KR20140056729A - 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법 - Google Patents

픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법 Download PDF

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Abstract

다이를 흡착하기 위한 콜릿과, 상기 콜릿이 장착되는 픽업 헤드, 그리고 상기 픽업 헤드가 장착되며 상기 다이를 이동시키기 위한 다이 이송부에 수직 방향으로 탄성적인 이동이 가능하도록 장착되는 픽업 바디를 포함하는 픽업 유닛의 수평 상태를 검사하는 방법에 있어서, 상기 콜릿을 대신하여 상기 픽업 헤드에 플레이트 형태의 수평 검사 지그를 장착하는 단계와, 고정된 높이를 갖는 기준핀에 상기 수평 검사 지그의 제1 지점을 밀착시키되 상기 다이 이송부와 상기 픽업 유닛 사이에서 수직 방향으로 탄성적인 제1 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계와, 상기 수평 검사 지그의 제2 지점에 대하여 탄성적인 제2 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계와, 상기 제1 변위와 제2 변위를 비교하여 상기 픽업 유닛의 수평 상태를 확인하는 단계가 수행될 수 있다.

Description

픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법{Method of inspecting horizontal state of pickup unit}
본 발명의 실시예들은 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 픽업 유닛의 수평 상태를 검사하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 다이 본딩 공정에서는 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위하여 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. 상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드가 장착되는 픽업 바디를 포함할 수 있다. 상기 픽업 유닛은 상기 다이를 이송하기 위한 다이 이송부에 수직 방향으로 탄성 지지되도록 장착될 수 있다.
상기 콜릿은 자기력을 이용하여 상기 픽업 헤드에 결합될 수 있으며, 상기 다이와 직접 접촉되는 관계로 유연한 물질, 예를 들면, 합성 고무 등과 같은 물질로 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 콜릿은 일정 기간 사용후 마모 등의 이유로 교체가 요구될 수 있다.
한편, 상기 콜릿을 포함하는 상기 픽업 유닛의 수평 상태는 장시간 사용시 다소 변화될 수 있으며, 상기 픽업 유닛의 수평 상태가 불량한 경우 상기 다이 본딩 공정에서 불량이 빈번하게 발생될 수 있다. 즉, 상기 픽업 유닛의 수평 상태가 불량한 경우 상기 콜릿에 의해 픽업된 다이를 상기 기판에 본딩하는 과정에서 상기 다이에 균일한 압력이 인가되지 않을 수 있으며, 이에 따라 상기 다이의 본딩이 정상적으로 이루어지지 않을 수 있다.
따라서, 상기 콜릿을 교체하는 경우 작업자에 의해 상기 픽업 유닛의 수평 상태가 체크될 수 있다. 예를 들면, 작업자는 콜릿을 교체한 후 감압지에 상기 콜릿을 이용한 스탬핑 작업을 실시할 수 있으며, 상기 스탬핑 작업에 의해 상기 감압지에 형성되는 상기 콜릿의 자국을 육안으로 확인하여 상기 픽업 유닛의 수평 상태가 정상인지를 판단할 수 있다.
그러나, 상기와 같은 수작업에 의존하는 픽업 유닛의 수평 상태 검사는 작업자의 숙련도에 따라 판단 결과가 바뀔 수 있으며, 또한 상기 수평 상태 검사를 수행하는데 상당한 시간이 요구되므로 상기 픽업 유닛을 이용하는 다이 본딩 설비의 전체적인 가동율이 현저히 저하될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 다이 본딩 공정에서 사용되는 픽업 유닛의 수평 상태 검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 다이를 흡착하기 위한 콜릿과, 상기 콜릿이 장착되는 픽업 헤드, 그리고 상기 픽업 헤드가 장착되며 상기 다이를 이동시키기 위한 다이 이송부에 수직 방향으로 탄성적인 이동이 가능하도록 장착되는 픽업 바디를 포함하는 픽업 유닛의 수평 상태를 검사하는 방법에 있어서, 상기 콜릿을 대신하여 상기 픽업 헤드에 플레이트 형태의 수평 검사 지그를 장착하는 단계와, 고정된 높이를 갖는 기준핀에 상기 수평 검사 지그의 제1 지점을 밀착시키되 상기 다이 이송부와 상기 픽업 유닛 사이에서 수직 방향으로 탄성적인 제1 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계와, 상기 수평 검사 지그의 제2 지점에 대하여 탄성적인 제2 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계와, 상기 제1 변위와 제2 변위를 비교하여 상기 픽업 유닛의 수평 상태를 확인하는 단계가 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 지점 및 제2 지점을 포함하여 사각 형태를 이루는 제3 및 제4 지점에 대하여 제3 및 제4 변위들을 측정하는 단계와, 상기 제1 내지 제4 변위들을 비교하는 단계가 더 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 변위들은 엔코더를 이용하여 측정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 픽업 헤드에는 영구자석이 구비되며 상기 수평 검사 지그는 상기 픽업 헤드에 상기 영구자석의 자기력에 의해 파지되도록 자성체로 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 수평 검사 지그와 기준핀을 이용하여 픽업 유닛의 수평 상태를 확인할 수 있으므로 종래 기술에서 작업자에 의한 수동 검사 방법에 비하여 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
또한, 상기 픽업 유닛의 수평 상태 검사에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있으므로, 상기 픽업 유닛을 포함하는 다이 본딩 설비의 전체적인 가동율이 크게 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 다이 본딩 공정에서 사용되는 픽업 유닛 및 다이 이송부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛 및 수평 검사 지그를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 콜릿의 제거 및 교체를 위한 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 헤드 교체 장치 및 이를 포함하는 다이 본딩 시스템에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 2는 다이 본딩 공정에서 사용되는 픽업 유닛 및 다이 이송부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛 및 수평 검사 지그를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 유닛(10)의 수평 상태 검사 방법은 다이 본딩 공정에서 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 기판 상에 본딩하기 위하여 상기 다이를 이송하는 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 검사하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 픽업 유닛(10)은 픽업 헤드(30)와 상기 픽업 헤드(30)에 부착된 콜릿(20)을 포함할 수 있으며, 상기 콜릿(20)은 자기력을 이용하여 상기 픽업 헤드(30)에 장착될 수 있다. 특히, 상기 콜릿(20)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(22)이 구비될 수 있으며, 상기 픽업 헤드(30)에는 상기 흡착홀들(22)에 진공을 제공하기 위한 공압 배관(32)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 픽업 유닛(10)은 상기 픽업 헤드(30)가 장착되는 픽업 바디(40)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 픽업 바디(40)는 상기 픽업 유닛(10)을 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 다이 이송부(50)에 장착될 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 다이 이송부(50)는 직교 좌표 로봇 형태를 가질 수 있으며, 상기 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위하여 상기 픽업 유닛(10)을 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 픽업 바디(40)는 상기 다이 이송부(50)에 수직 방향으로 탄성 지지되도록 장착될 수 있다. 즉 상기 픽업 바디(40)는 수직 방향으로 탄성적인 이동이 가능하도록 스프링 등의 탄성 부재를 이용하여 상기 다이 이송부(50)에 장착될 수 있다. 이는 상기 다이를 픽업하거나 상기 다이를 상기 기판에 본딩하기 위하여 가압하는 경우 상기 스프링의 탄성력을 이용함과 동시에 상기 다이의 파손을 방지하기 위함이다.
한편, 상기 다이 이송부(50)에는 상기 픽업 유닛(10)의 수직 방향 탄성 변위량을 측정하기 위한 센서가 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 다이 이송부(50)에는 상기 픽업 유닛(10)의 수직 방향 탄성 변위량 즉 상기 다이 이송부(50)에 대한 상기 픽업 유닛(10)의 상대적인 위치 변화량을 측정하기 위한 엔코더(60)가 구비될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 콜릿(20)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(24)와 연질의 하부 패드(26)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(22)은 상기 상부 패드(24)와 하부 패드(26)를 관통하여 구비될 수 있으며, 상기 픽업 헤드(30)의 공압 배관(32)과 연통될 수 있다.
일 예로서, 상기 픽업 헤드(30)는 상기 콜릿(20)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 상기 픽업 바디(40)에 장착을 위한 연결축을 포함할 수 있다. 상기 연결축으로는 중공축이 사용될 수 있으며, 상기 공압 배관(32)으로서 기능할 수 있다. 그러나, 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
한편, 상기 픽업 헤드(30)와 상기 콜릿(20)은 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 상기 픽업 헤드(30)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 영구자석(34)이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿(20)의 상부 패드(24)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 상기 픽업 헤드(30)의 하부면 가장자리 부위에는 상기 콜릿(20)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(36)이 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태 검사는 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 제거한 후 상기 픽업 헤드(30)에 수평 검사 지그(70)를 장착한 상태에서 수행될 수 있다. 바람직하게는, 상기 콜릿(20)의 마모 등에 의해 상기 콜릿(20)의 교체가 필요한 경우, 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 제거한 후 상기 수평 검사 지그(70)를 상기 픽업 헤드(30)에 장착하여 수평 상태 검사를 수행할 수 있으며, 이어서 새로운 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)에 장착할 수 있다.
상기 수평 검사 지그(70)는 상기 콜릿(20)과 동일한 크기를 갖는 사각 플레이트 형태를 가질 수 있으며, 상기 픽업 헤드(30)에 파지될 수 있도록 자성체로 이루어지는 것이 바람직하다.
도 4는 콜릿의 제거 및 교체를 위한 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
이어서 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법을 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 먼저 S100 단계에서 먼저 상기 픽업 헤드(30)로부터 상기 콜릿(20)을 제거한다. 상기 콜릿(20)의 제거에는 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)이 수직 방향으로 통과 가능한 개구(104)가 형성된 패널(102)이 사용될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 개구(104)의 양쪽 내측면에는 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 제거하기 위한 걸림 부재들(110)이 구비될 수 있다. 상기 걸림 부재들(110)은 상기 픽업 헤드(30)의 하방 및 상방 이동을 허용할 수 있으나, 상기 콜릿(20)에 대하여는 하방 이동을 허용하되 상방 이동은 제한할 수 있다. 결과적으로, 상기 걸림 부재들(110)은 상기 픽업 헤드(30)가 상기 개구(104)를 통하여 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리시킬 수 있다.
일 예로서, 상기 개구(104)의 양측 내측면들에는 스프링(미도시), 예를 들면, 코일 스프링 또는 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 상기 걸림 부재들(110)이 장착될 수 있다. 상기 걸림 부재들(110)은 상기 콜릿(20)의 하방 이동이 가능하도록 하방으로 회전될 수 있으나, 상기 콜릿(20)이 하방으로 통과된 후 상기 토션 스프링에 의해 초기 위치로 복귀하여 상기 콜릿(20)의 상방 이동을 제한할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 걸림 부재들(110)은 상기 개구(104)의 내측면으로부터 스프링에 의해 진퇴 가능하게 구성될 수도 있다.
한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 픽업 헤드(30)의 양쪽 측면에는 각각 리세스가 구비될 수 있으며 상기 픽업 헤드(30)의 수직 방향 이동에서 상기 리세스들에 의해 상기 걸림 부재들(110)과의 간섭이 방지될 수 있다.
또 한편으로, 상기 패널(102) 상에는 상기 콜릿(20)의 교체를 위하여 복수의 콜릿들(20)이 수납되는 콜릿 수납홈들(106)이 구비될 수 있으며, 또한 상기 수평 검사 지그(70)가 수납되는 지그 수납홈(108)이 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 패널(102)은 디스크 형태를 가질 수 있으며, 상기 개구(104)와 콜릿 수납홈들(106) 및 지그 수납홈(108)은 상기 패널(102)의 원주 방향으로 배치될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 패널은 구동부(미도시)와 연결될 수 있으며, 상기 구동부는 상기 패널(102)을 회전시킬 수 있으며 또한 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, S110 단계에서 상기 콜릿(20)을 대신하여 상기 픽업 헤드(30)에 상기 수평 검사 지그(70)를 장착할 수 있다. 예를 들면, 상기 구동부는 상기 패널(102)을 회전시켜 상기 지그 수납홈(108)에 수납된 수평 검사 지그(70)가 상기 픽업 헤드(30) 아래에 위치되도록 할 수 있다. 이어서, 상기 다이 이송부(50)는 상기 픽업 헤드(30)를 상기 수평 검사 지그(70)에 밀착되도록 하강시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 수평 검사 지그(70)는 상기 픽업 헤드(30)의 하부면에 자기력에 의해 부착될 수 있다.
그러나, 상기 패널(102)의 형상, 상기 콜릿들(20) 및 수평 검사 지그(70)의 배치 등은 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
한편, 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 패널(102)의 일측에는 고정된 높이를 갖는 기준핀(80)이 배치될 수 있다. 상기 기준핀(80)은 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 기준핀(80)은 상기 패널(102) 상에 배치될 수도 있다.
이어서, S120 단계에서, 상기 기준핀(80)에 수평 검사 지그(70)의 제1 지점이 밀착된 상태에서 상기 다이 이송부(50)와 상기 픽업 유닛(10) 사이에서 수직 방향으로 탄성적인 제1 변위가 발생하도록 상기 픽업 유닛(10)을 하강시킬 수 있다. 이때, 상기 제1 변위는 상기 엔코더(60)에 의해 측정될 수 있다.
계속해서, S130 단계에서, 상기 수평 검사 지그(70)의 제2 지점에 대하여 탄성적인 제2 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛(10)을 하강시킬 수 있으며, 상기 제2 변위를 상기 엔코더(60)를 이용하여 측정할 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 지점과 제2 지점은 상기 수평 검사 지그(70)의 각 모서리 부위일 수 있으며, 상기 다이 이송부(50)는 상기 제1 지점에서 제1 변위가 측정된 후 상기 기준핀(80)이 상기 제2 지점 아래에 위치되도록 상기 픽업 유닛(10)을 이동시키고 이어서 상기 픽업 유닛(10)을 하강시킬 수 있다.
상기와 같이 제1 및 제2 변위들을 측정한 후, S140 단계에서 상기 제1 변위와 제2 변위를 비교하여 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 확인할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 변위들을 기 설정된 값과 비교하여 그 차이값이 오차 범위 내에 있는지 확인할 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 변위들을 서로 비교하여 그 차이값이 오차 범위 내에 있는지 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 보다 정확하게 확인하기 위하여 S150 단계에서 상기 제1 지점 및 제2 지점을 포함하여 사각 형태를 이루는 제3 및 제4 지점에 대하여 제3 및 제4 변위들을 측정하고, S160 단계에서 상기 제1 내지 제4 변위들을 비교하여 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 확인할 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 내지 제4 지점들은 각각 상기 수평 검사 지그(70)의 모서리 부위들에 각각 대응될 수 있다.
상기와 같이 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 확인한 후 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태가 정상적인 경우 상기 콜릿(20)을 제거한 방법과 동일하게 상기 픽업 헤드(30)로부터 상기 수평 검사 지그(70)를 제거할 수 있으며, 이어서 새로운 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)에 장착할 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부는 상기 패널(102)을 순차적으로 회전시켜 상기 개구(104)와 상기 콜릿 수납홈들(106)에 수납된 콜릿들(20) 중 하나가 상기 픽업 헤드(30) 아래에 위치되도록 할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 수평 검사 지그(70)와 기준핀(80)을 이용하여 픽업 유닛(10)의 수평 상태를 확인할 수 있으므로 종래 기술에서 작업자에 의한 수동 검사 방법에 비하여 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
또한, 상기 픽업 유닛(10)의 수평 상태 검사에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있으므로, 상기 픽업 유닛(10)을 포함하는 다이 본딩 설비의 전체적인 가동율이 크게 향상될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 픽업 유닛 20 : 콜릿
30 : 픽업 헤드 40 : 픽업 바디
50 : 다이 이송부 60 : 엔코더
70 : 수평 검사 지그 80 : 기준핀
102 : 패널 104 : 개구
106 : 콜릿 수납홈 108 : 지그 수납홈
110 : 걸림 부재

Claims (4)

  1. 다이를 흡착하기 위한 콜릿과, 상기 콜릿이 장착되는 픽업 헤드, 그리고 상기 픽업 헤드가 장착되며 상기 다이를 이동시키기 위한 다이 이송부에 수직 방향으로 탄성적인 이동이 가능하도록 장착되는 픽업 바디를 포함하는 픽업 유닛의 수평 상태를 검사하는 방법에 있어서,
    상기 콜릿을 대신하여 상기 픽업 헤드에 플레이트 형태의 수평 검사 지그를 장착하는 단계;
    고정된 높이를 갖는 기준핀에 상기 수평 검사 지그의 제1 지점을 밀착시키되 상기 다이 이송부와 상기 픽업 유닛 사이에서 수직 방향으로 탄성적인 제1 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계;
    상기 수평 검사 지그의 제2 지점에 대하여 탄성적인 제2 변위가 발생되도록 상기 픽업 유닛을 하강시키는 단계; 및
    상기 제1 변위와 제2 변위를 비교하여 상기 픽업 유닛의 수평 상태를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 지점 및 제2 지점을 포함하여 사각 형태를 이루는 제3 및 제4 지점에 대하여 제3 및 제4 변위들을 측정하는 단계; 및
    상기 제1 내지 제4 변위들을 비교하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 변위들은 엔코더를 이용하여 측정되는 것을 특징으로 하는 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 픽업 헤드에는 영구자석이 구비되며 상기 수평 검사 지그는 상기 픽업 헤드에 상기 영구자석의 자기력에 의해 파지되도록 자성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 픽업 유닛의 수평 상태 검사 방법.
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