KR20120116885A - 교류회로의 접지 감시장치 및 이러한 접지 감시장치를 갖는 전기공급장치 - Google Patents

교류회로의 접지 감시장치 및 이러한 접지 감시장치를 갖는 전기공급장치 Download PDF

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아에게 파워 솔루션즈 베.파우
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Abstract

이 발명은 한편으로는 교류 회로의 중성선(N')과 다른 한편으로는 보호 도체(PE) 또는 접지 사이의 교류 회로의 접지 감시 장치(10)로서, 위 중성선(N')용 제 1 접속부(101) 및 위 보호 도체(PE)용 제 2 접속부(102)를 구비한 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 포함하고, 위 장치는 위 직렬 회로의 위 저항들(R1, R2, R3) 중 하나의 저항에 대한 적어도 하나의 파손 검출 수단을 포함하는, 접지 감시 장치에 관한 것이다.

Description

교류회로의 접지 감시장치 및 이러한 접지 감시장치를 갖는 전기공급장치{An apparatus for monitoring earth of alternating current circuit and a current supplying device with the apparatus}
이 발명은 한편으로는 교류 회로의 중성선과 다른 한편으로는 보호 도체 또는 접지 사이의 교류 회로의 접지 감시 장치에 관한 것이다. 이러한 장치는 도 1에 도시되고, 도면 부호 10으로 표시된다. 장치는 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 포함하고, 위 직렬 회로는 중성선(N')용 제 1 접속부(101) 및 보호 도체(PE) 또는 접지용 제 2 접속부(102)를 포함한다.
이 발명은 또한 도 1에 도시된 폴리실리콘 리액터용 전류 공급 장치(1)에 관한 것이다. 폴리실리콘 리액터 내에는 지멘스 방법에 따라 폴리실리콘의 제조를 위한 실리콘 로드들의 직렬 회로가 배치된다. 직렬 회로(2)도 도 1에 도시된다. 직렬 회로(2)는 부하로서 전류 공급 장치(1)에 접속될 수 있다. 전류 공급 장치(1)는 변압기(11), 제어부(12) 및 접지 감시 장치(10)를 포함하고, 위 변압기의 1차 측(111)은 전압 공급 네트워크(L1, N)에 접속될 수 있으며 위 변압기의 2차 측(112)은 다수의 탭들(1121, 1122, 1123)을 포함한다. 2차 측(112)의 탭(1123)은 전류 공급 장치(1)의 출력부의 중성선 접속부와 접속되고, 적어도 2개의 탭들(1121, 1122)은 파워 컨트롤러(13)를 통해 전류 공급 장치의 출력부의 외부 도체 접속부와 접속된다. 출력부의 접속부들은 중성선(N') 및 외부 도체(L')와 접속된다. 제어부(12)에 의해, 전류 공급 장치(1)의 파워 컨트롤러(13)가 전압 시퀀스 제어 방식으로 제어 가능하다.
폴리실리콘 리액터용 전류 공급 장치(1) 내에 사용되는 바와 같은, 공지된 접지 감시 장치(10)의 경우, 접지 접촉시 전류는 보호 도체(PE), 장치(10)의 제 2 접속부(102), 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 접지 감시 장치(10)의 제 1 접속부(10) 및 그에 따라 전류 공급 장치(1)의 중성선(N')으로 흐른다. 접지 감시 장치(10)는 제 2 접속부(102)로부터 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 제 1 접속부(101)로 흐르는 전류를 검출하는 전류 세기 검출 수단(Imax)을 포함한다. 직렬 회로(R1, R2, R3)를 통해 충분히 큰 전류가 흐르면, 전류 세기 검출 수단(Imax)에 의해 접지가 검출된다.
접지 접촉으로 인해 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 흐르는 전류가 직렬 회로의 각각의 저항(R1, R2, R3)에서 접지 감시 장치의 제 2 접속부(102)에 대한 전압 강하를 일으킨다. 따라서, 공지된 접지 감시 장치에서 직렬 회로의 2개의 저항들(R2, R3) 사이의 적어도 하나의 노드(103)에 전압 검출 수단(Umax)이 접속되고, 위 전압 검출 수단은 저항들 중 적어도 하나(R3)와 접지 감시 장치의 제 2 접속부(102)를 통해 흐르는 전압을 검출한다.
전류 검출 수단(Imax) 및 전압 검출 수단(Umax)은 출력부들을 포함하고, 위 출력부들은 버스 및 인터페이스(103)를 통해 전류 공급 장치의 제어부(12)와 접속된다.
접지 접촉시 적합한 조치, 예컨대 전류 공급 장치(1)의 차단을 준비하기 위해, 제어부에서 장치(10)의 인터페이스(103)를 통해 전달되는 신호가 평가될 수 있다.
전술한 방식의 폴리실리콘 리액터용 전류 공급 장치(1) 내의 전술한 방식의 접지 감시 장치(10)는 특히 전류 공급 장치(1)에 의해 전류를 공급받는 실리콘 로드들의 직렬 회로(2)의 적어도 일부를 통한 중성선(N')과 보호 도체(PE) 사이의 높은 옴 접속 시에 충분히 확실하게 작동한다. 기본적으로 이러한 접지 감시 장치(10)에 의해, 전류 공급 장치(1)에 의해 전류를 공급받는 실리콘 로드들의 직렬 회로(2)의 일부를 통한 중성선(N')과 보호 도체(PE) 사이의 낮은 옴 접속도 검출될 수 있다. 그러나, 이러한 경우 중성선(N')과 보호 도체(PE) 사이에서 강하하는 전압은 경우에 따라, 접지 감시 장치(10)의 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 작은 전류만이 구동될 정도로 작다. 제 2 접속부(102)로부터 접지 감시 장치(10)의 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 제 1 접속부(101)로 흐르는 전류의 전류 세기 검출 수단(Imax)은 이러한 작은 전류를 기본적으로 검출할 수 있기는 하지만, 비-안전 관련 결론 또는 다른 극도로 짧은 이벤트로 인해 전체 전류 공급 장치(1)의 차단 및 그에 따라 폴리실리콘 제조 프로세스의 차단 또는 적어도 중단이 이루어질 위험이 높으며, 이는 바람직하지 않다. 따라서, 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 흐르는 전류가 초과해야 하며, 그에 따라 적합한 안전 장치가 반응하여 전류 공급 장치(1)를 차단하는 문턱값은, 비-안전 관련 결론 또는 다른 극도로 짧은 이벤트가 전류 공급 장치의 차단을 일으키지 않을 정도로 높게 설정된다. 따라서, 접지 감시 장치(10)는 전류 공급 장치에 의해 전류를 공급받은 실리콘 로드들의 직렬 회로(2)의 일부를 통한 중성선(N')과 보호 도체(PE) 사이의 낮은 옴 접속시에도 반응하지 않는다.
공지된 접지 감시 장치(10)의 다른 단점은 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로 내에 파손이 있을 때 접지 접촉의 검출이 불가능하다는 것이다. 접지 감시 장치(10)의 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로 내의 파손이 검출됨으로써, 전류 공급 장치(1)가 차단될 수 있는 것이 바람직한데, 그 이유는 이 장치가 효과적인 접지 감시를 할 수 없기 때문이다.
이 발명의 과제는 낮은 옴의 접지 접촉이 비-임계 상태와 확실히 구별될 수 있고 옴 저항들의 직렬 회로 내의 파손에 의한 접지 감시 장치의 고장도 검출될 수 있도록 접지 감시 장치를 개선하는 것이다.
옴 저항들의 직렬 회로 내의 파손의 검출과 관련한 위 과제는 장치가 직렬 회로의 저항들 중 하나에 대한 적어도 하나의 파손 검출 수단을 포함함으로써 달성된다. 직렬 회로 내에 파손이 있으면, 이것이 검출되고 접지 감시 장치의 고장이 시그널링되며, 위 고장은 전류 공급 장치의 차단을 일으킨다.
낮은 옴의 접지 접촉의 확실한 검출과 관련한 위 과제는 장치가 제 1 접속부로부터 직렬 회로를 통해 제 2 접속부로 흐르는 전류의 적분 수단을 포함함으로써 달성된다. 전류의 적분에 의해, 접지 접촉을 통해 방출되는 에너지가 검출될 수 있다. 위 에너지가 임계 값에 도달하면, 낮은 옴의 접지 접촉은 비-안전 관련 이벤트와 확실히 구별될 수 있다.
2가지 해결책들은 접지 감시 장치 내에 함께 또는 병존하여 사용될 수 있다.
제 1 파손 검출 수단은 제 1 전압원 및 제 1 커플링 네트워크를 포함할 수 있고, 위 커플링 네트워크를 통해 직렬 회로의 저항들 중 적어도 하나의 제 1 저항이 제 1 전압원에 접속된다. 커플링 네트워크는 변압기일 수 있으며, 위 변압기를 통해 제 1 전압원이 제 1 저항으로부터 갈바닉 분리된다. 제 1 파손 검출 수단은 제 1 전류 세기 검출 수단을 포함할 수 있고 위 제 1 전류 세기 검출 수단은 제 1 전압원에 의해 구동되는, 제 1 저항을 통해 흐르는 전류를 검출한다. 대안으로서, 제 1 전류 세기 검출 수단은 제 1 전압원을 통해 흐르는 전류도 검출할 수 있다.
제 1 파손 검출 수단은 또한 제 2 전압원 및 제 2 커플링 네트워크를 포함할 수 있고, 위 커플링 네트워크를 통해 적어도 하나의 제 2 저항이 제 2 전압원에 접속된다. 제 2 커플링 네트워크도 변압기로 형성될 수 있다. 제 1 파손 검출 수단은 제 2 전류 세기 검출 수단을 포함할 수 있고 위 제 2 전류 세기 검출 수단은 제 2 전압원에 의해 구동되는, 제 2 저항을 통해 흐르는 전류를 검출한다. 제 2 전류 세기 검출 수단은 대안으로서 제 2 전압원을 통해 흐르는 전류를 검출할 수 있다.
제 1 저항 및 제 2 저항은 저항들의 직렬 회로 내에서 직접 연달아 놓일 수 있다. 이들 사이에 하나의 공통 노드점이 제공된다.
제 1 전압원에 의해 제공되며 제 1 저항을 통해 강하하는 전압과 제 2 전압원에 의해 제공되며 제 2 저항을 통해 강하하는 전압과의 합은 바람직하게 제로이거나 또는 대략 제로이다. 따라서, 파손 검출로 인해 제 1 저항과 제 2 저항으로 이루어진 직렬 회로를 통해 전압이 강하하지 않는다. 그러나, 접지 접촉의 경우 제 1 저항과 제 2 저항으로 이루어진 직렬 회로를 통해 전압이 강하하며, 이 전압은 이 발명에 따른 장치의 부분일 수 있는 전압 검출 수단에 의해 검출될 수 있다.
이 발명에 따른 장치는 제 2 파손 검출 수단을 포함할 수 있다. 제 2 파손 검출 수단은 제 3 전압원 및 제 3 커플링 네트워크를 포함할 수 있고, 위 커플링 네트워크를 통해 적어도 하나의 제 3 저항이 제 3 전압원에 접속된다. 제 3 커플링 네트워크는 변압기로 형성될 수 있다. 제 2 파손 검출 수단은 제 3 전류 세기 검출 수단을 포함할 수 있고 위 제 3 전류 세기 검출 수단은 제 3 전압원에 의해 구동되는, 제 3 저항을 통해 흐르는 전류 또는 제 3 전압원을 통해 흐르는 전류를 검출한다.
이 발명에 따른 장치는 제 1 접속부로부터 직렬 회로를 통해 제 2 접속부로흐르는 전류를 검출하는 제 4 전류 세기 검출 수단을 포함할 수 있다.
장치는 제 1 접속부, 직렬 회로의 2개의 저항들 사이의 노드점, 직렬 회로의 2개의 저항들 사이의 다른 노드 점 및/또는 제 2 접속부를 서로 접속하고 제 4 전압원 및 제어 가능한 스위치를 포함하는 분기를 포함할 수 있다. 위 제어 가능한 스위치는 이산 시점에서 제어부에 의해 폐쇄되도록 제어될 수 있다. 이산 시점에서 바람직하게 제 1 파손 검출 수단 및 제 2 파손 검출 수단은 작동되지 않는다. 스위치의 폐쇄 상태에서, 제 4 전압원에 의해 스위치, 제 1 접속부, 직렬 회로의 2개의 저항들 사이의 노드점, 직렬 회로의 2개의 저항들 사이의 다른 노드점 및/또는 제 2 접속부를 통해, 따라서 옴 저항들의 직렬 회로의 적어도 일부를 통해 흐르는 전류가 구동될 수 있다. 제 5 전류 세기 검출 수단은 위 스위치를 통해 흐르는 전류를 검출할 수 있다. 제어 가능한 스위치의 폐쇄에도 불구하고 제 4 전압원에 의해 구동되는 전류가 흐르지 않으면, 이 발명에 따른 장치의 옴 저항들의 직렬 회로 내에 파손이 있을 수 있다. 제어 가능한 스위치는 릴레이일 수 있다.
이 발명에 따른 장치 내의 전류 검출 수단은 전류 릴레이일 수 있다.
이 발명에 의해, 낮은 옴의 접지 접촉이 비-임계 상태와 확실히 구별될 수 있고 옴 저항들의 직렬 회로 내의 파손에 의한 접지 감시 장치의 고장도 검출될 수 있는 접지 감시 장치가 제공된다.
이 발명의 다른 특징들 및 장점들이 첨부한 도면을 참고로 상세히 설명된다.
도 1은 선행 기술에 따른 접지 감시 장치의 회로도.
도 2는 이 발명에 따른 제 1 접지 감시 장치의 회로도.
도 3은 이 발명에 따른 제 2 접지 감시 장치의 회로도.
도 1, 도 2, 도 3에 도시된 접지 감시 장치 또는 접지 감시가 이루어지는 전류 공급 장치는 다수의 동일한 또는 기능상 동일한 소자들 및 부품들을 포함한다. 위 소자들 또는 부품들은 도면들에서 동일한 도면 부호로 표시된다. 도 2 및 도 3에 도시된 2개의 이 발명에 따른 장치의 소자들, 부품들 및/또는 부분들은 이 발명에 따른 다른 장치를 형성하기 위해 완전히 또는 부분적으로 서로 조합될 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 접지 감시 장치는 도 1에 도시된 접지 감시 장치(10) 대신에 도 1에 도시된 전류 공급 장치 내에 사용될 수 있다.
도 2에 도시된 접지 감시 장치(10)는 제 1 파손 검출 수단을 포함한다. 제 1 파손 검출 수단은 제 1 전압원(Um1) 및 제 1 커플링 네트워크(K1)를 포함하고, 위 커플링 네트워크는 변압기로 형성된다. 제 1 전압원(Um1)은 변압기(K1)의 1차 측과 접속된다. 2차 측에는 접지 감시 장치(10)의 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로의 제 1 저항(R1)이 접속된다.
제 1 파손 검출 수단은 또한 제 2 전압원(Um2) 및 제 2 커플링 네트워크(K2)를 포함하며, 위 제 2 커플링 네트워크도 변압기로 형성된다. 제 2 전압원(Um2)은 변압기(K2)의 1차 측에 접속된다. 2차 측에서는 접지 감시 장치(10)의 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로의 제 2 저항(R2)이 접속된다.
2차 측 전압들이 상쇄되고 제 1 저항(R1)과 제 2 저항(R2)으로 이루어진 직렬 회로에 의해 전체적으로 제 1 전압원(Um1) 또는 제 2 전압원(Um2)에 의해 야기되는 전압이 떨어지지 않도록, 제 1 전압원(Um1), 제 2 전압원(Um2), 변압기(K1) 및 변압기(K2)가 배치되고, 전압원들(Um1, Um2)에 의해 제공되는 전압들이 설계된다. 제 1 저항(R1)과 제 2 저항(R2)으로 이루어진 직렬 회로에 의해, 제 1 파손 검출 수단에 비해 더 외측의 전압원에 의해 야기되는 전압이 떨어질 수도 있다.
제 1 파손 검출 수단은 또한 제 1 전류 세기 검출 수단(Im1max), 예컨대 제 1 전압원(Um1)에 의해 제 1 저항(R1)을 통해 구동된 전류(Im1)를 검출하는 전류 릴레이를 포함한다. 이를 위해, 제 1 전류 세기 검출 수단(Im1max)은 변압기(K1)의 2차 측 및 제 1 저항(R1)으로 형성된 전류 회로 내에 배치되는 검출 소자(106)를 포함한다.
검출 소자(106)는 변압기의 2차 측과 직렬로 배치된다.
제 1 저항(R1)을 통해 흐르는 전류(Im1)가 충분히 크면, 제 1 저항(R1)이 파손되지 않은 것이 보장된다. 그러나, 전류(Im1)가 존재하지 않으면, 제 1 저항(R1)에 결함이 있다는 것이 전제되어야 한다.
제 1 파손 검출 수단은 또한 제 2 전류 세기 검출 수단(Im2max), 예컨대 제 2 전압원(Um2)에 의해 제 2 저항(R2)을 통해 구동된 전류(Im2)를 검출하는 전류 릴레이를 포함한다. 여기서도 저항(R2)을 통해 흐르는 전류(Im2)가 충분하면, 저항(R2)이 파손되지 않은 것이 보장된다. 전류(Im2)가 존재하지 않으면, 제 2 저항(R2)이 파손된 것이 전제되어야 한다.
제 2 전류 세기 검출 수단(Im2max)은 변압기(K2)의 2차 측 및 제 2 저항(R2)으로 형성된 전류 회로 내에 배치되는 검출 소자(107)를 포함한다. 검출 소자(107)는 변압기(K2)의 2차 측에 대해 직렬로 배치됨으로써, 전류(Im2)만이 검출 소자(107)를 통해 흐를 수 있다.
도 3에 도시된 접지 감시 장치(10)는 또한 제 2 파손 검출 수단을 포함한다. 제 2 파손 검출 수단은 제 3 전압원(Um3), 제 3 커플링 네트워크(K3) 및 제 3 전류 세기 검출 수단(Im3max)을 포함하고, 위 제 3 전류 세기 검출 수단은 제 3 전압원(Um3)에 의해 구동되는, 저항(R3)을 통해 흐르는 전류를 검출한다. 제 3 저항(R3)은 변압기로 형성된 커플링 네트워크(K3)를 통해 제 3 전압원(Um3)에 접속된다. 제 3 수단(Im3max)은 변압기(K3)의 2차 측에 대해 직렬로 배치된 검출 소자(108)를 포함한다. 제 3 전류 세기 검출 수단(Im3max)도 전류 릴레이일 수 있다.
제 3 저항이 파손된 상태가 아니면, 제 3 전압원(Um3)은 변압기(K3)의 2차 측, 검출 소자(108) 및 제 3 저항(R3)으로 형성된 전류 회로에 의해 전류를 구동시킬 수 있다. 이에 반해, 제 3 저항(R3)이 파손된 상태이면, 위 전류는 더 이상 흐르지 않을 수 있다. 제 3 전류 세기 검출 수단(Im3max)이 이를 검출하여 장치의 출력부(103)를 통해 전류 공급 장치(1)의 제어부(12)에 파손을 통보한다.
도 2에 따른 이 발명의 장치(10)는 또한 제 2 접속부(102)로부터 직렬 회로(R1, R2, R3)를 통해 제 1 접속부(101)로 흐르는 전류를 검출하는 제 4 전류 세기 검출 수단(Imax)을 포함한다. 이를 위해, 제 4 수단(Imax)은 제 1 접속부(101) 후방에 배치된 검출 소자(109)를 포함한다. 제 4 수단(Imax)도 전류 릴레이일 수 있다. 접지 접촉의 경우 전류는 저항들(R1, R2, R3)로 이루어진 직렬 회로를 통해 흐르고, 위 전류는 제 4 수단(Imax)에 의해 검출되며 장치(10)의 접속부(103)를 통해 전류 공급 장치(1)의 제어부(12)로 통보된다.
검출 소자(109)는 또한 검출된 전류를 적분하는 적분 수단(Int)과 접속된다. 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 흐르는 전류의 적분은 접지 접촉시 흐르는 에너지를 나타낸다. 방출 에너지의 하우징은 다른 비-안전 임계적 현상들과 접지 접촉의 구별을 위해 사용될 수 있다.
도 2에 도시된 장치는 저항들(R2 및 R3) 사이에 놓인 노드(104)와 제 2 접속부, 즉 보호 도체(PE) 사이에서 강하하는 전압을 검출하는 전압 검출 수단(Umax)을 포함한다. 접지 접촉으로 인해 전류가 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 흐르면, 저항들(R1, R2)로 이루어진 직렬 회로를 통해 전압이 강하하다. 이 전압은 수단(Umax)에 의해 검출되고, 제어부에 의해 접지 접촉에 대한 지표로서 사용될 수 있다.
도 3에 도시된 이 발명에 따른 장치(10)는 많은 부분에서 도 2에 도시된 것에 상응한다. 도 2에 도시된 장치와는 달리, 도 3에 도시된 장치(10)는 제 1 파손 검출 수단을 포함하지 않는다. 제 3 저항(R3)을 연속해서 파손에 대해 감시할 수 있는 제 2 파손 검출 수단만이 제공된다.
이에 반해, 연속하는 파손 검출이 저항(R1 및 R2)에 대해서는 이루어지지 않는다. 그러나, 이산 시점에서, 예컨대 전류 공급 장치(1)로부터 나온 전류를 직렬 회로(2)에 공급하기 전에, 저항들(R1 및 R2)을 파손에 대해 체크할 수 있는 수단이 제공된다.
이산 시점에 파손 검출 수단은 제 1 접속부(101)와 노드(104)를 서로 접속하며 제 4 전압원(U1) 및 제어 가능한 스위치(109)를 갖는 분기를 포함한다. 위 제어 가능한 스위치는 이산 시점에서 제어부(12)에 의해 폐쇄되도록 제어될 수 있다. 스위치의 폐쇄 상태에서, 제 4 전압원(U1)은 스위치(109) 및 저항(R1 및 R2)을 통해 전류(It)를 구동시킨다. 분기를 통해 흐르는 전류(It)는 제 5 전류 세기 검출 수단(Itmax)에 의해 검출된다. 따라서, 이산 시점에 저항들(R1 및 R2)이 파손된 상태인지 또는 아닌지의 여부가 검출될 수 있다. 제 5 전류 세기 검출 수단(Itmax)의 출력부는 인터페이스(103)를 통해 제어부(12)와 접속된다.
1 전류 공급 장치
2 직렬 회로
10 접지 감시 장치
11 변압기
12 제어부
13 파워 컨트롤러
101, 102 접속부
109 스위치
111 1차 측
112 2차 측
1121, 1122, 1123 탭

Claims (15)

  1. 한편으로는 교류 회로의 중성선(N')과 다른 한편으로는 보호 도체(PE) 또는 접지 사이의 교류 회로의 접지 감시 장치(10)로서, 위 중성선(N')용 제 1 접속부(101) 및 위 보호 도체(PE) 또는 접지용 제 2 접속부(102)를 구비한 옴 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 포함하는 접지 감시 장치에서,
    위 장치는 위 직렬 회로의 위 저항들(R1, R2, R3) 중 하나의 저항에 대한 적어도 하나의 파손 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는. 접지 감시 장치.
  2. 제 1항에서, 제 1 파손 검출 수단은 제 1 전압원(Um1) 및 제 1 커플링 네트워크(K1)를 포함하고, 위 커플링 네트워크를 통해 위 저항들(R1, R2, R3) 중 적어도 하나의 제 1 저항(R1)이 위 제 1 전압원(Um1)에 접속되는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  3. 제 2항에서, 위 제 1 파손 검출 수단은 제 1 전류 세기 검출 수단(Im1max)을 포함하고, 위 전류 세기 검출 수단은 위 제 1 전압원에 의해 구동되는, 위 제 1 저항(R1)을 통해 흐르는 전류(Im1)를 검출하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  4. 제 3항에서, 위 제 1 파손 검출 수단은 제 2 전압원(Um2) 및 제 2 커플링 네트워크(K2)를 포함하고, 위 커플링 네트워크를 통해 위 저항들(R1, R2, R3) 중 적어도 하나의 제 2 저항(R2)이 위 제 2 전압원(Um2)에 접속되는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  5. 제 4항에서, 위 제 1 파손 검출 수단은 제 2 전류 세기 검출 수단(Im2max )을 포함하고, 위 제 2 전류 세기 검출 수단은 위 제 2 전압원(Um2)에 의해 구동되는, 위 제 2 저항(R2)을 통해 흐르는 전류를 검출하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  6. 제 5항에서, 위 제 1 저항(R1) 및 위 제 2 저항(R2)이 위 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로 내에 직접 연달아 놓이는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  7. 제 6항에서, 위 제 1 전압원(Um1)에 의해 제공되며 위 제 1 저항(R1)을 통해 강하하는 전압과 위 제 2 전압원(Um2)에 의해 제공되며 위 제 2 저항(R2)을 통해 강하하는 전압과의 합은 제로이거나 또는 대략 제로인 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에서, 위 장치(10)는 제 2 파손 검출 수단을 포함하고, 위 제 2 파손 검출 수단은 제 3 전압원(Um3) 및 제 3 커플링 네트워크(K3)를 포함하고, 위 커플링 네트워크를 통해 위 저항들(R1, R2, R3) 중 적어도 하나의 제 3 저항(R3)이 위 제 3 전압원(Um3)에 접속되는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  9. 제 8항에서, 위 제 2 파손 검출 수단은 제 3 전류 세기 검출 수단(Im3max)을 포함하고, 위 제 3 전류 세기 검출 수단은 위 제 3 전압원(Um3)에 의해 구동되는, 위 제 3 저항(R3)을 통해 흐르는 전류(Im3a)를 검출하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에서, 위 장치는 위 제 2 접속부(102)로부터 위 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 위 제 1 접속부(101)로 흐르는 전류(I)를 검출하는 제 4 전류 세기 검출 수단(Imax)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  11. 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에서, 위 장치는 위 저항들(R1, R2, R3)의 직렬 회로를 통해 흐르는 전류(I)의 적분 수단(Int)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  12. 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에서, 위 장치(10)는 분기를 포함하고, 위 분기는 위 직렬 회로의 저항들의 적어도 일부(R1, R2)에 대해 평행하게 놓이며 제 4 전압원(Ut) 및 제어 가능한 스위치(109)를 포함하고, 위 제어 가능한 스위치는 이산 시점에 제어부(12)에 의해 폐쇄되도록 제어 가능한 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  13. 제 12항에서, 위 스위치(109)의 폐쇄된 상태에서, 위 제 4 전압원(Ut)이 위 스위치(109)를 통해 흐르는 전류(It)를 구동시키는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  14. 제 12항 또는 제 13항에서, 위 장치(10)는 위 스위치(109)를 통해 흐르는 전류(It)를 검출하는 제 5 전류 세기 검출 수단(Itmax)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 접지 감시 장치.
  15. 폴리실리콘 리액터용 전류 공급 장치(1)로서, 위 폴리실리콘 리액터 내에는 지멘스 방법에 따라 폴리실리콘의 제조를 위한 실리콘 로드들의 직렬 회로(2)가 배치되고, 위 직렬 회로(2)는 부하로서 위 전류 공급 장치(1)에 접속될 수 있고, 위 전류 공급 장치(1)는 변압기(11), 제어부(12) 및 접지 감시 장치(10)를 포함하고, 위 변압기의 1차 측(111)은 전압 공급 네트워크(L1, N)에 접속될 수 있으며 위 변압기의 2차 측(112)은 다수의 탭들(1121, 1122, 1123)을 포함하고, 탭(1123)은 위 전류 공급 장치의 출력부의 중성선 접속부와 접속되고, 적어도 2개의 탭(1121, 1122)은 파워 컨트롤러(13)를 통해 위 전류 공급 장치의 출력부의 외부 도체 접속부와 접속되고, 위 제어부(12)에 의해 위 전류 공급 장치(1)의 위 파워 컨트롤러(13)가 전압 시퀀스 제어 방식으로 제어 가능한, 전류 공급 장치(1)에서,
    위 접지 감시 장치(10)가 제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는, 전류 공급 장치.
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