KR20180106200A - 와이어 슬라리싱 장치의 잉곳 로터리장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳의 절단력을 향상시켜 절단 속도를 증가시켜 절단 시간을 감소시킴과 동시에 잉곳의 절단에 요구되는 승강 폭을 대폭 축소시켜 설비를 크기를 감소시켜 제작단가를 감소시키는 잉곳 로터리장치에 관한 것이다.
이에 의해, 본 발명은 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳의 절단 속도를 증가시킬 수 있고, 잉곳의 절단을 위해 잉곳을 승강시키는 폭을 최소화하여 설비의 승강 수단을 축소함으로써 제작 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
이에 의해, 본 발명은 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳의 절단 속도를 증가시킬 수 있고, 잉곳의 절단을 위해 잉곳을 승강시키는 폭을 최소화하여 설비의 승강 수단을 축소함으로써 제작 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳의 절단력을 향상시켜 절단 속도를 증가시켜 절단 시간을 감소시킴과 동시에 잉곳의 절단에 요구되는 승강 폭을 대폭 축소시켜 설비를 크기를 감소시켜 제작단가를 감소시키는 잉곳 로터리장치에 관한 것이다.
일반적으로 잉곳(INGOT)은 금속 또는 합금을 한번 녹인 다음 주형(鑄型)에 흘려넣어 굳힌 것으로서, 그 재료에 따라 사파이어 잉곳, SIC 잉곳, 실리콘 잉곳 등으로 분류된다.
상기와 같이 잉곳이 제조되면, 잉곳은 개별의(discrete) 또는 집적 회로 반도체 소자들 용의 다수의 다이(die)로 일련 가공되도록 잘려진 후 (즉, 잉곳의 '헤드' 및 '꼬리' 부분들이 잘려져야 함) 그 다음에 이를 절단함으로써 웨이퍼로의 제조가 이루어지게 된다.
이와 같이 잉곳을 절단시켜 웨이퍼로 제조하기 위한 종래의 일반적인 장치는 구동부의 구동에 의해 상,하로 왕복 운동하는 절단부재(사피이어 잉곳 및 SIC 잉곳의 경도보다 큰 경도를 갖는 다이아몬드 와이어가 주로 쓰임)에 의해 잉곳을 절단시켜 박판의 웨이퍼로 제조하게 된다.
그러나 이러한 종래의 일반적인 잉곳을 슬라이스 컷팅시켜 웨이퍼로 제조하기 위한 장치는 잉곳이 고정된 상태에서 고속으로 이동되는 다이아몬드 와이어 등으로 이루어진 절단부재가 잉곳을 절단하기 때문에, 절단 시 잉곳의 직경만큼 승강하면서 절단하게 되고 이는 승강 폭이 상대적으로 길어진다는 문제점과 잉곳의 절단 속도가 길어지는 문제점이 있어 왔다.
이에 본 출원인은 상기한 문제점을 가지는 본 출원인의 기 등록된 와이어 슬라이싱 장치(특허출원 제 10-2010-0055439호)의 문제점 개선할 필요성을 인식하고 있어 왔다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳과 다이아몬드 와이어와의 절단 속도를 증가시켜 절단 시간을 감소시킴과 동시에 잉곳의 절단에 요구되는 승강 폭을 감소시켜 설비의 크기를 감소시킬 수 있는 잉곳 로터리장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 이를 위해, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재의 일측에 설치되어 인출용보빈에 권취된 커팅용 와이어를 동일한 장력으로 인출하는 커팅용 와이어 인출수단과, 인출되는 커팅용 와이어의 장력을 자동으로 조절 가능하도록 하는 인출용 장력조절수단과, 상기 베이스 부재의 상부에 설치되어 전후 방향으로 슬라이드 이동됨과 동시에 승강되는 승강수단과, 상기 승강수단의 하부에 설치되어 인출되는 커팅용 와이어를 일정간격으로 권회시키면서 고속 이동시키는 절단수단과, 상기 절단수단을 통하여 이동되는 커팅용 와이어를 권취용보빈에 권취하는 커팅용 와이어 권취수단과, 상기 커팅용 와이어 인출수단, 장력조절수단, 승강수단, 절단수단 및 커팅용 와이어 권취수단을 제어하는 제어부를 포함하는 와이어 슬라이싱 장치에 설치되는 것으로서, 상기 승강수단의 하부에 고정 결합되는 베이스 프레임과; 상기 베이스 프레임의 양측 하부에 수직으로 결합되는 지지 프레임과; 상기 양측 지지 프레임에 회동 가능하도록 설치되어 잉곳을 고정함과 동시에 회전시키는 잉곳 로터리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치를 제시하되, 상기 잉곳 로터리장치는, 상기 양측 지지 프레임에 각각 설치되는 회동축과; 상기 회동축 중 일 회동축에 축 결합되는 축풀리와; 상기 베이스 프레임 상에 설치되되, 구동풀리가 구동축과 축 결합되는 구동모터와; 상기 구동풀리와 축풀리를 상호 연결하여 구동모터의 회전력을 회동축에 전달하는 구동벨트와; 상기 양측 회동축을 상호 연결하도록 설치되어 회동축의 회동에 의해 회동됨과 동시에 외측에 접착부를 통해 잉곳을 고정하는 로터리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치를 제시한다.
또한, 상기 승강수단은,파이프형 잉곳의 경우 직경이 아닌 절단을 요하는 폭의 길이로 승강폭을 최소화하고, 소직경의 봉형 잉곳의 경우 다수 고정된 봉형 잉곳의 둘레 직경이 아닌 절단되는 개별 봉형 잉곳의 직경만큼 승강폭을 최소화함을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치를 제시한다.
이에 의해, 본 발명은 다음과 같은 효과를 갖는다.
첫째, 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 회전 가능하도록 고정하여 잉곳의 절단 속도를 증가시킬 수 있고,
둘째, 잉곳의 절단을 위해 잉곳을 승강시키는 폭을 최소화하여 설비의 승강 수단을 축소함으로써 제작 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 우측면 사시도이다.
도 2는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 좌측면 사시도이다.
도 3은 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 정면도이다.
도 5는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 배면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 정면 개념도이다.
도 9는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 작동 후 측면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 작동 후 정면 개념도이다.
도 11은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 측면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 정면 개념도이다.
도 13은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 작동 후 측면도이다.
도 14는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 작동 후 정면 개념도이다.
도 2는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 좌측면 사시도이다.
도 3은 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 정면도이다.
도 5는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 배면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 정면 개념도이다.
도 9는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 작동 후 측면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 작동 후 정면 개념도이다.
도 11은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 측면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 정면 개념도이다.
도 13은 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 작동 후 측면도이다.
도 14는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치의 또 다른 실시예에 따른 작동 후 정면 개념도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.
먼저, 이하에서는 본 발명이 설치되는 와이어 슬라이싱 장치에 대해, 도 1 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다.
상기한 와이어 슬라이싱 장치(100)는 커팅용 와이어 인출수단(110), 인출용 장력조절수단(120), 승강수단(130), 절단수단(140), 커팅용 와이어 권취수단(150), 권취용 장력조절수단(160) 및 제어부(미도시)를 포함한다.
커팅용 와이어 인출수단(110)은, 제어부(미도시)의 제어에 의해 와이어인출용 구동모터(113)가 구동하여 인출용보빈(112)을 전,후방향으로 이동시키는 것에 의해 권취된 커팅용 와이어(W)가 균일한 장력으로 인출가능하도록 구성된다.
즉, 상기한 커팅용 와이어 인출수단(110)은 첨부된 도면 도 1 및 도 3 그리고 도 5에 도시된 바와 같이 인출용벽체(111)의 후면 일측에 고정브라켓(도면부호 생략)을 매개로 고정되어 인출용풀리(도면부호 생략)를 갖추어 제어부의 제어에 의해 구동가능하게 구비되는 와이어인출용 구동모터(113)와, 상기 와이어인출용 구동모터(113) 일측에 일단은 관통부(도면부호 생략)를 갖는 인출용벽체(111)의 후면에 고정 설치되는 인출용고정부(114)에 내설되어 상기 인출용풀리와 벨트를 매개로 연결되는 연결풀리에 일단이 고정되는 볼스크류를 통하여 전,후진 이동하는 것에 의해 관통부를 인입출가능하게 구비되는 인출용축(115)과, 상기 인출용축(115)의 전단에 회전가능하게 연결되어 커팅용 와이어(W)의 인출방향을 제어하여 다수의 가이드 로울러(R)측으로 인출시키도록 구비되는 한 쌍의 인출용로울러(116)와, 상기 한 쌍의 인출용로울러(116)의 일측에 위치하도록 일단은 인출용벽체(111)의 전면에 고정되어 권취된 커팅용 와이어(W)를 인출시키도록 회전가능하게 구비되는 인출용보빈(112)으로 구성된다.
그리고, 인출용 장력조절수단(120)은, 도 1 및 도 3 그리고 도 4에 도시된 바와 같이 인출용벽체(111)의 측면에 설치되어 커팅용 와이어 인출수단(110)으로부터 인출되는 커팅용 와이어(W)를 균일한 장력을 유지시키기 위해 구비된다.
즉, 상기한 인출용 장력조절수단(120)은 인출용벽체(111) 배면 측면에 구동축(도면부호 생략)이 인출용벽체(111)를 관통하여 제어부의 제어에 의해 구동가능하게 구비되는 장력조절용구동모터(121)와, 상기 구동축에 일단이 고정 연결되는 것에 의해 인출용벽체(111) 전면 측면에 회동가능하게 구비되되, 타단은 회전가능한 장력조절용로울러(122)를 갖추어 인출되는 커팅용 와이어(W)가 항상 균일한 장력으로 인출가능하도록 구비되는 인출용장력조절바(123)로 구성된다.
또한, 승강수단(130)은, 베이스부재(B)의 상면 중앙부 후단에 설치되어 제어부의 제어에 대응되게 구동하는 구동모터에 의해 전,후방 이동 및 절단수단 측으로 하강가능하도록 구성된다. 여기서, 잉곳(D)은 본 발명에 따른 틸팅 기능이 구비된 잉곳 고정장치에 의해 승강수단(130)에 고정되는데, 자세한 설명은 후술하기로 한다.
즉, 상기한 승강수단은(130) 베이스부재(B)의 상면 중앙부 후단에 고정 설치되되, 전단 중앙부에는 관통부(미도시함)가 형성되어 구비되는 고정대(131)와, 상기 고정대(131)의 상면에 소정 거리 이격되어 설치된 가이드부(132)에 저면이 안착되어 전,후방향으로 슬라이드 이동가능하게 구비되는 지지대(133)와, 상기 지지대(133)에 내설되어 지지대(133)가 이동함과 동시에 이동되고 상단에는 연결풀리(도면부호 생략)가 갖추어져 회전하는 것에 의해 볼스크류를 통하여 승,하강가능하게 구비되는 승,하강부재(134)와, 상기 승,하강부재(134)의 후면 상단에 상기 연결풀리와 벨트를 매개로 연결되는 회전풀리를 갖추어 제어부의 제어에 대응되게 구동하는 구비되는 승하강용구동모터(136)와, 상기 고정대(131)의 상면 후단에 설치되어 지지대(133)를 가이드부(132)를 따라 회전하는 것에 의해 볼스크류를 통하여 전,후진시키도록 제어부의 제어에 의해 구동가능하게 상기 고정대(131)에 일단이 고정된 축을 갖추어 구비되는 이동용구동모터(137)로 구성된다.
한편, 절단수단(140)은, 베이스부재(B)의 상면에 안착 설치됨에 따른 상기 승강수단(130)의 하부에 위치되어 승강수단(130)을 통하여 단결정 잉곳(D)이 하강하는 것에 의해 인출용 장력조절수단(120)을 통하여 균일한 장력으로 인출되는 커팅용 와이어(W)를 고속으로 권회시키면서 인출시켜 단결정 잉곳(D)을 균일한 두께로 한 번에 다수개가 되도록 절단시킬 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 절단수단(140)은, 베이스부재(B)의 상면 전방부에 소정 거리 이격되어 안착 설치되어 제어부의 제어에 의해 구동하는 절단용구동모터(141)로부터 구동력을 전달받아 고속으로 회전가능하게 각각 구비되는 한 쌍의 제1,2절단용 스핀들(142,143)과, 상기 제1,2절단용 스핀들(142,143)에 연결되어 회전가능하게 설치되되, 외주면에는 인출용 장력조절수단(120)을 통하여 균일한 장력으로 인출되는 커팅용 와이어(W)를 균일 간격으로 권회시켜 인출시키도록 인입용홈(미도시함)과 인출용홈(미도시함)이 각각 형성되어 구비되는 절단용인입로울러 및 절단용인출로울러(144,145)로 구성된다.
이때, 상기 제1,2절단용 스핀들(142,143)는 커팅용 와이어(W)를 통하여 단결정 잉곳(D) 절단시 발생되는 절단물이 유입되는 것을 방지하도록 커버부재(미도시함)로 덮어서 구비된다.
또한, 커팅용 와이어 권취수단(150)은, 절단수단((140)에 의해 단결정 잉곳(D)을 절단시켜 인출되는 커팅용 와이어(W)를 권취용 장력조절수단(160)을 통하여 장력이 유지된 상태로 권취시킬 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 커팅용 와이어 권취수단(150)은 첨부된 도면 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 권취용벽체(151)의 후면 일측에 브라켓(도면부호 생략)을 매개로 고정되어 권취용풀리(도면부호 생략)를 갖추어 제어부의 제어에 의해 구동가능하게 구비되는 와이어권취용 구동모터(153)와, 상기 와이어권취용 구동모터(153) 일측에 일단은 관통부를 갖는 권취용벽체(151)의 후면에 고정 설치되는 권취용고정부(154)에 내설되어 상기 권취용풀리와 벨트(도면부호 생략)를 매개로 연결되는 연결풀리(도면부호 생략)에 일단이 고정되는 볼스크류를 통하여 전,후진 이동하는 것에 의해 관통부를 인입출가능하게 구비되는 권취용축(155)과, 상기 권취용축(155)의 전단에 회전가능하게 연결되어 절단수단(140)으로부터 인출되는 커팅용 와이어(W)가 권취용벽체(151)의 전면과 측면에 회전가능하게 설치된 다수의 가이드 로울러(G)를 통하여 인출시 인출방향을 제어시켜 권취될 수 있도록 구비되는 한 쌍의 권취용로울러(156)와, 상기 한 쌍의 권취용로울러(156)의 일측에 위치하도록 일단은 권취용벽체(151)의 전면에 고정되어 상기 권취용축(155)이 인입되는 것에 의해 커팅용 와이어(W)가 지그재그되게 권취시키기 위해 구비되는 권취용용보빈(152)으로 구성된다.
한편, 권취용 장력조절수단(160)은, 절단수단(140)을 통하여 단결정 잉곳(D)을 절단시키면서 이동하는 커팅용 와이어(W)를 지속적으로 동일한 장력을 유지하면서 커팅용 와이어 권취수단(150)측으로 인출시킬 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 권취용 장력조절수단은(160) 권취용벽체(151) 배면 측면에 구동축이 권취용벽체(151)를 관통하여 제어부의 제어에 의해 구동가능하게 구비되는 권취용 장력조절 구동모터(161)와, 상기 구동축에 일단이 고정 연결되는 것에 의해 권취용벽체(151) 전면 측면에 회동가능하게 구비되되, 타단은 회전가능한 권취용 장력조절 로울러(162)를 갖추어 인출되는 절단수단(140)을 통하여 단결정 잉곳(D)을 절단시키면서 이동하는 커팅용 와이어(W)가 지속적인 장력이 유지될 수 있도록 구비되는 권취용장력조절바(163)로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 와이어 슬라이싱 장치(100)는 승강수단(130)에 고정된 잉곳(D)이 승강수단(130)에 의해 절단수단(140) 측으로 이송되면, 절단수단(140)에 의해 고속으로 이동되는 와이어(W)와 잉곳이 접촉하게 되고, 이에 의해 잉곳(D)을 균일한 두께로 절단하여 한번에 다수의 와이퍼을 생산하게 된다.
이하에서는, 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치(200)를, 도 6 내지 도 14을 참조하여, 상세하게 설명한다.
본 발명은 승강수단(130)의 고정대(131) 하부에 결합되어 잉곳을 회전 가능하도록 고정하는 장치로서, 승강수단(130)의 고정대(131) 하부에 고정 결합되는 베이스 프레임(210)과, 베이스 프레임(210)의 양측 하부에 수직으로 결합되는 지지 프레임(220, 220')과, 양측 지지 프레임(220, 220')에 회동 가능하도록 설치되어 잉곳을 고정함과 동시에 회전시키는 잉곳 로터리장치(200)를 포함한다.
먼저, 베이스 프레임(210)은 소정 두께를 갖는 대략 함체 형상의 부재로서, 상부에 승강수단(130)의 고정대(131)과 결합되기 위한 결합공(211)이 다수 개 천공된다. 상기와 같이 형성된 베이스 프레임(210)은 볼트 등의 결속수단(미도시) 결합공(211)에 삽입되어 승강수단(130)의 고정대(131)와 결합된다.
한편, 지지 프레임(220, 220')은 베이스 프레임(210)의 너비에 대응하는 너비를 갖도록 형성되는 직사각 형상의 부재로서, 베이스 프레임(210)의 양측 하부에 수직 방향으로 결합된다. 즉, 베이스 프레임(210)과 지지 프레임(220, 220')은 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성되어 승강수단(130)의 고정대(131) 하부에 고정 결합하게 된다.
한편, 잉곳 로터리 장치는 양측 지지 프레임(220, 220')에 각각 설치되는 회동축(230, 230')과, 상기 회동축(230, 230') 중 일 회동축(230)에 축 결합되는 축풀리(231)와, 베이스 프레임(210) 상에 설치되되 구동풀리(241)가 구동축과 축 결합되는 구동모터(240)와, 구동풀리(241)와 축풀리(231)를 상호 연결하여 구동모터(240)의 회전력을 회동축(230, 230')에 전달하는 구동벨트(250)와, 양측 회동축(230, 230')을 상호 연결하도록 설치되어 회동축(230, 230')의 회동에 의해 회동됨과 동시에 외측에 접착부(280)를 통해 잉곳을 고정하는 로터리부(270)를 포함한다.
회동축(230, 230')은 소정 두께를 갖는 원통 형상의 부재로서, 양측 지지 프레임(220, 220')을 수평으로 관통하여 회전 가능하도록 설치된다. 이때, 회동축(230, 230') 중 일 회동축(230)의 단부에는 축풀리(231)가 축 결합된다. 상기한 축풀리(231)는 일반적으로 널리 사용되는 풀리이므로, 자세한 설명은 생략한다.
그리고, 구동모터(240)는 전기에 의해 회전하는 전기모터로서, 일반적으로 널리 사용되는 스텝모터로 마련되며, 구동모터(240)의 구동축에는 구동풀리(241)가 축 결합된다. 상기와 같은 구동모터(240)는 베이스 프레임(210)의 상부에 안착되도록 설치되어, 구동풀리(241)와 축풀리(231)를 상호 연결하도록 설치되는 구동벨트(250)에 의해 회전력을 회동축(230, 230')에 전달한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치는 제어부(미도시)의 제어에 의해 구동모터(240)가 회동되고, 이에 따라 회동축(230, 230') 또한 회동됨으로써, 잉곳 로터리부(270)가 회동된다.
한편, 상기 승강수단(130)은 도 8 및 도 10에 도시된 바와 같이 파이프형의 잉곳(290)의 경우 파이프의 직경이 아닌 절단을 요하는 폭의 길이로 승강폭을 최소화할 수 있고, 도 12 및 도 14에 도시된 바와 같이 소직경의 봉형 잉곳의 경우 다수 고정된 봉형 잉곳의 둘레 직경이 아닌 절단되는 개별 봉형 잉곳의 직경만큼 승강폭을 최소화할 수 있다.
또한, 고정된 잉곳이 아닌 회전하는 잉곳을 와이어에 의해 절단함에 따라 잉곳 절단 속도는 2 내지 3배 이상 증가될 수 있다.
따라서 종래에는, 잉곳이 고정되어 있는 상태에서 고속으로 이동되는 와이어(W)가 잉곳의 외주와 접촉됨으로써 잉곳을 절단하였기 때문에, 잉곳의 절단 속도는 잉곳의 승강 속도에 좌우되는 점이 있었고 잉곳의 직경만큼 승강하여야 함으로 승강폭이 증대되는 문제점이 있었다.
그러나 본 발명에 따른 회전 기능이 구비된 잉곳 로터리장치(200)는 잉곳을 회전하면서 절단함에 따라 절단 속도가 증대됨은 물론 파이프 형의 잉곳의 경우 절단 폭 만큼의 승강만 요하므로 설비의 규모를 최적화 할 수 있다,
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 기술적 사상의 범위에 포함되는 것은 자명하다.
100 : 와이어 슬라이싱 장치 110 : 커팅용 와이어 인출수단
120 : 인출용 장력조절수단 130 : 승강수단
140 : 절단수단 150 : 커팅용 와이어 권취수단
160 : 권취용 장력조절수단
200 : 회전기능이 구비된 잉곳 로터리장치
210 : 베이스 프레임 211 : 결합공
220, 220' : 지지 프레임 230, 230' : 회동축
231 : 축풀리 240 : 구동모터
241 : 구동풀리 250 : 구동벨트
270 : 로터리부 280 : 잉곳 접착부
120 : 인출용 장력조절수단 130 : 승강수단
140 : 절단수단 150 : 커팅용 와이어 권취수단
160 : 권취용 장력조절수단
200 : 회전기능이 구비된 잉곳 로터리장치
210 : 베이스 프레임 211 : 결합공
220, 220' : 지지 프레임 230, 230' : 회동축
231 : 축풀리 240 : 구동모터
241 : 구동풀리 250 : 구동벨트
270 : 로터리부 280 : 잉곳 접착부
Claims (4)
- 베이스 부재와, 상기 베이스 부재의 일측에 설치되어 인출용보빈에 권취된 커팅용 와이어를 동일한 장력으로 인출하는 커팅용 와이어 인출수단과, 인출되는 커팅용 와이어의 장력을 자동으로 조절 가능하도록 하는 인출용 장력조절수단과, 상기 베이스 부재의 상부에 설치되어 전후 방향으로 슬라이드 이동됨과 동시에 승강되는 승강수단과, 상기 승강수단의 하부에 설치되어 인출되는 커팅용 와이어를 일정간격으로 권회시키면서 고속 이동시키는 절단수단과, 상기 절단수단을 통하여 이동되는 커팅용 와이어를 권취용보빈에 권취하는 커팅용 와이어 권취수단과, 상기 커팅용 와이어 인출수단, 장력조절수단, 승강수단, 절단수단 및 커팅용 와이어 권취수단을 제어하는 제어부를 포함하는 와이어 슬라이싱 장치에 설치되는 것으로서,
상기 승강수단의 하부에 고정 결합되는 베이스 프레임과;
상기 베이스 프레임의 양측 하부에 수직으로 결합되는 지지 프레임과;
상기 양측 지지 프레임에 회동 가능하도록 설치되어 잉곳을 고정함과 동시에 회전시키는 잉곳 로터리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 와이어 슬라이싱장치의 잉곳 로터리장치. - 제1항에 있어서,
상기 잉곳 로터리장치는,
상기 양측 지지 프레임에 각각 설치되는 회동축과;
상기 회동축 중 일 회동축에 축 결합되는 축풀리와;
상기 베이스 프레임 상에 설치되되, 구동풀리가 구동축과 축 결합되는 구동모터와;
상기 구동풀리와 축풀리를 상호 연결하여 구동모터의 회전력을 회동축에 전달하는 구동벨트와;
상기 양측 회동축을 상호 연결하도록 설치되어 회동축의 회동에 의해 회동됨과 동시에 외측에 접착부를 통해 잉곳을 고정하는 로터리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 와이어 슬라이싱장치의 잉곳 로터리장치. - 제1항에 있어서,
상기 상기 승강수단은,
파이프형 잉곳의 경우 직경이 아닌 절단을 요하는 폭의 길이로 승강폭을 최소화함을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 와이어 슬라이싱장치의 잉곳 로터리장치. - 제1항에 있어서,
상기 상기 승강수단은,
소직경의 봉형 잉곳의 경우 다수 고정된 봉형 잉곳의 둘레 직경이 아닌 절단되는 개별 봉형 잉곳의 직경만큼 승강폭을 최소화함을 특징으로 하는 회전 기능이 구비된 와이어 슬라이싱장치의 잉곳 로터리장치.
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| KR1020170033977A KR101924886B1 (ko) | 2017-03-17 | 2017-03-17 | 와이어 슬라리싱 장치의 잉곳 로터리장치 |
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| KR20180106200A true KR20180106200A (ko) | 2018-10-01 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102207437B1 (ko) * | 2020-09-09 | 2021-01-27 | (주)새한나노텍 | 로터리장치를 이용한 다중 잉곳 멀티 슬라이싱 장치 |
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| KR20030019409A (ko) * | 2002-11-30 | 2003-03-06 | 엠이엠씨 일렉트로닉 머티리얼스 쏘시에떼 퍼 아찌오니 | 다수의 반도체 잉곳을 절단하기 위한 와이어 톱 및 그 공정 |
| KR101341899B1 (ko) * | 2013-07-26 | 2014-01-03 | (주)새한나노텍 | 진동장치를 구비한 잉곳 틸팅장치 |
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| KR101621455B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2016-05-17 | 주식회사 원익큐엔씨 | 회전형 와이어 소우 장치 |
-
2017
- 2017-03-17 KR KR1020170033977A patent/KR101924886B1/ko active IP Right Grant
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