KR20200016184A - 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

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히로시 소토자키
포한 첸
다다카즈 소네
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

연마 레이트를 향상시키는 것을 목적으로 한다.
연마면을 갖는 연마 패드를 사용하여 연마 대상물의 연마를 행하는 연마 장치로서, 회전 가능하게 구성된 연마 테이블이며, 상기 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과, 연마 대상물을 보유 지지하여 연마 대상물을 상기 연마 패드에 압박 접촉시키기 위한 기판 보유 지지부와, 상기 연마액을 상기 연마면으로부터 제거하기 위한 연마액 제거부를 구비하고, 상기 연마액 제거부는, 상기 연마면에 세정액을 분사하는 린스부와, 상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 흡인하는 흡인부를 갖고, 상기 린스부는, 측벽으로 둘러싸인 세정 공간을 갖고, 상기 측벽은, 상기 세정 공간을 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측을 향해 개구시키는 개구부를 갖고 있는, 연마 장치.

Description

연마 장치 및 연마 방법{APPARATUS FOR POLISHING AND METHOD FOR POLISHING}
본 발명은, 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서는, 반도체 디바이스 표면의 평탄화 기술이 점점 중요해지고 있다. 평탄화 기술로서는, 화학적 기계 연마(CMP(Chemical Mechanical Polishing))가 알려져 있다. 이 화학적 기계적 연마는, 연마 장치를 사용하여, 실리카(SiO2)나 세리아(CeO2) 등의 지립을 포함한 연마액(슬러리)을 연마 패드에 공급하면서 반도체 웨이퍼 등의 기판을 연마 패드에 미끄럼 접촉시켜 연마를 행하는 것이다.
CMP 프로세스를 행하는 연마 장치는, 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과, 기판을 보유 지지하기 위한 톱 링 또는 연마 헤드 등이라고 칭해지는 기판 보유 지지 기구를 구비하고 있다. 이 연마 장치는, 연마액 공급 노즐로부터 연마액을 연마 패드에 공급하고, 기판을 연마 패드의 표면(연마면)에 대해 소정의 압력으로 압박한다. 이때, 연마 테이블과 기판 보유 지지 기구를 회전시킴으로써 기판이 연마면에 미끄럼 접촉하여, 기판의 표면이 평탄하면서 경면으로 연마된다.
기판의 연마 레이트는, 기판의 연마 패드에 대한 연마 하중뿐만 아니라, 연마 패드의 표면 온도에도 의존한다. 이것은, 기판에 대한 연마액의 화학적 작용이 온도에 의존하기 때문이다. 또한, 제조하는 기판에 따라서는, 품질의 저하를 방지하기 위해 저온에서 CMP 프로세스를 실행할 것이 요망된다. 따라서, 연마 장치에 있어서는, 기판 연마 중인 연마 패드의 표면 온도를 최적의 값으로 유지하는 것이 중요하다. 이 때문에, 근년, 연마 패드의 표면 온도를 조절하는 온도 조절 기구를 구비하는 연마 장치가 제안되어 있다.
또한, CMP 장치에 사용되는 연마액은, 고가이며, 사용 완료된 연마액의 처분에도 비용을 필요로 하기 때문에, CMP 장치의 운전 비용 및 반도체 디바이스의 제조 비용 삭감을 위해서는, 연마액의 사용량의 삭감이 요구된다. 또한, 사용 완료된 연마액 및 부생성물이, 기판의 품질 및/또는 연마 레이트에 미치는 영향을 억제 내지 방지할 것이 요구되고 있다.
일본 특허 공개 제2001-150345호 공보 일본 특허 제4054306호 명세서 일본 특허 공개 제2008-194767호 공보 미국 특허 공개 제2016/0167195호 명세서
슬러리 사용량 삭감의 일례로서, 연마 패드에 면하는 측에 개구되는 오목부를 갖는 하우징을 마련하고, 오목부의 주위에 연마 패드와 접촉하는 리테이너를 마련한 것이 있다(특허문헌 1). 이 구성에서는, 하우징 내에 연마액의 공급 경로를 마련하여 오목부 내에 연마액을 공급하고, 리테이너와 연마 패드의 좁은 간극으로부터 연마액을 송출함으로써 연마액의 박층을 형성하고 있다. 또한, 다른 예로서, 분배 장치의 면취된 전방 에지의 외측에 연마액을 공급하고, 전방 에지의 면취 부분에 있어서 연마액을 연마 패드에 압박함으로써, 연마 패드의 홈 내에 연마액을 채움과 함께, 분배 장치의 후방 에지에 의해 연마액의 박층을 형성하는 경우가 있다(특허문헌 2). 이들 슬러리 공급 방법은, 구성이 비교적 복잡하고, 사용량 삭감의 효과에 있어서도 충분하지 않아, 개선의 여지가 있다.
사용 완료된 연마액을 제거하는 예로서, 진공 배관에 연결된 흡입구와, 압력수 배관에 연결된 세정 노즐이 접근하여 배열되도록 배치한 연마 장치용 세정 장치가 있다(특허문헌 3). 또한, 스프레이 시스템의 본체의 폭 방향 양측에 유체 출구를 마련함과 함께, 양측의 유체 출구의 사이에 유체 입구를 마련하여, 양측의 유체 출구로부터 유체 입구 방향을 향해 연마면 상에 유체를 분사함과 함께, 사용 완료 연마액을 포함하는 유체를 유체 입구로부터 회수하는 경우가 있다(특허문헌 4). 이들 구성에서는, 사용 완료 연마액과 함께, 분사한 세정액을 흡인하여 회수할 필요가 있어, 큰 흡인력을 요한다.
본 발명은, 상기한 사정에 비추어 이루어진 것이며, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 연마면을 갖는 연마 패드를 사용하여 연마 대상물의 연마를 행하는 연마 장치로서, 회전 가능하게 구성된 연마 테이블이며, 상기 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과, 연마 대상물을 보유 지지하여 연마 대상물을 상기 연마 패드에 압박 접촉시키기 위한 기판 보유 지지부와, 상기 연마 패드에 압박된 상태에서 상기 연마면에 연마액을 공급하기 위한 공급 장치와, 상기 공급 장치를 상기 연마 패드에 대해 압박하는 압박 기구를 구비하고, 상기 공급 장치는, 상기 연마면에 압박되는 측벽이며, 상기 연마 테이블의 회전 방향의 상류측의 제1 벽과, 상기 연마 테이블의 회전 방향의 하류측의 제2 벽을 갖는 측벽과, 상기 측벽에 둘러싸여 상기 연마면에 개구된 보유 지지 공간이며, 연마액을 보유 지지함과 함께, 상기 연마면에 연마액을 공급하는 보유 지지 공간을 갖고, 상기 압박 기구는, 상기 제1 벽 및 상기 제2 벽으로의 압박력을 각각 조정 가능한, 연마 장치가 제공된다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 연마면을 갖는 연마 패드를 사용하여 연마 대상물의 연마를 행하는 연마 장치로서, 회전 가능하게 구성된 연마 테이블이며, 상기 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과, 연마 대상물을 보유 지지하여 연마 대상물을 상기 연마 패드에 압박 접촉시키기 위한 기판 보유 지지부와, 상기 연마액을 상기 연마면으로부터 제거하기 위한 연마액 제거부를 구비하고, 상기 연마액 제거부는, 상기 연마면에 세정액을 분사하는 세정부와, 상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 흡인하는 흡인부를 갖고, 상기 세정부는, 측벽으로 둘러싸인 세정 공간을 갖고, 상기 측벽은, 상기 세정 공간을 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측을 향해 개구시키는 개구부를 갖고 있는, 연마 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 구성 개략을 도시하는 도면이다.
도 2는 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 3은 연마액 제거부의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 제어부에 의한 온도 조절부의 제어를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 온도 조절부의 기체 분사 노즐과 연마 패드를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 온도 조절부의 기체 분사 노즐과 연마 패드를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 7은 변형예의 연마액 제거부의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 제어부에 의한 변형예의 온도 조절부의 제어를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 제2 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 10은 공급 장치의 개략 형상을 도시하는 평면도이다.
도 11은 공급 장치의 개략 형상을 도시하는 단면도이다.
도 12는 공급 장치 및 압박 기구를 도시하는 단면도이다.
도 13a는 압박 기구의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 13b는 압박 자세 조정 기구의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 13c는 압박 기구의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 14는 사용 완료 연마액의 배출을 설명하기 위한 도면이다.
도 15a는 신규의 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 단면도이다(제2 실시 형태).
도 15b는 신규의 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 평면도이다(제2 실시 형태).
도 16a는 신규의 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 단면도이다(비교예).
도 16b는 신규의 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 평면도이다(비교예).
도 17은 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다.
도 18a는 2차측의 슬릿의 일례이다.
도 18b는 2차측의 슬릿의 일례이다.
도 18c는 2차측의 슬릿의 일례이다.
도 19a는 공급 장치 내에서의 연마액의 축적 방향을 설명하기 위한 도면이다.
도 19b는 공급 장치 내에서의 연마액의 축적 방향을 설명하기 위한 도면이다.
도 19c는 공급 장치 내에서의 연마액의 축적 방향을 설명하기 위한 도면이다.
도 20a는 공급 장치의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 20b는 공급 장치의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 20c는 공급 장치의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 21은 제3 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 22는 1차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다.
도 23은 1차측의 슬릿의 일례이다.
도 24는 연마액의 회수의 흐름을 설명하기 위한 공급 장치의 평면도이다.
도 25는 공급 장치의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 26은 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다.
도 27은 1차측 및 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다.
도 28은 제4 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 29는 연마액 제거부의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 30은 연마액 제거부의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 31은 연마액 제거부의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 32는 노즐 분사구의 구성예를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 33은 노즐 분사구의 구성예를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 34a는 연마액 제거부의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 34b는 연마액 제거부의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 34c는 연마액 제거부의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 35는 제5 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 사시도이다.
도 36은 세정액의 배출을 설명하기 위한 연마액 제거부의 평면도이다.
도 37은 연마액 제거부의 설치 구조의 예를 나타내는 사시도이다.
도 38은 연마액 제거부의 설치 구조의 예를 나타내는 사시도이다.
도 39는 제6 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 40은 제7 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도면에서는, 동일 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 붙여 중복된 설명을 생략한다.
(제1 실시 형태)
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 구성 개략을 도시하는 도면이다. 본 실시 형태의 연마 장치(10)는, 연마면(102)을 갖는 연마 패드(100)를 사용하여, 연마 대상물로서의 반도체 웨이퍼 등의 기판(Wk)의 연마를 행할 수 있도록 구성되어 있다. 도시하는 바와 같이, 연마 장치(10)는, 연마 패드(100)를 지지하는 연마 테이블(20)과, 기판(Wk)을 보유 지지하여 연마 패드(100)에 압박 접촉시키는 톱 링(기판 보유 지지부)(30)을 구비하고 있다. 또한, 연마 장치(10)는, 연마 패드(100)에 연마액(슬러리)을 공급하는 연마액 공급 노즐(연마액 공급부)(40)을 구비하고 있다.
연마 테이블(20)은, 원반 형상으로 형성되어 있고, 그 중심축을 회전 축선으로 하여 회전 가능하게 구성된다. 연마 테이블(20)에는, 첩부 등에 의해 연마 패드(100)가 설치된다. 연마 패드(100)의 표면은, 연마면(102)을 형성한다. 연마 패드(100)는, 도시하지 않은 모터에 의해 연마 테이블(20)이 회전함으로써, 연마 테이블(20)과 일체로 회전한다.
톱 링(30)은, 그 하면에 있어서, 연마 대상물로서의 기판(Wk)을 진공 흡착 등에 의해 보유 지지한다. 톱 링(30)은, 도시하지 않은 모터로부터의 동력에 의해 기판(Wk)과 함께 회전 가능하게 구성되어 있다. 톱 링(30)의 상부는, 샤프트(31)를 통해 지지 암(34)에 접속되어 있다. 톱 링(30)은, 도시하지 않은 에어 실린더에 의해 상하 방향으로 이동 가능하여, 연마 테이블(20)과의 거리를 조절 가능하다. 이에 의해, 톱 링(30)은, 보유 지지한 기판(Wk)을 연마 패드(100)의 표면(연마면)(102)에 압박 접촉시킬 수 있다. 또한, 지지 암(34)은, 도시하지 않은 모터에 의해 요동 가능하게 구성되어 있어, 톱 링(30)을 연마면(102)과 평행한 방향으로 이동시킨다. 본 실시 형태에서는, 톱 링(30)은, 도시하지 않은 기판(Wk)의 수취 위치와, 연마 패드(100)의 상방 위치에서 이동 가능하게 구성되어 있음과 함께, 연마 패드(100)에 대한 기판(Wk)의 압박 접촉 위치를 변경 가능하도록 구성되어 있다. 이하, 톱 링(30)에 의한 기판(Wk)의 압박 접촉 위치(보유 지지 위치)를 「연마 영역」이라고도 한다.
연마액 공급 노즐(40)은, 연마 테이블(20)의 상방에 마련되어 있고, 연마 테이블(20)에 지지되는 연마 패드(100)에 연마액(슬러리)을 공급한다. 연마액 공급 노즐(40)은 샤프트(42)에 의해 지지되어 있다. 샤프트(42)는, 도시하지 않은 모터에 의해 요동 가능하게 구성되어 있고, 연마액 공급 노즐(40)은, 연마 중에 연마액의 적하 위치를 변경할 수 있다.
또한, 연마 장치(10)는, 연마 장치(10)의 동작 전반을 제어하는 제어부(70)(도 4 참조)도 구비하고 있다. 제어부(70)는, CPU, 메모리 등을 구비하고, 소프트웨어를 사용하여 원하는 기능을 실현하는 마이크로컴퓨터로서 구성되어도 되고, 전용의 연산 처리를 행하는 하드웨어 회로로서 구성되어도 되고, 마이크로컴퓨터와, 전용의 연산 처리를 행하는 하드웨어 회로와의 조합으로 구성되어도 된다.
연마 장치(10)에서는, 이하와 같이 하여 기판(Wk)의 연마가 행해진다. 먼저, 기판(Wk)을 하면에 보유 지지하는 톱 링(30)을 회전시킴과 함께, 연마 패드(100)를 회전시킨다. 이 상태에서, 연마액 공급 노즐(40)로부터 연마 패드(100)의 연마면(102)에 연마액이 공급되고, 톱 링(30)에 보유 지지된 기판(Wk)이 연마면(102)에 대해 압박 접촉된다. 이에 의해, 기판(Wk)의 표면이 슬러리의 존재하에서 연마 패드(100)와 접촉한 상태에서, 기판(Wk)과 연마 패드(100)가 상대 이동한다. 이렇게 해서, 기판(Wk)은 연마된다.
연마 장치(10)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 연마액 제거부(50)와, 온도 조절부(60)를 더 구비하고 있다. 도 2는, 연마 장치(10)의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 연마 장치(10)에서는, 기판(Wk)의 연마가 행해질 때에 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서, 연마액 공급 노즐(40), 기판(Wk)의 연마 영역(톱 링(30)에 의한 기판(Wk)의 압박 접촉 위치), 연마액 제거부(50) 및 온도 조절부(60)가, 이 순서로 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 연마액 제거부(50)와 온도 조절부(60)가 서로 인접하여 마련되어 있다. 단, 이러한 예에 한정되지 않고, 연마액 제거부(50)와 온도 조절부(60)가 이격되어 마련되어도 된다.
연마액 제거부(50)는, 기판(Wk)의 연마 영역보다 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)의 후방(하류측)에 있어서, 연마액을 연마면(102)으로부터 제거하기 위해 마련되어 있다. 즉, 연마액 제거부(50)는, 기판(Wk)의 연마에 한 번 사용된 연마액을 연마면(102)으로부터 제거한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 연마액 제거부(50)는, 연마 테이블(20)의 직경 방향을 따라 연장되도록 배치되어 있다.
도 3은, 연마액 제거부(50)의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다. 또한, 도 3에서는, 연마액 제거부(50)의 길이 방향(연마 테이블(20)의 직경 방향)에 수직인 단면이 도시되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 연마액 제거부(50)는, 연마면(102) 상의 연마액(SL)을 막는 둑부(52)와, 연마액(SL)을 흡인하는 흡인부(56)를 갖고 있다. 본 실시 형태에서는, 둑부(52)와 흡인부(56)는 일체로 구성되어 있다.
둑부(52)는, 연마면(102)에 맞닿아 연마액(SL)이 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)으로 이동하는 것을 방해한다. 둑부(52)는, 연마면(102)을 손상시키지 않는 동시에, 연마면(102)과의 맞닿음에 의한 둑부(52) 자체의 절삭 칩이 연마면(102)에 남지 않도록, 그 재질이 선택되는 것이 바람직하다. 일례로서, 둑부(52)는, 기판(Wk)의 외주연을 보유 지지하는 도시하지 않은 리테이너 링과 동일한 재질이어도 되고, PPS(폴리페닐렌술피드) 등의 합성 수지, 또는 스테인리스 등의 금속으로 형성되어도 된다. 또한, 둑부(52)의 표면에는, PEEK(폴리에테르케톤), PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌), 또는 염화폴리비닐 등의 수지 코팅이 실시되어도 된다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 둑부(52)는, 연마면(102)과의 맞닿음 저항이 작아지도록, 연마면(102)에 맞닿는 개소가 R면취(또는 각면취)되어도 된다.
흡인부(56)는, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서 둑부(52)의 전방(상류측)에 인접하여 배치되어 있다. 흡인부(56)는, 연마면(102)을 향해 개구되는 슬릿(57)을 갖고 있고, 이 슬릿(57)에는 유로(58)를 통해 도시하지 않은 진공원이 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 슬릿(57)으로부터 도시하지 않은 진공원을 향하는 유로(58)는, 연마면(102)에 대해 90도의 각도를 이루고 있다. 슬릿(57)은, 연마액 제거부(50)의 길이 방향에 있어서, 둑부(52)의 길이보다 짧고, 또한 기판(Wk)의 직경보다 길게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 슬릿(57)의 폭 Sw는, 연마액(SL)의 종류 및 도시하지 않은 진공원의 성능 등에 기초하여 정해지면 된다. 일례로서, 기판(Wk)의 직경이 300㎜인 경우, 슬릿(57)의 길이 방향의 길이가 300㎜ 이상이고, 폭 Sw가 1 내지 2㎜ 정도인 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 실시 형태의 연마액 제거부(50)에서는, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서 연마액(SL)을 흡인하는 흡인부(56)의 후방에 연속하여, 연마액(SL)을 막는 둑부(52)가 배치되어 있다. 이 때문에, 둑부(52)에 의해 막은 연마액(SL)을 흡인부(56)에 의해 흡인할 수 있어, 연마액(SL)을 연마면(102)으로부터 적합하게 제거할 수 있다.
또한, 연마액 제거부(50)는, 도시하지 않은 아토마이저 또는 드레서에 의해 연마면(102)을 컨디셔닝할 때에는, 연마면(102)으로부터 이격되는 것이 바람직하다. 즉, 연마액 제거부(50)는, 연마액(SL)을 제거하는 연마액 제거 위치와, 연마면(102)으로부터 이격된 대기 위치에서 이동 가능하게 구성되고, 연마면(102)의 컨디셔닝이 행해질 때에는 대기 위치에 위치하는 것으로 해도 된다. 본 실시 형태의 연마 장치(10)는, 연마액 제거부(50)에 의해 연마액이 연마면(102)으로부터 제거된 상태에서, 연마면(102)의 컨디셔닝을 행할 수 있다. 이 때문에, 아토마이저 또는 드레서에 의해 사용되는 액체와 연마액이 섞이는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 기판(Wk)의 연마 및 컨디셔닝에 의해 발생하는 사용 완료된 액체를 각각 회수할 수 있어, 환경 보전에 이바지할 수도 있다.
도 1 및 도 2로 돌아가 설명한다. 온도 조절부(60)는, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서 연마액 제거부(50)의 후방에 배치되어 있다. 온도 조절부(60)는, 제어부에 의해 제어되어 연마면(102)의 온도를 조절한다. 도 4는, 제어부에 의한 온도 조절부(60)의 제어를 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 4에서는, 연마액 제거부(50)의 도시를 생략하고 있다. 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 온도 조절부(60)는, 연마면(102)에 기체를 분사하기 위한 기체 분사 노즐(분사기)(62)을 갖고 있다. 기체 분사 노즐(62)은, 압축 공기 공급 라인(63)을 통해 압축 공기원에 접속되어 있다. 압축 공기 공급 라인(63)에는, 압력 제어 밸브(64)가 마련되어 있고, 압축 공기원으로부터 공급된 압축 공기가 압력 제어 밸브(64)를 통과함으로써 압력 및 유량이 제어되도록 되어 있다. 압력 제어 밸브(64)는, 제어부(70)에 접속되어 있다. 또한, 압축 공기는 상온이어도 되고, 소정 온도로 냉각 또는 가온해도 된다.
도 4에 도시한 바와 같이, 연마 패드(100)의 상방에는, 연마 패드(100)의 표면 온도를 검출하는 온도 센서(68)가 설치되어 있다. 여기서, 온도 센서(68)는, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서 연마액 제거부(50)의 후방에 마련되고, 연마액이 제거된 상태의 연마면(102)의 온도를 검출하는 것이 바람직하다. 온도 센서(68)는, 제어부(70)에 접속되어 있다. 제어부(70)는 소정 온도 또는 입력된 설정 온도인 목표 온도와, 온도 센서(68)에 의해 검출된 연마면(102)의 실제의 온도의 차에 따라서 PID 제어에 의해 압력 제어 밸브(64)의 밸브 개방도를 조정하여, 기체 분사 노즐(62)로부터 분사되는 압축 공기의 유량을 제어한다. 이에 의해, 기체 분사 노즐(62)로부터 연마 패드(100)의 연마면(102)에 최적의 유량의 압축 공기가 분사되어, 연마면(102)의 온도가 목표 온도로 유지된다.
도 5 및 도 6은, 온도 조절부(60)의 기체 분사 노즐(62)과 연마 패드(100)를 모식적으로 도시하는 평면도 및 측면도이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 온도 조절부(60)는, 연마 테이블(20)의 직경 방향을 따라 소정 간격마다 배치된 복수의 기체 분사 노즐(62)을 구비하고 있다(도시예에서는 8개의 노즐이 설치되어 있음). 도 5에 있어서는, 연마 중에, 연마 패드(100)는, 회전 중심 CT의 주위로 시계 방향(Rd)으로 회전한다. 여기서, 패드 내측으로부터 1, 2, 3 … 8의 오름차순으로 노즐에 번호를 붙이고, 예를 들어 3번째와 6번째의 2개의 기체 분사 노즐(62)을 예로 들어 설명한다. 즉, 3번째와 6번째의 2개의 기체 분사 노즐(62)의 바로 아래의 점 P1, P2를 지나고, CT를 중심으로 하는 동심원 C1, C2를 그리고, 동심원 C1, C2 위의 점 P1, P2에 있어서의 접선 방향을 연마 패드(100)의 회전 접선 방향이라고 정의하면, 기체 분사 노즐(62)의 기체 분사 방향은, 연마 패드의 회전 접선 방향에 대해 패드 중심측으로 소정 각도(θ1)만큼 기울어져 있다. 기체 분사 방향이라 함은, 기체 분사 노즐구로부터 기체가 부채 형상으로 퍼지는 각도(기체 분사각)의 중심선의 방향을 말한다. 3번째와 6번째의 노즐 이외의 다른 노즐도 마찬가지로 연마 패드의 회전 접선 방향에 대해 패드 중심측으로 소정 각도(θ1)만큼 기울어져 있다. 그리고 연마 패드의 회전 접선 방향에 대한 기체 분사 노즐(62)의 기체 분사 방향의 각도(θ1)는, 온도 조절 능력과의 관계에서 15° 내지 35°로 설정되어 있다. 또한, 여기서는 노즐이 8개 있는 경우를 설명하였지만, 노즐의 개수는 노즐 구멍을 플러그 등으로 폐쇄함으로써 조정하는 것이 가능하며, 임의의 수로 할 수 있다. 노즐의 개수는 연마 패드(100)의 크기 등에 따라서 적절하게 선정된다.
또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 기체 분사 노즐(62)의 기체 분사 방향은, 연마 패드(100)의 표면(연마면)(102)에 대해 수직이 아닌, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)측으로 소정 각도만큼 기울어져 있다. 연마면(102)에 대한 기체 분사 노즐(62)의 기체 분사 방향의 각도, 즉, 연마면(102)과 기체 분사 노즐(62)의 기체 분사 방향이 이루는 각을 기체 진입 각도(θ2)라고 정의하면, 기체 진입 각도(θ2)는, 온도 조절 능력과의 관계에서 30° 내지 50°로 설정되어 있다. 여기서, 기체 분사 방향이라 함은, 기체 분사 노즐구로부터 기체가 부채 형상으로 퍼지는 각도(기체 분사각)의 중심선의 방향을 말한다. 또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 기체 분사 노즐(62)은, 상하 이동 가능하게 구성되고, 기체 분사 노즐(62)의 연마면(102)으로부터의 높이 Hn을 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.
이러한 온도 조절부(60)에 의해, 기판(Wk)의 연마 중에 연마 패드(100)(연마면(102))를 향해 적어도 하나의 기체 분사 노즐(62)로부터 기체를 분사하여 연마면(102)의 온도를 조절할 수 있다. 게다가, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서, 온도 조절부(60)의 전방에는 연마액을 연마면(102)으로부터 제거하는 연마액 제거부(50)가 마련되어 있다. 이 때문에, 단열층이 될 수 있는 연마액이 제거된 상태에서 온도 조절부(60)가 연마면(102)의 온도를 조절할 수 있어, 연마면(102)의 온도 조절의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 온도 조절부(60)의 기체 분사 노즐(62)로부터 급격하게 연마면(102)에 기체를 분사할 때에도 연마액이 비산되는 것이 억제되어, 기판(Wk)의 스크래치 발생을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 연마 장치(10)에서는, 기판(Wk)의 연마에 한 번 사용된 연마액이 연마액 제거부(50)에 의해 제거되어 연마액 공급 노즐(40)로부터 새로운 연마액이 연마면(102)에 그 때마다 공급되므로, 기판(Wk)의 연마에 사용되는 연마액의 질을 일정하게 유지할 수 있다.
(변형예 1)
도 7은, 변형예의 연마액 제거부의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다. 상기한 실시 형태에서는, 흡인부(56)의 슬릿(57) 및 유로(58)는, 연마면(102)에 대해 90도가 되도록 마련되어 있었다. 그러나 이러한 예에 한정되지 않고, 도 7에 도시한 바와 같이, 흡인부(56)의 슬릿(57) 및 유로(58)는, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)과 이루는 각도가 10도 이상 90도 미만이 되도록 경사져 있어도 된다. 이와 같이 하면, 연마 테이블(20)의 회전에 수반하여 연마액(SL)을 유로(58)로 안내할 수 있어, 연마액(SL)을 적합하게 흡인할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에서는, 흡인부(56)의 둑부(52)가 연마면(102)에 맞닿는 것으로 하였다. 그러나 이러한 예에 한정되지 않고, 둑부(52)는, 연마액과 맞닿으면 되고, 연마면(102)과의 사이에 간극을 갖도록 마련되어도 된다. 이 경우에는, 둑부(52)와 연마면(102)이 맞닿지 않으므로, 둑부(52)의 절삭 칩이 발생하거나 맞닿음 저항이 발생하거나 하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 연마 장치(10)는, 연마면(102)의 위치, 또는 연마액 제거부(50)와 연마면(102)의 거리를 검출하는 센서를 더 구비해도 된다. 그리고 연마 장치(10)는, 검출된 위치 또는 거리에 기초하여, 연마액 제거부(50)를 연마면(102)에 맞닿게 해도 되고, 연마액 제거부(50)와 연마면(102)의 거리를 일정하게 유지해도 된다.
또한, 상기한 실시 형태에서는, 연마액 제거부(50)는, 둑부(52)와 흡인부(56)를 일체로 갖는 것으로 하였다. 그러나 이러한 예에 한정되지 않고, 연마액 제거부(50)는, 둑부(52)와 흡인부(56)를 각각 가져도 되고, 둑부(52)와 흡인부(56) 중 한쪽만을 가져도 된다. 또한, 연마액 제거부(50)는, 연마 패드(100)를 컨디셔닝하기 위한 드레서 또는 아토마이저 등과 적어도 일부가 일체로 설치되어도 된다.
(변형예 2)
도 8은, 제어부에 의한 변형예의 온도 조절부(60A)의 제어를 설명하기 위한 도면이다. 상기한 실시 형태의 온도 조절부(60)는, 연마면(102)을 향해 기체를 분사하는 기체 분사 노즐(분사기)(62)을 갖는 것으로 하였다. 그러나 온도 조절부(60)는, 이것 대신에, 또는 이것에 추가하여, 내부에 유체가 흐르는 열교환기를 가져도 된다. 도 8에 도시한 바와 같이, 변형예의 온도 조절부(60A)는, 기체 분사 노즐(62) 대신에, 열교환기(62A)를 갖고 있다. 또한, 도 8에 도시한 변형예는, 온도 조절부(60A)를 제외하고 실시 형태의 연마 장치(10)와 동일하다. 또한, 도 8에서는, 연마액 제거부(50)의 도시를 생략하고 있다. 도 8에 도시한 바와 같이, 열교환기(62A)는, 내부에 도시하지 않은 유로가 형성되어 있고, 배관(63A)을 통해 유체 공급원(66A)에 접속되어 있다. 배관(63A)에는, 압력 제어 밸브(64A)가 마련되어 있어, 유체 공급원(66A)으로부터 공급된 유체가 압력 제어 밸브(64A)를 통과함으로써 압력 및 유량이 제어되도록 되어 있다. 압력 제어 밸브(64A)는, 제어부(70)에 접속되어 있다. 열교환기(62A)에 사용되는 유체로서는, 물 등의 액체를 사용해도 되고, 공기 등의 기체를 사용해도 된다. 또한, 열교환기(62A)에는, 내부에 반응 가스가 흘러도 되고, 열교환기(62A) 내부에 반응 가스의 발열 반응을 촉진시키는 촉매가 마련되어도 된다. 또한, 열교환기(62A)는, 연마면(102)에 맞닿도록 배치되어도 되고, 연마면(102)과의 사이에 간극을 갖도록 배치되어도 된다.
제어부(70)는, 상기한 실시 형태와 마찬가지로, 온도 센서(68)에 의해 검출된 온도에 기초하여 압력 제어 밸브(64A)의 밸브 개방도를 조정하여, 열교환기(62A)의 내부에 흐르는 유체의 유량을 제어한다. 이러한 변형예의 온도 조절부(60A)에 의해서도, 상기한 실시 형태와 마찬가지로, 연마면(102)의 온도를 조절할 수 있다. 게다가, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)에 있어서 온도 조절부(60A)의 전방에 연마액 제거부(50)가 마련되어 있다. 이 때문에, 변형예의 연마 장치에서는, 단열층이 될 수 있는 연마액이 제거된 상태에서 온도 조절부(60A)에 의한 연마면(102)의 온도 조절을 행할 수 있어, 연마면(102)의 온도 조절의 효율을 향상시킬 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 9는, 제2 실시 형태에 관한 연마 장치(10)의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 상기 실시 형태와 마찬가지의 구성에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다. 본 실시 형태에서는, 연마 패드(100)에 연마액을 공급하기 위한 공급 장치(슬러리 패드)(200)를 구비하고 있다. 공급 장치(200)는, 패드 또는 박스의 형상을 갖는다. 공급 장치(200)는, 후술하는 압박 기구(250)에 의해 연마 패드(100)의 연마면(102)에 대해 압박된다. 도 9에는, 드레서(90) 및 아토마이저(94)도 도시하고 있다. 드레서(90)는, 암(93)을 통해 샤프트(92)에 접속되어 있다. 샤프트(92)는, 도시하지 않은 모터에 의해 요동 가능하게 구성되어 있어, 드레서(90)를 연마 패드(100) 상에서 이동시키는 것이 가능하고, 연마 패드(100) 외부의 대기 위치로 이동시키는 것이 가능하다. 드레서(90)는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 상하 이동 가능하게 구성되어 있어, 연마 패드(100)에 대해 압박 가능하게 구성되어 있다. 아토마이저(94)는, 순수(DIW)를 연마 패드(100)의 연마면에 공급하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 드레서(90) 및 아토마이저(94)는 생략할 수 있다.
도 10은, 공급 장치(200)의 개략 형상을 도시하는 평면도이다. 도 11은, 공급 장치(200)의 개략 형상을 도시하는 단면도이다. 공급 장치(200)는, 평면으로 보아 가늘고 긴 형상을 갖고 있고, 그 내부에는, 측벽(210)으로 둘러싸인 보유 지지 공간(201)을 갖고 있다. 공급 장치(200)의 길이는, 대략, 톱 링(30)에 보유 지지된 기판(Wk)의 직경과 동일하게 형성되어 있다. 공급 장치(200)의 측벽(210)은 전술한 둑부(52)와 마찬가지로, 연마면(102)을 손상시키지 않는 동시에, 연마면(102)과의 맞닿음에 의한 측벽(210) 자체의 절삭 칩이 연마면(102)에 남지 않도록, 둑부(52)와 마찬가지의 재질이 선택되는 것이 바람직하다.
측벽(210)은, 연마 테이블(20)의 회전 방향(Rd)의 상류측에 위치하는 측벽(211)과, 하류측에 위치하는 측벽(212)을 갖고 있다. 공급 장치(200)의 연마 패드(100)의 연마면(102)에 면하는 측은, 개구되어 있다(개구부(221)). 즉, 보유 지지 공간(201)은, 연마면(102)에 대해 개구되어 있다. 공급 장치(200)의 상부는, 측벽(210)과 일체 또는 별체의 상판(220)으로 폐쇄되어 있다. 상판(220)이 별체인 경우에는, 상판(220)은, 측벽(210)에 설치 가능한 톱 커버로서 구성할 수 있다. 상판(220)에는, 연마액을 도입하기 위한 하나 또는 복수의 도입부(222)가 마련되어 있다. 도입부(222)를 통해, 연마액 공급 노즐(40)로부터 연마액(슬러리)(SLf)이 공급 장치(200) 내의 보유 지지 공간(201)에 공급된다. 도입부(222)가 복수인 경우에는, 연마액 공급 노즐(40)은, 도입부(222)의 수에 따라서 분기된 복수의 노즐 선단을 구비하는 구성으로 한다. 또한, 이하의 설명에서는, 연마 처리에 사용 전의 연마액을 SLf라고 표기하고, 연마 처리에 사용 후의 연마액을 SLu라고 표기하는 경우가 있다.
도 12는, 공급 장치(200) 및 압박 기구(250)를 도시하는 단면도이다. 압박 기구(250)는, 공급 장치(200)의 상방에 배치되고, 실린더 장치(251)와, 압박 자세 조정 기구(252)를 구비하고 있다. 압박 기구(250)는, 암(253)을 통해 샤프트(254)에 접속되어 있다. 샤프트(254)는, 모터(255)에 의해 요동 가능하게 구성되어 있고, 압박 기구(250)가 샤프트(254)의 회전에 의해 요동 가능하다. 샤프트(254)를 별도로 마련하는 대신에, 압박 기구(250)는, 암(253)을 통해, 연마액 공급 노즐(40)의 샤프트(42)에 접속되어도 된다. 공급 장치(200)의 각 도입부(222)에는, 연마액 공급 노즐(40)의 선단이 접속되고, 연마액 공급 노즐(40)로부터 연마액(SL)이 공급된다.
실린더 장치(251)는, 공급 장치(200)의 길이 방향 및/또는 공급 장치(200)의 폭 방향(연마 테이블 회전 방향(Rd))을 따라, 복수의 실린더(251a)를 구비할 수 있다. 각 실린더는, 유체(기체, 액체)에 의해 구동되는 로드를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 도 13a에 도시하는 바와 같이, 공급 장치(200)의 폭 방향을 따라 3개의 실린더(251a)가 나란히 배치되도록, 실린더 장치(251)가 구성되어 있다. 각 실린더(251a)는, 전공 레귤레이터(비례 제어 밸브)(71)를 통해 유체 공급원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 전공 레귤레이터(71)는, 제어부(70)에 접속되어 있다. 제어부(70)가 전공 레귤레이터(71)를 제어함으로써, 도시하지 않은 유체 공급원으로부터 각 실린더(251a)에 공급되는 구동 유체의 압력 및 유량이 제어되어, 각 실린더(251a)의 압박력이 조정된다. 각 실린더(251a)의 압박력이 조정됨으로써, 상류측의 측벽(211)이 연마면(102)에 대해 압박되는 압박력이 조정됨과 함께, 하류측의 측벽(212)이 연마면(102)에 대해 압박되는 압박력이 조정된다. 또한, 측벽(211)으로의 압박력과, 측벽(212)으로의 압박력은, 각각 개별적으로(동일하거나 또는 상이하도록) 조정할 수 있다. 또한, 여기서는, 공급 장치(200)의 폭 방향으로 배열된 3개의 실린더(251a)가 마련된 예를 설명하지만, 폭 방향으로 배열된 2개 또는 4개 이상의 실린더(251a)를 마련해도 된다. 측벽(211)측을 압박하는 실린더와, 측벽(212)측을 압박하는 실린더의 2개의 실린더가 있으면, 측벽(211)으로의 압박력과, 측벽(212)으로의 압박력을 개별적으로 조정하는 것이 가능하다. 또한, 실린더 장치 대신에, 복수의 압박 수단(솔레노이드, 그 밖의 모터 등의 동력으로 구동되는 로드)을 갖는 다른 압박 장치를 채용해도 된다.
복수의 실린더(251a)의 압박력을 제어하여 상류측의 측벽(211)으로의 압박력을 조정함으로써, 사용 완료된 연마액(SLu)이 측벽(211)으로부터 보유 지지 공간(201) 내로 침입하는 것을 방지함과 함께, 측벽(211)을 따라 연마 패드(100) 외부로 배출되도록 할 수 있다(도 14). 또한, 상류측의 측벽(211)으로의 압박력을 조정함으로써, 사용 완료된 연마액(SLu)의 적어도 일부가, 측벽(211)과 연마면(102)의 간극으로부터 보유 지지 공간(201) 내로 회수되도록 할 수 있다(도 21, 도 26, 도 27).
또한, 공급 장치(200)의 길이 방향으로 배열되는 복수의 실린더를 마련해도 된다. 이 경우, 공급 장치(200)의 길이 방향의 각 장소에 대한 압박력이 상이하도록 조정할 수 있다.
도 13a 및 도 13b에 도시한 바와 같이, 압박 자세 조정 기구(252)는, 실린더 장치(251)와 공급 장치(200) 사이에 배치되고, 공급 장치(200)의 자세를 조정한다. 압박 자세 조정 기구(252)는, 제1 블록(252a)과, 제1 블록(252a)에 고정된 제2 블록(252b)과, 제2 블록(252b)에 대해 샤프트(252d)를 통해 회전 가능하게 결합된 제3 블록(252c)을 구비한다. 제1 블록(252a)이 실린더 장치(251)의 각 실린더(251a)의 로드에 고정되고, 제3 블록(252c)이 공급 장치(200)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 공급 장치(200)가 연마면(102) 상에 적재되었을 때, 압박 자세 조정 기구(252)의 제3 블록(252c)이 제2 블록(252b)에 대해 샤프트(252d) 주위로 회전하고, 공급 장치(200)가 연마면(102)에 대해 평행하게 설치되도록 되어 있다.
또한, 도 13a에서는, 압박 자세 조정 기구(252)를 공급 장치(200)의 상판(톱 커버)(220)에 고정한 예를 도시하지만, 도 13c에 도시한 바와 같이 상판(톱 커버)(220)를 생략하고, 공급 장치(200)의 측벽(210)에 압박 자세 조정 기구(252)를 고정해도 된다.
도 14는, 사용 완료 연마액의 배출을 설명하기 위한 도면이다. 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)는, 연마 패드(100)의 회전 방향(Rd)의 상류측(1차측, 톱 링(30)의 하류측)의 측벽(211)과, 연마 패드(100)의 회전 방향(Rd)의 하류측(2차측, 톱 링(30)의 상류측)의 측벽(212)을 갖고 있다. 상술한 압박 기구(250)에 의해, 1차측의 측벽(211)이 연마 패드(100)의 연마면(102)에 압박되는 압박력을 적절하게 조절함으로써, 도 14에 도시한 바와 같이, 톱 링(30)에서의 연마 처리에 사용 완료된 연마액(SLu)이 측벽(211)을 통해 공급 장치(200) 내의 보유 지지 공간(201)으로 침입하는 것을 방지할 수 있음과 함께, 연마 테이블(20)의 회전에 의한 원심력에 의해 사용 완료된 연마액(SLu)을 연마 패드(100)의 외부로 배출할 수 있다. 또한, 사용 완료 연마액(SLu)의 배출량은, 공급 장치(200)의 측벽(211)의 형상 및 각도(도 19a 내지 도 19c, 도 20a 내지 도 20c), 압박 기구(250)에 의한 측벽(211)으로의 압박력, 및/또는 측벽(211)의 슬릿의 구성(수, 배치, 높이, 형상 및 치수, (슬릿을 마련하는 경우, 후술))을 조정함으로써, 조정할 수 있다.
또한, 압박 기구(250)에 의해, 2차측의 측벽(212)이 연마 패드(100)의 연마면(102)에 압박되는 압박력을 적절하게 조절함으로써, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201)으로부터 측벽(212)과 연마면(102) 사이의 간극을 통해, 신규 연마액(SLf)을 톱 링(30)측으로 공급할 수 있어, 신규 연마액(SLf)의 공급량을 조정할 수 있다. 따라서, 공급 장치(200)에 의하면, 1차측의 측벽(211)에 의해, 사용 완료된 연마액(SLu)을 배출함과 함께, 2차측의 측벽(212)에 의해 신규 연마액(SLf)의 공급량을 조정할 수 있다. 이 결과, 톱 링(30)에서는, 실질적으로 신규의 연마액만을 사용하여 기판(Wk)의 연마 처리를 실행할 수 있어, 연마 품질(연마 레이트, 면내 균일성 등)을 향상시킬 수 있다.
도 15a, 도 15b는, 제2 실시 형태에 관한, 신규 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 도면이다. 도 16a, 도 16b는, 비교예에 관한, 신규의 연마액의 이용 효율을 설명하기 위한 단면도이다. 도 16a, 도 16b에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 공급 장치(200)를 사용하지 않고, 연마액 공급 노즐(40)로부터 연마면(102)에 연마액을 공급하는 경우, 톱 링(30)에 보유 지지된 기판(Wk) 전체에 연마액을 공급하기 위해, 실제의 연마 처리에 사용되는 것 이상의 연마액을 공급하는 것이 필요해진다. 이 때문에, 연마 패드(100)의 회전에 의한 원심력 및 톱 링(30)의 리테이너 링의 압박에 의해, 도 16b에 도시한 바와 같이, 많은 신규의 연마액(SLf)이 연마 처리에 사용되지 않고 배출될 가능성이 있다. 한편, 본 실시 형태에서는, 연마 패드(100)의 연마면(102)은, 공급 장치(200)를 통과할 때에 보유 지지 공간(201) 내에서 연마액(SLf)이 공급되고, 측벽(212)과 연마면(102) 사이의 간극을 통과할 때에 연마액의 양이 조정된다. 이때, 압박 기구(250)에 의한 공급 장치(200)(측벽(212))로의 압박력을 조정함으로써, 측벽(212)을 통과 후에, 연마 처리에 필요한 연마액의 양이 남도록 공급량이 조정된다. 예를 들어, 주로, 연마면(102)의 홈부(패드 홈, 다공성부)(101) 내에 연마액이 남도록 연마액의 양이 조정되어, 홈부(101) 이외의 연마액의 양을 적게 할 수 있다. 일례에서는, 홈부(101) 이외의 연마액은, 연마면 상의 박층으로서 공급된다. 이에 의해, 도 15b에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 2차측(톱 링(30)측)에 있어서, 연마 처리에 사용되지 않고 배출되는 신규의 연마액의 양을 대폭 저감시킬 수 있다. 즉, 본 실시 형태의 공급 장치(200)에 의하면, 공급 장치(200)의 2차측의 측벽(212)으로의 압박력을 적절하게 조정함으로써, 연마액을 필요한 부분에 필요한 양으로 공급하는 것이 가능해져, 연마 처리에 사용되지 않고 배출되는 신규의 연마액의 양을 저감시킬 수 있다. 또한, 공급 장치(200)의 길이는, 임의여도 된다. 단, 톱 링(30)에 보유 지지된 기판(Wk)의 직경과의 상대적 관계로부터, 기판 직경과 대략 동일해도 되고, 혹은 그 절반인 반경과 동일해도 된다. 공급 장치(200)의 길이는, 기판(Wk) 전체면 또는 원하는 범위에 연마액을 요망된 양만큼 공급할 수 있도록 설정하면 된다.
2차측에 있어서의 연마액의 출력량(측벽(212)과 연마면(102) 사이로부터 출력되는 연마액의 유량)은, 공급 장치(200)의 측벽(212)의 형상 및 각도(측벽(212)의 각도: 도 19a 내지 도 19c, 도 20a 내지 도 20c 참조), 압박 기구(250)에 의한 측벽(212)으로의 압박력, 및/또는 측벽(212)의 슬릿의 구성(수, 배치, 높이, 형상 및 치수, (슬릿을 마련하는 경우, 후술))을 조정함으로써, 조정된다.
도 17은, 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치(200)의 단면도이다. 도 18a 내지 도 18c는, 2차측의 슬릿의 일례이며, 도 17의 화살표 XVIII의 방향으로부터 본 화살표도이다. 공급 장치(200)로부터의 연마액의 공급량, 각 개소로의 배분을 제어하기 위해, 도시되어 있는 바와 같이, 2차측의 측벽(212)에 슬릿(231)을 마련하여, 보유 지지 공간(201)으로부터 슬릿(231)을 통해 연마액을 공급하도록 해도 된다. 이에 의해, 공급 장치(200)(측벽(212))로부터의 연마액의 공급량 조정의 자유도를 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 도 18a 내지 도 18c에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 길이 방향의 중심으로부터의 연마액의 공급량을 많게 하도록 해도 된다. 이 경우, 길이 방향의 중심의 슬릿(231)은, 연마면(102) 상의 기판(Wk)의 중심이 통과하는 궤도 Ck에 맞출 수 있다(도 19c 참조). 이에 의해, 기판(Wk)의 중심에 대해, 보다 많은 연마액을 공급할 수 있다. 기판 중심에 흐르는 연마액의 유량은, 공급 장치(200)의 측벽(211, 212)의 형상 및 각도(측벽(212)의 각도: 도 19a 내지 도 19c, 도 20a 내지 도 20c), 슬릿의 구성(수, 배치, 높이, 형상 및 치수), 압박 기구(250)에 의한 압박력을 조정함으로써, 조정된다.
도 18a의 예에서는, 측벽(212)의 길이 방향의 중심에 있어서 하단 에지에 개구된 슬릿(231)을 마련하고 있다. 이에 의해, 기판(Wk)의 중심에 적극적으로 연마액을 공급할 수 있다. 또한, 도 18a의 예에 있어서, 다른 슬릿을 추가해도 된다.
도 18b의 예에서는, 측벽(212)의 길이 방향의 중심에 있어서 하단 에지보다 높은 위치에 개구된 슬릿(231)을 마련하고 있다. 이 경우, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201)에 슬릿(231)까지의 높이에 연마액이 축적된 후에, 연마액이 슬릿(231)으로부터 톱 링(30)측으로 공급된다. 또한, 도 18b의 예에 있어서, 다른 슬릿을 추가해도 된다.
도 18c의 예에서는, 측벽(212)의 길이 방향에 있어서, 복수의 슬릿(231)을 마련하여, 중심의 슬릿(231)의 높이가 가장 낮고, 중심으로부터 이격됨에 따라 슬릿(231)의 높이가 증가한다. 이 경우, 중심의 슬릿(231)으로부터의 연마액의 유량이 가장 크고, 중심으로부터 이격됨에 따라서 슬릿(231)으로부터의 연마액의 유량이 작아진다. 각 슬릿(231)의 높이를 조정함으로써, 각 슬릿(231)으로부터의 연마액의 유량을 조정할 수 있다.
도 18a 내지 도 18c에 예시한 것 이외에도, 2차측의 측벽에 임의의 수, 임의의 배치, 임의의 높이, 임의의 형상 및 치수로 슬릿을 마련할 수 있다. 예를 들어, 기판(Wk)의 중심에 한정되지 않고, 프로세스에 따라서, 임의의 위치의 슬릿으로부터의 유량이 증대 또는 감소되도록 하나 또는 복수의 슬릿을 마련할 수 있다.
도 19a 내지 도 19c는, 공급 장치(200) 내에서의 연마액의 축적 방향을 설명하기 위한 도면이다. 도 20a 내지 도 20c는, 공급 장치(200)의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 19a, 도 20a에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 2차측의 측벽(212)의 연마 패드(100)의 직경 방향 외측 단부가, 회전 방향(Rd)에 있어서 다른 부분보다 선행하도록 배치된 경우, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201) 내의 연마액(SLf)은, 내측으로부터 외측을 향해 흘러, 외측으로부터 축적된다. 또한, 공급 장치(200)의 1차측의 측벽(211)의 연마 패드(100)의 직경 방향 외측 단부가, 회전 방향(Rd)에 있어서 다른 부분보다 선행하도록 배치되어, 사용 완료된 연마액(SLu)이 측벽(211)에 의해 직경 방향 외측으로 흐르기 쉽게 할 수 있다. 이 경우, 도 20a에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201)은, 평면으로 보아 연마 패드(100)의 직경 방향 외측이 넓어지도록 형성할 수 있다.
도 19b, 도 20b에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 2차측의 측벽(212)의 연마 패드(100)의 직경 방향 내측 단부가, 회전 방향(Rd)에 있어서 다른 부분보다 선행하도록 배치된 경우, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201) 내의 연마액(SLf)은, 외측으로부터 내측을 향해 흘러, 내측으로부터 축적된다. 한편, 공급 장치(200)의 1차측의 측벽(211)의 연마 패드(100)의 직경 방향 외측 단부가, 회전 방향(Rd)에 있어서 다른 부분보다 선행하도록 배치되어, 사용 완료된 연마액(SLu)이 측벽(211)에 의해 직경 방향 외측으로 흐르기 쉽게 할 수 있다. 이 경우, 도 20b에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201)은 평면으로 보아 연마 패드(100)의 직경 방향 내측이 넓어지도록 형성할 수 있다.
도 19c, 도 20c에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 2차측의 측벽(212)의 중심이, 회전 방향(Rd)에 있어서 선행하도록 배치된 경우, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201) 내의 연마액은, 양측으로부터 중심을 향해 흘러, 중심측으로부터 축적된다. 이 예에서는, 측벽(212)이 중심 부근에서 굴곡되는 형상이다. 한편, 공급 장치(200)의 1차측의 측벽(211)의 연마 패드(100)의 직경 방향 외측 단부가, 회전 방향(Rd)에 있어서 다른 부분보다 선행하도록 배치되어, 사용 완료된 연마액(SLu)이 측벽(211)에 의해 직경 방향 외측으로 흐르기 쉽게 할 수 있다. 이 경우, 도 20c에 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201)은 평면으로 보아 중심측이 넓어지도록 형성할 수 있다. 공급 장치(200)의 중심은, 기판(Wk)의 중심이 통과하는 궤도 Ck에 일치시킬 수 있다. 이 구성에 의하면, 보유 지지 공간(201) 내에 연마액을 중심측으로부터 축적시킬 수 있어, 기판의 중심에 대해 연마액을 적극적으로 공급할 수 있다.
도 19a 내지 도 19c, 도 20a 내지 도 20c에 예시한 것 이외에도, 공급 장치(200)의 길이 방향의 임의의 위치로부터 연마액이 축적되도록 구성할 수 있다. 예를 들어, 처음에 축적하고자 하는 부분에서, 2차측의 측벽(212)을 다른 부분보다 연마 패드(100)의 회전 방향에 있어서 선행하도록 배치하여, 당해 부분으로부터 적극적으로 연마액을 공급하도록 할 수 있다.
상기한 바와 같이 공급 장치(200)의 보유 지지 공간(201) 내에 있어서의 연마액의 축적 방향을 조정함으로써, 공급 장치(200)로부터 출력하는 연마액의 공급량을 장소에 따라 조정할 수 있다. 예를 들어, 기판의 중심에 많은 연마액을 공급하는 경우에는, 보유 지지 공간(201) 내에서 연마액이 중심측으로부터 축적되도록 한다. 또한, 기판 중심으로의 공급량이 많아지도록, 하류측의 측벽(212)에 슬릿을 마련해도 된다(도 18a 내지 도 18c를 참조).
본 실시 형태에 따르면, 공급 장치(200)의 1차측에서 사용 완료된 연마액을 배출하고, 2차측으로부터 신규의 연마액을 기판에 공급하여, 신규의 연마액만을 사용하여 연마할 수 있다. 이에 의해, 연마 품질(연마 레이트, 면내 균일성 등)을 향상시킬 수 있다. 또한, 연마 처리에 의한 기판의 결함도 억제할 수 있다. 또한, 사용 완료된 연마액을 제거하기 위한 별도의 구성을 생략할 수 있다.
(제3 실시 형태)
도 21은, 제3 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 여기서는, 드레서 및 아토마이저를 생략하고 도시하고 있지만, 필요에 따라서 드레서 및 아토마이저를 설치해도 된다. 본 실시 형태에서는, 공급 장치(200)는, 1차측에서, 사용 완료된 연마액(사용 완료 연마액)(SLu)의 적어도 일부를 보유 지지 공간(201) 내로 회수하고, 보유 지지 공간(201)에 있어서 사용 완료된 연마액(SLu)과 신규로 공급된 연마액(신규 연마액)(SLf)을 혼합하여, 2차측으로 출력한다. 도 21에서는, 설명의 편의상, 공급 장치(200)로부터 출력되는 연마액이, 신규 연마액(SLf) 및 사용 완료 연마액(SLu)의 각각의 화살표로 나타나 있지만, 실제로는, 신규 연마액(SLf) 및 사용 완료 연마액(SLu)이 혼합된 것이 출력된다.
사용 완료 연마액(SLu)의 적어도 일부를 회수하여, 재이용함으로써, 연마액의 소비량을 더 저감시킬 수 있다. 또한, 프로세스에 따라서는, 신규 연마액(SLf)에 사용 완료 연마액(SLu)을 혼합하여 연마 처리에 사용함으로써, 연마 품질(연마 레이트, 면내 균일성 등)을 향상시킬 수 있는 경우가 있는 것도 알고 있다. 따라서, 본 실시 형태에 따르면, 연마액의 소비량을 더 저감시킬 수 있는 동시에, 연마 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 연마 처리에 의한 기판의 결함도 억제할 수 있다.
도 22는, 1차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다. 도 23은, 1차측의 슬릿의 일례이며, 도 22의 화살표 XXIII의 방향으로부터 본 화살표도이다. 도 24는, 연마액의 회수의 흐름을 설명하기 위한 공급 장치의 평면도이다. 도시한 바와 같이, 공급 장치(200)의 1차측의 측벽(211)에는, 보유 지지 공간(201)을 외부와 연락하는 슬릿(232, 233)이 마련되어 있다. 슬릿(232)은, 사용 완료 연마액을 회수하기 위한 슬릿이며, 연마 테이블(20)의 회전력에 의해 슬릿(232)을 통해 사용 완료 연마액이 보유 지지 공간(201) 내로 회수된다. 슬릿(233)은, 보유 지지 공간(201) 내에서 넘친 연마액을 1차측의 측벽(211)측으로 복귀시키기 위한 슬릿이며, 이에 의해 사용 완료된 연마액과 보유 지지 공간(201) 내의 연마액이 양호하게 혼합하게 된다. 슬릿(232, 233) 중 한쪽만을 마련해도 된다.
도 23에 도시하는 바와 같이, 슬릿(232)은, 측벽(211)의 길이 방향의 대략 중심에 배치되고, 측벽(211)의 하단 에지에 개구된다. 복수의 슬릿(233)은, 슬릿(232)의 양측에 배치되고, 슬릿(232)으로부터 이격될수록 높이가 증가한다. 슬릿(232, 233)은, 임의의 수, 임의의 배치, 임의의 높이, 임의의 형상 및 치수로 마련할 수 있다. 회수용 슬릿(232)을 복수 마련해도 되고, 배출용 슬릿(233)을 단수 마련해도 된다.
연마 처리 중, 연마 패드(100)의 회전력에 의해, 1차측(측벽(211)측)의 연마액은, 도 23 및 도 24에 도시하는 바와 같이, 대략 중심에 있는 슬릿(232)을 향해 모아져, 슬릿(232)을 통해 회수된다.
연마 처리 중, 보유 지지 공간(201) 내에는, 신규 연마액(SLf)과, 회수된 사용 완료 연마액(SLu)이 혼합 상태로 존재하지만, 슬릿(233)을 통해 혼합 상태의 연마액의 일부가 1차측으로 복귀된다. 따라서, 공급 장치(200)에서는, 보유 지지 공간(201) 내의 연마액의 일부가, 2차측으로 출력됨과 함께, 슬릿(233)을 통해 1차측으로 복귀되고, 1차측의 연마액(사용 완료된 연마액, 보유 지지 공간(201) 내의 연마액)이 슬릿(232)을 통해 보유 지지 공간(201) 내로 회수되는 것이 반복된다. 2차측에 있어서의 연마액의 출력량은, 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지로 조정될 수 있다.
도 25는, 공급 장치(200)의 형상의 일례를 도시하는 평면도이다. 이 예에서는, 측벽(211) 및 측벽(212)이 각각 중심 부근에서 굴곡되는 형상이다. 1차측의 측벽(211)의 중심이, 연마 패드(100)의 회전 방향(Rd)에 있어서 선행하는 형상으로 되어 있다. 1차측의 측벽(211)의 형상 및 각도(도 25 참조), 슬릿(231)의 구성(수, 배치, 높이, 형상 및 치수), 압박 기구(250)에 의한 압박력을 조정함으로써, 연마액의 회수량을 조정할 수 있다. 또한, 도 25의 예에서는, 2차측의 측벽(212)의 중심이, 연마 패드(100)의 회전 방향(Rd)에 있어서 선행하는 형상으로 되어 있다. 이에 의해, 도 24에 도시하는 바와 같이, 보유 지지 공간(201) 내의 연마액은, 보유 지지 공간(201)의 길이 방향의 양측으로부터 중심을 향해 흘러, 중심측으로부터 축적된다. 따라서, 공급 장치(200)의 1차측에 있어서, 중심으로부터 연마액을 회수하여, 2차측에 있어서 중심으로부터의 연마액의 출력을 크게 할 수 있다.
또한, 공급 장치(200)의 형상으로서는, 도 19a 내지 도 19c, 도 20a 내지 도 20c에서 설명한 형상을 채용해도 된다.
도 26은, 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치(200)의 단면도이다. 이 예에서는, 1차측의 측벽(211)에 슬릿을 마련하지 않고, 2차측의 측벽(212)에 있어서 도 18a 내지 도 18c와 마찬가지의 슬릿(231)을 마련한다. 1차측에서의 연마액의 회수는, 압박 기구(250)에 의한 측벽(211)으로의 압박력을 조절함으로써 행한다. 즉, 1차측의 측벽(212)과 연마면(102) 사이의 간극으로부터, 사용 완료된 연마액을 보유 지지 공간(201) 내로 회수한다. 1차측의 측벽(211)의 형상 및 각도(도 25 참조), 압박 기구(250)에 의한 압박력을 조정함으로써, 연마액의 회수량을 조정할 수 있다. 2차측에 있어서의 연마액의 출력량은, 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지로 조정될 수 있다.
도 27은, 1차측 및 2차측에 슬릿을 마련한 공급 장치의 단면도이다. 이 예에서는, 1차측의 측벽(211)에 도 23과 마찬가지의 슬릿을 마련함과 함께, 2차측의 측벽(212)에 있어서 도 18a 내지 도 18c와 마찬가지의 슬릿(231)을 마련한다. 1차측에서의 연마액의 회수량의 조정은, 도 26의 예에 있어서 설명한 것과 마찬가지로 행할 수 있다. 2차측에 있어서의 연마액의 출력량은, 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지로 조정될 수 있다. 또한, 1차측 및 2차측의 측벽(211, 212) 모두 슬릿을 마련하지 않는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 압박 기구(250)에 의한 측벽(211)으로의 압박력을 조절함으로써 연마액 회수량의 조정을 행하고, 압박 기구(250)에 의한 측벽(212)으로의 압박력을 조절함으로써 연마액의 공급량의 조정을 행한다.
(제4 실시 형태)
도 28은, 제4 실시 형태에 관한 연마 장치(10)의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 도 29 및 도 30은, 연마액 제거부의 일례를 도시하는 단면도이다. 도 31은, 연마액 제거부의 일례를 도시하는 평면도이다. 본 실시 형태에서는, 연마 장치(10)는, 연마액 제거부(300)를 구비하고 있다. 연마액 제거부(300)는, 흡인부(310)와, 세정부(320)를 구비하고 있다. 흡인부(310)와 세정부(320)는, 일체로 설치된 구조 또는 하나의 블록으로서 구성되어도 되고(도 29), 각각의 블록으로서 간격을 두고 배치되어도 된다(도 30).
흡인부(310)는, 도 3 및 도 7에서 상술한 연마액 제거부(50)의 흡인부(56)와 대략 마찬가지의 구성을 갖는다. 흡인부(310)는, 도 28에 도시하는 바와 같이 평면으로 보아 가늘고 긴 패드형의 형상을 갖는다. 흡인부(310)는, 도 29에 도시하는 바와 같이, 연마면(102)에 개구되는 흡인 공간(312)과, 흡인 공간(312)에 개구되는 슬릿(313)과, 도시하지 않은 진공원이 접속되는 유로(314)를 구비하고 있다. 흡인부(310)의 연마면(102)측의 단부는, 연마면(102)에 접촉하거나, 연마면(102) 상의 연마액에 접촉할 정도로 배치된다. 도 3 및 도 7의 예와 마찬가지로, 흡인부(310)는, 연마면(102) 상의 연마액을 막는 둑부(52)를 구비해도 된다.
세정부(320)는, 도 31에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보아, 삼방을 둘러싸는 측벽(스크레이퍼)(325, 326, 327)을 갖고, 이들 측벽으로 둘러싸여 분사 공간(329)이 마련되어 있다. 도 31에서는, 설명의 편의상, 일부의 구성을 생략하고 있다. 측벽(325, 326, 327)은, 전술한 둑부(52)와 마찬가지로, 연마면(102)을 손상시키지 않는 동시에, 연마면(102)과의 맞닿음에 의한 측벽(325, 326, 327) 자체의 절삭 칩이 연마면(102)에 남지 않도록, 둑부(52)와 마찬가지의 재질이 선택되는 것이 바람직하다.
도 31에 도시하는 바와 같이, 세정부(320)에 있어서, 연마 패드(100)의 직경 방향 외측에는 측벽이 마련되어 있지 않고, 개구부(328)가 형성되어 있다. 개구부(328)는, 분사 공간(329)을 직경 방향 외측을 향해 개구시킨다. 이 개구부(328)를 통해, 연마 패드(100)(연마 테이블(20))의 회전의 원심력에 의해, 세정액 분사 노즐(321)로부터 분사된 세정액(DIW, HOT DIW) 및 사용 완료 세정액(SL2)이 직경 방향 외측으로 배출되도록 되어 있다. 또한, 연마액의 배출을 저해하지 않는 범위에서, 직경 방향 외측 단부의 일부에 측벽이 존재해도 된다. 측벽(325, 326, 327)은, 연마면(102)에 대해 접촉하거나 또는 살짝 접촉하고 있지 않은 정도로 배치된다. 또한, 프로세스에 따라서는, 연마 패드(100)의 표면 온도가 낮아지면 연마 레이트가 낮아지므로, 세정액으로서 가열한 순수(HOT DIW)를 사용해도 된다. 또한, 연마면(102)의 온도를 조정하기 위해, 전술한 온도 조절부(60, 60A), 또는 다른 형태의 온도 조절부를 마련해도 된다. 온도 조절부는, 연마액 제거부(300)의 하류측이며, 또한 톱 링(30)의 상류측에 배치할 수 있다. 온도 조절부는, 연마액 공급부(40, 200)의 상류측 또는 하류측에 배치할 수 있다.
세정부(320)는, 도 29에 도시하는 바와 같이, 분사 공간(329)을 향해 세정액을 분사하도록 배치된 세정액 분사 노즐(321)과, 세정액 분사 노즐(321)에 세정액을 공급하도록 연락하는 유로(323)를 갖는 유로 블록(322)을 구비하고 있다. 도시하지 않은 유체 공급원으로부터 유로(323)를 통해 세정액(DIW)이 세정액 분사 노즐(321)에 공급되고, 분사 공간(329) 내에 있어서 세정액 분사 노즐(321)로부터 연마면(102)을 향해 세정액이 분사된다. 세정액 분사 노즐(321)은, 분사각이 연마면에 대해 직교 또는 경사지도록 설치되어 있다. 또한, 유로 블록(322)은, 측벽(325, 326, 327)과 일체로 형성되어도, 별체로 형성되어도 된다. 분사되는 세정액에 의해, 연마면(102)의 홈부(101) 내의 사용 완료 연마액, 부생성물 등이 제거된다.
도 31의 예에서는, 세정액 분사 노즐(321)의 노즐 분사구(340)는, 타원 또는 부채 형상이며, 세정부(320)의 길이 방향에 대해 소정의 각도로 기울어져 배치되어 있다. 타원 또는 부채 형상의 노즐 분사구에서는, 중심 부분의 분사 유량이 크고, 단부 부분의 분사 유량이 작다. 이 때문에, 인접하는 노즐 분사구(340)의 단부끼리가, 세정부(320)의 길이 방향에 있어서 서로 겹치도록 배치되어, 전체 영역에서 균일한 유량이 얻어지도록 되어 있다. 또한, 세정액 분사 노즐(321)의 노즐 분사구(340)는, 도 33에 도시하는 바와 같이, 연마면(102)에 대해 경사를 갖고, 또한 연마면(102)의 직경 방향 외측을 향하도록 방향 잡혀도 된다. 이 경우, 세정액(DIW) 및 사용 완료 연마액이, 개구부(328)로부터 외측으로 배출되기 쉽다. 도 32의 예에서는, 세정액 분사 노즐(321)의 노즐 분사구(340)는, 타원 또는 부채 형상이며, 세정부(320)의 길이 방향에 평행하게 배치되고, 각 노즐 분사구(340)를 엇갈리게 배열하여, 인접하는 노즐 분사구(340)의 단부끼리가, 세정부(320)의 길이 방향에 있어서 서로 겹치도록 배치되어 있다.
도 34a 내지 도 34c는, 연마액 제거부의 구성예를 도시하는 사시도이다. 도 34a는, 연마 패드(100)의 외측으로부터 본 사시도이다. 도 34b는, 흡인부(310)의 커버를 분리한 상태의 사시도이다. 도 34c는, 연마 패드(100)의 중심측으로부터 본 사시도이다. 도 34a 내지 도 34c에 도시하는 구성예에서는, 세정부(320)는, 연마 테이블(20)의 회전 방향에 있어서의 상류측 및 하류측, 그리고 연마 테이블(20)의 중심측에 측벽(325, 326, 327)이 배치되고, 측벽(325, 326, 327)으로 둘러싸인 공간의 상부에는 유로 블록(322)이 배치되어 있다. 유로 블록(322)의 하방에는, 분사 공간(329)이 형성되어 있다. 분사 공간(329)은, 측벽(325, 326, 327)과 유로 블록(322)에 의해 둘러싸여 있다. 세정부(320)의 연마 테이블(20)의 외주측에는, 측벽이 마련되어 있지 않고, 개구부(328)가 마련되어 있다. 분사 공간(329)은, 연마 테이블(20)의 외주측에 있어서, 개구부(328)로부터 개구되어 있다. 유로 블록(322)에는 배관(324)이 연결되어 있고, 배관(324) 내에 유로(323)가 마련되어 있다. 유로(323)는, 세정액 분사 노즐(321)(도 29)의 노즐 분사구(340)(도 30)에 접속된다.
도 34a 내지 도 34c의 예에서는, 흡인부(310)는, 암(350)(도 28 참조)에 고정된 흡인 블록(311)을 구비하고 있다. 흡인 블록(311) 내에 흡인 공간(312)(도 29, 도 30)이 형성되어 있다. 암(350) 상에는, 배관(316)이 배치되어 있고, 배관(316)의 일단부가, 도시하지 않은 진공원에 접속되고, 타단부가, 연결 블록(315)을 통해 흡인 블록(311)에 접속되어 있다. 배관(316), 연결 블록(315) 및 흡인 블록(311)에는, 유로(314)가 연장되어 있고, 유로(314)는 흡인 공간(312)에 개구되는 슬릿(313)(도 29, 도 30)에 접속되어 있다. 흡인 블록(311)의 상부에는, 연결 블록(315) 및 배관(316)을 덮도록 커버(318)가 설치되어 있다. 흡인 블록(311)은, 전술한 둑부(52)와 마찬가지로, 연마면(102)을 손상시키지 않는 동시에, 연마면(102)과의 맞닿음에 의한 흡인부(310) 자체의 절삭 칩이 연마면(102)에 남지 않도록, 둑부(52)와 마찬가지의 재질이 선택되는 것이 바람직하다.
연마액 제거부(300)(세정부(320) 및 흡인부(310))는, 도 28에 도시하는 바와 같이, 요동 및 상하 이동 가능한 암(350)에 설치되고, 연마 패드(100)의 연마면(102)에 대해 압박할 수 있다. 암(350)은, 연마 테이블(20) 외부의 지주에 설치되어 있다. 암(350)을 상하 이동시키는 승강 기구는, 예를 들어 실린더를 사용할 수 있다. 이 경우, 레귤레이터(비례 제어 밸브 등)에 의해, 실린더에 공급하는 구동 유체의 압력을 바꿈으로써 연마 패드(100)로의 압박 압력을 제어 가능하게 구성할 수 있다. 또한, 암에 설치된 기구의 무게(자중)를 캔슬할 수 있도록 구성하는 것도 가능하고, 압박 압력을 0으로 할 수도 있다. 승강 기구는, 실린더에 한정되지 않고, 모터의 동력에 의한 것, 그 밖에 임의의 기구를 채용할 수 있다. 또한, 제2 및 3 실시 형태에 있어서의 압박 기구를 사용해도 된다. 또한, 세정부(320) 및 흡인부(310)는, 요동 및 상하 이동 가능한 각각의 암에 설치되어도 된다.
이러한 연마액 제거부(300)에 의하면, 세정부(320)의 분사 공간(329)에 있어서 세정액 분사 노즐(321)로부터 연마면에 대해 세정액이 분사되어, 연마면 상의 사용 완료 연마액 및 부생성물을 세정액으로 씻어내고, 연마 테이블의 회전 원심력에 의해, 개구부(328)를 통해 세정액을 직경 방향 외측으로 배출한다. 다음으로, 흡인부(310)에서는, 세정부(320)에 있어서 원심력으로 배출이 곤란한 연마면 상의 홈부(패드 홈, 다공성 부분)에 있는 세정액을 흡인에 의해 제거한다. 이에 의해, 연마면 상의 부생성물 및 사용 완료 연마액을 제거할 수 있고, 그 후에 배치되어 있는 연마액 공급 기구(연마액 공급 노즐(40, 200))에 의해 신규 연마액만을 연마면 상에 공급할 수 있다. 이 결과, 기판의 결함을 방지하여, 연마 품질(연마 레이트, 면내 균일성 등)을 향상시킬 수 있다.
본 실시 형태에 있어서, 도 28에 도시하는 바와 같이, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 마련해도 된다. 또한, 연마액 제거부(300)의 세정부(320)를 아토마이저로서 사용하고, 별도의 아토마이저(94)를 생략해도 된다. 또한, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 생략해도 된다. 상기에서는, 세정부(320)의 직경 방향 외측 단부면에 측벽이 마련되지 않는 경우를 설명하였지만, 직경 방향 외측 단부면에도 측벽을 마련하여, 분사 공간(329)의 전체 둘레가 측벽으로 둘러싸이도록 해도 된다.
(제5 실시 형태)
도 35는, 제5 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 사시도이다. 도 36은, 세정액의 배출을 설명하기 위한 연마액 제거부의 평면도이다. 본 실시 형태에서는, 연마액 제거부(300)를 톱 링(30)의 외형을 따른 형상으로 구성하고, 톱 링(30)의 외측에 배치한다. 본 실시 형태의 연마액 제거부(300)는, 세정부(320) 및 흡인부(310)가 원호형으로 형성되는 것 이외에는, 제4 실시 형태와 마찬가지이다. 제4 실시 형태와 마찬가지로, 세정부(320)의 직경 방향 외측의 단부에는, 개구부(328)가 마련되어 있다(도 36). 따라서, 도 36에 도시하는 바와 같이, 세정부(320)의 분사 공간(329) 내에 분사된 세정액은, 원호형의 화살표로 나타내는 바와 같이, 개구부(328)를 통해 연마면(102)의 외측으로 배출된다. 본 실시예에서도 연마 테이블(20)의 원심력에 의해 세정액이 분사 공간(329) 내에서 직경 방향 외측으로 유도되지만, 세정액 분사 노즐(321)의 노즐 분사구(340)는, 도 33에 도시하는 바와 같이, 연마면(102)에 대해 경사를 갖고, 또한 연마면(102)의 직경 방향 외측을 향하도록 방향 잡혀도 된다. 이 경우, 세정액(DIW) 및 사용 완료 연마액이, 개구부(328)로부터 외측으로 배출되기 쉽다. 노즐 분사구(340)의 평면 형상은, 도 31 및 도 32와 마찬가지인 것으로 할 수 있다.
도 37 및 도 38은, 연마액 제거부의 설치 구조의 예를 도시하는 사시도이다. 도 37의 예에서는, 연마액 제거부(300)가 승강 가이드(35) 및 브래킷(37)을 통해, 톱 링(30)의 지지 암(34)에 설치되어 있다. 승강 가이드(35)의 샤프트의 일단부가, 연마액 제거부(300)의 흡인부(310)에 고정되고, 승강 가이드(35)의 샤프트 타단부가, 실린더(36)의 로드에 연결되어 있다. 실린더(36)의 로드의 신축에 의해, 연마액 제거부(300)가 연마면(102)에 압박되는 힘이 조정된다. 또한, 승강 가이드(35)의 샤프트의 일단부는, 연마액 제거부(300)의 세정부(320)에 고정되어도 되고, 세정부(320) 및 흡인부(310)의 양쪽에 고정되어도 된다.
도 38의 예에서는, 연마액 제거부(300)가 브래킷(37a)을 통해, 톱 링(30)의 회전/승강축(31a)에 고정되어 있다. 브래킷(37a)은, 세정부(320) 및/또는 흡인부(310)에 고정할 수 있다. 브래킷(37a)과 회전/승강축(31a)을 회전 베어링을 통해 연결하고, 회전 방지 기구를 마련함으로써, 회전/승강축(31a)의 회전이 브래킷(37a)에 전달되지 않도록 한다. 이 구성에서는, 회전/승강축(31a)의 승강과 동기하여, 브래킷(37a)에 고정된 연마액 제거부(300)가 승강한다. 이에 의해, 연마액 제거부(300)가 연마면(102)에 압박된다.
이 실시 형태에 따르면, 제4 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘한다. 또한, 연마 처리 직후에 사용 완료된 연마액 및 부생성물을 연마액 제거부(300)에 의해 회수할 수 있다. 또한, 연마액 제거부(300)가 톱 링(30)의 외형을 따른 형상이므로, 연마액 제거부(300)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또한, 제4 실시 형태와 마찬가지로, 세정부(320)의 직경 방향 외측 단부에 개구부(328)를 마련해도 되고, 전체 둘레를 측벽으로 둘러싸는 구성으로 해도 된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 도 28의 예와 마찬가지로, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 마련해도 된다. 또한, 연마액 제거부(300)의 세정부(320)를 아토마이저로서 사용하고, 별도의 아토마이저(94)를 생략해도 된다. 또한, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 생략해도 된다.
(제6 실시 형태)
도 39는, 제6 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 이 예에서는, 제2 실시 형태의 연마 장치에 있어서, 연마액 제거부(300)를 마련한 것이다. 연마액 제거부(300)는, 상술한 연마액 제거부(50), 또는 제4 또는 제5 실시 형태에 관한 연마액 제거부(300)와 마찬가지의 구성, 다른 구성이어도 된다. 또한, 제2 실시 형태의 공급 장치(200) 대신에, 일본 특허 공개 평11-114811호 공보(미국 특허 제6336850호)에 기재된 슬러리 공급 장치를, 제4 또는 제5 실시 형태에 관한 연마액 제거부(300)와 조합해도 된다. 일본 특허 공개 평11-114811호 공보(미국 특허 제6336850호)의 명세서, 특허청구범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시는, 참조에 의해 전체로서 본원에 포함된다.
연마액 제거부(300)는, 톱 링(30)의 후방(하류측)이면서 공급 장치(200)(슬러리 공급 장치)의 전방(상류측)에 배치하는 것이 바람직하다. 이 실시 형태에 따르면, 연마액 제거부(300)에 의해 사용 완료 연마액을 제거한 후에, 또한 공급 장치(200)의 1차측의 측벽(211)에서 사용 완료 연마액을 연마 패드(100) 외부로 배출하므로, 공급 장치(200)의 2차측에서 출력하는 연마액에, 사용 완료 연마액이 혼입되는 것을 더욱 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 도 28의 예와 마찬가지로, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 마련해도 된다. 또한, 연마액 제거부(300)의 세정부(320)를 아토마이저로서 사용하고, 별도의 아토마이저(94)를 생략해도 된다. 또한, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 생략해도 된다.
또한, 연마액 제거부(300)의 세정부를 생략해도 된다. 이 경우, 연마면 상의 사용 완료 연마액을 완전히 제거하지 않고, 흡인부(310)의 흡인 압력, 압박력을, 홈부(패드 홈, 다공성 부분)에 있는 연마에 효과가 없는 연마액(지립)만을 제거하기 위한 최적의 압력으로 설정함으로써, 연마액의 사용량을 삭감할 수 있다. 흡인부(310)에서 제거하지 않는 연마액은, 공급 장치(200)의 1차측에서 배출된다.
(제7 실시 형태)
도 40은, 제7 실시 형태에 관한 연마 장치의 각 구성 요소의 배치 관계를 도시하는 평면도이다. 이 예에서는, 제2 실시 형태 또는 제3 실시 형태의 연마 장치에 있어서, 온도 조절부(400)를 마련한 것이다. 온도 조절부(400)는, 상술한 온도 조절부(60)(도 4 등), 온도 조절부(60A)(도 8)와 마찬가지의 구성이어도 되고, 다른 구성이어도 된다. 온도 조절부(400)는, 톱 링(30)의 후방(하류측)이면서 공급 장치(200)의 전방(상류측)에 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 상술한 바와 마찬가지로, 온도 센서(68)에 의해 검출된 온도에 기초하여 온도 조절부(400)를 제어하도록 해도 된다. 이 실시 형태에 따르면, 연마면(102)의 온도 조절을 행할 수 있으므로, 연마 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 제2 실시 형태의 연마 장치에 온도 조절부(400)를 설치하는 경우에는, 상술한 연마액 제거부(300)를 더 마련해도 된다. 이 경우, 공급 장치(200), 톱 링(30), 연마액 제거부(300), 온도 조절부(400)를 이 순번으로 배치하는 것이 바람직하다. 이 경우, 단열층이 될 수 있는 연마액이 제거된 상태에서 온도 조절부(400)가 연마면(102)의 온도를 조절할 수 있어, 연마면(102)의 온도 조절의 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 공급 장치(200), 온도 조절부(400), 톱 링(30), 연마액 제거부(300)의 순번으로 배치해도 된다. 이 경우, 연마면의 온도를 연마 처리 직전에 연마에 최적인 온도로 조절할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 도 28의 예와 마찬가지로, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 마련해도 된다. 또한, 연마액 제거부(300)의 세정부(320)를 아토마이저로서 사용하고, 별도의 아토마이저(94)를 생략해도 된다. 또한, 드레서(90) 및 아토마이저(94)를 생략해도 된다.
상기 실시 형태로부터 적어도 이하의 형태를 파악할 수 있다.
제1 형태에 의하면, 연마면을 갖는 연마 패드를 사용하여 연마 대상물의 연마를 행하는 연마 장치로서, 회전 가능하게 구성된 연마 테이블이며, 상기 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과, 연마 대상물을 보유 지지하여 연마 대상물을 상기 연마 패드에 압박 접촉하기 위한 기판 보유 지지부와, 상기 연마액을 상기 연마면으로부터 제거하기 위한 연마액 제거부를 구비하고, 상기 연마액 제거부는, 상기 연마면에 세정액을 분사하는 린스부와, 상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 흡인하는 흡인부를 갖고, 상기 린스부는, 측벽으로 둘러싸인 세정 공간을 갖고, 상기 측벽은, 상기 세정 공간을 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측을 향해 개구시키는 개구부를 갖고 있는, 연마 장치가 제공된다.
이 형태에 의하면, 린스부(세정부)의 측벽으로 둘러싸인 세정 공간에 있어서, 사용 완료된 세정액을 연마 패드 외부로 배출하면서, 연마면을 세정하고, 또한 흡인부에 있어서 연마면 상의 연마액을 흡인하여 제거하므로, 연마면 상의 연마액의 제거 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 측벽으로 둘러싸인 세정 공간에 있어서 연마면에 세정액을 분사하므로, 세정액이 비산되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 세정 중에, 직경 방향 외측의 측벽 개구부로부터 사용 완료 세정액을 배출하므로, 흡인부에 있어서 흡인하는 연마액의 양을 대폭 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 흡인부에 있어서의 흡인의 부담이 저감된다.
제2 형태에 의하면, 제1 형태의 연마 장치에 있어서, 상기 린스부 및 상기 흡인부는, 일체의 블록으로서 구성되거나, 또는 인접하여 배치되어 있다. 이 형태에 의하면, 연마액 제거부를 공간 절약적으로 배치할 수 있다. 또한, 린스부와 흡인부가 근접하고 있으므로, 세정에 의해 연마면의 홈부(패드 홈, 다공성 등)로부터 유리된 지립, 부생성물 등을 흡인부에 있어서 보다 확실하게 흡인할 수 있다.
제3 형태에 의하면, 제1 또는 제2 형태의 연마 장치에 있어서, 상기 연마액 제거부는, 상기 기판 보유 지지부의 외형을 따라 상기 기판 보유 지지부의 외측에 배치되어 있다. 이 형태에 의하면, 연마 처리 직후의 연마면 상의 사용 완료 연마액을 효율적으로 제거하는 것이 가능하다. 또한, 연마액 제거부가 기판 보유 지지부의 외형을 따라 마련되어 있으므로, 연마액 제거부를 공간 절약적으로 배치할 수 있다.
제4 형태에 의하면, 제3 형태의 연마 장치에 있어서, 상기 기판 보유 지지부를 지지하는 지지 암을 더 구비하고, 상기 연마액 제거부는, 상기 지지 암에 고정되어 있다. 이 형태에 의하면, 연마액 제거부의 선회 기구 및/또는 승강 기구를 별도로 마련할 필요가 없다.
제5 형태에 의하면, 제3 형태의 연마 장치에 있어서, 상기 기판 보유 지지부를 승강시키는 승강축을 더 구비하고, 상기 연마액 제거부는, 상기 승강축에 고정되어 있다. 이 형태에 의하면, 연마액 제거부의 선회 기구 및/또는 승강 기구를 별도로 마련할 필요가 없다.
제6 형태에 의하면, 제3 내지 제5 형태 중 어느 연마 장치에 있어서, 상기 연마액 제거부는, 원호형의 형상을 구비한다. 이 형태에 의하면, 원형의 기판 보유 지지부의 외형을 따라 연마액 제거부를 마련할 수 있으므로, 연마액 제거부를 공간 절약적으로 배치할 수 있다.
제7 형태에 의하면, 제1 내지 제6 형태 중 어느 연마 장치에 있어서, 상기 린스부 및/또는 상기 흡인부를 상기 연마면에 압박하는 압박 기구를 더 구비한다. 이 형태에 의하면, 린스부에 있어서, 세정 공간 내의 세정액 등이 개구부 이외로 유출되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 흡인부에 있어서의 세정액의 흡인을 양호하게 할 수 있도록, 흡인부를 연마면에 압박하는 것이 가능하다.
제8 형태에 의하면, 제1 내지 제7 형태 중 어느 연마 장치에 있어서, 상기 연마 테이블의 회전 방향에 있어서 상기 연마액 제거부의 하류측에 배치된 온도 조절부를 더 구비한다. 이 형태에 의하면, 단열층이 될 수 있는 연마액이 제거된 상태에서 온도 조절부가 연마면의 온도를 조절할 수 있어, 연마면의 온도 조절의 효율을 향상시킬 수 있다.
제9 형태에 의하면, 제1 내지 제8 형태 중 어느 연마 장치에 있어서, 상기 연마 패드에 압박된 상태에서 상기 연마면에 연마액을 공급하기 위한 공급 장치를 더 구비한다. 이 형태에 의하면, 연마액 제거부에 의해 사용 완료 연마액을 제거한 후, 다시 공급 장치(공급 패드)에 의해 사용 완료 연마액을 배출할 수 있으므로, 사용 완료 연마액의 제거를 보다 완전하게 행할 수 있다.
제10 형태에 의하면, 연마 패드가 설치된 연마 테이블을 회전시킴과 함께 상기 연마 패드에 연마 대상물을 압박 접촉시켜 상기 연마 대상물을 연마하는 연마 방법에 있어서, 린스부 및 흡인부를 갖는 연마액 제거부를 준비하는 것과, 상기 연마 패드의 연마면에 상기 린스부에 의해 세정액을 분사하는 것과, 상기 분사된 세정액을, 상기 린스부의 측벽에 있어서 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측에 개구하는 개구부로부터 배출하는 것과, 상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 상기 흡인부에 의해 흡인하는 것을 포함하는, 연마 방법이 제공된다. 이 형태에 의하면, 제1 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘한다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이지, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있는 동시에, 본 발명에는 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에서, 실시 형태 및 변형예의 임의의 조합이 가능하고, 청구범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합 또는 생략이 가능하다.
본원은, 2018년 8월 6일 제출된 일본 특허 출원 번호 2018-147915호에 기초한 우선권을 주장한다. 2018년 8월 6일 제출된 일본 특허 출원 번호 2018-147915호의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함한 모든 개시는 참조에 의해 전체적으로 본원에 통합된다. 일본 특허 공개 2001-150345호 공보(특허 문헌1), 특허 제 4054306호 명세서(특허 문헌2), 일본 특허 공개 2008-194767호 공보(특허 문헌3), 미국 특허 공개 2016/0167195호 명세서(특허 문헌4)의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함한 모든 개시는 참조에 의해 전체적으로 본원에 통합된다.
10 : 연마 장치
20 : 연마 테이블
30 : 톱 링
40 : 연마액 공급 노즐
50 : 연마액 제거부
52 : 둑부
56 : 흡인부
57 : 슬릿
58 : 유로
60, 60A : 온도 조절부
62 : 기체 분사 노즐
62A : 열교환기
70 : 제어부
100 : 연마 패드
102 : 연마면
200 : 공급 장치
201 : 보유 지지 공간
210, 211, 212 : 측벽
250 : 압박 기구
251 : 실린더 장치
251a : 실린더
252 : 압박 자세 조정 기구
300 : 연마액 제거부
310 : 흡인부
320 : 세정부
SL : 연마액
Wk : 기판

Claims (10)

  1. 연마면을 갖는 연마 패드를 사용하여 연마 대상물의 연마를 행하는 연마 장치로서,
    회전 가능하게 구성된 연마 테이블이며, 상기 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과,
    연마 대상물을 보유 지지하여 연마 대상물을 상기 연마 패드에 압박하기 위한 기판 보유 지지부와,
    상기 연마액을 상기 연마면으로부터 제거하기 위한 연마액 제거부를 구비하고,
    상기 연마액 제거부는,
    상기 연마면에 세정액을 분사하는 린스부와,
    상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 흡인하는 흡인부를 갖고,
    상기 린스부는, 측벽으로 둘러싸인 세정 공간을 갖고, 상기 측벽은, 상기 세정 공간을 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측을 향해 개구시키는 개구부를 갖고 있는, 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 린스부 및 상기 흡인부는, 일체의 블록으로서 구성되거나, 또는 인접하여 배치되어 있는, 연마 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연마액 제거부는, 상기 기판 보유 지지부의 외형을 따라 상기 기판 보유 지지부의 외측에 배치되어 있는, 연마 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판 보유 지지부를 지지하는 지지 암을 더 구비하고,
    상기 연마액 제거부는, 상기 지지 암에 고정되어 있는, 연마 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 기판 보유 지지부를 승강시키는 승강축을 더 구비하고,
    상기 연마액 제거부는, 상기 승강축에 고정되어 있는, 연마 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 연마액 제거부는, 원호형의 형상을 구비하는, 연마 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정부 및/또는 상기 흡인부를 상기 연마면에 압박하는 압박 기구를 더 구비하는, 연마 장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연마 테이블의 회전 방향에 있어서 상기 연마액 제거부의 하류측에 배치된 온도 조절부를 더 구비하는, 연마 장치.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연마 패드에 압박된 상태에서 상기 연마면에 연마액을 공급하기 위한 공급 장치를 더 구비하는, 연마 장치.
  10. 연마 패드가 설치된 연마 테이블을 회전시킴과 함께 상기 연마 패드에 연마 대상물을 압박 접촉시켜 상기 연마 대상물을 연마하는 연마 방법에 있어서,
    린스부 및 흡인부를 갖는 연마액 제거부를 준비하는 것과,
    상기 연마 패드의 연마면에 상기 린스부에 의해 세정액을 분사하는 것과,
    상기 분사된 세정액을, 상기 린스부의 측벽에 있어서 상기 연마 테이블의 직경 방향 외측에 개구하는 개구부로부터 배출하는 것과,
    상기 세정액이 분사된 상기 연마면 상의 연마액을 상기 흡인부에 의해 흡인하는 것을 포함하는, 연마 방법.
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