KR20200013348A - 세정수 처리 장치, 플라즈마 리액션 탱크 및 세정수 처리 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 가압부 및 버블 형성부를 세부적으로 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 2의 버블 형성부를 세부적으로 설명하기 위한 평면 개념도이다.
도 4는 도 1의 플라즈마 리액션 탱크의 전극 형태를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 4의 제1 전극, 제2 전극 및 이그니션 전극을 세부적으로 설명하기 위한 개념도이다.
도 6은 도 5의 이그니션 전극의 형상을 세부적으로 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 도 1의 인리퀴드 플라즈마 모니터링 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 세정수 처리 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 9는 도 8의 플라즈마 리액션 탱크의 전극 형태를 설명하기 위한 개념 사시도이다.
도 10은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 세정수 처리 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 11은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 세정수 처리 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 12는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 세정수 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 13은 도 12의 세정수 형성 단계를 세부적으로 설명하기 위한 순서도이다.
200: 버블 형성부
300: 플라즈마 리액션 탱크
400: 제1 배관
500: 저장 탱크
600: 라디칼 센서
700: 제2 배관
800: 노즐
Claims (20)
- 액체와 가스가 혼합된 혼합액의 압력을 낮춰 버블을 형성하는 버블 형성부;
상기 버블에 전압을 가해서 버블 리퀴드 플라즈마(bubble liquid plasma)를 포함하는 세정수를 형성하는 플라즈마 리액션 탱크;
상기 세정수를 저장하는 저장 탱크;
상기 플라즈마 리액션 탱크와 상기 저장 탱크를 연결하는 배관;
상기 플라즈마 리액션 탱크, 상기 저장 탱크 및 상기 배관에서 상기 세정수를 순환시키는 순환 펌프;
상기 세정수 내의 라디칼의 농도를 측정하는 라디칼 센서;
상기 라디칼의 농도가 기준 농도에 도달하면 개방되는 노즐 밸브; 및
상기 노즐 밸브가 개방되면 상기 세정수가 토출되는 노즐을 포함하는 세정수 처리 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 플라즈마 리액션 탱크 내의 라디칼 종류 및 농도를 파악하는 인리퀴드 플라즈마(In-liquid plasma) 모니터링 장치를 더 포함하는 세정수 처리 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 인리퀴드 플라즈마 모니터링 장치는 상기 버블 리퀴드 플라즈마의 전기적 특성을 분석하는 세정수 처리 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 인리퀴드 플라즈마 모니터링 장치는 상기 세정수 내의 마이크로파의 분산 관계를 활용하는 세정수 처리 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 인리퀴드 플라즈마 모니터링 장치는 상기 버블 리퀴드 플라즈마의 빛을 감지하는 세정수 처리 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 인리퀴드 플라즈마 모니터링 장치는 상기 세정수를 통과하는 빛을 방출하는 방출 모듈과,
상기 빛을 수신하는 수신 모듈을 포함하는 세정수 처리 장치. - 제6 항에 있어서,
상기 플라즈마 리액션 탱크는 외벽 상에 상기 빛이 통과되는 윈도우를 포함하는 세정수 처리 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 라디칼 센서는 NDIR(Non-dispersive infrared ray)를 통해서 상기 라디칼을 분석하는 세정수 처리 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 라디칼 센서는 라디칼의 자기 스핀 공명법(EPR; Electron Paramagnetic Resonance)을 통해서 상기 라디칼을 분석하는 세정수 처리 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 플라즈마 리액션 탱크는 상기 세정수를 수용하는 탱크 바디와,
상기 탱크 바디 내에 임베디드된 제1 및 제2 전극과,
상기 탱크 바디 내부에서 스파크를 형성하는 이그니션 전극을 포함하는 세정수 처리 장치. - 세정수를 수용하는 탱크 바디;
상기 탱크 바디 내에 임베디드된 제1 및 제2 전극으로서, 상기 제1 전극은 접지되고, 상기 제2 전극은 제1 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극; 및
상기 제1 및 제2 전극 사이에서, 상기 탱크 바디 내부에 위치하고, 상기 세정수 내의 플라즈마를 상기 제1 전극에서 상기 제2 전극 방향으로 단계적으로 형성하는 이그니션 전극을 포함하는 플라즈마 리액션 탱크. - 제11 항에 있어서,
상기 이그니션 전극은 제1 및 제2 이그니션 전극을 포함하고,
상기 제1 이그니션 전극은 상기 제1 전극과 상기 제2 이그니션 전극 사이에 위치하고,
상기 제2 이그니션 전극은 상기 제2 전극과 상기 제1 이그니션 전극 사이에 위치하는 플라즈마 리액션 탱크. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 전극은 제1 방향으로 이격되고,
상기 제1 및 제2 이그니션 전극은 각각 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 플라즈마 리액션 탱크. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 이그니션 전극은,
제1 높이를 가지는 제1 및 제2 베이스부와,
상기 제1 높이보다 높은 제2 높이를 가지고, 상기 제1 및 제2 베이스부 사이에 돌출되는 돌출부를 포함하는 플라즈마 리액션 탱크. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 이그니션 전극과 상기 제1 전압을 연결하는 제1 스위치와,
상기 제2 이그니션 전극과 상기 제1 전압을 연결하는 제2 스위치와,
상기 제2 전극과 상기 제1 전압을 인가시키는 제3 스위치를 더 포함하는 플라즈마 리액션 탱크. - 제15 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 스위치는 순차적으로 단락되어 상기 제1 이그니션 전극, 상기 제2 이그니션 전극 및 상기 제2 전극에 순차적으로 상기 제1 전압을 인가하는 플라즈마 리액션 탱크. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 이그니션 전극과 상기 제1 전압을 연결하는 제1 커패시터와,
상기 제2 이그니션 전극과 상기 제1 전압을 연결하는 제2 커패시터를 더 포함하는 플라즈마 리액션 탱크. - 액체와 가스를 혼합하여 혼합액을 형성하고,
상기 혼합액의 압력을 높여 상기 혼합액 내의 상기 가스를 과포화시키고,
상기 혼합액의 압력을 낮춰 상기 혼합액 내에 버블을 발생시키고,
상기 혼합액에 제1 전압을 인가하여 버블 리퀴드 플라즈마를 포함하는 세정수를 형성하고,
상기 세정수를 순환시키고,
상기 세정수 내의 라디칼의 농도를 감지하고,
상기 라디칼의 농도가 기준 농도에 도달하면 배출하는 것을 포함하는 세정수 처리 방법. - 제18 항에 있어서,
상기 세정수를 형성하는 것은,
상기 세정수 내의 라디칼의 종류 및 농도를 모니터링하는 것을 포함하는 세정수 처리 방법. - 제18 항에 있어서,
상기 라디칼의 종류 및 농도를 모니터링 하는 것은,
전기적 측정 방법, 마이크로파 분석법 및 광학적 분석 방법 중 적어도 하나를 사용하는 것을 포함하는 세정수 처리 방법.
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