KR20140001366A - Apparatus and method of testing display device - Google Patents

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Abstract

An inspection apparatus and an inspection method capable of rapidly inspecting stains of a display device with low costs are provided. An inspection method for a display device according to the present invention includes: a step of mounting an inspection target on a stage; a step of inspecting the exterior and a pattern of the inspection target using a line camera adjusted to an in-focus mode or an out-focus mode; and a step of inspecting stains of the inspection target using the line camera adjusted to the out-focus mode. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S10) Loading the inspection target on the stage; (S12) Controlling the line camera to be an in-focus mode; (S14) First scanning the inspection target with the line camera; (S16) Determining cell failure of the inspection target; (S18) Controlling the line camera to be an in-focus mode; (S20) Second scanning the inspection target with the line camera; (S22) Determining the exterior of the top of the inspection target; (S24) Controlling the line camera to be an out-focus mode; (S26) Third scanning the inspection target with the line camera; (S28) Determining stain failure of the inspection target

Description

표시 장치의 검사 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF TESTING DISPLAY DEVICE}Inspection device and method of display device {APPARATUS AND METHOD OF TESTING DISPLAY DEVICE}

본 발명은 저비용 및 고속으로 얼룩을 검사할 수 있는 표시 장치의 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus and method for a display device capable of inspecting spots at low cost and at high speed.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence : EL) 표시 장치 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. The flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electro-luminescence display. .

이러한 평판 표시 장치는 다수의 패터닝 공정을 통해 제조된 후 광학 검사 장비를 이용하여 불량 유무를 검사한다.Such flat panel display devices are manufactured through a plurality of patterning processes and then inspected for defects using optical inspection equipment.

종래에는 라인 카메라(line camera)를 이용하여 표시 장치의 상부 외관 및 패턴 불량을 검사한 후, 에어리어 카메라(area camera)를 이용하여 표시 장치의 얼룩 불량을 검출한다. 이 경우, 라인 카메라와 에어리어 카메라를 구비하여야 하므로 종래에는 검사 장비 내의 검사 구간이 커져 검사 속도가 느리고, 에어리어 카메라를 추가로 구비하므로 비용이 손실이 발생되는 문제점이 있다. 또한, 얼룩 불량 검출시 에어리어 카메라를 이용하여 얼룩을 검출하고 복잡한 알고리즘을 통해 이미지 처리 후 얼룩 불량 유무를 판단하므로 검사 공정이 복잡한 문제점이 있다.Conventionally, after inspecting the top appearance and pattern defect of the display device using a line camera, the spot defect of the display device is detected using an area camera. In this case, since the line camera and the area camera should be provided, the inspection interval in the inspection equipment is large, and thus the inspection speed is slow, and since the area camera is additionally provided, there is a problem in that cost is lost. In addition, there is a problem in that the inspection process is complicated because the spot detection is detected using an area camera and the presence or absence of the defective spot after image processing is determined through a complex algorithm.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 저비용 및 고속으로 얼룩을 검사할 수 있는 표시 장치의 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention is to provide an inspection apparatus and method of the display device that can inspect the stain at low cost and high speed.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 장치의 검사 장치는 검사 대상물이 안착되는 스테이지와; 상기 검사 대상물을 라인 단위로 스캔하는 라인 카메라를 구비하는 촬상부와; 상기 검사 대상물의 셀 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드로 조정하고, 상기 상부 외관 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정하고, 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 라인 카메라를 아웃 포커스 모드로 조정하는 촬상 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the inspection apparatus of the display device according to the present invention includes a stage on which the inspection object is seated; An imaging unit having a line camera for scanning the inspection object in line units; Adjust the line camera to an in-focus mode when inspecting cell defects of the inspection object, and adjust the line camera to an in-focus mode or out-focus mode when inspecting the upper appearance defect, and the line when inspecting a defect defect of the inspection object. And an imaging control unit for adjusting the camera to the out-focus mode.

상기 촬상 제어부는 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리를 조절하는 이동 제어부인 것을 특징으로 한다.The imaging control unit is a movement control unit for adjusting the separation distance between the line camera and the inspection object.

상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 길어지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 상향시키는 것을 특징으로 한다.The movement controller may increase the line camera to the out-focus mode so that the distance between the line camera and the inspection object becomes longer than in the in-focus mode during the inspection of the appearance failure of the inspection object.

상기 검사 대상물의 상기 상부 외관 불량 검사시 동축 낙사 조명을 이용하며, 상기 동축 낙사 조명은 상기 라인 카메라의 중심축과 수직하게 배열되는 광원과; 상기 광원에서 생성되는 광을 상기 카메라의 중심축과 동축으로 반사시키는 빔스플리터와; 상기 광원과 빔스플리터 사이에 위치하여 상기 광원에서 생성된 광을 균일하게 확산시키는 확산 부재를 구비하며, 상기 확산 부재는 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.A coaxial falloff light for inspecting the upper appearance defect of the inspection object, wherein the coaxial falloff light is arranged to be perpendicular to the central axis of the line camera; A beam splitter for reflecting light generated by the light source coaxially with the central axis of the camera; Located between the light source and the beam splitter is provided with a diffusion member for uniformly diffusing the light generated by the light source, the diffusion member is characterized in that formed of acrylic material.

상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 짧아지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 하향시키는 것을 특징으로 한다.The movement control unit may lower the line camera to the out focus mode so that the separation distance between the line camera and the inspection object is shorter than in the in focus mode when inspecting a defect of the inspection object.

상기 촬상 제어부는 상기 라인 카메라의 초점 조절링인 것을 특징으로 한다.The imaging controller may be a focusing ring of the line camera.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 장치의 검사 방법은 검사 대상물을 스테이지 상에 안착시키는 단계와; 인 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 셀 불량을 검사하는 단계와; 상기 인 포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계와; 아웃 포커스 모드로 조정된 상기 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the inspection method of the display device according to the present invention comprises the steps of mounting the inspection object on the stage; Inspecting cell defects of the inspection object using a line camera adjusted to an in focus mode; Inspecting an upper appearance defect of the inspection object by using the line camera adjusted to the in focus mode or the out focus mode; And inspecting unevenness of the inspection object by using the line camera adjusted to the out focus mode.

본 발명은 아웃 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사함으로써 에어리어 카메라를 불필요해져 고속 및 저비용으로 얼룩을 검출할 수 있으며 별도의이미지 처리없이 고속으로 얼룩을 검출할 수 있다.According to the present invention, by inspecting the defect of the inspection object by using the line camera adjusted in the out-focus mode, the area camera is unnecessary, and the stain can be detected at high speed and low cost, and the stain can be detected at high speed without additional image processing. .

또한, 본 발명은 확산 부재를 가지는 동축 낙사 조명과, 아웃 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 검사 대상물의 외관 불량을 검사함으로써 외관 불량과 정상 영역에 대한 변별력이 증가되어 검출력이 향상된다.In addition, the present invention improves detection power by distinguishing between the appearance defect and the normal region by inspecting appearance defects of the inspection object by using coaxial falloff illumination having a diffusion member and a line camera adjusted to the out-focus mode.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 검사장치의 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4a 내지 도 4c는 도 1에 도시된 검사 장치로 촬영된 검사 대상물을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.
도 6a 및 6b는 도 5에 도시된 확산 부재의 유무에 따라 촬영된 검사 대상물을 나타내는 도면들이다.
도 7은 도 5에 도시된 검사 장치를 통해 촬영된 검사 대상물을 나타내는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.1 is a perspective view illustrating an inspection apparatus of a display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing another embodiment of the inspection apparatus shown in FIG.
3 is a flowchart illustrating a test method of a display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
4A to 4C are diagrams illustrating an inspection object photographed by the inspection apparatus illustrated in FIG. 1.
5 is a perspective view illustrating an inspection apparatus of a display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
6A and 6B are diagrams illustrating an inspection object photographed according to the presence or absence of the diffusion member illustrated in FIG. 5.
FIG. 7 is a diagram illustrating an inspection object photographed by the inspection apparatus illustrated in FIG. 5.
8 is a flowchart illustrating a test method of a display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating an inspection apparatus of a display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 검사 장치는 표시 장치인 검사 대상물(120)이 안착되는 스테이지(122), 촬상부(110) 및 검사 표시부(도시하지 않음)를 포함한다.The inspection apparatus illustrated in FIG. 1 includes a stage 122 on which an inspection object 120, which is a display device, is mounted, an imaging unit 110, and an inspection display unit (not shown).

스테이지(122) 상에는 검사 대상물(120)이 안착된다. 이 때, 스테이지(122) 상에 안착된 검사 대상물(120)은 촬상부(110)가 고정된 상태에서 이동 제어부(116)를 통해 스테이지(122)의 일측에서 타측으로 이동하게 되거나, 스테이지(122) 상에 안착된 검사 대상물(120)이 고정된 상태에서 촬상부(110)가 검사 대상물(120)의 일측에서 타측으로 이동하게 된다.The inspection object 120 is seated on the stage 122. At this time, the inspection object 120 seated on the stage 122 is moved from one side of the stage 122 to the other side through the movement control unit 116 in a state where the imaging unit 110 is fixed, or the stage 122. The imaging unit 110 is moved from one side of the inspection object 120 to the other side in a state where the inspection object 120 mounted on the) is fixed.

촬상부(110)는 라인 카메라(114) 및 고정 프레임(112)을 포함한다.The imaging unit 110 includes a line camera 114 and a fixed frame 112.

라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 촬영하며, 촬영된 영상은 검사 표시부로 제공된다. 한편, 한 라인 단위로 스캔하는 라인 스캔 카메라(114) 대신에 다수개의 라인을 스캔하여 다수개의 라인으로부터 획득한 영상을 누적하여 평균화시킬 수 있는 시간 지연 적분(Time Delay and Integration; TDI)카메라를 사용할 수도 있다.The line camera 114 photographs the surface of the inspection object 120 in line units, and the photographed image is provided to the inspection display unit. Instead of the line scan camera 114 scanning one line unit, a time delay and integration (TDI) camera that scans a plurality of lines and accumulates and averages the images obtained from the plurality of lines may be used. It may be.

이러한 라인 카메라(114)는 인 포커스 모드(In Focus Mode)로 설정된 후 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 1차 촬영하여 검사 대상물(120)의 셀 불량 검사를 실시하고, 라인 카메라(114)는 설정된 인 포커스 모드를 유지한 상태에서, 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 2차 촬영하여 검사 대상물(120)의 상부 외관 불량 검사를 실시하고, 라인 카메라(110)는 아웃 포커스 모드(Out Focus Mode)로 설정된 후 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 3차 촬영하여 검사 대상물(120)의 얼룩 불량 검사를 실시한다.After the line camera 114 is set to In Focus Mode, the surface of the inspection object 120 is first photographed in line units to perform cell defect inspection of the inspection object 120, and the line camera 114 is performed. In the state in which the set in-focus mode is maintained, the second surface of the surface of the inspection object 120 is photographed secondly in a line unit to perform a defect inspection of the upper appearance of the inspection object 120, and the line camera 110 performs the out-focus mode. After setting to (Out Focus Mode), the surface of the inspection object 120 is photographed three times in a line unit to perform stain defect inspection of the inspection object 120.

고정 프레임(112)은 라인 카메라(114)를 고정하며, 고정 프레임(112)에 고정된 라인 카메라(114)는 촬상 제어부인 이동 제어부(116)에 의해 상하좌우로 이동하게 된다. The fixed frame 112 fixes the line camera 114, and the line camera 114 fixed to the fixed frame 112 is moved up, down, left, and right by the movement controller 116, which is an imaging controller.

특히, 이동 제어부(116)는 라인 카메라(114)를 상하로 이동시키는 모터로서, 라인 카메라(114)와 검사 대상물 간의 이격 거리(d11,d12)를 조절하는 촬상 제어부 역할을 한다. 이에 따라, 인 포커스 모드시 인 포커스 값과, 아웃 포커스 모드시 아웃 포커스 값이 세팅되면, 검사 공정시 라인 카메라(114)는 자동으로 조정될 수 있다. In particular, the movement controller 116 is a motor for moving the line camera 114 up and down, and serves as an imaging controller to adjust the separation distances d11 and d12 between the line camera 114 and the inspection object. Accordingly, when the in-focus value in the in-focus mode and the out-focus value in the out-focus mode are set, the line camera 114 can be automatically adjusted during the inspection process.

구체적으로, 인 포커스 모드로 조정되어 인 포커스 지점(IF)에 위치하는 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120) 간의 이격 거리(d11)는 아웃 포커스 모드로 조정되어 아웃 포커스 지점(OF)에 위치하는 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 이격거리(d12)보다 길다.Specifically, the separation distance d11 between the line camera 114 and the inspection object 120 that is adjusted to the in-focus mode IF and positioned at the in-focus point IF is adjusted to the out-focus mode to be positioned at the out-focus point OF. It is longer than the distance d12 between the line camera 114 and the inspection object 120.

한편, 라인 카메라(114)는 이동 제어부(116) 이외에도 촬상 제어부인 초점 조절링(도시하지 않음)을 통해서 인 포커스 모드 및 아웃 포커스 모드로 조정될 수 있다.Meanwhile, the line camera 114 may be adjusted to the in-focus mode and the out-focus mode through a focus adjustment ring (not shown), which is an imaging controller, in addition to the movement controller 116.

검사 표시부(도시하지 않음)는 라인 카메라(114)로부터 촬영된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 불량 여부를 정확히 파악하고 보정한다.The inspection display unit (not shown) analyzes the image photographed by the line camera 114 to accurately identify and correct the inspection object 120.

한편, 본 발명에 따른 검사 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 라인 카메라를 이용하여 검사 대상물(120)의 셀 불량, 상부 외관 불량 및 얼룩 불량 검사를 할 수 있다. 이외에도 도 2에 도시된 바와 같이 2개의 라인 카메라(114,134)를 이용하여 검사 대상물(120)의 셀 불량, 상부 외관 불량 및 얼룩 불량을 검사 할 수도 있다. 이 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 제1 라인 카메라(114)를 이용하여 셀불량 및 상부 외관 불량 검사를 순차적으로 실시하고, 동시에 제2 라인 카메라(134)를 이용하여 얼룩 불량 검사를 실시할 수도 있다.On the other hand, the inspection apparatus according to the present invention, as shown in Figure 1 can perform a cell defect, upper appearance defect and stain defect inspection of the inspection object 120 using one line camera. In addition, as shown in FIG. 2, cell defects, upper appearance defects, and stain defects of the inspection object 120 may be inspected using the two line cameras 114 and 134. In this case, as shown in FIG. 2, the cell defect and the upper appearance defect inspection are sequentially performed using the first line camera 114, and at the same time, the defect defect inspection is performed using the second line camera 134. It may be.

도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 검사 장치를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating an inspection method using the inspection apparatus illustrated in FIGS. 1 and 2.

먼저, 스테이지(122) 상에 검사 대상물이 로딩된다(S10단계). 그런 다음, 라인 카메라(114)를 지정된 위치로 이동시킴으로써 라인 카메라(114)는 인 포커스 모드로 조정된다(S12단계). 즉, 라인 카메라(114)의 초점이 검사 대상물(120)의 표면에 형성되도록 검사 대상물 상에 라인 카메라(114)가 1차 정렬된다. 이를 위해, 라인 카메라(114)의 초점 조절링을 이용하거나 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리(d11)를 조정한다. 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정하는 경우, 라인 카메라(114)를 상하로 이동시키거나 검사 대상물(120)이 안착된 스테이지(122)를 상하로 이동시킴으로써 라인 카메라(114)는 인 포커스 지점(IF)에 위치하게 된다. 그런 다음, 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 1차 촬영하고(S14단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 셀 불량을 판단한다(S16단계).First, the inspection object is loaded on the stage 122 (step S10). Then, the line camera 114 is adjusted to the in-focus mode by moving the line camera 114 to the designated position (step S12). That is, the line camera 114 is primarily aligned on the inspection object such that the focal point of the line camera 114 is formed on the surface of the inspection object 120. To this end, the focusing ring of the line camera 114 is used or the distance d11 between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted. When adjusting the distance between the line camera 114 and the inspection object 120, the line camera 114 by moving the line camera 114 up and down or by moving the stage 122 on which the inspection object 120 is seated up and down. ) Is positioned at the in-focus point IF. Then, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 in line units to first photograph the surface of the inspection object 120 (step S14), and the photographed image is displayed on the inspection display unit. The cell defect of the test object 120 is determined by analyzing the image displayed on the test display unit (S16).

그런 다음, 라인 카메라(114)는 지정된 위치로 이동함으로써 라인 카메라(114)는 인 포커스 모드로 조정된다(S18단계). 그런 다음, 측광 조명, 동축 조명 및 반사 조명 중 어느 하나를 이용한 조건에서 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 2차 촬영하고(S20단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 상부 외관 불량을 판단한다(S22단계). Then, the line camera 114 is adjusted to the in-focus mode by moving the line camera 114 to the designated position (step S18). Then, under conditions using any one of metering illumination, coaxial illumination, and reflective illumination, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 line by line to take a second image of the surface of the inspection object 120 ( Step S20), the captured image is displayed on the inspection display unit. The image displayed on the inspection display unit is analyzed to determine an upper appearance defect of the inspection object 120 (S22).

그런 다음, 라인 카메라(114)는 아웃 포커스 모드로 조정된다(S24단계). 즉, 라인 카메라(114)의 초점이 피사계 심도를 벗어난 영역인 검사 대상물(120)의 내부, 예를 들어 유기 전계 발광 장치인 검사 대상물(120)의 내부에 위치하는 발광층에 초점이 형성되도록 검사 대상물(120) 상에 라인 카메라(114)가 정렬된다. 이를 위해, 라인 카메라(114)의 초점 조절링을 이용하거나 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리(d12)를 조정한다. 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정하는 경우, 라인 카메라(114)가 인 포커스 지점(IF)에 위치할 때보다 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리가 짧아지도록 라인 카메라(114)를 검사 대상물(120) 쪽으로 하향시키거나 검사 대상물(120)을 라인 카메라(114)쪽으로 상향시킴으로써 라인 카메라(114)는 아웃 포커스 지점(OF)에 위치하게 된다. 아웃 포커스 지점(OF)에 위치하는 라인 카메라(114)는 인 포커스 지점(IF)에서 위치할 때보다 약 1000~2000㎛로 하향된다.Then, the line camera 114 is adjusted to the out focus mode (step S24). That is, the inspection object such that the focus of the line camera 114 is formed in the light emitting layer positioned inside the inspection object 120, which is an area outside the depth of field, for example, the inspection object 120 which is an organic electroluminescent device. Line camera 114 is aligned on 120. To this end, the focusing ring of the line camera 114 is used or the distance d12 between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted. When adjusting the distance between the line camera 114 and the inspection object 120, the distance between the line camera 114 and the inspection object 120 is shorter than when the line camera 114 is located at the in-focus point IF. The line camera 114 is positioned at the out focus point OF by lowering the line camera 114 toward the inspection object 120 or raising the inspection object 120 toward the line camera 114. The line camera 114 positioned at the out focus point OF is downwardly lowered to about 1000 to 2000 μm than when positioned at the in focus point IF.

그런 다음, 측광 조명, 동축 조명 및 반사 조명 중 어느 하나를 이용한 조건에서 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 3차 촬영하고(S26단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 얼룩 불량을 판단한다(S28단계).Then, under conditions using any one of metering illumination, coaxial illumination, and reflective illumination, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 line by line to take a third photograph of the surface of the inspection object 120. In operation S26, the captured image is displayed on the inspection display unit. By analyzing the image displayed on the inspection display to determine the defect of the inspection object (120) (S28).

한편, 라인 카메라(114)를 인 포커스 모드로 조정한 후 얼룩성 불량을 검사하게 되면, 백색을 구현하는 검사 대상물(120)의 최대 휘도와 최소 휘도차가 크게 촬상됨으로써 검사 대상물(120)에 규칙적으로 형성된 금속 패턴들이 명확하게 표시되어 도 4a에 도시된 바와 같이 모아레 현상이 발생된다. 이에 따라, 인 포커스 모드로 조정된 라인 카메라(114)를 통해서는 검사 대상물(120)의 얼룩성 불량의 이미지를 검출할 수 없다. 반면에, 본 발명과 같이 라인 카메라(114)를 아웃 포커스 모드로 조정한 후 얼룩성 불량을 검사하게 되면, 검사 대상물(120)의 최대 휘도와 최소 휘도차가 작게 촬상됨으로써 검사 대상물(120)의 픽셀과 픽셀의 경계가 무너진 영상을 얻게 된다. 이에 따라, 검사 대상물(120)의 정상 영역에서는 도 4b에 도시된 바와 같이 검사 대상물(120)의 표면이 회색 또는 백색으로 보이게 되며, 검사 대상물(120)의 불량 영역에서는 도 4c에 도시된 바와 같이 회색 또는 백색으로 변한 검사 대상물(120)의 표면에서 얼룩성 불량의 검출이 용이해진다.On the other hand, when the line camera 114 is inspected for unevenness after adjusting the in-focus mode, the difference between the maximum brightness and the minimum brightness of the inspection object 120 that implements white is largely imaged, thereby regularly inspecting the inspection object 120. The formed metal patterns are clearly displayed to generate a moiré phenomenon as shown in FIG. 4A. Accordingly, the image of the unevenness of the inspection object 120 cannot be detected through the line camera 114 adjusted to the in-focus mode. On the other hand, when the spot camera is inspected after adjusting the line camera 114 to the out-focus mode as in the present invention, the difference between the maximum brightness and the minimum brightness of the inspection object 120 is small and the pixels of the inspection object 120 are imaged. You will get an image where the boundary between and pixels is broken. Accordingly, in the normal region of the inspection object 120, the surface of the inspection object 120 appears gray or white as shown in FIG. 4B, and in the defective region of the inspection object 120, as shown in FIG. 4C. It is easy to detect the unevenness in the surface of the inspection object 120 that turned gray or white.

도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 표시 장치의 검사 장치를 나타내는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating an inspection apparatus of a display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 검사 장치는 도 1 및 도 2에 도시된 검사 장치와 대비하여 확산 부재(154)를 포함하는 동축 낙사 조명(150)을 추가로 구비하는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다.The inspection apparatus shown in FIG. 5 has the same components except that it further comprises a coaxial fall light 150 comprising a diffusion member 154 as compared to the inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2. .

동축 낙사 조명(150)은 라인 카메라(114)의 중심축과 동축으로 검사 대상물(120)에 광을 조사한다. 이를 위해, 동축 나사 조명(150)은 광원(152), 확산부재(154), 집광렌즈(156) 및 빔스플리터(158)를 구비한다.The coaxial fall-off illumination 150 irradiates light to the inspection object 120 coaxially with the central axis of the line camera 114. To this end, the coaxial screw illumination 150 includes a light source 152, a diffusion member 154, a condenser lens 156, and a beam splitter 158.

광원(152)은 라인 카메라(114)와 수직하고, 검사 대상물(120)과 수평하게 배치되어 라인 카메라(114)의 중심축과 수직한 축선 상으로 출사되는 광을 생성한다. 이러한 광원(152)은 예를 들어 광파이버 등으로 형성된다.The light source 152 is perpendicular to the line camera 114 and is disposed horizontally to the inspection object 120 to generate light emitted on an axis perpendicular to the central axis of the line camera 114. The light source 152 is formed of, for example, an optical fiber or the like.

확산 부재(154)는 광원(152)과 집광 렌즈(156) 사이에 아크릴 재질로 형성된다. 이러한 확산 부재(154)는 광원(152)에서 생성된 광을 균일하게 확산시킴으로써, 확산 부재(154)를 포함하는 동축 낙사 조명(150)에서 생성된 광에 의한 검사 대상물(120) 내에 형성된 금속성 패턴(126)의 반사율을 저감시킨다. 특히, 종래에서는 동축 낙사 조명을 통해 검사 대상물의 금속성 패턴에 광이 조사되면, 도 6a에 도시된 바와 같이 금속성 패턴의 반사율이 높아 밝게 획득된다. 이에 따라, 종래에서는 금속성 패턴의 매우 밝은 밝기로 인해 검출 알고리즘 적용을 위한 별도의 전처리 과정이 필요하며, 이 과정에서 실제 불량 정보가 손실되는 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명에서는 확산 부재(154)를 포함하는 동축 낙사 조명(150)을 통해 검사 대상물의 금속성 패턴(126)에 광이 조사되면, 확산 부재(154)를 통해 확산된 광의 직진성의 약화로 인해 도 6b에 도시된 바와 같이 금속성 패턴(126)의 반사율이 낮아져 정상영역의 밝기를 유지하면서 종래보다 밝기가 약해진다. 이에 따라, 본 발명에서는 별도의 전처리 과정이 불필요해져 고속으로 검사 공정을 진행할 수 있다.The diffusion member 154 is formed of an acrylic material between the light source 152 and the condenser lens 156. The diffusion member 154 uniformly diffuses the light generated by the light source 152, thereby forming a metallic pattern formed in the inspection object 120 by the light generated by the coaxial fall light 150 including the diffusion member 154. The reflectance of 126 is reduced. In particular, in the related art, when light is irradiated onto the metallic pattern of the inspection object through coaxial fall illumination, the reflectance of the metallic pattern is high and is brightly obtained as shown in FIG. 6A. Accordingly, in the related art, due to the very bright brightness of the metallic pattern, a separate preprocessing process for applying a detection algorithm is required, and there is a problem in that actual defect information is lost in this process. However, in the present invention, when light is irradiated to the metallic pattern 126 of the inspection object through the coaxial fall-off illumination 150 including the diffusion member 154, due to the weakening of the linearity of the light diffused through the diffusion member 154. As shown in FIG. 6B, the reflectivity of the metallic pattern 126 is lowered, and thus the brightness is weaker than before while maintaining the brightness of the normal region. Accordingly, in the present invention, a separate pretreatment process is unnecessary, so that the inspection process can be performed at high speed.

집광 렌즈(156)는 확산 부재(154)를 통과하는 광을 집광한다The condenser lens 156 condenses light passing through the diffusion member 154.

빔스플리터(158)는 라인 카메라(114)와, 라인 카메라(114)에 의해 촬영되는 촬영 구역 사이에서 라인 카메라(114)와 동일한 축 상에 배치된다. 이러한 빔스플리터(158)는 확산 부재(154)를 통과한 광을 반사시켜 검사 대상물(120)에 조사하며, 검사 대상물(120)에서 반사된 광을 라인 카메라(114)로 입사시킨다.The beam splitter 158 is disposed on the same axis as the line camera 114 between the line camera 114 and the imaging area photographed by the line camera 114. The beam splitter 158 reflects the light passing through the diffusion member 154 to irradiate the inspection object 120, and injects the light reflected from the inspection object 120 into the line camera 114.

라인 카메라(114)는 빔스플리터(158)의 상측에 빔 스플리터(158)를 사이에 두고 검사 대상물(120)과 마주보는 방향으로 위치한다. 이러한 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)에 찍힘 또는 스크래치 등의 외관 불량(128)이 있는 경우, 그 불량 영역에서 빔스플리터(158)를 통과한 광이 산란됨으로써 상대적으로 어둡게 촬영되며, 정상 영역에서는 산란 현상이 발생되지 않으므로 상대적으로 밝게 촬영된다. 이에 따라, 라인 카메라(110)를 통해 검사 대상물(120)이 밝게 촬영되는 영역은 정상 영역으로 판단되며, 검사 대상물(120)이 어둡게 촬영되는 영역은 불량 영역으로 판단된다. The line camera 114 is positioned in a direction facing the inspection object 120 with the beam splitter 158 interposed between the beam splitter 158. When the line camera 114 has an appearance defect 128 such as a stamp or a scratch on the inspection object 120, the light passing through the beam splitter 158 is scattered in the defective region so that the image is relatively dark. Since scattering does not occur in the region, the image is taken relatively brightly. Accordingly, the area where the inspection object 120 is photographed brightly through the line camera 110 is determined to be a normal region, and the region where the inspection object 120 is photographed dark is determined to be a defective region.

또한, 라인 카메라(114)는 인 포커스 지점(IF)보다 높은 아웃 포커스 지점(OF)에서 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 촬영하여 검사 대상물(120)의 상부 외관 불량 검사를 실시한다. 이와 같이, 라인 카메라(114)를 아웃 포커스 모드로 조정한 후 검사 대상물(120)의 상부 외관 불량 검사하게 되면, 검사 대상물(120)의 최대 휘도와 최소 휘도차가 작게 촬영됨으로써 도 7에 도시된 바와 같이 검사 대상물(120)의 찍힘 및 스크래치 등과 같은 불량과 정상 영역에 대한 변별력이 증가되어 외관 불량 검출이 용이해진다.In addition, the line camera 114 photographs the surface of the inspection object 120 in units of lines at an out focus point OF higher than the in-focus point IF to perform an upper appearance defect inspection of the inspection object 120. As described above, when the line camera 114 is adjusted to the out-focus mode and the upper appearance defect inspection of the inspection object 120 is performed, the difference between the maximum luminance and the minimum luminance of the inspection object 120 is taken to be small, as shown in FIG. 7. As described above, the discrimination ability between the defect and the normal region, such as the stamping and scratching of the inspection object 120, is increased, thereby facilitating the appearance defect detection.

도 8은 도 5에 도시된 검사 장치를 이용한 표시 장치의 외관 검사를 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 8 is a flowchart illustrating an appearance inspection of a display device using the inspection device illustrated in FIG. 5.

먼저, 스테이지(122) 상에 검사 대상물(120)이 로딩된다(S30단계). 그런 다음, 라인 카메라(114)를 지정된 위치로 이동시킴으로써 라인 카메라(114)는 인 포커스 모드로 조정된다(S32단계). 즉, 라인 카메라(114)의 초점이 검사 대상물(120)의 표면에 형성되도록 검사 대상물(120) 상에 라인 카메라(114)가 1차 정렬된다. 이를 위해, 라인 카메라(114)의 초점 조절링을 이용하거나 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리(d21)를 조정한다. 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정하는 경우, 라인 카메라(114)를 상하로 이동시키거나 검사 대상물(120)이 안착된 스테이지(122)를 상하로 이동시킴으로써 라인 카메라(114)는 인 포커스 지점(IF)에 위치하게 된다. 그런 다음, 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 1차 촬영하고(S34단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 셀 불량을 판단한다(S36단계).First, the inspection object 120 is loaded on the stage 122 (step S30). Then, by moving the line camera 114 to the designated position, the line camera 114 is adjusted to the in focus mode (step S32). That is, the line camera 114 is primarily aligned on the inspection object 120 so that the focal point of the line camera 114 is formed on the surface of the inspection object 120. To this end, the focusing ring of the line camera 114 is used or the distance d21 between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted. When adjusting the distance between the line camera 114 and the inspection object 120, the line camera 114 by moving the line camera 114 up and down or by moving the stage 122 on which the inspection object 120 is seated up and down. ) Is positioned at the in-focus point IF. Then, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 in line units to first photograph the surface of the inspection object 120 (step S34), and the captured image is displayed on the inspection display unit. The cell defect of the inspection object 120 is determined by analyzing the image displayed on the inspection display unit (S36).

그런 다음, 라인 카메라(114)를 지정된 위치로 이동시킴으로써 라인 카메라(114)는 아웃 포커스 모드로 조정된다(S38단계). 이를 위해, 라인 카메라(114)의 초점 조절링을 이용하거나 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리(d22)를 조정한다. 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정하는 경우, 라인 카메라(114)를 인 포커스 지점(IF)일 때보다 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리가 길어지도록 라인 카메라(114)는 아웃 포커스 지점(OF)에 위치하게 된다. 아웃 포커스 지점(OF)에 위치하는 라인 카메라(114)는 인 포커스 지점(IF)에서 위치할 때보다 약 300~1000㎛, 바람직하게는 500㎛로 상향된다.Then, by moving the line camera 114 to the designated position, the line camera 114 is adjusted to the out focus mode (step S38). To this end, the focusing ring of the line camera 114 is used or the distance d22 between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted. When the distance between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted, the line camera 114 is lined so that the distance between the line camera 114 and the inspection object 120 is longer than that at the in-focus point IF. The camera 114 is located at the out focus point OF. The line camera 114 positioned at the out focus point OF is upwardly about 300 to 1000 μm, preferably 500 μm, than when positioned at the in focus point IF.

그런 다음, 확산 부재(154)를 포함하는 동축 낙사 조명(150)을 통해 검사 환경을 밝게 한 후, 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 2차 촬영하고(S40단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 상부 외관의 불량 여부를 판단한다(S42단계).Then, after brightening the inspection environment through the coaxial fall-off illumination 150 including the diffusion member 154, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 in units of lines to inspect the inspection object 120. The surface of the second photographed (S40), and the photographed image is displayed on the inspection display. The image displayed on the inspection display unit is analyzed to determine whether or not the upper appearance of the inspection object 120 is defective (step S42).

그런 다음, 라인 카메라(114)는 아웃 포커스 모드로 조정된다(S44단계). 즉, 라인 카메라(114)의 초점이 피사계 심도를 벗어난 영역인 검사 대상물(120)의 내부, 예를 들어 유기 전계 발광 장치인 검사 대상물(120)의 내부에 위치하는 발광층에 초점이 형성되도록 검사 대상물(120) 상에 라인 카메라(114)가 정렬된다. 이를 위해, 라인 카메라(114)의 초점 조절링을 이용하거나 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정한다. 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리를 조정하는 경우, 라인 카메라(114)가 인 포커스 지점(IF)에 위치할 때보다 라인 카메라(114)와 검사 대상물(120)의 거리가 짧아지도록 라인 카메라(114)를 아웃 포커스 지점(OF)에 위치시킨다. 즉, 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120) 쪽으로 하향되거나 검사 대상물(120)은 라인 카메라(114)쪽으로 상향된다. Then, the line camera 114 is adjusted to the out focus mode (step S44). That is, the inspection object such that the focus of the line camera 114 is formed in the light emitting layer positioned inside the inspection object 120, which is an area outside the depth of field, for example, the inspection object 120 which is an organic electroluminescent device. Line camera 114 is aligned on 120. To this end, the focusing ring of the line camera 114 is used or the distance between the line camera 114 and the inspection object 120 is adjusted. When adjusting the distance between the line camera 114 and the inspection object 120, the distance between the line camera 114 and the inspection object 120 is shorter than when the line camera 114 is located at the in-focus point IF. Position the line camera 114 at the out focus point OF. That is, the line camera 114 is downward toward the inspection object 120 or the inspection object 120 is upward toward the line camera 114.

그런 다음, 라인 카메라(114)는 검사 대상물(120)의 표면을 라인 단위로 스캐닝하여 검사 대상물(120)의 표면을 3차 촬영하고(S46단계), 촬영된 영상은 검사 표시부에 표시된다. 검사 표시부에 표시된 영상을 분석하여 검사 대상물(120)의 얼룩 불량을 판단한다(S48단계).Then, the line camera 114 scans the surface of the inspection object 120 in units of lines to take a third image of the surface of the inspection object 120 (step S46), and the captured image is displayed on the inspection display unit. By analyzing the image displayed on the inspection display to determine the defect of the inspection object (120) (S48).

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

112 : 고정부 114 : 라인 카메라
116 : 이동 제어부 120 : 검사 대상부
122 : 스테이지112: fixing part 114: line camera
116: movement control unit 120: inspection target unit
122: stage

Claims (11)

검사 대상물이 안착되는 스테이지와;
상기 검사 대상물을 라인 단위로 스캔하는 라인 카메라를 구비하는 촬상부와;
상기 검사 대상물의 셀 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드로 조정하고, 상기 상부 외관 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정하고, 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 라인 카메라를 아웃 포커스 모드로 조정하는 촬상 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.A stage on which the inspection object is seated;
An imaging unit having a line camera for scanning the inspection object in line units;
Adjust the line camera to an in-focus mode when inspecting cell defects of the inspection object, and adjust the line camera to an in-focus mode or out-focus mode when inspecting the upper appearance defect, and the line when inspecting a defect defect of the inspection object. And an imaging control unit for adjusting the camera to the out-focus mode. 제 1 항에 있어서,
상기 촬상 제어부는
상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리를 조절하는 이동 제어부인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.The method of claim 1,
The imaging control unit
And a movement controller configured to adjust a separation distance between the line camera and the inspection object. 제 2 항에 있어서,
상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 길어지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 상향시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.3. The method of claim 2,
And the movement controller is configured to raise the line camera to the out-focus mode so that a distance between the line camera and the inspection object is longer than in the in-focus mode during the inspection of the appearance failure of the inspection object. Inspection device. 제 3 항에 있어서,
상기 검사 대상물의 상기 상부 외관 불량 검사시 동축 낙사 조명을 이용하며,
상기 동축 낙사 조명은
상기 라인 카메라의 중심축과 수직하게 배열되는 광원과;
상기 광원에서 생성되는 광을 상기 카메라의 중심축과 동축으로 반사시키는 빔스플리터와;
상기 광원과 빔스플리터 사이에 위치하여 상기 광원에서 생성된 광을 균일하게 확산시키는 확산 부재를 구비하며,
상기 확산 부재는 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.The method of claim 3, wherein
Using coaxial fall light when inspecting the upper appearance defect of the inspection object,
The coaxial fall lights
A light source arranged perpendicular to the central axis of the line camera;
A beam splitter for reflecting light generated by the light source coaxially with the central axis of the camera;
A diffusion member positioned between the light source and the beam splitter to uniformly diffuse the light generated by the light source,
And the diffusion member is formed of an acrylic material. 제1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 짧아지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 하향시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.The method according to claim 1 or 3,
The movement control unit lowers the line camera to the out-focus mode so that the separation distance between the line camera and the inspection object is shorter than in the in-focus mode when inspecting a defect of the inspection object. Inspection device. 제 1 항에 있어서,
상기 촬상 제어부는 상기 라인 카메라의 초점 조절링인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치.The method of claim 1,
And the imaging controller is a focus adjustment ring of the line camera. 검사 대상물을 스테이지 상에 안착시키는 단계와;
인 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 셀 불량을 검사하는 단계와;
상기 인 포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계와;
아웃 포커스 모드로 조정된 상기 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.Placing the inspection object on the stage;
Inspecting cell defects of the inspection object using a line camera adjusted to an in focus mode;
Inspecting an upper appearance defect of the inspection object by using the line camera adjusted to the in focus mode or the out focus mode;
And inspecting an unevenness of the inspection object by using the line camera adjusted to the out focus mode. 제 7 항에 있어서,
상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계는
상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 길어지도록 상기 라인 카메라를 상향시켜 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.The method of claim 7, wherein
Examining the upper appearance defect of the inspection object
And inspecting an upper appearance defect of the inspection object by raising the line camera so that a distance between the line camera and the inspection object is longer than in the in-focus mode. 제 8 항에 있어서,
상기 라인 카메라의 중심축과 수직하게 배열되는 광원, 상기 광원에서 생성되는 광을 상기 카메라의 중심축과 동축으로 반사시키는 빔스플리터, 상기 광원과 빔스플리터 사이에 위치하여 상기 광원에서 생성된 광을 균일하게 확산시키는 확산 부재를 구비하는 동축 낙사 조명을 이용하여 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하며,
상기 확산 부재는 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.The method of claim 8,
A light source arranged perpendicularly to the central axis of the line camera, a beam splitter for reflecting light generated by the light source coaxially with the central axis of the camera, and positioned between the light source and the beam splitter to uniformly generate the light generated by the light source Inspecting the appearance defect of the upper part of the inspection object by using a coaxial fall light having a diffusion member which diffuses smoothly,
And the diffusion member is formed of an acrylic material. 제 7 항에 있어서,
상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계는
상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 짧아지도록 상기 라인 카메라를 하향시켜 상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.The method of claim 7, wherein
The step of inspecting the stain defect of the inspection object
And inspecting an unevenness of the inspection object by lowering the line camera so that a distance between the line camera and the inspection object is shorter than in the in-focus mode. 제 7 항에 있어서,
상기 라인 카메라의 초점 조절링을 이용하여 상기 라인 카메라를 인 포커스 모드 및 아웃 포커스 모드로 조정하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.The method of claim 7, wherein
And adjusting the line camera to an in-focus mode and an out-focus mode by using a focusing ring of the line camera.
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