KR20160101179A - 내시경 및 이를 사용하는 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기계 부품을 테스트하는 분야에 관한 것이며, 특히 접근하기 어려운 부품의 주파수 테스트를 위해서 사용될 수 있는 내시경(1)에 관한 것이며, 또한 상기 내시경(i)을 사용하기 위한 방법에 관한 것으로서, 이 내시경은 내시경 헤드(2), 상기 내시경 헤드(2)를 통해서 픽업되는 이미지를 디스플레이하기 위한 장치(3), 및 상기 내시경 헤드(2)를 상기 디스플레이 장치(3)에 연결하는 세장형 부재(4)를 포함하고, 그리고 여기서, 상기 내시경 헤드(2)는, 주파수 테스트의 피검체의 진동 응답을 픽업하도록 의도된 적어도 하나의 진동 센서(10)를 포함하는 주파수 테스트 장치(7)를 또한 포함한다.

Description

내시경 및 이를 사용하는 방법{ENDOSCOPE AND METHOD FOR USING SAME}

본 발명은 기계 부품을 검사하는 분야, 특히 접근하기 어려운 기계 부품을 검사하는 분야에 관한 것이다.

당업자는, 접근하기 어려운 기계 부품을 시각적으로 검사하기 위해서 내시경이 사용될 수 있다는 것을 안다. 기계 공학, 건축, 및 또한 의학에 사용되는 종류의 내시경은 전형적으로 내시경 헤드, 상기 내시경 헤드에 의해서 픽업되어진 이미지를 디스플레이하기 위한 장치, 및 내시경 헤드에 연결되는 세장형 부재를 포함한다. 따라서, 내시경 헤드는 좁은 오리피스를 통해서 삽입될 수 있고, 세장형 부재는 내시경 헤드 및 디스플레이 장치를 통해 시각적 검사를 진행하기 위해 검사를 위한 피검체를 향해서 내시경 헤드를 안내하기 위해서 사용될 수 있다. 이러한 내시경은 강성 내시경을 포함하고, 그리고 또한 내시경 헤드가 따르는 경로 상의 장애물을 돌아서 갈 수 있기 위해서 가요성인 내시경을 또한 포함한다. 또한, 내시경 헤드가 디스플레이 장치에 유선 또는 무선 방식으로 연결되는 비디오 센서를 갖는 비디오 내시경에서와 같이, 내시경 헤드가 내시경 헤드에 의해서 픽업되는 광을 직접적으로 이송하는 적어도 하나의 광섬유에 의해서 디스플레이 장치에 연결되는 광학 내시경이 또한 알려져 있다. 또한 이러한 내시경은 주로, 직접적으로 내시경 헤드 상에 있는, 또는 적어도 하나의 광섬유에 의해서 여기에 연결되는 조명 장치를 구비하고, 따라서 검사를 위한 피검체가 조명될 수 있도록 하여 이들이 시각적으로 검사될 수 있도록 한다.

그럼에도 불구하고, 어떤 상황에서, 단지 시각적 검사가 기계 부품의 일체성(integrity) 상태를 결정하기 위해서 충분하지 않다. 따라서, 단지 시각적 검사로 부터 숨어 있는 어떤 결함이 또한 "핑(ping)" 테스트로 일컬어지는 주파수 검사에 의해서 검출될 수 있다. 이러한 주파수 검사로, 검사를 위한 피검체는 진동을 촉발하기 위해서 적어도 하나의 탭핑을 겪고, 그리고 진동 기계 응답의 주파수를 분석하는 것은 검사를 위한 피검체의 잠재적인 결함을 검출하는 것 또는 단지 검사를 위한 피검체의 특징을 설명하는 것을 가능하게 할 수 있다. 가장 간단한 버젼에서, 검사자는 검사를 위한 피검체를 가볍게 탭핑하고, 피검체가 응답으로 방출하는 소리를 듣는다.

그럼에도 불구하고, 최첨단 분야에서, 접근하기 어려운 부품 상의 이러한 주파수 검사를 행하기 위해서, 종종 부품을 분해하는 것이 필요하며, 이것은 시간 및 노동력의 관점에서 매우 고비용일 수 있다. 또한, 분해되어진 부품에 대해서 행해지는 주파수 검사는 대표적인 것이 되지 못할 수 있다.

본 발명은 이러한 단점을 해소하는 것을 추구한다. 특히, 본 개시는, 접근이 어려운 부품의 시각적 검사뿐만 아니라 주파수 검사를 행하는 것을 가능하게 하는 내시경을 제안하는 것을 추구한다.

적어도 하나의 실시형태에서, 이 목적은, 내시경의 내시경 헤드가, 적어도 하나의 진동 센서, 주파수 검사를 위한 피검체를 기계적으로 가진시키기 위한 접촉 요소, 및 주파수 검사를 위한 상기 피검체에 대해서 상기 접촉 요소를 탭핑시키기 위한 액츄에이터를 포함하는 주파수 검사 장치를 포함한다는 사실에 의해서 달성된다.

이러한 제공에 의해서, 내시경 헤드는 접근이 어려운 주파수 검사를 위한 피검체로 시각적으로 안내될 수 있어, 피검체의 주파수 검사를 행하는 것이 가능하도록 진동 센서 및 접촉 요소의 범위 안으로 이 부품이 들어올 수 있다.

특히, 주파수 검사 장치는, 진동 센서 및/또는 주파수 검사를 위한 피검체를 기계적으로 가진하기 위한 접촉 요소의 적어도 하나의 액츄에이터를 포함하는 적어도 하나의 전기기계 마이크로시스템을 포함할 수 있으며, 따라서 특히 접근될 수 없는 위치로 내시경 헤드가 접근할 수 있도록 내시경 헤드에 의해서 차지되는 공간을 제한하는 것을 가능하게 한다.

검사를 위한 피검체의 진동 응답이 특히 정확한 방식으로 픽업되는 것을 가능하게 하기 위해서 진동 센서가 특히 마이크로폰일 수도 있다.

내시경 헤드의 경로 상의 장애물을 돌아서 가는 것을 가능하게 하기 위해서, 내시경은 가요성 내시경, 즉 세장형 부재가 예를 들어 적어도 30°를 통해서 굽혀질 수 있는 내시경일 수도 있다. 대안적으로, 그럼에도 불구하고 내시경이 강성 내시경, 즉 세장형 부재가 이 방식으로 굽혀질 수 없는 내시경인 것이 가능하다.

내시경은 광학 내시경, 즉 내시경 헤드가 적어도 하나의 광섬유를 통해서 이미지 디스플레이 장치에 연결되는 내시경일 수도 있다. 대안적으로, 그럼에도 불구하고 내시경이 비디오 내시경, 즉 내시경 헤드가 이미지 디스플레이 장치에 연결되는 비디오 센서를 갖는 내시경인 것이 가능하다.

당연히, 내시경은 조명 장치를 더 포함할 수도 있다. 특히, 조명 장치는 내시경 헤드에 직접적으로 장착될 수도 있거나, 또는 적어도 하나의 광섬유에 의해서 내시경 헤드에 연결될 수도 있다.

또한, 액츄에이터는 진동 센서로부터 구별될 수도 있으나, 특히, 만약 액츄에이터가 압전기, 자성, 또는 전기기계 액유체이터라면, 또한 액츄에이터는 진동 센서와 결합될 수도 있다. 또한, 다른 타입의 액츄에이터, 특히 공압 액츄에이터 및 탄성 스프링은 타격기를 구동시키기 위해서 균등하게 잘 고려될 수도 있다. 액츄에이터는 접촉 요소가 검사를 위한 피검체에 단일의 탭핑(tap)을 주도록 구성되어, 단일의 충격에 의해 피검체의 진동 응답을 일으키거나, 또는 접촉 요소를 진동시키도록 구성되어 주파수 검사를 위한 피검체의 응답이 적어도 하나의 미리 결정된 가진 주파수로 분석되는 것을 가능하게 할 수 있다.

진동 센서로서 동일한 내시경 헤드에 액츄에이터 및 접촉 요소를 포함하는 것에 대한 대안으로서, 또한 본 개시는, 진동 센서를 구비하는 주파수 검사 장치를 갖는 내시경 헤드, 내시경 헤드를 통해서 픽업된 이미지를 디스플레이하기 위한 이미지 디스플레이 장치, 및 내시경 헤드에 연결되는 세장형 부재를 구비하는 제1 내시경과 함께, 주파수 검사를 위한 피검체를 기계적으로 가진시키기 위한 적어도 하나의 접촉 요소를 구비하는 내시경 헤드, 주파수 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소를 탭핑시키기 위한 액츄에이터, 제2 내시경의 내시경 헤드에 의해서 픽업되는 이미지를 디스플레이하기 위한 이미지 디스플레이 장치, 및 상기 제2 내시경의 내시경 헤드에 연결되는 세장형 부재를 포함하는 제2 내시경을 포함하는 세트를 제공한다. 단일의 장치가, 리소스(resource)를 공유하도록 제1 및 제2 내시경으로부터의 이미지를 디스플레이하기 위해서 가능하게 사용될 수도 있고, 제1 및 제2 내시경은 균등하게 잘 광학 또는 비디오 내시경일 수도 있고, 그리고 이들은 가요성 또는 강성일 수도 있다. 상술된 타입의 액츄에이터 모두는 같은 방식으로 이 대안에서 사용될 수 있다.

또한 본 발명은 검사를 위한 피검체의 주파수 검사를 위해서 내시경을 사용하는 방법을 제공한다. 적어도 하나의 실시형태에 있어서, 이 방법은 내시경이 안내되는 방식으로 검사를 위한 피검체에 접근되게 하는 것, 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소를 탭핑시키기 위해 액츄에이터를 사용함으로써 검사를 위한 피검체를 가진시켜 진동 응답을 유발시키는 것, 그리고 상기 진동 응답을 진동 센서를 통해서 받는 것을 포함할 수도 있다. 진동 센서에 의해서 픽업된 진동 응답은 다음으로 검사를 위한 피검체의 일체성 상태를 결정하기 위해서 특히 주파수 분석을 거칠 수도 있다.

비제한적 실시예로서 도시되는 몇 가지 실시형태의 다음 상세한 설명을 읽을 때 본 발명은 잘 이해될 수 있고, 이의 장점은 더 양호하게 파악된다. 설명은 첨부된 도면을 참조하고, 여기서:
도 1a는 제1 실시형태의 내시경을 도시하는 다이어그램이고;
도 1b는 도 1a 내시경의 내시경 헤드의 상세도이고;
도 2a 내지 도 2c는 터빈 엔진의 상이한 부품을 검사하기 위해 도 1a 내시경을 사용하는 방법을 도시하는 다이어그램이고;
도 3은 제2 실시형태의 내시경의 내시경 헤드를 도시하는 다이어그램이고;
도 4는 제3 실시형태의 내시경의 내시경 헤드를 도시하는 다이어그램이고;
도 5는 제4 실시형태의 내시경의 내시경 헤드를 도시하는 다이어그램이고; 그리고
도 6은 제6 실시형태로 제1 및 제2 내시경을 포함하는 세트를 도시하는 다이어그램이다.

제1 실시형태의 내시경(1)은 도 1a 및 도 1b에 도시된다. 이 내시경(1)은 내시경 헤드(2), 디스플레이 장치(3), 및 내시경 헤드(2)를 디스플레이 장치(3)에 연결하고 내시경 헤드(2)가 제한된 공간에 삽입되는 한편 디스플레이 장치(3)에 의해서 외부의 사용자에게 내시경 헤드(2)에 의해서 픽업된 이미지를 디스플레이할 수 있도록 하는 로드(rod) 형태의 세장형 부재(4)를 포함한다. 도시된 실시형태에서, 세장형 부재(4)는 가요성이며, 내시경 헤드(2)의 경로 상의 장애물을 지나서 움직일 수 있도록 적어도 30°를 통해서 그리고 가능하게는 적어도 90°를 통해서 2개의 단부 사이에서 굽혀질 수 있다. 대안적인 실시형태에 있어서, 세장형 부재는, 그럼에도 불구하고 실질적으로 강성일 수도 있다.

도 1b는 이 제1 실시형태의 내시경(1)의 내시경 헤드(2)의 상세도를 도시한다. 따라서, 이 제1 실시형태의 내시경(1)은 비디오 내시경이고, 그리고 따라서 내시경 헤드(2) 상에서, 예를 들어 전하결합소자(CCD) 타입 센서 또는 상보성 금속 산화막 반도체(CMOS) 타입 센서일 수도 있는 비디오 센서(5); 예시로서 발광 다이오드(LED)일 수도 있는 조명 장치(6); 및, 접촉 요소(8), 주파수 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소(8)를 탭핑시키기에 적합한 액츄에이터(9), 및 접촉 요소(8)에 의해서 기계적으로 가진되는 것에 응답하여 주파수 검사를 위한 피검체로부터의 진동을 픽업하기에 적합한 진동 센서(10)를 포함하는 주파수 검사 장치(7)가 보여질 수 있다. 액츄에이터(9)는 단일의 상황으로 접촉 요소(8)가 검사를 위한 피검체를 탭핑하여, 단일 충격에 의해서 피검체에 진동을 가진하도록 또는 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소를 진동시키도록 구성될 수도 있다. 접촉 요소(8)의 재료는 이것이 사용되는 방식에 의존하여 선택될 수도 있다. 따라서, 예를 들어, 만약 주파수 검사 장치(7)가 단일의 충격에 의해서 검사를 위한 피검체의 진동의 응답을 가진하도록 구성된다면, 접촉 요소(8)는 비교적 경질인 재료, 예를 들어 세라믹 또는 금속 재료로 만들어질 수도 있다. 그러나, 만약 접촉 요소(8)가 주파수 검사를 위한 피검체에 액츄에이터(9)로부터 진동을 전달하는 것이라면, 이 접촉 요소(8)를 위해서 더 부드러운 재료, 예를 들어 탄성중합체 또는 어떤 다른 합성 폴리머를 특히 사용하는 것이 가능하다.

이 제1 실시형태에 있어서, 액츄에이터(9) 및 진동 센서(10)는 2 개의 별개의 전기기계적 마이크로시스템이다. 예시로서, 액츄에이터(9)는 압전기, 정전식, 또는 전자기식일 수도 있는 한편, 진동 센서(10)는, 같은 방식으로, 예를 들어 압전기, 정전식, 또는 전자기식일 수도 있는 마이크로폰이다. 대안적으로, 액츄에이터(9)는 그럼에도 불구하고 공압 액츄에이터일 수도 있는 한편, 진동 센서(10)는, 예를 들어 레이저 진동계 또는 가속도계와 같은 유접촉 또는 무접촉의 어떤 다른 타입의 진동 센서일 수도 있다.

비디오 센서(5)는 세장형 부재(4)를 통해서 디스플레이 장치(3)에 연결되고, 액츄에이터(9) 및 진동 센서(10)는, 주파수 검사를 위한 피검체에 대한 접촉 요소(8)의 탭핑을 촉발하고, 그리고 다음으로 피검체의 일체성(integrity)을 평가하기 위해서 탭핑되는 것에 대한 응답으로 주파수 검사를 위한 피검체의 진동을 분석할 수 있도록 또한 각각 세장형 부재(4)를 통해서 제어 장치(미도시) 및 신호 분석 장치(미도시)에 연결될 수도 있다. 이 연결은, 예를 들어 전기 또는 광섬유에 의한 유선 접속일 수도 있거나, 또는 그 밖에 이 연결은, 예를 들어 라디오 또는 초음파 트랜스폰더를 통한 무선 연결일 수도 있다.

따라서, 이것이 사용 중에, 내시경 헤드(2)는 접근하기 어려운 제한된 공간 안으로 삽입될 수도 있고, 그리고 조명 장치(6)로부터의 빛으로 비디오 센서(5)에 의해서 픽업된 이미지를 사용함으로써 주파수 검사될 피검체까지 시각적으로 안내될 수 있다. 주파수 검사를 위한 상기 피검체의 근처에서, 액츄에이터(9)는 주파수 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소(8)를 탭핑하기 위해서 활성화될 수 있다. 진동은 이 탭핑에 의해서 주파수 검사를 위한 피검체에 촉발되고, 진동은 주파수 검사를 위한 피검체의 일체성을 결정하기 위해 분석을 위해서 가능하게는 세장형 부재(4)를 통해서 전달되기 위해서 센서(10)에 의해 픽업된다.

도 2a 내지 도 2c는 접근하기 어려운 터빈 엔진 내의 부품을 검사하기 위한 주파수 검사 방법 및 내시경의 예시적 응용을 도시하며, 좀 더 구체적으로, 터빈 엔진(20)은 원심 압축기(21), 연소실(22), 압축기(21)와 함께 회전되도록 제한된 고압 축선방향 터빈(23), 저압 축선방향 터빈(24), 저압 축선방향 터빈(24)과 함께 회전되도록 제한되는 동력 인출 샤프트(25), 및 동력 인출 샤프트(25) 에 연결되고 일련의 맞물리는 기어바퀴(27)를 포함하는 기어박스(26)를 포함한다.

도 2a에서, 따라서 원심 압축기(21)의 블레이드의 시각적 그리고 주파수 검사를 위해서 사용 중인 내시경(1)이 도시될 수 있다. 이것을 하기 위해서, 내시경 헤드는 엔진(20)의 공기 취입구를 통해서 삽입되고, 원심 압축기(21)로 안내된다. 내시경(1)의 디스플레이 장치(3)에 의해서 압축기(21)의 블레이드를 시각적으로 검사하는 것에 부가하여, 사용자는 또한 각각의 블레이드에 대해서 접촉 요소(8)를 탭핑시키기 위해서 액츄에이터(9)를 활성화시킴으로써 주파수 검사를 행할 수 있고, 따라서 단순히 시각적 검사에 의해서 검출될 수 없는 결함을 검출하기 위해서 가능한 후속 분석을 위해 진동 센서(10)에 의해 픽업되는 진동을 촉발할 수 있다.

도 2b에서, 고압 축선방향 터빈(23)의 블레이드의 시각적 그리고 주파수 검사를 위해서 사용 중인 내시경(1)이 도시될 수 있다. 이것을 하기 위해서, 내시경 헤드(2)는 엔진(20)의 배기부를 통해서 삽입되고, 저압 축선방향 터빈(24)을 통해서 고압 축선방향 터빈(23)에 안내된다. 저압 축선방향 터빈(24)의 블레이드는 따라서 도 2a에 도시되는 바와 같은 압축기(21)의 블레이드의 검사와 유사한 방식으로 시각적 그리고 주파수 검사를 받을 수 있다.

도 2c에서, 기어박스(26)의 기어바퀴(27)의 시각적 그리고 주파수 검사를 행하기 위해서 사용인 내시경(1)이 도시될 수 있다. 이 실시예에서, 기어박스(26)의 검사 해치(28)를 개방한 후에, 도 2a 및 도 2b에 도시되는 블레이드의 검사와 유사한 방식으로 그리고 실제 맞물림 조건 하에서, 기어바퀴(27)의 시각적 그리고 주파수 검사를 행하기 위해서 내시경 헤드(2)가 그 안으로 삽입된다.

대안적 실시형태가 또한 내시경에 대해서 고려될 수 있다. 따라서, 도 3에서, 제2 실시형태의 내시경(1)의 내시경 헤드(2)가 보여질 수 있으며, 이 실시형태에서 액츄에이터(9) 및 진동 센서(10)는 단일의 전기기계 마이크로시스템에 포함된다. 따라서, 주파수 검사를 위한 피검체에 대해서 접촉 요소(8)를 탭핑시키기 위한 압전기, 전자기식 또는 정전식 요소가 결과적으로 또한 주파수 검사를 위한 피검체의 진동 응답을 픽업하기 위해서 사용된다. 이 내시경(1)의 나머지 요소는 제1 실시형태의 것과 균등하고, 이들은 동일한 참조 번호를 부여 받는다.

상기 실시형태 2가지에 있어서, 접촉 요소는 그 액츄에이터에 고정되고, 따라서 그 범위를 한정한다. 도 4에 도시된 제3 실시형태에 있어서, 접촉 요소(8)는 비드(bead)의 형태이며, 이 비드는 전자석(30)에 의해서 액츄에이터(9)를 구성하는 스프링의 작용에 대항하여 내시경 헤드(2)에 유지된다. 따라서 전자석(30)을 비활성시키는 것은 접촉 요소(8)가 검사되는 피검체에 대하여 탭핑되게 하며, 접촉 요소는 단지 부딪힘 또는 충격에 의한 진동 응답을 일으키는 방식으로 피검체를 타격한다. 다른 타입의 액츄에이터, 예를 들어 공압식 또는 자성 액츄에이터는 그럼에도 불구하고 또한 이에 대한 대안으로서 고려될 수도 있다. 비록 이것은 내시경 헤드(2)로부터 멀어지도록 이동될 수 있으나, 접촉 요소(8)가 그럼에도 불구하고 리쉬(leash; 31)에 의해서 여기에 부착된 상태로 남아있고, 따라서 검사가 행해지는 공간을 오염시키는 것을 방지한다. 내시경(1)의 다른 요소는 제1 실시형태의 것과 균등하고, 따라서 이들은 동일한 참조 번호를 부여 받는다.

상기 3개의 모든 실시형태에 있어서, 내시경(1)은 비디오 내시경이다. 그럼에도 불구하고, 도 5에 도시된 내시경 헤드(2)를 갖는 제4 실시형태의 내시경과 같은 광학 내시경에 동일한 원리를 적용하는 것을 구상하는 것이 또한 가능하다. 따라서, 이 내시경 헤드(2)는 더 이상 비디오 센서를 갖지 않으나, 그보다는 광섬유(41)에 의해서 세장형 부재(4)의 타 단부의 디스플레이 장치에 연결되는 광학 렌즈(40)를 갖는다. 디스플레이 장치는 따라서 간단한 광학 접안렌즈일 수도 있다. 또한, 내시경 헤드(2)의 전체적 사이즈 및 복잡성을 더욱 제한하기 위해서, 조명 장치가 더 이상 여기에 장착되지 않으나, 세장형 부재(4)의 타단부에 장착되고, 그리고 세장형 부재는 또한 조명 장치에 의해서 방출되는 빛을 내시경 헤드에 전달하기 위한 다른 광섬유(42)를 수용한다. 이 내시경(1)의 다른 요소는 제2 실시형태의 것과 균등하고, 따라서 이들은 동일한 참조 번호를 부여 받는다.

또한, 내시경이 반드시 가요성일 필요는 없다.

또한 진동 응답을 일으키게 하는 수단이 응답을 픽업하는 진동 센서와 동일한 내시경 헤드 상에 장착되는 것이 필수적이지 않다. 따라서, 도 6에 도시된 제6 실시형태에서, 한 세트의 2 개의 내시경(1 및 1')이 사용된다. 제1 내시경(1)은, 그 내시경 헤드(2)가 접촉 요소(8) 또는 액츄에이터(9)를 갖지않는 점을 제외하고 제1 실시형태의 내시경과 유사하다. 특히, 이 요소는 제2 내시경(1')의 내시경 헤드(2')에 장착되며, 이 제2 내시경은 같은 방식으로, 진동 센서의 부재를 제외하고 제1 실시형태의 내시경과 유사하다. 따라서, 이 세트에 의해서, 제2 내시경(1')을 사용하여 한 위치에서 주파수 검사를 위한 피검체에 진동을 촉발하는 것 및 제1 내시경(1)을 사용하여 다른 위치에서 진동을 픽업하는 것이 가능하다. 제1 및 제2 내시경(1, 1')의 나머지 요소는 제1 실시형태의 내시경(1)의 요소와 균등하고, 따라서 이들은 동일한 참조 번호를 부여 받는다.

본 발명은 특정 실시형태를 참조하여 설명되나, 이 실시형태에 대해서 다양한 변형 및 변경이 청구항에 의해서 정의되는 바와 같은 본 발명의 전체적인 범위를 넘어가지 않으면서 만들어질 수도 있다는 점이 명확하다. 또한, 언급된 다양한 실시형태의 개별적 특징은 추가의 실시형태에서 결합될 수도 있다. 특히, 비록 제6 실시형태의 한 세트에서 내시경 모두가 제1 실시형태의 내시경과 유사하나, 이들 각각은 다른 실시형태의 특징을 도시된 것에 부가하여 또는 대안으로 또한 포함할 수도 있다. 결과적으로, 설명 및 도면은 제한적인 것보다는 도해적인 의미로 고려되어야 한다.

Claims (11)

1. 내시경(1)에 있어서,
   내시경 헤드(2);
   상기 내시경 헤드(2)를 통해서 픽업되는 이미지를 디스플레이하기 위한 이미지 디스플레이 장치(3); 및
   상기 내시경 헤드(2)에 연결되는 세장형 부재(4);를 포함하며,
   상기 내시경은 상기 내시경 헤드(2)가, 적어도 하나의 진동 센서(10), 주파수 검사를 위한 피검체를 기계적으로 가진시키기 위한 접촉 요소(8), 및 주파수 검사를 위한 상기 피검체에 대해서 상기 접촉 요소(8)를 탭핑시키기 위한 액츄에이터(9)를 포함하는 주파수 검사 장치(7)를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는, 내시경(1).
2. 청구항 1에 있어서, 상기 주파수 검사 장치(7)는 적어도 하나의 전기기계 마이크로시스템을 포함하는, 내시경(1).
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 진동 센서(10)는 마이크로폰인, 내시경(1).
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세장형 부재(4)는 적어도 30°를 통해서 굽혀질 수 있는, 내시경(1).
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내시경 헤드(2)는 적어도 하나의 광섬유(41)를 통해서 상기 이미지 디스플레이 장치(3)에 연결되는, 내시경(1).
6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내시경 헤드는 상기 이미지 디스플레이 장치(3)에 연결되는 비디오 센서(5)를 포함하는, 내시경(1).
7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 조명 장치(6)를 더 포함하는 내시경(1).
8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액츄에이터(9)는 압전기인, 내시경(1).
9. 세트(set)에 있어서,
   제1 내시경(1)으로서,
   적어도 하나의 진동 센서(10)를 포함하는 주파수 검사 장치(7)를 갖는 내시경 헤드(2);
   상기 내시경 헤드(2)를 통해서 픽업되는 이미지를 디스플레이하기 위한 이미지 디스플레이 장치(3); 및
   상기 내시경 헤드(2)에 연결되는 세장형 부재(4)를 포함하는, 상기 제1 내시경(1); 및
   제2 내시경(1')으로서,
   주파수 검사를 위한 피검체를 기계적으로 가진하기 위한 적어도 하나의 접촉 요소(8) 및 주파수 검사를 위한 상기 피검체에 대하여 상기 접촉 요소(8)를 탭핑시키기 위한 액츄에이터(9)를 갖는 내시경 헤드(2');
   상기 제2 내시경(1')의 상기 내시경 헤드(2')를 통해서 픽업되는 이미지를 디스플레이하기 위한 이미지 디스플레이 장치(3'); 및
   상기 제2 내시경(1')의 상기 내시경 헤드(2')에 연결되는 세장형 부재(4')를 포함하는, 상기 제2 내시경(1')을 포함하는, 세트.
10. 검사를 위한 피검체의 주파수 검사를 위해서 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 따른 내시경(1)을 사용하는 방법에 있어서,
    상기 내시경 헤드(2)가 안내되는 방식으로 검사를 위한 상기 피검체에 접근되도록 하는 단계;
    진동 응답을 일으키기 위해서 상기 액츄에이터(9)에 의해 상기 접촉 요소(8)를 검사를 위한 상기 피검체에 대해서 탭핑시킴으로써 검사를 위한 상기 피검체를 기계적으로 가진시키는 단계; 및
    상기 진동 센서(10)를 통해서 상기 진동 응답을 받는 단계를 포함하는, 내시경(1)을 사용하는 방법.
11. 검사를 위한 피검체의 주파수 검사를 위해서 청구항 9에 따른 세트를 사용하는 방법에 있어서,
    내시경 헤드(2, 2')가 안내되는 방식으로 검사를 위한 상기 피검체에 접근되도록 하는 단계;
    진동 응답을 일으키기 위해서 상기 액츄에이터(9)에 의해 상기 접촉 요소(8)를 검사를 위한 상기 피검체에 대해서 탭핑시킴으로써 검사를 위한 상기 피검체를 기계적으로 가진시키는 단계; 및
    상기 진동 센서(10)를 통해서 상기 진동 응답을 받는 단계를 포함하는, 세트를 사용하는 방법.

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