KR20200046783A - 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치 - Google Patents

폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치 Download PDF

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KR20200046783A
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Abstract

본 발명은 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 카메라를 이용하여 패터닝 가공된 패널 검사장치를 정확한 사전설정위치에 위치시킨 후, 일방향으로 이송시키면서 다수 촬상을 하여, 패널 검사를 위한 촬상정보를 제공하며, 이중 검사용 라인스캔 카메라의 경우, 다수의 조명을 구비하여 마크, 잔막상태, 범프 등을 더욱 확실하고 정확하게 검사할 수 있는 촬상이 가능토록 한 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치에 관한 것이다.

Description

폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치{Inspection device for patterned panels in a foldable display panel}
본 발명은 폴더블 디스플레이 패널에서, 패터닝 가공된 패널의 가공부위를 확인하기 위해 정확한 촬상이 가능한 구성을 가지도록 한, 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 엘시디(LCD : Liquid Crystal Display), 유기발광다이오드(OLED : Organic Light Emitting Diodes) 및 EL(electroluminescence) 등은 FPD(평판 디스플레이)의 한 종류로 저소비 전력, 경량화 및 평면화 특성을 가지므로 텔레비전, 컴퓨터 및 휴대전화기 등의 모니터뿐만 아니라 자동차 및 항공기 등에 다양하게 사용되고 있다.
최근 업계에서는 유연성을 갖는 플렉서블 디스플레이(flexible display)의 개발이 활발하게 이루어지고 있다.
이러한 플렉서블 디스플레이는 단순히 휘어질 수 있는 것뿐만 아니라, 일정 정도 이상의 휘어짐을 견딜 수 있는 내구성 및 구동안정성을 가져야 한다.
보다 정확하게는, 플렉서블 디스플레이가 휘어진 상태 또는 휘어진 후 다시 펼쳐진 상태에서도 정상적인 영상을 표시할 수 있어야 한다. 이와 같이, 플렉서블 디스플레이가 정상적인 영상을 표시할 수 있는 범위 내에서 휘어짐이 가능한 정도, 즉 휨특성(Flexibility)은 플렉서블 디스플레이가 갖는 중요한 성능 중 하나이다.
특히, 최근에는 디스플레이를 완전히 접거나 펼쳐서 사용할 수 있는 폴더블 디스플레이(foldable display) 기술이 활발하게 개발되고 있는데, 이러한 폴더블 디스플레이의 제조에 있어, 이러한 폴더블 디스플레이의 접힘특성 검사을 위해, 패터닝 가공된 패널의 해당 가공부위를 확실하고 정확하게 촬상하는 작업이 필요하다.
대한민국 등록특허 10-1527815(2015.06.04.등록)
본 발명은 상기와 같기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널을 검사하기 위한 것으로, 열에 의해 폴딩을 위한 가공부위의 다양한 사전설정된 검사를 하기 위해, 사전에 해당 가공부위를 촬상시, 정확한 검사가 될 수 있도록, 총 4개의 카메라를 이용함과 동시에, 검사용 라인스캔 카메라의 경우, 다양한 조명을 구비하여 잔막상태, 범프, 마크 부분들이 확실하게 촬상될 수 있도록 하여, 더욱 정확하고 확실한 패터닝 가공된 패널의 검사진행이 가능한 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서,
폴딩을 위해 열에 의해 패터닝 가공된 디스플레이 패널을 검사하기 위한 것이며, 사전설정 검사위치(W)로 검사대상패널(P)을 픽업하여 이동시키는 픽커(20); 사전설정 검사위치(W)에 검사대상패널(P)이 정확하게 위치될 수 있도록, 상기 검사대상패널(P)에 사전표시된 마크를 촬상하는, 상호간 이격설치되는 복수개의 프리 얼라인 카메라(30); 상기 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)를 촬상하여, 폴딩을 위한 가공부위의 표면잔막(A) 검사, 상, 하측 범프(B1, B2)의 폭 검사, 양측 버(C1, C2) 제거검사를 할 수 있도록 하는 검사용 라인스캔 카메라(40); 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)의 촬상을 거친 상기 검사대상패널(P)의 특정부분을 재확인하기 위한 에어리어 방식의 리뷰 카메라(50); 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)를 통한 촬상정보를 사전설정 촬상정보와 비교하여, 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)의 적합여부를 판단하는 제어부(90);로 구성되되,
상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는 패터닝 가공부위(L)의 표면잔막(A)이 촬상될 수 있도록, 조명빛을 패터닝 가공부위(L)의 상면에 분산산란광으로 조사되는 사이드 링 조명(42); 상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 동축박스 조명(43); 상기 패터닝 가공부위(L)의 상, 하측 범프(B1, B2) 검사를 위한 촬상을 위해, 사전설정 경사도를 가지고 해당 패터닝 가공부위(L)에 조명빛 일부가 측면에서 조사되도록 하는 다크 필드 조명(44); 이 구비되는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널의 검사를 더욱 정확하고 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 4개의 카메라를 이용하여 패터닝 가공된 패널의 검사가 용이해지는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 검사용 라인스캔 카메라의 경우, 다수의 각기다른 조명을 구비하여, 마크, 잔막상태, 범프 등 다양한 검사를 위한 정확한 촬상이 가능토록 한 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치의 패널 검사순서를 나타낸 일실시예의 도면.
도 2는 본 발명에서 따른 검사대상패널의 패터닝 가공부위를 나타낸 일실시예의 도면.
도 3은 본 발명에서 따른 검사대상패널의 패터닝 가공부위를 확인하는 모습을 나타낸 일실시예의 도면.
도 4는 본 발명에 따른 검사용 라인스캔 카메라의 구성을 나타낸 일실시예의 도면.
도 5는 본 발명에 따른 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치를 나타낸 일실시예의 도면.
도 6은 본 발명에 따른 검사용 라인스캔 카메라의 구조를 나타낸 일실시예의 도면.
도 7은 본 발명에 따른 잔막 상태 검사 예시를 나타낸 일실시예의 도면.
도 8은 본 발명에 다른 범프 검사 예시를 나타낸 일시시예의 도면.
본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명에 따른 일실시예를 살펴보면 하기와 같다.
폴딩을 위해 열에 의해 패터닝 가공된 디스플레이 패널을 검사하기 위한 것이며, 사전설정 검사위치(W)로 검사대상패널(P)을 픽업하여 이동시키는 픽커(20); 사전설정 검사위치(W)에 검사대상패널(P)이 정확하게 위치될 수 있도록, 상기 검사대상패널(P)에 사전표시된 마크를 촬상하는, 상호간 이격설치되는 복수개의 프리 얼라인 카메라(30); 상기 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)를 촬상하여, 폴딩을 위한 가공부위의 표면잔막(A) 검사, 상, 하측 범프(B1, B2)의 폭 검사, 양측 버(C1, C2) 제거검사를 할 수 있도록 하는 검사용 라인스캔 카메라(40); 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)의 촬상을 거친 상기 검사대상패널(P)의 특정부분을 재확인하기 위한 에어리어 방식의 리뷰 카메라(50); 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)를 통한 촬상정보를 사전설정 촬상정보와 비교하여, 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)의 적합여부를 판단하는 제어부(90);로 구성되되,
상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는 패터닝 가공부위(L)의 표면잔막(A)이 촬상될 수 있도록, 조명빛을 패터닝 가공부위(L)의 상면에 분산산란광으로 조사되는 사이드 링 조명(42); 상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 동축박스 조명(43); 상기 패터닝 가공부위(L)의 상, 하측 범프(B1, B2) 검사를 위한 촬상을 위해, 사전설정 경사도를 가지고 해당 패터닝 가공부위(L)에 조명빛 일부가 측면에서 조사되도록 하는 다크 필드 조명(44); 이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 검사대상패널(P)은 상기 픽커(20)에 사용되어, 검사대상패널(P)을 이송시키는 제 1리니어 모터부(70); 사전설정 검사위치(W)에 설치되어, 사전설정 검사위치(W)에 위치된 검사대상패널(P)을 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50) 각각에 순차적으로 대응되도록 이송시키는 제 2리니어 모터부(80)가 구비되며, 상기 제 1, 2리니어 모터부(70, 80)는 상호간 중첩설치되되, 좌/우, 전/후, 상/하로 각각 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수개의 프리 얼라인 카메라(30)에는 상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 제 2 동축박스 조명(43); 이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는 가공부위(L)를 영상선별하고 사전설정수치와 비교할 수 있도록 하는 것으로, 상기 상, 하측 범프를 포함한 가공부위(L) 전체폭을 확인하여, 측정 가공부위폭(D2)을 사전설정 가공부위폭(D1)과 대비될 수 있도록 하고, 상기 가공부위(L)의 표면잔막의 돌출높이를 확인하여, 측정된 표면잔막 돌출높이(H2)를 사전설정 표면잔막 돌출폭(H1)과 대비될 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명에 따른 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치는 픽커(20), 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50), 제어부(90)를 포함한다. 우선적으로, 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50)는 별도의 설치대(10)에 상호간 이격되어 연속 설치고정되어 있도록 하고, 이러한 설치대(10) 맞은편에 제 1, 2리니어 모터부(70, 80)가 전/후, 좌/우, 상/하로 이동가능하게 설치되어, 검사대상패널(P)을 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50)에 연속적으로 이송시키는 구조를 가진다.
상기 픽커(20)(Picker)는 검사대상패널(P)을 공급위치에서 픽업하여, 후술될 다수의 카메라 중 프리 얼라인 카메라(30)의 후단에 위치되도록 이송시키는 장치이다.
이러한 픽커(20)는 제 1리니어 모터부(70)가 사용되어지며, 이러한 제 1리니어 모터부(70)는 검사대상패널(P)을 픽업한 상태로, 후술될 프리 얼라인 카메라(30) 하단을 향해 이송되어지는 것으로, 전/후, 좌/우, 상/하로 작동이 가능하게 설치되어 있도록 한다.
상기 프리 얼라인(Pre-align) 카메라는 전술된 픽커(20)에 의해 검사대상패널(P)이 사전설정 검사위치(W)에 올려지게 되면, 상기 프리 얼라인 카메라(30)는 이러한 사전설정 검사위치(W)에 올려진 검사대상패널(P)에 사전에 표시되어 있는 위치확인용 다수의 마크를 촬상하게 것이며, 이러한 검사대상패널(P)이 사전설정된 위치에 위치되도록, 검사대상패널(P)이 올려진 사전설정 검사위치(W)가 후술될 제 2리니어 모터(80)를 통해 전/후, 좌/우, 상/하로 자유럽게 이동하면서 프리 얼라인 카메라(30)의 위치에 맞춰 위치보정되도록 한다.
상기 프리 얼라인 카메라(30)는 상호간 이격설치되어 2개가 사용되어지며, 상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 제 2 동축박스 조명(후술될 검사용 라인스캔 카메라(40)에 사용되는 동축박스 조명(43)과 작동이 동일)이 사용될 수 있음이다.
상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는, 폴딩을 위해 열에 의해 패터닝 가공된 디스플레이 패널을 검사하기 전, 검사대상패널(P)의 패터닝(patterning) 가공부위(L)를 촬상하여, 폴딩(Folding)을 위해 가공부위(패터닝 가공부위(L))의 표면잔막(A)(표면상태) 검사, 상, 하측 범프(bump, B1, B2)의 폭 검사, 양측 버(burr, C1, C2) 제거검사를 할 수 있도록 하는 것이다.
(더욱 자세히 설명하면, 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는 가공부위(L)를 영상선별하고 사전설정수치와 비교할 수 있도록 하는 것으로, 상기 상, 하측 범프를 포함한 가공부위(L) 전체폭을 확인하여, 측정 가공부위폭(D2)을 사전설정 가공부위폭(D1)과 대비될 수 있도록 하고,
또한, 상기 가공부위(L)의 표면잔막의 돌출높이를 확인하여, 측정된 표면잔막 돌출높이(H2)를 사전설정 표면잔막 돌출폭(H1)과 대비될 수 있도록 한다.)
이를 위한 검사용 라인스캔 카메라(40)의 하단에는 렌즈(41)와 함께 사이드 링(Side ring) 조명(42), 동축박스 조명(43), 다크 필드(Dark field) 조명(44)이 순차적으로 설치되어 일체를 이루도록 한다.
상기 사이드 링 조명(42)은 패터닝 가공부분위(L)(히트 나이프 등에 의해 패널이 길이방향으로 열이 가해지며 지져진 부위)의 표면잔막(A)이 촬상될 수 있도록, 조명빛을 패터닝 가공부위(L)의 상면에 분산산란광으로 조사되도록 하는 것이다.
상기 동축박스 조명(43)은 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 것이다.
상기 다크 필드 조명(44)은 패터닝 가공부위(L)의 상측 범프(B1)와 하측 범프(B2)의 폭 검사를 위한 촬상을 위해, 사전설정된 경사도를 가지고 해당 패터닝 가공부위(L)에 조명빛 일부가 조사되도록 하는 것이다.
이때, 상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는 검사대상패널(P)에 직선형태의 소정폭을 가지는 수평으로 형성된 패터닝 가공부위(L)를, 패터닝 가공부위(L)의 길이방향 또는 검사대상패널(P)의 길이방향을 따라 촬상을 하게 된다.
상기 리뷰(Review) 카메라는 전술된 검사용 라인스캔 카메라(40)의 촬상을 거친 상기 검사대상패널(P)의 특정부분을 재확인하기 위해 촬상하기 위한 것이다.
상기 제어부(90)는 PC 등이 사용되어지며, 전술된 프리 얼라인(Pre-align) 카메라(30)의 촬상 정보 및 검사용 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)를 통한 촬상정보를 전달받아 제 1, 2리니어 모터부(70, 80)를 각각 작동제어함과 동시에, 사전설정 촬상정보와 비교하여, 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)의 적합여부를 판단하는 것이다.
더불어, 전술된 픽커(20)에 사용되어, 검사대상패널(P)을 이송시키는 제 1리니어 모터부(70) 및 사전설정 검사위치(W)에 설치되어, 사전설정 검사위치(W)에 위치된 검사대상패널(P)을 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50) 각 하단에 순차적으로 대응되도록 이송시키는 제 2리니어 모터부(80)는 상호간 중첩설치되되, 전/후, 좌/우, 상/하로 각각 이동가능하게 설치될 수 있음이다.
또한, 본 장치에서는 촬상 후, NG(제어부(90)에서 사전설정검사에 탈락)된 검사대상패널(P)을 외부로 배출하는 배출부도 구비하고 있음이다.
또한, 프리 얼라인 카메라(30)와 리뷰 카메라(50)는 검사대상패널(P) 상부 면적(Area)을 촬상하는 것이지만, 검사용 라인스캔 카메라(40)는 검사대상패널(P)의 상부를 길이방향으로 이동하면서 분할하여 연속촬상하는 것이다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.
10: 설치대 20: 픽커
30: 프리 얼라인 카메라 40: 검사용 라인스캔 카메라
41: 렌즈 42: 사이드 링 조명
43: 동축박스 조명 44: 마크필드 조명
50: 리뷰 카메라 60: 배출부
70: 제 1리니어 모터부 80: 제 2리니어 모터부
90: 제어부
A: 표면잔막 B1: 상부 펌프
B2: 하부 펌프 C1: 좌측 버
C2: 우측 버 L: 패터닝 가공부위
P: 검사대상패널 W: 사전설정 검사위치

Claims (4)

  1. 폴딩을 위해 열에 의해 패터닝 가공된 디스플레이 패널을 검사하기 위한 것이며,
    사전설정 검사위치(W)로 검사대상패널(P)을 픽업하여 이동시키는 픽커(20);
    사전설정 검사위치(W)에 검사대상패널(P)이 정확하게 위치될 수 있도록, 상기 검사대상패널(P)에 사전표시된 마크를 촬상하는, 상호간 이격설치되는 복수개의 프리 얼라인 카메라(30);
    상기 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)를 촬상하여, 폴딩을 위한 가공부위의 표면잔막(A) 검사, 상, 하측 범프(B1, B2)의 폭 검사, 양측 버(C1, C2) 제거검사를 할 수 있도록 하는 검사용 라인스캔 카메라(40);
    상기 검사용 라인스캔 카메라(40)의 촬상을 거친 상기 검사대상패널(P)의 특정부분을 재확인하기 위한 에어리어 방식의 리뷰 카메라(50);
    상기 검사용 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)를 통한 촬상정보를 사전설정 촬상정보와 비교하여, 검사대상패널(P)의 패터닝 가공부위(L)의 적합여부를 판단하는 제어부(90);로 구성되되,
    상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는
    패터닝 가공부위(L)의 표면잔막(A)이 촬상될 수 있도록, 조명빛을 패터닝 가공부위(L)의 상면에 분산산란광으로 조사되는 사이드 링 조명(42);
    상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 동축박스 조명(43);
    상기 패터닝 가공부위(L)의 상, 하측 범프(B1, B2) 검사를 위한 촬상을 위해, 사전설정 경사도를 가지고 해당 패터닝 가공부위(L)에 조명빛 일부가 측면에서 조사되도록 하는 다크 필드 조명(44);
    이 구비되는 것을 특징으로 하는 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 검사대상패널(P)은
    상기 픽커(20)에 사용되어, 검사대상패널(P)을 이송시키는 제 1리니어 모터부(70);
    사전설정 검사위치(W)에 설치되어, 사전설정 검사위치(W)에 위치된 검사대상패널(P)을 프리 얼라인 카메라(30), 검사용 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50) 각각에 순차적으로 대응되도록 이송시키는 제 2리니어 모터부(80)가 구비되며,
    상기 제 1, 2리니어 모터부(70, 80)는 상호간 중첩설치되되, 좌/우, 전/후, 상/하로 각각 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 프리 얼라인 카메라(30)에는
    상기 검사대상패널(P)에 사전표시되어 있는 마크가 촬상되도록, 조명빛 일부의 조사궤도를 변경시켜 해당 마크측으로 조명빛이 조사되도록 하는 제 2 동축박스 조명(43);
    이 구비되는 것을 특징으로 하는 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 검사용 라인스캔 카메라(40)는
    가공부위(L)를 영상선별하고 사전설정수치와 비교할 수 있도록 하는 것으로,
    상기 상, 하측 범프를 포함한 가공부위(L) 전체폭을 확인하여, 측정 가공부위폭(D2)을 사전설정 가공부위폭(D1)과 대비될 수 있도록 하고,
    상기 가공부위(L)의 표면잔막의 돌출높이를 확인하여, 측정된 표면잔막 돌출높이(H2)를 사전설정 표면잔막 돌출폭(H1)과 대비될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 폴더블 디스플레이 패널의 패터닝 가공된 패널 검사장치.
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