seat 43 interposed therebetween, and a liquid flow chamber 41 into which the coating liquid 20 enters from the supply path 21, and a coating liquid from the supply path 21. It has a liquid chamber 40 from which 20 comes out.

제1 에어 실린더(13)는, 제1 피스톤(52)을 사이에 두고, 압공실(50, 51)을 갖고, 제1 피스톤(52)은 로드(53)를 통해, 밸브체(42)에 연결되어 있다. 여기서, 제1 에어 실린더(13)는, 밸브체(42)에 연결된 제1 피스톤(52)의 왕복 동작에 의해, 밸브체(42)의 개폐를 제어하는 것이다.The first air cylinder 13 has a pressure chamber 50 and 51 with the first piston 52 interposed therebetween, and the first piston 52 is connected to the valve body 42 through a rod 53. It is connected. Here, the 1st air cylinder 13 controls opening and closing of the valve body 42 by the reciprocating operation of the 1st piston 52 connected to the valve body 42.

또한, 제2 에어 실린더(14)가, 공급 밸브(12)에 대해, 제1 에어 실린더(13)와 동일한 측에 배치되어 있다. 여기서는, 제1 에어 실린더(13)의 양측에, 동일한 구조로 이루어지는 2개의 제2 에어 실린더(14)가, 병렬로 배치되어 있다.In addition, the second air cylinder 14 is disposed on the same side as the first air cylinder 13 with respect to the supply valve 12. Here, two second air cylinders 14 having the same structure are arranged on both sides of the first air cylinder 13 in parallel.

제2 에어 실린더(14)는, 제2 피스톤(62)을 사이에 두고, 압공실(60, 61)을 갖고, 제2 피스톤(62)은, 로드(63)를 통해, 밸브체(42)에 연결되어 있다. 여기서는, 로드(63)를, 제1 에어 실린더(13)의 로드(53)에 연결함으로써, 로드(53)와 일체가 되어, 밸브체(42)에 연결53되어 있다.The second air cylinder 14 has the second piston 62 interposed therebetween, and has pressure chambers 60 and 61, and the second piston 62 is provided with a valve body 42 through a rod 63. Connected to. Here, by connecting the rod 63 to the rod 53 of the first air cylinder 13, it is integrated with the rod 53 and connected to the valve body 42.

도 2의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제1 에어 실린더(13)의 압공실(51)에, 압력 P의 압력 공기를 공급함으로써, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)와 반대 방향으로 이동한다. 이에 의해, 제1 피스톤(52)과 일체적으로 밸브체(42)가 이동하여, 밸브 시트(43)와 접촉함으로써, 공급 밸브(12)가 폐쇄되어, 도액(20)의 공급이 정지한다.As shown in FIG. 2(a), the first piston 52 is opposed to the valve body 42 by supplying pressure air at a pressure P to the pressure chamber 51 of the first air cylinder 13 Direction. Thereby, the valve body 42 moves integrally with the 1st piston 52, and by contacting the valve seat 43, the supply valve 12 is closed and supply of the coating liquid 20 is stopped.

한편, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에는 항시, 일정한 압력 P의 압력 공기가 공급되고 있다. 그 때문에, 제2 에어 실린더(14)에 있어서, 밸브체(42)에 연결된 제2 피스톤(62)은 항시, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동되고 있다.On the other hand, pressure air at a constant pressure P is always supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14. Therefore, in the second air cylinder 14, the second piston 62 connected to the valve body 42 is always driven in the direction in which the first piston 52 closes the valve body 42.

여기서, 피스톤에 의한 구동력 F는, 압공실에 공급되는 압력 공기의 압력 P와, 피스톤의 표면적의 곱으로 결정되지만, 본 실시 형태에서는, 제1 에어 실린더(13)에 있어서의 제1 피스톤(52)의 구동력 F1이, 제2 에어 실린더(14)에 있어서의 제2 피스톤의 구동력 F2의 합(2F2)보다 커지도록 설정되어 있다.Here, the driving force F by the piston is determined by the product of the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber and the surface area of the piston, but in this embodiment, the first piston 52 in the first air cylinder 13 ), the driving force F 1 is set to be greater than the sum 2F 2 of the driving force F 2 of the second piston in the second air cylinder 14.

예를 들어, 제1 에어 실린더(13)의 압공실(51)에 공급하는 압력 공기의 압력 P와, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에 공급하는 압력 공기의 압력 P를, 동일한 크기로 설정한 경우, 제1 피스톤(52)의 표면적에 대한 제2 피스톤(62)의 표면적을 규정함으로써, F1>2F2의 관계를 충족할 수 있다.For example, the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 51 of the first air cylinder 13 and the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14, When set to the same size, by defining the surface area of the second piston 62 with respect to the surface area of the first piston 52, the relationship of F 1 >2F 2 can be satisfied.

다음으로, 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이, 제1 에어 실린더(13)의 압공실(50)에, 압력 P의 압력 공기를 공급함으로써, 제1 피스톤(52)이, 구동력 F1에 의해, 밸브체(42)의 방향으로 이동한다. 이에 의해, 피스톤(52)과 일체적으로 밸브체(42)가 이동하여, 밸브 시트(43)로부터 이격됨으로써, 공급 밸브(12)가 개방되어, 도액(20)의 공급이 개시한다.Next, as shown in FIG. 2(b), the first piston 52 is driven by the driving force F 1 by supplying pressure air at a pressure P to the pressure chamber 50 of the first air cylinder 13. By this, it moves in the direction of the valve body 42. Thereby, the valve body 42 moves integrally with the piston 52, and is separated from the valve seat 43, so that the supply valve 12 is opened, and supply of the coating liquid 20 starts.

본 실시 형태에서는, 제1 피스톤(52)의 구동력 F1에 의해, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동되고 있는 동안, 제2 피스톤(62)에 의해, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동력 F2가 작용하고 있다. 즉, 제2 피스톤(62)의 구동력 F2에 의해, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로, 일정한 브레이크가 걸린 상태로 되어 있다. 이에 의해, 밸브체(42)를 개방할 때의 제1 피스톤(52)의 이동 속도를 낮출 수 있다. 그 결과, 도 3에 도시하는 바와 같이, 도액(20)의 공급 개시 시에, 도포 다이(15)로 통하는 공급로(21) 내의 도액(20)의 압력 상승을 억제할 수 있으므로, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소할 수 있다.In the present embodiment, the valve body 42 is closed by the second piston 62 while being driven in the direction in which the valve body 42 is opened by the driving force F 1 of the first piston 52. The driving force F 2 is acting in the direction. That is, by the driving force F 2 of the second piston 62, a constant brake is applied in a direction against the movement of the first piston 52 in the direction in which the valve body 42 is opened. Thereby, the moving speed of the 1st piston 52 at the time of opening the valve body 42 can be reduced. As a result, as shown in FIG. 3, when the supply of the coating liquid 20 is started, the pressure increase of the coating liquid 20 in the supply path 21 leading to the coating die 15 can be suppressed. The swelling of the coating film in can be eliminated.

또한, 본 실시 형태에서는, 공급 밸브(12)를 폐쇄할 때에 압공실(51)에 공급하는 압력 공기의 압력 P와, 공급 밸브(12)를 개방할 때에 압공실(50)에 공급하는 압력 공기의 압력 P가, 동일한 값으로 설정되어 있으므로, 압공실(50, 51)에 대한 압력 공기의 공급/대기 개방의 전환을 계속 행해도, 제1 피스톤(52)의 왕복 동작을 안정적으로 행할 수 있다. 그 때문에, 도 3에 도시하는 바와 같이, 도포 영역의 길이 L을, 안정적으로 형성할 수 있다.In addition, in this embodiment, the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 51 when the supply valve 12 is closed, and the pressure air supplied to the pressure chamber 50 when the supply valve 12 is opened. Since the pressure P of is set to the same value, the reciprocating operation of the first piston 52 can be stably performed even if the supply/air opening of the pressure air to the pressure chambers 50 and 51 is continuously switched. . Therefore, as shown in FIG. 3, the length L of the application area can be stably formed.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제1 피스톤(52)의 구동력 F1에 의해, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동되고 있는 동안, 제2 피스톤(62)에도, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동력 F2가 작용하고 있다. 그 때문에, 밸브체(42)를 폐쇄할 때, 제1 피스톤(52)의 이동 속도는 올라가지만, 이것은, 도포 다이(15)에 대한 도액(20)의 공급을 빠르게 정지시키는 방향으로 작용하기 때문에, 도포막의 막 두께 변동에 영향을 미치는 일은 없다.In addition, in the present embodiment, as shown in Fig. 3(a), the second piston while being driven in the direction of closing the valve body 42 by the driving force F 1 of the first piston 52 Also in 62, the driving force F 2 acts in the direction of closing the valve body 42. Therefore, when the valve body 42 is closed, the movement speed of the first piston 52 increases, but this acts in a direction to quickly stop the supply of the coating liquid 20 to the application die 15. , There is no effect on the film thickness variation of the coating film.

또한, 본 실시 형태에서는, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에는 항시, 일정한 압력 P의 압력 공기가 공급되므로, 제1 피스톤(52)의 왕복 동작을 안정적으로 행할 수 있다.Moreover, in this embodiment, since the pressure air of the constant pressure P is always supplied to the pressure chamber 61 of the 2nd air cylinder 14, the reciprocating operation of the 1st piston 52 can be performed stably.

도 4는, 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 제2 에어 실린더(14)의 배치를 도시한 도면이며, 도 4의 (a)는 공급 밸브(12)를 폐쇄하는 동작을 도시하고, 도 4의 (b)는 공급 밸브(12)를 개방하는 동작을 도시하고 있다.4 is a view showing the arrangement of the second air cylinder 14 in another embodiment of the present invention, and FIG. 4(a) shows the operation of closing the supply valve 12, and FIG. 4 (B) shows the operation of opening the supply valve 12.

도 4에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 제2 에어 실린더(14)는, 공급 밸브(12)에 대해, 제1 에어 실린더(13)와 반대측에 배치되어 있다. 또한, 제2 피스톤(62)은 로드(63)를 통해, 밸브체(42)에 직접 연결되어 있다. 또한, 로드(63)는, 제1 에어 실린더(13)의 로드(53)와, 축심이 일치하고 있는 것이 바람직하다.4, the 2nd air cylinder 14 in this embodiment is arrange|positioned on the opposite side to the 1st air cylinder 13 with respect to the supply valve 12. As shown in FIG. Further, the second piston 62 is directly connected to the valve body 42 through the rod 63. Moreover, it is preferable that the rod 63 and the rod 53 of the 1st air cylinder 13 coincide with the shaft center.

제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에는 항시, 일정한 압력 P의 압력 공기가 공급되고 있다. 그 때문에, 제2 에어 실린더(14)에 있어서, 밸브체(42)에 연결된 제2 피스톤(62)은 항시, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동되고 있다. 따라서, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 제2 피스톤(62)의 구동력 F2에 의해, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로, 일정한 브레이크가 걸린 상태로 되어 있다. 이에 의해, 밸브체(42)를 개방할 때의 제1 피스톤(52)의 이동 속도를 낮출 수 있다. 그 결과, 도액(20)의 공급 개시 시에, 도포 다이(15)로 통하는 공급로(21) 내의 도액(20)의 압력 상승을 억제할 수 있으므로, 도포 개시 단부에 있어서의 도포막의 부풀어 오름을 해소할 수 있다.Pressure air at a constant pressure P is always supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14. Therefore, in the second air cylinder 14, the second piston 62 connected to the valve body 42 is always driven in the direction in which the first piston 52 closes the valve body 42. Therefore, as shown in FIG. 4(b), by the driving force F 2 of the second piston 62, the first piston 52 moves in a direction against moving the valve body 42 in the opening direction. , It is in a state where a constant brake is applied. Thereby, the moving speed of the 1st piston 52 at the time of opening the valve body 42 can be reduced. As a result, since the pressure rise of the coating liquid 20 in the supply path 21 leading to the coating die 15 can be suppressed at the time of starting the supply of the coating liquid 20, the swelling of the coating film at the coating start end is prevented. Can be solved.

이상, 본 발명을 적합한 실시 형태에 의해 설명해 왔지만, 이러한 기술은 한정 사항은 아니며, 물론 다양한 개변이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제2 에어 실린더(14)를, 제1 에어 실린더(13)의 양측에, 2개 병렬하여 배치하였지만, 제1 에어 실린더(13)의 편측에, 1개의 제2 에어 실린더(14)를 병렬로 배치해도 된다. 이 경우, 제1 에어 실린더(13)의 로드(53)와, 제2 에어 실린더(14)의 로드(63)의 강성을 높여 두는 것이 바람직하다.As described above, the present invention has been described by suitable embodiments, but these technologies are not limited, and various modifications are possible, of course. For example, in the above embodiment, as shown in FIG. 1, the second air cylinders 14 are arranged in parallel on both sides of the first air cylinders 13, but the first air cylinders 13 ), one second air cylinder 14 may be arranged in parallel on one side. In this case, it is preferable to increase the rigidity of the rod 53 of the first air cylinder 13 and the rod 63 of the second air cylinder 14.

또한, 상기 실시 형태에서는, 제1 에어 실린더(13)의 압공실(50, 51)에 공급하는 압력 공기의 압력 P와, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에 공급하는 압력 공기의 압력 P를, 동일한 값으로 하였지만, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동하는 구동력 F1이, 제2 피스톤(62)이, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동하는 구동력 F2보다 커지도록, 제1 에어 실린더(13)의 압공실(50, 51)에 공급하는 압력 공기의 압력과, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에 공급하는 압력 공기의 압력을, 각각 설정해도 된다.Moreover, in the said embodiment, the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chambers 50 and 51 of the 1st air cylinder 13, and the pressure air supplied to the pressure chamber 61 of the 2nd air cylinder 14 Although the pressure P of was set to the same value, the driving force F 1 for the first piston 52 to drive in the direction in which the valve body 42 is opened, the second piston 62 to close the valve body 42 The pressure of air supplied to the pressure chambers 50 and 51 of the first air cylinder 13 and the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 are increased so as to be greater than the driving force F 2 driven in one direction. The pressures of the pressure air to be supplied may be set respectively.

또한, 상기 실시 형태에서는, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에는 항시, 일정한 압력 P의 압력 공기가 공급되고 있는 구성을 예시하였다. 그렇게 함으로써, 구동력 F2를 일정하게 유지할 수 있으므로 바람직하다. 그러나 본 발명을 구체화하는 데 있어서는, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에 대한 압력 공기의 공급이, 압공실(50, 51)에 대한 압력 공기의 공급(즉, 제1 에어 실린더(13)의 구동)과 연동하여 행해지는 구성으로 해도 된다. 이 경우라도, 제1 에어 실린더(13)를 구동하고 있는 동안, 제2 에어 실린더(14)가 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동되게 된다.In addition, in the above-described embodiment, a configuration in which pressure air at a constant pressure P is always supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 is exemplified. By doing so, it is preferable because the driving force F 2 can be kept constant. However, in the embodiment of the present invention, the supply of pressure air to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 is the supply of pressure air to the pressure chambers 50 and 51 (that is, the first air cylinder (13)). Even in this case, while driving the first air cylinder 13, the second air cylinder 14 is driven in the direction of closing the valve body 42.

혹은, 제2 에어 실린더(14)의 압공실(61)에 대한 압력 공기의 공급이, 압공실(50)에 대한 압력 공기의 공급과 연동하여 행해지는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 제1 에어 실린더(13)가 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동하고 있는 동안, 제2 에어 실린더(14)가 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동되어, 일정한 브레이크가 걸린 상태가 된다.Alternatively, the configuration in which the supply of pressure air to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 is performed in conjunction with the supply of pressure air to the pressure chamber 50 may be employed. In this case, while the first air cylinder 13 is driving in the direction of opening the valve body 42, the second air cylinder 14 is driven in the direction of closing the valve body 42, resulting in a constant brake. It becomes stuck.

또한, 상기 실시 형태에서는, 공급 밸브(12)를 개방할 때의 제1 피스톤(52)의 이동 속도를 낮추는 수단으로서, 공급 밸브(12)의 밸브체(42)를 구동하는 제1 에어 실린더(13)에, 제1 피스톤(52)의 이동 방향에 거스르는 방향으로 하중을 가하는 제2 에어 실린더(14)를 브레이크 실린더로서 부가하였지만, 예를 들어 도 5의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 밸브체(42)와 연동하여 동작하는 로드(53)에, 제1 에어 실린더(13)에 대해 양측에 로드(63)를 연결하고, 이 로드(63)에, 일정한 반력을 부여하는 브레이크 기구(70)를 마련해도 된다. 구체적으로는, 한 쌍의 로드(63)의 선단에 플레이트(71)를 설치하고, 그 플레이트(71)를 사이에 끼우는 위치에 마찰 패드(72)를 배치함으로써, 브레이크 기구(70)를 구성할 수 있다.In addition, in the above-described embodiment, as the means for lowering the moving speed of the first piston 52 when the supply valve 12 is opened, the first air cylinder driving the valve body 42 of the supply valve 12 ( To 13), a second air cylinder 14 that applies a load in a direction counter to the direction of movement of the first piston 52 was added as a brake cylinder, for example, as shown in Figs. 5A and 5B. As described above, to the rod 53 operating in conjunction with the valve body 42, the rods 63 are connected to both sides of the first air cylinder 13, and a constant reaction force is applied to the rods 63 The brake mechanism 70 may be provided. Specifically, the brake mechanism 70 can be configured by providing a plate 71 at the tip of a pair of rods 63 and disposing the friction pads 72 at positions where the plates 71 are sandwiched. Can.

도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동할 때는, 마찰 패드(72)는 플레이트(71)로부터 이격되어 있으므로, 로드(63)에 대해 마찰력(브레이크)은 가해지지 않는다.As shown in FIG. 5(a), when the first piston 52 drives in the direction in which the valve body 42 is closed, the friction pad 72 is spaced from the plate 71, and thus the rod Friction force (brake) is not applied to (63).

한편, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동할 때는, 플레이트(71)를 마찰 패드(72)로 압박함으로써, 로드(63)에 대해 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로 마찰력 R이 가해진다.On the other hand, as shown in Fig. 5B, when the first piston 52 drives in the direction in which the valve body 42 is opened, the plate 71 is pressed against the friction pad 72, Friction force R is applied to the rod 63 in a direction counter to moving in the direction of opening the valve body 42.

이 경우, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동하는 구동력 F1은, 밸브체(42)와 연동하여 동작하는 로드(63)에 부여되는 마찰력 R보다 커지도록 설정되어 있다. 이에 의해, 로드(63)에 부여된 마찰력 R에 의해, 제1 피스톤(52)이 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로, 일정한 브레이크가 걸린 상태가 된다. 이에 의해, 밸브체(42)를 개방할 때의 제1 피스톤(52)의 이동 속도를 낮출 수 있다.In this case, the driving force F 1 for driving the first piston 52 in the direction of opening the valve body 42 is greater than the frictional force R applied to the rod 63 operating in conjunction with the valve body 42. It is set. Thereby, with the frictional force R applied to the rod 63, a constant brake is applied in a direction against the movement of the first piston 52 in the direction in which the valve body 42 is opened. Thereby, the moving speed of the 1st piston 52 at the time of opening the valve body 42 can be reduced.

이러한 브레이크 기구(70)에 의한 마찰력 R은, 밸브체(42)의 변위(로드(63)의 이동 거리)에 따라 변화되지 않으므로, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로, 일정한 브레이크를 걸 수 있다.Since the friction force R by the brake mechanism 70 does not change according to the displacement of the valve body 42 (the moving distance of the rod 63), the first piston 52 opens the valve body 42. In the direction against moving in the direction, a certain brake can be applied.

도 6의 (a), (b)는, 브레이크 기구의 다른 예를 도시한 도면이며, 도 6의 (a)는, 공급 밸브(12)를 폐쇄하는 동작을 도시하고, 도 6의 (b)는, 공급 밸브(12)를 개방하는 동작을 도시하고 있다.6(a) and 6(b) are views showing another example of the brake mechanism, and FIG. 6(a) shows the operation of closing the supply valve 12, and FIG. 6(b) Shows an operation of opening the supply valve 12.

도 6의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 밸브체(42)에, 제1 에어 실린더(13)와는 반대측에, 밸브체(42)와 연동하여 왕복 동작하는 로드(81)를 연결하고, 이 로드(81)의 선단에, 완충재(80)를 설치함으로써, 브레이크 기구를 구성할 수 있다.6(a) and 6(b), a rod 81 reciprocatingly interlocked with the valve body 42 on the valve body 42 and on the opposite side to the first air cylinder 13 is provided. The brake mechanism can be configured by connecting and providing the cushioning material 80 at the tip of the rod 81.

도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 구동하였을 때, 로드(81)로 완충재(80)를 압축함으로써, 로드(81)에 대해, 밸브체(42)를 개방하는 방향으로 이동하는 것을 거스르는 방향으로 반력 R이 가해진다. 또한, 도 6의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제1 피스톤(52)이, 밸브체(42)를 폐쇄하는 방향으로 구동할 때는, 완충재(80)는 로드(81)에 의해 압축되지 않으므로, 로드(81)에 대해 브레이크는 걸리지 않는다.As shown in FIG. 6B, when the first piston 52 is driven in the direction in which the valve body 42 is opened, the rod 81 is compressed by the rod 81 to compress the rod 81. With respect to ), a reaction force R is applied in a direction countering the movement of the valve body 42 in the opening direction. Further, as shown in Fig. 6A, when the first piston 52 is driven in the direction in which the valve body 42 is closed, the cushioning material 80 is not compressed by the rod 81. , The brake is not applied to the rod 81.

1: 간헐 도포 장치
10: 도액 탱크(공급부)
11: 펌프
12: 공급 밸브
13: 제1 에어 실린더
14: 제2 에어 실린더
15: 도포 다이(도포부)
16: 매니폴드
17: 회수 밸브
18: 에어 실린더
19: 제어부
20: 도액
21: 공급로
22: 회수로
30: 기재
31: 도포막
40, 41: 액류실
42: 밸브체
43: 밸브 시트
50, 51: 압공실
52: 제1 피스톤
53: 로드
60, 61: 압공실
62: 제2 피스톤
63: 로드
70: 브레이크 기구
71: 플레이트
72: 마찰 패드
80: 완충재(브레이크 기구)1: Intermittent coating device
10: coating liquid tank (supply unit)
11: Pump
12: Supply valve
13: first air cylinder
14: second air cylinder
15: coating die (applying part)
16: Manifold
17: recovery valve
18: air cylinder
19: Control
20: plating liquid
21: Supply route
22: Recovery route
30: description
31: coating film
40, 41: Liquid room
42: valve body
43: valve seat
50, 51: pressure chamber
52: first piston
53: Rod
60, 61: pressure chamber
62: second piston
63: Rod
70: brake mechanism
71: Plate
72: friction pad
80: cushioning material (brake mechanism)

Claims (8)

연속적으로 반송되는 기재의 표면에, 도액을 간헐적으로 도포하여, 도포 영역과 미도포 영역을 단속적으로 형성하는 간헐 도포 장치이며,
상기 도액을 공급하는 공급부와,
상기 공급부로부터 공급된 도액을, 공급로를 통해, 상기 기재의 표면에 도포하는 도포부와,
상기 공급로를 개폐하는 밸브체를 갖는 공급 밸브와,
상기 밸브체를 구동하는 구동부를
구비하고,
상기 구동부는, 제1 에어 실린더와, 제2 에어 실린더로 구성되고,
상기 제1 에어 실린더는, 상기 밸브체에 연결된 제1 피스톤의 왕복 동작에 의해,
상기 밸브체의 개폐를 제어하고,
상기 제2 에어 실린더는, 상기 밸브체에 연결된 제2 피스톤이, 상기 제1 피스톤이 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 구동되는, 간헐 도포 장치.It is an intermittent coating device which intermittently applies a coating liquid to the surface of a substrate that is continuously conveyed to intermittently form an application area and an uncoated area,
And a supply unit for supplying the coating liquid,
A coating unit for applying the coating liquid supplied from the supply unit to the surface of the substrate through a supply path,
And a supply valve having a valve body for opening and closing the supply path,
The driving unit for driving the valve body
Equipped,
The driving unit is composed of a first air cylinder and a second air cylinder,
The first air cylinder, by the reciprocating action of the first piston connected to the valve body,
Control the opening and closing of the valve body,
The second air cylinder, the second piston connected to the valve body, the first piston is driven in the direction of closing the valve body, the intermittent coating device. 제1항에 있어서,
상기 제2 에어 실린더는, 상기 공급 밸브에 대해, 상기 제1 에어 실린더와 동일한 측에 배치되어 있고,
상기 제2 피스톤은, 상기 제1 피스톤에 연결되어 있는, 간헐 도포 장치.According to claim 1,
The second air cylinder is disposed on the same side as the first air cylinder with respect to the supply valve,
The second piston is connected to the first piston, intermittent coating device. 제2항에 있어서,
상기 제2 에어 실린더는, 상기 제1 에어 실린더의 양측에, 2개 병렬로 배치되어 있는, 간헐 도포 장치.According to claim 2,
The said 2nd air cylinder is intermittent application apparatus arrange|positioned in two parallel to both sides of the said 1st air cylinder. 제1항에 있어서,
상기 제1 피스톤이, 상기 밸브체를 개방하는 방향으로 구동하는 구동력이, 상기 제2 피스톤이, 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 구동하는 구동력보다 커지도록, 상기 제1 에어 실린더 및 상기 제2 에어 실린더에 입력되는 압력 공기의 압력이, 각각 설정되어 있는, 간헐 도포 장치.According to claim 1,
The first air cylinder and the second air so that the driving force for driving the first piston in the direction of opening the valve body is greater than the driving force for driving the second piston in the direction for closing the valve body. The intermittent coating device in which the pressure of the pressure air input to the cylinder is set respectively. 제1항에 있어서,
상기 제2 에어 실린더는, 상기 공급 밸브에 대해, 상기 제1 에어 실린더와 반대측에 배치되어 있고,
상기 제2 피스톤은, 상기 밸브체에 직접 연결되어 있는, 간헐 도포 장치.According to claim 1,
The second air cylinder is disposed on the side opposite to the first air cylinder with respect to the supply valve,
The second piston is intermittent coating device, which is directly connected to the valve body. 제1항에 있어서,
상기 제1 에어 실린더에 있어서, 상기 밸브체를 개방하는 방향으로 구동할 때에 입력되는 압력 공기의 압력과, 상기 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 구동할 때에 입력되는 압력 공기의 압력은, 동일한 값으로 설정되어 있는, 간헐 도포 장치.According to claim 1,
In the first air cylinder, the pressure air pressure input when driving in the direction of opening the valve body and the pressure air pressure input when driving in the direction of closing the valve body are set to the same value. Intermittent coating device. 연속적으로 공급되는 기재의 표면에, 도액을 간헐적으로 도포하여, 일정한 길이의 도포 패턴을 연속적으로 형성하는 간헐 도포 장치이며,
상기 도액을 공급하는 공급부와,
상기 공급부로부터 공급된 도액을, 공급로를 통해, 상기 기재의 표면에 도포하는 도포부와,
상기 공급로를 개폐하는 밸브체를 갖는 공급 밸브와,
상기 밸브체를 구동하는 에어 실린더를
구비하고,
상기 에어 실린더는, 상기 밸브체에 연결된 피스톤의 왕복 동작에 의해, 상기 밸브체의 개폐를 제어하고,
상기 밸브체에는, 상기 에어 실린더와 반대측에, 상기 밸브체와 연동하여 왕복 동작하는 로드가 연결되어 있고,
상기 로드에는, 상기 피스톤이, 상기 밸브체를 개방하는 방향으로 구동하였을 때, 상기 밸브체와 연동하여 동작하는 상기 로드에 일정한 마찰력을 부여하는 브레이크 기구가 마련되어 있는, 간헐 도포 장치.It is an intermittent coating device which intermittently applies a coating liquid to the surface of a substrate that is continuously supplied, thereby continuously forming a coating pattern of a constant length,
And a supply unit for supplying the coating liquid,
A coating unit for applying the coating liquid supplied from the supply unit to the surface of the substrate through a supply path,
And a supply valve having a valve body for opening and closing the supply path,
The air cylinder driving the valve body
Equipped,
The air cylinder controls the opening and closing of the valve body by a reciprocating operation of a piston connected to the valve body,
A rod that reciprocates in connection with the valve body is connected to the valve body, on the opposite side to the air cylinder,
The rod is provided with a brake mechanism that provides a constant frictional force to the rod operating in conjunction with the valve body when the piston is driven in the direction in which the valve body is opened. 제7항에 있어서,
상기 피스톤이, 상기 밸브체를 개방하는 방향으로 구동하는 구동력은, 상기 밸브체와 연동하여 동작하는 상기 로드에 부여되는 마찰력보다 커지도록 설정되어 있는, 간헐 도포 장치.The method of claim 7,
The intermittent coating device, wherein the driving force for the piston to drive in the direction of opening the valve body is set to be greater than the frictional force applied to the rod operating in conjunction with the valve body.
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