KR20200067171A - 웨이퍼커팅 와이어톱 - Google Patents

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KR20200067171A
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프리시전 써페이싱 솔루션즈 게엠베하
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Abstract

본 발명은 2개 이상의 롤러마운트(20,30)를 포함하고 다수의 웨이퍼를 절단하는 웨이퍼커팅 와이어톱(1)에 관한 것이다. 롤러(20,30) 각각이 커팅와이어웹(4)을 지지하는 와이어 가이드롤러(2,3)를 착탈 가능하게 지지할 수 있고; 롤러마운트(20,30) 각각이 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부에서 맞물기 위한 제1 축부(7)와 제1 롤러결합부(25)를 갖춘 제1 홀딩부재(5), 및 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부 반대쪽의 제2 측면부에서 맞물기 위한 제2 축부(8)와 제2 롤러결합부(26)를 갖춘 제2 홀딩부재(6)를 포함하며; 롤러결합부(25,26)가 서로 마주보고, 제1 홀딩부재(5)와 제2 홀딩부재(6)의 회전축들이 서로 일치하며; 홀딩부재들(5,6) 각각이 베어링(9,10) 각각에 회전 가능하게 지지되고, 베어링(9,10)은 홀딩부재들(5,6)의 축부(7,8)를 둘러싸면서 베어링 지지부(11,12) 안에 배치되며; 제1 홀딩부재(5)의 제1 롤러결합부(25)와 제2 홀딩부재(6)의 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)이 제1 홀딩부재(5)나 제2 홀딩부재(6)의 축부(7,8)를 둘러싼 베어링(9,10), 바람직하게는 롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)의 직경(D)보다 6배 이상이다.

Description

웨이퍼커팅 와이어톱
본 발명은 청구항 1에 기재된대로 다수의 웨이퍼들을 절단하기 위한 웨이퍼커팅 와이어톱에 관한 것이다.
종래의 와이어톱에서는 커팅 와이어웹을 지지하는 와이어 가이드롤러들이 회전식 홀딩부재에 분리 가능하게 설치된다. 이런 작업은 와이어 가이드롤러의 표면에 상보적으로 맞닿는 홀딩부재의 원추면(테이퍼면)을 축방향으로 압박하여 이루어진다. 이런 식으로, 와이어 가이드롤러가 양쪽 홀딩부재들 사이에 착탈가능하게 고정된다.
강력한 대형 베어링을 이용해 홀딩부재들을 단단히 홀딩하고 와이어 가이드롤러를 단단하게 만드는 기술이 예를 들어 CN202293065U, JP5964197B2, KR20160086592A에 소개되어 있다.
대형 베어링은 베어링의 원주 속도와 미찰손실과 온도가 베어링의 반경에 따라 선형으로 증가하기 때문에 와이어 가이드롤러의 회전주기를 제한한다. 회전주기를 낮게 유지하면 절단시간이 늘어나 아웃풋이 줄어든다. 커팅와이어의 속도가 높을수록 웨이퍼 품질이 높아지기 때문에, 회전주기의 제한은 웨이퍼 품질에 악영향을 미친다.
와이어 가이드롤러를 짧게 만들면 웨이퍼의 갯수면에서 와이어톱의 처리량이 줄어들어 역시 바람직하지 못하다.
본 발명의 목적은 이런 문제점들을 극복하고, 처리량을 높게 유지하면서도 웨이퍼 품질을 높임과 동시에 절단시간을 줄이는 와이어톱을 제공하는데 있다. 그와 동시에, 홀딩부재와 이런 홀딩부재를 회전 가능하게 지지하는 베어링들을 포함한 롤러 마운트들은 공간절약 디자인을 가져야만 한다. 이 경우 장비의 비용이 절감된다.
본 발명의 이런 목적은 제1 홀딩부재의 제1 롤러결합부와 제2 홀딩부재의 제2 롤러결합부의 간격이 제1 홀딩부재나 제2 홀딩부재의 축부를 둘러싼 베어링, 바람직하게는 롤러결합부에 가장 가까운 베어링의 직경보다 6배 이상, 바람직하게는 8배 이상, 더 바람직하게는 10배 이상인 하는 와이어톱에 의해 달성된다.
이와 같은 비율에서, 홀딩부재들은 커팅 와이어웹에 의해 와이어 가이드롤러에 가해진 장력에 최적으로 적응할 수 있다. 베어링의 내경(직경)이 작을수록 외측 베어링링의 방사상 움직임이 줄어든다. 이 경우 롤러의 벤딩이 더 크게 허용되기 때문에 양쪽 롤러결합부의 간격을 가능한 크게 할 수 있다. 홀딩부재는 가이드롤러에서 전달된 장력에 더 쉽게 적응할 수 있고, 이때문에 홀딩부재들과 그 사이에 고정된 와이어 가이드롤러로 이루어진 유닛의 벤딩을 묘사하는 공통 벤딩라인에 맞게 홀딩부재들이 기울어질 수 있다. 이때문에, 추가 벤딩이 생겨도 웨이퍼 품질에 영향을주지 않음은 물론, (이제 좀더 유연한 적응성을 갖는) 와이어 가이드롤러나 다른 부품들에도 악영향을 주지 못한다.
양쪽 롤러결합부들의 큰 간격에 비해 베어링의 내경이 작을수록 홀딩부재들이 고속으로 구동될 수 있는데, 이는 베어링 내부에서의 상대속도와 마찰이 베어링의 직경 축소와 더불어 작아지기 때문이다(v=R x ω). 베어링의 구름요소들(예; 원통형이나 볼형 요소)이 베어링 링과 큰 접촉면적을 가져 변형이 덜하기 때문에 마찰도 더 낮아진다.
그와 동시에, 와이어 가이드롤러의 길이가 증가해 와이어웹도 길어진다. 더 크거나 많은 공작물도 병렬로 절단할 수 있다.
홀딩부재의 롤러결합부는 작업중에 홀딩부재가 와이어 가이드롤러와 만나는 부분, 즉 와이어 가이드롤러의 상보적 부위와 맞닿는 부분이다.
제1 홀딩부재의 제1 롤러결합부와 제2 홀딩부재의 제2 롤러결합부 사이의 간격은 와이어톱이 작동하는 동안의 롤러결합부들의 간격에, 즉 홀딩부재들 사이에 고정된 와이어 가이드롤러에 일치하는 것이 바람직하다. 해제 상태에서는 양쪽 롤러결합부들이 작동상태보다서로 약간 더 벌어져 있어, 와이어 가이드롤러의 분리와 교환을 용이하게 한다.
와이어톱은 커팅 와이어웹을 지지하는 와이어 가이드롤러를 2개 이상 갖는데, 적어도 하나의 와이어 가이드롤러는 마운트의 제1 홀딩부재와 제2 홀딩부재 사이에 착탈 가능하게 고정되고, 와이어 가이드롤러의 축선은 제1, 제2 홀딩부재들의 회전축들과 일치한다. 와이어톱의 작동상태에서 와이어 가이드롤러는 와이어톱에 설치된다. 와이어 가이드롤러의 설치상태(작동상태)에서, 커팅와이어도 와이어 가이드롤러에 감겨셔 커팅 와이어웹을 형성한다.
적어도 하나의 베어링, 바람직하게는 롤러결합부에 가장 가까이 있는 베어링은 레이디얼베어링, 바람직하게는 롤러베어링이다. 레이디얼베어링은 반경방향 힘을 받으면서도 베어링 지지부내의 홀딩부재들의 틸팅을 허용한다. 허용되는 틸팅 크기는 베어링 종류에 좌우된다.
적어도 하나의 홀딩부재는 베어링 지지부내의 2개이상의 베어링에 지지되고, 제1 롤러결합부와 제2 롤러결합부의 간격은 롤러결합부에 가장 가까운 베어링의 축선과 인접 베어링의 축선의 간격의 5배 이상, 바람직하게는 10배 이상, 더 바람직하게는 15배 이상이다. 베어링들의 간격이 짧으면 베어링지지부 내의 홀딩부재의 유연성(틸팅)이 높아짐과 동시에 공간절감 디자인도 가능하다. "베어링의 축방향 중심"은 베어링의 축방향 연장부의 중앙을 의미한다.
적어도 하나의 홀딩부재가 베어링 지지부 내의 베어링들 중의 적어도 2개의 베어링에 지지되고, 제1 홀딩부재의 제1 롤러결합부와 제2 홀딩부재의 제2 롤러결합부의 간격은 롤러결합부에 가장 가까운 베어링과 가장 먼 베어링의 축선 간격보다 5배 이상, 바람직하게는 10배 이상, 더 바람직하게는 15배 이상일 수 있다. 마찬가지로, 베어링들의 간격이 짧아 베어링 지지부내의 홀딩부재의 유연성(틸팅)이 높아지고 공간절감 디자인도 가능하다.
또, 와이어 가이드롤러의 와이어 수납면의 직경은 제1 홀딩부재나 제2 홀딩부재의 축부를 둘러싸면서도 롤러결합부에 가장 가까운 베어링의 직경보다 크되, 바람직하게는 1.5배 이상, 더 바람직하게는 2배 이상 큰 것이 좋다. 전술한 것처럼, 베어링의 내경이 작으면 와이어 가이드롤러와 홀딩부재 사이의 힘전달이 최적화되고 회전속도를 높일 수 있다.
또, 가이드롤러의 길이는 가이드롤러의 와이어 수납면의 직경보다 3배 이상, 바람직하게는 4배 이상, 더 바람직하게는 5배 이상인 것이 좋다. 이 비율은 양쪽 롤러결합부들 사이의 간격은 늘리고 베어링의 내경은 줄인다는 본 발명의 개념을 반영한다. 와이어 가이드롤러의 와이어 수납면의 직경을 크게 하면, 와이어 속도는 증가되고 베어링에서의 속도는 증가되지 않는다.
또, 적어도 하나의 홀딩부재가 베어링 지지부 내의 베어링들 중의 적어도 2개의 베어링에 지지되고, 베어링들 중의 적어도 하나는 트러스트베어링, 바람직하게는 볼베어링인 것이 좋다.
또, 적어도 하나의 홀딩부재, 바람직하게는 제2 홀딩부재가 하나의 레이디얼베어링에 의해 베어링 지지부내에 지지되고, 및/또는 다른 홀딩부재, 바람직하게는 제1 홀딩부재는 하나의 레이디얼베어링과 하나나 두개의 트러스트베어링에 의해 베어링 지지부내에 지지되는 것이 좋다.
또, 모든 베어링들이 와이어 가이드롤러 외부에 배치되어, 베어링들이 와이어 가이드롤러 내부로 들어가지 않는 것이 좋다. 와이어 가이드롤러 안으로 들어가는 홀딩부재 부분을 작게 하면, 와이어 가이드롤러들을 반경방향으로 분해할 수 있어 교체가 더 쉬워진다.
또, 제1 홀딩부재의 제1 롤러결합부 및/또는 제2 홀딩부재의 제2 롤러결합부가 홀딩부재들의 회전축에 대칭인 테이퍼 부위를 포함하고, 홀딩부재(5,6)의 테이퍼 부위는 이 테이퍼 부위에 상보적인 부분을 갖는 가이드롤러의 결합부에 맞닿는 것이 바람직하다.
본 발명의 비율과 관련해 테이퍼 부위들을 통한 결합 때문에 커팅 와이어웹의 장력으로 최적의 결과를 낼 수 있다.
또, 제1 롤러결합부 및/또는 제2 롤러결합부가 홀딩부재들의 회전축에 직각인 축방향 정지부를 갖고, 이 축방향 정지부가 테이퍼 부위의 방사상 외곽에 배치되는 것이 바람직하다.
축방향 정지부를 통해 와이어 가이드롤러와 홀딩부재 사이로 축방향 장력을 전달할 수 있어, 와이어 가이드롤러와 홀딩부재 사이의 결합부에 비틀림이 생기지 않는다.
또, 적어도 하나의 홀딩부재가 전기모터의 로터의 연장부이거나 로터에 연결되고, 와이어톱의 전기모터가 고정자와 로터를 가지며, 로터가 고정자를 둘러싸는 것이 바람직하다. 로터가 고정자 내부에 지지되지 않는 것이 좋다. 고정자에 둘러싸인 로터가 홀딩부재만에 지지되는 것이 좋다. 홀딩부재와 로터는 전기모터와 홀딩부재의 롤러결합부 사이의 영역에 배치된 베어링에 고정되는 회전체를 형성한다.
또, 로터가 전기모터 내부나 전기모터의 고정자 내부에 고정되어, 홀딩부재에서 가장 멀리있는 로터의 단부의 방사상 이격이 0.1mm 이상, 바람직하게는 0.3mm 이상으로 에어갭 형태인 것이 바람직하다. 이런 이격이 0.5~0.6 mm 일 수 있다. 이런 이격은 로터의 상기 단부를 둘러싸는 비회전 구조체에 대한 것이고, 이 구조체는 전기모터의 하우징의 일부나 고정자의 일부일 수 있다. 이때문에 홀딩부재의 틸팅 움직임이 높은 정도로 허용된다.
또, 로터가 전기모터 내부이자 고정자 바깥에 회전 가능하게 지지되고, 바람직하게는 홀딩부재를 마주보는 전기모터의 측면에 지지되는 것이 좋다. 마찬가지로, 회전축에 대한 홀딩부재의 틸팅이 높은 정도로 허용된다.
또, 와이어톱이 홀딩부재들 사이에 와이어 가이드롤러를 고정하는 착탈식 고정메커니즘을 가질 수 있다.
이런 고정메커니즘이 홀딩부재들 사이에서 가이드롤러를 관통하는 당김부재인 풀링로드를 갖고, 이 당김부재는 홀딩부재들이 와이어 가이드롤러를 고정하는 잠금상태에서로부터 와이어 가이드롤러들이 홀딩부재들에서 풀릴 수 있는 해제상태로 갈 수 있다.
도 1은 양쪽 롤러 마운트들 사이에 고정된 와이어 가이드롤러를 보여주는 도면;
도 2는 도 1의 제1 롤러 마운트의 확대도;
도 3은 도 1의 제2 롤러마운트의 확대도;
도 4는 와이어톱의 수직단면도;
도 5는 와이어톱의 수평단면도.
도 4~5의 웨이퍼커팅 와이어톱(1)은 다수의 웨이퍼들을 절단하는 것으로 2개 이상의 롤러마운트(20,30)를 구비하며, 각각의 롤러마운트는 커팅와이어웹(4)을 지지하는 와이어 가이드롤러(2,3)를 착탈 지지한다.
도 1~3은 와이어 가이드롤러(2)를 갖춘 롤러마운트(20,30)를 자세히 보여준다.
롤러마운트(20,30) 각각은 아래 요소를 포함한다:
- 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부에서 맞물기 위한 제1 축부(7)와 제1 롤러결합부(25)를 갖춘 제1 홀딩부재(5); 및
- 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부 반대쪽의 제2 측면부에서 맞물기 위한 제2 축부(8)와 제2 롤러결합부(26)를 갖춘 제2 홀딩부재(6).
롤러결합부(25,26)는 서로 마주보고 있으며, 제1 홀딩부재(5)와 제2 홀딩부재(6)의 회전측들은 기본적으로 서로 일치한다.
제1 롤러결합부(25)와 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)은 제1 홀딩부재(5)나 제2 홀딩부재(6)의 축부(7,8)를 둘러싼 베어링(9,10)의 직경(D)보다 6배 이상인 것이 기본이지만, 8배 이상이면 더 좋고, 10배 이상이면 더더욱 좋다.
이런 비율계산에는, 롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)의 직경을 사용하는 것이 좋다.
도 1의 경우, F/D의 비가 9.3 정도이다.
도 1과 5에서 보듯이, 커팅와이어웹(4)을 받쳐주는 가이드롤러(2)는 마운트(20,30)의 제1 및 제2 홀딩부재들(5,6) 사이에 착탈 가능하게 고정된다. 이들 가이드롤러들(2,3)의 축들은 제1, 제2 홀딩부재들(5,6)의 회전축들과 기본적으로 일치한다.
도 1의 와이어톱(1)은 홀딩부재들(5,6) 사이에 와이어 가이드롤러(2,3)를 고정하는 착탈식 고정메커니즘을 채택한다. 이런 고정메커니즘의 당김부재인 풀링로드(16)는 홀딩부재들(5,6) 사이에서 가이드롤러(2,3)를 관통한다. 이런 당김부재는 홀딩부재들(5,6)이 와이어 가이드롤러(2,3)를 고정하는 잠금상태에서, 와이어 가이드롤러들이 홀딩부재들에서 풀릴 수 있는 해제상태로 될 수 있다. 고정력을 가하는 수단이 풀링로드(16)를 통해 제2 베어링 지지부(12)를 제1 베어링 지지부(11)쪽으로 당겨준다.
롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)으로는 레이디얼베어링을 사용하고, 롤러베어링이 바람직하다(도 1 참조).
도 1의 실시예에서는 제1 홀딩부재(5)가 베어링지지부(11)내의 3개의 베어링(9,19,20)로 지지된다. 이때, 제1 롤러결합부(25)와 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)은 기본적으로는 롤러결합부(25)에 가장 가까운 베어링(9)의 축선과 인접 베어링(19)의 축선의 간격(E)의 5배 이상이지만, 10배 이상이면 더 좋고 15배 이상이면 더 좋다(도 1에서는 26배 정도임).
베어링들(29,19)은 하나의 트러스트 베어링처럼 보인다.
한편, 간격(F)이 롤러결합부(25)에 가장 가까운 베어링(9)과 가장 먼 베어링(29)의 축선 간격(A)보다 5배 이상이거나, 10배 이상이거나 15배 이상일 수도 있다. F/A의 비가 도 1의 경우 13.5 정도이다.
와이어 가이드롤러(2,3)의 와이어 수납면(13)의 직경(B)은 제1 홀딩부재(5)나 제2 홀딩부재(6)의 축부(7,8)를 둘러싼 베어링(9,10), 바람직하게는 롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)의 직경(D)보다 크되, 바람직하게는 1.5배 이상, 더 바람직하게는 2배 이상 크다.
가이드롤러(2,3)의 길이(L)는 가이드롤러(2,3)의 와이어 수납면(13)의 직경(B)보다 3배 이상, 바람직하게는 4배 이상, 더 바람직하게는 5배 이상이고, L/B의 비는 도 1의 경우 4.3 정도이다.
도 1~와 같이, 베어링(9)은 레이디얼베어링이고, 베어링(19,29)는 트러스트베어링, 바람직하게는 볼베어링이다.
제1 홀딩부재(5)의 제1 롤러결합부(25)와 제2 홀딩부재(6)의 제2 롤러결합부(26) 각각의 테이퍼 부위는 홀딩부재들(5,6)의 회전축에 대칭으로 배치된다. 이런 테이퍼 부위는 홀딩부재들(5,6)의 결합부(25,26)의 테이퍼 부위에 보상되는 부위를 포함한 가이드롤러(2,3)의 결합부에 맞닿는다(도 2~3 참조).
또, 제1, 제2 롤러결합부(25,26) 각각의 축방향 정지부는 홀딩부재들(5,6)의 회전축에 직각이다. 도시된 실시예에서는 축방향 정지부가 테이퍼 부위의 방사상 외곽에 배치된다.
도 1~2에서 알 수 있듯이, 제1 홀딩부재(5)는 전기모터(14)의 로터(15)의 연장부이거나 로터에 연결된다. 와이어톱(1)의 전기모터(14)는 고정자와 로터(15)를 갖고, 홀딩부재(5)와 로터(15)는 전기모터(14)와 홀딩부재(5)의 롤러결합부(25) 사이의 영역에 배치된 베어링(9,19,29)에 고정된 회전체를 형성한다.
로터(15)가 전기모터(14) 내부에 고정되어, 홀딩부재(5)에서 가장 멀리있는 로터(15)의 단부의 방사상 이격이 0.1mm 이상, 바람직하게는 0.3mm 이상(예; 0.5mm와 0.6mm 사이)이고 에어갭을 이루는 것이 바람직하다.
로터(15)는 전기모터(15) 내부이자 고정자 바깥에 회전 가능하게 지지되고, 바람직하게는 홀딩부재(5)를 마주보는 전기모터(15)의 측면에 지지된다.

Claims (15)

  1. 2개 이상의 롤러마운트(20,30)를 포함하고 다수의 웨이퍼를 절단하는 웨이퍼커팅 와이어톱(1)에 있어서:
    롤러(20,30) 각각이 커팅와이어웹(4)을 지지하는 와이어 가이드롤러(2,3)를 착탈 가능하게 지지할 수 있고;
    롤러마운트(20,30) 각각이 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부에서 맞물기 위한 제1 축부(7)와 제1 롤러결합부(25)를 갖춘 제1 홀딩부재(5), 및 와이어 가이드롤러(2,3)를 제1 측면부 반대쪽의 제2 측면부에서 맞물기 위한 제2 축부(8)와 제2 롤러결합부(26)를 갖춘 제2 홀딩부재(6)를 포함하며;
    롤러결합부(25,26)가 서로 마주보고, 제1 홀딩부재(5)와 제2 홀딩부재(6)의 회전축들이 서로 일치하며;
    홀딩부재들(5,6) 각각이 베어링(9,10) 각각에 회전 가능하게 지지되고, 베어링(9,10)은 홀딩부재들(5,6)의 축부(7,8)를 둘러싸면서 베어링 지지부(11,12) 안에 배치되며;
    제1 홀딩부재(5)의 제1 롤러결합부(25)와 제2 홀딩부재(6)의 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)이 제1 홀딩부재(5)나 제2 홀딩부재(6)의 축부(7,8)를 둘러싼 베어링(9,10), 바람직하게는 롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)의 직경(D)보다 6배 이상, 바람직하게는 8배 이상, 더 바람직하게는 10배 이상인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  2. 제1항에 있어서, 와이어톱(2)이 커팅 와이어웹(4)을 지지하는 적어도 2개의 와이어 가이드롤러(2,3)를 포함하고, 이들 와이어 가이드롤러(2,3) 중의 적어도 하나는 제1 홀딩부재(5)와 제2 홀딩부재(6) 사이에 착탈 가능하게 고정되며, 와이어 가이드롤러(2,3)의 축선은 제1 및 제2 홀딩부재들(5,6)의 축선들과 일치하는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 롤러결합부(25,26) 각각에 가장 가까운 베어링(9,10)이 레이디얼베어링, 바람직하게는 롤러베어링인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 홀딩부재(5)가 베어링 지지부(11) 내의 베어링들(9,19,29) 중의 적어도 2개의 베어링에 지지되고, 제1 롤러결합부(25)와 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)이 롤러결합부(25)에 가장 가까운 베어링(9)의 축선과 인접 베어링(19)의 축선의 간격(E)의 5배 이상, 바람직하게는 10배 이상, 더 바람직하게는 15배 이상인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 홀딩부재(5)가 베어링 지지부(11) 내의 베어링들(9,19,29) 중의 적어도 2개의 베어링에 지지되고, 제1 홀딩부재(5)의 제1 롤러결합부(25)와 제2 홀딩부재(6)의 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)이 롤러결합부(25)에 가장 가까운 베어링(9)과 가장 먼 베어링(29)의 축선 간격(A)보다 5배 이상, 바람직하게는 10배 이상, 더 바람직하게는 15배 이상인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 하나에 있어서, 와이어 가이드롤러(2,3)의 와이어 수납면(13)의 직경(B)이 제1 홀딩부재(5)나 제2 홀딩부재(6)의 축부(7,8)를 둘러싸면서도 롤러결합부(25,26)에 가장 가까운 베어링(9,10)의 직경(D)보다 크되, 바람직하게는 1.5배 이상, 더 바람직하게는 2배 이상 큰 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  7. 제1항 내지 제6항 중의 어느 하나에 있어서, 가이드롤러(2,3)의 길이(L) 및/또는 제1 롤러결합부(25)와 제2 롤러결합부(26)의 간격(F)이 가이드롤러(2,3)의 와이어 수납면(13)의 직경(B)보다 3배 이상, 바람직하게는 4배 이상, 더 바람직하게는 5배 이상인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  8. 제1항 내지 제7항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 홀딩부재(5)가 베어링 지지부(11) 내의 베어링들(9,19,29) 중의 적어도 2개의 베어링에 지지되고, 베어링들(19,29) 중의 적어도 하나는 트러스트베어링, 바람직하게는 볼베어링인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  9. 제1항 내지 제8항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 홀딩부재(5)의 제1 롤러결합부(25) 및/또는 제2 홀딩부재(6)의 제2 롤러결합부(26)가 홀딩부재들(5,6)의 회전축에 대칭인 테이퍼 부위를 포함하고, 홀딩부재(5,6)의 테이퍼 부위는 이 테이퍼 부위에 상보적인 부분을 갖는 가이드롤러(2,3)의 결합부에 맞닿는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  10. 제1항 내지 제9항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 롤러결합부(25) 및/또는 제2 롤러결합부(26)가 홀딩부재들(5,6)의 회전축에 직각인 축방향 정지부를 갖고, 이 축방향 정지부가 테이퍼 부위의 방사상 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  11. 제1항 내지 제10항 중의 어느 하나에 있어서, 제1 홀딩부재(5)가 전기모터(14)의 로터(15)의 연장부이거나 로터에 연결되고, 와이어톱(1)의 전기모터(14)가 고정자와 로터(15)를 가지며, 홀딩부재(5)와 로터(15)가 전기모터(14)와 홀딩부재(5)의 롤러결합부(25) 사이의 영역에 배치된 베어링(9,19,29)에 고정된 회전체를 형성하는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  12. 제11항에 있어서, 로터(15)가 전기모터(14) 내부나 전기모터의 고정자 내부에 고정되어, 홀딩부재(5)에서 가장 멀리있는 로터(15)의 단부의 방사상 이격이 0.1mm 이상, 바람직하게는 0.3mm 이상으로 에어갭 형태인 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  13. 제1항 또는 제12항에 있어서, 로터(15)가 전기모터(15) 내부이자 고정자 바깥에 회전 가능하게 지지되고, 바람직하게는 홀딩부재(5)를 마주보는 전기모터(15)의 측면에 지지되는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  14. 제1항 내지 제13항 중의 어느 하나에 있어서, 와이어톱(1)이 홀딩부재들(5,6) 사이에 와이어 가이드롤러(2,3)를 고정하는 착탈식 고정메커니즘을 갖는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  15. 제14항에 있어서, 상기 고정메커니즘이 홀딩부재들(5,6) 사이에서 가이드롤러(2,3)를 관통하는 당김부재인 풀링로드(16)를 갖고, 상기 당김부재는 홀딩부재들(5,6)이 와이어 가이드롤러(2,3)를 고정하는 잠금상태에서로부터 와이어 가이드롤러들이 홀딩부재들에서 풀릴 수 있는 해제상태로 가는 것을 특징으로 하는 와이어톱.
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