KR20190057084A - 텅스텐을 위한 화학 기계적 연마 방법 - Google Patents
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Abstract
텅스텐의 정적 부식 속도를 감소시키고 텅스텐의 디싱 및 기저 유전체의 침식을 억제하기 위해 텅스텐을 함유하는 기판을 화학 기계적 연마하기 위한 공정이 개시되어 있다. 이러한 공정은 기판을 제공하는 단계; 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 산화제; 크산탄 검; 디카르복실산, 철 이온 공급원; 콜로이드성 실리카 연마재; 및 선택적으로 pH 조절제; 선택적으로 계면 활성제를 함유하는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 연마 패드와 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 연마 패드와 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 연마 표면으로 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 텅스텐(W)의 일부가 기판으로부터 제거되게 연마되고, 정적 부식 속도가 감소되며, 텅스텐(W) 아래의 유전체의 침식뿐만 아니라 텅스텐(W)의 디싱이 억제된다.
Description
본 발명은 기저 유전체의 침식 억제와 더불어 텅스텐의 디싱을 억제하고 정적 부식 속도를 감소시키기 위한 텅스텐의 화학 기계적 연마 분야에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 기저 유전체의 침식 억제와 더불어 텅스텐의 디싱을 억제하고 정적 부식 속도를 감소시키기 위한 텅스텐의 화학 기계적 연마 방법에 관한 것으로, 이는 텅스텐을 함유한 기판을 제공하고; 초기 성분으로서: 물; 산화제; 크산탄 검; 디카르복실산, 철 이온 공급원; 콜로이드성 실리카 연마재; 및 선택적으로 pH 조절제; 및 선택적으로 계면 활성제를 함유한 연마 조성물을 제공하고; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하고; 연마 패드와 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하고; 텅스텐의 일부가 기판으로부터 제거되게 연마되도록 연마 패드와 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 연마 표면으로 연마 조성물을 분배함으로써 달성된다.
집적 회로 및 다른 전자 장치의 제조에서, 전도성, 반전도성, 및 유전체 물질의 다중 층이 반도체 웨이퍼의 표면에 증착되거나 그로부터 제거된다. 전도성, 반전도성, 및 유전체 물질의 얇은 층은 다수의 증착 기술에 의해 증착될 수 있다. 최근 공정의 일반적인 증착 기술은 스퍼터링으로도 알려진 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD), 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 및 전기 화학 도금(ECP)을 포함한다.
재료의 층이 순차적으로 증착되고 제거됨에 따라, 웨이퍼의 최상층 표면은 비평면이 된다. 후속 반도체 처리(예를 들어, 금속화)는 웨이퍼가 편평한 표면을 가질 것을 요구하기 때문에, 웨이퍼는 평탄화될 필요가 있다. 평탄화는 거친 표면과 같은 바람직하지 않은 표면 형태 및 표면 결함, 응집 물질, 결정 격자 손상, 스크래치, 및 오염 층이나 물질을 제거하는데 유용하다.
화학 기계적 평탄화 또는 화학 기계적 연마(CMP)는 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 평탄화하는데 사용되는 일반적인 기술이다. 종래의 CMP에서, 웨이퍼는 캐리어 조립체에 장착되고 CMP 장치에서 연마 패드와 접촉하여 위치된다. 캐리어 조립체는 웨이퍼에 제어 가능한 압력을 제공하여, 웨이퍼를 연마 패드에 밀착시킨다. 패드는 외부 구동력에 의해 웨이퍼에 대해 이동(예를 들어, 회전)된다. 이와 동시에, 연마 조성물("슬러리") 또는 다른 연마 용액이 웨이퍼와 연마 패드 사이에 제공된다. 따라서, 웨이퍼 표면은 패드 표면 및 슬러리의 화학적 및 기계적 작용에 의해 연마되어 평면이 된다.
전자 산업에서의 기판은 반도체 베이스가 상호 연결된 구조의 다층을 포함하는 높은 수준의 집적도를 갖고 있다. 층 및 구조는 단결정 실리콘, 다결정 실리콘, 테트라에틸 오르토실리케이트, 이산화 규소, 질화 규소, 텅스텐, 티타늄, 질화 티나늄, 및 다양한 다른 전도성, 반도전성 및 유전체 물질과 같은 다양한 재료를 포함한다. 이러한 기판은 최종적인 다층 상호 연결 구조를 형성하기 위해 CMP를 포함하는 다양한 처리 단계를 필요로 하기 때문에, 목표로 하는 용도에 따라 특정 재료에 대해 선택적인 연마 조성물 및 공정을 이용하는 것이 대체로 매우 바람직하다. 불행하게도, 이러한 연마 조성물은 유전체 물질의 침식을 초래할 수 있는 도전성 재료의 과도한 디싱을 야기할 수 있다. 이러한 디싱 및 침식으로부터 발생될 수 있는 표면 형태(topographical) 결함은 기판 표면, 예를 들어 전도성 물질 또는 유전체 물질 아래에 증착된 장벽 층 물질로부터 추가 물질의 불균일한 제거를 더 야기할 수 있고 반도체의 집적 회로의 성능에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 보다 덜 바람직한 품질을 갖는 기판 표면을 생성할 수 있다.
화학 기계적 연마는 집적 회로 설계에서 텅스텐 상호 연결부 및 접촉 플러그의 형성 동안 텅스텐을 연마하기 위한 바람직한 방법이 되었다. 텅스텐은 접촉/비아 플러그용 집적 회로 설계에서 자주 사용된다. 통상적으로, 접점 또는 비아 홀은 기판 상의 유전체 층을 통해 형성되어 기저 구성요소의 영역, 예를 들어 제1 수준 금속화나 상호 연결부를 노출시킨다. 불행하게도, 텅스텐을 연마하는데 사용되는 많은 CMP 슬러리는 디싱 문제를 야기한다. 디싱의 심각성은 다양할 수 있지만 통상적으로 TEOS와 같은 기저 유전체 물질의 침식을 유발할 정도로 심각하다.
텅스텐과 같은 금속의 연마와 관련된 다른 문제점은 정적 부식이다. 금속의 정적 부식은 CMP의 일반적인 부작용이다. CMP 공정 동안, 기판의 표면에 남아 있는 금속 연마 슬러리는 CMP의 효과를 넘어서 기판을 계속 부식시킨다. 때로는 정적 부식이 요망되지만, 대부분의 반도체 공정에서 정적 부식은 감소되거나 억제되어야 한다. 또한, 정적 부식은 피팅(pitting) 및 키홀링(key-holing)과 같은 표면 결함에 영향을 줄 수 있다. 이러한 표면 결함은 반도체 소자의 최종 특성에 상당한 영향을 미치고 그 유용성을 저해한다. 그러므로, 텅스텐의 디싱 및 TEOS와 같은 기저 유전체 물질의 침식을 억제하고 또한 정적 부식 속도를 감소시키는 텅스텐을 위한 CMP 연마 방법 및 조성물이 필요하다.
본 발명은 텅스텐을 화학 기계적 연마하는 방법을 제공하는데, 상기 방법은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 산화제; 크산탄 검; 콜로이드성 실리카 연마재; 디카르복실산 또는 이의 염; 철(III) 이온 공급원; 및 선택적으로 pH 조절제; 및 선택적으로 계면 활성제를 포함하는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면으로 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 상기 텅스텐의 적어도 일부가 상기 기판으로부터 제거되게 연마된다.
본 발명은 텅스텐을 연마하는 화학 기계적 방법을 제공하는데, 상기 방법은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 산화제; 크산탄 검; 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재; 디카르복실산 또는 이의 염; 철(III) 이온 공급원; 및 선택적으로 pH 조절제; 및 선택적으로 계면 활성제를 포함하는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면으로 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 상기 텅스텐의 일부가 상기 기판으로부터 제거되게 연마되고; 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함한다.
본 발명은 텅스텐을 연마하는 화학 기계적 방법을 제공하는데, 상기 방법은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 산화제; 적어도 50 ppm 양의 크산탄 검; 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재; 말론산 또는 이의 염; 철(III) 이온 공급원; 및 선택적으로 pH 조절제; 및 선택적으로 계면 활성제를 포함하는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면으로 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 상기 텅스텐의 일부가 상기 기판으로부터 제거되게 연마되고; 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함한다.
본 발명은 텅스텐을 화학 기계적 연마하는 방법을 제공하는데, 상기 방법은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 0.01 내지 10 중량%의 산화제, 상기 산화제는 과산화 수소임; 50 ppm 내지 1000 ppm의 크산탄 검; 0.01 내지 10 중량%의 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재; 100 내지 1,400 ppm의 말론산 또는 이의 염; 100 내지 1,000 ppm의 철(III) 이온 공급원, 상기 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물임; 및 선택적으로 pH 조절제; 선택적으로 계면 활성제를 포함하는, 단계; 상기 화학 기계적 연마 조성물은 1 내지 7의 pH를 가짐; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면으로 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 상기 텅스텐의 일부는 상기 기판으로부터 제거되게 연마된다.
본 발명은 텅스텐을 화학 기계적 연마하는 방법을 제공하는데, 상기 방법은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서: 물; 1 내지 3 중량%의 산화제, 상기 산화제는 과산화 수소임; 600 ppm 내지 900 ppm의 크산탄 검; 0.2 내지 2 중량%의 음 표면 전하를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재; 120 내지 1,350 ppm의 말론산; 250 내지 400 ppm의 철(III) 이온 공급원, 상기 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물임; 및 선택적으로 pH 조절제; 선택적으로 음이온 에테르 황산염 계면 활성제를 포함하고, 상기 화학 기계적 연마 조성물은 2 내지 2.5의 pH를 갖는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면으로 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계를 포함하고, 상기 텅스텐의 일부는 상기 기판으로부터 제거되게 연마된다.
본 발명의 전술한 방법은 텅스텐을 연마하는 크산탄 검을 포함하는 화학 기계적 연마 조성물을 사용하여 기저 유전체의 침식 억제와 더불어 텅스텐의 디싱을 억제한다. 이러한 방법은 또한 정적 부식 속도를 감소시킨다.
본 명세서 전체에 걸쳐 사용된 바와 같은 다음의 약어는 문맥에서 달리 지시하지 않는 한 다음의 의미를 갖는다: ℃ = 섭씨 온도; g = 그램; L = 리터; mL = 밀리리터; m = μm = 미크론; kPa = 킬로파스칼; Å = 옹스트롬; mV = 밀리볼트; DI = 탈이온화; ppm = 백만분의 1 = mg/L; mm = 밀리미터; cm = 센티미터; min = 분; rpm = 분당 회전수; lbs = 파운드; kg = 킬로그램; W = 텅스텐; PO = 프로필렌 옥사이드; EO = 에틸렌 옥사이드; ICP-OES = 유도 결합 플라즈마 광학적 발광 분광법; wt% = 중량 퍼센트(중량%); 및 RR = 제거 속도.
"화학 기계적 연마" 또는 "CMP"란 용어는 기판이 화학적 및 기계적 힘에 의해서만 연마되고 전기 바이어스가 기판에 가해지는 전기화학-기계적 연마(ECMP)와는 구별되는 공정을 의미한다. "크산탄 검"이란 용어는 글루코오스, 만노오스, 및 글루쿠론산을 2:2:1의 몰비로 포함하는 5당류 반복 단위로 이루어진 비질소 함유 다당류를 의미하며, 피루베이트 및 아세틸 치환기를 더 포함한다. "카르복시메틸 셀룰로오스" 또는 "CMC"란 용어는 셀룰로오스 사슬의 글루코오스 단위에 대해 치환된 카르복시메틸기를 갖는 셀룰로오스 유도체인 다당류를 의미한다. "히드록시에틸 셀룰로오스" 또는 "HEC"란 용어는 셀룰로오스 사슬의 글루코오스 단위에 대해 치환된 히드록시에틸기를 갖는 셀룰로오스 유도체인 다당류를 의미한다. "TEOS"란 용어는 테트라에틸 오르토실리케이트(Si(OC2H5)4)의 분해로부터 형성된 이산화 규소를 의미한다. 관사 "a", "an" 및 "the"는 단수 및 복수 양자를 나타낸다. 달리 명시되지 않는 한 모든 백분율은 중량 기준이다. 이러한 수치 범위가 최대 100%까지 첨가하는 것으로 제한되는 것이 명백한 경우를 제외하고, 모든 수치 범위는 포함되고 임의의 순서로 조합 가능하다.
본 발명의 기판 연마 방법은 산화제; 크산탄 검; 콜로이드성 실리카 연마재; 디카르복실산 또는 그의 염; 철(III) 이온 공급원; 및 선택적으로 pH 조절제 및 선택적으로 계면 활성제를 함유하는 화학 기계적 연마 조성물을 사용하여 텅스텐의 디싱과 기저 유전체 물질의 침식을 억제하고 정적 부식 속도를 감소시키면서 기판 표면으로부터 텅스텐의 제거를 제공한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법은: 텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계; 바람직하게는, 초기 성분으로서: 물; 바람직하게는 적어도 0.01 중량% 내지 10 중량%, 더 바람직하게는 0.1 중량% 내지 5 중량%, 보다 더 바람직하게는 1 중량% 내지 3 중량% 양의 산화제; 바람직하게는 적어도 50 ppm, 더 바람직하게는 50 ppm 내지 1000 ppm, 보다 더 바람직하게는 200 ppm 내지 1000 ppm, 보다 더 바람직하게는 600 ppm 내지 900 ppm 양의 크산탄 검; 바람직하게는 0.01 중량% 내지 10 중량%, 더 바람직하게는 0.05 중량% 내지 7.5 중량%, 보다 더 바람직하게는 0.1 중량% 내지 5 중량%, 보다 더 바람직하게는 0.2 중량% 내지 2 중량% 양의 콜로이드성 실리카 연마재; 바람직하게는 100 ppm 내지 1400 ppm, 더 바람직하게는 120 ppm 내지 1350 ppm 양의 디카르복실산, 이의 염, 또는 이의 혼합물; 철(Ⅲ) 이온 공급원, 바람직하게는 철(Ⅲ) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물임; 및 선택적으로 pH 조절제를 포함하는 화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서; 바람직하게는 화학 기계적 연마 조성물은 1 내지 7; 더 바람직하게는 1.5 내지 4.5; 보다 더 바람직하게는 1.5 내지 3.5; 가장 바람직하게는 2 내지 2.5의 pH를 갖고; 및 선택적으로 계면 활성제를 포함하는, 단계; 연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계; 화학 기계적 연마 패드와 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및 화학 기계적 연마 패드와 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면에 화학 기계적 연마 조성물을 분배하는 단계로서, 텅스텐의 적어도 일부는 기판으로부터 제거되게 연마되는, 단계를 포함한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에서, 기판은 텅스텐 및 유전체를 포함한다. 더 바람직하게는, 제공되는 기판은 텅스텐 및 유전체를 포함하는 반도체 기판이다. 가장 바람직하게는, 제공되는 기판은 TEOS와 같은 유전체에 형성된 홀과 트렌치 중 적어도 하나 내에 증착된 텅스텐을 포함하는 반도체 기판이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물에서 초기 성분으로서 함유된 물은 부수적인 불순물을 제한하기 위한 탈이온화 및 증류된 것 중 적어도 하나이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 산화제를 함유하며, 산화제는 과산화 수소(H2O2), 모노퍼황산염, 요오드산염, 마그네슘 퍼프탈레이트, 과아세트산 및 기타 과산, 과황산염, 브롬산염, 과브롬산염, 과황산염, 과아세트산, 과요오드산염, 질산염, 철 염, 세륨 염, Mn(III), Mn(IV) 및 Mn(VI) 염, 은 염, 구리 염, 크롬 염, 코발트 염, 할로겐, 치아염소산염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된다. 보다 바람직하게는, 산화제는 과산화 수소, 과염소산염, 과브롬산염; 과요오드산염, 과황산염 및 과아세트산으로부터 선택된다. 가장 바람직하게는, 산화제는 과산화 수소이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 0.01 내지 10 중량%, 보다 바람직하게는, 0.1 내지 5 중량%; 가장 바람직하게는, 1 내지 3 중량%의 산화제를 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 철(III) 이온 공급원을 함유한다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서, 철(III) 이온 공급원을 함유하며, 철(III) 이온 공급원은 철(III) 염으로 이루어진 군으로부터 선택된다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서, 철(III) 이온 공급원을 함유하며, 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물(Fe(NO3)3·9H2O)이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 화학 기계적 연마 조성물에 1 내지 200 ppm, 바람직하게는, 5 내지 150 ppm, 보다 바람직하게는, 7.5 내지 125 ppm, 가장 바람직하게는, 10 내지 100 ppm의 철(III) 이온을 도입하기에 충분한 철(III) 이온 공급원을 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 철(III) 이온 공급원을 함유한다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 100 내지 1,000 ppm, 바람직하게는, 150 내지 750 ppm, 보다 바람직하게는, 200 내지 500 ppm 및 가장 바람직하게는, 250 내지 400 ppm의 철(III) 이온 공급원을 함유한다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 100 내지 1,000 ppm, 바람직하게는, 150 내지 750 ppm, 보다 바람직하게는, 200 내지 500 ppm, 가장 바람직하게는, 250 내지 400 ppm의 철(III) 이온 공급원을 함유하며, 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물인, (Fe(NO3)3·9H2O)이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 크산탄 검을 함유한다. 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 적어도 50 ppm, 더 바람직하게는 50 ppm 내지 1000 ppm, 보다 더 바람직하게는, 200 ppm 내지 1000 ppm, 보다 더 바람직하게는, 600 ppm 내지 900 ppm의 크산탄 검을 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재를 함유한다. 보다 바람직하게는,본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 영구적인 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재를 함유하며, 화학 기계적 연마 조성물은 1 내지 7, 바람직하게는 1.5 내지 4.5; 보다 바람직하게는 1.5 내지 3.5; 보다 더 바람직하게는 2 내지 2.5의 pH를 갖는다. 보다 더 바람직하게는,본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 영구적인 음 제타 전위를 갖는 콜로이드성 실리카 연마재를 함유하며, 화학 기계적 연마 조성물은 -0.1 mV 내지 -20 mV의 제타 전위로 표시된 바와 같이 1 내지 7, 바람직하게는 1.5 내지 4.5; 보다 바람직하게는 1.5 내지 3.5; 보다 더 바람직하게는 2 내지 2.5의 pH를 갖는다.
바람직하게는,본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 콜로이드성 실리카 연마재를 함유하며, 콜로이드성 실리카 연마재는 동적 광 산란 기술에 의해 측정된 바와 같이 100 nm 이하(≤ 100 nm), 바람직하게는 5 내지 100 nm; 보다 바람직하게는 10 내지 60 nm; 가장 바람직하게는 20 내지 60 nm의 평균 입자 크기를 갖는다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 0.01 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.05 내지 7.5 중량%, 보다 바람직하게는, 0.1 내지 5 중량%, 가장 바람직하게는, 0.2 내지 2 중량%의 콜로이드성 실리카 연마재를 함유한다. 바람직하게는, 콜로이드성 실리카 연마재는 음 제타 전위를 갖는다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 디카르복실산을 함유하며, 디카르복실산은 말론산, 옥살산, 숙신산, 아디핀산, 말레산, 말산, 글루타르산, 타르타르산, 이들의 염 또는 이들의 혼합물을 포함하지만, 이에 한정되지는 않는다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 디카르복실산을 함유하며, 디카르복실산은 말론산, 옥살산, 숙신산, 타타르산, 이들의 염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된다. 보다 더 바람직하게는 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로 디카르복실산을 함유하며, 디카르복실산은 말론산, 옥살산, 숙신산, 이들의 염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 디카르복실산 말론산, 또는 이들의 염을 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 1 내지 2,600 ppm, 바람직하게는 100 내지 1,400 ppm, 보다 바람직하게는 120 내지 1,350 ppm, 보다 더 바람직하게는 130 내지 1,100 ppm의 디카르복실산을 함유하며, 디카르복실산은 말론산, 옥살산, 숙신산, 아디핀산, 말레산, 말산, 글루타르산, 타르타르산, 이의 염 또는 이의 혼합물을 포함하지만, 이에 한정되지는 않는다. 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 초기 성분으로서 1 내지 2,600 ppm의 말론산, 이의 염 또는 이의 혼합물을 함유한다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 100 내지 1,400 ppm, 보다 더 바람직하게는 120 내지 1,350 ppm, 보다 더 바람직하게는 130 내지 1,350 ppm의 디카르복실산, 말론산, 또는 이들의 염을 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 1 내지 7의 pH를 갖는다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 1.5 내지 4.5의 pH를 갖는다. 보다 더 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 1.5 내지 3.5의 pH를 갖는다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 2 내지 2.5의 pH를 갖는다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 선택적으로 pH 조절제를 함유한다. 바람직하게는, pH 조절제는 무기 및 유기 pH 조절제로 이루어진 군으로부터 선택된다. 바람직하게는, pH 조절제는 무기산 및 무기 염기로 이루어진 군으로부터 선택된다. 보다 바람직하게는, pH 조절제는 질산 및 수산화 칼륨으로 이루어진 군으로부터 선택된다. 가장 바람직하게는, pH 조절제는 수산화 칼륨이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 선택적으로 계면 활성제를 함유한다. 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 계면 활성제는 PO 또는 EO 또는 PO/EO 함유 계면 활성제이다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 계면 활성제는 음이온 작용기를 함유한 PO 또는 EO 또는 PO/EO 계면 활성제이다. 보다 더 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 계면 활성제는 화학식 (I)를 갖는 음이온 에테르 황산염이다:
C n H 2n+1 O-PO x -EO y -SO3 -
n은 12, 15, 18, 20, 22, 25, 28, 30, 35, 38, 40, 42 또는 44일 수 있고; x는 0, 2, 5, 8, 10, 12, 14, 16, 18, 20, 30, 40 또는 50일 수 있고; y는 0, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60, 65, 70, 80, 90 또는 100일 수 있는데, 단 x 및 y는 동일한 경우에 0일 수 없고, 상대 이온은 바람직하게는 소듐 양이온 또는 칼륨 양이온; 또는 암모늄 양이온과 같은 알칼리 금속 이온일 수 있다. 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 음이온 에테르 황산염은 소듐 라우릴 황산염(SLES)이다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 50 ppm 내지 1000 ppm, 바람직하게는, 100 ppm 내지 900 ppm, 보다 바람직하게는, 120 ppm 내지 600 ppm, 보다 더 바람직하게는 140 ppm 내지 250 ppm의 음이온 에테르 황산염을 함유한다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 50 내지 1000 ppm, 더 바람직하게는, 100 ppm 내지 900 ppm, 보다 더 바람직하게는, 120 ppm 내지 600 ppm, 보다 더 바람직하게는 140 ppm 내지 250 ppm의 음이온 에테르 황산염 계면 활성제의 알칼리 금속염을 함유한다. 보다 더 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서, 50 ppm 내지 1000 ppm, 바람직하게는, 100 ppm 내지 900 ppm, 보다 바람직하게는, 120 ppm 내지 600 ppm, 보다 더 바람직하게는 140 ppm 내지 250 ppm의 소듐 라우릴 에테르 황산염을 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 패드는 당업계에 알려진 임의의 적합한 연마 패드일 수 있다. 당업자라면 본 발명의 방법에서 사용하는데 적절한 화학 기계적 연마 패드를 선택하는 것을 알고 있다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 패드는 직포 및 부직포 연마 패드 중에서 선택된다. 보다 더 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 패드는 폴리우레탄 연마 층을 포함한다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유하는 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함한다. 바람직하게는, 제공되는 화학 기계적 연마 패드는 연마 표면 상에 적어도 하나의 홈을 갖는다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 화학 기계적 연마 패드와 기판 간의 계면 또는 그 부근에 제공된 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면에 분배된다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 동적 접촉은 제공되는 화학 기계적 연마 패드와 기판 간의 계면에서 연마되는 기판의 표면에 수직한 0.69 내지 34.5 kPa의 하향력으로 생성된다.
바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 1,000 Å/min 이상; 바람직하게는 1,500 Å/min 이상; 보다 바람직하게는 2,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖는다. 보다 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 1,000 Å/min 이상; 바람직하게는 1,500 Å/min 이상; 보다 바람직하게는 2,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도; 및 5 이상의 W/TEOS 선택도를 갖는다. 보다 더 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 텅스텐은 1,000 Å/min 이상; 바람직하게는 1,500 Å/min 이상; 보다 바람직하게는 2,000 Å/min 이상의 제거 속도; 및 5 내지 15의 W/TEOS 선택도로 기판으로부터 제거된다. 가장 바람직하게는, 본 발명의 기판 연마 방법에 있어서, 텅스텐은 200mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상; 바람직하게는 1,500 Å/min 이상; 보다 바람직하게는 2,000 Å/min 이상의 제거 속도; 및 W/TEOS 선택도로 기판으로부터 제거되고; 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유하는 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함한다.
다음의 실시예에 예시된 바와 같이, 본 발명의 크산탄 검 CMP 방법은 기저 TEOS의 침식 억제와 더불어 텅스텐 디싱을 억제하고 더 나아가 정적 부식 속도를 억제한다.
실시예 1
슬러리 제제
표 1에 열거된 양으로 성분을 잔부인 탈이온수와 조합하고 조성물의 pH를 45 중량%의 수산화 칼륨으로 표 1에 열거된 최종 pH로 조정함으로써 본 실시예의 화학 기계적 연마 조성물을 제조하였다.
실시예 2
크산탄 CMP 슬러리의 정적 부식 속도 성능
정적 부식 시험은 15g 슬러리 샘플에 W 블랭킷 웨이퍼(1cm x 4cm)를 침지시킴으로써 실행되었다. 10분 후에 시험된 슬러리에서 W 웨이퍼를 제거하였다. 이어서, 용액을 9,000 rpm에서 20분 동안 원심 분리하여 슬러리 입자를 제거하였다. ICP-OES로 상청액을 분석하여 텅스텐의 양을 중량으로 결정하였다. 정적 부식 속도(Å/min)는 웨이퍼 표면적을 4 cm2로 가정하여 W 질량으로부터 환산되었다. 정적 부식 시험의 결과는 표 2에 나타나 있다.
정적 부식 속도 시험 결과는 크산탄 검을 함유한 화학 기계적 연마 슬러리가 크산탄 검을 배제한 대조군에 비해 W 함유 웨이퍼 상의 정적 부식을 더 효과적으로 감소시키는 것을 보여주고 있다.
실시예 3
슬러리 제제
표 3에 열거된 양으로 성분을 잔부인 탈이온수와 조합하고 조성물의 pH를 45 중량%의 수산화 칼륨으로 표 3에 열거된 최종 pH로 조정함으로써 본 실시예의 화학 기계적 연마 조성물을 제조하였다.
실시예 4
크산탄 CMP 슬러리의 정적 부식 속도 억제 성능
전술한 실시예 2에서 설명된 것과 대략 동일한 절차를 사용하여 전술한 실시예 3으로부터 표 3의 화학 기계적 연마 슬러리 PS-5, PS-6, 및 PS-7에 대해 텅스텐의 정적 부식 속도를 판단하였다. 정적 부식 속도 결과는 표 4에 개시되어 있다.
화학 기계적 연마 슬러리에 소듐 라우릴 에테르 황산염 음이온 계면 활성제의 첨가는 음이온 계면 활성제가 없는 화학 기계적 연마 슬러리에 비해 W의 정적 부식 속도를 증가시키지만, 크산탄 검과 조합한 음이온 계면 활성제를 함유하는 슬러리는 크산탄 검 및 음이온 계면 활성제 양자를 배제한 대조군과는 대조적으로 W 함유 웨이퍼 상의 정적 부식을 감소시켰다.
실시예 5
화학 기계적 연마 - 크산탄 CMP 슬러리의 디싱 및 침식 성능
Applied Materials 사의 200mm MIRRA® 연마기에 설치된 200mm 블랭킷 웨이퍼에 대해 연마 실험을 수행하였다. 연마 제거 속도 실험은 WaferNet Inc., Silicon Valley Microelectronics, 또는 SKW Associates, Inc.로부터 입수 가능한 Novellus 및 W, Ti 및 TiN 블랭킷 웨이퍼로부터 200mm 블랭킷 15kÅ 두께의 TEOS 시트 웨이퍼에 대해 수행되었다. 모든 연마 실험은, 별도로 명시하지 않는 한, 21.4 kPa(3.1 psi)의 통상적인 하향 압력, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 80 rpm의 테이블 회전 속도, 및 81 rpm의 캐리어 회전 속도로 (Rohm and Haas Electronic Materials CMP Inc.에서 상업적으로 입수 가능한) SP2310 서브패드와 쌍을 이루는 IC1010™ 폴리우레탄 연마 패드를 이용하여 수행되었다. (Kinik Company로부터 상업적으로 입수 가능한) Kinik PDA33A-3 다이아몬드 패드 컨디셔너가 연마 패드를 드레싱하는데 사용되었다. 컨디셔너를 사용해서 80 rpm(압반)/36 rpm(컨디셔너)에서 15분 동안 9.0 lbs(4.1 kg) 및 15분 동안 7.0 lbs(3.2 kg)의 하향력을 이용하여 연마 패드를 부수었다. 24초 동안 7 lbs(3.2 kg)의 하향력을 이용하여 연마 전에 현장 외(ex-situ)에서 연마 패드를 더 컨디셔닝하였다. KLA-Tencor FX200 계측 도구로 연마 전후의 필름 두께를 측정하여 TEOS 침식 깊이를 결정하였다. KLA-Tencor RS100C 계측 도구를 사용하여 W 제거 및 디싱 속도를 결정하였다. 웨이퍼는 표 5A 및 5B에 나타낸 바와 같이 다양한 표준 선폭 특징을 갖게 되었다. 본 실시예의 표에서, 분자는 W를 나타내고 분모는 TEOS를 나타낸다.
크산탄 검을 함유한 7개의 슬러리 중에서, 5개는 크산탄 검 및 소듐 라우릴 에테르 황산염 음이온 계면 활성제를 배제한 대조 슬러리와는 대조적으로 TEOS 침식의 억제와 더불어 W 디싱의 개선된 억제를 나타냈다.
실시예 6 (비교예)
비교 슬러리 제제
표 6에 열거된 양으로 성분을 잔부인 탈이온수와 조합하고 조성물의 pH를 45 중량%의 수산화 칼륨으로 표 6에 열거된 최종 pH로 조정함으로써 본 실시예의 화학 기계적 연마 조성물을 제조하였다.
실시예 7 (비교예)
화학 기계적 연마 - CMC 및 HEC CMP 슬러리의 디싱 및 침식 성능
비교 슬러리 제제: CS-1, CS-2, CS-3 및 CS-4에 대해, W 및 TEOS의 디싱 및 침식을 각각 시험하기 위한 화학 기계적 연마 단계, 파라미터 및 W 및 TEOS 웨이퍼 기판은 전술한 실시예 5에 기재된 것과 대략 동일하다. 그 결과는 표 7A 및 7B에 개시되어 있다. 본 실시예의 표에서, 분자는 W를 나타내고 분모는 TEOS를 나타낸다.
이러한 슬러리에 대해 에칭 활성이 전혀 나타나지 않았기 때문에 HEC를 포함하는 CS-1로부터 어떠한 데이터도 얻어지지 않았다. 또한, HEC가 50 ppm을 초과하는 양으로 증가될 때, HEC는 슬러리의 하나 이상의 다른 성분과 비친화성을 나타내는 것으로 나타났다.
비교 슬러리의 대부분은 실시예 5에서 본 발명의 크산탄 슬러리뿐만 아니라 대조군과 비교했을 때 대부분의 경우에 W 디싱 및 TEOS 침식의 억제가 상당히 저조한 것으로 나타냈다. 따라서, CMC를 함유하는 비교 슬러리는 본 발명의 크산탄 함유 슬러리와 마찬가지로 허용 가능한 TEOS 침식과 더불어 W 디싱의 억제를 제공하지 못했다.
실시예 8
W, TEOS 제거 속도 및 W, TEOS 최대 연마 온도
W 및 TEOS 제거 속도에 대한 연마 실험은 동일한 장치 및 파라미터를 사용하여 실시예 5에 기재된 바와 같이 실질적으로 수행되었다. 웨이퍼를 WaferNet Inc., 또는 Silicon Valley Microelectronics로부터 입수하였다. 그 결과는 표 8에 있다.
본 발명의 크산탄 검 화학 기계적 연마 조성물은 1000 Å/min보다 더 우수한 W RR 및 양호한 W/TEOS 선택도를 나타내었다.
Claims (8)
- 텅스텐을 화학 기계적 연마하는 방법으로서,
텅스텐 및 유전체를 포함하는 기판을 제공하는 단계;
화학 기계적 연마 조성물을 제공하는 단계로서, 상기 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서:
물;
산화제;
크산탄 검;
콜로이드성 실리카 연마재;
디카르복실산,
철(III) 이온 공급원; 및
선택적으로, pH 조절제;
선택적으로, 계면 활성제를 포함하는, 단계;
연마 표면을 갖는 화학 기계적 연마 패드를 제공하는 단계;
상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면에서 동적 접촉을 생성하는 단계; 및
상기 화학 기계적 연마 패드와 상기 기판 간의 계면 또는 그 부근에서 상기 화학 기계적 연마 패드의 연마 표면에 상기 화학 기계적 연마 조성물을 분배하여 상기 텅스텐의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는, 텅스텐을 화학 기계적 연마하는 방법. - 제1항에 있어서, 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200 mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함하는, 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제공된 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서:
상기 물;
0.01 내지 10 중량%의 상기 산화제, 상기 산화제는 과산화 수소임;
50 내지 1000 ppm의 상기 크산탄 검;
0.01 내지 10 중량%의 상기 콜로이드성 실리카 연마재;
1 내지 2,600 ppm의 상기 디카르복실산;
100 내지 1,000 ppm의 상기 철(III) 이온 공급원, 상기 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철 9수화물임; 및
선택적으로, 상기 pH 조절제;
선택적으로 상기 계면 활성제를 포함하고; 및
상기 화학 기계적 연마 조성물은 1 내지 7의 pH를 갖는, 방법. - 제3항에 있어서, 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200 mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함하는, 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제공된 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서:
상기 물;
0.1 내지 5 중량%의 상기 산화제, 상기 산화제는 과산화 수소임;
200 내지 1000 ppm의 상기 크산탄 검;
0.05 내지 7.5 중량%의 상기 콜로이드성 실리카 연마재;
100 내지 1,400 ppm의 상기 디카르복실산;
150 내지 750 ppm의 상기 철(III) 이온 공급원, 상기 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철임; 및
선택적으로, 상기 pH 조절제;
선택적으로, 음이온 에테르 황산염 계면 활성제를 포함하고; 및
상기 화학 기계적 연마 조성물은 1.5 내지 4.5의 pH를 갖는, 방법. - 제5항에 있어서, 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200 mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함하는, 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제공된 화학 기계적 연마 조성물은, 초기 성분으로서:
상기 물;
0.1 내지 3 중량%의 상기 산화제, 상기 산화제는 과산화 수소임;
600 내지 900 ppm의 상기 크산탄 검;
0.1 내지 5 중량%의 상기 콜로이드성 실리카 연마재;
120 내지 1,350 ppm의 상기 디카르복실산, 상기 디카르복실산은 말론산임;
200 내지 500 ppm의 상기 철(III) 이온 공급원, 상기 철(III) 이온 공급원은 질산 제2철임; 및
선택적으로, 상기 pH 조절제;
선택적으로, 음이온 에테르 황산염 계면 활성제를 포함하고; 및
상기 화학 기계적 연마 조성물은 1.5 내지 3.5의 pH를 갖는, 방법. - 제7항에 있어서, 상기 제공되는 화학 기계적 연마 조성물은 200 mm의 연마기 상에서 80 rpm의 압반 속도, 81 rpm의 캐리어 속도, 125 mL/min의 화학 기계적 연마 조성물 유량, 21.4 kPa의 공칭 하향력으로 1,000 Å/min 이상의 텅스텐 제거 속도를 갖고; 상기 화학 기계적 연마 패드는 중합체 중공 코어 미립자를 함유한 폴리우레탄 연마 층 및 폴리우레탄 함침 부직포 서브패드를 포함하는, 방법.
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