KR20160084212A - 불량 검사 장치 및 방법 - Google Patents

불량 검사 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20160084212A
KR20160084212A KR1020150000824A KR20150000824A KR20160084212A KR 20160084212 A KR20160084212 A KR 20160084212A KR 1020150000824 A KR1020150000824 A KR 1020150000824A KR 20150000824 A KR20150000824 A KR 20150000824A KR 20160084212 A KR20160084212 A KR 20160084212A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
defect
image
vector
inspection
center
Prior art date
Application number
KR1020150000824A
Other languages
English (en)
Inventor
강민수
Original Assignee
한화테크윈 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한화테크윈 주식회사 filed Critical 한화테크윈 주식회사
Priority to KR1020150000824A priority Critical patent/KR20160084212A/ko
Publication of KR20160084212A publication Critical patent/KR20160084212A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G01N2021/8806
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/958

Abstract

불량 검사 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치는, 검사 대상 물체를 촬영하여 제1 영상을 획득하는 제1 카메라; 상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제1 카메라와 소정 각도만큼 기울어진 위치에서 상기 검사 대상 물체를 촬영하여 제2 영상을 획득하는 제2 카메라; 및 상기 제1 영상 내부의 제1 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하고, 상기 제2 영상 내부의 제2 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하며, 상기 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 제어부를 포함한다.

Description

불량 검사 장치 및 방법{Apparatus for inspecting defect and method thereof}
본 발명은 불량 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사 대상 물체의 영상을 획득하고, 획득한 화상을 전처리하여 검사 대상 물체에 존재하는 불량의 종류를 구별할 수 있는 불량 검사 장치 및 방법 에 관한 것이다.
일반적으로, 검사 대상 물체에 존재하는 불량을 검출하기 위한 검사 장비에 탑재되는 소프트웨어는 시스템 소프트웨어와 비전 소프트웨어로 분류할 수 있다. 시스템 소프트웨어에서는 전체적인 불량 검사의 제어를 담당하고, 비전 소프트웨어에서는 검사 대상 물체의 영상 획득 및 획득한 영상을 통한 불량 검사를 실시하게 된다.
한편, 글래스(Glass) 등의 투명한 재질이 포함된 검사 대상 물체의 불량 검사시 표면에 미세한 먼지 등이 묻을 경우에는, 불량 검사 결과 불량으로 판정되더라도 그것이 실제 제품의 불량으로 인한 것인지, 미세한 먼지 등의 부유성 이물로 인한 것인지 구분하기가 쉽지 않다.
이러한 이유로, 실제 불량이 아닌 경우에도 불량으로 판단됨으로써, 결과적으로 검사공정의 신뢰성을 떨어뜨리고, 이로 인한 공정의 수율의 저하가 제조 비용의 손실을 야기하게 되는 문제점을 유발한다.
만약, 불량 검사시 검사 대상 제품 자체의 문제와, 투명한 재질이 포함된 검사 대상 물체의 표면에 묻은 이물로 인한 문제를 구분할 수 있다면, 세정을 통해 이러한 이물을 간단히 제거한 후 정상적인 공정을 진행할 수 있을 것이다.
이에, 검사 대상 물체에 존재하는 불량의 종류를 구별하기 위한 불량 검사 장치 및 방법의 필요성이 요구되고 있다.
한국공개특허 KR 2012-0123931 (2012.11.12)
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 검사 대상 물체에 존재하는 불량의 종류를 구별하기 위한 불량 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치는, 검사 대상 물체를 촬영하여 제1 영상을 획득하는 제1 카메라; 상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제1 카메라와 소정 각도만큼 기울어진 위치에서 상기 검사 대상 물체를 촬영하여 제2 영상을 획득하는 제2 카메라; 및 상기 제1 영상 내부의 제1 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하고, 상기 제2 영상 내부의 제2 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하며, 상기 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 제어부를 포함한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 제1 영상의 중심에 위치하는 V 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 V 벡터를 산출하고, 상기 제2 영상의 중심에 위치하는 R 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심간에 R 벡터를 산출하며, 상기 V 벡터와 R 벡터의 차이의 절대값을 임계값과 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 진성 불량인지 가성 불량인지 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 절대값이 상기 임계값 이상인 경우 가성 불량으로 판단하고 임계값 미만인 경우 진성 불량으로 판단할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법은, 제1 각도에서 검사 대상 물체를 촬영한 제1 영상 및 제2 각도에서 상기 검사 대상 물체를 촬영한 제2 영상을 획득하는 단계; 상기 제1 영상 내부의 제1 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하는 단계; 상기 제2 영상 내부의 제2 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하는 단계; 및 상기 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 제1 벡터를 산출하는 단계는, 상기 제1 영상의 중심에 위치하는 V 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 V 벡터를 산출하는 단계를 포함하고, 상기 제2 벡터를 산출하는 단계는, 상기 제2 영상의 중심에 위치하는 R 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 R 벡터를 산출하는 단계를 포함하며, 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 단계는, 상기 R 벡터와 V 벡터의 차이의 절대값을 임계값과 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계는, 상기 절대값이 임계값 이상인 경우 가성 불량으로 판단하고, 상기 절대값이 임계값 미만인 경우 진성 불량으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기와 같은 본 발명의 불량 검사 장치 및 방법에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
본 발명에 따르면, 검사 대상 물체에 존재하는 불량의 종류를 구별하여 검사 공정의 신뢰성을 높이고 공정의 수율을 향상시키며 제조 비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라 및 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 전처리하는 것을 나타내는 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 전처리하는 것을 나타내는 도면이다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 V 벡터와 R 벡터의 차이의 절대값을 나타내는 그래프이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법의 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계 및/또는 동작 이외에 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및/또는 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 도시한 도면이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 도시한 도면이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라 및 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치(10)는 제1 카메라(100), 제2 카메라(200) 및 제어부(300)를 포함하나, 이외 추가적인 구성을 배제하지 않는다.
제1 카메라(100)는 검사 대상 물체(20)를 제1 각도에서 촬영하여 제1 영상(110)을 획득한다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라(100)는 검사 대상 물체(20)의 수직 상부의 위치에서 검사 대상 물체(20)를 촬영하는 것으로 예를 들어 설명하나 제1 카메라(100)는 이에 제한되지 않고 다양한 위치에서 검사 대상 물체(20)를 촬영할 수 있다.
도 2를 참조하면, 검사 대상 물체(20)의 내부 또는 하면에 위치하는 검사 대상 영역에 존재하는 불량(22)은 제1 영상(110)에서 진성 불량(112)으로 표현되고, 검사 대상 물체(20)의 상면에 위치하는 먼지 등의 부유성 물질(24)은 제1 영상(110)에서 가성 불량(114)으로 표현된다.
본 발명의 일 실시예에서 검사 대상 물체(20)의 내부 또는 하면에 위치하는 검사 대상 영역이란, IR(Infrared Ray) 센서, 카메라(Camera), 로고(Logo) 및 아이콘(Icon) 등이 배치되기 위한 영역 또는 패턴 등이 형성된 영역을 의미하나, 이에 제한되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
제2 카메라(200)는 검사 대상 물체(20)를 기준으로 제1 카메라(100)와 소정 각도 기울어진 위치에서 검사 대상 물체(20)를 촬영하여 제2 영상(120)을 획득한다.
도 3을 참조하면, 검사 대상 물체(20)의 내부 또는 하면에 위치하는 검사 대상 영역에 존재하는 불량(22)은 제2 영상(210)에서 진성 불량(212)으로 표현되고, 검사 대상 물체(20)의 상면에 위치하는 먼지 등의 부유성 물질(24)은 제2 영상(210)에서 가성 불량(214)으로 표현된다.
이 때, 도 2와 도 3을 참조하면, 검사 대상 물체(20)의 내부 또는 하면에 위치하는 검사 대상 영역을 기준으로 제1 영상(110)과 제2 영상(210)에서의 진성 불량(112, 212)의 좌표는 변함이 없으나 가성 불량(114, 214)의 좌표는 달라지게 된다.
예를 들어, 검사 대상 물체(20)의 하면에 위치하여 IR(Infrared Ray) 센서가 배치되기 위한 검사 대상 영역에 존재하는 불량을 검출하기 위해 촬영된 영상을 도시하는 도 4를 참조하면, 검사 대상 물체(20)의 하면을 기준으로 제1 카메라(100)로 촬영한 제1 영상(120)에서의 진성 불량(122)의 위치와 제2 카메라(200)로 촬영한 제2 영상(220)에서의 진성 불량(222)의 좌표는 변함이 없으나, 제1 영상(120)에서의 가성 불량(124, 126)의 위치와 제2 영상(220)에서의 가성 불량(224, 226)의 좌표는 달라지게 된다.
또한, 검사 대상 물체(20)의 하면에 위치하여 카메라(Camera) Hole이 배치되기 위한 검사 대상 영역에 존재하는 불량을 검출하기 위해 촬영된 영상을 도시하는 도 5를 참조하면, 검사 대상 물체(20)의 하면을 기준으로 제1 카메라(100)로 촬영한 제1 영상(130)에서의 진성 불량(132)의 위치와 제2 카메라(200)로 촬영한 제2 영상(230)에서의 진성 불량(232)의 좌표는 변함이 없으나, 제1 영상(130)에서의 가성 불량(134, 136)의 위치와 제2 영상(230)에서의 가성 불량(234, 236)의 좌표는 달라지게 된다.
따라서, 서로 다른 각도에서 촬영하는 제1 카메라(100)와 제2 카메라(200)를 통해 검사 대상 영역에 존재하는 실제 불량인 진성 불량과 먼지 등의 가성 불량을 구별할 수 있다.
다만, 진성 불량과 가성 불량의 위치를 구별할 수 있으면, 검사 대상 물체를 기준으로 제1 카메라(100)와 제2 카메라(200) 사이의 기울어진 각도는 다양하게 변경될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 나타내는 도면이고, 도 7 및 도 8은 도 6에 따른 영상을 전처리한 영상을 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 전처리하는 것을 나타내는 도면이고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 카메라에 의해 획득된 검사 대상 물체의 영상을 전처리하는 것을 나타내는 도면이며, 도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 V 벡터와 R 벡터의 차이의 절대값을 나타내는 그래프이다.
제어부(300)는 제1 카메라(100)로부터 획득된 제1 영상(150)과 제2 카메라(200)로부터 획득된 제2 영상(250)을 통해 검사 대상 물체(20)에 존재하는 불량의 종류를 구별한다.
이 때, 제어부(300)는 제1 영상(150) 내부의 제1 기준점(152)과 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함의(154, 156, 158) 위치 간에 제1 벡터(V1, V2, V3)를 산출하고, 제2 영상(250) 내부의 제2 기준점(252)과 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함(254, 256, 258)의 위치 간에 제2 벡터(R1, R2, R3)를 산출하며, 산출된 제1 벡터(V1, V2, V3)와 제2 벡터(R1, R2, R3)를 비교하여 상기 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함(154, 156, 158, 254, 256, 258)이 상기 검사 대상 물체(20)에 포함된 불량(154, 254)인지를 판단한다.
구체적으로, 도 6 내지 도 9를 참조하면, 제어부(300)는 제1 카메라(100)로부터 획득된 제1 영상(140)을 이진화한 제1 영상(150)의 중심에 위치하는 V 중심점(152)과 제1 영상(150)에 위치하는 각 불량(154, 156, 158)의 무게 중심 간 거리를 연산하여 V 벡터(V1, V2, V3)를 산출하고, 제2 영상(250)의 중심에 위치하는 R 중심점(252)과 제2 영상(250)에 위치하는 각 불량(254, 256, 258)의 무게 중심간 거리를 연산하여 R 벡터(R1, R2, R3)를 산출하며, V 벡터(V1, V2, V3)와 R 벡터(R1, R2, R3)의 차이의 절대값(A1, A2, A3)을 임계값과 비교하여 진성 불량(154, 254)인지 가성 불량(156, 158, 256, 258)인지 판단한다.
따라서, 무게 중심을 통해 점(point)이 아닌 일정한 면적을 가지는 불량에 대한 연산이 가능하며, 단순히 육안으로 판단하는 것에 비해 진성 불량(154, 254)과 가성 불량(156, 158, 256, 258)의 명확한 구별이 가능하다.
이 때, 제어부(300)는 제1 영상(150)으로부터 외곽선을 추출하여 제1 외곽 영상의 중심에 위치하는 V 중심점(152)을 추출하고, 제2 영상으로부터 외곽선을 추출하여 제2 외곽 영상의 중심에 위치하는 R 중심점(252)을 추출하여, V 중심점(152)과 R 중심점(252)을 추출하는데 있어 제1 및 제2 카메라(100, 200)의 촬영 오차를 줄일 수 있다.
또한, 제어부(300)는 절대값(A1, A2, A3)이 상기 임계값 이상인 경우 가성 불량(156, 158, 256, 258)으로 판단하고 임계값 미만인 경우 진성 불량(154, 254)으로 판단하여, 카메라에서 발생하는 촬영 오차나 전처리 과정에서 발생할 수 있는 오차를 반영할 수 있다.
예를 들어, 도 10을 참조하면, 진성 불량(154, 254)에 대한 V 벡터(V1)와 R 벡터(R1)의 차이의 절대값(A1)은 약 2.2로 가성 불량(156, 158, 256, 258)에 대한 V 벡터(V2, V3)와 R 벡터(R2, R3)의 차이의 절대값(A2, A3)의 수치인 10.2와 14에 비해 현저히 작음을 알 수 있고, 이를 통해 임계값보다 작은 A1에 대응하는 불량(154, 254)을 진성 불량으로 판단하고 임계값보다 큰 A2와 A3에 대응하는 불량(156, 158, 256, 258)을 가성 불량으로 판단할 수 있다.
다만, 오차를 반영하여 진성 불량(154, 254)과 가성 불량(156, 158, 256, 258)을 구별할 수 있다면 임계값은 제한되지 않는다.
전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 장치(10)에 따르면 검사 대상 물체(20)에 존재하는 불량의 종류를 구별하여 검사 공정의 신뢰를 높이고 공정의 수율을 향상시키며 제조 비용을 절감할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법의 순서도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법은 제1 각도에서 검사 대상 물체(20)를 촬영한 제1 영상 및 제2 각도에서 검사 대상 물체(20)를 촬영한 제2 영상을 획득하는 단계(S510), 제1 영상 내부의 제1 기준점과 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하는 단계, 제2 영상 내부의 제2 기준점과 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하는 단계(S550) 및 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 검사 대상 물체(20)에 포함된 결함이 검사 대상 물체(20)에 포함된 불량인지를 판단하는 단계(S570)를 포함한다.
구체적으로, 제1 벡터 및 제2 벡터를 산출하는 단계(S550)는, 제1 영상의 중심에 위치하는 V 중심점 및 상기 제2 영상의 중심에 위치하는 R 중심점을 연산하는 단계(S530), 제1 영상 및 제2 영상에서 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심을 연산하는 단계(S540), 제1 영상에서 V 중심점과 제1 영상에 위치하는 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간의 거리를 연산하여 V 벡터를 산출하며, 상기 제2 영상에서 R 중심점과 상기 제2 영상에 위치하는 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간의 거리를 연산하여 R 벡터를 산출하는 단계(S550)를 포함한다.
또한, 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 단계(S570)는, R 벡터와 V 벡터의 차이의 절대값을 구하는 단계(S560) 및 상기 절대값을 임계값과 비교하여 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계(S570)를 포함한다.
따라서, 서로 다른 각도에서 촬영한 영상을 통해 검사 대상 영역에 존재하는 불량인 진성 불량과 검사 대상 물체(20)의 상면의 먼지 등의 가성 불량을 구별할 수 있다.
더불어, 무게 중심을 통해 점(point)이 아닌 일정한 면적을 가지는 불량에 대한 연산이 가능하며, 단순히 육안으로 판단하는 것에 비해 진성 불량과 가성 불량의 명확한 구별이 가능하다.
또한, V 중심점 및 R 중심점을 연산하는 단계(S530)는, 상기 제1 및 제2 영상으로부터 각각 외곽선을 추출하여 제1 외곽 영상의 중심에 위치하는 V 중심점 및 제2 외곽 영상의 중심에 위치하는 R 중심점을 연산하는 단계(S520)를 포함할 수 있다.
따라서, V 중심점과 R 중심점을 추출하는데 있어 제1 영상과 제2 영상을 촬영하면서 발생하는 촬영 오차를 줄일 수 있다.
또한, 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계(S570)는, 상기 절대값이 임계값 이상인 경우 가성 불량으로 판단하고, 상기 절대값이 임계값 미만인 경우 진성 불량으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
따라서, 제1 영상과 제2 영상을 촬영하는데 있어 발생하는 오차나 전처리 과정에서 발생할 수 있는 오차를 최소화 할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법에 따르면 검사 대상 물체(20)에 존재하는 불량의 종류를 구별하여 검사 공정의 신뢰를 높이고 공정의 수율을 향상시키며 제조 비용을 절감할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 불량 검사 장치
100: 제1 카메라
200: 제2 카메라
300: 제어부

Claims (6)

  1. 검사 대상 물체를 촬영하여 제1 영상을 획득하는 제1 카메라;
    상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제1 카메라와 소정 각도만큼 기울어진 위치에서 상기 검사 대상 물체를 촬영하여 제2 영상을 획득하는 제2 카메라; 및
    상기 제1 영상 내부의 제1 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하고, 상기 제2 영상 내부의 제2 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하며, 상기 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 제어부를 포함하는, 불량 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 제1 영상의 중심에 위치하는 V 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 V 벡터를 산출하고, 상기 제2 영상의 중심에 위치하는 R 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심간에 R 벡터를 산출하며, 상기 V 벡터와 R 벡터의 차이의 절대값을 임계값과 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는, 불량 검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 절대값이 상기 임계값 이상인 경우 가성 불량으로 판단하고 임계값 미만인 경우 진성 불량으로 판단하는, 불량 검사 장치.
  4. 제1 각도에서 검사 대상 물체를 촬영한 제1 영상 및 제2 각도에서 상기 검사 대상 물체를 촬영한 제2 영상을 획득하는 단계;
    상기 제1 영상 내부의 제1 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제1 벡터를 산출하는 단계;
    상기 제2 영상 내부의 제2 기준점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 위치 간에 제2 벡터를 산출하는 단계; 및
    상기 산출된 제1 벡터와 제2 벡터를 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 단계를 포함하는, 불량 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 벡터를 산출하는 단계는,
    상기 제1 영상의 중심에 위치하는 V 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 V 벡터를 산출하는 단계를 포함하고,
    상기 제2 벡터를 산출하는 단계는,
    상기 제2 영상의 중심에 위치하는 R 중심점과 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함의 무게 중심 간에 R 벡터를 산출하는 단계를 포함하며,
    상기 검사 대상 물체에 포함된 불량인지를 판단하는 단계는,
    상기 R 벡터와 V 벡터의 차이의 절대값을 임계값과 비교하여 상기 검사 대상 물체에 포함된 결함이 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계를 포함하는, 불량 검사 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 진성 불량인지 가성 불량인지 판단하는 단계는,
    상기 절대값이 임계값 이상인 경우 가성 불량으로 판단하고, 상기 절대값이 임계값 미만인 경우 진성 불량으로 판단하는 단계를 포함하는, 불량 검사 방법.
KR1020150000824A 2015-01-05 2015-01-05 불량 검사 장치 및 방법 KR20160084212A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150000824A KR20160084212A (ko) 2015-01-05 2015-01-05 불량 검사 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150000824A KR20160084212A (ko) 2015-01-05 2015-01-05 불량 검사 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160084212A true KR20160084212A (ko) 2016-07-13

Family

ID=56505599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150000824A KR20160084212A (ko) 2015-01-05 2015-01-05 불량 검사 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160084212A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109100363A (zh) * 2018-08-31 2018-12-28 凌云光技术集团有限责任公司 一种贴合异物缺陷与灰尘的区分方法及系统
CN109656033A (zh) * 2017-10-12 2019-04-19 凌云光技术集团有限责任公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
KR20190079317A (ko) * 2017-12-27 2019-07-05 선문대학교 산학협력단 머신 비전 장치 및 머신 비전을 이용한 제품 검사 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120123931A (ko) 2011-05-02 2012-11-12 에스피엘이디 주식회사 전자 부품 검사 장치 및 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120123931A (ko) 2011-05-02 2012-11-12 에스피엘이디 주식회사 전자 부품 검사 장치 및 방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109656033A (zh) * 2017-10-12 2019-04-19 凌云光技术集团有限责任公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
CN109656033B (zh) * 2017-10-12 2021-07-02 凌云光技术股份有限公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
KR20190079317A (ko) * 2017-12-27 2019-07-05 선문대학교 산학협력단 머신 비전 장치 및 머신 비전을 이용한 제품 검사 방법
CN109100363A (zh) * 2018-08-31 2018-12-28 凌云光技术集团有限责任公司 一种贴合异物缺陷与灰尘的区分方法及系统
CN109100363B (zh) * 2018-08-31 2021-10-29 凌云光技术股份有限公司 一种贴合异物缺陷与灰尘的区分方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101214806B1 (ko) 웨이퍼 결함 검사 장치 및 웨이퍼 결함 검사 방법
KR20160084212A (ko) 불량 검사 장치 및 방법
CN109100363A (zh) 一种贴合异物缺陷与灰尘的区分方法及系统
JP5556346B2 (ja) ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法
CN109227352B (zh) 一种基板缺陷修复方法及系统
KR101643713B1 (ko) 학습형 스마트 카메라를 이용한 검사 대상 물품의 검사방법
KR102168724B1 (ko) 이미지 검사를 이용한 이상 판별 방법 및 장치
JP5509465B2 (ja) ガラスびん検査装置
CN104807828B (zh) 面板亮点检测方法及系统
JP5549364B2 (ja) ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法
KR20160087600A (ko) 불량 검사 장치 및 방법
JP2002022671A (ja) 円筒内壁面検査装置および検査方法
JP4680659B2 (ja) 製品タイヤの外観検査方法と製品タイヤの外観検査補助装置
CZ146195A3 (en) Method of checking eye lenses and apparatus for making the same
JP6487763B2 (ja) 検査装置及び検査方法
KR20060117834A (ko) 결함 검사 장치 및 그 동작방법
US20190257876A1 (en) System and method for detecting defects in an electronic device
US10074551B2 (en) Position detection apparatus, position detection method, information processing program, and storage medium
KR20190079317A (ko) 머신 비전 장치 및 머신 비전을 이용한 제품 검사 방법
JP4723894B2 (ja) ガラスびんのねじ部検査装置及び検査方法
CN107607539A (zh) 一种连杆胀断面质量视觉检测装置和检测方法
JP2011069742A (ja) 欠陥検出装置および欠陥検出方法
JP6906779B1 (ja) 半導体チップの検査方法及び装置
JP6747692B2 (ja) 外壁点検装置
KR20110089231A (ko) 타이어 외관 검사 방법 및 외관 검사 보조장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination