KR20170123226A - Heat treatment apparatus - Google Patents

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KR20170123226A
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요리히코 와다
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고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤
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Abstract

Provided is a heat treatment apparatus which can more uniformly change a temperature of an object to be treated in case of occurrence of a change in a temperature control condition, and further, can automatically perform adjustment work to more uniformly change a temperature of the object to be treated. The heat treatment apparatus (1) comprises: a chamber (4) to accommodate an object to be treated (100); a medium supply unit (7) having a reference damper (32) to supply cooling air to a chamber (4) and sub-dampers (31, 33); and a control unit (18) controlling a supply condition of the cooling air by the sub-dampers (31, 33) based on a supply condition of the cooling air by the reference damper (32).

Description

열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}[0001] HEAT TREATMENT APPARATUS [0002]

본 발명은, 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus.

반도체 기판 등 피처리물에 열처리를 행하기 위한, 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들어, 하기의 문헌 1 참조). 열처리 장치의 일례로서, 문헌 1에 기재된 열처리 장치는, 단열재에 둘러싸인 히터와, 히터에 둘러싸인 석영관을 갖고 있다. 또, 단열재를 관통하는 파이프가 접속되어 있으며, 이 파이프에 송풍기가 접속되어 있다.BACKGROUND ART [0002] A heat treatment apparatus for performing a heat treatment on an object to be processed such as a semiconductor substrate is known (for example, see Document 1 below). As an example of the heat treatment apparatus, the heat treatment apparatus described in Document 1 has a heater surrounded by a heat insulating material and a quartz tube surrounded by a heater. Further, a pipe passing through the heat insulating material is connected, and a blower is connected to the pipe.

히터의 가열에 의해 석영관 내의 피처리물이 열처리된 후, 송풍기가 동작함으로써, 냉각 공기가 석영관으로 이끌린다. 이것에 의해, 석영관 및 피처리물이 냉각된다. 이때, 송풍기를 제어하는 제어부는, 석영관의 실제 온도와 목표 온도의 편차를 제로로 하도록, 히터의 출력과 송풍기의 풍량을 제어한다. 이와 같이, 석영관의 강제 냉각에 송풍기를 이용하는 구성이 알려져 있다.After the object to be treated in the quartz tube is heat-treated by the heating of the heater, the blower is operated so that the cooling air is drawn to the quartz tube. Thereby, the quartz tube and the object to be processed are cooled. At this time, the control unit for controlling the blower controls the output of the heater and the air volume of the blower so that the deviation between the actual temperature and the target temperature of the quartz tube is zero. As described above, a configuration using a blower for forced cooling of the quartz tube is known.

일본국 특허 공개 평1-282619호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-282619

그런데, 송풍기를 이용하여 석영관 등의 용기를 강제 냉각하는 구성에 있어서, 복수의 댐퍼를 이용하는 구성을 생각할 수 있다. 예를 들어, 이 구성에서는, 송풍기에 접속된 배관은, 복수로 분기한 분기관을 갖고 있다. 그리고, 각 분기관에, 댐퍼가 접속되어 있다. 복수의 댐퍼는, 예를 들어, 용기의 길이 방향을 따른 복수 개소에 송풍기로부터의 냉각 공기를 공급한다. 각 댐퍼는, 예를 들어, 작업원에 의한 수동 조작에 의해, 개도가 조정된다. 그리고, 냉각 공기는, 송풍기로부터 대응하는 댐퍼를 통과한 후, 용기에 닿음으로써, 상기 용기를 냉각한다. 작업원은, 용기의 냉각 속도가 상기 용기의 각부에 있어서 가급적 균등해지도록 하기 위해, 각 댐퍼의 개도를 수동으로 조정한다.By the way, in the structure for forcedly cooling a container such as a quartz tube by using a blower, a configuration using a plurality of dampers can be considered. For example, in this configuration, the piping connected to the blower has a plurality of branches. A damper is connected to each branch pipe. The plurality of dampers supply cooling air from the blower to a plurality of places along the longitudinal direction of the container, for example. The opening degree of each damper is adjusted by, for example, manual operation by an operator. Then, the cooling air passes through the corresponding damper from the blower, and then touches the container to cool the container. The worker manually adjusts the opening of each damper so that the cooling rate of the container becomes as uniform as possible in each part of the container.

한편, 용기 내에서 열처리되는 피처리물의 내용 및 수량은, 매회 같다고는 할 수 없다. 즉, 용기 내의 피처리물의 합계의 열용량은, 매회 같다고는 할 수 없다. 또, 용기(피처리물)의 목표 냉각 온도 및 냉각 영역도, 매회 같다고는 할 수 없다. 또한, 송풍기를 구동시키는 송풍기 모터의 주파수(예를 들어, 송풍기 모터의 회전 속도)도, 전원의 조건에 따라 상이한 경우가 있다. 이와 같이, 냉각 조건의 차이가 발생한 경우에, 각 댐퍼의 개도를 조정하지 않는 경우, 용기의 각부의 냉각 속도에 불균일이 발생해 버린다.On the other hand, the contents and the yield of the object to be heat-treated in the container are not necessarily the same every time. That is, the total heat capacity of the object to be treated in the container is not necessarily the same every time. Also, the target cooling temperature and cooling area of the container (material to be treated) are not necessarily the same every time. Further, the frequency of the blower motor for driving the blower (for example, the rotational speed of the blower motor) may also differ depending on the condition of the power source. In this way, when the difference in cooling conditions occurs, if the opening degree of each damper is not adjusted, the cooling speed of each part of the container will vary.

한편, 냉각 조건의 차이에 관계없이, 용기 및 복수의 피처리물의 전체가 가급적 균등하게 냉각되는 것이, 균일한 열처리를 행하는 관점으로부터 바람직하다. 이로 인해, 냉각 조건에 따라, 작업원은, 각 댐퍼의 개도를 수작업으로 조정한다. 이것에 의해, 각 댐퍼로부터 용기에 닿는 냉각 공기의 유량이 조정되어, 용기 및 피처리물의 보다 균등한 냉각이 실현된다.On the other hand, regardless of the difference in cooling conditions, it is preferable from the viewpoint of uniform heat treatment that the container and the plurality of objects to be processed are uniformly cooled as much as possible. Thus, according to the cooling conditions, the worker manually adjusts the opening degree of each damper. As a result, the flow rate of the cooling air contacting the container from each damper is adjusted, and more even cooling of the container and the object to be processed is realized.

이와 같이, 각 댐퍼의 개도 조정 작업이 수작업으로 행해지는 구성에 대해, 자동적인 조정 작업이 실현되는 것이 바람직하다.In this way, it is preferable that an automatic adjustment operation be realized for the configuration in which the opening degree adjustment operation of each damper is performed manually.

본 발명은, 상기 사정을 감안함으로써, 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있음과 더불어, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시키기 위한 조정 작업을 자동적으로 행할 수 있는 열처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above circumstances, the present invention is capable of more uniformly changing the temperature of the object to be treated even when the temperature control condition changes, and also automatically adjusting the temperature of the object to be processed more uniformly And to provide a heat treatment apparatus capable of performing the heat treatment.

(1) 상기 과제를 해결하기 위해, 이 발명의 어느 국면에 따르는 열처리 장치는, 피처리물의 열처리시에 상기 피처리물을 수용하는 용기와, 온도 조정용의 매체를 상기 용기에 공급하기 위한 기준 밸브 및 서브 밸브를 포함하는 매체 공급부와, 상기 기준 밸브에 의한 상기 매체의 공급 양태를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브에 의한 상기 매체의 공급 양태를 제어하는 제어부를 구비하고 있다.(1) In order to solve the above problems, a heat treatment apparatus according to any one aspect of the present invention includes a container for accommodating the object to be processed at the time of heat treatment of the object to be processed, a reference valve And a control unit for controlling the supply mode of the medium by the sub valve based on the supply mode of the medium by the reference valve.

이 구성에 의하면, 제어부에 의해, 서브 밸브에 의한 매체의 공급 양태가 제어된다. 이것에 의해, 피처리물의 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에, 서브 밸브에 의한 매체의 공급 양태를 변경할 수 있다. 그 결과, 피처리물의 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물을 보다 균등하게 냉각할 수 있다. 또, 기준 밸브에 의한 매체의 공급 양태를 기준으로 하여, 서브 밸브에 의한 매체의 공급 양태가 제어되는 결과, 서브 밸브의 제어 연산이 발산하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 따라서, 피처리물에 대한 보다 정확한 온도 제어가 실현된다. 또, 제어부에 의해 서브 밸브가 제어되므로, 인력에 의한 서브 밸브의 조정 작업이 불필요하다. 이상의 이유로, 본 발명에 의하면, 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있음과 더불어, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시키기 위한 조정 작업을 자동적으로 행할 수 있는 열처리 장치를 실현할 수 있다.According to this configuration, the mode of supplying the medium by the sub-valve is controlled by the control unit. Thus, when a change occurs in the temperature control condition of the object to be processed, the supply mode of the medium by the sub-valve can be changed. As a result, even when a change occurs in the temperature control condition of the object to be treated, the object can be cooled more uniformly. In addition, it is possible to more reliably suppress the divergence of the control calculation of the sub-valve as a result of controlling the supply mode of the medium by the sub-valve based on the supply mode of the medium by the reference valve. Therefore, a more accurate temperature control for the object to be processed can be realized. In addition, since the sub-valve is controlled by the control unit, it is unnecessary to adjust the sub-valve by the attraction force. For this reason, according to the present invention, even when a change occurs in the temperature control condition, the object to be processed can be temperature-changed more evenly, and an adjustment operation for changing the temperature of the object to be processed more evenly is automatically performed The heat treatment apparatus can be realized.

(2) 상기 제어부는, 상기 기준 밸브의 개도가 일정한 상태를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브의 개도를 제어하는 경우가 있다.(2) The control unit may control the opening of the sub-valve based on a state where the opening degree of the reference valve is constant.

이 구성에 의하면, 제어부는, 서브 밸브의 개도 제어에 있어서, 기준 밸브의 개도를 변경할 필요가 없는 결과, 서브 밸브의 제어에 필요한 연산을 보다 간소하게 할 수 있다. 또, 서브 밸브의 개도 제어에 있어서, 헌팅이 발생하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.According to this configuration, in the opening control of the sub-valve, the control unit does not need to change the opening degree of the reference valve, thereby making it possible to simplify the calculation required for the sub-valve control. It is also possible to more reliably suppress occurrence of hunting in the opening control of the sub-valve.

(3) 상기 제어부는, 상기 용기 중 상기 기준 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 공급되는 상기 매체의 유량을 제어하도록 구성되어 있는 경우가 있다.(3) The control unit is configured to control the flow rate of the medium supplied from the sub-valve to the container on the basis of the temperature at the position where the medium is supplied from the reference valve in the container have.

이 구성에 의하면, 서브 밸브로부터 용기로 공급되는 매체에 의한 용기의 온도 변화 정도를, 기준 밸브로부터 용기로 공급되는 매체에 의한 용기의 온도 변화 정도와 보다 동일하게 할 수 있다.According to this configuration, the degree of temperature change of the container by the medium supplied from the sub valve to the container can be made to be equal to the temperature change degree of the container by the medium supplied from the reference valve to the container.

(4) 상기 제어부는, 상기 용기 중 상기 기준 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도와, 상기 용기 중 상기 서브 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도의 편차를 감소시키도록, 상기 서브 밸브의 개도를 제어하는 경우가 있다.(4) The control unit may be configured to control the temperature of the portion of the container to which the medium is supplied from the reference valve and the temperature of the portion of the container to which the medium is supplied from the sub- The opening degree of the sub-valve may be controlled.

이 구성에 의하면, 용기 중 기준 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도와, 용기 중 서브 밸브로부터 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도가 보다 동일해지도록, 제어부가 서브 밸브를 제어할 수 있다.According to this configuration, it is possible to control the sub-valve so that the temperature at the location where the medium is supplied from the reference valve in the container and the temperature at the location where the medium is supplied from the sub- have.

(5) 상기 서브 밸브는 복수 설치되어 있고, 상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브와 다른 상기 서브 밸브가 상이한 동작을 행하도록 각 상기 서브 밸브를 제어하는 경우가 있다.(5) A plurality of the sub-valves are provided, and the control unit may control each of the sub-valves so that one sub-valve and the other sub-valve perform different operations.

이 구성에 의하면, 복수의 서브 밸브의 동작에 의해, 용기의 보다 넓은 영역을 균등하게 온도 변화시킬 수 있다. 또, 용기의 각 영역을, 보다 세심하게 온도 제어할 수 있다.According to this configuration, a wider area of the container can be uniformly changed in temperature by the operation of the plurality of sub-valves. Further, the temperature of each region of the container can be controlled more precisely.

(6) 상기 제어부는, 비례 제어를 이용하여 각 상기 서브 밸브를 제어하도록 구성되어 있고, 하나의 상기 서브 밸브의 제어 게인과 다른 상기 서브 밸브의 제어 게인을 상이한 값으로 설정하는 경우가 있다.(6) The control unit is configured to control each of the sub-valves using proportional control, and may set the control gain of one sub-valve and the control gain of the other sub-valve to different values.

이 구성에 의하면, 하나의 상기 서브 밸브는, 목표로 하는 매체의 공급 양태를 실현하기 위한 응답 속도를 보다 높게 할 수 있다. 한편, 다른 상기 서브 밸브는, 목표로 하는 매체의 공급 양태를 실현하기 위한 응답 속도를 보다 낮게 할 수 있다. 이와 같이, 목표에 대한 응답 속도가 상이한 서브 밸브를 조합함으로써, 열의 치우침이 발생하기 쉬운 용기에 대해, 보다 균등한 온도 변화를 발생시키는 것이 가능하다.According to this configuration, one of the sub-valves can further increase the response speed for realizing the supply mode of the target medium. On the other hand, the other sub-valves can lower the response speed for realizing the supply mode of the target medium. By combining the sub-valves having different response speeds to the target in this manner, it is possible to generate a more uniform temperature change in the container in which heat is liable to be biased.

(7) 상기 매체는, 상기 용기를 냉각하기 위한 냉각 매체이며, 하나의 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는, 다른 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치보다 높게 설정되어 있고, 상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인을 다른 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인보다 크게 설정하는 경우가 있다.(7) The medium is a cooling medium for cooling the container, and a position at which the cooling medium is supplied from one of the sub-valves to the container is a position at which the cooling medium is supplied from the other sub- And the control unit may set the control gain for one sub-valve to be larger than the control gain for the other sub-valves.

이 구성에 의하면, 용기의 열은, 상방으로 향하기 때문에, 용기의 상부의 열량은, 용기의 하부의 열량보다 커지는 경향이 있다. 따라서, 용기의 상부측을 냉각하는 하나의 서브 밸브의 제어 게인을 보다 크게 함으로써, 용기의 상부측을 향해, 보다 신속하게 보다 많은 매체를 공급할 수 있다. 이것에 의해, 열이 가득 차기 쉬운 용기의 상부측을 보다 확실히 냉각할 수 있다. 한편, 용기의 하부측을 냉각하는 다른 서브 밸브의 제어 게인을 보다 작게 함으로써, 용기의 하부측을 향해, 급격하게 과도한 매체가 공급되는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 열이 비교적 달아나기 쉬운 용기의 하부측이, 용기의 다른 부분보다 먼저 냉각되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 용기의 각부는, 보다 균등하게 냉각된다.According to this configuration, since the heat of the container is directed upward, the amount of heat at the top of the container tends to become larger than the amount of heat at the bottom of the container. Thus, by increasing the control gain of one sub-valve that cools the upper side of the container, more media can be supplied more quickly toward the upper side of the container. This makes it possible to more reliably cool the upper side of the container in which heat is liable to be filled. On the other hand, by making the control gain of the other sub-valve that cools the lower side of the container smaller, it is possible to suppress abruptly excessive supply of the medium toward the lower side of the container. This makes it possible to inhibit the lower side of the container from being cooled earlier than the other part of the container, in which heat is prone to relatively flush. As a result, each part of the container is cooled more uniformly.

(8) 상기 용기는, 상기 용기의 외부로 개방된 개구부, 및, 상기 용기의 외부에 대해 닫힌 형상의 안쪽부를 포함하고, 상기 매체는, 상기 용기를 냉각하기 위한 냉각 매체이며, 하나의 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는 상기 개구부 및 상기 안쪽부 중 상기 안쪽부 근처에 설정되어 있음과 더불어, 다른 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는 상기 개구부 및 상기 안쪽부 중 상기 개구부 근처에 설정되어 있고, 상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인을 다른 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인보다 크게 설정하는 경우가 있다.(8) The apparatus according to any one of the above items (1) to (3), wherein the container includes an opening that is opened to the outside of the container and an inner portion that is closed to the outside of the container, The position where the cooling medium is supplied from the valve to the container is set near the inside of the opening and the inside portion and the position where the cooling medium is supplied from the other sub- And the control unit sets the control gain for one sub-valve to be larger than the control gain for the other sub-valves.

이 구성에 의하면, 용기의 열은, 안쪽부에 가득 차기 쉽기 때문에, 용기의 안쪽부의 열량은, 용기의 개구부의 열량보다 커지는 경향이 있다. 따라서, 용기의 안쪽부측을 냉각하는 하나의 서브 밸브의 제어 게인을 보다 크게 함으로써, 용기의 안쪽부측을 향해, 보다 신속하게 보다 많은 매체를 공급할 수 있다. 이것에 의해, 열이 가득 차기 쉬운 용기의 안쪽부측을 보다 확실히 냉각할 수 있다. 한편, 용기의 개구부측을 냉각하는 다른 서브 밸브의 제어 게인을 보다 작게 함으로써, 용기의 개구부측을 향해, 급격하게 과도한 매체가 공급되는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 열이 비교적 달아나기 쉬운 용기의 개구부측이, 용기의 다른 부분보다 먼저 냉각되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 용기의 각부는, 보다 균등하게 냉각된다.According to this configuration, since the heat of the container tends to fill the inner portion, the heat amount inside the container tends to become larger than the heat amount of the opening portion of the container. Therefore, by increasing the control gain of one sub-valve that cools the inner side of the container, more media can be supplied more quickly toward the inner side of the container. This makes it possible to cool the inner side of the container which is liable to be filled with heat more reliably. On the other hand, by making the control gain of the other sub-valve that cools the opening side of the container smaller, it is possible to suppress the supply of the excessively large amount of the medium toward the opening side of the container. This makes it possible to inhibit the opening side of the container from being cooled earlier than other portions of the container in which heat is liable to be flushed relatively easily. As a result, each part of the container is cooled more uniformly.

(9) 상기 서브 밸브는 복수 설치되어 있고, 각 상기 서브 밸브로부터의 상기 매체의 출구 위치 사이에 상기 기준 밸브로부터의 상기 매체의 출구 위치가 설정되어 있는 경우가 있다.(9) A plurality of the sub-valves may be provided, and the outlet position of the medium from the reference valve may be set between the outlet positions of the medium from the respective sub-valves.

이 구성에 의하면, 복수의 밸브에 의해, 용기의 보다 넓은 영역을 매체에 의해 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있다. 또, 용기 중 기준 밸브로부터의 매체가 공급되는 개소 이외의 영역에 대해, 기준 밸브로부터의 매체가 공급되는 개소 근처에 배치되는 비율을, 보다 크게 할 수 있다. 그 결과, 용기의 보다 넓은 영역에 대해, 기준 밸브로부터의 매체가 공급되는 개소와의 온도차를 작게 할 수 있다.According to this configuration, the wider area of the container can be temperature-changed more evenly by the medium by the plurality of valves. It is also possible to make the ratio of the region other than the portion where the medium from the reference valve is supplied to be disposed near the portion where the medium is fed from the reference valve. As a result, it is possible to reduce the temperature difference between a portion of the container and a portion to which the medium is supplied from the reference valve.

본 발명에 의하면, 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있음과 더불어, 피처리물을 보다 균등하게 온도 변화시키기 위한 조정 작업을 자동적으로 행할 수 있는 열처리 장치를 실현할 수 있다.According to the present invention, even when a change occurs in the temperature control condition, the object to be processed can be more uniformly changed in temperature, and a heat treatment capable of automatically performing an adjustment operation for more uniformly changing the temperature of the object to be processed Device can be realized.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 따르는 열처리 장치의 일부를 단면으로 도시하는 모식도이며, 열처리 장치를 측방으로부터 본 상태를 도시하고 있다.
도 2는 도 1의 열처리 장치의 주요부를 확대하여 도시하는 도이다.
도 3은 열처리 장치의 냉매 공급부에 설치된 댐퍼의 단면도이며, 댐퍼를 측방으로부터 본 상태를 도시하고 있다.
도 4는 열처리 장치에 있어서의 냉각 동작의 일례를 설명하기 위한 플로차트이다.FIG. 1 is a schematic view showing a part of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention in cross section, and shows a state in which the heat treatment apparatus is viewed from the side.
2 is an enlarged view of a main part of the heat treatment apparatus of FIG.
3 is a cross-sectional view of a damper installed in a refrigerant supply portion of the heat treatment apparatus, showing a damper viewed from the side.
4 is a flowchart for explaining an example of a cooling operation in the heat treatment apparatus.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은, 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 널리 적용할 수 있다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Further, the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat-treating an object to be treated.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 따르는 열처리 장치(1)의 일부를 단면으로 도시하는 모식도이며, 열처리 장치(1)를 측방으로부터 본 상태를 도시하고 있다. 도 2는, 도 1의 열처리 장치(1)의 주요부를 확대하여 도시하는 도이다. 도 3은, 열처리 장치(1)의 매체 공급부(7)에 설치된 댐퍼(30)의 단면도이며, 댐퍼(30)를 측방으로부터 본 상태를 도시하고 있다.Fig. 1 is a schematic view showing a part of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention in a section, and shows the heat treatment apparatus 1 viewed from the side. Fig. Fig. 2 is an enlarged view of a main part of the heat treatment apparatus 1 of Fig. 3 is a sectional view of the damper 30 provided in the medium supply unit 7 of the heat treatment apparatus 1 and shows the damper 30 viewed from the side.

도 1을 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을 향해 가열된 가스를 공급함으로써, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또, 열처리 장치(1)는, 매체로서의 공기를 냉각 공기로서 이용하여 피처리물(100)을 강제적으로 냉각하는 것이 가능하게 구성되어 있다.Referring to Fig. 1, the heat treatment apparatus 1 is configured to be capable of performing a heat treatment on the article to be treated 100. Fig. More specifically, the heat treatment apparatus 1 is configured to be capable of performing heat treatment on the surface of the article to be treated 100 by supplying heated gas toward the article to be treated 100. The heat treatment apparatus 1 is configured to be able to forcibly cool the object to be processed 100 by using air as the medium as cooling air.

피처리물(100)은, 예를 들어, 유리 기판 또는 반도체 기판 등이다.The material to be processed 100 is, for example, a glass substrate or a semiconductor substrate.

열처리 장치(1)는, 베이스판(2)과, 히터(3)와, 용기로서의 챔버(4)와, 보트(5)와, 승강 기구(6)와, 매체 공급부(7)를 갖고 있다.The heat treatment apparatus 1 has a base plate 2, a heater 3, a chamber 4 as a container, a boat 5, a lifting mechanism 6, and a medium supply unit 7.

베이스판(2)은, 히터(3) 및 챔버(4)를 지지하는 부재로서 설치되어 있다. 베이스판(2)의 중앙에는, 관통 구멍(2a)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(2a)을 상방으로부터 막도록 하여, 히터(3)가 배치되어 있다.The base plate 2 is provided as a member for supporting the heater 3 and the chamber 4. In the center of the base plate 2, a through hole 2a is formed. The heater 3 is disposed so as to cover the through hole 2a from above.

히터(3)는, 예를 들어 전열 히터이며, 예를 들어, 600℃ 정도까지 기체를 가열하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 히터(3)는, 전체적으로 상자형상으로 형성되어 있다. 히터(3)는, 상하 방향(연직 방향)으로 연장되는 원통형상의 측벽(3a)과, 측벽(3a)의 상단을 막는 천벽(3b)을 갖고 있다. 측벽(3a)의 하단부에는, 하향으로 개방된 개구부가 형성되어 있다. 히터(3)의 측벽(3a)의 하단부는, 베이스판(2)에 의해 받아들여져 있다. 히터(3)로 둘러싸인 공간에, 챔버(4)가 배치되어 있다.The heater 3 is, for example, an electrothermal heater, and is configured to be able to heat the substrate to about 600 ° C, for example. The heater 3 is formed in a box shape as a whole. The heater 3 has a cylindrical side wall 3a extending in the vertical direction and a top wall 3b closing the top of the side wall 3a. In the lower end portion of the side wall 3a, an opening portion opened downward is formed. The lower end of the side wall 3a of the heater 3 is received by the base plate 2. A chamber (4) is disposed in a space surrounded by the heater (3).

챔버(4)는, 피처리물(100)의 열처리시에 피처리물(100)을 수용하는 용기로서 구성되어 있다. 챔버(4)는, 전체적으로 원통형상으로 형성되어 있다. 챔버(4)의 상단부는, 막혀 있다. 또, 챔버(4)는, 하향으로 개방되어 있다. 챔버(4)의 하단부는, 베이스판(2)에 받아들여져 있다. 챔버(4) 내의 공간은, 베이스판(2)의 관통 구멍(2a)을 통해, 베이스판(2)의 하방의 공간으로 개방되어 있다. 이와 같이, 챔버(4)는, 챔버(4)의 외부로 개방된 개구부(4d)와, 챔버(4)의 외부에 대해 닫힌 형상의 안쪽부(4e)를 포함하고 있다.The chamber 4 is configured as a container for containing the article to be treated 100 when the article to be treated 100 is heat-treated. The chamber 4 is formed in a cylindrical shape as a whole. The upper end of the chamber 4 is closed. The chamber 4 is opened downward. The lower end of the chamber 4 is received in the base plate 2. The space in the chamber 4 is opened to the space below the base plate 2 through the through hole 2a of the base plate 2. [ As described above, the chamber 4 includes an opening 4d opened to the outside of the chamber 4 and an inner portion 4e of a closed shape with respect to the outside of the chamber 4.

열처리 장치(1)에 있어서의 열처리 동작시, 챔버(4) 내의 공간에는, 피처리물(100)이 배치된다. 피처리물(100)은, 예를 들어, 수평으로 배치된 상태로, 보트(5)에 지지된다.During the heat treatment operation in the heat treatment apparatus 1, the object to be treated 100 is disposed in a space in the chamber 4. [ The object to be processed 100 is supported on the boat 5, for example, horizontally arranged.

보트(5)는, 피처리물(100)을 챔버(4) 내에 배치하기 위해 설치되어 있다. 보트(5)는, 예를 들어, 상하로 늘어선 복수의 슬롯을 갖고 있으며, 이들 슬롯에, 복수의 피처리물(100)이 유지되어 있다. 보트(5)는, 승강 기구(6)에 의해 지지되고 있고, 승강 기구(6)의 동작에 의해, 피처리물(100)과 더불어 상하 방향으로 변위 가능하다. 이 승강 기구(6)의 동작에 의해, 피처리물(100) 및 보트(5)는, 챔버(4)에 대해 출납된다.The boat 5 is provided so as to place the article to be treated 100 in the chamber 4. The boat 5 has, for example, a plurality of slots arranged vertically, and a plurality of the objects to be processed 100 are held in these slots. The boat 5 is supported by an elevating mechanism 6 and is vertically displaceable together with the object to be processed 100 by the operation of the elevating mechanism 6. [ The object to be processed 100 and the boat 5 are put in and out of the chamber 4 by the operation of the lifting mechanism 6. [

보트(5) 및 피처리물(100)이 챔버(4) 내에 배치된 상태에 있어서, 챔버(4)의 하단부 및 베이스판(2)의 관통 구멍(2a)은, 보트(5)에 연결된 플랜지(8)에 의해 닫힌다. 이것에 의해, 피처리물(100) 및 보트(5)는, 챔버(4) 내에 밀폐된다. 이 상태로, 히터(3)의 가열에 의한 피처리물(100)의 가열이 행해진다. 그리고, 히터(3)에 의한 피처리물(100)의 가열이 완료한 후, 피처리물(100), 보트(5) 및 챔버(4)는, 매체 공급부(7)로부터 공급되는 냉각 공기에 의해 강제적으로 냉각된다.The lower end of the chamber 4 and the through hole 2a of the base plate 2 are connected to the flange 5 connected to the boat 5 in a state in which the boat 5 and the object to be processed 100 are disposed in the chamber 4. [ (8). Thus, the object to be processed 100 and the boat 5 are sealed in the chamber 4. In this state, the object to be processed 100 is heated by the heating of the heater 3. After the object 3 is heated by the heater 3, the object to be processed 100, the boat 5 and the chamber 4 are supplied to the cooling air supplied from the medium supply unit 7 Lt; / RTI >

매체 공급부(7)는, 히터(3)와 챔버(4) 사이에 형성된 공간(10)에, 온도 조정용의 냉각 매체로서의 냉각 공기를 강제적으로 공급함으로써, 챔버(4), 및, 피처리물(100)을 냉각하도록 구성되어 있다. 공간(10)은, 베이스판(2), 상기 베이스판(2) 상에 배치된 챔버(4) 및 히터(3) 사이에 형성된 공간이다. 이 공간(10)은, 챔버(4)의 외주부를 전체 둘레에 걸쳐 둘러싸고 있다. 또, 이 공간(10)은, 챔버(4)의 상단부를 상방으로부터 덮은 공간이다. 또한, 도 1에서는, 냉각 공기의 흐름을 화살표(A1)로 모식적으로 나타내고 있다. 본 실시 형태에서는, 매체 공급부(7)는, 전자 제어에 의해, 공간(10)에 대한 냉각 공기의 공급 양태를 제어하도록 구성되어 있다.The medium supply unit 7 forcibly supplies cooling air as a temperature adjustment cooling medium to the space 10 formed between the heater 3 and the chamber 4 so that the chamber 4 and the object to be processed 100). The space 10 is a space formed between the base plate 2, the chamber 4 disposed on the base plate 2, and the heater 3. The space (10) surrounds the outer peripheral portion of the chamber (4) over its entire circumference. The space 10 is a space covering the upper end of the chamber 4 from above. In Fig. 1, the flow of cooling air is schematically shown by an arrow A1. In the present embodiment, the medium supply unit 7 is configured to control the supply mode of the cooling air to the space 10 by electronic control.

매체 공급부(7)는, 송풍기 유닛(11)과, 공급관(12)과, 매니폴드(13)와, 댐퍼 유닛(14)과, 배기관(15)과, 배기 쿨러(16)와, 센서 유닛(17)과, 제어부(18)를 갖고 있다.The medium supply unit 7 includes a blower unit 11, a supply pipe 12, a manifold 13, a damper unit 14, an exhaust pipe 15, an exhaust cooler 16, a sensor unit 17, and a control unit 18, as shown in Fig.

송풍기 유닛(11)은, 히터(3)의 외부에 존재하는 공기를 안에 넣고 상기 공기를 냉각 공기로서 공급관(12)에 공급하기 위해 설치되어 있다.The blower unit 11 is provided to feed air existing outside the heater 3 into the supply pipe 12 as cooling air.

송풍기 유닛(11)은, 송풍기(21)와, 이 송풍기(21)를 구동시키기 위한 송풍기 모터(22)를 갖고 있다.The blower unit 11 has an air blower 21 and a blower motor 22 for driving the air blower 21.

송풍기(21)는, 예를 들어, 원심 송풍기이며, 히터(3)의 외부에 존재하는 공기를 빨아 들임과 더불어 상기 공기를 가압하고, 냉각 공기로서 가압 상태로 출력하도록 구성되어 있다. 이 송풍기(21)는, 날개 바퀴(도시 생략)를 갖고 있다. 이 날개 바퀴는, 송풍기 모터(22)의 출력축에 연결되어 있고, 이 송풍기 모터(22)의 구동에 의해 동작한다. 송풍기 모터(22)는, 본 실시 형태에서는, 전동 모터이다. 이 송풍기 모터(22)는, 부여되는 전력의 주파수에 따른 출력을 발생시킨다.The blower 21 is, for example, a centrifugal blower, configured to suck air existing outside the heater 3, to pressurize the air, and to output the compressed air as cooling air. The blower 21 has a vane wheel (not shown). This impeller wheel is connected to the output shaft of the blower motor 22 and operates by driving the blower motor 22. [ The blower motor 22 is an electric motor in the present embodiment. The blower motor 22 generates an output according to the frequency of the applied electric power.

또한, 송풍기(21)에 빨려 들어가는 공기는, 상온이어도 되고, 미리 쿨러(도시 생략)에 의해 냉각되어 있어도 된다. 송풍기(21)의 토출구에, 공급관(12)의 일단이 접속되어 있다.The air sucked into the blower 21 may be at normal temperature or may be cooled in advance by a cooler (not shown). One end of the supply pipe 12 is connected to the discharge port of the blower 21.

공급관(12)은, 대략 곧게 연장되는 배관이다. 공급관(12)은, 강체형상의 금속관이어도 되고, 탄성 변형 가능한 플렉시블관이어도 된다. 공급관(12)의 타단은, 매니폴드(13)에 접속되어 있다.The supply pipe 12 is a pipe extending approximately straight. The supply tube 12 may be a rigid metal tube or a flexible tube capable of being elastically deformed. The other end of the supply pipe 12 is connected to the manifold 13.

매니폴드(13)는, 댐퍼 유닛(14)의 후술하는 복수의 댐퍼(30)의 각각에 냉각 공기를 분배하기 위해 설치되어 있다. 매니폴드(13)는, 예를 들어, 소정의 직경을 갖는 원통형상의 금속관을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 매니폴드(13)의 양단부가 막혀 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 매니폴드(13)는, 공급관(12)이 연장되는 방향과는 대략 직교하는 방향으로 연장되어 있다.The manifold 13 is provided to distribute cooling air to each of a plurality of dampers 30 described later of the damper unit 14. [ The manifold 13 is formed using, for example, a cylindrical metal tube having a predetermined diameter. In this embodiment, both ends of the manifold 13 are clogged. In this embodiment, the manifold 13 extends in a direction substantially orthogonal to the direction in which the supply pipe 12 extends.

보다 구체적으로는, 본 실시 형태에서는, 매니폴드(13)는, 상하 방향으로 연장되어 있고, 챔버(4)의 길이 방향과 평행한 방향을 따라 배치되어 있다. 매니폴드(13)는, 히터(3)의 측방(바꾸어 말하면, 챔버(4)의 측방)에 배치되어 있다.More specifically, in the present embodiment, the manifold 13 extends in the vertical direction and is disposed along a direction parallel to the longitudinal direction of the chamber 4. The manifold 13 is disposed on the side of the heater 3 (in other words, on the side of the chamber 4).

본 실시 형태에서는, 매니폴드(13)의 상단부의 외주부에, 공급관(12)이 접속되어 있다. 상기의 구성에 의해, 공급관(12)을 통과한 냉각 공기는, 매니폴드(13)에 들어간 후, 매니폴드(13) 내를 하방을 향해 진행한다. 그리고, 이 냉각 공기는, 댐퍼 유닛(14)의 댐퍼(30)에 보내진다.In the present embodiment, the supply pipe 12 is connected to the outer peripheral portion of the upper end portion of the manifold 13. With the above arrangement, the cooling air having passed through the supply pipe 12 enters the manifold 13, and then flows downward in the manifold 13. This cooling air is sent to the damper 30 of the damper unit 14. [

댐퍼 유닛(14)은, 매니폴드(13)에 보내진 냉각 공기를, 챔버(4)의 상부(4a), 중간부(4b), 및, 하부(4c)의 각각을 향해 공급하기 위해 설치되어 있다. 댐퍼 유닛(14)은, 본 실시 형태에서는, 매니폴드(13)와 히터(3) 사이에 배치되어 있다.The damper unit 14 is provided to supply the cooling air sent to the manifold 13 toward each of the upper portion 4a, the middle portion 4b and the lower portion 4c of the chamber 4 . The damper unit 14 is disposed between the manifold 13 and the heater 3 in the present embodiment.

댐퍼 유닛(14)은, 복수의 댐퍼(30)를 갖고 있다. 본 실시 형태에서는, 복수의 댐퍼(30)로서, 기준 댐퍼(32)와, 복수의 서브 댐퍼로서의 제1 서브 댐퍼(31) 및 제2 서브 댐퍼(33)를 갖고 있다. 또한, 댐퍼(31, 32, 33)를 총칭하여 말하는 경우, 댐퍼(30)라고 한다.The damper unit (14) has a plurality of dampers (30). In this embodiment, as the plurality of dampers 30, the reference damper 32 and the first sub damper 31 and the second sub damper 33 as a plurality of sub dampers are provided. When the dampers 31, 32, and 33 are collectively referred to as a damper 30,

기준 댐퍼(32)는, 냉각 공기를 챔버(4)를 향해 공급하기 위한 기준 밸브로서 설치되어 있다. 또, 서브 댐퍼(31, 33)는, 냉각 공기를 챔버(4)를 향해 공급하기 위한 서브 밸브로서 설치되어 있다. 제1 서브 댐퍼(31)는, 본 발명의 「하나의 서브 밸브」의 일례이다. 제2 서브 댐퍼(33)는, 본 발명의 「다른 서브 밸브」의 일례이다. 각 댐퍼(30)는, 개도를 조정 가능하게 구성되어 있다. 즉, 각 댐퍼(30)를 통과하는 냉각 공기의 유량을 조정 가능하게 구성되어 있다.The reference damper 32 is provided as a reference valve for supplying the cooling air toward the chamber 4. [ The sub dampers (31, 33) are provided as sub-valves for supplying the cooling air toward the chamber (4). The first sub damper 31 is an example of the "one sub-valve" of the present invention. The second sub damper 33 is an example of the "other sub valve" of the present invention. Each of the dampers 30 is configured to be adjustable in opening degree. That is, the flow rate of the cooling air passing through each damper 30 can be adjusted.

제1 서브 댐퍼(31)는, 챔버(4)의 상부(4a)를 향해 냉각 공기를 공급하도록 구성되어 있다. 기준 댐퍼(32)는, 챔버(4)의 중간부(4b)를 향해 냉각 공기를 공급하도록 구성되어 있다. 제2 서브 댐퍼(33)는, 챔버(4)의 하부(4c)를 향해 냉각 공기를 공급하도록 구성되어 있다.The first sub damper 31 is configured to supply cooling air toward the upper portion 4a of the chamber 4. [ The reference damper 32 is configured to supply cooling air toward the middle portion 4b of the chamber 4. [ The second sub damper 33 is configured to supply cooling air toward the lower portion 4c of the chamber 4. [

제1 서브 댐퍼(31), 기준 댐퍼(32), 및, 제2 서브 댐퍼(33)는, 이 순서대로, 챔버(4)의 길이 방향인 상하 방향을 따라 배열되어 있다. 즉, 제1 서브 댐퍼(31)의 하방에 기준 댐퍼(32)가 배치되어 있다. 또, 기준 댐퍼(32)의 하방에 제2 서브 댐퍼(33)가 배치되어 있다.The first sub damper 31, the reference damper 32 and the second sub damper 33 are arranged in this order along the vertical direction of the chamber 4. That is, the reference damper 32 is disposed below the first sub damper 31. Further, a second sub damper 33 is disposed below the reference damper 32.

도 1~도 3을 참조하여, 댐퍼(30)(즉, 기준 댐퍼(32), 서브 댐퍼(31, 33)의 각각)는, 입구관(41)과, 밸브 상자(42)와, 지지축(43)과, 밸브체(44)와, 댐퍼 모터(45)와, 출구관(46, 47)을 갖고 있다.1 to 3, the damper 30 (that is, the reference damper 32 and each of the sub dampers 31 and 33) includes an inlet pipe 41, a valve box 42, A valve body 44, a damper motor 45, and outlet pipes 46,

또한, 본 실시 형태에서는, 기준 댐퍼(32)가 댐퍼 모터(45)를 포함하는 전동식의 댐퍼인 형태를 예로 설명하는데, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 기준 댐퍼(32)는, 댐퍼 모터(45)가 설치되어 있지 않은, 인력에 의한 수동 개도 조정식이고 또한 밸브체(44)의 개도를 고정 가능한 댐퍼여도 된다.In the present embodiment, the reference damper 32 is an electric damper including the damper motor 45, but the present invention is not limited to this. For example, the reference damper 32 may be a damper that is not provided with the damper motor 45, is a manual opening adjustment type by attraction, and can fix the opening degree of the valve body 44. [

입구관(41)은, 매니폴드(13)와 밸브 상자(42)에 접속되어 있고, 매니폴드(13)로부터의 냉각 공기를 밸브 상자(42) 내에 도입하도록 구성되어 있다. 입구관(41)의 내경은, 매니폴드(13)의 내경보다 작게 설정되어 있다. 입구관(41)의 일단은, 매니폴드(13)의 외주부에 접속되어 있다.The inlet pipe 41 is connected to the manifold 13 and the valve box 42 and is configured to introduce cooling air from the manifold 13 into the valve box 42. The inner diameter of the inlet pipe (41) is set smaller than the inner diameter of the manifold (13). One end of the inlet pipe (41) is connected to the outer peripheral portion of the manifold (13).

제1 서브 댐퍼(31)의 입구관(41)은, 매니폴드(13)의 상부에 접속되어 있다. 기준 댐퍼(32)의 입구관(41)은, 매니폴드(13)의 중간부에 접속되어 있다. 제2 서브 댐퍼(33)의 입구관(41)은, 매니폴드(13)의 하부에 접속되어 있다. 입구관(41)은, 매니폴드(13)로부터 대응하는 밸브 상자(42)를 향해 수평으로 연장되어 있다.The inlet pipe 41 of the first sub damper 31 is connected to the upper portion of the manifold 13. The inlet pipe 41 of the reference damper 32 is connected to the middle portion of the manifold 13. The inlet pipe 41 of the second sub damper 33 is connected to the lower portion of the manifold 13. The inlet pipe 41 extends horizontally from the manifold 13 toward the corresponding valve box 42.

밸브 상자(42)는, 예를 들어, 중공의 사각기둥형상으로 형성되어 있다. 밸브 상자(42)의 일측벽에, 입구관(41)의 타단이 접속되어 있다. 입구관(41)을 통과한 냉각 공기는, 밸브 상자(42) 내로 이끌린다. 밸브 상자(42)는, 지지축(43) 및 밸브체(44)를 수용하고 있다.The valve box 42 is formed, for example, in the shape of a hollow square column. The other end of the inlet pipe 41 is connected to one side wall of the valve box 42. The cooling air having passed through the inlet pipe (41) is drawn into the valve box (42). The valve box 42 accommodates the support shaft 43 and the valve body 44.

지지축(43)은, 밸브 상자(42)에 지지되어 있음과 더불어, 밸브체(44)를 상기 지지축(43) 둘레로 요동 가능하게 지지하고 있다. 본 실시 형태에서는, 지지축(43)은, 밸브체(44)와 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 지지축(43)은, 예를 들어, 수평 방향으로 연장되어 있고, 입구관(41)에 인접하여 배치되어 있다. 지지축(43)의 일부는, 밸브 상자(42)를 관통하고 있으며, 댐퍼 모터(45)의 출력축(49)에 연결되어 있다.The support shaft 43 is supported by the valve box 42 and swingably supports the valve body 44 around the support shaft 43. In the present embodiment, the support shaft 43 is connected to the valve body 44 so as to rotate integrally. The support shaft 43 extends, for example, in the horizontal direction, and is disposed adjacent to the inlet pipe 41. A part of the support shaft 43 passes through the valve box 42 and is connected to the output shaft 49 of the damper motor 45.

댐퍼 모터(45)는, 밸브체(44)를 지지축(43) 둘레로 요동시킴으로써, 댐퍼(30)에 있어서의 밸브 개도를 설정하기 위해 설치되어 있다.The damper motor 45 is provided to set the valve opening degree in the damper 30 by swinging the valve body 44 around the support shaft 43. [

댐퍼 모터(45)는, 모터 하우징(48)과, 이 모터 하우징(48)에 지지된 출력축(49)을 갖고 있다.The damper motor 45 has a motor housing 48 and an output shaft 49 supported by the motor housing 48.

댐퍼 모터(45)는, 서보 모터 등의, 회전 위치 제어를 가능하게 구성된 전동 모터이다. 댐퍼 모터(45)는, 제어부(18)로부터의 제어 신호를 받아, 상기 댐퍼 모터(45)의 출력축(49)의 회전 위치를 변경 가능하게 구성되어 있다.The damper motor 45 is an electric motor such as a servomotor that is configured to be capable of controlling the rotational position. The damper motor 45 is configured to be able to change the rotational position of the output shaft 49 of the damper motor 45 in response to a control signal from the control unit 18. [

모터 하우징(48)은, 예를 들어, 밸브 상자(42)에 고정되어 있다. 댐퍼 모터(45)의 출력축(49)은, 지지축(43)과 연동 회전 가능하게 연결되어 있다. 이 출력축(49)은, 지지축(43)과 일체 회전 가능하게 연결되어 있어도 되고, 도시 생략한 감속 기구를 개재하여 지지축(43)과 연동 회전 가능하게 연결되어 있어도 된다. 상기의 구성에 의해, 댐퍼 모터(45)의 구동에 의해 출력축(49)의 회전 위치가 설정되고, 이것에 수반하여, 지지축(43) 둘레에 있어서의 밸브체(44)의 회전 위치(즉, 댐퍼(30)의 개도)가 설정된다.The motor housing 48 is fixed to the valve box 42, for example. The output shaft 49 of the damper motor 45 is connected to the support shaft 43 so as to be rotatable. The output shaft 49 may be integrally rotatable with the support shaft 43 or may be connected to the support shaft 43 via a reduction mechanism (not shown) so as to be rotatable. The rotation position of the output shaft 49 is set by the drive of the damper motor 45 and the rotational position of the valve body 44 around the support shaft 43 The opening degree of the damper 30) is set.

밸브체(44)는, 입구관(41)의 타단을 개폐하도록 구성되어 있다. 밸브체(44)는, 예를 들어, 직사각형의 평판형상 부재를 이용하여 형성되어 있다. 밸브체(44)의 일가장자리부가, 지지축(43)에 연결되어 있다. 밸브체(44)는, 예를 들어, 수직으로 기립한 자세에 있어서, 입구관(41)을 막도록 배치되어 있다.The valve body (44) is configured to open and close the other end of the inlet pipe (41). The valve body 44 is formed using, for example, a rectangular flat plate member. One edge of the valve element 44 is connected to the support shaft 43. The valve body 44 is disposed, for example, so as to block the inlet pipe 41 in a vertically standing posture.

밸브체(44)는, 수직으로 기립한 자세로부터 지지축(43) 둘레로 예를 들어 수십도 회전함으로써, 전개(全開) 위치(P2)에 배치된다. 즉, 밸브체(44)가 수직 위치인 전폐(全閉) 위치(P1)에 있을 때에는, 댐퍼(30)의 개도가 제로이다. 또, 밸브체(44)가 수직 위치로부터 수십도 회전한 소정의 전개 위치(P2)에 있을 때에는, 댐퍼(30)의 개도가 100%가 된다.The valve body 44 is disposed at the fully open position P2 by rotating, for example, several tens degrees around the support shaft 43 from the vertically standing posture. That is, when the valve body 44 is in the fully closed position P1 at the vertical position, the opening degree of the damper 30 is zero. When the valve body 44 is in the predetermined extended position P2 rotated several tens of degrees from the vertical position, the opening degree of the damper 30 is 100%.

또한, 밸브체(44)의 회전 위치와 댐퍼(30)의 개도의 관계는, 댐퍼(30)의 구조에 따라 정해진다. 따라서, 밸브체(44)의 회전 위치와 댐퍼(30)의 개도의 관계는, 선형적인 경우와, 비선형인 경우가 존재한다. 본 실시 형태에서는, 밸브체(44)의 회전 위치와 댐퍼(30)의 회전 위치의 관계는, 제어부(18)에 미리 기억되어 있다.The relationship between the rotational position of the valve element 44 and the opening degree of the damper 30 is determined in accordance with the structure of the damper 30. Therefore, the relationship between the rotational position of the valve element 44 and the opening of the damper 30 may be linear or non-linear. In the present embodiment, the relationship between the rotational position of the valve element 44 and the rotational position of the damper 30 is stored in advance in the control section 18. [

밸브체(44)가 입구관(41)의 타단을 열고 있을 때, 입구관(41)으로부터의 냉각 공기는, 밸브체(44) 내에 도입되고, 또한, 출구관(46, 47)으로 이끌린다.The cooling air from the inlet pipe 41 is introduced into the valve body 44 and is also led to the outlet pipes 46 and 47 when the valve body 44 is opening the other end of the inlet pipe 41 .

본 실시 형태에서는, 각 댐퍼(31, 32, 33)에 2개의 출구관(즉, 출구관(46, 47))이 설치되어 있다. 각 출구관(46, 47)은, 대응하는 밸브 상자(42) 내의 공간과, 히터(3) 내에 형성된 공간(10)을 접속하기 위해 설치되어 있다. 각 출구관(46, 47)의 일단은, 대응하는 밸브 상자(42)의 일측벽에 접속되어 있다.In the present embodiment, two outlet pipes (that is, outlet pipes 46 and 47) are provided in the dampers 31, 32, and 33, respectively. Each of the outlet pipes 46 and 47 is provided for connecting the space in the corresponding valve box 42 and the space 10 formed in the heater 3. One end of each of the outlet pipes 46, 47 is connected to one side wall of the corresponding valve box 42.

또, 각 출구관(46, 47)의 타단은, 히터(3)의 측벽(3a)을 관통하고 있고, 공간(10)에 면하고 있다. 각 댐퍼(31, 32, 33)에 있어서, 출구관(46)의 타단과, 출구관(47)의 타단은, 히터(3)의 측벽(3a)의 둘레 방향에 있어서, 등간격으로(본 실시 형태에서는, 180도 간격으로) 배치되어 있다.The other ends of the outlet pipes 46 and 47 pass through the side wall 3a of the heater 3 and face the space 10. The other end of the outlet pipe 46 and the other end of the outlet pipe 47 of the dampers 31, 32 and 33 are arranged at regular intervals in the circumferential direction of the side wall 3a of the heater 3 (In the embodiment, at intervals of 180 degrees).

제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46, 47)의 타단은, 챔버(4)의 상부(4a)와 수평으로 마주보도록 배치되어 있다. 기준 댐퍼(32)의 출구관(46, 47)의 타단은, 챔버(4)의 중간부(4b)와 수평으로 마주보도록 배치되어 있다. 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46, 47)의 타단은, 챔버(4)의 하부(4c)와 수평으로 마주보도록 배치되어 있다.The other ends of the outlet pipes 46 and 47 of the first sub damper 31 are disposed so as to face the upper portion 4a of the chamber 4 horizontally. The other ends of the outlet pipes 46 and 47 of the reference damper 32 are disposed so as to face the middle portion 4b of the chamber 4 horizontally. The other ends of the outlet pipes 46 and 47 of the second sub damper 33 are disposed so as to face the lower portion 4c of the chamber 4 horizontally.

상기의 구성에 의해, 제1 서브 댐퍼(31)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치(즉, 제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46, 47)의 타단 위치)는, 제2 서브 댐퍼(33)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치(즉, 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46, 47)의 타단 위치)보다 높게 설정되어 있다.The position where the cooling air is supplied from the first sub damper 31 to the chamber 4 (i.e., the other end position of the outlet pipes 46, 47 of the first sub damper 31) (I.e., the other end position of the outlet pipes 46, 47 of the second sub-damper 33) where the cooling air is supplied from the sub-damper 33 to the chamber 4. [

또, 제1 서브 댐퍼(31)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치는, 개구부(4d) 및 안쪽부(4e) 중 안쪽부(4e) 근처에 설정되어 있다. 또, 제2 서브 댐퍼(33)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치는, 개구부(4d) 및 안쪽부(4e) 중 개구부(4d) 근처에 설정되어 있다.The position where the cooling air is supplied from the first sub damper 31 to the chamber 4 is set near the opening 4d and the inner portion 4e of the inner portion 4e. The position where the cooling air is supplied from the second sub damper 33 to the chamber 4 is set near the opening 4d and the opening 4d of the inner portion 4e.

또, 제1 서브 댐퍼(31)로부터의 냉각 공기의 출구인 출구관(46, 47)의 타단 위치와, 제2 서브 댐퍼(33)로부터의 냉각 공기의 출구인 출구관(46, 47)의 타단 위치 사이에, 기준 댐퍼(32)로부터의 냉각 공기의 출구인 출구관(46, 47)의 타단 위치가 설정되어 있다.The other end position of the outlet pipes 46 and 47 which are the outlets of the cooling air from the first sub damper 31 and the other end positions of the outlet pipes 46 and 47 which are the outlets of the cooling air from the second sub- And the other end positions of the outlet pipes 46 and 47, which are the outlets of cooling air from the reference damper 32, are set between the other end positions.

또, 본 실시 형태에서는, 각 댐퍼(31, 32, 33)의 출구관(46)의 타단은, 챔버(4)의 둘레 방향에 있어서의 위치가 맞추어져 있다. 마찬가지로, 각 댐퍼(31, 32, 33)의 출구관(47)의 타단은, 챔버(4)의 둘레 방향에 있어서의 위치가 맞추어져 있다.In the present embodiment, the other end of the outlet pipe 46 of each of the dampers 31, 32, and 33 is aligned in the circumferential direction of the chamber 4. Likewise, the other end of the outlet pipe 47 of each of the dampers 31, 32, 33 is aligned in the circumferential direction of the chamber 4.

상기의 구성에 의해, 제1 서브 댐퍼(31)를 통과한 냉각 공기는, 챔버(4)의 상부(4a)를 향하도록 하여 공간(10)에 공급된다. 또, 기준 댐퍼(32)를 통과한 냉각 공기는, 챔버(4)의 중간부(4b)를 향하도록 하여 공간(10)에 공급된다. 또한, 제2 서브 댐퍼(33)를 통과한 냉각 공기는, 챔버(4)의 하부(4c)를 향하도록 하여 공간(10)에 공급된다. 공간(10)에 공급된 냉각 공기는, 챔버(4)로부터의 열을 흡수하면서, 배기관(15)을 향해 흐른다.The cooling air having passed through the first sub damper 31 is supplied to the space 10 with the cooling air directed toward the upper portion 4a of the chamber 4. [ The cooling air having passed through the reference damper 32 is supplied to the space 10 with the intermediate portion 4b of the chamber 4 facing the cooling air. The cooling air having passed through the second sub damper 33 is supplied to the space 10 with the lower portion 4c of the chamber 4 facing the cooling air. The cooling air supplied to the space 10 flows toward the exhaust pipe 15 while absorbing the heat from the chamber 4.

배기관(15)은, 히터(3)의 천벽(3b)를 관통하고 있다. 배기관(15)의 일단은, 공간(10)에 면하고 있다. 배기관(15)은, 공간(10)의 상단에 도달한 냉각 공기를 배기관(15)의 타단측으로 이끈다. 배기관(15)은, 히터(3)의 외측의 공간에 있어서, 배기 쿨러(16)에 접속되어 있다. 배기 쿨러(16)는, 챔버(4)로부터의 열을 흡수한 냉각 공기를 냉각한다. 배기 쿨러(16)를 통과함으로써 냉각된 냉각 공기는, 열처리 장치(1)의 외부의 공간으로 배출된다.The exhaust pipe (15) passes through the top wall (3b) of the heater (3). One end of the exhaust pipe (15) faces the space (10). The exhaust pipe (15) leads the cooling air reaching the upper end of the space (10) to the other end side of the exhaust pipe (15). The exhaust pipe (15) is connected to the exhaust cooler (16) in a space outside the heater (3). The exhaust cooler 16 cools the cooling air that has absorbed the heat from the chamber 4. The cooling air that has been cooled by passing through the exhaust cooler 16 is discharged to the space outside the heat treatment apparatus 1.

상기의 구성에 의해, 냉각 공기는, 송풍기(21)로부터 공급관(12) 및 매니폴드(13)를 통해 대응하는 댐퍼(31, 32, 33)를 통과함으로써, 공간(10)에 도달하고, 또한, 배기관(15) 및 배기 쿨러(16)를 통해 열처리 장치(1)의 외부로 배출된다. 각 댐퍼(31, 32, 33)의 출구관(46, 47)의 타단에 인접하는 위치에서의 챔버(4)의 온도는, 센서 유닛(17)에 의해 검출된다.With the above arrangement, the cooling air passes from the blower 21 to the corresponding damper 31, 32, 33 through the supply pipe 12 and the manifold 13 to reach the space 10, The exhaust pipe 15 and the exhaust cooler 16 to the outside of the heat treatment apparatus 1. The temperature of the chamber 4 at a position adjacent to the other end of the outlet pipes 46 and 47 of the dampers 31, 32 and 33 is detected by the sensor unit 17.

보다 구체적으로는, 센서 유닛(17)은, 제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46)의 타단과 마주보는 위치에서의 챔버(4)의 온도, 기준 댐퍼(32)의 출구관(46)의 타단과 마주보는 위치에서의 챔버(4)의 온도, 및, 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46)의 타단과 마주보는 위치에서의 챔버(4) 온도의 각각을 검출한다.More specifically, the sensor unit 17 detects the temperature of the chamber 4 at a position facing the other end of the outlet pipe 46 of the first sub damper 31, the temperature of the outlet pipe 46 of the reference damper 32 The temperature of the chamber 4 at the position facing the other end of the second sub damper 33 and the temperature of the chamber 4 at the position facing the other end of the outlet pipe 46 of the second sub damper 33 are detected.

센서 유닛(17)은, 온도 센서(51~53)를 갖고 있다.The sensor unit 17 has temperature sensors 51 to 53.

온도 센서(51~53)는, 예를 들어, 열전대 등의 전기식 온도 센서이며, 검출 온도를 특정하는 전기 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 온도 센서(51~53)는, 예를 들어, 챔버(4)에 인접한 위치에 있어서, 히터(3)에 지지되어 있다.The temperature sensors 51 to 53 are, for example, electric temperature sensors such as thermocouples and are configured to output an electric signal specifying the detected temperature. The temperature sensors 51 to 53 are supported by the heater 3 at a position adjacent to the chamber 4, for example.

온도 센서(51)는, 챔버(4)의 상부(4a)의 외주면에 인접하여 배치되어 있고, 제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46)의 타단에 인접하고 있다. 온도 센서(51)는, 제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46)과 수평으로 대향하고 있는 챔버(4)의 상부(4a)의 온도를, 챔버 상부 온도(T1)로서 검출한다.The temperature sensor 51 is disposed adjacent to the outer peripheral surface of the upper portion 4a of the chamber 4 and is adjacent to the other end of the outlet pipe 46 of the first sub damper 31. [ The temperature sensor 51 detects the temperature of the upper portion 4a of the chamber 4 horizontally opposed to the outlet pipe 46 of the first sub damper 31 as the chamber upper temperature T1.

온도 센서(52)는, 챔버(4)의 중간부(4b)의 외주면에 인접하여 배치되어 있고, 기준 댐퍼(32)의 출구관(46)의 타단에 인접하고 있다. 온도 센서(52)는, 기준 댐퍼(32)의 출구관(46)과 수평으로 대향하고 있는 챔버(4)의 중간부(4b)의 온도를, 챔버 중간부 온도(T2)로서 검출한다.The temperature sensor 52 is disposed adjacent to the outer peripheral surface of the intermediate portion 4b of the chamber 4 and is adjacent to the other end of the outlet pipe 46 of the reference damper 32. [ The temperature sensor 52 detects the temperature of the intermediate portion 4b of the chamber 4 which is horizontally opposed to the outlet pipe 46 of the reference damper 32 as the chamber intermediate portion temperature T2.

온도 센서(53)는, 챔버(4)의 하부(4c)의 외주면에 인접하여 배치되어 있고, 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46)의 타단에 인접하고 있다. 온도 센서(53)는, 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46)과 수평으로 대향하고 있는 챔버(4)의 하부(4c)의 온도를, 챔버 하부 온도(T3)로서 검출한다. 각 온도 센서(51~53)의 온도 검출 결과는, 제어부(18)에 부여된다.The temperature sensor 53 is disposed adjacent to the outer peripheral surface of the lower portion 4c of the chamber 4 and is adjacent to the other end of the outlet pipe 46 of the second sub damper 33. [ The temperature sensor 53 detects the temperature of the lower portion 4c of the chamber 4 which is horizontally opposed to the outlet pipe 46 of the second sub damper 33 as the chamber lower temperature T3. The temperature detection results of the temperature sensors 51 to 53 are given to the control unit 18. [

제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 기준으로 하여, 서브 댐퍼(31, 33)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 제어하도록 구성되어 있다. 제어부(18)는, PLC(Programmable Logic Controller) 등을 이용하여 형성되어 있다. 또한, 제어부(18)는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory)을 포함하는 컴퓨터를 이용하여 형성되어 있어도 되고, 시퀀스 회로 등을 이용하여 형성되어 있어도 된다.The control unit 18 is configured to control the manner of supplying the cooling air by the sub dampers 31 and 33 based on the mode of supply of the cooling air by the reference damper 32. [ The control unit 18 is formed using a PLC (Programmable Logic Controller) or the like. The control unit 18 may be formed using a computer including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), and a RAM (Random Access Memory), or may be formed using a sequence circuit or the like .

제어부(18)는, 각 온도 센서(51~53)에 접속되어 있고, 이들 온도 센서(51~53)의 온도 검출 결과인 챔버 온도(T1~T3)를 특정하는 전기 신호를 수신한다. 또, 제어부(18)는, 송풍기 모터(22)에 접속되어 있고, 송풍기 모터(22)의 구동을 제어함으로써, 송풍기(21)로부터 공급되는 냉각 공기의 유량을 제어한다.The control unit 18 is connected to each of the temperature sensors 51 to 53 and receives an electric signal specifying the chamber temperatures T1 to T3 which are the temperature detection results of the temperature sensors 51 to 53. [ The control unit 18 is connected to the blower motor 22 and controls the flow rate of the cooling air supplied from the blower 21 by controlling the drive of the blower motor 22. [

또, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)의 댐퍼 모터(45), 기준 댐퍼(32)의 댐퍼 모터(45), 및, 제2 서브 댐퍼(33)의 댐퍼 모터(45)에 접속되어 있고, 이들 모터(45)의 동작을 개별적으로 제어한다.The control unit 18 controls the damper motor 45 of the first sub damper 31, the damper motor 45 of the reference damper 32 and the damper motor 45 of the second sub damper 33 And controls the operation of these motors 45 individually.

본 실시 형태에서는, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)의 개도가 일정한 상태를 기준으로 하여, 제1 서브 댐퍼(31) 및 제2 서브 댐퍼(33)의 각각의 개도를 제어한다. 보다 구체적으로는, 매체 공급부(7)가 챔버(4) 및 피처리물(100)을 냉각하는 동작의 개시시, 제어부(18)는, 먼저, 기준 댐퍼(32)의 개도를 설정한다.In this embodiment, the control unit 18 controls the opening of each of the first sub damper 31 and the second sub damper 33 on the basis of a state where the opening degree of the reference damper 32 is constant. More specifically, at the start of the operation of cooling the chamber 4 and the object to be treated 100 by the medium supply unit 7, the control unit 18 first sets the opening of the reference damper 32.

이때의 기준 댐퍼(32)의 개도는, 예를 들어, 50%로 설정된다. 이와 같이, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)의 개도를 50%, 예를 들어, 밸브체(44)를 전폐 위치(P1)와 전개 위치(P2)의 절반의 위치에 배치하도록, 기준 댐퍼(32)의 댐퍼 모터(45)를 구동시킨다. 이와 같이, 기준 댐퍼(32)의 개도를 0%와 100%의 중간인 50%로 함으로써, 기준 댐퍼(32)로부터의 냉각 공기의 유량에 대한 각 서브 댐퍼(31, 33)로부터의 냉각 공기의 유량의 조정폭을 보다 크게 할 수 있다.The opening of the reference damper 32 at this time is set to, for example, 50%. In this way, the control unit 18 sets the reference damper 32 to the reference position so that the opening degree of the reference damper 32 is 50%, for example, the valve body 44 is placed at half the full closing position P1 and the extended position P2, The damper motor 45 of the damper 32 is driven. Thus, by setting the opening degree of the reference damper 32 to be 50% which is an intermediate value between 0% and 100%, the amount of cooling air from each sub damper 31, 33 to the flow rate of cooling air from the reference damper 32 The adjustment range of the flow rate can be further increased.

또한, 기준 댐퍼(32)의 개도는, 피처리물(100)의 열용량(구체적으로는, 피처리물(100)의 장수, 재질, 체적), 피처리물(100)의 목표 냉각 온도, 송풍기 모터(22)의 동작 주파수 등에 따라, 제어부(18)에 의해 적당히 설정되어도 된다.The opening degree of the reference damper 32 depends on the heat capacity of the object to be processed 100 (specifically, the length, material and volume of the object to be processed 100), the target cooling temperature of the object to be processed 100, It may be appropriately set by the control unit 18 in accordance with the operation frequency of the motor 22 or the like.

또, 제어부(18)는, 챔버(4) 중 기준 댐퍼(32)로부터 냉각 공기가 공급되는 중간부(4b)에 있어서의 챔버 중간부 온도(T2)를 기준으로 하여, 각 서브 댐퍼(31, 33)의 출구관(46, 47)으로부터 챔버(4)로 공급되는 냉각 공기의 유량을 제어하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 제어부(18)는, 챔버(4) 중 기준 댐퍼(32)로부터 냉각 공기가 공급되는 개소에 있어서의 온도(챔버 중간부 온도(T2))와, 챔버(4) 중 각 서브 댐퍼(31, 33)로부터 냉각 공기가 공급되는 상부(4a) 및 하부(4c)에 있어서의 온도(챔버 상부 온도(T1), 챔버 하부 온도(T3))의 편차를 감소시키도록, 각 서브 댐퍼(31, 33)의 개도를 피드백 제어한다.The control unit 18 controls the sub-dampers 31, 32 based on the chamber intermediate temperature T2 in the intermediate portion 4b to which the cooling air is supplied from the reference damper 32 in the chamber 4, 33 to the chamber 4 from the outlet pipes 46, More specifically, the control unit 18 controls the temperature (chamber intermediate temperature T2) at the location where the cooling air is supplied from the reference damper 32 in the chamber 4 and the temperature In order to reduce the deviation of the temperatures (the chamber upper temperature T1 and the chamber lower temperature T3) in the upper and lower portions 4a and 4c from which the cooling air is supplied from the dampers 31 and 33, (31, 33).

제어부(18)는, 각 댐퍼(31, 32, 33)를, 개별적으로, 비례 제어를 이용하여 제어하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제어부(18)는, PID 제어(Proportional Integral Differential Control, 비례 적분 미분 제어)에 의해, 각 댐퍼(31, 32, 33)의 댐퍼 모터(45)를 개별적으로 제어함으로써, 각 댐퍼(31, 32, 33)의 개도를 제어한다. 또한, 제어부(18)는, PI 제어(Proportional Integral Control, 비례 적분 제어) 등, 다른 제어 방법에 의해 각 댐퍼(31, 32, 33)를 제어해도 된다.The control unit 18 is configured to control each of the dampers 31, 32, and 33 individually by using proportional control. In this embodiment, the control unit 18 controls the damper motors 45 of the respective dampers 31, 32, and 33 individually by PID control (Proportional Integral Differential Control) (31, 32, 33). The control unit 18 may also control the dampers 31, 32, and 33 by other control methods such as PI control (Proportional Integral Control).

제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)와 제2 서브 댐퍼(33)가 상이한 동작을 행하도록 각 서브 댐퍼(31, 33)를 제어한다. 구체적으로는, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)의 제어 게인(kp1)과 제2 서브 댐퍼(33)의 제어 게인(kp2)을 상이한 값으로 설정한다. 본 실시 형태에서는, 제어부(18)는, 챔버(4)의 상부(4a)에 냉각 공기를 공급하는 제1 서브 댐퍼(31)의 제어 게인(kp1)을, 챔버(4)의 하부(4c)에 냉각 공기를 공급하는 제2 서브 댐퍼(33)의 제어 게인(kp2)보다 크게 설정한다(kp1＞kp2).The control unit 18 controls the sub dampers 31 and 33 so that the first sub damper 31 and the second sub damper 33 perform different operations. Specifically, the control unit 18 sets the control gain kp1 of the first sub-damper 31 and the control gain kp2 of the second sub-damper 33 to different values. The control unit 18 controls the control gain kp1 of the first sub damper 31 that supplies the cooling air to the upper portion 4a of the chamber 4 to the lower portion 4c of the chamber 4, (Kp1 > kp2) of the second sub damper 33 that supplies the cooling air to the first sub damper 33. [

다음에, 열처리 장치(1)에 있어서의 냉각 동작의 일례를 설명한다. 또한, 열처리 장치(1)에 있어서의 냉각 동작은, 예를 들어, 히터(3)의 가열 동작이 정지된 후에 행해진다. 도 4는, 열처리 장치(1)에 있어서의 냉각 동작의 일례를 설명하기 위한 플로차트이다. 또한, 플로차트를 참조하여 설명하는 경우, 플로차트 이외의 도면도 적당히 참조하면서 설명한다.Next, an example of the cooling operation in the heat treatment apparatus 1 will be described. Further, the cooling operation in the heat treatment apparatus 1 is performed, for example, after the heating operation of the heater 3 is stopped. Fig. 4 is a flowchart for explaining an example of the cooling operation in the heat treatment apparatus 1. Fig. In the case of describing with reference to the flowcharts, the drawings other than the flowcharts will be described with appropriate reference.

도 4를 참조하여, 냉각 동작의 개시시, 제어부(18)는, 우선, 송풍기 모터(22)를 동작시킴으로써, 냉각 공기를 매체 공급부(7)에 도입한다(단계 S1).Referring to Fig. 4, at the start of the cooling operation, the control unit 18 first introduces the cooling air to the medium supply unit 7 by operating the blower motor 22 (step S1).

다음에, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)의 개도를 제어한다(단계 S2). 즉, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)의 목표 개도를 설정하고, 또한, 기준 댐퍼(32)의 댐퍼 모터(45)를 구동시킴으로써, 상기 목표 개도에 상당하는 값으로, 기준 댐퍼(32)의 개도를 설정한다.Next, the control unit 18 controls the opening degree of the reference damper 32 (step S2). That is, the control unit 18 sets the target opening degree of the reference damper 32 and drives the damper motor 45 of the reference damper 32 so that the reference damper 32 ) Is set.

다음에, 제어부(18)는, 챔버 중간부 온도(T2)를 참조함으로써, 챔버 중간부 온도(T2)를 측정한다(단계 S3).Next, the control unit 18 measures the chamber intermediate temperature T2 by referring to the chamber intermediate temperature T2 (step S3).

다음에, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)의 개도를 제어한다(단계 S4). 즉, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)의 목표 개도를 설정하고, 또한, 제1 서브 댐퍼(31)의 댐퍼 모터(45)를 구동시킴으로써, 상기 목표 개도에 상당하는 값으로, 제1 서브 댐퍼(31)의 개도를 설정한다. 이때, 제어부(18)는, 검출한 챔버 중간부 온도(T2)에 의거하여 목표 온도(T1t)를 연산한다. 그리고, 제어부(18)는, 목표 온도(T1t)와 챔버 상부 온도(T1)의 편차(T1t－T1)가 감소하도록, 제1 서브 댐퍼(31)의 개도를 제어한다.Next, the control unit 18 controls the opening of the first sub damper 31 (step S4). That is, the control unit 18 sets the target opening degree of the first sub damper 31 and drives the damper motor 45 of the first sub damper 31 to set the target opening degree to a value corresponding to the target opening degree, The opening degree of the first sub damper 31 is set. At this time, the control unit 18 calculates the target temperature T1t based on the detected chamber intermediate temperature T2. The control unit 18 controls the opening of the first sub damper 31 so that the deviation T1t-T1 between the target temperature T1t and the chamber upper temperature T1 is reduced.

또, 제어부(18)는, 제2 서브 댐퍼(33)의 개도를 제어한다(단계 S5). 즉, 제어부(18)는, 제2 서브 댐퍼(33)의 목표 개도를 설정하고, 또한, 제2 서브 댐퍼(33)의 댐퍼 모터(45)를 구동시킴으로써, 상기 목표 개도에 상당하는 값으로, 제2 서브 댐퍼(33)의 개도를 설정한다. 이때, 제어부(18)는, 검출한 챔버 중간부 온도(T2)에 의거하여 목표 온도(T3t)를 연산한다. 그리고, 제어부(18)는, 목표 온도(T3t)와 챔버 하부 온도(T3)의 편차(T3t－T3)가 감소하도록, 제2 서브 댐퍼(33)의 개도를 제어한다.The control unit 18 controls the opening of the second sub damper 33 (step S5). That is, the control unit 18 sets the target opening degree of the second sub-damper 33 and drives the damper motor 45 of the second sub-damper 33 to set the target opening degree to a value corresponding to the target opening degree, The opening degree of the second sub damper 33 is set. At this time, the control unit 18 calculates the target temperature T3t based on the detected chamber intermediate temperature T2. The control unit 18 controls the opening of the second sub damper 33 so that the deviation T3t-T3 between the target temperature T3t and the chamber lower temperature T3 is reduced.

또한, 제1 서브 댐퍼(31)의 개도 제어(단계 S4)와 제2 서브 댐퍼(33)의 개도 제어(단계 S5)의 순서를 바꿔도 되고, 이들 단계 S4, S5가 병행하여 행해져도 된다.The order of the opening control of the first sub damper 31 (step S4) and the opening control of the second sub damper 33 (step S5) may be changed, and these steps S4 and S5 may be performed in parallel.

다음에, 제어부(18)는, 챔버 상부 온도(T1), 챔버 중간부 온도(T2), 및, 챔버 하부 온도(T3)를 측정한다(단계 S6). 그리고, 제어부(18)는, 이들 온도(T1~T3)가, 냉각 동작 완료의 목표 온도(Tft)에 도달했는지의 여부를 판정한다(단계 S7).Next, the control unit 18 measures the chamber upper temperature T1, the chamber intermediate temperature T2, and the chamber lower temperature T3 (step S6). Then, the control unit 18 determines whether or not these temperatures T1 to T3 have reached the target temperature Tft for completion of the cooling operation (step S7).

온도(T1~T3)가, 목표 온도(Tft)에 도달한 경우(단계 S8에서 YES), 제어부(18)는, 송풍기 모터(22)의 동작을 정지시키고(단계 S8), 챔버(4) 및 피처리물(100)의 냉각 동작을 종료한다.When the temperatures T1 to T3 reach the target temperature Tft (YES in step S8), the control unit 18 stops the operation of the blower motor 22 (step S8) The cooling operation of the object to be processed 100 is terminated.

한편, 온도(T1~T3)가, 냉각 동작 완료의 목표 온도(Tft)에 도달하고 있지 않은 경우(단계 S8에서 NO), 제어부(18)는, 다시, 단계 S3 이후의 제어를 행한다.On the other hand, when the temperatures T1 to T3 do not reach the target temperature Tft of completion of the cooling operation (NO in step S8), the control unit 18 again performs the control after step S3.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 기준으로 하여, 서브 댐퍼(31, 33)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 제어한다. 이 구성에 의하면, 제어부(18)에 의해, 서브 댐퍼(31, 33)에 의한 냉각 공기의 공급 양태가 제어된다. 이것에 의해, 피처리물(100)의 장수 등, 피처리물(100)의 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에, 서브 댐퍼(31, 33)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 변경할 수 있다. 그 결과, 피처리물(100)의 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물(100)을 보다 균등하게 냉각할 수 있다. 또, 기준 댐퍼(32)에 의한 냉각 공기의 공급 양태를 기준으로 하여, 서브 댐퍼(31, 33)에 의한 냉각 공기의 공급 양태가 제어되는 결과, 서브 댐퍼(31, 33)의 제어 연산이 발산하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 따라서, 피처리물(100)에 대한 보다 정확한 온도 제어가 실현된다. 또, 제어부(18)에 의해 서브 댐퍼(31, 33)가 제어되므로, 인력에 의한 서브 댐퍼(31, 33)의 조정 작업이 불필요하다. 이상의 이유로, 온도 제어 조건에 변화가 발생한 경우에서도, 피처리물(100)을 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있음과 더불어, 피처리물(100)을 보다 균등하게 온도 변화시키기 위한 조정 작업을 자동적으로 행할 수 있는 열처리 장치(1)를 실현할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the control unit 18 controls the supply mode of cooling air by the sub dampers 31, 33 based on the mode of supply of the cooling air by the reference damper 32 do. According to this configuration, the control unit 18 controls the supply mode of the cooling air by the sub dampers 31 and 33. [ This makes it possible to change the supply mode of the cooling air by the sub dampers 31 and 33 when a change occurs in the temperature control condition of the object to be processed 100, such as the longevity of the object to be processed 100. [ As a result, even when the temperature control conditions of the object to be processed 100 change, the object to be processed 100 can be cooled more uniformly. As a result of control of the mode of supply of the cooling air by the sub dampers 31 and 33 based on the mode of supply of cooling air by the reference damper 32, the control operation of the sub dampers 31 and 33 is divergent Can be more reliably suppressed. Therefore, a more accurate temperature control for the object to be processed 100 is realized. In addition, since the sub-dampers 31 and 33 are controlled by the control unit 18, adjustment work of the sub dampers 31 and 33 by the attraction force is unnecessary. For this reason, even when a change occurs in the temperature control condition, the object to be processed 100 can be temperature-changed more evenly, and an adjustment operation for more evenly changing the temperature of the object to be processed 100 is automatically It is possible to realize the heat treatment apparatus 1 capable of performing heat treatment.

또, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 기준 댐퍼(32)의 개도가 일정한 상태를 기준으로 하여, 서브 댐퍼(31, 33)의 개도를 제어한다. 이 구성에 의하면, 제어부(18)는, 서브 댐퍼(30)의 개도 제어에 있어서, 기준 댐퍼(32)의 개도를 변경할 필요가 없는 결과, 서브 댐퍼(31, 33)의 제어에 필요한 연산을 보다 간소하게 할 수 있다. 또, 서브 댐퍼(31, 33)의 개도 제어에 있어서, 헌팅이 발생하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.According to the present embodiment, the control unit 18 controls the opening of the sub dampers 31 and 33 based on a state where the opening degree of the reference damper 32 is constant. According to this configuration, in the opening control of the sub damper 30, the control unit 18 does not need to change the opening degree of the reference damper 32 and, as a result, performs the calculation necessary for the control of the sub dampers 31 and 33 It can be simplified. It is also possible to more reliably suppress occurrence of hunting in the opening control of the sub dampers (31, 33).

또, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 챔버(4) 중 기준 댐퍼(32)로부터 냉각 공기가 공급되는 중간부(4b)에 있어서의 온도(챔버 중간부 온도(T2))를 기준으로 하여, 서브 댐퍼(31, 33)로부터 챔버(4)로 공급되는 냉각 공기의 유량을 제어하도록 구성되어 있다. 이 구성에 의하면, 서브 댐퍼(31, 33)로부터 챔버(4)에 공급되는 냉각 공기에 의한 챔버(4)의 상부(4a) 및 하부(4c)의 온도 변화 정도를, 기준 댐퍼(32)로부터 챔버(4)의 중간부(4b)에 공급되는 냉각 공기에 의한 챔버(4)의 중간부(4b)의 온도 변화 정도와 보다 동일하게 할 수 있다.According to the present embodiment, the control unit 18 sets the temperature (the chamber intermediate temperature T2) in the intermediate portion 4b to which the cooling air is supplied from the reference damper 32 in the chamber 4 as the reference , And controls the flow rate of the cooling air supplied from the sub dampers (31, 33) to the chamber (4). According to this configuration, the degree of temperature change of the upper portion 4a and the lower portion 4c of the chamber 4 by the cooling air supplied from the sub dampers 31, 33 to the chamber 4 is changed from the reference damper 32 The degree of temperature change of the intermediate portion 4b of the chamber 4 due to the cooling air supplied to the intermediate portion 4b of the chamber 4 can be made more equal.

또, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 챔버 중간부 온도(T2)와 챔버 상부 온도(T1)의 편차(T2－T1), 및, 챔버 중간부 온도(T2)와 챔버 하부 온도(T3)의 편차(T2－T3)의 각각을 감소시키도록, 서브 댐퍼(31, 33)의 개도를 제어한다. 이 구성에 의하면, 챔버(4) 중 기준 댐퍼(32)로부터 냉각 공기가 공급되는 챔버(4)의 중간부(4b)에서의 온도(챔버 중간부 온도(T3))와, 챔버(4) 중 서브 댐퍼(31, 33)로부터 냉각 공기가 공급되는 챔버(4)의 상부(4a) 및 하부(4c)에 있어서의 온도(챔버 상부 온도(T1)와 챔버 하부 온도(T2))가 보다 동일해지도록, 제어부(18)가 서브 댐퍼(31, 33)를 제어할 수 있다.According to the present embodiment, the controller 18 determines whether or not the chamber intermediate temperature T2 and the chamber lower temperature T1 (T2-T1) The opening of the sub dampers 31 and 33 is controlled so as to reduce the deviation T2-T3 of the sub-dampers 31 and 33, respectively. According to this configuration, the temperature (chamber intermediate temperature T3) in the middle portion 4b of the chamber 4 to which cooling air is supplied from the reference damper 32 in the chamber 4 and the temperature The temperatures (the chamber top temperature T1 and the chamber bottom temperature T2) in the upper portion 4a and the lower portion 4c of the chamber 4 to which the cooling air is supplied from the sub dampers 31 and 33 are more equal The control unit 18 can control the sub dampers 31,

또, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)와 제2 서브 댐퍼(33)가 상이한 동작을 행하도록 각 서브 댐퍼(31, 33)를 제어한다. 이 구성에 의하면, 복수의 서브 댐퍼(31, 33)의 동작에 의해, 챔버(4)의 보다 넓은 영역을 균등하게 온도 변화시킬 수 있다. 또, 챔버(4)의 각 영역을, 보다 세심하게 온도 제어할 수 있다.According to the present embodiment, the control unit 18 controls the sub dampers 31 and 33 so that the first sub damper 31 and the second sub damper 33 perform different operations. According to this configuration, it is possible to uniformly change the temperature of the wider region of the chamber 4 by the operation of the plurality of sub-dampers 31, 33. Further, the temperature of each region of the chamber 4 can be controlled more carefully.

또, 본 실시 형태에 의하면, 제어부(18)는, 비례 적분 미분 제어를 이용하여 각 서브 댐퍼(31, 33)를 제어하도록 구성되어 있고, 제1 서브 댐퍼(31)의 제어 게인(kp1)과 제2 서브 댐퍼(33)의 제어 게인(kp2)을 상이한 값으로 설정한다. 이 구성에 의하면, 제1 서브 댐퍼(31)는, 목표로 하는 냉각 공기의 공급 양태(즉, 개도)를 실현하기 위한 응답 속도를 보다 높게 할 수 있다. 한편, 제2 서브 댐퍼(33)는, 목표로 하는 냉각 공기의 공급 양태(즉, 개도)를 실현하기 위한 응답 속도를 보다 낮게 할 수 있다. 이와 같이, 목표 개도에 대한 응답 속도가 상이한 서브 댐퍼(31, 33)를 조합함으로써, 열의 치우침이 발생하기 쉬운 챔버(4)에 대해, 보다 균등한 온도 변화를 발생시키는 것이 가능하다.According to the present embodiment, the control unit 18 is configured to control the sub dampers 31 and 33 by using the proportional integral differential control. The control gain kp1 of the first sub damper 31 and the control gain kp2 of the first sub- The control gain kp2 of the second sub damper 33 is set to a different value. According to this configuration, the first sub damper 31 can further increase the response speed for realizing the target supply mode (i.e., opening degree) of the cooling air. On the other hand, the second sub damper 33 can lower the response speed for realizing the target supply mode (i.e., opening degree) of cooling air. By combining the sub dampers 31 and 33 having different response speeds to the target opening degree as described above, it is possible to generate a more uniform temperature change in the chamber 4 where the heat is prone to deviate.

보다 상세하게는, 제1 서브 댐퍼(31)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치는, 제2 서브 댐퍼(33)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치보다 높게 설정되어 있다. 그리고, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)에 관한 제어 게인(kp1)을 제2 서브 댐퍼(33)에 관한 제어 게인(kp2)보다 크게 설정하고 있다. 이 구성에 의하면, 챔버(4)의 열은, 상방으로 향하기 때문에, 챔버(4)의 상부(4a)의 열량은, 챔버(4)의 하부(4b)의 열량보다 커지는 경향이 있다. 따라서, 챔버(4)의 상부(4a)측을 냉각하는 제1 서브 댐퍼(31)의 제어 게인(kp1)을 보다 크게 함으로써, 챔버(4)의 상부(4a)측을 향해, 보다 신속하게 보다 많은 냉각 공기를 공급할 수 있다. 이것에 의해, 열이 가득차기 쉬운 챔버(4)의 상부(4a)측을 보다 확실히 냉각할 수 있다. 한편, 챔버(4)의 하부(4c)측을 냉각하는 제2 서브 댐퍼(33)의 제어 게인(kp2)을 보다 작게 함으로써, 챔버(4)의 하부(4c)측을 향해, 급격하게 과도한 냉각 공기가 공급되는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 열이 비교적 달아나기 쉬운 챔버(4)의 하부(4c)측이, 챔버(4)의 다른 부분보다 먼저 냉각되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 챔버(4)의 각부는, 보다 균등하게 냉각된다.More specifically, the position where the cooling air is supplied from the first sub damper 31 to the chamber 4 is set higher than the position where the cooling air is supplied from the second sub damper 33 to the chamber 4 . The control unit 18 sets the control gain kp1 for the first sub damper 31 to be larger than the control gain kp2 for the second sub damper 33. [ The amount of heat of the upper portion 4a of the chamber 4 tends to be larger than the amount of heat of the lower portion 4b of the chamber 4 because the heat of the chamber 4 is directed upward. Therefore, by increasing the control gain kp1 of the first sub-damper 31 that cools the upper portion 4a side of the chamber 4, the control gain kp1 of the first sub-damper 31 can be controlled more quickly toward the upper portion 4a side of the chamber 4 It can supply a lot of cooling air. This makes it possible to more reliably cool the side of the upper portion 4a of the chamber 4 where the heat is liable to be filled. On the other hand, by making the control gain kp2 of the second sub-damper 33 cooling the lower portion 4c side of the chamber 4 smaller, The supply of air can be suppressed. This makes it possible to inhibit the lower portion 4c side of the chamber 4 from being cooled earlier than other portions of the chamber 4, As a result, each part of the chamber 4 is cooled more uniformly.

또, 제1 서브 댐퍼(31)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치는, 개구부(4d) 및 안쪽부(4e) 중 안쪽부(4e) 근처에 설정되어 있다. 또, 제2 서브 댐퍼(33)로부터 챔버(4)로 냉각 공기가 공급되는 위치는, 개구부(4d) 및 안쪽부(4e) 중 개구부(4d) 근처에 설정되어 있다. 그리고, 제어부(18)는, 제1 서브 댐퍼(31)에 관한 제어 게인(kp1)을 제2 서브 댐퍼(33)에 관한 제어 게인(kp2)보다 크게 설정하고 있다. 이 구성에 의하면, 챔버(4)의 열은, 안쪽부(4e)에 가득 차기 쉽기 때문에, 안쪽부(4e)의 열량은, 개구부(4d)의 열량보다 커지는 경향이 있다. 따라서, 안쪽부(4e)측을 냉각하는 제1 서브 댐퍼(31)에 관한 제어 게인(kp1)을 보다 크게 함으로써, 챔버(4)의 안쪽부(4e)측을 향해, 보다 신속하게 보다 많은 냉각 공기를 공급할 수 있다. 이것에 의해, 열이 가득차기 쉬운 챔버(4)의 안쪽부(4e)측을 보다 확실히 냉각할 수 있다. 한편, 챔버(4)의 개구부(4d)측을 냉각하는 제2 서브 댐퍼(33)에 관한 제어 게인(kp2)을 보다 작게 함으로써, 챔버(4)의 개구부(4d)측을 향해, 급격하게 과도한 냉각 공기가 공급되는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 열이 비교적 달아나기 쉬운 챔버(4)의 개구부(4d)측이, 챔버(4)의 다른 부분보다 먼저 냉각되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 챔버(4)의 각부는, 보다 균등하게 냉각된다.The position where the cooling air is supplied from the first sub damper 31 to the chamber 4 is set near the opening 4d and the inner portion 4e of the inner portion 4e. The position where the cooling air is supplied from the second sub damper 33 to the chamber 4 is set near the opening 4d and the opening 4d of the inner portion 4e. The control unit 18 sets the control gain kp1 for the first sub damper 31 to be larger than the control gain kp2 for the second sub damper 33. [ According to this configuration, the heat of the chamber 4 tends to fill up the inner portion 4e, so that the heat amount of the inner portion 4e tends to be larger than that of the opening portion 4d. Therefore, by increasing the control gain kp1 with respect to the first sub damper 31 that cools the inner side 4e side, more cooling can be performed more quickly toward the inner side 4e side of the chamber 4, Air can be supplied. This makes it possible to more reliably cool the side of the inner portion 4e of the chamber 4 where the heat is liable to be filled. On the other hand, by making the control gain kp2 related to the second sub damper 33 that cools the opening 4d side of the chamber 4 smaller, The supply of the cooling air can be suppressed. This makes it possible to prevent the opening 4d side of the chamber 4 from being cooled earlier than other portions of the chamber 4, As a result, each part of the chamber 4 is cooled more uniformly.

또, 제1 서브 댐퍼(31)의 출구관(46, 47)의 타단 위치와, 제2 서브 댐퍼(33)의 출구관(46, 47)의 타단 위치 사이에, 기준 댐퍼(32)의 출구관(46, 47)의 타단 위치가 설정되어 있다. 이 구성에 의하면, 복수의 댐퍼(31, 32, 33)에 의해, 챔버(4)의 보다 넓은 영역을 냉각 공기에 의해 보다 균등하게 온도 변화시킬 수 있다. 또, 챔버(4) 중 기준 댐퍼(32)로부터의 냉각 공기가 공급되는 개소(중간부(4b)) 이외의 영역에 대해, 기준 댐퍼(32)로부터의 냉각 공기가 공급되는 개소 근처에 배치되는 비율을, 보다 크게 할 수 있다. 그 결과, 챔버(4)의 보다 넓은 영역에 대해, 기준 댐퍼(32)로부터의 냉각 공기가 공급되는 중간부(4b)와의 온도차를 작게 할 수 있다.The other end of the outlet pipes 46 and 47 of the first sub damper 31 and the other end of the outlet pipes 46 and 47 of the second sub damper 33 are connected to the outlet of the reference damper 32 The other end positions of the pipes 46 and 47 are set. With this configuration, the wider area of the chamber 4 can be more uniformly changed in temperature by the cooling air by the plurality of dampers 31, 32, and 33. The region other than the portion (intermediate portion 4b) where the cooling air from the reference damper 32 is supplied to the chamber 4 is disposed near the position where the cooling air from the reference damper 32 is supplied The ratio can be made larger. As a result, the temperature difference between the chamber 4 and the intermediate portion 4b to which the cooling air from the reference damper 32 is supplied can be made smaller.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 상기 서술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 특허 청구의 범위에 기재되는 한에 있어서 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the embodiments described above. The present invention can be modified in various ways within the scope of the claims.

(1) 상기의 실시 형태에서는, 각 서브 댐퍼(31, 33)의 개도 제어가 행해지고 있는 동안, 기준 댐퍼(32)의 개도가 일정한 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 각 서브 댐퍼(31, 33)의 개도 제어가 행해지고 있는 동안, 기준 댐퍼(32)의 개도는, 정기적으로 제어부(18) 또는 인력에 의해 변경되어도 된다.(1) In the above embodiment, the opening degree of the reference damper 32 is constant while the opening control of each of the sub dampers 31, 33 is performed. However, it does not have to be this way. For example, while the opening control of each of the sub dampers 31, 33 is being performed, the opening of the reference damper 32 may be changed periodically by the control section 18 or the attraction force.

(2) 또, 상기의 실시 형태에서는, 송풍기(21)의 풍량이 일정한 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 송풍기(21)의 풍량은, 챔버(4)의 각부의 온도(T1, T2, T3) 등에 따라, 제어부(18)에 의해 변경되어도 된다.(2) In the above-described embodiment, the air flow rate of the blower 21 is constant. However, it does not have to be this way. For example, the air flow rate of the blower 21 may be changed by the control unit 18 in accordance with the temperature T1, T2, T3 of each part of the chamber 4 and the like.

(3) 또, 상기의 실시 형태에서는, 히터(3)의 가열 동작이 완료한 후에 매체 공급부(7)가 챔버(4) 및 피처리물(100)의 냉각 처리를 개시하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 매체 공급부(7)는, 히터(3)와 협조 동작됨으로써, 히터(3)의 정지 동작의 도중에 매체 공급부(7)로부터 챔버(4)를 향해 냉각 공기가 공급되어도 된다.(3) In the above-described embodiment, the case where the medium supply unit 7 starts the cooling process of the chamber 4 and the object to be processed 100 after the heating operation of the heater 3 is completed has been described as an example . However, it does not have to be this way. For example, the medium supply unit 7 may cooperate with the heater 3 so that the cooling air may be supplied from the medium supply unit 7 toward the chamber 4 during the stop operation of the heater 3.

(4) 또, 상기의 실시 형태에서는, 서브 댐퍼가 2개 설치되는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 서브 댐퍼는, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.(4) In the above embodiment, two sub damper units are provided. However, it does not have to be this way. For example, there may be one sub damper, or three or more sub damper.

(5) 또, 상기의 실시 형태에서는, 제어부(18)가 각 댐퍼(31, 32, 33)의 개도를 제어하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 제어부(18)는, 각 댐퍼(31, 32, 33)를 통과하는 냉각 공기의 압력 등, 다른 요소를 제어 대상으로 해도 된다.(5) In the above embodiment, the control unit 18 controls the opening of each of the dampers 31, 32 and 33 as an example. However, it does not have to be this way. For example, the control unit 18 may control other elements, such as the pressure of the cooling air passing through the dampers 31, 32, and 33, to be controlled.

(6) 또, 상기의 실시 형태에서는, 냉각 공기를 제어하는 밸브 부재로서, 댐퍼를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 냉각 공기를 제어하는 밸브 부재로서, 전자 밸브 등, 밸브체의 개도를 조정 가능한 구성을 갖는 다른 밸브 부재가 이용되어도 된다.(6) In the above embodiment, a damper is described as an example of a valve member for controlling cooling air. However, it does not have to be this way. For example, another valve member having a configuration capable of adjusting the opening degree of the valve body, such as an electromagnetic valve, may be used as the valve member for controlling the cooling air.

(7) 또, 상기 서술한 실시 형태에서는, 가열 증착 등에 이용되는 로에 본 발명이 적용되는 경우를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 열풍 순환로 등의 다른 로를 갖는 열처리 장치에 본 발명이 적용되어도 된다.(7) In the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to a furnace used for heating deposition or the like has been described as an example. However, it does not have to be this way. For example, the present invention may be applied to a heat treatment apparatus having another furnace such as a hot air circulation furnace.

(8) 또, 상기 서술한 실시 형태에서는, 열처리용 매체로서 공기가 이용되는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 열처리용 매체로서, 공기 이외의 가스가 이용되어도 되고, 물 등의 액체가 이용되어도 된다. 열처리용 매체로서 액체가 이용되는 경우, 송풍기를 대신하여, 펌프가 이용된다.(8) In the above-described embodiment, an example in which air is used as the heat treatment medium has been described as an example. However, it does not have to be this way. For example, as the heat treatment medium, a gas other than air may be used, or a liquid such as water may be used. When a liquid is used as the heat treatment medium, a pump is used instead of the blower.

(9) 또, 상기 서술한 실시 형태에서는, 냉매 공급부(7)가 챔버(4) 및 피처리물(100)을 냉각하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 챔버(4) 등의 용기, 및, 피처리물(100)을 가열할 때에, 본 발명의 구성이 이용되어도 된다. 이 경우, 각 댐퍼(31, 32, 33)는, 가열된 공기 등의 열처리용 매체를 챔버(4)를 향해 공급하게 된다.(9) In the above-described embodiment, the refrigerant supply unit 7 has cooled the chamber 4 and the object to be processed 100 by way of example. However, it does not have to be this way. For example, the configuration of the present invention may be used when the container such as the chamber 4 and the object to be processed 100 are heated. In this case, the dampers (31, 32, 33) supply the heat treatment medium such as heated air toward the chamber (4).

(10) 또, 상기 서술한 실시 형태에서는, 챔버(4)가 종형로인 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이 대로가 아니어도 된다. 예를 들어, 가로 방향으로 배치된 챔버를 갖는 열처리 장치에 본 발명이 적용되어도 된다.(10) In the above-described embodiment, the embodiment in which the chamber 4 is in the vertical shape has been described as an example. However, it does not have to be this way. For example, the present invention may be applied to a heat treatment apparatus having a chamber arranged in a transverse direction.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명은, 열처리 장치로서, 널리 적용할 수 있다.The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.

1 열처리 장치
4 챔버(용기)
4d 개구부
4e 안쪽부
7 매체 공급부
18 제어부
31 제1 서브 댐퍼(서브 밸브. 하나의 서브 밸브)
32 기준 댐퍼(기준 밸브)
33 제2 서브 댐퍼(서브 밸브. 다른 서브 밸브)
100 피처리물
T1 챔버 상부 온도(용기 중 서브 밸브로부터 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도)
T2 챔버 중간부 온도(용기 중 기준 밸브로부터 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도)
T3 챔버 하부 온도(용기 중 서브 밸브로부터 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도)
kp1, kp2 제어 게인1 heat treatment device
4 chamber (container)
4d opening
4e inner portion
7 media supplier
18 control unit
31 First sub-damper (sub-valve, one sub-valve)
32 Standard damper (reference valve)
33 2nd sub-damper (sub-valve, other sub-valve)
100 to be treated
T1 chamber top temperature (the temperature at the point where the medium is fed from the sub-valve in the vessel)
T2 chamber intermediate temperature (temperature at the point where the medium is fed from the reference valve in the container)
T3 Lower chamber temperature (temperature at the point where the medium is fed from the sub valve in the vessel)
kp1, kp2 Control gain

Claims (9)

피처리물의 열처리시에 상기 피처리물을 수용하는 용기와,
온도 조정용의 매체를 상기 용기에 공급하기 위한 기준 밸브 및 서브 밸브를 포함하는 매체 공급부와,
상기 기준 밸브에 의한 상기 매체의 공급 양태를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브에 의한 상기 매체의 공급 양태를 제어하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.A container for accommodating the object to be processed at the time of heat treatment of the object,
A medium supply section including a reference valve and a sub valve for supplying a medium for temperature adjustment to the container,
And a control unit for controlling the mode of supplying the medium by the sub valve based on the supply mode of the medium by the reference valve. 청구항 1에 있어서,
상기 제어부는, 상기 기준 밸브의 개도가 일정한 상태를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브의 개도를 제어하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1,
Wherein the control unit controls the opening of the sub valve based on a state where the opening degree of the reference valve is constant. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제어부는, 상기 용기 중 상기 기준 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도를 기준으로 하여, 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 공급되는 상기 매체의 유량을 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the control unit is configured to control a flow rate of the medium supplied from the sub valve to the container based on a temperature at a position where the medium is supplied from the reference valve in the container. Device. 청구항 3에 있어서,
상기 제어부는, 상기 용기 중 상기 기준 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도와, 상기 용기 중 상기 서브 밸브로부터 상기 매체가 공급되는 개소에 있어서의 온도의 편차를 감소시키도록, 상기 서브 밸브의 개도를 제어하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 3,
Wherein the control unit controls the sub valve so as to reduce a temperature deviation at a portion where the medium is supplied from the reference valve in the vessel and a temperature at a portion where the medium is supplied from the sub- Is controlled by controlling the opening degree of the heating means. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 서브 밸브는 복수 설치되어 있고,
상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브와 다른 상기 서브 밸브가 상이한 동작을 행하도록 각 상기 서브 밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1 or 2,
Wherein a plurality of the sub valves are provided,
Wherein the control unit controls each sub-valve so that one sub-valve and the other sub-valve perform different operations. 청구항 5에 있어서,
상기 제어부는, 비례 제어를 이용하여 각 상기 서브 밸브를 제어하도록 구성되어 있고, 하나의 상기 서브 밸브의 제어 게인과 다른 상기 서브 밸브의 제어 게인을 상이한 값으로 설정하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 5,
Wherein the control unit is configured to control each of the sub-valves using proportional control, and sets the control gain of one sub-valve and the control gain of the other sub-valve to different values. 청구항 6에 있어서,
상기 매체는, 상기 용기를 냉각하기 위한 냉각 매체이며,
하나의 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는, 다른 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치보다 높게 설정되어 있고,
상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인을 다른 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인보다 크게 설정하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 6,
Wherein the medium is a cooling medium for cooling the container,
The position where the cooling medium is supplied from one of the sub-valves to the container is set higher than the position where the cooling medium is supplied from the other sub-valve to the container,
Wherein the control unit sets the control gain for one sub-valve to be larger than the control gain for the other sub-valves. 청구항 6에 있어서,
상기 용기는, 상기 용기의 외부로 개방된 개구부, 및, 상기 용기의 외부에 대해 닫힌 형상의 안쪽부를 포함하고,
상기 매체는, 상기 용기를 냉각하기 위한 냉각 매체이며,
하나의 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는 상기 개구부 및 상기 안쪽부 중 상기 안쪽부 근처에 설정되어 있음과 더불어, 다른 상기 서브 밸브로부터 상기 용기로 상기 냉각 매체가 공급되는 위치는 상기 개구부 및 상기 안쪽부 중 상기 개구부 근처에 설정되어 있고,
상기 제어부는, 하나의 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인을 다른 상기 서브 밸브에 관한 상기 제어 게인보다 크게 설정하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 6,
Wherein the container includes an opening that is open to the outside of the container and an inner portion that is closed to the outside of the container,
Wherein the medium is a cooling medium for cooling the container,
The position where the cooling medium is supplied from one of the sub-valves to the container is set near the inside of the opening and the inside portion, and the position where the cooling medium is supplied from the other sub- Is set near the opening of the opening portion and the inside portion,
Wherein the control unit sets the control gain for one sub-valve to be larger than the control gain for the other sub-valves. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 서브 밸브는 복수 설치되어 있고,
각 상기 서브 밸브로부터의 상기 매체의 출구 위치 사이에 상기 기준 밸브로부터의 상기 매체의 출구 위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1 or 2,
Wherein a plurality of the sub valves are provided,
And an outlet position of the medium from the reference valve is set between the outlet position of the medium from each of the sub-valves.
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