KR20180021337A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 내측에 기판 이송기를 갖는 트랜스퍼 챔버; 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 위치되는 복수개의 로드락 챔버들; 및 상기 트랜스퍼 챔버의 둘레에 위치되는 복수개의 공정 챔버들을 포함하되, 상기 기판 이송기는 상기 로드락 챔버들과 상기 공정 챔버들 사이에 기판을 이송하고, 상기 로드락 챔버들은 상기 공정 챔버들에 비해 하나 이상 많게 제공될 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{Substrate treating apparatus and substrate treating method}
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하는 장치로 클러스터 타입의 장치가 많이 사용되고 있다. 클러스터 타입의 장치는 반송 챔버의 둘레에 로드록 챔버와 공정 챔버들이 배치되는 구조를 가진다. 일반적으로 웨이퍼들은 로드록 챔버에 상하로 서로 이격하여 서로 대향되도록 놓인다. 그리고 하나의 공정 챔버 내에는 기판이 놓이는 척이 두 개 제공되며, 이들 척은 측방향으로 나란하게 배치된다.
반송 챔버에는 로드록 챔버와 공정 챔버간에, 그리고 하나의 공정 챔버(50)와 다른 하나의 공정 챔버들 간에 웨이퍼를 이송하는 반송 유닛이 제공된다. 반송 유닛은 웨이퍼가 놓이는 하나의 블레이드만을 가지므로, 한 번에 하나의 웨이퍼만을 반송할 수 있다. 공정 챔버에 제공된 두 개의 척들 각각에 웨이퍼를 놓기 위해 반송 유닛은 로드록 챔버와 공정 챔버 간에 두 번에 걸쳐 웨이퍼들을 이송하여야 한다. 따라서 기판 반송에 시간이 많이 소요된다. 이와 달리 반송 챔버에 각각 구동되는 2개의 로봇을 제공할 수 있다. 그러나 이 경우, 두 개의 로봇들이 제공되어야 하므로 반송 챔버의 점유 면적이 커진다. 또한, 두 개의 로봇들이 동시에 동일한 로드록 챔버로 유입될 수 없으므로, 하나의 로봇이 로드록 챔버로부터 웨이퍼를 꺼낼 때까지 다른 로봇은 대기하여야 한다.
또한, 일반적인 반송 유닛은 블레이드에 웨이퍼가 놓이는 지지부를 하나만 가지고 있다. 블레이드는 공정이 완료된 웨이퍼를 공정 챔버로부터 꺼내어 로드록 챔버로 넣고, 로드록 챔버에서 다른 웨이퍼를 꺼내어 공정 챔버로 이송한다. 따라서 공정 챔버에서 웨이퍼에 대해 공정이 수행된 후 다음 웨이퍼에 대해 공정이 수행될 때까지 웨이퍼 반송으로 인해 많은 시간이 소요되므로 공정 챔버의 처리량이 크게 줄어든다.
본 발명은 기판을 효율적으로 처리하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 기판 이송 효율이 향상될 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 파티클 발생이 저감될 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 캐리어에 대해 기판을 반출입하는 이송프레임; 내측에 기판 이송기를 갖는 트랜스퍼 챔버; 상기 이송프레임과 상기 트랜스퍼 챔버 사이에 위치되도록 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 위치되는 복수개의 로드락 챔버들; 및 상기 트랜스퍼 챔버의 둘레에 위치되는 복수개의 공정 챔버들을 포함하되, 상기 기판 이송기는 상기 로드락 챔버들과 상기 공정 챔버들 사이에 기판을 이송하고, 상기 로드락 챔버들은 상기 공정 챔버들에 비해 하나 이상 많게 제공되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치는, 상기 로드락 챔버들 각각에 연결되는 복수개의 압력 가변기들; 및 상기 압력 가변기들을 각각 독립적으로 제어할 수 있는 제어기를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 복수의 척들을 상기 로드락 챔버들 가운데 하나에 제공되는 상기 기판 지지부와 동일한 수로 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송기는, 제1 핸드; 및 제2 핸드를 포함하되, 상기 제1 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제1 상부 핸드 및 제1 하부 핸드를 포함하고, 상기 제2 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제2 상부 핸드 및 제2 하부 핸드를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송기는, 접힘 상태의 상기 제1 핸드 또는 접힘 상태의 상기 제2 핸드로 상기 로드락 챔버들 가운데 하나에 기판을 반입 또는 상기 공정 챔버들 가운데 하나에서 기판을 반출할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송기는, 펼침 상태의 상기 제1 핸드 또는 펼침 상태의 상기 제2 핸드로 상기 공정 챔버들 가운데 하나에 기판을 반입 또는 상기 공정 챔버들 가운데 하나에서 기판을 반출할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버들은, 4개가 좌우로 2개씩 상하 2단으로 배열될 수 있다.
또한, 상기 트랜스퍼 챔버는 위쪽에서 볼 때 사각형 모양으로 제공되고, 상기 로드락 챔버들은 상기 트랜스퍼 챔퍼의 일측면에 위치되고, 상기 공정 챔버들은 나머지 3개의 측면에 위치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 캐리어에 대해 기판을 반출입하는 이송프레임; 내측에 기판 이송기를 갖는 트랜스퍼 챔버; 상기 이송프레임과 상기 트랜스퍼 챔버 사이에 위치되도록 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 위치되고, 내측에 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수 갖는 복수의 로드락 챔버들; 및 상기 트랜스퍼 챔버의 둘레에 위치되고, 내측에 기판이 위치되는 복수의 척들을 갖는 복수의 공정 챔버들을 포함하되, 상기 공정 챔버들에 제공되는 척들의 전체 수는 상기 로드락 챔버들에 제공되는 기판 지지부들의 수보다 작게 제공되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치는, 상기 로드락 챔버들 각각에 연결되는 복수개의 압력 가변기들; 및 상기 압력 가변기들을 각각 독립적으로 제어할 수 있는 제어기를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버들은 상기 트랜스퍼 챔퍼의 일측면에 4개가 좌우로 2개씩 상하 2단으로 배열될 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수개 포함하고, 상기 공정 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 복수개의 척들을 상기 기판 지지부와 동일한 수로 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리 하는 방법에 있어서, 로드락 챔버의 도어를 개방하는 단계; 기판 이송기로 상기 로드락 챔버에서 기판을 반출하는 단계; 상기 기판 이송기로 공정 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 단계; 상기 기판 이송기로 상기 로드락 챔버에서 반출된 상기 기판을 상기 처리된 기판이 반출된 상기 공정 챔버로 반입하는 단계; 상기 처리된 기판을 상기 로드락 챔버로 반입하는 단계; 및 상기 도어를 닫는 단계를 포함하는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버는 복수의 기판 지지부들을 가지고, 상기 공정 챔버는 상기 기판 지지부들과 동일한 수의 척을 가지고, 상기 기판 이송기는 상기 기판 지지부들 및 상기 척과 동일한 수의 기판들을 상기 로드락 챔버로 반입, 반출하고 상기 공정 챔버로 반입, 반출할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버는 상기 기판 처리 장치에 제공되는 복수의 로드락 챔버들 가운데 하나이고, 상기 공정 챔버는 상기 기판 처리 장치에 제공되는 복수의 공정 챔버들 가운데 하나일 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버들은 상기 도어가 닫힌 상태에서 각각 개별적으로 내측 공간의 압력이 조절될 수 있다.
또한, 상기 복수의 로드락 챔버들은 상기 복수의 공정 챔버들 보다 하나 이상 많게 제공될 수 있다.
또한, 상기 기판 이송기는, 제1 핸드; 및 제2 핸드를 포함하되, 상기 제1 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제1 상부 핸드 및 제1 하부 핸드를 포함하고, 상기 제2 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제2 상부 핸드 및 제2 하부 핸드를 포함하되, 상기 로드락 챔버에서의 상기 기판 반출은 상기 제1 핸드가 접힘 상태로 수행할 수 있다.
또한, 상기 공정 챔버에서의 상기 처리된 기판 반출은 상기 제2 핸드가 펼침 상태로 수행할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버로의 상기 처리된 기판의 반입은 상기 제2 핸드가 접힘 상태로 수행할 수 있다.
또한, 상기 공정 챔버로의 상기 기판의 반입은 제1 핸드가 펼침 상태로 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 이송 효율이 향상될 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 파티클 발생이 저감될 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 로드락 챔버를 나타낸 도면이다.
도 3은 압력 가변기의 제어 관계를 나타내는 도면이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 도 3의 압력 가변기를 나타낸 도면이다.
도 5는 기판 이송기를 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7은 로드락 챔버에서 기판이 반출되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 공정 챔버에서 기판이 반출되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 공정 챔버로 기판이 반입되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 로드락 챔버로 기판이 반입되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 11 내지 도 14는 다른 실시 예에 따른 기판 이송 과정을 나타내는 도면이다.
도 15는 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)(20) 및 공정 처리부(20)를 가진다.
설비 전방 단부 모듈(10)과 공정 처리부(20)는 일 방향으로 배치된다. 이하, 설비 전방 단부 모듈(10)과 공정 처리부(20)가 배열된 방향을 제 1 방향(X)이라 하고, 위쪽에서 바라볼 때 제 1 방향(X)에 수직인 방향을 제 2 방향(Y)이라 하고, 제1 방향과 제2 방향(Y)에 수직한 상하 방향을 제3 방향(Z)이라 한다.
설비 전방 단부 모듈(10)은 로드 포트(load port, 12) 및 이송프레임(14)을 가진다. 로드 포트(12)는 제1방향(X)으로 설비 전방 단부 모듈(10)의 전방에 배치된다. 로드 포트(12)는 복수 개가 제 2 방향(Y)으로 배치되어, 각각 공정에 제공될 기판(W) 및 공정처리가 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(16)(예를 틀어, 카세트, FOUP등)가 위치된다. 캐리어(16)에는 공정에 제공될 기판(W) 및 공정처리가 완료된 기판(W)이 수납된다. 이송프레임(14)은 로드 포트(12)와 공정 처리부(20) 사이에 배치된다. 이송프레임(14)의 내측공간은 별도의 압력 조절 없이 대기압 또는 대기압에 근접한 압력 상태로 제공된다. 이송프레임(14)은 그 내부에 배치되고 로드 포트(12)와 공정 처리부(20)간에 기판(W)을 이송하는 이송로봇(18)을 포함한다. 이송로봇(18)은 제 2 방향(Y)으로 구비된 이송 레일(19)을 따라 이동하여 캐리어(16)와 공정 처리부(20)간에 기판(W)을 이송한다.
공정 처리부(20)은 로드락 챔버들(30), 트랜스퍼 챔버(40), 그리고 공정 챔버(50)를 포함한다.
도 2는 도 1의 로드락 챔버를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 로드락 챔버(30)는 복수 개가 이송프레임(14)에 인접하게 배치된다. 로드락 챔버(30)는 기판이 설비 전방 단부 모듈(10)과 트랜스퍼 챔버(40) 사이에 이송되는 동안, 설비 전방 단부 모듈(10)의 기체가 트랜스퍼 챔버(40)로 유입되는 것을 방지하고, 트랜스퍼 챔버(40)의 압력이 상승하는 것을 방지하는 기능을 수행한다. 일 예로, 로드락 챔버(30)는 4개가 제공될 수 있다. 제1 로드락 챔버(31), 제2 로드락 챔버(32), 제3 로드락 챔버(33) 및 제4 로드락 챔버(34)는 제2 방향(Y) 및 제3 방향(Z)으로 각각 2개씩 배치될 수 있다.
로드락 챔버(30)들은 트랜스퍼 챔버(40)와 설비 전방 단부 모듈(10)사이에 배치될 수 있다.
각각의 로드락 챔버(30)는 공정에 제공될 기판(W)이 공정 챔버(50)로 이송되기 전, 또는 공정 처리가 완료된 기판(W)이 설비 전방 단부 모듈(10)로 이송되기 전 대기하는 공간을 제공한다. 각각의 로드락 챔버(30)에는 전방 도어(38) 및 후방 도어(39)가 제공된다. 전방 도어(38)는 설비 전방 단부 모듈(10)과 로드락 챔버(30)의 내측 공간을 연결하는 경로를 개폐한다. 후방 도어(39)는 트랜스퍼 챔버(40)와 로드락 챔버(30)의 내측 공간을 연결하는 경로를 개폐한다. 각각의 로드락 챔버(30)에는 기판이 위치되는 기판 지지부(36)가 2개 제공된다. 기판 지지부(36)들은 상하로 배열된다.
도 3은 압력 가변기의 제어 관계를 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 압력 가변기(60)는 각각의 로드락 챔버(30)의 압력을 개별적으로 조절한다. 구체적으로, 압력 가변기(60)는 제1 압력 가변기(61), 제2 압력 가변기(62), 제3 압력 가변기(63) 및 제4 압력 가변기(64)를 포함한다. 그리고 제1 로드락 챔버(31), 제2 로드락 챔버(32), 제3 로드락 챔버(33) 및 제4 로드락 챔버(34)에는 각각 제1 압력 가변기(61), 제2 압력 가변기(62), 제3 압력 가변기(63) 및 제4 압력 가변기(64)가 연결된다. 제1 압력 가변기(61), 제2 압력 가변기(62), 제3 압력 가변기(63) 및 제4 압력 가변기(64)는 각각 제어기(70)에 의해 개별적으로 제어된다.
도 4는 일 실시 예에 따른 도 3의 압력 가변기를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면 압력 가변기(60)는 가스 배출기(60a) 및 가스 공급기(60b)를 포함한다.
가스 배출기(60a)는 로드락 챔버(30) 내의 기체를 배출하여 로드락 챔버(30)내의 압력을 낮춘다. 또한, 가스 배출기(60a)는 로드락 챔버(30) 내의 기체를 배출하여 로드락 챔버(30) 내의 산소 량을 줄일 수 있다. 가스 배출기(60a)는 기체의 배출 여부 및/또는 배출되는 기체의 양이 조절되는 구조로 제공될 수 있다. 예를 들어, 가스 배출기(60a)는 배출 압력을 제공하는 펌프를 포함할 수 있다. 또한, 가스 배출기(60a)는 배관의 개폐 및 유량을 조절할 수 있는 밸브, 엠에프시(MFC, mass flow controller) 등을 포함할 수 있다.
가스 공급기(60b)는 로드락 챔버(30)로 불활성 가스를 공급한다. 일 예로, 가스 공급기(60b)가 공급하는 불활성 가스는 질소 일 수 있다. 가스 공급기(60b)는 불활성 가스의 공급 여부 및/또는 공급되는 불활성 가스의 양이 조절되는 구조로 제공될 수 있다. 예를 들어, 가스 공급기(60b)는 배관의 개폐 및 유량을 조절할 수 있는 밸브, 엠에프시(MFC, mass flow controller) 등을 포함할 수 있다.
트랜스퍼 챔버(40)는 로드락 챔버(30)에 인접하게 배치된다. 트랜스퍼 챔버(40)의 내측 공간은 대기압 보다 낮은 설정 압력 상태로 제공된다. 설정 압력은 진공압 상태일 수 있다. 트랜스퍼 챔버(40)는 상부에서 바라볼 때, 다각형의 몸체를 갖는다. 일 예로, 도 1을 참조하면, 트랜스퍼 챔버(40)는 상부에서 바라볼 때, 사각형의 몸체를 가질 수 있다.
트랜스퍼 챔버(40)의 둘레에는 로드락 챔버들(30)과 복수개의 공정 챔버(50) (50) 들이 배치된다. 트랜스퍼 챔버(40)와 각각의 공정 챔버(50) 사이에는 기판이 이동되는 경로를 개폐하는 도어(51)가 제공된다. 도어(51)는 기판이 공정 챔버(50)로 반입되거나 공정 챔버(50)로 반출될 때 개방되고, 공정 챔버(50)에서 기판이 처리될 때 닫힌다.
트랜스퍼 챔버(40)의 내부공간에는 로드락 챔버(30)들과 공정 챔버(50)들간에 기판(W)을 이송하는 기판 이송기(41)가 배치된다. 기판 이송기(41)는 로드락 챔버(30)에서 대기하는 미처리된 기판(W)을 공정 챔버(50)로 이송하거나, 공정처리가 완료된 기판(W)을 로드락 챔버(30)로 이송한다. 또한, 기판 이송기(41)는 공정 챔버(50)들 사이에 기판(W)을 이송할 수 있다.
도 5는 기판 이송기를 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 기판 이송기(41)는 제1 핸드(410), 제2 핸드(420), 아암(430), 지지부(440)를 포함한다. 제1 핸드(410) 및 제2 핸드(420)는 기판을 지지한다.
제1 핸드(410)는 상하로 위치되는 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)를 포함한다. 제1 핸드(410)는 아암(430)에 대해 회전 가능하게 제공된다.
제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)는 서로 간의 상대 위치가 변화 가능하게 제공된다. 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)는 위쪽에서 볼 때 서로 겹쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격 되게 위치된 펼침 상태 간에 전환 가능하도록 제공된다. 일 예로, 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)는 접힘 상태에서 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)가 서로 반대되는 방향으로 설정 각도 회전되거나, 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412) 가운데 하나가 일 방향으로 설정 각도 회전되어 펼침 상태로 전환될 수 있다. 접힘 상태일 때 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)가 제3 방향(Z)으로 이격된 거리는 로드락 챔버(30)의 기판 지지부(36)의 제3 방향(Z) 이격 거리에 대응될 수 있다.
제2 핸드(420)는 상하로 위치되는 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)를 포함한다. 제2 핸드(420)는 아암(430)에 대해 회전 가능하게 제공된다.
제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)는 서로 간의 상대 위치가 변화 가능하게 제공된다. 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)는 위쪽에서 볼 때 서로 겹쳐 진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격 되게 위치된 펼침 상태 일정 각도 틀어진 펼침 상태 간에 전환 가능하도록 제공된다. 일 예로, 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)는 접힘 상태에서 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)가 서로 반대되는 방향으로 설정 각도 회전되거나, 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422) 가운데 하나가 일 방향으로 설정 각도 회전되어 펼침 상태로 전환될 수 있다. 접힘 상태일 때 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)가 제3 방향(Z)으로 이격된 거리는 로드락 챔버(30)의 기판 지지부(36)의 제3 방향(Z) 이격 거리에 대응될 수 있다.
아암(430)은 제1 핸드(410) 및 제2 핸드(420)의 위치를 이동 시킨다. 아암(430)은 제1 아암(431)과 제2 아암(432)을 가진다. 제1 아암(431)의 일측 단부와 제2 아암(432)의 일측 단부는 상대적으로 회전 가능하게 제공된다. 제1 아암(431)과 제2 아암(432)은 각각 로드 형상을 가진다. 제1 아암(430)은 제1 핸드(410) 및 제2 핸드(420)와 연결된다. 제2 아암(430)의 타단은 지지부(440)에 연결된다. 제2 아암(430)은 지지부(440)에 대해 회전된다.
지지부(440)의 상부는 상하 방향으로 이동되어, 제2 아암(430)의 높이를 변경할 수 있다.
공정 챔버(50)는 트랜스퍼 챔버(40)의 둘레를 따라 배치된다. 공정 챔버(50)는 복수개 제공될 수 있다. 공정 챔버(50)의 개수는 로드락 챔버(30)의 개수보다 하나 이상 작을 수 있다.
각각의 공정 챔버(50)내에서는 기판(W)에 대한 공정처리가 진행된다. 공정 챔버(50)는 기판 이송기(41)로부터 기판(W)을 이송 받아 공정처리를 하고, 공정처리가 완료된 기판(W)을 기판 이송기(41)가 반출한다.
공정 챔버(50)가 수행하는 공정은 기판(W)을 이용해 반도체 소자 또는 디스플레이 패널을 생산하는 과정 가운데 일 공정일 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버(50)가 수행하는 공정은 증착 공정, 식각 공정, 세정 공정, 현상 공정, 애싱 공정 및 베이크 공정 등과 같은 공정 가운데 하나를 수행할 수 있다. 각각의 공정 챔버(50)에는 공정 처리될 기판이 위치되는 척(52)이 2개 제공된다.
도 6 및 도 7은 로드락 챔버에서 기판이 반출되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 8은 공정 챔버에서 기판이 반출되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 9는 공정 챔버로 기판이 반입되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 10은 로드락 챔버로 기판이 반입되는 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 도 6 내지 도 10을 참조하여, 기판이 이송되는 과정을 설명한다.
제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)은 설비전방 단부 모듈(10)의 이송 로봇(18)에 의해 전방 도어(38)가 개방된 제1 로드락 챔버(31)로 반입된다. 전방 도어(38)의 개방 시 제1 로드락 챔버(31)의 내측은 이송프레임(14)의 내측과 동일 또는 유사한 압력으로 조절된 상태일 수 있다. 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 반입되면, 전방 도어(38)는 닫히고, 제1 로드락 챔버(31)의 내측 공간은 제1 압력 가변기(61)에 의해 설정 조건의 압력으로 조절된다. 설정 조건의 압력은 트랜스퍼 챔버(40)의 내측 공간의 압력과 동일 또는 유사할 수 있다. 제1 로드락 챔버(31)의 내측 공간이 설정 조건에 도달되면 후방 도어(39)가 개방된다.
트랜스퍼 챔버(40)의 기판 이송기(41)는 제1 로드락 챔버(31)에서 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)을 반출한다. 제1 핸드(410)는 접힘 상태가 된다. 이후 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)는 동시에 제1 로드락 챔버(31)로 진입되어, 각각 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)을 반출한다. 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 반출된 후에도 후방 도어(39)는 개방된 상태를 유지할 수 있다.
이후, 기판 이송기(41)는 제2 핸드(420)를 공정 챔버(50)들 가운데 제3 기판(S3) 및 제4 기판(S4)이 있는 공정 챔버(50)로 이동시킨다. 제3 기판(S3) 및 제4 기판(S4)은 공정 챔버(50) 내에서 처리가 완료된 기판이다. 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)는 펼침 상태가 된 후 척(52)에 위치된 제3 기판(S3) 및 제4 기판(S4)을 동시에 반출한다. 공정 챔버(50)의 도어(51)는 기판 이송기(41)가 제1 로드락 챔버(31)에서 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)을 반출하는 과정에 개방될 수 있다. 또한, 공정 챔버(50)의 도어(51)는 제2 핸드(420)가 공정 챔버(50)로 이동하는 과정에 개방될 수 있다. 또한, 공정 챔버(50)의 도어(51)는 제2 핸드(420)가 공정 챔버(50)로 인접하게 이동을 완료한 후 개방이 개시될 수 있다.
제2 핸드(420)가 제3 기판(S3) 및 제4 기판(S4)의 반출을 완료하면, 제1 핸드(410)는 공정 챔버(50)로 진입하여 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)을 척(52)에 위치시킨다. 제1 핸드(410)는 공정 챔버(50)로 진입하기에 앞서 펼침 상태가 되거나, 공정 챔버(50)로 진입하는 과정에서 펼침 상태가 될 수 있다. 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)이 척(52)에 위치되면, 제1 핸드(410)는 공정 챔버(50) 밖으로 이동되고 도어(51)가 닫혀 기판의 반입이 완료된다. 이후, 공정 챔버(50)는 반입된 기판에 대해 공정 처리를 개시할 수 있다.
이후, 기판 이송기(41)는 제2 핸드(420)를 제1 로드락 챔버(31)로 이동시킨다. 제2 핸드(420)는 접힘 상태로 제1 로드락 챔버(31)로 진입하여 제3 기판(S3)과 제4 기판(S4)을 제1 로드락 챔버(31)에 위치시킨다. 제2 핸드(420)가 제1 로드락 챔버(31) 밖으로 이동되면, 후방 도어(39)는 닫힌다.
이후, 전방 도어(38)가 개방되면 이송 로봇(18)은 공정 처리된 제3 기판(S3), 제4 기판(S4)을 제1 로드락 챔버(31)에서 반출한다. 그리고 공정 처리된 새로운 기판을 제1 로드락 챔버(31)로 반입한다.
상술한 기판 이송과정에서는 도 7 내지 도 10에서 기판 이송이 이루어지는 것으로 도시된 공정 챔버(50)와 제1 로드락 챔버(31)사이에 기판이 이송되는 것으로 설명되었으나, 해당 공정 챔버(50)는 제2 로드락 챔버(32), 제3 로드락 챔버(33) 및 제4 로드락 챔버(34)가운데 하나와 기판을 주고 받을 수 있다. 그리고 위와 유사한 방식으로 제2 로드락 챔버(32)와 공정 챔버(50)들 가운데 하나, 제3 로드락 챔버(33)와 공정 챔버(50)들 가운데 하나, 제4 로드락 챔버(34)와 공정 챔버(50)들 가운데 하나 사이에 기판이 이송될 수 있다. 이때, 제2 로드락 챔버(32), 제3 로드락 챔버(33), 제 4 로드락 챔버(30)에서 공정 처리될 기판의 반출은 제1 핸드(410) 또는 제2 핸드(420)에 의해 이루어 질 수 있다. 예를 들어, 제1 로드락 챔버(31)와 공정 챔버(50)들 가운데 하나와의 사이에 기판이 이송될 수 있다. 그리고, 제2 로드락 챔버(32)와 기판 이송이 이루어 지지 않은 나머지 2개의 공정 챔버(50)들 가운데 하나와의 사이에 기판이 이송되고, 제3 로드락 챔버(33)와 나머지 1개의 공정 챔버(50) 사이에 기판이 이송될 수 있다. 이후, 제4 로드락 챔버(34)와 공정 챔버(50)들 가운데 하나와의 사이에 기판 이송이 이루어 질 수 있다. 이때 공정 챔버(50)는 이전의 기판 이송 과정에서 제1 로드락 챔버(31)와의 사이에 기판 이송이 이루어진 공정 챔버(50)일 수 있다. 또한, 제1 로드락 챔버(31), 제2 로드락 챔버(32), 제3 로드락 챔버(33), 제4 로드락 챔버(34) 순으로 공정 챔버(50)와의 사이에 기판 이송이 이루어 지는 것으로 예를 들었으나, 순서는 달라질 수 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면 로드락 챔버(30)를 통한 기판이송 효율이 향상될 수 있다. 로드락 챔버(30)는 기판의 반입, 반출을 전후로 하여 내측 공간의 압력이 조절될 필요가 있다. 이와 같은 압력의 조절에는 시간이 소요되고, 기판이 로드락 챔버(30)를 거쳐 반입, 반출되는데 지연이 발생할 수 있다. 따라서, 본 발명은 공정 챔버(50)들의 수와 로드락 챔버(30)들의 수가 관련성을 가지도록 제공되어, 공정 챔버(50)들에서 처리된 기판이 로드락 챔버(30)들을 통해 반출되거나, 처리될 기판이 로드락 챔버(30)들을 거쳐 공정 챔버(50)들로 반입되는 과정에서 지연이 발생되지 않는다.
또한, 로드락 챔버(30)들 가운데 하나를 통해 처리될 기판의 반입과 처리된 기판의 반출이 함께 이루어 질 수 있다. 따라서 설정 수량의 기판 반입 및 설정 수량의 기판 반출에 소요되는 시간이 단축될 수 있다.
또한, 로드락 챔버(30)로 처리될 기판의 반입과 처리된 기판의 반출이 함께 이루어 짐에 따라 전방 도어(38), 후방 도어(39)의 개폐 횟수가 줄어들 수 있다. 따라서 전방 도어(38), 후방 도어(39)의 개폐 과정에서 발생될 수 있는 파티클이 줄어든다.
또한, 공정 챔버(50)와 로드락 챔버(30)가 수용하는 기판의 수량이 동일하게 제공되어, 하나의 과정을 통해 처리될 기판이 로드락 챔버(30)를 거쳐 공정 챔버(50)로 이동될 수 있다.
또한, 공정 챔버(50)와 로드락 챔버(30)가 수용하는 기판의 수량이 동일하게 제공되어, 하나의 과정을 통해 처리된 기판이 로드락 챔버(30)를 거쳐 반출될 수 있다.
또한, 제1 핸드(410) 및 제2 핸드(420) 각각은 공정 챔버(50)와 로드락 챔버(30)가 수용하는 기판의 수량과 동일한 수의 상부 핸드(411, 421) 및 하부 핸드(412, 422)를 포함하여, 기판을 효율적으로 이송할 수 있다.
또한, 각각 상태가 제어되고, 기판의 반입 및 반출을 수행하는 로드락 챔버(30)가 복수 개 제공됨에 따라, 일부 로드락 챔버(30)에 이상이 발생한 경우, 나머지 로드락 챔버(30)를 통해 기판의 반입 및 반출이 이루어 질 수 있다.
또한, 각각 상태가 제어되고, 기판의 반입 및 반출을 수행하는 로드락 챔버(30)가 복수 개 제공됨에 따라, 반입 또는 반출되는 과정에서 각각의 로드락 챔버(30)의 상태를 개별적으로 제어할 수 있다. 일 예로, 공정 챔버(50)들 가운데 일부 또는 각각의 공정 챔버(50)들이 수행하는 공정은 상이할 수 있다. 또한, 공정 챔버(50)들 가운데 일부 또는 각각의 공정 챔버(50)들이 수행하는 공정은 공정의 레시피가 상이할 수 있다. 이와 같은 경우, 필요에 따라 반입되는 기판 또는 반출되는 기판을 상이한 방식으로 로드락 챔버(30)에서 처리할 필요가 있다. 예를 들어, 기판이 로드락 챔버(30)내에서 위치되는 시간, 공정 챔버(50) 내의 압력, 공정 챔버(50) 내의 기체에 포함된 산소 양 등과 같은 기체의 조성을 조절하여 기판의 온도, 기판의 표면 상태 등을 조절할 필요가 있다. 이에 본 발명은, 제어기(70)가 로드락 챔버(30)들에 연결된 제1 압력 가변기(61), 제2 압력 가변기(62), 제3 압력 가변기(63) 및 제4 압력 가변기(64) 가운데 일부 또는 전부를 상이한 방식으로 제어하여, 반입 되는 기판 또는 반출되는 기판을 상이한 환경에 노출시킬 수 있다.
도 11 내지 도 14는 다른 실시 예에 따른 기판 이송 과정을 나타내는 도면이다.
기판 이송기(41)는 제1 핸드(410)를 공정 챔버(50)를 가운데 제5 기판(S5) 및 제6 기판(S6)이 있는 공정 챔버(50)로 이동시킨다. 제5 기판(S5) 및 제6 기판(S6)은 공정 챔버(50) 내에서 처리가 완료된 기판이다. 제1 상부 핸드(411)와 제1 하부 핸드(412)는 펼침 상태가 된 후 척(52)에 위치된 제5 기판(S5) 및 제6 기판(S6)을 반출한다. 제5 기판(S5)과 제6 기판(S6)이 반출된 후에도 도어(51)는 개방된 상태를 유지할 수 있다.
이 후, 기판 이송기(41)는 제2 핸드(420)를 로드락 챔버(30)들 가운데 제7 기판(S7) 및 제8 기판(S8)이 위치된 제1 로드락 챔버(31)로 이동 시킨다. 제7 기판(S7)과 제8 기판(S8)은 상술한 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)과 유사한 방식으로 전방 도어(38)를 통해 제1 로드락 챔버(31)에 반입될 수 있다. 제1 로드락 챔버(31)의 내측 공간이 설정 조건에 도달되면 후방 도어(39)가 개방된다. 제2 핸드(420)는 접힘 상태로 제1 로드락 챔버(31)로 진입하여, 제2 상부 핸드(421)와 제2 하부 핸드(422)로 제7 기판(S7)과 제8 기판(S8)을 반출한다. 그리고 제1 핸드(410)는 접힘 상태로 제1 로드락 챔버(31)로 진입하여 제5 기판(S5)과 제6 기판(S6)을 제1 로드락 챔버(31)에 위치시킨다. 제1 핸드(410)가 제1 로드락 챔버(31) 밖으로 이동되면, 후방 도어(39)는 닫힌다.
이후, 기판 이송기(41)는 제2 핸드(420)를 제5 기판(S5)과 제6 기판(S6)이 반출된 공정 챔버(50)로 이동시킨다. 제2 핸드(420)는 공정 챔버(50)로 진입하여 제7 기판(S7)과 제8 기판(S8)을 척(52)에 위치시킨다. 제2 핸드(420)는 공정 챔버(50)로 진입하기에 앞서 펼침 상태가 되거나, 공정 챔버(50)로 진입하는 과정에서 펼침 상태가 될 수 있다. 제7 기판(S7) 및 제8 기판(S8)이 척(52)에 위치되면, 제2 핸드(420)는 공정 챔버(50) 밖으로 이동되고 도어가 닫혀 기판의 반입이 완료된다. 이후, 공정 챔버(50)는 반입된 기판에 대해 공정 처리를 개시할 수 있다.
도 15는 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 을 참조하면, 기판 처리 장치(2)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)(20a) 및 공정 처리부(20a)를 가진다.
설비 전방 단부 모듈(10a)의 로드 포트(load port, 12a) 및 이송프레임(14a)은 도 1의 로드 포트(load port, 10) 및 이송프레임(14)과 동일 또는 유사한 구조를 가지므로 반복된 설명은 생략한다.
공정 처리부(20a)은 로드락 챔버들(30a), 트랜스퍼 챔버(40a), 그리고 공정 챔버(50a)를 포함한다.
로드락 챔버(30a)들 및 트랜스퍼 챔버(40a)는 도 1의 로드락 챔버(30)들 및 트랜스퍼 챔버(40)와 동일 또는 유사한 구조를 가지므로 반복된 설명은 생략한다.
공정 챔버(50a)는 트랜스퍼 챔버(40a)의 둘레를 따라 배치된다. 공정 챔버(50a)는 복수개 제공될 수 있다. 각각의 공정 챔버(50a)내에서는 기판(W)에 대한 공정처리가 진행된다. 각각의 공정 챔버(50a)는 도어(51a)에 의해 개폐된다. 각각의 공정 챔버(50a)에는 공정 처리될 기판이 위치되는 척(52a)이 1개 제공된다.
공정 챔버(50a) 내에 위치된 기판을 반출할 때, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)는 접힘 상태로 공정 챔버(50a)로 진입할 수 있다. 그리고, 상부 핸드(411a, 421a)를 통해 기판을 반출할 수 있다. 이후, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)는 접힘 상태로 다른 공정 챔버(50a)로 진입하여 하부 핸드(412a, 422a)를 통해 기판을 반출할 수 있다.
또한, 공정 챔버(50a)로 처리될 기판을 반입할 때, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)는 접힘 상태로 공정 챔버(50a)로 진입할 수 있다. 그리고, 하부 핸드(412a, 422a)에 위치된 기판을 척(52a)에 위치시킬 수 있다. 이후, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)는 접힘 상태로 다른 공정 챔버(50a)로 진입하여 상부 핸드(411a, 421a)에 위치된 기판을 척(52a)에 위치시킬 수 있다.
다른 예로, 인접한 2개의 공정 챔버(50a)는 핸드(410a, 420a)가 펼침 상태로 각각의 척(52a)에 위치된 기판을 반출 및 반입 가능하도록 배열될 수 있다. 따라서, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)는 펼침 상태로 인접한 2개의 공정 챔버(50a)에 위치된 기판을 반출 및 반입할 수 있다.
이때, 제1 핸드(410a) 또는 제2 핸드(420a)에 의해 반입, 반출되는 기판을 처리하는 2개의 공정 챔버(50a)는 기판에 대해 동일한 공정 또는 동일한 레시피의 처리를 수행할 수 있다. 따라서, 동일한 공정 처리 또는 동일한 레시피 처리된 기판, 동일한 공정 처리 또는 동일한 레시피 처리될 기판은 하나의 로드락 챔버(30a)를 통해 반입, 반출될 수 있다.
공정 챔버(50a)의 구조 및 기판 이송기(41a)가 공정 챔버(50a)에 기판을 반입, 반출하는 방법 외에 로드락 챔버(30a)들 및 트랜스퍼 챔버(40a)의 구조, 기판 이송기(41a)가 로드락 챔버(30a)에 기판을 반입 및 반출하는 단계, 기판 이송기(41a)가 공정 챔버(50a)와 로드락 챔버(30a)를 오고 가는 단계는 도1 내지 도 14의 기판 처리 장치(1)와 동일 또는 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 설비 전방 단부 모듈 12: 로드 포트
14: 이송프레임 20: 공정 처리부
30: 로드락 챔버들 40: 트랜스퍼 챔버
41: 기판 이송기 50: 공정 챔버들

Claims (22)

  1. 캐리어에 대해 기판을 반출입하는 이송프레임;
    내측에 기판 이송기를 갖는 트랜스퍼 챔버;
    상기 이송프레임과 상기 트랜스퍼 챔버 사이에 위치되도록 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 위치되는 복수개의 로드락 챔버들; 및
    상기 트랜스퍼 챔버의 둘레에 위치되는 복수개의 공정 챔버들을 포함하되,
    상기 기판 이송기는 상기 로드락 챔버들과 상기 공정 챔버들 사이에 기판을 이송하고,
    상기 로드락 챔버들은 상기 공정 챔버들에 비해 하나 이상 많게 제공되는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 로드락 챔버들 각각에 연결되는 복수개의 압력 가변기들; 및
    상기 압력 가변기들을 각각 독립적으로 제어할 수 있는 제어기를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 공정 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 복수의 척들을 상기 로드락 챔버들 가운데 하나에 제공되는 상기 기판 지지부와 동일한 수로 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 이송기는,
    제1 핸드; 및
    제2 핸드를 포함하되,
    상기 제1 핸드는,
    위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제1 상부 핸드 및 제1 하부 핸드를 포함하고,
    상기 제2 핸드는,
    위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제2 상부 핸드 및 제2 하부 핸드를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 기판 이송기는,
    접힘 상태의 상기 제1 핸드 또는 접힘 상태의 상기 제2 핸드로 상기 로드락 챔버들 가운데 하나에 기판을 반입 또는 상기 공정 챔버들 가운데 하나에서 기판을 반출하는 기판 처리 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 기판 이송기는,
    펼침 상태의 상기 제1 핸드 또는 펼침 상태의 상기 제2 핸드로 상기 공정 챔버들 가운데 하나에 기판을 반입 또는 상기 공정 챔버들 가운데 하나에서 기판을 반출하는 기판 처리 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버들은,
    4개가 좌우로 2개씩 상하 2단으로 배열되는 기판 처리 장치.
  9. 제1 항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트랜스퍼 챔버는 위쪽에서 볼 때 사각형 모양으로 제공되고,
    상기 로드락 챔버들은 상기 트랜스퍼 챔퍼의 일측면에 위치되고,
    상기 공정 챔버들은 나머지 3개의 측면에 위치되는 기판 처리 장치.
  10. 캐리어에 대해 기판을 반출입하는 이송프레임;
    내측에 기판 이송기를 갖는 트랜스퍼 챔버;
    상기 이송프레임과 상기 트랜스퍼 챔버 사이에 위치되도록 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 위치되고, 내측에 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수 갖는 복수의 로드락 챔버들; 및
    상기 트랜스퍼 챔버의 둘레에 위치되고, 내측에 기판이 위치되는 복수의 척들을 갖는 복수의 공정 챔버들을 포함하되,
    상기 공정 챔버들에 제공되는 척들의 전체 수는 상기 로드락 챔버들에 제공되는 기판 지지부들의 수보다 작게 제공되는 기판 처리 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 로드락 챔버들 각각에 연결되는 복수개의 압력 가변기들; 및
    상기 압력 가변기들을 각각 독립적으로 제어할 수 있는 제어기를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버들은 상기 트랜스퍼 챔퍼의 일측면에 4개가 좌우로 2개씩 상하 2단으로 배열되는 기판 처리 장치.
  13. 제10 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 기판 지지부를 복수개 포함하고,
    상기 공정 챔버들 각각은, 기판이 위치되는 복수개의 척들을 상기 기판 지지부와 동일한 수로 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리 하는 방법에 있어서,
    로드락 챔버의 도어를 개방하는 단계;
    기판 이송기로 상기 로드락 챔버에서 기판을 반출하는 단계;
    상기 기판 이송기로 공정 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 단계;
    상기 기판 이송기로 상기 로드락 챔버에서 반출된 상기 기판을 상기 처리된 기판이 반출된 상기 공정 챔버로 반입하는 단계;
    상기 처리된 기판을 상기 로드락 챔버로 반입하는 단계; 및
    상기 도어를 닫는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버는 복수의 기판 지지부들을 가지고, 상기 공정 챔버는 상기 기판 지지부들과 동일한 수의 척을 가지고,
    상기 기판 이송기는 상기 기판 지지부들 및 상기 척과 동일한 수의 기판들을 상기 로드락 챔버로 반입, 반출하고 상기 공정 챔버로 반입, 반출하는 기판 처리 방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버는 상기 기판 처리 장치에 제공되는 복수의 로드락 챔버들 가운데 하나이고, 상기 공정 챔버는 상기 기판 처리 장치에 제공되는 복수의 공정 챔버들 가운데 하나인 기판 처리 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버들은 상기 도어가 닫힌 상태에서 각각 개별적으로 내측 공간의 압력이 조절되는 기판 처리 방법.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 복수의 로드락 챔버들은 상기 복수의 공정 챔버들 보다 하나 이상 많게 제공되는 기판 처리 방법.
  19. 제14 항에 있어서,
    상기 기판 이송기는,
    제1 핸드; 및 제2 핸드를 포함하되,
    상기 제1 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제1 상부 핸드 및 제1 하부 핸드를 포함하고,
    상기 제2 핸드는, 위쪽에서 볼 때 서로 결쳐진 상태인 접힘 상태와 양측으로 이격되게 위치되는 펼침 상태가 될 수 있고 상하로 배열되는 제2 상부 핸드 및 제2 하부 핸드를 포함하되,
    상기 로드락 챔버에서의 상기 기판 반출은 상기 제1 핸드가 접힘 상태로 수행하는 기판 처리 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 공정 챔버에서의 상기 처리된 기판 반출은 상기 제2 핸드가 펼침 상태로 수행하는 기판 처리 방법.
  21. 제20 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버로의 상기 처리된 기판의 반입은 상기 제2 핸드가 접힘 상태로 수행하는 기판 처리 방법.
  22. 제14 항에 있어서,
    상기 공정 챔버로의 상기 기판의 반입은 제1 핸드가 펼침 상태로 수행하는 기판 처리 방법.
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