KR20150136570A - Magnetic displacement sensor and method for detecting displacement - Google Patents

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Abstract

(과제) 자기식 변위 센서로의 주위 온도의 영향을 작게 한다. (Tasks) to decrease the influence of the ambient temperature of a magnetic displacement sensor.
(구성) 자기식 변위 센서는 지지체와, 지지체를 수용하는 케이싱과, 자기 스케일의 길이 방향을 따라 지지체의 중앙부를 케이싱에 고정하는 고정부를 구비하고 있다. (Configuration), magnetic displacement sensors is provided with a fixing part for fixing the casing to a central portion of the support body in the longitudinal direction of the casing and the magnetic scale for receiving a support and the support. 그리고, 자기 스케일의 길이 방향을 따라 고정부의 양측에 복수개의 코일이 같은 수씩 지지체에 지지되어 있다. And, high in the longitudinal direction of the magnetic scale is supported on a support such sussik a plurality of coils on both sides of the government.

Description

자기식 변위 센서 및 변위의 검출 방법{MAGNETIC DISPLACEMENT SENSOR AND METHOD FOR DETECTING DISPLACEMENT} Detection of magnetic displacement sensors and displacement {MAGNETIC DISPLACEMENT SENSOR AND METHOD FOR DETECTING DISPLACEMENT}

본 발명은 자기식 변위 센서에 의한 변위의 검출에 관한 것이며, 특히 온도 변동에 의한 오차를 작게 하는 것에 관한 것이다. The invention relates to detection of a shift due to a magnetic displacement sensor, and more particularly relates to reducing the errors caused by temperature variations.

자성체와 비자성체를 교대로 주기적으로 배치한 자기 스케일과 자기식 변위 센서를 사용하여 변위를 검출하는 것이 알려져 있다. It may use the magnetic scale and the magnetic displacement sensor which periodically arranged to shift the magnetic body and non-magnetic material is known to detect the displacement. 예를 들면, 특허문헌 1(일본 특허 공개 평 09-264758)에서는 4개의 1차 코일과 4개의 2차 코일을 사용하여 sin(θ+ωt)의 출력을 인출하는 자기식 변위 센서를 개시하고 있다. For example, it discloses a magnetic displacement sensor for extracting the output of the reference 1 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 09-264758), the four primary and four secondary coil using the sin (θ + ωt) . 여기서, ω은 여자(勵磁)용 교류 전류의 각주파수, θ는 자기 스케일에 대한 전기 위상각이다. Here, ω is the angular frequency of the AC current for woman (勵磁), θ is an electrical phase angle of the magnetic scale. 이 자기식 변위 센서에서는 코일은 링 형상이며, 1차 코일을 내주측에, 2차 코일을 외주측에 포개서 배치한다. In the magnetic displacement sensor coil is ring-shaped and is arranged pogaeseo the secondary coil, the inner peripheral side of the primary coil on the outer peripheral side. 그리고, 링 형상 코일의 중공부를 로드 형상의 자기 스케일이 통과하고, 자기 스케일에 일정 피치로 형성된 자기 마크를 사용하여 자기식 변위 센서는 변위를 검출한다. Then, the magnetic scale of the ring-shaped coil of a hollow rod-like portion to pass, using the magnetic marks in the magnetic scale formed at a constant pitch of the magnetic displacement sensor detects the displacement. 이하, 자기식 변위 센서를 간단히 센서라 하는 경우가 있다. Or less, in some cases, simply referred to a magnetic sensor type displacement sensor.

1차 코일과 2차 코일을 사용하는 것이 아닌 1차와 2차를 겸하는 코일을 사용하면 코일의 수를, 예를 들면 절반으로 할 수 있다(특허문헌 2 일본 특허 공개 2013-024779). Using the primary and the secondary serving as the primary and secondary, not to use the coil is the number of coils, for example, to a half when (Patent Document 2 Japanese Patent Application Publication 2013-024779). 이 경우, 코일의 열에 교류 전압을 가해서 코일을 흐르는 교류 전류의 위상(θ+ωt)을 검출한다. In this case, it detects the phase (θ + ωt) of the alternating current through the coil by applying an alternating-current voltage of the coil to heat. 또한, 전류가 흐르는 방향을 반대로 해서 코일의 열을 2열 형성하면 자기 스케일과 센서의 상대 속도에 의한 오차를 작게 할 수 있다(특허문헌 2). Further, when the direction to the current flowing in the coil 2 to form a thermal heat it is possible to reduce the error caused by the relative speed of the magnetic scale and the sensor (Patent Document 2).

자기식 변위 센서에 의해 공작 기계 등의 정밀한 기계로의 열변형의 영향을 보상하는 것이 제안되어 있다(특허문헌 3 일본 특허 공개 2011-093069). It has been proposed to compensate for the effect of the thermal deformation of a precision machine such as a machine tool by the magnetic displacement sensor (Patent Document 3 Japanese Patent Application Publication 2011-093069). 예를 들면, 선반의 주축대와 공구대의 간격이 선반의 열변형에 의해 변화되면 워크의 가공 정밀도가 저하된다. For example, the processing precision of the work is reduced when the headstock and the tool band gap of the mill changes due to thermal deformation of the shelf. 그래서, 주축대와 공구대의 위치를 측정함으로써 이 사이의 간격을 구해서 주위 온도의 영향을 받지 않도록 주축대 등을 이동시키면 열변형의 영향을 보상할 수 있다. So, if the distance is between obtain moving the headstock, such as not to be affected by the ambient temperature by measuring the headstock and the tool one position it is possible to compensate the influence of the thermal deformation. 특허문헌 3에서는 자기 스케일과 자기식 변위 센서에 의해 공작 기계의 주축대와 공구대의 위치를 측정한다. Patent Document 3, measures the headstock and the tool one position of the machine tool by the magnetic scale and the magnetic displacement sensor. 특허문헌 3에 명기되어 있지는 않지만, 자기 스케일을 인바 합금 등의 실질적으로 열팽창하지 않는 재료에 의해 구성하면 주위 온도의 영향을 받지 않는 자기 스케일이 된다. Although it not stated in the Patent Document 3, when the magnetic scale, made of a material that is substantially a thermal expansion such as invar alloy is a magnetic scale which is not affected by ambient temperature.

발명자는 자기식 변위 센서 자체가 열팽창의 영향을 받는 것에 착안했다. The inventors have conceived that the magnetic displacement sensor itself, are affected by the thermal expansion. 이 센서는, 예를 들면 비자성체의 보빈에 코일을 권취한 것이다. The sensor, for example to a wound a coil bobbin of non-magnetic material. 비자성체로서 열팽창률이 매우 작은 유리, 세라믹 등이 알려져 있지만, 이와 같은 재료만으로는 정확한 형상으로 가공하는 것은 어렵다. Although a non-magnetic material coefficient of thermal expansion is very small glass, ceramic or the like is known, which is processed into a precise shape only by such materials it is difficult. 또한, 열팽창률이 작은 인바 합금 등을 보빈에 사용하면 자기 스케일의 영향을 보빈의 인바 합금이 차단해 버린다. In addition, the coefficient of thermal expansion, etc. The small Invar alloy ends up on a bobbin of the bobbin is Invar alloy affect the magnetic scale off. 따라서, 보빈의 열팽창을 해소하는 것은 어렵다. Therefore, it is difficult to eliminate the thermal expansion of the bobbin.

또한, 특허문헌 4(일본 특허 공개 2003-269993)의 위치 센서에서는 세라믹, 인바 합금 등의 열팽창률이 작은 소재로 이루어지는 원기둥의 표면에 Cu의 박막 코일을 설치한다. In the position sensor of Patent Document 4 (Japanese Unexamined Patent Application Publication 2003-269993) and install the thin film coil of Cu on the surface of a cylinder made of material with a small coefficient of thermal expansion, such as ceramics, Invar alloy. 그리고, 스테인레스 파이프에 Cu의 박막 코일을 출입시켜서 스테인레스 파이프와 박막 코일이 겹쳐지는 길이를 측정하는 것을 개시하고 있다. And, it discloses that by access to the thin film coil of Cu to stainless steel pipe to measure the length of which is superimposed a stainless pipe with a thin film coil. 가령, 스테인레스 파이프를 인바 합금 등의 파이프로 변경하고, 그 내주면에 정밀한 자기 마크를 형성할 수 있으면 주위 온도의 영향을 받지 않고 위치를 측정할 수 있다. For example, to change the stainless pipe to a pipe, such as invar alloy, it is possible to measure the position without being affected by the ambient temperature if it can form a fine magnetic mark on the inner circumferential surface. 그러나, 이와 같은 가공은 어렵다. However, such a process is difficult.

본 발명의 과제는 자기식 변위 센서로의 주위 온도의 영향을 작게 하는 것에 있다. An object of the present invention is to reduce the influence of the ambient temperature of a magnetic displacement sensor.

본 발명은 지지체에 지지된 복수개의 코일과, 길이 방향을 따라 일정 피치로 주기적으로 변화되는 자기 마크가 형성되어 있는 자기 스케일의 상호 작용에 의해 변위를 검출하는 자기식 변위 센서로서, The present invention relates to a magnetic displacement sensor for detecting the displacement due to the interaction of the magnetic scale with a magnetic mark in accordance with a plurality of coils and a longitudinal support to a support that is periodically changed at a constant pitch is formed,

지지체를 수용하는 케이싱과, A casing for accommodating the support member and,

자기 스케일의 길이 방향을 따라 지지체의 중앙부를 케이싱에 고정하는 고정부를 구비하고, In the longitudinal direction of the magnetic scale and a fixing portion for fixing the center portion of the support to the casing,

자기 스케일의 길이 방향을 따라 고정부의 양측에 복수개의 코일이 같은 수씩 지지체에 지지되는 것을 특징으로 한다. It characterized in that and in the longitudinal direction of the magnetic scale is supported on a support such sussik a plurality of coils on both sides of the government.

본 발명은 또한 지지체와, 지지체에 지지된 복수개의 코일을 갖는 자기식 변위 센서와, 길이 방향을 따라 일정 피치로 주기적으로 변화되는 자기 마크를 갖는 자기 스케일에 의해 변위를 검출하는 방법으로서, The present invention also provides a method for detecting the displacement by the magnetic scale having a magnetic mark along a magnetic displacement sensor with a longitudinal direction having a plurality of coils supported by the support and the support which changes periodically at a predetermined pitch,

자기식 변위 센서는 Magnetic displacement sensor

지지체를 수용하는 케이싱과, A casing for accommodating the support member and,

자기 스케일의 길이 방향을 따라 지지체의 중앙부를 케이싱에 고정하는 고정부를 구비하고, In the longitudinal direction of the magnetic scale and a fixing portion for fixing the center portion of the support to the casing,

자기 스케일의 길이 방향을 따라 고정부의 양측에 복수개의 코일이 같은 수씩 지지체에 지지되어 있고, And that in the longitudinal direction of the magnetic scale is supported on a support such sussik a plurality of coils on both sides of the government,

지지체의 열팽창의 영향을 고정부의 양측에 같은 수씩 지지되어 있는 코일 사이에서 상쇄하는 것을 특징으로 한다. Characterized in that the offset between the effects of thermal expansion of the support and the coil which is the same on both sides of the support sussik government.

지지체의 고정부, 바꿔 말하면 지지체를 케이싱에 고정하는 위치에 관해서 중요한 것은 고정부의 양측에 코일을 같은 수씩 배치해서 지지체의 열팽창의 영향을 코일 사이에서 상쇄하는 것이다. In other words, the fixing of the support, to place the coils in the same sussik fixing both sides is important when it comes to the position for fixing the support to the casing by canceled by the influence of thermal expansion of the support coil. 중앙부를 고정부로 하는 것은 코일을 그 양측에 배치하기 위해서이며, 고정부는 길이 방향에서의 중심에 한정되는 것은 아니다. It is high for the government and the central portion in order to place the coil on both sides, the fixed portion is not limited to the center in the longitudinal direction. 코일의 배치는 지지체의 중앙부(고정부)에 대하여 대칭인 것이 바람직하다. Arrangement of the coil is preferably symmetrical with respect to the central portion (fixing portion) of the support.

본 발명에서는 지지체의 열팽창에 의해 코일의 위치가 변화되어도 고정부의 양측에 같은 수씩 지지되어 있는 코일 사이에서 열팽창의 영향을 상쇄할 수 있다. In the present invention, it is possible to offset the effects of thermal expansion between that even if the change in position of the coil due to the thermal expansion of the support coil, which is supported sussik same on both sides of the government. 코일의 배치가 고정부에 대하여 대칭에 가까워지면 열팽창에 의한 변위의 검출 오차는 작아진다. Detecting errors in the placement of the coil and the displacement of the floor close to a symmetry of thermal expansion with respect to the state becomes smaller. 그러나, 대칭이 아니어도 고정부의 양측에 코일을 같은 수씩 배치함으로써 상당 정도로 오차를 상쇄할 수 있다. However, the high does not have to be symmetrical can be canceled, so the error corresponds sussik by placing the coils on both sides of the same state.

예를 들면, +sin상의 코일과 -sin상의 코일 및 +cos상의 코일과 -cos상의 코일과 같이 sin상 출력의 코일을 적어도 2개, cos상 출력의 코일을 적어도 2개 설치하는 것을 고려한다. For example, + sin coil and the second coil and the coil and the coil of the + sin phase output, such as on the coil on the -cos cos -sin on at least on one, contemplates the installation, at least two coils of the cos phase output. 이 경우, 자기 스케일의 길이 방향을 따라 고정부의 양측에 sin상 출력의 코일을 적어도 각 1개, cos상 출력의 코일을 적어도 각 1개 배치하면 +sin상의 코일과 -sin상의 코일 사이에서 오차를 상쇄하고, +cos상의 코일과 -cos상의 코일 사이에서도 오차를 상쇄할 수 있다. In this case, when high in the longitudinal direction of the magnetic scale sin at least one each of the coils of the output dog, the at least one place each coil of the cos phase output on both sides of the state error between the coil on the coil and on the + -sin sin the offset can be canceled and the error in between the coil on the coil and on the -cos, + cos.

보다 바람직하게는 복수개의 코일은 6개 또는 8개로 한다. More preferably, the plurality of coils is six or eight. 그리고, 자기 스케일에서의 자기 마크의 피치를 2π로 하는 전기 위상각에서 전기 위상각이 모두 θ인 2개의 코일이 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되고, 또한 자기 스케일로의 전기 위상각이 모두 θ+π인 2개의 코일이 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되어 있다. Then, the magnetic self-mark pitch of the scale in the electrical phase angle to a 2π electrical phase two coils in each of both θ and arranged one by one symmetrically at both sides of the fixing part, and the electric phase angle of a magnetic scale on both sides of θ + π of the two coils are fixed are disposed one by one symmetrically. 전기 위상각이 θ와 θ+π인 코일은 sin상의 코일이어도 좋고, cos상의 코일이어도 좋다. A coil electric phase angle θ and θ + π is may be a coil on the sin, cos may be a coil on.

+sin상의 출력의 코일을 -sin상의 출력의 코일 고정부에 대하여 대칭으로 배치하면 ±cos상의 출력의 한쌍의 코일을 대칭으로 배치하는 것은 어렵다. By placing the output of the coil on the coil and + sin symmetrically with respect to the state of the output on the -sin it is difficult to place a pair of coils on the output of ± cos symmetrically. 또한, ±cos상의 출력의 한쌍의 코일을 고정부에 대하여 대칭으로 배치하면 ±sin상의 출력의 한쌍의 코일을 대칭으로 배치하는 것은 어렵다. Furthermore, if high a pair of coils on the output ± cos symmetrically arranged with respect to the state it is difficult to place a pair of coils on the output of ± sin symmetrically. 또한, sin상과 cos상은 어느 위치를 전기 위상각의 0으로 할지의 문제에 지나지 않는다. Furthermore, sin phase and cos phase is no more than a certain position on the issue of whether to zero of the electrical phase angle. 그래서, 예를 들면 +sin상의 출력의 코일과 -sin상의 출력의 코일을 고정부에 대하여 대칭으로 배치한다. So, for high output of the coil on the coil and on the output of -sin g + sin and symmetrically arranged with respect to the government. +cos상의 한쌍의 코일을 고정부에 대하여 대칭으로 배치하는 것은 가능하며, -cos상의 한쌍의 코일을 고정부에 대하여 대칭으로 배치하는 것도 가능하다. + And a pair of coils of cos possible to arranged symmetrically with respect to the government, and it is also possible that the pair of coils of -cos arranged symmetrically with respect to the government. 그래서, +cos상의 코일과 -cos상의 코일을 각 한쌍 고정부의 양측에 대칭으로 배치하면 코일의 배치가 대칭이 된다. Thus, placing a coil and a coil on the -cos on the + cos symmetrically on both sides of each one pairs of fixing the arrangement of the coil is symmetrical. 그리고, 이 경우 온도 변동에 의한 오차는 거의 0이 된다. And, in this case, errors due to temperature change is substantially zero.

특히 바람직하게는 복수개의 코일은 8개이며, 자기 스케일로의 전기 위상각이, 예를 들면 모두 (θ+1/2π)인 2개의 코일이 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되고, 또한 자기 스케일로의 전기 위상각이, 예를 들면 모두 (θ-1/2π)인 2개의 코일이 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되어 있다. Particularly preferably a plurality of coils is eight, a magnetic electric phase angle of the scale, for example, both the two coils of (θ + 1 / 2π) are disposed one by one symmetrically at both sides of the fixing part, and the electric phase angle of the magnetic scale by, for example, both the (θ-1 / 2π) 2 of the coil are arranged one by one symmetrically at both sides of the fixing part. 나머지 4개의 코일의 위상은, 예를 들면 θ가 2개, θ+π가 2개이다. Phase of the remaining four coils, for example, is θ 2, θ + π is two. 이와 같이 하면 +sin상의 코일과 -sin상의 코일 및 +cos상의 코일과 -cos상의 코일을 각 2개씩 지지체의 중앙부에 있는 고정부의 양측에 대칭으로 배치할 수 있다. According to this can be symmetrically arranged in both sides of the fixing part in a coil and a coil on the -cos coils and + cos and -sin in coils on the + sin at the central portion of each of two on each support. 그리고, 동일한 출력 위상의 코일이 2개씩 있으므로 구동 회로가 간단해진다. Then, the driving circuit is simplified because the coil of the same output phase two by two.

또한, 바람직하게는 지지체는 자기 스케일을 삽입 통과 가능한 중공 형상의 보빈이며, 복수개의 코일은 보빈에 감겨 있다. In addition, preferably, the support is passed through the bobbin hollow possible insert a magnetic scale, a plurality of coils are wound around the bobbin. 이 경우, 보빈의 중앙부를 케이싱에 고정하고, 보빈의 중앙부의 양측에 바람직하게는 되도록이면 대칭성이 높아지도록, 가장 바람직하게는 대칭으로 코일을 배치한다. In this case, the fixed central portion of the bobbin to the casing, and, if possible, preferably on both sides of the central portion of the bobbin increases to the symmetry, and placing the coil and preferably symmetrically. 그러면 코일 사이에서 열팽창의 영향을 상쇄하는 것이 용이해진다. Then it is easy to offset the effects of thermal expansion between the coil. 또한, 자기 스케일에서는 파이프 또는 로드의 외주면에 도금 등에 의해 정확한 자기 마크를 형성할 수 있다. Furthermore, the magnetic scale can be formed in the correct magnetic mark or the like coated on the outer peripheral surface of the pipe or rod. 자기 마크는 보빈의 내부를 통하므로 코일과 자기 마크의 자기 상호 작용을 강화할 수 있다. Magnetic mark may be so through the interior of the bobbin enhance the magnetic interaction of the magnetic coil and the mark.

바람직하게는 케이싱과 지지체의 열팽창률이 다르다. Preferably different from the coefficient of thermal expansion of the casing and the support. 보다 바람직하게는 케이싱의 열팽창률을 지지체의 열팽창률보다 낮게 한다. More preferably, a low coefficient of thermal expansion than the coefficient of thermal expansion of the casing of the support. 또한, 본 명세서에서는 열팽창률을 선열팽창률의 의미로 사용한다. In the present specification uses the coefficient of thermal expansion to the linear thermal expansion coefficient means. 지지체를 케이싱에 수용할 경우, 양자의 열팽창률을 맞추는 것이 일종의 상식이다. When receiving the support body in the casing, a kind of common sense to match the coefficient of thermal expansion of the two. 그러나, 본 발명에서는 양자의 열팽창률을 일치시킬 필요가 없다. However, in the present invention it is not necessary to match the coefficient of thermal expansion of the two. 특히, 지지체를 케이싱에 대하여 고정부의 양측에 신축으므로 열팽창률의 상위에 의한 변형도 발생하지 않는다. In particular, because the high elastic state with respect to both sides of the support to the casing does not cause deformation by the top of the coefficient of thermal expansion. 케이싱은 지지체에 비해 재료를 선택할 수 있는 범위가 넓으므로 케이싱의 열팽창률을 지지체보다 작게 하는 것이 바람직하다. The casing is preferably so broad a range of selecting the material relative to the support reducing the coefficient of thermal expansion of the casing than the support.

바람직하게는 케이싱은 인바 합금, 슈퍼 인바 합금 등의 저열팽창률의 금속이며, 지지체는 저열팽창률의 유리와 유기 바인더의 혼합물 등의 절연체이다. Preferably the casing is Invar alloy, a metal of low thermal expansion coefficient, such as super invar alloy, the support is an insulator, such as glass and the mixture of the organic binder in the low thermal expansion coefficient. 본 명세서에서 저열팽창률이란 실온의 선열팽창률이 2ppm 이하인 것이며, 인바에서 1.2ppm이다. Is based on a linear thermal expansion coefficient of the thermal expansion coefficient is not more than 2ppm room temperature to herein, is from 1.2ppm Invar. 또한, 지지체의 선팽창률은, 예를 들면 20ppm 정도이다. In addition, the coefficient of thermal expansion of the support is, for example, about 20ppm. 지지체를 저열팽창률의 케이싱에 고정하므로 케이싱에 대한 온도 변동의 영향을 작게 할 수 있다. Secure the support body to the casing of the low thermal expansion coefficient, so it is possible to reduce the influence of temperature fluctuations on the casing. 또한, 금속의 케이싱으므로 외부로부터의 전계를 차단할 수 있다. In addition, since the casing of the metal it can block the electric field from the outside. 특히, 인바 합금은 자성이며, 외부로부터의 자계도 차단할 수 있다. In particular, Invar alloy is magnetic, it is possible to block the magnetic field from the outside. 절연체의 지지체는 자기 스케일과 코일의 상호 작용을 방해하지 않고, 특히 유리와 플라스틱 바인더의 혼합물로 하면 소망의 형상으로 정확하게 가공할 수 있다. The support of the insulation without interfering with the interaction of the magnetic scale and the coil, in particular when a mixture of glass and plastic binder to be machined accurately to a desired shape.

도 1은 실시예의 자기식 변위 센서의 길이 방향 단면도이다. 1 is a longitudinal sectional view of the embodiment of the magnetic displacement sensor.
도 2는 코일의 배치를 나타내고, 1)은 종래예에서의 배치를, 2)는 실시예에서의 배치를, 3)은 변형예 1에서의 배치를, 4)는 최적 실시예에서의 배치를, 5)는 변형예 2에서의 배치를, 6)은 변형예 3에서의 배치를 나타내고, 7)은 전기 위상각(위상)을 나타낸다. For the arrangement of the in prior art Figure 2 shows an arrangement of the coil, 1) and 2) are arranged in the embodiment, 3) the arrangement of the modification 1, 4) is an arrangement of the optimum embodiment , 5) is arranged in the modified example 2, 6) denotes an arrangement in the modification example 3, 7) represents the electrical phase angle (phase).
도 3은 실시예 1에서의 구동 회로의 회로도이다. 3 is a circuit diagram of the driving circuit in the first embodiment.
도 4는 최적 실시예에서의 구동 회로의 회로도이다. 4 is a circuit diagram of the driving circuit in the optimum embodiment.
도 5는 종래예, 실시예 및 최적 실시예에 대하여 온도 의존성에 의한 오차의 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다. 5 is a view showing a simulation result of the error due to the temperature dependence with respect to the prior art, the examples and the optimal embodiment.
도 6은 실시예와 최적 실시예에서의 오차의 실측값을 나타내는 도면이다. 6 is a view showing the actual measurement value of the error in the embodiments and the best embodiment.

도 1~도 6에 실시예와 그 변형을 나타낸다. Figure 1 - shows the embodiment and its modification in Fig. 도 1은 자기식 변위 센서(10)의 구조를 나타낸다. Figure 1 shows the structure of a magnetic displacement sensor 10. 2는 자기 스케일이며, 인바 합금, 슈퍼 인바 합금 등의 저열팽창률의 환봉의 표면에 링 형상의 Cu 박막(6)등의 자기 마크를 일정 피치로 형성한 것이며, 예를 들면 표면은 보호막(8)으로 피복되어 있다. 2 is a magnetic scale, Invar alloy, super-Invar alloy will the formation of the magnetic marks, such as the surface of the round bar of the thermal expansion coefficient Cu thin film 6 of the ring-shaped, such as at a constant pitch, for example, the surface of the protective film (8) It is covered with. Cu 박막(6)을 형성하기 위해서는 Cu 도금과 에칭 등을 사용하면 좋다. In order to form a Cu thin film 6 may be used, such as the Cu plating and etching. 또한, Cu 대신에 Al 등의 비자성 금속막을 사용해도 좋다. Moreover, it may be used non-magnetic metal such as Al film in place of Cu.

자기식 변위 센서(10)(이하, 간단히 센서(10))는 인바 합금, 슈퍼 인바 합금 등의 저열팽창률의 금속으로 이루어지는 케이싱(12)을 구비하고, 파이프(14)로부터 공기를 공급해서 에어 베어링(15)에 의해 자기 스케일(2)을 비접촉으로 지지하고 있다. Magnetic displacement sensor 10 (hereinafter, simply sensor 10) is invar alloy, by a casing 12 made of a metal of low thermal expansion coefficient, such as super invar alloy, and the supply air from the pipe 14, the air bearing by 15 and supports the magnetic scale (2) in a non-contact manner. 또한, 자기 스케일(2)을 비접촉으로 지지하는 구성은 임의이며, 에어 베어링(15)에 한정되지 않는다. In addition, the magnetic and configured for supporting the scale (2) in a non-contact manner it may be any, not limited to the air bearing (15). 16은 스테인레스 등의 이너케이스이며, 보빈(18)을 수용한다. 16 is an inner case such as stainless steel, to accommodate the bobbin (18). 보빈(18)은 유리 분체와 바인더로 이루어지며, 절연체로서 구성된다. Bobbin 18 is made of a glass powder and a binder, it is configured as an insulator. 또한, 보빈(18)은 길이 방향을 따른 1개소이며, 여기서는 길이 방향의 중심부에서, 예를 들면 핀(20)에 의해 케이싱(12)에 고정되어 있다. Further, the bobbin 18 is a first portion along the longitudinal direction, where at the center in the longitudinal direction, for is fixed to the casing 12 by the example pin 20. 고정에는 볼트, 비스, 키 등의 체결 부재를 사용해도 좋고, 또는 케이싱(12)과 보빈(18)을 감합 또는 접착해도 좋다. Fixed, bolt, bis, may be used a tightening member such as a key, and may be fitted into or bonded to or casing 12 and the bobbin 18. 이하, 보빈(18)의 길이 방향(자기 스케일(2)의 축 방향)을 따라 핀(20)에 의해 고정되는 위치를 (보빈(18)의) 중심(C)이라 한다. Hereinafter referred to as the longitudinal center (of the bobbin 18) the position is fixed by the pin 20 along the (magnetic scale (2) in the axial direction) (C) of the bobbin (18). 또한, 자기 스케일(2)은 보빈(18)의 내부를 길이 방향을 따라 이동 가능하다. In addition, the magnetic scale (2) is movable along the direction of the interior of the bobbin (18) length.

보빈(18)의 외주의 소정 위치에 형성된 홈(21) 내에, 바람직하게는 보빈(18)의 중심에 대하여 대칭으로 배치된 홈(21) 내에 코일(22)이 복수개 배치되어 있다. In the groove 21 formed in the outer circumference of a predetermined position of the bobbin 18, and preferably the coils 22 it is disposed within the plurality of grooves 21 disposed symmetrically with respect to the center of the bobbin (18). 자기 스케일(2)의 구조와 코일(22)의 배치를 도 1의 쇄선 내로 확대해서 나타낸다. It illustrates an enlarged layout of the structure and the coil 22 of the magnetic scale (2) within the chain line of FIG. 또한, 코일(22)은 권선에 의한 것에 한정되지 않고, 도금과 에칭 등에 의한 Cu 등의 박막 코일이어도 좋다. Further, the coil 22 is not limited to that of the winding may be a thin-film coil, such as Cu by plating or the like and etching.

도 2의 1)~6)에 코일의 배치를 나타내고, 7)은 보빈(18)의 중심(C)에 대한 전기 위상각(θ)(위상(θ))을 나타내고, Cu 박막(6)의 1피치를 2π로 한다. It shows the placement of the coil in Figure 1) and 6 in Fig. 2), 7) denotes an electric phase angle (θ) (phase (θ)) of the center (C) of the bobbin (18), a Cu thin film 6 and the first pitch to 2π. 자기식 변위 센서(10)로부터 위상과 피치의 수를 구해서 변위로 변환한다. The conversion from a magnetic type displacement sensor 10 to obtain the number of phase displacements and the pitch. C0~C3'는 보빈(18)의 홈(21)에 감은 코일이며, C0과 C0'와 같이 첨자가 동일하고 "'"의 유무가 다른 한쌍의 코일은 동상의 코일이며, 전기 위상각(θ)(위상(θ))은 2nπ(n은 0이 아닌 정수)만큼 다르다. C0 ~ C3 'is a coil wound in the groove 21 of the bobbin (18), C0 and C0' and the coil of the subscript is equal to "" "whether or not the other pair of coils of the statue, such as, an electric phase angle (θ ) (phase (θ)) it is different by 2nπ (n is nonzero integers). C1과 C1'가 동상, C2와 C2'도 동상, C3과 C3'도 동상이다. C1 and C1 'is a statue, C2 and C2' also statue is a statue C3 and C3 '. 또한, 코일의 출력에 포함되는 신호 성분은 +sinθ·sinωt, -sinθ·sinωt, +cosθ·sinωt, -cosθ·sinωt의 4종류이다. Furthermore, the signal component contained in the output of the coil is sinθ · sinωt +, -sinθ · sinωt, cosθ · sinωt +, the four types of -cosθ · sinωt. 그리고, +sinθ·sinωt를 포함하는 출력과 -sinθ·sinωt를 포함하는 출력의 차를 차동 증폭기로 증폭시켜서 +sinθ·sinωt의 신호를 인출한다. And, + sinθ · amplifies the difference between the output and an output -sinθ · sinωt containing sinωt to the differential amplifier draws a signal of + sinθ · sinωt. 또한, +cosθ·sinωt를 포함하는 출력과 -cosθ·sinωt를 포함하는 출력의 차를 차동 증폭기로 증폭시켜서 +cosθ·sinωt의 신호를 인출한다. Also, + cosθ · amplifies the difference between the output and an output -cosθ · sinωt containing sinωt to the differential amplifier draws a signal of + cosθ · sinωt.

종래 기술에서는, 예를 들면 보빈(18)의 양단 또는 일단을 케이싱(12)에 고정한다. In the prior art, for example, fixed at both ends or one end of the bobbin 18 to the casing 12. 1)의 종래 기술에서는 +sin상의 코일(C0)의 위치에서 고정하는 것으로 한다. In the prior art 1) and in that the fixed position of the coil (C0) on the + sin. 코일의 임피던스에는 온도 의존성이 있지만, 한쌍의 코일의 출력을 차동 증폭시키면 임피던스의 온도 의존성을 거의 없앨 수 있다. The impedance of the coil, but has the temperature dependency, when the differential amplifier an output of the pair of the coil can almost eliminate the temperature dependence of impedance. 문제는 보빈(18)의 열팽창에 따라서 보빈의 중심(C)에 대한 코일(C0~C3)의 위치가 변동되는 점이다. The problem is that the position of the coil (C0 ~ C3) to the center of the bobbin (C) varies depending on the thermal expansion of the bobbin (18). 종래 기술에서는 보빈(18)의 열팽창으로의 대책을 실시하고 있지 않으므로 센서(10)의 출력에 온도 의존성이 발생한다. In the prior art, and this temperature dependency occurs in the output of the bobbin does not carry out measures for the thermal expansion of the 18 sensor 10.

2)의 배치(실시예 1)에서는 4개의 코일(C0~C3)을 중심(C)의 양측에 같은 수씩 배치하고 있으므로 온도 의존성에 의한 오차가 작아진다. 2) batch (Example 1) In the smaller the error by the sussik Since the batch temperature dependence of the two sides of the center (C) with four coils (C0 ~ C3) of. 4개의 코일(C0~C3)의 배치는 대칭이지만, sin상과 cos상에서 팽창 방향이 반대가 되기 때문에 온도 의존성에 의한 오차가 남는다. Arrangement of four coils (C0 ~ C3) is symmetrical, but it remains an error due to the temperature dependence, since the direction opposite to the expansion over the sin and cos.

3)의 배치(변형예 1)에서는 cos상의 코일(C2, C3)이 중심(C)에 대하여 대칭으로 배치되어 있지만, sin상의 코일(C0, C1)은 중심(C)에 대하여 대칭으로 배치되어 있지 않기 때문에 일부의 오차가 남아 있다. 3) placement (Modification 1) In the coils (C2, C3) are arranged symmetrically with respect to the center (C), a coil (C0, C1 on the sin but on cos) of the are arranged symmetrically with respect to the center (C) not remain some errors because. 또한, 변형예 1에서의 오차는 실시예 1에서의 오차보다 작다. In addition, the error in the first modification is smaller than the error in the first embodiment.

4)의 최적 실시예에서는 6개의 코일(C0~C3')을 중심(C)에 대해서 대칭으로 배치하고, 코일(C0, C0')은 동상(예를 들면, -cos상)이며, 코일(C1, C1')도 동상(예를 들면, +cos상)이며, 이들의 출력의 차에는 온도 의존성이 거의 포함되지 않는다. 4), with a best embodiment, the six coils (C0 ~ C3 '), the center (C) disposed symmetrically, and the coil (C0, C0 for') is, for in-phase (for example, -cos a) of the coil ( C1, C1 ') is also in-phase (for example, + cos a), and the difference of these outputs has a temperature dependency is hardly contained. 코일(C0)과 코일(C1)은 위상이, 예를 들면 3π(일반적으로는 (2n+1)π, n은 정수) 다르고, +sin상의 출력과 -sin상의 출력을 부여한다. Coils (C0) and a coil (C1) is a phase, for example, 3π (generally, (2n + 1) π, n being an integer) assigned to the output on the output and on the different -sin, + sin. 그래서, 코일(C0)과 코일(C1)의 출력의 차에는 온도 의존성이 거의 포함되지 않는다. Thus, no difference has not include little temperature dependency of the output of the coil (C0) and a coil (C1).

4)의 최적 실시예에서는, 예를 들면 cos상의 코일이 4개, sin상의 코일이 2개로 개수가 맞지 않는다. In the best embodiment of 4), for example, one is on the cos coil 4, the coil does not match the number on the two sin. 그래서, 5)의 변형예 2에서는 sin상의 코일을 C0, C1, C0',C1'의 4개로 하고, 이들을 중심(C)에 대해서 대칭으로 배치한다. So, 5) Modification 2 In the open-circuit of the coil 4 on the sin C0, C1, C0 ', C1' of, and symmetrically arranged with respect to those at the center (C). 또한, 코일(C0, C0')은 위상이, 예를 들면 2π 다르고, 코일(C1, C1')도 위상이, 예를 들면 2π 다르다. Further, the coil (C0, C0 ') is in phase, for example 2π different, each coil (C1, C1' is the phase), for example 2π different. 또한, 코일(C0, C1')은 위상이, 예를 들면 π 다르고, 코일(C1, C0')도 위상이, 예를 들면 π 다르다. Further, the coil (C0, C1 ') is in phase, for example, π different, each coil (C1, C0' is the phase), for example, π different. 마찬가지로 cos상의 4개의 코일(C2~C3')을 중심(C)에 대해서 대칭으로 배치한다. Likewise disposed symmetrically with respect to the four coils (C2 ~ C3 ') on the cos in the heart (C).

5)의 변형예 2에서는 sin상에서 동상의 코일(C1, C1') 사이에 자기 마크의 1피치 만큼의 간격(위상으로서 2π)이 있다. In Modification 2 of 5) and the distance (as the phase 2π) by one pitch of the magnetic marks in between the coils (C1, C1 ') on the in-phase sin. 코일(C1, C1') 사이에 cos상에서 위상이 π 다른 코일(C2, C3')을 배치한 것이 6)의 변형예 3이다. To a modification 3 of 6) placing the coil (C1, C1 '), the phase is π other coils (C2, C3 on the cos between'). 4)의 최적 실시예~6)의 변형예 3에서는 센서의 온도 의존성은 거의 0이다. 4) the temperature dependence of the third modification of the best embodiment to 6) the sensor is almost zero.

도 3은 실시예 1 및 변형예 1의 구동 회로의 예를 나타내고, PS는 교류 전원이며 A·sinωt의 전압을 출력하고, R1~R4는 고정 저항이며 저항값은, 예를 들면 동일하다. Figure 3 is the first embodiment and shows an example of the driving circuit of the modified example 1, the AC power supply PS and the output voltage of the A · sinωt, and R1 ~ R4 is a fixed resistor the resistance value is, for the same example. 또한, () 안은 최적 실시예에 사용할 경우의 배치이다. Further, () it shows the arrangement of using the best embodiment. sin상의 2개의 코일의 출력을 차동 증폭기(A1)에 의해 차동 증폭시키면 B·sinθ·sinωt의 출력이 얻어지고, cos상의 2개의 코일의 출력을 차동 증폭기(A2)에 의해 차동 증폭시키면 B·cosθ·sinωt의 출력이 얻어진다. When the differential amplifier by the output of the two coils of sin to the differential amplifier (A1) B · sinθ · The output of sinωt is obtained, when the differential amplifier by the output of the two coils of cos a differential amplifier (A2) B · cosθ , it is obtained, the output of sinωt. 예를 들면, B·sinθ·sinωt의 신호에 cotωt를 곱해서 B·sinθ·cosωt로 변환하고, 덧셈 정리에 의해 sin(θ+ωt)의 신호를 얻고, 이 신호의 제로 크로싱(θ+ωt=nπ)으로부터 위상(θ)을 구한다. For example, B · multiplying the cotωt the signals sinθ · sinωt converted to B · sinθ · cosωt, get a signal of sin (θ + ωt) by the addition theorem, of the signal zero-crossing (θ + ωt = nπ ) obtains a phase (θ) from.

최적 실시예를 도 3의 회로에서 구동할 경우, 저항(R1) 대신에 코일(C1')을, 저항(R2) 대신에 코일(C0')을 접속한다. When driving in the best embodiment of the circuit 3, 'a, a resistor (R2) instead of the coil (C0 to a coil (C1), instead of a resistor (R1) is connected to). 그러면, sin상에서는 4개의 코일(C0, C1',C1, CO')을 사용하는 것에 비해 cos상에서는 2개의 코일을 사용하므로 차동 증폭기(A1)의 게인을 차동 증폭기(A2)의 게인의 2배로 한다. Then, use the two coils On cos than using the sin On four coils (C0, C1 ', C1, CO') it is the gain of the differential amplifier (A1), twice the gain of the differential amplifier (A2) . sin상의 브릿지에서는 한쪽이 (+sin, -sin)의 순서이면 다른쪽은 (-sin, +sin)의 순서로 한다. The bridge is on the order of that of a sin (+ sin, -sin) is in the order of the other (-sin, + sin).

도 4는 변형예 2,3의 구동 회로의 예를 나타내고, PS는 전기의 교류 전원이며, A1, A2는 상기 차동 증폭기이다. Figure 4 shows an example of the driving circuit of the modified example 2,3, PS is an AC power source of an electric, A1, A2 is a differential amplifier. 최적 실시예와 마찬가지로, 예를 들면 코일(C3, C2)을 직렬로, 코일(C2',C3')을 직렬로 접속해서 브릿지를 끼우고, 브릿지의 출력을 차동 증폭기로 증폭시켜서 cos상의 출력으로 한다. Like the best embodiment, for example, the coils (C3, C2) in series, by connecting the coil (C2 ', C3') in series, insert a bridge, by amplifying the output of the bridge as a difference amplifier with the output on the cos do. 이 브릿지에서도 한쪽이 (+cos, -cos)의 순서이면 다른쪽은 (-cos, +cos)의 순서로 한다. The bridge is either in the order of (+ cos, -cos) the other is in the order of (-cos, + cos). 예를 들면, 코일(C1',C0)을 직렬로, 코일(C0',C1)을 직렬로 접속해서 브릿지를 끼우고, 브릿지의 출력을 차동 증폭기로 증폭시켜서 sin상의 출력으로 한다. For example, the coils (C1 'a, C0) in series, the coils (C0' to connect, C1) in series, insert a bridge, by amplifying the output of the bridge to the differential amplifier and the output on the sin.

이 브릿지에서도 한쪽이 (+sin, -sin)의 순서이면 다른쪽은 (-sin, +sin)의 순서로 한다. The one in the bridge if the order of the (+ sin, -sin) the other is in the order of (-sin, + sin).

도 5에 종래예와 실시예 1 및 최적 실시예의 성능을 나타내고, 보빈의 길이가 0.1%~0.3% 열팽창된 것으로서 변위의 검출 오차를 시뮬레이션에 의해 구했다. Fig prior art as in Example 1 to 5 and represents the best embodiment performance was determined by simulating the detection error of the displacement as being the length of the bobbin thermal expansion 0.1% ~ 0.3%. 실시예 1에서는 오차의 절대값이 종래예의 40% 정도로 감소해서 오차의 평균값은 거의 0이다. In Example 1, by the absolute value of the error it decreases, so the conventional example 40% of the average error is substantially zero. 이에 대하여 종래예에서는 오차는 부호가 일정하며 0이 되지 않는다. In contrast to this prior art error code is not constant and is 0. 그리고, 최적 실시예에서는 오차는 항상 거의 0이다. Then, in the best embodiment error it is always approximately zero. 또한, 도 2의 변형예 1에서는 실시예 1보다 오차는 작아진다. Further, in Fig. Modification 1 of the second embodiment than the first error is smaller.

도 6은 변위의 검출 오차(주위 온도를 20℃로부터 28℃로 변화시켰을 때의 지시값의 변화)의 실측값을 나타낸다. 6 shows the actually measured value of (change in the indication of time is changed to 28 ℃ the ambient temperature from 20 ℃) ​​detection error of the displacement. ○는 실시예 1의 결과를, △는 최적 실시예의 결과를 나타내고, 실시예 1에는 실측값의 사이를 sin파로 보간한 것을 나타낸다. ○ The results of Example 1, △ represents the best embodiment the results of Example 1 and indicates that the interpolation between the actually measured value of sin waves. 최적 실시예의 오차는 근소하며, 이 근소한 오차는 차동 증폭기의 온도 의존성, 코일(C0~C3')의 배치의 혼란 등에 의한 것으로 생각된다. Example error best embodiment is slight, and this small error is thought to be due to disruption of the arrangement of the temperature dependence, the coil (C0 ~ C3 ') of the differential amplifier.

실시예에서는 온도 의존성이 작은 자기식 변위 센서(10)가 얻어지므로 선반, 드릴, 연삭반 등의 공작 기계에서의 가공 위치를 정확하게 측정해서 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다. Embodiment, the temperature dependence is obtained a small magnetic displacement sensor 10 to accurately measure the position of the machining in machine tools such as lathe, drilling, grinding to improve the machining accuracy.

또한, 프레스, 사출 성형기, 다이캐스팅 성형기 등의 몰드 클램핑 장치로 금형의 간격을 정확하게 측정할 수 있다. In addition, the press may be a mold clamping apparatus of the injection molding machine, die-cast molding machine to accurately measure the distance between mold. 그 밖에 온도가 변화되고, 또한 광학적인 측정이 어려운 환경 등에서 변위를 정확하게 측정할 수 있다. In addition the temperature is changed, and can also accurately measure the displacement, etc. The optical measurement difficult environment.

실시예에서는 자기 스케일(2)이 보빈(18) 내부를 통하지만, 평면상의 자기 스케일과 평면상의 박막 코일 등을 마주 보게 해도 좋다. Embodiment, may be seen a magnetic scale (2) only passing through the inner bobbin (18), facing the magnetic scale and the flat thin film coil on the plane. 또한, 코일(C0~C3')로 이루어지는 코일의 열의 양측에 더미의 코일을 배치해도 좋다. In addition, the coil may be placed in piles on both sides of the heat coil consisting of a coil (C0 ~ C3 ').

구동 회로는 도 3, 도 4의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 동상의 코일(C0, C0')의 출력의 평균값과 동상의 코일(C1, C1')의 출력의 평균값의 차를 증폭시켜도 좋다. The drive circuit is not limited to that of Figure 3, Figure 4, for example, may even amplify the difference between the average value of the output of "(coils C1, C1) of the average value in phase with the output of the coil of the statue (C0, C0), . 마찬가지로 동상의 코일(C2, C2')의 출력의 평균값과 동상의 코일(C3, C3')의 출력의 평균값의 차를 증폭시켜도 좋다. Likewise it may even amplify the difference between the output of the (coil C3, C3) of the average value of the phase with the output of the coils (C2, C2) "in-phase average value. 또한, 1차 코일과 2차 코일을 적층하거나, 또는 1차 코일과 1차 코일의 사이에 2차 코일을 배치하도록 해도 좋다. Further preferably, so as to place the secondary winding between the primary and the secondary stacking a coil, or primary coil and the primary coil of. 그 경우, 실시예의 각 코일(22)은 2차 코일에 대응한다. In this case, each embodiment of the coil 22 corresponds to the secondary coil.

Claims (8)

  1. 지지체에 지지된 복수개의 코일과, 길이 방향을 따라 소정 피치로 주기적으로 변화되는 자기 마크가 형성되어 있는 자기 스케일의 상호 작용에 의해 변위를 검출하는 자기식 변위 센서로서, A magnetic-type displacement sensor for detecting the displacement due to the interaction of the magnetic scale with a magnetic mark of the support to the support coil and a plurality, in the longitudinal direction that is periodically changed at a predetermined pitch is formed,
    상기 지지체를 수용하는 케이싱과, A casing for receiving the support and,
    상기 자기 스케일의 길이 방향을 따라 지지체의 중앙부를 상기 케이싱에 고정하는 고정부를 구비하고, 또한 In the longitudinal direction of the magnetic scale and a fixing portion for fixing the center portion of the support to the casing, and
    상기 자기 스케일의 길이 방향을 따라 상기 고정부의 양측에 상기 복수개의 코일이 같은 수씩 상기 지지체에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. Magnetic displacement sensor for on both sides of the in the longitudinal direction of the magnetic scale, characterized in that the fixing is supported by a support such sussik the plurality of coils.
  2. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    자기식 변위 센서는 sin상 출력의 코일과 cos상 출력의 코일을 적어도 각 2개씩 상기 복수개의 코일로서 구비하고, Having a magnetic displacement sensor sin a cos a coil and the coil of the output of the output as at least two per each of the plurality of coils,
    상기 자기 스케일의 길이 방향을 따라 상기 고정부의 양측에 sin상 출력의 코일이 적어도 각 1개, cos상 출력의 코일이 적어도 각 1개 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. Magnetic displacement sensor, characterized in that the said magnetic along the longitudinal direction of the scale and two sides each at least the sin coil 1 of the output of the two state, the coils of the cos phase output is at least the support 1 each.
  3. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 복수개의 코일은 6개 또는 8개이며, The plurality of coils is six or eight,
    상기 자기 스케일의 상기 피치를 2π로 하는 전기 위상각이며, 상기 자기 스케일로의 전기 위상각이 모두 θ인 2개의 코일이 상기 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되고, 또한 The magnetic and electric phase angle of the pitch of the scale to 2π, the electrical phase angle of the two coils both of θ to the magnetic scale is arranged above and on either side of the government, one for symmetry, and
    상기 자기 스케일로의 전기 위상각이 모두 θ+π인 2개의 코일은 상기 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. The self-electric phase of each of the two coils are both θ + π to the scale is a magnetic displacement sensor, characterized in that the high-arranged one by one symmetrically at both sides of the government.
  4. 제 3 항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 복수개의 코일은 8개이며, The plurality of coils is eight,
    상기 자기 스케일로의 전기 위상각이 모두 θ+π/2인 2개의 코일은 상기 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되고, 또한 The self-electric phase angle are both θ + π / 2 in the two coils of the scale is arranged above and one by one symmetrically at both sides of the government, and
    상기 자기 스케일로의 전기 위상각이 모두 θ-π/2인 2개의 코일은 상기 고정부의 양측에 1개씩 대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. The self-electric phase angle θ-π / 2 of the two coils both on the scale is a magnetic displacement sensor, characterized in that the high-arranged one by one symmetrically at both sides of the government.
  5. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 지지체는 상기 자기 스케일을 삽입 통과 가능한 중공 형상의 보빈이며, 복수개의 코일은 상기 보빈에 감겨 있는 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. The support is a magnetic displacement sensor, characterized in that a bobbin of the magnetic passage as possible hollow insert a scale, a plurality of coils are wound on the bobbin.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 5,
    상기 케이싱과 상기 지지체의 열팽창률은 다른 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. Coefficient of thermal expansion of the casing and the support is a magnetic displacement sensor, characterized in that the other.
  7. 제 6 항에 있어서, 7. The method of claim 6,
    상기 케이싱은 저열팽창률의 금속이며, 상기 지지체는 절연체인 것을 특징으로 하는 자기식 변위 센서. The casing is a metal of low thermal expansion coefficient, the support is a magnetic displacement sensor, characterized in that the insulator.
  8. 지지체와, 지지체에 지지된 복수개의 코일을 갖는 자기식 변위 센서와, 길이 방향을 따라 소정 피치로 주기적으로 변화되는 자기 마크를 갖는 자기 스케일에 의해 변위를 검출하는 방법으로서, A method for detecting the displacement by the magnetic scale having a magnetic mark along a magnetic displacement sensor with a longitudinal direction having a plurality of coils supported by the support and the support which changes periodically at a predetermined pitch,
    상기 자기식 변위 센서는 The magnetic displacement sensor
    상기 지지체를 수용하는 케이싱과, A casing for receiving the support and,
    상기 자기 스케일의 길이 방향을 따라 지지체의 중앙부를 상기 케이싱에 고정하는 고정부를 구비하고, In the longitudinal direction of the magnetic scale and a fixing portion for fixing the center portion of the support to the casing,
    상기 자기 스케일의 길이 방향을 따라 상기 고정부의 양측에 상기 복수개의 코일이 같은 수씩 상기 지지체에 지지되어 있고, Wherein in the longitudinal direction of the magnetic scale and the sussik is supported on the support of the plurality of coils to either side of the government,
    지지체의 열팽창의 영향을 고정부의 양측에 같은 수씩 지지되어 있는 코일 사이에서 상쇄시키는 것을 특징으로 하는 변위의 검출 방법. Method for detecting a displacement, comprising a step of offsetting the thermal expansion between the high impact of the support coil, which is supported sussik same on both sides of the government.
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