KR20180020004A

KR20180020004A - 노즐 유닛

Info

Publication number: KR20180020004A
Application number: KR1020160104397A
Authority: KR
Inventors: 박정옥; 김창회; 윤석문; 우범제
Original assignee: 피코앤테라(주)
Priority date: 2016-08-17
Filing date: 2016-08-17
Publication date: 2018-02-27

Abstract

본 발명은 패드의 적어도 일부를 덮으면서 노즐몸체에 결합된 캡을 포함하여, 패드가 노즐몸체로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있는 노즐 유닛에 관한 것이다.

Description

노즐 유닛{ Nozzle unit }

본 발명은 웨이퍼 수납용기에 가스를 공급하거나 배출시키는 노즐 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조설비는 공정 모듈, 로드 포트 및 설비 전후 모듈(Equipment Front End Module : EFEM)을 포함하여 구성된다.

여기서 공정 모듈은 웨이퍼의 반도체 제조공정이 수행되는 모듈이며, 로드 포트는 다수의 웨이퍼가 탑재된 웨이퍼 수납용기, 즉 풉(Front Opening Universal Pod : FOUP)이 로딩 되는 부분이며, 설비 전후 모듈은 공정 모듈과 로드 포트 사이에 구비되어 청정 공간을 제공하며, 내부에 이송 모듈을 구비하여 풉과 공정 모듈 사이에 다수의 웨이퍼를 이송시키는 역할을 한다.

한편, 반도체 제조장치 내에는 웨이퍼의 처리 또는 가공에 적합한 소정의 기체 분위기로 유지되어 있지만, 풉 내로부터 반도체 제조장치 내에 웨이퍼를 송출할 때에는 풉의 내부 공간과 반도체 제조장치의 내부 공간이 서로 연통하게 된다. 따라서, 풉 내의 환경이 반도체 제조장치 내부보다 저청정도이면, 풉 내의 기체가 반도체 제조장치 내에 진입하여 반도체 제조장치 내의 기체 분위기에 악영향을 줄 수 있다. 또한, 웨이퍼를 반도체 제조장치 내부로부터 풉 내에 수납할 때, 풉 내의 기체 분위기 속의 수분, 산소 혹은 그 밖의 가스 등에 의해서, 웨이퍼의 표면에 산화막이 형성될 수 있다고 하는 문제도 있다.

이를 위해, 풉이 탈착 가능하게 안착되는 로드 포트의 스테이지에는, 복수의 주입용 또는 배출용 노즐 유닛이 구비되어, 풉 내부로 퍼지가스를 공급 및 퓸(FUME)이 포함된 배출가스를 외부로 배출한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 한국등록특허 제10-1619379호에 기재된 노즐 몸체(116)는 중공관 형태로 내부에 통로가 형성되며, 스테이지(100)의 상면으로부터 돌출되어, 풉(200)의 삽입포트(216)에 끼워진다.

웨이퍼가 수납되어 반송되는 풉(200)의 하면에는 다수의 퍼지가스 주입/배출부가 설치되고, 스테이지(100)의 위치결정용 돌기(미도시)가 끼워지는 위치결정용 홈(미도시)이 대응하는 위치에 형성된다.

상기 퍼지가스 주입/배출부는, 내부로 연통하고 로드 포트의 퍼지장치의 노즐 몸체(116)가 삽입되어 밀폐되는 삽입포트(216)와, 삽입포트(216)를 감싸며 풉(200)의 하면과 단턱을 이루도록 형성되어 로드포트의 퍼지장치의 진공흡입 포트(114)에 대향하는 흡입 홈(214)으로 이루어진다.

삽입포트(216)의 내부에는 중공 통 형상의 그로밋 시일을 주체로 하여 이루어지고, 그로밋 시일 내에 질소나 불활성 가스 또는 건조 공기 등의 기체(퍼지가스)의 주입압력 또는 배출압력에 의해 폐쇄 상태로부터 개방 상태로 전환하는 밸브(215)가 설치된다.

로드포트의 스테이지(100) 상면에 반송된 풉(200)이 설치되는데, 스테이지(100) 상면에 돌출된 위치결정용 돌기(미도시)가 풉(200) 하면에 형성된 위치결정용 홈(미도시)에 끼워지도록 하여 위치가 고정된다. 이 상태에서 풉(200)이 하방으로 이동하면, 퍼지장치(110)의 노즐 몸체(116)가 풉(200)의 삽입포트(216)에 끼워지고, 퍼지장치(110)의 진공흡입 포트(114)와 풉(200)의 흡입 홈(214)이 대향하여 정렬된다. 노즐 몸체(116)의 통로를 통하여 가스(퍼지가스)가 주입 또는 배출될 수 있다.

한편, 노즐 몸체(116)의 삽입포트(216) 삽입시의 충격완화를 위해, 노즐 몸체(116)의 상부에는 패드가 결합된다. 그러나, 노즐 몸체(116)를 통해 풉(200) 내부에 가스가 공급 또는 배출되는 과정에서 풉(200) 내부가 저진공 상태가 되고, 패드가 풉(200)의 삽입포트(216)에 흡착되어, 노즐 몸체(116)를 삽입포트(216)에서 분리할 때, 패드가 노즐 몸체(116)로부터 이탈되어 분리될 우려가 있다.

한국등록특허 제10-1619379호

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 패드가 노즐몸체로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있는 노즐 유닛을 제공함에 그 목적이 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 노즐 유닛은, 웨이퍼 수납용기가 안착되는 스테이지에 설치되어, 상기 웨이퍼 수납용기의 내부로 가스를 공급하거나 또는 내부로부터 배출시키는 노즐 유닛에 있어서, 노즐몸체; 상기 노즐몸체의 상부에 결합된 패드; 상기 패드가 상기 노즐몸체에서 이탈하는 것을 방지하도록 상기 패드의 적어도 일부를 덮으면서 상기 노즐몸체에 결합된 캡; 을 포함한다.

또한, 상기 캡은 상기 노즐몸체의 외주면에 나사 결합되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐몸체는 중공으로 형성되어 상하로 관통된 제1유로가 형성된 메인노즐몸체와, 상기 메인노즐몸체의 상부에서 상측으로 연장 형성되고, 상하로 관통되어 상기 제1유로와 연통된 제2유로를 포함하는 돌출부를 포함하고, 상기 패드는 상기 돌출부가 관통되어 삽입되는 관통구가 형성되고, 상기 캡은 하부가 개방되어 내부에 상기 패드가 삽입되되, 상기 캡의 상부에는 구멍이 형성되어, 상기 패드의 상부가 상기 구멍을 통하여 상기 캡의 상측으로 돌출되고, 상기 구멍의 내부 둘레는 상기 패드의 하부 둘레보다 작은 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 돌출부의 외주에는 탄성부재가 설치되어 상기 패드와 상기 메인노즐몸체 사이에 배치되고, 상기 패드는 상하 이동 가능한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 관통구의 내주면에는 제1금속판을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 패드의 하면에는 제2금속판을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 패드의 하면에는 홈부가 형성되고, 상기 홈부에 상기 메인노즐몸체의 상부가 삽입되어 결합되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

패드가 노즐몸체로부터 이탈되어 분리되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 캡은 노즐몸체의 외주면에 나사 결합되어, 착탈이 용이하다. 그래서 교체 및 수리 등의 유지보수가 용이하다.

또한, 패드의 상부는 캡의 상측으로 돌출되고, 하부는 캡 내부에 구속되어, 패드는 웨이퍼 수납용기에 대한 충격 완화역할을 하면서, 노즐몸체로부터 이탈이 방지된다.

또한, 패드가 상하 슬라이딩 이동가능하고, 탄성부재로 인해 충격 완화 효과가 있다.

또한, 제1금속판 및 제2금속판을 통해, 패드는 돌출부를 따라 상하 이동이 용이하고, 웨이퍼 수납용기가 눌려짐에 따른 충격을 완화하고 손상을 방지할 수 있다.

도 1은 종래의 풉이 로드포트의 스테이지에 안착되어 결합된 상태를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 로드포트를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 노즐 유닛의 사시도.
도 4는 도 3의 수직 단면도.
도 5는 도 4의 분리 단면도.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 노즐 유닛의 단면도.
도 7은 도 6의 분리 단면도.
도 8은 도 6에서 웨이퍼 수납용기가 안착되어 탄성부재가 압축된 상태를 나타낸 단면도.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 상세히 설명한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 노즐 유닛(1)은, 도 2 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 수납용기가 안착되는 스테이지(92)에 설치되어, 상기 웨이퍼 수납용기의 내부로 가스를 공급하거나 또는 내부로부터 배출시키는 노즐 유닛(1)에 있어서, 노즐몸체(5);와, 노즐몸체(5)의 상부에 결합된 패드(40);와, 패드(40)가 노즐몸체(5)에서 이탈하는 것을 방지하도록 패드(40)의 적어도 일부를 덮으면서 노즐몸체(5)에 결합된 캡(50); 을 포함하는 것이다.

스테이지(92)는 일례로 도 2와 같은 로드 포트(90)에 형성된 것이 있다. 이하에는 로드 포트(90)에 형성된 스테이지(92)를 기준으로 설명하도록 한다.

로드 포트(90)는, 상기 웨이퍼 수납용기와 공정 모듈 사이에 다수의 웨이퍼를 이송시키는 역할을 하는 것으로, 로드 포트(90)에 대해서는 전술한 종래기술을 포함하여 종래에 많이 공개되어 있으므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략하고, 스테이지(92)에 대해서만 간략히 설명하도록 한다.

로드 포트(90)의 중앙부에는 상기 웨이퍼 수납용기가 안착되는 스테이지(92)가 형성된다. 스테이지(92) 상에는 복수 개의 위치결정용 돌기(93)가 형성되어, 상기 웨이퍼 수납용기의 하면에 형성된 위치결정용 홈에 대응되어 삽입된다.

또한, 스테이지(92)의 전방 양측과 후방 양측에는, 노즐 유닛(1)이 설치된다.

노즐 유닛(1)은 스테이지(92)의 내부에 설치되고, 도 2와 같이, 일부가 스테이지(92)의 상면을 관통하여 상측으로 돌출 형성된다.

노즐 유닛(1)은, 상기 웨이퍼 수납용기의 내부로 가스(퍼지가스)를 공급하는 주입용과, 내부로부터 가스(퓸 등이 포함된 배출가스)를 배출시키는 배출용이 스테이지(92)에 각각 설치된다.

한편, 상기 웨이퍼 수납용기는 다수의 웨이퍼가 수납되는 것으로, 일례로 풉(Front Opening Universal Pod : FOUP)이 있다. 본 설명에서 상기 웨이퍼 수납용기는 풉을 기준으로 설명하도록 한다.

상기 웨이퍼 수납용기는 스테이지(92) 상에 안착되는 것으로, 하면에 형성된 상기 위치결정용 홈에, 스테이지(92)의 위치결정용 돌기(93)가 대응되어 끼워진다.

또한, 상기 웨이퍼 수납용기의 하부에는 홈 형상으로 형성되어 노즐 유닛(1)이 삽입되고, 상기 웨이퍼 수납용기의 내부와 연통되는 가스 주입부 및 가스 배출부가 형성된다. 상기 웨이퍼 수납용기에 대해서도 전술한 종래기술을 포함하여 종래에 많이 공개되어 있으므로 상세한 설명은 생략하고, 이하에는 노즐 유닛(1)에 대해 상세히 설명하도록 한다.

본 발명의 노즐 유닛(1)은, 전술한 바와 같이, 스테이지(92)의 내부에 설치되고, 일부가 스테이지(92)의 상면을 관통하여 상측으로 돌출 형성된다.

본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 노즐 유닛(1)을, 도 3 내지 도 5를 참고하여 설명하도록 한다.

노즐 유닛(1)은, 노즐몸체(5)와, 노즐몸체(5)의 상부에 결합된 패드(40)와, 패드(40)가 노즐몸체(5)에서 이탈하는 것을 방지하도록 패드(40)의 적어도 일부를 덮으면서 노즐몸체(5)에 결합된 캡(50)을 포함한다.

노즐몸체(5)는, 중공으로 형성되어 상하로 관통된 제1유로(11)가 형성된 메인노즐몸체(10)와, 메인노즐몸체(10)의 상부에서 상측으로 연장 형성되고, 상하로 관통되어 제1유로(11)와 연통된 제2유로(26)를 포함하는 돌출부(25)를 포함한다. 메인노즐몸체(10)와 돌출부(25)는 일체로 형성된다.

메인노즐몸체(10)는, 대략 원통 형상의 상부몸체(12)와, 상부몸체(12)의 하부에 연결되어 상부몸체(12)에 대해 외측으로 단차지게 형성된 중앙몸체(13)와, 중앙몸체(13)의 하면 중앙에서 하측으로 연장 형성된 하부몸체(18)를 포함하여 이루어진다. 상부몸체(12), 중앙몸체(13) 및 하부몸체(18)는 모두 일체로 형성된다.

제1유로(11)는 상부몸체(12), 중앙몸체(13) 및 하부몸체(18)의 중심부를 상하로 관통하여 형성된다.

중앙몸체(13)는 상부몸체(12)에 대해 외측으로 수평으로 단차져 상부몸체(12)보다 둘레가 더 크게 형성된다.

또한, 중앙몸체(13)의 외주면에는 나사산(14)이 형성되어 캡(50)의 하부가 나사결합된다.

나사산(14)은 중앙몸체(13)의 외주면에서 상부에 형성될 수 있다.

중앙몸체(13)의 외주 하부에는, 중앙몸체(13)의 외주 중앙부에 대해 외측으로 수평으로 단차져 돌출된 단차부(15)가 형성된다. 단차부(15)의 외주 둘레는 중앙몸체(13)의 상부 및 중앙부의 외주 둘레보다 크다.

또한, 중앙몸체(13)의 하면 중앙에서 하측으로 연장된 중공 원통 형상의 하부몸체(18)의 외주 둘레는, 상부몸체(12)의 외주 둘레보다 작게 형성된다. 하부몸체(18)의 외주면 하부에는 나사산(미도시)이 형성될 수 있다.

한편, 돌출부(25)는 메인노즐몸체(10)의 상부, 보다 자세하게는 상부몸체(12)의 상면 중앙에서 상측으로 연장되어 형성된다.

돌출부(25)는 중공 원통 형상으로 형성되어, 제2유로(26)가 상하로 관통 형성된다. 제2유로(26)는 메인노즐몸체(10)의 제1유로(11)와 연통된다. 노즐 유닛(1)에서 가스(퍼지가스 등)는 제1유로(11) 및 제2유로(26)를 통해 유동되어, 상기 웨이퍼 수납용기 내부로 주입되거나, 상기 웨이퍼 수납용기의 외부로 배출된다.

돌출부(25)의 외주 둘레는 메인노즐몸체(10)의 하부몸체(18)보다 작게 형성된다.

한편, 노즐몸체(5)의 상부에는 패드(40)가 결합된다. 패드(40)는 충격 또는 진동 완화 기능을 하고, 고무 재질 등으로 형성될 수 있다.

패드(40)의 결합에 대해 보다 자세히 설명하면, 패드(40)는 원통 형상으로 형성되되, 패드(40)의 외주 하부에는 외측으로 단차져 수평 방향으로 돌출된 하부단차부(45)가 형성된다.

또한, 패드(40)의 중심부에는 돌출부(25)가 관통되어 삽입되는 관통구(41)가 형성된다. 관통구(41)는 상하로 관통되어 형성된다. 돌출부(25)의 상단부는 관통구(41)의 상단부에 접하거나 하측으로 약간 이격되도록 배치된다.

또한, 패드(40)의 하면에는 홈부(46)가 형성된다. 홈부(46)의 외측 둘레에는 하부단차부(45)가 위치된다. 홈부(46)의 내부 둘레는, 상부몸체(12)의 외주 둘레에 대응되어 형성되어, 홈부(46)의 내부에 상부몸체(12)의 상부가 삽입되어 결합된다. 다시 말해, 홈부(46)에 메인노즐몸체(10)의 상부가 삽입되어 결합된다.

돌출부(25)는 패드(40)의 홈부(46)를 통과한 후, 관통구(41)를 관통하여 삽입된다. 패드(40)의 상부의 외주 둘레는, 상부몸체(12)의 외주 둘레와 같거나, 상부몸체(12)의 외주 둘레에 근접하게 형성될 수 있다.

한편, 패드(40)의 외주 하부, 다시 말해 하부단차부(45)의 상부를 덮도록 메인노즐몸체(10)에 캡(50)이 결합된다. 캡(50)은 하부가 중앙몸체(13)의 외주면에 결합된다.

캡(50)은 상판(51)과, 상판(51)의 외주 둘레에서 하측으로 연장된 측벽(52)을 포함한다. 다시 말해, 캡(50)은 하부가 개방된 중공 원통 형상으로 형성되고, 내부에 패드(40)가 삽입된다. 보다 자세하게는 패드(40)의 하부단차부(45)가 삽입된다. 캡은 일례로 알루미늄 재질로 형성될 수 있다.

또한, 캡(50)의 상부, 보다 자세하게는 상판(51)에는 구멍(53)이 상하 관통 형성되어, 패드(40)의 상부가 구멍(53)을 통하여 캡(50)의 상측, 다시 말해 상판(51)의 상측으로 돌출된다.

구멍(53)은, 패드(40)의 상부에 대응하여 패드(40)의 상부가 통과할 수 있도록 형성된다.

또한, 구멍(53)의 내부 둘레는 패드(40)의 하부 둘레, 보다 자세하게는 하부단차부(45)의 둘레보다 작게 형성된다. 그래서 캡(50)의 개방된 하부를 통해 캡(50) 내부로 삽입된 패드(40)는 상부가 구멍(53)을 통해 캡(50)의 상측으로 돌출되고, 하부단차부(45)는 캡(50)의 내부에 배치된다. 하부단차부(45)는 구멍(53)을 통과할 수 없다.

패드(40)의 상부는 캡(50)의 상측으로 돌출되어, 패드(40)는 상기 웨이퍼 수납용기에 대한 충격 완화역할을 한다. 하부단차부(45)의 외주 둘레가 구멍(53)의 내부 둘레보다 커서, 패드(40)의 하부, 즉 하부단차부(45)는 캡(50) 내부에 구속되고, 패드(40)가 노즐몸체(5)로부터 이탈되는 것이 방지된다.

패드(40)의 하부단차부(45)는 캡(50)의 내부에 배치되어 구멍(53)을 통과할 수 없으므로, 노즐몸체(5)를 통해 상기 웨이퍼 수납용기(일례로 풉)에 가스가 공급 또는 배출되는 과정에서 상기 웨이퍼 수납용기 내부가 저진공 상태가 되어 패드(40)가 상기 웨이퍼 수납용기에 흡착되더라도, 패드(40)가 노즐몸체(5)로부터 이탈되는 것이 방지된다. 다시 말해, 하부단차부(45)의 상면은 캡(50)의 상판(51) 하면에 걸려 노즐몸체(5)로부터 이탈되지 못한다.

또한, 캡(50)의 내부에는 메인노즐몸체(10)의 상부몸체(12)와 중앙몸체(13)의 상부가 삽입되고, 캡(50)의 내주면 하부, 보다 자세하게는 측벽(52)의 내주면 하부에는 나사산(54)이 형성되어, 중앙몸체(13)의 나사산(14)에 나사 결합된다. 이상과 같이 캡(50)은 노즐몸체(5)의 외주면에 나사 결합되어, 착탈이 용이하다. 그래서 패드(40), 캡(50) 등을 교체 및 수리하는 유지 보수가 용이하다.

이하에는, 도 6 내지 도 8을 참고하여 본 발명의 제2실시예에 따른 노즐 유닛을 설명하도록 한다. 제1실시예와 동일한 사항에 대해서는 제1실시예를 참고하기로 하고, 이하에는 제1실시예와 구별되는 사항만 설명하도록 한다.

제2실시예에서 패드(40a)는 메인노즐몸체(10)의 상부, 즉 상부몸체(12)의 상부에 결합되지 않고, 돌출부(25)에만 삽입되어 돌출부(25)를 따라 상하 슬라이딩 이동가능하다.

패드(40a)는 중공으로 형성되어 상하 관통된 관통구(41a)가 형성되고, 패드(40a)의 외주 하부에는 외측으로 수평 연장된 하부단차부a(45a)를 포함한다. 제2실시예에 따른 패드(40a)는 메인노즐몸체(10)의 상부에 결합되지 않으므로, 제1실시예와 같은 홈부(46,도 5참고)는 포함하지 않는다.

하부단차부a(45a)의 외주 둘레는 패드(40a)의 상부 및 중앙부의 외주 둘레보다 크다. 그리고 하부단차부a(45a)의 외주 둘레는 메인노즐몸체(10)의 상부, 즉 상부몸체(12)의 외주 둘레에 대응되어, 상부몸체(12)의 외주 둘레와 같거나 그에 근접하게 형성될 수 있다. 패드(40a)의 상부 및 중앙부의 외주 둘레는 상부몸체(12)의 외주 둘레보다 작다. 제2실시예에 따른 패드(40a)의 상부의 외주 둘레는, 제1실시예에 따른 패드(40)의 상부의 외주 둘레보다 작게 형성되어, 하부몸체(18)의 외주 둘레와 같거나 그에 근접하게 형성될 수 있다.

또한, 패드(40a)의 내주면, 다시 말해 관통구(41a)의 내주면에는 제1금속판(42a)을 포함한다.

제1금속판(42a)은 관통구(41a)의 내주면과, 돌출부(25) 사이에 위치된다. 제1금속판(42a)으로 인해, 패드(40a)가 돌출부(25)에 직접 접하지 않게 되어 패드(40a)가 돌출부(25)를 따라 용이하게 상하 슬라이딩 이동 가능하다.

또한, 패드(40a)의 하면에는 제2금속판(43a)을 포함한다. 제2금속판(43a)은 탄성부재(60)의 상부에 인접하거나 또는 접한다. 도 8과 같이, 상기 웨이퍼 수납용기(95)에 의해 패드(40a)가 눌려져 하측으로 슬라이딩 이동함에 따라, 패드(40a) 하면의 제2금속판(43a)은 탄성부재(60)의 상부에 접하고 탄성부재(60)가 압축된다. 이로 인해 상기 웨이퍼 수납용기(95)가 패드(40a)를 누름에 따른 충격이 완화되고, 노즐몸체(5) 및 상기 웨이퍼 수납용기(95)의 손상이 방지된다. 또한, 제2금속판(43a)으로 인해 패드(40a)와 탄성부재(60)가 직접 부딪히지 않아, 패드(40a)도 손상도 방지될 수 있다.

제1금속판(42a) 및 제2금속판(43a)은 일례로 알루미늄 재질일 수 있다.

또한, 탄성부재(60)는 돌출부(25)의 외주 하부에 설치되어, 패드(40a)와 메인노즐몸체(10) 사이에 배치된다. 보다 자세하게는 제2금속판(43a)과 상부몸체(12) 사이에 배치된다.

도 8과 같이, 탄성부재(60)는 상기 웨이퍼 수납용기(95)에 의해 눌려져 하측으로 이동하는 패드(40a)에 의해 압축되며 충격을 완화시키는 기능을 한다. 탄성부재(60)는 일례로 압축코일스프링일 수 있다.

또한, 캡(50a)은 하부가 개방된 원통 형상으로 형성되어, 내주면 하부가 메인노즐몸체(10)에 나사 결합된다.

캡(50a)의 상판(51a)은, 메인노즐몸체(10)의 상부에 대해 상측으로 이격되어 그 내부에 공간(70)이 형성된다. 그래서 공간(70), 즉 캡(50a)의 상판(51a)과, 메인노즐몸체(10) 사이에서 패드(40a)가 상하 이동 가능하다.

또한, 캡(50a)의 상판(51a) 중심에는 구멍(53a)이 상하 관통 형성된다. 구멍(53a)의 내부 둘레는 패드(40a)의 상부 및 중앙부의 외주 둘레보다 더 크게 형성된다. 그래서 패드(40a)의 상부는 구멍(53a)을 관통하여 캡(50a)의 상측으로 돌출되고, 돌출부(25)를 따라 상하 이동 가능하다.

또한, 구멍(53a)의 내부 둘레는 패드(40a)의 하부단차부a(45a)의 외주 둘레보다 작게 형성된다. 그래서 하부단차부a(45a)는 캡(50a)의 상판(51a)에 걸려 구멍(53a)을 통과하지 못하고, 캡(50a) 내부에 배치된다. 그래서 제1실시예와 마찬가지로 패드(40a)가 상기 웨이퍼 수납용기(95)에 흡착되더라도, 하부단차부a(45a)가 캡(50a)의 상판(51a)에 걸려 노즐몸체(5), 보다 자세하게는 돌출부(25)로부터 이탈되어 분리되는 것이 방지된다.

또한, 캡(50a)은 메인노즐몸체(10)에 나사 결합되므로, 캡(50a)만을 용이하게 분리하여, 탄성부재(60) 또는 패드(40a) 등을 용이하게 교체하거나 수리할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.

1: 노즐 유닛 5: 노즐몸체
10: 메인노즐몸체 11: 제1유로
12: 상부몸체 13: 중앙몸체
14: 나사선 15: 단차부
18: 하부몸체 25: 돌출부
26: 제2유로 40,40a: 패드
41,41a: 관통구 42a: 제1금속판
43a: 제2금속판 45: 하부단차부
45a: 하부단차부a 46: 홈부
50,50a: 캡 51,51a: 상판
52: 측벽 53,53a: 구멍
54: 나사선 60: 탄성부재
70: 공간 90: 로드 포트
92: 스테이지 93: 위치결정용 돌기
95: 웨이퍼 수납용기

Claims

웨이퍼 수납용기가 안착되는 스테이지에 설치되어, 상기 웨이퍼 수납용기의 내부로 가스를 공급하거나 또는 내부로부터 배출시키는 노즐 유닛에 있어서,
노즐몸체;
상기 노즐몸체의 상부에 결합된 패드;
상기 패드가 상기 노즐몸체에서 이탈하는 것을 방지하도록 상기 패드의 적어도 일부를 덮으면서 상기 노즐몸체에 결합된 캡; 을 포함하는 노즐 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 캡은 상기 노즐몸체의 외주면에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐몸체는 중공으로 형성되어 상하로 관통된 제1유로가 형성된 메인노즐몸체와, 상기 메인노즐몸체의 상부에서 상측으로 연장 형성되고, 상하로 관통되어 상기 제1유로와 연통된 제2유로를 포함하는 돌출부를 포함하고,
상기 패드는 상기 돌출부가 관통되어 삽입되는 관통구가 형성되고,
상기 캡은 하부가 개방되어 내부에 상기 패드가 삽입되되,
상기 캡의 상부에는 구멍이 형성되어, 상기 패드의 상부가 상기 구멍을 통하여 상기 캡의 상측으로 돌출되고,
상기 구멍의 내부 둘레는 상기 패드의 하부 둘레보다 작은 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
청구항 3에 있어서,
상기 돌출부의 외주에는 탄성부재가 설치되어 상기 패드와 상기 메인노즐몸체 사이에 배치되고,
상기 패드는 상하 이동 가능한 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
청구항 4에 있어서,
상기 관통구의 내주면에는 제1금속판을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
청구항 4에 있어서,
상기 패드의 하면에는 제2금속판을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
청구항 3에 있어서,
상기 패드의 하면에는 홈부가 형성되고,
상기 홈부에 상기 메인노즐몸체의 상부가 삽입되어 결합되는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.