KR20120122907A - Lamination apparatus - Google Patents

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KR20120122907A
KR20120122907A KR1020120041505A KR20120041505A KR20120122907A KR 20120122907 A KR20120122907 A KR 20120122907A KR 1020120041505 A KR1020120041505 A KR 1020120041505A KR 20120041505 A KR20120041505 A KR 20120041505A KR 20120122907 A KR20120122907 A KR 20120122907A
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adhesive
rigid
bonding
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KR1020120041505A
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신 아까사까
사또시 구몬
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소니 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A lamination device is provided to effectively weld flexible materials to rigid materials in short time through adhesive. CONSTITUTION: A lamination device comprises a flexible substrate returning device(10), a rigid substrate returning device(20), a coating device(30), a cutting device(40), and a laminating device(50). The flexible material returning device returns the flexible material(1) having belts form. The rigid material returning device returns a sheet shaped rigid material(2). The coating device returns the flexible material and coats a transfer layer with adhesive. The cutting device returns the flexible material and cuts the transfer layer in which adhesive is coated. The flexible material returns the flexible and rigid materials and welds the cut transfer layer to the rigid material by using adhesive.

Description

접합 장치{LAMINATION APPARATUS}Junction Device {LAMINATION APPARATUS}

본 발명은, 점착제를 통해 가요성 기재를 강성 기재에 접합시키기(laminating) 위한 접합 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a bonding apparatus for laminating a flexible substrate to a rigid substrate through an adhesive.

최근, 표시 장치로 대표되는 다양한 전자 장치가 개발되어 왔다. 이러한 전자 장치는, 표시 기능 등의 각종 기능을 구현하기 위해서, 구동용의 박막 트랜지스터(TFT: thin film transistor) 등의 회로 장치가 탑재된 회로 기판을 포함한다.Recently, various electronic devices represented by display devices have been developed. Such an electronic device includes a circuit board on which circuit devices such as a thin film transistor (TFT) for driving are mounted in order to implement various functions such as a display function.

회로 기판의 지지 기재로서, 유리판 등의 강성 기재가 널리 이용되고 있다. 그러나, 가요성 전자 장치를 실현하기 위해서, 플라스틱 필름 등의 가요성 기재를 이용하는 것이 검토되고 있다. 이 경우, 가요성 기재의 표면에 TFT 등의 회로 소자를 형성할 필요가 있기 때문에, 가요성 기재를 휨(deflection) 및 뒤틀림(strain) 등의 변형에 대해 고정시킬 필요가 있다.As a support base material of a circuit board, rigid base materials, such as a glass plate, are used widely. However, in order to realize a flexible electronic device, using flexible base materials, such as a plastic film, is examined. In this case, since it is necessary to form a circuit element such as TFT on the surface of the flexible substrate, it is necessary to fix the flexible substrate against deformation such as deflection and strain.

강성 기재를 이용해서 가요성 기재를 지지하기 위해서, 예를 들면 특허문헌 1 내지 3에 개시된 바와 같이 점착제를 통해 가요성 기재를 강성 기재에 접합하는 것이 제안되어 있다. 또한, 예를 들면, 비특허문헌 1에는 그 접합용의 장치가 제안되어 개시되어 있다.In order to support a flexible base material using a rigid base material, it is proposed to join a flexible base material to a rigid base material through an adhesive, for example as disclosed in patent documents 1-3. For example, Non-Patent Document 1 proposes and discloses a device for joining.

일본 특허 공개 공보 제2006-237542호Japanese Patent Laid-Open No. 2006-237542 일본 특허 공개 공보 제2007-251080호Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2007-251080 일본 특허 공개 공보 제2009-246090호Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2009-246090

www.mck-web.co.jp/company_profile/history/index.htmlwww.mck-web.co.jp/company_profile/history/index.html

종래에는, 점착제를 이용해서 가요성 기재를 강성 기재에 접합하기 때문에 장시간을 필요로 하고 작업 효율도 충분히 높지 않다. 더구나, 접합에 시간이 지나치게 소요된다면, 흡습(moisture absorption) 등에 기인해서 점착제의 성능이 저하하므로, 접합 후에 가요성 기재가 강성 기재로부터 박리하기 쉬워진다.Conventionally, since a flexible base material is bonded to a rigid base material using an adhesive, long time is required and work efficiency is not high enough. In addition, if the bonding takes too much time, the performance of the pressure-sensitive adhesive decreases due to moisture absorption and the like, so that the flexible substrate easily peels off from the rigid substrate after bonding.

따라서, 점착제를 통해 가요성 기재를 강성 기재에 단시간에 효율적으로 접합하는 것이 가능한 접합 장치를 제공하는 것이 바람직하다.Therefore, it is desirable to provide a bonding apparatus capable of efficiently bonding a flexible substrate to a rigid substrate in a short time through an adhesive.

본 명세서에 개시된 발명의 일 실시 형태에 따르면, 적층된 전사층 및 지지층을 포함하는 띠 형상의(belt-like) 가요성 기재를 반송하도록 구성된 기구와, 시트 형상의 강성 기재를 반송하도록 구성된 기구와, 띠 형상의 가요성 기재를 반송시키면서, 전사층에 점착제를 코팅시키도록 구성된 코팅 기구와, 띠 형상의 가요성 기재를 반송시키면서, 점착제가 코팅된 전사층을 시트 형상으로 절단하도록 구성된 기구와, 띠 형상의 가요성 기재 및 시트 형상의 강성 기재를 반송시키면서, 시트 형상으로 절단된 전사층을 강성 기재에 점착제를 통해 접합하도록 구성된 접합 기구를 포함하는 접합 장치가 제공된다.According to one embodiment of the invention disclosed herein, a mechanism configured to convey a belt-like flexible substrate including a laminated transfer layer and a support layer, a mechanism configured to convey a sheet-shaped rigid substrate, and A coating mechanism configured to coat the adhesive on the transfer layer while conveying the band-shaped flexible substrate, a mechanism configured to cut the transfer layer coated with the adhesive into a sheet shape while conveying the band-shaped flexible substrate; There is provided a bonding apparatus including a bonding mechanism configured to bond a transfer layer cut into a sheet shape to a rigid substrate through an adhesive while conveying a band-shaped flexible substrate and a sheet-shaped rigid substrate.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 접합 장치에 의하면, 지지층 및 전사층을 포함하는 띠 형상의 가요성 기재와 시트 형상의 강성 기재를 반송시키면서, 전사층에 점착제를 코팅시키고 나서 전사층을 시트 형상으로 절단한다. 이 후, 절단된 전사층을 강성 기재에 접합한다. 따라서, 점착제를 통해 가요성 기재를 강성 기재에 단시간에 효율적으로 접합할 수 있다.According to the bonding apparatus according to one embodiment of the present invention, the transfer layer is coated into a sheet after the adhesive is coated on the transfer layer while conveying the band-shaped flexible substrate and the sheet-shaped rigid substrate including the support layer and the transfer layer. Cut. Thereafter, the cut transfer layer is bonded to the rigid substrate. Therefore, the flexible substrate can be efficiently bonded to the rigid substrate in a short time through the pressure-sensitive adhesive.

도 1 및 도 2는 본 명세서에 개시된 본 발명의 일 실시 형태에 따른 접합 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 가요성 기재의 구성을 나타내는 단면도.
도 4의 (a) 내지 (e)는 접합 장치의 동작을 예시하는 개략 단면도.
1 and 2 schematically show the configuration of a bonding apparatus according to an embodiment of the present invention disclosed herein.
3 is a cross-sectional view showing the configuration of a flexible base material.
4 (a) to 4 (e) are schematic cross-sectional views illustrating the operation of the bonding apparatus.

개시된 본 발명의 상기 및 다른 특징 및 이점은, 동일한 구성 요소를 동일한 참조 번호로 나타낸 첨부 도면과 연계한 이하의 상세한 설명 및 첨부의 도면으로부터 명확해진다.These and other features and advantages of the disclosed invention are apparent from the following detailed description and the accompanying drawings, in conjunction with the accompanying drawings, in which like elements are designated by like reference numerals.

이하에서는, 본 명세서에 개시된 발명의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조해서 상세히 설명한다. 설명하는 순서는 이하와 같다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention disclosed in this specification is described in detail with reference to drawings. The order of explanation is as follows.

1. 접합 장치의 구성1. Composition of the bonding device

2. 접합 장치의 동작 2. Operation of the bonding device

<1. 접합 장치의 구성><1. Configuration of Bonding Device>

우선, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 접합 장치의 구성에 대해서 설명한다. 도 1 및 도 2는 접합 장치의 구성을 개략적으로 나타내며, 도 3은 접합 장치에 투입되는 가요성 기재(1)의 단면 구성을 나타낸다. 도 1 및 도 2에서는, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 알기 쉽게 하기 위해서, 가요성 기재(1)가 반송되는 상태를 나타내고 있다.First, the structure of the bonding apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated. 1 and 2 schematically show the configuration of the bonding apparatus, and FIG. 3 shows the cross-sectional structure of the flexible substrate 1 to be put into the bonding apparatus. In FIG. 1 and FIG. 2, in order to make clear the conveyance path | route of the flexible base material 1, the state in which the flexible base material 1 is conveyed is shown.

본 발명의 접합 장치는, 점착제를 통해 가요성 기재(1)를 강성 기재(2)에 접합시키기 위해서 이용된다. 강성 기재(2)에 접합되는 가요성 기재(1)의 용도는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 가요성 기재(1)는 각종 용도의 전자 장치에 적용되는 회로 기판의 지지 기재에 적용된다. 이러한 전자 장치는, 액정 디스플레이 장치, 유기 일렉트로루미네센스(EL; Electroluminescence) 장치 또는 전자 페이퍼(paper) 디스플레이 장치 등의 표시 장치이어도 좋고, 표시 용도 이외의 다른 용도의 장치이어도 좋다.The bonding apparatus of this invention is used in order to bond the flexible base material 1 to the rigid base material 2 via an adhesive. Although the use of the flexible base material 1 bonded to the rigid base material 2 is not specifically limited, For example, the flexible base material 1 is applied to the support base material of the circuit board applied to the electronic device of various uses. . Such an electronic device may be a display device such as a liquid crystal display device, an organic electroluminescence (EL) device or an electronic paper display device, or may be a device for other uses other than the display use.

도 1 및 도 2를 참조하면, 접합 장치는 반송 기구(10, 20), 코팅 기구(30), 절단 기구(40) 및 접합 기구(50)를 포함한다. 코팅 기구(30), 절단 기구(40) 및 접합 기구(50)는, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 배치되어 있다. 또한, 접합 장치는, 예를 들면, 건조 기구(60), 버퍼 기구(70), 가열 기구(80) 및 세정 기구(90, 91)를 추가로 포함하여도 좋다.1 and 2, the bonding apparatus includes conveying mechanisms 10 and 20, a coating mechanism 30, a cutting mechanism 40, and a bonding mechanism 50. The coating mechanism 30, the cutting mechanism 40, and the bonding mechanism 50 are arranged along the conveyance path of the flexible base material 1. Moreover, the bonding apparatus may further include the drying mechanism 60, the buffer mechanism 70, the heating mechanism 80, and the washing | cleaning mechanisms 90 and 91, for example.

도 3을 참조하면, 가요성 기재(1)는, 서로 적층된 지지층 또는 보호층(1A) 및 전사층(1B)을 포함하고 소위 띠 형상이다. 「띠 형상」이란, 폭에 비하여 길이가 충분히 크기 때문에, 가요성 기재(1)가 길이 방향으로 연장하고 있어, 소위 롤( 형상으로 감을 수 있는 형태를 말한다. 지지층(1A)은 전사층(1B)을 박리 가능하게 지지하며, 전사층(1B)은 지지층(1A)으로부터 박리되어 강성 기재(2)에 접합되는 것이다. 단, 가요성 기재(1)는, 필요에 따라 지지층(1A) 및 전사층(1B)과 함께 일부 다른 층을 포함해도 된다.Referring to FIG. 3, the flexible substrate 1 includes a support layer or protective layer 1A and a transfer layer 1B stacked on each other and has a so-called band shape. Since the "strip shape" is sufficiently large in length compared with the width, the flexible base material 1 extends in the longitudinal direction, and refers to a form that can be wound in a so-called roll (shape. The supporting layer 1A is a transfer layer 1B. ) Is detachably supported, and the transfer layer 1B is peeled off from the support layer 1A and bonded to the rigid substrate 2. However, the flexible substrate 1 is supported by the support layer 1A and the transfer, if necessary. Some other layers may be included together with layer 1B.

지지층(1A) 및 전사층(1B)은, 가요성을 갖는다면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 플라스틱 필름으로 형성될 수 있다. 플라스틱 필름의 재질은, 예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에테르 술폰, 폴리에테르이미드, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리페닐렌 술피드, 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리카르보네이트, 셀룰로오스 트리아세테이트(cellulose triacetate), 폴리올레핀, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리염화비닐, 폴리 염화 비닐리덴, 에폭시 수지, 페놀 수지, 요소 수지(urea resin), 멜라민 수지, 실리콘 수지 또는 아크릴 수지 등이다. 단, 지지층(1A) 및 전사층(1B)은 동일한 재질로 형성되어도 좋고, 상이한 재질로 형성되어도 좋다.The support layer 1A and the transfer layer 1B are not particularly limited as long as they have flexibility, but may be formed of, for example, a plastic film. The material of the plastic film is, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyether sulfone, polyetherimide, polyether ether ketone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polyimide, polyamide, Polycarbonate, cellulose triacetate, polyolefin, polystyrene, polyethylene, polypropylene, polymethylmethacrylate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, epoxy resin, phenolic resin, urea resin, Melamine resin, silicone resin or acrylic resin. However, the support layer 1A and the transfer layer 1B may be formed of the same material or may be formed of different materials.

강성 기재(2)는 소위 시트 형상이다. 본 명세서에서「강성」이란, 강성 기재(2)에 접합되는 전사층(1B)이 변형하지 않도록 안정적으로 지지가능한 성질을 말한다. 또한, 본 명세서에서「시트 형상」이란, 길이 방향으로 연장하는 띠 형상의 가요성 기재(1)와는 상이하고, 강성 기재(2)가 서로 분리된 복수의 평판 형상인 것을 말한다. 강성 기재(2)는, 강성을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 석영판 또는 내열 유리 등의 유리판이다. 또한, 강성 기재(2)는, 예를 들면, 금속판 또는 세라믹판이어도 좋다. 또한, 강성 기재(2)의 구성 조건은, 상술한 강성뿐만 아니라, 강성 기재(2)가 접합 후에 투입되는 후공정의 온도 조건 및 취급성 등도 고려해서 결정되는 것이 바람직하다는 것에 주목해야 한다. 강성 기재(2)의 이러한 구성 조건은, 예를 들면, 융점 = 약 500℃ 이상, 선 팽창 계수 = 10ppm 이하, 두께 = 0.4mm 이상이다. 「후공정」이란, 전사층(1B) 위에 TFT 등의 회로 소자가 형성되는 공정이다.The rigid base material 2 is what is called a sheet form. In this specification, "stiffness" means the property which can be stably supported so that the transfer layer 1B bonded to the rigid base material 2 may not deform | transform. In addition, in this specification, a "sheet shape" means that it is different from the strip | belt-shaped flexible base material 1 extended in a longitudinal direction, and that the rigid base material 2 is a some flat plate shape separated from each other. Although the rigid base material 2 will not be specifically limited if it has rigidity, For example, it is glass plates, such as a quartz plate or heat resistant glass. In addition, the rigid base material 2 may be a metal plate or a ceramic plate, for example. In addition, it should be noted that the constituent conditions of the rigid base material 2 are preferably determined in consideration of not only the rigidity mentioned above but also the temperature conditions, handleability, etc. of the post-process in which the rigid base material 2 is injected after bonding. These structural conditions of the rigid base material 2 are melting | fusing point = about 500 degreeC or more, linear expansion coefficient = 10 ppm or less, thickness = 0.4 mm or more, for example. "Post-process" is a process of forming circuit elements, such as TFT, on the transfer layer 1B.

반송 기구(10)는, 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송하는 기구이며, 풀림 롤(delivery roll; 11), 크리닝 롤(12), 피드 롤(feed roll; 13∼18) 및 감김 롤(take-up roll; 19)을 포함한다. 이들 롤은, 그 중심에서 각각의 축을 중심으로, 즉 도 1 및 도 2에 도시된 X 축을 따라 연장하는 축을 중심으로 회전가능하다. 도 1 및 도 2에서 롤마다 붙인 화살표는, 롤의 회전 방향을 나타낸다. 반송 기구(10)는, 예를 들면, 가요성 기재(1)의 전사층(1B)이 가요성 기재(1)의 외면이 되도록 가요성 기재(1)를 반송시킨다.The conveyance mechanism 10 is a mechanism which conveys the strip | belt-shaped flexible base material 1, and is a delivery roll 11, the cleaning roll 12, the feed rolls 13-18, and a winding roll. (take-up roll; 19). These rolls are rotatable about their respective axes at their centers, ie about an axis extending along the X axis shown in FIGS. 1 and 2. Arrows pasted for each roll in FIG. 1 and FIG. 2 indicate the rotational direction of the roll. The conveyance mechanism 10 conveys the flexible base material 1 so that the transfer layer 1B of the flexible base material 1 may become the outer surface of the flexible base material 1, for example.

풀림 롤(11)은, 접합 전의 가요성 기재(1)가 롤 형상으로 감긴 것이며, 감김 롤(19)은, 접합 후의 가요성 기재(1)가 롤 형상으로 감긴 것이다. 가요성 기재(1)의 풀림 속도 및 감김 속도는, 롤마다 조정 가능하다. 피드 롤(13∼18)은, 풀림 롤(11)로부터 공급된 가요성 기재(1)를 감김 롤(19)까지 상술된 기구를 통하여 유도한다. 크리닝 롤(12)은, 예를 들면 코팅 기구(30)의 앞에 배치되고 있어, 코팅 기구(30)에 의해 점착제가 코팅되는 전사층(1B)의 표면을 세정한다. 단, 크리닝 롤(12) 대신에, 초음파 세정 등을 이용해도 된다. 피드 롤(15)은, 예를 들면 후술하는 버퍼 기구(70)의 기능을 실현시키기 위해서 회전 속도를 조정가능한 속도 조정 롤이라는 점을 주목해야 한다.In the unwinding roll 11, the flexible base material 1 before joining was wound in roll shape, and the winding roll 19 is the flexible base material 1 after joining being wound in roll shape. The unwinding speed and the winding speed of the flexible base material 1 can be adjusted for every roll. The feed rolls 13-18 guide the flexible base material 1 supplied from the release roll 11 to the winding roll 19 through the mechanism mentioned above. The cleaning roll 12 is arrange | positioned in front of the coating mechanism 30, for example, and wash | cleans the surface of the transfer layer 1B by which the adhesive is coated by the coating mechanism 30. As shown in FIG. However, ultrasonic cleaning or the like may be used instead of the cleaning roll 12. It should be noted that the feed roll 15 is, for example, a speed adjusting roll capable of adjusting the rotational speed in order to realize the function of the buffer mechanism 70 described later.

반송 기구(20)는, 반송 기구(10)와는 다른 경로를 따라 시트 형상의 강성 기재(2)를 반송하는 기구이며, 준비실(21) 및 회수실(22)과, 피드 롤(23, 24)에 의해 대향 양단에서 지지된 이동체(25)를 포함한다. 이들 롤은, 그 중심에서 각각의 축을 중심으로, 즉, X 축을 따라 연장하는 축을 중심으로 회전 가능하다. 또한, 도 1 및 도 2에서 각각의 롤마다 붙여진 화살표는 롤의 회전 방향을 나타낸다.The conveyance mechanism 20 is a mechanism which conveys the sheet-shaped rigid base material 2 along the path | route different from the conveyance mechanism 10, The preparation chamber 21, the collection chamber 22, and the feed rolls 23 and 24 are shown. It includes a moving body 25 supported at opposite ends by the. These rolls are rotatable about their respective axes at their centers, ie about axes extending along the X axis. In addition, the arrow attached to each roll in FIG. 1 and FIG. 2 shows the rotation direction of a roll.

준비실(21)은, 접합 전의 강성 기재(2)를 비축하는 공간이며, 그 준비 실(21)에는, 예를 들면 복수의 강성 기재(2)가 수납되어 있다. 복수의 강성 기재(2)는 반송 기구(20)에 의해 연속적으로 반송된다. 도 2에서는, 준비실(21)로부터 회수실(22)로 강성 기재(2)의 일부가 반송된 상태를 나타낸다. 회수실(22)은, 접합 기구(50)를 개재하여 준비실(21)의 반대측에 위치되며, 접합 후의 강성 기재(2)를 수용한다. 피드 롤(23, 24)은, 예를 들면, 각각 준비실(21) 및 회수실(22)의 내부에 개별적으로 배치된다. 이동체(25)는, 피드 롤(23, 24)을 회전 지지축으로 하도록 피드 롤(23, 24)에 둘러 감겨질 수 있고 있어, 피드 롤(23, 24)의 회전에 따라 슬라이드 가능하게 이동된다. 피드 롤(23, 24) 및 이동체(25)는, 예를 들면, 벨트 컨베어 등일 수 있다. 또한, 회수실(22)로부터는, 필요에 따라 접합 후의 강성 기재(2)를 외부에 반출 가능하다는 것에 주목해야 한다.The preparation chamber 21 is a space which stocks the rigid base material 2 before joining, and the several rigid base material 2 is accommodated in the preparation room 21, for example. The plurality of rigid base materials 2 are continuously conveyed by the conveyance mechanism 20. In FIG. 2, a part of the rigid base material 2 is conveyed from the preparation chamber 21 to the recovery chamber 22. The recovery chamber 22 is located on the opposite side of the preparation chamber 21 via the joining mechanism 50 to accommodate the rigid substrate 2 after the joining. The feed rolls 23 and 24 are individually arrange | positioned inside the preparation chamber 21 and the collection chamber 22, respectively, for example. The movable body 25 can be wound around the feed rolls 23 and 24 so that the feed rolls 23 and 24 are rotation support shafts, and the movable bodies 25 are slidably moved in accordance with the rotation of the feed rolls 23 and 24. . The feed rolls 23 and 24 and the moving body 25 may be a belt conveyor etc., for example. In addition, it should be noted from the recovery chamber 22 that the rigid base material 2 after joining can be carried out to the exterior as needed.

코팅 기구(30)는, 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송시키면서 전사층(1B)에 점착제를 코팅하는 기구이며, 코팅 장치(31), 점착제 공급 장치(32), 및 막 두께 검사 계기(33)를 포함한다. 막 두께 검사 계기(33)를 제외한 코팅 기구(30)는, 예를 들면 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 풀림 롤(11)과 건조 기구(60) 사이에 배치된다.The coating mechanism 30 is a mechanism which coats an adhesive on the transfer layer 1B, conveying the strip | belt-shaped flexible base material 1, The coating apparatus 31, the adhesive supply apparatus 32, and a film thickness test instrument (33). The coating mechanism 30 except the film thickness inspection instrument 33 is disposed between the unwinding roll 11 and the drying mechanism 60 along the conveyance path of the flexible base material 1, for example.

코팅 장치(31)는, 점착제 공급 장치(32)로부터 공급되는 점착제, 특히 점착제 용액을 전사층(1B)의 표면에 코팅한다. 코팅 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 다이(die) 코팅, 그라비아(gravure) 코팅, 나이프(knife) 코팅, 립(lip) 코팅, 슬릿(slit) 코팅 또는 스프레이 코팅 등일 수 있다. 점착제 공급 장치(32)는, 예를 들면, 점착제의 구성 재료인 주요 수지 및 경화제와 함께 유기 용제 등을 혼합해서 교반시키는 자동 교반 장치와, 자동 교반 장치로부터 코팅 장치(31)에 점착제를 공급하는 펌프 등을 포함한다. 자동 교반 장치는, 점착제의 공급량을 조정 가능한 것이 바람직하다. 막 두께 검사 계기(33)는, 코팅 장치(31)에 의해 코팅된 점착제의 막 두께를 측정하는 것이며, 예를 들면, 적외선 방식의 막 두께 게이지이다. 막 두께 검사 계기(33)의 위치는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 건조 후의 점착제의 막 두께를 측정하기 위해서, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 건조 기구(60)와 버퍼 기구(70) 사이에 위치된다. 코팅 장치(31)는, 막 두께 검사 계기(33)에 의해 측정된 막 두께에 따라 점착제의 코팅량을 조정 가능하도록 구성되어도 좋다는 것에 주목해야 한다.The coating apparatus 31 coats the adhesive, especially the adhesive solution supplied from the adhesive supply apparatus 32, on the surface of the transfer layer 1B. The coating method is not particularly limited, but may be, for example, die coating, gravure coating, knife coating, lip coating, slit coating, spray coating, or the like. The adhesive supply apparatus 32 supplies an adhesive to the coating apparatus 31 from the automatic stirring apparatus which mixes and stirs an organic solvent etc. with main resin and hardening | curing agent which are constituent materials of an adhesive, for example, and an automatic stirring apparatus. Pumps and the like. It is preferable that an automatic stirring device can adjust the supply amount of an adhesive. The film thickness measuring instrument 33 measures the film thickness of the pressure-sensitive adhesive coated by the coating apparatus 31, and is, for example, an infrared film thickness gauge. Although the position of the film thickness test | inspection gauge 33 is not specifically limited, For example, in order to measure the film thickness of the adhesive after drying, the drying mechanism 60 and the buffer mechanism along the conveyance path of the flexible base material 1 ( 70). It should be noted that the coating device 31 may be configured to be able to adjust the coating amount of the pressure-sensitive adhesive in accordance with the film thickness measured by the film thickness inspection instrument 33.

점착제의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 아크릴계 점착제, 실리콘계 점착제, 실로산계(siloxane-based) 점착제, 또는 천연 고무계 점착제가 이용될 수 있다. 특히, 점착제는, 강성 기재(2)에 접합된 전사층(1B)이 투입되는 후공정의 온도 조건에서 충분한 내열성을 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 피크 온도에서의 열 중량 감소가 약 1% 미만인 점착제가 바람직하고, 약 0.1% 미만인 점착제가 보다 바람직하다. 「후공정의 온도 조건」이란, 예를 들면, TFT 등의 회로 소자의 형성 온도이다.Although the kind of adhesive is not specifically limited, For example, an acrylic adhesive, a silicone adhesive, a siloxane-based adhesive, or a natural rubber adhesive can be used. In particular, it is preferable to use the adhesive which has sufficient heat resistance on the temperature conditions of the post process to which the transfer layer 1B joined to the rigid base material 2 is injected. More specifically, an adhesive having a thermal weight reduction at peak temperature of less than about 1% is preferable, and an adhesive having less than about 0.1% is more preferable. "Temperature condition of a post process" is formation temperature of circuit elements, such as TFT, for example.

절단 기구(40)는, 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송시키면서, 점착제가 코팅된 전사층(1B)을 시트 형상으로 절단하는 기구이며, 예를 들면, 절단기(41)를 포함한다. 절단 기구(40)는, 예를 들면, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 버퍼 기구(70)와 접합 기구(50) 사이에 배치된다.The cutting mechanism 40 is a mechanism for cutting the transfer layer 1B coated with an adhesive into a sheet shape while conveying the band-shaped flexible substrate 1, and includes, for example, a cutter 41. The cutting mechanism 40 is disposed, for example, between the buffer mechanism 70 and the bonding mechanism 50 along the conveyance path of the flexible substrate 1.

절단기(41)는, 싱글 블레이드(single blade) 또는 풀 블레이드(pull blade)를 포함하여, 가요성 기재(1)의 반송 경로로부터 대피한 위치 P1과, 전사층(1B)을 절단 가능한 위치 P2 사이에서 이동 가능하다. 단, 절단기(41)는, 레이저 절단 장치 등의 원격 절단을 실행할 수 있는 형태의 것이어도 된다는 것에 주목해야 한다. 어떠한 경우에서도, 절단기(41)는, 가요성 기재(1)를 반송시키면서, 지지층(1A)을 절단하지 않고 전사층(1B) 만을 절단 가능하다. 전사층(1B)의 절단 위치 또는 범위는, 전사층(1B)을 시트 형상으로 절단 가능하다면 임의로 결정되며, 폭 전역이어도 좋고, 폭 전역보다 폭이 좁은 원하는 영역이어도 좋다는 것에 주목해야 한다.The cutter 41 includes a single blade or a pull blade between the position P1 evacuated from the conveyance path of the flexible substrate 1 and the position P2 capable of cutting the transfer layer 1B. Can be moved from It should be noted, however, that the cutter 41 may be of a type capable of performing remote cutting such as a laser cutting device. In any case, the cutter 41 can cut only the transfer layer 1B without cutting the support layer 1A while conveying the flexible base material 1. It should be noted that the cutting position or range of the transfer layer 1B is arbitrarily determined as long as the transfer layer 1B can be cut into a sheet shape, and may be a whole width or a desired area narrower than the full width.

접합 기구(50)는, 띠 형상의 가요성 기재(1) 및 시트 형상의 강성 기재(2)를 반송시키면서, 시트 형상으로 절단된 전사층(1B)을 점착제를 통해 강성 기재(2)에 접합하는 기구이며, 접착 롤(51)을 포함한다. 접합 기구(50)는, 예를 들면, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 절단 기구(40)와 감김 롤(19) 사이에 배치되며, 접착 롤(51)의 배치 위치는, 강성 기재(2)의 반송 경로의 일부와 겹치는 위치이다.The bonding mechanism 50 bonds the transfer layer 1B cut | disconnected in sheet form to the rigid base material 2 via an adhesive, conveying a strip | belt-shaped flexible base material 1 and the sheet-shaped rigid base material 2. It is a mechanism to make, and includes the adhesive roll 51. The bonding mechanism 50 is arranged between the cutting mechanism 40 and the winding roll 19 along the conveyance path of the flexible base material 1, for example, and the arrangement position of the adhesive roll 51 is a rigid base material. It is a position which overlaps with a part of conveyance path of (2).

건조 기구(60)는, 전사층(1B)에 코팅된 점착제를 가열해서 건조시키는 기구이며, 건조 후드(drying hood; 61)를 포함한다. 건조 기구(60)는, 예를 들면, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라 코팅 기구(30)와 버퍼 기구(70) 사이에 배치된다. 건조 기구(60)에 의한 가열 처리는, 유기 용제 등의 휘발 성분을 제거함과 함께, 점착제 중에서의 주요 수지의 경화 반응 등을 촉진시키는 역할도 수행한다. 건조 후드(61)는 후드 내의 복수의 히터를 포함한다. 건조 기구(60)에 의한 가열 온도 등의 건조 조건은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 점착제의 종류 또는 경화 온도에 따라 결정되는 것이 바람직하다.The drying mechanism 60 is a mechanism for heating and drying the pressure-sensitive adhesive coated on the transfer layer 1B, and includes a drying hood 61. The drying mechanism 60 is disposed between the coating mechanism 30 and the buffer mechanism 70, for example, along the conveyance path of the flexible substrate 1. While the heat treatment by the drying mechanism 60 removes volatile components, such as an organic solvent, it also plays the role which accelerates hardening reaction of main resin in an adhesive, etc. The drying hood 61 includes a plurality of heaters in the hood. Although dry conditions, such as heating temperature by the drying mechanism 60, are not specifically limited, For example, it is preferable to determine according to the kind of adhesive or hardening temperature.

버퍼 기구(70)는, 상이한 기구에 의해 가요성 기재(1)에 실시되는 처리에 필요로 하는 시간의 차이에 기인해서 생기는 반송 속도의 속도차를 해소하기 위해서, 가요성 기재(1)의 반송 거리를 일시적으로 증가 또는 감소시키는 것이며, 예를 들면, 이동 롤(71)을 포함한다. 이동 롤(71)은, 띠 형상의 가요성 기재(1)의 반송 경로에 대해 먼 위치 P3와 가까운 위치 P4 사이에서, 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송 가능하게 지지하면서 이동 가능하다.The buffer mechanism 70 conveys the flexible base material 1 in order to solve the speed difference of the conveyance speed which arises due to the difference in time required for the process performed on the flexible base material 1 by a different mechanism. It is to increase or decrease the distance temporarily, and includes the moving roll 71, for example. The moving roll 71 is movable while supporting the strip | belt-shaped flexible base material 1 so that a conveyance of the strip | belt-shaped flexible base material 1 is possible between the position P4 and the position P4 which are far from the conveyance path | route of the strip-shaped flexible base material 1.

버퍼 기구(70)는, 가요성 기재(1)의 반송 경로를 따라, 반송 속도에 속도차를 발생시키는 2개의 상이한 기구 사이에 배치될 수 있으며, 버퍼 기구(70)의 위치는 특별히 한정되지 않는다. 여기에서는, 예를 들면, 접합 기구(50)에 의한 코팅 처리에 필요로 하는 시간보다, 코팅 기구(30)에 의한 코팅 처리에 필요로 하는 시간이 길다고 가정한다. 따라서, 버퍼 기구(70)는, 코팅 기구(30)와 접합 기구(50) 사이, 보다 구체적으로는 건조 기구(60)와 절단 기구(40) 사이에 배치된다.The buffer mechanism 70 may be disposed between two different mechanisms that generate a speed difference in the conveyance speed along the conveyance path of the flexible substrate 1, and the position of the buffer mechanism 70 is not particularly limited. . Here, for example, it is assumed that the time required for the coating treatment by the coating mechanism 30 is longer than the time required for the coating treatment by the bonding mechanism 50. Accordingly, the buffer mechanism 70 is disposed between the coating mechanism 30 and the bonding mechanism 50, and more specifically, between the drying mechanism 60 and the cutting mechanism 40.

버퍼 기구(70)에 의한 속도차 해소의 원리는 이하와 같다. 상술된 처리 시간의 차이로 인해, 접합 기구(50)에 의한 접합 처리는 단시간에 완료되지만, 코팅 기구(30)에 의한 코팅 처리는 장시간을 필요로 한다. 따라서, 이러한 상태에서는, 보다 저속을 필요로 하는 코팅 처리에 적합한 반송 속도와 같게 되도록 가요성 기재(1)의 반송 속도를 결정해야만 한다. 따라서, 접합시에, 버퍼 기구(70) 앞보다 후의 반송 경로에서 가요성 기재(1)의 반송 속도를 일시적으로 증가 가능하게 하기 위해서, 이동 롤(71)을 위치 P3로부터 위치 P4로 이동시킨다. 이에 의해, 풀림 속도보다 감김 속도를 빨리하면, 접합 기구(50)에 공급되는 가요성 기재(1)의 양이 일시적으로 증대하여, 버퍼 기구(70) 후의 반송 경로에서 가요성 기재(1)의 반송 속도를 국소적으로 증가시킬 수 있다. 이때, 속도 조정 롤인 피드 롤(15)의 회전 속도는, 버퍼 기구(70)의 가동의 유무에 의존하지 않고 일정하게 유지되기 때문에, 버퍼 기구(70) 전의 반송 경로에서는 가요성 기재(1)의 반송 속도가 일정하게 유지된다. 접합 기구(50)의 접합 처리가 완료된 후에는, 차회의 접합 처리를 행할때까지의 기간에, 이동 롤(71)은 위치 P4로부터 위치 P3에 복귀된다는 것에 주목해야 한다. 이러한 버퍼 기구(70) 등의 동작은, 접합 때마다 반복된다.The principle of solving the speed difference by the buffer mechanism 70 is as follows. Due to the difference in the treatment time described above, the bonding treatment by the bonding mechanism 50 is completed in a short time, but the coating treatment by the coating mechanism 30 requires a long time. Therefore, in such a state, the conveyance speed of the flexible base material 1 must be determined so that it may become the same as the conveyance speed suitable for the coating process which requires a lower speed. Therefore, at the time of joining, the moving roll 71 is moved from the position P3 to the position P4 so that the conveyance speed of the flexible base material 1 can be temporarily increased in the conveyance path | route back before the buffer mechanism 70. As a result, when the winding speed is faster than the unwinding speed, the amount of the flexible base material 1 supplied to the bonding mechanism 50 is temporarily increased, so that the flexible base material 1 of the flexible base material 1 in the conveying path after the buffer mechanism 70 can be increased. The conveying speed can be increased locally. At this time, since the rotation speed of the feed roll 15 which is a speed adjusting roll is kept constant regardless of the operation of the buffer mechanism 70, in the conveyance path | route before the buffer mechanism 70, of the flexible base material 1 The conveying speed is kept constant. It should be noted that after the joining process of the joining mechanism 50 is completed, the moving roll 71 is returned from the position P4 to the position P3 in the period until the next joining process is performed. The operation of the buffer mechanism 70 and the like is repeated each time the bonding.

버퍼 기구(70)에 의한 속도차 해소를 가능하게 하기 위해서, 이동 롤(71)의 이동 거리, 즉, 위치 P3와 P4 사이의 거리는, 전사층(1B)과 강성 기재(2) 간의 접합 길이 이상인 것이 바람직하며, 전자의 거리가 후자의 길이보다 큰 것이 보다 바람직하다.In order to enable the speed difference to be resolved by the buffer mechanism 70, the moving distance of the moving roll 71, that is, the distance between the positions P3 and P4 is equal to or larger than the bonding length between the transfer layer 1B and the rigid base material 2. It is preferable that it is more preferable that the former distance is larger than the latter length.

상술된 경우와 상이한 경우, 예를 들면, 접합 기구(50)에 의한 접합 처리가 코팅 기구(30)에 의한 코팅 처리보다 장시간을 필요로 할 경우, 접합시, 이동 롤(71)을 위치 P4로부터 위치 P3로 이동시키면 좋다는 것에 주목해야 한다. 이는, 마찬가지의 원리에 의해, 버퍼 기구(70) 전의 반송 경로에서 가요성 기재(1)의 반송 속도를 일시적으로 증가시킬 수 있기 때문이다. 물론, 버퍼 기구(70)는, 상술된 바와 같이, 코팅 기구(30)와 접합 기구(50) 사이에 반드시 위치될 필요는 없으며, 반송 속도에 속도차를 발생시키는 2개의 기구 사이에 배치되어 있으면 된다.When different from the above-described case, for example, when the bonding treatment by the bonding mechanism 50 requires a longer time than the coating treatment by the coating mechanism 30, at the time of bonding, the moving roll 71 is moved from the position P4. Note that it is good to move to position P3. This is because the conveyance speed of the flexible base material 1 can be temporarily increased in the conveyance path | route before the buffer mechanism 70 by the same principle. Of course, the buffer mechanism 70 does not necessarily need to be located between the coating mechanism 30 and the bonding mechanism 50 as described above, and is disposed between two mechanisms that generate a speed difference in the conveyance speed. do.

가열 기구(80)는, 점착제를 개재하여 서로 접합된 전사층(1B) 및 강성 기재(2)를 가열(에이징(aging))하며, 처리실의 내부에 베이킹 노(baking furnace) 또는 핫 플레이트(hot plate) 등의 가열 장치를 포함한다. 가열 기구(80)는, 접합 완료시로부터 가열 개시시까지의 시간을 될 수 있는 한 단축시키기 위해서, 강성 기재(2)의 반송 경로를 따라 배치되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 서로 접합된 전사층(1B) 및 강성 기재(2)는, 인라인으로 신속하게 가열 기구(80)에 반입된다. 가열 기구(80)의 가열 처리에 의해, 점착제 중에 잔류하는 유기 용제 등의 휘발 성분이 제거되며, 점착제의 접착력이 안정화된다.The heating mechanism 80 heats (agings) the transfer layer 1B and the rigid substrate 2 bonded to each other via an adhesive, and has a baking furnace or hot plate inside the processing chamber. a heating device such as a plate). The heating mechanism 80 is preferably disposed along the conveyance path of the rigid substrate 2 in order to shorten the time from the completion of bonding to the start of heating as much as possible. Thereby, the transfer layer 1B and the rigid base material 2 joined to each other are carried in to the heating mechanism 80 promptly inline. By the heat processing of the heating mechanism 80, volatile components, such as the organic solvent which remain in an adhesive, are removed and the adhesive force of an adhesive is stabilized.

세정 기구(90)는, 접합 전의 강성 기재(2)의 표면, 즉, 전사층(1B)과 접합되는 면을 세정하는 것이며, 처리실의 내부에 세정 장치를 포함한다. 세정 기구(90)는, 강성 기재(2)의 반송 경로를 따라, 준비실(21)과 접합 기구(50)에 대응하는 위치 사이에 배치된다. 세정 방법은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 화학적 세정 또는 연마 세정이 이용될 수 있으며, 세정 후에 린스 처리 및 건조 처리 등이 행해져도 좋다. 화학적 세정은, 예를 들면 알칼리 용액 등을 이용한 딥핑(dipping) 세정 또는 샤워(shower) 세정 등이며, 연마 세정은, 예를 들면 테이프 폴리싱(tape polishing) 또는 드라이 아이스 블레스팅(dry ice blasting)일 수 있다.The cleaning mechanism 90 cleans the surface of the rigid substrate 2 before bonding, that is, the surface to be bonded to the transfer layer 1B, and includes a cleaning apparatus inside the processing chamber. The washing | cleaning mechanism 90 is arrange | positioned between the preparation chamber 21 and the position corresponding to the bonding mechanism 50 along the conveyance path of the rigid base material 2. Although the washing | cleaning method is not specifically limited, For example, chemical washing | cleaning or abrasive washing | cleaning may be used, A rinse process, a drying process, etc. may be performed after washing | cleaning. Chemical cleaning is, for example, dipping cleaning or shower cleaning using an alkaline solution or the like, and polishing cleaning is, for example, tape polishing or dry ice blasting. Can be.

세정 기구(91)는, 접합 후에 전사층(1B)의 표면, 즉, 후공정에서 TFT 등의 회로 소자가 형성되는 전사층(1B)의 면을 세정하는 것이며, 예를 들면, 세정 기구(90)와 마찬가지의 구성을 갖는다. 세정 기구(91)는, 강성 기재(2)의 반송 경로를 따라, 접합 기구(50)에 대응하는 위치와 회수실(22) 사이에 배치된다. The cleaning mechanism 91 cleans the surface of the transfer layer 1B after bonding, that is, the surface of the transfer layer 1B in which circuit elements such as TFTs are formed in a later step, for example, the cleaning mechanism 90. ) Has the same configuration. The cleaning mechanism 91 is disposed between the position corresponding to the bonding mechanism 50 and the recovery chamber 22 along the conveyance path of the rigid base material 2.

<2. 접합 장치의 동작><2. Operation of Bonding Device>

이제, 접합 장치의 동작에 대해서 설명한다. 도 4의 (a) 내지 도 4의 (e)는, 접합 장치의 동작을 설명하기 위한 것이고, 가요성 기재(1), 강성 기재(2) 및 이들과 관련된 접합 장치의 구성 요소의 단면 구성을 개략적으로 나타낸다. 도 3내지 도 4의 (e)의 화살표 Y1 및 Y2는, 각각 접합 장치에 투입된 가요성 기재(1) 및 강성 기재(2)의 이동 방향을 나타낸다는 것에 주목해야 한다.Now, the operation of the bonding apparatus will be described. 4 (a) to 4 (e) are for explaining the operation of the bonding apparatus, and the cross-sectional structure of the flexible substrate 1, the rigid substrate 2 and the components of the bonding apparatus associated with them are shown. Shown schematically. It should be noted that arrows Y1 and Y2 in FIGS. 3 to 4E show the moving directions of the flexible base material 1 and the rigid base material 2 put into the bonding apparatus, respectively.

접합 장치에 있어서, 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 우선, 반송 기구(10)는 가요성 기재(1)의 전사층(1B)이 가요성 기재(1)의 외면이 되도록 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송시킨다. 이 경우, 풀림 롤(11)로부터 가요성 기재(1)가 공급되어, 가요성 기재(1)가 감김 롤(19)에 의해 감겨진다. 또한, 크리닝 롤(12)에 의해 전사층(1B)의 표면이 세정된다. 가요성 기재(1)의 반송 과정의 전반부에서는, 도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 전사층(1B)이 지지층(1A)보다 상측에 위치된다.In the bonding apparatus, as shown in FIG. 1 and FIG. 3, first, the conveyance mechanism 10 has a band shape so that the transfer layer 1B of the flexible substrate 1 becomes the outer surface of the flexible substrate 1. The flexible base material 1 is conveyed. In this case, the flexible base material 1 is supplied from the unwinding roll 11, and the flexible base material 1 is wound by the winding roll 19. As shown in FIG. In addition, the surface of the transfer layer 1B is cleaned by the cleaning roll 12. In the first half of the conveyance process of the flexible base material 1, as can be seen from FIG. 3, the transfer layer 1B is located above the support layer 1A.

한편, 반송 기구(20)의 이동체(25) 위에 놓인 강성 기재(2)는, 전사층(1B)과 접합되는 면이 상측이 되도록, 준비실(21)로부터 회수실(22)을 향해서 반송된다. 이 경우, 세정 기구(90)의 세정 장치에 의해 강성 기재(2)의 표면이 세정된 후, 강성 기재(2)가 접합 위치에 투입된다.On the other hand, the rigid base material 2 placed on the movable body 25 of the conveyance mechanism 20 is conveyed toward the collection | recovery chamber 22 from the preparation chamber 21 so that the surface joined with the transfer layer 1B may be an upper side. In this case, after the surface of the rigid base material 2 is cleaned by the washing | cleaning apparatus of the washing | cleaning mechanism 90, the rigid base material 2 is thrown into a joining position.

이후, 도 4의 (a)에서 알 수 있는 바와 같이, 띠 형상의 가요성 기재(1)를 반송시키면서, 코팅 기구(30)의 코팅 장치(31)가 전사층(1B)에 점착제(3)를 코팅한 뒤, 건조 기구(60)의 건조 후드(61)가 점착제(3)를 가열해서 건조시킨다. 건조 조건은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 가열 온도 = 약 80℃ 내지 200℃ 및 가열 시간 = 약 10분 내지 1시간이다.Subsequently, as can be seen in FIG. 4A, the coating apparatus 31 of the coating mechanism 30 adheres to the transfer layer 1B while the belt-like flexible substrate 1 is conveyed. After coating, the drying hood 61 of the drying mechanism 60 heats the adhesive 3 to dry. Although drying conditions are not specifically limited, For example, heating temperature = about 80 degreeC-200 degreeC, and heating time = about 10 minutes-1 hour.

가요성 기재(1)의 반송 경로의 후반부에서는, 피드 롤(16, 17)에 의해 가요성 기재(1)의 반송 방향이 반전되기 때문에, 도 4의 (b)에서 알 수 있는 바와 같이, 전사층(1B)이 지지층(1A)보다 하측에 위치된다. 이에 의해, 절단 기구(40)의 절단기(41)가 전사층(1B)에 대향되어, 전사층(1B)을 절단할 수 있다.Since the conveyance direction of the flexible base material 1 is reversed by the feed rolls 16 and 17 in the latter part of the conveyance path | route of the flexible base material 1, as can be seen from FIG. Layer 1B is located below support layer 1A. Thereby, the cutting machine 41 of the cutting mechanism 40 opposes the transfer layer 1B, and can cut | disconnect the transfer layer 1B.

계속해서, 도 4의 (c)에서 알 수 있는 바와 같이, 절단기(41)가 위치 P1로부터 위치 P2까지 이동하여, 가요성 기재(1)의 전사층(1B) 만을 미리 정해진 간격마다 절단하기 위해서, 가요성 기재(1)에 컷팅부(1C)가 형성된다. 이에 의해, 전사층(1B) 중, 인접하는 컷팅부(1C)에 의해 규정된 부분은, 지지층(1A)으로부터 이탈가능한 상태로 위치된다. 여기에서는, 예를 들면, 전사층(1B)이 폭 전역에 걸쳐 절단된다.Subsequently, as shown in FIG. 4C, the cutter 41 moves from the position P1 to the position P2 to cut only the transfer layer 1B of the flexible base material 1 at predetermined intervals. , 1 C of cutting parts are formed in the flexible base material 1. Thereby, the part prescribed | regulated by the adjacent cut part 1C among the transfer layers 1B is located in the state which can be separated from the support layer 1A. Here, for example, the transfer layer 1B is cut over the entire width.

이후, 도 4의 (d)에서 알 수 있는 바와 같이, 접합 기구(50)의 접착 롤(51)이 가요성 기재(1)를 강성 기재(2)에 압박한다. 이에 의해, 전사층(1B) 중, 컷팅부(1C)에 의해 규정된 부분이 점착제(3)를 개재하여 강성 기재(2)에 접합된다. 이에 의해, 전사층(1B)이 강성 기재(2)에 전사된다.Subsequently, as can be seen in FIG. 4D, the adhesive roll 51 of the bonding mechanism 50 presses the flexible base material 1 onto the rigid base material 2. Thereby, the part prescribed | regulated by the cutting part 1C among the transfer layers 1B is joined to the rigid base material 2 via the adhesive 3. As a result, the transfer layer 1B is transferred to the rigid substrate 2.

접합 시에는, 도 1 및 도 2에서 알 수 있는 바와 같이, 버퍼 기구(70)의 이동 롤(71)이 위치 P3로부터 위치 P4까지 이동하기 때문에, 버퍼 기구(70)의 전후에서 가요성 기재(1)의 반송 속도의 속도차가 해소된다.1 and 2, since the moving roll 71 of the buffer mechanism 70 moves from the position P3 to the position P4 at the time of joining, the flexible base material before and after the buffer mechanism 70 ( The speed difference of the conveyance speed of 1) is eliminated.

이후, 접합 후의 가요성 기재(1)는 감김 롤(19)을 향해서 반송되지만, 접합 후의 강성 기재(2)는 감김 롤(19)과는 상이한 방향, 즉, 회수실(22)을 향한 방향으로 반송된다. 이에 의해, 도 4의 (e)에서 알 수 있는 바와 같이, 전사층(1B) 중, 컷팅부(1C)에 의해 규정된 부분이 지지층(1A)으로부터 이탈된다.Thereafter, the flexible base material 1 after the bonding is conveyed toward the winding roll 19, but the rigid base material 2 after the bonding is different from the winding roll 19, that is, in the direction toward the recovery chamber 22. Is returned. As a result, as can be seen in FIG. 4E, the portion defined by the cutting portion 1C in the transfer layer 1B is separated from the support layer 1A.

계속해서, 서로 접합된 전사층(1B) 및 강성 기재(2)는, 반송 기구(20)에 의해 세정 기구(91) 및 가열 기구(80)를 경유해서 회수실(22)에 반송된다. 이 경우, 세정 기구(91)의 세정 장치에 의해 전사층(1B)의 표면이 우선 세정된 뒤, 가열 기구(80)의 가열 장치에 의해 전사층(1B), 점착제(3) 및 강성 기재(2)가 가열된다. 이러한 경우에, 가열 조건은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 가열 온도 = 약 120℃ 내지 200℃ 및 가열 시간 = 약 1 시간이다. Subsequently, the transfer layer 1B and the rigid base material 2 bonded to each other are conveyed to the recovery chamber 22 via the cleaning mechanism 91 and the heating mechanism 80 by the transfer mechanism 20. In this case, the surface of the transfer layer 1B is first cleaned by the cleaning device of the cleaning mechanism 91, and then the transfer layer 1B, the pressure-sensitive adhesive 3, and the rigid substrate (by the heating device of the heating mechanism 80). 2) is heated. In this case, heating conditions are not particularly limited, but, for example, heating temperature = about 120 ° C to 200 ° C and heating time = about 1 hour.

[접합 장치의 작용 및 효과][Operation and Effects of Junction Devices]

본 접합 장치에서는, 지지층(1A) 및 전사층(1B)을 포함하는 띠 형상의 가요성 기재(1) 및 시트 형상의 강성 기재(2)를 반송시키면서, 전사층(1B)에 점착제(3)을 코팅시키고 나서 시트 형상으로 절단한 뒤, 절단된 전사층(1B)을 강성 기재(2)에 접합시킨다. 이 경우, 1대의 장치에 띠 형상의 가요성 기재(1) 및 시트 형상의 강성 기재(2)를 투입함으로써, 시트 형상으로 성형된 가요성 기재(1)와 강성 기재(2)의 접합 처리가 인라인으로 연속적으로 행해진다. 이에 의해, 미리 시트 형상의 가요성 기재(1)를 준비해 둘 필요가 없고, 코팅 처리, 절단 처리 및 접합 처리 등의 일련의 처리를 행하기 위해 복수의 장치를 이용할 필요도 없다. 또한, 일련의 처리를 서로 별도로 행할 필요가 없기 때문에, 일련의 처리에 필요로 하는 시간이 단축되고, 1대의 장치만으로 모든 처리가 완료된다. 따라서, 처리 효율이 향상된다. 이에 의해, 점착제(3)를 통해 가요성 기재(1)를 강성 기재(2)에 단시간에 효율적으로 접합할 수 있다. 또한, 장치를 소형화하고, 장치의 점유 면적을 감소시킬 수 있다.In this bonding apparatus, the adhesive 3 is carried out to the transfer layer 1B, conveying the strip | belt-shaped flexible base material 1 and the sheet-shaped rigid base material 2 containing the support layer 1A and the transfer layer 1B. The coated transfer layer 1B is bonded to the rigid substrate 2 after the coating is carried out and cut into a sheet shape. In this case, by injecting the band-shaped flexible substrate 1 and the sheet-shaped rigid substrate 2 into one device, the bonding treatment of the flexible substrate 1 and the rigid substrate 2 molded into a sheet shape is performed. It is done continuously inline. Thereby, it is not necessary to prepare the sheet-like flexible base material 1 beforehand, and it is not necessary to use several apparatuses in order to perform a series of processes, such as a coating process, a cutting process, and a bonding process. In addition, since the series of processes do not have to be performed separately from each other, the time required for the series of processes is shortened, and all the processes are completed by only one device. Therefore, the processing efficiency is improved. Thereby, the flexible base material 1 can be efficiently bonded to the rigid base material 2 in a short time via the adhesive 3. In addition, the device can be miniaturized and the occupied area of the device can be reduced.

특히, 버퍼 기구(70)에 의해 가요성 기재(1)의 반송 속도의 속도차가 해소된다면, 가요성 기재(1)를 연속적으로 반송시키면서, 처리 시간이 상이한 복수의 처리를 인라인으로 연속적으로 행할 수 있다.In particular, if the speed difference of the conveyance speed of the flexible substrate 1 is eliminated by the buffer mechanism 70, a plurality of processes having different processing times can be continuously performed inline while continuously conveying the flexible substrate 1. have.

또한, 점착제(3)를 개재하여 강성 기재(2)에 접합된 전사층(1B)을 인라인으로 가열 기구(80)에 투입하면, 점착제(3)로 대기 중의 수분 등이 흡수되는 것이 억제된다. 따라서, 점착제(3)의 접착력 저하에 기인하는 전사층(1B)의 박리 등을 방지할 수 있다.Moreover, when the transfer layer 1B bonded to the rigid base material 2 is inlined to the heating mechanism 80 via the adhesive 3, absorption of atmospheric moisture etc. by the adhesive 3 is suppressed. Therefore, peeling of the transfer layer 1B due to the adhesive force fall of the adhesive 3 can be prevented.

또한, 세정 기구(90)가 접합 전에 강성 기재(2)의 표면을 세정하면, 접합의 계면에 이물이 혼입되는 것 등을 방지할 수 있다. 또한, 세정 기구(91)가 접합 후에 전사층(1B)의 표면을 세정하면, 후공정에서 TFT 등의 회로 소자가 형성되는 전사층(1B)의 표면에 이물이 부착되는 것 등을 방지할 수 있다.In addition, when the cleaning mechanism 90 cleans the surface of the rigid base material 2 before joining, foreign matters can be prevented from being mixed in the interface of the joining. In addition, when the cleaning mechanism 91 cleans the surface of the transfer layer 1B after the bonding, foreign matters can be prevented from adhering to the surface of the transfer layer 1B on which circuit elements such as TFTs are formed in a later step. have.

특정 용어를 사용하여 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명했지만, 개시된 본 발명은 본 실시 형태의 상세한 설명에서 설명된 양태에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 본 발명의 접합 장치는, 점착제를 통해 강성 기재에 접합된 가요성 기재를 이용할 수 있다면, 상술된 회로 기판에 한정되는 것이 아니라, 임의의 다른 용도에 적용될 수 있다.While certain embodiments have been described for the preferred embodiments of the present invention, the disclosed invention is not limited to the embodiments described in the detailed description of the embodiments, but various modifications are possible. For example, the bonding apparatus of this invention is not limited to the circuit board mentioned above, but can be applied to arbitrary other uses, if the flexible base material joined to the rigid base material through the adhesive can be used.

본 출원은 2011년 4월 28일에 일본 특허청에 출원된 일본 우선권 특허 출원 제2011-101410호에 개시된 관련 요지를 포함하며, 이의 전체 내용이 본 명세서에 참조로 원용된다.This application includes the relevant subject matter disclosed in Japanese Priority Patent Application No. 2011-101410, filed with the Japan Patent Office on April 28, 2011, the entire contents of which are incorporated herein by reference.

1: 가요성 기재
1A: 지지층
1B: 전사층
2: 강성 기재
3: 점착제
1: flexible substrate
1A: support layer
1B: Transfer Layer
2: rigid substrate
3: adhesive

Claims (4)

접합(lamination) 장치로서,
적층된 전사층 및 지지층을 포함하는 띠 형상의(belt-like) 가요성 기재를 반송하도록 구성된 기구와,
시트 형상의 강성 기재를 반송하도록 구성된 기구와,
상기 띠 형상의 가요성 기재를 반송시키면서, 상기 전사층에 점착제를 코팅시키도록 구성된 코팅 기구와,
상기 띠 형상의 가요성 기재를 반송시키면서, 상기 점착제가 코팅된 상기 전사층을 시트 형상으로 절단하도록 구성된 기구와,
상기 띠 형상의 가요성 기재 및 상기 시트 형상의 강성 기재를 반송시키면서, 시트 형상으로 절단된 상기 전사층을 상기 강성 기재에 상기 점착제를 통해 접합하도록 구성된 접합 기구를 포함하는, 접합 장치.
As a lamination device,
A mechanism configured to convey a belt-like flexible substrate comprising a laminated transfer layer and a support layer,
A mechanism configured to convey the sheet-shaped rigid substrate,
A coating mechanism configured to coat the adhesive on the transfer layer while conveying the strip-shaped flexible substrate,
A mechanism configured to cut the transfer layer coated with the adhesive into a sheet shape while conveying the strip-shaped flexible substrate;
And a joining mechanism configured to bond the transfer layer cut into a sheet shape to the rigid substrate through the pressure-sensitive adhesive while conveying the band-shaped flexible substrate and the sheet-shaped rigid substrate.
제1항에 있어서,
상기 코팅 기구와 상기 접합 기구 사이에 위치하고, 상기 띠 형상의 가요성 기재의 반송 경로에 대해 먼 위치와 가까운 위치 사이에서 상기 띠 형상의 가요성 기재를 반송을 위해 지지하면서 이동시키도록 구성된 기구를 더 포함하는, 접합 장치.
The method of claim 1,
A mechanism positioned between the coating mechanism and the bonding mechanism and configured to move while supporting the strip-shaped flexible substrate for conveyance between a position remote and close to the conveyance path of the strip-shaped flexible substrate. Including, the bonding device.
제1항에 있어서,
상기 점착제를 통해 상기 강성 기재에 접합된 상기 전사층을 가열하도록 구성된 기구를 더 포함하는, 접합 장치.
The method of claim 1,
And a mechanism configured to heat the transfer layer bonded to the rigid substrate through the pressure sensitive adhesive.
제1항에 있어서,
상기 가요성 기재는 플라스틱 필름이며, 상기 강성 기재는 유리판인, 접합 장치.
The method of claim 1,
And said flexible substrate is a plastic film, and said rigid substrate is a glass plate.
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