KR20120057408A - Apparatus for Transferring Substrate - Google Patents

Apparatus for Transferring Substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20120057408A
KR20120057408A KR1020100119118A KR20100119118A KR20120057408A KR 20120057408 A KR20120057408 A KR 20120057408A KR 1020100119118 A KR1020100119118 A KR 1020100119118A KR 20100119118 A KR20100119118 A KR 20100119118A KR 20120057408 A KR20120057408 A KR 20120057408A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arm
connection
pinion gear
moved
movable
Prior art date
Application number
KR1020100119118A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101191897B1 (en
Inventor
김효원
배광명
정현응
김현동
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR1020100119118A priority Critical patent/KR101191897B1/en
Priority to CN201110385151XA priority patent/CN102556665A/en
Publication of KR20120057408A publication Critical patent/KR20120057408A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101191897B1 publication Critical patent/KR101191897B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/025—Arms extensible telescopic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/102—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears
    • B25J9/103—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears with backlash-preventing means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Abstract

PURPOSE: A substrate transport apparatus is provided to shorten times to perform a loading process and an unloading process by moving a moving arm, an interlocking mechanism, and a support arm to a long stroke to perform the loading process and the unloading process. CONSTITUTION: An arm mechanism(2) transports a substrate. An interlocking mechanism interlocks and transports a plurality of arms. The interlocking mechanism includes a pinion gear and a rack gear respectively combined with an arm. A plurality of arms moves by a driving unit(4) and the interlocking mechanism to be projected from a base frame(1a). The driving unit provides driving force for transporting the arm mechanism.

Description

기판 이송장치{Apparatus for Transferring Substrate}Substrate Transfer Device {Apparatus for Transferring Substrate}

본 발명은 태양전지, 반도체 소자, 디스플레이 장치 등을 제조하는데 사용되는 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate used to manufacture solar cells, semiconductor devices, display devices and the like.

태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 디스플레이 장치 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정에는 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 이물질 등을 제거하기 위한 세정공정 등이 포함된다. 상기 공정들은 각각 별도의 공정챔버 내에서 이루어지는데, 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하는 시간 등을 최소화하여 생산성을 높이고 상기 공정챔버들의 유지관리를 용이하게 하기 위해 상기 공정챔버들을 일체화한 기판 처리장치가 이용되고 있다. 이러한 기판 처리장치는 상기 공정챔버들이 배치된 형태에 따라 클러스터 방식과 인라인 방식이 있다.Solar cells, semiconductor devices, display devices, etc. (hereinafter, referred to as electronic components) are manufactured through various processes. Such a manufacturing process includes a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric, and the like on a substrate for manufacturing the electronic component, an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern, and removing foreign matters. Cleaning process and the like. Each of the processes is performed in a separate process chamber, which minimizes the time for transferring a substrate between the process chambers, thereby increasing productivity and facilitating maintenance of the process chambers. Is being used. Such a substrate processing apparatus has a cluster method and an in-line method according to the form in which the process chambers are arranged.

도 1은 클러스터 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도이고, 도 2는 인라인 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도이다.1 is a schematic diagram of a cluster type substrate processing apparatus, and FIG. 2 is a schematic diagram of an inline substrate processing apparatus.

도 1을 참고하면, 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)는 이송챔버(101)를 중심으로 복수개의 공정챔버(102)들이 배치되는 구조이다. 즉, 상기 공정챔버(102)들이 원형태를 이루며 상기 이송챔버(101)를 둘러싸게 배치되는 구조이다. 도 2를 참고하면, 인라인 방식의 기판 처리장치(100)는 이송챔버(101)가 X축 방향으로 길게 형성되고, 상기 공정챔버(102)들이 X축 방향으로 소정 간격으로 이격되게 배치되는 구조이다. 상기 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 있어서, 상기 공정챔버(102)들은 상기 이송챔버(101)를 기준으로 상기 이송챔버(101)의 양측(Y축 방향)에 배치된다. 이와 같이 도 1에 도시된 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)와 도 2에 도시된 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 있어서, 상기 이송챔버(101)에는 기판(미도시)을 이송하기 위한 기판 이송장치(103)가 설치된다.Referring to FIG. 1, the cluster type substrate processing apparatus 100 has a structure in which a plurality of process chambers 102 are disposed around the transfer chamber 101. That is, the process chambers 102 have a circular shape and are arranged to surround the transfer chamber 101. Referring to FIG. 2, the in-line substrate processing apparatus 100 has a structure in which the transfer chamber 101 is formed long in the X-axis direction, and the process chambers 102 are spaced apart at predetermined intervals in the X-axis direction. . In the in-line substrate processing apparatus 100, the process chambers 102 are disposed on both sides (Y-axis direction) of the transfer chamber 101 with respect to the transfer chamber 101. As described above, in the substrate processing apparatus 100 of the cluster method illustrated in FIG. 1 and the inline substrate processing apparatus 100 illustrated in FIG. 2, a substrate (not shown) may be transferred to the transfer chamber 101. The substrate transfer device 103 is installed.

상기 기판 이송장치(103)는 상기 기판을 공정 순서에 해당하는 공정챔버(102)에 로딩하고, 해당 공정챔버(102)에서 작업이 완료되면 상기 기판을 언로딩한 후, 다음 공정 순서에 해당하는 공정챔버(102)에 로딩하는 공정을 반복한다. 상기 기판 이송장치(103)는 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위해 기판을 지지하는 암(1031)을 포함한다. 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)을 상기 공정챔버(102)와 상기 이송챔버(101) 간에 이동시킴으로써, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행한다. 상기 암(1031)은 상기 기판 전부를 상기 공정챔버(102) 내부에 위치시킬 수 있고, 상기 기판 전부를 상기 공정챔버(102) 외부에 위치시킬 수 있도록 충분한 길이를 갖도록 형성된다. 이에 따라, 상기 기판 이송장치(103)는 전체적으로 상당한 크기를 갖도록 형성되게 된다.The substrate transfer apparatus 103 loads the substrate into the process chamber 102 corresponding to the process sequence, and when the operation is completed in the process chamber 102, unloads the substrate and then corresponds to the next process sequence. The process of loading into the process chamber 102 is repeated. The substrate transfer device 103 includes an arm 1031 supporting a substrate for loading or unloading the substrate. The substrate transfer apparatus 103 moves the arm 1031 between the process chamber 102 and the transfer chamber 101 to perform a loading process and an unloading process on the substrate. The arm 1031 may be formed to have a sufficient length so that the entirety of the substrate may be located inside the process chamber 102 and the entirety of the substrate may be located outside the process chamber 102. Accordingly, the substrate transfer device 103 is formed to have a substantial size as a whole.

도 1을 참고하면, 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 공정챔버(102) 쪽을 향하도록 회전축을 중심으로 회전된다. 따라서, 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 상기 기판 이송장치(103)가 상기 공정챔버(102)들과 충돌하지 않으면서 회전될 수 있도록 상기 이송챔버(101)가 상당한 크기를 갖도록 형성되어야 한다. 상기 이송챔버(101)의 크기가 커지면, 상기 암(1031) 또한 긴 스트로크(Stroke)로 이동되어야 하므로 상기 기판 이송장치(103)가 더 큰 크기로 형성되어야 한다. 이에 따라, 상기 기판 이송장치(103)와 상기 이송챔버(101)를 제조하기 위한 제조비용이 증가할 뿐만 아니라, 상기 기판 이송장치(103)가 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 증가하므로 작업 시간이 늘어나는 문제가 있다.Referring to FIG. 1, in the case of a cluster type substrate processing apparatus 100, the substrate transfer apparatus 103 may face the process chamber 102 for loading or unloading the substrate 1031. It is rotated about the rotation axis. Therefore, in the case of the cluster type substrate processing apparatus 100, the transfer chamber 101 is formed to have a considerable size so that the substrate transfer apparatus 103 can be rotated without colliding with the process chambers 102. Should be. As the size of the transfer chamber 101 increases, the arm 1031 also needs to be moved in a long stroke, so that the substrate transfer device 103 should be formed in a larger size. Accordingly, the manufacturing cost for manufacturing the substrate transfer device 103 and the transfer chamber 101 increases, and the substrate transfer device 103 performs a loading process and an unloading process on the substrate. Since the distance that the substrate moves in the process also increases, there is a problem that the working time increases.

도 2를 참고하면, 인라인 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 공정챔버(102) 쪽에 위치하도록 X축 방향으로 이동된다. 그리고, 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 이송챔버(101)의 양측에 배치된 공정챔버(102)들 중 어느 하나를 향하도록 회전축을 중심으로 회전된다. 따라서, 인라인 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 상기 기판 이송장치(103)가 상기 공정챔버(102)들과 충돌하지 않으면서 회전될 수 있고 X축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 이송챔버(101)가 상당한 크기를 갖도록 형성되어야 한다. 상기 이송챔버(101)의 크기가 커지면, 상기 암(1031) 또한 긴 스트로크(Stroke)로 이동되어야 하므로 상기 기판 이송장치(103)가 더 큰 크기로 형성되어야 한다. 이에 따라, 상기 기판 이송장치(103)와 상기 이송챔버(101)를 제조하기 위한 제조비용이 증가할 뿐만 아니라, 상기 기판 이송장치(103)가 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 증가하므로 작업 시간이 늘어나는 문제가 있다.Referring to FIG. 2, in the case of an inline substrate processing apparatus 100, the substrate transfer apparatus 103 may be positioned such that the arm 1031 is positioned toward the process chamber 102 for loading or unloading the substrate. Is moved in the axial direction. In addition, the substrate transfer device 103 is rotated about a rotation axis such that the arm 1031 faces any one of the process chambers 102 disposed on both sides of the transfer chamber 101. Therefore, in the case of the in-line substrate processing apparatus 100, the substrate transfer apparatus 103 may be rotated without colliding with the process chambers 102 and moved in the X-axis direction. 101) should be formed to have a significant size. As the size of the transfer chamber 101 increases, the arm 1031 also needs to be moved in a long stroke, so that the substrate transfer device 103 should be formed in a larger size. Accordingly, the manufacturing cost for manufacturing the substrate transfer device 103 and the transfer chamber 101 increases, and the substrate transfer device 103 performs a loading process and an unloading process on the substrate. Since the distance that the substrate moves in the process also increases, there is a problem that the working time increases.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 긴 스트로크(Stroke)로 이동할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems, the object of the present invention is to transfer the substrate that can be moved in a long stroke (stroke) to perform the loading and unloading process for the substrate while reducing the overall size It is to provide a device.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 베이스랙기어가 설치된 베이스프레임; 상기 베이스랙기어에 맞물림되는 이동피니언기어가 결합되고, 상기 베이스프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동암; 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 연결랙기어 및 상기 연결랙기어가 이동됨에 따라 회전되는 연결피니언기어가 결합되고, 상기 이동암이 상기 베이스프레임으로부터 돌출되게 이동되면 상기 이동암이 돌출된 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되는 연결기구; 상기 연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 지지랙기어가 결합되고, 상기 연결기구가 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되면 상기 연결기구가 돌출된 방향으로 상기 연결기구로부터 돌출되게 이동되며, 기판을 지지하기 위한 지지암; 및 상기 이동암과 결합되어 상기 이동피니언기어가 회전되도록 상기 이동암을 이동시키는 구동유닛을 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention includes a base frame having a base rack gear; A movable arm engaged with the base rack gear and coupled to the base frame, the movable arm movably coupled to the base frame; The connecting rack gear which is moved as the movable pinion gear is rotated and the connecting pinion gear which is rotated as the connecting rack gear is moved are coupled. When the movable arm is protruded from the base frame, the movable arm is protruded in the direction of protruding. A connection mechanism moved protruding from the moving arm; The support rack gear which is moved as the connecting pinion gear is rotated is coupled, and when the connecting mechanism is moved to protrude from the moving arm, the connecting mechanism is moved to protrude from the connecting mechanism in the protruding direction, to support a substrate. Support arm; And a driving unit coupled to the movable arm to move the movable arm to rotate the movable pinion gear.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동되고, 기판을 이동시키기 위한 복수개의 암(Arm)을 갖는 암기구; 상기 암들이 상기 제1위치 또는 상기 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및 상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함할 수 있다. 상기 연동기구는 상기 구동유닛에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위한 복수개의 피니언기어, 및 상기 피니언기어에 맞물림되어 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 복수개의 랙기어를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including a female mechanism moving between a first position protruding from a base frame and a second position overlapping each other on the base frame and having a plurality of arms for moving the substrate; A drive unit for moving any one of the arms such that the arms are positioned in either the first position or the second position; And an interlock mechanism coupled to the arms, for interlocking and moving the remaining arms as the driving unit moves any one of the arms. The linkage mechanism includes a plurality of pinion gears for converting linear motion by the drive unit into rotational motion, and a plurality of rack gears engaged with the pinion gear to convert rotational motion by the pinion gears into linear motion. can do.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 베이스프레임에 설치된 베이스랙기어에 맞물림되는 이동피니언기어, 및 상기 베이스프레임을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면에 위치되는 이동랙기어가 결합된 이동암; 상기 이동피니언기어에 맞물림되어 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제1연결랙기어, 및 상기 이동랙기어에 맞물림되는 제1연결피니언기어가 결합되고, 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 상기 이동암이 이동되는 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되는 제1연결암; 상기 제1연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제2연결랙기어, 및 상기 제2연결랙기어가 이동됨에 따라 회전되는 제2연결피니언기어가 결합되고, 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 상기 제1연결암이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동되는 제2연결암; 및 상기 제2연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 지지랙기어가 결합되고, 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 상기 제2연결암이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암으로부터 돌출되게 이동되는 지지암을 포함할 수 있다. 상기 제1연결암에는 상기 제1연결랙기어가 설치된 일면에 대해 반대되는 타면에 설치된 제3연결랙기어가 결합될 수 있다. 상기 제2연결피니언기어는 상기 제3연결랙기어에 맞물림되어 상기 제2연결암이 이동됨에 따라 회전될 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention comprises a movable pinion gear engaged with a base rack gear installed in a base frame, and a movable arm coupled to a movable rack gear positioned on the other surface opposite to one surface facing the base frame; A first connecting rack gear meshed with the movable pinion gear and moved as the movable pinion gear is rotated, and a first connecting pinion gear meshed with the movable rack gear, and the movable arm as the movable pinion gear is rotated. A first connecting arm which protrudes from the moving arm in a moving direction; A second connection rack gear meshed with the first connection pinion gear and moved as the first connection pinion gear is rotated, and a second connection pinion gear rotated as the second connection rack gear is moved; A second connection arm which protrudes from the first connection arm in a direction in which the first connection arm moves as the first connection pinion gear is rotated; And a support rack gear which is engaged with the second connection pinion gear and moved as the second connection pinion gear is rotated, and the second connection arm moves in the direction in which the second connection pinion gear is rotated. It may include a support arm moved to protrude from the second connection arm. The first connecting arm may be coupled to a third connecting rack gear installed on the other surface opposite to the surface on which the first connecting rack gear is installed. The second connecting pinion gear may be engaged with the third connecting rack gear and rotated as the second connecting arm moves.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 긴 스트로크로 이동할 수 있도록 구현됨으로써, 재료비를 줄일 수 있고 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.The present invention is implemented to be able to move in a long stroke to perform the loading and unloading process for the substrate while reducing the overall size, thereby reducing the material cost and the time required to perform the loading and unloading process Can be.

본 발명은 피니언기어와 랙기어를 이용함으로써 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 온도 변화가 발생하더라도 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 있고, 이에 따라 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, even when a temperature change occurs in the process of loading and unloading a substrate by using a pinion gear and a rack gear, the substrate can be moved to an accurate distance. It can improve the accuracy.

도 1은 클러스터 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도
도 2는 인라인 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 측면도
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 분해사시도
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 서브피니언기어들의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 11은 본 발명에 따른 제1연결피니언기어의 개략적인 사시도
도 12는 본 발명에 따른 가이드기구들의 결합관계를 나타낸 개략적인 정면도
도 13은 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 개략적인 사시도
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도1 is a schematic diagram of a cluster substrate processing apparatus
2 is a schematic view of an inline substrate processing apparatus;
3 and 4 is a schematic perspective view of the substrate transfer apparatus according to the present invention
5 is a schematic side view of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
6 is a schematic exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
7 and 8 is a conceptual diagram for explaining the operation relationship of the substrate transfer apparatus according to the present invention
9 and 10 are conceptual diagrams for explaining the operation relationship of the sub-pinion gear in accordance with the present invention
11 is a schematic perspective view of a first connecting pinion gear according to the present invention;
12 is a schematic front view showing the coupling relationship of the guide mechanisms according to the present invention;
13 is a schematic perspective view of a first backlash compensation mechanism and a second backlash compensation mechanism according to the present invention;
14 and 15 are conceptual views illustrating the operation relationship between the first backlash compensation mechanism and the second backlash compensation mechanism according to the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 살명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(미도시)을 이동시키기 위한 암기구(2), 상기 암기구(2)가 갖는 복수개의 암(Arm, 21, 22, 23)을 서로 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구(3, 도 5에 도시됨), 및 상기 암기구(2)를 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동유닛(4)을 포함한다. 상기 암기구(2)는 베이스프레임(1a)에 결합된다. 상기 기판은 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 디스플레이 장치 등의 전자부품을 제조하는데 사용되는 것으로, 예컨대 유리(Glass) 기판, 메탈(Metal) 기판 등일 수 있다.3 to 5, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a female mechanism 2 for moving a substrate (not shown), and a plurality of arms 21 included in the female mechanism 2. And a linkage mechanism 3 (shown in FIG. 5) for moving the 22 and 23 interlocked with each other, and a drive unit 4 for providing a driving force for moving the arm mechanism 2. . The female mechanism 2 is coupled to the base frame 1a. The substrate is used to manufacture electronic components such as solar cells, semiconductor devices, and display devices. For example, the substrate may be a glass substrate, a metal substrate, or the like.

상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3)에 의해 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 각각 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암들(21, 22, 23)을 긴 스트로크(Stroke)로 이동시킬 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3)에 의해 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층(積層)되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다.The arms 21, 22, and 23 may be protruded from the base frame 1a by the driving unit 4 and the interlocking mechanism 3. Accordingly, the arms 21, 22, and 23 may be implemented by sharing strokes for performing the loading process and the unloading process, respectively. Accordingly, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may move the arms 21, 22, and 23 in a long stroke to perform the loading and unloading processes for the substrate. The arms 21, 22, and 23 may be moved in such a manner as to overlap each other in the base frame 1a by the driving unit 4 and the interlocking mechanism 3. Accordingly, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may be formed in a relatively small size compared to the stroke implemented by the arms 21, 22, and 23. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the arm mechanism 2 in a long stroke to perform the loading process and the unloading process for the substrate while reducing the overall size.

본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 연동기구(3)가 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킨다. 상기 연동기구(3)는 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합되는 피니언기어(Pinion Gear)와 랙기어(Rack Gear)를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 직선 운동되면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 직선 운동될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있고, 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트(Belt) 방식, 와이어(Wire) 방식, 볼스크류(Ballscrew) 방식, 실린더(Cylinder) 방식이 이용될 수 있는데, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.In the substrate transfer device 1 according to the present invention, the linkage mechanism 3 moves in conjunction with the arms 21, 22, and 23. The interlock mechanism 3 may include a pinion gear and a rack gear coupled to the arms 21, 22, and 23, respectively. The pinion gears convert linear motion by the drive unit 4 into rotational motion, and the rack gears convert rotation motion by the pinion gear into linear motion. Accordingly, when any one of the arms 21, 22, 23 is linearly moved by the drive unit 4, the pinion gears convert linear motion into rotational motion, and the rack gears linearly rotate the rotational motion. By converting to motion, the arms 21, 22, 23 can be linearly moved in conjunction with each other. Accordingly, the arms 21, 22, and 23 may be moved together by the linkage mechanism 3 so as to protrude from the base frame 1a, and the arms 21, 22, and 23 may overlap each other in the base frame 1a so as to overlap each other. It can be moved in conjunction with the interlock mechanism (3). In order to move the arms 21, 22, and 23, a belt method, a wire method, a ball screw method, a cylinder method, and the like, may be used. (1) by interlocking the arms (21, 22, 23) to the linkage mechanism (3) using the pinion gears and rack gears, it is possible to achieve the following effects.

우선, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식을 이용하는 경우, 다음과 같은 문제가 있다. 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등은 대략 80℃ ~ 180℃에 달하는 고온 환경에서 이루어지게 된다. 즉, 상기 증착공정, 식각공정 등을 수행하기 위한 공정챔버(미도시)들 내부는 상당한 고온 환경으로 설정되고, 공정의 종류에 따라 상기 공정챔버들마다 다른 온도로 설정될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위한 벨트가 상기 공정챔버들 간에 이동되면, 온도 변화에 의해 상기 벨트가 신축(伸縮)되게 된다. 따라서, 상기 공정챔버들 내부의 온도, 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 공정챔버들 간에 머무르는 시간 등에 따라 상기 벨트가 신축되는 정도가 달라지고, 상기 벨트가 신축된 정도에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 이동되는 거리가 변동되게 된다. 따라서, 벨트 방식을 이용한 암들(21, 22, 23)은 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 와이어 방식을 이용하는 경우에도, 상기 와이어가 온도 변화에 따라 수축, 팽창 등에 의해 변형되므로 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 따라서, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식 또는 와이어 방식을 이용하는 경우, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성이 저하되는 문제가 있다.First, when using a belt method to move the arms (21, 22, 23), there are the following problems. Deposition process, etching process, etc. for the substrate is made in a high temperature environment of approximately 80 ℃ ~ 180 ℃. That is, the inside of the process chambers (not shown) for performing the deposition process, the etching process, etc. may be set to a considerable high temperature environment, and may be set to different temperatures for each of the process chambers according to the type of process. Accordingly, when the belt for moving the arms 21, 22, 23 is moved between the process chambers, the belt is stretched due to temperature change. Therefore, the degree of stretch of the belt varies according to the temperature inside the process chambers, the time the arms 21, 22, 23 stay between the process chambers, and the like. The distance that the 21, 22, 23 is moved is changed. Therefore, the arms 21, 22, and 23 using the belt method have a problem in that the substrate cannot be moved at an accurate distance. Even when a wire method is used to move the arms 21, 22, and 23, there is a problem in that the wire is deformed due to shrinkage, expansion, etc. according to temperature change, and thus the substrate cannot be moved at an accurate distance. Therefore, when using the belt method or the wire method to move the arms (21, 22, 23), there is a problem that the accuracy of the loading process and the unloading process is deteriorated.

이와 달리, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)를 이용함으로써, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 온도 변화가 발생하더라도 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.In contrast, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention uses a linkage mechanism 3 using pinion gears and rack gears, whereby temperature changes occur in the process of loading and unloading the substrate. Even if the substrate can be moved to the correct distance. Therefore, the substrate transfer device 1 according to the present invention can improve the accuracy of the loading process and the unloading process.

다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 볼스크류 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 볼스크류가 결합되어야 하고, 상기 볼스크류들을 회전시키기 위한 모터가 구비되어야 한다. 즉, 상기 암들(21, 22, 23)의 개수만큼 모터가 복수개 구비되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 모터들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 모터들이 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 결합되는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시켜 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.Next, when using the ball screw method to move the arms (21, 22, 23), a ball screw must be coupled to each of the arms (21, 22, 23), and a motor for rotating the ball screws is provided Should be. That is, a plurality of motors should be provided as many as the arms 21, 22, 23. Accordingly, the material cost is increased, there is a problem in controlling the motors in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, when the motors are coupled to each of the arms 21, 22, and 23, the arms may be increased in the process of performing the loading process and the unloading process by increasing the weight of the arms 21, 22, 23. 21, 22, 23) there is a problem that can cause sag.

이에 반해, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.On the contrary, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention moves the arms 21, 22, and 23 by interlocking to the interlocking mechanism 3 using pinion gears and rack gears, thereby driving one drive unit 4. Since the arms 21, 22, and 23 can be moved, the material cost can be reduced, and the arms 21, 22, and 23 can be easily controlled in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may reduce the weight of the arms 21, 22, and 23, and accordingly, the arms 21, 22, in the process of loading and unloading are performed. 23) can prevent the deflection from occurring.

다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 실린더 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)에 실린더들이 각각 결합되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 실린더들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 실린더들이 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합됨에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시킴으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.Next, when using the cylinder method to move the arms (21, 22, 23), the cylinders should be coupled to the arms (21, 22, 23), respectively. Accordingly, the material cost is increased, there is a problem in controlling the cylinders in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, by increasing the weight of the arms (21, 22, 23) as the cylinders are coupled to the arms (21, 22, 23), respectively, the arms (in the process of performing the loading and unloading process ( 21, 22, 23) there is a problem that can cause sag.

이와 달리, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.On the contrary, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention moves the arms 21, 22, and 23 by interlocking to the interlocking mechanism 3 using pinion gears and rack gears, thereby driving one drive unit 4. Since the arms 21, 22, and 23 can be moved, the material cost can be reduced, and the arms 21, 22, and 23 can be easily controlled in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may reduce the weight of the arms 21, 22, and 23, and accordingly, the arms 21, 22 in the process of performing the loading process and the unloading process. , 23) can prevent sagging.

이하에서는 상기 암기구(2), 상기 연동기구(3), 및 상기 구동유닛(4)의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the arm mechanism 2, the interlock mechanism 3, and the driving unit 4 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 암기구(2)는 이동암(21), 연결기구(22), 및 지지암(23)을 포함할 수 있다.3 to 5, the arm mechanism 2 may include a moving arm 21, a connection mechanism 22, and a support arm 23.

상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합된다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)의 상측에 위치되고, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)의 상측에 위치되며, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있고, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)을 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다. The movable arm 21 is movably coupled to the base frame 1a. Referring to FIG. 5, the movable arm 21 is positioned above the base frame 1a, the connecting mechanism 22 is positioned above the movable arm 21, and the support arm 23 is provided. May be located above the connecting mechanism 22. As shown in FIG. 4, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may protrude from the base frame 1a. The connecting mechanism 22 may be moved such that the movable arm 21 protrudes from the movable arm 21 in a direction protruding from the base frame 1a, and the support arm 23 is a movable arm 21. It may be moved to protrude from the connecting mechanism 22 in a direction protruding from the base frame (1a). Accordingly, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be implemented by sharing a stroke for performing the loading process and the unloading process. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention has a long stroke of the moving arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 to perform a loading process and an unloading process for the substrate. Can be moved to As shown in FIG. 3 and FIG. 5, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be positioned to overlap each other in the base frame 1a. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be formed in a relatively small size compared to the stroke implemented by the moving arm 21, the connection mechanism 22, and the support arm 23.

따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 기판 처리장치(미도시)에 있어서 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 설치되는 이송챔버(미도시)의 크기를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 이송챔버를 제조하기 위한 제조비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 줄일 수 있으므로 작업 시간을 단축시킬 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 클러스터 방식의 기판 처리장치(미도시)와 인라인 방식의 기판 처리장치(미도시) 모두에 적용될 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the arm mechanism 2 in a long stroke to perform the loading process and the unloading process for the substrate while reducing the overall size. Accordingly, the size of the transfer chamber (not shown) in which the substrate transfer device 1 according to the present invention is installed in the substrate processing apparatus (not shown) can be reduced. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention not only reduces the manufacturing cost for manufacturing the transfer chamber, but also the distance that the substrate moves in the process of loading and unloading the substrate. This reduces the work time. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be applied to both a cluster type substrate processing apparatus (not shown) and an inline type substrate processing apparatus (not shown).

상기 이동암(21)은 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제1방향에 반대되는 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되고, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되고, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이와 같이, 상기 연결기구(22) 및 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 따라 상기 베이스프레임(1a)을 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 중 어느 한 방향으로 돌출되게 이동될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 인라인 방식의 기판 처리장치에 적용되는 경우, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 회전되지 않고도 이송챔버의 양측에 배치된 공정챔버들에 대해 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 적용된 인라인 방식의 기판 처리장치는 상기 이송챔버에 상기 기판 이송장치(1)가 회전되기 위한 공간을 확보하지 않아도 되므로, 상기 이송챔버의 크기를 더 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 더 단축시킬 수 있다.The movable arm 21 may be moved in a first direction (A arrow direction) and in a second direction (B arrow direction) opposite to the first direction. The movable arm 21 may be moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction). The support arm 23 is protruded from the support arm 23 may be protruded from the connecting mechanism 22 in the first direction (A arrow direction). The movable arm 21 may be moved to protrude from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction). The support arm 23 is protruded from the support arm 23 may be protruded from the connecting mechanism 22 in the second direction (B arrow direction). In this way, the connecting mechanism 22 and the support arm 23 are in the first direction (A arrow direction) and the second direction with respect to the base frame 1a according to the direction in which the movable arm 21 is moved. It can be moved to protrude in either direction (direction B arrow). Therefore, when the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is applied to an inline substrate processing apparatus, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be applied to process chambers disposed on both sides of the transfer chamber without being rotated. Loading process and unloading process can be performed. Accordingly, the in-line substrate processing apparatus to which the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is applied does not have to secure a space for the substrate transfer apparatus 1 to rotate in the transfer chamber, thereby increasing the size of the transfer chamber. It can further reduce, and further shorten the work time required to perform the loading and unloading process.

상기 이동암(21)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 베이스프레임(1a)은 상기 이동암(21)과 대략 일치하는 크기 또는 상기 이동암(21)보다 큰 크기로 형성될 수 있다. 상기 베이스프레임(1a)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. The movable arm 21 may be formed in a rectangular plate shape as a whole. The base frame 1a may be formed to have a size substantially coincident with the movable arm 21 or larger than the movable arm 21. The base frame 1a may be formed in a rectangular plate shape as a whole.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결기구(22)에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다.3 to 5, the connection mechanism 22 is located between the movable arm 21 and the support arm 23. The connecting mechanism 22 may be movably coupled to the movable arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to the connection mechanism 22. As shown in FIG. 4, the connection mechanism 22 may be moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction). Can be protruded from. When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction). Can be protruded from. The connection mechanism 22 may be positioned to overlap and be stacked between the movable arm 21 and the support arm 23 in the base frame 1a.

상기 연결기구(22)는 복수개의 연결암(221, 222)을 포함할 수 있다. 상기 연결암들(221, 222)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 이동암(21), 상기 연결암들(221, 222), 및 상기 지지암(23)은 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)는 제1연결암(221) 및 제2연결암(222)을 포함할 수 있다. 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)이 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)과 상기 지지암(23) 사이에 설치될 수 있다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)이 돌출된 방향으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 돌출된 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. The connection mechanism 22 may include a plurality of connection arms 221 and 222. The connecting arms 221 and 222 may be moved in cooperation with each other by the linkage mechanism 3. The movable arm 21, the connecting arms 221 and 222, and the support arm 23 may be moved in cooperation with the interlocking mechanism 3. For example, the connection mechanism 22 may include a first connection arm 221 and a second connection arm 222. The first connection arm 221 may be movably coupled to the movement arm 21, and may be moved in cooperation with the movement arm 21 by the linkage mechanism 3. When the movable arm 21 is moved to protrude from the base frame 1a, the first connection arm 221 may be moved to protrude from the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 protrudes. The second connection arm 222 may be installed between the first connection arm 221 and the support arm 23. The second connection arm 222 may be movably coupled to the first connection arm 221, and may be moved in conjunction with the first connection arm 221 by the linkage mechanism 3. Can be. When the first connection arm 221 is moved to protrude from the movable arm 21, the second connection arm 222 is the first connection arm 221 in the direction in which the first connection arm 221 protrudes. Can be protruded from. The support arm 23 may be movably coupled to the second connection arm 222, and may move in conjunction with the second connection arm 222 by the interlocking mechanism 3. . When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the support arm 23 is the second connection arm 222 in the direction in which the second connection arm 222 protrudes. Can protrude from).

도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 하나의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)에서 상기 지지암(23)을 향하는 타면에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 3개 이상의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)들은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 베이스프레임(1a)에 가장 가깝게 위치된 것은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치된 것에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.Although not shown, the connection mechanism 22 may include one connection arm 221. In this case, one surface of the connection arm 221 facing the base frame 1a may be movably coupled to the movement arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to the other surface of the connection arm 221 toward the support arm 23. Although not shown, the connecting mechanism 22 may include three or more connecting arms 221. In this case, the connection arms 221 may be moved in cooperation with each other by the linkage mechanism (3). The one closest to the base frame 1a of the connection arms 221 may be movably coupled to the movement arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to one of the connection arms 221 that is located closest to the support arm 23.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 연결암들(221, 222)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함할 수 있다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 연결암들(221, 222) 각각에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 연결암들(221, 222)이 각각 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있으나 그만큼 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력이 저하될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(23)에 처짐이 발생할 수 있고, 상기 지지암(23)에 기판이 지지된 경우에는 상기 지지암(23)에 처짐이 발생될 가능성이 높아지게 된다. 이와 같이 상기 지지암(23)에 처짐이 발생하는 것을 방지하기 위해, 상기 연결암들(221, 222) 중 적어도 하나는 지지력을 보강하기 위한 보강부재(22a)를 포함할 수 있다. 상기 보강부재(22a)는 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에 연결되게 형성됨으로써 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 지지력을 보강할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 보강부재(22a)는 상기 제1연결암(221)이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b)에 연결되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)을 지지하기 위한 상기 제1연결암(221)의 지지력을 보강할 수 있고, 이로 인해 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 상기 제2연결암(222)의 지지력을 보강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)에만 형성될 수도 있고, 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 모두에 형성될 수도 있다. 상기 보강부재(22a)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 길이보다 짧은 길이로 형성될 수 있다. 상기 보강부재(22a)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 지지암(23)에도 형성될 수 있다.5 and 6, the connection arms 221 and 222 may have two connection frames 221a, 221b, 222a, each having a long bar shape in a direction in which the movement arm 21 moves. 222b). The linkage mechanism 3 may be coupled to the connection frames 221a, 221b, 222a, and 222b, respectively, and may be moved in association with the linkage mechanism 3. The connecting frames 221a, 221b, 222a, and 222b are positioned at a distance apart from each other in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction). Accordingly, the weight of each of the connection arms 221 and 222 can be reduced, and sagging due to weight can be prevented from occurring in each of the connection arms 221 and 222. When the connecting arms 221 and 222 each include two connecting frames 221a, 221b, 222a and 222b, the weight of each of the connecting arms 221 and 222 can be reduced, but the support The supporting force for supporting the arm 23 may be lowered. Accordingly, deflection may occur in the support arm 23, and when the substrate is supported by the support arm 23, the possibility of deflection in the support arm 23 may increase. In order to prevent the deflection from occurring in the support arm 23 as described above, at least one of the connection arms 221 and 222 may include a reinforcing member 22a for reinforcing the bearing force. The reinforcing member 22a is formed to be connected to the two connecting frames 221a, 221b, 222a, and 222b of each of the connecting arms 221 and 222, so that the supporting force of the connecting arms 221 and 222 has. Can be reinforced. For example, when the connecting mechanism 22 includes the first connecting arm 221 and the second connecting arm 222, the reinforcing member 22a may be provided with two pieces of the first connecting arm 221. It may be formed to be connected to the connection frames (221a, 221b). Accordingly, the reinforcing member 22a may reinforce the supporting force of the first connection arm 221 for supporting the second connection arm 222, thereby supporting the support arm 23. The support force of the second connection arm 222 may be reinforced. Although not shown, the reinforcing member 22a may be formed only on the second connection arm 222, or may be formed on both the first connection arm 221 and the second connection arm 222. The reinforcing member 22a may be formed to have a length shorter than the length of the connecting arms 221 and 222 in the direction in which the moving arm 21 moves. The reinforcing member 22a may be formed in a rectangular plate shape as a whole. Although not shown, the reinforcing member 22a may be formed on the support arm 23.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)에 이동 가능하게 결합된다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21) 및 상기 연결기구(22)와 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 연결암들(221, 222) 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치한 것에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 3 to 5, the support arm 23 is movably coupled to the connection mechanism 22. Referring to FIG. 5, the support arm 23 may be positioned above the connecting mechanism 22. As shown in FIG. 4, the support arm 23 may be moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the support arm 23 is connected to the connecting mechanism 22 in the first direction (A arrow direction). Can be protruded from). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the support arm 23 is connected to the connecting mechanism 22 in the second direction (B arrow direction). Can be protruded from). The support arm 23 may be positioned to overlap with the moving arm 21 and the connecting mechanism 22 in the base frame 1a. When the connection mechanism 22 includes a plurality of connection arms 221 and 222, the support arm 23 is located closest to the support arm 23 among the connection arms 221 and 222. It can be movably coupled. For example, when the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the support arm 23 is movable to the second connection arm 222. Can be combined. The support arm 23 may move to protrude from the second connection arm 222 in a direction in which the second connection arm 222 is protruded from the first connection arm 221.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함할 수 있다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 2개의 연결프레임들(222a, 222b)에는 각각 상기 지지프레임들(23a, 23b)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 지지암(23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 지지암(23)에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 5 and 6, the support arm 23 may include two support frames 23a and 23b formed in a long bar shape in the direction in which the movable arm 21 moves. The linkage mechanism 3 may be coupled to the support frames 23a and 23b, respectively, and may be moved in cooperation with the linkage mechanism 3. When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the support frames 23a and 23b are movably coupled to the two connection frames 222a and 222b, respectively. Can be. The support frames 23a and 23b are positioned apart from each other by a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction). Accordingly, the weight of the support arm 23 can be reduced, and the sagging of the support arm 23 can be prevented from occurring.

상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지할 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 기판은 상기 지지암(23)의 상측에 지지될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지하기 위한 지지부재(231)를 포함할 수 있다. 도 4의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 지지부재(231)는 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있다. 상기 지지부재(231)는 중앙 부분에 형성된 홈(2311)과 상기 홈(2311)에 의해 고리형태로 형성된 지지면(2312)을 포함할 수 있다. 상기 기판은 상기 지지면(2312)에 접촉되어 지지될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부재(231)는 상기 홈(2311)에 의해 상기 기판에 접촉되는 면적을 줄임으로써 상기 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 상기 지지면(2312)에 의해 상기 기판을 충분한 지지력으로 지지할 수 있다. 상기 홈(2311)은 원반형태로 형성될 수 있고, 상기 지지면(2312)은 원형 고리형태로 형성될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 지지부재(231)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부재(231)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 소정 간격으로 이격되어 복수개가 설치될 수 있다. 상기 지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지부재(231)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b)에 각각 복수개가 설치될 수 있다.The support arm 23 may support the substrate. Referring to FIG. 5, the substrate may be supported above the support arm 23. The support arm 23 may include a support member 231 for supporting the substrate. As shown in an enlarged view of FIG. 4, the support member 231 may be formed in a disk shape as a whole. The support member 231 may include a groove 2311 formed in the center portion and a support surface 2312 formed in a ring shape by the groove 2311. The substrate may be in contact with and supported by the support surface 2312. Accordingly, the support member 231 can prevent the substrate from being damaged by reducing the area in contact with the substrate by the groove 2311, and the support surface 2312 is sufficient to support the substrate. I can support it. The groove 2311 may be formed in a disk shape, and the support surface 2312 may be formed in a circular ring shape. The support arm 23 may include a plurality of the support members 231. In this case, the support member 231 may be spaced apart at predetermined intervals in the direction in which the movable arm 21 moves. When the support arm 23 includes two support frames 23a and 23b, a plurality of support members 231 may be installed on the support frames 23a and 23b, respectively.

도 5 내지 도 8을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)을 서로 연동하여 이동시킬 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)에 결합될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 복수개의 피니언기어 및 복수개의 랙기어를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 이동되면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 피니언기어들의 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 피니언기어들은 각각 상기 암들(21, 22, 23) 각각이 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 갖는 길이를 기준으로, 가운데 부분에 위치되게 상기 암들(21, 22, 23)에 결합될 수 있다.5 to 8, the linkage mechanism 3 may move the arms 21, 22, and 23 of the arm mechanism 2 in cooperation with each other. The linkage mechanism 3 may be coupled to the arm mechanism 2. The interlock mechanism 3 may include a plurality of pinion gears and a plurality of rack gears. The pinion gears convert linear motion by the drive unit 4 into rotational motion, and the rack gears convert rotation motion by the pinion gear into linear motion. Accordingly, when any one of the arms (21, 22, 23) is moved by the drive unit (4), the pinion gears convert a linear motion into a rotational motion, the rack gears the rotational motion of the pinion gears By converting the linear motion, the arms (21, 22, 23) can be moved in conjunction with each other. The pinion gears may be coupled to the arms 21, 22, and 23 so that each of the arms 21, 22, and 23 may be positioned at a central portion of the arm 21, 22, and 23, respectively, based on a length of the arms 21, 22, and 23 in the direction in which the movable arms 21 move. have.

상기 연동기구(3)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합된 베이스랙기어(31), 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32), 상기 연결기구(22)에 결합된 연결랙기어(33)와 연결피니언기어(34), 및 상기 지지암(33)에 결합된 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다.The linkage mechanism 3 includes a base rack gear 31 coupled to the base frame 1a, a movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21, and a linkage rack gear coupled to the coupling mechanism 22. Reference numeral 33 may include a connecting pinion gear 34 and a support rack gear 35 coupled to the support arm 33.

상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)을 향하는 면에 설치된다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 베이스프레임(1a)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 베이스랙기어(31)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다.The base rack gear 31 is installed on the surface facing the moving arm 21 in the base frame (1a). Referring to FIG. 5, the base rack gear 31 may be installed on an upper surface of the base frame 1a. The base rack gear 31 may be formed to have a length corresponding to the length of the base frame 1a in the direction in which the movable arm 21 moves. The interlock mechanism 3 may include a plurality of base rack gears 31. The base rack gears 31 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6).

상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되게 상기 이동암(21)에 결합될 수 있다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 이동피니언기어(32)를 포함할 수 있고, 상기 이동피니언기어(32)들은 상기 이동암(21)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 베이스랙기어(31)를 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 베이스프레임(1a)에 설치될 수 있다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 이동암(21)의 가운데 부분에 위치되게 상기 이동암(21)에 결합될 수 있다.The movable pinion gear 32 is rotatably coupled to the movable arm 21. The movable pinion gear 32 may be coupled to the movable arm 21 to be engaged with the base rack gear 31. The movable pinion gear 32 may be rotated by being engaged with the base rack gear 31 as the movable arm 21 is moved. The linkage mechanism 3 may include a plurality of the movable pinion gear 32. The linkage mechanism 3 may include two movable pinion gears 32, and the movable pinion gears 32 may be rotatably coupled to both sides of the movable arm 21, respectively. Both side surfaces of the movable arm 21 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 is moved (C-axis direction, shown in FIG. 6). The linkage mechanism 3 may include the base rack gear 31 in a number corresponding to the movable pinion gears 32. The base rack gear 31 may be installed in the base frame 1a at a position where the movable pinion gear 32 may be engaged. The movable pinion gear 32 may be coupled to the movable arm 21 so as to be positioned at the center of the movable arm 21 based on the length of the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 moves. have.

상기 연결랙기어(33)는 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결랙기어(33)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 연결랙기어(33)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결랙기어(33)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되어 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.The connecting rack gear 33 is coupled to the connecting mechanism 22. The connecting rack gear 33 may be formed in a length corresponding to the length of the connecting mechanism 22 in the direction in which the movable arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of connecting rack gears 33. The connecting rack gears 33 may be coupled to the connecting mechanism 22 by being spaced apart by a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). .

상기 연결피니언기어(34)는 상기 연결기구(22)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 연동기구(3)는 상기 연결피니언기어(34)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결피니언기어(34)들은 상기 연결기구(22)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결기구(22)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연결피니언기어(34)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이를 기준으로, 상기 연결기구(22)의 가운데 부분에 위치되게 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.The connecting pinion gear 34 is rotatably coupled to the connecting mechanism 22. The interlock mechanism 3 may include a plurality of connection pinion gears 34. The connecting pinion gears 34 may be rotatably coupled to both sides of the connecting mechanism 22, respectively. Both side surfaces of the coupling mechanism 22 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 is moved (C-axis direction, shown in FIG. 6). The connecting pinion gear 34 may be positioned at the center portion of the connecting mechanism 22 based on the length of the connecting mechanism 22 in the direction in which the movable arm 21 moves. Can be combined.

상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 상기 연결암(221, 222)들에 각각 결합되는 복수개의 연결랙기어(33)와 복수개의 연결피니언기어(34)를 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331), 제1연결피니언기어(341), 제2연결랙기어(332), 및 제2연결피니언기어(342)를 포함할 수 있다.When the coupling mechanism 22 includes a plurality of coupling arms 221 and 222, the linkage mechanism 3 is coupled to the coupling arms 221 and 222, respectively. And a plurality of connecting pinion gears 34. For example, when the connecting mechanism 22 includes the first connecting arm 221 and the second connecting arm 222, the linkage mechanism 3 may include a first connecting rack gear 331 and a first connection. It may include a pinion gear 341, a second connecting rack gear 332, and a second connecting pinion gear 342.

상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림되어 상기 이동피니언기어(32)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 이동피니언기어(32)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제1연결랙기어(331)가 결합된 상기 제1연결암(221)이 이동될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 이동암(21)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 제1연결랙기어(331)를 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다. The first connecting rack gear 331 is coupled to the first connecting arm 221. The first connecting rack gear 331 is engaged with the movable pinion gear 32 so that the movable pinion gear 32 is rotated. When the first connecting rack gear 331 moves as the movable pinion gear 32 is rotated, the first connecting arm 221 to which the first connecting rack gear 331 is coupled may move. The first connecting rack gear 331 may be installed on one surface of the first connecting arm 221 facing the moving arm 21. Referring to FIG. 5, the first connecting rack gear 331 may be installed on the bottom surface of the first connecting arm 221. The first connecting rack gear 331 may be formed in a length corresponding to the length of the first connecting arm 221 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of first connecting rack gears 331. The first connecting rack gears 331 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). When the first connection arm 221 includes two connection frames 221a and 221b, the first connection rack gears 331 may be installed in each of the connection frames 221a and 221b. The interlock mechanism 3 may include the first connecting rack gear 331 in a number corresponding to the movable pinion gears 32. The first connecting rack gear 331 may be installed on the first connecting arm 221 at a position where the movable pinion gear 32 may be engaged.

상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제1연결피니언기어(341)를 포함할 수 있고, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 제1연결암(221)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1연결암(221)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제1연결암(221)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제1연결암(221)에 결합될 수 있다.The first connecting pinion gear 341 is rotatably coupled to the first connecting arm 221. The first connection pinion gear 341 may be rotated as the first connection arm 221 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of first connecting pinion gears 341. The interlock mechanism 3 may include two first connecting pinion gears 341, and the first connecting pinion gears 341 may be rotatably coupled to both sides of the first connecting arm 221, respectively. Can be. Both side surfaces of the first connection arm 221 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). When the first connection arm 221 includes two connection frames 221a and 221b, the first connection pinion gears 341 may be installed in each of the connection frames 221a and 221b. The first connection pinion gear 341 may be positioned at a central portion of the first connection arm 221 based on a length of the first connection arm 221 in the direction in which the movable arm 21 moves. It may be coupled to the first connection arm 221.

상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에서 상기 제1연결암(221)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 제2연결랙기어(332)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 제2연결랙기어(332)를 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제2연결암(222)에 설치될 수 있다. The second connecting rack gear 332 is coupled to the second connecting arm 222. The second connecting rack gear 332 may be engaged with the first connecting pinion gear 341 to move as the first connecting pinion gear 341 is rotated. When the second connection rack gear 332 is moved as the first connection pinion gear 341 is rotated, the second connection arm 222 coupled with the second connection rack gear 332 may be moved. have. The second connection rack gear 332 may be installed on one surface of the second connection arm 222 facing the first connection arm 221. Referring to FIG. 5, the second connection rack gear 332 may be installed on the bottom surface of the second connection arm 222. The second connecting rack gear 332 may be formed to have a length corresponding to the length of the second connecting arm 222 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of second connecting rack gears 332. The second connecting rack gears 332 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the second connection rack gears 332 may be installed in each of the connection frames 222a and 222b. The interlock mechanism 3 may include the second connecting rack gear 332 in a number corresponding to the first connecting pinion gears 341. The second connecting rack gear 332 may be installed on the second connecting arm 222 at a position where the first connecting pinion gear 341 may be engaged.

상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제2연결피니언기어(342)를 포함할 수 있고, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 제2연결암(222)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2연결암(222)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제2연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제2연결암(222)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제2연결암(222)에 결합될 수 있다. 도 5에는 상기 이동암(21), 상기 제1연결암(221), 상기 제2연결암(222), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되게 적층되었을 때, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)가 동일한 수직선상에 위치되지 않은 것으로 도시되었으나, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)는 동일한 수직선상에 위치될 수 있다.The second connection pinion gear 342 is rotatably coupled to the second connection arm 222. The second connection pinion gear 342 may be rotated as the second connection arm 222 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of second connecting pinion gears 342. The linkage mechanism 3 may include two second connection pinion gears 342, and the second connection pinion gears 342 may be rotatably coupled to both sides of the second connection arm 222, respectively. Can be. Both side surfaces of the second connection arm 222 are two side surfaces facing a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the second connection pinion gears 342 may be installed in each of the connection frames 222a and 222b. The second connection pinion gear 341 may be positioned at a central portion of the second connection arm 222 based on a length of the second connection arm 222 in a direction in which the movable arm 21 moves. It may be coupled to the second connection arm 222. In FIG. 5, when the movable arm 21, the first connecting arm 221, the second connecting arm 222, and the support arm 23 are stacked to overlap each other in the base frame 1a, the Although the movable pinion gear 32, the first connecting pinion gear 341, and the second connecting pinion gear 342 are not shown on the same vertical line, the movable pinion gear 32 and the first The connecting pinion gear 341 and the second connecting pinion gear 342 may be located on the same vertical line.

도 5 내지 도 8을 참고하면, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에서 상기 제2연결암(222)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 지지암(23)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 지지랙기어(35)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지랙기어(35)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 지지암(23)에 설치될 수 있다.5 to 8, the support rack gear 35 is coupled to the support arm 23. The support rack gear 35 may be engaged with the second connecting pinion gear 342 to move as the second connecting pinion gear 342 is rotated. When the support rack gear 35 is moved as the second connecting pinion gear 342 is rotated, the support arm 23 to which the support rack gear 35 is coupled may move. The support rack gear 35 may be installed on one surface of the support arm 23 facing the second connection arm 222. Referring to FIG. 5, the support rack gear 35 may be installed on the bottom surface of the support arm 23. The support rack gear 35 may be formed to have a length corresponding to the length of the support arm 23 in the direction in which the movable arm 21 moves. The linkage mechanism 3 may include a plurality of support rack gears 35. The support rack gears 35 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). When the second support arm 23 includes two support frames 23a and 23b, the support rack gears 35 may be installed in each of the support frames 23a and 23b. The linkage mechanism 3 may include the support rack gear 35 in a number corresponding to the second connection pinion gears 342. The support rack gear 35 may be installed on the support arm 23 at a position where the second connection pinion gear 342 may be engaged.

도 5 내지 도 8을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에 결합된다. 상기 이동랙기어(36)에는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있다. 즉, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)에 각각 맞물림될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1연결암(221)이 이동되면, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전되어 상기 제2연결랙기어(332)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면에 설치될 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 이동랙기어(36)를 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 이동암(22)에 설치될 수 있다. 5 to 8, the linkage mechanism 3 may include a movable rack gear 36. The movable rack gear 36 is coupled to the movable arm 21. The first connecting pinion gear 341 may be engaged with the movable rack gear 36. That is, the first connecting pinion gear 341 may be engaged with the movable rack gear 36 and the second connecting rack gear 332, respectively. Accordingly, when the first connecting arm 221 is moved, the first connecting pinion gear 341 may be rotated along the movable rack gear 36 to move the second connecting rack gear 332. . When the second connection rack gear 332 is moved as the first connection pinion gear 341 is rotated, the second connection arm 222 coupled with the second connection rack gear 332 may be moved. have. The movable rack gear 36 may be installed on the other surface opposite to one surface facing the base frame 1a in the movable arm 21. Referring to FIG. 5, the movable rack gear 36 may be installed on the upper surface of the movable arm 21. The movable rack gear 36 may have a length corresponding to the length of the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 moves. The interlock mechanism 3 may include a plurality of movable rack gears 36. The movable rack gears 36 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). The interlock mechanism 3 may include the movable rack gear 36 in a number corresponding to the first connecting pinion gears 341. The movable rack gear 36 may be installed on the movable arm 22 at a position where the first connecting pinion gear 341 may be engaged.

도 5 내지 도 8을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 제3연결랙기어(333)를 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제3연결랙기어(333)에는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있다. 즉, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)와 상기 지지랙기어(35)에 각각 맞물림될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)이 이동되면, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전되어 상기 지지랙기어(35)를 이동시킬 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동될 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 제1연결랙기어(331)가 설치된 일면에 대해 반대되는 타면에 설치될 수 있다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제3연결랙기어(333)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 6에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 제3연결랙기어(333)를 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다. 5 to 8, the linkage mechanism 3 may include a third connecting rack gear 333. The third connecting rack gear 333 is coupled to the first connecting arm 221. The second connecting pinion gear 342 may be engaged with the third connecting rack gear 333. That is, the second connecting pinion gear 342 may be engaged with the third connecting rack gear 333 and the support rack gear 35, respectively. Accordingly, when the second connection arm 222 is moved, the second connection pinion gear 342 may be rotated along the third connection rack gear 333 to move the support rack gear 35. . When the support rack gear 35 is moved as the second connecting pinion gear 342 is rotated, the support arm 23 to which the support rack gear 35 is coupled may move. The third connecting rack gear 333 may be installed on the other surface opposite to one surface on which the first connecting rack gear 331 is installed in the first connecting arm 221. Referring to FIG. 5, the third connecting rack gear 333 may be installed on an upper surface of the first connecting arm 221. The third connecting rack gear 333 may be formed in a length corresponding to the length of the first connecting arm 221 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of third connecting rack gears 333. The third connecting rack gears 333 may be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 6). The interlock mechanism 3 may include the third connecting rack gear 333 in a number corresponding to the second connecting pinion gears 342. The third connecting rack gear 333 may be installed on the first connecting arm 221 at a position where the second connecting pinion gear 342 may be engaged.

이하에서는 상기 암기구(2)와 상기 연동기구(3)의 작동관계에 관해 첨부된 도 5 내지 도 8을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation relationship between the arm mechanism 2 and the linkage mechanism 3 will be described in detail with reference to FIGS. 5 to 8.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치된 상태이다. 이 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 4에 도시됨)이 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킨다. 예컨대, 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. First, as shown in FIG. 5, the arms 21, 22, and 23 of the female mechanism 2 are positioned to overlap each other in the base frame 1a. In this state, the drive unit 4 (shown in FIG. 4) moves any of the arms 21, 22, 23 in the first direction (A arrow direction). For example, the driving unit 4 may move the moving arm 21 in the first direction (A arrow direction).

다음, 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라, 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전된다. 상기 이동피니언기어(32)가 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전되면, 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림된 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다. Next, when the movable arm 21 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 7, the movable arm 21 is moved to the base frame 1a in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from. As the movable arm 21 is moved, the movable pinion gear 32 is engaged with the base rack gear 31 and rotates along the base rack gear 31. When the movable pinion gear 32 is rotated along the base rack gear 31, the first connecting rack gear 331 meshed with the movable pinion gear 32 moves in the first direction (A arrow direction). Is moved.

다음, 상기 제1연결랙기어(311)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1연결암(221)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되어 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전된다. 상기 제1연결피니언기어(341)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전되면, 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림된 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다.Next, when the first connection rack gear 311 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 7, the first connection arm 221 is moved in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from the movable arm (21). As the first connecting arm 221 is moved, the first connecting pinion gear 341 is engaged with the movable rack gear 36 and rotates along the movable rack gear 36. When the first connecting pinion gear 341 is rotated along the movable rack gear 36, the second connecting rack gear 332 meshed with the first connecting pinion gear 341 moves in the first direction (A). Arrow direction).

다음, 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)에 맞물림되어 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전된다. 상기 제2연결피니언기어(342)가 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전되면, 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림된 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다.Next, when the second connection rack gear 332 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 7, the second connection arm 222 is moved in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from the first connection arm (221). As the second connecting arm 222 is moved, the second connecting pinion gear 342 is engaged with the third connecting rack gear 333 and rotates along the third connecting rack gear 333. When the second connecting pinion gear 342 is rotated along the third connecting rack gear 333, the support rack gear 35 meshed with the second connecting pinion gear 342 is moved in the first direction (A). Arrow direction).

다음, 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동된다. 상술한 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동됨으로써, 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 위치될 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 4에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 이동될 수 있다. 그리고, 상기 구동유닛(4, 도 4에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 더 이동시키면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다.Next, when the support rack gear 35 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 7, the support arm 23 moves to the second direction in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from the connecting arm 222. As described above, the arms 21, 22, and 23 may be positioned to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) by moving in cooperation with each other by the linkage mechanism 3. have. The driving unit 4 (shown in FIG. 4) is moved in the state in which the arms 21, 22, and 23 are moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction). When the 21 is moved in the second direction (B arrow direction), as shown in FIG. 5, the arms 21, 22, and 23 may be moved to overlap each other in the base frame 1a. Further, when the driving unit 4 (shown in FIG. 4) further moves the moving arm 21 in the second direction (the direction of arrow B), the arms 21, 22, 23 as shown in FIG. 8. ) May be protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction).

도 5, 도 9 및 도 10을 참고하면, 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 적어도 하나는 제1서브피니언기어(3a)와 제2서브피니언기어(3b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 서로 연결되게 형성되고, 이에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제1랙기어(3c)에 맞물림된다. 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제2랙기어(3d)에 맞물림된다. 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)는 서로 다른 암들(21, 22, 23)에 결합된다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 제1랙기어(3c)에 맞물림되어 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전될 수 있고, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)에 맞물림되어 상기 제2랙기어(3d)를 이동시킬 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 갖는 제1직경(D1)은 상기 제2서브피니언기어(3b)가 갖는 제2직경(D2)보다 작은 크기로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)가 소정 각도(R)로 회전되면, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제1서브피니언기어(3a)가 회전된 거리(L1)보다 큰 거리(L2)로 회전될 수 있다. 따라서, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전된 거리에 비해, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)를 더 큰 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 단축시킬 수 있다.5, 9, and 10, at least one of the pinion gears 32 and 34 of the interlock mechanism 3 includes the first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b. It may include. The first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b may be connected to each other, and thus may be rotated together. The first sub-pinion gear 3a is engaged with the first rack gear 3c among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3. The second sub-pinion gear 3b is engaged with the second rack gear 3d among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3. The first rack gear 3c and the second rack gear 3d are coupled to different arms 21, 22, and 23. The first sub-pinion gear 3a may be engaged with the first rack gear 3c to rotate along the first rack gear 3c, and the second sub-pinion gear 3b may be rotated along the second rack. The second rack gear 3d may be moved by being engaged with the gear 3d. As shown in FIG. 10, the first diameter D1 of the first sub-pinion gear 3a may be smaller than the second diameter D2 of the second sub-pinion gear 3b. have. Accordingly, when the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b are rotated by a predetermined angle R, the second sub-pinion gear 3b is the first sub-pinion gear 3a. ) May be rotated by a distance L2 greater than the rotated distance L1. Accordingly, the second sub-pinion gear 3b is larger than the distance of the first sub-pinion gear 3a rotated along the first rack gear 3c. Can be moved to Accordingly, the substrate transfer device 1 according to the present invention reduces the time taken to move the arms 21, 22, and 23 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). As a result, the work time required to perform the loading process and the unloading process can be shortened.

상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하는 피니언기어들(32, 34)은, 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)에 맞물림된 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)도 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하지 않는 피니언기어들(32, 34)은, 도 5에 도시된 바와 같이 수직방향으로 설치될 수 있고, 이에 맞물림된 랙기어들(31, 33, 35)도 수직방향으로 설치될 수 있다.Among the pinion gears 32 and 34 of the linkage mechanism 3, the pinion gears 32 and 34 including the first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b are the When the arms 21, 22, and 23 are overlapped with each other in the base frame 1a and defined as a vertical direction, the arms 21, 22, and 23 may be installed in a horizontal direction. The first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b may be formed to be spaced apart by a predetermined distance in the vertical direction. Among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3, the first rack gear 3c meshed with the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b; The second rack gear 3d may also be installed in the horizontal direction. Among the pinion gears 32 and 34 of the linkage mechanism 3, the pinion gears 32 and 34 which do not include the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b are, As shown in FIG. 5, it may be installed in the vertical direction, and the rack gears 31, 33, and 35 engaged therewith may also be installed in the vertical direction.

예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제1연결피니언기어(331)는 제1서브연결피니언기어(331a) 및 제2서브연결피니언기어(331b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 서로 연결되게 형성된다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되고, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)에 맞물림된다. 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 갖는 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제1연결피니언기어(331)가 결합된 제1연결암(221)이 이동되면, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 회전된 거리보다 큰 거리로 회전될 수 있다. 따라서, 상기 제1서브연결피니언기어(331)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전된 거리에 비해, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)를 더 큰 거리로 이동시킴으로써 상기 제2연결암(222)이 이동되는 속도를 증가시킬 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 11, the first connecting pinion gear 331 may include a first sub connecting pinion gear 331a and a second sub connecting pinion gear 331b. The first sub connection pinion gear 331a and the second sub connection pinion gear 331b are formed to be connected to each other. The first sub connection pinion gear 331a is engaged with the movable rack gear 36, and the second sub connection pinion gear 331b is engaged with the second connection rack gear 332. The second sub connection pinion gear 331b is formed to have a diameter larger than the diameter of the first sub connection pinion gear 331a. Accordingly, when the first connecting arm 221 coupled with the first connecting pinion gear 331 is moved, the second sub connecting pinion gear 331b is rotated by the first sub connecting pinion gear 331a. It can be rotated to a distance greater than the distance. Accordingly, the second sub connecting pinion gear 331b further extends the second connecting rack gear 332 as compared with the distance at which the first sub connecting pinion gear 331 is rotated along the movable rack gear 36. By moving at a larger distance, the speed at which the second connection arm 222 is moved can be increased.

상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)는 소정 거리 이격되게 수평방향으로 설치될 수 있고, 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)에 각각 맞물림되는 부분이 서로 마주보게 설치될 수 있다.The first sub-connected pinion gear 331a and the second sub-connected pinion gear 331b are defined as vertical directions in which the arms 21, 22, and 23 are overlapped and stacked in the base frame 1a. When installed, it can be installed in the horizontal direction. The first sub connection pinion gear 331a and the second sub connection pinion gear 331b may be formed to be spaced apart a predetermined distance in the vertical direction. The movable rack gear 36 and the second connecting rack gear 332 may be installed in a horizontal direction to be spaced apart by a predetermined distance, and the first sub connecting pinion gear 331a and the second sub connecting pinion gear 331b. The parts engaged with each other may be installed to face each other.

도 4 내지 도 8을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 이동시킨다. 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)에 결합될 수 있고, 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 회전되고, 이에 따라 상기 연결기구(22)와 상기 지지암(23)이 연동하여 이동될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)에 결합될 수도 있고, 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)을 이동시킬 수도 있다.4 to 8, the driving unit 4 moves any one of the arms 21, 22, and 23. The driving unit 4 may be coupled to the movable arm 21 and move the movable arm 21. When the driving unit 4 moves the movable arm 21, the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 is rotated, whereby the connecting mechanism 22 and the support arm 23 are rotated. Can be moved in conjunction. Although not shown, the drive unit 4 may be coupled to the connection mechanism 22 or the support arm 23, or may move the connection mechanism 22 or the support arm 23.

상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다.The driving unit 4 may move the moving arm 21 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the driving unit 4 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction), the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 may be rotated clockwise. Accordingly, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be moved in the first direction (A arrow direction). When the driving unit 4 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction), the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 may be rotated counterclockwise. Accordingly, the connection mechanism 22 and the support arm 23 may be moved in the second direction (B arrow direction).

상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 제1위치와 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 제1위치는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되는 위치이다. 예컨대, 상기 제1위치는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치, 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치이다. 상기 제2위치는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 중첩되게 적층되는 위치이다.The driving unit 4 may move the movable arm 21 such that the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are positioned at any one of a first position and a second position. have. The first position is a position at which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 protrude from the base frame 1a. For example, as shown in FIG. 7, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are arranged in the first direction (the arrow direction A) in the base frame 1a. ) And the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are projected from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction) as shown in FIG. ) Is the position protruding from. As shown in FIG. 5, the second position is a position in which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are stacked in the base frame 1a so as to overlap each other.

도 4 및 도 6을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 리니어모터(Linear Motor)일 수 있다. 이 경우, 상기 구동유닛(4)은 상기 베이스프레임(1a)에 설치된 코일기구(41) 및 상기 이동암(21)에 결합된 이동기구(42)를 포함할 수 있다. 상기 코일기구(41)는 상기 베이스프레임(1a)에 고정되게 설치되고, 상기 이동기구(42)는 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)에는 복수개의 영구자석(421)이 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동기구(42)에서 상기 코일기구(41)을 향하는 일면에 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 서로 인접하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)는 상기 코일기구(41)와 상기 영구자석(421)들 간에 작용하는 전자력에 의해 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 이동기구(42)가 이동됨에 따라, 상기 이동기구(42)에 결합된 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 4 and 6, the driving unit 4 may be a linear motor. In this case, the driving unit 4 may include a coil mechanism 41 installed on the base frame 1a and a moving mechanism 42 coupled to the moving arm 21. The coil mechanism 41 may be installed to be fixed to the base frame 1a, and the moving mechanism 42 may be installed to be movable to the base frame 1a. The moving mechanism 42 is provided with a plurality of permanent magnets 421. The permanent magnets 421 are installed on one surface of the moving mechanism 42 toward the coil mechanism 41. The permanent magnets 421 may be installed adjacent to each other in the direction in which the moving arm 21 is moved. The moving mechanism 42 may be moved in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction) by an electromagnetic force acting between the coil mechanism 41 and the permanent magnets 421. have. As the moving mechanism 42 is moved, the moving arm 21 coupled to the moving mechanism 42 may move in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction).

도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식 등을 이용하여 상기 이동암(21)을 이동시킬 수도 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 상기 베이스프레임(1a)에 결합된 LM(Linear Motion)레일, 및 상기 이동기구(42)에 결합된 LM(Linear Motion)블럭을 포함할 수 있다. 상기 이동기구(42)에 결합된 LM블럭은 상기 베이스프레임(1a)에 결합된 LM레일에 이동 가능하게 결합되고, 이에 따라 상기 이동기구(42)는 상기 LM레일과 상기 LM블럭에 의해 직선 이동될 수 있다.Although not shown, the drive unit 4 is a cylinder method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a gear method using a motor, a rack gear and a pinion gear, etc., a ball screw method using a motor and a ball screw, a motor and a pulley and The moving arm 21 may be moved by using a belt method using a belt or the like. Although not shown, the drive unit 4 may include a linear motion (LM) rail coupled to the base frame 1a and a linear motion (LM) block coupled to the moving mechanism 42. The LM block coupled to the moving mechanism 42 is movably coupled to the LM rail coupled to the base frame 1a. Accordingly, the moving mechanism 42 linearly moves by the LM rail and the LM block. Can be.

도 4 및 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 구동유닛(4)의 양측에 결합되고, 상기 구동유닛(4)에 의해 함께 이동될 수 있다. 상기 구동유닛(4)에는 상기 암기구(2)들의 이동암(21)들이 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)들은 각각 상기 이동기구(42)의 양측에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 대형화된 기판의 경우, 상기 암기구(2)들이 상기 기판을 분담하여 지지함으로써 상기 기판이 갖는 무게에 의해 상기 암기구(2)들에 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)들이 하나의 구동유닛(4)에 의해 이동되도록 함으로써, 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암기구(2)들이 동일한 거리로 이동되도록 용이하게 제어할 수 있다.4 and 6, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of arm mechanisms 2. The female mechanisms 2 may be movably coupled to the base frame 1a, respectively. The arm mechanisms 2 are respectively coupled to both sides of the drive unit 4, and can be moved together by the drive unit 4. The moving arms 21 of the arm mechanisms 2 may be coupled to the driving unit 4. The moving arms 21 may be coupled to both sides of the moving mechanism 42, respectively. Therefore, in the case of a large-sized substrate, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention sags the female mechanisms 2 due to the weight of the substrate by the female mechanisms 2 sharing and supporting the substrates. It can be prevented from occurring. In addition, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm mechanisms 2 are moved by one driving unit 4, thereby reducing the material cost, and performing the loading process and the unloading process. In the arm mechanism (2) can be easily controlled to move the same distance.

도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 복수개의 가이드기구(5)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 12, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of guide mechanisms 5.

상기 가이드기구(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23) 각각이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 가이드기구(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 이동되는 방향으로 길게 형성될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제1가이드기구(51), 제2가이드기구(52), 제3가이드기구(53), 및 제4가이드기구(54)를 포함할 수 있다.The guide mechanisms 5 may guide each of the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 to be linearly moved. The guide mechanisms 5 may be elongated in a direction in which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 move. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a first guide mechanism 51, a second guide mechanism 52, a third guide mechanism 53, and a fourth guide mechanism 54.

상기 제1가이드기구(51)는 상기 베이스프레임(1a)과 상기 이동암(21) 사이에 위치된다. 상기 제1가이드기구(51)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합될 수 있다. 상기 제1가이드기구(51)에는 상기 이동암(21)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1가이드기구(51)는 상기 이동암(21)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1가이드기구(51)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제1가이드기구(51)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제1가이드기구(51)는 LM 레일일 수 있다.The first guide mechanism 51 is located between the base frame 1a and the movable arm 21. The first guide mechanism 51 may be coupled to the base frame 1a. The movable arm 21 may be movably coupled to the first guide mechanism 51. The first guide mechanism 51 may guide the moving arm 21 to move linearly. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of first guide mechanisms 51, and the first guide mechanisms 51 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 moves. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The first guide mechanism 51 may be an LM rail.

상기 제2가이드기구(52)는 상기 이동암(21)과 상기 제1연결암(221) 사이에 위치된다. 도 12를 기준으로 할 때, 상기 제2가이드기구(52)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 결합되고, 상기 이동암(21)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2가이드기구(52)는 상기 제1연결암(221)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2가이드기구(52) 또한 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가이드기구(52)는 상기 이동암(21)으로부터 돌출된 제1연결암(221)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2가이드기구(52)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제2가이드기구(52)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제2가이드기구(52)는 LM 레일일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 이동암(21)의 윗면에는 상기 제2가이드기구(52)가 이동 가능하게 결합되는 LM 블럭이 설치될 수도 있다.The second guide mechanism 52 is positioned between the movable arm 21 and the first connecting arm 221. Referring to FIG. 12, the second guide mechanism 52 may be coupled to the bottom surface of the first connection arm 221 and may be movably coupled to the top surface of the movable arm 21. The second guide mechanism 52 may guide the first connecting arm 221 to be linearly moved. When the first connecting arm 221 is moved to protrude from the movable arm 21, the second guide mechanism 52 may also be moved to protrude from the movable arm 21. Accordingly, the second guide mechanism 52 may reinforce a supporting force for supporting the first connection arm 221 protruding from the moving arm 21. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of second guide mechanisms 52, and the second guide mechanisms 52 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 moves. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The second guide mechanism 52 may be an LM rail. Although not shown, an LM block may be installed on the upper surface of the movable arm 21 to which the second guide mechanism 52 is movably coupled.

상기 제3가이드기구(53)는 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 사이에 위치된다. 도 12를 기준으로 할 때, 상기 제3가이드기구(53)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 결합되고, 상기 제1연결암(221)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제3가이드기구(53)는 상기 제2연결암(222)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제3가이드기구(53) 또한 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3가이드기구(53)는 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 제2연결암(222)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제3가이드기구(53)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제3가이드기구(53)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제3가이드기구(53)는 LM 레일일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제1연결암(221)의 윗면에는 상기 제3가이드기구(53)가 이동 가능하게 결합되는 LM 블럭이 설치될 수도 있다.The third guide mechanism 53 is located between the first connection arm 221 and the second connection arm 222. Referring to FIG. 12, the third guide mechanism 53 may be coupled to the bottom surface of the second connection arm 222 and movably coupled to the top surface of the first connection arm 221. The third guide mechanism 53 may guide the second connection arm 222 to move linearly. When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the third guide mechanism 53 may also be moved to protrude from the first connection arm 221. Accordingly, the third guide mechanism 53 may reinforce a supporting force for supporting the second connection arm 222 protruding from the first connection arm 221. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of third guide mechanisms 53, and the third guide mechanisms 53 may be perpendicular to a direction in which the moving arm 21 is moved ( C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The third guide mechanism 53 may be an LM rail. Although not shown, an LM block may be installed on the upper surface of the first connecting arm 221 to which the third guide mechanism 53 is movably coupled.

상기 제4가이드기구(54)는 상기 제2연결암(222)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 도 12를 기준으로 할 때, 상기 제4가이드기구(54)는 상기 지지암(23)의 밑면에 결합되고, 상기 제2연결암(222)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제4가이드기구(54)는 상기 지지암(23)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제4가이드기구(54) 또한 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4가이드기구(54)는 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제4가이드기구(54)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제4가이드기구(54)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제4가이드기구(54)는 LM 레일일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제2연결암(222)의 윗면에는 상기 제4가이드기구(54)가 이동 가능하게 결합되는 LM 블럭이 설치될 수도 있다.The fourth guide mechanism 54 is positioned between the second connection arm 222 and the support arm 23. Referring to FIG. 12, the fourth guide mechanism 54 may be coupled to the bottom surface of the support arm 23 and may be movably coupled to the top surface of the second connection arm 222. The fourth guide mechanism 54 may guide the support arm 23 to move linearly. When the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222, the fourth guide mechanism 54 may also protrude from the second connection arm 222. Accordingly, the fourth guide mechanism 54 may reinforce a supporting force for supporting the support arm 23 protruding from the second connection arm 222. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of fourth guide mechanisms 54, and the fourth guide mechanisms 54 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 is moved. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The fourth guide mechanism 54 may be an LM rail. Although not shown, an LM block may be installed on the upper surface of the second connection arm 222 to which the fourth guide mechanism 54 is movably coupled.

도 5, 도 13 내지 도 15를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제1백래쉬 보상기구(6)를 포함할 수 있다.5 and 13 to 15, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a first backlash compensation mechanism 6.

상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 경우, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 백래쉬(Backlash)란 한 쌍의 기어를 맞물렸을 때 치면 사이에 생기는 틈새를 의미한다. 한 쌍의 기어가 원활하게 맞물려 회전되기 위해서는 소정의 백래쉬가 필요한데, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에는 백래쉬에 의해 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들릴 수 있다. 따라서, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에는 백래쉬가 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 저하시키는 원인으로 작용할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.The first backlash compensation mechanism 6 is connected to the support rack gear 35 and the support rack gear 35 when the support arm 23 is moved to protrude from the connection mechanism 22. Backlash can be prevented from occurring between the gears 34. Backlash is the gap between teeth when you engage a pair of gears. In order for the pair of gears to smoothly engage and rotate, a predetermined backlash is required. After the support arm 23 is moved to protrude from the connecting mechanism 22, the support arm 23 is vibrated by a backlash. You can shake. Therefore, after the support arm 23 is moved to protrude from the connecting mechanism 22, the backlash may act as a cause of reducing the accuracy of the loading process and the unloading process. The first backlash compensation mechanism 6 is connected to the support rack gear 35 and the support rack gear 35 after the support arm 23 is moved to protrude from the connection mechanism 22. By preventing backlash from occurring between the gears 34, the support arm 23 can be prevented from shaking due to vibration and the like, thereby improving accuracy of the loading process and the unloading process. .

상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. When the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the first backlash compensation mechanism 6 may include the support rack gear 35 and the second connection arm. It is possible to prevent backlash from occurring between the connecting pinion gears 342. When the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the support rack 23 in the direction side opposite to the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 Backlash may occur between the gear 35 and the second connecting pinion gear 342. Accordingly, the first backlash compensation mechanism 6 moves the support arm 23 by moving the support arm 23 in a direction opposite to the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222. It is possible to prevent backlash from occurring between the 35 and the second connection pinion gear 342.

도 5 및 도 14를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 제1하우징(61), 제1이동부재(62), 제1탄성부재(63), 및 제1스토퍼(64)를 포함할 수 있다.5 and 14, the first backlash compensation mechanism 6 may include a first housing 61, a first moving member 62, a first elastic member 63, and a first stopper 64. It may include.

상기 제1하우징(61)은 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1하우징(61)은 상기 제2연결암(222)에 결합될 수 있다. 상기 제1하우징(61)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.The first housing 61 is coupled to the connecting mechanism 22. When the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the first housing 61 may be coupled to the second connection arm 222. . The first housing 61 may be formed in a rectangular shape as a whole.

상기 제1이동부재(62)는 상기 제1하우징(61)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1이동부재(62)는 일단과 타단이 상기 제1하우징(61)을 기준으로 상기 제1하우징(61) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제1하우징(61)에 삽입될 수 있다. 상기 제1하우징(61)은 상기 제1이동부재(62)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1이동부재(62)의 일단과 타단은 상기 제1하우징(61)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.The first moving member 62 is movably coupled to the first housing 61. One end and the other end of the first moving member 62 is positioned outside the first housing 61 based on the first housing 61, and a portion between the one end and the other end is located in the first housing 61. Can be inserted in The first housing 61 may include a through hole (not shown) for inserting the first moving member 62. One end and the other end of the first moving member 62 may be formed to have a larger size than the through hole formed in the first housing 61.

상기 제1탄성부재(63)는 일측이 상기 제1하우징(61)에 지지되고, 타측이 상기 제1이동부재(62)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제1이동부재(62)는 상기 제1탄성부재(63)에 의해 탄성적으로 이동될 수 있다. 상기 제1탄성부재(63)는 스프링일 수 있다.One side of the first elastic member 63 is supported by the first housing 61, and the other side thereof is supported by the first moving member 62. Accordingly, the first moving member 62 may be elastically moved by the first elastic member 63. The first elastic member 63 may be a spring.

상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 가까워지게 이동되어 상기 제1이동부재(62)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제1이동부재(62)를 밀어서 상기 제1탄성부재(63)를 압축시킬 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되는 것이 완료되면, 상기 제1탄성부재(63)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제1이동부재(62)를 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 밀려서 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The first stopper 64 is coupled to the support arm 23. When the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the first stopper 64 is moved closer to the first moving member 62, so that the first moving member 62 is moved. Can be contacted. In this process, the first stopper 64 pushes the first moving member 62 in the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 to move the first elastic member 63. Can be compressed. When the support arm 23 is completed to move protruding from the second connection arm 222, the first elastic member 63 is tensioned by a restoring force to move the first movable member 62 to the support arm. 23 is pushed in a direction opposite to the direction from which the second connecting arm 222 protrudes. Accordingly, the first stopper 64 is pushed by the first moving member 62 so that the support arm 23 moves in a direction opposite to the direction from which the second connection arm 222 protrudes. Therefore, when the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the first backlash compensation mechanism 6 protrudes from the second connection arm 222. By moving the support arm 23 in a direction opposite to the predetermined direction, backlash between the support rack gear 35 and the second connecting pinion gear 342 can be prevented from occurring.

도 5, 도 14 및 도 15를 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제1백래쉬 보상기구(6, 6')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제1백래쉬 보상기구(6)는, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(6')는, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 5, 14, and 15, the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). Since it can be moved, the substrate transfer device 1 according to the invention can comprise two first backlash compensation mechanisms 6, 6 ′. As shown in FIG. 14, any one of the first backlash compensation mechanisms 6 moves so that the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 in the first direction (A arrow direction). Thereafter, the support arm 23 may be moved at a predetermined distance in the second direction (B arrow direction). Accordingly, backlash between the support rack gear 35 and the second connection pinion gear 342 may be prevented from occurring. As shown in FIG. 15, the first backlash compensation mechanism 6 ′ moves so that the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 in the second direction (B arrow direction). After that, the support arm 23 may be moved at a predetermined distance in the first direction (A arrow direction). Accordingly, backlash between the support rack gear 35 and the second connection pinion gear 342 may be prevented from occurring.

상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 각각 상기 제1하우징(61, 61'), 상기 제1이동부재(62, 62'), 상기 제1탄성부재(63, 63'), 및 제1스토퍼(64, 64')를 포함할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 상기 제1이동부재(62, 62') 및 상기 제1스토퍼(64, 64')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다.The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'are respectively formed in the first housing 61 and 61', the first movable members 62 and 62 ', the first elastic members 63 and 63', And first stoppers 64 and 64 '. The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'may be installed so that the first moving members 62 and 62' and the first stoppers 64 and 64 'are symmetrical to each other.

도 5, 및 도 13 내지 도 15를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제2백래쉬 보상기구(7)를 포함할 수 있다.5 and 13 to 15, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a second backlash compensation mechanism 7.

상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 경우, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지함으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. The second backlash compensation mechanism 7 has the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear when the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221. It is possible to prevent backlash from occurring between the 341. Therefore, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, after the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the second connection arm 222 is shaken by vibration or the like. By preventing it, the accuracy of the loading process and the unloading process can be improved.

상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the direction side opposite to the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221. Backlash may occur between the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear 341. Accordingly, the second backlash compensation mechanism 7 moves the second connection arm 222 in a direction opposite to the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221. It is possible to prevent backlash from occurring between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341.

도 5 및 도 14를 참고하면, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 제2하우징(71), 제2이동부재(72), 제2탄성부재(73), 및 제2스토퍼(74)를 포함할 수 있다.5 and 14, the second backlash compensation mechanism 7 may include a second housing 71, a second moving member 72, a second elastic member 73, and a second stopper 74. It may include.

상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2하우징(71)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.The second housing 71 is coupled to the second connection arm 222. The second housing 71 may be formed in a rectangular shape as a whole.

상기 제2이동부재(72)는 상기 제2하우징(71)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2이동부재(72)는 일단과 타단이 상기 제2하우징(71)을 기준으로 상기 제2하우징(71) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제2하우징(71)에 삽입될 수 있다. 상기 제2하우징(71)은 상기 제2이동부재(72)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2이동부재(72)의 일단과 타단은 상기 제2하우징(71)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.The second moving member 72 is movably coupled to the second housing 71. One end and the other end of the second moving member 72 is positioned outside the second housing 71 with respect to the second housing 71, and a portion between the one end and the other end is located in the second housing 71. Can be inserted in The second housing 71 may include a through hole (not shown) for inserting the second moving member 72. One end and the other end of the second moving member 72 may have a size larger than the through hole formed in the second housing 71.

상기 제2탄성부재(73)는 일측이 상기 제2하우징(71)에 지지되고, 타측이 상기 제2이동부재(72)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2탄성부재(73)에 의해 탄성적으로 이동될 수 있다. 상기 제2탄성부재(73)는 스프링일 수 있다.One side of the second elastic member 73 is supported by the second housing 71, and the other side thereof is supported by the second moving member 72. Accordingly, the second moving member 72 may be elastically moved by the second elastic member 73. The second elastic member 73 may be a spring.

상기 제2스토퍼(74)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2스토퍼(74)에 가까워지게 이동되어 상기 제2스토퍼(74)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제2탄성부재(73)를 밀어서 상기 제2탄성부재(73)를 압축시킬 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되는 것이 완료되면, 상기 제2탄성부재(73)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제2하우징(71)을 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The second stopper 74 is coupled to the first connection arm 221. When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the second moving member 72 is moved closer to the second stopper 74 to allow the second stopper 74 to move. ) May be contacted. In this process, the second housing 71 pushes the second elastic member 73 in the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221 so that the second elastic member 73 ) Can be compressed. When the second connection arm 222 is completed to move protruding from the first connection arm 221, the second elastic member 73 is tensioned by a restoring force to secure the second housing 71 to the first housing. The second connecting arm 222 is pushed in a direction opposite to the direction in which the first connecting arm 221 protrudes. Accordingly, the second connection arm 222 is moved in a direction opposite to the direction protruding from the first connection arm 221. Therefore, when the second connection arm 222 is protruded from the first connection arm 221, the first backlash compensation mechanism 6 moves the second connection arm 222 to the first connection arm ( By moving the second connection arm 222 in a direction opposite to the direction protruding from the 221, backlash between the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear 341 is prevented from occurring. can do.

도 5, 도 14 및 도 15를 참고하면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제2백래쉬 보상기구(7, 7')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제2백래쉬 보상기구(7)는, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(7')는, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.5, 14, and 15, the second connection arm 222 is moved from the first connection arm 221 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). Since it can be moved protrudingly, the substrate transfer device 1 according to the invention can comprise two second backlash compensation mechanisms 7, 7 ′. As shown in FIG. 14, the second backlash compensation mechanism 7 may allow the second connection arm 222 to protrude from the first connection arm 221 in the first direction (A arrow direction). After the movement, the second connection arm 222 may be moved a predetermined distance in the second direction (B arrow direction). Accordingly, backlash between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341 may be prevented from occurring. As shown in FIG. 15, the first first backlash compensation mechanism 7 ′ protrudes from the first connection arm 221 in the second direction (B arrow direction) as shown in FIG. 15. After the movement, the second connection arm 222 may be moved a predetermined distance in the first direction (A arrow direction). Accordingly, backlash between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341 may be prevented from occurring.

상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 각각 상기 제2하우징(71, 71'), 상기 제2이동부재(72, 72'), 상기 제2탄성부재(73, 73'), 및 제2스토퍼(74, 74')를 포함할 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 상기 제2이동부재(72, 72') 및 상기 제2스토퍼(74, 74')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'are respectively formed in the second housing 71 and 71', the second movable members 72 and 72 ', the second elastic members 73 and 73', And second stoppers 74 and 74 '. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed in a direction in which the second moving members 72 and 72' and the second stoppers 74 and 74 'are symmetrical to each other.

도 5, 및 도 13 내지 도 15를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)가 갖는 제1하우징(6)과 상기 제2백래쉬 보상기구(7')가 갖는 제2하우징(7')은 일체로 형성될 수도 있고, 상기 제1백래쉬 보상기구(6')가 갖는 제1하우징(6')과 상기 제2백래쉬 보상기구(7)가 갖는 제2하우징(7)은 일체로 형성될 수도 있다. 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 도 14 및 도 15에는 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')이 수직방향으로 나란하게 설치되는 것으로 도시되어 있으나, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 수평방향으로 나란하게 설치될 수도 있다.5 and 13 to 15, the first housing 6 of the first backlash compensation mechanism 6 and the second housing 7 'of the second backlash compensation mechanism 7'. May be integrally formed, and the first housing 6 'of the first backlash compensation mechanism 6' and the second housing 7 of the second backlash compensation mechanism 7 may be integrally formed. It may be. When the arms 21, 22, and 23 are overlapped with each other in the base frame 1a and defined as a vertical direction, the first backlash compensation mechanisms 6 and 6 ′ are illustrated in FIGS. 14 and 15. And the second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'are installed side by side in the vertical direction, but as shown in FIG. 13, the first backlash compensation mechanisms 6 and 6' and the first The backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed side by side in the horizontal direction.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It will be clear to those who have knowledge.

1 : 기판 이송장치 2 : 암기구 3 : 연동기구 4 : 구동유닛
5 : 가이드기구 6 : 제1백래쉬 보상기구 7 : 제2백래쉬 보상기구
21 : 이동암 22 : 연결기구 23 : 지지암 31 : 베이스랙기어
32 : 이동피니언기어 33 : 연결랙기어 34 : 연결피니언기어
35 : 지지랙기어 36 : 이동랙기어 221 : 제1연결암 222 : 제2연결암
331 : 제1연결랙기어 332 : 제2연결랙기어 333 : 제3연결랙기어
341 : 제1연결피니언기어 342 : 제2연결피니언기어 1a : 베이스프레임Reference Signs List 1 substrate transfer apparatus 2 arm mechanism 3 interlock mechanism 4 drive unit
5: guide mechanism 6: first backlash compensation mechanism 7: second backlash compensation mechanism
21: movable arm 22: coupling mechanism 23: support arm 31: base rack gear
32: moving pinion gear 33: connecting rack gear 34: connecting pinion gear
35: support rack gear 36: movable rack gear 221: first connection arm 222: second connection arm
331: first connecting rack gear 332: second connecting rack gear 333: third connecting rack gear
341: first connection pinion gear 342: second connection pinion gear 1a: base frame

Claims (16)

베이스랙기어가 설치된 베이스프레임;
상기 베이스랙기어에 맞물림되는 이동피니언기어가 결합되고, 상기 베이스프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동암;
상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 연결랙기어 및 상기 연결랙기어가 이동됨에 따라 회전되는 연결피니언기어가 결합되고, 상기 이동암이 상기 베이스프레임으로부터 돌출되게 이동되면 상기 이동암이 돌출된 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되는 연결기구;
상기 연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 지지랙기어가 결합되고, 상기 연결기구가 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되면 상기 연결기구가 돌출된 방향으로 상기 연결기구로부터 돌출되게 이동되며, 기판을 지지하기 위한 지지암; 및
상기 이동암과 결합되어 상기 이동피니언기어가 회전되도록 상기 이동암을 이동시키는 구동유닛을 포함하는 기판 이송장치.A base frame with a base rack gear installed;
A movable arm engaged with the base rack gear and coupled to the base frame, the movable arm movably coupled to the base frame;
The connecting rack gear which is moved as the movable pinion gear is rotated and the connecting pinion gear which is rotated as the connecting rack gear is moved are coupled. When the movable arm is protruded from the base frame, the movable arm is protruded in the direction of protruding. A connection mechanism moved protruding from the moving arm;
The support rack gear which is moved as the connecting pinion gear is rotated is coupled, and when the connecting mechanism is moved to protrude from the moving arm, the connecting mechanism is moved to protrude from the connecting mechanism in the protruding direction, to support a substrate. Support arm; And
And a driving unit coupled to the moving arm to move the moving arm to rotate the moving pinion gear. 제1항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 이동피니언기어가 시계방향으로 회전되도록 상기 이동암을 제1방향으로 이동시키고, 상기 이동피니언기어가 반시계방향으로 회전되도록 상기 이동암을 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 이동시키며;
상기 연결기구 및 상기 지지암은 상기 이동암이 이동되는 방향에 따라 상기 베이스프레임을 기준으로 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한 방향으로 돌출되게 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The driving unit moves the moving arm in a first direction so that the moving pinion gear rotates clockwise, and moves the moving arm in a second direction opposite to the first direction so that the moving pinion gear rotates counterclockwise. To move;
And the connecting mechanism and the support arm are protruded in one of the first direction and the second direction with respect to the base frame according to the direction in which the movable arm is moved. 제1항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 이동암, 상기 연결기구, 및 상기 지지암이 상기 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치, 및 상기 이동암, 상기 연결기구, 및 상기 지지암이 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층(積層)되는 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 이동암을 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The driving unit is stacked so that the movable arm, the connecting mechanism, and the support arm protrude from the base frame, and the movable arm, the connecting mechanism, and the support arm overlap each other in the base frame. The substrate transfer device, characterized in that for moving the movement arm to be located in any one of the second position. 제1항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 베이스프레임에 설치된 코일기구, 및 상기 이동암에 결합되고 복수개의 영구자석이 설치된 이동기구를 포함하고;
상기 이동암은 상기 코일기구와 상기 영구자석들 사이에 작용하는 전자력에 의해 상기 이동기구가 이동됨에 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The drive unit includes a coil mechanism installed on the base frame, and a movement mechanism coupled to the movable arm and provided with a plurality of permanent magnets;
And the movable arm is moved as the movable mechanism is moved by an electromagnetic force acting between the coil mechanism and the permanent magnets. 제1항에 있어서,
상기 연결기구는 상기 이동암과 상기 지지암 사이에 설치되는 제1연결암, 및 상기 제1연결암과 상기 지지암 사이에 설치되는 제2연결암을 포함하고;
상기 제1연결암에는 상기 이동피니언기어에 맞물림되어 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제1연결랙기어, 및 상기 제1연결암이 이동됨에 따라 회전되는 제1연결피니언기어가 결합되며;
상기 제2연결암에는 상기 제1연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제2연결랙기어, 및 상기 제2연결암이 이동됨에 따라 회전되는 제2연결피니언기어가 결합되고;
상기 지지랙기어는 상기 제2연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The connection mechanism includes a first connection arm installed between the movable arm and the support arm, and a second connection arm installed between the first connection arm and the support arm;
A first connection rack gear engaged with the mobile pinion gear and moved as the mobile pinion gear is rotated, and a first connection pinion gear rotated as the first connection arm is moved;
A second connection rack gear meshed with the first connection pinion gear and moved as the first connection pinion gear is rotated, and a second connection pinion gear rotated as the second connection arm is moved; Is combined;
And the support rack gear is engaged with the second connecting pinion gear and moved as the second connecting pinion gear rotates. 제5항에 있어서,
상기 이동암에는 상기 제1연결피니언기어에 맞물림되는 이동랙기어가 결합되고,
상기 제1연결피니언기어는 상기 이동랙기어에 맞물림되는 제1서브연결피니언기어, 및 상기 제1서브연결피니언기어에 연결되게 형성되고 상기 제2연결랙기어에 맞물림되는 제2서브연결피니언기어를 포함하며;
상기 제2서브연결피니언기어는 상기 제2연결암이 이동되는 속도가 증가되도록 상기 제1서브연결피니언기어의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 5,
The movable arm is coupled to the movable rack gear meshed with the first connecting pinion gear,
The first connecting pinion gear includes a first sub connecting pinion gear meshed with the mobile rack gear, and a second sub connecting pinion gear formed to be connected to the first sub connecting pinion gear and engaged with the second connecting rack gear. Includes;
And the second sub connection pinion gear is formed to have a diameter larger than that of the first sub connection pinion gear so that the speed at which the second connection arm moves is increased. 제1항에 있어서,
상기 지지암이 상기 연결기구로부터 돌출되게 이동된 후에 상기 지지랙기어와 상기 지지랙기어에 맞물림되는 연결피니언기어 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것이 방지되도록 상기 지지암이 상기 연결기구로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암을 이동시키는 제1백래쉬 보상기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The support arm protrudes from the connecting mechanism so that backlash is prevented from occurring between the supporting rack gear and the connecting pinion gear engaged with the supporting rack gear after the supporting arm is moved protruding from the connecting mechanism. And a first backlash compensation mechanism for moving said support arm in a direction opposite to that of said substrate. 제7항에 있어서, 상기 제1백래쉬 보상기구는
상기 연결기구에 결합되는 제1하우징;
상기 제1하우징에 이동 가능하게 결합되는 제1이동부재;
상기 제1이동부재가 탄성적으로 이동되도록 일측이 상기 제1하우징에 지지되고 타측이 상기 제1이동부재에 지지되는 제1탄성부재; 및
상기 지지암에 결합되고, 상기 지지암이 상기 연결기구로부터 돌출되게 이동되면 상기 제1이동부재가 상기 지지암이 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되도록 상기 제1이동부재에 접촉되는 제1스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 7, wherein the first backlash compensation mechanism
A first housing coupled to the connecting mechanism;
A first moving member movably coupled to the first housing;
A first elastic member having one side supported by the first housing and the other side supported by the first moving member so that the first moving member moves elastically; And
A first moving member coupled to the support arm, the first moving member being in contact with the first moving member such that the first moving member moves in a direction opposite to the direction in which the support arm protrudes when the supporting arm is moved to protrude from the connecting mechanism; Substrate transfer apparatus comprising a stopper. 제5항에 있어서,
상기 제2연결암이 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동된 후에 상기 제2연결랙기어와 상기 제1연결피니언기어 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것이 방지되도록 상기 제2연결암이 상기 제1연결암으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암을 이동시키는 제2백래쉬 보상기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 5,
The second connection arm may be configured to prevent backlash from occurring between the second connection rack gear and the first connection pinion gear after the second connection arm is protruded from the first connection arm. And a second backlash compensation mechanism for moving the second connection arm in a direction opposite to the direction protruding from the connection arm. 제9항에 있어서, 상기 제2백래쉬 보상기구는
상기 제2연결암에 결합되는 제2하우징;
상기 제2하우징에 이동 가능하게 결합되는 제2이동부재;
상기 제2이동부재가 탄성적으로 이동되도록 일측이 상기 제2하우징에 지지되고 타측이 상기 제2이동부재에 지지되는 제2탄성부재; 및
상기 제1연결암에 결합되고, 상기 제2연결암이 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동되면 상기 제2이동부재가 상기 제2연결암이 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되도록 상기 제2이동부재에 접촉되는 제2스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 9, wherein the second backlash compensation mechanism
A second housing coupled to the second connecting arm;
A second moving member movably coupled to the second housing;
A second elastic member having one side supported by the second housing and the other side supported by the second movable member so that the second movable member moves elastically; And
The second moving member is coupled to the first connection arm, and when the second connection arm moves to protrude from the first connection arm, the second moving member moves in a direction opposite to the direction in which the second connection arm protrudes. And a second stopper in contact with the movable member. 제1항에 있어서, 상기 이동암, 상기 연결기구, 및 상기 지지암 각각을 직선 이동되도록 가이드하는 복수개의 가이드기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The substrate transfer apparatus of claim 1, further comprising a plurality of guide mechanisms for guiding each of the movable arm, the connecting mechanism, and the support arm to linearly move. 제1항에 있어서,
상기 연결기구는 상기 이동암과 상기 지지암 사이에 설치되는 복수개의 연결암을 포함하고;
상기 연결암들 중 적어도 하나는 상기 베이스프레임으로부터 돌출되게 이동된 지지암에 처짐이 발생하는 것이 방지되도록 지지력을 보강하기 위한 보강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1,
The connecting mechanism includes a plurality of connecting arms installed between the movable arm and the supporting arm;
At least one of the connection arms includes a reinforcing member for reinforcing a support force to prevent deflection from occurring in the support arm moved protruding from the base frame. 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동되고, 기판을 이동시키기 위한 복수개의 암(Arm)을 갖는 암기구;
상기 암들이 상기 제1위치 또는 상기 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및
상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함하고,
상기 연동기구는 상기 구동유닛에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위한 복수개의 피니언기어, 및 상기 피니언기어에 맞물림되어 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 복수개의 랙기어를 포함하는 기판 이송장치.A arm mechanism moved between a first position protruding from the base frame and a second position stacked on each other in the base frame, the arm mechanism having a plurality of arms for moving the substrate;
A drive unit for moving any one of the arms such that the arms are positioned in either the first position or the second position; And
It is coupled to the arms, and includes a linkage mechanism for moving the remaining arms in conjunction with the drive unit to move any one of the arms,
The linkage mechanism includes a plurality of pinion gears for converting linear motion by the drive unit into rotational motion, and a plurality of rack gears engaged with the pinion gear to convert rotational motion by the pinion gears into linear motion. Substrate transfer device. 제13항에 있어서,
상기 피니언기어들 중에서 적어도 하나는 제1직경을 갖는 제1서브피니언기어 및 상기 제1서브피니언기어에 연결되게 형성되고 상기 제1직경보다 큰 제2직경을 갖는 제2서브피니언기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 13,
At least one of the pinion gears includes a first sub pinion gear having a first diameter and a second sub pinion gear formed to be connected to the first sub pinion gear and having a second diameter larger than the first diameter. Substrate transfer device characterized in that. 제13항에 있어서,
상기 암기구를 복수개 포함하고,
상기 암기구들은 각각 상기 구동유닛의 양측에 결합되고, 상기 구동유닛에 의해 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 13,
It includes a plurality of the cancer mechanism,
The arm mechanisms are respectively coupled to both sides of the drive unit, the substrate transfer apparatus, characterized in that moved together by the drive unit. 베이스프레임에 설치된 베이스랙기어에 맞물림되는 이동피니언기어, 및 상기 베이스프레임을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면에 위치되는 이동랙기어가 결합된 이동암;
상기 이동피니언기어에 맞물림되어 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제1연결랙기어, 및 상기 이동랙기어에 맞물림되는 제1연결피니언기어가 결합되고, 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 상기 이동암이 이동되는 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되는 제1연결암;
상기 제1연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제2연결랙기어, 및 상기 제2연결랙기어가 이동됨에 따라 회전되는 제2연결피니언기어가 결합되고, 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 상기 제1연결암이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동되는 제2연결암; 및
상기 제2연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 지지랙기어가 결합되고, 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 상기 제2연결암이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암으로부터 돌출되게 이동되는 지지암을 포함하고,
상기 제1연결암에는 상기 제1연결랙기어가 설치된 일면에 대해 반대되는 타면에 설치된 제3연결랙기어가 결합되고,
상기 제2연결피니언기어는 상기 제3연결랙기어에 맞물림되어 상기 제2연결암이 이동됨에 따라 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.A movable arm coupled with a movable pinion gear meshed with the base rack gear installed in the base frame, and a movable rack gear positioned on the other surface opposite to one surface facing the base frame;
A first connecting rack gear meshed with the movable pinion gear and moved as the movable pinion gear is rotated, and a first connecting pinion gear meshed with the movable rack gear, and the movable arm as the movable pinion gear is rotated. A first connecting arm which protrudes from the moving arm in a moving direction;
A second connection rack gear meshed with the first connection pinion gear and moved as the first connection pinion gear is rotated, and a second connection pinion gear rotated as the second connection rack gear is moved; A second connection arm which protrudes from the first connection arm in a direction in which the first connection arm moves as the first connection pinion gear is rotated; And
The support rack gear is engaged with the second connecting pinion gear and is moved as the second connecting pinion gear is rotated. A support arm moved protruding from the connecting arm,
The first connecting arm is coupled to the third connecting rack gear installed on the other side opposite to the one surface is installed the first connecting rack gear,
And the second connecting pinion gear meshes with the third connecting rack gear and rotates as the second connecting arm moves.
KR1020100119118A 2010-11-26 2010-11-26 Apparatus for Transferring Substrate KR101191897B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100119118A KR101191897B1 (en) 2010-11-26 2010-11-26 Apparatus for Transferring Substrate
CN201110385151XA CN102556665A (en) 2010-11-26 2011-11-28 Base plate transfer device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100119118A KR101191897B1 (en) 2010-11-26 2010-11-26 Apparatus for Transferring Substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120057408A true KR20120057408A (en) 2012-06-05
KR101191897B1 KR101191897B1 (en) 2012-10-16

Family

ID=46403564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100119118A KR101191897B1 (en) 2010-11-26 2010-11-26 Apparatus for Transferring Substrate

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101191897B1 (en)
CN (1) CN102556665A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101537057B1 (en) * 2015-01-14 2015-07-15 (주) 대산엠테크 Symphoresis device of material for engine valve
CN106564753A (en) * 2016-10-29 2017-04-19 安徽旭虹机械设备有限公司 Paint bucket discharging device
KR102317774B1 (en) * 2020-04-21 2021-10-27 아메스산업(주) Transfer Apparatus for Substrate with Gear Member

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111515741A (en) * 2020-06-04 2020-08-11 江苏鑫贺伟业机械制造有限公司 Double-station reversing device for high-precision transmission shaft machining

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0669254A (en) * 1992-08-13 1994-03-11 Hitachi Ltd Lead-frame positioning stopper mechanism and wire bonder using the mechanism
KR100342254B1 (en) * 1999-06-25 2002-06-27 윤종용 Loading robot having a balancing part
KR20040035394A (en) * 2002-10-22 2004-04-29 주식회사 에스에프에이 Conveyer for transmitting glass
JP3814786B1 (en) * 2005-10-25 2006-08-30 株式会社エイ・ケイ・システム Transfer equipment

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101537057B1 (en) * 2015-01-14 2015-07-15 (주) 대산엠테크 Symphoresis device of material for engine valve
CN106564753A (en) * 2016-10-29 2017-04-19 安徽旭虹机械设备有限公司 Paint bucket discharging device
KR102317774B1 (en) * 2020-04-21 2021-10-27 아메스산업(주) Transfer Apparatus for Substrate with Gear Member

Also Published As

Publication number Publication date
KR101191897B1 (en) 2012-10-16
CN102556665A (en) 2012-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101846982B1 (en) Film-forming apparatus
US7296673B2 (en) Substrate conveyor system
US7438175B2 (en) Linear vacuum deposition system
KR200464501Y1 (en) Encoder Device, Linear Motor having the same, and Apparatus for Transferring Substrate
KR101191897B1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
KR101438150B1 (en) Transport robot
US11130240B2 (en) Linear robot arm with multiple end effectors
US9252034B2 (en) Substrate processing system and substrate transferring method
US20110262252A1 (en) Substrate Processing System and Substrate Transferring Method
JP2008544485A (en) Linear vacuum deposition system
US20120063874A1 (en) Low profile dual arm vacuum robot
KR20130061836A (en) Apparatus for picking up semiconductor devices
KR200463079Y1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
US20060283688A1 (en) Substrate handling system
CN103295943A (en) Base plate transmitting device and semiconductor manufacture device using same
CN107949906B (en) Substrate transfer apparatus
KR20200125397A (en) Alignment apparatus, film formation apparatus, alignment method, film formation method, and manufacturing method of electronic device
KR101144299B1 (en) Linear motor and apparatus for transferring substrate using the same
KR101191898B1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
KR20120067491A (en) Apparatus for transferring substrate
TWI719751B (en) Substrate conveying device and substrate conveying system
KR20190087976A (en) Apparatus and system for processing a substrate in a vacuum chamber, and a method of transporting a carrier in a vacuum chamber
KR20120067488A (en) Linear motor and apparatus for transferring substrate using the same
KR101667303B1 (en) Robot
KR20150100999A (en) Flip module

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee