KR20190024767A - Breaking apparatus - Google Patents

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KR20190024767A
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키요시 타카마츠
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The purpose of the present invention is to prevent divided cross sections from interfering with each other and to separate a brittle material substrate cleanly without a fault when dividing the brittle material substrate. According to the present invention, a brittle material substrate (11) in which a scribe line (S) is formed is divided along the scribe line (S) by pressing a break bar (20) toward the scribe line (S). The break bar (20) is formed of a long member, and has a break bar main body (21) having a T-shaped cross section and left and right side bars (22, 23) elastically attached so as to be paired with each other on left and right sides below a break bar main body. The left and right side bars (22, 23) have a moving device moving in a direction away from the scribe line as the break bar (20) descends.

Description

분단 장치{BREAKING APPARATUS}{BREAKING APPARATUS}

본 발명은, 스크라이브 라인이 형성된 기판을 해당 스크라이브 라인을 따라서 분단시키는 브레이크 장치, 즉, 분단 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a braking device for dividing a substrate on which a scribing line is formed along the scribe line, that is, a dividing device.

유리 등의 취성 재료 기판을 분단시키는 가공에서는, 예를 들면 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같이, 스크라이빙 휠 등의 홈 가공용 툴(tool)을 이용해서 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하고 있었다. 그 후에, 스크라이브 라인이 형성된 면을 아래로 향하게 해서, 기판의 위쪽에서부터 스크라이브 라인을 따라서 길게 연장되는 브레이크 바(break bar)를 하강시켜서 압압하고, 취성 재료 기판을 쿠션 시트 상에서 약간 V자 형상으로 휘게 함으로써, 스크라이브 라인으로부터 크랙(crack)을 깊이 방향으로 침투시켜, 스크라이브 라인을 따라서 브레이크(즉, 분단)시키도록 하고 있었다.In the process of cutting a brittle material substrate such as glass, a scribe line is formed on the surface of a substrate by using a tool for grooving such as a scribing wheel as disclosed in, for example, Patent Document 1 or Patent Document 2 . Thereafter, the break bar extended downward along the scribe line is lowered and pressed from above the substrate with the side where the scribe line is formed facing down, and the brittle material substrate is bent in a slightly V shape on the cushion sheet , Cracks are penetrated in the depth direction from the scribe lines and breaks (i.e., divided) along the scribe lines.

또 특허문헌 3에는, 이러한 분단 장치의 브레이크 바의 좌우로 탄성체로 이루어진 스커트부를 구비하여, 분단시킬 때에 스커트편에 의해 취성 재료 기판을 눌러서 벌어지도록 한 분단 장치가 제안되어 있다.Patent Document 3 proposes a breaking device in which a skirt portion made of an elastic body is formed to the left and right of the brake bar of such a breaking device so that the brittle material substrate is fired by the skirt piece when it is divided.

JPJP 37874893787489 BB JPH10-330125 AJPH10-330125A JPJP 2012-2182472012-218247 AA

종래의 분단 장치에 따르면, 브레이크 바에 의해서 취성 재료 기판이 V자 형상으로 휘어서 분단되었을 때에, 좌우의 기판의 인접하는 상단 가장자리부분이 서로 미는 것처럼 간섭해서 작은 결함 등의 손상이 생기는 일이 있었다. 이러한 결함이 생기면, 가령 미소한 결함이더라도 거기에서 브레이크 후의 기판의 표면에 금 균열 등을 야기하여, 불량품이 발생할 가능성이 있다는 문제점이 있었다. 또 결함으로 생긴 미소편이 쿠션 시트에 남으면, 다음 번의 분단 시에, 취성 재료 기판을 손상시킬 우려가 있었다.According to the conventional breaking apparatus, when the brittle material substrate is bent and divided into the V-shaped by the brake bars, the adjacent upper edge portions of the left and right substrates interfere with each other as if they are pushed against each other, resulting in damage such as small defects. If such a defect occurs, there is a problem that, even if there is a minute defect, there is a possibility that a crack or the like may be generated on the surface of the substrate after the break, resulting in a defective product. In addition, if the small pieces of defects are left on the cushion sheet, there is a fear that the brittle material substrate may be damaged at the next division.

브레이크의 대상이 되는 취성 재료 기판이 접합 기판으로서, 격자 형상의 다수의 기능 영역이 형성되어 그 사이에 씰재가 형성되어 있을 경우가 있다. 이러한 기판을 기능 영역마다 씰 영역의 부분으로 분단시킬 경우에는, 씰 재료의 부분에 균열이 충분히 침투하지 않고, 분단이 어렵게 된다고 하는 문제점이 있었다.There may be a case where a brittle material substrate to be subjected to braking is a bonded substrate and a plurality of lattice-shaped functional areas are formed and a seal material is formed therebetween. When such a substrate is divided into portions of the seal region for each functional region, there is a problem that cracks do not sufficiently penetrate into the portions of the seal material and division becomes difficult.

또 종래의 분단 장치에 따르면, 브레이크 바의 선단부분을 기판의 스크라이브 라인의 바로 위가 되도록 취성 재료 기판을 배치해서 수직으로 하강시킬 필요가 있어, 취성 재료 기판의 위치 결정에 손이 많이 간다는 문제점이 있었다.Further, according to the conventional dividing apparatus, it is necessary to arrange the brittle material substrate so that the tip end portion of the break bar is directly above the scribe line of the substrate, and to vertically lower the brittle material substrate, there was.

또한, 특허문헌 3의 분단 장치에서는 스커트부에 의해서 취성 재료 기판을 갈라지게 하고 있지만, 갈라지게 하는 간격을 확실하게 제어할 수 없다는 문제점이 있었다.Further, in the breaking apparatus of Patent Document 3, although the brittle material substrate is split by the skirt portion, there is a problem that the interval for splitting can not be reliably controlled.

본 발명은, 취성 재료 기판을 테이블 위에 정확하게 배치시킬 필요가 없고, 분단시켰 때에 분단 단면끼리가 서로 간섭하지 않고, 결함이 없는 깨끗한 분단 단면을 얻는 것이 가능한 분단 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a dividing device capable of obtaining a clean cut section without defects without interfering with each other at the time of dividing when the brittle material substrate does not need to be accurately placed on the table.

이 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 분단 장치는, 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지 수단과, 상기 기판 지지 수단의 상부에 상하 이동 가능하게 유지되어, 단면이 T자형으로 형성된 브레이크 바 본체와, 단면이 T자 형상인 상기 브레이크 바 본체의 하부면의 양쪽에 탄성적으로 유지되고, 하부면에 마찰부재를 구비하고, 브레이크 바 본체에 대해서 평행 상태를 유지하면서 소정 범위에서 상하 방향 및 상기 브레이크 바 본체로부터 벗어나는 방향으로 이동 가능한 사이드 바와, 상기 취성 재료 기판의 압압 시에 상기 사이드 바의 적어도 한쪽을 기판의 스크라이브 라인으로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구를 구비하는 것이다.In order to solve this problem, a breaking apparatus of the present invention comprises substrate holding means for holding a brittle material substrate having a scribing line formed thereon, And a friction member provided on the lower surface of the bar body so as to be parallel to the brake bar body and to move in the vertical direction And a moving mechanism that moves at least one of the side bars in a direction away from the scribe line of the substrate when the brittle material substrate is pressed by the brittle material substrate.

여기서 상기 이동 기구는, 상기 브레이크 바 본체의 측면에 설치한 확장부재(押し廣げ部材)와, 상기 사이드 바의 상기 브레이크 바의 측면에 대향하는 면에 배치되어, 상기 브레이크 바 본체 및 상기 확장부재의 사면에 접하는 롤러를 구비하도록 해도 된다.Wherein the moving mechanism includes an expansion member (pushing-expanding member) provided on a side surface of the brake bar body, and a pressing member disposed on a side of the side bar facing the side surface of the brake bar, And a roller that is in contact with the slope of the roller.

여기서 상기 이동 기구는, 상기 사이드 바의 측면에 설치한 확장부재와, 상기 브레이크 바의 상기 사이드 바의 측면에 대향하는 면에 배치되어, 상기 확장부재의 사면에 접하는 롤러를 구비하도록 해도 된다.The moving mechanism may include an extending member provided on a side surface of the side bar and a roller disposed on a surface of the brake bar opposite to the side surface of the side bar and in contact with the slope of the extending member.

여기서 상기 1쌍의 사이드 바를 탄성적으로 연결하는 탄성 연결 수단을 더 구비하도록 해도 된다.Here, it is possible to further include elastic connecting means for elastically connecting the pair of side bars.

이러한 특징을 지니는 본 발명에 따르면, 브레이크 바를 밀어내려서 마찰부재에 의해 스크라이브 라인을 중심으로 해서 양쪽으로 눌러서 벌어지게 하는 것에 의해서 취성 재료 기판은 스크라이브 라인으로부터 좌우로 분단된다. 이때 좌우의 분단 단면이 갈라지므로, 분단 단면끼리 서로 간섭하는 일이 없고, 결함이 없는 깨끗한 분단면을 얻을 수 있다는 효과가 있다. 분단 시에 분단 단면을 갈라지게 하는 간격은 확장부재의 형상에 의해서 목적하는 값으로 할 수 있다.According to the present invention having such characteristics, the brittle material substrate is divided from the scribe line to the right and left by pushing down the brake bar and pushing it to both sides of the scribe line by the friction member. At this time, since the left and right divisional sections are split, there is an effect that the divisional sections do not interfere with each other and a clean divisional section without defects can be obtained. The interval for dividing the sectioned section at the time of division can be set to a desired value by the shape of the expansion member.

또, 본 발명에서는 브레이크 바의 바로 아래에 스크라이브 라인이 위치하도록 기판을 위치 결정할 필요가 없기 때문에, 위치 결정의 불량에 의한 문제점도 생길 우려가 없어진다. 또한, 접합 기판을 분단시킬 경우에 상하의 기판의 스크라이브 라인의 위치가 일치하고 있을 필요는 없어진다.Further, in the present invention, it is not necessary to position the substrate so that the scribe line is directly under the brake bar, so that there is no possibility of a problem caused by the defective positioning. In addition, when the bonded substrate stack is divided, it is not necessary that the scribe lines of the upper and lower substrates coincide with each other.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 분단 장치의 일례를 나타낸 사시도;
도 2는 본 실시형태에 의한 브레이크 바를 나타낸 사시도;
도 3은 본 실시형태에 의한 브레이크 바의 탑 바(top bar)를 반전시킨 사시도;
도 4는 본 실시형태 및 변형예에 의한 탑 바의 단면도;
도 5는 본 실시형태에 의한 1쌍의 사이드 바와 그 연결부재를 나타낸 사시도;
도 6은 본 실시형태의 분단 장치에 의한 브레이크의 과정을 나타낸 단면도(파트 1);
도 7은 본 실시형태의 분단 장치에 의한 브레이크의 과정을 나타낸 단면도(파트 2);
도 8은 본 실시형태의 분단 장치에 의한 브레이크의 과정을 나타낸 단면도(파트 3);
도 9는 본 실시형태의 분단 장치에 의한 브레이크의 과정을 나타낸 단면도(파트 4);
도 10은 본 실시형태의 분단 장치에 의한 브레이크의 과정을 나타낸 단면도(파트 5);
도 11은 본 발명의 다른 실시형태에 의한 탑 바와 사이드 바를 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing an example of a dividing device according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a perspective view showing a brake bar according to the embodiment; Fig.
Fig. 3 is a perspective view of the top bar of the brake bar according to the present embodiment inverted; Fig.
4 is a cross-sectional view of the top bar according to the present embodiment and its modification;
5 is a perspective view showing a pair of side bars and a connecting member according to this embodiment;
6 is a cross-sectional view (part 1) showing the process of braking by the breaking apparatus of the present embodiment;
7 is a cross-sectional view (part 2) showing the process of braking by the breaking apparatus of the present embodiment;
8 is a cross-sectional view (part 3) showing the process of breaking by the dividing device of the present embodiment;
9 is a cross-sectional view (part 4) showing the process of braking by the breaking apparatus of the present embodiment;
10 is a cross-sectional view (part 5) showing the process of braking by the breaking apparatus of the present embodiment;
11 is a sectional view showing a top bar and a side bar according to another embodiment of the present invention.

다음에 본 발명의 실시형태에 의한 분단 장치에 대해서 상세히 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 분단 장치의 일례를 나타낸 사시도이며, 도 2는 브레이크 바 전체의 사시도이다. 분단 장치(10)는, 분단해야 할 취성 재료 기판(11)(예를 들면 접합 기판)을 탑재하는 테이블(12)을 구비하고 있다. 이 테이블(12)은, 수평한 레일(13a, 13b)을 따라서 Y방향으로 이동할 수 있게 되어 있고, 모터(14)에 의해서 회전하는 나사 축(15)에 의해 구동된다. 또 테이블(12)은, 모터를 내장하는 구동부(16)에 의해 수평면 내에서 회동할 수 있도록 되어 있다. 또 테이블(12)과 그 이동 및 회전 기구는 취성 재료 기판(11)을 지지하는 기판 지지 수단을 구성하고 있다.Next, the breaking apparatus according to the embodiment of the present invention will be described in detail. Fig. 1 is a perspective view showing an example of the dividing device of the present embodiment, and Fig. 2 is a perspective view of the entire brake bar. The breaking apparatus 10 is provided with a table 12 on which a brittle material substrate 11 (for example, a bonded substrate) to be divided is mounted. The table 12 is movable in the Y direction along the horizontal rails 13a and 13b and is driven by the screw shaft 15 rotated by the motor 14. [ The table 12 is rotatable in a horizontal plane by a driving unit 16 incorporating a motor. The table 12 and its moving and rotating mechanism constitute a substrate holding means for supporting the brittle material substrate 11.

본 실시형태에 의한 분단 장치는, 테이블(12)의 양측의 지지 기둥(17a, 17b)과 X방향으로 뻗는 가로방향 창살(17c, 17d)을 구비한 브리지(17)가, 테이블(12) 위를 넘도록 해서 설치되어 있다. 이 가로방향 창살(17c)의 중앙에 모터(18)가 설치되어 있다. 모터(18)의 회전력은 수직의 1쌍의 샤프트(19)에 전달되고, 샤프트(19)에 의해서 브레이크 바(20)가 테이블(12)에 대해서 평행 상태를 유지한 채 상하로 승강 가능하게 되도록 구성되어 있다.The breaking apparatus according to the present embodiment is characterized in that the bridges 17 provided with the support pillars 17a and 17b on both sides of the table 12 and the horizontal barrels 17c and 17d extending in the X direction are arranged on the table 12 As shown in FIG. A motor 18 is provided at the center of the lateral barrel 17c. The rotational force of the motor 18 is transmitted to the pair of vertical shafts 19 so that the shaft 19 can raise and lower the brake bars 20 up and down while maintaining the parallel state with respect to the table 12. [ Consists of.

브레이크 바(20)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 브레이크의 대상이 되는 취성 재료 기판(11)의 치수에 맞춰서 수평방향으로 길게 뻗는 장척의 부재이다. 브레이크 바(20)는, 단면 T자형의 브레이크 바 본체(21)와, 브레이크 바 본체(21)의 좌우 아래쪽에 설치된 1쌍의 사이드 바(22, 23)를 구비하고 있다. 브레이크 바 본체(21)는, 상부의 세장형의 평판 형상 부재인 탑 바(21a)와, 탑 바의 중앙부에서부터 아래쪽을 향해서 내뻗는 센터 바(21b)로 구성되어 있다.As shown in Fig. 2, the brake bar 20 is a long member extending in the horizontal direction in accordance with the dimension of the brittle material substrate 11 to be braked. The brake bar 20 includes a brake bar body 21 having a T-shaped cross section and a pair of side bars 22 and 23 provided at left and right lower portions of the brake bar body 21. The brake bar body 21 is composed of a top bar 21a which is an elongated flat plate member at the top and a center bar 21b extending downward from the center of the top bar.

다음에 브레이크 바 본체(21)에 대해서 상세히 설명한다. 도 3은 브레이크 바 본체(21)의 상하를 역전시킨 상태를 나타낸 사시도, 도 4(a)는 브레이크 바 본체(21)의 단면도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이 센터 바(21b)의 우측면에는 브레이크 바 본체의 단부에서부터 일정 간격 떨어진 위치에 1쌍의 확장부재(24a, 24b)가 설치되어 있다. 이 확장부재는 도 4에 단면을 나타낸 바와 같이 삼각 기둥 형상의 부재이며, 그 사면은 도시된 바와 같이 아래쪽으로부터 상향으로 됨에 따라서 오른쪽으로 넓어지도록 구성되어 있다. 또 센터 바(21b)의 확장부재(24a, 24b)와 대응하는 좌측면에도, 확장부재(24a, 24b)와 대칭인 형상의 확장부재(25a, 25b)가 설치되어 있다.Next, the brake bar body 21 will be described in detail. Fig. 3 is a perspective view showing a state in which the brake bar body 21 is reversed upside down. Fig. 4 (a) is a sectional view of the brake bar body 21. Fig. As shown in Fig. 3, on the right side surface of the center bar 21b, a pair of extending members 24a and 24b are provided at a position spaced apart from the end portion of the brake bar body. As shown in Fig. 4, the extending member is a triangular prismatic member, and the slope is configured to widen to the right as it goes upward from below as shown in Fig. Extension members 25a and 25b having a shape symmetrical to the extending members 24a and 24b are also provided on the left side surface of the center bar 21b corresponding to the extending members 24a and 24b.

탑 바(21a)의 하부면 오른쪽에는 도 3 및 도 4(a)에 나타낸 바와 같이 원형의 오목부(26a, 26b)가 형성된다. 또 센터 바(21b)를 끼고 좌측의 하부면에는, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이 오목부(27a, 27b)가 형성되어 있다. 또 도 3에 나타낸 바와 같이 센터 바(21b)의 하부면에는 길이방향과 직교하는 1쌍의 홈(28a, 28b)이 형성되어 있다.On the right side of the lower surface of the top bar 21a, circular concave portions 26a and 26b are formed as shown in Figs. 3 and 4 (a). On the lower surface of the left side with the center bar 21b therebetween, recesses 27a and 27b are formed as shown in Fig. 4 (a). As shown in Fig. 3, a pair of grooves 28a and 28b orthogonal to the longitudinal direction is formed on the lower surface of the center bar 21b.

다음에, 사이드 바(22, 23)과 그 연결부재에 대해서 도 5를 이용해서 설명한다. 사이드 바(22, 23)는 센터 바(21b)를 중앙에 끼워서 서로 쌍을 이루도록 해서 설치된 브레이크 바 본체(21)와 동일한 길이의 각기둥 형상의 부재이다. 사이드 바(22)의 표면에는, 탑 바(21a)의 하향으로 형성된 원형의 오목부(26a, 26b)에 대응하는 위치에 2군데의 원형의 오목부(31a, 31b)가 형성된다. 사이드 바(23)의 표면에도 탑 바(21a)의 하향으로 형성된 원형의 오목부(27a, 27b)에 대응하는 위치에 2군데의 원형의 오목부(32a, 32b)가 형성된다. 그리고 오목부(26a)와 (31a), 오목부(26b)와 (31b)에는, 이들을 관통하도록 2개의 코일 스프링(33a, 33b)이 매립된다. 마찬가지로 오목부(27a)와 (32a), 오목부(27b)와 (32b)에는 이들을 관통하도록 2개의 코일 스프링(34a, 34b)이 매립된다.Next, the side bars 22, 23 and the connecting members thereof will be described with reference to Fig. The side bars 22 and 23 are prismatic members having the same length as that of the brake bar body 21 provided with the center bar 21b at the center and paired with each other. Two circular concave portions 31a and 31b are formed on the surface of the side bar 22 at positions corresponding to the circular concave portions 26a and 26b formed in the downward direction of the top bar 21a. Two circular concave portions 32a and 32b are formed on the surface of the side bar 23 at positions corresponding to the circular concave portions 27a and 27b formed in the downward direction of the top bar 21a. Two coil springs 33a and 33b are buried in the concave portions 26a and 31a and the concave portions 26b and 31b so as to penetrate them. Similarly, two coil springs 34a and 34b are embedded in the concave portions 27a and 32a and the concave portions 27b and 32b so as to penetrate them.

또 사이드 바(22)의 좌측 측면에는 1쌍의 롤러(35a, 35b)가 매설되어 있다. 롤러(35a, 35b)는 자유롭게 회전할 수 있고, 일부가 좌측면으로부터 돌출하도록 형성되어 있다. 사이드 바(23)의 우측 측면에도 마찬가지로 1쌍의 롤러(36a, 36b)가 매설되어 있다. 롤러(36a, 36b)는 자유롭게 회전할 수 있고, 일부가 우측면으로부터 돌출하도록 형성되어 있다. 또한 사이드 바(22, 23)의 하부면에는 사이드 바(22, 23)로 기판을 압압했을 때에 마찰력을 부여하기 위한 마찰판(37, 38)이 부착되어 있다.A pair of rollers 35a and 35b are embedded in the left side surface of the side bar 22. [ The rollers 35a and 35b are freely rotatable and a part of the rollers 35a and 35b is formed so as to protrude from the left side. Similarly, a pair of rollers 36a and 36b are embedded in the right side surface of the side bar 23. The rollers 36a and 36b are freely rotatable, and a part thereof is formed so as to protrude from the right side surface. Further, friction plates (37, 38) for imparting frictional force when the substrate is pressed by the side bars (22, 23) are attached to the lower surfaces of the side bars (22, 23).

또한, 좌우의 사이드 바(22, 23)는, 롤러(35a, 35b)의 외측의 좌측면에 원형의 오목부(39a, 39b)가 형성되고, 각기 대응하는 위치에 마찬가지로 해서 사이드 바(23)에도 대응하는 우측면에 오목부가 형성되어 있다. 이들 오목부에는 센터 바(21b)의 하부면에 형성된 홈(28a, 28b)에 수납되도록 길게 걸쳐 놓인 코일 스프링(41a, 41b)에 의해서 연결되어 있다. 보통은 코일 스프링(41a, 41b)에 의해 롤러(35a, 35b, 36a, 36b)가 센터 바(21b)의 좌우 측벽에 접촉하고, 사이드 바(22, 23)의 좌우 방향의 위치가 규정되어 있다. 이들 코일 스프링(33a, 33b, 34a, 34b, 41a, 41b)은 브레이크 바 본체(21)에 대해서 1쌍의 사이드 바(22, 23)를 탄성적으로 지지하고, 상하 및 좌우로 이동할 수 있게 한 탄성 연결부재이다.The left and right side bars 22 and 23 are formed with circular recesses 39a and 39b on the left side of the outer side of the rollers 35a and 35b, A concave portion is formed on the right side surface. These concave portions are connected to coil springs 41a and 41b which are extended so as to be accommodated in the grooves 28a and 28b formed in the lower surface of the center bar 21b. Normally, the rollers 35a, 35b, 36a, and 36b are brought into contact with the left and right side walls of the center bar 21b by the coil springs 41a and 41b, and the lateral positions of the side bars 22 and 23 are defined . The coil springs 33a, 33b, 34a, 34b, 41a, and 41b elastically support the pair of side bars 22 and 23 with respect to the brake bar body 21 so as to be movable up and down and left and right Elastic connecting member.

여기에서 확장부재(24a, 24b, 25a, 25b)와 롤러(35a, 35b, 36a, 36b)는, 브레이크 바(20)의 하강에 따라서 사이드 바(22, 23)를 좌우로 눌러서 벌어지도록 이동시키는 이동 기구를 구성하고 있다.The extension members 24a, 24b, 25a and 25b and the rollers 35a, 35b, 36a and 36b move the side bars 22 and 23 so as to flare by squeezing the side bars 22 and 23 in accordance with the descent of the brake bar 20 Thereby constituting a moving mechanism.

또, 도 1에 나타낸 바와 같이, 가로방향 창살(17d)에 취성 재료 기판(11)의 위치를 검출하기 위한 카메라(51)와, 카메라(51)로 촬영된 화상을 표시하는 모니터(52)가 부착되어 있다. 카메라(51)는, 테이블(12) 위의 취성 재료 기판(11)의 구석부 표면에 형성된 위치 특정용의 정렬 마크를 촬상함으로써, 취성 재료 기판(11)의 위치를 검출한다. 정렬 마크가 기준 설정 위치에 있으면 분단 작업을 개시한다.1, a camera 51 for detecting the position of the brittle material substrate 11 in the lateral barrel 17d and a monitor 52 for displaying an image photographed by the camera 51 Respectively. The camera 51 detects the position of the brittle material substrate 11 by picking up an alignment mark for specifying the position formed on the corner portion surface of the brittle material substrate 11 on the table 12. [ If the alignment mark is at the reference setting position, the division operation is started.

다음에, 이 분단 장치의 동작에 대해서 도 6 내지 도 10을 이용해서 설명한다. 취성 재료 기판(11)은 접합 기판으로 하고, 전단의 스크라이브 공정에서 2매의 기판의 양면에 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있는 것으로 한다. 그리고 도 1에 나타낸 바와 같이, 이 스크라이브 라인(S)이 브레이크 바(20)의 길이 방향으로 평행하게 되도록 테이블(12) 상에 놓인다. 그 다음에, 테이블(12)을 이동시켜서 취성 재료 기판(11)의 분단시켜야 할 스크라이브 라인(S)이 브레이크 바(20)의 센터 바(21b)의 아래가 되도록 위치 결정한다. 이때 도 6에 나타낸 바와 같이 사이드 바(22, 23)에 부착된 롤러(35a, 35b, 36a, 36b)가 센터 바(21b)의 측벽에 접촉하고 있다.Next, the operation of the dividing device will be described with reference to Figs. 6 to 10. Fig. It is assumed that the brittle material substrate 11 is a bonded substrate and scribe lines S are formed on both surfaces of two substrates in the scribing step in the preceding stage. 1, the scribe line S is placed on the table 12 such that the scribe line S is parallel to the longitudinal direction of the brake bar 20. The table 12 is moved so that the scribe line S to be divided by the brittle material substrate 11 is positioned below the center bar 21b of the brake bar 20. Then, At this time, as shown in Fig. 6, the rollers 35a, 35b, 36a, and 36b attached to the side bars 22 and 23 are in contact with the side wall of the center bar 21b.

계속해서 도 7에 나타낸 바와 같이 브레이크 바(20)를 하강시키면, 최초에 좌우의 사이드 바(22, 23)의 마찰판(37, 38)이 스크라이브 라인(S)을 끼워서 취성 재료 기판(11)의 좌우 양편부분에 접촉한다. 또한, 브레이크 바(20)를 하강시키면, 도 8에 나타낸 바와 같이 사이드 바(22, 23)의 코일 스프링(33a, 33b, 34a, 34b)이 수축되고, 취성 재료 기판(11)을 화살표와 같이 하향 방향으로 압압한다. 또한 브레이크 바(20)가 하강하면, 도 9에 나타낸 바와 같이 롤러(35a, 35b, 36a, 36b)가 확장부재(24a, 24b, 25a, 25b)에 각각 접촉하고, 사이드 바(22)를 우측 아래쪽으로, 사이드 바(23)을 좌측 아래쪽으로 변위시킨다. 이때 사이드 바(22, 23)의 하부면에 마찰판(37, 38)이 설치되어 있기 때문에, 화살표로 나타낸 바와 같이 아래쪽 및 좌우로의 변위에 의한 힘이, 취성 재료 기판(11)의 스크라이브 라인(S)을 중심으로 해서 좌우로 분리시키는 방향으로 작용한다. 이 때문에 취성 재료 기판(11)의 스크라이브 라인(S)에 크랙이 생겨서 깊이 방향으로 침투하고, 스크라이브 라인(S)으로부터 취성 재료 기판(11)이 분단된다. 이 상태에서 브레이크 바(20)를 더욱 하강시키면, 도 10에 나타낸 바와 같이 사이드 바(22, 23)의 마찰부재가 취성 재료 기판(11)을 좌우로 눌러서 벌어지게 하는 동시에 압압하여, 분단이 완료된다. 이 분단 시, 취성 재료 기판(11)은 스크라이브 라인(S)으로부터 멀어지는 방향으로 힘(여압)을 받고 있으므로, 분단과 동시에 취성 재료 기판(11)의 인접하는 좌우의 분단 단면이 갈라져서, 단면끼리 서로 접촉하는 등의 간섭이 생기는 일이 없다. 이것에 의해, 결함 등의 손상의 발생이 없어져, 단면 강도가 우수한 분단면을 얻을 수 있다.The frictional plates 37 and 38 of the left and right side bars 22 and 23 first engage the scribing line S to move the brittle material substrate 11 It touches both left and right parts. 8, the coil springs 33a, 33b, 34a, and 34b of the side bars 22 and 23 are contracted and the brittle material substrate 11 is pressed against the brittle material substrate 11 as shown by the arrows Down direction. When the brake bar 20 is lowered, the rollers 35a, 35b, 36a, and 36b contact the extending members 24a, 24b, 25a, and 25b, respectively, Downward, and the side bar 23 to the lower left. Since the friction plates 37 and 38 are provided on the lower surfaces of the side bars 22 and 23 at this time, forces due to the downward and leftward and rightward displacement as indicated by arrows are transmitted to the scribe line S in the left-and-right direction. As a result, cracks are generated in the scribe line S of the brittle material substrate 11 and penetrate in the depth direction, and the brittle material substrate 11 is divided from the scribe line S. When the brake bar 20 is further lowered in this state, as shown in Fig. 10, the friction members of the side bars 22 and 23 push the brittle material substrate 11 to the left and right to open the brittle material substrate 11, do. At this time, the brittle material substrate 11 receives the force (pressure) in the direction away from the scribe line S, so that the adjacent left and right divisional end faces of the brittle material substrate 11 are split at the same time as the division, Interference such as contact does not occur. Thereby, occurrence of damage such as defects is eliminated, and it is possible to obtain a sectioned section having excellent strength in section.

사이드 바(22, 23)의 좌우에의 변위에 의해서 생기는 좌우로의 분리력은, 확장부재(24a, 24b, 25a, 25b)의 형상에 의해서 정해진다. 따라서, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 확장부재의 경사각도가 수직에 근접할수록 변위량이 작아지는 등 경사각도를 선택함으로써 사이드 바(22, 23)의 좌우로의 변위량을 임의로 변화시킬 수 있다. 또한 확장부재는 삼각 기둥 형상으로 제한되지 않고 도 4(c)에 나타낸 바와 같이 원호 형상으로 구성하도록 해도 된다.The left and right separating forces generated by the lateral displacement of the side bars 22 and 23 are determined by the shapes of the extending members 24a, 24b, 25a and 25b. Therefore, as shown in Fig. 4 (b), the lateral displacement of the side bars 22 and 23 can be arbitrarily changed by selecting the inclination angle such that the displacement amount becomes smaller as the inclination angle of the extending member approaches the vertical. Further, the extending member is not limited to a triangular prism shape and may be formed in an arc shape as shown in Fig. 4 (c).

이 실시형태에서는 확장부재(24a, 24b, 25a, 25b)를 센터 바(21b)의 좌우 측벽에 설치하고, 이것에 대응하는 위치에 있는 사이드 바(22, 23)에 롤러(35a, 35b, 36a, 36b)를 설치해서 이동 기구로 하고 있지만, 도 11에 나타낸 바와 같이 센터 바(21b)의 좌우 측벽에 롤러(61a, 61b, 62a, 62b)를 설치하고, 이것과 접촉하는 사이드 바(22, 23)의 측벽에 확장부재(63a, 63b, 64a, 64b)를 구비해두도록 해도 된다. 이 경우에는 확장부재(63a, 63b, 64a, 64b)는 위로 될수록 측방으로의 돌출량이 작고, 아래로 되면 보다 커지도록 구성할 필요가 있다.In this embodiment, the extension members 24a, 24b, 25a and 25b are provided on the right and left side walls of the center bar 21b and the rollers 35a, 35b and 36a are provided on the side bars 22 and 23, respectively, The rollers 61a, 61b, 62a and 62b are provided on the right and left side walls of the center bar 21b as shown in Fig. 11, and the side bars 22, Expansion members 63a, 63b, 64a, and 64b may be provided on the side wall of each of the first and second support members. In this case, it is necessary to configure the extending members 63a, 63b, 64a, 64b so that the amount of projection toward the side becomes smaller as the distance is increased and becomes larger as the distance becomes smaller.

이 실시형태에서는 브레이크 바에 의해서 스크라이브 라인의 위쪽을 직접 압압하는 것은 아니므로, 스크라이브의 개시 시에 스크라이브 라인은 사이드 바(22, 23)의 하부면의 마찰판(37, 38)의 중간에 배치하면 되고, 기판을 고정밀도로 위치 결정할 필요가 없어진다. 또한 접합 기판의 상하로 스크라이브 라인이 형성되어 있을 경우에, 상하의 스크라이브 라인의 위치를 정확하게 일치시켜둘 필요도 없다. 또한 이 실시형태는 접합 기판의 분단에 대해서 설명하고 있지만, 단판의 기판이어도 분단시킬 수 있는 것은 말할 필요도 없다.In this embodiment, the scribing line is not disposed directly above the scribing line by the brake bar, so that the scribing line may be disposed in the middle of the friction plates 37 and 38 on the lower surface of the side bars 22 and 23 , It is unnecessary to position the substrate with high accuracy. In addition, when the scribe lines are formed on the upper and lower sides of the bonded substrate, the positions of the upper and lower scribe lines need not be exactly aligned. In addition, although this embodiment describes the division of the bonded substrate, it goes without saying that it is also possible to divide the substrate of the single plate.

또, 확장부재나 롤러는 브레이크 바(20)의 하강에 의해 사이드 바(22, 23)가 센터 바(21b)로부터 좌우로 멀어지는 방향으로 변화되면 되므로, 적어도 2군데에 병행해서 부착된 것이면 되고, 3군데 이상이어도 된다.The extension members and the rollers are required to be attached to at least two places in parallel so that the side bars 22 and 23 are moved away from the center bar 21b in the left and right directions by the lowering of the brake bars 20. In addition, There may be three or more.

또한, 이 실시형태에서는 도 1에 나타낸 바와 같이 분단 장치 테이블 상에 기판을 배치하고, 브레이크 바를 승강시키도록 하고 있지만, 벨트 컨베이어 위를 이동하는 기판을 분단시키는 분단 장치에 적용할 수도 있다. 이 경우에는 벨트 컨베이어 상에 브리지(17)를 설치하도록 하면 되고, 벨트 컨베이어가 기판 지지 수단이 된다.Further, in this embodiment, as shown in Fig. 1, a substrate is disposed on the division table and the brake bars are raised and lowered. However, the present invention can also be applied to a division apparatus for dividing a substrate moving on a belt conveyor. In this case, the bridge 17 may be provided on the belt conveyor, and the belt conveyor serves as the substrate supporting means.

또, 이 실시형태에서는 1쌍의 사이드 바를 각기 센터 바에 대해서 좌우로 눌러서 벌어지도록 하고 있지만, 한쪽의 사이드 바는 상하 이동만으로 하고 다른 쪽의 사이드 바만을 상하 이동 및 측방으로 변위시키도록 해도 된다. 또 1쌍의 사이드 바의 하부면에 마찰판을 설치하고 있지만, 반드시 판 형상의 것으로 제한되지 않고, 마찰 기능을 지니는 마찰 수단이면 충분하다.In this embodiment, each of the pair of side bars is fired by pushing the pair of side bars to the left and right of the center bar. However, only one side bar may be vertically moved and only the other side bar may be vertically and laterally displaced. Further, although a friction plate is provided on the lower surface of the pair of side bars, it is not necessarily limited to a plate shape, but a friction means having a friction function is sufficient.

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판, 박막 태양 전지의 기판 등의 취성 재료를 스크라이브 라인을 따라서 분단시키는 분단 장치에 적용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a dividing apparatus for dividing a brittle material such as a glass substrate, a semiconductor substrate, and a substrate of a thin film solar cell along a scribe line.

10: 분단 장치 11: 취성 재료 기판
12: 테이블 13a, 13b: 레일
14, 18: 모터 17: 브리지
19: 샤프트 20: 브레이크 바
21: 브레이크 바 본체 21a: 탑 바
21b: 센터 바 22, 23: 사이드 바
24a, 24b, 25a, 25b: 확장부재
26a, 26b, 27a, 27b, 31a, 31b, 32a, 32b, 39a, 39b: 오목부
33a, 33b, 34a, 34b, 41a, 41b: 코일 스프링
35a, 35b, 36a, 36b: 롤러 37, 38: 마찰판10: breaking device 11: brittle material substrate
12: table 13a, 13b: rail
14, 18: motor 17: bridge
19: shaft 20: brake bar
21: Brake bar body 21a: Top bar
21b: center bar 22, 23: side bar
24a, 24b, 25a, 25b:
26a, 26b, 27a, 27b, 31a, 31b, 32a, 32b, 39a, 39b:
33a, 33b, 34a, 34b, 41a, 41b:
35a, 35b, 36a, 36b: rollers 37, 38: friction plates

Claims (4)

분단 장치로서,
스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지 수단;
상기 기판 지지 수단의 상부에 상하 이동 가능하게 유지되고, 단면이 T자형으로 형성된 브레이크 바 본체;
단면이 T자 형상인 상기 브레이크 바 본체의 하부면의 양측에 탄성적으로 유지되고, 하부면에 마찰부재를 구비하고, 브레이크 바 본체에 대해서 평행 상태를 유지하면서 소정 범위에서 상하 방향 및 상기 브레이크 바 본체로부터 벗어나는 방향으로 이동 가능한 사이드 바; 및
상기 취성 재료 기판의 압압 시에 상기 사이드 바의 적어도 한쪽을 기판의 스크라이브 라인으로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구를 포함하는, 분단 장치.As a breaking apparatus,
Substrate supporting means for supporting a brittle material substrate on which a scribe line is formed;
A brake bar body which is vertically movably held on the upper portion of the substrate holding means and has a T-shaped cross section;
And a friction member is provided on the lower surface of the brake bar body so as to maintain a parallel state with respect to the brake bar body, A side bar movable in a direction away from the main body; And
And a moving mechanism for moving at least one of the side bars in a direction away from a scribe line of the substrate when the brittle material substrate is pressed. 제1항에 있어서, 상기 이동 기구는,
상기 브레이크 바 본체의 측면에 설치한 확장부재; 및
상기 사이드 바의 상기 브레이크 바의 측면에 대향하는 면에 배치되고, 상기 브레이크 바 본체 및 상기 확장부재의 사면에 접하는 롤러를 구비하는, 분단 장치.The apparatus according to claim 1,
An extension member provided on a side surface of the brake bar body; And
And a roller disposed on a side of the side bar opposite to a side surface of the brake bar and in contact with the slopes of the brake bar body and the extending member. 제1항에 있어서, 상기 이동 기구는,
상기 사이드 바의 측면에 설치한 확장부재; 및
상기 브레이크 바의 상기 사이드 바의 측면에 대향하는 면에 배치되고, 상기 확장부재의 사면에 접하는 롤러를 구비하는, 분단 장치.The apparatus according to claim 1,
An extension member provided on a side surface of the side bar; And
And a roller disposed on a side of the brake bar opposite to the side surface of the side bar and in contact with the slope of the extending member. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 1쌍의 사이드 바를 탄성적으로 연결하는 탄성 연결 수단을 더 포함하는, 분단 장치.4. The apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising elastic connecting means for elastically connecting the pair of side bars.
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