KR20120033297A - Method and system for manufacturing display panel - Google Patents

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미치야 요코타
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신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착한다.
먼저, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리를 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제(3)를 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에 액상 접착제(3)를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.The electro-optical panel and the substrate are bonded in a completely inorganic state with a uniform gap.
First, in the vacuum atmosphere, the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are superposed in the Z direction with the liquid adhesive 3 interposed therebetween, thereby allowing the liquid adhesive 3 to face the opposing surface. It is forcibly stretched along (1a, 2a). Subsequently, by naturally stretching the liquid adhesive 3 between the electro-optical panel 1 and the substrate 2, the local vacuum or the like in the liquid adhesive 3 is lost, and the liquid adhesive 3 is in a substantially stationary stable state. The layer thicknesses of the liquid adhesive 3 become substantially uniform in the Z direction across the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, so that no gap adjustment is necessary. . Then, when either one of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 is mutually moved and positioned in the XYθ direction with respect to the other in the atmosphere, the electro-electrode placed on the liquid adhesive 3 having a substantially uniform layer thickness is positioned. It is only necessary to smoothly slide either the optical panel 1 or the substrate 2 along the interface of the liquid adhesive 3, and since it is not pressurized, the liquid adhesive 3 does not deform and flow so that air is drawn in. There is no work.

Description

표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}Manufacturing method of a display panel and its manufacturing system {METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}

본 발명은, 예를 들면 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등, FPD(플랫 패널 디스플레이) 등을 포함하는 전기 광학 패널에 대해 새롭게 부가적 기능을 갖는 기판을 접합한 부가 기능 기판 접합형 표시 패널의 제조 방법 및 그 방법을 실시하기 위해 사용하는 제조 시스템에 관한 것이다.The present invention is, for example, an additional function substrate bonding in which a substrate having an additional function is bonded to an electro-optical panel including an FPD (flat panel display) such as a touch panel, a 3D display, an electronic book, or the like. A manufacturing method of a display panel and a manufacturing system used for implementing the method.

자세하게는, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 시스템에 관한 것이다.In detail, the present invention relates to a method for manufacturing a display panel and a manufacturing system for attaching an electro-optical panel and a substrate having light transmissivity to a substrate for emitting light emitted from the electro-optical panel to a viewer side with a liquid adhesive.

종래, 이런 종류의 표시 패널의 제조 방법으로서 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(액정 패널)과 자외선 경화성 접착제가 부분적으로 묘화(도포)된 기판(커버 유리)을 위치맞춤한 상태로 서로 압압하고, 그 후 상기 전기 광학 패널을 가(假)UV경화 장치의 테이블에 진공 흡착시킴과 함께 상기 기판을 가압판에 진공 흡착시키고, 이어서 가압 부재로 가압판 전체를 테이블측으로 압압함과 함께, 스프링으로 가압판의 주연부를 테이블측으로 압압하는 것에 의해, 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되고, 또한 전기 광학 패널 및 기판의 주연부가 중앙부측보다 강한 힘으로 압압되고, 또 압압과 함께 테이블과 가압판의 상대 위치를 조정해 전기 광학 패널 및 기판을 얼라인먼트 처리하여 그 후 가접착 공정을 하고, 마지막으로 본경화 처리(본접착 공정)를 하여 전기 광학 패널과 기판이 본접착되는 전기 광학 장치의 제조 방법이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Conventionally, as a manufacturing method of this kind of display panel, the electro-optical panel (liquid crystal panel) and the substrate (cover glass) on which the ultraviolet curable adhesive is partially drawn (coated) in a vacuum atmosphere are pressed together with each other, and the Thereafter, the electro-optical panel is vacuum-adsorbed to the table of the UV curing device, the substrate is vacuum-adsorbed to the pressure plate, and then the entire pressure plate is pressed to the table side by a pressure member, and the peripheral portion of the pressure plate is springed. By pressing on the table side, the electro-optical panel and the substrate are pressed in a direction approaching each other, and the peripheral portions of the electro-optical panel and the substrate are pressed by a force stronger than the center portion side, and the pressing and relative positions of the table and the pressure plate are pressed. Adjustment to align the electro-optical panel and substrate, followed by temporary bonding process, and finally the final curing process. A manufacturing method (the attaching process) by the electro-optical device to which the electro-optical panel substrate and the adhesive (for example, see Patent Document 1).

일본 특허 출원 공개 2009－230039호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2009-230039

이러한 종래의 표시 패널의 제조 방법에서는, 가UV경화 장치의 테이블과 가압판에 전기 광학 패널과 기판을 각각 진공 흡착한 상태로 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 하지만, 이들 진공 흡착에 의한 전기 광학 패널 및 기판의 지지는 대기 중이 아니면 확실히 행할 수 없다.In such a conventional display panel manufacturing method, the electro-optical panel and the substrate are pressed against the table and the pressure plate of the temporary UV curing device in the direction of approaching each other while being positioned in a direction of approaching each other. The support of the electro-optical panel and the substrate cannot be reliably performed unless it is in the air.

그렇게 보면, 대기 중에서 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되게 되고, 이에 따라, 접착제가 두께 방향으로 눌려 변형 유동하면서 액정 패널 및 기판의 대향면을 따라 유동해 눌려 퍼진다.In this way, the electro-optical panel and the substrate are pressed in the direction of approaching each other in the atmosphere, whereby the adhesive is pressed and deformed in the thickness direction and flows along the opposing surfaces of the liquid crystal panel and the substrate.

그러나 대기 중에서의 접착제의 변형 유동은 그 변형 유동 과정에서 공기가 말려들기 쉽게 되는 것을 피할 수 없고, 완전한 무기포로 접착할 수 없는 점에서 불량품이 발생하기 쉬워 수율이 나쁘다는 문제가 있었다.However, the deformation flow of the adhesive in the air is inevitably caused to involve air in the deformation flow process, and there is a problem in that poor yield is likely to occur due to the inability to adhere with a completely inorganic fabric.

즉, 접착제의 변형 유동중, 예를 들면 접착제와 기판 사이에 공극이 전혀 생기지 않은 상태로 유동하면 공기가 혼입되는 일은 없지만, 압압중에 전기 광학 패널의 표면에 대해서 기판이 약간이라도 기울어지면 공극이 생겨 공기의 유입이 발생한다는 문제가 있었다. 대기 중에서 가압판을 사용하는 경우에는, 가압판을 지지하는 축기구의 정밀도, 가압판의 일그러짐 등이 존재하고, 이들이 기판에 전달되기 때문에 공기의 유입 문제는 피할 수 없는 것이었다.In other words, when the adhesive flows in a state in which no void is formed between the adhesive and the substrate, for example, air does not enter, but air is generated when the substrate is slightly inclined with respect to the surface of the electro-optical panel during pressing. There was a problem that inflow of. In the case of using a pressure plate in the air, the accuracy of the shaft mechanism supporting the pressure plate, the distortion of the pressure plate, and the like exist, and since they are transmitted to the substrate, the problem of air inflow is inevitable.

또, 기판이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등이 접착면에 인쇄되는 경우에는, 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 발생하기 때문에 공기의 유입이 더욱 조장된다는 문제도 있었다.Moreover, when a board | substrate prints a shape, a symbol, etc. on an adhesive surface like the cover glass of a touch panel, for example, some unevenness | corrugation generate | occur | produces between a printing part and a non-printing part, and the inflow of air is further encouraged. There was also.

스프링으로 전기 광학 패널 및 기판의 주연부를 중앙부측보다 강한 힘으로 압압해도, 대기 중에서의 접착제의 변형 유동에 수반되는 공기의 유입을 줄일 수 없어 전기 광학 패널과 기판의 사이를 완전한 무기포 상태로 할 수는 없었다.Even when the edges of the electro-optical panel and the substrate are pressed with a force stronger than that of the center portion by the spring, the inflow of air accompanying the deformation flow of the adhesive in the atmosphere cannot be reduced, so that the space between the electro-optical panel and the substrate can be completely in the inorganic state. There was no number.

특히, 기판 사이즈가 대형화되면, 가압 방식으로는 신뢰성을 얻는 것은 어려웠다.In particular, when the substrate size is enlarged, it is difficult to obtain reliability by the pressing method.

또, 전기 광학 패널과 기판을 1조씩 중첩해 위치맞춤하므로, 생산성이 뒤떨어진다는 문제가 있었다.Moreover, since the electro-optical panel and the board | substrate overlap one by one, and position it, there existed a problem that productivity was inferior.

본 발명은 이러한 문제에 대처하는 것을 과제로 하는 것으로, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착하는 것 등을 목적으로 하는 것이다.This invention makes it a subject to deal with such a problem, and an object of this invention is to adhere | attach an electro-optical panel and a board | substrate to a perfect inorganic state, and a uniform gap.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법으로서, 진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과, 상기 합착 공정에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 하는 레벨링 공정과, 상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과, 상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the method of manufacturing a display panel according to the present invention is to manufacture a display panel in which an electro-optic panel and a substrate having light transparency and injecting light emitted from the electro-optical panel to the viewer side are bonded together with a liquid adhesive. A method comprising: a bonding step of overlapping opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate in a Z direction so as to sandwich the liquid adhesive therebetween in a vacuum atmosphere; A leveling step of naturally stretching the liquid adhesive along the opposing surface over a predetermined time period to make the layer thickness of the liquid adhesive substantially uniform in the Z direction across the opposing surface of the electro-optical panel and the substrate; and the leveling process Then either the electro-optical panel or the substrate is An inorganic fabric alignment step of sliding and positioning each other by sliding in an XYθ direction, and a curing step of curing the liquid adhesive disposed between the opposing surface of the substrate and the electro-optical panel positioned in the inorganic fabric alignment process; It is characterized by.

또, 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 시스템으로서, 진공 챔버를 가지고, 그 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과, 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과, 대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과, 상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛을 구비하고, 상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛으로 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 한다.Moreover, the display panel manufacturing system which concerns on this invention is a manufacturing system of the display panel which glues an electro-optic panel and the board | substrate which has transparency, and inject | emits the light emitted from the said electro-optic panel to the visual recognition side with a liquid adhesive, The vacuum system A bonding unit having a chamber and overlapping in the Z direction to support the electro-optical panel and the substrate in the vacuum chamber so that the liquid adhesive is sandwiched therebetween, the electro-optical panel overlapped by the bonding unit and the The transport unit which detachably supports the board | substrate and conveys to the atmosphere from the said vacuum chamber, and one of the said electro-optical panel or the board | substrate which are provided in the atmosphere and conveyed by the said conveying unit mutually in the XYθ direction with respect to the other The weapons aligning unit which is moved and positioned, and positioned by the weapons aligning unit A curing unit for curing the liquid adhesive disposed between the danced electro-optical panel and the opposing surface of the substrate, wherein the conveying unit is configured to hold the electro-optic panel and the substrate superimposed from within the vacuum chamber; The liquid adhesive naturally stretches along the opposing surface of the electro-optical panel and the substrate during a predetermined time until the transfer to the alignment unit and the set, and the layer thickness of the liquid adhesive is substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surface. Characterized in that to be.

전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 먼저 합착 공정에 있어서, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서 레벨링 공정에 있어서, 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후의 무기포 정렬 공정에 있어서, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In the method for manufacturing a display panel according to the present invention having the above-described characteristics, first, in the bonding step, a liquid adhesive is formed by overlapping opposing surfaces of an electro-optical panel and a substrate in a Z direction with a liquid adhesive sandwiched therebetween in a vacuum atmosphere. Is forcibly stretched along the opposite surface. Subsequently, in the leveling process, by naturally stretching the liquid adhesive between the electro-optic panel and the substrate, the local vacuum or the like in the liquid adhesive is lost so that the liquid adhesive becomes substantially stationary and stable, and the layer thickness of the liquid adhesive is increased in the electro-optic panel and It becomes substantially uniform in Z direction across the opposing surface of a board | substrate, and it becomes a state which no further gap adjustment is needed. In the subsequent inorganic cell alignment process, when either one of the electro-optical panel and the substrate is mutually moved and positioned in the XYθ direction with respect to the other in the atmosphere, the electro-optical panel mounted on a liquid adhesive having a substantially uniform layer thickness or It is only necessary to slide one of the substrates smoothly along the interface of the liquid adhesive, and since it is not pressurized, the liquid adhesive does not deform and flow so that air is not entrained.

따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded in a completely inorganic state with a uniform gap.

그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 방법에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic cloth can be improved even if the size of the electro-optical panel is increased as compared with the conventional manufacturing method of pressing and aligning the vacuum-adsorbed electro-optic panel and the substrate in a direction approaching each other in the air. The yield is greatly improved.

또, 전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은 먼저, 합착 유닛에 의해 진공 챔버 내에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 반송 유닛에 의해 진공 챔버 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널 및 기판을 대기 중의 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 무기포 정렬 유닛에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In addition, in the display panel manufacturing system according to the present invention having the above-mentioned characteristics, first, liquid crystal adhesive is formed by overlapping the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate in the Z direction with the liquid adhesive sandwiched between the electro-optic panel and the substrate in the vacuum chamber by the bonding unit. Is forcibly stretched along the opposite surface. Subsequently, the liquid adhesive is naturally stretched between the electro-optical panel and the substrate during a predetermined time until the transfer unit transfers the electro-optical panel and the substrate, which have been completed from the vacuum chamber, to the inorganic fabric alignment unit in the air, and sets them. Local vacuum or the like in the liquid adhesive is lost, and the liquid adhesive becomes approximately stationary and stable, and the layer thickness of the liquid adhesive becomes approximately uniform in the Z direction across the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate, and further gap adjustment is necessary. It is in a state without. The electro-optic panel is then placed on a liquid adhesive with a substantially uniform layer thickness when one of the electro-optical panel and the substrate is mutually moved in the XYθ direction with respect to the other in the atmosphere by the inorganic fabric alignment unit. Alternatively, one of the substrates only needs to slide smoothly along the interface of the liquid adhesive, and since it is not pressurized, the liquid adhesive does not deform and flow so that air is not drawn in.

따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded in a completely inorganic state with a uniform gap.

그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 시스템에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic cloth can be improved even when the size of the electro-optical panel is increased, compared to the conventional manufacturing system which presses and positions the vacuum-adsorbed electro-optic panel and the substrate in a direction approaching each other in the atmosphere. The yield is greatly improved.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 2는 합착 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 중첩 전 상태를 나타내고, (b)가 중첩 후의 상태를 나타내고 있다.
도 3은 무기포 정렬 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 평면도, (b)가 일부 절결 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 방법을 나타내는 플로우차트이다.1 is a block diagram illustrating a manufacturing system for a display panel according to an embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal front view of the bonding unit, in which (a) shows a state before overlapping, and (b) shows a state after overlapping.
3 is a longitudinal front view of the inorganic fabric alignment unit, (a) is a plan view, and (b) is a partially cutaway front view.
4 is a flowchart showing a method for manufacturing a display panel according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초해 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on drawing.

본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템은 도 1?도 3에 나타낸 바와 같이, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛(10), 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중에 반송하는 반송 유닛(20), 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 XYθ 방향으로 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛(30), 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 사이에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화시키는 경화 유닛(40), 이들 합착 유닛(10), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30) 및 경화 유닛(40) 등을 각각 작동 제어하는 제어부(50)를 주요한 구성요소로서 구비한다.In the manufacturing system of the display panel A according to the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, the electro-optical panel 1 and the substrate 2 overlap each other in the Z direction so that the liquid adhesive 3 is sandwiched. A weapon for positioning the bonding unit 10, the superposed electro-optical panel 1, and the substrate 2 in the air, and the electro-optical panel 1 and the substrate 2 in the XYθ direction. Curing unit 40 for curing the liquid adhesive 3 disposed between the fabric alignment unit 30, the positioned electro-optical panel 1, and the substrate 2, these bonding units 10, and the conveying unit 20. ), The inorganic fabric alignment unit 30, the curing unit 40 and the like, the control unit 50 is provided as a major component, respectively.

전기 광학 패널(1)은 전기 광학 물질층과 이에 전압을 인가하는 수단을 구비한 것이고, 전기 신호에 기초한 전압 인가에 의해 전기 광학 물질층 상태를 변화시켜 원하는 빛을 취출하는 것이 가능하게 되어 있다.The electro-optical panel 1 is provided with an electro-optic material layer and means for applying a voltage thereto, and it is possible to change the state of the electro-optic material layer and to extract desired light by applying a voltage based on an electric signal.

전기 광학 패널(1)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD), 유기 EL 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이(PDP), 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등을 들 수 있다.As a specific example of the electro-optical panel 1, for example, a liquid crystal display (LCD), an organic EL display (OLED), a plasma display (PDP), a flexible display, or the like used in a touch panel, a 3D (three-dimensional) display, an electronic book, or the like Flat panel display (FPD) etc. are mentioned.

또, 전기 광학 패널(1)은 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 후술하는 기판(2)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the electro-optical panel 1 is formed in a rectangle etc., and the alignment mark (not shown) used for the alignment with the board | substrate 2 mentioned later in the peripheral part is preferable.

또, 전기 광학 패널(1)로서는, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.In addition, as the electro-optical panel 1, one sheet before separation in which the plural electro-optical panels 1 are provided together in the production step can be used.

기판(2)은 유리나 석영, 플라스틱 등의 투광성을 갖는 재료로 이루어지는 것이고, 전기 광학 패널(1)로부터 사출된 빛을 투과해 Z방향측(시인측)으로 사출함과 함께, 표시 패널(A)의 용도에 따른 기능을 가지고 있다.The substrate 2 is made of a light-transmitting material such as glass, quartz, plastic, etc., and transmits the light emitted from the electro-optical panel 1 to the Z direction side (viewing side), and displays the display panel A. Has a function according to the purpose of use.

기판(2)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는 커버 유리나 배리어 유리 등을 들 수 있고, 예를 들면 터치 패널로서 이용되는 경우에는 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면인 표면에 인쇄된다.As a specific example of the board | substrate 2, the cover glass, barrier glass, etc. used for a touch panel, a 3D (3D) display, an electronic book, etc. are mentioned, For example, when used as a touch panel, patterns, such as a shape and a symbol, adhere | attach It is printed on a surface that is a cotton.

기판(2)의 크기나 평면 형상은 전기 광학 패널(1)과 동일한 정도의 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 전기 광학 패널(1)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.The size and planar shape of the substrate 2 are formed in a rectangle or the like that is the same as that of the electro-optical panel 1, and an alignment mark (not shown) used for alignment with the electro-optical panel 1 is formed at the periphery thereof. It is desirable to.

또, 기판(2)으로서는, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.Moreover, as the board | substrate 2, you may use the sheet | seat before the separation in which the some board | substrate 2 is provided in parallel at the preparation step.

액상 접착제(3)는 빛 에너지를 흡수해 중합이 진행되는 것에 의해 경화하여 접착성을 발현하는 광경화성을 갖는 접착제나 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 포함하고, 중합도(경화도)가 낮은 상태에서는 유동성을 가지며, 중합도(경화도)가 높아짐에 따라 유동성이 저하되어 변형되기 어려워지도록 구성된다.The liquid adhesive 3 includes a photocurable adhesive, a thermosetting adhesive, a two-liquid mixed curing adhesive, or the like which cures by absorbing light energy and proceeds with polymerization to express adhesiveness. It is comprised so that it may have fluidity in a low state, and it will become difficult to deform | transform as fluidity falls as polymerization degree (hardening degree) becomes high.

또, 액상 접착제(3)는 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(표면)(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포되고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 중첩하는 것에 의해, 이들 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)가 신장하여, 최종적으로는 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 된다.In addition, the liquid adhesive 3 is partially applied to the opposing surfaces (surfaces) 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and the electro-optic panel ( By overlapping the surfaces 1a and 2a of the substrate 2, the liquid adhesive 3 extends along these surfaces 1a and 2a, and finally the surfaces 1a and 2a. Approximately full of.

액상 접착제(3)의 구체예로서는 자외선 경화형 접착제 등이 이용된다.As a specific example of the liquid adhesive 3, an ultraviolet curable adhesive etc. are used.

또, 액상 접착제(3)의 도포 방법으로서는, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단(도시하지 않음)을 이용해 대향면(1a, 2a)에 점 형상이나 선 형상으로 묘화하고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 중첩됨으로써, 점 형상이나 선 형상의 액상 접착제(3)가 각각 신장하여, 그 계면끼리 접촉해 서로 연결되도록 분산 배치하는 것이 바람직하다.Moreover, as a coating method of the liquid adhesive 3, it draws in a point shape or a linear shape on the opposing surfaces 1a and 2a using the application means (not shown) containing liquid metering ejectors, such as a dispenser, By the bonding unit 10 described later, the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 overlap each other, whereby the point- and line-like liquid adhesives 3 extend, respectively. It is preferable to disperse | distribute so that interface may contact and mutually connect.

그리고, 합착 유닛(10)은 그 전체 또는 일부가 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐 가능하게 형성되는 진공 챔버(11)와, 진공 챔버(11) 내에 Z방향[도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 상하 방향]으로 대향하도록 마련되어 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지판(12, 13)과, 이들 지지판(12, 13)의 어느 한쪽 또는 양쪽을 Z방향으로 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 승강 구동부(14)를 가지고 있다. In addition, the bonding unit 10 includes a vacuum chamber 11 in which all or a part of the bonding unit 10 is opened and closed by the operation of the opening / closing drive unit 11a, and the Z direction (FIG. 2 (a) and the inside of the vacuum chamber 11). In the example shown in (b), a pair of support plates 12 and 13 provided so as to face each other in the vertical direction and detachably support the electro-optical panel 1 and the substrate 2, respectively, and these support plates 12 and 13 Either or both of them have a lift driver 14 that moves closer to each other in the Z direction and overlaps the electro-optical panel 1 and the substrate 2.

한 쌍의 지지판(12, 13)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(12a, 13a)에, 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서 예를 들면 점착 척 또는 정전 척이나 흡인 척의 조합 등이 형성됨과 함께, 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a)의 어느 한쪽 또는 양쪽이 Z방향으로 평행한 상태로 서로 접근 또는 이격하도록 왕복 이동 가능하게 지지한다.The pair of support plates 12 and 13 are formed in a flat plate shape having a thickness that is not deformed (warped) into a rigid body such as metal or ceramics, and is electrically connected to the support surfaces 12a and 13a facing each other. As a support means (not shown) which detachably supports the optical panel 1 or the board | substrate 2, for example, an adhesion chuck, a combination of an electrostatic chuck, a suction chuck, etc. are formed, and it supports with respect to the vacuum chamber 11 One or both of the surfaces 12a and 13a are reciprocally supported so as to approach or be spaced apart from each other in a state parallel to the Z direction.

도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 하방에 배치되는 지지판(12)의 지지면(12a)에 전기 광학 패널(1)이 지지되고, 상방에 배치되는 지지판(13)의 지지면(13a)에 기판(2)이 지지되고, 하방의 지지판(12)에 대해서 상방의 지지판(13)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키도록 구성되어 있다.In the example shown to (a) and (b) of FIG. 2, the electro-optical panel 1 is supported by the support surface 12a of the support plate 12 arrange | positioned below, and the support surface of the support plate 13 arrange | positioned upwards The board | substrate 2 is supported by 13a, and it is comprised so that only the support plate 13 of the upper direction with respect to the support plate 12 of the lower side may move up and down by the elevation drive part 14. As shown in FIG.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 하방의 지지판(12)에 기판(2)을 지지함과 함께 상방의 지지판(13)에 전기 광학 패널(1)을 지지하거나 상방의 지지판(13)에 대해서 하방의 지지판(12)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동하거나 하방의 지지판(12) 및 상방의 지지판(13)의 양방을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키는 것도 가능하다.In addition, although not shown as another example, while supporting the board | substrate 2 to the lower support plate 12, the electro-optical panel 1 is supported to the upper support plate 13, or the upper support plate 13 is not shown. Only the lower support plate 12 may be moved up and down by the elevating drive unit 14, or both the lower support plate 12 and the upper support plate 13 may be moved up and down by the elevating drive unit 14.

또, 진공 챔버(11)의 내부에 있어서 지지판(12, 13)의 주위에는 기압 조정 가능한 폐공간(S)을 형성하고, 그 폐공간(S)이 진공 또는 그것에 가까운 상태로 감압된 분위기의 환경 하에서, 지지면(12a, 13a)을 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 것이 바람직하다.In the vacuum chamber 11, an air pressure adjustable closed space S is formed around the support plates 12 and 13, and the closed space S is decompressed in a vacuum or a state close thereto. In the following, the support surfaces 12a and 13a are preferably moved close to each other so that the electro-optical panel 1 and the substrate 2 overlap each other.

반송 유닛(20)은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 수단으로서 예를 들면 흡착 패드 등을 갖는 반송용 로봇 등이고, 적어도 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)와 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 걸쳐 왕복 이동 가능하게 설치되어, 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송해 옮긴다.The transfer unit 20 is, for example, a transfer robot having a suction pad or the like as a means for detachably supporting the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and at least the vacuum chamber 11 of the bonding unit 10. And reciprocally movable over the inorganic fabrication unit 30 which will be described later, and convey the electro-optical panel 1 and the substrate 2 superimposed by the bonding unit 10 toward the inorganic fabrication unit 30. Move it.

반송 유닛(20)의 구체예로서는, 합착 유닛(10)의 지지판(12, 13)에 설치되는 승강 가능한 리프트 핀(도시하지 않음) 등과 협력해 작동하는 것에 의해, 진공 챔버(11) 내에서 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 지지면(12a, 13a)으로부터 받아, 진공 챔버(11) 내에서 외부의 대기 중에 취출함과 함께 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 중첩된 상태를 유지하면서 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송하고, 그 지지 척(31) 상의 정해진 위치에 세트한다.As a specific example of the conveying unit 20, it is superimposed in the vacuum chamber 11 by operating in cooperation with a liftable lift pin (not shown) or the like provided on the support plates 12, 13 of the bonding unit 10. The electro-optical panel 1 and the substrate 2 are received from the support surfaces 12a and 13a, and the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are superimposed while being taken out in the outside atmosphere in the vacuum chamber 11. It conveys toward the inorganic cloth alignment unit 30 mentioned later, maintaining a closed state, and sets it to the fixed position on the support chuck 31.

또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에 의해, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단이 배치되는 외부 영역으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을, 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11) 내부를 향해 반입하고, 또 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 무기포 정렬 공정 및 후술하는 경화 유닛(40)에 의한 액상 접착제(3)의 경화 공정이 종료된 후에, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반출하도록 이동 제어하는 것이 바람직하다.Moreover, as needed, the conveying unit 20 bonds the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 to the bonding unit 10 from the external area | region where the coating means containing liquid quantity ejector, such as a dispenser, is arrange | positioned. Carried in toward the inside of the vacuum chamber 11, and after the inorganic fabric alignment process by the inorganic fabric alignment unit 30 to be described later and the curing process of the liquid adhesive 3 by the curing unit 40 described later are completed. It is preferable to carry out the movement control so that the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 can be carried out from the inorganic cloth alignment unit 30. FIG.

또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에는 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)에 대해, 각각의 대향면(1a, 2a) 사이에 끼워진 액상 접착제(3)의 자연 신장을 촉진하기 위해, 미진동이 포함된 적당한 진동을 주는 수단을 구비하거나 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 체류를 일정 시간에 걸쳐 유지해 선입선출하는 버퍼 수단을 구비하는 것도 가능하다.Moreover, in order to promote the natural elongation of the liquid adhesive 3 sandwiched between the opposing surfaces 1a and 2a with respect to the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 which are conveyed in the conveyance unit 20 as needed. It is also possible to have a means for giving a suitable vibration including fine vibration, or a buffer means for first-in, first-out of the stay of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 being conveyed over a certain time.

무기포 정렬 유닛(30)은 대기 중에 배치되고, 반송 유닛(20)에 의해 반송된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지 척(31, 32)과, 이들 지지 척(31, 32) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해서 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 및 경사 방향]으로 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하는 수평 구동부(33)와, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 주연부에 배치되는 얼라인먼트 마크 등을 검출하기 위한 위치 검출부(34)를 갖는다.The inorganic fabric alignment unit 30 is arranged in the air, and has a pair of support chucks 31 and 32 that detachably support the electro-optical panel 1 and the substrate 2 respectively conveyed by the transfer unit 20. And one of these support chucks 31 and 32 is moved in the XYθ direction (up, down, left, right and inclined directions in the example shown in FIG. A horizontal drive unit 33 for aligning the position, and a position detection unit 34 for detecting an alignment mark or the like disposed on the periphery of the electro-optical panel 1 and the substrate 2.

한 쌍의 지지 척(31, 32)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(31a, 32a)에 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서, 예를 들면 흡인 척이나 정전 척이나 점착 척이나 마찰 척 또는 그 조합 등이 형성됨과 함께, 지지면(31a, 32a)의 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a) 중 어느 한쪽이 타른 쪽에 대해 평행 상태를 유지하면서 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The pair of support chucks 31 and 32 are formed in a flat plate shape having a thickness that is not deformed (warped) into a rigid body such as metal or ceramics, and is electrically connected to the support surfaces 31a and 32a facing each other. As support means (not shown) which detachably supports the optical panel 1 or the board | substrate 2, for example, a suction chuck, an electrostatic chuck, an adhesive chuck, a friction chuck, or a combination thereof is formed, and a support surface With respect to the vacuum chamber 11 of 31a, 32a, either of the support surfaces 12a and 13a is supported so that a movement to an XY (theta) direction is possible, maintaining parallel state with respect to the other side.

도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 위치 검출부(34)로서 카메라를 설치한다. 또, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)에 대해서, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.In the example shown to Fig.3 (a) and (b), a camera is provided as a position detection part 34 in the periphery of the upper support chuck 32 on which the board | substrate 2 is supported. Moreover, with respect to the upper support chuck 32 on which the board | substrate 2 is supported, the lower support chuck 31 on which the electro-optical panel 1 is supported is supported so that a movement to an XY (theta) direction is possible.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, the upper support chuck 32 on which the substrate 2 is supported can be moved in the XYθ direction with respect to the lower support chuck 31 on which the electro-optical panel 1 is supported. It is also possible to support.

경화 유닛(40)은 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높이기 위해 빛 에너지를 조사함으로써, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 위치맞춤 직후에 이들을 이동시키지 않고 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높인다.The curing unit 40 irradiates light energy in order to increase the degree of polymerization (hardening degree) of the liquid adhesive 3, thereby immediately after aligning the electro-optical panel 1 and the substrate 2 by the inorganic fabric alignment unit 30. The polymerization degree (hardening degree) of the liquid adhesive 3 is raised, without moving these.

경화 유닛(40)의 구체예로서, 액상 접착제(3)가 자외선 경화형 접착제 등이 이용되는 경우에는 자외선을 조사하는 UV 조사부가 있고, 이것은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 일부 또는 전부를 향해 자외선을 조사시킨다.As a specific example of the curing unit 40, when the liquid adhesive 3 is used an ultraviolet curable adhesive or the like, there is a UV irradiation part for irradiating ultraviolet rays, which is the opposite surface of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 ( Ultraviolet rays are irradiated toward some or all of the liquid adhesive 3 extending along 1a and 2a.

도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 경화 유닛(40)으로서 UV 조사 헤드를 배치하고, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 주연부에 있어서 수 개소를 부분적으로 경화시키는 것에 의해, 필요 최저한의 가경화를 수행하고, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)이 반출된 후에 본경화를 수행하도록 한다.In the example shown to (a) and (b) of FIG. 3, the UV irradiation head is arrange | positioned as a hardening unit 40 at the periphery of the upper support chuck 32 on which the board | substrate 2 is supported, and the electro-optical panel 1 ) And at least peripheral hardening by performing partial hardening of several places in the periphery of the liquid adhesive 3 extended along between the opposing surfaces 1a and 2a of the board | substrate 2, and aligning an inorganic cloth The main curing is performed after the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are taken out from the unit 30.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 자외선 경화형 접착제 대신 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 이용하거나 액상 접착제(3)의 전부를 본 경화시키는 것도 가능하다.Although not shown as other examples, it is also possible to use a thermosetting adhesive, a two-liquid mixed curing adhesive, or the like instead of the ultraviolet curing adhesive, or to completely cure the entire liquid adhesive 3.

제어부(50)는 합착 유닛(10)에 있어서의 진공 챔버(11)의 개폐 구동부(11a)나 승강 구동부(14), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30)에 있어서의 수평 구동부(33)나 위치 검출부(34) 및 경화 유닛(40) 등과 전기적으로 접속하는 컨트롤러이고, 미리 설정된 프로그램에 따라 차례로 작동시키도록 제어한다.The control part 50 is the horizontal drive part in the opening-closing drive part 11a of the vacuum chamber 11, the lifting drive part 14, the conveyance unit 20, and the weapons aligning unit 30 in the adhesion unit 10 ( 33), a controller electrically connected to the position detection unit 34, the curing unit 40, and the like, and controlled to operate in sequence according to a preset program.

특히, 제어부(50)는 반송 유닛(20)의 작동 속도를 조정하거나 하여, 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되는 시점까지의 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.In particular, the control unit 50 adjusts the operating speed of the transfer unit 20, and the time point at which the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are completed in the vacuum chamber 11 by the bonding unit 10 is completed. From this, the time from when the alignment of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 by the inorganic cloth alignment unit 30 is started can be set arbitrarily.

자세하게는, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터 시작되는 액상 접착제(3)의 자연 신장에 대응해, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 위치맞춤이 개시되는 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.Specifically, in response to the natural elongation of the liquid adhesive 3 starting from the time point at which the electro-optical panel 1 and the substrate 2 have been superimposed, the time at which alignment is initiated by the inorganic fabric alignment unit 30 is started. It can be set arbitrarily.

즉, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포된 액상 접착제(3)를 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께를 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한 후, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되도록 한다.That is, the liquid adhesive 3 partially applied to the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 is applied to the opposing surfaces 1a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2. It naturally stretches along 2a), fills substantially all of the opposing surfaces 1a, 2a, and the local vacuum or the like in the liquid adhesive 3 is lost, so that the liquid adhesive 3 is in a substantially stationary stable state, and the liquid adhesive After the layer thickness of (3) is made substantially uniform in the Z direction across the opposing surfaces 1a and 2a, the alignment of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 by the inorganic fabric alignment unit 30 starts. Be sure to

또, 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)을 생산하기 위한 제조 방법은 도 4에 나타내는 플로우차트와 같이, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하기 위한 합착 공정과, 액상 접착제(3)를 자연 신장시키기 위한 레벨링 공정과, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하기 위한 무기포 정렬 공정과, 액상 접착제(3)를 경화시키기 위한 경화 공정을 포함한다.Moreover, the manufacturing method for producing the display panel A which concerns on embodiment of this invention is a bonding process for superimposing the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2, and the liquid phase like the flowchart shown in FIG. A leveling process for naturally elongating the adhesive 3, an inorganic fabric alignment process for aligning the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and a curing process for curing the liquid adhesive 3.

합착 공정은 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내의 진공 분위기 속에서서, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 그들 사이에 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩해 가접합한다.The bonding process is performed in the vacuum atmosphere in the vacuum chamber 11 by the bonding unit 10, in which the liquid adhesive 3 is placed between the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 therebetween. Overlap in the Z direction so as to fit.

레벨링 공정은 반송 유닛(20) 등에 의해 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 취출하고, 무기포 정렬 유닛(30)에 세트할 때까지의 정해진 시간에 합착 공정에서 중첩된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3)의 층 두께를 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한다.The leveling process takes a predetermined time until taking out the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 in which the superposition was completed from the inside of the vacuum chamber 11 by the conveying unit 20, etc., and setting it to the inorganic fabric alignment unit 30. The liquid adhesive 3 is naturally stretched over a predetermined time along the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 superimposed in the bonding process, and the roughness of the opposing surfaces 1a and 2a is increased. It fills the whole and makes the layer thickness of the liquid adhesive 3 substantially uniform in Z direction across the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2. As shown in FIG.

무기포 정렬 공정은 레벨링 공정 후에 무기포 정렬 유닛(30)에 의해 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤한다.Inorganic fabric alignment process, after the leveling process, either one of the electro-optical panel 1 or the board | substrate 2 is slidably moved to each other in XYθ direction with respect to the other by the inorganic fabric alignment unit 30, and is positioned.

액상 접착제(3)의 경화 공정은 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 간에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화 유닛(40)에 의해 그 일부 또는 전부를 경화시킨다.The curing process of the liquid adhesive 3 comprises curing the liquid adhesive 3 disposed between the electro-optical panel 1 positioned in the inorganic cloth alignment process and the opposing surfaces 1a and 2a of the substrate 2. Some or all of them are cured.

이러한 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 먼저 합착 공정에서는 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩된다.According to the manufacturing system and the manufacturing method of the display panel A which concerns on such embodiment of this invention, first, in the bonding process, the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 are carried out in the vacuum chamber 11 by the bonding unit 10. FIG. Opposite surfaces 1a and 2a of) are sandwiched in the Z direction by sandwiching the liquid adhesive 3 therebetween.

이에 따라, 액상 접착제(3)가 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장되고, 대향면(1a, 2a)의 대부분에 액상 접착제(3)가 충만된다.Thereby, the liquid adhesive 3 is forcibly extended along the opposing surfaces 1a and 2a, and the liquid adhesive 3 is filled in most of the opposing surfaces 1a and 2a.

그 후의 레벨링 공정에서는 반송 유닛(20)에 의해, 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중의 무기포 정렬 유닛(30)에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에서 액상 접착제(3)가 자연 신장된다.In the subsequent leveling step, when the transfer unit 20 transfers and sets the electro-optical panel 1 and the substrate 2 which have been completed from the vacuum chamber 11 to the inorganic fabric alignment unit 30 in the atmosphere, The liquid adhesive 3 naturally stretches between the electro-optical panel 1 and the substrate 2 during the predetermined time up to this point.

이에 따라, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어, 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서, Z방향으로 도포된 액상 접착제(3)의 체적에 맞게 대략 균일해진다. 이에 따라, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)이 평행하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다.Thereby, the local vacuum etc. in the liquid adhesive 3 are lost, and the liquid adhesive 3 is in a substantially stationary stable state, and the layer thickness of the liquid adhesive 3 becomes the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 It becomes substantially uniform according to the volume of the liquid adhesive agent 3 apply | coated in the Z direction in the whole opposing surfaces 1a and 2a. Thereby, the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 become parallel, and it will be in the state which no further gap adjustment is needed.

그 후의 무기포 정렬 공정에서는 무기포 정렬 유닛(3)에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한 쪽이 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동하여 위치맞춤된다.In the subsequent inorganic fabric alignment process, either the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 are mutually moved and aligned with respect to the other by the inorganic fabric alignment unit 3 in the air | atmosphere.

이에 따라, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.Accordingly, it is only necessary to smoothly slide either the electro-optical panel 1 or the substrate 2 mounted on the liquid adhesive 3 having a substantially uniform layer thickness along the interface of the liquid adhesive 3, Since it does not pressurize, the liquid adhesive 3 does not deform | flow and does not let air roll in.

특히, 기판(2)이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면에 인쇄되어 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 생겼다고 해도, 약간의 요철에 액상 접착제(3)가 무기포 상태로 파고 들어 고체와 액체의 계면이 융합되기 때문에, 액상 접착제(3) 자체의 유체 동작으로서 원활하게 이동한다.In particular, even if the substrate 2 has a pattern such as a shape or a symbol printed on the adhesive surface, such as a cover glass of a touch panel, and some irregularities are generated between the printed portion and the non-printed portion, the liquid adhesive is applied to the slight irregularities. Since (3) digs into an inorganic cloth state and the interface of a solid and a liquid fuses, it moves smoothly as a fluid motion of the liquid adhesive 3 itself.

따라서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Therefore, the electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 can be adhere | attached in a perfect inorganic cloth state, and a uniform gap.

다음으로 본 발명의 일 실시예를 도면에 기초해 설명한다.Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

실시예Example

이 실시예는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하여 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내에서 동시에 중첩하고, 이들을 반송 유닛(20)에 의해 반송하여, 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 차례로 위치맞춤한 것이다.In this embodiment, as shown in Figs. 2 and 3, the bonding unit 10 and the inorganic cloth alignment unit 30 are individually arranged so that the plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are vacuum chamber 11 ) At the same time, and conveyed them by the transfer unit 20 to position the plurality of overlapped electro-optical panels 1 and the substrate 2 in sequence.

즉, 합착 유닛(10)은 진공 챔버(11) 내에서 지지판(12, 13)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 지지하고, 각각 접근 이동시켜 동시에 중첩하고, 반송 유닛(20)은 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내로부터 무기포 정렬 유닛(30)에 반송하고, 무기포 정렬 유닛(30)은 반송 유닛(20)에 의해 반송된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤한다.That is, the bonding unit 10 supports the electro-optical panel 1 and the substrate 2 by the support plates 12 and 13 in the vacuum chamber 11 so that each of the plurality of pairs face each other, and moves and approaches each of them simultaneously. The conveyance unit 20 superimposes and conveys the several sets of electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 which were superimposed by the bonding unit 10 from the vacuum chamber 11 to the inorganic fabric alignment unit 30, The inorganic fabric alignment unit 30 detachably supports the plurality of sets of electro-optical panels 1 and the substrate 2 conveyed by the conveying unit 20 and positions them in order.

도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)가 전체적으로 Z방향으로 분할 가능하게 구성되고, 그 내부에 구획 형성되는 폐공간(S)이 정해진 진공도에 이른 후 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하고, 그 후에 폐공간(S)이 대기 개방되는 대기 개방형의 진공 챔버이다.In the example shown to (a) and (b) of FIG. 2, the vacuum chamber 11 of the bonding unit 10 is comprised so that it may divide | segment as a whole in the Z direction, and the vacuum space in which the closed space S formed in it is defined is defined. After this, a plurality of sets of electro-optical panel 1 and the board | substrate 2 are piled up, and after that, it is an atmospheric open vacuum chamber in which the closed space S is open | released to the atmosphere.

또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 진공 챔버(11)가 분리 불가능하고 그 측벽의 일부에 출입구를 개설하여, 이 출입구를 덮도록 문이 개폐동 가능하게 지지되고, 이 문을 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐동시켜 그 문을 열었을 때에 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반송 유닛(20)에 의해 출입시키는 것도 가능하다.In addition, although not shown as another example, the vacuum chamber 11 is inseparable, a doorway is provided in a part of the side wall, and the door is supported so that opening and closing is possible so that this door may be covered, and this door is opened and closed drive part 11a. When the door is opened and closed by the operation of), the electro-optical panel 1 and the substrate 2 can be moved in and out by the transfer unit 20.

또, 도시한 예에서는 복수의 전기 광학 패널(1)로서, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 하방의 지지판(12)에 지지하고, 이들 복수의 전기 광학 패널(1)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 기판(2)을 상방의 지지판(13)에 지지한다.In the illustrated example, as the plurality of electro-optical panels 1, one sheet before separation in which the plurality of electro-optical panels 1 are provided together is supported by the lower support plate 12, and the plurality of electro-optical panels 1 are provided. A plurality of substrates 2 separated from each other by the optical panel 1 are supported by the upper support plate 13.

또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 복수의 기판(2)으로서, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 지지하고, 이들 복수의 기판(2)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 전기 광학 패널(1)을 지지하는 것도 가능하다.In addition, although not shown as another example, as a plurality of substrates 2 as opposed to the illustrated example, one sheet before separation in which the plurality of substrates 2 are provided in the production step is supported, and the plurality of substrates 2 It is also possible to support a plurality of sheets of electro-optical panel 1 which are separated from each other.

도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 각 전기 광학 패널(1)과 각 기판(2)이 각각 대향하도록 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 방향 및 경사 방향]으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지한다.In the example shown to (a) and (b) of FIG. 3, with respect to the lower support chuck 31 on which the electro-optical panel 1 is supported, the upper support chuck 32 on which the board | substrate 2 is supported is carried out, respectively. The optical panel 1 and the substrate 2 are respectively supported by the horizontal drive part 33 so as to be movable in the XYθ direction (up, down, left and right directions and inclined directions in the example shown in FIG. 3A) so as to face each other.

또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 상방의 지지 척(32)에 대해서 하방의 지지 척(31)이 XYθ 방향으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown in the other examples, the lower support chuck 31 can be supported by the horizontal drive unit 33 in the XYθ direction with respect to the upper support chuck 32 as opposed to the illustrated example. Do.

이러한 본 발명의 실시예에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 합착 유닛(10)에 대해서 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 각 기판(2)을 1회 세트하는 것만으로, 그 중첩과 위치맞춤이 이루어진다.According to the manufacturing system and manufacturing method of the display panel A which concerns on such an Example of this invention, only a plurality of sets of electro-optical panel 1 and each board | substrate 2 are set once with respect to the bonding unit 10. FIG. The overlap and alignment is achieved.

이에 따라, 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 효율 좋게 맞붙일 수 있는 이점이 있다.As a result, there is an advantage that the plurality of sets of electro-optical panels 1 and the substrate 2 can be bonded together efficiently.

그 결과, 전기 광학 패널과 기판을 한 조씩 중첩하여 위치맞춤하는 종래의 제조 시스템 및 제조 방법에 비해, 표시 패널(A)의 생산성을 향상시킬 수 있어 비용 저감화가 도모된다.As a result, productivity of display panel A can be improved compared with the conventional manufacturing system and manufacturing method which position and position an electro-optical panel and a board | substrate superimposed one by one, and cost reduction is aimed at.

또한, 전술한 실시예에서는 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하고, 이들 양자 사이에 걸쳐 반송 유닛(20)에 의해 반송했지만, 이에 한정되지 않고, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 일체적으로 배치하여 그 내부에서 반송 유닛(20)에 의해 반송해도 된다.In addition, in the above-mentioned embodiment, although the bonding unit 10 and the inorganic cloth alignment unit 30 were arrange | positioned separately, and conveyed by the conveying unit 20 between these, it is not limited to this, but the bonding unit 10 ) And the inorganic fabric alignment unit 30 may be arranged integrally and conveyed by the conveying unit 20 therein.

1 : 전기 광학 패널 1a, 2a : 대향면
2 : 기판 3 : 액상 접착제
11 : 진공 챔버 20 : 반송 유닛
30 : 무기포 정렬 유닛 40 : 경화 유닛1: electro-optical panel 1a, 2a: opposing surface
2: substrate 3: liquid adhesive
11: vacuum chamber 20: conveying unit
30: inorganic gun alignment unit 40: curing unit

Claims (4)

전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법으로서,
진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과,
상기 합착 공정에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 하는 레벨링 공정과,
상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과,
상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법. A method of manufacturing a display panel in which an electro-optic panel and a substrate having light transparency and adhering light emitted from the electro-optical panel to the visual recognition side are pasted together with a liquid adhesive.
A bonding step of overlapping the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate in a Z direction so that the liquid adhesive is sandwiched therebetween in a vacuum atmosphere;
The liquid adhesive is naturally stretched over a predetermined time along the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate superimposed in the bonding process, so that the layer thickness of the liquid adhesive is entirely on the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate. A leveling step of making substantially uniform in the Z direction,
An inorganic cloth alignment step of aligning one of the electro-optical panel or the substrate by the sliding step with respect to the other in the air in the XYθ direction after the leveling step;
A curing step of curing the liquid adhesive disposed between the electro-optical panel positioned in the inorganic fabric alignment process and the opposite surface of the substrate
Method of manufacturing a display panel comprising a. 제1항에 있어서, 상기 합착 공정에서는 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 배치하여 동시에 중첩하고,
상기 무기포 정렬 공정에서는 상기 합착 공정에서 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법. The method of claim 1, wherein in the bonding step, the electro-optical panel and the substrate are arranged so that each of the plurality of pairs face each other and overlap at the same time,
And in the inorganic fabric alignment step, the plurality of sets of the electro-optical panels and the substrate superposed in the bonding step are aligned in sequence. 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 시스템으로서,
진공 챔버를 가지며, 그 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과,
상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과,
대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과,
상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛
을 구비하고,
상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템. A display panel manufacturing system for attaching an electro-optic panel and a substrate having light transparency and a substrate for injecting light emitted from the electro-optical panel to a viewer, with a liquid adhesive,
A bonding unit having a vacuum chamber, wherein the bonding unit supports the electro-optical panel and the substrate in the vacuum chamber and overlaps in the Z direction to sandwich the liquid adhesive therebetween;
A conveying unit which detachably supports the electro-optical panel and the substrate superimposed by the bonding unit and conveys them from the vacuum chamber to the atmosphere;
An inorganic fabric alignment unit which is installed in the atmosphere and which moves one of the electro-optical panel or the substrate conveyed by the transfer unit in a XYθ direction with respect to the other and positions it;
A curing unit for curing the liquid adhesive disposed between the electro-optical panel positioned by the inorganic cloth alignment unit and the opposite surface of the substrate
And
The conveying unit is arranged along the opposing surface of the electro-optical panel and the substrate during a predetermined time until the electro-optical panel and the substrate superimposed from the vacuum chamber are conveyed to and set in the inorganic fabric alignment unit in the air. A liquid adhesive is naturally stretched so that the layer thickness of the liquid adhesive is substantially uniform in the Z direction over the entire opposite surface. 제3항에 있어서, 상기 합착 유닛은 상기 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 지지하고, 이들 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 각각 접근 이동시켜 동시에 중첩하고,
상기 반송 유닛은 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 상기 진공 챔버 내로부터 상기 무기포 정렬 유닛에 반송하고,
상기 무기포 정렬 유닛은 상기 반송 유닛에 의해 반송된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템.4. The bonding unit according to claim 3, wherein the bonding unit supports the electro-optical panel and the substrate so that each of the plurality of pairs oppose each other in the vacuum chamber, and moves the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate to approach and overlap at the same time. and,
The conveying unit conveys the plurality of sets of the electro-optical panels and the substrate superposed by the bonding unit from the vacuum chamber to the inorganic fabric alignment unit,
And the inorganic fabric alignment unit detachably supports the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate, which are conveyed by the transfer unit, and positions them in sequence.
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