KR20190124893A - Plasma torch - Google Patents

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KR20190124893A
KR20190124893A KR1020180048920A KR20180048920A KR20190124893A KR 20190124893 A KR20190124893 A KR 20190124893A KR 1020180048920 A KR1020180048920 A KR 1020180048920A KR 20180048920 A KR20180048920 A KR 20180048920A KR 20190124893 A KR20190124893 A KR 20190124893A
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Abstract

A plasma torch used in a plasma scrubber system is disclosed. It comprises a housing, a cathode electrode installed in the housing, and an anode electrode disposed below the cathode electrode in the housing and having a plasma flame emission hole. The anode electrode includes a corrosion resistant metal layer formed at the bottom inlet of at least the plasma flame emission hole and a main body. The corrosion resistant metal layer is attached to the main body of the anode electrode detachably using a coupling bolt. The lifetime of the plasma can be extended by suppressing the wear of the anode electrode.

Description

플라즈마 토치{PLASMA TORCH} Plasma Torch {PLASMA TORCH}

본 발명은 오염물질 처리에 이용되는 플라즈마 스크러버 분야에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전극의 내구성이 향상된 플라즈마 토치에 관한 것이다.The present invention relates to the field of plasma scrubbers used for contaminant treatment, and more particularly, to a plasma torch with improved durability of an electrode.

기술과 산업이 발전함에 따라 다양한 종류의 산업 생산품들이 대량으로 생산되어 소비되고 있다. 특히, 스마트폰이나 디스플레이와 같은 전자제품은 종류도 다양하고 매우 빠르게 새로운 모델들이 쏟아져 나오기 때문에 그에 필요한 부속 제품들도 대량으로 생산되고 있다. 그 중 반도체 메모리나 디스플레이 기판은 이들 전자제품의 핵심적인 요소이기도 하고, 새로운 전자제품의 출현에 주도적인 역할을 하고 있다고 할 수 있을 정도로 중요하다. 이들 반도체 메모리나 디스플레이가 산업 발달에 크게 기여를 하고 있지만 생산 과정에서 다량의 복합 오염물질이 배출되는 문제가 있다.As technology and industry develop, various types of industrial products are produced and consumed in large quantities. In particular, electronic products such as smartphones and displays are diverse and new models are pouring out very quickly, so the necessary accessories are being produced in large quantities. Among them, semiconductor memory and display substrates are important elements of these electronic products, and they are important enough to play a leading role in the emergence of new electronic products. Although these semiconductor memories and displays contribute greatly to the development of the industry, there is a problem that a large amount of complex pollutants are emitted during production.

복합 오염물질의 처리에 효과적인 방안 중의 하나는 플라즈마 스크러버 시스템을 이용하는 것이다. 플라즈마 스크러버 시스템은 상대적으로 작은 사이즈를 가지면서도 복합 오염물질 처리에 매우 높은 효율을 보인다.One effective way to treat complex contaminants is to use a plasma scrubber system. Plasma scrubber systems have a relatively small size and very high efficiency in treating complex contaminants.

다만, 플라즈마 스크러버 시스템에 채용되는 플라즈마 토치는 발생되는 고온의 프레임(flame)에 의해 애노드 전극이 쉽게 손상되거나 마모되어 애노드 전극의 수명이 짧다는 애로 사항이 있다. 도 1은 종래의 플라즈마 토치를 개략적으로 도시한 도면이다. 플라즈마 토치는 하우징(10) 내에 설치된 캐소드 전극(11)과 애노드 전극(13)을 포함한다. 캐소드 전극(11)은 구리 부위(111)와 내부의 인서트 부위(113)을 포함한다. 인서트 부위(113)은 텅스텐 재질로 이루어진다. 애노드 전극(13)은 구리 재질로 제조되고 캐소드 전극(11) 하위에 배치되며, 중앙에 플레임 방출 홀을 구비하는 형태를 가진다. 캐소드 전극(11)과 애노드 전극(13)에 전압이 인가되면, 캐소드 전극과 애노드 전극 간에 아크가 발생하여 아르곤이나 질소와 같은 불활성 작동 가스의 플라즈마 플레임(flame)을 플레임 방출 홀(131)을 통해 방출된다. 이러한 아크와 플레임의 높은 온도로 인해 애노드 전극(13)의 플레임 방출 홀의 하단 입구가 집중적으로 마모된다. 애노드 전극(13)의 마모 손상은 토치 자체의 수명을 단축시키는 주요 원인이며, 그로 인해 토치를 빈번하게 교체하여야 한다.However, the plasma torch employed in the plasma scrubber system has a problem in that the anode electrode is easily damaged or worn by the generated high temperature flame, resulting in a short life of the anode electrode. 1 is a view schematically showing a conventional plasma torch. The plasma torch includes a cathode electrode 11 and an anode electrode 13 installed in the housing 10. The cathode electrode 11 includes a copper portion 111 and an insert portion 113 therein. The insert portion 113 is made of tungsten material. The anode electrode 13 is made of copper material and is disposed below the cathode electrode 11 and has a shape having a flame emission hole in the center thereof. When a voltage is applied to the cathode electrode 11 and the anode electrode 13, an arc is generated between the cathode electrode and the anode electrode, so that a plasma flame of an inert working gas such as argon or nitrogen is passed through the flame emission hole 131. Is released. This high temperature of arc and flame causes intensive wear of the bottom inlet of the flame discharge hole of the anode electrode 13. Abrasion damage of the anode electrode 13 is a major cause of shortening the life of the torch itself, thereby requiring frequent replacement of the torch.

한국특허공개 10-2000-0047395Korean Patent Publication 10-2000-0047395

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로서, 애노드 전극의 마모를 억제하여 수명이 연장된 플라즈마 토치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and provides a plasma torch with an extended lifetime by suppressing abrasion of the anode electrode.

본 발명은 플라즈마 토치를 제공하며, 이는: 하우징; 상기 하우징 내에 설치되는 캐소드 전극; 및 상기 하우징 내의 상기 캐소드 전극의 하위에 설치되고, 플라즈마 플레임 방출 홀을 가지는 애노드 전극;을 포함하고, 상기 애노드 전극은 본체와 적어도 상기 플라즈마 플레임 방출 홀의 하단 입구에 형성된 내식성 금속층을 포함한다.The present invention provides a plasma torch, comprising: a housing; A cathode electrode installed in the housing; And an anode electrode disposed below the cathode electrode in the housing and having a plasma flame emission hole, wherein the anode electrode includes a body and at least a corrosion resistant metal layer formed at a bottom inlet of the plasma flame emission hole.

상기 애노드 전극의 상기 본체는 구리로 이루어지고, 상기 내식성 금속층은 텅스텐으로 이루어질 수 있다.The body of the anode electrode is made of copper, the corrosion-resistant metal layer may be made of tungsten.

상기 내식성 금속층은 상기 애노드 전극의 상기 본체의 상기 플레임 방출 홀의 내면의 일부로부터 상기 본체의 하단면의 일부로 연장된 것일 수 있다.The corrosion resistant metal layer may extend from a portion of an inner surface of the flame emission hole of the body of the anode electrode to a portion of a bottom surface of the body.

상기 내식성 금속층은 상기 애노드 전극의 본체에 탈착 가능하게 부착된 것일 수 있다. 상기 내식성 금속층은 상기 본체의 하단면에 체결되는 결합볼트를 통해 상기 애노드 전극의 본체에 부착될 수 있다.The corrosion resistant metal layer may be detachably attached to the body of the anode electrode. The corrosion resistant metal layer may be attached to the body of the anode electrode through a coupling bolt fastened to the bottom surface of the body.

본 발명에 따르면, 플라즈마 플레임에 의해 마모 손상이 발생하는 애노드 전극의 플레임 방출 홀 부위에 내식성 금속층을 배치함으로써 애노드 전극의 수명 연장 및 그에 따른 토치의 수명이 연장된다. 바람직하게 텅스텐이 적용될 수 있는 내식성 금속층은 애노드 전극의 본체에 탈착가능하게 부착될 수 있고, 그럼으로써 내식성 금속층만을 교체하는 것도 가능하다. 또한, 애노드 전극은 상대적으로 저렴하면서도 열전도 특성과 전기 전도 특성이 좋은 구리로 형성하고, 마모 손상이 발생하는 부위에 내식성 금속층을 배치함으로써 제조가 용이하고 비용 상승이 크지 않은 이점도 가진다.According to the present invention, the corrosion resistant metal layer is disposed in the flame emission hole of the anode where the wear damage is caused by the plasma flame, thereby extending the life of the anode and thus the life of the torch. Preferably, the corrosion resistant metal layer to which tungsten can be applied may be detachably attached to the body of the anode electrode, thereby replacing only the corrosion resistant metal layer. In addition, the anode electrode is formed of copper, which is relatively inexpensive and has good thermal conductivity and electrical conductivity, and has an advantage of easy manufacturing and low cost increase by disposing a corrosion resistant metal layer at a site where wear damage occurs.

도 1은 종래의 플라즈마 토치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 토치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 플라즈마 토치에 채용된 애노드 전극의 요소들을 분해하여 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional plasma torch.
2 is a view schematically showing a plasma torch according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is an exploded view illustrating elements of an anode electrode employed in the plasma torch of FIG. 2.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 발명은 플라즈마 스크러버 시스템에 채용되는 토치에 관한 것으로서, 애노드 전극의 마모 손상을 감소시킬 수 있는 애노드 전극 구조를 제안한다. 애노드 전극은 캐소드 전극의 하위에 배치되며 플레임 방출 홀을 가진다. 캐소드 전극과 애노드 전극 간에 전압이 인가될 때 캐소드 전극의 인서트와 애노드 전극의 플레임 방출 홀의 하단 입구 부위 간에 아크가 발생하고 플레임 방출 홀을 통해 플레임이 방출된다. 이러한 아크 및 플레임에 의해 애노드 전극, 특히 플레임 방출 홀의 하단 입구 부위가 빠르게 마모된다. 현재 이러한 애노드 전극의 마모 손상은 오염물질 가스의 분해능을 저하시키고, 전극과 토치의 수명을 단축시키고 있다. 본 발명에서는 애노드 전극의 플레임 방출 홀의 하단 입구 부위에 텅스텐 또는 텅스텐 합금으로된 내식성 금속층을 배치한다. 바람직하게는 내식성 금속층을 결합볼트 등을 이용하여 탈착가능하게 구리로 된 애노드 전극의 본체 결합함으로써 제조가 용이하고 제조 원가의 상승을 최소화할 수 있다. 또한, 필요 시에는 내식성 금속층만을 교체하는 것도 가능하다.The present invention relates to a torch employed in a plasma scrubber system, and proposes an anode electrode structure that can reduce wear damage of the anode electrode. The anode electrode is disposed below the cathode electrode and has a flame emission hole. When a voltage is applied between the cathode electrode and the anode electrode, an arc occurs between the insert of the cathode electrode and the lower inlet portion of the flame emission hole of the anode electrode and the flame is emitted through the flame emission hole. These arcs and flames quickly wear the anode electrode, especially the bottom inlet of the flame discharge hole. At present, the wear damage of the anode electrode lowers the resolution of the pollutant gas and shortens the life of the electrode and the torch. In the present invention, a corrosion resistant metal layer of tungsten or tungsten alloy is disposed at the lower inlet of the flame emission hole of the anode electrode. Preferably, by combining the corrosion-resistant metal layer with the main body of the detachable copper anode electrode using a coupling bolt or the like, it is easy to manufacture and minimizes the increase in manufacturing cost. It is also possible to replace only the corrosion resistant metal layer if necessary.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 토치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 3은 도 2의 플라즈마 토치에 채용된 애노드 전극의 요소들을 분해하여 도시한 도면이다. 참고적으로, 도 2와 3은 이해와 설명의 편의를 위해 캐소드 전극과 애노드 전극을 포함하는 주요 요소들을 단면으로 도시하였다.2 is a view schematically showing a plasma torch according to a preferred embodiment of the present invention. 3 is an exploded view illustrating elements of an anode electrode employed in the plasma torch of FIG. 2. For reference, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views of main elements including a cathode electrode and an anode electrode for convenience of understanding and description.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 토치(2)는 하우징(20)과, 하우징(20) 내에 설치되는 캐소드 전극(21)과, 하우징(20)내 캐소드 전극(21)의 하위에 설치되는 애노드 전극(23)을 포함한다.2 and 3, the plasma torch 2 according to the preferred embodiment of the present invention includes a housing 20, a cathode electrode 21 installed in the housing 20, and a cathode electrode in the housing 20. An anode electrode 23 is provided below 21.

하우징(20)의 외부 상단면(상판의 상면)에는 캐소드 전극(21)과 애노드 전극(23)에 전압을 인가하기 위한 단자대(26)가 배치될 수 있다. 하우징(20)은 전극들을 포함하는 주요 요소들을 수용할 수 있는 크기를 가지는 대략적인 통형으로서 상판(201)과 하판(202)을 포함한다. 상판(201)에는 캐소드 전극(21)이 절연체(203)를 통해서 장착되고, 하판(202)에는 애노드 전극(23)이 절연체(204)를 통해서 장착된다. 캐소드 전극(21)과 애노드 전극(23) 사이에는 아이솔레이터(205)가 배치되어 캐소드 전극(21)과 애노드 전극(23)을 격리시킨다.A terminal block 26 for applying a voltage to the cathode electrode 21 and the anode electrode 23 may be disposed on an outer upper surface (upper surface of the upper plate) of the housing 20. The housing 20 includes an upper plate 201 and a lower plate 202 as an approximate cylinder sized to accommodate the main elements including the electrodes. The cathode electrode 21 is mounted on the upper plate 201 through the insulator 203, and the anode electrode 23 is mounted on the lower plate 202 through the insulator 204. An isolator 205 is disposed between the cathode electrode 21 and the anode electrode 23 to isolate the cathode electrode 21 and the anode electrode 23.

하우징(20)의 하판(202)에는 애노드 전극(23)의 하단부위를 외부로 노출하기 위한 개구가 구비된다. 개구에 절연체(204)가 삽입되고 그 절연체(204)에 애노드 전극(23)이 삽입되어 장착된다.The lower plate 202 of the housing 20 is provided with an opening for exposing the lower end of the anode electrode 23 to the outside. An insulator 204 is inserted into the opening, and an anode electrode 23 is inserted and mounted in the insulator 204.

캐소드 전극(21)은 전체적으로 원기둥의 형태를 가지고, 캐소드 전극 본체(211)와 인서트부(213)를 포함할 수 있다. 캐소드 전극 본체(211)은 구리로, 인서트부(213)은 텅스텐으로 이루어질 수 있다. 또한, 캐소드 전극(21)에는 냉각수 경로(215)가 마련되어 캐소드 전극(21)을 냉각시킨다.The cathode electrode 21 may have a cylindrical shape as a whole, and may include a cathode electrode body 211 and an insert portion 213. The cathode electrode body 211 may be made of copper, and the insert portion 213 may be made of tungsten. In addition, the cathode electrode 21 is provided with a cooling water path 215 to cool the cathode electrode 21.

애노드 전극(23)은 플라즈마 플레임 방출 홀(232)을 구비하며, 전체적으로 원기둥 형태를 가질 수 있다. 플레임 방출 홀(232)은 상하방향으로 형성되어, 아래에서 보았을 때 캐소드 전극(21)의 인서트부(213)가 보이는 위치에 마련된다.The anode electrode 23 has a plasma flame emission hole 232 and may have a cylindrical shape as a whole. The flame emission hole 232 is formed in the vertical direction, and is provided at a position where the insert portion 213 of the cathode electrode 21 is viewed from below.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 애노드 전극(23)은 애노드 전극 본체(231)와 애노드 전극(23)의 본체(231)에 있어서 플레임 방출 홀(232)의 하단 입구에 배치되는 내식성 금속층(233)을 포함한다.The anode electrode 23 according to the preferred embodiment of the present invention is the corrosion-resistant metal layer 233 disposed at the bottom inlet of the flame emission hole 232 in the anode electrode body 231 and the body 231 of the anode electrode 23. It includes.

애노드 전극(23)의 본체(231)는 상술한 바와 같이 상하방향으로 형성된 플레임 방출 홀(232)을 가지며, 예를 들어 구리 소재로 이루어질 수 있다. 내식성 금속층(233)은 플레임 방출 홀(232)의 일부로부터 본체(231)의 하단면의 일부까지 연장되도록 형성될 수 있다. 실질적으로 아크는 캐소드 전극(21)의 인서트부(213)와 애노드 전극(23)의 플레임 방출 홀(232)의 모서리 부위 간에 아크가 주로 발생하기 때문에, 상술한 바와 같이 플레임 방출 홀(232)의 일부로부터 본체(231)의 하단면 일부까지 연장되는 형태라면 아크의 발생이 내식성 금속층(233)에서 발생되도록 커버할 수 있게 된다.The main body 231 of the anode electrode 23 has a flame emission hole 232 formed in the vertical direction as described above, and may be made of, for example, a copper material. The corrosion resistant metal layer 233 may be formed to extend from a portion of the flame emission hole 232 to a portion of the bottom surface of the body 231. Substantially, since the arc mainly occurs between the insert portion 213 of the cathode electrode 21 and the corner portion of the flame emission hole 232 of the anode 23, the arc of the flame emission hole 232 as described above. If the shape extends from a part to a part of the bottom surface of the main body 231, it is possible to cover the generation of the arc to occur in the corrosion-resistant metal layer 233.

내식성 금속층(233)은 아래에서 보았을 때 깔대기와 유사한 형태를 가지면서 플레임 방출 홀(232)의 하단 입구 부위를 커버하게 된다.The corrosion resistant metal layer 233 has a shape similar to a funnel when viewed from below and covers the bottom inlet portion of the flame discharge hole 232.

내식성 금속층(233)은 예를 들어, 텅스텐 또는 텅스텐을 포함하는 텅스텐 합금일 수 있다. 대안적으로는, 내식성 금속층(233)은 Hf, Zr 등이 적용될 수 있다.The corrosion resistant metal layer 233 may be, for example, tungsten or a tungsten alloy including tungsten. Alternatively, the corrosion resistant metal layer 233 may be Hf, Zr, or the like.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 내식성 금속층(233)은 탈착 가능하게 애노드 전극(23)의 본체(231)에 부착될 수 있다. 도시한 바와 같이, 결합볼트(24)에 의해 내식성 금속층(233)이 애노드 전극(23)의 본체(231)에 결합될 수 있다. 결합볼트(24)로 내식성 금속층(233)을 본체(231)에 결합하기 위해서는 본체(231)에는 너트형 나사홈(25)이 형성될 필요가 있고, 또한 내식성 금속층(233)에도 결합구멍(2331)이 형성될 필요가 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the corrosion resistant metal layer 233 may be detachably attached to the body 231 of the anode electrode 23. As illustrated, the corrosion resistant metal layer 233 may be coupled to the body 231 of the anode electrode 23 by the coupling bolt 24. In order to couple the corrosion-resistant metal layer 233 to the body 231 with the coupling bolt 24, a nut-shaped screw groove 25 needs to be formed in the body 231, and the coupling hole 2331 is also formed in the corrosion-resistant metal layer 233. ) Needs to be formed.

결합볼트(24)의 결합 위치는 애노드 전극(23)의 본체(231)의 하단면일 수 있고, 적어도 하나 이상의 결합볼트(24)를 이용할 수 있다.The coupling position of the coupling bolt 24 may be a bottom surface of the main body 231 of the anode electrode 23, and at least one coupling bolt 24 may be used.

바람직하게는 애노드 전극(23)의 본체(231)의 플레임 방출 홀(232)의 내면에는 내식성 금속층(233)이 배치된 후 플레임 방출 홀(232)의 내면이 평탄면이 되는 것이 바람직하다. 그를 위해서는, 도시한 바와 같이, 내식성 금속층(233)이 결합되기 전의 본체(231) 자체의 플레임 방출 홀(232)의 내면에 결합될 내식성 금속층(233)의 두께만큼의 단차(2321)가 있을 필요가 있다. 나아가, 결합볼트(24)의 경우에도 예를 들어 무두볼트와 같이 결합 상태에서 돌출되지 않도록 하는 것이 바람직하다.Preferably, after the corrosion resistant metal layer 233 is disposed on the inner surface of the flame emission hole 232 of the main body 231 of the anode electrode 23, the inner surface of the flame emission hole 232 may be a flat surface. For that purpose, as shown, there must be a step 2321 equal to the thickness of the corrosion resistant metal layer 233 to be bonded to the inner surface of the flame emitting hole 232 of the main body 231 itself before the corrosion resistant metal layer 233 is joined. There is. Furthermore, in the case of the coupling bolt 24, it is preferable not to protrude in a coupled state, for example, a tanned bolt.

애노드 전극(23)의 본체(231)에는 냉각수 경로(235)가 마련되어 애노드 전극(23)을 냉각시킨다.A coolant path 235 is provided in the main body 231 of the anode electrode 23 to cool the anode electrode 23.

이와 같이, 애노드 전극(23)의 본체(231)에 내식성 금속층(233)이 결합볼트(24)를 통해 탈착 가능하게 결합되기 때문에 기존의 구리로 애노드 전극의 전체를 형성할 때 보다 마모 손상이 감소될 수 있고, 필요에 따라서는 내식성 금속층(233)만을 간단하게 교체할 수 있기 때문에 상당한 비용 절감이 이루어질 수 있을 것이다.As such, since the corrosion resistant metal layer 233 is detachably coupled to the main body 231 of the anode electrode 23 through the coupling bolt 24, wear damage is reduced when forming the entire anode electrode from the conventional copper. Significant cost savings may be achieved because only the corrosion-resistant metal layer 233 can be replaced simply as needed.

이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.In the foregoing detailed description of the present invention, specific embodiments have been described. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

2: 플라즈마 토치, 20: 하우징, 21: 캐소드 전극, 23: 애노드 전극, 24: 결합볼트, 25: 나사홈, 26: 단자대, 203, 204: 절연체, 205: 아이솔레이터, 211: 캐소드 전극 본체, 213: 인서트부, 231: 애노드 전극 본체, 232: 플레임 방출 홀, 233: 내식성 금속층, 215, 235: 냉각수 경로, 2321: 단차2: plasma torch, 20: housing, 21: cathode electrode, 23: anode electrode, 24: coupling bolt, 25: screw groove, 26: terminal block, 203, 204: insulator, 205: isolator, 211: cathode electrode body, 213 : Insert portion, 231: anode electrode body, 232: flame discharge hole, 233: corrosion resistant metal layer, 215, 235: cooling water path, 2321: step

Claims (6)

플라즈마 토치로서:
하우징;
상기 하우징 내에 설치되는 캐소드 전극; 및
상기 하우징 내의 상기 캐소드 전극의 하위에 설치되고, 플라즈마 플레임 방출 홀을 가지는 애노드 전극;을 포함하고,
상기 애노드 전극은 본체와 적어도 상기 플라즈마 플레임 방출 홀의 하단 입구에 형성된 내식성 금속층을 포함하는 것인, 플라즈마 토치.
As a plasma torch:
housing;
A cathode electrode installed in the housing; And
An anode electrode disposed below the cathode electrode in the housing and having a plasma flame emission hole;
And the anode electrode comprises a corrosion resistant metal layer formed at the bottom inlet of the body and at least the plasma flame emission hole.
청구항 1에 있어서,
상기 애노드 전극의 상기 본체는 구리로 이루어지고, 상기 내식성 금속층은 텅스텐을 포함하는 금속으로 이루어진 것인, 플라즈마 토치.
The method according to claim 1,
The body of the anode electrode is made of copper, the corrosion-resistant metal layer is made of a metal comprising tungsten, plasma torch.
청구항 1에 있어서,
상기 내식성 금속층은 상기 애노드 전극의 상기 본체의 상기 플레임 방출 홀의 내면의 일부로부터 상기 본체의 하단면의 일부로 연장된 것인, 플라즈마 토치.
The method according to claim 1,
And the corrosion resistant metal layer extends from a portion of an inner surface of the flame emission hole of the body of the anode electrode to a portion of a bottom surface of the body.
청구항 1 내지 3 중 어느 하나에 있어서,
상기 내식성 금속층은 상기 애노드 전극의 본체에 탈착 가능하게 부착된 것인, 플라즈마 토치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The corrosion resistant metal layer is detachably attached to the body of the anode electrode, the plasma torch.
청구항 4에 있어서,
상기 내식성 금속층은 상기 애노드 전극의 본체의 하단면에 체결되는 결합볼트를 통해 상기 애노드 전극의 본체에 부착되는 것인, 플라즈마 토치.
The method according to claim 4,
The corrosion resistant metal layer is attached to the body of the anode electrode through a coupling bolt fastened to the bottom surface of the body of the anode, plasma torch.
청구항 5에 있어서,
상기 내식성 금속은 텅스텐 또는 텅스텐 합금인, 플라즈마 토치.The method according to claim 5,
The corrosion resistant metal is tungsten or a tungsten alloy.
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