KR20160094291A - Inspection apparatus for transparent plate, and inspection system including the same - Google Patents

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히로시 아오야마
히로시 사다
레오 이마후쿠
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Abstract

An objective of the present invention is to provide an inspection apparatus for a transparent plate which can inspect a transparent plate and perform an accurate inspection in a condition where a foreign substance is not easily attached to the transparent plate. The inspection apparatus for a transparent plate inspects a transparent plate, and comprises: a housing having an entry port and an exit port of the transparent plate; a transport mechanism to transport the transparent plate from the entry port to the exit port; an inspection unit to inspect the transparent plate transported by the transport mechanism; and a foreign substance attachment stopping mechanism to stop a foreign substance from being attached to the transparent plate in the housing. The foreign substance attachment stopping mechanism has a pressurizing mechanism which increases an internal pressure of the housing to a level higher than an external air pressure. The pressurizing mechanism comprises an intake mechanism to move air outside the housing into the housing, and a filter to block infiltration of a foreign substance contained in the air moved by the intake mechanism into the housing. The pressurizing mechanism is installed on an upper portion of the housing.

Description

투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템{INSPECTION APPARATUS FOR TRANSPARENT PLATE, AND INSPECTION SYSTEM INCLUDING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transparent plate inspection apparatus and a transparent plate cleaning inspection system,
본 발명은, 투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a transparent plate inspection apparatus and a transparent plate cleaning inspection system.
휴대 전화기나 스마트폰 등에는, 유리 기판이 사용되고 있다. 유리 기판은, 유리 기판의 제조 장치에 의해 제조된다. 유리 기판을 제조할 때는, 유리 기판의 표면에 절삭에 의해 생기는 유리 가루 등이 부착되는 경우가 있다. 또한, 유리 기판의 반송(搬送) 중에도 먼지 등이 부착될 우려가 있다. 이들의 유리 가루나 먼지 등을 제거하기 위해서는 유리 기판의 표면을 청소할 필요가 있다. 이와 같은 유리 기판의 표면을 청소하는 장치로서는, 벨트 컨베이어 상에 펼친 청정한 천 위에 투명판을 탑재하여, 알코올을 함유한 천으로 투명판의 상면 전체의 오염을 닦아내는 청소 장치가 제안되어 있다(중국 특허 출원 공개 제102698988호). 이와 같이 청소된 유리 기판은, 표면에 상처나 하자가 없고 이물질이 부착되어 있지 않은지 검사 장치에 의해 검사되는 경우가 있다. BACKGROUND ART [0002] Glass substrates have been used in mobile phones and smart phones. The glass substrate is manufactured by a manufacturing apparatus for a glass substrate. When a glass substrate is manufactured, glass powder or the like generated by cutting may adhere to the surface of the glass substrate. Further, there is a fear that dust or the like may adhere to the glass substrate even during transportation (transportation) of the glass substrate. It is necessary to clean the surface of the glass substrate in order to remove the glass powder, dust and the like. As a device for cleaning the surface of such a glass substrate, there has been proposed a cleaning device which wipes a contamination on the entire upper surface of a transparent plate with a cloth containing an alcohol by mounting a transparent plate on a clean cloth spread on a belt conveyor Patent Application Publication No. 102698988). The glass substrate thus cleaned may be inspected by an inspection apparatus to confirm that there is no scratch or flaw on the surface and no foreign matter adheres to the surface.
[특허 문헌 1] 중국 특허 출원 공개 제102698988호 공보[Patent Document 1] Chinese Patent Application Publication No. 102698988
그러나, 유리 기판을 청소한 후에 검사 장치에 반송할 때, 유리 기판에 이물질이 부착될 가능성이 있다. 또한, 검사 장치 내부에서는, 유리 기판의 반송 기구(機構)나 검사 기구 등이 작동하고 있어서, 이들 기구에 사용되는 부재가 서로 마찰되기 때문에, 매우 미소한 이물질이 검사 장치 내부에서 유리 기판에 부착될 가능성이 있다. 이와 같은 경우에, 유리 기판에 부착된 상기 이물질만이 원인으로 유리 기판이 불량품이라고 판정되어 버려, 불량품율이 상승할 우려가 있다. However, there is a possibility that foreign matter adheres to the glass substrate when the glass substrate is transported to the inspection apparatus after cleaning. In addition, since the transport mechanism (mechanism) of the glass substrate, the inspection mechanism and the like are operated in the inspection apparatus, the members used in these mechanisms are rubbed with each other, so that very minute foreign substances are adhered to the glass substrate inside the inspection apparatus There is a possibility. In such a case, it is determined that the glass substrate is determined to be defective only by the foreign matter adhered to the glass substrate, which may increase the defective product rate.
그래서, 본 발명은, 투명판에 이물질이 쉽게 부착되지 않는 상태로 투명판을 검사할 수 있어, 정확한 검사를 행할 수 있는 투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a transparent plate inspection apparatus and a transparent plate cleaning inspection system which can inspect a transparent plate in a state in which foreign substances are not easily attached to the transparent plate,
상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 발명은, According to an aspect of the present invention,
투명판을 검사하는 투명판 검사 장치로서, A transparent plate inspection apparatus for inspecting a transparent plate,
상기 투명판의 반입구(搬入口) 및 반출구(搬出口)를 가지는 하우징, A housing having an inlet port and an outlet port of the transparent plate,
상기 반입구으로부터 상기 반출구까지 상기 투명판을 반송하는 반송 기구, A transport mechanism for transporting the transparent plate from the inlet to the exit,
상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 투명판을 검사하는 검사부, 및An inspection unit for inspecting the transparent plate carried by the transport mechanism, and
상기 하우징의 내부에서 이물질이 상기 투명판에 부착되는 것을 저지하는 이물질 부착 저지 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다. And a foreign matter adhesion preventing mechanism for preventing foreign matter from adhering to the transparent plate inside the housing.
상기 투명판 검사 장치에 있어서는, 상기 반송 기구에 의해 하우징의 내부에서 반송되는 투명판이 검사부에 의해 검사된다. 이 검사 시에, 하우징의 내부는, 이물질 부착 저지 기구에 의해 투명판에 이물질이 부착되는 것이 확실하게 저지되므로, 정확한 검사를 행하는 것이 가능해진다. In the transparent plate inspection apparatus, the transparent plate conveyed by the conveying mechanism inside the housing is inspected by the inspection unit. In this inspection, the inside of the housing is reliably prevented from adhering foreign matter to the transparent plate by the foreign substance adhesion preventing mechanism, so that it is possible to perform an accurate inspection.
상기 이물질 부착 저지 기구는, 상기 하우징의 내압(內壓)을 높이는 가압 기구를 가지면 된다. 이로써, 가압 기구가 하우징의 내압을 높이기 때문에, 하우징의 외부로부터 내부에 공기가 유입되기 어렵고, 하우징의 외부로부터 내부로의 이물질의 침입을 확실하게 저지할 수 있고, 하우징 내에서 이물질이 투명판에 부착되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. The foreign substance adhesion preventing mechanism may have a pressing mechanism for increasing the internal pressure of the housing. As a result, since the pressurizing mechanism increases the internal pressure of the housing, it is difficult for air to flow from the outside to the inside of the housing, and the infiltration of foreign matter from the outside to the inside of the housing can be reliably prevented. It can be reliably prevented from being attached.
상기 가압 기구는, 상기 하우징의 외부의 공기를 상기 하우징의 내부로 보내는 송입(送入) 기구와, 상기 송입 기구에 의해 보내어지는 공기에 포함되는 이물질이 상기 하우징의 내부로 침입되는 것을 차단하는 필터를 가지면 된다. 이로써, 송입 기구에 의해 보내어지는 공기에 의해 하우징의 내압을 높일 수 있고, 또한 보내어진 공기의 이물질은 필터에 의해 하우징의 내부로의 침입을 저지할 수 있으므로, 송입 기구에 의한 하우징의 내부로의 이물질의 침입을 저지할 수 있다. The pressing mechanism includes a feeding mechanism for sending air outside the housing to the inside of the housing and a filter for blocking foreign matter contained in air sent by the feeding mechanism from entering the housing . As a result, the internal pressure of the housing can be increased by the air sent by the air supply mechanism, and the foreign matter of the air sent can be prevented from entering the interior of the housing by the filter. It is possible to prevent foreign matter from entering.
상기 가압 기구의 상기 송입 기구는, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 투명판 상에 부착된 이물질을 흘려버리도록 공기를 상기 투명판 상에 공급하면 된다. 송입 기구에 의해 투명판 상에 공기를 공급함으로써, 투명판으로의 이물질의 부착을 저지할 수 있다.       The feeding mechanism of the pressurizing mechanism may supply air on the transparent plate so that foreign substances adhered on the transparent plate conveyed by the conveying mechanism are poured. By supplying air onto the transparent plate by the feeding mechanism, adhesion of foreign matter to the transparent plate can be prevented.
상기 가압 기구는, 상기 하우징의 상부에 설치되어 있으면 된다. 이로써, 하우징의 상부에 설치된 가압 기구에 의하여, 하우징의 내부, 즉 아래쪽을 향해 가압함으로써, 하우징의 내압을 높일 수 있다. The pressing mechanism may be provided on the upper portion of the housing. Thereby, the inner pressure of the housing can be increased by pressing the housing toward the inside, that is, the lower side by the pressing mechanism provided on the upper portion of the housing.
상기 이물질 부착 저지 기구가, 상기 하우징의 내부에 설치되고, 상기 반입구 및/또는 상기 반출구로부터 상기 하우징의 외부에 공기를 배출하는 송출 기구를 가지면 된다. 이로써, 송출 기구가 반입구 부근에 있어서 하우징의 내부로부터 외부로 향하는 바람을 일으킴으로써, 반입구으로부터 이물질이 침입하는 것을 확실하게 저지할 수 있다. The foreign substance adhesion preventing mechanism may have a delivery mechanism provided inside the housing and discharging air from the inlet and / or outlet to the outside of the housing. As a result, the delivery mechanism causes the wind to flow from the inside of the housing to the outside in the vicinity of the inlet port, thereby making it possible to reliably prevent the entry of foreign matter from the inlet port.
상기 반송 기구는, 상기 투명판의 표면 및 이면(裏面)에 접하지 않고 투명판을 반송하면 된다. 이와 같이 반송 기구가 투명판의 표면에 접촉하지 않은 상태로 투명판을 반송함으로써, 반송 기구에 의해 투명판의 표면 및 이면으로 오염 또는 이물질이 부착되는 것을 확실하게 저지할 수 있고, 정확한 검사를 행하는 것이 가능해진다. 상기 반송 기구는, 상기 투명판의 에지에 접촉함으로써 투명판을 유지하면 된다. 이로써, 반송 기구가 투명판의 표면 및 이면에 접촉하지 않은 상태로 투명판을 반송하고, 반송 기구에 의한 투명판의 표면 및 이면으로 오염 또는 이물질이 부착되는 것을 확실하게 저지할 수 있다. The transport mechanism may transport the transparent plate without contacting the front surface and the back surface of the transparent plate. By transporting the transparent plate in a state in which the transport mechanism is not in contact with the surface of the transparent plate, contamination or foreign matter adhering to the front and back surfaces of the transparent plate can be reliably prevented by the transport mechanism, Lt; / RTI > The transport mechanism may hold the transparent plate by contacting the edge of the transparent plate. Thereby, the transparent plate is transported in a state in which the transport mechanism is not in contact with the front and back surfaces of the transparent plate, and it is possible to reliably prevent the contamination or foreign matter from adhering to the front and back surfaces of the transparent plate by the transport mechanism.
상기 반송 기구는, 상기 투명판의 에지에 접촉하면서 반송하는 제1 반송 부재와, 상기 제1 반송 부재에 의해 반송된 상기 투명판을 상기 투명판의 에지에 접촉하면서 수취하는 동시에 상승시키는 상승 부재와, 상기 상승 부재에 의해 상승된 상기 투명판을 상기 투명판의 에지에 접촉하면서 수취하는 동시에 상기 검사부의 검사 영역에 반송하는 제2 반송 부재를 구비하는 것이 바람직하다. The transport mechanism includes a first transporting member for transporting while contacting the edge of the transparent plate, a lifting member for lifting and simultaneously lifting the transparent plate carried by the first transporting member in contact with the edge of the transparent plate, And a second conveying member which receives the transparent plate raised by the lifting member while contacting the edge of the transparent plate and conveys it to the inspection region of the inspection unit.
이로써, 투명판을 제1 반송 부재에 의해 반송하고, 이 제1 반송 부재에 의해 반송된 투명판을 상승 부재에 받아건네고, 상승 부재에 의해 유지된 투명판을 상승시켜, 이 상승된 투명판을 상승 부재로부터 제2 반송 부재에 의해 받아건네고, 이 제2 반송 부재에 의해 반송되는 투명판을 검사부에 의해 검사할 수 있다. 제1 반송 부재, 상승 부재 및 제2 반송 부재는, 전술한 바와 같이 투명판의 에지에 접촉하는 것이며, 투명판의 표면 및 이면에 접촉하지 않은 상태로 투명판을 유지할 수 있으므로, 제1 반송 부재, 상승 부재 및 제2 반송 부재에 의해 투명판의 표면 및 이면으로 오염 또는 이물질이 부착되는 것을 확실하게 저지할 수 있다. 또한, 검사부의 검사 영역에서는, 제2 반송 부재에 의해 에지와 접촉됨으로써 유지되는 투명판이 반송되므로, 투명판의 상면측 및 하면측의 다른 부재가 검사부의 검사에 방해가 되지 않고, 각종 검사를 행하는 것이 가능해져, 검사 정밀도의 향상을 도모할 수 있다. Thereby, the transparent plate is conveyed by the first conveying member, the transparent plate conveyed by the first conveying member is received by the ascending member, the transparent plate held by the ascending member is raised, The transparent plate conveyed by the second conveying member from the lifting member can be inspected by the inspection unit. As described above, the first conveying member, the ascending member, and the second conveying member come into contact with the edge of the transparent plate, and the transparent plate can be held without being in contact with the front and back surfaces of the transparent plate. , The rising member and the second carrying member can surely prevent the contamination or foreign matter from adhering to the front and back surfaces of the transparent plate. Further, in the inspection region of the inspection section, the transparent plate held by being contacted with the edge by the second transport member is transported, so that the other members on the upper surface side and the lower surface side of the transparent plate do not interfere with the inspection by the inspection section, Therefore, it is possible to improve the inspection accuracy.
상기 상승 부재는, 상기 제1 반송 부재로부터 반송된 상기 투명판의 상면을 흡인하는 흡인부와, 상기 흡인부에 흡인되는 상기 투명판의 상단 에지에 접촉함으로써 상기 투명판의 높이 위치를 결정하는 복수의 위치 결정부를 구비하고, 상기 복수의 위치 결정부가, 상기 흡인부와 상기 투명판의 상면과의 접촉을 저지하도록 상기 투명판의 에지에 접촉하는 테이퍼면을 가지면 된다. 이로써, 제1 반송 부재로부터 반송된 투명판은, 흡인부에 의해 상면이 흡인됨으로써, 에지가 복수의 유지부의 테이퍼면과 접촉하고, 이 복수의 유지부의 테이퍼면과 에지의 접촉에 의해 정확하게 유지된다.       Wherein the lifting member comprises a suction unit for suctioning the upper surface of the transparent plate conveyed from the first conveying member and a plurality of guide plates for contacting the upper edge of the transparent plate to be sucked by the suction unit, And the plurality of positioning portions may have a tapered surface that contacts the edge of the transparent plate so as to prevent contact between the suction portion and the upper surface of the transparent plate. As a result, the transparent plate conveyed from the first carrying member is attracted to the upper surface by the suction unit, so that the edge contacts the tapered surfaces of the plurality of holding portions and is accurately held by the tapered surfaces of the holding portions and the edge contact .
상기 반송 기구는, 상기 투명판의 에지에 접촉하는 한 쌍의 벨트 컨베이어를 가지고, 이 한 쌍의 벨트 컨베이어의 상기 투명판과의 접촉면이 서로 대향하는 측으로 경사져 있으면 된다. 이로써, 서로 대향하는 측으로 경사지는 한 쌍의 벨트 컨베이어의 접촉면에, 투명판의 에지를 접촉시킨 상태로 투명판을 탑재할 수 있어, 투명판의 표면 및 이면에 접하지 않고, 투명판을 반송할 수 있다. The transport mechanism may have a pair of belt conveyors that contact the edge of the transparent plate and the contact surfaces of the pair of belt conveyors with the transparent plate may be inclined to the sides facing each other. As a result, the transparent plate can be mounted on the contact surfaces of the pair of belt conveyors that are inclined to the sides facing each other with the edge of the transparent plate in contact with the transparent plate, and the transparent plate is transported .
상기 반송 기구는, 상기 투명판의 에지에 접촉하여 상기 투명판을 양측으로부터 끼워넣는 적어도 한 쌍의 파지부를 구비하면 된다. 이로써, 한 쌍의 파지부와 투명판의 에지를 접촉시키고, 한 쌍의 파지부에 의해 투명판을 양측으로부터 끼워넣음으로써, 투명판의 표면 및 이면에 접하지 않고 투명판을 반송할 수 있다. The transport mechanism may include at least a pair of grip portions which come into contact with the edges of the transparent plate and sandwich the transparent plate from both sides. This makes it possible to carry the transparent plate without touching the front and back surfaces of the transparent plate by bringing the edges of the transparent plate and the pair of grip portions into contact with each other and sandwiching the transparent plate from both sides by the pair of grip portions.
상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 다른 발명은, According to another aspect of the present invention,
상기 투명판에 부착된 이물질을 제거하는 이물질 제거 기구와, A foreign matter removing mechanism for removing foreign matters attached to the transparent plate;
상기 이물질 제거 기구에 의해 이물질이 제거된 상기 투명판을 검사하는 상기 구성으로 이루어지는 상기 투명판 검사 장치를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템이다. And a transparent plate inspection system comprising the transparent plate inspection system configured to inspect the transparent plate from which foreign substances have been removed by the foreign substance removal mechanism.
상기 투명판 청소 검사 시스템은, 이물질 제거 기구에 의해 이물질이 제거된 투명판을 상기 투명판 검사 장치에 의해 검사할 수 있으므로, 정확한 검사를 행할 수 있다. In the transparent plate cleaning inspection system, the transparent plate having foreign substances removed by the foreign material removal mechanism can be inspected by the transparent plate inspection apparatus, so that accurate inspection can be performed.
이와 같은 상기 투명판 청소 검사 시스템에 있어서는, 상기 투명판의 표면 및/또는 이면을 청소하는 청소 장치를 추가로 구비하면 된다. 이로써, 청소 장치에 의해 표면 및/또는 이면이 청소된 투명판을 상기 투명판 검사 장치에 의해 검사할 수 있으므로, 정확한 검사를 행할 수 있다. The transparent plate cleaning inspection system may further include a cleaning device for cleaning the surface and / or the back surface of the transparent plate. As a result, the transparent plate having the front surface and / or the back surface thereof cleaned by the cleaning device can be inspected by the transparent plate inspection device, so that accurate inspection can be performed.
상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 다른 발명은, According to another aspect of the present invention,
상기 투명판의 표면 및/또는 이면을 청소하는 청소 장치와, A cleaning device for cleaning the surface and / or the back surface of the transparent plate,
상기 청소 장치에 의해 청소된 상기 투명판을 검사하는 상기 구성으로 이루어지는 상기 투명판 검사 장치를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템이다. And a transparent plate inspection system comprising the transparent plate inspection apparatus configured to inspect the transparent plate cleaned by the cleaning apparatus.
이와 같은 상기 투명판 청소 검사 시스템은, 상기 청소 장치에 의해 표면 및/또는 이면이 청소된 투명판을 상기 투명판 검사 장치에 의해 검사할 수 있으므로, 정확한 검사를 행할 수 있다. In the transparent plate cleaning inspection system, the transparent plate having the front surface and / or the back surface cleaned by the cleaning device can be inspected by the transparent plate inspection apparatus, so that accurate inspection can be performed.
상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 다른 발명은, According to another aspect of the present invention,
상기 투명판의 제1 면을 청소하는 제1 청소 장치와, A first cleaning device for cleaning the first surface of the transparent plate;
상기 제1 청소 장치로부터 반출된 상기 투명판을 반전시키는 반전 장치와, An inverting device for inverting the transparent plate carried out from the first cleaning device,
상기 반전 장치에 의해 반전된 상기 투명판을 반송하면서 상기 투명판의 제2 면을 청소하는 제2 청소 장치와, A second cleaning device for cleaning the second surface of the transparent plate while conveying the transparent plate inverted by the inverting device,
상기 제1 청소 장치 및 상기 제2 청소 장치에 의해 양면이 청소된 상기 투명판을 검사하는 상기 구성으로 이루어지는 상기 투명판 검사 장치를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템이다. And the transparent plate inspection apparatus having the above-described configuration for inspecting the transparent plate whose both surfaces have been cleaned by the first cleaning apparatus and the second cleaning apparatus.
상기 투명판 청소 검사 시스템은, 제1 청소 장치에 의해 제1 면이 청소된 투명판을 반전시키면서 제2 청소 장치로 이송함으로써, 투명판의 양면을 효율적으로 청소할 수 있고, 이와 같이 양면이 청소된 투명판을 상기 투명판 검사 장치에 의해 검사할 수 있다. The transparent plate cleaning inspection system can efficiently clean both sides of the transparent plate by transferring the transparent plate cleaned by the first cleaning device to the second cleaning device while reversing the transparent plate, The transparent plate can be inspected by the transparent plate inspection apparatus.
그리고, 투명판의 「표면」및 「이면」이란, 투명판의 평면부로서 서로 대향하는 면을 의미한다. 투명판의 「에지」란, 투명판의 주변 에지를 의미하고, 「에지」에는, 투명판의 평면부와 주변 에지의 경계 부분을 포함한다. 투명판의 「상면」이란, 표면 및 이면 중, 반송 상태에 있어서 위쪽을 향하는 면을 의미한다. 「제1 면」이란, 표면 및 이면 중 한쪽 면을 의미하고, 「제2 면」이란, 표면 및 이면 중 다른쪽 면을 의미하고, 제1 면의 반대측의 면을 의미한다. The terms " front surface " and " back surface " of the transparent plate mean surfaces opposite to each other as planar portions of the transparent plate. The " edge " of the transparent plate means the peripheral edge of the transparent plate, and the " edge " includes the boundary portion between the plane portion and the peripheral edge of the transparent plate. The " upper surface " of the transparent plate means a surface of the front surface and the back surface that faces upward in the transporting state. Refers to one of the front side and the rear side, and the " second side " means the other side of the front side and the rear side, and means the side opposite to the first side.
본 발명의 투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템은, 투명판에 이물질이 쉽게 부착되지 않는 상태로 투명판을 검사할 수 있어 정확한 검사를 행할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The transparent plate inspection apparatus and the transparent plate cleaning inspection system of the present invention can inspect the transparent plate in a state in which no foreign substance easily adheres to the transparent plate, so that accurate inspection can be performed.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 투명판 청소 검사 시스템을 나타내는 모식적 측면도이다.
도 2는 도 1의 투명판 청소 검사 시스템의 제1 청소 장치의 모식적 측면도이다.
도 3은 도 2의 제1 청소 장치의 가압(押壓) 헤드의 모식적 측면도이다.
도 4는 도 1의 투명판 청소 검사 시스템의 반전 장치를 나타낸 모식적 평면도이다.
도 5는 도 4의 반전 장치의 모식적 측면도이다.
도 6은 도 1의 투명판 청소 검사 시스템의 투명판 검사 장치의 모식적 측면도이다.
도 7은 도 6의 투명판 검사 장치의 반송 기구의 제1 반송 부재의 설명도이며, (A)는 모식적 정면도이며, (B)는 모식적 평면도이다.
도 8은 도 6의 투명판 검사 장치의 반송 기구의 상승 부재의 설명도이며, (A)는 모식적 배면도이며, (B)는 모식적 저면도이며, (C)는 모식적 측면도이다.
도 9는 도 6의 투명판 검사 장치의 반송 기구의 제2 반송 부재의 설명도이며, (A)는 모식적 저면도이며, (B)는 모식적 정면도이다.
1 is a schematic side view showing a transparent plate cleaning inspection system according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic side view of the first cleaning device of the transparent plate cleaning inspection system of FIG.
3 is a schematic side view of a pressing head of the first cleaning device of FIG.
4 is a schematic plan view showing a reversing device of the transparent plate cleaning inspection system of FIG.
5 is a schematic side view of the reversing device of FIG.
6 is a schematic side view of a transparent plate inspection apparatus of the transparent plate cleaning inspection system of FIG.
Fig. 7 is an explanatory diagram of a first conveying member of the conveying mechanism of the transparent plate inspection apparatus of Fig. 6, wherein (A) is a schematic front view, and Fig. 7 (B) is a schematic plan view.
FIG. 8 is an explanatory view of a lifting member of a transport mechanism of the transparent plate inspection apparatus of FIG. 6, wherein (A) is a schematic rear view, (B) is a schematic bottom view, and FIG.
FIG. 9 is an explanatory diagram of a second conveying member of the conveying mechanism of the transparent plate inspection apparatus of FIG. 6, wherein (A) is a schematic bottom view and (B) is a schematic front view.
이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 상세하게 설명한다. 먼저, 도 1 내지 도 9를 참조하면서, 본 발명의 제1 실시 형태의 투명판 검사 장치를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템(1)에 대하여 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. First, a transparent plate cleaning inspection system 1 having a transparent plate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 9. Fig.
[제1 실시 형태]             [First Embodiment]
도 1의 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 예를 들면, 스마트폰에 사용되는 커버 유리나 터치 패널 등의 투명판(P)을 청소하고, 검사하기 위한 시스템이다. 보다 구체적으로는, 본 실시 형태의 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 자동적으로, 투명판(P)의 양면[제1 면(p1) 및 제2 면(p2)(청소면)]을 청소하는 동시에 투명판(P)에 부착된 이물질을 제거하고, 또한 상처나 하자 등의 투명판(P)의 결함을 검사하는 시스템이다. 본 실시 형태에 있어서는, 상기 투명판과 같은 박판형 물체이며, 청소면은 이 박판형 물체의 양면이다. The transparent plate cleaning inspection system 1 of FIG. 1 is a system for cleaning and inspecting, for example, a transparent plate P such as a cover glass or a touch panel used in a smart phone. More specifically, the transparent plate cleaning inspection system 1 of the present embodiment automatically cleans both surfaces (the first surface p1 and the second surface p2 (cleaning surface)) of the transparent plate P At the same time, foreign matter attached to the transparent plate P is removed, and defects of the transparent plate P such as scratches and defects are inspected. In the present embodiment, the transparent plate is a thin plate-like object, and the cleaning surface is both surfaces of the thin plate-like object.
상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 투명판(P)을 반송하면서 이 투명판(P)의 제1 면(p1)을 청소하는 제1 청소 장치(10A), 이 제1 청소 장치(10A)로부터 반출된 투명판(P)을 반전시키는 반전 장치(30), 이 반전 장치(30)에 의해 반전된 투명판(P)을 반송하면서 이 투명판(P)의 제2 면(p2)[제1 면(p1)의 반대면]을 청소하는 제2 청소 장치(10B), 이 제2 청소 장치(10B)로부터 반출된 투명판(P)의 제1 면(p1) 및 제2 면(p2)에 부착되는 이물질을 제거 가능한 이물질 제거 장치(50), 및 상기 이물질 제거 장치(50)로부터 배출되는 투명판(P)을 검사하는 투명판 검사 장치(70)를 구비하고 있다. 그리고, 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 제1 청소 장치(10A)의 투명판(P)의 반송 방향 X와 제2 청소 장치(10B)의 투명판(P)의 반송 방향 X는, 동일 방향이다. 여기서 반송 방향 X는, 제1 청소 장치(10A)로부터 제2 청소 장치(10B)를 향하는 방향이다. 또한, 본 실시 형태의 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 제1 청소 장치(10A)에 투명판(P)을 공급하는 로더(loader) 장치(90)를 가지고 있다. The transparent plate cleaning inspection system 1 includes a first cleaning device 10A for cleaning the first surface p1 of the transparent plate P while conveying the transparent plate P, And the second surface p2 of the transparent plate P is conveyed while the transparent plate P inverted by the inverting device 30 is conveyed. The reversing device 30 reverses the transparent plate P, A second cleaning device 10B for cleaning the first surface p1 of the transparent plate P and a second surface p2 of the transparent plate P taken out of the second cleaning device 10B, And a transparent plate inspecting device 70 for inspecting the transparent plate P discharged from the foreign substance removing device 50. The transparent plate inspection device 70 is a device for inspecting the transparent plate P, 1, the conveying direction X of the transparent plate P of the first cleaning device 10A and the conveying direction X of the transparent plate P of the second cleaning device 10B are in the same direction. Here, the carrying direction X is the direction from the first cleaning device 10A to the second cleaning device 10B. The transparent plate cleaning inspection system 1 of the present embodiment has a loader device 90 for supplying a transparent plate P to the first cleaning device 10A.
본 실시 형태의 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 각종 장치의 동작 등을 제어하는 제어 장치(도시하지 않음)를 추가로 구비하고 있다. The transparent plate cleaning inspection system 1 of the present embodiment further includes a control device (not shown) for controlling the operation of various devices and the like.
<청소 장치><Cleaning device>
상기 제1 청소 장치(10A) 및 상기 제2 청소 장치(10B)는, 일방향(반송 방향 X)으로 투명판(P)을 반송하는 반송 기구(11), 및 이 반송 기구(11)에 의해 반송되는 투명판(P)의 청소면에 장척(長尺)형의 청소포(C)의 일부를 접촉시켜 청소면을 청소하기 위해 청소포를 송급하는 송급 기구(25)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)(도 1 참조)는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 투명판(P)을 반송하는 반송 기구(11), 투명판(P)에 접하는 장척형의 청소포(C), 청소포(C)를 투명판(P)을 향해 가압하기 위한 2개의 가압 헤드(13), 청소포(C)를 공급하는 송급 기구(25)(도 1 참조), 및 청소포(C)에 세정액을 공급하는 세정액 공급 기구(28)를 가지고 있다. 이 반송 기구(11), 가압 헤드(13), 송급 기구(25) 및 세정액 공급 기구(28)는, 상기 제어 장치에 의해 동작이 제어되고 있다. 그리고, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 후술하는 바와 같이 일부의 구성(예를 들면, 탑재용 장척 시트)에 있어서 상위하고, 다른 부분은 동일 구성을 가지고 있다. 또한, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 반송 기구(11), 청소포(C), 가압 헤드(13), 송급 기구(25) 및 세정액 공급 기구(28)를 내장하는 하우징(10h)을 가지고 있다. 이 하우징(10h)(도 1 참조)은, 투명판(P)의 반입구 및 반출구(도시하지 않음)를 가지고, 이 반입구 및 반출구 이외는 밀폐 상태로 설치되고, 이 때문에, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)에서의 투명판(P)의 청소가 거의 밀폐 상태로 행해지고, 외기에 포함되는 먼지 등이 투명판(P)에 부착되는 것이 방지되고 있다. 그리고, 이 하우징(10h)은, 유지 보수(maintenance) 등을 위한 개폐 도어(도시하지 않음)가 설치되어 있다. The first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are provided with a transport mechanism 11 for transporting the transparent plate P in one direction (transport direction X) And a feeding mechanism 25 for feeding a cleaning cloth to clean the cleaning surface by bringing a part of the long cleaning cloth C into contact with the cleaning surface of the transparent plate P to be cleaned. Specifically, as shown in Figs. 2 and 3, the first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B (see Fig. 1) include a transport mechanism 11 for transporting the transparent plate P, A pair of pressing heads 13 for pressing the cleaning cloth C toward the transparent plate P and a feeding mechanism 25 for supplying the cleaning cloth C, (See FIG. 1), and a cleaning liquid supply mechanism 28 for supplying a cleaning liquid to the cleaning cloth C. The operation of the conveying mechanism 11, the pressure head 13, the feeding mechanism 25, and the cleaning liquid supply mechanism 28 is controlled by the control device. The first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are different from each other in some configurations (for example, a long sheet for mounting) as described later, and the other parts have the same configuration. The first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are provided with a conveying mechanism 11, a cleaning cloth C, a pressing head 13, a feeding mechanism 25, and a cleaning liquid supply mechanism 28 And a housing 10h. The housing 10h (see Fig. 1) has a semi-inlet and a semi-outlet (not shown) of the transparent plate P and is provided in a closed state except for the inlet and outlet, Cleaning of the transparent plate P in the cleaning apparatus 10A and the second cleaning apparatus 10B is performed in an almost closed state and dust or the like contained in the outside air is prevented from adhering to the transparent plate P. [ The housing 10h is provided with an opening / closing door (not shown) for maintenance or the like.
(반송 기구)(Conveying mechanism)
반송 기구(11)는, 청소 대상물인 투명판(P)을 반송 방향 X로 반송하는 기구이다. 반송 기구(11)는 박판형 물체인 투명판(P)을 투명판(P)의 평면 방향으로 반송하고, 구체적으로는, 본 실시 형태에 있어서는, 반송 기구(11)는, 투명판(P)을 청소면[제1 면(p1) 및 제2 면(p2)]이 위쪽을 향한 상태로 탑재하고, 수평면을 따른 방향 중 하나의 방향으로 반송하는 기구이다. 그리고, 「평면 방향으로 반송함」이란, 투명판(P)의 청소면[상기 제1 면(p1) 및 제2 면(p2)]을 따른 방향 중 하나의 방향으로 반송하는 것을 의미한다. The transport mechanism 11 is a mechanism for transporting the transparent plate P as an object to be cleaned in the transport direction X. The transport mechanism 11 transports the transparent plate P as a thin plate-like object in the plane direction of the transparent plate P. More specifically, in the present embodiment, the transport mechanism 11 transports the transparent plate P The cleaning surface (the first surface p1 and the second surface p2) is mounted in a state of upward, and is transported in one of the directions along the horizontal plane. The term &quot; carrying in the plane direction &quot; means carrying in the direction of one of the directions along the clean surface (the first surface p1 and the second surface p2) of the transparent plate P. [
제1 청소 장치(10A)의 반송 기구(11)는, 투명판(P)을 탑재, 요컨대 투명판(P)의 하측에 위치하는 면[제2 면(p2)(청소 대상인 제1 면(p1)의 반대측의 면)]의 전체면이 접한 상태로 투명판(P)을 반송한다. 이와 같이 투명판(P)은 제2 면의 전체면이 접한 상태로 반송됨으로써, 반송 기구(11)와 청소포(C)의 사이에서 전면적으로 협지되고, 위쪽에 위치하는 면[제1 면(p1)]이 청소된다. 이 제1 청소 장치(10A)의 반송 기구(11)로서는, 예를 들면, 벨트 컨베이어로 구성할 수 있다. The transport mechanism 11 of the first cleaning apparatus 10A is provided with a transparent plate P on which the transparent plate P is placed, that is, a surface located on the lower side of the transparent plate P (second surface p2 (The surface on the opposite side of the transparent plate P)). Thus, the transparent plate P is conveyed in a state in which the entire surface of the second surface is in contact with the surface of the transparent plate P, so that the transparent plate P is sandwiched all over the conveying mechanism 11 and the cleaning cloth C, )] Is cleaned. The conveying mechanism 11 of the first cleaning apparatus 10A can be constituted by, for example, a belt conveyor.
제2 청소 장치(10B)의 반송 기구(11)는, 투명판(P)을 탑재, 요컨대 투명판(P)의 하측에 위치하는 면[제1 면(p1)(청소 대상인 제2면(p2)의 반대측의 면)]의 전체면이 접한 상태로 투명판(P)을 반송한다. 이와 같이 투명판(P)은 제1 면(p1)이 접한 상태로 반송됨으로써, 반송 기구(11)와 청소포(C)의 사이에서 전면적으로 협지되고, 제2 면(p2)이 청소된다. 이 제2 청소 장치(10B)의 반송 기구(11)로서는, 예를 들면, 도 1에 나타낸 바와 같이 벨트 컨베이어와, 이 벨트 컨베이어 상에 공급되고, 벨트 컨베이어와 동일한 속도로 이동하는 청정한 탑재용 장척 시트(12)를 가지는 것을 채용할 수 있다. 이와 같이 제2 청소 장치(10B)의 반송 기구(11)가, 탑재용 장척 시트(12)를 가짐으로써, 제1 면(p1)이 제2 청소 장치(10B) 내에서 오염되는 것을 방지할 수 있다. The transport mechanism 11 of the second cleaning device 10B is provided with a transparent plate P on which the transparent plate P is placed, that is, a surface located on the lower side of the transparent plate P (the first surface p1 (The surface on the opposite side of the transparent plate P)). The transparent plate P is conveyed in a state in which the first surface p1 is in contact with the transparent plate P so that the transparent plate P is sandwiched all over the conveying mechanism 11 and the cleaning cloth C and the second surface p2 is cleaned. As shown in Fig. 1, the conveying mechanism 11 of the second cleaning apparatus 10B includes, for example, a belt conveyor, and a conveyor belt 11, which is provided on the belt conveyor, It is possible to adopt those having the sheet 12. As described above, the conveying mechanism 11 of the second cleaning apparatus 10B has the mounting long sheet 12 to prevent the first surface p1 from being contaminated in the second cleaning apparatus 10B have.
상기 벨트 컨베이어에 대하여 더욱 상세하게 설명한다. 벨트 컨베이어는, 반송 벨트(11a), 반송 종동(從動) 롤러(11b) 및 반송 구동 롤러(11c)를 구비하고 있다. 반송 벨트(11a)는 무단상(無端狀)의 벨트 부재로 이루어지고, 이 반송 벨트(11a)가 반송 종동 롤러(11b) 및 반송 구동 롤러(11c)에 걸쳐 있고, 반송 구동 롤러(11c)의 회전에 따라 반송 벨트(11a)가 순환하는 동시에 반송 추동 롤러(11b)도 회전한다. 그리고, 반송 구동 롤러(11c)와 반송 종동 롤러(11b)의 설치 개소(箇所)를 역으로 하는 것도 가능하다. The belt conveyor will be described in more detail. The belt conveyor includes a conveying belt 11a, a conveying driven roller 11b, and a conveying drive roller 11c. The conveyance belt 11a is composed of an endless belt member and the conveyance belt 11a extends over the conveyance driven roller 11b and the conveyance drive roller 11c, The conveying belt 11a is circulated in accordance with the rotation and the conveying roller 11b is also rotated. It is also possible to reverse the installation positions of the conveyance drive roller 11c and the conveyance driven roller 11b.
또한, 제1 청소 장치(10A)의 반송 기구(11)는, 상기 로더 장치(90)로부터 투명판(P)을 수취하고, 청소 후에 반전 장치(30)에 받아건네는 제1 받아건넴 영역(A1)(도 5 참조)까지 투명판(P)을 반송한다. 또한, 제2 청소 장치(10B)의 반송 기구(11)는, 반전 장치(30)로부터 제2 받아건넴 영역(A2)(도 5 참조)에 있어서 투명판(P)을 수취하고, 투명판(P)의 배출 영역까지 투명판(P)을 반송하여 배출한다. The transport mechanism 11 of the first cleaning device 10A receives the transparent plate P from the loader device 90 and removes the first receiving area A1 (See Fig. 5). The transport mechanism 11 of the second cleaning apparatus 10B receives the transparent plate P from the reversing device 30 in the second absorbed area A2 (see Fig. 5) P to the discharge region of the transparent plate P and discharges it.
(청소포)(Cleaning cloth)
청소포(C)는, 청소 개소에 있어서 투명판(P)에 접촉되면서 작동됨으로써 투명판(P)의 청소면(상측에 위치하는 면)을 청소한다. 청소포(C)는, 청소 개소에 있어서 한쪽 면이 투명판(P)의 청소면에 대면하도록 공급되고, 상기 가압 헤드(13)에 의해 투명판(P)의 청소면에 가압되면서 청소면을 닦아냄으로써 청소면을 청소한다. The cleaning cloth C is operated while being in contact with the transparent plate P at the cleaning position, thereby cleaning the cleaning surface (the surface located on the upper side) of the transparent plate P. [ The cleaning cloth C is supplied so that one surface of the cleaning cloth C faces the cleaning surface of the transparent plate P and is wiped by the pressing head 13 against the cleaning surface of the transparent plate P, Clean.
이 청소포(C)로서는, 섬유제의 것이 사용되고, 예를 들면, 직물이 사용된다. 이 섬유로서는, 천연 섬유, 합성 섬유 등, 각종의 것이 채용 가능하다. 여기서, 청소포(C)로서 부직포를 사용할 수도 있다. 부직포를 사용하는 경우, 부직포로서는, 건식법, 습식법, 멜트 블로우(melt blow)법에 의해 플리스(fleece)가 형성되는 것을 사용할 수 있다. As the cleaning cloth (C), a fiber cloth is used, for example, a cloth is used. As the fiber, various kinds of fibers such as natural fibers and synthetic fibers can be employed. Here, a nonwoven fabric may be used as the cleaning cloth (C). When a nonwoven fabric is used, a nonwoven fabric having a fleece formed by a dry method, a wet method, or a melt blowing method may be used.
(가압 헤드)(Pressure head)
2개의 상기 가압 헤드(13)는, 반송 방향 X로 나란히 배치되어 있다. 각각의 가압 헤드(13)는, 도 2에 나타낸 바와 같이 청소포(C)의 일부를 투명판(P)을 향해 가압하는 제1 청소 부재(14), 및 청소포(C)의 제1 청소 부재(14)보다도 반송 방향 X의 하류측의 부분을 투명판(P)을 향해 가압하는 제2 청소 부재(15)를 각각 구비하고 있다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 각각 청소포(C)와 투명판(P)이 접하는 청소 개소가, 투명판(P)의 반송 방향 X로 나란히 4개소 설치되어 있다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서는, 2개의 가압 헤드(13)는 동일 구성을 가지고 있다. 이 제1 청소 부재(14) 및 제2 청소 부재(15)는, 예를 들면, 실리콘 등의 탄성 부재로 형성된 패드로 구성된다. The two pressure heads 13 are arranged side by side in the carrying direction X. Each pressurizing head 13 includes a first cleaning member 14 for pressing a part of the cleaning cloth C toward the transparent plate P and a second cleaning member 14 for pressing a part of the cleaning cloth C toward the transparent plate P as shown in Fig. And a second cleaning member 15 for pressing the downstream side portion of the transfer direction X toward the transparent plate P, That is, in the present embodiment, the first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are arranged such that cleaning positions where the cleaning cloth C and the transparent plate P are in contact with each other are arranged in the conveying direction of the transparent plate P X is installed in four places in parallel. In the present embodiment, the two pressure heads 13 have the same configuration. The first cleaning member 14 and the second cleaning member 15 are made of, for example, pads formed of elastic members such as silicon.
각각의 가압 헤드(13)는, 제1 청소 부재(14) 및 제2 청소 부재(15) 각각을 청소면의 평면상이면서, 또한 반송 방향 X의 직교 방향으로 왕복이동시키는 청소 부재 구동 기구(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그리고, 「청소면의 평면상이면서, 또한 반송 방향 X의 직교 방향」이란, 제1 청소 부재(14) 및 제2 청소 부재(15)가 청소포(C)를 투명판(P)의 청소면에 접촉시킬 수 있는 평면 내에서의 반송 방향 X의 직교 방향인 것을 의미하고, 구체적으로는 청소면과 평행한 면상이면서 반송 방향 X의 직교 방향을 의미한다. Each pressurizing head 13 is provided with a cleaning member driving mechanism (not shown) for reciprocally moving the first cleaning member 14 and the second cleaning member 15 in the plane of the cleaning surface and in the direction orthogonal to the carrying direction X Not). Means that the first cleaning member 14 and the second cleaning member 15 are in contact with the cleaning surface of the transparent plate P so that the cleaning cloth C is in contact with the cleaning surface of the transparent plate P. [ Means a direction orthogonal to the conveying direction X in the plane where the conveying direction X is possible. Specifically, it means a direction perpendicular to the conveying direction X while being on a plane parallel to the cleaning surface.
(송급 기구)(Feed mechanism)
도 1을 참조하여 청소포(C)의 송급 기구(25)에 대하여 설명한다. 상기 청소포(C)는, 전술한 바와 같이 송급 기구(25)에 의해 공급된다. 여기서, 송급 기구(25)는, 주동 롤러(25a) 및 종동 롤러(25b)를 가지고 있다. 청소포(C)는, 이 주동 롤러(25a) 및 종동 롤러(25b)에 걸쳐지고, 주동 롤러(25a)의 회전에 의해 투명판(P)의 청소 후의 청소포(C) 부분은 주동 롤러(25a)에 권취된다. 이 때, 종동 롤러(25b)로부터 미사용의 청소포(C)가 풀려진다. The feeding mechanism 25 of the cleaning cloth C will be described with reference to Fig. The cleaning cloth C is supplied by the feeding mechanism 25 as described above. Here, the feeding mechanism 25 has a main roller 25a and a driven roller 25b. The cleaning cloth C is spread over the main roller 25a and the driven roller 25b and the portion of the cleaning cloth C after the transparent plate P is cleaned by the rotation of the main roller 25a is conveyed to the main roller 25a, . At this time, the unused cleaning cloth C is released from the driven roller 25b.
송급 기구(25)는, 투명판(P)의 반송 방향 X와 역방향으로 청소포(C)를 공급하도록 설치되어 있다(도 2 참조). 즉, 청소포(C)는, 송급 기구(25)에 의하여, 청소 개소[투명판(P)과 접하는 개소]에 있어서 청소포(C)가 반송 방향 X의 역방향(도 2의 Y 방향)으로 보내진다. The feeding mechanism 25 is provided so as to feed the cleaning cloth C in the direction opposite to the conveying direction X of the transparent plate P (see FIG. 2). That is, in the cleaning cloth C, the cleaning cloth C is sent in the reverse direction (Y direction in FIG. 2) in the cleaning position (the portion in contact with the transparent plate P) .
또한, 송급 기구(25)는, 2개의 상기 가압 헤드(13) 사이에 위치하는 청소포(C)의 일부를, 투명판(P)으로부터 이격시키도록 가이드하고 있다. 구체적으로는, 송급 기구(25)는, 2개의 가압 헤드(13) 사이에 있어서 벨트 컨베이어의 위쪽으로 배치된 텐션 롤러(26)를 가지고 있다. 이 송급 기구(25)에서는, 이 텐션 롤러(26)에 2개의 가압 헤드(13) 사이의 청소포(C)가 걸쳐져 있음으로써 2개의 가압 헤드(13) 사이의 청소포(C)가 투명판(P)으로부터 이격되어 있다. The feeding mechanism 25 guides a part of the cleaning cloth C located between the two pressing heads 13 away from the transparent plate P. [ Specifically, the feeding mechanism 25 has a tension roller 26 disposed above the belt conveyor between the two pressure heads 13. The cleaning cloth C between the two pressing heads 13 is sandwiched between the two pressing heads 13 in the feeding mechanism 25 so that the cleaning cloth C between the two pressing heads 13 is separated from the transparent plate P .
(세정액 공급 기구)(Cleaning liquid supply mechanism)
상기 청소포(C)에는, 전술한 바와 같이 세정액 공급 기구(28)에 의해 세정액이 공급된다. 그러므로, 세정액이 함침된 청소포(C)에 의해 투명판(P)이 청소된다. 본 실시 형태에 있어서 세정액 공급 기구(28)는, 반송 방향 X에 있어서 제1 청소 부재(14) 및 제2 청소 부재(15) 사이에 위치하는 청소포(C)의 일부에 각각 세정액을 공급하는 동시에, 후술하는 바와 같이 가압 헤드(13)보다 반송 방향 X의 하류측에 위치하는 청소포(C)의 일부에도 세정액을 공급하고 있다. The cleaning liquid is supplied to the cleaning cloth (C) by the cleaning liquid supply mechanism (28) as described above. Therefore, the transparent plate P is cleaned by the cleaning cloth C impregnated with the cleaning liquid. The cleaning liquid supply mechanism 28 supplies the cleaning liquid to a part of the cleaning cloth C positioned between the first cleaning member 14 and the second cleaning member 15 in the carrying direction X , The cleaning liquid is also supplied to a part of the cleaning cloth C located on the downstream side of the pressing head 13 in the carrying direction X as described later.
세정액 공급 기구(28)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 제1 청소 부재(14)와 제2 청소 부재(15) 사이에 설치된 공급 노즐(28b)을 가지고 있다. 공급 노즐(28b)은 도시하지 않은 세정액 저장 탱크에 접속되어 있다. 공급 노즐(28b)은, 위쪽을 향해 세정액을 공급한다. 공급 노즐(28b)로부터 공급된 세정액은, 청소포(C)에 함침하여 투명판(P)의 청소면에 도달한다. 공급 노즐(28b)로부터 공급되는 세정액의 양은, 투명판(P)에 부착된 오염을 분해 가능하고, 또한 가압 패드(15)에 의해 청소포(C)의 일부가 가압되어 닦아내기 동작이 행해졌다고 해도 금(선)이 남지 않도록 조정되어 있다. 공급 노즐(28b)은, 테이퍼 형상으로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 전술한 바와 같은 구성으로 되어 있지만, 청소포(C)의 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 세정액을 공급하는 구성을 채용할 수도 있다. The cleaning liquid supply mechanism 28 has a supply nozzle 28b provided between the first cleaning member 14 and the second cleaning member 15 as shown in Fig. The supply nozzle 28b is connected to a cleaning liquid storage tank (not shown). The supply nozzle 28b supplies the cleaning liquid upward. The cleaning liquid supplied from the supply nozzle 28b impregnates the cleaning cloth C and reaches the cleaning surface of the transparent plate P. [ The amount of the cleaning liquid supplied from the supply nozzle 28b is set such that the contamination adhered to the transparent plate P can be decomposed and even if a part of the cleaning cloth C is pressed by the pressing pad 15 to perform the cleaning operation The gold (line) is adjusted so as not to remain. The supply nozzle 28b is tapered. In this embodiment, the cleaning liquid C is supplied from the upper side to the lower side of the cleaning cloth C although the structure is as described above.
상기 세정액으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 알코올이 바람직하게 사용되고, 그 중에서도 에탄올이 특히 바람직하게 사용된다. The washing liquid is not particularly limited, but alcohols are preferably used, and ethanol is particularly preferably used.
또한, 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 세정액 공급 기구(28)로서, 반송 방향 X의 하류측의 가압 헤드(13)의 청소포(C)의 공급 방향의 상류측의 청소포(C)의 일부에 세정액을 공급하는 세정액 공급부(28a)를 추가로 가지고 있다(도 1 참조). The transparent plate cleaning inspection system 1 further comprises a cleaning liquid supply mechanism 28 for supplying cleaning liquid C on the upstream side in the supplying direction of the cleaning cloth C of the pressing head 13 on the downstream side in the carrying direction X And further has a cleaning liquid supply portion 28a for supplying a cleaning liquid to a part (see Fig. 1).
<반전 장치><Reversing device>
도 1, 도 4 및 도 5를 참조하여 반전 장치(30)에 대하여 설명한다. 반전 장치(30)는, 전술한 바와 같이 제1 청소 장치(10A)로부터 반출된 투명판(P)을 반전시켜, 제2 청소 장치(10B)에 공급하는 장치이다. 구체적으로는, 제1 청소 장치(10A)(도 1 참조)로부터 순차적으로 제1 받아건넴 영역(A1)에 공급되는 투명판(P)을, 제2 받아건넴 영역(A2)에 있어서 제2 청소 장치(10B)(도 1 참조)에 받아건네고 있다. The reversing device 30 will be described with reference to Figs. 1, 4, and 5. Fig. The reversing device 30 is a device for reversing the transparent plate P taken out from the first cleaning device 10A and supplying the inverted transparent plate P to the second cleaning device 10B as described above. Specifically, the transparent plate P, which is sequentially supplied from the first cleaning apparatus 10A (see Fig. 1) to the first to-be-received area A1, To the device 10B (see Fig. 1).
상기 반전 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A1)에 있어서 투명판(P)의 제2 면(p2)을 흡착하고, 제2 받아건넴 영역(A2)에 있어서 상기 투명판(P)을 해방하는 유지부[흡착부(32)]와 이 유지부[흡착부(32)]가 일단측에 부설되어 있는 암(arm)(33)과, 이 암(33)의 타단측을 지지하는 회전부(35)를 구비하고 있다. 그리고, 반전 장치(30)는, 상기 흡착부(32), 암(33) 및 회전부(35) 등을 내장하는 하우징(30h)(도 1 참조)을 가지고 있다. The reversing device 30 absorbs the second surface p2 of the transparent plate P in the first absorbing area A1 and absorbs the second absorbing surface of the transparent plate P in the second absorbing area A2. An arm 33 which is provided at one end side with a holding portion (suction portion 32) for releasing the arm 33 and a holding portion (suction portion 32) And a rotating portion 35 as shown in Fig. The reversing device 30 has a housing 30h (see Fig. 1) housing the suction portion 32, the arm 33, and the rotation portion 35 therein.
또한, 반전 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A1)에 설치된 임시받이(假受) 부재(31)와, 회전부(35)에 대하여 상기 암(33)을 상기 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 돌출 기구(34)를 구비한다. 반전 장치(30)는, 제1 받아건넴 영역(A1)에 있어서 1개의 투명판(P)을 하측으로부터 지지하는 임시받이 부재(31)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 임시받이 부재(31)는, 제1 받아건넴 영역(A1)에 있어서 제1 청소 장치(10A)(도 1 참조)로부터 배출된 투명판(P)의 제2 면(p2)을 일시적으로 지지한다. 흡착부(32)는, 임시받이 부재(31)에 지지되어 있는 투명판(P)의 제2 면(p2)을 흡착한다. 암(33)은 신축 가능하다. 구체적으로는, 암(33)은, 흡착부(32)가 일단측에 부설되어 있고, 회전부(35)에 지지되는 상기 타단으로부터 흡착부(32)가 부설되는 상기 일단을 향하는 방향으로 신축 가능하다. 돌출 기구(34)는, 회전부(35)와 암(33) 사이에 설치되고, 전술한 바와 같이 회전부(35)에 대하여 암(33)을 흡착부(32)의 흡인 방향으로 돌출 또는 후퇴시키는 기구이다. 구체적으로는, 돌출 기구(34)는, 암(33)의 상기 타단측을 지지하는 에어 실린더로 이루어진다. 회전부(35)는, 돌출 기구(34)가 고정되고, 이로써, 전술한 바와 같이 암(33)을 지지하고 있다. 회전부(35)는, 흡착부(32)에 흡착되는 투명판(P)과 평행한 평면상에 위치하는 회전축을 중심으로 회전 가능하다. 구체적으로는, 상기 회전축은, 수평 방향[투명판(P)을 반송하는 방향으로 수직인 방향]이며, 또한 흡착부(32)가 흡인하는 방향에 수직인 방향으로 설치되어 있다. 반전 장치(30)는, 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)를 구비하고 있고, 이들 복수의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는 각각 쌍을 이루고, 한 쌍의 상기 흡착부(32), 상기 암(33) 및 상기 돌출 기구(34)는, 각각 회전부(35)의 회전축을 중심으로 대략 회전 대칭으로 설치되어 있다. 그리고, 「대략 회전 대칭」이란, 완전히 회전 대칭인 경우 뿐 아니라, 제1 받아건넴 영역(A1)에서의 하나의 투명판(P)의 흡착과 제2 받아건넴 영역(A2)에서의 다른 투명판(P)의 해방을 동시에 행할 수 있는 정도로 배치되어 있는 경우를 포함하는 것이다. The reversing device 30 includes a provisional receiving member 31 provided in the first receiving area A1 and a temporary holding member 31 provided in the first receiving area A1 so that the arm 33 can be pivoted to the rotating part 35, And a protruding mechanism (34) for protruding or retracting in the suction direction. The reversing device 30 is provided with a temporary receiving member 31 for supporting one transparent plate P from the lower side in the first receiving area A1. More specifically, the temporary receiving member 31 is disposed on the second surface p2 of the transparent plate P discharged from the first cleaning device 10A (see Fig. 1) in the first receiving area A1 Temporarily support. The adsorption unit 32 adsorbs the second surface p2 of the transparent plate P supported by the temporary receiving member 31. [ The arm 33 is stretchable. Specifically, the arm 33 is stretchable in the direction toward the one end where the suction portion 32 is attached to the one end side and the other end supported by the rotation portion 35 is attached to the suction portion 32 . The protruding mechanism 34 is provided between the rotary part 35 and the arm 33 and is provided with a mechanism for projecting or retracting the arm 33 against the rotary part 35 in the suction direction of the suction part 32, to be. Specifically, the protruding mechanism 34 is formed of an air cylinder that supports the other end side of the arm 33. The projecting mechanism 34 is fixed to the rotating portion 35, thereby supporting the arm 33 as described above. The rotation part 35 is rotatable about a rotation axis located on a plane parallel to the transparent plate P that is attracted to the absorption part 32. [ Specifically, the rotary shaft is provided in a horizontal direction (a direction perpendicular to the direction in which the transparent plate P is conveyed) and in a direction perpendicular to the direction in which the suction unit 32 sucks. The reversing device 30 is provided with a plurality of the adsorption portions 32, the arms 33 and the projecting mechanism 34. The plurality of the adsorption portions 32, the arms 33, Each of the projecting mechanisms 34 is formed as a pair and the pair of the attracting portions 32, the arms 33 and the projecting mechanisms 34 are installed in a substantially rotationally symmetrical manner about the rotational axis of the rotating portion 35 . The term &quot; approximately rotational symmetry &quot; is used not only in the case of completely rotational symmetry but also in the case where the absorption of one transparent plate P in the first absorbed region A1 and the absorption of one transparent plate P in the second absorbed region A2 (P) can be performed at the same time.
< 이물질 제거 장치>&Lt;
도 1을 참조하여 이물질 제거 장치(50)에 대하여 설명한다. 이물질 제거 장치(50)는, 전술한 바와 같이 제2 청소 장치(10B)로부터 반출된 투명판(P)의 제1 면(p1) 및 제2 면(p2)에 부착되는 이물질을 제거하기 위한 장치이다. 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)에서는, 섬유제의 청소포(C) 등에 기인하는 이물질이 투명판(P)에 부착되어 있었을 경우 및 장치 내에서 생긴 이물질이 부착된 경우라도 상기 이물질 제거 장치(50)에 의해 제거할 수 있다. The foreign substance removing apparatus 50 will be described with reference to Fig. The foreign substance removing device 50 is a device for removing foreign matter adhering to the first surface p1 and the second surface p2 of the transparent plate P taken out from the second cleaning device 10B as described above, to be. In the transparent plate cleaning inspection system 1, even if a foreign substance due to a cleaning cloth C of a fibrous material is adhered to the transparent plate P or foreign matter generated in the apparatus is adhered to the transparent plate P, . &Lt; / RTI &gt;
상기 이물질 제거 장치(50)는, 투명판(P)의 제1 면(p1) 및 제2 면(p2)에 접촉하는 점착면(51a)을 가지는 점착 롤러(51)(점착 부재)와, 이 점착 롤러(51)의 점착면(51a)에 부착되는 이물질을 제거 가능한 점착력 회복 기구(52)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에 있어서, 이물질 제거 장치(50)는, 투명판(P)을 협지하여 서로 대향하는 2개의 점착 롤러(51)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 이물질 제거 장치(50)는, 투명판(P)을 협지하여 상하로 대향하는 한 쌍의 점착 롤러(51)를 구비하고, 이 점착 롤러(51)는, 외주면이 투명판(P)에 부착된 이물질을 제거 가능한 점착력을 가진다. The foreign substance removing device 50 includes an adhesion roller 51 (an adhesive member) having an adhesion surface 51a contacting the first surface p1 and the second surface p2 of the transparent plate P, And an adhesive force recovery mechanism (52) capable of removing foreign matters adhering to the adhesive surface (51a) of the adhesive roller (51). In the present embodiment, the foreign substance removing apparatus 50 includes two adhesive rollers 51 which sandwich the transparent plate P and face each other. More specifically, the foreign substance removing apparatus 50 includes a pair of adhesive rollers 51 which are vertically opposed to each other with the transparent plate P sandwiched therebetween. The outer surface of the adhesive roller 51 is a transparent plate P ) To remove foreign substances adhering to the adhesive layer.
또한, 이물질 제거 장치(50)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 제2 청소 장치(10B)가 배출한 투명판(P)이 탑재되는 프리 롤러(50a)를 가지고 있고, 상하 한 쌍의 상기 점착 롤러(51)는 서로 구동 모터(도시하지 않음)에 의해 회전되고, 점착 롤러(51)의 회전에 의해 투명판(P)이 하류측으로 반송된다. 1, the foreign material removing device 50 has a free roller 50a on which the transparent plate P discharged by the second cleaning device 10B is mounted, and a pair of upper and lower adhesive rollers (Not shown), and the transparent plate P is conveyed to the downstream side by the rotation of the adhesion roller 51.
상기 점착력 회복 기구(52)는, 점착 롤러(51)의 점착면(51a)에 접촉 가능한 장척형의 점착 테이프(53)를 가지고 있다. 이 점착 테이프(53)는, 상하 한 쌍의 점착 롤러(51) 각각에 대하여 설치된다. The adhesive force recovery mechanism 52 has an elongated adhesive tape 53 that can contact the adhesive surface 51a of the adhesive roller 51. [ The adhesive tape 53 is provided for each of the pair of upper and lower adhesive rollers 51.
상기 점착 테이프(53)는, 상기 점착 롤러(51)의 점착면(51a)(외주면)보다 강한 점착력을 가지는 점착면(53a)을 가지고 있고, 이 점착 테이프(53)의 점착면(53a)이 점착 롤러(51)의 점착면(51a)에 접착되어 박리됨으로써 점착 롤러(51)에 부착된 이물질을 제거할 수 있다. The adhesive tape 53 has an adhesive surface 53a having an adhesive force stronger than the adhesive surface 51a (outer circumferential surface) of the adhesive roller 51. The adhesive surface 53a of the adhesive tape 53 Foreign matter adhered to the adhesive roller 51 can be removed by being adhered to the adhesive surface 51a of the adhesive roller 51 and peeled off.
이물질 제거 장치(50)는, 미사용의 점착 테이프(53)를 공급하는 공급부(55) 및 사용이 끝난 점착 테이프(53)를 배출하는 배출부(56)를 가지고 있다. 공급부(55)에는, 미사용의 점착 테이프(53)가 롤형으로 감겨져 있다. 공급부(55)는, 점착 롤러(51)보다도 반송 방향의 하류측에 배치되어 있다. 배출부(56)에는, 사용이 끝난 점착 테이프(53)가 롤형으로 감겨 있다. 즉, 배출부(56)에는, 점착 롤러(51)의 이물질 제거에 사용된 점착 테이프(53)가 감겨 있다. 배출부(56)는, 점착 롤러(51)보다도 반송 방향 X의 상류측에 배치되어 있다. The foreign substance removing unit 50 has a supply unit 55 for supplying the unused adhesive tape 53 and a discharge unit 56 for discharging the used adhesive tape 53. [ In the supply section 55, an unused adhesive tape 53 is wound in a roll shape. The supply unit 55 is disposed downstream of the adhesion roller 51 in the transport direction. The used adhesive tape 53 is wound in a roll shape on the discharge portion 56. That is, the discharge portion 56 is wound with the adhesive tape 53 used for removing the foreign substances from the adhesive roller 51. [ The discharge portion 56 is disposed upstream of the adhesion roller 51 in the conveying direction X.
이물질 제거 장치(50)는, 상기 점착 테이프(53)를 공급하는 점착 테이프 송급 기구(54)를 가지고 있다. 여기서, 점착 테이프 송급 기구(54)는, 간헐적으로 점착 테이프(53)를 점착 롤러(51)에 접촉시키도록 설치되어 있다. 예를 들면, 점착 테이프 송급 기구(54)는, 5매의 투명판(P)의 이물질을 점착 롤러(51)가 제거할 때마다, 점착 테이프(53)를 점착 롤러(51)에 접촉시킨다. 점착 테이프 송급 기구(54)는, 구체적으로는 점착 테이프(53)가 걸쳐지는 동시에 점착 롤러(51)에 대면하는 점착 테이프용 롤러(54)(점착 테이프 송급 기구)가 점착 롤러(51)에 접근·이격 가능하게 설치되어 있다. 점착 테이프 송급 기구(54)는, 점착 롤러(51)와 점착 테이프(53)를 접촉시킴으로써, 점착 롤러(51)의 회전에 따라 점착 테이프를 송급한다. 본 실시 형태에서는, 이와 같이 점착 롤러(51)의 회전에 의해 점착 테이프를 송급하는 구성을 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 배출부(56)에서 권취함으로써 점착 테이프(53)를 송급하는 구성을 채용할 수도 있다. The foreign material removing device 50 has an adhesive tape feeding and feeding mechanism 54 for feeding the adhesive tape 53. [ Here, the adhesive tape feeding / feeding mechanism 54 is provided so as to intermittently contact the adhesive tape 53 with the adhesive roller 51. For example, the adhesive tape feeding / feeding mechanism 54 brings the adhesive tape 53 into contact with the adhesive roller 51 every time the adhesive roller 51 removes the foreign substances from the five transparent plates P. More specifically, the adhesive tape feeding and feeding mechanism 54 is configured such that the adhesive tape roller 54 (adhesive tape feeding and conveying mechanism) facing the adhesive roller 51 while the adhesive tape 53 is being spanned approaches the adhesive roller 51 · It is installed to be able to be separated. The adhesive tape feeding and feeding mechanism 54 feeds the adhesive tape along with the rotation of the adhesive roller 51 by bringing the adhesive roller 51 and the adhesive tape 53 into contact with each other. The configuration in which the adhesive tape is fed and fed by the rotation of the adhesive roller 51 is adopted in this embodiment, but the present invention is not limited to this configuration, and the configuration in which the adhesive tape 53 is fed and fed by being wound around the discharge portion 56 is adopted You may.
그리고, 이물질 제거 장치(50)는, 상기 점착 롤러(51) 및 점착력 회복 기구(52) 등을 내장하는 하우징(50h)을 가지고 있다. 이 하우징(50h)은, 투명판(P)의 반입구 및 반출구를 가지고, 이 반입구 및 반출구 이외에는 밀폐 상태로 설치되어 있다. 그러므로, 이물질 제거 장치(50)에서는, 전술한 바와 같은 이물질 제거가 대략 밀폐 상태에서 행해지고, 외기에 포함되는 먼지 등이 투명판(P)에 부착되는 것이 방지되고 있다. 또한, 이물질 제거 장치(50)의 하우징(50h)의 반입구는 제2 청소 장치(10B)의 하우징(10h)의 반출구와 기밀하게 연결되어 있다. 그리고, 이 이물질 제거 장치(50)의 하우징(50h)은, 유지 보수 등을 위한 개폐 도어(도시하지 않음)가 설치되어 있다. The foreign substance removing device 50 has a housing 50h which houses the adhesion roller 51 and the adhesion force recovery mechanism 52 and the like. The housing 50h has a semi-inlet and an outlet for the transparent plate P, and is provided in a sealed state except for the semi-inlet and the outlet. Therefore, in the foreign substance removing apparatus 50, the above-described foreign matter removal is performed in an approximately closed state, and dust or the like included in the outside air is prevented from adhering to the transparent plate P. [ The inlet port of the housing 50h of the foreign material removal device 50 is hermetically connected to the exit port of the housing 10h of the second cleaning device 10B. The housing 50h of the foreign substance removing apparatus 50 is provided with an opening / closing door (not shown) for maintenance or the like.
< 투명판 검사 장치><Transparent plate inspection system>
상기 투명판 검사 장치(70)는, 전술한 바와 같이 청소된 투명판(P)의 청소면[제1 면(p1) 및 제2 면(p2)]의 상처, 하자 및 이물질의 유무를 검사하는 장치이다. 도 1, 도 6∼도 9에 나타낸 바와 같이, 투명판 검사 장치(70)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 투명판(P)의 반입구(76) 및 반출구(77)를 가지는 하우징(70h), 반입구(76)로부터 반출구(77)까지 투명판(P)을 반송하는 반송 기구(80), 이 반송 기구(80)에 의해 반송되는 하우징(70h) 내의 투명판(P)의 화상을 촬상하는 검사부(72), 및 하우징(70h)의 내부로의 이물질의 침입을 저지하고, 투명판(P)에 이물질이 부착되는 것을 저지하는 이물질 부착 저지 기구(75)를 구비하고 있다. The transparent plate inspection apparatus 70 is a device for inspecting the presence or absence of scratches, defects and foreign substances on the cleaned surface (the first surface p1 and the second surface p2) of the cleaned transparent plate P as described above to be. 6, the transparent plate inspection apparatus 70 includes a housing 76 having an inlet port 76 and an outlet port 77 of the transparent plate P (see FIG. 6) A transfer mechanism 80 for transferring the transparent plate P from the transfer opening 76 to the transfer port 77 and a transfer mechanism 80 for transferring the transparent plate P in the housing 70h carried by the transfer mechanism 80 An inspection unit 72 for capturing an image and a foreign matter adhesion prevention mechanism 75 for preventing foreign substances from entering the interior of the housing 70h and preventing foreign matter from adhering to the transparent plate P. [
또한, 이 투명판 검사 장치(70)는, 검사부(72)에 의해 촬상되는 투명판(P)에 광선을 조사하는 조명부(71)를 가지고 있다. 이 투명판 검사 장치(70)는, 복수 쌍의 상기 조명부(71) 및 상기 검사부(72)를 가지고 있고, 이 복수 쌍의 조명부(71) 및 검사부(72)에 의하여, 반송되는 투명판(P)의 제1 면(p1)에서의 반사, 제2 면(p2)에서의 반사, 제1 면(p1)으로부터 제2 면(p2)으로의 투과, 및 제2 면(p2)으로부터 제1 면(p1)으로 투과하는 각각의 광선에 기초한 각종 화상이 촬상된다. 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 상기 화상이 상기 제어 장치에 송신되고, 제어 장치에 의해 투명판(P)의 양호 또는 불량 판정이 행해진다. 그리고, 상기 검사부(72)는, 예를 들면, CCD 카메라 등의 카메라에 의해 구성할 수 있다. The transparent plate inspection apparatus 70 also has an illumination section 71 for irradiating a transparent plate P picked up by the inspection section 72 with a light beam. The transparent plate inspection apparatus 70 has a plurality of pairs of the illumination units 71 and the inspection units 72 and the transparent plates P , Reflection from the first surface p1 to the second surface p2 and reflection from the second surface p2 to the first surface p2 of the first surface p2, various images are picked up based on the respective rays transmitted through the light p1. In the transparent plate cleaning inspection system 1, the image is transmitted to the control device, and the control device determines whether the transparent plate P is good or bad. The inspection unit 72 can be constituted by a camera such as a CCD camera, for example.
상기 하우징(70h)은, 상기 조명부(71), 상기 검사부(72), 및 상기 반송 기구(80) 등이 내장되어 있다. 이 하우징(70h)은, 반입구(76) 및 반출구(77) 이외는 밀폐 상태로 설치되어 있다. 그리고, 이 투명판 검사 장치(70)의 하우징(70h)은, 유지 보수 등을 위한 개폐 도어(도시하지 않음)가 설치되어 있다. The housing 70h houses the illumination unit 71, the inspection unit 72, the transport mechanism 80, and the like. The housing 70h is provided in an enclosed state except for the inlet port 76 and the outlet port 77. [ The housing 70h of the transparent plate inspection apparatus 70 is provided with an opening / closing door (not shown) for maintenance or the like.
상기 하우징(70h)의 상부에는, 상기 이물질 부착 저지 기구(75)가 설치되어 있다. 더욱 상세하게는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 하우징(70h)의 상부에는 반송 방향 X으로 나란히 2개의 이물질 부착 저지 기구(75)가 설치되어 있다. 이 이물질 부착 저지 기구(75)는, 상기 하우징(70h)의 내압을 높이는 기구이다. 상기 이물질 부착 저지 기구(75)는, 상기 하우징(70h)의 외부의 공기를 하우징(70h)의 내부로 보내는 송입 기구(도시하지 않음)와 이 송입 기구에 의해 보내진 공기에 포함되는 이물질의 상기 하우징 내부로 침입되는 것을 차단하는 필터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 이물질 부착 저지 기구(75)는, 반송 기구(80)에 의해 반송되는 투명판(P) 상에 공기를 보내고, 투명판(P)의 표면에 이물질이 부착되어 있었을 경우에 그 이물질을 아래쪽으로 떨어뜨린다. 이물질 부착 저지 기구(75)는, 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 공기를 보내고 있다. 상기 송입 기구로서는, 각종의 것을 사용할 수 있지만, 예를 들면, 시로코 팬 등의 송풍기가 사용된다. 상기 필터로서는, 각종의 것을 사용할 수 있지만, 조진(粗塵)용 필터, 중·고성능 필터, HEPA 필터 등의 에어 필터를 사용할 수 있다. On the upper portion of the housing 70h, the above-described foreign substance adhesion preventing mechanism 75 is provided. More specifically, as shown in Fig. 6, two foreign substance-adhering blocking mechanisms 75 are provided on the upper portion of the housing 70h in parallel with the carrying direction X. The foreign matter adhesion preventing mechanism 75 is a mechanism for increasing the internal pressure of the housing 70h. The foreign substance adhesion preventing mechanism 75 includes a feeding mechanism (not shown) for sending the air outside the housing 70h to the interior of the housing 70h, a housing 70h for housing the foreign substance contained in the air sent by the feeding mechanism, And a filter (not shown) for blocking intrusion into the inside. The foreign substance adhesion preventing mechanism 75 sends air on the transparent plate P conveyed by the conveying mechanism 80 and when the foreign substance adheres to the surface of the transparent plate P, I will. The foreign substance adhesion preventing mechanism 75 sends air from the upper side to the lower side. As the above-mentioned feeding mechanism, various kinds of blowing apparatuses can be used. For example, a blower such as a sirocco fan is used. As the filter, various kinds of filters can be used, but an air filter such as a filter for coarse dust, a medium / high performance filter, and a HEPA filter can be used.
이 투명판 검사 장치(70)의 반송 기구(80)는, 반입구(76)로부터 반입되는 투명판(P)을 그 에지에 접촉하면서 반송하는 제1 반송 부재(81)와, 이 제1 반송 부재(81)에 의해 반송된 투명판(P)을 그 에지에 접촉하면서 수취하는 동시에 상승시키는 상승 부재(83)와, 이 상승 부재(83)에 의해 상승된 투명판(P)을 그 에지에 접촉하면서 수취하는 동시에 상기 검사부(72)의 촬상 영역에 반송하는 제2 반송 부재(88)를 구비하고 있다. 상세하게 설명하면, 상기 투명판 검사 장치(70)는, 반입구(76)로부터 투명판(P)을 반송 방향 X로 제1 반송 부재(81)에 의해 반송하고(도 6의 화살표 S1 참조), 이 제1 반송 부재(81)에 의해 반송된 투명판(P)을 상승 부재(83)에 의해 수취한다. 상승 부재(83)가 수취한 투명판(P)을 상승 부재(83)가 상승시키고(도 6의 화살표 S2 참조), 이 상승된 투명판(P)을 제2 반송 부재(88)가 수취한다. 제2 반송 부재(88)가 수취한 투명판(P)을 제2 반송 부재(88)가 수평 방향으로 반송하고(도 6의 S3의 화살표 참조), 이 제2 반송 부재(88)가 반송하는 투명판(P)을 상기 검사부(72)가 촬상한다. 그 후, 투명판(P)은 반출구(77)로부터 반출된다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 반송 부재(81) 및 제2 반송 부재(88)에 의한 투명판(P)의 반송 방향은, 제1 청소 장치의 반송 방향과 동일 방향으로 되어 있으므로, 제1 반송 부재(81) 및 제2 반송 부재(88)의 반송 방향으로서 도 6∼도 9에 있어서 제1 청소 장치(10A)(도 1 참조)의 반송 방향과 동일 부호인 X를 사용하여 도시하고 있다. 그러나, 투명판 검사 장치(70)의 반송 기구(80)에 의한 반송 방향은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 청소 장치(10A)의 반송 방향과 역방향 또는 직교하는 방향 등이어도 된다. 또한, 촬상 후의 투명판(P)의 반출구(77)까지의 반송은, 각종 반송 수단을 채용할 수 있고, 예를 들면, 제1 반송 부재(81)와 마찬가지의 반송 수단에 의해 반송할 수 있다. The transport mechanism 80 of the transparent plate inspection apparatus 70 includes a first transport member 81 for transporting the transparent plate P carried in from the transport opening 76 in contact with the edge thereof, A lifting member 83 for lifting and simultaneously lifting the transparent plate P conveyed by the member 81 while being in contact with the edge and a transparent plate P raised by the lifting member 83 at its edge And a second conveying member (88) for conveying the image to the image sensing area of the inspection unit (72) while receiving the image. Specifically, the transparent plate inspection apparatus 70 conveys the transparent plate P from the inlet port 76 by the first conveying member 81 in the conveying direction X (see arrow S1 in FIG. 6) , And the transparent plate (P) conveyed by the first conveying member (81) is received by the lifting member (83). The raising member 83 raises the transparent plate P received by the raising member 83 (see arrow S2 in Fig. 6), and the raised transparent plate P is received by the second carrying member 88 . The second transporting member 88 transports the transparent plate P received by the second transporting member 88 in the horizontal direction (see the arrow of S3 in Fig. 6) The inspection unit 72 picks up the transparent plate P. [ Thereafter, the transparent plate P is taken out from the transfer port 77. In the present embodiment, since the transport direction of the transparent plate P by the first transporting member 81 and the second transporting member 88 is the same as the transporting direction of the first cleaning apparatus, The conveying direction of the first conveying member 81 and the second conveying member 88 is shown by using the same sign X as the conveying direction of the first cleaning device 10A (see Fig. 1) in Figs. 6 to 9 have. However, the transport direction of the transparent plate inspection apparatus 70 by the transport mechanism 80 is not limited to this, and may be, for example, a direction opposite to or perpendicular to the transport direction of the first cleaning apparatus 10A. The transporting of the transparent plate P after picking up to the dispensing opening 77 can be carried out using various transporting means and can be transported by the transporting means similar to that of the first transporting member 81, have.
상기 반송 기구(80)는, 상기 제1 반송 부재(81)로서 투명판(P)의 에지에 접촉하는 한 쌍의 벨트 컨베이어(81c)[도 7(A) 및 도 7(B) 참조]를 가지고 있다. 그리고, 상기 투명판 검사 장치(70)에서의 벨트 컨베이어(81c)를, 전술한 제1 청소 장치(10A)의 벨트 컨베이어와 구별하기 위해, 이하, 검사용 벨트 컨베이어(81c)로 기재하는 경우가 있다. 또한, 이 반송 기구(80)의 각종 동작은, 상기 제어 장치에 의해 제어되고 있다. The conveying mechanism 80 includes a pair of belt conveyors 81c (see Figs. 7 (A) and 7 (B)) which contact the edge of the transparent plate P as the first conveying member 81 Have. In order to distinguish the belt conveyor 81c in the transparent plate inspection apparatus 70 from the belt conveyor of the first cleaning apparatus 10A described above, there will hereinafter be described a case in which the belt conveyor 81c is described as an inspection belt conveyor 81c have. In addition, various operations of the transport mechanism 80 are controlled by the control device.
상기 한 쌍의 검사용 벨트 컨베이어(81c)는, 투명판(P)과의 접촉면(상면)이 서로 대향하는 측으로 경사져 있다. 각 검사용 벨트 컨베이어(81c)는, 반송 벨트(81a), 반송 종동 롤러(81b) 및 반송 구동 롤러(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 반송 벨트(81a)는, 무단상의 벨트 부재로 이루어지고, 반송 종동 롤러(81b) 및 반송 구동 롤러에 걸쳐져 있다. 검사용 벨트 컨베이어(81c)에서는, 반송 구동 롤러의 회전에 따라 반송 벨트(81a)가 순환하는 동시에 반송 종동 롤러(81b)도 회전한다. 한 쌍의 검사용 벨트 컨베이어(81c)는, 반송 종동 롤러(81b)의 축이 수평에 대하여 각각 경사지게 설치되고, 구체적으로는, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이 한 쌍의 검사용 벨트 컨베이어의 반송 종동 롤러(81b)끼리, 근접하는 측이 아래쪽에 위치하고, 이격하는 측이 위쪽에 위치하도록 경사지게 설치되어 있다. 또한, 반송 구동 롤러도 반송 종동 롤러(81b)와 마찬가지로, 근접하는 측이 아래쪽에 위치하고, 이격하는 측이 위쪽에 위치하도록 경사지게 설치되어 있다. 이로써, 투명판(P)은, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이 양측의 에지의 하부가 반송 벨트(81a)의 상면에 접촉하고, 아래쪽에 위치하는 면이 반송 벨트(81a)에 접촉하지 않은 상태로 검사용 벨트 컨베이어(81c)에 의해 반송된다. The pair of inspection belt conveyors 81c are inclined to the side where the contact surfaces (upper surfaces) with the transparent plate P are opposed to each other. Each inspection belt conveyor 81c includes a conveyor belt 81a, a conveying driven roller 81b, and a conveyance drive roller (not shown). The conveyor belt 81a is composed of an endless belt member and spans the conveying driven roller 81b and the conveying drive roller. In the inspection belt conveyor 81c, the conveying belt 81a is circulated in accordance with the rotation of the conveying drive roller, and the conveying driven roller 81b is also rotated. A pair of inspection belt conveyors 81c are provided so that the axes of the conveying driven rollers 81b are inclined relative to the horizontal direction. Specifically, as shown in Fig. 7 (A), a pair of inspection belt conveyors The conveying driven rollers 81b are disposed such that the side close to the conveying driven rollers 81b is located at the lower side and the side where the conveying driven rollers 81b are located at the upper side is inclined. In addition, like the conveying driven roller 81b, the conveying drive roller is provided so that its close side is located at the lower side and the separated side is located at the upper side. 7A, the lower side of the edges of the transparent plate P is in contact with the upper surface of the conveying belt 81a, and the lower surface thereof is not in contact with the conveying belt 81a By the inspection belt conveyor 81c.
상기 상승 부재(83)는, 도 8(A)에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 부재(81)로부터 반송된 투명판(P)의 상면을 흡인하는 흡인부(84)와, 흡인부(84)에 흡인되는 투명판(P)의 상단 에지에 접촉함으로써 투명판(P)의 높이 위치를 결정하는 위치 결정부(85)를 구비하고 있다. 복수의 위치 결정부(85)가, 흡인부(84)와 투명판(P)의 상면의 접촉을 저지하도록 투명판(P)에 접촉하는 테이퍼면(85a)을 가지고 있다. 또한, 상승 부재(83)는, 투명판(P)의 반송 방향 X의 선단 에지에 접촉하는 접촉부(86)를 추가로 구비하고 있다. 상세하게 설명하면, 상기 상승 부재(83)는, 접촉부(86)가 상기 검사용 벨트 컨베이어(81c)에 의해 반송된 투명판(P)의 선단 에지와 접촉하면[도 8(B) 및 도 8(C) 참조], 흡인부(84)가 투명판(P)의 상면을 흡인함으로써 위치 결정부(85)의 테이퍼면(85a)에 투명판(P)의 에지(상기 선단 에지와 직교하는 에지)의 상단이 접촉될 때까지 투명판(P)을 흡입하여 올린다. 이로써, 투명판(P)은, 복수의 위치 결정부(85)의 테이퍼면(85a)에 접촉함으로써 높이 방향의 위치 결정이 행해지는 동시에, 상승 부재(83)에 유지된다[도 8(A) 참조]. 즉, 투명판(P)은, 하단 에지가 제1 반송 부재(81)와 접촉된 상태로 반송된 후, 흡인부(84)의 흡인에 의해 복수의 위치 결정부(85)의 테이퍼면(85a)과 상단 에지가 접촉하고, 이로써, 제1 반송 부재(81)로부터 상승 부재(83)에 받아건네진다. 8 (A), the lifting member 83 includes a suction portion 84 for suctioning the upper surface of the transparent plate P conveyed from the first conveying member 81, a suction portion 84 for suctioning the upper surface of the transparent plate P, And a position determining section 85 for determining the height position of the transparent plate P by making contact with the upper edge of the transparent plate P sucked by the transparent plate P. A plurality of positioning portions 85 has a tapered surface 85a contacting the transparent plate P so as to prevent the suction portion 84 from contacting the upper surface of the transparent plate P. [ The lifting member 83 further includes a contact portion 86 contacting the leading edge of the transparent plate P in the carrying direction X. [ 8 (B) and 8 (B), when the contact portion 86 comes into contact with the leading edge of the transparent plate P conveyed by the inspection belt conveyor 81c The edge of the transparent plate P is pressed against the tapered surface 85a of the positioning portion 85 by sucking the upper surface of the transparent plate P by the suction portion 84, The transparent plate P is sucked up until the upper end of the transparent plate P is brought into contact. The transparent plate P is positioned in the height direction by being brought into contact with the tapered surface 85a of the plurality of positioning portions 85 and is held by the lifting member 83 Reference]. That is, after the lower edge of the transparent plate P is conveyed in contact with the first conveying member 81, the transparent plate P is conveyed to the tapered surface 85a of the plurality of positioning portions 85 by suction of the suction portion 84 And is received by the lifting member 83 from the first conveying member 81. As shown in Fig.
상기 위치 결정부(85)는, 아래쪽을 향해 돌출된 복수의 핀으로 구성되어 있다. 이 위치 결정부(85)는, 투명판(P)의 양측에 있어서 대향하도록 복수 쌍(도시한 예에서는 2쌍) 설치되어 있다[도 8(B) 참조]. 위치 결정부(85)는, 선단(하단)이 가는 원뿔 형상을 이루고 있다. 위치 결정부(85)의 원뿔 형상의 주위면이 투명판(P)의 에지에 접촉하는 상기 테이퍼면(85a)을 구성하고 있다. 또한, 상기 접촉부(86)는, 아래쪽을 향해 돌출된 원기둥 형상의 핀으로 구성되어 있다. 접촉부(86)는, 상기 위치 결정부(85)를 구성하는 핀보다도 반송 방향 X의 하류측에 설치되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 접촉부(86)를 구성하는 복수 개(도시한 예에서는 2개)의 핀이 설치되어 있다. 상기 흡인부(84)는, 흡인구(84a)가 투명판(P)의 상면과 대향하도록 아래쪽을 향해 개구되어 있다. 이 흡인구(84a)는, 상기 위치 결정부(85) 및 접촉부(86)[접촉부의 테이퍼면(85a)]보다 위쪽에 설치되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 복수(도시한 예에서는 4개)의 흡인부(84)가 설치되어 있다. The positioning portion 85 is composed of a plurality of pins protruding downward. This positioning portion 85 is provided with a plurality of pairs (two pairs in the illustrated example) so as to face each other on both sides of the transparent plate P (see Fig. 8 (B)). The positioning portion 85 has a conical shape whose tip (lower end) is thin. The conical peripheral surface of the positioning portion 85 constitutes the tapered surface 85a where the edge of the transparent plate P comes into contact. Further, the contact portion 86 is formed of a cylindrical pin protruding downward. The contact portion 86 is provided on the downstream side in the conveying direction X with respect to the fin constituting the positioning portion 85. In the present embodiment, a plurality of (two in the illustrated example) pins constituting the contact portion 86 are provided. The suction portion 84 is opened downward so that the suction port 84a faces the upper surface of the transparent plate P. [ The suction port 84a is provided above the positioning portion 85 and the contact portion 86 (the tapered surface 85a of the contact portion). In the present embodiment, a plurality of (four in the illustrated example) suction portions 84 are provided.
상기 상승 부재(83)는, 투명판 검사 장치(70)의 하우징(70h)에 대하여 상하 이동 가능하게 설치되고, 구체적으로는 위치 결정부(85), 흡인부(84) 및 접촉부(86)가 장착되는 동시에 상기 하우징(70h)에 대하여 상하 이동 가능하게 설치된 상승 부재(83)의 본체(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그러므로, 상승 부재(83)는, 전술한 바와 같이 제1 반송 부재(81)로부터 투명판(P)을 수취한 후, 하우징(70h)에 대하여 상승 부재(83)의 본체가 상승함으로써 투명판(P)을 상승시키고, 그 투명판(P)을 제2 반송 부재(88)에 받아건네고, 그 후, 하강하여 다음의 투명판(P)을 제1 반송 부재(81)로부터 수취하도록 동작을 행한다. The ascending member 83 is vertically movable with respect to the housing 70h of the transparent plate inspection apparatus 70 and specifically includes a positioning portion 85, a suction portion 84, and a contact portion 86 And a body (not shown) of a lifting member 83 installed to be movable up and down with respect to the housing 70h. Therefore, after the transparent plate P is received from the first conveying member 81 as described above, the lifting member 83 is lifted up by the main body of the lifting member 83 with respect to the housing 70h, P is raised and the transparent plate P is received by the second conveying member 88 and then lowered to receive the next transparent plate P from the first conveying member 81 .
상기 제2 반송 부재(88)는, 전술한 바와 같이 상승 부재(83)가 상승시킨 투명판(P)을 수취하고, 검사부(72)의 촬상 영역까지 투명판(P)을 반송한다. 이 제2 반송 부재(88)는, 도 9(B)에 나타낸 바와 같이 상승 부재(83)가 상승시킨 투명판(P)의 에지의 상부에 접촉하여 투명판(P)을 지지함으로써 투명판(P)을 수취하는 지지부(89)를 가지고 있다. 그리고, 제2 반송 부재(88)가 투명판(P)을 상승 부재(83)로부터 받아건넬 때는, 흡인부(84)에 의해 투명판(P)이 흡인되어 있다. 상기 지지부(89)는, 반송 방향 X와 직교하는 방향의 외측으로부터 내측을 향해 돌출, 요컨대 측방으로부터 투명판(P) 측을 향해 돌출된 복수의 핀으로 구성되어 있다. 상기 지지부(89)는, 투명판(P)의 양측에 있어서 대향하도록 복수 쌍(도시한 예에서는 2쌍) 설치되고, 대향하는 핀끼리는 서로 접근 및 이격 가능하게 설치되어 있다. 이 지지부(89)는, 선단이 가는 원뿔 형상을 이루고, 이 원뿔 형상의 주위면(89a)이 투명판(P)의 에지의 하부에 접촉한다. The second carrying member 88 receives the transparent plate P lifted by the lifting member 83 and conveys the transparent plate P to the imaging region of the inspection unit 72 as described above. 9 (B), the second carrying member 88 comes into contact with the upper part of the edge of the transparent plate P raised by the lifting member 83 to support the transparent plate P, P from the outside. The transparent plate P is sucked by the suction unit 84 when the second conveying member 88 receives the transparent plate P from the lifting member 83. [ The support portion 89 is composed of a plurality of fins protruding inward from the outside in the direction orthogonal to the carrying direction X, that is, protruding from the side toward the transparent plate P side. The support portions 89 are provided in a plurality of pairs (two pairs in the illustrated example) so as to face each other on both sides of the transparent plate P, and the opposing fins are provided so as to approach each other and to be spaced apart from each other. The supporting portion 89 has a conical shape with a thin distal end, and the conical peripheral surface 89a is in contact with the lower portion of the edge of the transparent plate P.
이 제2 반송 부재(88)는, 도 9(A) 및 도 9(B)에 나타낸 바와 같이 투명판(P)의 에지에 접촉하여 상기 투명판(P)을 양측으로부터 끼워넣는 복수 쌍(도시한 예에서는 2쌍)의 파지부(90)를 구비하고 있다. 이 파지부(90)는, 상승한 투명판(P)의 에지에 이격 및 접촉 가능하도록 동작하는 동시에 반송 방향 X로 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 파지부(90)는, 상승 부재(83)에 의해 상승된 투명판(P)을 파지하고, 그 후 반송 방향 X로 반송한다. 구체적으로는, 파지부(90)는, 전술한 바와 같이 상승 부재(83)가 상승할 때는 투명판(P)으로부터 이격하고 있고, 상승 부재(83)에 의해 상승시킨 후, 제2 반송 부재(88)의 지지부(89)와 흡인부(84)에서 투명판(P)이 유지된 후, 투명판(P)의 에지에 접근하여 끼워넣음으로써 투명판(P)을 파지한다. 그리고, 그 후 파지부(90)는, 이 파지한 투명판(P)을 반송 방향으로 반송하기 위해 반송 방향으로 이동한다. 그리고, 파지부(90)는, 적어도 표면을 탄성 부재로 구성하는 것이 바람직하고, 예를 들면, 고무나 실리콘에 의해 구성할 수 있다. 9 (A) and 9 (B), the second conveying member 88 is provided with a plurality of pairs (a plurality of pairs) for fitting the transparent plate P from both sides in contact with the edge of the transparent plate P (Two pairs in one example). The gripping portion 90 is provided so as to be able to move away from and contact with the edge of the raised transparent plate P while being movable in the carrying direction X. [ The gripper 90 grips the transparent plate P lifted by the lifting member 83 and then carries it in the carrying direction X. [ Specifically, the grip portion 90 is spaced from the transparent plate P when the lifting member 83 is lifted as described above. After lifted by the lifting member 83, the gripping member 90 is lifted by the lifting member 83, The transparent plate P is held by the supporting portion 89 and the suction portion 84 of the transparent plate P and then the transparent plate P is gripped by fitting it to the edge of the transparent plate P. [ Then, the gripper 90 moves in the transport direction to transport the gripped transparent plate P in the transport direction. The grip portion 90 preferably has at least a surface made of an elastic member, and may be made of, for example, rubber or silicone.
그리고, 상기 지지부(89)도, 파지부(90)와 마찬가지로 반송 방향 X로 이동 가능하게 설치되고, 환언하면, 지지부(89)는 상승 부재(83)와의 투명판(P)의 받아건넴 위치로부터 반송 방향 X로 벗어날 수 있도록 설치되어 있다. 그리고, 상기 지지부(89)는, 파지부(90)에 의한 투명판(P)의 파지 후, 상승 부재(83)와의 투명판(P)의 받아건넴 위치로부터 벗어나도록 파지부(90)와 함께 반송 방향 X를 따라 이동하고, 그 후, 상승 부재(83)는 하강하여, 제1 반송 부재(81)에 의해 반송되는 다음의 투명판(P)을 수취한다. The supporting portion 89 is also provided so as to be movable in the carrying direction X in the same manner as the holding portion 90. In other words, the supporting portion 89 is moved from the receiving position of the transparent plate P to the lifting member 83 So that it can escape in the carrying direction X. The support portion 89 is coupled with the grip portion 90 so as to deviate from the take-in position of the transparent plate P with the lift member 83 after gripping the transparent plate P by the grip portion 90 The lifting member 83 is lowered to receive the next transparent plate P conveyed by the first conveying member 81. Then,
그리고, 도시한 예에서는, 제2 반송 부재(88)가, 1조의 지지부(89) 및 파지부(90)를 가지는 것에 대하여 설명하였으나, 복수 조(組)(예를 들면, 2조)의 지지부(89) 및 파지부(90)를 설치할 수 있다. 즉, 1조의 지지부(89) 및 파지부(90)에 의해 전술한 바와 같이 상승 부재(83)로부터의 투명판(P)의 수취 동작을 행하고 있을 때, 다른 조의 파지부(90)가 다른 동작[예를 들면, 검사부(72)의 촬상 영역으로의 반송 동작]을 행하도록 설치하는 것이 가능하다. 이와 같이 복수 조의 지지부(89) 및 파지부(90)를 설치하는 경우, 상기 파지부(90)에 의한 투명판(P)의 파지하는 상하 높이가 일정한 것이 바람직하고, 이로써, 상승 부재(83)로부터의 받아건넴 동작 및 검사부(72)에 의한 촬상이 일정한 상하 높이로 행할 수 있다. 그리고, 복수 조의 파지부(90)의 상하 높이를 일정하게 하기 위해서는, 예를 들면, 파지부(90)를 반송 방향으로 이동시키기 위한 레일을 각 조에서 상이한 높이로 설치하고, 이 레일을 주행하는 주행체에서의 각 파지부(90)의 설치 높이를 다르게 함으로써, 각 조의 파지부(90)의 상하 높이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 이 주행체의 형상을 반송 방향에서 중첩되지 않도록 설치함으로써, 각 파지부(90)의 반송 방향의 주행 시에 서로 방해가 되지 않는다. In the illustrated example, the second conveying member 88 has a pair of support portions 89 and 90, but a plurality of pairs (for example, two pairs) of support portions (89) and a grip portion (90). That is, when the receiving operation of the transparent plate P from the lifting member 83 is performed by the pair of the support portions 89 and 90 as described above, (For example, the carrying operation of the inspection section 72 to the image pickup area). When the plurality of pairs of support portions 89 and 90 are provided as described above, it is preferable that the height of the transparent plate P held by the grip portion 90 is constant, And the imaging operation by the inspection unit 72 can be performed with a predetermined vertical height. In order to make the vertical height of the plurality of grip portions 90 constant, for example, rails for moving the grip portions 90 in the transport direction are provided at different heights in the respective tanks, By making the installation height of the grip portions 90 different from each other in the traveling body, the vertical height of the grip portions 90 of each group can be made constant. Further, by providing the shapes of the traveling bodies so as not to overlap in the carrying direction, they do not interfere with each other when traveling in the carrying direction of the grip portions 90.
<이점><Advantages>
상기 투명판 청소 검사 시스템(1)에 의하면, 제1 청소 장치(10A), 제2 청소 장치(10B) 및 이물질 제거 장치(50)에 의해 청소된 투명판(P)을 상기 투명판 검사 장치(70)에 의해 검사할 수 있다. 또한, 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)의 섬유제의 청소포에 기초하여 투명판(P)에 섬유 등의 이물질이 부착되어도 이물질 제거 장치(50)에 의해 상기 이물질을 확실하게 제거할 수 있으므로, 상기 투명판 검사 장치(70)에 있어서 상기 이물질에 의해 투명판(P)의 결함으로 판단될 우려가 적다. According to the transparent plate cleaning inspection system 1, the transparent plate P cleaned by the first cleaning device 10A, the second cleaning device 10B and the foreign material removing device 50 is transferred to the transparent plate inspection device 70). &Lt; / RTI &gt; The transparent plate cleaning inspection system 1 can remove foreign matter even if foreign substances such as fibers are attached to the transparent plate P based on the cleaning cloth of the fibers of the first cleaning apparatus 10A and the second cleaning apparatus 10B It is possible to surely remove the foreign matter by the apparatus 50, so that it is less likely to be judged as a defect of the transparent plate P by the foreign substance in the transparent plate inspection apparatus 70.
또한, 상기 투명판 검사 장치(70)에 의한 검사에서는, 투명판 검사 장치(70)의 하우징(70h)의 내부는, 가압 기구에 의해 내압이 상승되어 있으므로, 하우징(70h)의 외부로부터 내부에 공기가 유입되기 어렵다. 그러므로, 하우징(70h)의 외부로부터 내부로의 이물질의 침입을 확실하게 저지할 수 있고, 이로써, 하우징(70h)의 내부에 있어서 투명판(P)에 이물질이 부착되는 것이 확실하게 저지되어 정확한 검사를 행하는 것이 가능해진다. In the inspection by the transparent plate inspection apparatus 70, since the internal pressure of the inside of the housing 70h of the transparent plate inspection apparatus 70 is raised by the pressurizing mechanism, the inside of the housing 70h Air is difficult to enter. Therefore, it is possible to reliably prevent foreign matter from entering the interior of the housing 70h from the outside, thereby preventing foreign substances from adhering to the transparent plate P inside the housing 70h, Can be performed.
또한, 상기 가압 기구는, 상기 하우징(70h)의 외부의 공기를 하우징(70h)의 내부에 보내는 송입 기구와, 이 송입 기구에 의해 보내진 공기에 포함되는 이물질이 상기 하우징(70h)의 내부로 침입하는 것을 차단하는 필터를 가지고 있으므로, 송입 기구에 의해 공급되는 공기에 의해 하우징(70h)의 내압을 높일 수 있고, 또한 이 공급되는 공기의 이물질은 필터에 의해 하우징(70h) 내부로의 침입을 저지할 수 있으므로, 송입 기구에 의한 하우징(70h)의 내부로의 이물질의 침입을 저지할 수 있고, 이로써, 정확한 검사를 행하는 것이 가능해진다. The pressing mechanism includes a feeding mechanism for sending the air outside the housing 70h to the inside of the housing 70h and a foreign matter contained in the air sent by the feeding mechanism to the inside of the housing 70h The internal pressure of the housing 70h can be increased by the air supplied by the air supply mechanism and the foreign matter of the air to be supplied is prevented from entering the inside of the housing 70h by the filter It is possible to prevent foreign matter from entering the interior of the housing 70h by the feeding mechanism, thereby making it possible to perform an accurate inspection.
또한, 가압 기구는, 하우징(70h)의 상부에 설치되고, 아래쪽을 향해 공기가 송입됨으로써, 하우징(70h)의 내압을 높일 수 있는 동시에, 만일 하우징(70h)의 내부에 이물질이 침입했다고 해도 그 이물질은 아래쪽으로 흐르게 되어, 반입구(76)또는 반출구(77)로부터 배출되기 쉽고, 정확한 검사를 용이하게 행한다. Also, the pressurizing mechanism is installed on the upper portion of the housing 70h, and air is supplied downward to increase the internal pressure of the housing 70h. Even if foreign matter intrudes into the housing 70h, The foreign matter flows downward and is easily discharged from the inlet port 76 or the outlet port 77 to facilitate an accurate inspection.
또한, 상기 투명판 검사 장치(70)의 반송 기구(80)는, 투명판(P)의 에지에 접촉하고, 투명판(P)의 청소면(제1 면 및 제2 면)에 접촉하지 않은 상태로 투명판(P)을 반송할 수 있으므로, 반송 기구(80)에 의해 투명판(P)의 청소면에 오염 또는 이물질이 부착되는 것을 확실하게 저지할 수 있고, 정확한 검사를 행하는 것이 가능해진다. The transport mechanism 80 of the transparent plate inspection apparatus 70 is in a state in which it contacts the edge of the transparent plate P and does not contact the cleaned surface (first surface and second surface) of the transparent plate P It is possible to reliably prevent contamination or foreign matter from adhering to the cleaned surface of the transparent plate P by the transport mechanism 80, and to perform accurate inspection.
특히, 상기 반송 기구(80)는, 투명판(P)을 검사부(72)의 촬상 영역에 반송하는 제2 반송 부재(88)가 투명판(P)의 에지를 양측으로부터 파지하는 파지부(90)를 가지므로, 검사부(72)의 촬상 영역에서 투명판(P)의 상면측 및 하면측의 다른 부재가 검사부(72)의 촬상에 방해가 되지 않고, 각종 촬상을 행하는 것이 가능해져, 검사 정밀도의 향상을 도모할 수 있다. Particularly, the transporting mechanism 80 includes a second transporting member 88 for transporting the transparent plate P to the image pickup area of the inspection unit 72, and a gripping unit 90 for gripping the edge of the transparent plate P from both sides The other members on the upper surface side and the lower surface side of the transparent plate P in the imaging region of the inspection section 72 can perform various imaging without interfering with the imaging of the inspection section 72, Can be improved.
또한, 상기 반송 기구(80)는, 제2 반송 부재(88)의 상류측으로 투명판(P)을 반송하는 제1 반송 부재(81)를 가지고, 즉 촬상 영역의 반송과 반입측의 반송을 독립적으로 행할 수 있으므로, 제1 반송 부재(81) 및 제2 반송 부재(88)의 설계의 자유도가 높고, 상기 투명판 검사 장치(70)의 비용 증대를 억제하면서 처리 속도를 높일 수 있다. The transport mechanism 80 has a first transport member 81 for transporting the transparent plate P to the upstream side of the second transport member 88, that is, The degree of freedom in designing the first transporting member 81 and the second transporting member 88 is high and the processing speed can be increased while suppressing an increase in cost of the transparent plate inspection apparatus 70. [
또한, 제1 반송 기구(80)로서, 투명판(P)과의 접촉면이 서로 대향하는 측으로 경사지는 한 쌍의 검사용 벨트 컨베이어(81c)를 사용하고 있으므로, 각 벨트 컨베이어(81c)의 접촉면이 투명판(P)의 에지의 하부와 접촉하고, 투명판(P)의 청소면에 접촉하지 않은 상태로 투명판(P)을 원활하게 반송할 수 있다. Since the first conveying mechanism 80 uses a pair of inspection belt conveyors 81c whose contact surfaces with the transparent plate P are inclined toward each other, the contact surfaces of the belt conveyors 81c It is possible to smoothly transport the transparent plate P in a state in which the transparent plate P is in contact with the lower portion of the edge of the transparent plate P and is not in contact with the clean surface of the transparent plate P. [
또한, 상기 반송 기구(80)는, 제1 반송 부재(81)로부터 제2 반송 부재(88)에 투명판(P)을 이송하기 위한 상승 부재(83)를 가지고 있으므로, 제1 반송 부재(81)로부터 제2 반송 부재(88)로의 투명판(P)의 이송을 매우 적절하면서 신속하게 행할 수 있다. Since the transport mechanism 80 has the lifting member 83 for transporting the transparent plate P from the first transporting member 81 to the second transporting member 88, the first transporting member 81 To the second conveying member 88 can be carried out very quickly and appropriately.
특히, 상기 상승 부재(83)는, 제1 반송 부재(81)와 에지의 하부가 접촉된 상태로 반송된 투명판(P)의 상면을 흡인하는 흡인부(84), 및 이 흡인부(84)에 흡인되는 투명판(P)의 에지의 상부에 테이퍼면(85a)이 접촉함으로써 투명판(P)을 유지하는 복수의 위치 결정부(85)를 구비하고 있으므로, 흡인부(84)에 의한 상면의 흡인에 의해 제1 반송 부재(81)로부터 투명판(P)을 용이하고 또한 확실하게 수취할 수 있다. In particular, the lifting member 83 includes a suction portion 84 for suctioning the upper surface of the transparent plate P conveyed with the first conveying member 81 in contact with the lower portion of the edge, and a suction portion 84 And the plurality of positioning portions 85 for holding the transparent plate P by the tapered surface 85a contacting the upper portion of the edge of the transparent plate P sucked by the suction portion 84 The transparent plate P can be easily and surely received from the first conveying member 81 by the suction of the upper surface.
또한, 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 제1 청소 장치(10A)에 의해 투명판(P)의 제1 면이 청소되고, 제1 면이 청소된 후의 투명판(P)이 반전 장치(30)에 의해 반전되고, 이 반전된 투명판(P)의 제2 면이 제2 청소 장치(10B)에 의해 청소되므로, 사람이 개재하지 않고 투명판(P)의 양면을 청소할 수 있다. In the transparent plate cleaning inspection system 1, the first surface of the transparent plate P is cleaned by the first cleaning device 10A, and the transparent plate P after the first surface is cleaned, And the second surface of the inverted transparent plate P is cleaned by the second cleaning device 10B so that both surfaces of the transparent plate P can be cleaned without human intervention.
또한, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 각각 반송 기구(11)에 의해 투명판(P)을 반송하면서, 이 투명판(P)의 청소면을 1매의 장척형 청소포(C)의 한쪽 면에 의해 복수회 청소할 수 있기 때문에, 복수의 청소 개소에 있어서 원하는 청소를 행할 수 있고, 투명판(P)의 양면을 확실하게 청소할 수 있다. 또한, 복수의 청소 개소에 있어서 청소포(C)를 반전시키지 않고 청소포(C)의 한쪽 면에 의해 청소면을 청소하므로, 종래의 단자부의 청소 장치와 같이 반전 수단을 설치할 필요가 없기 때문에, 비용 상승 및 유지 보수의 복잡성을 억제할 수 있다. The first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are configured such that the transparent plate P is transported by the transport mechanism 11 and the cleaned surface of the transparent plate P is made into one long It is possible to perform a desired cleaning at a plurality of cleaning positions and to reliably clean both surfaces of the transparent plate P since the cleaning can be performed a plurality of times by one surface of the cleaning cloth C. [ In addition, since the cleaning surface is cleaned by one surface of the cleaning cloth C without reversing the cleaning cloth C at a plurality of cleaning portions, there is no need to provide an inverting means like the conventional cleaning device for the terminal portion, The maintenance complexity can be suppressed.
또한, 청소포(C)는, 전술한 바와 같이 1매의 청소포(C)의 한쪽 면에서 복수회 청소면을 청소하고, 또한 청소포(C)는 반송 방향 X와 역방향으로 보내지므로, 반송 방향 X의 하류측(청소포 송급 방향 상류측)에 있어서 미사용(미접촉)의 청소포(C)에 의해 투명판(P)을 청소하고, 반송 방향 X의 상류측(청소포 송급 방향 하류측)에 있어서 사용 후(접촉 완료)의 청소포(C)에 의해 투명판(P)을 청소할 수 있다. 그러므로, 청소포(C)의 각 부분을 복수회의 청소에 사용할 수 있는 동시에, 반송 방향 X에 따라 오염이 적은 상태의 청소포(C)로 투명판(P)을 청소할 수 있다. Since the cleaning cloth C is cleaned a plurality of times on one side of one cleaning cloth C and the cleaning cloth C is sent in the direction opposite to the carrying direction X as described above, (Not contacted) cleaning cloth C on the upstream side (the upstream side in the cleaning cloth feed direction) of the transparent cloth P and after use (contact completion) on the upstream side (downstream side in the cleaning cloth feeding direction) The transparent plate P can be cleaned by the cleaning cloth C of the transparent plate P. Therefore, each portion of the cleaning cloth C can be used for cleaning a plurality of times, and the transparent plate P can be cleaned with the cleaning cloth C in a state of less contamination along the carrying direction X. [
또한, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 청소포(C)에 세정액을 공급하는 세정액 공급 기구를 구비하고 있으므로, 세정액을 함유하는 청소포(C)에 의해 투명판(P)의 청소면을 바람직하게 청소할 수 있다. Since the first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are provided with the cleaning liquid supply mechanism for supplying the cleaning liquid C to the cleaning liquid C, the cleaning liquid C containing the cleaning liquid is supplied to the transparent plate P Can be preferably cleaned.
또한, 제1 청소 장치(10A) 및 제2 청소 장치(10B)는, 2개의 가압 헤드(13) 사이의 청소포(C)의 텐션을 조정하는 텐션 롤러를 구비하므로, 각 가압 헤드(13)에 있어서 청소포(C)에 충분한 텐션을 부여할 수 있어, 보다 확실한 청소를 행할 수 있다. Since the first cleaning device 10A and the second cleaning device 10B are provided with the tension roller for adjusting the tension of the cleaning cloth C between the two pressure heads 13, Sufficient tension can be given to the cleaning cloth C, and more reliable cleaning can be performed.
상기 세정액 공급 기구(28)는, 가압 헤드(13)의 청소포 공급 방향 상류측의 청소포(C)에도 금(선)이 남지 않는 정도로 미량인 세정액을 공급하고 있으므로, 완전히 건조된 청소포(C)에 의한 것보다 약간 세정액이 함침되어 있는 청소포(C)에 의해 청소함으로써, 보다 깨끗하게 청소면을 청소할 수 있고, 보다 확실한 청소가 가능해진다. The cleaning liquid supply mechanism 28 supplies a cleaning liquid in a small amount to the cleaning cloth C on the upstream side of the cleaning cloth supply direction of the pressing head 13 so that no fine line is left, By cleaning with the cleaning cloth C impregnated with the cleaning liquid a little more than that by the cleaning cloth C, the cleaning surface can be cleaned more cleanly and more reliable cleaning becomes possible.
또한, 제1 가압 패드(14) 및 제2 가압 패드(15)가, 청소 시에 있어서 상기 투명판(P)의 반송 방향 X의 직교 방향이면서 상기 청소면의 평면 방향으로 왕복 이동하므로, 청소포(C)가 제1 가압 패드(14) 및 제2 가압 패드(15)에 의해 투명판(P)의 청소면에 가압되고, 투명판(P)의 청소면에 접촉된 청소포(C)가 반송 방향 X의 직교 방향으로 이동하므로, 청소포(C)에 의해 청소면을 더욱 확실하게 청소할 수 있다. Since the first pressing pad 14 and the second pressing pad 15 reciprocate in the plane direction of the cleaning surface in the direction perpendicular to the carrying direction X of the transparent plate P during cleaning, Is pressed against the cleaning surface of the transparent plate P by the first pressure pad 14 and the second pressure pad 15 and the cleaning cloth C which is in contact with the cleaning surface of the transparent plate P is perpendicular The cleaning surface C can clean the cleaning surface more reliably.
또한, 상기 투명판 청소 검사 시스템(1)은, 전술한 바와 같이 제2 청소 장치(10B)로부터 반출된 투명판(P)의 제1 면(p1) 및 제2 면(p2)에 부착되는 이물질을 제거 가능한 이물질 제거 장치(50)를 구비하고 있으므로, 만일 상기 청소 단계에서 투명판(P)에 섬유제의 청소포(C) 등이 기인하는 이물질이 부착된 경우나, 장치 내에서 생기는 미소한 이물질이 부착되었다고 해도, 이물질 제거 장치(50)에 의해 이물질을 확실하게 제거할 수 있다. The transparent plate cleaning inspection system 1 may be configured such that the foreign matter attached to the first surface p1 and the second surface p2 of the transparent plate P taken out from the second cleaning device 10B, It is possible to prevent foreign materials such as a cleaning cloth C from being adhered to the transparent plate P from adhering to the transparent plate P in the cleaning step, Foreign matter can be surely removed by the foreign material removing device 50 even if it is attached.
상기 이물질 제거 장치(50)는, 점착 롤러(51)의 점착면에 부착되는 이물질을 제거 가능한 점착 테이프(53)를 구비하고 있으므로, 점착 롤러(51)의 점착면으로부터 부착된 이물질을 점착 테이프(53)에 의해 제거할 수 있고, 이로써, 점착 롤러(51)의 점착면의 점착력이 회복되고, 상기 이물질 제거 장치(50)를 장기간 바람직한 상태로 운전할 수 있다. The foreign matter removing device 50 is provided with the adhesive tape 53 capable of removing foreign matter adhering to the adhesive surface of the adhesive roller 51 so that the foreign matter adhered from the adhesive surface of the adhesive roller 51 is adhered to the adhesive tape 53, whereby the adhesive force of the adhesive surface of the adhesive roller 51 is restored, and the foreign matter removing device 50 can be operated in a desired state for a long period of time.
또한, 이물질 제거 장치(50)는, 점착 테이프(53)를 공급하는 점착 테이프 송급 기구(54)를 가지고, 이 점착 테이프 송급 기구(54)는, 간헐적으로 점착 테이프(53)를 점착 롤러(51)에 접촉시키도록 설치되어 있으므로, 점착 테이프의 사용량을 저감할 수 있다. The foreign matter removing device 50 also has an adhesive tape feeding and feeding mechanism 54 for feeding the adhesive tape 53. The adhesive tape feeding and feeding mechanism 54 intermittently attaches the adhesive tape 53 to the pressure roller 51 , The amount of use of the adhesive tape can be reduced.
[그 외의 실시 형태]            [Other Embodiments]
이번 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니라고 고려되야 한다. 본 발명의 범위는, 상기 실시 형태의 구성에 한정되지 않고, 특허청구범위에 의해 표시되고, 특허청구범위와 균등의 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(구성의 치환, 부가 및 삭제)이 포함되는 것이 의도된다. The presently disclosed embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiments, but includes all changes (replacement, addition, and deletion of configuration) within the meaning and scope equivalent to the claims, Is intended.
즉, 상기 실시 형태에 있어서는, 상기 투명판 검사 장치가 제1 청소 장치, 반전 장치, 제2 청소 장치 및 이물질 제거 장치를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템에 사용되는 것에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 투명판 검사 장치가 단독으로 사용되는 것도 본 발명이 의도하는 범위 내이다. 또한, 본 발명은, 투명판 검사 장치와 이물질 제거 장치만의 시스템이나, 청소 장치와 투명판 검사 장치를 구비한 시스템이어도 된다. That is, in the above embodiment, the transparent plate inspection apparatus is used in the transparent plate cleaning inspection system including the first cleaning apparatus, the reversing apparatus, the second cleaning apparatus, and the foreign matter removing apparatus. However, And it is within the scope of the present invention that the transparent plate inspection apparatus alone is used. Further, the present invention may be a system comprising only a transparent plate inspection apparatus and a foreign matter removal apparatus, or a system provided with a cleaning apparatus and a transparent plate inspection apparatus.
또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 제2 청소 장치의 하우징의 반출구와 이물질 제거 장치의 하우징의 반입구를 기밀하게 접속하고 있는 것에 대해 설명하였으나, 제2 청소 장치와 이물질 제거 장치 사이에 별도로 로더를 배치하는 것도 가능하고, 나아가, 상기 투명판 검사 장치의 상류에 로더를 배치하는 것도 가능하다. 또한, 투명판 검사 장치의 하류측에 라미네이트 장치를 배치하고, 검사 종료 후의 투명판의 양면에 보호 필름을 부착하는 것도 가능하다. In the above embodiment, a description has been given of a case in which the semi-inlet of the housing of the second cleaning device is hermetically connected to the inlet of the housing of the foreign material removing device, but a loader is separately provided between the second cleaning device and the foreign material removing device Further, it is also possible to arrange the loader on the upstream side of the transparent plate inspection apparatus. It is also possible to dispose a laminating apparatus on the downstream side of the transparent plate inspecting apparatus and attach a protective film to both sides of the transparent plate after inspection.
상기 실시 형태에서는, 하우징의 상부에 2개의 이물질 부착 저지 기구가 설치된 투명판 검사 장치에 대해 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 하우징의 상부에 1개 또는 3개 이상의 이물질 부착 저지 기구가 설치된 투명판 검사 장치이어도 된다. In the above embodiment, the transparent plate inspection apparatus provided with the two foreign substance adhesion preventing mechanisms at the upper portion of the housing is explained. However, the present invention is not limited to this, and the transparent plate inspection apparatus provided with one or three or more foreign substance- Device.
또한, 상기 실시 형태에서는, 이물질 부착 저지 기구로서 하우징의 내압을 높이는 가압 기구를 설치하는 것에 대해 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 이물질 부착 저지 기구로서, 하우징의 내부에 설치되고, 반입구로부터 상기 하우징의 외부에 공기를 배출하는 송출 기구를 채용하는 것도 가능하다. 구체적으로는, 송출 기구는, 반입구 부근의 내부에 설치된 송풍기를 가지고, 이 송풍기에 의해 하우징의 내부의 공기를 반입구를 통하여 외부에 배출하도록 설치할 수 있다. 또한, 전술한 바와 같은 송출 기구를 배출구측에도 설치하는 것도 가능하다. 또한, 상기 송출 기구를 설치한 경우, 하우징에 공기 도입구를 설치하고, 이 공기 도입구에 에어 필터를 부설하고, 에어 필터를 통하여 하우징의 내부에 공기가 받아들여지도록 설치할 수도 있다. 나아가, 이물질 부착 저지 기구로서, 상기 가압 기구와 함께 상기 송출 기구를 설치하는 것도 가능하다. In the above-described embodiment, a pressing mechanism for increasing the internal pressure of the housing is provided as the foreign substance adhesion preventing mechanism, but the present invention is not limited thereto. For example, it is possible to adopt a delivery mechanism which is provided inside the housing and discharges air to the outside of the housing from the inlet port as a foreign substance adhesion prevention mechanism. Specifically, the delivery mechanism may have a blower installed inside the vicinity of the inlet port, and the air inside the housing may be discharged through the inlet port to the outside by the blower. It is also possible to provide the above-described delivery mechanism on the discharge port side. When the delivery mechanism is provided, an air inlet may be provided in the housing, an air filter may be installed in the air inlet, and air may be introduced into the housing through the air filter. Furthermore, as the foreign substance adhesion preventing mechanism, it is also possible to provide the delivery mechanism together with the above-described pressing mechanism.
또한, 상기 투명판 검사 장치의 반송 기구는, 상기 실시 형태의 것에 한정되는 것은 아니다. 단, 이 반송 기구는, 투명판의 청소면에 접촉하지 않고 에지에 접촉함으로써 투명판을 유지하는 것이 바람직하고, 이로써, 반송 기구에 의해 투명판의 청소면에 이물질이 부착되는 것을 억제할 수 있다. Further, the transport mechanism of the transparent plate inspection apparatus is not limited to the above-described embodiment. However, it is preferable that the transport mechanism holds the transparent plate by contacting the edge without touching the cleaned surface of the transparent plate, whereby it is possible to suppress adhesion of foreign matter to the cleaned surface of the transparent plate by the transport mechanism.
상기한 실시 형태에서는, 투명판 검사 장치에서는, 이물질 제거 기구로부터 수취하여 검사부에 반송하는 경우에만 벨트 컨베이어를 사용하였지만, 검사를 종료한 후에 투명판 검사 장치 밖으로 배출할 때에도 동일한 구성을 이용하여 배출하도록 해도 된다. In the above embodiment, the transparent plate inspection apparatus uses the belt conveyor only when it is received from the foreign substance removal mechanism and is transported to the inspection section. However, when the inspection is finished and then discharged outside the transparent plate inspection apparatus, You can.
상기한 실시 형태에서는, 투명판 검사 장치에서는, 카메라 등을 사용하여 투명판(P)의 표면을 검사했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 다른 검사 방법이어도 된다. In the embodiment described above, the transparent plate inspection apparatuses have been inspected on the surface of the transparent plate P using a camera or the like, but the present invention is not limited to this and other inspection methods may be used.
상기한 실시 형태에서는, 투명판 검사 장치는, 4개의 카메라 등을 사용하여 투명판(P)의 표면을 검사했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 3개 이하 또는 5개 이상의 카메라를 사용하여 검사해도 된다. In the above embodiment, the transparent plate inspecting apparatus inspects the surface of the transparent plate P using four cameras or the like, but the present invention is not limited to this, and it is possible to inspect the transparent plate P using three or less cameras You can.
상기 실시 형태의 이물질 제거 장치에서는, 간헐적으로 점착 롤러의 표면의 이물질을 점착 테이프로 제거했지만, 이에 한정되지 않고, 항상 점착 롤러의 표면의 이물질을 제거하는 구성이어도 된다. In the foreign substance removing apparatus of the embodiment, the foreign substances on the surface of the pressure roller are intermittently removed by the adhesive tape. However, the present invention is not limited to this, and the foreign matter on the surface of the pressure roller may be always removed.
상기한 실시 형태에서는, 청소 장치에서는 청소포를 사용하여 청소하는 구성을 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 브러시 등 다른 청소 방법을 채용한 구성이어도 된다. In the above embodiment, the cleaning apparatus is configured to clean using a cleaning cloth. However, the present invention is not limited to this, and another cleaning method such as a brush may be employed.
상기한 실시 형태에서는, 2개의 청소 장치와 반전 장치를 구비한 구성을 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 양면을 동시에 청소할 수 있는 구성을 채용해도 된다. In the above-described embodiment, a configuration including two cleaning devices and an inverting device is adopted, but the present invention is not limited to this configuration, and a configuration capable of cleaning both surfaces simultaneously may be employed.
본 발명의 청소 장치 및 투명판 청소 검사 시스템은, 휴대 기기의 표시 장치에 사용되는 유리 기판 등의 투명판의 청소에 바람직하게 이용할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The cleaning device and the transparent plate cleaning inspection system of the present invention can be suitably used for cleaning a transparent plate such as a glass substrate used in a display device of a portable device.
10A: 제1 청소 장치
10B: 제2 청소 장치
30: 반전 장치
50: 이물질 제거 장치
70: 투명판 검사 장치
70h: 하우징
72: 검사부
75: 이물질 부착 저지 기구
80: 반송 기구
81: 제1 반송 부재
83: 상승 부재
84: 흡인부
85: 유지부
85a: 테이퍼면
88: 제2 반송 부재
89: 지지부
90: 파지부
P: 투명판
X: 투명판의 반송 방향
10A: First cleaning device
10B: Second cleaning device
30: Reversing device
50: foreign matter removing device
70: Transparent plate inspection device
70h: housing
72:
75: Stopper with foreign substance
80:
81: First conveying member
83: lifting member
84:
85:
85a: Tapered surface
88: second conveying member
89: Support
90:
P: Transparent plate
X: Transport direction of the transparent plate

Claims (16)

  1. 투명판을 검사하는 투명판 검사 장치로서,
    상기 투명판의 반입구 및 반출구를 가지는 하우징,
    상기 반입구로부터 상기 반출구까지 상기 투명판을 반송하는 반송 기구,
    상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 투명판을 검사하는 검사부, 및
    상기 하우징의 내부에서 이물질이 상기 투명판에 부착되는 것을 저지하는 이물질 부착 저지 기구
    를 구비하는 투명판 검사 장치.
    A transparent plate inspection apparatus for inspecting a transparent plate,
    A housing having an inlet and an outlet for the transparent plate,
    A transport mechanism for transporting the transparent plate from the refill inlet to the refill outlet,
    An inspection unit for inspecting the transparent plate carried by the transport mechanism, and
    And a foreign matter adhering member for preventing foreign matter from adhering to the transparent plate inside the housing
    And a transparent plate.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이물질 부착 저지 기구가 외기압보다도 상기 하우징의 내압을 높이는 가압 기구를 가지는, 투명판 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the foreign substance adhesion preventing mechanism has a pressing mechanism for increasing the internal pressure of the housing with respect to the external air pressure.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압 기구가, 상기 하우징의 외부의 공기를 상기 하우징의 내부에 보내는 송입 기구와, 상기 송입 기구에 의해 보내지는 공기에 포함되는 이물질이 상기 하우징의 내부로 침입하는 것을 차단하는 필터를 가지는, 투명판 검사 장치.
    3. The method of claim 2,
    Wherein the pressing mechanism includes a feeding mechanism for sending air outside the housing to the inside of the housing and a filter for blocking foreign matter contained in air sent by the feeding mechanism from entering the housing, Plate inspection device.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가압 기구의 상기 송입 기구는, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 투명판 상에 부착된 이물질을 흘려버리도록 공기를 상기 투명판 상에 공급하는, 투명판 검사 장치.
    The method of claim 3,
    Wherein the feeding mechanism of the pressurizing mechanism feeds air on the transparent plate so as to flow foreign matter adhered on the transparent plate conveyed by the conveying mechanism.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 가압 기구가, 상기 하우징의 상부에 설치되어 있는, 투명판 검사 장치.
    3. The method of claim 2,
    Wherein the pressing mechanism is provided on the upper portion of the housing.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 이물질 부착 저지 기구가, 상기 하우징의 내부에 설치되고, 상기 반입구 및/또는 상기 반출구로부터 상기 하우징의 외부로 공기를 배출하는 송출 기구를 가지는, 투명판 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the foreign substance adhesion prevention mechanism has a delivery mechanism provided inside the housing and configured to discharge air from the inlet and / or outlet to the outside of the housing.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 상기 투명판의 표면 및 이면에 접하지 않고 상기 투명판을 반송하는, 투명판 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the transport mechanism transports the transparent plate without touching the front surface and the back surface of the transparent plate.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 상기 투명판의 에지에 접촉함으로써 상기 투명판을 유지하는, 투명판 검사 장치.
    8. The method of claim 7,
    Wherein the transport mechanism holds the transparent plate by making contact with an edge of the transparent plate.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 반송 기구가,
    상기 투명판의 에지에 접촉하면서 반송하는 제1 반송 부재와,
    상기 제1 반송 부재에 의해 반송된 상기 투명판을 상기 투명판의 에지에 접촉하면서 수취하고, 또한 상승시키는 상승 부재와,
    상기 상승 부재에 의해 상승된 상기 투명판을 상기 투명판의 에지에 접촉하면서 수취하고, 또한 상기 검사부의 검사 영역에 반송하는 제2 반송 부재를 구비하는, 투명판 검사 장치.
    9. The method of claim 8,
    Wherein,
    A first conveying member for conveying while contacting the edge of the transparent plate;
    A lifting member for lifting and lifting the transparent plate conveyed by the first conveying member while contacting the edge of the transparent plate,
    And a second conveying member that receives the transparent plate raised by the lifting member while contacting the edge of the transparent plate and conveys the transparent plate to the inspection area of the inspection unit.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상승 부재가, 상기 제1 반송 부재로부터 반송된 상기 투명판의 상면을 흡인하는 흡인부와, 상기 흡인부에 흡인되는 상기 투명판의 상단 에지에 접촉함으로써 상기 투명판의 높이 위치를 결정하는 복수의 위치 결정부를 구비하고,
    상기 복수의 위치 결정부가, 상기 흡인부와 상기 투명판의 상면의 접촉을 저지하도록 상기 투명판의 에지에 접촉하는 테이퍼면을 가지는, 투명판 검사 장치.
    10. The method of claim 9,
    Wherein the lifting member comprises a suction portion for suctioning the upper surface of the transparent plate conveyed from the first conveying member and a suction portion for suctioning the upper edge of the transparent plate to be sucked by the suction portion, And a positioning unit
    Wherein the plurality of positioning portions have tapered surfaces that contact the edges of the transparent plate so as to prevent contact between the suction portion and the upper surface of the transparent plate.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 상기 투명판의 에지에 접촉하는 한 쌍의 벨트 컨베이어를 가지고, 상기 한 쌍의 상기 벨트 컨베이어의 상기 투명판과의 접촉면이 서로 대향하는 측으로 경사져 있는, 투명판 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the conveying mechanism has a pair of belt conveyors contacting the edge of the transparent plate and the contact surfaces of the pair of belt conveyors with the transparent plate are inclined to the sides facing each other.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 상기 투명판의 에지에 접촉하여 상기 투명판을 양측으로부터 끼워넣는 적어도 한 쌍의 파지부를 구비하는, 투명판 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the transport mechanism includes at least a pair of grippers for contacting the edge of the transparent plate and sandwiching the transparent plate from both sides.
  13. 투명판에 부착된 이물질을 제거하는 이물질 제거 기구, 및
    상기 이물질 제거 기구에 의해 이물질이 제거된 상기 투명판을 검사하는 제1항에 기재된 투명판 검사 장치
    를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템.
    A foreign matter removing mechanism for removing foreign substances adhered to the transparent plate, and
    The transparent plate inspection apparatus according to claim 1, wherein the transparent plate having foreign substances removed by the foreign substance removing mechanism is inspected
    And a transparent plate cleaning inspection system.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 투명판의 표면 및/또는 이면을 청소하는 청소 장치를 더 구비하는, 투명판 청소 검사 시스템.
    14. The method of claim 13,
    And a cleaning device for cleaning the surface and / or the back surface of the transparent plate.
  15. 투명판의 표면 및/또는 이면을 청소하는 청소 장치, 및
    상기 청소 장치에 의해 청소된 상기 투명판을 검사하는 제1항에 기재된 투명판 검사 장치
    를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템.
    A cleaning device for cleaning the surface and / or the back surface of the transparent plate, and
    The transparent plate inspection device according to claim 1, wherein the transparent plate is cleaned by the cleaning device
    And a transparent plate cleaning inspection system.
  16. 투명판의 제1 면을 청소하는 제1 청소 장치,
    상기 제1 청소 장치로부터 반출된 상기 투명판을 반전시키는 반전 장치,
    상기 반전 장치에 의해 반전된 상기 투명판을 반송하면서 상기 투명판의 제2 면을 청소하는 제2 청소 장치, 및
    상기 제1 청소 장치 및 상기 제2 청소 장치에 의해 양면이 청소된 상기 투명판을 검사하는 제1항에 기재된 투명판 검사 장치
    를 구비하는 투명판 청소 검사 시스템.
    A first cleaning device for cleaning the first surface of the transparent plate,
    A reversing device for reversing the transparent plate taken out from the first cleaning device,
    A second cleaning device for cleaning the second surface of the transparent plate while conveying the transparent plate inverted by the inverting device,
    The transparent plate inspection apparatus according to claim 1, wherein the transparent plate inspection unit inspects the transparent plate whose both surfaces are cleaned by the first cleaning apparatus and the second cleaning apparatus
    And a transparent plate cleaning inspection system.
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