KR20130111411A

KR20130111411A - 캔드 모터, 진공 펌프

Info

Publication number: KR20130111411A
Application number: KR1020130033807A
Authority: KR
Inventors: 다카시 호즈미; 나오야 요시다; 요시노리 오지마; 다카노리 이나다; 도시하루 나카자와; 아츠시 오야마
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2012-03-29
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2013-10-10
Also published as: US10320260B2; CN103368311A; EP2645542A2; EP2645542B1; US20130272904A1; TW201351849A; EP2645542A3; KR102042591B1; US20160013698A1; US9614411B2; TWI594551B; US20170179783A1; US9660496B2

Abstract

수지제의 캔의 두께를 저감한다. 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있다.

Description

캔드 모터, 진공 펌프{CANNED MOTOR, VACUUM PUMP}

본 발명은, 캔드 모터에 관한 것이다.

종래부터, 예를 들어 하기 특허 문헌 1에 기재되는 바와 같은 모터를 구비한 진공 펌프가 알려져 있다. 이러한 진공 펌프는, 반도체 제조 공정에 있어서의 진공 챔버 내의 프로세스 가스의 배기 등에 널리 사용되고 있다.

이러한 진공 펌프용의 모터에서는, 진공 펌프를 시일하기 위해서, 모터 스테이터와 모터 로터를 격리하는 로터실이 형성되어 있고, 로터실은, 진공 펌프측에 고정되는 격벽, 즉, 캔에 의해, 모터 스테이터에 대하여 밀폐된 공간으로 되어 있다. 이와 같이, 모터 스테이터와 모터 로터가 캔에 의해 격리된 구조를 구비하는 모터는, 캔드 모터라 칭해진다. 이러한 캔드 모터는, 통상, 진공 펌프의 펌프 로터의 단부에 설치되어, 펌프 로터에 직결된다.

이러한 캔드 모터에서는, 종래, 박육 스테인리스스틸 등의 비자성 금속제의 캔이 사용되어 왔다. 그러나, 비자성 금속제의 캔을 사용한 경우, 모터 스테이터로부터의 자속의 작용에 의해 표면에 와전류가 발생하고, 이때의 손실에 의해 모터 효율이 저하된다. 한편, 수지제의 캔 부재도 사용되고 있지만, 격벽의 기계적 강도를 유지하기 위해서, 금속제 캔 부재에 비해 격벽의 판 두께 치수가 크게 취해진다. 예를 들어, 화학액 송출용 펌프의 경우, 일반적으로는, 모터 스테이터 내측에서의 감압에 의한 압력 변동은 거의 발생하는 일이 없고, 또한, 모터 주위의 대기압측에서 발생하는, 캔 부재에 대한 압축 방향으로의 압력 변동도 근소하다. 오히려, 캔 부재가 외측으로 확장되는 방향의 압력이 가해지는 것이 통상이며, 이 경우, 가해진 압력은, 캔 부재의 외주에 있는 스테이터 코어에 의해 지지되므로, 비교적 박육의 캔 부재이어도 확장 파열하는 일은 없다. 이에 대하여, 진공 펌프용 캔드 모터에서는, 운전 중에 발생하는 로터실 내의 진공 영역과 모터 주위의 대기압의 압력차에 의해, 압축 방향으로의 큰 압력이 캔 부재에 직접 작용한다. 환언하면, 캔 부재가, 로터실 내측을 향하여 큰 인장력을 받는다. 따라서, 진공 펌프용 캔드 모터에서는, 캔 부재가 압축력에 의해 직경 방향 내측으로 좌굴 변형하는 것을 방지하기 위해서, 캔 부재의 두께를 크게 함으로써 캔 부재의 강도를 증가시키고 있다.

수지제의 캔을 구비하는 캔드 모터에서는, 캔의 두께를 지나치게 작게 하면, 캔의 기계적 강도가 저하되어, 진공 펌프의 압력 변동에 견딜 수 없게 될 우려가 발생한다. 이 때문에, 캔의 두께를 작게 하는 것에는 한계가 있다. 수지제의 캔의 두께는, 통상, JIS B8267 등에 기재된 압력 용기 계산 방법에 기초하여 설정되며, 1.5 내지 2.0㎜ 정도이다.

일본 특허 출원 공개 제2005-184958호 공보 일본 특허 출원 공개 제2011-101594호 공보 일본 특허 출원 공개 평11-89158호 공보 일본 특허 출원 공개 제2003-153494호 공보 일본 특허 출원 공개 평10-52002호 공보 일본 특허 출원 공개 평5-223098호 공보 일본 특허 출원 공개 소61-231848호 공보

이상으로부터, 수지제의 캔을 구비한 캔드 모터에 있어서, 모터 스테이터와, 모터 로터의 이격 거리를 저감하여, 모터 특성을 향상시키는 것이 요구된다. 또한, 이러한 캔드 모터에서는, 모터 로터가 펌프 베어링에 의해 외팔보 지지되어 있기 때문에, 펌프 베어링과, 캔드 모터의, 펌프 베어링과 반대측의 단부와의 거리인 오버행이 길어지면, 펌프 주축에 필요로 되는 기계 강도가 증대되거나, 혹은, 진동이 발생하기 쉬워지는 등의 문제가 발생할 우려가 있다. 이 때문에, 캔드 모터의 오버행을 저감하는 것이 요구된다. 또한, 진공 펌프의 일반적인 과제로서, 제조를 행하기 쉽게 하는 것, 유지 관리의 부담을 경감하는 것 등이 요구된다.

본 발명은, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 예를 들어 이하의 형태로서 실현하는 것이 가능하다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은, 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 수지제의 캔을 구비한다. 캔은, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부를 갖는다. 몸통부의 외경측의 면 및 내경측의 면 중 적어도 한쪽은, 회전 중심 축선 방향에 있어서의 스테이터 코어와 대향하는 대향 범위 중의 적어도 일부의 범위에 있어서의 회전 중심 축선에 대한 기울기가 0.5도 미만의 대략 수평 형상이다.

본 발명의 일 실시 형태는, 스테이터의 내주부를 덮는 원통 형상의 수지 격벽에 의해 스테이터와 로터가 격리된, 진공 펌프의 회전 구동에 사용되는 캔드 모터이며, 격벽의 외주부가, 스테이터의 자극 이부(齒部)와 직경 방향에서 맞물리는 맞물림부를 형성하고 있는 캔드 모터로서 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와, 회전 중심 축선 방향 중의, 진공 펌프에 직결되는 측인 제1 측의 몸통부의 개구를 형성하는 개구부를 갖는 캔을 구비한다. 스테이터 코어와 로터는, 캔과, 캔의 개구부의 외면에 둘레 방향을 따라서 배치된 O링에 의해, 기밀하게 격리된다.

도 1은 본 발명의 실시예 1-A로서의 진공 펌프의 개략 구성을 도시하는 설명도.
도 2는 실시예 1-A로서의 캔드 모터의 개략 구성을 도시하는 설명도.
도 3a는 실시예 1-B로서의 캔드 모터의 캔의 구성을 도시하는 설명도.
도 3b는 실시예 1-B로서의 캔드 모터의 캔의 구성을 도시하는 설명도.
도 4 실시예 1-C로서의 캔드 모터의 캔의 구성을 도시하는 부분 단면도.
도 5는 실시예 1-D로서의 캔과 스테이터 코어의 접착 구성을 도시하는 단면도.
도 6은 실시예 1-E로서의 캔과 스테이터 코어의 접착 구성을 도시하는 단면도.
도 7은 실시예 2-A로서의 캔드 모터의 개략 구성을 도시하는 설명도.
도 8은 캔의 제조 방법을 도시하는 설명도.
도 9는 실시예 3-A로서의 격벽의 상세를 도시하는 사시도.
도 10은 격벽의 다른 구성예를 도시하는 사시도.
도 11은 모터의 직경 방향의 단면도.
도 12는 도 11의 부분 확대도.
도 13은 격벽의 상세를 도시하는 부분 단면도.
도 14는 격벽의 맞물림부의 다른 예를 도시하는 부분 단면도.
도 15는 격벽의 맞물림부의 다른 예를 도시하는 부분 단면도.
도 16은 격벽의 맞물림부의 다른 예를 도시하는 부분 단면도.
도 17은 격벽의 맞물림부의 다른 예를 도시하는 부분 단면도.
도 18은 실시예 4-A로서의 캔드 모터의 개략 구성을 도시하는 설명도.
도 19는 비교예로서의 캔드 모터의 개략 구성을 도시하는 설명도.
도 20은 실시예 4-B로서의 캔드 모터의 캔의 구성을 도시하는 설명도.
도 21은 캔을 개구부측으로부터 본 도면.

1. 제1 실시 형태군:

본 발명의 일 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은, 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있다.

이러한 캔드 모터에 의하면, 캔과 스테이터 코어가 접촉하고, 또한, 접착제에 의해 접착되어 있으므로, 캔과 스테이터 코어가 일체적으로 형성된 상태로 된다. 따라서, 스테이터 코어에 대응하는 위치의 캔의 기계적 강도를 스테이터 코어가 보강할 수 있어, 그 만큼, 당해 위치에 있어서의 수지제의 캔의 두께를 저감할 수 있다. 그 결과, 모터 특성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은, 캔의 외표면에 형성된 기초층을 개재하여, 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있고, 기초층은, 캔보다도 접착제와의 친화성이 높은 비도전성 재료에 의해 형성된다.

이러한 캔드 모터에 의하면, 스테이터 코어와 캔의 접착 강도가 향상되므로, 스테이터 코어가 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있다. 그 결과, 수지제의 캔의 두께를 한층 더 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔드 모터는, 또한, 로터의 회전 중심 축선 방향에 있어서의 스테이터 코어의 외측에 배치되는 환상의 보강 부재이며, 캔의 외면과 둘레 방향으로 접촉하는 보강 부재를 구비하고 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 스테이터 코어의 외측의 영역에 있어서도, 캔의 기계적 강도를 보강 부재가 보강할 수 있어, 그 만큼, 당해 위치에 있어서의 수지제의 캔의 두께를 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔은, 접착제에 의해 보강 부재와 접착되어 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 캔과 보강 부재가 일체적으로 형성된 상태로 되므로, 스테이터 코어의 외측의 영역에 있어서의 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있어, 그 만큼, 당해 위치에 있어서의 수지제의 캔의 두께를 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔은, 캔의 외표면에 형성된 기초층을 개재하여, 접착제에 의해 보강 부재와 접착되어 있어도 된다. 기초층은, 보강 부재보다도 접착제와의 친화성이 높은 비도전성 재료에 의해 형성되어 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 보강 부재와 캔의 접착 강도가 향상되므로, 보강 부재가 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있어, 수지제의 캔의 두께를 한층 더 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 보강 부재의 선팽창 계수는, 스테이터 코어의 선팽창 계수 이하이어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 진공 펌프의 구동에 의해 압축열이 발생하여, 보강 부재가 열팽창하였을 때에 보강 부재로부터 캔에 작용하는 응력을 저감할 수 있다. 따라서, 캔에 필요한 기계적 강도를 저감할 수 있고, 그 결과, 캔의 두께를 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 스테이터 코어에 있어서 스테이터 코어의 중심을 향하여 돌출되는 복수의 티스의 내주측의 단부간의 공간에, 티스와 걸어 결합하는 비도전성의 부재가 배치되어 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 접착제의 접착 면적이 커지므로, 스테이터 코어와 캔의 접착 강도를 높일 수 있다. 따라서, 스테이터 코어가 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있어, 수지제의 캔의 두께를 한층 더 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔드 모터는, 또한, 스테이터 코어보다도 로터의 회전 중심 축선 방향으로 길게 형성되는 스테이터 프레임이며, 스테이터 프레임의 내부 공간에 스테이터 코어가 끼워 넣어진 상태에서, 스테이터 코어를 고정하는 스테이터 프레임과, 스테이터 코어의 회전 중심 축선 방향의 양단부로부터 스테이터 코어의 외측을 향하여 돌출된 코일부에 대응하는 영역이며, 스테이터 프레임과 캔 사이의 영역에 형성된 폐쇄 공간에 충전된 수지를 구비하고 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 충전된 수지에 의해, 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있어, 그 만큼, 당해 위치에 있어서의 수지제의 캔의 두께를 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 충전된 수지의 선팽창 계수는, 스테이터 코어의 선팽창 계수 이하이어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 진공 펌프의 구동에 의해 압축열이 발생하여, 충전된 수지가 열팽창하였을 때에, 충전된 수지로부터 보강 부재를 통하여 캔에 작용하는 응력을 저감할 수 있다. 따라서, 캔에 필요한 기계적 강도를 저감할 수 있고, 그 결과, 캔의 두께를 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔은, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와, 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에서, 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부와, 몸통부의, 제1 측과 반대측인 제2 측의 개구를 형성하는 개구부를 가져도 된다. 폐색부는, 제2 측으로부터 제1 측을 향하여, 내경이 축소되는 부위를 포함하고 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 캔의 내부의 용적이 저감되고, 그 결과, 진공 펌프를 구동시켰을 때의, 캔 내부와 진공 펌프(펌프실) 사이에서의 기체 이동량이 저감된다. 즉, 캔의 내부와 펌프실 사이에 설치되는 베어링부를 통과하는 기체량이 저감된다. 따라서, 기체 이동에 수반되는 윤활제의 저감을 억제할 수 있어, 진공 펌프의 유지 관리의 부담을 저감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 폐색부는, 중앙부가, 제2 측으로부터 제1 측을 향하여 부풀어 오른 돔 형상을 가져도 된다. 이러한 형태에 의하면, 폐색부의 기계적 강도를 향상시킬 수 있다. 또한, 그것에 의해, 폐색부의 두께를 저감할 수도 있다. 폐색부의 두께가 저감되면, 몸통부와 폐색부의 두께의 차가 저감되므로, 수지제의 캔을 사출 성형에 의해 제조하기 쉬워진다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 폐색부의 제1 측의 면 및 제2 측의 면 중 적어도 한쪽에 리브가 형성되어 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 폐색부의 기계적 강도를 향상시킬 수 있다. 또한, 그것에 의해, 폐색부의 두께를 저감할 수 있다. 또한, 사출 성형에 있어서는, 성형 후, 탈형할 때에 성형품을 내부 형틀(수형)에 남기게 된다. 이 때문에, 폐색부의 제2 측의 면에 리브가 형성되는 경우에는, 성형품이 내부 형틀에 걸리기 쉬워지고, 그 결과, 수지제의 캔을 사출 성형에 의해 제조하기 쉬워진다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프로서 제공된다. 이 진공 펌프는, 상술한 형태 중 어느 하나의 캔드 모터를 구비하고 있어도 된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프에 연결되어, 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔을 구비한다. 캔은, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와, 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에서, 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부와, 몸통부의, 제1 측과 반대측인 제2 측의 개구를 형성하는 개구부를 갖는다. 폐색부는, 제2 측으로부터 제1 측을 향하여, 내경이 축소되는 부위를 포함한다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 폐색부는, 중앙부가, 제2 측으로부터 제1 측을 향하여 부풀어 오른 돔 형상을 갖고 있어도 된다. 본 발명의 일 형태에 있어서, 폐색부의 제1 측의 면 및 제2 측의 면 중 적어도 한쪽에 리브가 형성되어 있어도 된다. 상술한 다양한 실시 형태는 임의의 조합이 가능하다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태는, 펌프에 연결되어, 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은, 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 형태는, 펌프에 연결되어, 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비한다. 캔은, 캔의 외표면에 형성된 기초층을 개재하여, 접착제에 의해 스테이터 코어와 접착되어 있고, 기초층은, 캔보다도 접착제와의 친화성이 높은 비도전성 재료에 의해 형성된다. 또한, 본 발명의 일 실시 형태는, 펌프에 연결되어, 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔을 구비한다. 캔은, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와, 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에서, 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부와, 몸통부의, 제1 측과 반대측인 제2 측의 개구를 형성하는 개구부를 갖는다. 폐색부는, 제2 측으로부터 제1 측을 향하여, 내경이 축소되는 부위를 포함한다. 이들 실시 형태의 캔드 모터는, 펌프에 한하지 않고, 다양한 펌프에 적용할 수 있다. 예를 들어, 이들 실시 형태의 캔드 모터는, 액체 펌프나, 광의의 기체 펌프의 1종인 송풍기에 적용할 수 있다. 또한, 이들 실시 형태의 캔드 모터는, 진공 펌프에 적용될 수 있는 상술한 다양한 실시 형태와 임의의 조합이 가능하다. 이하, 본 발명의 제1 실시 형태군에 대하여, 보다 상세한 실시 형태를 예시하여 설명한다. 이하에서는, 진공 펌프를 예로 설명하지만, 이하에 설명하는 실시 형태는, 상술한 바와 같이, 진공 펌프에 한정되지 않는다.

1-A. 실시예 1-A:

도 1은 진공 펌프(1-20)의 개략 단면을 도시한다. 도 1에서는, 진공 펌프(1-20)가 갖는 회전 중심 축선 AR을 포함하는 단면을 도시하고 있다. 도시한 바와 같이, 진공 펌프(1-20)는, 한 쌍의 로터(1-30)(도 1에서는, 한쪽의 로터만을 나타냄)를 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 로터(1-30)는, 제1단 로터(1-31), 제2단 로터(1-32) 및 제3단 로터(1-33)와, 펌프 주축(1-34)을 구비하고 있다. 이러한 로터(1-30)는, 그 양단부의 근방에서, 베어링 부재(1-50, 1-60)에 설치된 베어링(1-51, 1-61)에 의해 지지되어 있다. 이 로터(1-30)는, 케이싱(1-40)에 수용되어 있다. 케이싱(1-40)의 상방에는 흡기구(도시 생략)가 형성되고, 하방에는 배기구(도시 생략)가 형성된다.

이러한 로터(1-30)는, 진공 펌프(1-20)의 회전 중심 축선 AR의 일단부측에 설치된 모터(1-100)에 의해 구동된다. 한 쌍의 로터(1-30)의 일단부측의 축단부에는, 서로 맞물리는 한 쌍의 타이밍 기어(1-70)(도 1에서는 한쪽의 기어만 나타냄)가 고정되어 있다. 로터(1-30)의 타단부측의 축단부는, 모터(1-100)에 연결되어 있다. 본 실시예에서는, 모터(1-100)는, 브러시리스 직류 모터이다. 또한, 도 1에서는, 모터(1-100)의 구성을 간략화하여 나타내고 있다.

모터(1-100)를 구동하면, 한 쌍의 로터(1-30)는, 케이싱(1-40)의 내면 및 로터(1-30)끼리의 사이에 약간의 간극을 유지하여 비접촉으로 역방향으로 회전한다. 한 쌍의 로터(1-30)의 회전에 따라서, 흡입측의 가스는, 로터(1-30)와 케이싱(1-40) 사이에 갇혀져, 토출측으로 이송된다. 흡기구(도시 생략)로부터 도입된 가스는, 3단의 로터(1-30)에 의해 압축 이송되어, 배기구(도시 생략)로부터 배출된다.

도 2는 로터(1-30)를 회전 구동하는 모터(1-100)의 개략 구성을 도시한다. 이하의 설명에서는, 모터(1-100)에 대하여, 회전 중심 축선 AR 방향 중의, 진공 펌프(1-20)[보다 구체적으로는, 로터(1-30)]에 연결되는 측을 연결측 S2라고도 부르고, 연결측 S2와 반대측을 외측 S1이라고도 부른다. 도 2에 도시한 바와 같이, 모터(1-100)는, 스테이터(1-110)와 로터(1-120)와 캔(1-130)과 스테이터 프레임(1-140)과 보강 부재(1-150, 1-160)를 구비한다.

스테이터 프레임(1-140)은, 프레임 본체(1-141)와 측판(1-142)을 구비한다. 프레임 본체(1-141)는, 회전 중심 축선 AR을 따라서 내부 공간이 형성된, 원통 형상을 갖고 있다. 프레임 본체(1-141)는, 돌출부(1-146)를 구비하고 있다. 돌출부(1-146)는, 프레임 본체(1-141)의 내면으로부터, 내측으로 돌출된 부위이며, 프레임 본체(1-141)의 연결측 S2의 단부 부근에, 회전 중심 축선 AR을 중심으로 하여 환상으로 형성되어 있다. 돌출부(1-146)의 돌출 길이는, 개구부(1-133)가 몸통부(1-131)(상세는 후술)로부터 돌출되는 돌출 길이와 대략 동일하게 형성되어 있다. 측판(1-142)은, 원판 형상을 갖고 있으며, 프레임 본체(1-141)의 외측 S1의 개구를 폐쇄한다. 프레임 본체(1-141)의 외측 S1의 단부면에는, 오목부(1-145)가 형성되고, 이 오목부(1-145)에 O링(1-153)이 배치되어 있다. O링(1-153)은, 프레임 본체(1-141)와 측판(1-142) 사이에서, 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축되어, 스테이터 프레임(1-140)의 내부와 외부 사이를 시일한다. 또한, 측판(1-142)은, 볼트(도시 생략)에 의해, 프레임 본체(1-141)에 설치되어 있다. 이러한 스테이터 프레임(1-140)은, 예를 들어 철이나 알루미늄으로 형성할 수 있다. 스테이터(1-110), 로터(1-120) 및 캔(1-130)은, 이 스테이터 프레임(1-140)의 내부 공간에 수용되어 있다.

스테이터(1-110)는, 스테이터 코어(1-111)에 코일이 장착된 구성을 갖는다. 스테이터(1-110)의 회전 중심 축선 AR 방향의 양단부에서는, 스테이터 코어(1-111)의 외측을 향하여 코일부(1-112, 1-113)가 돌출되어 있다. 스테이터(1-110)는, 스테이터 프레임(1-140)의 프레임 본체(1-141)의 내부에 스테이터 코어(1-111)가 끼워 넣어짐으로써, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 스테이터 프레임(1-140)에 고정된다. 스테이터 코어(1-111)는, 예를 들어 규소 강판을 적층하여 형성할 수 있다. 로터(1-120)는, 스테이터(1-110)의 내부에, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되며, 진공 펌프(1-20)의 로터(1-30)의 펌프 주축(1-34)에 직결되어 있다.

이러한 스테이터(1-110)와 로터(1-120) 사이에는, 캔(1-130)이 설치되어 있다. 캔(1-130)은, 스테이터(1-110)와 로터(1-120)를 이격한다. 이 캔(1-130)은, 몸통부(1-131)와, 폐색부(1-132)와, 개구부(1-133)를 구비하고 있다. 몸통부(1-131)는, 대략 원통 형상을 갖고, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되어 있다. 이 몸통부(1-131)는, 회전 중심 축선 AR 방향에 있어서의 스테이터(1-110)의 설치 범위의 전체에 연장되어 형성되어 있다.

폐색부(1-132)는, 캔(1-130)의 외측 S1의 단부면이며, 몸통부(1-131)의 내부 공간을, 몸통부(1-131)의 외측 S1의 단부에서 폐쇄한다. 개구부(1-133)는, 캔(1-130)의 연결측 S2의 단부이며, 캔(1-130)의 연결측 S2의 개구를 형성한다. 개구부(1-133)는, 본 실시예에서는, 그 외경이 몸통부(1-131)의 외경보다도 크게 형성된 플랜지 형상을 갖고 있다.

이러한 캔(1-130)은, 비도전성의 수지에 의해 형성되어 있고, 몸통부(1-131), 폐색부(1-132) 및 개구부(1-133)는, 일체적으로 형성되어 있다. 캔(1-130)의 재료는, 수지에 한하지 않고, 세라믹스이어도 되고, 수지와 세라믹스의 복합재이어도 된다. 본 실시예에서는, 캔(1-130)의 재질은, PPS(폴리페닐렌술피드) 수지이다. 몸통부(1-131) 및 개구부(1-133)의 두께는, 박육으로, 구체적으로는, 예를 들어 0.5㎜ 내지 1.0㎜로 할 수 있다. 폐색부(1-132)의 두께는, 몸통부(1-131)의 두께보다도 크게 형성되어 있고, 예를 들어 1.5㎜ 내지 2.0㎜로 할 수 있다. 몸통부(1-131)의 두께는, 모터 특성 향상의 관점에서, 최대한 작은 것이 바람직하다. 또한, 개구부(1-133)(플랜지 형상)의, 회전 중심 축선 AR 방향의 폭은, 베어링(1-51)과, 모터(1-100)의 외측 S1의 단부와의 거리인 오버행을 짧게 하는 관점에서, 최대한 작은 것이 바람직하다.

이러한 캔(1-130)은, 스테이터 코어(1-111)와, 몸통부(1-131)가 둘레 방향으로 접촉하도록 설치된다. 또한, 스테이터 코어(1-111)와 몸통부(1-131)는, 당해 접촉 개소에서 접착제에 의해 접착된다. 이와 같이, 스테이터 코어(1-111)와 몸통부(1-131)가 접착제에 의해 접착됨으로써, 스테이터 코어(1-111)와 몸통부(1-131)가 일체적으로 형성된 상태로 된다. 이 때문에, 스테이터 코어(1-111)에 대응하는 위치의 몸통부(1-131)의 기계적 강도를 스테이터 코어(1-111)가 보강할 수 있다. 이에 의해, 스테이터 코어(1-111)에 대응하는 위치에 있어서, 상술한 몸통부(1-131)의 박육화가 가능하게 된다. 또한, 접착제에는, 진공 펌프(1-20)의 가동 시에 있어서의 내열성을 고려하여, 실리콘계나 에폭시계 등을 사용 가능하다.

또한, 캔(1-130)은, 돌출부(1-146)의 연결측 S2의 단부면과, 개구부(1-133)의 외측 S1의 단부면이 접촉한 상태에서 설치된다. 이때, 돌출부(1-146)의 내측의 단부면은, 몸통부(1-131)의 외면과 둘레 방향으로 접촉한다. 이 돌출부(1-146)는, 캔(1-130)의 회전 중심 축선 AR 방향의 위치 결정 기능을 갖고 있다.

보강 부재(1-150)는, 몸통부(1-131)의 외경과 대략 동일한 내경의 환상 형상을 갖는다. 이 보강 부재(1-150)는, 보강 부재(1-150)와 몸통부(1-131)가 둘레 방향으로 접촉하도록, 회전 중심 축선 AR에 있어서의 스테이터 코어(1-111)보다도 외측(연결측 S2)에 끼워 넣어진다. 보강 부재(1-150)의 외측 S1의 단부는, 스테이터 코어(1-111)에 접촉하고, 연결측 S2의 단부는, 돌출부(1-146)의 외측 S1에 형성된 절결 형상에 끼워 넣어 접촉하고 있다. 보강 부재(1-150)는, 100㎫ 이상의 인장 강도를 갖는 수지제 부재 또는 비자성 금속 부재인 것이 바람직하다.

또한, 보강 부재(1-150)와 몸통부(1-131)는, 그들의 접촉 개소에서 접착제에 의해 접착된다. 이와 같이, 보강 부재(1-150)와 몸통부(1-131)가 접착제에 의해 접착됨으로써, 보강 부재(1-150)와 몸통부(1-131)가 일체적으로 형성된 상태로 된다. 이 때문에, 스테이터 코어(1-111)보다도 연결측 S2에 있어서도, 몸통부(1-131)의 기계적 강도를 보강 부재(1-150)가 보강할 수 있다. 이에 의해, 스테이터 코어(1-111)보다도 연결측 S2의 몸통부(1-131)의 박육화가 가능하게 된다. 또한, 보강 부재(1-150)보다도 연결측 S2의 몸통부(1-131)는, 돌출부(1-146)와 접촉함으로써, 그 기계적 강도가 보강된다. 물론, 몸통부(1-131)와 돌출부(1-146)가, 접착제에 의해 접착되어 있어도 된다.

보강 부재(1-160)는, 제1 부위(1-161)와 제2 부위(1-162)와 제3 부위(1-163)를 구비한다. 제1 부위(1-161)는, 보강 부재(1-160) 중에서 가장 연결측 S2에 위치하고, 몸통부(1-131)의 외경과 대략 동일한 내경의 환상 형상을 갖는다. 제2 부위(1-162)는, 제1 부위(1-161)로부터 직경 방향 외측을 향하여 동심 형상으로 연장된 플랜지 형상을 갖는다. 제3 부위(1-163)는, 제2 부위(1-162)의 외측의 단부로부터, 외측 S1을 향하여 연장되는 환상 형상을 갖는다.

이러한 보강 부재(1-160)는, 제1 부위(1-161)와 몸통부(1-131)가 둘레 방향으로 접촉하도록, 회전 중심 축선 AR에 있어서의 스테이터 코어(1-111)보다도 외측에 끼워 넣어진다. 이때, 제1 부위(1-161)의 외측 S1측의 단부는, 코일부(1-113)보다도 외측 S1에 위치함과 함께, 회전 중심 축선 AR 방향에 있어서, 캔(1-130)의 몸통부(1-131)의 외측 S1측의 단부와 동일한 위치에 있다. 제1 부위(1-161)의 연결측 S2의 단부는, 스테이터 코어(1-111)에 접촉한다. 또한, 제1 부위(1-161)와 몸통부(1-131)는, 그들의 접촉 개소에서 접착제에 의해 접착되어 있다. 이 때문에, 스테이터 코어(1-111)의 외측 S1의 몸통부(1-131)의 기계적 강도를 제1 부위(1-161)가 보강할 수 있다. 이에 의해, 스테이터 코어(1-111)보다도 외측 S1의 몸통부(1-131)의 박육화가 가능하게 된다.

또한, 제2 부위(1-162)의 회전 중심 축선 AR에 직교하는 방향의 길이는, 몸통부(1-131)의 외면과 프레임 본체(1-141)의 내면의 이격 거리와 동일한 길이로 형성되어 있다. 이 때문에, 제3 부위(1-163)는, 프레임 본체(1-141)의 내면에 접촉한다. 이러한 구성에 의해, 스테이터 코어(1-111)보다도 외측 S1의 몸통부(1-131)의 기계적 강도가 한층 더 보강된다.

프레임 본체(1-141)의 제3 부위(1-163)에 대응하는 위치에는, 오목부(1-147)가 형성되고, 이 오목부(1-147)에 O링(1-154)이 배치되어 있다. 이 O링(1-154)은, 프레임 본체(1-141)와 제3 부위(1-163) 사이에서, 회전 중심 축선 AR과 직교하는 방향으로 압축되어, 보강 부재(1-160)의 연결측 S2와 외측 S1 사이를 시일한다.

또한, 코일부(1-112, 1-113)의 주위에는, 프레임 본체(1-141)와 몸통부(1-131) 사이의 영역에 밀폐 공간이 형성되고, 코일부(1-112, 1-113)는, 이 밀폐 공간 내에 수용된다. 구체적으로는, 연결측 S2측의 코일부(1-112)는, 프레임 본체(1-141), 돌출부(1-146), 보강 부재(1-150) 및 스테이터 코어(1-111)에 의해 폐쇄된 공간에 수용된다. 또한, 외측 S1측의 코일부(1-113)는, 프레임 본체(1-141), 제1 부위(1-161) 및 제2 부위(1-162)에 의해 폐쇄된 공간에 수용된다. 이들 폐쇄 공간에는, 각각, 수지(1-171, 1-172)가 충전되어 있다. 이러한 구성에 의해, 스테이터 코어(1-111)의 양단부에 있어서의 몸통부(1-131)의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있다.

이러한 모터(1-100)에 있어서, 보강 부재(1-150, 1-160)의 선팽창 계수는, 스테이터 코어(1-111)의 선팽창 계수 이하로 하는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 수지(1-171, 1-172)의 선팽창 계수는, 스테이터 코어(1-111)의 선팽창 계수 이하로 하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 진공 펌프(1-20)의 구동에 의해 압축열이 발생하여, 보강 부재(1-150, 1-160)나 수지(1-171, 1-172)가 열팽창하였을 때에, 보강 부재(1-150, 1-160)나 수지(1-171, 1-172)로부터 몸통부(1-131)에 작용하는 응력을 저감할 수 있다. 따라서, 몸통부(1-131)에 필요한 기계적 강도를 저감할 수 있고, 그 결과, 몸통부(1-131)의 두께를 저감할 수 있다. 또한, 마찬가지의 이유로부터, 스테이터 코어(1-111)와 몸통부(1-131)의 접착 및 보강 부재(1-150, 1-160)와 몸통부(1-131)의 접착에 사용하는 접착제의 선팽창 계수는, 스테이터 코어(1-111)의 선팽창 계수 이하로 하는 것이 바람직하다. 또한, 마찬가지로, 보강 부재(1-150, 1-160) 및 수지(1-171, 1-172)의 선팽창 계수는, 프레임 본체(1-141)의 선팽창 계수 이하로 하는 것이 바람직하지만, 통상, 프레임 본체(1-141)의 선팽창 계수는, 스테이터 코어(1-111)의 선팽창 계수 이상이다. 이 때문에, 보강 부재(1-150, 1-160) 및 수지(1-171, 1-172)의 선팽창 계수는, 스테이터 코어(1-111)의 선팽창 계수 이하이면, 통상, 프레임 본체(1-141)의 선팽창 계수 이하인 점도 만족시킨다.

이러한 모터(1-100)에 의하면, 상술한 다양한 구성에 의해, 캔(1-130)의 몸통부(1-131)의 기계적 강도를 보강함으로써, 그 만큼, 몸통부(1-131)의 두께를 얇게 할 수 있다. 따라서, 모터(1-100)의 특성이 향상된다. 또한, 캔(1-130)의 폐색부(1-132)의 두께를 몸통부(1-131)보다도 두껍게 함으로써, 폐색부(1-132)에 필요한 기계적 강도를 확보할 수 있다.

이러한 모터(1-100)의 캔(1-130)은, 사출 성형에 의해서도 적절하게 제조할 수 있다. 사출 성형에서는, 금형의 캐비티 내에 수지를 원활하게 유통시키기 위해서, 성형품의 두께는, 어느 정도 고르게 되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 캔(1-130)은, 다음과 같이 제조해도 된다. 즉, 우선, 몸통부(1-131), 폐색부(1-132) 및 개구부(1-133)를, 폐색부(1-132)의 두께로 사출 성형하고, 그 후, 몸통부(1-131) 및 개구부(1-133)를 절삭 가공 등에 의해 박육화해도 된다. 또한, 사출 성형에 있어서는, 성형 후, 원활하게 탈형할 때에, 성형품에는 약간의 구배가 형성된다. 상술한 바와 같이, 몸통부(1-131) 및 개구부(1-133)를 절삭 가공 등에 의해, 박육화하는 경우에는, 이러한 구배가 발생하지 않도록 가공하는 것도 가능하다. 이렇게 하면, 몸통부(1-131)와, 스테이터 코어(1-111) 및 보강 부재(1-150, 1-160)를 접착제에 의해 접착하기 쉽게 할 수 있다.

1-B. 실시예 1-B:

도 3a 및 도 3b는, 실시예 1-B로서의 진공 펌프의 캔(1-230)의 구성을 도시한다. 실시예 1-B로서의 진공 펌프는, 캔의 구성의 일부분만이 실시예 1-A와 상이하고, 그 밖의 점은 실시예 1-A와 공통된다. 이 때문에, 이하에서는,캔(1-230)에 대하여, 실시예 1-A와 상이한 점에 대해서만 설명한다. 도 3a는 캔(1-230)의 부분 단면도이다. 도 3b는 캔(1-230)을 연결측 S2로부터 본 도면이다.

캔(1-230)은, 실시예 1-A와 마찬가지로, 몸통부(1-231)와 폐색부(1-232)와 개구부(1-233)를 구비한다. 폐색부(1-232)는, 몸통부(1-231)와의 접속측의 단부에 있어서, 약간의 라운딩을 띠고 있다. 폐색부(1-232)의 내면에는, 몸통부(1-231)의 외측 S1의 단부로부터, 폐색부(1-232)의 중심부의 부근을 향하여, 리브(1-234)가 둘레 방향으로 점재하여 형성되어 있다. 리브(1-234)는, 몸통부(1-231)의 외측 S1의 단부로부터 서서히 두께가 작아지면서, 폐색부(1-232)의 중심부의 부근에 가까이 붙도록 형성된다. 이 때문에, 리브(1-234)는, 캔(1-230)의 폐색부(1-232) 부근의 내부 공간 중의, 회전 중심 축선 AR의 부근의 공간에 배치되는, 볼트 등의 로터(1-30)의 설치 부재와 간섭하는 일이 없다.

이러한 구성에 의하면, 폐색부(1-232)의 강도를 높일 수 있다. 또한, 그것에 의해, 그 만큼, 폐색부(1-232)의 두께를 작게 할 수도 있다. 이 때문에, 상술한 바와 같이, 사출 성형에 의해, 폐색부(1-232)의 두께를 전체에 갖는 성형품을 제조한 후, 절삭 가공하여 캔(1-230)을 제조하는 경우, 사출 성형하는 성형품의 두께를 작게 할 수 있고, 그 결과, 절삭 가공량을 저감할 수 있다.

또한, 이러한 구성에 의하면, 리브(1-234)가 형성된 개소의 단면에 있어서는, 연결측 S2로부터 외측 S1을 향하여 내경이 축소되기 때문에, 그 만큼, 즉, 리브(1-234)의 용적분만큼, 캔(1-230)의 내부의 공간 용적이 작아진다. 그 결과, 진공 펌프(1-20)를 구동시켰을 때의, 캔(1-230)의 내부와 진공 펌프(1-20) 사이에서의 기체 이동량이 저감된다. 즉, 캔(1-230)의 내부 공간과, 진공 펌프(1-20)의 케이싱(1-40)의 내부 공간 사이에 설치되는 베어링(1-51)을 통과하는 기체량이 저감된다. 따라서, 기체 이동에 수반되는 윤활제의 저감을 억제할 수 있어, 진공 펌프(1-20)의 유지 관리의 부담을 저감할 수 있다.

또한, 사출 성형에 있어서는, 성형 후, 탈형할 때에, 성형품을 내부 형틀에 남기게 된다. 캔(1-230)에 의하면, 캔(1-230)을 사출 성형에 의해 제조하는 경우, 캔(1-230)에 리브(1-234)가 형성되어 있음으로써, 성형품이 내부 형틀에 걸리기 쉬워지고, 그 결과, 캔(1-230)을 제조하기 쉬워진다.

1-C. 실시예 1-C:

도 4는 실시예 1-C로서의 진공 펌프의 캔(1-330)의 구성을 도시하는 부분 단면도이다. 도시한 바와 같이, 캔(1-330)의 폐색부(1-332)는, 중앙부가 연결측 S2로부터 외측 S1을 향하여 부풀어 오른 돔 형상을 갖고 있다. 폐색부(1-332)의 내면은, 외면에 추종한 형상을 갖고 있다. 이러한 캔(1-330)에 의하면, 폐색부(1-332)의 기계적 강도를 더욱 향상시킬 수 있다. 게다가, 폐색부(1-332)의 내경은, 연결측 S2로부터 외측 S1을 향하여 축소되므로, 실시예 1-B와 마찬가지의 효과를 발휘한다. 물론, 캔(1-330)에도, 실시예 1-B와 마찬가지로, 리브가 형성되어 있어도 된다.

1-D. 실시예 1-D:

도 5는 실시예 1-D로서의 진공 펌프의 캔(1-430)과 스테이터 코어(1-411)의 접착 구성을 도시하는 단면도이다. 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는, 캔(1-430)은, 캔(1-430)의 외표면에 형성된 기초층(1-482)을 개재하여, 접착제(1-481)에 의해, 스테이터 코어(1-411)와 접착되어 있다. 즉, 캔(1-430)의 외표면에는, 기초층(1-482)이 형성되고, 이 기초층(1-482)이 접착제(1-481)에 의해, 스테이터 코어(1-411)에 접착되어 있다. 본 실시예에서는, 기초층(1-482)은, 캔(1-430)의 외표면 중의, 스테이터 코어(1-411)와의 접착 영역에만 형성되어 있지만, 캔(1-430)의 외표면의 전체에 걸쳐 형성되어 있어도 된다.

기초층(1-482)은, 캔(1-430)보다도 접착제(1-481)와의 친화성이 높은 다양한 비도전성 재료에 의해 형성할 수 있다. 이러한 비도전성 재료로서, 예를 들어, 폴리이미드 수지 및 가교 성분이 사용되어도 된다. 기초층(1-482)은, 페이스트 재료의 도포에 의해 형성되어도 되고, 도금이나 코팅 등에 의해 형성되어도 된다.

이러한 구성에 의하면, 캔(1-130)이, 접착제(1-481)와의 친화성이 비교적 낮은 재료, 예를 들어 PPS 등의 엔지니어 플라스틱으로 형성되어 있는 경우라도, 스테이터 코어(1-411)와 캔(1-430)의 접착 강도가 향상되므로, 스테이터 코어(1-411)가 캔(1-430)의 기계적 강도를 적절하게 보강할 수 있다. 그 결과, 캔(1-430)의 두께를 저감할 수 있다.

또한, 기초층(1-482)은, 캔(1-430)보다도 인장 강도가 큰 비도전성 재료에 의해 형성되어도 된다. 이러한 재료로서는, 예를 들어 Al₂O₃ 등의 세라믹스가 사용되어도 된다. 이 경우, 세라믹스를 캔(1-430)의 표면에 용사하여, 기초층(1-482)을 형성해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 박육화된 캔(1-430)의 강도를 보강할 수 있다.

도시는 생략하지만, 상술한 실시예 1-D의 구성 외에, 혹은, 대신에, 캔(1-430)은, 기초층(1-482)을 개재하여, 접착제(1-481)에 의해 보강 부재(1-150, 1-160)(실시예 1-A 참조)와 접착되어 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 보강 부재(1-150, 1-160)와 캔(1-430)의 접착 강도가 향상되므로, 보강 부재(1-150, 1-160)가 캔의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있어, 캔(1-430)의 두께를 한층 더 저감할 수 있다.

1-E. 실시예 1-E:

도 6은 실시예 1-E로서의 진공 펌프의 캔(1-530)과 스테이터 코어(1-511)의 접착 구성을 도시하는 단면도이다. 도 6은 회전 중심 축선 AR에 직교하는 단면을 도시하고 있다. 도시한 바와 같이, 스테이터 코어(1-511)는, 스테이터 코어(1-511)의 중심을 향하여 돌출되는 복수의 티스(1-515)를 구비하고 있다. 복수의 티스(1-515)에는, 코일(1-512)이 집중 권취되어 있다. 복수의 티스(1-515)의 내주측의 단부간에는, 공간(1-516)이 형성되어 있다. 이 공간(1-516)의 각각에는, 그 양측의 티스(1-515)와 걸어 결합하는 비도전성의 부재(1-585)가 배치되어 있다.

부재(1-585)는, 쐐기 형상을 갖고 있으며, 공간(1-516)을 폐색하도록, 스테이터 코어(1-511)의 내부에 삽입되어 있다. 본 실시예에서는, 부재(1-585)는, 유리 에폭시 수지에 의해 형성되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 캔(1-530)과, 스테이터 코어(1-511)의 티스(1-515)가 접착제(1-581)에 의해 접착된다. 또한, 공간(1-516)에 있어서는, 캔(1-530)과 부재(1-585)가 접착제(1-581)에 의해 접착된다. 부재(1-585)는, 티스(1-515)와 걸어 결합하고 있으므로, 캔(1-530)과 부재(1-585)의 접착은, 캔(1-530)과 스테이터 코어(1-511)의 접착 강도의 향상에 기여한다. 이와 같이, 접착제(1-581)의 접착 면적이 커짐으로써, 캔(1-530)과 스테이터 코어(1-511)의 접착 강도가 높아져, 스테이터 코어(1-511)가 캔(1-530)의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있다. 그 결과, 캔(1-530)의 두께를 한층 더 저감할 수 있다.

부재(1-585)는, 공간(1-516)에 수지를 충전하여 형성되어도 된다. 또한, 충전하는 수지는 접착제이어도 된다. 이 경우, 접착제는, 모터(1-100)의 사용 온도에 견딜 수 있는 내열성을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 접착제의 접착 강도는, 1㎏/㎠(0.098㎫) 이상인 것이 바람직하다. 이들의 점은, 접착제(1-581)에 대해서도 마찬가지이다.

1-F. 변형예:

1-F-1. 변형예 1-F-1:

실시예 1-B나 실시예 1-C에서 설명한 캔의 폐색부의 내경이, 연결측 S2로부터 외측 S1을 향하여 축소되는 형상은, 상술한 예에 한하지 않고, 다양한 형상으로 할 수 있다. 예를 들어, 폐색부의 형상은, 원뿔 형상, 원뿔대 형상, 볼록 형상 등으로 할 수 있다. 이러한 경우, 폐색부의 외면측에 리브가 형성되어 있어도 된다. 물론, 폐색부의 내면과 외면의 양쪽에 리브가 형성되어 있어도 된다.

1-F-2. 변형예 1-F-2:

캔(1-130)의 몸통부(1-131)는, 그 전체가 박육화되어 있는 형상에 한하지 않고, 전체의 일부분만이 박육화되어 있어도 된다. 예를 들어, 몸통부(1-131) 중의 스테이터 코어(1-111)와 접촉하는 부분만이 박육화되어 있어도 된다. 이러한 형상의 캔은, 사출 성형 후에 절삭 가공함으로써, 제조해도 된다.

2. 제2 실시 형태군:

수지제의 캔을 사출 성형에 의해 제조하는 경우, 성형 후, 원활하게 탈형할 때에, 성형품에는 약간의 구배가 형성된다. 상술한 형태의 캔드 모터에 의하면, 이러한 캔의 구배가 저감되어 있으므로, 캔과, 스테이터 코어 및 로터 중의 적어도 한쪽을 보다 평행하게 배치할 수 있다. 따라서, 스테이터와 로터의 이격 거리를 저감할 수 있다. 그 결과, 모터 특성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔은, 대향 범위의 두께가, 그 밖의 부위의 두께보다도 작아도 된다. 이러한 형태에 의하면, 대향 범위의 두께가, 그 밖의 부위의 두께보다도 작으므로, 스테이터와 로터의 이격 거리를 한층 더 저감할 수 있다. 대향 범위에 있어서는, 캔의 기계적 강도는, 스테이터 코어에 의해 보강되고, 그 밖의 부위는, 자신의 두께에 의해 기계적 강도가 적절하게 확보되므로, 캔 전체의 기계적 강도도 확보할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 캔은, 대향 범위보다도, 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에 있어서, 대향 범위와 비교하여, 내경측의 두께가 크고, 대향 범위보다도, 제1 방향과 반대측의 제2 측에 있어서, 대향 범위와 비교하여, 외경측의 두께가 커도 된다. 이러한 형태에 의하면, 사출 성형에 의해, 몸통부에 대응하는 부위를 구비한 성형품을 제조하고, 그 후, 성형품을 가공함으로써, 가공 개소에 있어서의 성형품의 두께를 저감하여, 캔을 제조할 때에, 가공량을 억제하여, 효율적인 가공을 행할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 소정 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부를 갖는 캔드 모터용의 캔의 제조 방법으로서 제공된다. 이 캔의 제조 방법은, 사출 성형에 의해, 몸통부에 대응하는 부위를 구비한 성형품을 제조하는 사출 성형 공정과, 성형품 중의 외경측의 면 및 내경측의 면 중 적어도 한쪽을 가공함으로써, 적어도 한쪽 면의 소정 방향에 대한 기울기를 저감하여, 캔을 제조하는 가공 공정을 구비한다. 이러한 형태에 의하면, 상술한 형태의 캔드 모터가 구비하는 캔을 적절하게 제조할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 가공 공정은, 적어도 한쪽 면의 소정 방향에 대한 기울기를 저감하는 공정을 포함해도 된다. 또한, 가공 공정에서는, 성형품의 제1 측에 있어서, 성형품의 내경측의 면을 가공하여, 당해 가공 개소의 두께를 저감해도 된다. 또한, 성형품의 제2 측에 있어서, 성형품의 외경측의 면을 가공하여, 당해 가공 개소의 두께를 저감해도 된다. 이러한 형태로 하면, 대향 범위보다도, 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에 있어서, 대향 범위와 비교하여, 내경측의 두께가 크고, 대향 범위보다도, 제1 방향과 반대측의 제2 측에 있어서, 대향 범위와 비교하여, 외경측의 두께가 큰 캔을 적절하게 제조할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상술한 사출 성형 공정을 구비한다. 또한, 상술한 형태의 가공 공정 대신에, 성형품 중의 외경측의 면 및 내경측의 면 중 적어도 한쪽 면을 가공함으로써, 가공 개소에 있어서의 성형품의 두께를 저감하는 공정을 구비한다. 이러한 형태에 의하면, 사출 성형에 의해서만 캔을 제조하는 경우와 비교하여, 캔의 형상의 자유도를 크게 할 수 있다. 상술한 다양한 실시 형태는, 임의의 조합이 가능하다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태는, 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 수지제의 캔을 구비한다. 캔은, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부를 갖는다. 몸통부의 외경측의 면 및 내경측의 면 중 적어도 한쪽은, 회전 중심 축선 방향에 있어서의 스테이터 코어와 대향하는 대향 범위 중의 적어도 일부의 범위에 있어서의 회전 중심 축선에 대한 기울기가 0.5도 미만의 대략 수평 형상이다. 이러한 실시 형태의 캔드 모터는, 다양한 펌프에 적용할 수 있다. 예를 들어, 이 실시 형태의 캔드 모터는, 액체 펌프나, 광의의 기체 펌프의 1종인 송풍기에 적용할 수 있다. 또한, 이 실시 형태의 캔드 모터는, 진공 펌프에 적용될 수 있는 상술한 다양한 실시 형태와 임의의 조합이 가능하다. 이하, 본 발명의 제2 실시 형태군에 대하여, 보다 상세한 실시 형태를 예시하여 설명한다. 이하에서는, 진공 펌프를 예로 설명하지만, 이하에 설명하는 실시 형태는, 상술한 바와 같이, 진공 펌프에 한정되지 않는다.

2-A. 실시예 2-A:

실시예 2-A에 있어서, 진공 펌프(1-20)의 전체 구성은, 상술한 실시예 1-A와 마찬가지이다. 이 때문에, 이하에서는, 실시예 1-A와 상이한 점을 주로 설명한다. 도 7은 로터(2-30)를 회전 구동하는 모터(2-100)의 개략 구성을 도시한다. 이하의 설명에서는, 모터(100)에 대하여, 회전 중심 축선 AR 방향 중의, 진공 펌프(20)[보다 구체적으로는, 로터(30)]에 연결되는 측을 연결측 S2라고도 부르고, 연결측 S2와 반대측을 외측 S1이라고도 부른다. 도 7에 도시한 바와 같이, 모터(2-100)는, 스테이터(2-110)와 로터(2-120)와 캔(2-130)과 스테이터 프레임(2-140)을 구비한다.

스테이터 프레임(2-140)은, 프레임 본체(2-141)와 측판(2-142)을 구비한다. 프레임 본체(2-141)는, 회전 중심 축선 AR을 따라서 내부 공간이 형성된, 원통 형상을 갖고 있다. 프레임 본체(2-141)는, 돌출부(2-146)를 구비하고 있다. 돌출부(2-146)는, 프레임 본체(2-141)의 내면으로부터, 내측으로 돌출된 부위이며, 프레임 본체(2-141)의 연결측 S2의 단부 부근에, 회전 중심 축선 AR을 중심으로 하여 환상으로 형성되어 있다. 돌출부(2-146)의 돌출 길이는, 개구부(2-133)가 몸통부(2-131)(상세는 후술)로부터 돌출되는 돌출 길이와 대략 동일하게 형성되어 있다. 측판(2-142)은, 원판 형상을 갖고 있으며, 프레임 본체(2-141)의 외측 S1의 개구를 폐쇄한다. 프레임 본체(2-141)의 외측 S1의 단부면에는, 오목부(2-145)가 형성되고, 이 오목부(2-145)에 O링(2-153)이 배치되어 있다. O링(2-153)은, 프레임 본체(2-141)와 측판(2-142) 사이에서, 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축되어, 스테이터 프레임(2-140)의 내부와 외부 사이를 시일한다. 또한, 측판(2-142)은, 볼트(도시 생략)에 의해, 프레임 본체(2-141)에 설치되어 있다. 이러한 스테이터 프레임(2-140)은, 예를 들어 철이나 알루미늄으로 형성할 수 있다. 스테이터(2-110), 로터(2-120) 및 캔(2-130)은, 이 스테이터 프레임(2-140)의 내부 공간에 수용되어 있다.

스테이터(2-110)는, 스테이터 코어(2-111)에 코일이 장착된 구성을 갖는다. 스테이터(2-110)의 회전 중심 축선 AR 방향의 양단부에서는, 스테이터 코어(2-111)의 외측을 향하여 코일부(2-112, 2-113)가 돌출되어 있다. 스테이터(2-110)는, 스테이터 프레임(2-140)의 프레임 본체(2-141)의 내부에 스테이터 코어(2-111)가 끼워 넣어짐으로써, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 스테이터 프레임(2-140)에 고정된다. 스테이터 코어(2-111)는, 예를 들어 규소 강판을 적층하여 형성할 수 있다. 로터(2-120)는, 스테이터(2-110)의 내부에, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되며, 진공 펌프(2-20)의 로터(2-30)의 펌프 주축(2-34)에 직결되어 있다.

이러한 스테이터(2-110)와 로터(2-120) 사이에는, 캔(2-130)이 설치되어 있다. 캔(2-130)은, 스테이터(2-110)와 로터(2-120)를 이격한다. 이 캔(2-130)은, 몸통부(2-131)와, 폐색부(2-132)와, 개구부(2-133)를 구비하고 있다.

몸통부(2-131)는, 대략 원통 형상을 갖고, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되어 있다. 이 몸통부(2-131)는, 외측 S1의 제1 몸통부(2-134)와, 연결측 S2의 제2 몸통부(2-135)를 갖는다. 제1 몸통부(2-134)는, 스테이터 코어(2-111)의 내면과 대향하도록, 회전 중심 축선 AR 방향에 있어서의 스테이터 코어(2-111)의 설치 범위의 전체에 연장되어 형성되어 있다. 몸통부(2-131) 중의 스테이터 코어(2-111)와 대향하는 범위를 대향 범위 FR이라고도 부른다.

제2 몸통부(2-135)는, 대향 범위 FR보다도 연결측 S2에 형성되어 있다. 제2 몸통부(2-135)의 두께는, 제1 몸통부(2-134)의 두께보다도 크다. 구체적으로는, 제2 몸통부(2-135)는, 제1 몸통부(2-134)보다도 외경측의 두께가 크다. 즉, 제2 몸통부(2-135)의 내면은, 회전 중심 축선 AR과 직교하는 방향에 있어서, 제1 몸통부(2-134)와 동일한 위치에 있지만, 제2 몸통부(2-135)의 외면은, 제1 몸통부(2-134)의 외면보다도 외측에 위치하고 있다. 그 결과, 제2 몸통부(2-135)의 외경은, 제1 몸통부(2-134)의 외경보다도 크게 되어 있다. 이 제2 몸통부(2-135)의 외측 S1의 단부면은, 스테이터 코어(2-111)의 연결측 S2의 단부면에 접촉하고 있다.

폐색부(2-132)는, 캔(2-130)의 외측 S1의 단부면이며, 몸통부(2-131)의 내부 공간을, 몸통부(2-131)의 외측 S1의 단부에서 폐쇄한다. 본 실시예에서는, 폐색부(2-132)는, 연결측 S2로부터 외측 S1을 향하여, 외경 및 내경이 작아지는 형상을 갖고 있다. 이 폐색부(2-132)의 두께는, 제1 몸통부(2-134)의 두께보다도 크다. 구체적으로는, 폐색부(2-132)는, 제1 몸통부(2-134)보다도 내경측의 두께가 크다. 즉, 폐색부(2-132)의 외면은, 제1 몸통부(2-134)의 부근에서는, 회전 중심 축선 AR과 직교하는 방향에 있어서, 제1 몸통부(2-134)와 거의 동일한 위치에 있지만, 폐색부(2-132)의 내면은, 제1 몸통부(2-134)의 내면보다도 내측에 위치하고 있다.

개구부(2-133)는, 캔(2-130)의 연결측 S2의 단부이며, 캔(2-130)의 연결측 S2의 개구를 형성한다. 개구부(2-133)는, 본 실시예에서는, 그 외경이 몸통부(2-131)의 외경보다도 크게 형성된 플랜지 형상을 갖고 있다. 개구부(2-133)의 외측 S1의 단부면은, 돌출부(2-146)의 연결측 S2의 단부면과 접촉하고 있다. 이러한 접촉 관계와, 상술한, 제2 몸통부(2-135)와 스테이터 코어(2-111)의 접촉 관계에 의해, 캔(2-130)의 회전 중심 축선 AR 방향의 위치가 위치 결정된다.

이러한 캔(2-130)은, 수지에 의해 형성되어 있고, 몸통부(2-131), 폐색부(2-132) 및 개구부(2-133)는 일체적으로 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 캔(2-130)의 재질은, PPS(폴리페닐렌술피드) 수지이다.

이러한 캔(2-130)에 있어서, 폐색부(2-132) 및 제2 몸통부(2-135)의 두께는, 진공 펌프(2-20)의 가동 시의 압력 변동에 견딜 수 있는 기계적 강도를 갖는 두께로 형성된다. 이들 두께는, 통상, JIS B8267 등에 기재된 압력 용기 계산 방법에 기초하여 설정되며, 1.5 내지 2.0㎜ 정도이다. 본 실시예에서는, 개구부(2-133)의 두께(회전 중심 축선 AR 방향의 두께)는, 제2 몸통부(2-135)의 두께와 거의 동일하다. 이렇게 하면, 사출 성형을 이용하여 캔(2-130)을 제조할 때에, 수지가 캐비티 내를 원활하게 유통할 수 있으므로, 제조를 행하기 쉽다.

한편, 제1 몸통부(2-134)의 두께는, 폐색부(2-132) 및 제2 몸통부(2-135)의 두께보다도 작게 형성되어 있다. 제1 몸통부(2-134)의 두께는, 예를 들어 0.5㎜ 내지 1.0㎜로 할 수 있다. 이와 같이, 제1 몸통부(2-134)를 박육화함으로써, 스테이터 코어(2-111)와 로터(2-120)의 이격 거리가 작아지므로, 모터(2-100)의 모터 특성이 향상된다.

이 제1 몸통부(2-134)의 외면(2-134a) 및 내면(2-134b)은, 대향 범위 FR 전체에 걸쳐, 회전 중심 축선 AR에 대한 기울기가 0.5° 이하의 대략 수평 형상으로 되도록 형성되어 있다. 수지제의 캔은, 통상, 사출 성형에 의해 제조된다. 또한, 사출 성형에서는, 성형 후, 원활하게 탈형할 수 있도록, 금형에는, 약간의 구배가 형성된다. 이러한 구배는, 빼기 구배라 칭해지고, 통상, 1 내지 2°이다. 이 때문에, 성형품에도 구배가 형성된다. 이상의 설명으로부터도 명백해진 바와 같이, 제1 몸통부(2-134)의 외면(2-134a) 및 내면(2-134b)은, 빼기 구배에 기인하여 발생하는 기울기가 저감되어 있다. 이러한 몸통부(2-131)의 형상은, 후술하는 캔(2-130)의 제조 방법에 의해 실현된다.

이 기울기는, 작을수록 바람직하다. 예를 들어, 당해 기울기는, 0.3° 이하로 하는 것이 바람직하고, 0.2° 이하로 하는 것이 보다 바람직하고, 0°로 하는 것이 가장 바람직하다. 본 실시예에서는, 외면(2-134a) 및 내면(2-134b)의 기울기는 0°이다. 즉, 외면(2-134a) 및 내면(2-134b)과 회전 중심 축선 AR은, 정확하게 평행으로 되어 있다. 본 실시예에서는, 제2 몸통부(2-135)의 외면 및 내면에 대해서도, 회전 중심 축선 AR에 대한 기울기가 0°로 되어 있다.

이러한 캔(2-130)은, 스테이터 코어(2-111)와, 제1 몸통부(2-134)가 둘레 방향으로 접촉하도록, 설치된다. 제1 몸통부(2-134)의 외면(2-134a)은, 회전 중심 축선 AR에 대하여 기울기를 갖고 있지 않으므로, 스테이터 코어(2-111)와 제1 몸통부(2-134)는, 대향 범위 FR 전체에 걸쳐 확실하게 밀착할 수 있다. 환언하면, 외면(2-134a)의 회전 중심 축선 AR에 대한 기울기가 저감된 분만큼, 당해 기울기에 기인하여 스테이터 코어(2-111)와 외면(2-134a) 사이에 발생하는 국소적인 간극이 저감되어 있다. 따라서, 외면(2-134a)이 회전 중심 축선 AR에 대하여 기울기를 갖는 경우에 비해, 스테이터 코어(2-111)와 로터(2-120)의 이격 거리를 저감할 수 있다. 또한, 제1 몸통부(2-134)는, 상술한 바와 같이, 폐색부(2-132) 및 제2 몸통부(2-135)와 비교하여 박육화되어 있지만, 스테이터 코어(2-111)와 제1 몸통부(2-134)가, 대향 범위 FR 전체에 걸쳐 확실하게 밀착함으로써, 제1 몸통부(2-134)의 기계적 강도가 스테이터 코어(2-111)에 의해 보강된다.

또한, 제1 몸통부(2-134)의 내면(2-134b)은, 회전 중심 축선 AR에 대하여 기울기를 갖고 있지 않으므로, 내면(2-134b)과 로터(2-120)의 이격 거리는, 회전 중심 축선 AR 방향의 임의의 위치에서 일정해진다. 내면(2-134b)과 로터(2-120)는, 양자의 간섭을 피하기 위해서 소정의 이격 거리를 확보할 필요가 있기 때문에, 내면(2-134b)이 회전 중심 축선 AR에 대하여 기울기를 갖고 있는 경우에는, 간섭을 피하기 위해서 최저한 필요한 이격 거리를 갖는 부위가 국소적으로 발생한다. 한편, 제1 몸통부(2-134)에 의하면, 회전 중심 축선 AR에 대하여 기울기를 갖는 경우에 비해, 당해 기울기가 저감된 분만큼, 스테이터 코어(2-111)와 로터(2-120)의 이격 거리를 저감할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 스테이터 코어(2-111)와 제1 몸통부(2-134)는, 이들의 접촉 개소에서 접착제에 의해 접착된다. 이와 같이, 스테이터 코어(2-111)와 제1 몸통부(2-134)가 접착제에 의해 접착됨으로써, 스테이터 코어(2-111)와 제1 몸통부(2-134)가 일체적으로 형성된 상태로 된다. 이 때문에, 스테이터 코어(2-111)가 제1 몸통부(2-134)의 기계적 강도를 한층 더 보강할 수 있다. 또한, 접착제에는, 진공 펌프(2-20)의 가동 시에 있어서의 내열성을 고려하여, 내열성 접착제, 예를 들어 실리콘계나 에폭시계 등을 사용 가능하다.

상술한 캔(2-130)은, 이하와 같이 하여 제조할 수 있다. 우선, 사출 성형에 의해, 몸통부(2-131), 폐색부(2-132) 및 개구부(2-133)에 대응하는 부위를 구비한 성형품 PM을 제조한다. 다음에, 성형품 PM 중의 외경측의 면 및 내경측의 면을 가공함으로써, 당해 가공 개소에 있어서의 성형품 PM의 두께를 저감하여, 캔(2-130)을 제조한다. 이러한 제조 수순에 의하면, 사출 성형에 기인하는 형상적 제약에 구애받지 않고, 캔의 형상의 자유도를 크게 할 수 있다. 이하, 성형품 PM의 가공에 대하여 상세하게 설명한다.

도 8은 캔의 제조 방법, 보다 구체적으로는, 성형품 PM의 가공 방법을 도시한다. 도 8에서는, 성형품 PM의 절반의 단면만을 도시하고 있다. 성형품 PM의 제1 몸통부(2-134)에 대응하는 부위에는, 상면(2-211)과 하면(2-221)이 형성되어 있다. 상면(2-211)과 하면(2-221)은, 빼기 구배에 기인하여 회전 중심 축선 AR에 대하여 1 내지 2° 정도의 기울기를 갖고 있다.

본 실시예에서는, 이러한 성형품 PM 중의 상면(2-211)측과 하면(2-221)측의 양쪽을 가공한다. 구체적으로는, 성형품 PM 중의 상면(2-211)측의 상면측 부위(2-210)를 절삭 가공함으로써, 회전 중심 축선 AR에 평행한 외면(2-134a)을 형성한다. 본 실시예에서는, 절삭 개소는, 외측 S1의 부위, 즉, 제1 몸통부(2-134) 및 폐색부(2-132)에 대응하는 부위이다. 단, 절삭 개소는, 제1 몸통부(2-134)에 대응하는 부위를 포함하고 있으면 되고, 그 밖의 부위의 절삭은 생략 가능하다.

마찬가지로, 성형품 PM 중의 하면(2-221)측의 하면측 부위(2-220)를 절삭 가공함으로써, 회전 중심 축선 AR에 평행한 내면(2-134b)을 형성한다. 본 실시예에서는, 절삭 개소는, 연결측 S2의 부위, 즉, 제1 몸통부(2-134), 제2 몸통부(2-135) 및 개구부(2-133)에 대응하는 부위이다. 단, 절삭 개소는, 제1 몸통부(2-134)에 대응하는 부위를 포함하고 있으면 되고, 그 밖의 부위의 절삭은 생략 가능하다.

이러한 절삭 가공은, 본 실시예에서는, 선반 가공에 의해 행한다. 단, 성형품 PM의 가공 방법은, 특별히 제한되는 것은 아니고, 성형품 PM의 소요 개소의 두께를 저감하여, 소요 형상을 형성할 수 있는 것이면 된다. 예를 들어, 가공 방법은, 연삭 가공, 연마 가공, 에칭 또는, 이들의 조합 등이어도 된다.

이러한 제조 방법에 의하면, 상술한 캔(2-130)을 적절하게 제조할 수 있다. 또한, 성형품 PM의 상면(2-211)측에 대해서는, 외측 S1만을 가공하고, 하면(2-221)측에 대해서는, 연결측 S2만을 가공하므로, 전체에 걸쳐 소요량 이상의 두께를 갖는 성형품 PM을 제조하여 당해 성형품 PM을 가공하는 경우와 비교하여, 가공에 낭비가 없어, 효율적이다.

2-B. 변형예:

2-B-1. 변형예 2-B-1:

캔(2-130)의 제1 몸통부(2-134)의 외면(2-134a) 및 내면(2-134b) 중의 한쪽만이, 회전 중심 축선 AR에 대하여 0.7° 이하의 기울기를 갖고 있어도 된다. 이 경우, 성형품 PM 중의, 상면(2-211)측 및 하면(2-221)측 중의 한쪽측만을 가공해도 된다. 이렇게 해도, 종래의 구성과 비교하여, 상술한 효과를 어느 정도 발휘한다.

2-B-2. 변형예 2-B-2:

제1 몸통부(2-134)의 대향 범위 FR 중의 일부의 부위만이, 회전 중심 축선 AR에 대하여 0.5° 이하의 기울기를 갖고 있어도 된다. 이렇게 해도, 종래의 구성과 비교하여, 상술한 효과를 어느 정도 발휘한다.

2-B-3. 변형예 2-B-3:

대향 범위 FR은, 반드시 박육화할 필요는 없고, 폐색부(2-132), 혹은, 제2 몸통부(2-135)와 동일 정도의 두께를 갖고 있어도 된다. 이 경우, 성형품 PM에 대하여, 제1 몸통부(2-134)의 외면(2-134a) 및 내면(2-134b)의 회전 중심 축선 AR에 대한 기울기를 저감하는 데 필요한 최저한의 가공을 행해도 된다.

2-B-4. 변형예 2-B-4:

캔(2-130)은, 반드시, 외측 S1에서 폐쇄한 형상을 갖고 있을 필요는 없다. 예를 들어, 제1 몸통부(2-134)가, 외측 S1로 연장되어 형성되어, 측판(2-142)에 기밀하게 접촉하고 있어도 된다. 이러한 경우, 대향 범위 FR보다도 외측 S1의 제1 몸통부(2-134)의 두께는, 대향 범위 FR의 두께보다도 커도 된다.

3. 제3 실시 형태군:

본 발명의 일 실시 형태는, 스테이터의 내주부를 덮는 원통 형상의 수지 격벽에 의해 스테이터와 로터가 격리된, 진공 펌프의 회전 구동에 사용되는 캔드 모터이며, 격벽의 외주부가, 스테이터의 자극 이부와 직경 방향에서 맞물리는 맞물림부를 형성하고 있는, 캔드 모터로서 제공된다. 이 구성에 의하면, 격벽의 외주부가, 스테이터의 자극 이부와 직경 방향에서 맞물리는 맞물림부를 형성하고 있다. 이 때문에, 진공 펌프 운전 중에 격벽에 작용하는 직경 방향 내측으로의 압축력을, 부분적으로 스테이터측에서 지지할 수 있다. 따라서, 종래의 구성과 비교하여 격벽의 벽 두께를 현저하게 감소시킬 수 있고, 이에 의해, 스테이터와 로터 사이의 공극을 현저하게 감소시켜 모터 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 맞물림부는, 자극 이부와 밀착하도록 자극 이부에 대하여 상보적인 단면 형상을 구비하고 있고, 맞물림부는, 격벽의 길이 방향으로 연장되는 리브를 형성하고 있어도 된다. 이 형태에 의하면, 맞물림부는, 자극 이부와 밀착하도록 자극 이부에 대하여 상보적인 단면 형상을 구비하고 있고, 맞물림부는, 격벽의 길이 방향으로 연장되는 리브를 형성하고 있다. 이 때문에, 맞물림부가 자극 이부에 끼워 맞춰지도록 원통 형상의 격벽을 스테이터 내에 용이하게 삽입시킬 수 있어, 격벽을 스테이터에 밀착시킬 수 있다. 이에 의해, 스테이터와 로터 사이의 공극을 현저하게 감소시켜 모터 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 스테이터는, 자극 이부의 사이에 형성된 슬롯을 구비하고 있고, 맞물림부는, 슬롯 내에 권선을 유지할 수 있도록 직경 방향 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이 형태에 의하면, 맞물림부는, 슬롯 내에 권선을 유지할 수 있도록 직경 방향 외측으로 연장되어 있으므로, 종래, 별개의 부재로서 슬롯에 삽입되어 있던 권선 유지 부재(환언하면, 스페이서)의 사용을 생략할 수 있다. 따라서, 모터의 부품점수 및 조립 공수를 대폭 저감할 수 있어, 모터의 제조 비용을 대폭 삭감할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 맞물림부는, 슬롯 내에서 직경 방향 외측을 향하여 개방되는 오목부를 구비하고 있어도 된다. 이 형태에 의하면, 맞물림부는, 직경 방향 외측을 향하여 개방되는 오목부를 구비하고 있다. 이 때문에, 맞물림부에 의해 자극 이부와의 직경 방향의 맞물림을 유지하면서, 종래의 평탄한 직사각 형상의 권선 유지 부재(환언하면, 스페이서)와 비교하여, 슬롯 내의 공간을 최대한으로 이용할 수 있다. 이 때문에, 예를 들어 슬롯 내에 수용할 수 있는 권취수를 많게 함으로써, 모터 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상술한 형태 중 어느 하나의 캔드 모터를 구비하는 진공 펌프로서 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 로터실이 감압 분위기 하에서 사용되어, 운전 중에 캔 부재가 큰 압축력을 받는 경우라도, 캔 부재의 두께를 크게 하지 않고, 압축력에 대하여 변형될 우려가 없는 캔 부재를 구비한 캔드 모터를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이터와 로터간의 자기 공극을 최소한으로 함으로써 모터 효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 캔드 모터를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 부품점수 및 조립 공수를 대폭 저감할 수 있는 캔드 모터를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이터의 슬롯 내의 공간을 최대한으로 이용하여, 모터 효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 캔드 모터를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 상기 캔드 모터를 구비하는 진공 펌프를 제공할 수 있다. 상술한 다양한 실시 형태는, 임의의 조합이 가능하다. 이하, 본 발명의 제3 실시 형태군에 대하여, 보다 상세한 실시 형태를 예시하여 설명한다.

3-A. 실시예 3-A:

도 9는 격벽(3-18-1)의 구성의 상세를 도시하는 사시도이다. 격벽(3-18-1)은, 상술한 실시예 1-A의 캔(1-130)에 상당하는 구성이다. 격벽(3-18-2)(도 11 참조)은 격벽(3-18-1)과 마찬가지의 구성을 가지므로, 도 9에는, 격벽(3-18-1)만을 도시한다. 도 9에 도시한 바와 같이, 격벽(3-18-1)은, 실질적으로 원통 형상의 몸통부(3-181)를 구비하고, 몸통부(3-181)의 길이 방향의 일단부(3-182)가 폐쇄되고, 타단부(3-183)가 개방되어 있다. 개구단부(3-183)의 주연에는 환상 플랜지부(3-184)가 형성되어 있고, 환상 플랜지부(3-184)는, 도시하지 않은 볼트 등을 통하여 펌프 케이싱[도 1의 케이싱(1-40)에 상당]측에 밀봉 상태로 고정된다. 몸통부(3-181)의 외주면은, 격벽(3-18-1)의 길이 방향으로 연장되는 리브를 구비하고 있고, 리브는 후술하는 맞물림부에 의해 형성되어 있다.

또한, 도 9에 도시한 예에서는, 격벽(3-18-1)은, 그 길이 방향에 있어서 환상 플랜지부(3-184)와는 반대측의 단부(3-182)가 폐쇄된, 바닥이 있는 원통 형상으로 일체 성형되어 있다. 그러나, 격벽(3-18-1)은, 환상 플랜지부(3-184)와는 반대측의 단부가 개방된 형태를 구비하고 있어도 된다. 도 10에, 그와 같은 개구단부(3-182')를 구비한 격벽(3-18-1')의 예를 도시한다. 이 경우, 별개의 폐쇄 부재가, 밀봉 상태로 개구단부(3-182')에 고정된다.

도 11은 모터 부분 M[도 1의 모터(1-100)에 상당]의 직경 방향의 단면도이다. 이 도면에서는, 모터 M의 축에 수직인 단면을 도시하고 있고, 다른 실시예에서는 도시를 생략한 모터의 냉각 배관이나 설치부에 대해서도 도시하고 있다. 모터 M은, 펌프 P의 주축에 직결된 각각의 모터 로터의 축(3-16'-1, 3-16'-2)에 영구 자석(3-19)이 주위에 설치되고, 그 외주에 격벽(3-18-1, 3-18-2)을 사이에 개재시켜 스테이터(3-11)가 배치됨으로써 구성된다. 스테이터(3-11)는, 스테이터 코어(3-22)와, 스테이터 코어(3-22)의 직경 방향 내측으로 연장되는 복수의 자극 이부(3-20)와, 자극 이부(3-20) 사이에 형성된 슬롯(3-30) 내에 자극 이부(3-20)를 권회하도록 배치되는 권선(3-21)을 구비하고 있다. 각 자극 이부(3-20)의 선단부는, 영구 자석(3-19)에 대향하는 표면적을 크게 하도록, 영구 자석(3-19)에 대하여 실질적으로 평행하게(환언하면, 둘레 방향으로) 연장되어, 연장부(환언하면, 확장부)(3-20-2)를 형성하고 있다. 연장부(3-20-2)는, 스테이터 코어(3-22)로부터 대략 직선 형상으로 연장되는 자극 기초부(3-20-1)보다도 큰 단면적을 갖고 있다(도 12 참조).

자극 이부(3-20)는, 권선(3-21)의 통전 시에 양쪽 모터 로터(3-16-1, 3-16-2) 간의 중심축 C에 있어서 대칭의 위치이며, 또한 반대의 자극을 형성하도록 동기하여 반전하는 브러시리스 직류 모터를 구성한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 모터 M에 2축형 브러시리스 직류 모터를 사용하고 있지만, 다른 실시 형태에서는, 1축형 브러시리스 직류 모터를 사용해도 된다. 또한, 본 실시 형태가 적용되는 모터는, 전기 모터이면 특히 한정되지 않는다.

또한, 본 실시 형태는 진공 펌프에 적절하게 적용되지만, 본 명세서에 있어서, 용어 「진공 펌프」란, 운전 중에 펌프 케이싱 내가 펌프 주위에 대하여 감압된 상태에서 사용되는 펌프를 의미한다. 즉, 「진공」이란, 상대적인 진공을 포함하고, 절대 진공만을 의미하는 것은 아니다. 또한, 본 실시 형태는, 진공 펌프 이외의 펌프에 적용되어도 된다.

다음에, 도 12 및 도 13을 참조하여, 격벽(3-18-1)의 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 도 12는 도 11의 부분 확대도이지만, 권선(3-21)은 도시가 생략되어 있다. 도 13은 격벽(3-18-1)을 단독으로 도시하는 도면이며, 격벽(3-18-1)의 몸통부(3-181)의 길이 방향을 가로지르는 부분 단면도이다.

도 12를 참조하면, 상기한 바와 같이, 스테이터(3-11)의 각 자극 이부(3-20)의 선단부는, 영구 자석(3-19)에 대향하는 표면적을 크게 하도록, 영구 자석(3-19)에 대하여 실질적으로 평행하게(환언하면, 둘레 방향으로) 연장되어, 자극 기초부(3-20-1)보다도 큰 단면적을 갖는 연장부(3-20-2)를 형성하고 있다. 자극 이부(3-20)의 사이에는, 권선(3-21)(도시 생략)이 수용되는 슬롯(3-30)이 형성되어 있다. 한편, 격벽(3-18-1)의 외주부는, 각 슬롯(3-30) 내에서 자극 이부(3-20)와 직경 방향으로 맞물리는 맞물림부를 형성하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 격벽(3-18-1)의 몸통부(3-181)에는, 슬롯(3-30)에 대응하여, 격벽(3-18-1)의 직경 방향 외측으로 돌출되는 돌기부(3-185)가 형성되어 있다. 도 12에 도시한 바와 같이, 각 돌기부(3-185)는, 격벽(3-18-1)의 외주부가 자극 이부(3-20)의 선단부와 끼워 맞춰지도록[환언하면, 격벽(3-18-1)의 외주부가 자극 이부(3-20)의 선단부와 밀착하도록] 자극 이부(3-20)의 선단부에 대하여 상보적인 단면 형상을 구비하고 있다. 구체적으로는, 도 13의 단면도에 도시된 바와 같이, 돌기부(3-185)는, 몸통부(3-181)로부터 직경 방향으로 돌출되는, 폭(환언하면, 둘레 방향 치수)이 작은 기초부(3-185-1)와, 기초부(3-185-1)의 선단으로부터 몸통부(3-181)의 둘레 방향으로 신장하는, 폭이 큰 연장부(환언하면, 확장부)(3-185-2)를 구비하고 있다. 연장부(3-185-2)는, 자극 이부(3-20)의 연장부(3-20-2)와 직경 방향에서 맞물리도록, 슬롯(3-30) 내에서 연장부(3-20-2)에 직경 방향에 대향하여 배치되는 맞물림면(3-185-3)과, 스테이터 코어(3-22)에 대향하는 방향으로 배치되는 평탄한 선단면(3-185-4)을 갖고 있다. 각 돌기부(3-185) 및 각 돌기부(3-185) 사이에 위치하는 몸통부(3-181)의 외표면에 의해, 자극 이부(3-20)의 선단부를 끼워 넣을 수 있도록 홈(3-186)이 형성된다. 이렇게 하여, 본 실시 형태에서는, 격벽(3-18-1)의 각 돌기부(3-185) 및 각 돌기부(3-185) 사이에 위치하는 몸통부(3-181)의 외표면에 의해, 맞물림부가 형성되어 있다.

상기와 같은 구성의 캔드 모터 M에 의해 펌프 P를 회전 구동하면, 펌프 케이싱(3-3) 및 로터실(3-17-1, 3-17-2) 내에는, 진공 영역이 형성되고, 로터실(3-17-1, 3-17-2)을 획정하는 격벽(3-18-1, 3-18-2)에는, 모터 M 주위의 대기압과 진공 영역의 압력의 차압에 의해, 도 12에 도시한 바와 같은 직경 방향의 큰 압축력 F가 작용한다[환언하면, 로터실(3-17-1, 3-17-2) 내측으로의 큰 인장력이 작용한다]. 그러나, 본 실시 형태에서는, 격벽(3-18-1, 3-18-2)의 외주부가, 스테이터(3-11)의 자극 이부(3-20)와 직경 방향에서 맞물리는 맞물림면(3-185-3)을 갖는 맞물림부를 형성하고 있으므로, 펌프 운전 중에 발생하는 직경 방향의 압축력의 일부를 스테이터(3-11)에 의해 지지할 수 있다. 즉, 상기 실시 형태에서는, 압축력의 일부가, 맞물림면(3-185-3)을 통하여 스테이터(3-11)에 의해 지지되므로, 종래와 같이 압축력 모두를 격벽(3-18-1, 3-18-2)에 의해 지지할 필요가 없다. 이 때문에, 격벽(3-18-1, 3-18-2)을 종래보다도 박육으로 형성해도, 압축력에 의해 격벽(3-18-1, 3-18-2)이 내측에 좌굴 변형할 우려가 없다. 따라서, 자기 공극 내에 위치하는 격벽(3-18-1, 3-18-2)의 두께를 종래보다도 대폭 작게 할 수 있고, 이에 의해, 자기 공극을 최소한으로 하여 모터 효율을 개선할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태와 같이, 맞물림부의 맞물림면(3-185-3)을 포함하는 단면 형상은, 자극 이부(3-20)의 선단부에 대하여 상보적인 단면 형상인 것이 바람직하고, 또한, 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 맞물림부는, 격벽(3-18-1, 3-18-2)의 길이 방향 전체로 연장되어, 리브를 형성하고 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 모터 M의 조립 시, 격벽(3-18-1, 3-18-2)의 외주부가 자극 이부(3-20)의 선단부에 끼워 맞춰지도록, 격벽(3-18-1, 3-18-2)을 리브를 따라서 스테이터(3-11) 내에 용이하게 삽입하여, 격벽(3-18-1, 3-18-2)을 스테이터(3-11)에 용이하게 밀착시킬 수 있다. 따라서, 스테이터와 로터간의 공극을 최소한으로 할 수 있다. 이 점에서, 본 실시 형태는, 진공 펌프 이외의 펌프에 대해서도 유리하게 적용될 수 있다. 또한, 다른 실시 형태에서는, 맞물림부가 형성하는 리브는, 도 9, 도 10에 도시한 바와 같이 격벽[3-18-1(3-18-2)]의 전체 길이에 걸쳐 연속하여 연장되어 있지 않아도 된다. 혹은, 당해 리브는, 복수의 구분에 걸쳐 단속적으로 연장되어 있어도 된다. 또한, 격벽[3-18-1(3-18-2)]의 전체 길이의 일부에 걸쳐 연장되어 있어도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 맞물림부를 소정의 직경 방향 치수로 형성함으로써, 맞물림부를, 슬롯(3-30) 내에 권선을 유지하는 권선 유지부로서도 기능시킬 수 있다. 종래, 스테이터의 슬롯 내에 권선을 유지하기 위해서, 「스페이서」라 칭해지는, 별개의 권선 유지 부재가 사용되고 있다. 권선 유지 부재는, 통상, 비금속성 재료로서의 수지 재료를 직사각 형상으로 가공한 부재이며, 각 슬롯마다 삽입되어, 권선이 풀어지지 않도록 슬롯 내에 유지하기 위해서 사용된다. 권선은, 모터 완성 후에 슬롯 내에 수지를 충전함으로써 고정되지만, 스페이서는, 수지 충전까지의 공정 동안 권선을 유지하기 위해서 필요로 된다. 다른 실시 형태에서는, 예를 들어 상기 실시 형태에 있어서의 돌기부(3-185)의 연장부(3-185-2)에 소정 두께를 갖게 함으로써, 연장부(3-185-2)를 종래의 스페이서 대신에 권선 유지부로서 기능시켜도 된다. 연장부(3-185-2)는, 슬롯(3-30) 내에 배치되는 부분이며, 자기 공극 내에 위치하는 부분이 아니기 때문에, 연장부(3-185-2)의 두께가 증가해도, 모터 효율에는 영향을 미치지 않는다. 이 구성에 의해, 별개의 권선 유지 부재를 사용할 필요가 없고, 따라서, 캔드 모터의 부품점수 및 조립 공수를 대폭 저감할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 돌기부(3-185)는, 단면이 대략 T자 형상으로 형성되어 있지만, 이것은, 본 실시 형태에 있어서의 자극 이부(3-20)의 선단부의 단면 형상이, 대략 역T자 형상으로 형성되어 있기 때문이며, 맞물림부를 구성하는 돌기부의 단면 형상은, 대응하는 자극 이부(3-20)의 선단부의 단면 형상에 따라서 바뀔 수 있다. 다른 단면 형상을 갖는 돌기부(3-185')의 예를 도 14에 도시한다. 이 예에서는, 자극 이부(3-20)의 선단부가, 대략 삼각 형상의 단면 형상을 구비하는 연장부(3-20-2')를 형성하고 있다. 이 때문에, 돌기부(3-185')는, 연장부(3-20-2')의 대략 삼각 형상의 빗변으로 맞물리는 맞물림면(3-185'-3)과, 스테이터 코어(3-22)에 대향하여 배치되는 평탄한 선단면(3-185'-4)을 구비한, 대략 역삼각 형상의 부분을 포함하고 있다. 도 12 및 도 13에 도시한 실시 형태와 마찬가지로, 격벽(3-18-1, 3-18-2)에 작용하는 압축 방향의 힘의 일부를, 맞물림면(3-185'-3)을 통하여 스테이터(11)에 지지시킬 수 있다. 또한, 돌기부(3-185')는, 슬롯(3-30) 내에 권선(도시 생략)을 유지할 수 있도록 직경 방향 외측으로 연장되는 권선 유지부(3-187)를 구비하고 있다.

도 15 내지 도 17은, 맞물림부의 단면 형상의 또 다른 예를 도시한다. 상기 실시 형태에서는, 돌기부(3-185, 3-185')의 선단면(3-185-4, 3-185'-4)은, 평탄한 면을 형성하고 있지만, 도 15 내지 도 17의 예에서는, 맞물림부는, 슬롯(3-30) 내에서 직경 방향 외측을 향하여 개방되는 오목부(환언하면, 홈)를 구비하고 있다. 도 15는, 도 13에 도시된 바와 같은 대략 T자 형상 단면의 돌기부의 선단면에, 직사각 형상 단면을 갖는 직사각형 홈(3-288)이 형성된 돌기부(3-285)의 예를 도시하는 도면이다. 구체적으로는, 돌기부(3-285)의 선단면(3-285-4)의 폭 방향에 있어서의 대략 중앙부에, 직사각 형상 단면을 갖는 직사각형 홈(3-288)이 형성되어 있다. 상기 실시 형태와 마찬가지로, 돌기부(3-285)의 기초부(3-285-1)의 선단으로부터 폭 방향으로 연장되는 연장부(3-285-2)는, 슬롯(3-30) 내에서 자극 이부(3-20)의 연장부(3-20-2)에 대향하여 배치되는 맞물림면(3-285-3)을 구비하고 있고, 맞물림면(3-285-3)이 연장부(3-20-2)와 직경 방향에서 맞물리도록, 압축 방향의 힘의 일부를 스테이터(3-11)에 지지시킬 수 있다. 또한, 도 15의 예에서는, 선단면(3-285-4)에 직사각형 홈(3-288)이 형성되어 있으므로, 연장부(3-285-2)가 슬롯(3-30) 내에 배치되어도, 슬롯(3-30) 내의 공간을 권선 유지 공간으로서 최대한 이용할 수 있으므로, 모터 효율을 향상시킬 수 있다.

도 16은, 도 14에 도시된 바와 같은 대략 역삼각 형상 단면의 돌기부의 선단면에, 역삼각 형상 단면을 갖는 삼각 홈(환언하면, V자 홈)(3-388)이 형성된 돌기부(3-385)의 예를 도시하는 도면이고, 도 17은, 도 13에 도시된 바와 같은 대략 T자 형상 단면의 돌기부의 선단면에, 원호 형상 단면을 갖는 원호 홈(3-488)이 형성된 돌기부(3-485)의 예를 도시하는 도면이다. 도 16 및 도 17에 도시한 예에서도, 도 15에 도시한 예와 마찬가지로, 돌기부(3-385, 3-485)의 선단면에 홈(3-388, 3-488)을 형성함으로써, 맞물림면(3-385-3, 3-485-3)에 의한 자극 이부(3-20)와의 직경 방향의 맞물림을 유지하면서, 슬롯(3-30) 내의 공간을 권선 유지 공간으로서 최대한 이용할 수 있으므로, 모터 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 도 16 및 도 17의 예에서는, 오목부(3-388, 3-488)는, 돌기부(3-385, 3-485)에 있어서의 선단면의 폭 방향 전체에 형성되어 있지만, 도 15의 예와 마찬가지로, 선단면의 일부에만 형성되어 있어도 된다.

본 실시 형태는, 펌프에 사용되는 캔드 모터에 널리 적용할 수 있고, 특히, 로터실이 감압 분위기 하에서 사용되는 진공 펌프에 적절하게 사용할 수 있다.

4. 제4 실시 형태군:

이러한 캔드 모터에 의하면, O링이 캔의 둘레 방향의 외면에 설치되므로, O링을 캔의 제2 측의 단부면에 설치하는 경우에 비해, O링의 설치 스페이스분만큼 오버행을 짧게 할 수 있다. 통상, 진공 펌프는, 회전 중심 축선 방향이 수평 방향(연직 방향과 직교하는 방향)으로 되도록 배치되어, 조립된다. 이러한 배치를 전제로 하는 경우, 제1 형태에 의하면, O링은, 수평 방향의 면에 장착되기 때문에, O링을 캔의 제2 측의 단부면에 형성된, 연직 방향의 면에 장착하는 경우와 비교하여, 진공 펌프의 조립 도중에 O링이 벗어나기 어렵다. 따라서, 진공 펌프의 조립이 용이해진다.

본 발명의 일 실시 형태로서, 캔은 수지로 형성되어도 된다. 개구부는, 플랜지 형상으로 형성되고, 플랜지 형상의 회전 중심 축선에 직교하는 방향의 두께는, 몸통부의 두께보다도 커도 된다. 이러한 형태에 의하면, 모터 특성을 향상시키기 위해서, 몸통부의 두께를 최대한 박육으로 하여, 로터와 스테이터의 이격 거리를 작게 하는 경우라도, 개구부의 충분한 강성이 얻어진다. 따라서, O링을 적절하게 압축 변형시켜, 양호한 시일 성능을 얻을 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태로서, 캔은 수지로 형성되어도 된다. 개구부는, 몸통부로부터, 회전 중심 축선 방향과 교차하는 방향 중의 캔의 외측을 향하여 형성되는 제1 부위와, 제1 부위로부터 제1 측을 향하여 형성되는 제2 부위와, 제1 부위와 제2 부위 사이에 형성된 리브를 갖고 있어도 된다. 제1 부위 및 제2 부위의 두께는, 몸통부의 두께의 1배 이상, 또한, 2배 이하이어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 몸통부의 두께를 최대한 박육으로 하여, 로터와 스테이터의 이격 거리를 작게 하는 경우라도, 개구부가 리브에 의해 보강되어, 충분한 강성이 얻어진다. 따라서, O링을 적절하게 압축 변형시켜, 확실한 시일 성능을 얻을 수 있다. 게다가, 캔의 두께가, 부위에 상관없이, 소정 범위 내에 들어가므로, 수지제의 캔을 사출 성형에 의해 적절하게 제조할 수 있다. 또한, 사출 성형에 있어서는, 성형 후, 탈형할 때에, 성형품을 내부 형틀에 남기게 된다. 제3 형태에 의하면, 캔에 리브가 형성되어 있음으로써, 성형품이 내부 형틀(수형)에 걸리기 쉬워지고, 그 결과, 수지제의 캔을 사출 성형에 의해 제조하기 쉬워진다.

본 발명의 일 실시 형태로서, 몸통부의 외면에는, 제2 측이 외측을 돌출된 단차부가, 둘레 방향을 따라서 형성되어 있어도 된다. 캔은, 단차부와 스테이터 코어가 접촉한 상태에서 설치되어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 캔드 모터의 조립 시에 있어서, 단차부에 의해, 회전 중심 축선 방향의 위치 결정을 행할 수 있다. 따라서, 스테이터 코어를 끼워 넣는, 중공 형상의 스테이터 프레임의 내면의 일부에, 내경측으로 돌출된 돌출부가 형성됨과 함께, 캔의 제2 측의 단부가 플랜지 형상으로 형성되고, 당해 돌출부와, 캔의 플랜지 형상의 단부가 접촉하여, 회전 중심 축선 방향의 위치 결정이 이루어지는 경우에 비해, 돌출부의 분만큼, 오버행을 짧게 할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태로서, 캔은, 제1 측과 반대측의 제2 측에서, 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부를 갖고 있어도 된다. 이러한 형태에 의하면, 캔의 내부를 용이하게 밀봉하여, 스테이터 코어와 로터를 기밀하게 격리할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 진공 펌프로서 제공된다. 이 진공 펌프는, 상술한 형태 중 어느 하나의 캔드 모터를 구비하고 있어도 된다. 상술한 다양한 실시 형태는 임의의 조합이 가능하다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태는, 펌프에 연결되어, 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터로서 제공된다. 이 캔드 모터는, 스테이터 코어와, 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와, 스테이터 코어와 로터 사이에 배치되어, 스테이터 코어와 로터를 격리하는 캔이며, 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와, 회전 중심 축선 방향 중의, 펌프에 직결되는 측인 제1 측의 몸통부의 개구를 형성하는 개구부를 갖는 캔을 구비한다. 스테이터 코어와 로터는, 캔과, 캔의 개구부의 외면에 둘레 방향을 따라서 배치된 O링에 의해, 기밀하게 격리된다. 이러한 실시 형태의 캔드 모터는, 다양한 펌프에 적용할 수 있다. 예를 들어, 이 실시 형태의 캔드 모터는, 액체 펌프나, 광의의 기체 펌프의 1종인 송풍기에 적용할 수 있다. 또한, 이 실시 형태의 캔드 모터는, 진공 펌프에 적용될 수 있는 상술한 다양한 실시 형태와 임의의 조합이 가능하다. 이하, 본 발명의 제4 실시 형태군에 대하여, 보다 상세한 실시 형태를 예시하여 설명한다. 이하에서는, 진공 펌프를 예로 설명하지만, 이하에 설명하는 실시 형태는, 상술한 바와 같이, 진공 펌프에 한정되지 않는다.

4-A. 실시예 4-A:

실시예 2-A에 있어서, 진공 펌프(1-20)의 전체 구성은, 상술한 실시예 1-A와 마찬가지이다. 이 때문에, 이하에서는, 실시예 1-A와 상이한 점을 주로 설명한다. 도 18은 로터(4-30)를 회전 구동하는 모터(4-100)의 개략 구성을 도시한다. 이하의 설명에서는, 모터(4-100)에 대하여, 회전 중심 축선 AR 방향 중의, 진공 펌프(4-20)[보다 구체적으로는, 로터(4-30)]에 연결되는 측을 연결측 S1이라고도 부르고, 연결측 S1과 반대측을 외측 S2라고도 부른다. 도 18에 도시한 바와 같이, 모터(4-100)는, 스테이터(4-110)와 로터(4-120)와 캔(4-130)과 스테이터 프레임(4-140)을 구비한다.

스테이터 프레임(4-140)은, 프레임 본체(4-141)와 측판(4-142)을 구비한다. 프레임 본체(4-141)는, 회전 중심 축선 AR을 따라서 내부 공간이 형성된, 원통 형상을 갖고 있다. 측판(4-142)은, 원판 형상을 갖고 있으며, 프레임 본체(4-141)의 외측 S2의 개구를 폐쇄한다. 스테이터(4-110), 로터(4-120) 및 캔(4-130)은, 이 스테이터 프레임(4-140)의 내부 공간에 수용되어 있다.

스테이터(4-110)는, 스테이터 코어(4-111)에 코일(4-112)이 장착된 구성을 갖는다. 스테이터(4-110)는, 스테이터 프레임(4-140)의 프레임 본체(4-141)의 내부에 스테이터 코어(4-111)가 끼워 넣어짐으로써, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 스테이터 프레임(4-140)에 고정된다. 로터(4-120)는, 스테이터(4-110)의 내부에, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되고, 진공 펌프(4-20)의 로터(4-30)의 펌프 주축(4-34)에 직결되어 있다.

이러한 스테이터(4-110)와 로터(4-120) 사이에는, 캔(4-130)이 설치되어 있다. 캔(4-130)은, 스테이터(4-110)와 로터(4-120)를 이격한다. 이 캔(4-130)은, 몸통부(4-131)와, 폐색부(4-132)와, 개구부(4-133)를 구비하고 있다. 몸통부(4-131)는, 대략 원통 형상을 갖고, 회전 중심 축선 AR과 동심으로 배치되어 있다. 이 몸통부(4-131)는, 회전 중심 축선 AR 방향에 있어서의 스테이터(4-110)의 설치 범위의 전체에 연장되어 형성되어 있다. 또한, 몸통부(4-131)의 외면에는, 연결측 S1이 외측으로 돌출된 단차부(4-134)가 둘레 방향을 따라서 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 단차부(4-134)는, 환상으로 연속적으로 형성되어 있다. 즉, 몸통부(4-131)의 두께는, 단차부(4-134)를 경계로, 연결측 S1이 외측 S2보다도 크게 되어 있다. 단, 단차부(4-134)는, 둘레 방향을 따라서 돌출 부위가 점재하는 형태이어도 된다.

폐색부(4-132)는, 캔(4-130)의 외측 S2의 단부면이며, 몸통부(4-131)의 내부 공간을, 몸통부(4-131)의 외측 S2의 단부에서 폐쇄한다. 개구부(4-133)는, 캔(4-130)의 연결측 S1의 단부이며, 캔(4-130)의 연결측 S1의 개구를 형성한다. 개구부(4-133)는, 본 실시예에서는, 그 외경이 몸통부(4-131)의 외경보다도 크게 형성된 플랜지 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 개구부(4-133)의 회전 중심 축선 AR에 직교하는 방향의 두께는, 단차부(4-134)보다도 연결측 S1의 몸통부(4-131), 단차부(4-134)보다도 외측 S2의 몸통부(4-131) 및 폐색부(4-132)보다도 두껍게 되어 있다.

본 실시예에서는, 캔(4-130)은, 수지에 의해 형성되어 있어, 몸통부(4-131), 폐색부(4-132) 및 개구부(4-133)는 일체적으로 형성되어 있다. 몸통부(4-131)의 두께는, 예를 들어 1.5㎜ 내지 2.0㎜로 할 수 있다. 몸통부(4-131)의 두께는, 박육, 예를 들어 0.5㎜ 내지 1.0㎜로 해도 된다. 이러한 캔(4-130)은, 스테이터 코어(4-111)와, 몸통부(4-131) 중의 단차부(4-134)보다도 외측 S2의 부위가 둘레 방향으로 접촉하도록 설치된다. 이때, 단차부(4-134)의 단부면은, 스테이터 코어(4-111)와 접촉한 상태로 된다. 즉, 단차부(4-134)는, 캔(4-130)의 회전 중심 축선 AR 방향의 위치 결정 수단으로서의 기능을 갖는다.

이러한 모터(4-100)는, 스테이터 프레임(4-140)의 프레임 본체(4-141)가, 볼트(도시 생략)에 의해 베어링 부재(4-50)에 고정됨으로써, 진공 펌프(4-20)에 설치된다. 또한, 도 18에서는, 볼트가 설치되는 단면은 도시되어 있지 않다. 이때, 캔(4-130)의 개구부(4-133)의 연결측 S1의 단부면은, 베어링 부재(4-50)의 외측 S2의 단부면과 접촉한다. 또한, 스테이터(4-110)와 로터(4-120)는, 캔(4-130)의 개구부(4-133)의 외면에 둘레 방향을 따라서 배치된 O링(4-151)에 의해, 기밀하게 격리된다. 구체적으로는, 스테이터 프레임(4-140)의 프레임 본체(4-141)의 내면에 둘레 방향을 따라서 오목부(4-143)가 형성되고, 이 오목부(4-143)에 O링(4-151)이 배치되어 있다. 이 O링(4-151)은, 개구부(4-133)와 프레임 본체(4-141) 사이에서, 회전 중심 축선 AR에 교차(여기서는 직교)하는 방향으로 압축되어, 스테이터(4-110)와 로터(4-120) 사이를 시일한다.

또한, 프레임 본체(4-141)의 연결측 S1의 단부면에는, 오목부(4-144)가 형성되고, 이 오목부(4-144)에 O링(4-152)이 배치되어 있다. 이 O링(4-152)은, 프레임 본체(4-141)와 베어링 부재(4-50) 사이에서, 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축되어, 로터(4-120)와, 모터(4-100)의 외부 사이를 시일한다.

도 19는 비교예로서의 모터(4-100a)의 개략 구성을 도시한다. 도 19에 있어서, 모터(4-100a)의 각 구성 요소에는, 이것에 대응하는, 실시예로서의 모터(4-100)의 각 구성 요소에 붙인 부호의 말미에 「a」를 붙인 부호를 부여하고 있다. 이하, 모터(4-100a)에 대하여, 모터(4-100)와 상이한 점에 대해서만 설명한다.

스테이터 프레임(4-140a)은, 돌출부(4-146a)를 구비하고 있다. 돌출부(4-146a)는, 프레임 본체(4-141a)의 내면으로부터, 내측으로 돌출된 부위이며, 프레임 본체(4-141a)의 연결측 S1의 단부 부근에 형성되어 있다. 돌출부(4-146a)의 돌출 길이는, 개구부(4-133a)와 대략 동일하게 형성되어 있다. 돌출부(4-146a)의 회전 중심 축선 AR 방향의 폭을 폭 W1이라고도 부른다. 캔(4-130a)의 몸통부(4-131a)는, 회전 중심 축선 AR 방향에 있어서의 임의의 위치에서, 대략 동일한 두께를 갖고 있다. 즉, 몸통부(4-131a)에는, 모터(4-100)의 단차부(4-134)는 형성되어 있지 않다. 이 때문에, 캔(4-130a)은, 돌출부(4-146a)의 연결측 S1의 단부면과, 개구부(4-133a)의 외측 S2의 단부면이 접촉함으로써, 회전 중심 축선 AR 방향에 위치 결정되어 있다.

베어링 부재(4-50a)의 외측 S2의 단부면에는, 환상의 오목부(4-52a)가 둘레 방향으로 형성되어 있다. 오목부(4-52a)의 회전 중심 축선 AR 방향의 폭을 폭 W2라고도 부른다. 이 오목부(4-52a)에는, O링(4-151a)이 배치되어 있다. O링(4-151a)은, 개구부(4-133a)와 오목부(4-52a) 사이에서, 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축되어, 스테이터(4-110a)와 로터(4-120a) 사이, 및, 로터(4-120a)와, 모터(4-100a)의 외부와의 사이를 시일한다. 모터(4-100a)는, 베어링 부재(4-50a)에 대하여, 회전 중심 축선 AR 방향으로 눌러 설치되므로, 통상, 도 19와 같이, O링(4-151a)은, 당해 누르는 방향, 즉, 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축 변형되도록 배치된다.

이상의 설명으로부터도 명백해지는 바와 같이, 돌출부(4-146a)는, 캔(4-130)의 회전 중심 축선 AR의 위치 결정을 행하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 돌출부(4-146a)는, 개구부(4-133a)가 박육으로 형성되어 있는 경우에, 개구부(4-133a)의 강성을 보조하는 역할도 갖는다. 즉, 돌출부(4-146a)는, O링(4-151a)을 회전 중심 축선 AR 방향으로 압축하기 위해서 필요한 강성을 개구부(4-133a)에 부여한다.

이상 설명한 진공 펌프(4-20)에 의하면, 로터(4-120)와 스테이터 프레임(4-140) 사이를 시일하는 O링(4-151)이, 캔(4-130)[개구부(4-133)]의 외면에 둘레 방향을 따라서 설치된다. 이 때문에, 모터(4-100a)와 같이, O링(4-151a)을 캔(4-130)[개구부(4-133a)]의 연결측 S1의 단부면에 설치하는 경우에 비해, 진공 펌프(4-20)는, O링(4-151)의 설치 스페이스, 즉, 폭 W2의 분만큼, 오버행을 짧게 할 수 있다.

게다가, 진공 펌프(4-20)는, 모터(4-100)의 조립 시에 있어서, 단차부(4-134)에 의해, 회전 중심 축선 AR 방향의 위치 결정을 행할 수 있다. 이 때문에, 모터(4-100a)와 같이, 스테이터 프레임(4-140a)의 내면측에 돌출부(4-146a)가 형성됨과 함께, 캔(4-130a)의 개구부(4-133a)가 플랜지 형상으로 형성되어, 돌출부(4-146a)와, 개구부(4-133a)가 접촉하여, 회전 중심 축선 AR 방향의 위치 결정이 이루어지는 경우에 비해, 진공 펌프(4-20)는, 돌출부(4-146a)의 스페이스, 즉, 폭 W1의 분만큼, 오버행을 짧게 할 수 있다.

또한, 진공 펌프(4-20)를 수평하게 배치, 즉, 회전 중심 축선 AR이 수평 방향을 따라서 연장되도록 배치한 상태에서, 모터(4-100)를 진공 펌프(4-20)에 설치하는 경우, O링(4-151)은, 수평 방향의 면에 장착된다. 이 때문에, 모터(4-100a)와 같이, O링(4-151a)을 연직 방향의 면에 장착하는 경우와 비교하여, 진공 펌프(4-20)는, 진공 펌프(4-20)의 조립 도중에 O링(4-151)이 오목부(4-143)로부터 벗어나서 탈락하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 진공 펌프(4-20)의 조립이 용이해진다.

또한, 진공 펌프(4-20)에 있어서, 캔(4-130)은, 수지로 형성되고, 개구부(4-133)의 두께는, 몸통부(4-131)의 두께보다도 크다. 이 때문에, 모터 효율을 향상시키기 위해서, 몸통부(4-131)의 두께를 최대한 박육으로 하여, 로터(4-120)와 스테이터(4-110) 이격 거리를 작게 하는 경우라도, 개구부(4-133)의 충분한 강성이 얻어지기 때문에, O링(4-151)을 적절하게 압축 변형시켜, 양호한 시일 성능을 얻을 수 있다.

4-B. 실시예 4-B:

도 20 및 도 21은 실시예 4-B로서의 진공 펌프의 캔(4-230)의 구성을 도시한다. 실시예 4-B로서의 진공 펌프는, 캔의 구성의 일부분만이 실시예 4-A와 상이하고, 그 밖의 점은 실시예 4-A와 공통된다. 이 때문에, 이하에서는, 캔(4-230)에 대하여, 실시예 4-A와 상이한 점에 대해서만 설명한다. 도 20은, 도 18에 대응하는, 캔(4-230)의 부분 단면도이다. 도 21은 캔(4-230)을 연결측 S1로부터 본 도면이다.

캔(4-230)은, 실시예 4-A와 마찬가지로, 몸통부(4-231)와 폐색부(4-232)와 개구부(4-233)를 구비한다. 폐색부(4-232)의 두께는, 몸통부(4-231)의 두께보다도 약간 크게 형성되어 있다. 폐색부(4-232)는, 외측 S2를 향하여 부풀어 오른 원호 형상을 갖고 있다. 개구부(4-233)는, 몸통부(4-231)로부터, 회전 중심 축선 AR 방향과 교차(여기서는 직교)하는 방향 중의 캔(4-230)의 외측을 향하여 형성되는 제1 부위(4-234)와, 제1 부위(4-234)로부터 연결측 S1을 향하여 형성되는 제2 부위(4-235)를 갖는다. 제1 부위(4-234) 및 제2 부위(4-235)의 두께는, 몸통부(4-231)의 두께에 대하여, 100％ 이상, 200％ 이하의 범위에 있다.

제1 부위(4-234)와 제2 부위(4-235) 사이에는, 도 20 및 도 21에 도시한 바와 같이, 리브(4-236)가, 둘레 방향으로 점재하여 형성되어 있다. 이 리브(4-236)는, 제2 부위(4-235)의 연결측 S1의 정상면의 내측의 단부로부터, 회전 중심 축선 AR에 직교하고, 또한, 회전 중심 축선 AR을 향하는 방향으로, 제1 부위(4-234)의 회전 중심 축선 AR과 직교하는 방향의 길이와 동일 정도로 연장되어, 회전 중심 축선 AR과 예각을 이루는 기울기로, 제1 부위(4-234)의 몸통부(4-231)측의 기단부에 가까이 붙도록 형성되어 있다. 이러한 캔(4-230)을 구비하는 모터에 있어서, 상술한 O링(4-151)은, 개구부(4-133)의 외면에 배치된다.

이러한 캔(4-230)에 의하면, 몸통부(4-231)의 두께를 최대한 박육으로 하는 경우라도, 개구부(4-233)가 리브(4-236)에 의해 보강되어, 충분한 강성이 얻어진다. 따라서, O링(4-151)을 적절하게 압축 변형시켜, 확실한 시일 성능을 얻을 수 있다. 게다가, 캔(4-130)의 두께가, 부위에 상관없이, 소정의 범위 내에 들어가므로, 수지제의 캔(4-230)을 사출 성형에 의해 적절하게 제조할 수 있다. 또한, 사출 성형에 있어서는, 성형 후, 탈형할 때에 성형품을 내부 형틀에 남기게 된다. 캔(4-230)에 의하면, 캔(4-230)에 리브(4-236)가 형성되어 있음으로써, 성형품이 내부 형틀에 걸리기 쉬워지고, 그 결과, 수지제의 캔(4-230)을 사출 성형에 의해 제조하기 쉬워진다.

4-C. 변형예:

4-C-1. 변형예 4-C-1:

개구부(4-133)는, 반드시 플랜지 형상을 갖고 있을 필요는 없다. 예를 들어, 개구부(4-133)는, 몸통부(4-131)와 동일한 외경으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우에도, O링(4-151)은, 개구부(4-133)와 스테이터 프레임(4-140) 사이에 배치되어도 된다.

4-C-2. 변형예 4-C-2:

O링(4-151)은, 반드시, 프레임 본체(4-141)와 개구부(4-133) 사이에 배치될 필요는 없다. 예를 들어, 베어링 부재(4-50)와 모터(4-100)의 연결면의 형상에 따라서는, O링(4-151)은, 베어링 부재(4-50)와 개구부(4-133) 사이에서, 회전 중심 축선 AR과 직교하는 방향으로 압축 변형되도록, 배치되어도 된다.

4-C-3. 변형예 4-C-3:

O링(4-151)을 배치하기 위한 오목부(4-143)는, 반드시 프레임 본체(4-141)에 형성될 필요는 없다. 예를 들어, 개구부(4-133)에 오목부가 형성되어도 된다.

4-C-4. 변형예 4-C-4:

캔(4-130)의 재질은, 수지에 한하지 않고, 다양한 재질로 할 수 있다. 예를 들어, 캔(4-130)의 재질은, 스테인리스스틸 등의 비자성 금속으로 해도 된다. 이렇게 해도, 실시예 4-A, 4-B와 마찬가지로, 오버행을 짧게 할 수 있다.

4-C-5. 변형예 4-C-5:

캔(4-130)은, 반드시, 외측 S2에서 폐쇄된 형상을 갖고 있을 필요는 없다. 예를 들어, 몸통부(4-131)가, 외측 S2로 더 연장되어 형성되어, 측판(4-142)에 기밀하게 접촉하고 있어도 된다.

이상, 몇 가지의 실시예에 기초하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 조합 또는, 생략이 가능하다. 예를 들어, 상술한 실시예 1-C 및 변형예 1-F-1의 구성은, 실시예 1-A, 1-B의 구성과 분리하여 실현할 수 있고, 예를 들어 스테이터 코어(1-111)와 몸통부(1-131)를 접착재에 의해 접착하고 있지 않은 캔드 모터나, 보강 부재(1-150)를 구비하고 있지 않은 캔드 모터 등에도 적용 가능하다.

1-20 : 진공 펌프
1-30 : 로터
1-31 : 제1단 로터
1-32 : 제2단 로터
1-33 : 제3단 로터
1-34 : 펌프 주축
1-40 : 케이싱
1-50, 1-60 : 베어링 부재
1-51, 1-61 : 베어링
1-70 : 타이밍 기어
1-100, 2-100, 4-100 : 모터
1-110, 2-110, 4-110 : 스테이터
1-111, 1-411, 1-511, 2-111, 4-111 : 스테이터 코어
1-112, 1-113, 2-112, 4-112 : 코일부
1-120, 2-120, 4-120 : 로터
1-130, 1-230, 1-330, 1-430, 1-530, 2-130, 4-130, 4-230 : 캔
1-131, 1-231, 1-331, 2-131, 4-131, 4-231 : 몸통부
1-132, 1-232, 1-332, 2-132, 4-132, 4-232 : 폐색부
1-133, 1-233, 1-333, 2-133, 4-133, 4-233 : 개구부
2-134 : 제1 몸통부
2-134a : 외면
2-134b : 내면
2-135 : 제2 몸통부
1-140, 2-140, 4-140 : 스테이터 프레임
1-141, 2-141, 4-141 : 프레임 본체
1-142, 2-142, 4-142 : 측판
1-145, 1-147, 2-145, 4-143, 4-144 : 오목부
1-146, 2-146 : 돌출부
1-150, 1-160, 2-150 : 보강 부재
1-153, 1-154, 2-153, 4-151, 4-152 : O링
1-161, 4-234 : 제1 부위
1-162, 4-235 : 제2 부위
1-163 : 제3 부위
1-171, 1-172 : 수지
2-210 : 상면측 부위
2-211 : 상면
2-220 : 하면측 부위
2-221 : 하면
1-234, 4-236 : 리브
1-481, 1-581 : 접착제
1-482 : 기초층
1-515 : 티스
1-516 : 공간
1-585 : 부재
S1 : 외측
S2 : 연결측
AR : 회전 중심 축선
PM : 성형품
FR : 대향 범위
P : 펌프
M : 모터 부분
C : 중심축
3-11 : 모터 스테이터
3-13 : 설치부
3-16'-1, 3-16'-2 : 축
3-17-1, 3-17-2 : 로터실
3-18-1, 3-18-2 : 수지 격벽(캔 부재)
3-19 : 영구 자석
3-22 : 스테이터 코어
3-20 : 자극 이부
3-20-1 : 자극 기초부
3-20-2, 3-20-2' : 연장부
3-21 : 권선
3-30 : 슬롯
3-181 : 몸통부
3-182, 3-183 : 단부
3-184 : 환상 플랜지부
3-185, 3-185', 3-285, 3-385, 3-485 : 돌기부
3-185-1, 3-285-1, 3-485-1 : 기초부
3-185-2, 3-285-2, 3-485-2 : 연장부
3-185-3, 3-185'-3, 3-285-3, 3-385-3, 3-485-3 : 맞물림면
3-185-4, 3-185'-4, 3-285-4 : 선단면
3-187, 3-387 : 권선 유지부
3-186 : 홈
3-288, 3-388, 3-488 : 오목부(홈)
4-134 : 단차부

Claims

진공 펌프에 연결되어, 상기 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터이며,
스테이터 코어와,
상기 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와,
상기 스테이터 코어와 상기 로터 사이에 배치되어, 상기 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 상기 스테이터 코어와 상기 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비하고,
상기 캔은, 접착제에 의해 상기 스테이터 코어와 접착되어 있는, 캔드 모터.
진공 펌프에 연결되어, 상기 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터이며,
스테이터 코어와,
상기 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와,
상기 스테이터 코어와 상기 로터 사이에 배치되어, 상기 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 상기 스테이터 코어와 상기 로터를 격리하는 캔이며, 수지, 세라믹스, 또는 그들의 복합재를 재료로 하는 비도전성의 캔을 구비하고,
상기 캔은, 상기 캔의 외표면에 형성된 기초층을 개재하여, 접착제에 의해 상기 스테이터 코어와 접착되어 있고,
상기 기초층은, 상기 캔보다도 상기 접착제와의 친화성이 높은 비도전성 재료에 의해 형성되는, 캔드 모터.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 로터의 회전 중심 축선 방향에 있어서의 상기 스테이터 코어의 외측에 배치되는 환상의 보강 부재이며, 상기 캔의 외면과 둘레 방향으로 접촉하는 보강 부재를 구비한, 캔드 모터.
제3항에 있어서,
상기 캔은, 접착제에 의해 상기 보강 부재와 접착되어 있는, 캔드 모터.
제3항에 있어서,
상기 캔은, 상기 캔의 외표면에 형성된 기초층을 개재하여, 접착제에 의해 상기 보강 부재와 접착되어 있고,
상기 기초층은, 상기 보강 부재보다도 상기 접착제와의 친화성이 높은 비도전성 재료에 의해 형성되는, 캔드 모터.
제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보강 부재의 선팽창 계수는, 상기 스테이터 코어의 선팽창 계수 이하인, 캔드 모터.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스테이터 코어에 있어서 상기 스테이터 코어의 중심을 향하여 돌출되는 복수의 티스의 내주측의 단부간의 공간에, 상기 티스와 걸어 결합하는 비도전성의 부재가 배치된, 캔드 모터.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스테이터 코어보다도 상기 로터의 회전 중심 축선 방향으로 길게 형성되는 스테이터 프레임이며, 상기 스테이터 프레임의 내부 공간에 상기 스테이터 코어가 끼워 넣어진 상태에서, 상기 스테이터 코어를 고정하는 스테이터 프레임과,
상기 스테이터 코어의 상기 회전 중심 축선 방향의 양단부로부터 상기 스테이터 코어의 외측을 향하여 돌출된 코일부에 대응하는 영역이며, 상기 스테이터 프레임과 상기 캔 사이의 영역에 형성된 폐쇄 공간에 충전된 수지를 구비한, 캔드 모터.
제8항에 있어서,
상기 충전된 수지의 선팽창 계수는, 상기 스테이터 코어의 선팽창 계수 이하인, 캔드 모터.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캔은,
상기 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와,
상기 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에서, 상기 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부와,
상기 몸통부의, 상기 제1 측과 반대측인 제2 측의 개구를 형성하는 개구부를 갖고,
상기 폐색부는, 상기 제2 측으로부터 상기 제1 측을 향하여, 내경이 축소되는 부위를 포함하는, 캔드 모터.
제10항에 있어서,
상기 폐색부는, 중앙부가, 상기 제2 측으로부터 상기 제1 측을 향하여 부풀어 오른 돔 형상을 갖는, 캔드 모터.
제10항 또는 제11항에 있어서,
상기 폐색부의 상기 제1 측의 면 및 상기 제2 측의 면 중 적어도 한쪽에 리브가 형성된, 캔드 모터.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 캔드 모터를 구비한, 진공 펌프.
진공 펌프에 연결되어, 상기 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터이며,
스테이터 코어와,
상기 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와,
상기 스테이터 코어와 상기 로터 사이에 배치되어, 상기 스테이터 코어와 접촉한 상태에서, 상기 스테이터 코어와 상기 로터를 격리하는 캔을 구비하고,
상기 캔은,
상기 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부와,
상기 회전 중심 축선 방향 중의 제1 측에서, 상기 몸통부의 내부 공간을 폐쇄하는 폐색부와,
상기 몸통부의, 상기 제1 측과 반대측인 제2 측의 개구를 형성하는 개구부를 갖고,
상기 폐색부는, 상기 제2 측으로부터 상기 제1 측을 향하여, 내경이 축소되는 부위를 포함하는, 캔드 모터.
제14항에 있어서,
상기 폐색부는, 중앙부가, 상기 제2 측으로부터 상기 제1 측을 향하여 부풀어 오른 돔 형상을 갖는, 캔드 모터.
제14항 또는 제15항에 있어서,
상기 폐색부의 상기 제1 측의 면 및 상기 제2 측의 면 중 적어도 한쪽에 리브가 형성된, 캔드 모터.
진공 펌프에 연결되어, 상기 진공 펌프의 회전 구동원으로서 사용되는 캔드 모터이며,
스테이터 코어와,
상기 스테이터 코어의 내측에 배치된 로터와,
상기 스테이터 코어와 상기 로터 사이에 배치되어, 상기 스테이터 코어와 상기 로터를 격리하는 수지제의 캔이며, 상기 로터의 회전 중심 축선 방향으로 연장되는 중공 형상의 몸통부를 갖는 캔을 구비하고,
상기 몸통부의 외경측의 면 및 내경측의 면 중 적어도 한쪽은, 상기 회전 중심 축선 방향에 있어서의 상기 스테이터 코어와 대향하는 대향 범위 중의 적어도 일부의 범위에 있어서의 상기 회전 중심 축선에 대한 기울기가 0.5도 미만의 대략 수평 형상인, 캔드 모터.
스테이터의 내주부를 덮는 원통 형상의 수지 격벽에 의해 스테이터와 로터가 격리된, 진공 펌프의 회전 구동에 사용되는 캔드 모터이며,
상기 격벽의 외주부가, 상기 스테이터의 자극 이부와 직경 방향에서 맞물리는 맞물림부를 형성하고 있는, 캔드 모터.