KR20150104472A - 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

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KR20150104472A
KR20150104472A KR1020140026238A KR20140026238A KR20150104472A KR 20150104472 A KR20150104472 A KR 20150104472A KR 1020140026238 A KR1020140026238 A KR 1020140026238A KR 20140026238 A KR20140026238 A KR 20140026238A KR 20150104472 A KR20150104472 A KR 20150104472A
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김태현
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices

Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임, 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어, 상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 피니언기어에 의해 상기 랙기어의 이홈으로부터 이탈된 윤활유를 상기 이홈 쪽으로 이동시키기 위한 가압부를 포함하는 기판 이송장치용 승강장치관한 것으로,
본 발명에 따르면, 랙기어 및 피니언기어에 유지되는 윤활유의 양이 감소되는 것을 방지할 수 있고, 승강기능을 원활하게 수행하도록 하며, 기판을 이송하는 작업효율을 향상시고, 기어의 작동 소음을 감소시키며, 기어의 마모를 방지하여 수명을 연장시킬 수 있다.

Description

승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{Lifting Device and Apparatus for Transferring Substrate having the same}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도이다.
도1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 이송암(110), 승강장치(120), 선회부(130) 및 주행부(140)를 포함한다.
상기 이송암(110)은 상기 기판(150)을 이송한다. 상기 이송암(110)은 상기 승강장치(120)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(110)은 상기 승강장치(120)가 상기 선회부(130)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다.
상기 승강장치(120)는 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강장치(120)는 상기 이송암(110)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강장치(120)는 상기 이송암(110)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(121), 상기 이송암(110)을 승강시키기 위한 랙기어(122), 및 상기 랙기어(122)에 치합되어 상기 이송암(110)을 승강시키기 위해 상기 이송암(110)에 결합되는 피니언기어(123)를 포함한다.
상기 선회부(130)는 상기 승강장치(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(110)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강장치(120)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이를 위해, 상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 지지하기 위한 주행베이스(141), 및 상기 주행베이스(141)를 이동시키기 위한 주행프레임(142)을 포함한다. 상기 주행프레임(142)은 상기 주행베이스(141)가 기판이 이송되기 위한 주행방향을 따라 이동하도록 설치되는 통행로로 기능한다.
여기서, 상기 랙기어(122) 및 상기 피니언기어(123) 사이에는 윤활유가 주입된다. 상기 윤활유는 상기 랙기어(122) 및 상기 피니언기어(123)의 마모를 방지하고, 상기 피니언기어(123)가 상기 랙기어(122)로부터 원활하게 승강하도록 하며, 상기 랙기어(122) 및 상기 피니언기어(123)가 치합되는 과정에서 발생하는 소음을 감소시키기 위한 것이다.
상기 피니언기어(123)가 상기 랙기어(122)에 치합되어 승강하는 과정에서, 상기 윤활유는 상기 랙기어(122)의 이홈(Tooth space)으로부터 넘쳐 흐른다. 종래 기술에 따른 승강장치(120)는 상기 윤활유가 흘러서 랙기어(122)의 이홈으로부터 이탈되면 상기 윤활유의 양이 감소되어, 승강기능을 원활하게 수행할 수 없고, 이는 윤활유를 주입하는 주입주기를 단축시킨다. 따라서 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유를 주입하기 위해 상기 승강장치(120)를 분해하고 다시 조립하는 등 윤활유 주입작업을 위해 소모되는 주입시간이 연장되고, 이는 기판 이송작업을 방해하는 문제를 발생시킨다.
또한, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 윤활유의 양이 부족하게 됨으로써, 상기 랙기어(122) 및 상기 피니언기어(123)가 치합되는 과정에서 소음을 발생시키고, 뿐만 아니라 상기 랙기어(122) 및 상기 피니언기어(123)의 마모를 촉진시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 윤활유가 이홈으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임, 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어, 상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 피니언기어에 의해 상기 랙기어의 이홈으로부터 이탈된 윤활유를 상기 이홈 쪽으로 이동시키기 위한 가압부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 가압부는 상기 이송암에 회전 가능하게 결합되는 제1가압기구, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제1가압기구가 상기 랙기어에 밀착되어 승강하도록 상기 제1가압기구를 상기 랙기어를 향하도록 탄성적으로 가압하는 제1탄성기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 가압부는 상기 이송암에 회전 가능하게 결합되는 제2가압기구, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제2가압기구가 상기 랙기어에 밀착되어 승강하도록 상기 제2가압기구를 상기 랙기어를 향하도록 탄성적으로 가압하는 제2탄성기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 제1가압기구 및 상기 제2가압기구는 상기 피니언기어를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 이송암에 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암를 회전시키기 위한 선회부, 상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부, 및 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 윤활유가 랙기어의 이홈으로부터 이탈되는 것을 방지함으로써, 랙기어 및 피니언기어에 유지되는 윤활유의 양이 감소되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 윤활유의 양이 부족하지 않게 됨으로써, 승강기능을 원활하게 수행할 수 있고, 이는 기판을 이송하는 작업효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 윤활유의 양이 감소되는 것을 방지함으로써, 랙기어 및 피니언기어가 치합되는 과정에서 소음을 감소시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명은 윤활유의 양이 감소되는 것을 방지함으로써, 랙기어 및 피니언기어의 마모를 방지하여 수명을 연장시킬 수 있다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 가압부가 윤활유를 랙기어의 이홈 쪽으로 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 가압부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 제2가압부를 더 추가한 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착 기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 및 상기 기판이 저장되는 카세트 간에 상기 기판을 이송할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 가압부가 윤활유를 랙기어의 이홈 쪽으로 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 가압부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치 중에서 제2가압부를 더 추가한 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도2를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(210), 상기 이송암이 승강하는 승강방향(A 또는 B)으로 상기 승강프레임(210)에 결합되는 랙기어(220), 상기 랙기어(220)에 치합되는 피니언기어(230), 상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어(230)를 회전시키는 구동부(240), 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 피니언기어(230)에 의해 상기 랙기어(220)의 이홈으로부터 이탈된 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 이동시키기 위한 가압부(250)를 포함한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 가압부(250)가 상기 윤활유(260)를 상기 랙기어(220)의 이홈 쪽으로 이동시킴으로써, 이홈으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)에 유지되는 상기 윤활유(260)의 양이 감소되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 윤활유(260)의 양이 부족하지 않게 됨으로써, 승강기능을 원활하게 수행할 수 있고, 이는 기판을 이송하는 작업효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 가압부(250)가 상기 윤활유(260)를 상기 랙기어(220)의 이홈 쪽으로 이동시킴으로써, 상기 윤활유(260)의 양이 감소되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)가 치합되는 과정에서 소음을 감소시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 윤활유(260)의 양이 감소되는 것을 방지함으로써, 상기 랙기어(220) 및 상기 피니언기어(230)의 마모를 방지하여 수명을 연장시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 승강프레임(210), 상기 랙기어(220), 상기 피니언기어(230), 상기 구동부(240) 및 상기 가압부(250)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
상기 승강프레임(210)에는 상기 이송암(310)이 승강 가능하게 결합된다. 상기 승강프레임(210)은 기판(340)을 지지하기 위한 이송암(310)이 승강 가능하게 결합된다. 상기 승강프레임(210)은 상기 이송암(310)이 승강하는 승강방향으로 길게 형성된다. 상기 승강프레임(210)은 상기 이송암(310)에 지지되는 기판을 견고하게 지지하기 위해 충분한 강성을 가지는 재질 또는 구조로 형성될 수 있다.
상기 랙기어(220)는 상기 이송암이 승강하는 승강방향(A 또는 B)으로 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 랙기어(220)는 외면에 나사산이 형성된다. 상기 랙기어(220)는 외면에 형성된 나사산에 의해 상기 피니언기어(230)와 치합된다. 상기 랙기어(220)는 승강방향(A 또는 B)을 따라 상기 피니언기어(230)가 승강도록 안내한다.
상기 피니언기어(230)는 상기 랙기어(220)에 치합되는 것이다. 상기 피니언기어(230)는 외면에 나사산이 형성된다. 상기 피니언기어(230)는 외면에 형성된 나사산에 의해 상기 랙기어(220)에 치합된다. 상기 피니언기어(230)는 상기 랙기어(220)를 따라 승강된다. 상기 피니언기어(230)는 상기 구동부(240)에 회전 가능하게 매개되어, 상기 이송암에 결합된다.
상기 구동부(240)는 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어(230)를 회전시킨다. 상기 구동부(240)는 상기 이송암에 결합된다. 상기 구동부(240)는 상기 피니언기어(230)를 회전시킴으로써, 상기 피니언기어(230)의 기어 이(Gear tooth) 각각이 차례로 상기 랙기어(220)의 이홈(Tooth space)에 치합되도록 한다. 상기 피니언기어(230)의 기어 이 각각이 차례로 상기 랙기어의 이홈에 치합됨에 따라, 상기 피니언기어(230)가 승강한다. 따라서, 상기 피니언기어(230)가 승강하면, 상기 이송암이 승강한다. 예컨대, 상기 구동부(240)는 모터(Motor)일 수 있다.
도2 및 도3을 참고하면, 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 이홈으로부터 이탈된 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 이동시키기 위한 것이다. 여기서, 윤활유(260)는 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 피니언기어(230)에 의해 상기 이홈으로부터 이탈될 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 이홈으로부터 이탈된 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 가압할 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 윤활유(260)를 가압함으로써, 상기 윤활유(260)가 상기 이홈에 삽입될 수 있다.
상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)를 따라 승강한다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 기어 이 각각에 차례로 이동할 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 기어 이 각각에 차례로 접촉되게 이동할 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 기어 이 각각에 차례로 이동하는 과정에서, 상기 랙기어(220)의 이홈 각각에 차례로 이동할 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 이홈 각각에 삽입 및 반출되는 동작을 반복하면서 이동할 수 있다. 상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 기어 이 및 상기 랙기어(220)의 이홈에 교대로 이동할 수 있다.
상기 가압부(250)는 상기 랙기어(220)의 기어 이로부터 상기 랙기어(220)의 이홈을 향하도록 이동하면서, 상기 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 이동시킬 수 있다.
상기 가압부(250)는 회전하면서 이동할 수 있다.
도4를 참고하면, 상기 가압부(250)는 제1가압기구(251) 및 제1탄성기구(252)를 포함할 수 있다.
상기 제1가압기구(251)는 상기 랙기어(220)에 접촉될 수 있다. 상기 제1가압기구(251)는 상기 랙기어(220)에 접촉되어 이동할 수 있다. 상기 제1가압기구(251)는 상기 윤활유(260)에 접촉될 수 있다. 상기 제1가압기구(251)는 상기 이송암에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1가압기구(251)는 회전하면서 상기 랙기어(220)를 따라 승강한다.
상기 제1탄성기구(252)는 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제1가압기구(251)가 상기 랙기어(220)에 밀착되어 승강하도록 한다. 상기 제1탄성기구(252)는 상기 제1가압기구(251)를 상기 랙기어(220)를 향하도록 탄성적으로 가압한다.
상기 제1탄성기구(252)는 일단이 상기 이송암에 결합된다. 상기 제1탄성기구(252)는 타단이 상기 제1가압기구(251)에 결합된다. 상기 제1탄성기구(252)는 상기 제1가압기구(251)가 상기 이송암에 회전 가능하게 결합되도록 할 수 있다.
상기 제1탄성기구(252)는 외력에 의한 변형이 원래의 모양으로 되돌아가려는 성질인 탄성을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1탄성기구(252)는 상기 제1가압기구(251)를 상기 랙기어(220)의 이홈을 향하는 방향으로 가압하는 상태를 유지하고, 상기 이홈으로부터 돌출되게 형성되는 상기 기어 이를 지나면서 일시적으로 변형될 수 있다. 그러나, 상기 제1가압기구(251)는 탄성을 가짐으로써, 상기 제1가압기구(251)가 상기 기어 이로부터 상기 이홈으로 이동하는 과정에서 상기 이홈을 향하는 방향으로 가압하는 원래의 상태로 전환될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 제1가압기구(251)가 상기 랙기어(220)의 기어 이에만 접촉되어 이동하는 것에 비해, 상기 제1탄성기구(252)에 의해 상기 랙기어(220)의 기어 이 및 이홈을 교대로 밀착되어 이동하는 것이 상기 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 효율적으로 삽입시킬 수 있다.
도4 및 도5를 참고하면, 상기 가압부(250)는 제2가압기구(253) 및 제2탄성기구(254)를 포함할 수 있다.
상기 제2가압기구(253)는 상기 랙기어(220)에 접촉될 수 있다. 상기 제2가압기구(253)는 상기 랙기어(220)에 접촉되어 이동할 수 있다. 상기 제2가압기구(253)는 상기 윤활유(260)에 접촉될 수 있다. 상기 제2가압기구(253)는 상기 이송암에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2가압기구(253)는 회전하면서 상기 랙기어(220)를 따라 승강한다.
상기 제2탄성기구(254)는 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제2가압기구(253)가 상기 랙기어(220)에 밀착되어 승강하도록 한다. 상기 제2탄성기구(254)는 상기 제2가압기구(253)를 상기 랙기어(220)를 향하도록 탄성적으로 가압한다.
상기 제2탄성기구(254)는 일단이 상기 이송암에 결합된다. 상기 제2탄성기구(254)는 타단이 상기 제2가압기구(253)에 결합된다. 상기 제2탄성기구(254)는 상기 제2가압기구(253)가 상기 이송암에 회전 가능하게 결합되도록 할 수 있다.
상기 제2탄성기구(254)는 외력에 의한 변형이 원래의 모양으로 되돌아가려는 성질인 탄성을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제2탄성기구(254)는 상기 제2가압기구(253)를 상기 랙기어(220)의 이홈을 향하는 방향으로 가압하는 상태를 유지하고, 상기 이홈으로부터 돌출되게 형성되는 상기 기어 이를 지나면서 일시적으로 변형될 수 있다. 그러나, 상기 제2가압기구(253)는 탄성을 가짐으로써, 상기 제2가압기구(253)가 상기 기어 이로부터 상기 이홈으로 이동하는 과정에서 상기 이홈을 향하는 방향으로 가압하는 원래의 상태로 전환될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 제2가압기구(253)가 상기 랙기어(220)의 기어 이에만 접촉되어 이동하는 것에 비해, 상기 제2탄성기구(254)에 의해 상기 랙기어(220)의 기어 이 및 이홈을 교대로 밀착되어 이동하는 것이 상기 윤활유(260)를 상기 이홈 쪽으로 효율적으로 삽입시킬 수 있다.
도5를 참고하면, 상기 제1가압기구(251) 및 상기 제2가압기구(253)는 상기 피니언기어(230)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 이송암에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 피니언기어(230)가 상향(A 방향)하면서 상기 랙기어(220)의 이홈으로부터 이탈되는 상기 윤활유(260)를 상기 제1가압기구(251)에 의해 상기 이홈을 향하도록 가압할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 피니언기어(230)가 하향(B 방향)하면서 상기 랙기어(220)의 이홈으로부터 이탈되는 상기 윤활유(260)를 상기 제2가압기구(253)에 의해 상기 이홈을 향하도록 가압할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)는 상기 이송암이 상향 또는 하향하여 이동하는 것에 관계없이 상기 윤활유(260)를 상기 이홈을 향하도록 가압할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판을 이송하기 위한 이송암(310), 상기 이송암(310)를 회전시키기 위한 선회부(320), 상기 선회부(320)를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부(330), 및 상기 이송암(310)을 승강시키기 위한 승강장치를 포함할 수 있다. 상기 승강장치는 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치(200)와 대략 일치하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하에서는 상기 이송암(310), 상기 선회부(320), 상기 주행부(330)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(310)은 상기 기판(340)을 이송한다. 상기 이송암(310)은 상기 승강장치(200)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)은 상기 승강장치(200)가 상기 선회부(320)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(310)은 암베이스(311), 암바디(312), 암유닛(313) 및 지지핸드(316)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(311)는 상기 승강장치(200)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(311)는 상기 승강장치(200)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)에 결합된다. 상기 암베이스(311)의 일측이 상기 승강장치(200)에 결합되는 경우, 상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(313)은 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(316)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(313)는 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(313)는 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(313)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(313)는 제1암기구(314) 및 제2암기구(315)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(315) 및 상기 제1암기구(314)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)에 결합된다. 상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(340)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(316)는 상기 제2암기구(315)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(310)는 복수개의 기판(340)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 복수개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(310)이 2개의 기판(340)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(315)들은 각각 상기 제1암기구(314)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1암기구(314)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(316)들은 각각 상기 승강장치(200)가 상기 이송암(310)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제2암기구(315)들에 결합될 수 있다.
상기 선회부(320)는 상기 승강장치(200)를 회전시킨다. 상기 선회부(320)는 상기 승강장치(200)를 회전시킴으로써 상기 이송암을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(320)는 상기 이송암(310)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(320)는 상기 주행부(330)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(320)는 상기 주행부(330)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강장치(200)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(330)는 상기 선회부(320)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(330)는 상기 이송암(310)에 지지된 기판(340)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
200 : 기판 이송장치용 승강장치 210 : 승강프레임
220 : 랙기어 230 : 피니언기어
240 : 구동부 250 : 가압부
251 : 제1가압기구 252 : 제1탄성기구
253 : 제2가압기구 254 : 제2탄성기구
260 : 윤활유
300 : 기판 이송장치 310 : 이송암
311 : 암베이스 312 : 암바디
313 : 암유닛 314 : 제1암기구
315 : 제2암기구 316 : 지지핸드
320 : 선회부 330 : 주행부
331 : 주행베이스 332 : 주행프레임

Claims (4)

  1. 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임;
    상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어;
    상기 랙기어에 치합되는 피니언기어;
    상기 이송암에 결합되고, 상기 이송암을 승강시키기 위해 상기 피니언기어를 회전시키는 구동부; 및
    상기 이송암이 승강함에 따라 상기 피니언기어에 의해 상기 랙기어의 이홈으로부터 이탈된 윤활유를 상기 이홈 쪽으로 이동시키기 위한 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가압부는
    상기 이송암에 회전 가능하게 결합되는 제1가압기구; 및
    상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제1가압기구가 상기 랙기어에 밀착되어 승강하도록 상기 제1가압기구를 상기 랙기어를 향하도록 탄성적으로 가압하는 제1탄성기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압부는 상기 이송암에 회전 가능하게 결합되는 제2가압기구, 및 상기 이송암이 승강함에 따라 상기 제2가압기구가 상기 랙기어에 밀착되어 승강하도록 상기 제2가압기구를 상기 랙기어를 향하도록 탄성적으로 가압하는 제2탄성기구를 포함하고;
    상기 제1가압기구 및 상기 제2가압기구는 상기 피니언기어를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 이송암에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.
  4. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 이송암을 회전시키는 선회부;
    상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부; 및
    상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제3항 중에서 어느 하나의 승강장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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