KR20140086138A - 현미경 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 현미경을 개시한다. 현미경은 프리즘과, 상기 프리즘 상의 시료로부터 이미지를 검출하는 검출 광학계와, 상기 검출 광학계로부터 상기 이미지를 검출시키기 위해 상기 프리즘에 입사 광을 제공하고, 상기 프리즘으로 입사되는 상기 입사 광의 입사각을 변경하는 광원 광학계를 포함한다.

Description

현미경{micro or nano scope}
본 발명은 광학 계측 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 암시야 영상(dark-field imaging) 현미경, 광 주사 관통 현미경(PSTM; photon scanning-tunneling microscope), 또는 근접장 주사 현미경(NSOM/SNOM)과 같은 현미경에 관한 것이다.
일반적으로, 광학 현미경, 광 주사 관통 현미경(PSTM; photon scanning-tunneling microscope), 근접장 주사 현미경(NSOM/SNOM)은 암시야 영상(dark-field image)를 검출할 수 있다. 암시야 영상은 보통의 영상에 비해 배경신호(background signal)를 줄이고 신호-대-잡음비(SNR; signal-to-noise ratio), 즉 명암 비(contrast ratio)가 높다. 암시야 영상은 시료에 조사되는 광원의 개구수가 대물렌즈의 개구수보다 클 때 획득될 수 있다. 이때, 광원으로부터 상기 시료에 조사되는 대부분의 광은 대물렌즈(objective lens)로 유입되지 않고 상기 시료에서 국부적으로 대물렌즈에 전달될 수 있다.
일반적인 암시야 영상 방법은 입사광의 일부를 가리는 patch stop을 써서 입사광을 원환(halo) 모양을 만들고, patch stop의 지름의 크기에 따라 입사광의 입사 각도를 결정하는 방법이다. 따라서 입사 광학계의 개구수(NA)는 순전히 집광렌즈(condenser lens)의 굴절률과 patch stop의 지름, 즉 크기에 따라 결정된다. 이때 사용자가 입사 광학계의 개구수를 바꾸려고 하면 patch stop의 크기 또는 집광렌즈의 굴절률을 바꿀 수밖에 없다. 따라서 관찰하고자 하는 시료의 광학적인 특성, 즉 시료의 종류마다 상이한 산란특성으로 인해 광원의 입사 각도를 연속적으로 변화시키면서 시료의 광학영상을 얻을 수 있다면 매우 바람직할 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 프리즘에 제공되는 입사 광의 입사각을 변화시킬 수 있는 현미경을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 과제는 프리즘의 개구수를 연속적으로 변화시킬 수 있는 현미경을 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 현미경은, 프리즘; 상기 프리즘 상의 시료로부터 이미지를 검출하는 검출 광학계; 및 상기 검출 광학계로부터 상기 이미지를 검출시키기 위해 상기 프리즘에 입사 광을 제공하고, 상기 프리즘으로 입사되는 상기 입사 광의 입사각을 변경하는 광원 광학계를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 광원 광학계는, 상기 입사 광을 상기 프리즘에 입사하는 광원 입사부; 상기 광원 입사부에서 입사된 상기 입사 광으로부터 상기 프리 즘에서 반사되는 반사 광을 검출하는 광원 검출부; 및 상기 광원 입사부에서 상기 프리즘으로 입사되는 상기 입사 광의 입사각을 조절하는 측각기(goniometer)를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 측각기는, 상기 프리즘 아래에 이격하여 배치된 중심 축; 상기 중심 축에 연결된 복수개의 팔들; 및 상기 복수개의 팔들 중 어느 하나와, 상기 광원 입사부에 연결되고, 상기 팔들 중 나머지 하나와 상기 광원 검출부에 연결된 복수개의 홀더들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 광원 광학계는 상기 프리즘 아래에 배치되어 상기 중심 축의 이동을 제한하는 레일을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 광원 입사부는, 상기 입사 광을 생성하는 광원; 상기 광원에서 생성된 상기 입사 광을 시준하는 시준기; 상기 시준기에서 시준된 상기 입사 광을 필터링 또는 편광시키는 필터; 및 상기 필터에서 필터링 또는 편광된 상기 상기 입사 광을 상기 프리즘에 조사하는 입사 미러를 포함할 수 있다. 상기 광원은 기체 레이저, 반도체 레이저, 레이저 다이오드, 할로겐 램프, 제논 램프, 또는 백색 발광다이오드를 포함할 수 있다. 상기 시준기는 복수개의 렌즈들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 광원 검출부는, 상기 프리즘으로부터 반사된 상기 반사 광을 반사하는 검출 미러; 및 상기 미러에서 반사되는 상기 광을 검출하는 검출 소자를 포함할 수 있다. 상기 검출 소자는 포토 다이오드 또는 촬상 소자를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 프리즘은 삼각형, 반원통, 반구형, 또는 사다리꼴 모양을 가질 수 있다. 상기 프리즘은 1.4 내지 약 1.9의 굴절률을 갖는 글래스를 포함할 수 있다. 글래스는 실리카, 비케이(BK)7, 에스에프(SF)10, 에스에프(SF)11, 또는 엔에이에스에프엔(NaSF N)9) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 검출 광학계는 상기 프리즘 상의 대물렌즈; 상기 대물렌즈 상의 적어도 하나의 경통; 상기 경통 상의 적어도 하나의 접안 렌즈; 및 상기 접안 렌즈 상의 촬상 소자 또는 광파이버 커플러를 포함할 수 있다. 상기 촬상 소자는 고체촬상소자 또는 씨모스(CMOS) 이미지 센서를 포함할 수 있다. 상기 경통 및 상기 접안 렌즈가 복수개일 때, 상기 검출 광학계는 상기 대물렌즈와 상기 경통사이에 배치된 상기 교환 구동기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 현미경은 프리즘, 광원 광학계, 및 검출 광학계를 포함할 수 있다. 광원 광학계는 광원 입사부, 광원 검출부, 및 측각기를 포함할 수 있다. 광원 입사부는 프리즘에 입사 광을 제공할 수 있다. 측각기는 광원 입사부 및 광원 검출부 사이의 거리를 변화시키면서, 프리즘에 입사되는 입사 광의 입사각을 변화시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 현미경은 프리즘의 개구수를 연속적으로 변화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 현미경을 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1의 프리즘, 시료, 및 대물 렌즈를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 응용 예에 따른 현미경을 나타내는 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 현미경을 나타낸 단면도이다. 도 2는 도 1의 프리즘(10), 시료(12), 및 대물 렌즈(210)를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 현미경은, 프리즘(10), 검출 광학계(200), 및 광원 광학계(100)를 포함할 수 있다.
시료(12)는 프리즘(10) 상에 배치될 수 있다. 프리즘(10)는 시료(12)를 지지하는 현미경의 프레파라트(preparation)일 수 있다. 시료(12)는 나노입자일 수 있다. 프리즘(10)은 약 1.4 내지 약 1.9 정도의 굴절률을 갖는 글래스를 포함할 수 있다. 예를 들어, 글래스는 실리카(n=1.459), BK7(n=1.517), SF10(n=1.728), SF11(n=1.784), 또는 NaSF N9(n=1.850)를 포함할 수 있다. 또한, 프리즘(10)은 삼각형(triangular), 반 원통형(hemi-cylindrical), 반구형(hemi-spherical), 또는 사다리꼴(dove)의 모양을 가질 수 있다. 광원 광학계(100)는 프리즘(10)에 입사 광(16)을 제공할 수 있다. 프리즘(10)은 광원 광학계(100)에서 제공되는 입사 광(16)을 분광, 굴절, 및 반사할 수 있다.
검출 광학계(200)는 입사 광(16)를 사용하여 시료(12)를 계측 할 수 있다. 검출 광학계(200)는 대물 렌즈(objective lens, 210), 경통(220), 접안 렌즈(230), 및 촬상 소자(240)를 포함할 수 있다. 대물 렌즈(210)는 시료(12)에 근접하여 배치될 수 있다. 경통(220)은 대물 렌즈(210)와 접안 렌즈(230)를 시료(12) 상에서 고정할 수 있다. 대물 렌즈(210)는 시료(12)의 확대된 영상을 촬상 소자(240)에 제공할 수 있다. 접안 렌즈(230)는 경통(220)의 상단에 배치될 수 있다. 촬상 소자(240)는 고체촬상소자(CCD: Charge Coupled Device), 또는 CMOS 이미지 센서를 포함할 수 있다. 시료(12)는 대물 렌즈(210) 및 접안 렌즈(230)의 배율과 그들간의 거리에 따라 확대될 수 있다. 검출 광학계(200)는 암시야 영상 현미경, 원자 현미경, 또는 나노 스코프를 포함할 수 있다. 근접장 현미경 또는 나노 스코프는 시료(12) 주위의 근접장 영상 또는 스펙트럼을 검출할 수 있다. 근접장 현미경은 캔틸레버 팁(cantilever tip)을 가질 수 있다. 나노 스코프는 xyz-piezo stage를 가질 수 있다.
광원 광학계(100)는 광원 입사부(110), 광원 검출부(120), 및 측각기(goniometer, 130)를 포함할 수 있다. 광원 입사부(110)는 광원(light source, 112), 시준기(collimator, 114), 필터(filter, 116), 및 입사 미러(incident mirror, 118)를 포함할 수 있다.
광원(112)은 단색 또는 다색의 입사 광(16)을 생성할 수 있다. 예를 들어, 기체 레이저, 반도체 레이저, 또는 레이저 다이오드와 같은 단색의 입사 광(16)을 생성할 수 있다. 할로겐 램프, 제논 램프, 또는 백색 발광다이오드는 다색 입사 광(16)을 생성할 수 있다. 시준기(114)는 광원(112)과 입사 미러(118) 사이에 배치될 수 있다. 광원(112)에서의 입사 광(16)은 시준기(114)에서 확장된(expanded) 평행 광으로 시준될 수 있다. 시준기(114)는 복수개의 렌즈들을 포함할 수 있다. 필터(116)는 색 필터(chromatic filter) 또는 편광필터(polarizer)를 포함할 수 있다. 색 필터는 다색의 입사 광(16)을 단색의 입사 광(16)으로 필터링할 수 있다. 편광 필터는 입사 광(16)을 선편광 또는 타원 편광시킬 수 있다. 입사 미러(118)는 입사 광(16)을 프리즘(10)에 반사할 수 있다
광원 검출부(120)는 검출 미러(122) 및 광원 검출 소자(124)을 포함할 수 있다. 검출 미러(122)는 프리즘(10)으로부터 반사된 반사 광(18)을 광원 검출 소자(124)에 재 반사시킬 수 있다. 광원 검출 소자(124)는 반사 광(18)을 모니터링(monitoring) 할 수 있다. 광원 검출 소자(124)는 포토다이오드를 포함할 수 있다.
측각기(130)는 중심 축(132), 복수개의 팔들(134), 및 홀더들(136)을 포함할 수 있다. 중심 축(132)은 팔들(134)을 고정할 수 있다. 팔들(134)은 중심 축(132)과 홀더들(136) 사이에 배치될 수 있다. 홀더들(136)은 광원 입사부(110)와, 광원 검출부(120)에 각각 연결될 수 있다. 중심 축(132)은 레일(140)을 따라 이동될 수 있다. 레일(140)은 프리즘(10)의 아래에 배치될 수 있다. 중심 축(132)은 레일(140) 상에서 이동될 수 있다. 중심 축(132)은 프리즘(10)으로부터 멀이지고 가까워질 수 있다. 복수개의 팔들(134)의 사이각은 중심 축(132)의 승하강에 의해 조절될 수 있다. 중심 축(132)의 이동에 따라 광원 입사부(110)와, 광원 검출부(120) 사이의 거리가 변화될 수 있다. 이때, 홀더들(136)은 프리즘(10)으로부터 일정한 거리의 궤도(orbit, 미도시)를 따라 이동될 수 있다. 비록, 광원 입사부(110)와 광원 검출부(120) 사이의 거리가 변화되더라도, 상기 광원 입사부(110)는 프리즘(10) 및 시료(12)에 입사 광(16)을 상시 제공할 수 있다. 즉, 입사 광(16)의 입사각(14)이 변화될 수 있다.
중심 축(132)이 프리즘(10)이 가까워질수록 입사 광(16)의 입사각(14)이 증가될 수 있다. 반대로, 중심 축(132)이 프리즘(10)으로부터 멀어질 때, 광원 입사각(14)이 줄어들 수 있다. 프리즘(10)의 개구수(NA: Numerical Aperture)는 입사 광(16)의 입사각에 의해 변경될 수 있다. 따라서, 측각기(130)는 프리즘(10)의 개구수를 연속적으로 조절할 수 있다.
한편, 검출 광학계(200)는 프리즘(10)에 입사 광(16)의 내부 전반사가 일어나고, 시료(12)에 조사되는 프리즘(10)의 개구수가 대물렌즈(210)의 개구수 보다 클 때 암시야 영상(dark-field imaging)을 획득할 수 있다. 입사 광(16)이 프리즘(10)에 내부 전반사(internal reflection)될 때, 암시야 영상은 상기 프리즘(10)의 상부 표면에서의 소산 장(evanescent field)에 의해 획득될 수 있다. 입사 광(16)은 프리즘(10)의 표면에 생성되는 소산 장(evanescent field) 내에 위치한 시료(12)에서 흡수 또는 산란될 수 있다. 시료(12)에서 흡수(absorbed) 또는 산란(scattered)된 입사 광(16)은 종국적으로 대물 렌즈(210)에서의 시료 영상으로 나타날 수 있다.
프리즘(10)에서 입사 광(16)의 입사각도가 임계 전반사각(critical angle θc)보다 더 커지면, 프리즘(10)에서 굴절된 굴절 광(20)은 실질적으로 사라지고, 프리즘(10) 표면에 속박된 소산장만 존재하게 된다. 광원 광학계(100)는 입사 광(16)을 프리즘(10)에 내부전반사(TIR; total internal reflection)시킬 수 있다. 광원 입사부(110)는 입사 광(16)의 임계각(critical angle of internal reflection, θc)보다 더 큰 범위로 조절될 수 있다.
대물 렌즈(210)의 개구수가 프리즘(10)의 개구수보다 작을 때, 시료(12)에서의 굴절 광(20)이 대물 렌즈(210)에서 선택적으로 검출될 수 있다. 프리즘(10)의 개구수는 상기 프리즘(10)의 굴절률과 입사 광(16)의 입사각에 의해 결정될 수 있다. 이때, 프리즘(10)의 개구수는 입사 광(16)의 입사각에 비례하여 변화될 수 있다. 예를 들어, 측각기(130)는 약 70°정도의 최대 구동각도(θmax)를 가질 수 있다. 따라서, 입사 광(16)은 임계각(θc)에서 측각기(130)의 최대 구동각도(θmax)까지의 입사각(14)을 가질 수 있다(θc<θ<θmax). BK7(nD=1.517) 재질의 프리즘(10)은 He-Ne 레이저 광(λ=632.8nm)의 입사 광(16)에 대해 약 41.3° 정도의 임계각을 가질 수 있다. 이 되고, 측각기의 최대 구동각도 θmax가 약 70°라 가정하면 입사광원의 각도 구동 범위는 41.3<θ<70°가 되는 것이다.
상술한 바와 같이, 측각기(130)는 입사 광(16)의 입사각을 조절하여 프리즘(10)의 개구수를 연속적으로 변화시킬 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따른 현미경은 암시야 영상(dark-field imaging) 현미경, 광 주사 관통 현미경(PSTM; photon scanning-tunneling microscope), 또는 근접장 주사 현미경(NSOM/SNOM)을 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 응용 예에 따른 현미경을 나타내는 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 응용 예에 따른 현미경은, 대물 렌즈(210), 교환 구동기(exchange driver, 250), 복수개의 경통들(220), 복수개의 접안 렌즈들(230), 촬상 소자(240), 및 광파이버 커플러(260)를 갖는 검출 광학계(200) 포함할 수 있다. 교환 구동기(250)는 복수개의 경통들(220)을 대물 렌즈(210)에 병렬로 연결시킬 수 있다. 복수개의 경통들(220)은 복수개의 접안 렌즈들(230)을 고정할 수 있다. 복수개의 접안 렌즈들(230)은 촬상 소자(240)와 광파이버 커플러(260)에 각각 연결될 수 있다. 촬상 소자(240)는 영상 신호를 전기적으로 송신할 수 있다. 광파이버 커플러(260)는 광 파이버(270)를 통해 광 신호를 외부로 송신할 수 있다. 도시되지 않았지만, 광 파이버(270)는 외부의 분광기(spectrometer)에 연결될 수 있다. 본 발명의 응용 예는 실시 예의 검출 광학계(200)에 병렬로 연결된 교환 구동기(250), 경통(220), 접안 렌즈(230) 및 광파이버 커플러(260)를 더 포함한 것일 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 프리즘 12: 시료
14: 입사각 16: 입사 광
18: 반사 광 20: 굴절 광
100: 광원 광학계 110: 광원 입사부
112: 광원 114: 시준기
116: 필터 118: 입사 미러
120: 광원 검출부 122: 검출 미러
124: 검출 소자 130: 측각기
132: 중심 축 134: 암들
136: 홀더들 140: 레일
200: 검출 광학계 210: 대물렌즈
220: 경통 230: 접안렌즈
240: 촬상 소자 250: 교환 구동기
260: 광 파이버 커플러 270: 광 파이버

Claims (15)

  1. 프리즘;
    상기 프리즘 상의 시료로부터 이미지를 검출하는 검출 광학계; 및
    상기 검출 광학계로부터 상기 이미지를 검출시키기 위해 상기 프리즘에 입사 광을 제공하고, 상기 프리즘으로 입사되는 상기 입사 광의 입사각을 변경하는 광원 광학계를 포함하는 현미경.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원 광학계는,
    상기 입사 광을 상기 프리즘에 입사하는 광원 입사부;
    상기 광원 입사부에서 입사된 상기 입사 광으로부터 상기 프리즘에서 반사되는 반사 광을 검출하는 광원 검출부; 및
    상기 광원 입사부에서 상기 프리즘으로 입사되는 상기 입사 광의 입사각을 조절하는 측각기(goniometer)를 포함하는 현미경.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 측각기는,
    상기 프리즘 아래에 이격하여 배치된 중심 축;
    상기 중심 축에 연결된 복수개의 팔들; 및
    상기 복수개의 팔들 중 어느 하나와, 상기 광원 입사부에 연결되고, 상기 팔들 중 나머지 하나와 상기 광원 검출부에 연결된 복수개의 홀더들을 포함하는 현미경.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 광원 광학계는 상기 프리즘 아래에 배치되어 상기 중심 축의 이동을 제한하는 레일을 더 포함하는 현미경.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 광원 입사부는,
    상기 입사 광을 생성하는 광원;
    상기 광원에서 생성된 상기 입사 광을 시준하는 시준기;
    상기 시준기에서 시준된 상기 입사 광을 필터링 또는 편광시키는 필터; 및
    상기 필터에서 필터링 또는 편광된 상기 상기 입사 광을 상기 프리즘에 조사하는 입사 미러를 포함하는 현미경.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광원은 기체 레이저, 반도체 레이저, 레이저 다이오드, 할로겐 램프, 제논 램프, 또는 백색 발광다이오드를 포함하는 현미경.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 시준기는 복수개의 렌즈들을 포함하는 현미경.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 광원 검출부는,
    상기 프리즘으로부터 반사된 상기 반사 광을 반사하는 검출 미러; 및
    상기 미러에서 반사되는 상기 광을 검출하는 검출 소자를 포함하는 현미경.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 검출 소자는 포토 다이오드 또는 촬상 소자를 포함하는 현미경
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 프리즘은 삼각형, 반원통, 반구형, 또는 사다리꼴 모양을 갖는 현미경.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 프리즘은 1.4 내지 1.9의 굴절률을 갖는 글래스를 포함하는 현미경.
  12. 제 12 항에 있어서,
    상기 글래스는 실리카, 비케이(BK)7, 에스에프(SF)10, 에스에프(SF)11, 또는 엔에이에스에프엔(NaSF N)9) 중 적어도 하나를 포함하는 현미경.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 검출 광학계는
    상기 프리즘 상의 대물렌즈;
    상기 대물렌즈 상의 적어도 하나의 경통;
    상기 경통 상의 적어도 하나의 접안 렌즈; 및
    상기 접안 렌즈 상의 촬상 소자 또는 광파이버 커플러를 포함하는 현미경.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 촬상 소자는 고체촬상소자 또는 씨모스(CMOS) 이미지 센서를 포함하는 현미경.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 경통 및 상기 접안 렌즈가 복수개일 때, 상기 검출 광학계는 상기 대물렌즈와 상기 경통사이에 배치된 상기 교환 구동기를 더 포함하는 현미경.
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