KR20150142469A - 불소 함유 산성 폐수 처리 방법 및 이를 위한 장치 - Google Patents

불소 함유 산성 폐수 처리 방법 및 이를 위한 장치 Download PDF

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Abstract

산성 폐수 처리 방법 및 이를 위한 장치가 제공된다. 상기 산성 폐수 처리 방법은 산성 폐수에 수산화 칼슘을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계, 상기 혼합물에 응집제를 투입하여 응집하는 단계, 및 상기 응집된 슬러리를 침전시키는 단계를 포함하되, 상기 혼합물의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지한다.

Description

불소 함유 산성 폐수 처리 방법 및 이를 위한 장치{METHOD FOR ACID WASTEWATER ABATEMENT AND DEVICE FOR THE SAME}
본 발명은 불소 함유 산성 폐수 처리 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이다.
불소를 함유하는 산성 폐수는 제철소의 순환수, 금속 표면 처리 공장, 반도체 제조공장, 프린트기판 제조 공장, 세라믹 제조 공장, 스테인리스 제조 공장 등으로부터 배출된다.
불소 함유 산성 폐수의 처리 방법으로는, 불소 함유 산성 폐수에 칼슘 화합물 등을 가하여 폐수 중의 불소 이온을 불화칼슘의 형태로 고형화시켜 고액분리하는 방식을 사용하고 있다.
그러나, 고액분리 과정에서 황산칼슘 등이 장치 내에 침착되어 정기적으로 시스템을 정지한 후, 황산칼슘 제거 작업을 진행해야 한다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 황산칼슘 제거 작업 없이, 불소 함유 산성 폐수를 처리할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 다른 과제는, 황산칼슘 제거 작업 없이, 불소 함유 산성 폐수를 처리할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 불소 함유 산성 폐수 처리 방법의 일 실시예는, 불소 함유 산성 폐수에 수산화 칼슘을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계, 상기 혼합물에 응집제를 투입하여 응집하는 단계, 및 상기 응집된 슬러리를 침전시키는 단계를 포함하되, 상기 혼합물의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지할 수 있다.
상기 혼합물에 불소제거제를 투입하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 슬러리 중 적어도 일부를 상기 혼합물 형성 단계에 투입할 수 있다.
상기 슬러리는 칼슘을 포함할 수 있다.
상기 슬러리는 상기 혼합물 전체 대비 5 부피% 내지 13 부피% 범위로 투입될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 일 실시예는, 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 반응조, 상기 반응조와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조, 및 상기 응집조와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조를 포함하되, 상기 반응조, 응집조 및 침전조 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지할 수 있다.
상기 반응조는, 상기 불소 함유 산성 폐수와 상기 수산화 칼슘이 투입되는 제1 반응조, 및 상기 제1 반응조 및 상기 응집조와 각각 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조를 포함할 수 있다.
상기 반응조는, 불소제거제가 투입되는 제3 반응조를 추가로 포함할 수 있다.
상기 침전조는 상기 반응조와 연결되고, 상기 침전조에서 침전된 슬러리 중 적어도 일부가 상기 반응조로 투입될 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 방법의 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 6은 기존 pH 조건과 본 발명의 pH 조건을 나타내는 그래프이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 이용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 이용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 이용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 이용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 형성을 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 이용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 이용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 이용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 방법의 순서도이다.
도 1을 참조하면, 불소 함유 산성 폐수 처리 방법은 산성 폐수에 수산화 칼슘을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계, 상기 혼합물에 응집제를 투입하여 응집하는 단계, 및 상기 응집된 슬러리를 침전시키는 단계를 포함하되, 상기 혼합물의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지시킬 수 있다.
반도체 제조 공정에서 배출되는 불소 함유 산성 폐수 처리 시스템은 HF를 처리하기 위하여 공정 내에서 소석회(Ca(OH)2)를 투입하여, 하기 반응식 1과 같은 반응을 통하여 HF를 제거한다.
[반응식 1]
2HF + Ca(OH)2 → CaF2↓ + 2H2O
이 때, 불소 함유 산성 폐수에 함께 유입되는 H2SO4로 인하여, 폐수 내의 pH 하락과 하기 반응식 2의 반응으로 석고(CaSO4) 생성으로 침전조 경사판 내에서 스케일(scale)이 발생하여, 처리 용량이 감소하고 슬러리 배출을 방해하게 된다.
[반응식 2]
Ca2 + + SO4 2 - → CaSO4↓
본 발명의 발명자들은 심도깊은 실험을 거듭한 끝에, 불소 함유 산성 폐수와 소석회의 반응 조건을 pH 6.5 내지 7.0 범위로 하였을 때, 상기 반응식 2의 반응이 감소하는 것을 확인하였다.
반응 조건 pH가 6.5 이상일 경우 충분한 Ca(OH)2 공급이 가능하여 반응식 1의 반응을 원만하게 유도할 수 있고, 반응 조건 pH가 7.0 이하일 경우 반응식 2의 반응을 억제하여 석고 형성으로 인한 제거 작업을 방지할 수 있다.
예시적인 실시예에서, 상기 혼합물에 불소제거제를 추가로 투입할 수 있다. 상기 불소제거제는 불소 성분을 응집시킬 수 있는 콜로이드성 물질일 수 있으나, 이것만으로 한정되는 것은 아니다.
다른 예시적인 실시예에서, 상기 침전된 슬러리 중 적어도 일부를 상기 혼합물 형성 단계에 투입할 수 있다.
일반적으로, 처리수와 상분리되어 침전된 슬러리는 탈수 후 폐기물로 최종 처리된다. 이 과정에서 일부 슬러리를 상기 혼합물 형성 단계에 투입하여, 혼합물 형성 시 완충제로 사용할 수 있다.
상기 슬러리는 칼슘을 다량 포함할 수 있고, 상기 슬러리는 혼합물 전체 부피의 5 내지 13 부피% 범위로 투입될 수 있다. 상기 슬러리를 상기 혼합물 전체 부피의 5 부피% 이상 투입하면 pH를 안정적으로 유지할 수 있고, 13 부피% 이하로 투입하면 소석회 반응 속도를 저하시키지 않아 과량의 소석회를 사용하는 것을 방지할 수 있다. 상기와 같은 이유로, 상기 슬러리는 상기 혼합물 전체 부피의 7 내지 10 부피% 범위로 투입될 수 있다.
상기와 같은 방법으로 불소 함유 산성 폐수를 처리하는 경우, 기존 혼합물의 pH를 9.0 범위까지 소석회를 투입했다가 침전 시 7.0 수준으로 낮추는 경우에 비하여, 소석회 등 약품 사용량을 줄일 수 있고, 석고로 인하여 침전조 내부에서 발생되는 스케일(scale) 처리 비용도 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 폐기물을 감소시킬 수 있어 폐기물 처리 비용이 절감된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치는 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 반응조(10), 반응조(10)와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조(20), 및 응집조(20)와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조(30)를 포함하되, 반응조(10), 응집조(20) 및 침전조(30) 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지한다.
상기 불소 함유 산성 폐수는 일반적으로 pH 1 내지 3 범위를 가지며 반응조(10)로 투입되고, HF, H2SO4 등을 포함하고 있다. 또한, HF 처리와 중화를 위하여 소석회(Ca(OH)2)를 반응조(10) 내부로 투입하여, 이들의 혼합물을 형성하되, 혼합물의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지할 수 있다. 상기 pH로 유지할 경우, 포화 상태에서도 Ca2 + 이온과 SO4 2- 이온이 상호 결합 반응을 하지 않을 수 있다.
상기 반응조(10), 응집조(20) 및 침전조(30)는 상기 순서대로 연결되어 연속 공정으로 불소 함유 산성 폐수를 처리할 수 있다.
응집조(20)에 투입되는 상기 응집제는 CaF2를 분리하기 위하여 폴리머를 사용할 수 있다. 상기 응집제에 의해 형성된 플록인 CaF2는 침전조(30)에서 자연 침강하여 처리수와 분리되어 슬러리로 배출된다. 이때, 배출된 슬러리 중 일부는 반응조(10)에 투입되어 완충제 역할을 할 수 있고, 나머지 슬러리는 폐기 처리된다.
반응조(10)에 투입되는 상기 슬러리는 반응조 내에서 불소 함유 산성 폐수와 소석회의 반응에 있어 완충 작용을 할 수 있다. 상기 슬러리는 급격한 pH 변화를 방지하여 안정적인 pH 조건을 형성할 수 있도록 한다. 반면에, 상기 불소 함유 산성 폐수와 소석회의 반응 속도를 지나치게 저하시키지 않도록 적정량을 투입하는 것이 필요하다.
상기 슬러리는 반응조(10) 내 혼합물 전체 부피의 5 내지 13 부피% 범위로 투입될 수 있다. 상기 슬러리를 상기 혼합물 전체 부피의 5 부피% 이상 투입하면 pH를 안정적으로 유지할 수 있고, 13 부피% 이하로 투입하면 소석회 반응 속도를 저하시키지 않아 과량의 소석회를 사용하는 것을 방지할 수 있다. 상기와 같은 이유로, 상기 슬러리는 상기 혼합물 전체 부피의 7 내지 10 부피% 범위로 투입될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치는 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 제1 반응조(11), 제1 반응조(11)와 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조(12), 제2 반응조(12)와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조(20), 및 상기 응집조와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조(30)를 포함하되, 제1 반응조(11), 제2 반응조(12), 응집조(20) 및 침전조(30) 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지한다.
불소 함유 산성 폐수의 처리를 연속 공정으로 진행하는 과정에서, 제1 반응조(11)에서 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘(소석회)이 투입되고 적절한 반응이 일어나기 까지는 일정한 시간이 소요된다. 반응 시간을 확보하지 못하고 다음 단계로 연속 공정으로 진행될 경우에는 투입된 미반응 약품(예를 들어, 수산화 칼슘 등)은 소망하는 효과를 나타내지 못하고 폐기된다. 따라서, 이러한 시간을 확보하기 위하여, 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 제1 반응조(11) 및 제1 반응조(11)와 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조(12)를 구분하여 장치를 구성할 수 있다.
상기 '안정화'라는 표현은, 화학적 반응이 충분히 일어나서 화학적 평형에 가까운 상태를 의미하는 것으로, 이는, 반응이 전혀 일어나지 않는 것만을 의미하는 것은 아니고, 가역적으로 정반응과 역반응이 유사한 반응 속도로 일어나는 것도 포함하는 개념이다.
도 3에서는 제1 반응조(11) 및 제2 반응조(12)로 분리하여 구성하는 것을 개시하고 있지만, 상기 안정화 시간 대비 공정 용량을 감안할 때, 필요한 경우 추가 반응조를 더 구성할 수도 있음은 물론이다.
이하, 도 3의 다른 구성은 도 2의 구성과 동일하거나 대응되므로, 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치는 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 제1 반응조(11), 제1 반응조(11)와 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조(12), 제2 반응조(12)와 연결되고, 불소제거제가 투입되는 제3 반응조(13), 및 제3 반응조(13)와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조(20), 및 상기 응집조와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조(30)를 포함하되, 제1 반응조(11), 제2 반응조(12), 제3 반응조(13), 응집조(20) 및 침전조(30) 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지한다.
상기 불소제거제는 불소 성분을 응집시킬 수 있는 콜로이드성 물질일 수 있으나, 이것만으로 한정되는 것은 아니다.
또한, 도 4는 상기 불소제거제가 투입되기 위하여 별도의 제3 반응조를 구성하는 것으로 개시하고 있지만, 상기 불소제거제가 별도의 반응조를 통해서만 투입되어야 하는 것은 아니다. 제1 반응조(11) 또는 제2 반응조(12) 내에서 투입될 수도 있다. 만약, 제1 반응조(11)에 투입될 경우에는, 수산화 칼슘 등의 물질과 시간차를 두고 투입되는 것도 고려될 수 있다.
이하, 도 4의 다른 구성은 도 2의 구성과 동일하거나 대응되므로, 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치의 개략도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 불소 함유 산성 폐수 처리 장치는 불소 함유 산성 폐수를 취수하는 집수조(40), 집수조(40와 연결되고 상기 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 제1 반응조(11), 제1 반응조(11)와 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조(12), 제2 반응조(12)와 연결되고, 불소제거제가 투입되는 제3 반응조(13), 및 제3 반응조(13)와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조(20), 및 상기 응집조와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조(30)를 포함하되, 제1 반응조(11), 제2 반응조(12), 제3 반응조(13), 응집조(20) 및 침전조(30) 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지한다.
상기 불소 함유 산성 폐수의 연속 공정 처리를 위하여, 상기 불소 함유 산성 폐수가 직접 제1 반응조(11)로 투입되는 것보다는 집수조(40)에 저장된 다음, 일정 양씩 제1 반응조(11)로 투입되는 것이 안정적인 공정 진행을 위해 바람직하다.
도 5에서는 도 4의 장치 구성에 집수조(40)가 추가된 구성을 개시하고 있지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 장치 구성에도 집수조(40)를 추가할 수 있음은 물론이다.
이하, 도 5의 다른 구성은 도 2의 구성과 동일하거나 대응되므로, 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
이하, 실시예를 바탕으로 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 이는 예시일 뿐인 바, 본 발명이 실시예 범위로 한정되는 것은 아니다.
[실시예]
도 5의 장치에서, SO4 2 - 농도가 4,000 ppm 이상인 pH 1.5의 불소 함유 산성 폐수가 집수조에서 제1 반응조로 투입하고, 수산화 칼슘 10,000 ppm 투입하였다.
이후, 제3 반응조에서 불소제거제로 FC-911 100 ppm 투입하여 불소 함유 산성 폐수의 처리를 진행하였다.
반응조, 응집조 및 침전조의 pH를 각각 측정하였고, 그 결과를 도 6의 그래프에 나타내었다.
[비교예]
제1 반응조에 수산화 칼슘 15,000 ppm을 투입하고, 제3 반응조에서 불소제거제로 FC-911 500 ppm을 투입한 것을 제외하고는 실시예와 동일하게 불소 함유 산성 폐수의 처리를 진행하였다.
또한, 반응조, 응집조 및 침전조의 pH를 각각 측정하였고, 그 결과를 도 6의 그래프에 나타내었다.
도 6을 참조하면, 실시예의 각 공정 단계별 pH는 반응조에서 침전조까지 7.0 수준에서 유지되었다. 반면에, 비교예의 각 공정 단계별 pH는 반응조에서 약 9.0 수준이다가 응집조에서 7.0 수준으로 줄어들게 된다. 이는 불소제거제로 투입되는 FC-911에 의하여 pH 변화가 나타나는 것으로 확인되었다.
상기 실시예와 비교예에 따른 불소 함유 산성 폐수의 처리 결과, 침전조에서의 불소 함유량은 실시예에서 8 ppm 이하로 측정되었고, 비교예에서는 10 ppm 이하로 측정되었다. 즉, 실시예의 방법으로 처리하였을 경우, 수산화 칼슘 및 불소제거제를 더 적게 사용하였음에도 불구하고, 불소 포집 능력은 미세하나마 더욱 우수한 것으로 확인되었다.
또한, 집수조와 침전조의 SO4 2 - 이온의 함량 차이를 비교한 결과, 실시예에서는 거의 차이가 없었지만, 비교예에서는 약 100 ppm 줄어든 것을 확인할 수 있었다. 이는 Ca2 + 이온과 결합하여, 석고(CaSO4)를 생성하여, 스케일(scale)을 형성한 것으로 판단된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (9)

  1. 불소 함유 산성 폐수에 수산화 칼슘을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계;
    상기 혼합물에 응집제를 투입하여 응집하는 단계; 및
    상기 응집된 슬러리를 침전시키는 단계를 포함하되,
    상기 혼합물의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지하는 불소 함유 산성 폐수 처리 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 혼합물에 불소제거제를 투입하는 단계를 추가로 포함하는 불소 함유 산성 폐수 처리 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 슬러리 중 적어도 일부를 상기 혼합물 형성 단계에 투입하는 불소 함유 산성 폐수 처리 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 슬러리는 칼슘을 포함하는 불소 함유 산성 폐수 처리 방법.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 슬러리는 상기 혼합물 전체 대비 5부피% 내지 13 부피% 범위로 투입되는 불소 함유 산성 폐수 처리 방법.
  6. 불소 함유 산성 폐수와 수산화 칼슘이 투입되어 혼합물을 형성하는 반응조;
    상기 반응조와 연결되고, 응집제가 투입되는 응집조; 및
    상기 응집조와 연결되고, 응집된 슬러리를 침전시켜 상분리하는 침전조를 포함하되,
    상기 반응조, 응집조 및 침전조 내부의 pH를 6.5 내지 7.0 범위로 유지하는 불소 함유 산성 폐수 처리 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 반응조는,
    상기 불소 함유 산성 폐수와 상기 수산화 칼슘이 투입되는 제1 반응조; 및
    상기 제1 반응조 및 상기 응집조와 연결되고, 상기 혼합물의 안정화가 진행되는 제2 반응조를 포함하는 불소 함유 산성 폐수 처리 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 반응조는,
    불소제거제가 투입되는 제3 반응조를 추가로 포함하는 불소 함유 산성 폐수 처리 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 침전조는,
    상기 반응조와 연결되고,
    상기 침전조에서 침전된 슬러리 중 적어도 일부가 상기 반응조로 투입되는 불소 함유 산성 폐수 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101937106B1 (ko) * 2018-09-10 2019-04-09 (주)에스지알테크 입도별 순차반응을 이용한 불소 오염토양 정화방법 및 정화시스템

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