KR20130091390A - 평판형 광도파로의 각도검사장치 - Google Patents
평판형 광도파로의 각도검사장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20130091390A KR20130091390A KR1020120012613A KR20120012613A KR20130091390A KR 20130091390 A KR20130091390 A KR 20130091390A KR 1020120012613 A KR1020120012613 A KR 1020120012613A KR 20120012613 A KR20120012613 A KR 20120012613A KR 20130091390 A KR20130091390 A KR 20130091390A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- optical waveguide
- pointer
- flat
- angle
- fastener
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 78
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/30—Supports specially adapted for an instrument; Supports specially adapted for a set of instruments
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Geometry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치의 포인터 고정부 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치의 포인터 고정부 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치의 광도파로 고정부 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치의 광도파로 고정부 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치의 사용상태도.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 평판형 광도파로의 각도검사장치를 이용한 영점 조절 및 각도 측정 상태를 보인 표적지 정면도.
도 9는 종래 평판형 광도파로의 각도검사방법을 보인 측정도.
13... 홀 14... 레이저포인터
20... 포인터고정부 21... 수직대 22... 수평대
23... 레일 24... 높이조절수단 25... 승강구
26... 제2고정수볼트 27... 장방홀 28... 나사구멍
30... 광도파로 고정부 31... 지지대 32... 고정쇠
33... 조임쇠 34... 조임쇠 홀더 35... 위치조절수단
36... 흡입구 37... 커넥터 38... 제3고정볼트
39... 받침대 39a... 장방홀
40... 베이스플레이트 50... 평판형 광도파로(PLC)
60... 표적지
Claims (10)
- 레이저 포인터(14)가 장착된 포인터 고정부(20)와,
상기 포인터 고정부(20)와 일정 거리 이격된 위치에서 평판형 광도파로를 탈부착 가능하게 구성된 광도파로 고정부(30)와,
상기 포인터 고정부 및 광도파로 고정부를 고정하는 베이스 플레이트(40)를 포함하여,
상기 레이저 포인터의 빔이 상기 평판형 광도파로의 측면에 반사되어 표적지에 조사되게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 포인터 고정부(20)는, 상기 베이스 플레이트에 고정된 수직대(21)와, 상기 수직대(21)의 일측 면에서 승하강 가능하게 구비된 승강구(25)와, 상기 승강구의 일측 면에 장착되고 상기 레이저 포인터를 장착한 포인터 홀더(10)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 수직대 일측 면에서 상기 승강구와 결합되어 승강구를 가이드하는 수직 레일(23)과, 외면에 나사산이 형성된 봉 형태로 되어 상기 승강구와 나사 결합되고 하단부가 상기 수직대 하부에 체결된 높이조절수단(24)을 더 포함하여, 상기 높이조절수단을 회전시키는 것에 의해 상기 승강구가 수직 레일을 타고 승하강되게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 포인터 홀더(10)는 1개의 제1고정볼트(11)를 매개로 상기 승강구(25) 측면에 고정되어 레이저 포인터의 설치 각을 조절 가능하게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 포인터 홀더(10)는 일측에 레이저 포인터를 장착하는 홀(13)과, 상기 홀의 측면 벽을 관통하여 상기 레이저 포인터를 고정하는 조임구(12)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 수직대 하단에 장방홀(27)이 형성된 수평대(22)가 측면으로 연장 설치되고, 상기 수평대는 상기 장방홀(27)을 관통한 제2고정볼트(26)를 매개로 베이스플레이트에 고정되어 수직대의 고정 위치를 조절 가능하게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 광도파로 고정부(30)는,
상단면에 평판형 광도파로를 안착시키는 지지대(31)와, 상기 지지대(31) 상단면 일측에 구비되어 상기 평판형 광도파로의 일측 면과 접하도록 마련된 고정쇠(32)와, 상기 고정쇠와 대향하는 위치에서 상기 평판형 광도파로의 타측 면과 접하도록 마련된 조임쇠(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 7에 있어서,
상기 조임쇠 일측 단부에 나사봉 형태의 위치조절수단(35)이 체결되고 상기 위치조절수단(35)은 상기 지지대에 설치된 조임쇠홀더(34)와 나사 체결되어 상기 위치조절수단을 회전시키는 것에 의해 상기 조임쇠의 위치를 조절 가능하게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 7에 있어서,
상기 지지대 상단면에 흡입구(36)가 천공되고, 상기 지지대 측면에 상기 흡입구(36)와 연통되고 진공 흡입수단과 연결되는 커넥터(37)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치. - 청구항 7에 있어서,
상기 지지대 하단에 장방홀(39a)이 형성된 받침대(39)가 구비되고, 상기 받침대는 상기 장방홀을 관통한 제3고정볼트(38)를 매개로 베이스플레이트에 고정되어 받침대의 고정 위치를 조절 가능하게 한 것을 특징으로 하는 평판형 광도파로의 각도검사장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120012613A KR20130091390A (ko) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 평판형 광도파로의 각도검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120012613A KR20130091390A (ko) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 평판형 광도파로의 각도검사장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20130091390A true KR20130091390A (ko) | 2013-08-19 |
Family
ID=49216576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120012613A Ceased KR20130091390A (ko) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 평판형 광도파로의 각도검사장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20130091390A (ko) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106153299A (zh) * | 2015-03-24 | 2016-11-23 | 欣兴电子股份有限公司 | 光学检测装置与光学检测方法 |
| KR101964448B1 (ko) * | 2017-09-22 | 2019-04-01 | 포스낙(주) | 진직도 측정장치 |
| US11029206B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for waveguide metrology |
| CN117109885A (zh) * | 2023-10-24 | 2023-11-24 | 深圳大学 | 光波导性能量化激光束特性确定方法及光学组件、设备 |
-
2012
- 2012-02-08 KR KR1020120012613A patent/KR20130091390A/ko not_active Ceased
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106153299A (zh) * | 2015-03-24 | 2016-11-23 | 欣兴电子股份有限公司 | 光学检测装置与光学检测方法 |
| KR101964448B1 (ko) * | 2017-09-22 | 2019-04-01 | 포스낙(주) | 진직도 측정장치 |
| US11029206B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for waveguide metrology |
| CN117109885A (zh) * | 2023-10-24 | 2023-11-24 | 深圳大学 | 光波导性能量化激光束特性确定方法及光学组件、设备 |
| CN117109885B (zh) * | 2023-10-24 | 2024-01-09 | 深圳大学 | 光波导性能量化激光束特性确定方法及光学组件、设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104406541B (zh) | 一种成像系统探测器芯片精密装调设备及装调方法 | |
| CN102589488B (zh) | 光学标尺检测平面度和倾斜度的方法 | |
| CN101329170A (zh) | 一种动态测量导轨直线度的方法 | |
| KR20130091390A (ko) | 평판형 광도파로의 각도검사장치 | |
| CN205880675U (zh) | 一种三坐标测量机零件测量用快速找正装置 | |
| CN206037856U (zh) | 一种可用于楔形塞尺和内外直角检测尺检定的检定装置 | |
| CN108534836B (zh) | 一种用于圆柱形岩石试样的自动化检测装置及方法 | |
| CN104091748B (zh) | 电离室调节装置 | |
| CN210533303U (zh) | 一种光学镜片偏心仪 | |
| CN107436131A (zh) | 一种激光准直设备的平面度测量系统及其测量方法 | |
| CN206609963U (zh) | 一种激光雷达的发射光束方向初步调整垂直装置 | |
| CN107607061B (zh) | 一种用于虚光轴和结构靠面的高精度角度测量方法 | |
| CN109085385A (zh) | 一种基于piv靶盘标定多方向调节辅助盘及其测试方法 | |
| CN217585704U (zh) | 一种平行度检测装置 | |
| CN212567307U (zh) | 一种平面显示系统中方形透镜不对称度的检测装置 | |
| JP2008020338A (ja) | 空間距離計測装置 | |
| CN205373635U (zh) | 侧面影像测量装置 | |
| CN209689620U (zh) | 一种便于土木工程试验试件安装的激光测量装置 | |
| CN117760298A (zh) | 主轴箱平行度的检测装置及其检测方法 | |
| CN104544744A (zh) | 模具激光调校尺 | |
| CN208621006U (zh) | 基于结构光反射的三维厚度检测装置 | |
| CN208872238U (zh) | 一种数控铣床工作台平面度的精密检测装置 | |
| RU166020U1 (ru) | Устройство для задания плоскости | |
| CN207423093U (zh) | 一种平面度检测装置 | |
| CN204202545U (zh) | 一种颅内电极直线度检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20120208 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20130726 Patent event code: PE09021S01D |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20140122 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20130726 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |