KR20160031903A - 전자 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예들이 해결하려는 과제는, 가변저항소자의 측벽산화를 방지하고 가변 저항 소자의 특성 향상이 가능한 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것으로, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는, 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치로서, 상기 반도체 메모리는, 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다.
Description
본 특허 문헌은 메모리 회로 또는 장치와, 전자 장치에서의 이들의 응용에 관한 것이다.
최근 전자기기의 소형화, 저전력화, 고성능화, 다양화 등에 따라, 컴퓨터, 휴대용 통신기기 등 다양한 전자기기에서 정보를 저장할 수 있는 반도체 장치가 요구되고 있으며, 이에 대한 연구가 진행되고 있다. 이러한 반도체 장치로는 인가되는 전압 또는 전류에 따라 서로 다른 저항 상태 사이에서 스위칭하는 특성을 이용하여 데이터를 저장할 수 있는 반도체 장치 예컨대, RRAM(Resistive Random Access Memory), PRAM(Phase-change Random Access Memory), FRAM(Ferroelectric Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory), 이-퓨즈(E-fuse) 등이 있다.
본 발명의 실시예들이 해결하려는 과제는, 가변저항소자의 측벽산화를 방지하고 가변 저항 소자의 특성 향상이 가능한 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는, 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치로서, 상기 반도체 메모리는, 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다.
특히, 상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막은 이중층으로 구성될 수 있고, 상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막과 탄소가 함유된 알루미늄질화막의 적층구조를 포함할 수 있다.
또한, 상기 전자 장치는, 마이크로프로세서를 더 포함하고, 상기 마이크로프로세서는, 상기 마이크로프로세서 외부로부터의 명령을 포함하는 신호를 수신하고, 상기 명령의 추출이나 해독 또는 상기 마이크로프로세서의 신호의 입출력 제어를 수행하는 제어부; 상기 제어부가 명령을 해독한 결과에 따라서 연산을 수행하는 연산부; 및 상기 연산을 수행하는 데이터, 상기 연산을 수행한 결과에 대응하는 데이터 또는 상기 연산을 수행하는 데이터의 주소를 저장하는 기억부를 포함하고, 상기 반도체 메모리는, 상기 마이크로프로세서 내에서 상기 기억부의 일부일 수 있다.
또한, 상기 전자 장치는, 프로세서를 더 포함하고, 상기 프로세서는, 상기 프로세서의 외부로부터 입력된 명령에 따라 데이터를 이용하여 상기 명령에 대응하는 연산을 수행하는 코어부; 상기 연산을 수행하는 데이터, 상기 연산을 수행한 결과에 대응하는 데이터 또는 상기 연산을 수행하는 데이터의 주소를 저장하는 캐시 메모리부; 및 상기 코어부와 상기 캐시 메모리부 사이에 연결되고, 상기 코어부와 상기 캐시 메모리부 사이에 데이터를 전송하는 버스 인터페이스를 포함하고, 상기 반도체 메모리는, 상기 프로세서 내에서 상기 캐시 메모리부의 일부일 수 있다.
또한, 상기 전자 장치는, 프로세싱 시스템을 더 포함하고, 상기 프로세싱 시스템은, 수신된 명령을 해석하고 상기 명령을 해석한 결과에 따라 정보의 연산을 제어하는 프로세서; 상기 명령을 해석하기 위한 프로그램 및 상기 정보를 저장하기 위한 보조기억장치; 상기 프로그램을 실행할 때 상기 프로세서가 상기 프로그램 및 상기 정보를 이용해 상기 연산을 수행할 수 있도록 상기 보조기억장치로부터 상기 프로그램 및 상기 정보를 이동시켜 저장하는 주기억장치; 및 상기 프로세서, 상기 보조기억장치 및 상기 주기억장치 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스 장치를 포함하고, 상기 반도체 메모리는, 상기 프로세싱 시스템 내에서 상기 보조기억장치 또는 상기 주기억장치의 일부일 수 있다.
또한, 상기 전자 장치는, 데이터 저장 시스템을 더 포함하고, 상기 데이터 저장 시스템은, 데이터를 저장하며 공급되는 전원에 관계없이 저장된 데이터가 유지되는 저장 장치; 외부로부터 입력된 명령에 따라 상기 저장 장치의 데이터 입출력을 제어하는 컨트롤러; 상기 저장 장치와 외부 사이에 교환되는 데이터를 임시로 저장하는 임시 저장 장치; 및 상기 저장 장치, 상기 컨트롤러 및 상기 임시 저장 장치 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스를 포함하고, 상기 반도체 메모리는, 상기 데이터 저장 시스템 내에서 상기 저장 장치 또는 상기 임시 저장 장치의 일부일 수 있다.
또한, 상기 전자 장치는, 메모리 시스템을 더 포함하고, 상기 메모리 시스템은, 데이터를 저장하며 공급되는 전원에 관계없이 저장된 데이터가 유지되는 메모리; 외부로부터 입력된 명령에 따라 상기 메모리의 데이터 입출력을 제어하는 메모리 컨트롤러; 상기 메모리와 외부 사이에 교환되는 데이터를 버퍼링하기 위한 버퍼 메모리; 및 상기 메모리, 상기 메모리 컨트롤러 및 상기 버퍼 메모리 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스를 포함하고, 상기 반도체 메모리는, 상기 메모리 시스템 내에서 상기 메모리 또는 상기 버퍼 메모리의 일부일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 장치는, 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치로서, 상기 반도체 메모리는, 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막과 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막의 적층구조를 포함할 수 있다.
특히, 상기 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막은 이중층으로 구성될 수 있고, 상기 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막과 탄소가 함유된 알루미늄질화막의 적층구조를 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법은, 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치의 제조 방법으로서, 기판 상에 가변저항소자를 형성하는 단계; 및 상기 가변저항소자 상에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
특히, 상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 형성하는 단계 후, 열처리를 진행하는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 열처리를 진행하는 단계에서, 상기 가변저항소자에 접하는 상기 알루미늄질화막의 표면이 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막으로 변환될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 장치의 제조 방법은, 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치의 제조 방법으로서, 기판 상에 가변저항소자를 형성하는 단계; 상기 가변저항소자 상에 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계; 및 상기 제1알루미늄질화막 상에 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
특히, 상기 제1 및 제2알루미늄질화막은 원자층증착법으로 형성할 수 있고, 상기 원자층증착법은 소스주입단계, 제1퍼지단계, 플라즈마 단계, 제2퍼지단계를 포함하고, 상기 플라즈마단계는 열공정 또는 리모트 플라즈마로 진행할 수 있다.
또한, 상기 소스주입단계는 TMA, TTBA 및 AlCl3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 탄소함유 소스를 포함할 수 있고, 상기 플라즈마 단계는 N2, H2, N2/H2의 혼합가스 및 NH3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 반응가스를 포함할 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 단계는, 상기 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계의 파워를 상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계의 파워보다 더 작게 조절할 수 있다. 또한, 상기 플라즈마 단계는, 상기 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계의 반응가스 주입량을 상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계의 반응가스 주입량보다 더 적게 조절할 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계는, 동일 챔버에서 인시튜로 진행할 수 있다.
또한, 상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계 후, 열처리를 진행하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 열처리를 진행하는 단계에서, 상기 가변저항소자에 접하는 상기 제1알루미늄질화막의 표면이 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막으로 변환될 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예들에 의한 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치 및 그 제조 방법에 의하면, 가변저항소자의 측벽산화를 방지하여 가변 저항 소자의 특성 향상이 가능하다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 마이크로프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 데이터 저장 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 메모리 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 마이크로프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 데이터 저장 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 메모리 시스템의 구성도의 일 예이다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시예들이 상세히 설명된다.
도면은 반드시 일정한 비율로 도시된 것이라 할 수 없으며, 몇몇 예시들에서, 실시예들의 특징을 명확히 보여주기 위하여 도면에 도시된 구조물 중 적어도 일부의 비례는 과장될 수도 있다. 도면 또는 상세한 설명에 둘 이상의 층을 갖는 다층 구조물이 개시된 경우, 도시된 것과 같은 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 특정 실시예를 반영할 뿐이어서 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 달라질 수도 있다. 또한, 다층 구조물의 도면 또는 상세한 설명은 특정 다층 구조물에 존재하는 모든 층들을 반영하지 않을 수도 있다(예를 들어, 도시된 두 개의 층 사이에 하나 이상의 추가 층이 존재할 수도 있다). 예컨대, 도면 또는 상세한 설명의 다층 구조물에서 제1 층이 제2 층 상에 있거나 또는 기판상에 있는 경우, 제1 층이 제2 층 상에 직접 형성되거나 또는 기판상에 직접 형성될 수 있음을 나타낼 뿐만 아니라, 하나 이상의 다른 층이 제1 층과 제2 층 사이 또는 제1 층과 기판 사이에 존재하는 경우도 나타낼 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 장치는 요구되는 소정의 구조물 예컨대, 스위칭소자(미도시) 등이 형성된 기판(101), 기판(101) 상에 형성된 제1층간절연막(102), 제1층간절연막(102)을 관통하여 기판(101)에 연결되는 제1콘택플러그(103), 제1콘택플러그(103)에 연결되는 가변저항소자(M), 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성된 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107), 가변저항소자(M) 사이를 매립하는 제2층간절연막(108), 제2층간절연막(108) 상에 형성된 도전라인(110) 및 도전라인(110)과 가변저항소자(M)를 연결하는 제2콘택플러그(109)를 포함할 수 있다.
가변저항소자(M)는 예컨대, 제1자성막(104), 터널배리어막(105) 및 제2자성막(106)의 적층구조를 포함할 수 있다.
가변저항소자(M)는 제1 및 제2자성막(104, 106)의 자화 방향에 따라 서로 다른 저항 상태를 스위칭하는 특성을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 및 제2자성막(104, 106)의 자화 방향이 서로 동일한 경우(또는, 평행한 경우)에는 저저항 상태를 가질 수 있고, 제1 및 제2자성막(104, 106)의 자화 방향이 서로 다른 경우(또는, 반평행한 경우)에는 고저항 상태를 가질 수 있다.
제1자성막(104) 및 제2자성막(106) 중 어느 하나는 자화 방향이 고정되는 고정자성(pinned ferromagnetic)층일 수 있고, 나머지 하나는 가변저항소자(M)에 인가되는 전류의 방향에 따라 자화방향이 가변되는 자유 자성(free ferromagnetic)층일 수 있다. 제1 및 제2자성막(104, 106)은 강자성(ferromagnetic) 물질 예컨대, Fe-Pt 합금, Fe-Pd 합금, Co-Pd 합금, Co-Pt 합금, Co-Fe 합금, Fe-Ni-Pt 합금, Co-Fe-Pt 합금, Co-Ni-Pt 합금 등을 포함하는 단일막 또는 다중막일 수 있고, 붕소(B)와 같은 불순물을 더 포함할 수 있으나, 본 발명이 이 예시에 한정되는 것은 아니다.
터널배리어층(105)은 전자의 터널링이 가능하여 자유 자성막의 자화 방향 변화를 가능하게 할 수 있다. 터널배리어층(105)은 유전체 물질 예컨대, Al2O3, MgO, CaO, SrO, TiO, VO, NbO 등의 산화물을 포함하는 단일막 또는 다중막일 수 있으나, 본 발명이 이 예시에 한정되는 것은 아니다.
도시되지 않았으나, 가변저항소자(M)는 제1자성막(104)의 하부 및 제2자성막(106)의 상부에 각각 제1전극(미도시) 및 제2전극(미도시)을 더 포함할 수 있다. 또한, 각 자성막의 특성 개선을 위한 템플릿층, 결합층 및 인터페이스층을 더 포함할 수 있다.
특히, 본 실시예는 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성되는 캡핑막으로 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)을 포함할 수 있다. 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)은 예컨대, AlCN으로 표시될 수 있다.
탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)은 막 내 함유된 불안정한 탄소(C)가 가변저항소자(M) 내의 산소(oxygen)를 게더링(gattering)하는 효과를 가질 수 있으며, 특히 가변저항소자(M)의 측벽에 산소를 게더링함에 따라 가변저항소자(M)의 측벽이 산화되는 것을 방지할 수 있다. 게더링 효과를 위해 막 내 탄소의 함유량은 적어도 10％이상일 수 있다. 더욱이, 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)은 산화방지 뿐 아니라 가변저항소자(M)에 기산화된 부분을 환원시켜 소자의 특성을 개선할 수 있다.
제1콘택플러그(103) 및 제2콘택플러그(109)는 반도체막 또는 금속성막을 포함할 수 있으며, 제1콘택플러그(103) 및 제2콘택플러그(109)의 선폭(또는 면적)보다 가변저항소자(M)의 선폭이 더 클 수 있다. 제1콘택플러그(103)는 가변저항소자(M)와 스위칭소자를 연결하는 하부전극콘택(BEC, Bottom Electrode Contact)일 수 있고, 제2콘택플러그(109)는 가변저항소자(M)와 도전라인(110)을 연결하는 상부전극콘택(TEC, Top Electrode Contact)일 수 있다.
도전라인(110)은 금속성막을 포함할 수 있다. 금속성막은 금속원소를 포함하는 도전막을 의미하며, 금속막, 금속산화막, 금속질화막, 금속산화질화막, 금속실리사이드막 등을 포함할 수 있다.
스위칭소자(미도시)는 복수의 단위셀을 구비한 반도체 장치에서 특정 단위셀을 선택하기 위한 것으로, 각각의 단위셀마다 배치될 수 있으며, 트랜지스터, 다이오드 등을 포함할 수 있다. 스위칭소자의 일단은 제1콘택플러그(103)와 전기적으로 연결될 수 있고, 타단은 도시되지 않은 배선 예컨대, 소스라인(Source line)과 전기적으로 연결될 수 있다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성된 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)은 이중층으로 구성될 수 있다. 즉, 알루미늄질화막(107)은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)과 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)의 적층구조를 포함할 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 예컨대, AlCOxN(x는 자연수)로 표시될 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)의 산소 게더링 효과에 의해 형성되는 막일 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 가변저항소자(M)에 접하는 알루미늄질화막(107)의 표면에 형성될 수 있다.
탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 열처리를 통해 형성될 수 있다. 즉, 도 1a의 소자 형성 이후 열처리를 통해 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107) 내의 불안정한 탄소가 가변저항소자(M)의 막 내 산소를 게더링함으로써 가변저항소자(M)에 접하는 알루미늄질화막(107)의 표면에 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)이 형성될 수 있다. 게더링에 의한 최종구조는 AlCOxN(x는 자연수, 107A) 및 AlCN(107)의 적층구조가 될 수 있다.
본 실시예에서는 열처리를 통해 가변저항소자(M) 내부의 산소를 게더링하는 공정을 진행하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 도 1a와 같이 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)을 형성하고, 후속 공정을 진행하면서 필수적으로 진행되는 열처리 등에 의해 게더링 효과를 얻을 수도 있다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 장치는 요구되는 소정의 구조물 예컨대, 스위칭소자(미도시) 등이 형성된 기판(201), 기판(201) 상에 형성된 제1층간절연막(202), 제1층간절연막(202)을 관통하여 기판(201)에 연결되는 제1콘택플러그(203), 제1콘택플러그(203)에 연결되는 가변저항소자(M), 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성된 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107) 및 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(108), 가변저항소자(M) 사이를 매립하는 제2층간절연막(109), 제2층간절연막(109) 상에 형성된 도전라인(111) 및 도전라인(111)과 가변저항소자(M)를 연결하는 제2콘택플러그(110)를 포함할 수 있다.
스위칭소자(미도시), 기판(201), 제1층간절연막(202), 제1콘택플러그(203), 가변저항소자(M), 제2층간절연막(109), 제2콘택플러그(110) 및 도전라인(111)은 도 1a의 그것들과 동일할 수 있다.
특히, 본 실시예는 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성되는 캡핑막으로 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107) 및 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(108)의 적층구조를 포함할 수 있다. 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)은 예컨대, AlCN으로 표시될 수 있다. 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(108)은 예컨대, AlN으로 표시될 수 있다.
탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)은 막 내 함유된 불안정한 탄소(C)가 가변저항소자(M) 내의 산소(oxygen)를 게더링(gattering)하는 효과를 가질 수 있으며, 특히 가변저항소자(M)의 측벽에 산소를 게더링함에 따라 가변저항소자(M)의 측벽이 산화되는 것을 방지할 수 있다. 게더링 효과를 위해 막 내 탄소의 함유량은 적어도 10％이상일 수 있다. 더욱이, 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)은 산화방지 뿐 아니라 가변저항소자(M)에 기산화된 부분을 환원시켜 소자의 특성을 개선할 수 있다.
탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(108)은 외부에서 오는 산소(oxygen)를 차단하는 차단막 역할을 할 수 있다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 가변저항소자(M)를 포함하는 전면에 형성된 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)은 이중층으로 구성될 수 있다. 즉, 제1알루미늄질화막(107)은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)과 탄소가 함유된 알루미늄질화막(107)의 적층구조를 포함할 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 예컨대, AlCOxN(x는 자연수)로 표시될 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)의 산소 게더링 효과에 의해 형성되는 막일 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 가변저항소자(M)에 접하는 제1알루미늄질화막(107)의 표면에 형성될 수 있다.
탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)은 열처리를 통해 형성될 수 있다. 즉, 도 2a의 소자 형성 이후 열처리를 통해 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107) 내의 불안정한 탄소가 가변저항소자(M)의 막 내 산소를 게더링함으로써 가변저항소자(M)에 접하는 제1알루미늄질화막(107)의 표면에 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(107A)이 형성될 수 있다. 게더링에 의한 최종구조는 AlCOxN(x는 자연수, 107A), AlCN(107) 및 AlN(108)의 적층구조가 될 수 있다.
본 실시예에서는 열처리를 통해 가변저항소자(M) 내부의 산소를 게더링하는 공정을 진행하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 도 2a와 같이 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(107)과 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(108)의 적층구조를 형성하고, 후속 공정을 진행하면서 필수적으로 진행되는 열처리 등에 의해 게더링 효과를 얻을 수도 있다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 소정의 구조물 예컨대, 스위칭소자(미도시) 등이 형성된 기판(11)을 제공한다. 여기서, 스위칭 소자는 복수의 단위셀을 구비한 반도체 장치에서 특정 단위셀을 선택하기 위한 것으로, 트랜지스터, 다이오드 등을 포함할 수 있다. 스위칭 소자의 일단은 후술하는 제1콘택플러그와 전기적으로 연결될 수 있고, 타단은 소스라인(Source line)과 전기적으로 연결될 수 있다.
이어서, 기판(11) 상에 제1층간절연막(12)을 형성한다. 제1층간절연막(12)은 산화막, 질화막 및 산화질화막으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 단일막 또는 이들이 적층된 적층막으로 형성할 수 있다.
이어서, 제1층간절연막(12)을 관통하여 기판(11)에 접하는 제1콘택플러그(13)를 형성할 수 있다. 제1콘택플러그(13)는 스위칭소자와 후술하는 가변저항소자(M)를 연결하기 위한 하부전극콘택(BEC, Bottom Electrode Contact)일 수 있다. 제1콘택플러그(13)는 제1층간절연막(12)을 관통하여 기판(11)을 노출시키는 콘택홀을 형성하고, 콘택홀 내에 도전물질을 갭필한 후, 인접한 제1콘택플러그(13) 사이를 전기적으로 분리시키는 분리공정을 진행하는 일련의 공정과정을 통해 형성할 수 있다. 분리공정은 전면식각(예컨대, 에치백) 또는 화학적기계적연마(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 사용하여 제1층간절연막(12)이 노출될 때까지 전면에 형성된 도전물질을 식각(또는 연마)하는 방법으로 진행할 수 있다.
이어서, 제1콘택플러그(13)를 포함하는 제1층간절연막(12) 상에 가변저항소자(M)를 형성한다. 가변저항소자(M)는 제1자성막(14), 터널배리어막(15) 및 제2자성막(16)의 적층구조를 포함할 수 있다. 또한, 도시되지 않았으나 제1자성막(14)의 하부 및 제2자성막(16)의 상부에는 각각 제1전극 및 제2전극이 형성될 수 있고, 각 자성막의 특성 개선을 위한 템플릿층, 결합층 및 인터페이스층 등을 더 포함할 수 있다.
가변저항소자(M)는 제1 및 제2자성막(14, 16)의 자화 방향에 따라 서로 다른 저항 상태를 스위칭하는 특성을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 및 제2자성막(14, 16)의 자화 방향이 서로 동일한 경우(또는, 평행한 경우)에는 저저항 상태를 가질 수 있고, 제1 및 제2자성막(14, 16)의 자화 방향이 서로 다른 경우(또는, 반평행한 경우)에는 고저항 상태를 가질 수 있다.
제1자성막(14) 및 제2자성막(16) 중 어느 하나는 자화 방향이 고정되는 고정자성(pinned ferromagnetic)층일 수 있고, 나머지 하나는 가변저항소자(M)에 인가되는 전류의 방향에 따라 자화방향이 가변되는 자유 자성(free ferromagnetic)층일 수 있다. 제1 및 제2자성막(14, 16)은 강자성(ferromagnetic) 물질 예컨대, Fe-Pt 합금, Fe-Pd 합금, Co-Pd 합금, Co-Pt 합금, Co-Fe 합금, Fe-Ni-Pt 합금, Co-Fe-Pt 합금, Co-Ni-Pt 합금 등을 포함하는 단일막 또는 다중막일 수 있고, 붕소(B)와 같은 불순물을 더 포함할 수 있으나, 본 발명이 이 예시에 한정되는 것은 아니다.
터널배리어막(15)은 전자의 터널링이 가능하여 자유 자성막의 자화 방향 변화를 가능하게 할 수 있다. 터널배리어막(15)은 유전체 물질 예컨대, Al2O3, MgO, CaO, SrO, TiO, VO, NbO 등의 산화물을 포함하는 단일막 또는 다중막일 수 있으나, 본 발명이 이 예시에 한정되는 것은 아니다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 가변저항소자(M)를 포함하는 전면을 따라 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)과 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(18)의 적층구조가 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로, 도 1a에 도시된 바와 같이 탄소가 함유된 알루미늄질화막의 단층구조를 포함할 수 있다.
제1 및 제2알루미늄질화막(17, 18)은 원자층증착법(ALD, Atomic Layer Deposition)으로 형성할 수 있다. 제1 및 제2알루미늄질화막(17, 18)은 동일챔버에서 인시튜(In-Situ)로 형성할 수 있다. 제1 및 제2알루미늄질화막(17, 18) 내에 탄소의 함유량은 플라즈마 단계의 파워 및 반응가스의 유량을 조절하여 조절할 수 있다.
먼저, 원자층증착법은 소스물질과 반응물질을 챔버 내로 순차적으로 주입하고 퍼지하는 방식으로 복수의 단원자층을 순차적으로 증착하는 방법이다.
원자층증착법은 화학기상증착법(CVD)처럼 화학반응을 이용하는 증착법이지만 각각의 반응소스가 챔버 내에서 혼합되지 않고 하나씩 펄스(Pulse)로 흘려진다는 점에서 화학기상증착법(CVD)과 구별된다. 예컨대, 소스물질 주입, 퍼지, 반응물질 주입 및 퍼지의 순서로 진행할 수 있다. 예컨대, 소스물질을 주입하여 화학흡착(Chemical absorption)시킨 후, 챔버 내부에 잔류하는 미반응 소스물질을 비활성가스로 퍼지한다. 이어서, 반응물질을 주입하면, 소스물질과 반응물질 간에 반응이 일어나 원자층 박막이 증착된다. 마지막으로, 소스물질과 반응물질간 반응 후 챔버에 잔존하는 반응물질 및 반응부산물을 퍼지시킨다.
상술한 바와 같은 원자층증착법은 표면 반응 메카니즘(Surface Reaction Mechanism)을 이용하므로써, 안정된 박막을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 균일한 박막을 얻을 수 있다. 또한, 소스물질과 반응물질을 서로 분리시켜 순차적으로 주입 및 퍼지시키기 때문에 화학기상증착법에 비해 가스 위상 반응(Gas Phase Reaction)에 의한 파티클(Particle) 생성을 억제하는 것으로 알려져 있다.
제1 및 제2알루미늄질화막(17, 18)을 형성하기 위한 원자층증착법은 소스 주입단계, 퍼지단계, 플라즈마 주입단계 및 퍼지단계의 조합으로 이루어진 단위사이클을 N회(N은 자연수) 반복 진행할 수 있다.
먼저, 소스 주입단계는 알루미늄질화막이 증착될 기판이 장착된 챔버 내에 알루미늄소스를 공급하는 단계로서, 알루미늄소스의 공급에 의해 알루미늄소스가 기판 표면에 흡착될 수 있다. 예컨대, 알루미늄소스는 TMA(Trimethyl Aluminum:(CH3)3Al), TTBA(Tris(tertiary-buty) Aluminum:Al[C(CH3)3]3) 및 AlCl3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 소스가스를 포함할 수 있다. 예컨대, 소스 주입단계는 0.5초∼10초 사이로 조절할 수 있으며, 소스 운반가스는 예컨대, He 또는 Ar가스를 포함할 수 있다. 또한, 소스 운반가스는 예컨대 100sccm∼500sccm의 유량을 사용할 수 있다.
다음으로, 퍼지단계는 흡착 반응 후 남은 잉여의 알루미늄소스를 제거하는 퍼지 단계로서, 이때 퍼지가스로는 알루미늄소스와 반응하지 않는 비활성 가스를 사용할 수 있다. 예컨대, 퍼지가스는 N2, Ar 및 He로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 비활성 가스를 사용할 수 있다. 퍼지가스는 예컨대, 500sccm∼5000sccm의 유량을 사용할 수 있고, 주입시간은 예컨대 0.5초∼10초 사이로 조절할 수 있다.
다음으로, 플라즈마 주입단계를 실시할 수 있다. 플라즈마 주입단계는 알루미늄소스로 사용되는 물질의 리간드(ligand)를 분해하는 공정으로, 예컨대 리모트 플라즈마(Remote Plasma) 처리로 진행할 수 있다. 리모트 플라즈마를 이용하면 기판이 플라즈마에 의해 물리적으로 손상받는 것을 방지할 수 있다. 플라즈마를 생성시키는 가스 즉, 반응가스로는 예컨대, N2, H2, N2/H2의 혼합가스 및 NH3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다. 반응가스는 예컨대, 300sccm∼10000sccm의 유량을 조절할 수 있다. 파워는 예컨대, 500Ｗ∼10000Ｗ 사이로 조절할 수 있다. 또한, 플라즈마 처리 시간 및/또는 반응가스 주입시간은 예컨대 1초∼10초 사이로 조절할 수 있다.
특히, 본 실시예에서는 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)을 형성하기 위해 플라즈마 처리단계를 조절할 수 있으며, 이때 반응가스의 유량 및 파워를 조절하여 막 내의 탄소성분의 함유량을 조절할 수 있다. 막 내에 탄소성분의 함유량은 게더링 효과의 극대화를 위해 적어도 10％이상의 함유량이 되도록 조절할 수 있다.
예컨대, 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)을 형성하기 위한 반응가스의 유량은 300sccm∼3000sccm이하로 조절할 수 있고, 파워는 500Ｗ∼3000Ｗ이하로 조절할 수 있다. 또한, 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(18)은 소스가스에 함유된 탄소를 모두 제거해야 하므로, 제1알루미늄질화막(17)을 형성하는 공정보다 반응가스의 유량 및 파워를 더 크게 진행할 수 있다. 예컨대, 제2알루미늄질화막(18)을 형성하기 위한 반응가스의 유량은 3000sccm초과∼10000sccm으로 조절할 수 있고, 파워는 3000Ｗ초과∼10000Ｗ으로 조절할 수 있다.
마지막으로, 퍼지단계는 반응부산물 및 반응하고 남은 반응물질을 퍼지하는 단계일 수 있다. 퍼지단계는 퍼지가스로 비활성 가스를 사용하며, 예컨대 퍼지가스는 N2, Ar 및 He로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 비활성 가스를 사용할 수 있다.
위와 같이, 플라즈마 주입단계의 파워 및 반응가스의 유량을 조절하여 알루미늄소스에 붙어있는 탄소(Carbon)을 박막 내 적절히 잔류시켜 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17, AlCN)을 형성할 수 있다. 즉, 플라즈마 주입단계에서 반응가스의 유량 및 플라즈마 처리 파워를 증가시키게 되면 박막 내 탄소 분자를 활성화시켜 분리시키는 양이 많아 지므로, 박막 내 탄소의 농도가 줄어들게 되는 것을 이용하여 제1알루미늄질화막(17)과 제2알루미늄질화막(18)을 각각 나누어 형성할 수 있다.
표 1은 각 조건에 의해 막 내 탄소성분의 변화량을 나타낸다.
| 변수 | 증, 감 | 박막 내 탄소량 |
| 반응가스 유량 | 증가 | 감소 |
| 감소 | 증가 | |
| 플라즈마 처리 파워 | 증가 | 감소 |
| 감소 | 증가 |
표 1을 참조하면, 막 내에 탄소량을 조절할 수 있는 조건은 크게 2가지로 구분되며, 반응가스 유량과 플라즈마 처리 파워는 막 내에 탄소량과 반비례관계를 가질 수 있다.
위와 같이, 본 실시예에서는 반응가스 유량과 플라즈마 처리 파워를 조절하여 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)과 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막(18)을 각각 나누어 형성할 수 있고, 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)은 막 내에 함유된 불안정한 탄소(C)가 가변저항소자(M) 내의 산소를 게더링(gattering)하여 가변저항소자(M)의 측벽 산화를 방지할 수 있다. 더욱이, 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)은 산화방지 뿐 아니라 가변저항소자(M)에 기산화된 부분을 환원시켜 소자의 특성을 개선할 수 있다.
본 실시예에 기술한 원자증증착법의 조건은 하나의 실시예에 해당하는 것으로, 이에 한정되지 않으며 각 조건 및 필요에 따라 얼마든지 조절이 가능하다.
도 3c에 도시된 바와 같이, 열처리를 진행한다. 열처리를 통해 가변저항소자(M)에 접하는 제1알루미늄질화막(17)의 표면이 탄소 및 산소를 포함하는 알루미늄질화막(17A)으로 변환될 수 있다. 즉, 제1알루미늄질화막(17)은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(17A)과 탄소가 함유된 알루미늄질화막(17)의 적층구조가 될 수 있다. 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(17A)은 예컨대, AlCOxN(x는 자연수)로 표시될 수 있다.
탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(17A)은 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17)의 산소 게더링 효과에 의해 형성되는 막일 수 있다. 즉, 열처리를 통해 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막(17) 내의 불안정한 탄소(C)가 가변저항소자(M)의 막 내 산소를 게더링함으로써 가변저항소자(M)에 접하는 제1알루미늄질화막(17)의 표면에 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막(17A)이 형성될 수 있다. 게더링에 의한 최종구조는 AlCOxN(x는 자연수, 17A), AlCN(17) 및 AlN(18)의 적층구조가 될 수 있다.
도 3d에 도시된 바와 같이, 제2알루미늄질화막(18) 상에 제2층간절연막(19)을 형성할 수 있다. 제2층간절연막(19)은 가변저항소자(M) 사이를 매립하기 충분한 두께로 형성할 수 있다. 예컨대, 제2층간절연막(19)은 제2알루미늄질화막(18)을 포함하는 가변저항소자(M)의 상부면보다 높은 표면두께를 갖도록 형성할 수 있다. 제2층간절연막(19)은 예컨대, 산화막, 질화막 및 산화질화막으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 단일막 또는 이들이 적층된 적층막을 포함할 수 있다.
이어서, 제2층간절연막(19) 및 이중층의 제1알루미늄질화막(17A, 17)과 제2알루미늄질화막(18)을 관통하여 가변저항소자(M)에 연결되는 제2콘택플러그(20)를 형성할 수 있다. 제2콘택플러그(20)는 제2층간절연막(19) 및 이중층의 제1알루미늄질화막(17A, 17)과 제2알루미늄질화막(18)을 관통하여 가변저항소자(M)의 상부를 노출시키는 콘택홀을 형성하고, 콘택홀에 도전물질을 매립한 후, 인접한 제2콘택플러그(20) 사이를 전기적으로 분리시키는 분리공정을 진행하는 일련의 공정과정을 통해 형성할 수 있다. 분리공정은 전면식각(예컨대, 에치백) 또는 화학적기계적연마 공정을 사용하여 제2층간절연막(19)이 노출될 때까지 전면에 형성된 도전물질을 식각(또는 연마)하는 방법으로 진행할 수 있다.
제2콘택플러그(20)는 반도체막 또는 금속성막으로 형성할 수 있다. 반도체막은 실리콘막을 포함할 수 있다. 금속성막은 금속원소를 포함하는 도전막으로 금속막, 금속산화막, 금속질화막, 금속산화질화막 및 금속실리사이드막 등으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 금속원소를 포함하는 도전막을 포함할 수 있다.
이어서, 제2콘택플러그(20)를 포함하는 제2층간절연막(19) 상에 도전라인(21)을 형성할 수 있다.
도전라인(21)은 금속성막을 포함할 수 있다. 금속성막은 금속원소를 포함하는 도전막을 의미하며, 금속막, 금속산화막, 금속질화막, 금속산화질화막 및 금속실리사이드막 등으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 금속원소를 포함하는 도전막을 포함할 수 있다. 도전라인(21)은 예컨대, 비트라인(Bit Line)이 될 수 있다.
전술한 실시예들의 메모리 회로 또는 반도체 장치는 다양한 장치 또는 시스템에 이용될 수 있다. 도 4 내지 도 8은 전술한 실시예들의 메모리 회로 또는 반도체 장치를 구현할 수 있는 장치 또는 시스템의 몇몇 예시들을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 마이크로프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 4를 참조하면, 마이크로프로세서(1000)는 다양한 외부 장치로부터 데이터를 받아서 처리한 후 그 결과를 외부 장치로 보내는 일련의 과정을 제어하고 조정하는 일을 수행할 수 있으며, 기억부(1010), 연산부(1020), 제어부(1030) 등을 포함할 수 있다. 마이크로프로세서(1000)는 중앙 처리 장치(Central Processing Unit; CPU), 그래픽 처리 장치(Graphic Processing Unit; GPU), 디지털 신호 처리 장치(Digital Signal Processor; DSP), 어플리케이션 프로세서(Application Processor; AP) 등 각종 데이터 처리 장치 일 수 있다.
기억부(1010)는 프로세서 레지스터(Processor register), 레지스터(Register) 등으로, 마이크로프로세서(1000) 내에서 데이터를 저장하는 부분일 수 있고, 데이터 레지스터, 주소 레지스터, 부동 소수점 레지스터 등을 포함할 수 있으며 이외에 다양한 레지스터를 포함할 수 있다. 기억부(1010)는 연산부(1020)에서 연산을 수행하는 데이터나 수행결과 데이터, 수행을 위한 데이터가 저장되어 있는 주소를 일시적으로 저장하는 역할을 수행할 수 있다.
기억부(1010)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예컨대, 기억부(1010)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 기억부(1010)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 마이크로프로세서(1000)의 동작 특성 향상이 가능하다.
연산부(1020)는 제어부(1030)가 명령을 해독한 결과에 따라서 여러 가지 사칙 연산 또는 논리 연산을 수행할 수 있다. 연산부(1020)는 하나 이상의 산술 논리 연산 장치(Arithmetic and Logic Unit; ALU) 등을 포함할 수 있다.
제어부(1030)는 기억부(1010), 연산부(1020), 마이크로프로세서(1000)의 외부 장치 등으로부터 신호를 수신하고, 명령의 추출이나 해독, 마이크로프로세서(1000)의 신호 입출력의 제어 등을 수행하고, 프로그램으로 나타내어진 처리를 실행할 수 있다.
본 실시예에 따른 마이크로프로세서(1000)는 기억부(1010) 이외에 외부 장치로부터 입력되거나 외부 장치로 출력할 데이터를 임시 저장할 수 있는 캐시 메모리부(1040)를 추가로 포함할 수 있다. 이 경우 캐시 메모리부(1040)는 버스 인터페이스(1050)를 통해 기억부(1010), 연산부(1020) 및 제어부(1030)와 데이터를 주고 받을 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 프로세서의 구성도의 일 예이다.
도 5를 참조하면, 프로세서(1100)는 다양한 외부 장치로부터 데이터를 받아서 처리한 후 그 결과를 외부 장치로 보내는 일련의 과정을 제어하고 조정하는 일을 수행하는 마이크로프로세서의 기능 이외에 다양한 기능을 포함하여 성능 향상 및 다기능을 구현할 수 있다. 프로세서(1100)는 마이크로프로세서의 역할을 하는 코어부(1110), 데이터를 임시 저장하는 역할을 하는 캐시 메모리부(1120) 및 내부와 외부 장치 사이의 데이터 전달을 위한 버스 인터페이스(1430)를 포함할 수 있다. 프로세서(1100)는 멀티 코어 프로세서(Multi Core Processor), 그래픽 처리 장치(Graphic Processing Unit; GPU), 어플리케이션 프로세서(Application Processor; AP) 등과 같은 각종 시스템 온 칩(System on Chip; SoC)을 포함할 수 있다.
본 실시예의 코어부(1110)는 외부 장치로부터 입력된 데이터를 산술 논리 연산하는 부분으로, 기억부(1111), 연산부(1112) 및 제어부(1113)를 포함할 수 있다.
기억부(1111)는 프로세서 레지스터(Processor register), 레지스터(Register) 등으로, 프로세서(1100) 내에서 데이터를 저장하는 부분일 수 있고, 데이터 레지스터, 주소 레지스터, 부동 소수점 레지스터 등를 포함할 수 있으며 이외에 다양한 레지스터를 포함할 수 있다. 기억부(1111)는 연산부(1112)에서 연산을 수행하는 데이터나 수행결과 데이터, 수행을 위한 데이터가 저장되어 있는 주소를 일시적으로 저장하는 역할을 수행할 수 있다. 연산부(1112)는 프로세서(1100)의 내부에서 연산을 수행하는 부분으로, 제어부(1113)가 명령을 해독한 결과에 따라서 여러 가지 사칙 연산, 논리 연산 등을 수행할 수 있다. 연산부(1112)는 하나 이상의 산술 논리 연산 장치(Arithmetic and Logic Unit; ALU) 등을 포함할 수 있다. 제어부(1113)는 기억부(1111), 연산부(1112), 프로세서(1100)의 외부 장치 등으로부터 신호를 수신하고, 명령의 추출이나 해독, 프로세서(1100)의 신호 입출력의 제어 등을 수행하고, 프로그램으로 나타내어진 처리를 실행할 수 있다.
캐시 메모리부(1120)는 고속으로 동작하는 코어부(1110)와 저속으로 동작하는 외부 장치 사이의 데이터 처리 속도 차이를 보완하기 위해 임시로 데이터를 저장하는 부분으로, 1차 저장부(1121), 2차 저장부(1122) 및 3차 저장부(1123)를 포함할 수 있다. 일반적으로 캐시 메모리부(1120)는 1차, 2차 저장부(1121, 1122)를 포함하며 고용량이 필요할 경우 3차 저장부(1123)를 포함할 수 있으며, 필요시 더 많은 저장부를 포함할 수 있다. 즉 캐시 메모리부(1120)가 포함하는 저장부의 개수는 설계에 따라 달라질 수 있다. 여기서, 1차, 2차, 3차 저장부(1121, 1122, 1123)의 데이터 저장 및 판별하는 처리 속도는 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 각 저장부의 처리 속도가 다른 경우, 1차 저장부의 속도가 제일 빠를 수 있다. 캐시 메모리부(1120)의 1차 저장부(1121), 2차 저장부(1122) 및 3차 저장부(1123) 중 하나 이상의 저장부는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 캐시 메모리부(1120)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해 캐시 메모리부(1120)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 프로세서(1100)의 동작 특성 향상이 가능하다.
도 5에는 1차, 2차, 3차 저장부(1121, 1122, 1123)가 모두 캐시 메모리부(1120)의 내부에 구성된 경우를 도시하였으나, 캐시 메모리부(1120)의 1차, 2차, 3차 저장부(1121, 1122, 1123)는 모두 코어부(1110)의 외부에 구성되어 코어부(1110)와 외부 장치간의 처리 속도 차이를 보완할 수 있다. 또는, 캐시 메모리부(1120)의 1차 저장부(1121)는 코어부(1110)의 내부에 위치할 수 있고, 2차 저장부(1122) 및 3차 저장부(1123)는 코어부(1110)의 외부에 구성되어 처리 속도 차이의 보완 기능이 보다 강화될 수 있다. 또는, 1차, 2차 저장부(1121, 1122)는 코어부(1110)의 내부에 위치할 수 있고, 3차 저장부(1123)는 코어부(1110)의 외부에 위치할 수 있다.
버스 인터페이스(1430)는 코어부(1110), 캐시 메모리부(1120) 및 외부 장치를 연결하여 데이터를 효율적으로 전송할 수 있게 해주는 부분이다.
본 실시예에 따른 프로세서(1100)는 다수의 코어부(1110)를 포함할 수 있으며 다수의 코어부(1110)가 캐시 메모리부(1120)를 공유할 수 있다. 다수의 코어부(1110)와 캐시 메모리부(1120)는 직접 연결되거나, 버스 인터페이스(1430)를 통해 연결될 수 있다. 다수의 코어부(1110)는 모두 상술한 코어부의 구성과 동일하게 구성될 수 있다. 프로세서(1100)가 다수의 코어부(1110)를 포함할 경우, 캐시 메모리부(1120)의 1차 저장부(1121)는 다수의 코어부(1110)의 개수에 대응하여 각각의 코어부(1110) 내에 구성되고 2차 저장부(1122)와 3차 저장부(1123)는 다수의 코어부(1110)의 외부에 버스 인터페이스(1130)를 통해 공유되도록 구성될 수 있다. 여기서, 1차 저장부(1121)의 처리 속도가 2차, 3차 저장부(1122, 1123)의 처리 속도보다 빠를 수 있다. 다른 실시예에서, 1차 저장부(1121)와 2차 저장부(1122)는 다수의 코어부(1110)의 개수에 대응하여 각각의 코어부(1110) 내에 구성되고, 3차 저장부(1123)는 다수의 코어부(1110) 외부에 버스 인터페이스(1130)를 통해 공유되도록 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 프로세서(1100)는 데이터를 저장하는 임베디드(Embedded) 메모리부(1140), 외부 장치와 유선 또는 무선으로 데이터를 송수신할 수 있는 통신모듈부(1150), 외부 기억 장치를 구동하는 메모리 컨트롤부(1160), 외부 인터페이스 장치에 프로세서(1100)에서 처리된 데이터나 외부 입력장치에서 입력된 데이터를 가공하고 출력하는 미디어처리부(1170) 등을 추가로 포함할 수 있으며, 이 이외에도 다수의 모듈과 장치를 포함할 수 있다. 이 경우 추가된 다수의 모듈들은 버스 인터페이스(1130)를 통해 코어부(1110), 캐시 메모리부(1120) 및 상호간 데이터를 주고 받을 수 있다.
여기서 임베디드 메모리부(1140)는 휘발성 메모리뿐만 아니라 비휘발성 메모리를 포함할 수 있다. 휘발성 메모리는 DRAM(Dynamic Random Access Memory), Moblie DRAM, SRAM(Static Random Access Memory), 및 이와 유사한 기능을 하는 메모리 등을 포함할 수 있으며, 비휘발성 메모리는 ROM(Read Only Memory), NOR Flash Memory, NAND Flash Memory, PRAM(Phase Change Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory), STTRAM(Spin Transfer Torque Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory), 및 이와 유사한 기능을 수행하는 메모리 등을 포함할 수 있다.
통신모듈부(1150)는 유선 네트워크와 연결할 수 있는 모듈, 무선 네트워크와 연결할 수 있는 모듈, 및 이들 전부를 포함할 수 있다. 유선 네트워크 모듈은, 전송 라인을 통하여 데이터를 송수신하는 다양한 장치들과 같이, 유선랜(Local Area Network; LAN), 유에스비(Universal Serial Bus; USB), 이더넷(Ethernet), 전력선통신(Power Line Communication; PLC) 등을 포함할 수 있다. 무선 네트워크 모듈은, 전송 라인 없이 데이터를 송수신하는 다양한 장치들과 같이, 적외선 통신(Infrared Data Association; IrDA), 코드 분할 다중 접속(Code Division Multiple Access; CDMA), 시분할 다중 접속(Time Division Multiple Access; TDMA), 주파수 분할 다중 접속(Frequency Division Multiple Access; FDMA), 무선랜(Wireless LAN), 지그비(Zigbee), 유비쿼터스 센서 네트워크(Ubiquitous Sensor Network; USN), 블루투스(Bluetooth), RFID(Radio Frequency IDentification), 롱텀에볼루션(Long Term Evolution; LTE), 근거리 무선통신(Near Field Communication; NFC), 광대역 무선 인터넷(Wireless Broadband Internet; Wibro), 고속 하향 패킷 접속(High Speed Downlink Packet Access; HSDPA), 광대역 코드 분할 다중 접속(Wideband CDMA; WCDMA), 초광대역 통신(Ultra WideBand; UWB) 등을 포함할 수 있다.
메모리 컨트롤부(1160)는 프로세서(1100)와 서로 다른 통신 규격에 따라 동작하는 외부 저장 장치 사이에 전송되는 데이터를 처리하고 관리하기 위한 것으로 각종 메모리 컨트롤러, 예를 들어, IDE(Integrated Device Electronics), SATA(Serial Advanced Technology Attachment), SCSI(Small Computer System Interface), RAID(Redundant Array of Independent Disks), SSD(Solid State Disk), eSATA(External SATA), PCMCIA(Personal Computer Memory Card International Association), USB(Universal Serial Bus), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등을 제어하는 컨트롤러를 포함할 수 있다.
미디어처리부(1170)는 프로세서(1100)에서 처리된 데이터나 외부 입력장치로부터 영상, 음성 및 기타 형태로 입력된 데이터를 가공하고, 이 데이터를 외부 인터페이스 장치로 출력할 수 있다. 미디어처리부(1170)는 그래픽 처리 장치(Graphics Processing Unit; GPU), 디지털 신호 처리 장치(Digital Signal Processor; DSP), 고선명 오디오(High Definition Audio; HD Audio), 고선명 멀티미디어 인터페이스(High Definition Multimedia Interface; HDMI) 컨트롤러 등을 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 6을 참조하면, 시스템(1200)은 데이터를 처리하는 장치로, 데이터에 대하여 일련의 조작을 행하기 위해 입력, 처리, 출력, 통신, 저장 등을 수행할 수 있다. 시스템(1200)은 프로세서(1210), 주기억장치(1220), 보조기억장치(1230), 인터페이스 장치(1240) 등을 포함할 수 있다. 본 실시예의 시스템(1200)은 컴퓨터(Computer), 서버(Server), PDA(Personal Digital Assistant), 휴대용 컴퓨터(Portable Computer), 웹 타블렛(Web Tablet), 무선 폰(Wireless Phone), 모바일 폰(Mobile Phone), 스마트 폰(Smart Phone), 디지털 뮤직 플레이어(Digital Music Player), PMP(Portable Multimedia Player), 카메라(Camera), 위성항법장치(Global Positioning System; GPS), 비디오 카메라(Video Camera), 음성 녹음기(Voice Recorder), 텔레매틱스(Telematics), AV시스템(Audio Visual System), 스마트 텔레비전(Smart Television) 등 프로세스를 사용하여 동작하는 각종 전자 시스템일 수 있다.
프로세서(1210)는 입력된 명령어의 해석과 시스템(1200)에 저장된 자료의 연산, 비교 등의 처리를 제어할 수 있고, 마이크로프로세서(Micro Processor Unit; MPU), 중앙 처리 장치(Central Processing Unit; CPU), 싱글/멀티 코어 프로세서(Single/Multi Core Processor), 그래픽 처리 장치(Graphic Processing Unit; GPU), 어플리케이션 프로세서(Application Processor; AP), 디지털 신호 처리 장치(Digital Signal Processor; DSP) 등을 포함할 수 있다.
주기억장치(1220)는 프로그램이 실행될 때 보조기억장치(1230)로부터 프로그램 코드나 자료를 이동시켜 저장, 실행시킬 수 있는 기억장소로, 전원이 끊어져도 기억된 내용이 보존될 수 있다. 주기억장치(1220)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 주기억장치(1220)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 주기억장치(1220)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 시스템(1200)의 동작 특성 향상이 가능하다.
또한, 주기억장치(1220)는 전원이 꺼지면 모든 내용이 지워지는 휘발성 메모리 타입의 에스램(Static Random Access Memory; SRAM), 디램(Dynamic Random Access Memory) 등을 더 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 주기억장치(1220)는 전술한 실시예의 반도체 장치를 포함하지 않고, 전원이 꺼지면 모든 내용이 지워지는 휘발성 메모리 타입의 에스램(Static Random Access Memory; SRAM), 디램(Dynamic Random Access Memory) 등을 포함할 수 있다.
보조기억장치(1230)는 프로그램 코드나 데이터를 보관하기 위한 기억장치를 말한다. 주기억장치(1220)보다 속도는 느리지만 많은 자료를 보관할 수 있다. 보조기억장치(1230)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 보조기억장치(1230)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 보조기억장치(1230)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 시스템(1200)의 동작 특성 향상이 가능하다.
또한, 보조기억장치(1230)는 자기를 이용한 자기테이프, 자기디스크, 빛을 이용한 레이져 디스크, 이들 둘을 이용한 광자기디스크, 고상 디스크(Solid State Disk; SSD), USB메모리(Universal Serial Bus Memory; USB Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등과 같은 데이터 저장 시스템(도 10의 1300 참조)을 더 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 보조기억장치(1230)는 전술한 실시예의 반도체 장치를 포함하지 않고 자기를 이용한 자기테이프, 자기디스크, 빛을 이용한 레이져 디스크, 이들 둘을 이용한 광자기디스크, 고상 디스크(Solid State Disk; SSD), USB메모리(Universal Serial Bus Memory; USB Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등의 데이터 저장 시스템(도 10의 1300 참조)들을 포함할 수 있다.
인터페이스 장치(1240)는 본 실시예의 시스템(1200)과 외부 장치 사이에서 명령, 데이터 등을 교환하기 위한 것일 수 있으며, 키패드(keypad), 키보드(keyboard), 마우스(Mouse), 스피커(Speaker), 마이크(Mike), 표시장치(Display), 각종 휴먼 인터페이스 장치(Human Interface Device; HID), 통신장치 등일 수 있다. 통신장치는 유선 네트워크와 연결할 수 있는 모듈, 무선 네트워크와 연결할 수 있는 모듈, 및 이들 전부를 포함할 수 있다. 유선 네트워크 모듈은, 전송 라인을 통하여 데이터를 송수신하는 다양한 장치들과 같이, 유선랜(Local Area Network; LAN), 유에스비(Universal Serial Bus; USB), 이더넷(Ethernet), 전력선통신(Power Line Communication; PLC) 등을 포함할 수 있으며, 무선 네트워크 모듈은, 전송 라인 없이 데이터를 송수신하는 다양한 장치들과 같이, 적외선 통신(Infrared Data Association; IrDA), 코드 분할 다중 접속(Code Division Multiple Access; CDMA), 시분할 다중 접속(Time Division Multiple Access; TDMA), 주파수 분할 다중 접속(Frequency Division Multiple Access; FDMA), 무선랜(Wireless LAN), 지그비(Zigbee), 유비쿼터스 센서 네트워크(Ubiquitous Sensor Network; USN), 블루투스(Bluetooth), RFID(Radio Frequency IDentification), 롱텀에볼루션(Long Term Evolution; LTE), 근거리 무선통신(Near Field Communication; NFC), 광대역 무선 인터넷(Wireless Broadband Internet; Wibro), 고속 하향 패킷 접속(High Speed Downlink Packet Access; HSDPA), 광대역 코드 분할 다중 접속(Wideband CDMA; WCDMA), 초광대역 통신(Ultra WideBand; UWB) 등을 포함할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 데이터 저장 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 7을 참조하면, 데이터 저장 시스템(1300)은 데이터 저장을 위한 구성으로 비휘발성 특성을 가지는 저장 장치(1310), 이를 제어하는 컨트롤러(1320), 외부 장치와의 연결을 위한 인터페이스(1330), 및 데이터를 임시 저장하기 위한 임시 저장 장치(1340)를 포함할 수 있다. 데이터 저장 시스템(1300)은 하드 디스크(Hard Disk Drive; HDD), 광학 드라이브(Compact Disc Read Only Memory; CDROM), DVD(Digital Versatile Disc), 고상 디스크(Solid State Disk; SSD) 등의 디스크 형태와 USB메모리(Universal Serial Bus Memory; USB Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등의 카드 형태일 수 있다.
저장 장치(1310)는 데이터를 반 영구적으로 저장하는 비휘발성 메모리를 포함할 수 있다. 여기서, 비휘발성 메모리는, ROM(Read Only Memory), NOR Flash Memory, NAND Flash Memory, PRAM(Phase Change Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory) 등을 포함할 수 있다.
컨트롤러(1320)는 저장 장치(1310)와 인터페이스(1330) 사이에서 데이터의 교환을 제어할 수 있다. 이를 위해 컨트롤러(1320)는 데이터 저장 시스템(1300) 외부에서 인터페이스(1330)를 통해 입력된 명령어들을 처리하기 위한 연산 등을 수행하는 프로세서(1321)를 포함할 수 있다.
인터페이스(1330)는 데이터 저장 시스템(1300)과 외부 장치간에 명령 및 데이터 등을 교환하기 위한 것이다. 데이터 저장 시스템(1300)이 카드인 경우, 인터페이스(1330)는, USB(Universal Serial Bus Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등과 같은 장치에서 사용되는 인터페이스들과 호환될 수 있거나, 또는, 이들 장치와 유사한 장치에서 사용되는 인터페이스들과 호환될 수 있다. 데이터 저장 시스템(1300)이 디스크 형태일 경우, 인터페이스(1330)는 IDE(Integrated Device Electronics), SATA(Serial Advanced Technology Attachment), SCSI(Small Computer System Interface), eSATA(External SATA), PCMCIA(Personal Computer Memory Card International Association), USB(Universal Serial Bus) 등과 같은 인터페이스와 호환될 수 있거나, 또는, 이들 인터페이스와 유사한 인터페이스와 호환될 수 있다. 인터페이스(1330)는 서로 다른 타입을 갖는 하나 이상의 인터페이스와 호환될 수도 있다.
임시 저장 장치(1340)는 외부 장치와의 인터페이스, 컨트롤러, 및 시스템의 다양화, 고성능화에 따라 인터페이스(1330)와 저장 장치(1310)간의 데이터의 전달을 효율적으로 하기 위하여 데이터를 임시로 저장할 수 있다. 임시 저장 장치(1340)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 임시 저장 장치(1340)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 임시 저장 장치(1340)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 데이터 저장 시스템(1300)의 동작 특성 향상이 가능하다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 메모리 장치를 구현하는 메모리 시스템의 구성도의 일 예이다.
도 8을 참조하면, 메모리 시스템(1400)은 데이터 저장을 위한 구성으로 비휘발성 특성을 가지는 메모리(1410), 이를 제어하는 메모리 컨트롤러(1420), 외부 장치와의 연결을 위한 인터페이스(1430) 등을 포함할 수 있다. 메모리 시스템(1400)은 고상 디스크(Solid State Disk; SSD), USB메모리(Universal Serial Bus Memory; USB Memory), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등의 카드 형태일 수 있다.
데이터를 저장하는 메모리(1410)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리(1410)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 메모리(1410)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 메모리 시스템(1400)의 동작 특성 향상이 가능하다.
더불어, 본 실시예의 메모리는 비휘발성인 특성을 가지는 ROM(Read Only Memory), NOR Flash Memory, NAND Flash Memory, PRAM(Phase Change Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory) 등을 포함할 수 있다.
메모리 컨트롤러(1420)는 메모리(1410)와 인터페이스(1430) 사이에서 데이터의 교환을 제어할 수 있다. 이를 위해 메모리 컨트롤러(1420)는 메모리 시스템(1400) 외부에서 인터페이스(1430)를 통해 입력된 명령어들을 처리 연산하기 위한 프로세서(1421)를 포함할 수 있다.
인터페이스(1430)는 메모리 시스템(1400)과 외부 장치간에 명령 및 데이터 등을 교환하기 위한 것으로, USB(Universal Serial Bus), 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini Secure Digital card; mSD), 마이크로 씨큐어 디지털 카드(micro SD), 고용량 씨큐어 디지털 카드(Secure Digital High Capacity; SDHC), 메모리 스틱 카드(Memory Stick Card), 스마트 미디어 카드(Smart Media Card; SM), 멀티 미디어 카드(Multi Media Card; MMC), 내장 멀티 미디어 카드(Embedded MMC; eMMC), 컴팩트 플래시 카드(Compact Flash; CF) 등과 같은 장치에서 사용되는 인터페이스와 호환될 수 있거나, 또는, 이들 장치들과 유사한 장치들에서 사용되는 인터페이스와 호환될 수 있다. 인터페이스(1430)는 서로 다른 타입을 갖는 하나 이상의 인터페이스와 호환될 수도 있다.
본 실시예의 메모리 시스템(1400)은 외부 장치와의 인터페이스, 메모리 컨트롤러, 및 메모리 시스템의 다양화, 고성능화에 따라 인터페이스(1430)와 메모리(1410)간의 데이터의 입출력을 효율적으로 전달하기 위한 버퍼 메모리(1440)를 더 포함할 수 있다. 데이터를 임시로 저장하는 버퍼 메모리(1440)는 전술한 반도체 장치의 실시예들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 버퍼 메모리(1440)는 기판 상에 형성된 가변저항소자; 및 상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함할 수 있다. 이를 통해, 버퍼 메모리(1440)의 데이터 저장 특성이 향상될 수 있다. 결과적으로, 메모리 시스템(1400)의 동작 특성 향상이 가능하다.
더불어, 본 실시예의 버퍼 메모리(1440)는 휘발성인 특성을 가지는 SRAM(Static Random Access Memory), DRAM(Dynamic Random Access Memory), 비휘발성인 특성을 가지는 ROM(Read Only Memory), NOR Flash Memory, NAND Flash Memory, PRAM(Phase Change Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory), STTRAM(Spin Transfer Torque Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory) 등을 더 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 버퍼 메모리(1440)는 전술한 실시예의 반도체 장치를 포함하지 않고 휘발성인 특성을 가지는 SRAM(Static Random Access Memory), DRAM(Dynamic Random Access Memory), 비휘발성인 특성을 가지는 ROM(Read Only Memory), NOR Flash Memory, NAND Flash Memory, PRAM(Phase Change Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory), STTRAM(Spin Transfer Torque Random Access Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory) 등을 포함할 수 있다.
이상으로 해결하고자 하는 과제를 위한 다양한 실시예들이 기재되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자진 자라면 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 이루어질 수 있음은 명백하다.
101: 기판
102: 제1층간절연막
103: 제1콘택플러그 104: 제1자성막
105 : 터널배리어막 106 : 제2자성막
107 : 알루미늄질화막 108 : 제2층간절연막
109 : 제2콘택플러그 110 : 도전라인
103: 제1콘택플러그 104: 제1자성막
105 : 터널배리어막 106 : 제2자성막
107 : 알루미늄질화막 108 : 제2층간절연막
109 : 제2콘택플러그 110 : 도전라인
Claims (24)
- 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치로서,
상기 반도체 메모리는,
기판 상에 형성된 가변저항소자; 및
상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 포함하는 전자장치.
- 제1항에 있어서,
상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막은 이중층으로 구성된 전자장치.
- 제1항에 있어서,
상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막과 탄소가 함유된 알루미늄질화막의 적층구조를 포함하는 전자장치.
- 제1항에 있어서,
상기 전자 장치는, 마이크로프로세서를 더 포함하고,
상기 마이크로프로세서는,
상기 마이크로프로세서 외부로부터의 명령을 포함하는 신호를 수신하고, 상기 명령의 추출이나 해독 또는 상기 마이크로프로세서의 신호의 입출력 제어를 수행하는 제어부;
상기 제어부가 명령을 해독한 결과에 따라서 연산을 수행하는 연산부; 및
상기 연산을 수행하는 데이터, 상기 연산을 수행한 결과에 대응하는 데이터 또는 상기 연산을 수행하는 데이터의 주소를 저장하는 기억부를 포함하고,
상기 반도체 메모리는, 상기 마이크로프로세서 내에서 상기 기억부의 일부인
전자 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 전자 장치는, 프로세서를 더 포함하고,
상기 프로세서는,
상기 프로세서의 외부로부터 입력된 명령에 따라 데이터를 이용하여 상기 명령에 대응하는 연산을 수행하는 코어부;
상기 연산을 수행하는 데이터, 상기 연산을 수행한 결과에 대응하는 데이터 또는 상기 연산을 수행하는 데이터의 주소를 저장하는 캐시 메모리부; 및
상기 코어부와 상기 캐시 메모리부 사이에 연결되고, 상기 코어부와 상기 캐시 메모리부 사이에 데이터를 전송하는 버스 인터페이스를 포함하고,
상기 반도체 메모리는, 상기 프로세서 내에서 상기 캐시 메모리부의 일부인
전자 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 전자 장치는, 프로세싱 시스템을 더 포함하고,
상기 프로세싱 시스템은,
수신된 명령을 해석하고 상기 명령을 해석한 결과에 따라 정보의 연산을 제어하는 프로세서;
상기 명령을 해석하기 위한 프로그램 및 상기 정보를 저장하기 위한 보조기억장치;
상기 프로그램을 실행할 때 상기 프로세서가 상기 프로그램 및 상기 정보를 이용해 상기 연산을 수행할 수 있도록 상기 보조기억장치로부터 상기 프로그램 및 상기 정보를 이동시켜 저장하는 주기억장치; 및
상기 프로세서, 상기 보조기억장치 및 상기 주기억장치 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스 장치를 포함하고,
상기 반도체 메모리는, 상기 프로세싱 시스템 내에서 상기 보조기억장치 또는 상기 주기억장치의 일부인
전자 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 전자 장치는, 데이터 저장 시스템을 더 포함하고,
상기 데이터 저장 시스템은,
데이터를 저장하며 공급되는 전원에 관계없이 저장된 데이터가 유지되는 저장 장치;
외부로부터 입력된 명령에 따라 상기 저장 장치의 데이터 입출력을 제어하는 컨트롤러;
상기 저장 장치와 외부 사이에 교환되는 데이터를 임시로 저장하는 임시 저장 장치; 및
상기 저장 장치, 상기 컨트롤러 및 상기 임시 저장 장치 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스를 포함하고,
상기 반도체 메모리는, 상기 데이터 저장 시스템 내에서 상기 저장 장치 또는 상기 임시 저장 장치의 일부인
전자 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 전자 장치는, 메모리 시스템을 더 포함하고,
상기 메모리 시스템은,
데이터를 저장하며 공급되는 전원에 관계없이 저장된 데이터가 유지되는 메모리;
외부로부터 입력된 명령에 따라 상기 메모리의 데이터 입출력을 제어하는 메모리 컨트롤러;
상기 메모리와 외부 사이에 교환되는 데이터를 버퍼링하기 위한 버퍼 메모리; 및
상기 메모리, 상기 메모리 컨트롤러 및 상기 버퍼 메모리 중 하나 이상과 외부와의 통신을 수행하기 위한 인터페이스를 포함하고,
상기 반도체 메모리는, 상기 메모리 시스템 내에서 상기 메모리 또는 상기 버퍼 메모리의 일부인
전자 장치.
- 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치로서,
상기 반도체 메모리는,
기판 상에 형성된 가변저항소자; 및
상기 가변저항소자의 측벽 및 상부에 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막과 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막의 적층구조를 포함하는 전자장치.
- 제9항에 있어서,
상기 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막은 이중층으로 구성된 전자장치.
- 제9항에 있어서,
상기 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막은 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막과 탄소가 함유된 알루미늄질화막의 적층구조를 포함하는 전자장치.
- 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치의 제조 방법으로서,
기판 상에 가변저항소자를 형성하는 단계; 및
상기 가변저항소자 상에 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 형성하는 단계
를 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,
상기 탄소가 함유된 알루미늄질화막을 형성하는 단계 후,
열처리를 진행하는 단계를 더 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,
상기 열처리를 진행하는 단계에서,
상기 가변저항소자에 접하는 상기 알루미늄질화막의 표면이 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막으로 변환되는 전자 장치의 제조 방법.
- 반도체 메모리를 포함하는 전자 장치의 제조 방법으로서,
기판 상에 가변저항소자를 형성하는 단계;
상기 가변저항소자 상에 탄소가 함유된 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계; 및
상기 제1알루미늄질화막 상에 탄소가 미함유된 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계
를 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제15항에 있어서,
상기 제1 및 제2알루미늄질화막은 원자층증착법으로 형성하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 원자층증착법은 소스주입단계, 제1퍼지단계, 플라즈마 단계, 제2퍼지단계를 포함하고, 상기 플라즈마단계는 열공정 또는 리모트 플라즈마로 진행하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 소스주입단계는 TMA, TTBA 및 AlCl3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 탄소함유 소스를 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 플라즈마 단계는 N2, H2, N2/H2의 혼합가스 및 NH3로 이루어진 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 반응가스를 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 플라즈마 단계는,
상기 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계의 파워를 상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계의 파워보다 더 작게 조절하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,
상기 플라즈마 단계는,
상기 제1알루미늄질화막을 형성하는 단계의 반응가스 주입량을 상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계의 반응가스 주입량보다 더 적게 조절하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제15항에 있어서,
상기 제1 및 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계는,
동일 챔버에서 인시튜로 진행하는 전자 장치 제조 방법.
- 제15항에 있어서,
상기 제2알루미늄질화막을 형성하는 단계 후,
열처리를 진행하는 단계를 더 포함하는 전자 장치의 제조 방법.
- 제15항에 있어서,
상기 열처리를 진행하는 단계에서,
상기 가변저항소자에 접하는 상기 제1알루미늄질화막의 표면이 탄소 및 산소가 함유된 알루미늄질화막으로 변환되는 전자 장치의 제조 방법.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9112003B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-08-18 | Asm International N.V. | Selective formation of metallic films on metallic surfaces |
| TWI661072B (zh) | 2014-02-04 | 2019-06-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 金屬、金屬氧化物與介電質的選擇性沈積 |
| US10047435B2 (en) | 2014-04-16 | 2018-08-14 | Asm Ip Holding B.V. | Dual selective deposition |
| US9490145B2 (en) | 2015-02-23 | 2016-11-08 | Asm Ip Holding B.V. | Removal of surface passivation |
| US10428421B2 (en) | 2015-08-03 | 2019-10-01 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition on metal or metallic surfaces relative to dielectric surfaces |
| US10121699B2 (en) | 2015-08-05 | 2018-11-06 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of aluminum and nitrogen containing material |
| US10566185B2 (en) | 2015-08-05 | 2020-02-18 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of aluminum and nitrogen containing material |
| US10814349B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Vapor phase deposition of organic films |
| US10695794B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-06-30 | Asm Ip Holding B.V. | Vapor phase deposition of organic films |
| US11081342B2 (en) | 2016-05-05 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition using hydrophobic precursors |
| US10373820B2 (en) | 2016-06-01 | 2019-08-06 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of organic films |
| US10453701B2 (en) | 2016-06-01 | 2019-10-22 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of organic films |
| US9803277B1 (en) | 2016-06-08 | 2017-10-31 | Asm Ip Holding B.V. | Reaction chamber passivation and selective deposition of metallic films |
| US10650621B1 (en) | 2016-09-13 | 2020-05-12 | Iocurrents, Inc. | Interfacing with a vehicular controller area network |
| US11430656B2 (en) | 2016-11-29 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of oxide thin films |
| JP7169072B2 (ja) | 2017-02-14 | 2022-11-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 |
| US11501965B2 (en) | 2017-05-05 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Plasma enhanced deposition processes for controlled formation of metal oxide thin films |
| KR20240112368A (ko) | 2017-05-16 | 2024-07-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 유전체 상에 옥사이드의 선택적 peald |
| US10900120B2 (en) | 2017-07-14 | 2021-01-26 | Asm Ip Holding B.V. | Passivation against vapor deposition |
| JP7146690B2 (ja) | 2018-05-02 | 2022-10-04 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 堆積および除去を使用した選択的層形成 |
| JP2020056104A (ja) | 2018-10-02 | 2020-04-09 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 |
| US11965238B2 (en) | 2019-04-12 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of metal oxides on metal surfaces |
| US11139163B2 (en) | 2019-10-31 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of SiOC thin films |
| TW202204658A (zh) | 2020-03-30 | 2022-02-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 在兩不同表面上同時選擇性沉積兩不同材料 |
| TW202140833A (zh) | 2020-03-30 | 2021-11-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 相對於金屬表面在介電表面上之氧化矽的選擇性沉積 |
| TW202140832A (zh) | 2020-03-30 | 2021-11-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 氧化矽在金屬表面上之選擇性沉積 |
| CN113611796A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-11-05 | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 | 电阻式随机存取存储器及其制作方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641580A (en) * | 1995-10-03 | 1997-06-24 | Osram Sylvania Inc. | Advanced Mo-based composite powders for thermal spray applications |
| US6121648A (en) * | 1999-03-31 | 2000-09-19 | Radiant Technologies, Inc | Ferroelectric based memory devices utilizing hydrogen getters and recovery annealing |
| US7172947B2 (en) * | 2004-08-31 | 2007-02-06 | Micron Technology, Inc | High dielectric constant transition metal oxide materials |
| KR20080049628A (ko) | 2006-11-30 | 2008-06-04 | 주식회사 피에스티 | 반도체 소자의 제조 방법 |
| US8154003B2 (en) * | 2007-08-09 | 2012-04-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Resistive non-volatile memory device |
| JP2013016587A (ja) | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
| US8598562B2 (en) * | 2011-07-01 | 2013-12-03 | Micron Technology, Inc. | Memory cell structures |
| US8613863B2 (en) * | 2011-11-29 | 2013-12-24 | Intermolecular, Inc. | Methods for selective etching of a multi-layer substrate |
| US9255029B2 (en) * | 2012-04-17 | 2016-02-09 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using TCO and removable protective film |
| US8981332B2 (en) * | 2013-03-15 | 2015-03-17 | Intermolecular, Inc. | Nonvolatile resistive memory element with an oxygen-gettering layer |
| US9178143B2 (en) * | 2013-07-29 | 2015-11-03 | Industrial Technology Research Institute | Resistive memory structure |
| US9257641B2 (en) * | 2013-11-08 | 2016-02-09 | Industrial Technology Research Institute | Via structure, memory array structure, three-dimensional resistance memory and method of forming the same |
| US20150188039A1 (en) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | Intermolecular Inc. | Embedded Resistors with Oxygen Gettering Layers |
| US9224951B1 (en) * | 2014-07-21 | 2015-12-29 | Intermolecular, Inc. | Current-limiting electrodes |
| US20160020388A1 (en) * | 2014-07-21 | 2016-01-21 | Intermolecular Inc. | Resistive switching by breaking and re-forming covalent bonds |
-
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-
2015
- 2015-04-14 US US14/686,453 patent/US9619392B2/en active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101884555B1 (ko) | 2017-02-07 | 2018-08-01 | 연세대학교 산학협력단 | 플라즈마 강화 원자층 증착을 이용한 금속 산화물막 증착 방법 |
Also Published As
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