KR20120079131A - Method of manufacturing double-sided copper-clad laminate, and pair of copper or copper alloy foil sheets used thereupon - Google Patents

Method of manufacturing double-sided copper-clad laminate, and pair of copper or copper alloy foil sheets used thereupon Download PDF

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Abstract

본 발명은 주름이나 절곡을 억제한 양면 동장 적층판의 제조 방법, 및 그 제조 방법에 사용되는 1 세트의 구리박을 제공하는 것이다. 본 발명은, 제 1 구리박의 편면에 수지층을 형성하는 제 1 공정과, 그 수지층 위에 제 2 구리박을 적층하여 가열해서, 양면 동장 적층판을 얻는 제 2 공정을 가지며, 제 1 구리박의 응력 σA = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLA - ΔLB) × 1000 으로 하고, 제 2 구리박의 응력 σB = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLB - ΔLA) × 1000 으로 하고, σA 와 σB 중 부의 값인 쪽을 σY 로 했을 때,|10 × σY| ≤ YSY 가 되는, 제 1 구리박 및 제 2 구리박을 사용하는 제조 방법이다. 단, EA : 제 1 구리박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 폭방향의 영률, ΔLA : 제 1 구리박의 폭방향의 치수 변화율, YSY : 인장 시험에서의 구리박의 0.2 % 내력으로 한다. This invention provides the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board which suppressed wrinkles and bending, and a set of copper foil used for the manufacturing method. This invention has the 1st process which forms a resin layer on the single side | surface of a 1st copper foil, and the 2nd process which laminates and heats a 2nd copper foil on this resin layer, and obtains a double-sided copper clad laminated board, 1st copper foil Stress σ A = E A × E B / (E A + E B ) × (ΔL A -ΔL B ) × 1000, and the stress of the second copper foil σ B = E A × E B / (E A + E B ) × (ΔL B − ΔL A ) × 1000, where σ Y is the negative value of σ A and σ B , where 10 × σ Y ≦≦ YS Y It is a manufacturing method using the 1st copper foil and 2nd copper foil which become. However, E A : Young's modulus in the width direction when hold | maintaining 1st copper foil for 30 minutes at 350 degreeC, cooling to room temperature, then maintaining it again at 350 degreeC for 30 minutes, and ΔL A : width of 1st copper foil Directional change rate of dimension, YS Y : It is set as the 0.2% yield strength of copper foil in a tensile test.

Description

양면 동장 적층판의 제조 방법, 및 그것에 사용하는 1 세트의 구리 또는 구리 합금박{METHOD OF MANUFACTURING DOUBLE-SIDED COPPER-CLAD LAMINATE, AND PAIR OF COPPER OR COPPER ALLOY FOIL SHEETS USED THEREUPON}METHOD OF MANUFACTURING DOUBLE-SIDED COPPER-CLAD LAMINATE, AND PAIR OF COPPER OR COPPER ALLOY FOIL SHEETS USED THEREUPON}

본 발명은, 예를 들어 플렉시블 배선판 (FPC : Flexible Printed Circuit) 에 사용되며, 수지층의 양면에 구리 또는 구리 합금박이 적층된 양면 동장 (銅張) 적층판의 제조 방법, 및 그것에 사용하는 1 세트의 구리 또는 구리 합금박에 관한 것이다. This invention is used for a flexible wiring board (FPC: Flexible Printed Circuit), for example, The manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board by which copper or copper alloy foil was laminated | stacked on both surfaces of the resin layer, and one set of it used for it It relates to copper or copper alloy foil.

플렉시블 배선판 (FPC) 에 사용되는 동장 적층판 (CCL) 으로는, 수지층의 편면에 구리박을 적층한 편면 동장 적층판과, 수지층의 양면에 구리박을 적층한 양면 동장 적층판 (이하, 「양면 CCL」이라고 함) 이 사용되고 있다. 양면 CCL 에 회로를 형성한 것이 양면 플렉시블 배선판이며, 회로의 파인화, FPC 의 공간 절약화가 실현되기 쉬운 점에서, 양면 CCL 의 사용이 증가하는 경향에 있다. Examples of the copper clad laminate (CCL) used for the flexible wiring board (FPC) include a single-sided copper clad laminate in which copper foil is laminated on one side of the resin layer, and a double-sided copper clad laminate in which copper foil is laminated on both sides of the resin layer (hereinafter referred to as "double-sided CCL"). ) Is used. The circuit formed on the double-sided CCL is a double-sided flexible wiring board, and the use of the double-sided CCL tends to increase due to the fact that finer circuits and space savings of the FPC can be easily realized.

이와 같은 양면 CCL 의 제조 방법으로서 구리박의 편면에 수지 조성물의 바니시를 캐스트하여, 가열 경화 후에 수지면에 다른 구리박을 열 압착하는 방법이 알려져 있다 (특허문헌 1). 또, 열가소성 폴리이미드층을 양면에 갖는 폴리이미드 필름의 표리면에, 동시에 구리박을 열 압착하는 방법, 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름의 편면에 구리박을 열 압착 후, 구리박과 반대측의 폴리이미드 필름면에 열가소성 폴리이미드층을 도포하고, 그 면에 다른 구리박을 열 압착하는 방법, 구리박의 편면에 폴리이미드의 전구체인 바니시를 캐스트하여 경화 후, 구리박과 반대측의 수지 표면에 열가소성 폴리이미드층을 형성하고, 그 면에 다른 구리박을 열 압착하는 방법 등이 있다. As a manufacturing method of such a double-sided CCL, the varnish of a resin composition is cast on the single side | surface of copper foil, and the method of thermopressing another copper foil on the resin surface after heat-hardening is known (patent document 1). Moreover, the method opposite to copper foil on the front and back of the polyimide film which has a thermoplastic polyimide layer on both surfaces simultaneously, and thermocompression bonding copper foil on the single side | surface of the polyimide film which has a thermoplastic polyimide layer, the opposite side to copper foil The resin surface on the opposite side to copper foil after apply | coating a thermoplastic polyimide layer to the polyimide film surface of this, and heat-compressing another copper foil on the surface, and casting varnish which is a precursor of polyimide to one side of copper foil, and hardening | curing And a method of forming a thermoplastic polyimide layer on the surface, and thermocompression bonding other copper foil on the surface thereof.

일본 공개특허공보 평05-212824호Japanese Patent Application Laid-Open No. 05-212824

여기서, 수지층 (상기 폴리이미드 필름 등) 의 양면에 구리박을 동시에 라미네이트하는 경우를 제외하면, 최초로 수지층과 적층된 구리박 (제 1 구리박) 은, 최초의 적층시에 300 ℃ 이상의 온도로 가열되어 일단 냉각된다. 또한, 그 후에 수지층의 반대면에 다른 구리박 (제 2 구리박) 을 적층할 때에, 제 1 구리박도 마찬가지로 재가열되어 냉각된다. Here, except the case where copper foil is laminated simultaneously on both surfaces of a resin layer (the said polyimide film etc.), the copper foil (1st copper foil) laminated | stacked for the first time is the temperature of 300 degreeC or more at the time of initial lamination | stacking. It is heated to once and cooled. Moreover, when laminating | stacking another copper foil (2nd copper foil) on the opposite surface of a resin layer after that, the 1st copper foil is also reheated similarly and is cooled.

그러나, 제 2 구리박을 적층하여 가열한 후, 냉각될 때에 제 1 구리박의 길이 방향으로 평행하게, 또한 통상은 폭 방향 중앙 위치에 주름이나 절곡 (折曲) 이 발생하는 경우가 있다. 이 주름이나 절곡은, 제 2 구리박의 적층 조건이나 적층시의 가열 조건 (열 압착 조건, 장력 등) 을 조정해도 완전히 해소하기는 어렵다. 그리고, 이러한 주름이나 절곡은, 제 1 구리박과 제 2 구리박에 가해지는 적층시의 열 이력이 상이하기 때문에, 제 2 구리박을 적층하여 가열한 후, 냉각될 때의 온도 변화에서 기인하여, 수지층을 사이에 끼고 존재하는 양 구리박의 치수 변화율이 상이하고, 그에 따라 생기는 응력에 구리박이 견디지 못하는 경우에 발생하는 것으로 생각된다.However, after laminating | stacking and heating a 2nd copper foil, when cooling, wrinkles and bending may arise in parallel in the longitudinal direction of a 1st copper foil, and usually in the width direction center position. It is difficult to completely eliminate this wrinkle and bending, even if it adjusts the lamination conditions of 2nd copper foil, or the heating conditions (thermal crimping conditions, tension | tensile_pressure, etc.) at the time of lamination | stacking. And since the heat history at the time of lamination | stacking applied to a 1st copper foil and a 2nd copper foil differs, such wrinkles and bending are due to the temperature change at the time of cooling after laminating | stacking and heating a 2nd copper foil. It is thought that it arises when the dimensional change rate of both copper foil which exists across a resin layer differs, and copper foil cannot tolerate the stress which arises by it.

즉, 본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 주름이나 절곡을 억제한 양면 동장 적층판의 제조 방법, 및 그것에 사용하는 1 세트의 구리 또는 구리 합금박의 제공을 목적으로 한다. That is, this invention was made | formed in order to solve said subject, and an object of this invention is to provide the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board which suppressed wrinkles and bending, and the set of copper or copper alloy foil used for it.

본 발명자들은 여러 가지 검토한 결과, 양면 CCL 을 제조할 때에, 양 구리박의 치수 변화의 차이에 의해 응력이 생겼다고 해도, 구리박이 구부러지지 않도록 양 구리박의 특성을 조정함으로써, 주름이나 절곡을 억제할 수 있는 것을 발견했다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of various examinations, when manufacturing double-sided CCL, even if stress generate | occur | produced by the difference of the dimensional change of both copper foils, by adjusting the characteristic of both copper foils so that a copper foil does not bend, wrinkles and bending are suppressed. I found something I could do.

상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 양면 동장 적층판의 제조 방법은, 제 1 구리 또는 구리 합금박의 편면에 수지층을 형성하고, 편면 동장 적층판을 얻는 제 1 공정과, 상기 편면 동장 적층판의 상기 수지층측에 제 2 구리 또는 구리 합금박을 적층하여 가열해서 양면 동장 적층판을 얻는 제 2 공정을 가지며, 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 응력 σA = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLA - ΔLB) × 1000 으로 하고, 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 응력 σB = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLB - ΔLA) × 1000 으로 하고, σA 와 σB 중 부 (負) 의 쪽을 σY 로 했을 때, |10 × σY| ≤ YSY 가 되는, 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박 및 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박을 사용한다. In order to achieve the said objective, the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board of this invention provides the 1st process of forming a resin layer in the single side | surface of 1st copper or copper alloy foil, and obtaining a single-sided copper clad laminated board, and the said single-sided copper clad laminated board. the resin layer side by heating by laminating a second copper or copper alloy foil and a second step for obtaining a double-sided copper-clad laminate, wherein the first copper or copper stress of the alloy foil σ a = E a × E B / (E a + E B ) × (ΔL A -ΔL B ) × 1000, and the stress σ B = E A × E B / (E A + E B ) × (ΔL B -ΔL A of the second copper or copper alloy foil ) as × 1000, and when the side of the σ a and σ B of the portion (負) as σ Y, | 10 × σ Y | ≤ YS Y is, the first copper or copper alloy foil and the second copper Or copper alloy foil is used.

단, EA : 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 폭방향의 영률 (단위는 ㎬), EB : 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 폭방향의 영률 (단위는 ㎬), ΔLA : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 치수를 기준으로 하고, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정(正) 의 값으로 함), ΔLB : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정의 값으로 함), YSY : 인장 시험에서의 0.2 % 내력 (耐力) 으로, σA 와 σB 중 부의 쪽이 A 이면 YSA (단위는 ㎫) 를 선택하고, 반대의 경우에는 YSB (단위는 ㎫) 를 선택, YSA : 인장 시험에서의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력, YSB : 인장 시험에서의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력However, E A : Young's modulus in the width direction when the said 1st copper or copper alloy foil is hold | maintained at 350 degreeC for 30 minutes, cooled to room temperature, and then maintained again at 350 degreeC for 30 minutes, and cooled to room temperature (unit is ㎬), E B : Young's modulus in the width direction when the second copper or copper alloy foil was kept at 350 ° C. for 30 minutes and cooled to room temperature (unit: kPa), ΔL A : The temperature was raised to 350 ° C. at room temperature, and maintained for 30 minutes. Based on the dimension at the time of cooling to room temperature, it hold | maintains again at 350 degreeC for 30 minutes, and the rate of dimensional change of the width direction of the said 1st copper or copper alloy foil after cooling to room temperature (unit is ppm, shrinkage of positive) Value), ΔL B : the rate of dimensional change in the width direction of the second copper or copper alloy foil after being heated to 350 ° C. at room temperature, held for 30 minutes, and cooled to room temperature (unit is ppm, shrinkage being a positive value) , YS Y : In tensile test YS A (unit is MPa) is selected if the negative side of σ A and σ B is A, and YS B (unit is MPa), otherwise YS A : Tension 0.2% yield strength of the said 1st copper or copper alloy foil in a test, YS B : 0.2% yield strength of the said 2nd copper or copper alloy foil in a tensile test

본 발명의 1 세트의 구리 또는 구리 합금박은, 상기 양면 동장 적층판의 제조 방법에 사용되며, 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박 및 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 조합으로 이루어진다. Copper or copper alloy foil of one set of this invention is used for the manufacturing method of the said double-sided copper clad laminated boards, and consists of a combination of the said 1st copper or copper alloy foil, and the said 2nd copper or copper alloy foil.

본 발명의 1 세트의 구리 또는 구리 합금박에 있어서, 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 ΔLB 가 145 ppm 이하인 것이 바람직하다. In one set of copper or copper alloy foil of the present invention, it is preferable that ΔL B of the second copper or copper alloy foil is 145 ppm or less.

본 발명에 의하면, 양면 동장 적층판을 제조할 때에, 구리 또는 구리 합금박의 주름이나 절곡을 억제할 수 있다. According to this invention, when manufacturing a double-sided copper clad laminated board, wrinkles and a bending of copper or copper alloy foil can be suppressed.

도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 양면 동장 적층판의 제조 방법을 나타낸 도면이다.
도 2 는 양면 동장 적층판의 구성예를 나타낸 단면도이다.
도 3 은 양면 동장 적층판의 제조시에 가해지는 열에 의해, 제 1 구리 또는 구리 합금박에 주름 (절곡) 이 발생하는 상태를 나타낸 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board which concerns on embodiment of this invention.
It is sectional drawing which shows the structural example of a double-sided copper clad laminated board.
It is a figure which shows the state which wrinkles (bending) generate | occur | produce in 1st copper or copper alloy foil by the heat applied at the time of manufacture of a double-sided copper clad laminated board.

이하, 본 발명의 실시형태에 관련된 양면 동장 적층판의 제조 방법에 대해 설명한다. 또한, 본 발명에 있어서 % 란, 특별히 언급하지 않는 한, 질량% 를 나타내는 것으로 한다. 도 1 은, 양면 동장 적층판 (8) 의 제조 방법을 나타낸다. Hereinafter, the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board which concerns on embodiment of this invention is demonstrated. In addition, in this invention,% shall represent the mass% unless there is particular notice. 1 shows a method for producing the double-sided copper clad laminate 8.

도 1 에 있어서, 우선, 코일상의 제 1 구리박 (4) 을 연속적으로 권출 (卷出) 하고, 권출된 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에, 어플리케이션 롤 (10, 11) 등을 사용하여 바니시상의 수지 조성물 (2a) 을 소정 두께로 연속적으로 도포한다. 수지 조성물 (2a) 은 경화 후에 수지층 (2) 이 된다. 다음에, 수지 조성물 (2a) 을 도포한 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 을 건조 장치 (15) 에 도입하여, 수지 조성물 (2a) 을 경화 (또는 반경화) 시킨다. 이와 같이 하여, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에 수지층을 형성하여, 편면 동장 적층판을 얻는다 (제 1 공정). 여기서 제 1 공정이 종료된 후에 코일상으로 권취 (卷取) 하여, 제 2 공정으로 진행되는 경우도 있다. 또한, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에 수지층을 형성할 때에 가열이 되는데, 상기한 수지 조성물을 도포 후에 가열하는 것 외에, 예를 들어 수지 필름과 같이 이미 수지층으로 되어 있는 것을 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에 열 압착해도 된다. 또, 통상, 제 1 공정에서의 가열 온도는 제 2 공정에서의 가열 온도 이상의 온도가 된다. 다음으로, 코일상의 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 연속적으로 권출하고, 예를 들어 350 ? 400 ℃ 로 가열된 라미네이트 롤 (20, 21) 의 사이로 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 연속적으로 통박 (通箔) 시킨다. 이 때, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 수지층 (2) 측에 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 적층하여 가열해서, 양면 동장 적층판 (8) 을 얻는다 (제 2 공정). 양면 동장 적층판 (8) 은 적절히 코일로 권취된다. In FIG. 1, first, the coil-shaped 1st copper foil 4 is unwound continuously, and the application roll 10, 11, etc. are made to the single side | surface of the unwound 1st copper or copper alloy foil 4, and so on. The varnish-like resin composition (2a) is continuously applied to a predetermined thickness using a. The resin composition (2a) becomes the resin layer (2) after hardening. Next, the 1st copper or copper alloy foil 4 which apply | coated the resin composition 2a is introduce | transduced into the drying apparatus 15, and the resin composition 2a is hardened (or semi-hardened). In this way, a resin layer is formed on one side of the first copper or copper alloy foil 4 to obtain a one side copper clad laminate (first step). Here, after completion | finish of a 1st process, it may wind up in a coil form and may advance to a 2nd process. In addition, although heating is carried out when forming a resin layer on the single side | surface of the 1st copper or copper alloy foil 4, it heats after apply | coating the above-mentioned resin composition, and it is already made into a resin layer like a resin film, for example. May be thermocompression-bonded to one surface of the first copper or copper alloy foil 4. Moreover, normally, the heating temperature in a 1st process becomes temperature more than the heating temperature in a 2nd process. Next, the coil 2nd copper or copper alloy foil 6 is unwound continuously, for example, 350? The 1st copper or copper alloy foil 4 and the 2nd copper or copper alloy foil 6 are continuously passed through between the lamination rolls 20 and 21 heated at 400 degreeC. At this time, the second copper or copper alloy foil 6 is laminated and heated on the resin layer 2 side of the first copper or copper alloy foil 4 to obtain a double-sided copper clad laminate 8 (second step) . The double-sided copper clad laminate 8 is appropriately wound by a coil.

그리고, 도 2 에 나타낸 바와 같이, 양면 동장 적층판 (8) 은, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 수지층 (2) 측에 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 적층하여 구성된다. And as shown in FIG. 2, the double-sided copper clad laminated board 8 is comprised by laminating | stacking the 2nd copper or copper alloy foil 6 on the resin layer 2 side of the 1st copper or copper alloy foil 4. .

제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 으로는, 예를 들어, 순구리, 터프 피치 구리 (JIS-1100), 무산소 구리 (JIS-1020) 나, 이들 순구리, 터프 피치 구리, 무산소 구리에 Sn 및/또는 Ag 를 합계 40 ? 2000 질량 ppm 첨가한 것을 들 수 있다. 여기서, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 양쪽의 조성이 모두 Sn 및/또는 Ag 를 합계 400 ppm 을 초과하여 포함하는 경우에는, 굴곡성이 요구되는 용도로 사용할 수 없지만, 각 박 (4, 6) 중 어느 한 쪽이 Sn 및/또는 Ag 를 합계 400 ppm 을 초과하여 포함하는 것이면, 양면 CCL 로부터 이 박을 에칭으로 제거하고, 다른 박을 남기면 굴곡성은 열화되지 않는다. 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 두께는, 예를 들어 6 ? 18 ㎛ 정도로 할 수 있다. 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 조성은 상이해도 되지만, 통상은 동일 조성의 것을 사용한다. 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 은 압연박이거나 전해박이어도 된다.As the 1st copper or copper alloy foil 4 and the 2nd copper or copper alloy foil 6, For example, pure copper, tough pitch copper (JIS-1100), oxygen-free copper (JIS-1020), Sn and / or Ag are added to these pure copper, tough pitch copper, and oxygen-free copper in total at 40? The thing which added 2000 mass ppm is mentioned. Here, when both the composition of the 1st copper or copper alloy foil 4 and the 2nd copper or copper alloy foil 6 contain Sn and / or Ag more than 400 ppm in total, flexibility is required. If either of the foils 4, 6 contains more than 400 ppm of Sn and / or Ag in total, the foil is removed by etching from the double-sided CCL and the other foil is left. Flexibility does not deteriorate. The thickness of the 1st copper or copper alloy foil 4 and the 2nd copper or copper alloy foil 6 is 6? It can be about 18 micrometers. Although the composition of the 1st copper or copper alloy foil 4 and the 2nd copper or copper alloy foil 6 may differ, normally, the thing of the same composition is used. The first copper or copper alloy foil 4 and the second copper or copper alloy foil 6 may be rolled foil or an electrolytic foil.

수지층 (2) 으로서는, 폴리이미드 ; PET (폴리에틸렌테레프탈레이트) ; 에폭시 수지, 페놀 수지 등의 열경화성 수지 ; 포화 폴리에스테르 수지 등의 열가소성 수지를 사용할 수 있지만 이들에 한정되지 않는다. 또, 이들 수지층의 성분을 용제에 녹인 바니시 (예를 들어, 폴리이미드 전구체의 폴리아믹산 용액) 를 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에 도포하고, 가열함으로써 용매를 제거하여 반응 (예를 들어 이미드화 반응) 을 진행시켜, 경화시켜도 된다. 수지층 (2) 의 두께는, 예를 들어 1 ? 15 ㎛ 정도로 할 수 있다. As the resin layer 2, although thermoplastic resins, such as polyimide, PET (polyethylene terephthalate), an epoxy resin, a phenol resin, and saturated polyester resin, can be used, It is not limited to these. Moreover, the varnish (for example, the polyamic-acid solution of a polyimide precursor) which melt | dissolved the components of these resin layers in the solvent is apply | coated to the single side | surface of the 1st copper or copper alloy foil 4, and it heats, removes a solvent, and reacts ( For example, you may advance and harden imidation reaction. The thickness of the resin layer 2 is 1? It may be about 15 µm.

다음으로, 본 발명의 특징 부분인 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 특성에 대해 설명한다. Next, the characteristic of the 1st copper or copper alloy foil 4 which is a characteristic part of this invention, and the 2nd copper or copper alloy foil 6 is demonstrated.

제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 의 편면에 수지층을 형성한 후, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 적층하여 양면 CCL 을 제조할 때, 수지를 사이에 끼운 2 개의 구리 또는 구리 합금박 (4, 6) 의 치수 변화의 차이에 의해 생기는 응력은 이하에 나타낸다. After forming a resin layer on the single side | surface of the 1st copper or copper alloy foil 4, when laminating | stacking 2nd copper or copper alloy foil 6 and manufacturing double-sided CCL, two copper or copper which sandwiched resin was sandwiched. The stress produced by the difference in the dimensional change of the alloy foils 4 and 6 is shown below.

우선, 온도 T1 (T1 은, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 적층할 때의 가열 온도) 에서 양면 CCL 에 적층되고, T2 까지 냉각시킨 경우에 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 에 가해지는 응력 σA 는,First of all, the temperature T 1 (T 1 It is first laminated on both sides of CCL at a heating temperature at the time of laminating a second copper or copper alloy foil (6)), T 2 In the case where it is cooled to, the stress σ A applied to the first copper or copper alloy foil 4 is

σA = EA × EB / (EA + EB) × (αB × (T1 - T2) + ΔLB - (αA × (T1 - T2) + ΔLA) ) × 1000 (1) 로 표시된다. 또한, 치수 변화 (Δ) 는 수축을 정으로 하고, 폭방향 (구리 또는 구리 합금박의 코일로부터 연속적으로 CCL 을 제조할 때의 코일 폭방향) 의 변화로 한다. σ A = E A × E B / (E A + E B ) × (α B × (T 1 -T 2 ) + ΔL B-A × (T 1 -T 2 ) + ΔL A )) × 1000 (1). In addition, dimensional change (DELTA) makes shrinkage positive, and makes it a change of the width direction (coil width direction at the time of manufacturing CCL continuously from the coil of copper or copper alloy foil).

여기서, CCL 에 사용되는 구리 또는 구리 합금박은 순구리에 가까운 것이라는 점에서, 첨가 성분이 다소 함유되어도 열팽창 계수 α (첨자 A, B 는 각각 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 나타냄) 는 동일 (αA ≒αB) 하다고 간주할 수 있다. 따라서, 식 1 은,Here, since the copper or copper alloy foil used for CCL is close to pure copper, thermal expansion coefficient (alpha) (subscripts A and B are 1st copper or copper alloy foil (4), 2nd copper or The copper alloy foil 6) can be considered to be the same (α A ≒ α B ). Therefore, Equation 1 is

σA = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLA - ΔLB) × 1000 (2) 로 표시된다. sigma A = E A x E B / (E A + E B ) x (ΔL A -ΔL B ) x 1000 (2).

단, EA : 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시키는 제 1 열 이력에 의한 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 영률 (단위는 ㎬), EB : 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시키는 제 2 열 이력에 의한 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 영률 (단위는 ㎬), ΔLA : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 치수를 기준으로 하여, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정의 값으로 함), ΔLB : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정의 값으로 함) 이다. However, E A : said 1st copper or copper by the 1st heat history which hold | maintains the said 1st copper or copper alloy foil at 350 degreeC for 30 minutes, and then cooled to room temperature, and then maintains it again at 350 degreeC for 30 minutes and cools to room temperature the Young's modulus in the width direction of the alloy foil (in ㎬), E B: the second copper or copper alloy foil to and maintained at 350 ℃ 30 bungan to cool to room temperature, a second thermal history and the second copper or copper alloy foil according to the Young's modulus in the width direction of the unit (㎬), ΔL A : Based on the dimension when it heated up at 350 degreeC at room temperature, hold | maintained for 30 minutes, and cooled to room temperature, it hold | maintained again at 350 degreeC for 30 minutes, and the dimension of the width direction of the said 1st copper or copper alloy foil after cooling to room temperature Rate of change (units are ppm, shrinkage is positive), ΔL B : It is the temperature change rate from room temperature to 350 degreeC, hold | maintains for 30 minutes, and is the dimension change rate (unit is ppm, shrinkage as a positive value) of the width direction of the said 2nd copper or copper alloy foil after cooling to room temperature.

또한, 실온이란, 25 ? 35 ℃ (통상, 25 ℃) 이다. In addition, room temperature is 25? 35 ° C. (typically 25 ° C.).

즉, 양쪽의 구리 또는 구리 합금박 (4, 6) 의 영률을 작게 하고, 구리 또는 구리 합금박 (4, 6) 의 치수 변화율의 차이 (ΔLA - ΔLB) 를 작게 하면, 응력 σA 가 작아져, 양면 CCL 제조시의 주름이나 절곡이 잘 발생하지 않게 된다. That is, if the Young's modulus of both copper or copper alloy foils 4 and 6 is made small, and the difference (ΔL A -ΔL B ) of the dimensional change rate of copper or copper alloy foils 4 and 6 is made small, stress σ A will become It becomes small, and wrinkles and bending at the time of manufacture of double-sided CCL are hard to occur.

여기서, 양쪽의 구리 또는 구리 합금박 (4, 6) 에 동일한 것을 사용해도 치수 변화율의 차이 (ΔLA - ΔLB) 가 생기는 점에서, 이 차이는 열팽창에서 기인하는 것이 아니라는 점은 분명하다. 그리고, 금속에 열을 가하면 재결정이나 회복 등의 조직 변화를 일으키기 때문에, 금속을 가열하여 냉각시키면, 원래의 치수보다 짧아지거나 (열 수축), 길어지거나 (열 신장) 한다. 또, 일단 가열하여 냉각시킨 금속을, 다시 동일 온도 이하로 가열하여 냉각시켜도 열 수축이나 열 신장은 일어나지 않는다. 또한, 이들 현상은, 압연박과 전해박 중 어느 것에나 생기지만, 압연박 쪽이 압연에 의한 변형이 크고, 또, 박의 성분에 따라서는 CCL 제조시에 가해지는 열에 의해 압연 조직에서 재결정 조직으로 변화되므로, 열 수축 또는 열 신장은 커진다. Here, even if the same thing is used for both copper or copper alloy foils 4 and 6, the difference (ΔL A -ΔL B ) of the dimensional change rate occurs, and it is clear that this difference is not due to thermal expansion. When heat is applied to the metal, a change in the structure such as recrystallization or recovery occurs. Therefore, when the metal is heated and cooled, it becomes shorter (heat shrinkage) or longer (heat extension) than the original dimension. Moreover, even if it heats and cools the metal once heated and cooled again below the same temperature, neither heat shrink nor thermal expansion will arise. In addition, these phenomena occur in either of the rolled foil and the electrolytic foil, but the rolled foil has a large deformation due to rolling, and depending on the component of the foil, recrystallized structure in the rolled structure due to the heat applied at the time of manufacturing CCL. Heat shrink or heat elongation is increased.

도 3 은, CCL 제조시에 가해지는 열에 의해, 상기한 열 신장이나 열 수축이 생겨 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 에 주름 (절곡) (100) 이 발생하는 상태를 나타낸다. FIG. 3 shows a state in which the above-described thermal elongation or heat shrinkage occurs due to the heat applied at the time of CCL production, and wrinkles (bending) 100 are generated in the first copper or copper alloy foil 4.

우선, 상기 제 1 공정에서 편면 동장 적층판을 제조할 때, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 이 가열되어 냉각되면, 원래의 길이보다 작게 열 수축된다. 다음에, 상기 제 2 공정에서 양면 동장 적층판을 제조할 때, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 이 가열되어 냉각되면, 원래의 길이보다 작게 열 수축되려고 한다 (도 3 의 화살표). 한편, 이미 제 1 공정에서 열 수축된 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 은 제 2 공정에서는 거의 열 수축되지 않는다 (도 3 의 화살표). First, when manufacturing a single-sided copper clad laminate in the first step, when the first copper or copper alloy foil 4 is heated and cooled, it is heat shrinked smaller than the original length. Next, when manufacturing a double-sided copper clad laminated board in the said 2nd process, when 2nd copper or copper alloy foil 6 is heated and cooled, it will try to heat shrink smaller than the original length (arrow of FIG. 3). On the other hand, the first copper or copper alloy foil 4 which has already been heat shrinked in the first step is hardly heat shrinked in the second step (arrow of FIG. 3).

따라서, 제 2 공정에서의 가열 후의 냉각시, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 이 수축되려고 하는 힘으로 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 에 압축 응력이 가해진다. 그리고, 이 압축 응력에 견디지 못하여 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 이 구부러진다 (주름이나 절곡이 발생함). Therefore, at the time of cooling after the heating in a 2nd process, compressive stress is applied to the 1st copper or copper alloy foil 4 by the force which the 2nd copper or copper alloy foil 6 is about to shrink | contract. And the 1st copper or copper alloy foil 4 bends without wrinkles (compression and bending generate | occur | produce).

단, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 측에 압축 응력이 가해지는 경우, 그 구리박의 내력이 압축 응력 (식 2 의 σA) 보다 크면 구부러지지 않아, 주름이나 절곡이 잘 발생하지 않게 된다. 통상, 구리박의 압축에 대한 내력을 구할 수는 없지만, 구부러지는지의 여부의 경계치는, 인장에 대한 내력 (YS) 으로 대용하는 것이 가능하다. 즉, YS 가 σA 이상이 되도록, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 을 선택하면, 주름이나 절곡이 발생하지 않는 것으로 생각된다. However, in the case where compressive stress is applied to the first copper or copper alloy foil 4 side, if the proof strength of the copper foil is greater than the compressive stress (σ A in Equation 2), it does not bend, so that wrinkles and bending do not occur easily. do. Usually, although the strength with respect to the compression of a copper foil cannot be calculated | required, the boundary value of whether it bends can be substituted by the strength of bearing YS against tension. That is, when 1st copper or copper alloy foil 4 is selected so that YS may be more than (sigma) A , it is thought that wrinkles and bending do not arise.

그리고, 본 발명자들이, 양면 동장 적층판을 제조할 때에 주름이나 절곡이 발생하지 않는 조건을 실험에 의해 구한 결과, 식 2 의 σA 에 대해,And the present inventors calculated | required the conditions which a wrinkle and bending do not produce when manufacturing a double-sided copper clad laminated board by experiment, As a result, about (sigma) A of Formula (2),

|10 × σA| ≤ YSA (3) 10 × σ A | ≤ YS A (3)

이 되도록, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 을 선택하면, 주름이나 절곡이 잘 발생하지 않는 것을 알 수 있었다. When the 1st copper or copper alloy foil 4 was selected so that it might become it, it turned out that wrinkles and a bending do not arise easily.

한편, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 에 압축 응력이 가해지는 경우, 식 2 의 σB 에 대해,On the other hand, when compressive stress is applied to 2nd copper or copper alloy foil 6, with respect to (sigma) B of Formula 2,

|10 × σB| ≤ YSB (4) | 10 × σ B | ≤ YS B (4)

이 되도록, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 선택하면, 주름이나 절곡이 잘 발생하지 않는 것을 알 수 있었다. 단, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 에 압축 응력이 가해지는 것이 일반적이다. When the 2nd copper or copper alloy foil 6 was selected so that it might become this, it turned out that wrinkles and a bending do not arise easily. However, it is common for compressive stress to be applied to the 1st copper or copper alloy foil 4.

식 3 (또는, 식 4) 을 만족시키기 위해서는, σAB) 즉 치수 변화율의 차이 (ΔLA - ΔLB) 가 작을수록 좋고, 그러기 위해서는 제 1 공정에서 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 이 받는 열과, 제 2 공정에서 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 이 받는 열의 차이가 작을수록 바람직하게 된다. 또, 제 1 공정에서 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 이 받는 변형이 작을수록, 치수 변화율의 차이 (ΔLA - ΔLB) 도 작아진다. In order to satisfy Equation 3 (or Equation 4), σ AB ), that is, the difference in dimensional change rate (ΔL A) -The smaller the ΔL B ) is, the better the difference between the heat received by the first copper or copper alloy foil 4 in the first step and the heat received by the second copper or copper alloy foil 6 in the second step. It becomes preferable. Moreover, the smaller the deformation which the 1st copper or copper alloy foil 4 receives in a 1st process, the difference in dimensional change rate ((DELTA) L A ΔL B ) is also reduced.

이러한 점에서, 식 3, 4 를 만족시키는 구체적 방법으로서 1) 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 미리 가열하는 것, 2) 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 이 압연박인 경우에는 압연을 저가공도로 실시하는 것, 3) 박의 두께와 기계적 성질로부터 설정하는 압연시의 장력을 과도하게 하지 않는 것, 4) 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 에 전해박을 사용하는 것을 들 수 있다. 단, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 측에 압축 응력이 가해지는 것이 일반적이라고 고려하면, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 에만 1) 내지 4) 의 방법을 실시해도 된다. In this regard, as a specific method for satisfying the equations 3 and 4, 1) heating the first copper or copper alloy foil 4 and the second copper or copper alloy foil 6 in advance, 2) the first copper or In the case where the copper alloy foil 4 and the second copper or copper alloy foil 6 are rolled foils, rolling is carried out at a low porosity, and 3) excessively excessive tension in rolling is set from the thickness and mechanical properties of the foils. The thing which does not, 4) using an electrolytic foil for the 1st copper or copper alloy foil 4, and the 2nd copper or copper alloy foil 6 is mentioned. However, considering that it is common to apply compressive stress to the first copper or copper alloy foil 4 side, the methods of 1) to 4) may be performed only on the second copper or copper alloy foil 6.

상기 1) 의 방법에 대해서, 순구리는 면심 (面心) 입방 구조를 갖는 금속으로, 가열에 의해 재결정하면 입방체 방위가 발달하여, 굴곡성이 양호해지는 것이 알려져 있다. 입방체 방위가 발달한 구리박은 영률이 낮고, 인장 시험에서의 0.2 % 내력도 낮다. 즉, 이와 같은 입방체 방위가 발달한 구리박은, 양면 CCL 제조시 (제 2 공정을 실시했을 때) 에 가장 절곡, 주름이 발생하기 쉬워진다고 할 수 있다. 예를 들어, 순구리박을 350 ℃ 에서 30 분 유지하여 냉각시킨 결과, 영률은 70 ㎬ 정도, 0.2 % 내력은 50 ㎫ 정도가 되는 것이 본 발명자들의 실험에서 판명되었다. 이와 같이, 내력이 작은 구리 또는 구리 합금박을 다시 350 ℃ 정도까지 가열하여 냉각시켜도, 치수 변화가 거의 0 이라고 생각된다. In the method of 1) above, pure copper is a metal having a face-centered cubic structure. It is known that when recrystallized by heating, a cubic orientation develops and the bendability is improved. The copper foil with the cubic orientation developed has a low Young's modulus and a low 0.2% yield strength in the tensile test. That is, it can be said that the copper foil in which such a cubic orientation developed developed that bending and wrinkles are most likely to occur at the time of manufacturing the double-sided CCL (when performing the second step). For example, when the pure copper foil was kept at 350 ° C. for 30 minutes and cooled, it was found in the experiments of the present inventors that the Young's modulus was about 70 GPa and the 0.2% yield strength was about 50 MPa. Thus, even if it heats and cools small copper or copper alloy foil to about 350 degreeC again, it is thought that a dimensional change is almost zero.

따라서, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 으로서 동일한 것을 사용하여 (EA ≒ EB,|σA| ≒ |σB|), ΔLA ≒ 0 으로 근사했을 때, 식 2 는, Thus, the first to the copper or copper alloy foil (4), and a second copper or copper alloy foil (6) using the same (E A ≒ E B, | σ A | ≒ | σ B |), ΔL A When approximating to ≒ 0, equation 2 is

σA = (EA × ΔLB) / 2 × 1000 (5) σ A = (E A × ΔL B ) / 2 × 1000 (5)

으로 표시된다. 그리고, 식 3 과 식 5 로부터,. And from equation 3 and equation 5,

|10000 × (EA × ΔLB ×/ 2) | ≤ YSA (6) | 10000 × (E A × ΔL B X / 2) | ≤ YS A (6)

이며, 상기 실험 결과로부터 EA = 70 ㎬, YSA = 50 ㎫ 를 식 5 에 대입하면, ΔLB = 143 (ppm) 이 얻어진다. 즉, 적어도 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 을 사용 전에 가열하고, ΔLB ≤ 143 (ppm) 인 것을 사용하면 굴곡성을 겸비하고, 또한 절곡이나 주름이 잘 발생하지 않게 된다. 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 가열 조건은 50 ℃ ? 200 ℃ 에서 1 초 ? 10 시간 정도로 하면 되는데, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가열 조건으로서 60 ℃ 에서 3 시간의 유지나 130 ℃ 에서 3 초의 유지를 들 수 있다. 물론, 0.2 % 내력이 높은 구리박을 사용하면 LB 가 143 ppm 을 초과해도 되지만, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 의 양쪽에 0.2 % 내력이 높은 구리박을 사용하면 굴곡성이 얻어지지 않으므로, 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 측에 ΔLB ≤ 143 (ppm) 인 것을 사용하는 것이 바람직하다. ΔL B = 143 (ppm) is obtained by substituting E A = 70 kHz and YS A = 50 MPa from the above experimental result into the equation (5). That is, at least the 2nd copper or copper alloy foil 6 is heated before use, and if it uses what is (DELTA) L < B = 143 (ppm), it will have flexibility, and bending and wrinkles will not arise easily. Heating conditions of the 2nd copper or copper alloy foil 6 are 50 degreeC? 1 second at 200 ℃? Although it may be about 10 hours, it is not limited to this. For example, the heating conditions include a 3 hour hold at 60 ° C and a 3 second hold at 130 ° C. Of course, the 0.2% when strength is using a high copper foil, but even if L B exceeds 143 ppm, the 0.2% on either side of the copper or copper alloy foil (4), and a second copper or copper alloy foil (6) Strength When this high copper foil is used, flexibility cannot be obtained. Therefore, it is preferable to use one having ΔL B ≦ 143 (ppm) on the second copper or copper alloy foil 6 side.

다음으로, 상기 2) 의 방법에 대해서, 압연박의 변형은 최종 소둔 후의 압연 가공도, 1 패스의 압하량, 장력, 및 가공 온도 등에 의해 변화된다. 단, 압하량이나 장력은 가공 대상의 박의 두께나 압연기의 성능에 의존하여, 균일하게 규정하는 것이 어렵다. 또, 가공 온도가 높을수록 변형은 작아지지만, 압연 중에는 압연유가 쿨런트의 역할을 담당하고 있어, 순간적인 가공 온도를 규정하는 것은 어렵다. Next, about the method of said 2), the deformation | transformation of a rolled foil changes with the rolling work degree after final annealing, the rolling reduction of one pass, tension, processing temperature, etc. However, it is difficult to define the amount of reduction and tension uniformly depending on the thickness of the foil to be processed and the performance of the rolling mill. In addition, the deformation becomes smaller as the processing temperature is higher, but the rolling oil plays a role of the coolant during rolling, and it is difficult to define the instantaneous processing temperature.

그래서, 압연 가공도로 박에 요구되는 조건을 규정한다. 여기서, 압연 가공도를 작게 하면 박의 변형은 작아지지만, 재결정할 때에 입방체 방위가 발달하기 어려워져 굴곡성이 저하되므로 바람직하지 않다. 이에 대해, 압연 전의 결정 입경을 작게 하면, 동일한 가공도로 압연해도 입방체 방위가 발달한다. 이상의 지견에서, 본 발명자들이 실험한 결과, 최종 냉간 압연 가공도를 R (%) 이 93.0 ≤ R 이고, 또한 최종 소둔 후의 평균 결정 입경 GS (㎛) 가, GS ≤ 3.08 × R - 260 이면, 굴곡성을 저해하지 않고, 절곡이나 주름의 발생을 억제할 수 있는 것이 판명되었다. 또한, 양면 CCL 을 굴곡부에 사용하는 경우에는, 어느 한쪽 (굴곡성이 열등한 쪽) 의 구리박을 에칭으로 제거하고, 굴곡 부분만 편면 CCL 형으로 하는 점에서, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4), 및 제 2 구리 또는 구리 합금박 (6) 중, 어느 하나가 상기 식 (GS ≤ 3.08 × R - 260) 을 만족시키면 된다.Therefore, the conditions required for foil with a rolling workability are prescribed | regulated. If the rolling degree is made small, the deformation of the foil becomes small. However, since the cube orientation becomes difficult to develop and the flexibility decreases when recrystallization, it is not preferable. On the other hand, if the crystal grain diameter before rolling is made small, a cube orientation will develop even if it rolls with the same process degree. Based on the above findings, the present inventors have conducted the final cold rolling work as long as R (%) was 93.0 ≤ R, and the average grain size GS (µm) after the final annealing was GS ≤ 3.08 × R-260. It has been found that it is possible to suppress the occurrence of bending and wrinkles without inhibiting the stiffness. In addition, when using double-sided CCL in a bending part, the copper foil of either one (the inferior bendability) is removed by etching, and since only a curved part is set to single-sided CCL type | mold, 1st copper or copper alloy foil 4 And any of the second copper or copper alloy foils 6 may satisfy the above formula (GS ≦ 3.08 × R−260).

또한, 상기 식 1? 식 3 은, 제 1 구리 또는 구리 합금박 (4) 측에 압축 응력이 생겼을 때의 식이며, 일반적으로는, 제 1 구리 또는 구리 합금박의 응력 σA = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLA - ΔLB) 로 하고, 제 2 구리 또는 구리 합금박의 응력 σB = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLB ? ΔLA) 로 하고, σA 와 σB 중 부의 쪽을 σY 로 했을 때, |10 × σY| ≤ YSY 가 되도록, 제 1 구리 또는 구리 합금박 및 제 2 구리 또는 구리 합금박을 선택한다. In addition, the said Formula 1? Equation 3 is a formula when compressive stress occurs on the first copper or copper alloy foil 4 side, and in general, stress σ A = E A × E B / (E A + of the first copper or copper alloy foil E B ) × (ΔL A −ΔL B ), and the stress σ B = E A × E B / (E A + E B ) × (ΔL B ? ΔL A ) of the second copper or copper alloy foil, When the negative side of σ A and σ B is σ Y , | 10 × σ Y | ≤ YS Y 1st copper or copper alloy foil and 2nd copper or copper alloy foil are selected so that it may become.

단, YSY : 인장 시험에서의 0.2 % 내력으로, σA 와 σB 중 부의 쪽이 A 이면 YSA (단위는 ㎫) 를 선택하고, 반대의 경우에는 YSB (단위는 ㎫) 를 선택, YSA : 인장 시험에서의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력, YSB : 인장 시험에서의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력이다. YS Y : YS A (unit is MPa) is selected if the negative side of σ A and σ B is A, and YS B (unit is MPa), otherwise YS A : Tensile wherein said 0.2% proof stress of the copper or copper alloy foil in the test, YS B: a second copper or 0.2% proof stress of the copper alloy foil in a tensile test.

실시예Example

표 1 에 나타낸 조성의 제 1 구리박 (4), 및 제 2 구리박 (6) 을 조합하여, 도 1 에 나타낸 바와 같이 하여 양면 CCL 을 제조했다. 여기서 실험예 1 ? 3, 10, 비교예 1 및 2 는 제 1 구리박 (4) 과 제 2 구리박 (6) 은 동일하게 했다. 그 이외의 실험예 및 비교예는 제 1 구리박 (4), 및 제 2 구리박 (6) 에 각각 상이한 구리박을 사용했다. 또한, 표 1 에서, 실험예 6 은 제 2 구리박 (6) 측에 압축 응력이 가해져, σB 가 부가 되었기 때문에, σB 가 σY 가 되어, |10 × σY| 과 YSY 사이의 대소를 평가했다. 그 이외의 실험예 및 비교예는 제 1 구리박 (4) 에 압축 응력이 가해져, σA 가 부가 되었기 때문에, σA 가 σY 가 되어, |10 × σY| 과 YSY 사이의 대소를 평가했다. The double-sided CCL was manufactured as shown in FIG. 1, combining the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6 of the composition shown in Table 1. Where is Experimental Example 1? 3, 10, the comparative examples 1, and 2 made the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6 the same. The experimental example and the comparative example other than that used the copper foil different from the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6, respectively. In Table 1, in Experimental Example 6, since compressive stress was applied to the second copper foil 6 side and sigma B was added, sigma B became sigma Y , and between | 10 × sigma Y | and YS Y Evaluated the magnitude. In other experimental examples and comparative examples, since the compressive stress was applied to the first copper foil 4 and σ A was added, σ A became σ Y , and the magnitude between 사이 10 × σ Y | and YS Y was reduced. Evaluated.

또한, 일부의 구리박은, 표 1 에 나타낸 바와 같이 평균 결정 입경 GS 와 가공도 R 를 조정하거나 예비 열처리를 실시하였다. 또한, 예비 열처리는 하기 화학 처리 (도금) 후에 실시했지만, 최종 압연 후에 실시하거나, CCL 제조 직전에 실시해도 된다. In addition, some copper foil adjusted the average grain size GS and workability R as shown in Table 1, and performed preheat treatment. In addition, although preliminary heat processing was performed after the following chemical processing (plating), you may perform after final rolling or just before CCL manufacture.

우선, 제 1 구리박 (4) 의 편면을 화학 처리 (도금) 하여, 이 면에 폴리이미드 수지의 전구체 바니시 (우베 흥산 제조 U - 바니시 A) 를 두께 25 ㎛ 가 되도록 도포했다. 이 후, 130 ℃ 로 설정한 열풍 순환식 고온조에서 30 분 건조시키고, 단계적으로 350 ℃ 까지 2000 초에 걸쳐 승온하여 경화 (이미드화) 시켜 수지층 (2) 을 형성하고, 편면 CCL 을 제조했다. 다음으로, 편면 CCL 의 수지측면에 열가소성 폴리이미드 (접착층) 를 도포하여 건조시킨 후, 제 2 구리박 (6) 을 겹쳐 350 ℃ 로 가열한 프레스로 10 분간 열 압착시켜 양면 CCL 을 제조했다. 그 후, 양면 CCL 을 실온까지 냉각시켜, 절곡이나 주름의 발생 상황을 육안으로 판정했다. First, the single side | surface of the 1st copper foil 4 was chemically treated (plated), and the precursor varnish (U-heungsan-made U- varnish A) of polyimide resin was apply | coated to this surface so that it might be set to thickness of 25 micrometers. Thereafter, the mixture was dried for 30 minutes in a hot air circulation type high temperature bath set at 130 ° C, gradually heated to 350 ° C over 2000 seconds, cured (imidized) to form a resin layer (2), and single sided CCL was produced. . Next, after apply | coating a thermoplastic polyimide (adhesive layer) to the resin side surface of single sided CCL, and drying it, the 2nd copper foil 6 was laminated | stacked and thermally crimped for 10 minutes by the press heated at 350 degreeC, and double-sided CCL was manufactured. Thereafter, the double-sided CCL was cooled to room temperature, and the occurrence of bending and wrinkles was visually determined.

ΔLA 및 ΔLB 는 각각 제 1 구리박 (4) 및 제 2 구리박 (6) 을 폭방향으로 150 ㎜, 길이 방향으로 12.5 ㎜ 의 단책 (短冊) 상으로 잘라내고, 비커스 경도계로 평점 간격 80 ㎜ 의 타흔 (打痕) 을 타격하여, 양 타흔의 좌표를 측정함으로써, 열을 가하기 전의 거리 L 을 구했다. 또한, 적층 전에 미리 열처리한 구리박 시료의 경우, 이 열처리 후에 마찬가지로 거리를 구했다. 다음으로 350 ℃ 의 오븐에 시료를 30 분간 유지한 후에 꺼내서, 실온으로 냉각 후에 양 타흔의 좌표를 측정하여, 거리 (L') 를 구했다. ΔLA 및 ΔLB 는 각각 (L - L') / L 로 계산할 수 있고, 수축의 경우가 정의 값이 된다. 또한, ΔLA 및 ΔLB 의 정의로부터, ΔLA 는 일단 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 치수를 L 로 하고, 다시 가열했을 때의 양 타흔의 좌표를 L' 로 하고 있다.ΔL A and ΔL B Cut the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6 into 150 mm in the width direction, and 12.5 mm in the length direction, respectively, and the mark of 80 mm of rating intervals with a Vickers hardness tester. Iii), the distance L before applying heat was calculated | required by measuring the coordinates of both attritions. In addition, in the case of the copper foil sample previously heat-treated before lamination, the distance was similarly calculated | required after this heat processing. Next, after hold | maintaining a sample for 30 minutes in 350 degreeC oven, it took out, and after cooling to room temperature, the coordinates of both pins were measured and distance L 'was calculated | required. ΔL A and ΔL B Can be calculated as (L-L ') / L, respectively, and shrinkage becomes a positive value. Further, from the definitions of ΔL A and ΔL B , ΔL A Once the temperature was raised to 350 deg. C at room temperature, the dimension at the time of holding for 30 minutes and cooling to room temperature was set to L, and the coordinates of both marks when heated again were set to L '.

또, 제 1 구리박 (4) 및 제 2 구리박 (6) 의 영률 EA, EB 는 JIS-Z2280 - 1993 에 따라 진동법으로 구하고, 0.2 % 내력 YSA, YSB 는 인장 시험기를 이용하여 JIS-Z2241 - 1998 에 따라 구했다. Moreover, Young's modulus E A and E B of the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6 Is obtained by the vibration method according to JIS-Z2280-1993, 0.2% yield strength YS A , YS B Was calculated | required according to JIS-Z2241-1998 using the tensile tester.

굴곡성은 이하와 같이 하여 평가했다. 우선, 이미 알려진 포토리소그래피 기술을 이용하여 제 1 구리박 (4) 또는 제 2 구리박 (6) 중 어느 하나를 제거하고, 다른 쪽의 구리박에 회로폭 200 ㎛ 의 배선을 형성하고, 그 배선 위에 에폭시 계 접착제가 도포된 폴리이미드 필름을 커버레이로서 열 압착하여, 굴곡 시험용의 FPC 를 제작했다. 이 때, 수지층 (2) 의 두께를 15 ㎛, 커버레이를 12.5 ㎛, 구리박 위의 접착층의 두께는 2.5 ㎛ 로 했다. 또한, 양면 CCL 을 굴곡부에 사용하는 경우에는, 어느 한쪽 (굴곡성이 열등한 쪽) 의 구리박을 에칭으로 제거하여, 굴곡 부분만 편면 CCL 형으로 하는 점에서, 제 1 구리박 (4) 또는 제 2 구리박 (6) 의 한쪽을 제거했을 때의 시험을 실시했다. Flexibility was evaluated as follows. First, any one of the 1st copper foil 4 or the 2nd copper foil 6 is removed using the photolithographic technique already known, the wiring of 200 micrometers of circuit widths is formed in the other copper foil, and the wiring The polyimide film to which the epoxy type adhesive agent was apply | coated was thermo-compressed as a coverlay, and the FPC for bending test was produced. At this time, the thickness of the resin layer 2 was 15 micrometers, the coverlay was 12.5 micrometers, and the thickness of the contact bonding layer on copper foil was 2.5 micrometers. In addition, when using double-sided CCL in a bending part, the copper foil of either one (the inferior bendability) is removed by etching, and only a curved part is set to single-sided CCL type, The 1st copper foil 4 or 2nd The test at the time of removing one side of the copper foil 6 was performed.

굴곡 시험은 IPC (미국 프린트 회로 공업회) 슬라이딩 굴곡 시험기를 사용하고, 굽힘 반경은 구리박 두께가 18 ㎛ 인 경우에는 1.5 ㎜, 구리박 두께가 12 ㎛ 인 경우에는 1 ㎜ 로 했다. 굴곡성은 구리박 두께가 얇아질수록 양호해지므로, 동일한 기준으로 평가하기 위해서 구리박 두께에 따라 굽힘 반경을 변경하면 된다. 그리고, 매분 100 회의 반복 슬라이딩을 FPC 시험편에 부하하고, 배선의 전기 저항이 초기로부터 10 % 상승한 굴곡 횟수를 종점으로 했다. 여기서, 이 굴곡 횟수가 10 만회를 초과하는 경우를 좋음 (○) 으로 하고, 5 만회 미만을 나쁨 (×) 으로 하고, 5 만회 이상 10 만회 미만을 굴곡 조건에 따라 사용 가능 (△) 으로 판정했다. The bending test used the IPC (American Printed Circuit Industry Association) sliding bending tester, and the bending radius was 1.5 mm when the copper foil thickness was 18 µm, and 1 mm when the copper foil thickness was 12 µm. Flexibility improves as the thickness of the copper foil becomes thinner, so that the bending radius may be changed in accordance with the thickness of the copper foil in order to evaluate the same criteria. Then, 100 repetitive slidings per minute were loaded on the FPC test piece, and the number of bends in which the electrical resistance of the wiring rose 10% from the beginning was used as the end point. Here, the case where this bending frequency | count exceeds 100,000 times was made into good ((circle)), less than 50,000 times were made into bad (x), and 50,000 or more times and less than 100,000 times were determined as usable (△) according to bending conditions. .

얻어진 결과를 표 1 에 나타낸다. 또한, 표 1 에서, 「실험예 1 의 제 1 구리박의 굴곡성이 ○」란, 실험예 1 의 양면 CCL 로부터 제 2 구리박을 에칭으로 제거하여, 제 1 구리박을 남겼을 때의 평가를 나타낸다. The obtained results are shown in Table 1. In addition, in Table 1, "the flexibility of the 1st copper foil of Experimental example 1" shows the evaluation when 2nd copper foil was removed by etching from the double-sided CCL of Experimental example 1, and 1st copper foil was left. .

Figure pct00001
Figure pct00001

표 1 로부터 분명한 바와 같이, 제 1 구리박 (4), 및 제 2 구리박 (6) 에 미리 열처리한 실험예 1, 2 의 경우, |10 × σY| ≤ YSY 가 되어, 얻어진 양면 CCL 에 주름이나 절곡이 없고, 굴곡성도 우수한 것이 되었다. As is clear from Table 1, in the case of Experimental Examples 1 and 2, which were previously heat-treated to the first copper foil 4 and the second copper foil 6, | 10 x σ Y | ≤ YS Y The obtained double-sided CCL had no wrinkles or bends and was excellent in flexibility.

또, 압연박인 제 1 구리박 (4), 및 제 2 구리박 (6) 의 압연 조건을 조정하여, R 을 93.0 % 이상으로 하면서 GS ≤ 3.08 × R - 260 이 되도록 한 실험예 3 의 경우도, |10 × σY| ≤ YSY 가 되어, 얻어진 양면 CCL 에 주름이나 절곡이 없고, 굴곡성도 우수한 것이 되었다. Moreover, also in the case of Experimental Example 3 which adjusted the rolling conditions of the 1st copper foil 4 which is rolled foil, and the 2nd copper foil 6, and made GS <3.08 * R-260 while making R 93.0% or more. , | 10 × σ Y | ≤ YS Y The obtained double-sided CCL had no wrinkles or bends and was excellent in flexibility.

한편, 제 1 구리박 (4) 과 제 2 구리박 (6) 에 상이한 구리박을 사용한 실험예 4 ? 9 의 경우도, |10 × σY| ≤ YSY 가 되어, 얻어진 양면 CCL 에 주름이나 절곡은 없었다. 단, 굴곡성은 제 1 구리박 (4) 과 제 2 구리박 (6) 중 어느 박을 남기는가에 따라 상이한 결과가 되었다. 예를 들어, 실험예 6 의 제 2 구리박 (6), 실험예 7 의 제 1 구리박 (4) 의 경우, Sn 의 첨가량이 많고 (2000 ppm), 굴곡성이 떨어졌다. 실험예 8 의 제 1 구리박 (4), 실험예 9 의 제 2 구리박 (6) 의 경우, 전해 구리박을 예비 열처리하지 않고 사용했는데, 굴곡성이 떨어졌다. On the other hand, Experimental example 4 which used different copper foil for the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6? In the case of 9, | 10 x σ Y | ≤ YS Y There were no wrinkles or bending in the obtained double-sided CCL. However, the flexibility was different depending on which foil of the first copper foil 4 and the second copper foil 6 was left. For example, in the case of the second copper foil 6 of Experimental Example 6 and the first copper foil 4 of Experimental Example 7, the addition amount of Sn was large (2000 ppm), and the flexibility was inferior. In the case of the 1st copper foil 4 of Experimental Example 8 and the 2nd copper foil 6 of Experimental Example 9, electrolytic copper foil was used without preheating, but bendability was inferior.

또, 제 1 구리박 (4) 과 제 2 구리박 (6) 에 동일한 구리박을 사용한 실험예 10 의 경우도, |10 × σY| ≤ YSY 가 되어, 얻어진 양면 CCL 에 주름이나 절곡은 없었다. 단, 양 박 모두 GS > 3.08 × R - 260 이 되었기 때문에, 어느 박을 남긴 경우에도 굴곡성은 △ 였다. Moreover, also in the case of Experimental Example 10 using the same copper foil for the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6, | 10 * (sigma) Y | <= YS Y There were no wrinkles or bending in the obtained double-sided CCL. However, since both foils were GS> 3.08xR-260, even if any foil was left, the bendability was (triangle | delta).

비교예 1 및 2 의 경우, 박의 조합이 적절하지 않았기 때문에, |10 × σY| > YSY 가 되어, 얻어진 양면 CCL 에 주름이나 절곡이 발생했다. In the case of the comparative examples 1 and 2, since the combination of foil was not suitable, | 10 * σ Y |> YS Y Wrinkles and bending occurred in the obtained double-sided CCL.

또, 시판품인 터프 피치 구리를 그대로 제 1 구리박 (4), 및 제 2 구리박 (6) 에 사용한 비교예 3 의 경우, 압연 조건이 GS > 3.08 × R - 260 이 되었기 때문에, 굴곡성이 떨어졌다. Moreover, since the rolling conditions became GS> 3.08 * R-260, in the case of the comparative example 3 which used the tough pitch copper which is a commercial item as it was for the 1st copper foil 4 and the 2nd copper foil 6, flexibility is inferior lost.

2 : 수지층
2a : 수지 조성물
4 : 제 1 구리 또는 구리 합금박
6 : 제 2 구리 또는 구리 합금박
8 : 양면 동장 적층판
2: resin layer
2a: resin composition
4: first copper or copper alloy foil
6: 2nd copper or copper alloy foil
8: double-sided copper clad laminate

Claims (3)

제 1 구리 또는 구리 합금박의 편면에 수지층을 형성하고, 편면 동장 적층판을 얻는 제 1 공정과, 상기 편면 동장 적층판의 상기 수지층측에 제 2 구리 또는 구리 합금박을 적층하여 가열해서 양면 동장 적층판을 얻는 제 2 공정을 갖는 양면 동장 적층판의 제조 방법으로서,
상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 응력 σA = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLA - ΔLB) × 1000 으로 하고, 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 응력 σB = EA × EB / (EA + EB) × (ΔLB - ΔLA) × 1000 으로 하고, σA 와 σB 중 부의 쪽을 σY 로 했을 때,|10 × σY| ≤ YSY 가 되는,
(단, EA : 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 폭 방향의 영률 (단위는 ㎬),
EB : 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박을 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 폭방향의 영률 (단위는 ㎬),
ΔLA : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각시켰을 때의 치수를 기준으로 하여, 다시 350 ℃ 에서 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정의 값으로 함),
ΔLB : 실온에서 350 ℃ 로 승온하고, 30 분간 유지하여 실온으로 냉각 후의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 폭방향의 치수 변화율 (단위는 ppm, 수축을 정의 값으로 함),
YSY : 인장 시험에서의 0.2 % 내력으로, σA 와 σB 중 부의 쪽이 A 이면 YSA (단위는 ㎫) 를 선택하고, 반대의 경우에는 YSB (단위는 ㎫) 를 선택,
YSA : 인장 시험에서의 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력,
YSB : 인장 시험에서의 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 0.2 % 내력)
상기 제 1 구리 또는 구리 합금박 및 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박을 사용하는 양면 동장 적층판의 제조 방법.
The 1st process of forming a resin layer in the single side | surface of 1st copper or copper alloy foil, and obtaining a single-sided copper clad laminated board, and laminating | stacking and heating a 2nd copper or copper alloy foil in the said resin layer side of the said single-sided copper clad laminated board, and double-sided copper sheet As a manufacturing method of a double-sided copper clad laminated board which has a 2nd process of obtaining a laminated board,
Stress σ A of the first copper or copper alloy foil is set to E = E A x E B / (E A + E B ) x (ΔL A -ΔL B ) × 1000, and stress σ of the second copper or copper alloy foil When B = E A x E B / (E A + E B ) x (ΔL B -ΔL A ) × 1000 and the negative side of σ A and σ B is σ Y , | 10 × σ Y | ≤ YS Y Become,
(However, E A : Young's modulus in the width direction when the first copper or copper alloy foil is maintained at 350 ° C. for 30 minutes and cooled to room temperature, and then maintained at 350 ° C. for 30 minutes and cooled to room temperature (unit is ㎬) ,
E B : Young's modulus in the width direction when the second copper or copper alloy foil was kept at 350 ° C. for 30 minutes and cooled to room temperature (unit is ㎬),
ΔL A : The width direction of the first copper or copper alloy foil after the temperature was raised to 350 ° C. at room temperature, held for 30 minutes, and maintained at 350 ° C. for 30 minutes based on the dimensions when cooled to room temperature again. Rate of change of dimensions (unit is ppm, shrinkage is positive),
ΔL B : The rate of dimensional change in the width direction of the second copper or copper alloy foil after being heated to 350 ° C. at room temperature, held for 30 minutes, and cooled to room temperature (unit is ppm and shrinkage is defined as a positive value),
YS Y : With 0.2% yield strength in tensile test, select YS A (unit is MPa) if the negative side of σ A and σ B is A, otherwise select YS B (unit is MPa).
YS A : 0.2% yield strength of said 1st copper or copper alloy foil in a tensile test,
YS B : 0.2% yield strength of said 2nd copper or copper alloy foil in a tensile test)
The manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board which uses the said 1st copper or copper alloy foil and the said 2nd copper or copper alloy foil.
제 1 항에 기재된 양면 동장 적층판의 제조 방법에 사용되며, 상기 제 1 구리 또는 구리 합금박 및 상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 조합으로 이루어지는 1 세트의 구리 또는 구리 합금박.It is used for the manufacturing method of the double-sided copper clad laminated board of Claim 1, One set of copper or copper alloy foil which consists of a combination of the said 1st copper or copper alloy foil, and the said 2nd copper or copper alloy foil. 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 구리 또는 구리 합금박의 ΔLB 가 145 ppm 이하인 1 세트의 구리 또는 구리 합금박.
The method of claim 2,
ΔL B of the second copper or copper alloy foil 1 set of copper or copper alloy foil whose value is 145 ppm or less.
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