KR20130058501A - Tester of package for leak tester of piezoelectric element package - Google Patents

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KR20130058501A
KR20130058501A KR1020110124536A KR20110124536A KR20130058501A KR 20130058501 A KR20130058501 A KR 20130058501A KR 1020110124536 A KR1020110124536 A KR 1020110124536A KR 20110124536 A KR20110124536 A KR 20110124536A KR 20130058501 A KR20130058501 A KR 20130058501A
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최진석
류인환
양일찬
이학표
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주식회사 로보스타
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Abstract

PURPOSE: A testing apparatus of a leak testing package of a piezoelectric element package is provided to provide an impedance measuring structure of an aligned piezoelectric element package before and after pressurization. CONSTITUTION: A pair of first and second X-axis rails is horizontally arranged. A pair of shuttle pockets(30) processes different processes by being respectively arranged on the first and second X-axis rails. A bowl bushing(311) is formed under the shuttle pockets to be guided to an upper direction by a pressure unit(313). A pressure spring(32) for restoring an original position of the shuttle pockets is formed under the bowl bushing. The shuttle pockets are moved as a pressurized unit(31) following the first and second X-axis rails. A testing unit(40) performs a leak test of a work about one of the shuttle pockets.

Description

압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치{TESTER OF PACKAGE FOR LEAK TESTER OF PIEZOELECTRIC ELEMENT PACKAGE}TEST OF PACKAGE FOR LEAK TESTER OF PIEZOELECTRIC ELEMENT PACKAGE}

본 발명은 압전소자 패키지의 리크 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반송장치에 의해 공급된 패키지의 리크 검사를 위한 패키지의 검사 셋팅 구조에 관한 것이다.
The present invention relates to a leak inspection apparatus of a piezoelectric element package, and more particularly, to an inspection setting structure of a package for leak inspection of a package supplied by a conveying apparatus.

일반적으로 수정진동자 등의 압전 소자가 기밀 포장되어 있는 전자부품은 예를들면, 압전소자를 포장하고 있는 패키기(Package)의 기밀성이 양호하지 않는 경우 리크(Leak)가 발생되고 리크가 발생되는 경우 전기적 특성에 영향을 미치게 되며 신뢰성이 저하된다.In general, an electronic component in which a piezoelectric element such as a crystal oscillator is hermetically packaged, for example, is leaked when the airtightness of the package in which the piezoelectric element is packaged is not good, and leakage occurs. This affects the electrical properties and reduces the reliability.

이러한 이유때문에 압전소자를 기밀 포장하고 전자부품을 제작한 뒤, 기밀성의 검사 이른바 리크(Leak) 검사를 행하게 된다.For this reason, the piezoelectric element is hermetically packaged and an electronic component is fabricated, followed by an airtightness test called a leak test.

리크 검사의 방법으로는 거품 리크 테스트(Bubble Leak Test), 차압식 에어 리크 테스트, 압력 변화에 의한 임피던스(Impedance) 측정 방식 등 각종 검사 방법이 알려져 있다.As a leak test method, various inspection methods are known, such as a bubble leak test, a differential pressure air leak test, and an impedance measurement method by a pressure change.

특히, 압력 변화에 의한 임피던스 측정방식은 피검사 대상의 압전 소자용 패키기를 대기의 분위기와 진공 분위기에서 각각 임피던스를 측정하고 그 때의 압력차에 따라서 변화하는 임피던스의 변화량으로부터 리크의 양부를 검출하는 방식이다.In particular, the impedance measurement method according to the pressure change measures the impedance of the piezoelectric element package to be inspected in the air atmosphere and the vacuum atmosphere, respectively, and detects the leakage of the leak from the amount of impedance change that changes according to the pressure difference. That's the way it is.

압전 소자용 패키지는 소형의 크기를 가지므로 정확한 기밀 검사가 요구되고, 소형이므로 대량의 패키지의 검사 시간을 단축시킬 것이 요구되며, 또한 검사장치의 소형화가 요구된다. 이러한 추세에 따라 압전소자 패키지의 검사방식은 압력 변화에 의한 임피던스 측정방식으로 전환되고 있는 추세이다.Since the piezoelectric element package has a small size, accurate airtight inspection is required. Since the piezoelectric element package is small, it is required to shorten the inspection time of a large amount of packages, and also to reduce the size of the inspection apparatus. According to this trend, the inspection method of the piezoelectric device package is being shifted to the impedance measurement method by the pressure change.

이러한 압력변화에 의한 임피던스 측정방식 및 장치에 관하여서는 일본국 특허출원 P2008-514986에 검사장치 및 검사방법으로서 개시된 바 있다.The impedance measuring method and device by such a pressure change have been disclosed in Japanese Patent Application No. P2008-514986 as an inspection device and an inspection method.

일본국 특허출원 P2008-514986에는 소형의 압전소자 패키지를 대기 분위기와 진공 분위기 하에서 각각의 임피던스를 측정하고 임피던스의 측정값에 따라 패키지의 리크의 양부를 판단하는 방식이 기재되어 있으며, 그에 따른 검사장치의 공급 및 반송에 관한 구조가 개략적으로 개시되어 있다.Japanese Patent Application No. P2008-514986 describes a method of measuring the impedance of a small piezoelectric element package in an air atmosphere and a vacuum atmosphere, and determining the leakage of the package according to the measured value of the impedance. The structure of supply and conveyance of is outlined.

하지만, 소형 크기의 패키지의 양부 판단, 대량의 패키지의 단시간내 검사 및 검사장치의 간소화에 따른 구조에 대해서는 구체적인 구조나 기술들이 개시되어 있지 아니하다.However, no specific structure or techniques have been disclosed for the structure resulting from the determination of the availability of a small size package, the short time inspection of a large package, and the simplification of the inspection apparatus.

일본국 특허출원 P2008-514986은 압전소자 패키지의 리크 테스트 방식에 대해서 압력변화에 의한 임피던스 측정 방식에 대해서 상세하고 언급하고 있어 소형 크기의 패키지의 양부 판단 및 대량의 패키지의 단시간 검사를 위한 검사장치에 근접한 기술을 제시하고 있다.Japanese patent application P2008-514986 describes in detail the impedance measurement method by the pressure change for the leak test method of the piezoelectric element package. It suggests a close technology.

그러나, 일본국 특허출원 P2008-514986에는 대량의 압력소자 패키지의 공급 및 반송, 테스트 및 검사등급에 따른 분류 등에 있어서 구체적이지 못하고 단편적이서 이에 대한 향후 지속적인 개발 노력이 절실히 요구되고 있다.
However, Japanese patent application P2008-514986 is not specific and fragmentary in supplying and returning a large number of pressure element packages, and classifying them according to test and inspection grades.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 소형의 압전소자 패키지를 대량으로 검사하고 단시간에 검사할 수 있는 장치를 개발하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and is intended to develop a device capable of inspecting a large amount of small piezoelectric element packages and inspecting them in a short time.

또한, 정렬된 압전소자 패키지의 가압전 임피던스 측정 구조와 가압후 임피던스 측정 구조를 제공하고자 한다.In addition, it is to provide an impedance measurement structure before the pressing and the impedance measurement structure after the pressing of the aligned piezoelectric element package.

또한, 검사지그를 평행의 한 쌍 레일 상에 구성하여 검사와 반송의 동시 공정이 가능하도록 하여 태크타임(Tack Time)을 단축할 수 있는 검사장치 및 반송장치의 평행 이중 레일 구조를 제공하고자 한다.
In addition, an inspection jig is configured on a pair of parallel rails to enable simultaneous processing of inspection and conveyance to provide a parallel double rail structure of an inspection apparatus and a conveying apparatus capable of shortening a tack time.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치는, 압전소자용 패키지인 워크(Work)의 리크(Leak) 검사 장치에 있어서, 수평 배열되는 한 쌍의 제1 및 제2 X축 레일과; 상기 제1 및 제2 X축 레일 상으로 서로 이동되면서 왕복 회전을 하며, 다수개의 워크가 일렬로 배열되어 로딩되고, 각각 상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 위치되어 서로 다른 공정을 수행하는 한 쌍의 셔틀 포켓(Shuttle Pocket)과; 상기 제1 또는 제2 X축 레일 상에 위치되며, 상기 한 쌍의 셔틀 포켓 중 어느 하나에 대해서 워크의 리크 검사를 수행하고, 상기 셔틀 포켓의 하단으로는 상기 셔틀 포켓을 상방향으로 올리는 가압부가 위치하며 상기 셔틀 포켓의 상단으로는 상기 가압부에 의해 상기 셔틀 포켓이 업되는 상황에서 상기 셔틀 포켓의 상부를 실링시키는 커버부를 포함하는 검사 유니트;를 포함하여 이루어질 수 있다. In order to solve the above-mentioned problems, an inspection apparatus for a leak inspection package of a piezoelectric element package according to the present invention is a pair of horizontally arranged leak inspection apparatuses of a work, which is a piezoelectric element package. First and second X-axis rails; Reciprocating rotation while moving to each other on the first and second X-axis rail, a plurality of workpieces are arranged and loaded in a row, respectively located on the first and second X-axis rail to perform different processes A pair of Shuttle Pockets; Located on the first or second X-axis rail, the leakage inspection of the workpiece for any one of the pair of shuttle pockets, the pressing portion for raising the shuttle pocket upwards to the lower end of the shuttle pocket And an inspection unit positioned at an upper end of the shuttle pocket and including a cover unit for sealing an upper portion of the shuttle pocket in a situation in which the shuttle pocket is up by the pressing unit.

여기서, 상기 셔틀 포켓의 하부로는 상기 가압부에 의해 상방향으로 가이드되도록 볼 부싱이 형성되고, 상기 볼 부싱의 하부로는 상기 셔틀 포켓의 원위치 복원을 위한 가압 스프링체가 형성되며, 상기 셔틀 포켓, 볼부싱 및 가압 스프링체는 피가압부를 구성하여 피가압부 단위로 상기 제1 및 제2 X축 레일을 따라 이동되는 것을 특징으로 하여 이루어진다.Here, a ball bushing is formed in the lower portion of the shuttle pocket to be guided upward by the pressing portion, a lower portion of the ball bushing is formed with a pressing spring body for restoring the original position of the shuttle pocket, the shuttle pocket, The ball bushing and the pressure spring body constitute a pressurized part, and are moved along the first and second X-axis rails in the unit of the pressurized part.

여기서, 상기 가압부는, 상단에 형성되는 판형의 가압 플레이트와, 상기 가압 플레이트 하단에 형성되는 캠 플로워와, 상기 캠 플로워의 하단에 형성되어 직선 운동하는 직선 캠과, 상기 직선 캠의 측면에 형성되어 전원을 공급하는 모터를 이루어지는 것을 특징으로 하여 이루어진다.Here, the pressing portion is formed in the plate-shaped pressing plate formed on the upper end, the cam follower formed on the lower end of the pressing plate, the linear cam formed at the lower end of the cam follower and linearly moving, and is formed on the side of the straight cam. It is characterized by comprising a motor for supplying power.

여기서, 상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 상기 한 쌍의 셔틀 포켓이 위치하여 서로 다른 각각의 공정이 이루어지며, 상기 공정은 다수개의 워크를 개별적으로 상기 셔틀 포켓에 로딩하는 로딩단계, 상기 셔틀 포켓에 셋팅된 다수개의 워크들의 리크를 검사하기 전의 검사전 단계, 상기 셔틀 포켓에 셋팅된 다수개의 워크들의 리크를 검사하는 검사단계, 검사가 완료된 상기 셔틀 포켓을 반송하는 반송단계, 로딩단계로 이동하기 전의 원위치 이동전 단계로 구분되고, 상기 한 쌍의 셔틀 포켓 각각은 상기 로딩단계, 검사전 단계, 검사단계, 반송단계, 원위치 이동전 단계 중 어느 하나의 단계를 수행하기 위한 위치에 위치되도록 구현될 수 있다.Here, the pair of shuttle pockets are positioned on the first and second X-axis rails to form different processes, and the process includes a loading step of individually loading a plurality of workpieces into the shuttle pockets. Before the inspection of the leak of the plurality of workpieces set in the shuttle pocket, the inspection step of inspecting the leakage of the plurality of workpieces set in the shuttle pocket, the conveying step of conveying the shuttle pocket is completed, loading step It is divided into a pre-movement step before moving, and each of the pair of shuttle pockets is positioned at a position for performing any one of the loading step, pre-inspection step, inspection step, conveyance step, and pre-movement step. Can be implemented.

여기서, 상기 가압부에 의해 상기 비가압부가 밀폐된 상태에서, 상기 셔틀 포켓 내부에 셋팅되어 있는 워크는 측정부의 프로브(Probe) 핀에 의해 접촉되어 임피던스값이 측정되며, 상기 임피던스값은 상기 셔틀 포켓이 밀폐된 상태(대기압 상태)에서의 상기 워크의 비가압 1차 임피던스와 상기 셔틀 포켓에 기압에 의해 일정하게 가압된 상태(가압 상태)에서의 상기 워크의 가압 2차 임피던스이고, 상기 비가압 1차 임피던스와 상기 가압 2차 임피던스의 차에 따라 그 리트 테스트의 결과 등급을 판별하는 것을 특징으로 하여 이루어진다.Here, in the state in which the non-pressurization portion is sealed by the pressing portion, the workpiece set inside the shuttle pocket is contacted by a probe pin of a measuring portion to measure an impedance value, and the impedance value is measured by the shuttle pocket. It is the unpressurized primary impedance of the said workpiece | work in this sealed state (atmospheric pressure state), and the pressurized secondary impedance of the said workpiece | work in the state (pressurized state) constant pressurized by the air pressure to the said shuttle pocket, and the said non-pressurization 1 The grade of the result of the grit test is determined according to the difference between the differential impedance and the pressurized secondary impedance.

여기서, 상기 비가압 1차 임피던스는 밀폐된 상태에서 진공을 유지하여 임피던스를 측정하고, 상기 가압 2차 임피던스는 밀폐된 상태에서 진공을 유지한 채 기압에 의해 가압을 한 상태에서 임피던스를 측정하여 측정효율을 증대시키는 것이 바람직하다.Here, the non-pressurized primary impedance is measured by measuring the impedance while maintaining a vacuum in a sealed state, and the pressurized secondary impedance is measured by measuring the impedance while being pressurized by atmospheric pressure while maintaining a vacuum in a sealed state It is desirable to increase the efficiency.

여기서, 상기 프로브에는 금(Au) 도금을 하여 전도성을 향상시켜 외부저항으로 인한 데이터 손실을 최소화하여 고주파 대역(40㎐)에서의 계측 데이터를 향상시키고, 상기 프로브와 PCB 기판간의 연결을 납땜방식이 아닌 접촉방식으로 하여 임피던스 측정시 고주파 대역(40㎐)에서의 정확한 측정을 유도하는 것이 바람직하다.
Here, the probe is gold-plated to improve conductivity, thereby minimizing data loss due to external resistance, thereby improving measurement data in the high frequency band (40 Hz), and soldering the connection between the probe and the PCB substrate. In the non-contact method, it is desirable to induce accurate measurement in the high frequency band (40 Hz) during impedance measurement.

상술한 본 발명의 구성에 따르면, 대량의 소형 압전소자 패키지를 단시간에 검사할 수 있는 장치를 제공할 수 있게 되며, 정렬된 압전소자 패키지의 가압전 임피던스 측정 구조와 가압후 임피던스 측정 구조를 제공할 수 있고, 검사장치 및 반송장치의 평행 이중 레일 구조를 제공하여 태크타임(Tack Time)을 단축할 수 있게 된다.
According to the configuration of the present invention described above, it is possible to provide a device capable of inspecting a large number of small piezoelectric element packages in a short time, and to provide a pre-impedance impedance measurement structure and post-pressing impedance measurement structure of the aligned piezoelectric element package. It is possible to reduce the tack time by providing a parallel double rail structure of the inspection device and the conveying device.

도 1은 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 반송장치를 도시한 것이다.
도 3은 도 2의 압전소자 패키지의 정렬장치를 도시한 것이다.
도 4는 도 2의 압전소자 패키지의 노즐 업다운 유니트, 워크 유무 검사센서 및 NG 박스를 설명하기 위해 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 기밀 검사장치와 수평 레일 구조를 도시한 것이다.
도 6은 도 5의 정면도로서 가압부와 피가압부의 구조도이다.
도 7은 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사등급에 따른 반송장치를 도시한 것이다.
도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사 공정도이다.
1 is a schematic diagram of a leak inspection apparatus of a piezoelectric element package according to the present invention.
Figure 2 shows the arrangement, supply and conveying device of the leak inspection package of the piezoelectric element package according to the present invention.
FIG. 3 illustrates an alignment device of the piezoelectric element package of FIG. 2.
FIG. 4 is a view illustrating a nozzle up-down unit, a workpiece presence sensor, and an NG box of the piezoelectric element package of FIG. 2.
Figure 5 shows a leak tightness inspection device and a horizontal rail structure of the package for the leak test of the piezoelectric element package according to the present invention.
FIG. 6 is a front view of FIG. 5 and is a structural diagram of a pressurizing part and a pressurized part.
7 illustrates a conveying apparatus according to an inspection grade of a leak inspection package of a piezoelectric element package according to the present invention.
8A to 8E are leak inspection process diagrams of a piezoelectric element package according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치와 그에 따른 작용효과에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the inspection device of the leakage inspection package of the piezoelectric element package according to the present invention and its effects.

본 발명의 압전소자 패키지(이하 '워크(Work)'라 한다)의 리크 검사장치는 크게 워크를 공급하는 파트 피더(10), 공급된 워크를 셔틀 포켓에 로딩시키는 인덱스 유니트(20), 셔틀 포켓에 로딩된 워크를 가압하여 임피던스를 측정하는 검사 유니트(40) 및 검사가 완료된 워크를 반송하는 언로딩 유니트(50)로 구분된다.The leak test apparatus of the piezoelectric element package according to the present invention (hereinafter referred to as a work) includes a part feeder 10 for supplying a workpiece, an index unit 20 for loading the supplied workpiece into a shuttle pocket, and a shuttle pocket. It is divided into an inspection unit 40 for measuring the impedance by pressing the workpiece loaded in the and an unloading unit 50 for conveying the workpiece whose inspection is completed.

도 1은 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a leak inspection apparatus of a piezoelectric element package according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사장치는 수평의 베이스 플레이트(1) 상에 파트 피더(Parts Feeder, 10)가 마련되며, 파트 피더(10)로부터 워크를 하나씩 픽업하는 인덱스 유니트(Index Unit, 20)가 형성되고, 인덱스 유니트(20)에 의해 픽업(Pick up)된 워크를 하나씩 풋다운(Put down)시켜 검사를 위해 워크가 정렬되는 셔틀 포켓(Shuttle Pocket, 30)이 위치되고, 정렬된 셔틀 포켓(30)을 리크 검사를 위해 이동시키는 제1 및 제2 X축 레일(60, 70)이 형성되며, 제2 X축 레일(70) 상에는 이동된 셔틀 포켓(30)의 워크를 검사하기 위한 검사 유니트(40)가 형성된다. 검사 유니트(40)에 의해 검사가 완료된 워크는 셔틀 포켓(30)에 로딩된 채로 제2 X축 레일(70)을 따라 언로딩 유니트(Unloading Unit, 50) 위치로 반송되고, 언로딩 유니트(50)에 의해 셔틀 포켓(30)에 채워진 워크는 픽업되어 Y축레일(80)을 따라 분류 및 회수박스(90)에 언로딩된다.As shown in FIG. 1, in the leak test apparatus of the piezoelectric element package according to the present invention, a part feeder 10 is provided on a horizontal base plate 1, and the workpieces are one by one from the part feeder 10. An index unit 20 for picking up is formed and a shuttle pocket in which the workpieces are aligned for inspection by putting down the workpieces picked up by the index unit 20 one by one. 30) are positioned, first and second X-axis rails 60, 70 are formed to move the aligned shuttle pocket 30 for leak inspection, and the shuttle pocket moved on the second X-axis rail 70 An inspection unit 40 for inspecting the work of 30 is formed. The workpiece whose inspection is completed by the inspection unit 40 is conveyed to the unloading unit 50 position along the second X-axis rail 70 while being loaded in the shuttle pocket 30, and the unloading unit 50 The work filled in the shuttle pocket 30 by) is picked up and unloaded in the sorting and collecting box 90 along the Y-axis rail 80.

도 2는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 반송장치를 도시한 것이며, 도 4는 도 2의 압전소자 패키지의 노즐 업다운 유니트, 워크 유무 검사센서 및 NG 박스를 설명하기 위해 도시한 것이다.FIG. 2 is a view illustrating an arrangement, supply and transport apparatus of a leak inspection package of a piezoelectric device package according to the present invention, and FIG. 4 illustrates a nozzle up-down unit, a presence / absence inspection sensor, and an NG box of the piezoelectric device package of FIG. 2. It is shown to.

도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 반송장치는 파트 피더(10) 및 인덱스 유니트(20)로 구분될 수 있다.As shown in Figures 2 and 4, the alignment, supply and conveying apparatus of the leak inspection package of the piezoelectric element package according to the present invention may be divided into a part feeder 10 and the index unit 20.

파트 피더(10)는 다량의 소형 압전소자 패키지(워크)가 랜덤하게 얹혀져 회전되면서 워크를 앞뒤 및 좌우로 정렬시키는 볼 피더(Bowl Feeder, 111)와 볼 피더(11)로부터 정렬된 워크가 하나씩 삽입되어 로딩될 수 있도록 하는 리니어 피더(Linear Feeder, 112)를 포함한다. The part feeder 10 has a small number of small piezoelectric element packages (work) mounted on a randomly inserted ball and a ball feeder (111) and the workpiece aligned from the ball feeder (11) to align the workpiece back and forth and left and right, one by one And a linear feeder 112 to be loaded.

파트 피더(10)는 볼 피더(111)와 리니어 피더(112)를 통해 워크를 정렬시키고 인덱스 유니트(20)에 의해 픽업될 수 있는 상태에 놓이도록 준비하는 워크의 공급, 정렬 및 픽업 준비를 구현한다.The part feeder 10 implements supply, alignment, and pickup preparation of the workpiece, which is arranged to align the workpiece via the ball feeder 111 and the linear feeder 112 and to be ready to be picked up by the index unit 20. do.

파트 피더(10)로부터 정렬되어 공급된 워크는 인덱스 유니트(20)에 의해 낱개로 픽업된다.The workpieces fed and aligned from the part feeder 10 are picked up individually by the index unit 20.

인덱스 유니트(20)는 회전하는 턴 테이블(211)과 턴 테이블(211) 상에 원주 방향 등간격으로 배열된 노즐(212)과 노즐(212)과 연결된 진공라인(미도시)의 꼬임을 방지하면서 회전할 수 있도록 하는 로터리 조인트(220)와, 진공라인 등을 내장하여 노즐(212)과 연결시키고 지지대로 활용되는 중공형서포터(219)와, 워크를 픽업하거나 풋다운시키도록 동력을 제공하며 180도 위치에 각각 형성되는 모터(217a, 218a) 및 감속기(217b, 218b)와, 픽업된 워크를 재정렬시키는 센터링 유니트(213)와, 픽업된 워크가 노즐(212)에 존재하는 지 유무 및 풋다운된 워크가 셔틀 포켓(30)에 놓여진 상태인지 즉 셔틀 포켓(30) 상에 워크가 존재하는 지 유무를 판단하는 화상 카메라 유니트(214)와, 노즐(212) 선단에 존재하는 워크가 셔틀 포켓(30)에 풋다운되지 않고 회수될 때 워크의 존재유무를 확인하는 워크 센서 유니트(215)와 워크의 존재시 그 워크를 회수하는 NG박스(216)를 포함하여 이루어진다.The index unit 20 prevents twisting of the rotating turn table 211 and the nozzle 212 arranged at equal intervals in the circumferential direction on the turn table 211 and a vacuum line (not shown) connected to the nozzle 212. A rotary joint 220 to rotate, a hollow supporter 219 that is connected to the nozzle 212 by incorporating a vacuum line and the like and is used as a support, and provides power to pick up or foot down a workpiece. The motors 217a and 218a and the reducers 217b and 218b respectively formed in the Fig. Position, the centering unit 213 for realigning the picked up work, the presence or absence of the picked up work in the nozzle 212 and the foot down The image camera unit 214 for determining whether the workpiece is placed in the shuttle pocket 30, that is, whether or not the workpiece is present on the shuttle pocket 30, and the workpiece existing at the tip of the nozzle 212 are located in the shuttle pocket ( The presence or absence of the workpiece when recovered without being put down Cuts comprises the NG box 216 for collecting the workpiece in the presence of a sensor unit 215, and the work that the work.

인덱스 유니트(20)는 12개의 노즐(212)을 갖을 수 있으며, 파트 피더(10)로부터 공급된 워크는 픽업 노즐(212a)의 위치에서 업다운 유니트(221)에 의해 다운되어 진공에 의해 픽업된다.The index unit 20 may have twelve nozzles 212, and the work supplied from the part feeder 10 is picked up by the vacuum by the up-down unit 221 at the position of the pickup nozzle 212a.

업다운 유니트(221)는 모터(217a, 218a) 및 감속기(217b, 218b)에 의해 동력을 전달받아 원형캠(221a)이 회전하고 원형캠(221a)의 회전에 연동되어 캠플로워(221b, 221c)가 상하 이동되고, 캠플로워(221c)에 위치된 노즐(212)은 상하로 업다운되게 된다. 12개의 노즐(212) 각각은 회전에 따라 픽업 노즐(212a) 및 풋다운 노즐(212b)에 위치될 때마다 각각 별개로 제어된다.The up-down unit 221 receives power from the motors 217a and 218a and the reduction gears 217b and 218b so that the circular cam 221a rotates and is interlocked with the rotation of the circular cam 221a and the cam followers 221b and 221c. Is moved up and down, and the nozzle 212 located in the cam follower 221c is moved up and down. Each of the twelve nozzles 212 is controlled separately each time it is located in the pickup nozzle 212a and the footdown nozzle 212b as it rotates.

픽업된 워크는 턴테이블(211)의 회전에 따라 회전되어 센터링 유니트(213) 위치에 놓이게 되고, 센터링 파트(213a)에 의해 정위치로 재정렬된다.The picked up work is rotated in accordance with the rotation of the turntable 211 to be placed at the centering unit 213, and rearranged to the right position by the centering part 213a.

재정렬된 워크는 다시 턴테이블(211)의 회전에 따라 회전되며, 풋다운 노즐(212b) 위치 전단계에서 화상 카메라 유니트(214)에 의해 노즐 상에 워크가 원상태로 놓여져 있는 지 여부(즉, 워크 유무 상태)를 감지하게 되고, 풋다운 노즐(212b) 위치에서는 워크는 업다운 유니트(221) 및 진공 오프에 의해 셔틀 포켓(30)에 로딩된다.The rearranged workpiece is again rotated in accordance with the rotation of the turntable 211, and whether or not the workpiece is placed in the original state on the nozzle by the image camera unit 214 before the footdown nozzle 212b position (i.e., whether the workpiece is present or not) In the position of the foot down nozzle 212b, the workpiece is loaded into the shuttle pocket 30 by the up-down unit 221 and the vacuum off.

인덱스 유니트(20)는 시계방향으로 회전하게 되고, 셔틀 포켓(30)은 도면상의 우에서 좌로 직선운동을 하게 됨으로써 인덱스 유니트(20)가 시계방향으로 단계적으로 회전하면서 워크를 픽업 및 풋다운을 반복하게 되고, 이에 연동되어 셔틀 포켓(30) 역시 단계적으로 우좌로 직선운동을 하게 된다.The index unit 20 rotates clockwise, and the shuttle pocket 30 moves linearly from right to left on the drawing, so that the index unit 20 rotates clockwise in steps to repeat pick-up and footdown. In connection with this, the shuttle pocket 30 also has a linear movement to the right side by step.

화상 카메라 유니트(214)에 의해 워크의 유무를 감지하여 워크가 존재하지 않는 경우 그 정보를 읽어내어 워크가 없는 상태에서의 동작을 수행할 수 있도록 할 수 있다.The image camera unit 214 detects the presence or absence of a work, and if the work does not exist, the information can be read to perform an operation without a work.

예를 들면, 화상 카메라 유니트(214)에 의해 노즐(212) 상에 워크가 없는 것을 감지한다면 다음 단계인 풋다운 공정이 필요없도록 할 수 있고, 화상 카메라 유니트(214)에 의해 셔틀 포켓(30)의 해당 위치에 워크가 없는 것을 감지한다면 우좌 방향으로의 1단계 전진 운동을 생략하고 워크가 채워질 때까지 전진을 하지 않도록 제어될 수 있다.For example, if the image camera unit 214 detects that there is no work on the nozzle 212, the next step, a foot down process, may be eliminated, and the shuttle pocket 30 may be provided by the image camera unit 214. If it is detected that there is no workpiece at the corresponding position of the first step forward movement to the left direction can be omitted and controlled so as not to move forward until the workpiece is filled.

인덱스 유니트(20)의 풋다운 노즐(212b)의 위치에서 워크가 셔틀 포켓(30)에 풋다운되고, 다시 턴테이블(211)에 의해 회전을 하게 되며(NG박스 회수전 노즐(212c) 위치) 워크 센서 유니트(215)의 워크 감지 센서(215a)에 의해 노즐(212) 선단에 없어야 할 워크가 존재하는 지 다시 한 번 체크한다.At the position of the foot down nozzle 212b of the index unit 20, the workpiece is put down to the shuttle pocket 30, and rotated by the turntable 211 again (the position of the nozzle 212c before the NG box recovery). The workpiece detection sensor 215a of the sensor unit 215 checks again whether there is a workpiece that should not be present at the tip of the nozzle 212.

이때 NG박스 노즐(212d) 위치에 노즐이 이동된 경우, 노즐(212) 선단에 워크가 존재하지 않으면 별 다른 공정없이 회전하게 될 것이며, 노즐(212) 선단에 워크가 존재하면 진공 오프에 의해 포스트(215b)에 의해 고정된 NG 박스(216)로 워크를 회수토록 제어된다. NG 박스(216)로의 워크 회수는 다음 공정 수행의 원활한 진행을 위해 부수적으로 필요하다.At this time, when the nozzle is moved to the position of the NG box nozzle (212d), if there is no workpiece at the tip of the nozzle 212, it will rotate without any other process, if the workpiece is at the tip of the nozzle 212 post by vacuum off The workpiece is controlled to be recovered by the NG box 216 fixed by 215b. Work recovery to NG box 216 is incidentally required for smooth progress of the next process performance.

이러한 1사이클의 360도 회전 공정이 수행되면 다시 그러한 공정들이 반복하여 수행되게 된다.When one cycle of the 360 degree rotation process is performed, such processes are repeatedly performed.

도 3은 도 2의 압전소자 패키지의 정렬장치를 도시한 것이다.FIG. 3 illustrates an alignment device of the piezoelectric element package of FIG. 2.

도 3에 도시된 바와 같이, 픽업된 워크는 센터링 유니트(213)가 위치한 곳으로 회전되면, 2개의 정렬지그(213c)에 의해 노즐(212) 선단에 위치된 워크(210)는 셔틀 포켓(30)에 셋팅될 위치로 정확하게 재정렬되게 된다.As shown in FIG. 3, when the picked-up workpiece is rotated to the position where the centering unit 213 is located, the workpiece 210 positioned at the tip of the nozzle 212 by the two alignment jigs 213c moves to the shuttle pocket 30. Will be precisely rearranged to the position to be set.

2개의 정렬지그(213c)는 베이스(213b) 상에 놓여져 고정되며 중심점을 중심으로 전후 이동되도록 구현된다. 2개의 정렬지그(213c)가 후진된 상태에서 워크(210)를 픽업한 노즐(212)이 그 위치에 놓이면 2개의 정렬지그(213c)는 등간격으로 전진하하면서 워크(210)를 재정렬시키게 된다.The two alignment jigs 213c are placed and fixed on the base 213b and implemented to move back and forth about the center point. When the nozzle 212 picking up the workpiece 210 is placed at the position while the two alignment jigs 213c are reversed, the two alignment jigs 213c realign the workpiece 210 while advancing at equal intervals. .

도 5는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 기밀 검사장치와 수평 레일 구조를 도시한 것이며, 도 6은 도 5의 정면도로서 가압부와 피가압부의 구조도이다.FIG. 5 illustrates a leak tightness inspection device and a horizontal rail structure of a leak inspection package of a piezoelectric element package according to the present invention. FIG. 6 is a front view of FIG.

도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사 장치는 2개의 X축 레일(60, 70)과 1개의 Y축 레일(80)을 갖는다.1, 5 and 6, the leak test apparatus of the piezoelectric element package according to the present invention has two X-axis rails (60, 70) and one Y-axis rail (80).

제1 및 제2 X축 레일(60, 70)은 워크가 셋팅되는 셔틀 포켓(30)의 이동을 가이드하며, Y축 레일(80)은 검사가 완료된 셔틀 포켓(30)의 워크를 반송하기 위한 언로딩 유니트(50)의 이동을 가이드하게 된다.The first and second X-axis rails 60 and 70 guide the movement of the shuttle pocket 30 on which the work is set, and the Y-axis rail 80 carries the work of the shuttle pocket 30 that has been inspected. The movement of the unloading unit 50 is guided.

또한 제1 및 제2 X축 레일(60, 70)은 2개의 셔틀 포켓(30)의 왕복운동을 가이드하게 되며, 2개의 셔틀 포켓(30)은 서로 다른 위치에서 서로 다른 공정을 수행하게 된다.  In addition, the first and second X-axis rails 60 and 70 guide the reciprocation of the two shuttle pockets 30, and the two shuttle pockets 30 perform different processes at different positions.

예를 들면 인덱스 유니트(20)로부터 워크가 다 채워진 하나의 셔틀 포켓(30)은 제1 X축 레일(60)에서 제2 X축 레일(70)로 이동하고 이는 다시 제2 X축 레일(70)에 위치한 검사 유니트(40)로 이동하기 전 상태에 놓이며, 다른 하나의 셔틀 포켓(30)은 검사가 완료되어 언로딩 유니트(50)에 의해 워크들이 로딩되어 워크가 빈 상태의 셔틀 포켓(30) 상태에서 인덱스 유니트(20)로부터 워크를 공급받기 위한 위치로 이동하기 전의 제1 X축 레일(60) 상에 놓이게 된다.For example, one shuttle pocket 30 with the work full from the index unit 20 moves from the first X-axis rail 60 to the second X-axis rail 70, which in turn is the second X-axis rail 70. The shuttle pocket 30 is placed in the state before moving to the inspection unit 40, and the other shuttle pocket 30 has been inspected and the workpieces are loaded by the unloading unit 50 so that the workpiece is empty. 30 is placed on the first X-axis rail 60 before moving to the position for receiving the workpiece from the index unit 20 in the state.

즉, 2개의 셔틀 포켓(30)은 서로 다른 위치에서 각각 다른 공정을 수행하게 되며 이는 서로 간섭없이 각각의 공정을 수행하도록 제1 및 제2 X축 레일(60, 70)에 의해 가능하도록 제어되어 Tack Time(공정시간)을 줄일 수 있도록 한다.That is, the two shuttle pockets 30 perform different processes at different positions, which are controlled to be enabled by the first and second X-axis rails 60 and 70 to perform the respective processes without interfering with each other. It helps to reduce the tack time.

셔틀 포켓(30)은 피가압 유니트(310) 단위로 이동되며, 셔틀 포켓(30) 하부로는 상하 업다운을 원할하게 하기 위한 볼부싱(311)이 형성되고 그 하부로는 가압 유니트(313)로부터 가압되고 복원되도록 가압스프링체(312)가 형성된다.The shuttle pocket 30 is moved in the unit of the pressurized unit 310, and a ball bushing 311 is formed in the lower portion of the shuttle pocket 30 to smoothly move up and down, and from the pressurizing unit 313 to the lower portion thereof. The pressing spring body 312 is formed to be pressed and restored.

검사 유니트(40)의 측면에는 워크를 탑재한 셔틀 포켓(30)이 정확한 위치에 조립이 되어 있는 지를 검사하는 화상 카메라 장치인 셔틀포켓 확인 카메라 유니트(320)이 장착되며, 계측부 전단에 설치되어 계측부에서 임피던스 측정시 프로브 핀과 워크가 일치하여 접촉될 수 있도록 한다.On the side of the inspection unit 40, a shuttle pocket check camera unit 320, which is an image camera device that checks whether the shuttle pocket 30 on which the work is mounted is assembled at the correct position, is mounted and installed at the front end of the measurement unit. In the impedance measurement at the probe, the probe pin and the workpiece should be matched to each other.

피가압 유니트(310)가 검사 유니트(40)의 위치로 이동되면, 즉 피가압 유니트(310)가 가압 유니트(313)의 상방향에 놓이게 되면, 가압 유니트(313)에 의해 피가압 유니트(310)가 상방향으로 업되어 검사 유니트(40)의 커버부(411)와 셔틀 포켓(30)은 서로 맞물리게 되어 기밀 상태를 유지한다.When the pressurized unit 310 is moved to the position of the test unit 40, that is, when the pressurized unit 310 is placed above the pressurizing unit 313, the pressurized unit 310 is pushed by the pressurizing unit 313. ) Is moved upwards and the cover portion 411 and the shuttle pocket 30 of the inspection unit 40 are engaged with each other to maintain the airtight state.

이 상태에서, 검사 유니트(40)에 의해 셔틀 포켓(30)에 채워진 워크들은 동시에 비가압된 상태에서 각각의 워크들의 임피던스값을 측정하게 되고, 이후 진공라인(319)을 통해 진공 가압된 상태에서 각각의 워크들의 임피던스값을 측정하게 된다.In this state, the workpieces filled in the shuttle pocket 30 by the inspection unit 40 measure the impedance value of each of the workpieces in the non-pressurized state at the same time, and then in the vacuum pressurized state through the vacuum line 319. The impedance value of each of the workpieces is measured.

비가압 상태에서의 임피던스와 가압 상태에서의 임피던스를 비교하여 각각의 워크들의 리크 테스트의 결과를 분석하여 각각의 워크들의 기밀 양부 판단을 수행하게 된다. By comparing the impedance in the pressurized state with the impedance in the pressurized state, the results of the leak test of the respective workpieces are analyzed to perform the airtightness determination of the respective workpieces.

기밀 양부 판단은 셔틀 포켓(30)의 1번부터 20번까지의 위치에 해당하는 워크들 각각의 양부를 판단하며, 이 데이타는 언로딩 유니트(50)의 동작 수행과 연동되게 된다.The confidentiality determination determines whether each of the workpieces corresponding to positions 1 to 20 of the shuttle pocket 30 is determined, and this data is linked with the performance of the operation of the unloading unit 50.

여기서, 가압 유니트(313)의 피가압 유니트(310) 가압 방식은 직선 캠(314)에 의해 이루어질 수 있다.Here, the pressurized unit 310 of the pressurizing unit 313 may be pressurized by a straight cam 314.

피가압 유니트(310)가 제2 X축 레일(70)을 따라 검사 유니트(40) 위치(즉, 가압 유니트(313) 상단)로 이동되면, 모터(316)에 의해 베이스(317) 상에 고정된 레일 상의 직선 캠(314)이 좌우 이동되면 이에 따라 캠플로워(315)가 상방향으로 이동되면서 가압 플레이트(318)를 상방향으로 이동시키고 이와 맞닿은 가압스프링(312)과 포스트(미도시)에 의해 셔틀 포켓(30)이 상방향으로 이동되면서 검사 유니트(40)와 맞닿게 된다.When the pressurized unit 310 is moved along the second X-axis rail 70 to the test unit 40 position (ie, the upper end of the pressurizing unit 313), it is fixed on the base 317 by the motor 316. When the straight cam 314 on the rail is moved left and right accordingly, the cam follower 315 is moved upward, thereby moving the pressure plate 318 upward and contacting the pressure spring 312 and the post (not shown). The shuttle pocket 30 is brought into contact with the inspection unit 40 while being moved upward.

검사 유니트(40)는 피가압 유니트(310)가 가압 유니트(313)에 의해 가압된 상태에서 6핀의 프로브(Probe)가 셔틀 포켓(30)에 접촉하여 셔틀 포켓(30)에 로딩되어 있는 워크의 임피던스를 측정부(미도시)에 의해 측정하게 되며, 판별부(미도시)에 의해 측정된 결과에 따라 3분류 등급 또는 5분류 등급으로 판별되어 분류된다.The inspection unit 40 is a workpiece in which the 6-pin probe contacts the shuttle pocket 30 and is loaded in the shuttle pocket 30 while the pressure unit 310 is pressed by the pressure unit 313. The impedance of is measured by a measuring unit (not shown), and is classified and classified into three or five classification classes according to the results measured by the determining unit (not shown).

고주파 대역(40㎐)에서의 계측 데이터를 향상시키기 위해서 임피던스 측정시 사용되는 프로브에 금(Au) 도금을 하여 전도성을 향상시켜 외부저항으로 인한 데이터 손실을 최소화하는 것이 바람직하다. 또한, 프로브와 PCB 기판간의 연결을 납땜방식이 아닌 접촉방식으로 하여 임피던스 측정시 고주파 대역(40㎐)에서의 정확한 측정을 유도할 수 있도록 한다.In order to improve measurement data in the high frequency band (40 kHz), it is desirable to minimize the data loss due to external resistance by improving the conductivity by plating gold (Au) on the probe used for impedance measurement. In addition, the connection between the probe and the PCB substrate is a contact method rather than a soldering method to induce accurate measurement in the high frequency band (40 Hz) during impedance measurement.

측정방식은 대기상태(비가압시)에서 워크의 임피던스값을 측정하고 공기에 의해 가압된 상태(가압시)에서 워크의 임피던스값을 측정하여 측정된 임피던스값의 차이를 계산하여 그 편차를 기준으로 3분류 등급 또는 5분류 등급으로 나뉘어 저장된다. The measuring method measures the impedance value of the workpiece in the standby state (when not pressurized), and measures the impedance value of the workpiece in the pressurized state by air (pressurization), calculates the difference between the measured impedance values, and calculates the difference based on the deviation. It is divided into classification classes or five classification classes.

이때 가압조건은 가압력 0.35mpa(3.5kgf/cm2) 정도이며, 가압기체는 공기가 되고, 측정시간은 워크 하나당 0.41sec가 소요될 수 있다.At this time, the pressurization condition is about 0.35mpa (3.5kgf / cm2) of pressing force, the pressurized gas becomes air, and the measurement time may take 0.41sec per work.

특히, 비가압시에는 임피던스 측정시 밀폐된 상태에서 진공을 유지하여 임피던스를 측정할 수 있고, 이 상태에서 가압이 이루어져 가압시의 임피던스 측정을 실행하면 측정효율이 증대되고 정확한 계측 데이타를 얻을 수 있게 된다.In particular, in the case of non-pressurization, the impedance can be measured by maintaining the vacuum in a closed state during the impedance measurement. In this state, the pressurization is performed, and the impedance measurement at the pressurization is performed, thereby increasing the measurement efficiency and obtaining accurate measurement data. .

도 7은 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사등급에 따른 반송장치를 도시한 것이다.7 illustrates a conveying apparatus according to an inspection grade of a leak inspection package of a piezoelectric element package according to the present invention.

도 2 내지 도 6를 도시된 공정을 거쳐 즉, 검사 유니트(40)에 의해 검사가 완료된 워크는 셔틀 포켓(30) 단위로 이동되어 언로딩 유니트(50)의 위치로 이동된다.2 to 6, that is, the workpiece whose inspection is completed by the inspection unit 40 is moved to the unit of the shuttle pocket 30 to the position of the unloading unit 50.

제2 X축 레일(70)을 따라 언로딩 유니트(50) 위치로 이동된 셔틀 포켓(30)은 2개조 단위로 형성될 수 있으며, 각조에는 10개의 워크가 셋팅된 상태로 로딩되어 검사되고 언로딩될 수 있다.The shuttle pocket 30 moved to the unloading unit 50 position along the second X-axis rail 70 may be formed in two sets, and each set may be loaded and inspected and unloaded with ten workpieces set. Can be loaded.

20개의 워크는 검사 유니트(40)의 검사 결과에 따라 양부의 2단계 결과, 양, 재검사 또는 부의 3단계 결과, 또는 우수, 양, 재검사, 부족 또는 부의 5단계 결과로 분류될 수 있으며, 이러한 분류는 대기 분위기하의 임피던스값과 진공 분위기하의 임피던스값의 차이에 따라 분류가 가능하다.Twenty workpieces can be classified into two-stage results of two parts, two-stage results of positive, positive, retest, or negative, or five-stage results of rain, positive, retest, short, or negative, depending on the inspection result of the inspection unit 40. Can be classified according to the difference between the impedance value in the atmospheric atmosphere and the impedance value in the vacuum atmosphere.

이렇게 분류된 검사결과는 신호라인(513)을 통해 언로딩 유니트(50)로 전달된다.The test results thus classified are transmitted to the unloading unit 50 through the signal line 513.

언로딩 유니트(50)는 검사가 완료되어 반송된 셔틀 포켓(30)의 채워진 20개의 워크를 각각의 진공라인(512) 및 언로딩 모듈(511)을 통해 동시에 셔틀 포켓(30)으로부터 픽업시키고, Y축 레일(80)을 따라 분류 및 회수박스(90)의 위치로 이동되어 검사 결과에 따라(신호라인(513)을 통해) 양품은 양품박스에 불량품은 불량품박스에 분류하여 회수한다. 언로딩 모듈(511), 신호라인(512), 진공라인(513)등은 베이스(514)에 고정될 수 있다.The unloading unit 50 picks up the 20 filled workpieces of the shuttle pocket 30 that have been inspected and returned from the shuttle pocket 30 at the same time through the respective vacuum line 512 and the unloading module 511. It is moved along the Y-axis rail 80 to the position of the sorting and recovery box 90 and according to the inspection result (through the signal line 513), the good quality is sorted in the good quality box and the bad quality sorted in the defective box. The unloading module 511, the signal line 512, the vacuum line 513, and the like may be fixed to the base 514.

예를 들면, 분류 및 회수박스(90)가 3개로 구분되어 있는 경우, 즉 리크 검사결과 양품인 패키지를 회수하는 양품박스(911), 리크 검사결과 그 수치가 양부로 판단하기 어려운 결과를 갖는 패키지를 회수하는 재검사 박스(912) 및 리크 검사결과 그 수치가 기준값이하로 판정된 패키지를 회수하는 불량품박스(913)로 구분되는 경우로서, 셔틀 포켓(30)에 순차적으로 채워진 20개의 워크중 no.1 내지 no.10에 해당하는 워크의 검사결과는 양, no.11 및 no. 12에 해당하는 워크의 검사결과는 재검사, 나머지 no.12 내지 no. 20에 해당하는 워크의 검사결과는 불량인 경우, 언로딩 유니트(50)는 20개의 워크를 동시에 픽업하여 Y축 레일(80)을 따라 양품박스(911) 위치에 도달하면 신호라인(513)을 통해 no.1 내지 no.10에 해당하는 워크의 진공을 오프시켜 양품박스(911)에 언로딩시키고, 다시 언로딩 유니트(50)가 재검사박스(912) 위치에 오면 재검사 대상인 워크 no.11 및 no.12를 언로딩시키며, 다시 언로딩 유니트(50)가 불량품박스(913) 위치에 오면 no.13 내지 no.20에 해당하는 워크를 불량품박스(913)로 언로딩시키게 된다.For example, if the classification and recovery box 90 is divided into three, that is, a quality box 911 for recovering a package that is a good result of the leak inspection result, a package having a result that the value of the leak inspection result is difficult to determine A case is divided into a re-inspection box 912 for recovering a product and a defective box 913 for recovering a package whose value is determined to be equal to or less than a reference value, and among the 20 workpieces sequentially filled in the shuttle pocket 30. The inspection results of the work corresponding to 1 to no. 10 are positive, no. 11 and no. The inspection results of the work corresponding to 12 are retested, and the remaining nos. 12 to no. If the inspection result of the work corresponding to 20 is defective, the unloading unit 50 picks up 20 workpieces at the same time and reaches the signal line 513 along the Y-axis rail 80 to reach the goods box 911. Turn off the vacuum of the work corresponding to no.1 to no.10 through the unloading to the goods box 911, and when the unloading unit 50 comes to the retest box 912 again, the work no. When no.12 is unloaded, when the unloading unit 50 comes to the defective box 913 position, the work corresponding to the nos. 13 to no. 20 is unloaded into the defective box 913.

이때, 셔틀 포켓(30)은 모든 워크가 픽업되어 빈 상태로 놓이며, 제2 X축 레일(70)에서 제1 X축 레일(60)로 이동되어 제1 X축 레일(60)을 따라 인덱스 유니트(20) 위치로 이동되어 워크 공급 준비 상태에 놓이게 된다.At this time, the shuttle pocket 30 is all the work is picked up and placed in an empty state, moved from the second X-axis rail 70 to the first X-axis rail 60 is indexed along the first X-axis rail 60 It is moved to the position of the unit 20 and placed in the ready state for work supply.

도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사 공정도이다. 8A to 8E are leak inspection process diagrams of a piezoelectric element package according to the present invention.

도 1 내지 도 7의 구성을 기준으로 본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사 장치에 의한 워크 공급, 정렬, 검사, 반송 및 회수 공정을 살펴본다.Based on the configuration of FIGS. 1 to 7 looks at the workpiece supply, alignment, inspection, conveyance and recovery process by the leak inspection apparatus of the piezoelectric element package according to the present invention.

본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사 장치는 제1 및 제2 X축 레일(60, 70), Y축 레일(80) 및 2개조의 셔틀 포켓(30a, 30b)을 포함하도록 구성하여 공정시간 단축을 통해 대량의 압전소자 패키지를 단시간에 측정이 가능한 장치를 제공하고 있다.Leak inspection apparatus of the piezoelectric element package according to the present invention is configured to include the first and second X-axis rail (60, 70), Y-axis rail 80 and two sets of shuttle pocket (30a, 30b) process time By shortening, a large-scale piezoelectric device package can be measured in a short time.

압전소자 패키지의 리크 검사 공정은 도 8a 내지 도 8e 공정이 반복하여 연속적으로 이루어진다.The leak inspection process of the piezoelectric element package is continuously performed by repeating the processes of FIGS. 8A to 8E.

여기서, 2개의 셔틀 포켓(30a, 30b)의 거리 및 단계 위치는 공급시간, 검사시간 및 이동시간에 따라 변경될 수 있을 것이다.Here, the distance and step position of the two shuttle pockets (30a, 30b) may be changed according to the supply time, inspection time and travel time.

도 8a 단계 : 제2 셔틀 포켓(30b)은 제2 X축 레일(70)에 위치되고 인덱스 유니트(20)와 맞줄린 위치에 놓여져 있으며, 인덱스 유니트(20)로부터 워크를 공급받기 전 상태이고 파트 피더(10)로부터 인덱스 유니트(20)로 워크가 공급되는 상태이다. 제1 셔틀 포켓(30a)은 워크들이 다 채워진 상태에서 제2 X축 레일(70) 상의 검사 유니트(40)에서 리크 검사가 진행중인 상태이다.Step 8a: The second shuttle pocket 30b is positioned on the second X-axis rail 70 and aligned with the index unit 20, and is in a state before receiving the workpiece from the index unit 20 and is part The workpiece is supplied from the feeder 10 to the index unit 20. The first shuttle pocket 30a is in a state where a leak inspection is in progress in the inspection unit 40 on the second X-axis rail 70 while the workpieces are all filled.

도 8b 단계 : 제1 셔틀 포켓(30a)의 워크들은 리크 검사가 계속 진행중이며, 제2 셔틀 포켓(30b)은 인덱스 유니트(20)로부터 워크를 공급받아 워크들이 하나씩 로딩되는 상태이다.8B: Leak checks are continuously being performed on the workpieces of the first shuttle pocket 30a, and the second shuttle pocket 30b is supplied with the workpieces from the index unit 20, and the workpieces are loaded one by one.

도 8c 단계 : 제1 셔틀 포켓(30a)의 워크들은 리크 검사가 완료되어 제2 X축 레일(70)을 따라 언로딩 유니트(50)가 위치한 곳으로 반송된 상태이며, 제2 셔틀 포켓(30b)은 워크들이 다 채워진 상태에서 제2 X축 레일(70)을 따라 이동하기 위해 제2 X축 레일(70) 방향(화살표 방향)으로 당겨져 검사를 위한 이동전 상태로 된다.Step 8c: The workpieces of the first shuttle pocket 30a are leak-tested and returned to the place where the unloading unit 50 is located along the second X-axis rail 70 and the second shuttle pocket 30b. ) Is pulled in the direction of the second X-axis rail 70 (arrow direction) to move along the second X-axis rail 70 in a state where the workpieces are full, and is in a state before moving for inspection.

도 8d 단계 : 제1 셔틀 포켓(30a)은 언로딩 유니트(50)에 의해 워크들이 로딩되어 비어 있는 상태에서 제2 X축 레일(70)로부터 제1 X축 레일(60)로 이동되고, 제2 셔틀 포켓(30b)은 검사 유니트(40)가 위치한 곳으로 제2 X축 레일(70)을 따라 이동되어 검사를 받기 위한 상태에 놓이게 된다.8D: The first shuttle pocket 30a is moved from the second X-axis rail 70 to the first X-axis rail 60 in a state where the workpieces are loaded by the unloading unit 50 and are empty. The two shuttle pockets 30b are moved along the second X-axis rail 70 to the place where the inspection unit 40 is located and placed in a state for being inspected.

(E)단계 : 제2 셔틀 포켓(30b)은 검사 유니트(40)에 의해 리크 검사가 진행중인 상태에 놓이게 되고, 제1 셔틀 포켓(30a)은 워크를 공급받기 위해 인덱스 유니트(20)가 위치한 곳으로 이동하기 위한 대기상태에 놓인다. 이때 언로딩 유니트(50)에 의해 픽업된 워크들은 분류 및 회수박스(90)에 각각의 검사결과에 따라 양품박스(911), 재검사박스(912) 및 불량품박스(913)에 언로딩된다. (E)단계 이후에는 (A)단계와 같은 셋팅 위치에 놓이게 되며 (A)단계 내지 (E)단계는 연속하여 반복적으로 공정이 수행된다.Step (E): the second shuttle pocket 30b is placed in a leak test in a state in which the inspection unit 40 is in progress, and the first shuttle pocket 30a is where the index unit 20 is located to receive the work. Put on standby to move to. At this time, the workpieces picked up by the unloading unit 50 are unloaded in the goods box 911, the reinspection box 912, and the defective item box 913 according to the inspection result in the sorting and recovery box 90. After step (E), it is placed in the same setting position as step (A), and steps (A) to (E) are continuously and repeatedly performed.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, As will be understood by those skilled in the art. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

1 : 베이스 플레이트 10 : 파트 피더
20 : 인덱스 유니트 30 : 셔틀 포켓
40 : 검사 유니트 50 : 언로딩 유니트
60 : 제1 X축 레일 70 : 제2 X축 레일
80 : Y축 레일 90 : 분류 및 회수박스
111 : 볼 피더 112 : 리니어 피더
210 : 워크 211 : 턴테이블
212 : 노즐 213 : 센터링 유니트
213a : 센터링 파트 213b : 베이스
213c : 정렬지그 214 : 화상 카메라 유니트
215 : 워크 센서 유니트 215a : 워크 감지 센서
215b : 포스트 216 : NG 박스
217a, 218a, 316 : 모터 217b, 218b : 감속기
219 : 중공형 서포터 220 : 로터리 조인트
221 : 업다운 유니트 221a : 원형 캠
221b, 221c, 315 : 캠 플로워 310 : 피가압 유니트
311 : 볼부싱 312 : 가압 스프링체
313 : 가압 유니트 314 : 직선 캠
317 : 베이스 320 : 셔틀포켓 확인 카메라 유니트
511 : 언로딩 모듈 512 : 신호라인
513 : 진공라인 514 : 베이스
911 : 양품박스 912 : 재검사박스
913 : 불량품박스
1: Base Plate 10: Part Feeder
20 Index unit 30 Shuttle pocket
40: inspection unit 50: unloading unit
60: first X-axis rail 70: second X-axis rail
80: Y-axis rail 90: Sorting and collecting box
111: ball feeder 112: linear feeder
210: Walk 211: Turntable
212: nozzle 213: centering unit
213a: centering part 213b: base
213c: alignment jig 214: image camera unit
215: Work sensor unit 215a: Work detection sensor
215b: Post 216: NG Box
217a, 218a, 316: motor 217b, 218b: reducer
219: hollow supporter 220: rotary joint
221: up-down unit 221a: round cam
221b, 221c, 315: Cam Follower 310: Pressurized Unit
311: ball bushing 312: pressure spring body
313: pressure unit 314: straight cam
317: Base 320: Shuttle pocket check camera unit
511: unloading module 512: signal line
513: vacuum line 514: base
911: Production box 912: Reinspection box
913: defective box

Claims (8)

압전소자용 패키지인 워크(Work)의 리크(Leak) 검사 장치에 있어서,
수평 배열되는 한 쌍의 제1 및 제2 X축 레일과;
상기 제1 및 제2 X축 레일 상으로 서로 이동되면서 왕복 회전을 하며, 다수개의 워크가 일렬로 배열되어 로딩되고, 각각 상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 위치되어 서로 다른 공정을 수행하는 한 쌍의 셔틀 포켓(Shuttle Pocket)과;
상기 제1 또는 제2 X축 레일 상에 위치되며, 상기 한 쌍의 셔틀 포켓 중 어느 하나에 대해서 워크의 리크 검사를 수행하고, 상기 셔틀 포켓의 하단으로는 상기 셔틀 포켓을 상방향으로 올리는 가압 유니트가 위치하며 상기 셔틀 포켓의 상단으로는 상기 가압 유니트에 의해 상기 셔틀 포켓이 업되는 상황에서 상기 셔틀 포켓의 상부를 실링시키는 커버부를 포함하는 검사 유니트;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
In the leak inspection apparatus of the work which is a package for piezoelectric elements,
A pair of first and second X-axis rails arranged horizontally;
Reciprocating rotation while moving to each other on the first and second X-axis rail, a plurality of workpieces are arranged and loaded in a row, respectively located on the first and second X-axis rail to perform different processes A pair of Shuttle Pockets;
A pressurizing unit positioned on the first or second X-axis rail and performing a leak test of the workpiece with respect to any one of the pair of shuttle pockets, and raising the shuttle pocket upwards to the lower end of the shuttle pocket; Is located at an upper end of the shuttle pocket; an inspection unit including a cover unit for sealing an upper portion of the shuttle pocket in a situation where the shuttle pocket is up by the pressurizing unit; Leak inspection package inspection device.
제1항에 있어서,
상기 셔틀 포켓의 하부로는 상기 가압 유니트에 의해 상방향으로 가이드되도록 볼 부싱이 형성되고, 상기 볼 부싱의 하부로는 상기 셔틀 포켓의 원위치 복원을 위한 가압 스프링체가 형성되며, 상기 셔틀 포켓, 볼부싱 및 가압 스프링체는 피가압 유니트를 구성하여 피가압 유니트 단위로 상기 제1 및 제2 X축 레일을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 1,
A ball bushing is formed in the lower portion of the shuttle pocket to be guided upward by the pressing unit, and a lower portion of the ball bushing is formed with a pressing spring body for restoring the original position of the shuttle pocket. And the pressurizing spring body constitutes a pressurized unit and moves along the first and second X-axis rails in a unit of the pressurized unit.
제1항에 있어서,
상기 가압 유니트는,
상단에 형성되는 판형의 가압 플레이트와,
상기 가압 플레이트 하단에 형성되는 캠 플로워와,
상기 캠 플로워의 하단에 형성되어 직선 운동하는 직선 캠과,
상기 직선 캠의 측면에 형성되어 전원을 공급하는 모터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 1,
In the pressure unit,
Plate-shaped pressing plate formed on the top,
A cam follower formed at the bottom of the pressing plate,
A linear cam formed at a lower end of the cam follower and linearly moving;
And a motor which is formed on a side surface of the straight cam and supplies power.
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 상기 한 쌍의 셔틀 포켓이 위치하여 서로 다른 각각의 공정이 이루어지며,
상기 공정은 다수개의 워크를 개별적으로 상기 셔틀 포켓에 로딩하는 로딩단계, 상기 셔틀 포켓에 셋팅된 다수개의 워크들의 리크를 검사하기 전의 검사전 단계, 상기 셔틀 포켓에 셋팅된 다수개의 워크들의 리크를 검사하는 검사단계, 검사가 완료된 상기 셔틀 포켓을 반송하는 반송단계, 로딩단계로 이동하기 전의 원위치 이동전 단계로 구분되고,
상기 한 쌍의 셔틀 포켓 각각은 상기 로딩단계, 검사전 단계, 검사단계, 반송단계, 원위치 이동전 단계 중 어느 하나의 단계를 수행하기 위한 위치에 위치되는 것을 특징으로 하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 1,
The pair of shuttle pockets are positioned on the first and second X-axis rails to perform different processes.
The process includes a loading step of loading a plurality of workpieces individually into the shuttle pocket, a pre-inspection step before examining leaks of the plurality of workpieces set in the shuttle pocket, and inspecting the leaks of the plurality of workpieces set in the shuttle pocket. Is divided into an inspection step, a conveyance step of conveying the shuttle pocket in which the inspection is completed, and an in-situ movement before moving to a loading step,
Each of the pair of shuttle pockets is located at a position for performing any one of the loading step, the pre-inspection step, the inspection step, the conveyance step, and the home position transfer step, the leak inspection of the piezoelectric element package. Inspection device for the package.
제1항에 있어서,
상기 가압 유니트에 의해 상기 비가압 유니트가 밀폐된 상태에서,
상기 셔틀 포켓 내부에 셋팅되어 있는 워크는 측정부의 프로브(Probe) 핀에 의해 접촉되어 임피던스값이 측정되며,
상기 임피던스값은 상기 셔틀 포켓이 밀폐된 상태(대기압 상태)에서의 상기 워크의 비가압 1차 임피던스와 상기 셔틀 포켓에 기압에 의해 일정하게 가압된 상태(가압 상태)에서의 상기 워크의 가압 2차 임피던스이고,
상기 비가압 1차 임피던스와 상기 가압 2차 임피던스의 차에 따라 그 리트 테스트의 결과 등급을 판별하는 것을 특징으로 하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 1,
In the state where the non-pressurizing unit is sealed by the pressurizing unit,
The workpiece set inside the shuttle pocket is contacted by a probe pin of a measuring unit to measure an impedance value.
The impedance value is a pressure secondary of the workpiece in a state in which the shuttle pocket is constantly pressurized by the non-pressurized primary impedance of the workpiece in a sealed state (atmospheric pressure state) and air pressure to the shuttle pocket. Impedance,
And determining a grade of a result of the grits test according to the difference between the non-pressurized primary impedance and the pressurized secondary impedance.
제5항에 있어서,
상기 비가압 1차 임피던스는 밀폐된 상태에서 진공을 유지하여 임피던스를 측정하고,
상기 가압 2차 임피던스는 밀폐된 상태에서 진공을 유지한 채 기압에 의해 가압을 한 상태에서 임피던스를 측정하여 측정효율을 증대시키는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 5,
The non-pressurized primary impedance is measured by maintaining a vacuum in a sealed state,
And the pressurized secondary impedance increases the measurement efficiency by measuring impedance while pressurizing by air pressure while maintaining a vacuum in a closed state.
제5항에 있어서,
상기 프로브에는 금(Au) 도금을 하여 전도성을 향상시켜 외부저항으로 인한 데이터 손실을 최소화하여 고주파 대역(40㎐)에서의 계측 데이터를 향상시키고,
상기 프로브와 PCB 기판간의 연결을 납땜방식이 아닌 접촉방식으로 하여 임피던스 측정시 고주파 대역(40㎐)에서의 정확한 측정을 유도하는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 5,
The probe is gold plated to improve conductivity, thereby minimizing data loss due to external resistance, thereby improving measurement data in a high frequency band (40 Hz).
A device for inspecting a leak inspection package of a piezoelectric element package by inducing a precise measurement in a high frequency band (40 Hz) during impedance measurement by connecting the probe and the PCB substrate using a contact method instead of a soldering method.
제1항에 있어서,
상기 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치는 전단부에 셔틀 포켓이 정확한 위치에 조립이 되어 있는지를 검사하고, 임피던스 측정시 프로브 핀과 워크가 일치하여 접촉할 수 있도록 이미지 센싱하는 셔틀포켓 확인 카메라 유니트가 더 형성되는, 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치.
The method of claim 1,
The inspection device for the leakage inspection package of the piezoelectric element package checks whether the shuttle pocket is assembled at the correct position in the front end portion, and checks the shuttle pocket for sensing the image so that the probe pin and workpiece can be contacted when measuring impedance. A device for inspecting a leak inspection package of a piezoelectric element package, wherein a camera unit is further formed.
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