KR20120083436A - 감소된 마찰 특성을 갖는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 및 이러한 기판 상에 도포된 코팅을 포함하는 장치와 관련이 있고, 특히 디스플레이 장치 혹은 모니터 보조 페인(monitor auxiliary pane)용 커버 페인 또는 입력 장치(input device)용 표면과 관련이 있으며, 이 경우에 상기 코팅은 0.01 내지 0.12 정도, 특히 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 범위 안에 있는 마찰 값(tan α)을 갖는 표면을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

감소된 마찰 특성을 갖는 장치{DEVICE HAVING REDUCED FRICTION PROPERTIES}

본 발명은 기판 그리고 이러한 기판 상에 도포된 코팅을 포함하는 장치에 관한 것으로서, 특별히 디스플레이 장치 혹은 모니터 보조 페인(monitor auxiliary pane)용 커버 페인(cover pane) 또는 입력 장치(input device)용 표면과 관련이 있으며, 본 발명은 또한 이와 같은 장치를 사용하는 용도 그리고 이와 같은 장치를 제조하기 위한 방법과도 관련이 있다.

DE 198 48 591(A1)에는 불화 유기 화합물이 제공된 광학 페인이 공지되어 있다. 상기 DE 198 48 591(A1)에 따르면, 상기와 같은 불화 유기 화합물을 함유하는 코팅은 스크래치(scratch)에 대한 높은 저항성, 공기에 대한 마찰의 감소, 윈드 스크린 와이퍼의 슬라이딩 상태의 개선 그리고 오염물 차단을 특징으로 하는 차량의 페인, 윈드 스크린 페인, 윈도우 페인 또는 서치 라이트 페인에 적용된다. 상기 DE 198 48 591(A1)은 종래 유형의 페인 분야에 제한된다. 특히 디스플레이-페인 분야에서 중요한 지문 방지와 관련해서는 기재되어 있지 않다.

US 6,472,017(B2)에는 다이아몬드와 유사한 탄소층 그리고 플루오르알킬실란으로 이루어진 층을 포함하는 기판용의 특수한 코팅 시스템이 공지되어 있다. 상기 다이아몬드와 유사한 탄소층은 내구성 및/또는 소수성을 제공할 목적으로 이용된다. 플루오르알킬실란 층은 코팅 시스템의 높은 접촉각(contact angle)을 제공할 목적으로 이용된다. 상기 US 6,472,017(B2)에도 지문 방지와 관련해서는 기재되어 있지 않다.

DE 198 29 172(A1)에는 기판 상에 비반사 층(antireflexive layer)을 제조하기 위한 방법, 특히 광학 소자들을 템퍼링하기 위한 방법과 관련이 있다. 상기 DE 198 29 172(A1)에는 상기 비반사 층의 마찰 특성에 대해서는 언급되어 있지 않다.

DE 10 2007 058 927(A1)에는 졸-겔-층 및 배리어 층 그리고 비반사 코팅이 도포된 층을 구비하는 기판이 공지되어 있다. 상기 비반사 코팅이 도포된 층은 졸-겔-방법에 의해서 제공될 수 있다. 상기 DE 10 2007 058 927(A1)에 공지된 코팅은 태양 전지 분야에서 마모에 강하고 주변 환경에 대하여 잘 견디는 복합 재료로서 사용된다. 상기 DE 10 2007 058 927(A1)에는 마찰 계수, 특히 시작 마찰(starting friction)의 값에 대해서는 기재되어 있지 않다.

DE 39 41 797(A1)에는 기판을 위해서 효과적인 비반사 작용을 하는 층 시스템이 공지되어 있으며, 이 경우에 상기 층 시스템은 화학 기상 증착(CVD) 또는 반응성 스퍼터링에 의해서 제공된다.

DE 102 13 036(A1)에는 다중 층-간섭 코팅(interference coating)을 구비하는 플라스틱 박막 코팅을 기술하고 있으며, 이 경우에 상기 다중 층-간섭 코팅은 비반사 시스템용으로 사용될 수 있다.

상기 DE 39 41 797(A1) 및 DE 102 13 036(A1)에는 코팅 시스템을 위한 마찰 계수가 개시되어 있지 않다.

전술된 바와 같은 코팅된 기판들에서 종종 발생하는 문제점은, 높은 접촉각에도 불구하고 상기와 같은 코팅들의 표면이 매우 거친 경우가 많다는 것이다. 이와 같은 문제점은, 예를 들면 디스플레이 분야에서 사용되는 유리 페인의 경우에 볼펜 또는 핀에 의한 스크래치(scratch)를 야기하며, 이와 같은 상황은 불안정한 활자꼴(type face)을 야기하고, 더 나아가서는 표면까지도 손상시킨다. 터치-패널, 다시 말해 표면의 부분에 접촉하여 기술 장치의 프로그램 플로우를 직접적으로 제어할 수 있는 표면이 적용되는 디스플레이 제품에 유리 페인을 사용하는 경우에는 최상부 (유리-)표면 그리고 상기 표면의 특성들이 중요하다.

그러나 종래 기술의 최상부 유리 표면은 앞에서 언급한 문제점들로 인해 기술적인 진보를 확실하게 인식할 수 없었다.

또한, 종래 기술의 유리 표면은 예를 들어 지문에 의해서 쉽게 오염되었다. 따라서 종래 기술에서는 유리 표면을 세척하기 위하여 전문적이고 통상적인 유리 세정제가 사용될 수밖에 없었다.

본 발명의 과제는 특히 터치-패널이 적용되는 경우에 종래 기술에서의 단점들을 극복하는 것이다.

특히 유리 표면에서 지문들이 전반적으로 피해지거나 또는 거의 눈에 띄지 않아야만 한다.

상술한 과제는 기판 및 상기 기판 상에 제공된 코팅을 구비하는 본 발명에 따른 장치에 의해서 해결되며, 이 경우에 상기 코팅은 표면에서 0.01 내지 0.12 정도, 특히 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 범위 안에 있는 마찰 값 혹은 마찰 계수(tan α)를 갖는다. 상기 마찰 값은 각도(α)만큼 기울어진 비스듬한 평면에서 검출되는 마찰 값을 의미한다.

평면에 배치된 추(weight)가 미끄러지게 되는 각도(α)가 마찰 값을 결정한다. 이러한 점에서 본 발명에 따른 마찰 값은 슬라이딩 마찰 값 또는 운동 마찰 계수(dynamic friction coefficient)와 다른 접착 마찰(sticking friction) 값 또는 시작 마찰 값 혹은 접착 마찰 계수 또는 시작 마찰 계수이거나 또는 정지 마찰 계수(static friction coefficient)이다.

본 발명에 따른 코팅은 표면이 매끈하게 보이도록 또는 매끈해지도록 해주며, 그리고 특히 마찰 값 혹은 마찰 계수가 감소하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 코팅이 표면에 제공되면, 예를 들면 정상적인 유리 표면 상에서 플라스틱 포인트 또는 손가락을 이용하여 필기할 때에 통상적으로 나타나는 것과 같은 "스크래치" 또는 방해가 되는 "접착 현상" 없이 상기 표면 상에서 입력 장치를 움직일 수 있게 된다. 또한, 표면 상에 오물이 달라붙거나 또는 지문이 남을 수 있는 가능성이 확연하게 줄어듦으로써, 결과적으로 접착 현상이 감소하게 되고 그와 더불어 표면 상에 달라붙은 오염 물질을 건조 상태에서 제거할 수 있게 된다. 이와 같은 장점들은 특히 터치-패널-적용 예에서 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅이 제공된 기판 상에, 예를 들면 오일, 특히 피부 지방(skin fat)과 같은 유기 물질이 달라붙거나 또는 점착되는 현상이 대폭 줄어들거나 또는 실제로 완전하게 방지됨으로써, 결과적으로 지문이 대대적으로 피해지거나 적어도 거의 눈에 띄지 않게 된다. 피부 지방이 코팅 상에 달라붙는 경우가 적거나 또는 실제로 전혀 없기 때문에, 본 발명에 따른 코팅이 제공된 기판의 세척도 수월해진다. 매우 바람직한 하나의 실시예에서는 유기 물질 혹은 피부 지방에 의해 생성된 오염물이 심지어 건조 상태에서 제거될 수 있는데, 다시 말하면 예컨대 디스플레이 또는 터치-스크린-패널에서 유기 오염물의 제거를 위해서 반드시 필요한 세정제를 사용하지 않아도 된다.

개선된 하나의 실시예에서는 코팅이 비반사 코팅을 포함한다. 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅을 포함하는 상기 코팅은, 바람직하게는 표면에서 0.01 내지 0.12 정도, 바람직하게는 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09정도의 범위 안에 있는 마찰 계수(tan α) 또는 정지 마찰 계수를 갖는다. 이와 같은 바람직한 상황은 일반적으로 비반사 혹은 반사 방지 코팅 상에 제공된 커버 층에 의해서 도달할 수 있다. 마찰 계수를 감소시키는 커버 층의 두께는 20nm 미만, 바람직하게는 10nm 미만의 범위 안에 있고, 특히 상기 커버 층의 두께는 0.1nm 내지 10nm 정도의 범위 안에 있다.

기판은 바람직하게 유리 페인, 특히 예를 들어 드로잉 방법, 예컨대 업 드로우(Updraw)- 혹은 다운 드로우(Downdraw)-드로잉 방법 또는 플로팅(floating) 기술에 의해서 얻어지거나 또는 캐스팅- 혹은 롤링 유리로부터 획득되는 석회-나트론-유리 페인 또는 붕규산 유리 페인이다. 특별히 후자의 방법, 다시 말해 캐스팅- 혹은 롤링 방법에서는 폴리싱(polishing) 기술을 통하여 예를 들어 디스플레이-보조 패널을 위해서 반드시 필요한 표면의 광학적인(optical) 품질에 도달하게 된다.

대안적으로 기판은 플라스틱 기판일 수도 있다.

포맷이 작은 디스플레이 유리, 특히 터치-패널 또는 터치-스크린에 적용하기 위해서는 기판이 1㎜ 이하의 두께를 갖는 경우 그리고 기판이 최대로 얇은 기판인 경우가 바람직하다. 독일 SCHOTT AG사(社)의 Borofloat 또는 최대로 얇은 유리 D263, B270이 특히 바람직하다.

상기 장치들이 디스플레이를 위한 커버 패널용으로 사용되거나, 또는 선택적으로 더 큰 표면, 예를 들어 면적인 1㎡ 이상인 표면을 위한 터치-패널 또는 터치-스크린으로서 사용되는 경우에는 바람직하게 4㎜ 내지 6㎜ 정도의 두께를 갖는 기판이 사용됨으로써, 결과적으로 상기 디스플레이에는 기계적인 보호 기능도 함께 제공된다.

상기 패널은 단일 패널일 수도 있고 복합 패널일 수도 있다. 상기 복합 패널은, 예를 들어 두 개의 패널, 즉 제1 패널 및 제2 패널로서, 이러한 패널들은 예를 들어 PVB-박막과 결합되어 있다. 상기 복합 패널의 외부로 향하는 표면들 중에서 적어도 하나의 표면에는 0.01 내지 0.12 정도, 특히 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 범위 안에 있는 마찰 계수 또는 정지 마찰 계수(tan α)를 갖는 본 발명에 따른 마찰 감소된 표면이 설치되어 있다.

표면의 높은 평탄성 뿐만 아니라 액체 세정제로 간단히 세척될 수 있는 표면까지도 얻기 위하여, 본 발명에 따른 층들은 50°를 초과하는, 특히 70°를 초과하는 접촉각을 가진다. 50°를 초과하는, 특히 70°를 초과하는 접촉각을 갖는 층들은 앞에서 설명한 건식 세척에 추가로 유리 세정제 또는 물과 같은 액체 세정제를 이용해서 유리 표면의 오염물이 간단히 제거될 수 있도록 해준다. 본 발명에 따른 층들 또는 코팅의 우수한 세척 가능성, 특히 건식 세척을 위해서는 실제로 예를 들어 작은 마찰 계수를 특징으로 하는 감소 된 접착 메커니즘의 역할이 중요하다. 본 발명에 따른 층 혹은 코팅도 마찬가지로 심지어 100°이상까지 도달할 수 있는 높은 접촉각을 갖지만, 건식 세척 가능성을 위해서는 코팅 표면에 오염물, 특히 유기 오염물이 달라붙을 수 있는 가능성이 작은 것이 결정적으로 중요하며, 높은 접촉각은 결정적으로 중요하지는 않다.

기판 및 상기 기판 상에 제공되고 작은 마찰 값을 갖는 코팅을 구비하는 본 발명에 따른 장치들의 최초의 사용 예는 기계적인 보호 기능 및/또는 예를 들어 디스플레이 장치, 소위 디스플레이에서 입력을 위한 표면을 제공해주는 커버 패널로서 사용하는 것이다. 특히, 본 발명에 따른 장치는 상기 장치의 표면 부분을 접촉함으로써 기술 장치들이 작동될 수 있는 분야, 다시 말하면 대화식으로(interactive) 입력되는 터치-패널-적용 분야에 사용된다. 이와 같은 패널이 디스플레이의 광학적인 전체 시스템에 추가의 경계면을 함께 가져오기 때문에, 디스플레이 상에 비반사 코팅이 없이 단지 종래의 플로트 유리(float glas) 패널만을 기판 재료로서 사용하는 경우에는 약 8%의 반사율에 도달하게 된다. 이러한 반사율은 디스플레이의 효과적인 대비(contrast)를 방해하는데, 그 이유는 반사가 디스플레이의 유효 신호와 경쟁을 하기 때문이다. 이와 같은 이유에서 특히 상기와 같은 적용을 위해서는 기판상에 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅을 제공하는 것, 다시 말해 표준 발광 D65의 가시 파장 범위에서 반사율(R_ViS)이 현격하게 떨어진, 바람직하게는 그 반사율이 4% 이하, 특히 바람직하게는 2% 미만인 비반사 패널을 사용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 유리- 또는 플라스틱 패널은 반사 방지 패널로도 표기되는 비반사 코팅을 포함하며, 상기 비반사 코팅은 다음과 같은 상부 구조물들 중에 한 가지 상부 구조물을 구비하거나 또는 다음과 같은 도포 방법들 중에 한 가지 방법으로 도포된다.

a) 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅이 액체 기술에 의해서 도포되며, 이 경우에는 상기 액체 기술에 의해서 도포 된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공된다.

- 비반사 코팅이 졸-겔-기술에 의해서 도포된다.

- 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 단순한 간섭 코팅으로서 제조된다.

- 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 다중-간섭 코팅으로서 제조되며, 이 경우에는 상기 다중-간섭 코팅은 특히 3중- 내지 7중-간섭 코팅이며,

- 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 3중-간섭 코팅으로서 제조되며, 이 경우에 제1 층은 1.6 내지 1.8 정도의 굴절률을 갖고, 제2 층은 1.9 내지 2.5 정도의 굴절률을 가지며, 그리고 제3 층은 1.4 내지 1.5 정도의 굴절률을 가진다.

b) 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅이 고진공 기술에 의해서 제조되며, 이 경우에 상기 고진공 기술에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공된다.

- 비반사 코팅이 고진공 기술에 의해 다중-간섭 층 시스템으로서 제조되고, 이 경우에 상기 다중-간섭 코팅은 특히 3중- 내지 7중-간섭 코팅이며,

- 비반사 코팅이 고진공 기술에 의해 단일 층 시스템으로서 제조되고,

- 비반사 코팅이 고진공 상태에서 스퍼터링 프로세스로부터 제조되며,

- 비반사 코팅이 고진공 상태에서 진공 증착 프로세스로부터 제조된다.

c) 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅이 화학 기상 증착(CVD) 방법에 의해서 제조되며, 이 경우에 상기 화학 기상 증착(CVD) 방법에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공된다.

- 비반사 코팅이 온라인-화학 기상 증착(CVD) 프로세스로 제조되며,

- 비반사 코팅이 오프라인-화학 기상 증착((CVD) 프로세스로 제조된다.

d) 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅이 에칭 방법에 의해서 제조되며, 이 경우에 상기 에칭 방법에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공된다.

- 비반사 코팅이 에칭 방법에 의해 기공성 층으로서 제조되며,

- 비반사 코팅이 에칭 방법에 의해 광 분산 표면으로서 제조된다.

비반사 코팅이 도포되고, 0.01 내지 0.12 정도, 바람직하게 0.02 내지 0.1 정도, 매우 특히 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 범위 안에 있는 정지 마찰 계수(tan α)를 갖는 커버 층이 상기 비반사 코팅에 제공되면, 비반사 작용이 나타날 수 있도록 상기 비반사 층이, 예를 들어 선구 물질 또는 폴리머의 혼합에 의해서 상기 커버 층에 적응된다. 상기 비반사 작용은 한 측에서 그리고/또는 양측에서 도포가 이루어진 경우에 전체 시스템의 반사율이 표준 발광 D65의 가시 파장 범위에서 0.1% 내지 7% 정도, 바람직하게는 0.1% 내지 6% 정도, 특히 0.1% 내지 5.5% 정도, 특히 바람직하게는 0.1% 내지 4% 정도, 특히 0.1% 내지 2% 정도, 매우 바람직하게는 0.1% 내지 1.5% 정도를 차지하는 방식으로 이루어진다.

코팅을 구비하는 본 발명에 따른 기판은 특히 바람직하게 다음과 같은 분야들 중에 한 가지 분야에 또는 다음과 같은 제품들 중에 한 가지 제품을 위해서 사용된다.

- 디스플레이 혹은 디스플레이 장치용 보호 페인,

- 디스플레이용 커버 페인,

- 터치 패널용 커버 페인,

- 광학 스캐닝 기능을 갖춘 터치 스크린의 한 부분,

- 신호를 대화식으로 입력하기 위한 터치 패널로서의 또는 커버- 및 보호 페인으로서의 디스플레이 시스템 내부,

상기 장치 이외에 본 발명은 또한 0.01 내지 0.12 정도, 특히 0.02 내지 0.1 정도, 매우 특히 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 마찰 값을 갖는 코팅을 기판 상에 제조하기 위한 방법도 제공하며, 상기 방법은 제1 실시예에서는 다음과 같은 단계들을 포함한다.

- 코팅, 특히 반사 방지 코팅을 전술된 바와 같이 액체 기술, 특히 졸-겔-기술로 또는 고진공 기술로 또는 CVD-방법에 의해서 기판 상에 도포하고,

- 코팅된 기판을 개략 진공(rough vacuum) 상태로 진공화되는 저압 용기 내부에 삽입하며,

- 기판 상에 도포 된 코팅의 마찰 값이 0.01 내지 0.12 정도, 바람직하게는 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도가 되도록 상기 코팅을 한 가지 추가 처리 단계에서 가공하고, 특히 적어도 국부적으로 평활화한다.

본 발명에 따른 방법의 한 가지 특히 바람직한 제2 실시예에 있어서,

- 상기 코팅된 기판을 10hPa 내지 1,050hPa 정도, 바람직하게는 10hPa 내지 500hPa 범위의 진공 상태로 설정되는 전압 용기 내부로 삽입하며, 이 경우에는 바람직하게 10Pa 내지 100Pa 범위의 정밀 진공(fine vacuum) 또는 100Pa 이상의 개략 진공(rough vacuum)이 진공 조건으로서 이용되며,

- 마찰 값이 0.01 내지 0.12 정도, 바람직하게는 0.02 내지 0.1 정도, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도가 되도록 상기 코팅 상에 커버 층을 제공한다. 이 경우 상기 코팅은 바람직하게 적어도 국부적으로 평활화된다.

코팅의 마찰 값을 설정하기 위하여, 예를 들어 독일 데-63791 카를슈타인, 프랑켄슈트라쎄 19에 소재하는 Cotec사(社)의 초소수성(ultra hydrophobic) 코팅 재료 "Duralon Ultratec"이 정제(14㎜의 직경, 5㎜의 높이)(tablet)의 형태로 결합되어 전술된 저압 용기 안에 있는 증발기 내부에 제공될 수 있다. 그 다음에 상기 증발기 안에서 100℃ 내지 400℃ 정도의 온도에서 코팅 재료가 상기 정제의 충전 몸체로부터 증발되고, 기판 또는 이전에 제공된 코팅, 예를 들어 반사 방지 코팅 혹은 비반사 층의 표면 상에 커버 층으로서 증착된다. 이 경우에는 코팅 재료를 분배하기 위하여 바람직하게 EP-A-1816232호에 공개된 바와 같이 대상물의 전면을 코팅하기 위한 장치가 사용되며, 상기 간행물의 공개 내용은 본 출원서에 전체 범위에 걸쳐서 참조된다. 시간- 및 온도 프로파일은 재료 "Duralon Ultratec"의 정제를 증발시키기 위하여 독일 데-63791 카를슈타인, 프랑켄슈트라쎄 19에 소재하는 Cotec사(社)에 의해 사전에 결정된 바와 같이 설정된다. (코팅되지 않은 그리고/또는 반사 방지 코팅을 구비한) 기판은 프로세스 중에 300K 내지 370K 정도의 범위에 있는 약간 상승한 온도에 도달하게 된다.

전술된 제공 방법은 통상적으로 단지 수 ㎚ 두께의, 통상적으로는 10㎚ 미만 두께의 커버 층을 제공하며, 바람직하게는 단지 코팅 혹은 기판 표면의 단분자(monomolecular) 포화 상태(saturation)에 불과하다. 비반사 코팅 혹은 반사 방지 코팅 상에 커버 층이 제공되면, 코팅 및 커버 층으로 이루어진 전체 시스템의 굴절 지수 또는 코팅의 두께가 변경된다. 더 나아가 우수한 비반사 상태에 도달하기 위해서는 비반사 코팅 및 커버 층으로 이루어진 전체 시스템이 적응되는 경우가 바람직하다. 커버 층이 매우 얇기 때문에, 이와 같이 얇은 커버 층에서 예를 들어 층 구조의 변경에 의해 반사 방지 코팅의 잔류 반사의 원하는 색조(color tone)에 도달하기 위해서는 반사 방지층을 구비한 광학 시스템을 단지 약간만 적응시켜야 한다. 반사 방지 코팅을 위해, 예를 들면 10㎚ 보다 더 높은 층 두께를 야기하는 혼합물을 전술된 프로세스에 첨가할 수 있는 방법은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공지되어 있다. 접착 마찰이 낮은 층을 증발시키는 것과 동시에 투명한 층을 뒤에 남기는 추가의 폴리머 화합물을 증발시키는 방법이 예로서 언급될 수 있다. 그 다음에 상기 층 내부에 접착 마찰을 감소시키기 위한 재료가 함께 삽입되고, 10㎚ 이상의 두께를 갖는 층으로서 확실한 광학적 효과에 도달하게 된다. 이 경우 예를 들어 마찰 계수가 낮은 재료로 이루어진 최상부 커버 층 그리고 상기 커버 층에 이웃하고 1.37 내지 1.6 정도의 낮은 굴절률을 갖는 재료로 이루어진 반사 방지 시스템의 마지막 층은 상기 반사 방지 시스템을 설계할 때에 함께 고려되는 단 하나의 층으로서 간주 되어야만 한다. 커버 층을 위한 혼합물로서는 전술된 폴리머 이외의 다양한 재료들이 공지된 화학 기상 증착(CVD) 프로세스를 위한 선구 물질로서 사용될 수 있다.

본 발명은 실시예들을 통하여 아래에서 상세하게 설명된다.

도 1은 마찰 값을 결정하기 위한 측정 원리를 나타내는 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 기판 재료로서 단일 페인(도 2a) 및 복합 페인(도 2b)을 포함하는 본 발명에 따른 장치의 개략도들이다.

도 1에는 본 출원서의 근거가 되고 그리고 표 1에 상이한 샘플에 대하여 기재되어 있는 마찰 값을 측정하기 위한 측정 원리가 도시되어 있다.

코팅을 구비한 검사할 유리 페인이 규정된 바대로 경사 위치로 이동되고, 높이(a)를 갖는 블록(12)의 에지를 거쳐서 이동 가능한 스토퍼(14)에 의해 방향(15)으로 이동됨으로써, 결과적으로 경사각, 즉 각도(α)는 점점 커지게 된다. 스토퍼(14)가 이동할 때에는 지지점(17)과 블록(12) 간의 거리(b)가 변경되고, 이로 인하여 각도(α)가 변경된다. 블록(14)의 높이(a)는 15㎜ 정도이다. 상기 각도(α)에 대해서는 다음 식과 같은 관계식이 적용된다.

[식]

tan(α) = a/b

페인 상에 있는 추 부재(20)는 각도(α)가 증가함에 따라 슬라이딩 된다. 이때, 추 부재(20)가 유리 페인 상에서 슬라이딩 되는 각은 본 발명에 따른 마찰 값에 대한 치수가 된다. 따라서, 본 발명에 따른 마찰 값은 접착 마찰- 또는 시작 마찰- 또는 정지 마찰 계수이다.

추(20)로서는, 바람직하게는 황동 부재가 올려져 있고, 치수가 20x20x10㎜이며, "델린(Delrin)"(POM)으로 이루어지고, 전체 중량이 106g인 직육면체가 사용된다.

상기 각도(α)는 전술된 바와 같이 거리(b 및 a)로부터 매우 간단히 결정될 수 있다. 블록이 슬라이딩 동작을 시작하는 높이(a)가 제시되어 있고 그리고 길이(b)가 결정된 경우에는, 이로부터 마찰 계수, 본 경우에는 정지 마찰 계수에 상응하는 각도(tan α)가 산출될 수 있다.

다음과 같은 샘플들이 측정되었고, 표 1에 기재된 바와 같이 예들에 대한 마찰 값 및 접촉각이 결정되었다:

<예 1>

<패턴 1>

패턴 1에 따른 샘플에서는 졸-겔-방법에 따라 반사 방진 코팅이 제조되었다.

상기 코팅은 각각 세 개의 개별 층으로 이루어지고, 다음과 같은 구조를 가진다.

기판 + M + T + S

T로 표기된 개별 층은 이산화티타늄(TiO₂)을 함유하고, S로 표기된 개별 층은 이산화규소(SiO₂)를 함유하며, 그리고 M으로 표기된 개별 층은 각각 S 및 M으로 이루어진 혼합 용액으로부터 드로잉(drawing; 인발)된다. 플로트 유리 기판은 코팅 앞에서 세심하게 세척된다. 침지 용액들은 각각 28℃로 공기 조절된 챔버 내에서 그리고 5g/kg 내지 10g/kg 정도의 습도에서 제공되며, 개별 층(M/T/S)에 대한 드로잉 속도는 약 275/330/288이었다. 각각의 겔 층이 드로잉 된 후에 공기 중에서 가열 프로세스가 이루어진다. 제1 겔 층을 제조한 후의 가열 온도 및 가열 시간은 180℃/20분 정도였고, 제2 및 제3 겔 층을 제조한 후의 가열 온도 및 가열 시간은 440℃/60분 정도 였다. T-층의 경우에 침지 용액은(리터 당) 다음과 같이 조성된다.

68㎖의 티타늄-M-부틸레이트, 918㎖의 에탄올(ABS), 5㎖의 아세틸아세톤 그리고 9㎖의 에틸-부틸아세테이트.

S-층을 제조하기 위한 침지 용액은,

125㎖의 규산 메틸에스테르, 400㎖의 에탄올(ABS), 75㎖의 H₂O(증류되었음) 그리고 7.5㎖의 아세트산을 함유하고, 약 12시간의 휴지기(rest period) 후에는 393㎖의 에탄올(ABS)로 희석된다. 평균 굴절률을 갖는 산화물을 제조하기 위한 코팅 용액은 S + T-용액의 혼합에 의해서 제조된다. M으로 표기된 층은 5.5g/ℓ의 이산화규소-함량 그리고 2.8g/ℓ의 이산화티타늄-함량을 갖는 침지 용액으로부터 드로잉 된다. 적용된 습식 화학식 졸-겔-프로세스는 침지 방법으로서 면적이 더 큰 경제적인 코팅을 가능하게 한다.

졸-겔-방법(패턴 1)에 의해서 제조된 반사 방지 코팅 이외에 스퍼터링 프로세스에 의해서 제조된 반사 방지 코팅도 도포 될 수 있다.

상기와 같은 형태로 코팅된 시스템은,

<예 2>

<패턴 2>이다.

예-패턴 2로서는 스퍼터링 방법에 따라 다음과 같이 코팅되는 한 면 반사 방지층이 다루어진다.

상기 코팅은 순환 장치 내에서 마그네트론 스퍼터(sputter)에 의한 MF-스퍼터링 프로세스로 코팅되며, 이 경우에 기판은 소위 캐리어(Carrier) 내에서 위치 설정되고, 상기 캐리어 상에서 스퍼터링 장치에 의해 이송된다. 도포 방법은 다음과 같다.

a) 코팅 장치 내에서 기판이 우선 "표면"을 탈수시키기 위하여 "약 150℃ 정도로 예열된다". 그 다음에 이어서 반사 방지-시스템(예를 들어 네 개의 층으로 이루어짐)이 다음과 같이 제조된다.

b) 이송 속도가 1.7㎜/min인 굴절률이 높은 층의 스퍼터링으로서, 이 경우에 캐리어는 스퍼터링 소스 앞에서 왕복 운동을 하고, 그동안에 30㎚ 두께의 층이 증착된다.

층의 제조는 반응 가스를 플라즈마 임피던스로 조절한 상태에서 아르곤 및 반응 가스를 첨가하여 이루어진다. 공정 압력은 특히 1xE-3mbar 내지 1xE-4mbar의 범위 안에 있는 전형적인 공정 압력을 야기하는 아르곤의 양에 의해서 결정된다. 플라즈마 내부에서의 증착은 펄싱(pulsing)을 통해서 이루어진다.

c) 이송 속도가 2.14m/min인 굴절률이 낮은 층의 스퍼터링. 이 경우에는 두께가 30.5㎚인 층이 제조된다. 상기 층의 제조는 층 1의 증착에 상응하게 이루어진다.

d) 층 1에 상응하는 굴절률이 높은 층의 스퍼터링. 이 경우에, 이송 속도가 0.9m/min일 때에는 두께가 54㎚인 층이 제조된다.

e) 층 2에 상응하는 굴절률이 낮은 층의 스퍼터링. 이송 속도가 0.63m/min일 때에는 두께가 103㎚인 층이 제조된다. 그 다음에 이어서 코팅된 기판이 캐리어에 의해 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)를 거쳐서 외부로 송출된다.

f) 그 다음에 샘플을 제조하기 위해 제2 코팅 과정에서 단계 a) 내지 d)에 따른 샘플의 후면을 코팅함으로써 후면도 마찬가지로 비 반사된다.

추가로 예-패턴 1에 따라 코팅된 층들이 ETC(Easy to clean)-층으로 코팅될 수 있다.

상기와 같은 형태의 시스템은 패턴 3에서 설명된다.

<예 3>

<패턴 3>

패턴 1에 따른 층이 세척 기계를 통해서 예비 세척되고 중화제(neutralizer)로 예비 처리됨으로써, 결과적으로 코팅은 지방이 없게 된다.

상기와 같이 세척된 표면에 제품 ClearShield가 분무(spraying) 되는데, 상기 제품은 예를 들어 Bohle사(社)에 의해서 Haan(D)으로부터 상업적으로 제공되고, ETC(Easy to Clean)-적용을 위한 전형적인 플루오르 폴리머 용액이다. ClearShield가 살포된 표면은 실온에서 약 10분 내지 15분 동안 작용하도록 방치된다. 그 다음에 상기 코팅된 표면이 세척 및 건조된다.

ETC(Easy to clean)-ClearShield-층을 코팅함으로써 접촉각은 패턴 1 또는 패턴 2와 같은 처리되지 않은 샘플들에 비해 확연하게 개선될 수 있다.

상기와 같은 접촉각의 개선은 표 2에서 알 수 있다.

하지만, 접촉각이 패턴 1 또는 패턴 2의 23°또는 46°로부터 패턴 3의 78°로 상승했다는 것이 상응하는 마찰 값에 도달됨으로써 손가락 또는 펜이 표면 위로 더 쉽게 미끄러지거나 또는 건식 세척이 가능해진다는 것을 의미하지는 않는다.

상기와 같은 상황에 도달하기 위해서는 본 발명에 따라 패턴 1에 따른 층을 한 가지 프로세스에서 후처리 하거나 또는 전술된 바와 같이 커버 층을 평활화 층으로서 반사 방지층 상에 제공하는 것이 필수적이다. 이와 같은 내용은 패턴 4에 설명되어 있다.

<예 4>

<패턴 4>

패턴 4를 위해서 제공된 코팅으로서는 후처리되는 패턴 1에 따른 코팅이 재차 다루어진다. 후처리에서는 패턴 1에 따른 코팅이 진공 상태의 한 가지 프로세스에서 후처리 된다. 이 경우에 패턴 1에 따른 코팅된 유리는 저압 용기 안으로 삽입되고, 그 다음에 이어서 상기 저압 용기가 개략 진공으로 진공화된다.

예를 들면 하나의 커버 층으로 마찰 계수의 감소 또는 코팅의 평활화를 실행하기 위하여, 예를 들어 독일 데-63791 카를슈타인, 프랑켄슈트라쎄 19에 소재하는 Cotec사(社)의 초소수성 코팅 재료 "Duralon Ultratec"이 정제(14㎜의 직경, 5㎜의 높이)의 형태로 결합되어 전술된 저압 용기 안에 있는 증발기 내부에 제공될 수 있다. 그 다음에 상기 증발기 안에서 100℃ 내지 400℃의 온도에서 코팅 재료가 상기 정제의 충전 몸체로부터 증발되고, 기판 또는 이전에 제공된 코팅, 예를 들어 반사 방지 코팅의 표면 상에 커버 층으로서 증착된다. 이 경우에는 코팅 재료를 분배하기 위하여 바람직하게 EP-A-1816232호에 공개된 바와 같이 대상물의 전면을 코팅하기 위한 장치가 사용되며, 상기 간행물의 공개 내용은 본 명세서에 전체 범위에 걸쳐서 수용된다. 시간- 및 온도 프로파일은 재료 "Duralon Ultratec"의 정제를 증발시키기 위하여 독일 데-63791 카를슈타인, 프랑켄슈트라쎄 19에 소재하는 Cotec사(社)에 의해 사전에 결정된 바와 같이 설정된다. (코팅되지 않은 그리고/또는 반사 방지 코팅을 구비한) 기판은 프로세스 중에 300K 내지 370K 정도의 범위에 있는 약간 상승한 온도에 도달하게 된다.

표 1에서 알 수 있는 바와 같이, 전술된 바와 같은 추후 처리에 의해서는 0.01 내지 0.12 정도의 범위 안에 있는 tan α=0.07의 마찰 값 또는 접착 마찰 계수에 도달하게 된다.

또한, 표 2에서도 알 수 있는 바와 같이, 패턴 4를 위한 접촉각은 높은데, 다시 말하자면 100°를 초과한다.

표 1에서 보다 알 수 있는 사실은 0.07 정도의 마찰 값 또는 접착 마찰 계수, 다시 말해 0.01 내지 0.12 정도의 범위 안에 있는 마찰 값 또는 접착 마찰 계수에 도달되는 반면에 추가 커버 층으로 처리된 샘플-패턴 1-패턴 3은 0.12를 초과하는 마찰 값 또는 접착 마찰 계수, 바람직하게는 0.16 내지 0.2 정도의 범위 안에 있는 마찰 값 또는 접착 마찰 계수를 가진다는 것이다.

마찰 값 및 접촉각에 대한 조사 결과들은 아래의 표들에 기재되어 있다.

샘플 예: 패턴 1 - 패턴 4의 마찰 값

샘플		1	2	3	4	5	1	2	3	4	5
		거리 b/mm					마찰 값(tan α)					평균값	편차
패턴 1	세척됨	95	90	90	95	60	0.16	0.17	0.17	0.16	0.25	0.18	0.04
패턴 2	세척됨	90	80	90	100	90	0.17	0.19	0.17	0.15	0.17	0.17	0.01
패턴 3	세척됨	100	95	90	90	90	0.15	0.16	0.17	0.17	0.17	0.16	0.01
패턴 4	세척됨	190	210	260	250	250	0.08	0.07	0.06	0.06	0.06	0.07	0.01

상기 마찰 값들 또는 접착 마찰 계수들은 전술한 바와 같이 유리 플레이트가, 예를 들어 15㎜의 높이(a)를 갖는 블록을 통과하여 tan(α)가 결정됨으로써 결정되었다.

접촉각과 관련된 결과들은 다음 표 2에 기재되어 있다.

샘플	접촉각[°]
	평균값	편차
패턴 1	23	0.63
패턴 2	46	1.67
패턴 3	78	1.02
패턴 4	107	0.40

접촉각 측정을 위해서 샘플들은 양면이 에탄올로 세척되었다. 그 다음에 이어서 DataPhysics사(社)의 장치 PCA 100M/4에 의해서 접촉각이 측정되었다. 이러한 방법은 탈-이온화된 물 그리고 3.5㎕의 적가 용적을 이용한 Sessile Drop 방법에 따라 정지 접촉각 측정으로서 실시되었다. 평가를 위하여 5회의 측정이 실시되었고, 그 다음에 이어서 상기 5회의 측정으로부터 평균값이 측정값으로서 제시되었다.

도 2a 및 도 2b에는 본 발명에 따른 층 시스템이 도시되어 있다. 도시된 도 2a에 따른 층 시스템은 단일 페인으로 형성된 기판(100) 그리고 한 면(114.1)에 도포 되었고 반사 방지 코팅(121.1)을 구비하는 코팅(110)을 포함하며, 본 발명에서는 상기 반사 방지 코팅 상에 예 4(패턴 4)에 기술된 바와 같은 커버 층(122)이 또 하나 제공된다. 상기 커버 층(122)은 외부로 향하는 표면(112)에서는 0.01 내지 0.12 정도, 특히 0.02 내지 0.1 정도, 바람직하게는 0.03 내지 0.09 정도의 범위 안에 있는 마찰 계수를 갖는다. 전술된 특징들은 손가락 또는 펜이 상기와 같은 샘플의 표면 위로 쉽게 미끄러질 수 있도록 해주며, 이와 같은 사실은 특히 터치 스크린 또는 디스플레이 분야에 적용할 때에 장점이 된다.

특별히 유기 오염물, 특히 피부 지방의 점착 현상이 줄어든다. 그럼으로써 터치 스크린 혹은 디스플레이 상에서 지문이 방지되거나, 또는 터치 스크린 혹은 디스플레이의 세척이 더욱 수월해져서 건식 세척까지도 가능해진다.

기판(100)의 다른 면, 다시 말해 마주 놓인 면, 특히 후면(114.2)에는 전체 시스템에서 R_vis<4%, 바람직하게는 <2%의 매우 작은 반사율에 도달하도록 제2 반사 방지 층(121.2)이 존재한다. 이 경우에는 R_vis>0.2%의 반사율이 기술적으로 관련이 있는데, 다시 말해 표준 발광 D65의 가시 파장 범위에서 반사율(R_ViS)은 전체 시스템을 위해 4% 내지 0.2% 정도, 바람직하게는 2% 내지 0.2%의 범위 안에 놓인다. 상기 반사 방지 코팅은 비반사 코팅으로도 표기되는 경우가 많다.

기판은, 바람직하게는 단일-유리 페인, 특히 석회-나트론-유리 페인 또는 붕규산 유리이다. 단일-유리 페인은 예를 들어 드로잉 방법, 예를 업 드로우- 또는 다운 드로우-드로잉 방법 또는 플로팅 기술에 의해서 얻어지거나 또는 캐스팅- 혹은 롤링 유리로부터 획득될 수 있다. 특별히 후자의 방법, 다시 말해 캐스팅- 혹은 롤링 방법에서는 폴리싱 기술을 통하여 예를 들어 디스플레이-보조 패널을 위해서 반드시 필요한 표면의 광학적인(optical) 품질에 도달하게 된다.

단일 페인의 대안으로서 층 시스템은 도 2b에 도시된 바와 같이 복합 페인을 기판으로 포함할 수도 있다. 도 2a에서와 동일한 소자들에는 동일한 도면 부호가 제공되었다. 기판(100)은 복합 페인으로서 제1 페인(210.1) 및 제2 페인(210.2)을 포함한다. 제1 및 제2 페인(210.1, 210.2)은 박막(211)에 의해서, 예컨대 PVB-박막에 의해서 하나의 결합체로 적층 되었다. 제1 페인(210.1) 또는 제2 페인(210.2)의 외부로 향하는 표면(212.1 및 212.2) 중에 적어도 하나의 표면은 마찰 계수가 낮은, 다시 말해 낮은 정지 마찰 계수를 갖는 커버 층(122)을 포함한다. 이러한 경우에는 제1 페인(210.1)의 표면(212.1)에 제1 반사 방지층(121.1) 및 커버 층(122)을 포함하는 코팅(110)이 도포 되었다. 전체 시스템에서 매우 작은 반사율(R_vis)에 도달하도록 하기 위하여 제2 페인(210.2)의 외부 면(212.2)에도 마찬가지로 제2 반사 방지층(121.2)이 제공되었다.

대안적으로 기판은 플라스틱 기판일 수도 있다.

포맷이 작은 디스플레이 유리에 적용하기 위해서는 기판이 1㎜ 이하의 두께를 갖는 경우, 그리고 특히 기판이 최대로 얇은 기판 혹은 최대로 얇은 유리인 경우가 바람직하다. 독일 SCHOTT AG사(社)의 Borofloat 또는 최대로 얇은 유리 D263, B270이 특히 바람직하다.

상기 장치들이 예를 들어 1㎡ 이상의 더 큰 면적을 갖는 디스플레이 유리용으로 사용되는 경우에는 바람직하게 3㎜ 내지 6㎜ 정도의 두께를 갖는 기판이 사용된다.

예 4에 기술된 바와 같이 본 발명에 따른 방법에 따라 개략-/정밀 진공 상태에서 후처리가 이루어짐으로써, 0.01 내지 0.12 범위의 마찰 계수를 갖는 기판을 제조할 수 있게 되며, 이와 같은 사실은 특히 상기와 같은 방식으로 코팅된 유리를 터치 스크린 또는 디스플레이 분야에 사용할 때에 손가락 또는 펜이 표면 위로 슬라이딩 되는 것과 관련하여 장점들을 갖는다. 접착 계수가 매우 낮은 상기와 같은 층들의 경우에는 표면에 오물이 달라붙지 않음으로써, 결과적으로 예컨대 지문과 같은 오염물은 건조된 상태에서 천으로 손쉽게 제거될 수 있다.

특별한 적용 예의 경우에는 본 발명에 따라 기술된 기판 상에 통상적으로 디스플레이 커버로서 적용되는 경우에 사용되는 추가의 구성 부품들이 더 고정되어야만 한다. 본 경우에는 예컨대 금속으로 이루어진 후면 고정 시스템 또는 정면에 설치된 광학 커플링 소자가 예로서 언급될 수 있다. 상기 소자들은 표준에 따라 접착에 의해서 제공된다. 마찰 계수가 낮은 전술된 층들은 접착 결합에 대해서도 접착 상태가 불량하기 때문에, 이와 같은 경우에는 전술된 코팅 프로세스에 의해 접착할 장소에 리세스를 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 목적을 위하여 관련 면이 마스킹 될 수 있는데, 예를 들면 접착 박막에 의하여 또는 실크 스크린 프린팅에서 사용되는 스트리퍼블 래커(strippable lacquer)에 의하여 마스킹될 수 있다. 이와 같은 마스킹 처리에 의해서는 경우에 따라 위에 반사 방지 코팅을 구비하는 기판 표면에 대하여 층이 형성될 가능성이 방지되고, 마찰 계수가 매우 작아야만 한다는 조건을 충족시키지 않는 부분 면에도 접착 프로세스가 적용될 수 있다. 바람직하게는, 상기 마스킹 처리된 영역들은 적용 예에서 육안에 보이지 않는 기판의 절개부 안에 배치된다. 예를 들면, 하우징 커버가 이와 같은 처리 과정에 속할 수 있다.

Claims (20)

1. 기판;
   상기 기판(100) 상에 도포된 코팅(110)을 포함하는, 특히 디스플레이 장치 혹은 모니터 보조 페인(monitor auxiliary pane)용 커버 페인 또는 입력 장치(input device)용 표면과 같은 장치에 있어서,
   상기 코팅(110)이 0.01 내지 0.12, 특히 0.02 내지 0.1, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09의 범위 안에 있는 마찰 값(tan α)을 갖는 표면(112)을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 코팅은 유기 물질, 특히 오일 및 피부 지방이 달라붙는 현상이 전반적으로 피해지도록 선택되는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 코팅(110)이 적어도 하나의 비반사 코팅(121.1)을 포함하고, 상기 코팅(110)이 상기 비반사 코팅(121.1) 위에 배치된 커버 층(122)을 구비하며, 상기 커버 층(122)의 표면(112)이 0.01 내지 0.12, 특히 0.02 내지 0.1, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09의 범위 안에 있는 마찰 계수(tan α)를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 커버 층(122)이 20㎚ 미만, 특히 10㎚ 이하의 두께, 바람직하게는 0.1 ㎚ 내지 10㎚ 범위의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
   상기 비반사 층(121.1)은 비반사 효과가 나타나도록 상기 커버 층(122)에 광학적으로 적응된 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
   상기 코팅(110) 또는 커버 층의 굴절률이 1.37 내지 1.6인 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판(100)이,
   - 드로잉 방법, 플로팅(floating) 기술에 의해서 얻어지거나 또는 캐스팅- 혹은 롤링 유리로부터 획득되는 석회-나트론-유리 페인 또는 붕규산 유리 페인이거나 또는
   - 플라스틱 기판, 특히 플랙시글래스(plexiglass) 기판이거나 또는
   - 복합 유리 페인(205)인 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판(100)이 0.05㎜ 내지 10㎜, 특히 0.05㎜ 내지 8㎜의 범위 안에 있는, 매우 바람직하게는 0.05㎜ 내지 3㎜의 범위 안에 있는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 코팅(110)이 외부로 향하는 표면(112)에서는 50°를 초과하는, 특히 70°를 초과하는, 특히 바람직하게는 80°를 초과하는 접촉각을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판(100)이 디스크 모양으로 제1 면(114.1) 및 제2 면(114.2)을 구비하고, 상기 코팅(110)이 상기 디스크 모양 기판의 제1 면(114.1) 및/또는 제2 면(114.2) 상에 도포 되는 것을 특징으로 하는 장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 코팅이 제1 및/또는 제2 면(114.1, 114.2)에 비반사 코팅(121.1, 121.2)을 포함하고, 전체 시스템의 반사율(R_vis)은 0.1% 내지 7%, 바람직하게는 0.1% 내지 6%, 특히 0.1% 내지 5.5%, 특히 바람직하게는 0.1% 내지 4%, 특히 0.1% 내지 2%, 매우 바람직하게는 0.1% 내지 1.5%인 것을 특징으로 하는 장치.
12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 비반사 코팅이 다음과 같은 상부 구조물들 중에 한 가지 상부 구조물을 포함하거나 또는 다음과 같은 도포 방법들로 도포되고,
    a) 비반사 코팅이 액체 기술에 의해서 도포되며, 이 경우에 상기 액체 기술에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공되며,
    - 비반사 코팅이 졸-겔-기술에 의해서 도포되고,
    - 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 단순한 간섭 코팅으로서 제조되며,
    - 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 다중-간섭 코팅으로서 제조되며, 이 경우에 상기 다중-간섭 코팅은 특히 3중- 내지 7중-간섭 코팅이고,
    - 비반사 코팅이 졸-겔-기술로부터 3중-간섭 코팅으로서 제조되며, 이 경우에 제1 층은 1.6 내지 1.8의 굴절률을 갖고, 제2 층은 1.9 내지 2.5의 굴절률을 가지며, 제3 층은 1.4 내지 1.5의 굴절률을 가지고,
    - 비반사 코팅이 고진공 기술에 의해서 제조되며, 이 경우에 상기 고진공 기술에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공되며,
    - 비반사 코팅이 고진공 기술에 의해 다중-간섭 층 시스템으로서 제조되며, 이 경우 상기 다중-간섭 코팅은 특히 3중- 내지 7중-간섭 코팅이고,
    - 비반사 코팅이 고진공 기술에 의해 단일 층 시스템으로서 제조되며,
    - 비반사 코팅이 고진공 상태에서 스퍼터링 프로세스로부터 제조되고,
    - 비반사 코팅이 고진공 상태에서 진공 증착 프로세스로부터 제조되며,
    - 비반사 코팅이 화학 기상 증착(CVD) 방법에 의해서 제조되며, 이 경우에 상기 화학 기상 증착(CVD) 방법에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공되며,
    - 비반사 코팅이 온라인-화학 기상 증착(CVD)-프로세스로 제조되고,
    - 비반사 코팅이 오프라인-화학 기상 증착(CVD)-프로세스로 제조되며,
    - 비반사 코팅이 에칭 방법에 의해서 제조되고, 이 경우에 상기 에칭 방법에 의해서 도포된 층은 다음과 같은 기술들 중에 한 가지 기술에 의해서 제공되며,
    - 비반사 코팅이 에칭 방법에 의해 기공성 층으로서 제조되고,
    - 비반사 코팅이 에칭 방법에 의해 광 분산 표면으로서 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 장치를 다음과 같은 분야에 또는 다음과 같은 제품들 중에 한 가지 제품에 사용하는 장치의 용도로서,
    - 디스플레이 또는 디스플레이 장치용 보호 페인,
    - 디스플레이용 커버 페인,
    - 터치 패널의 한 부분,
    - 광학 스캐닝 기능을 갖춘 터치 스크린의 한 부분,
    - 신호를 대화식으로 입력하기 위한 터치 패널로서의 또는 커버- 및 보호 페인으로서의 디스플레이 시스템 내부,
    - 디스플레이, 디스플레이 장치 또는 터치 스크린을 위한 보호 페인에 사용되는 장치의 용도.
14. 디스플레이 장치 혹은 모니터 보조 페인용 커버 페인 또는 입력 장치용 표면과 같은 마찰 특성이 감소 된 장치를 제조하기 위한 방법으로서,
    - 기판을 준비하는 단계;
    - 코팅된 기판을 개략 진공(rough vacuum) 상태로 진공화되는 저압 용기 내부에 삽입하는 단계; 및
    - 기판 상에 도포 된 코팅의 마찰 값이 0.01 내지 0.12, 바람직하게는 0.02 내지 0.1, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09가 되도록 상기 코팅을 한 가지 추가 처리 단계에서 가공하거나 또는 평활화하는 단계를 포함하는 장치의 제조 방법.
15. 디스플레이 장치 혹은 모니터 보조 페인용 커버 페인 또는 입력 장치용 표면과 같은 마찰 특성이 감소된 장치를 제조하기 위한 방법으로서,
    - 기판을 준비하는 단계;
    - 코팅, 특히 반사 방지 코팅 혹은 비반사 코팅을 액체 기술, 특히 졸-겔-기술로 또는 고진공 기술로 또는 화학 기상 증착(CVD) 방법에 의해서 기판 상에 도포하는 단계; 및
    - 상기 코팅된 기판을 10hPa 내지 1,050hPa, 바람직하게는 10hPa 내지 500hPa 범위의 진공 상태로 설정되는 전압 용기 내부로 삽입하는 단계로서, 이 경우에는 바람직하게 10Pa 내지 100Pa 범위의 정밀 진공(fine vacuum) 또는 100Pa 이상의 개략 진공(rough vacuum)이 진공 조건으로서 이용되며,
    - 마찰 값이 0.01 내지 0.12, 바람직하게는 0.02 내지 0.1, 매우 바람직하게는 0.03 내지 0.09가 되도록 상기 코팅 상에 커버 층을 제공하는 단계를 포함하는 장치의 제조 방법.
16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    코팅의 마찰 값을 감소시키기 위하여 초소수성(ultra hydrophobic) 코팅 재료가 저압 용기 안에 있는 증발기 내부에 제공되고, 상기 초소수성 코팅 재료가 증발기로부터 증발된 후에 기판의 표면에 침전되거나 또는 코팅, 특히 반사 방지 코팅 혹은 비반사 층 상에 커버 층을 형성함으로써, 결과적으로 기판 또는 커버 층이 0.01 내지 0.12, 바람직하게는 0.02 내지 0.1, 특히 바람직하게는 0.03 내지 0.09의 마찰값을 가지게 되는 것을 특징으로 하는 장치의 제조 방법.
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 증발기 내부의 온도가 100℃ 내지 400℃인 것을 특징으로 하는 장치의 제조 방법.
18. 제 14 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판들이 300K 내지 370K의 온도를 갖는 것을 특징으로 하는 장치의 제조 방법.
19. 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 커버 층의 두께가 20㎚ 미만, 특히 10㎚ 미만, 바람직하게는 0.1㎚ 내지 10㎚의 범위 안에 있는 것을 특징으로 하는 장치의 제조 방법.
20. 제 14 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 따른 방법을 다음과 같은 제품을 제조할 때에 사용하는 방법의 용도로서,
    - 디스플레이 또는 디스플레이 장치용 커버 페인,
    - 터치 패널의 한 부분,
    - 광학 스캐닝 기능을 갖춘 터치 스크린의 한 부분,
    - 신호를 대화식으로 입력하기 위한 터치 패널로서의 또는 커버- 및 보호 페인으로서의 디스플레이 시스템 내부,
    - 디스플레이, 디스플레이 장치 또는 터치 스크린을 위한 보호 페인을 제조할 때에 사용되는 방법의 용도.
    
    

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