KR20120024394A

KR20120024394A - Surface treatment device

Info

Publication number: KR20120024394A
Application number: KR1020110076851A
Authority: KR
Inventors: 토모히로 노다; 시게유키 와타나베
Original assignee: 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤
Priority date: 2010-08-25
Filing date: 2011-08-02
Publication date: 2012-03-14
Also published as: CN102383166B; CN102383166A; JP2012046783A; KR101379269B1

Abstract

PURPOSE: A surface treatment apparatus is provided to ensure smooth supply and discharge of work pieces by fixing the position of a rotating rail. CONSTITUTION: A surface treatment apparatus(10) comprises a plurality of transfer jigs(30), a circulating transfer path(100), a surface treatment basin(200), an entry part(210), and an exit part(220). The plurality of transfer jigs hold respective work pieces(20) and are circulated in a circulating transfer direction through the circulating transfer path. The surface treatment basin processes the surface of each work piece held by the transfer jig. The entry part is arranged before the surface treatment basin on the circulating transfer path and supplies untreated work pieces to the transfer jigs. The exit part is arranged after the surface treatment basin on the circulating transfer path and discharges treated work pieces from the transfer jigs.

Description

Surface Treatment Equipment {SURFACE TREATMENT DEVICE}

본 발명은 연속 도금장치 등의 표면처리장치에 관한 것이다. The present invention relates to a surface treatment apparatus such as a continuous plating apparatus.

표면처리장치, 예를 들면 워크 표면을 도금처리하는 전해 도금처리장치로서, 도금조(槽;tank) 내에서 회로 기판 등의 워크를 연속 반송하는 연속 도금처리장치가 알려져 있다. 워크는 급전(給電) 레일을 따라 반송되는 반송 지그에 수하(垂下)되어 홀딩된다. 워크는 급전 레일로부터 반송 지그를 통해 급전되면서 도금조 내부를 연속 반송된다. 도금조에는 음극이 되는 워크 반송 경로의 양측에 양극이 배치된다. 음극-양극간에 전계를 형성해서 도금액을 전기 분해하여 워크 표면을 도금한다. BACKGROUND ART As a surface treatment apparatus, for example, an electrolytic plating treatment apparatus for plating a workpiece surface, a continuous plating treatment apparatus for continuously conveying a workpiece such as a circuit board in a plating tank is known. The workpiece is held and held by a conveying jig conveyed along a feed rail. The workpiece is continuously conveyed through the plating bath while the workpiece is fed through the transfer jig from the feed rail. An anode is arrange | positioned at both sides of the workpiece conveyance path | route which becomes a cathode in a plating tank. An electric field is formed between the cathode and the anode to electrolyze the plating solution to plate the work surface.

도금조에서 워크를 연속 반송하는 콘베이어의 앞뒤에 전처리 콘베이어와 후처리 콘베이어를 배치하고, 각 콘베이어 사이에서 워크를 홀딩한 반송 지그를 주고받는 구조(특허문헌 1의 도 1)에서는, 각 콘베이어 사이에 주고받기 장치가 필요해서 장치가 대형화된다. In a structure in which a pretreatment conveyor and a post-treatment conveyor are arranged before and after the conveyor for continuously conveying the workpieces in the plating bath, and the conveying jig for holding the workpiece between the conveyors (FIG. 1 of Patent Document 1) is used between the conveyors. The need for a send and receive device increases the size of the device.

이 대신에, 트랙형상의 반송 경로에 도금조, 전처리조 및 후처리조를 마련한 구조가 있다(특허문헌 2의 도 1). Instead, there is a structure in which a plating tank, a pretreatment tank, and a post-treatment tank are provided in a track-shaped conveyance path (FIG. 1 of patent document 2).

일본국 특허공보 제3025254호Japanese Patent Publication No. 3025254 일본국 공개특허공보 2002-363796호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-363796

특허문헌 2의 구조는 특허문헌 1보다 장치는 소형화된다. 그러나 특허문헌 2의 도 2에서는 직선반송로에서의 반송과 비교해서 코너부에서의 반송 기구가 대규모가 되어, 2개의 푸셔(21a, 21d)에 의해 구동되는 링크 기구에 더해 승강 기구도 필요하게 된다. As for the structure of patent document 2, the apparatus becomes smaller than patent document 1. However, in FIG. 2 of patent document 2, the conveyance mechanism in a corner part becomes large compared with the conveyance in a linear conveyance path, and a lifting mechanism is also needed in addition to the link mechanism driven by two pushers 21a and 21d. .

본 발명의 몇 가지 양태에서는 코너부에서의 반송 기구를 간이화해서 장치를 소형화할 수 있는 표면처리장치를 제공한다. In some aspects of the present invention, there is provided a surface treatment apparatus capable of miniaturizing the apparatus by simplifying the transport mechanism at the corner portion.

본 발명의 한 양태에 따른 표면처리장치는, Surface treatment apparatus according to an aspect of the present invention,

워크를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그와, A plurality of conveying jig for holding the work, respectively,

순환반송방향을 따라 상기 복수의 반송 지그가 순환 반송되는 순환반송로와, A circulation transport path through which the plurality of transport jigs are circulated and transported along a circulation transport direction;

상기 순환반송로에 마련되며, 상기 복수의 반송 지그의 각각에 홀딩된 상기 워크를 표면처리하는 표면처리조와, A surface treatment tank provided on the circulation conveyance path and surface-treating the workpiece held by each of the plurality of conveying jigs;

상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 상류에 마련되며, 미처리 워크를 상기 복수의 반송 지그에 반입하는 반입부와, A carrying-in portion provided upstream of said circulation transfer path from said surface treatment tank, and carrying an untreated workpiece into said plurality of transfer jigs;

상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 하류에 마련되며, 처리 완료된 워크를 상기 복수의 반송 지그로부터 반출하는 반출부를 가지며, It is provided downstream of the said circulation conveyance path than the said surface treatment tank, and has a carrying part which carries out the processed workpiece | work from the said several conveyance jig,

상기 순환반송로는, The circulation transport path,

제1 직선반송로와, The first straight carrier,

상기 제1 직선반송로와 평행한 제2 직선반송로와, A second linear transport path parallel to the first linear transport path,

상기 제1 직선반송로의 한쪽 끝에서 상기 제2 직선반송로의 한쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치와, A first rotating device which horizontally rotates and passes at least one of the plurality of conveying jigs from one end of the first linear transport path to one end of the second straight transport path;

상기 제2 직선반송로의 다른쪽 끝에서 상기 제1 직선반송로의 다른쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치를 가지며, A second rotating device for horizontally rotating and passing at least one of the plurality of conveying jigs from the other end of the second straight conveying path to the other end of the first straight conveying path,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각은, Each of the first and second rotary devices,

2개의 회전 레일과, With two rolling rails,

상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 적어도 하나의 반송 지그를 지지한 상태로, 상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일이 빈 상태에서, 상기 2개의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동하는 회전 구동부를 가지며, In the state in which the said at least one conveyance jig was supported by the one rotation rail located in the upstream of the said circulation conveyance direction, the other two rotation rails located in the downstream of the said circulation conveyance direction are empty, It has a rotary drive unit for intermittently rotating the rotary rail by 180 °,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일의 각각은, 정지위치에서, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 및 상기 다른쪽 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치되는 것을 특징으로 한다. Each of the two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices includes four guide rails disposed at the one end and the other end of the first and second linear transport paths, respectively, at a stop position. It is characterized in that it is arranged in line with each one of the corresponding.

본 발명의 한 양태에서는, 제1, 제2 회전장치의 각각은 2개의 회전 레일 중, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 한쪽에 반송 지그를 지지하고, 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른쪽은 빈 상태에서, 2개의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동한다. 이로 인해 제1, 제2 직선반송로 사이에서 반송 지그를 상류측에서 하류측으로 건넬 수 있다. In one aspect of the present invention, each of the first and second rotary devices supports a transfer jig on one side of the two rotary rails, located upstream in the circulation conveyance direction, and is located on the downstream side of the circulation conveyance direction. In the empty state, two rotary rails are intermittently rotated by 180 degrees. For this reason, a conveyance jig can be passed from an upstream side to a downstream side between a 1st, 2nd linear conveyance path.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은 평면으로 봤을 때 양 끝이 모따기(chamfering)되고, 상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 양 단부의 한쪽과 대향하는 단부는, 상기 2개의 회전 레일의 회전시에 상기 2개의 회전 레일의 상기 양 단부와 간섭하지 않도록 모따기되어도 된다. In one aspect of the present invention, the two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices are chamfered at both ends in plan view, and each one of the four guide rails is The edge part which opposes one of the said both ends of the said rotary rail arrange | positioned in line with each said one may be chamfered so that it may not interfere with the said both ends of the said two rotary rails at the time of rotation of the said two rotary rails.

회전 레일의 회전시에는, 회전 레일의 양 단부에 모따기부가 존재함으로 인해, 회전 레일은 최대 반경의 회전 궤적이, 고정 레일의 단부와 간섭하지 않도록 할 수 있다. 게다가 모따기부를 형성함으로써, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈(δ)을 작게 할 수 있다. At the time of rotation of the rotary rail, the chamfers exist at both ends of the rotary rail, so that the rotary rail can prevent the rotational trajectory of the largest radius from interfering with the end of the fixed rail. Furthermore, by forming a chamfer, the clearance gap (delta) between a rotating rail and a fixed rail can be made small.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은, 평면으로 봤을 때 양 끝에 제1, 제2 사변(斜邊)을 가지는 사다리꼴로 형성되고, 상기 정지위치에서, 상기 사다리꼴의 긴 변이 상기 사다리꼴의 짧은 변보다 회전반경방향의 내측에 배치되고, 상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 대향하는 단부에, 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 실질적으로 평행한 사변을 가질 수 있다. In one aspect of the present invention, the two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices are formed in a trapezoid having first and second quadrangles at both ends in plan view. In the stationary position, the long side of the trapezoid is disposed inside the radial direction more than the short side of the trapezoid, wherein each one of the four guide rails is arranged in a line with each one of the rotary rails. An end portion facing one side of the first and second quadrilaterals may have a quadrangle substantially parallel to one side of the first and second quadrilaterals.

이러한 형상에 의해, 회전 레일의 최대 회전 반경을 짧게 하여, 회전 레일과 고정 레일의 간섭을 방지할 수 있는 동시에, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈을 최소로 할 수 있다. By such a shape, the maximum rotation radius of a rotating rail can be shortened, the interference of a rotating rail and a fixed rail can be prevented, and the gap between a rotating rail and a fixed rail can be minimized.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 긴 변과 상기 사변의 교점을 제1 각부(角部)라고 하고, 상기 짧은 변과 상기 사변의 교점을 제2 각부라고 하여, 상기 회전 레일의 회전중심에서 상기 제1, 제2 각부까지의 각 길이가 실질적으로 동일하게 할 수 있다. In an aspect of the present invention, an intersection point of the long side and the quadrilateral is called a first corner portion, and an intersection point of the short side and the quadrilateral is called a second corner portion, and the first center is formed at the center of rotation of the rotary rail. Each length to 1, 2nd each part can be made substantially the same.

이 경우, 회전 레일의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이가 최대 반경이 된다. 따라서 제1, 제2 각부(P1, P2)의 회전 궤적이 고정 레일과 간섭하지 않도록, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈(δ)을 최소로 설정할 수 있다. In this case, each length from the rotation center O of the rotating rail to the first and second corner portions P1 and P2 is the maximum radius. Accordingly, the gap δ between the rotating rail and the fixed rail can be set to the minimum so that the rotation trajectories of the first and second corner parts P1 and P2 do not interfere with the fixed rail.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는, 상기 2개의 회전 레일을 동일한 회전방향으로 반복해서 회전 구동하고, 상기 적어도 하나의 반송 지그를 지지한 상기 1개의 회전 레일은, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 또는 상기 다른쪽 끝보다 외측을 통과해서 회전되며, 상기 빈 상태의 상기 다른 1개의 회전 레일은 상기 제1, 제2 직선반송로 사이를 통과해서 회전할 수 있다. In one aspect of the present invention, the rotation drive unit repeatedly rotates the two rotation rails in the same rotation direction, and the one rotation rail supporting the at least one conveying jig is the first and second. It is rotated through the outside of the one end or the other end of the linear transport path, the other one of the rotary rail in the empty state can pass through the rotation between the first, second linear transport path.

이렇게 하면 제1, 제2 직선반송로 사이에서 반송 지그에 홀딩된 워크를 상류측에서 하류측으로 건넬 때에, 워크가 제1, 제2 직선반송로 사이의 부품과 간섭하는 일이 없다. This prevents the workpiece from interfering with the components between the first and second linear transport paths when the workpiece held in the transport jig is passed from the upstream side to the downstream side between the first and second linear transport paths.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각은 상기 2개의 회전 레일을, 상기 정지위치에서 위치결정 고정하는 위치결정 고정부를 더 가질 수 있다. In one aspect of the present invention, each of the first and second rotary devices may further have a positioning fixing portion for positioning and fixing the two rotary rails at the stop position.

이렇게 하면, 고정 레일과의 사이에서 반송 지그가 반입출되는 회전 레일을 위치결정 고정부에 의해 위치결정 고정함으로써, 회전 레일의 위치를 일정하게 해서 반입출 동작을 원활하게 실시할 수 있다. In this way, positioning of the rotating rail by which the conveying jig is carried in and out between the fixed rail by the positioning fixing part can make positioning of a rotating rail constant, and carry-out operation can be performed smoothly.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 위치결정 고정부는 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 적어도 하나의 반송 지그를 건네기 전에, 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에서 위치결정 고정할 수 있다. In one aspect of the present invention, the positioning fixing portion positions the two rotating rails at the stop position before passing the at least one conveying jig to one rotating rail positioned upstream in the circulation conveyance direction. can do.

이렇게 하면, 고정 레일에서 회전 레일을 향해 반송 지그가 반입될 때에 회전 레일에 외력이 작용해도, 회전 레일이 외력에 의해 이동하는 것을 위치결정 고정부에 의해 방지할 수 있다. In this way, even if an external force acts on the rotary rail when the conveying jig is carried from the fixed rail toward the rotary rail, the positioning fixed portion can prevent the rotary rail from moving by the external force.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는 구동원과, 상기 2개의 회전 레일이 양 끝에 고정되고, 상기 구동원에 의해 구동되는 회전 암을 가지며, In one aspect of the present invention, the rotary drive unit has a drive source, and the two rotary rails are fixed at both ends, and have a rotary arm driven by the drive source,

상기 위치결정 고정부는, The positioning fixing portion,

상기 회전 암에 마련된 적어도 하나의 피(被)위치결정부와, At least one to-be-positioned portion provided on the rotating arm;

상기 정지위치에 있는 상기 적어도 하나의 피위치결정부를 향해 구동되어 상기 적어도 하나의 피위치결정부를 위치결정 고정하는 위치결정 구동부를 포함할 수 있다. And a positioning driver which is driven toward the at least one to-be-positioned part at the stop position to positionally fix the at least one to-be-positioned part.

이렇게 하면, 적어도 하나의 피위치결정부를 향해 위치결정 구동부를 구동함으로써, 회전 암 및 그 양 끝의 회전 레일이 위치결정된다. In this way, the rotary arm and the rotary rails at both ends thereof are positioned by driving the positioning driver toward the at least one to-be-positioned portion.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 적어도 하나의 피위치결정부는 상기 회전 암의 회전중심에서 등(等)거리에 있는 2부위에 배치되고, 상기 위치결정 구동부는 상기 회전중심보다, 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 가까운 위치에 배치할 수 있다. In one aspect of the present invention, the at least one positioning portion is disposed at two portions equidistant from the rotation center of the rotary arm, and the positioning drive portion is located in the circulation conveyance direction rather than the rotation center. It can arrange | position to the position near one rotating rail located in an upstream.

2개의 피위치결정부에 대하여, 2개의 위치결정 구동부를 마련해도 되지만, 1개의 위치결정 구동부(522)만 마련해서 부품점수를 삭감할 수 있다. 이 위치결정 구동부는 회전중심보다, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 회전 레일에 가까운 위치에 배치된다. 한쪽의 피위치결정부를 위치결정 구동부에 의해 위치결정해도, 2개의 회전 레일은 일체적으로 위치결정된다. 특히 반송 지그(30)가 반입되는 쪽의 전개 레일에는, 반입시에 회전 레일(141)을 회전시키는 외력이 작용하므로, 외력이 작용하는 쪽에 위치결정 구동을 배치하고 있다. Although two positioning driving units may be provided for the two positioning units, only one positioning driving unit 522 can be provided to reduce the number of parts. This positioning drive portion is disposed at a position closer to the rotation rail located on the upstream side in the circulation conveyance direction than the rotation center. Even if one of the to-be-positioned portions is positioned by the positioning drive portion, the two rotary rails are integrally positioned. In particular, since the external force which rotates the rotary rail 141 at the time of carrying in acts on the deployment rail by which the conveyance jig 30 is carried in, the positioning drive is arrange | positioned at the side which an external force acts.

본 발명의 한 양태에서는, In one aspect of the invention,

상기 2개의 회전 레일과 일체로 회전 구동되는 제1 피(被)검출부와, A first to-be-detected part which is driven to rotate integrally with the two rotary rails;

상기 제1 피검출부의 회전위치를 검출하는 위치검출부를 더 가지며, It further has a position detection unit for detecting a rotation position of the first detected portion,

상기 회전 구동부는 상기 위치검출부에서의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에 정지시킬 수 있다. The rotation drive unit may stop the two rotation rails at the stop position based on the output from the position detection unit.

이렇게 하면, 회전 구동부는 항상 일정한 위치에서 회전 레일을 정지 제어할 수 있어, 고정 레일과 회전 레일 사이에서 반송 부재를 주고받기가 원활해진다. In this way, the rotation drive part can always control the rotation rail at a fixed position, and the transfer member can be smoothly exchanged between the fixed rail and the rotation rail.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는 브레이크 달린 모터를 포함하고, In one aspect of the invention, the rotary drive unit includes a motor with a brake,

상기 위치검출부는 상기 정지위치를 검출하는 제1 위치검출부와, 상기 회전방향에서 상기 정지위치보다 상류위치의 감속개시위치를 검출하는 제2 위치검출부를 포함할 수 있다. The position detecting unit may include a first position detecting unit detecting the stop position and a second position detecting unit detecting the deceleration starting position of an upstream position from the stop position in the rotation direction.

이렇게 하면, 회전 레일의 정지위치 정밀도가 더욱 높아져, 고정 레일과 회전 레일 사이에서 반송 부재를 주고받기가 더욱 원활해진다. In this way, the stop position accuracy of the rotary rail becomes higher, and the transfer member can be smoothly exchanged between the fixed rail and the rotary rail.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 복수의 반송 지그 각각은 제2 피검출부를 가지며, In one aspect of the present invention, each of the plurality of conveying jigs has a second detected portion,

상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 반입되는 상기 적어도 하나의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제1 지그검출부와, A first jig detecting unit for detecting the presence or absence of the second to-be-detected part of the at least one conveying jig carried in one rotary rail located upstream in the circulation conveyance direction;

상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일로부터 반출되는 상기 적어도 하나의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제2 지그검출부를 더 가지며, It further has a 2nd jig detection part which detects the presence or absence of the said to-be-detected part of the said at least 1 conveyance jig carried out from another one rotary rail located downstream of the said circulation conveyance direction,

상기 회전 구동부는, 상기 제1, 제2 지그검출부의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일의 회전 구동을 개시할 수 있다. The rotation driving unit may initiate rotation driving of the two rotation rails based on outputs of the first and second jig detection units.

회전 구동부는 제1, 제2 지그검출부의 출력에 기초하여 회전 레일의 회전 구동을 개시한다. 즉, 제1 지그검출부에서 상류측에 위치하는 회전 레일에 반송 지그가 탑재된 것이 확인되고, 동시에 제1 지그검출부에서 하류측에 위치하는 회전 레일로부터 반송 지그가 반출된 것이 확인되어, 회전 구동부는 구동 개시된다. The rotary drive unit starts the rotary drive of the rotary rail based on the outputs of the first and second jig detection units. That is, it was confirmed that the conveying jig was mounted on the rotary rail located upstream from the first jig detection unit, and it was confirmed that the conveying jig was carried out from the rotating rail located downstream from the first jig detecting unit. Drive starts.

본 발명에 따르면, 코너부에서의 반송 기구를 간이화해서 장치를 소형화할 수 있는 표면처리장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a surface treatment apparatus capable of miniaturizing the apparatus by simplifying the transport mechanism at the corner portion.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 연속 도금장치의 개략 평면도이다.
도 2는 도금조로의 반송 지그를 간헐 반송하고, 도금조 내에서 반송 지그를 연속 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 3은 전처리조의 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 4는 전처리조의 다른 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 5는 회전장치의 정면도이다.
도 6은 회전장치의 측면도이다.
도 7은 회전장치의 평면도이다.
도 8은 도금조의 개략 종단면도이다.
도 9는 반송 지그의 개략 사시도이다. 1 is a schematic plan view of a continuous plating apparatus according to an embodiment of the present invention.
It is a figure explaining the operation | movement which conveys a conveyance jig to a plating tank intermittently, and conveys a conveyance jig continuously in a plating tank.
It is a figure explaining the operation | movement which intermittently conveys a conveyance jig by a part of pretreatment tank.
It is a figure explaining the operation | movement which intermittently conveys a conveyance jig by another part of pretreatment tank.
5 is a front view of the rotating apparatus.
6 is a side view of the rotating apparatus.
7 is a plan view of the rotating apparatus.
8 is a schematic longitudinal sectional view of a plating bath.
9 is a schematic perspective view of the conveying jig.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 한편 이하에 설명하는 본 실시형태는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것이 아니며, 본 실시형태에서 설명되는 구성 모두가 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail. In addition, this embodiment described below does not unduly limit the content of this invention described in the claim, and all the structures described in this embodiment are not necessarily required as a solution of this invention.

1. 표면처리장치의 개요 1. Overview of Surface Treatment Equipment

도 1은 표면처리장치, 예를 들면 연속 도금처리장치의 평면도이다. 연속 도금처리장치(10)는 회로 기판 등의 워크(20)를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그(30)가, 도 1의 예를 들면 오른쪽으로 회전하는 순환반송방향(A)을 따라 순환 반송되는 순환반송로(100)를 가진다. 한편 도 1에서는 일부의 워크(20)나 일부의 반송 지그(30)의 도시가 생략되어 있다. 1 is a plan view of a surface treatment apparatus, for example, a continuous plating treatment apparatus. In the continuous plating apparatus 10, a plurality of conveying jigs 30 holding respective workpieces 20 such as a circuit board are circulated and conveyed along the circulation conveyance direction A rotating, for example, to the right in FIG. 1. It has a circular transfer path 100. In addition, illustration of some workpiece | work 20 and some conveyance jig | tool 30 is abbreviate | omitted in FIG.

순환반송로(100)에는 복수의 반송 지그(30)의 각각에 홀딩된 워크(20)를 표면처리 예를 들면 도금처리하는 도금조(넓은 의미로는 표면처리조)(200)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 상류에 마련되어 미처리 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)에 반입하는 반입부(210)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 하류에 마련되어 처리 완료된 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)로부터 반출하는 반출부(220)가 마련되어 있다. In the circulation conveyance path 100, a plating bath (surface treatment bath in a broad sense) 200 for plating a workpiece 20 held on each of the plurality of conveying jigs 30, for example, a plating bath, and a plating bath. Carrying part 210 which is provided upstream of the circulation conveyance path 100 rather than 200, and carries in the unprocessed workpiece | work 20 to the some conveyance jig 30, and the plating vessel 200 of the circulation conveyance path 100 of the circulation tank 100 of FIG. The carrying out part 220 which carries out the workpiece | work 20 provided downstream and carried out from several conveyance jig 30 is provided.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)와, 제1 직선반송로(110)와 평행한 제2 직선반송로(120)와, 제1 직선반송로(110)의 한쪽 끝에서 제2 직선반송로(120)의 한쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치(130)와, 제2 직선반송로(120)의 다른쪽 끝에서 제1 직선반송로(110)의 다른쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치(140)를 가진다. The circulation transport path 100 is formed at one end of the first linear transport path 110, the second linear transport path 120 parallel to the first linear transport path 110, and the first linear transport path 110. The first rotary device 130 which horizontally rotates and passes at least one of the plurality of conveying jigs 30 to one end of the second linear transport path 120 and the other end of the second linear transport path 120. It has the 2nd rotating device 140 which horizontally rotates and passes at least one of the some conveyance jig 30 to the other end of the 1st linear conveyance path 110. As shown in FIG.

본 실시형태에서는, 도금조(200)는 제2 직선반송로(120)를 따라 마련되고, 반입부(210) 및 반출부(220)는 제1 직선반송로(110)에 마련되어 있다. 순환반송로(100)에는 도금조(200)의 상류측에 배치되는 전처리조군(230)과, 도금조(200)의 하류측에 배치되는 후처리조군(240)을 더 마련할 수 있다. In this embodiment, the plating tank 200 is provided along the 2nd linear conveyance path 120, and the carrying-in part 210 and the carrying out part 220 are provided in the 1st linear conveyance path 110. As shown in FIG. The circulation transfer path 100 may further include a pretreatment tank group 230 disposed on an upstream side of the plating tank 200 and a post treatment tank group 240 disposed on a downstream side of the plating tank 200.

전처리조군(230)은 반입부(210)와 도금조(200) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 탈지조(230A), 온수세정조(230B), 물세정조(230C), 샤워조(230D) 및 산세정조(230E)를 배치함으로써 구성된다. 후처리조(240)는 도금조(200)와 반출부(220) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 샤워조(240A) 및 물세정조(240B)를 배치함으로써 구성된다. 한편 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 수나 종류는 적절히 변경 가능하다. 또한 본 실시예의 장치에서는, 제1 회전장치(130)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(230D)에서 세정된다. 마찬가지로, 제2 회전장치(140)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(240A)에서 세정된다. The pretreatment tank 230 is in order from the upstream side between the carrying-in part 210 and the plating tank 200, for example, degreasing tank 230A, hot water washing tank 230B, water washing tank 230C, shower tank ( 230D) and pickling bath 230E. The post-treatment tank 240 is comprised by placing the shower bath 240A and the water washing tank 240B in order from an upstream side between the plating tank 200 and the carrying out part 220, for example. On the other hand, the number and type of the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240 can be appropriately changed. Moreover, in the apparatus of this embodiment, the workpiece | work 20 rotated by the 1st rotating apparatus 130 is wash | cleaned in the shower tank 230D during rotation. Similarly, the workpiece 20 rotated by the second rotating device 140 is cleaned in the shower bath 240A during rotation.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다. 이 때문에, 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서는 반송 지그(30)를 반송 가이드하는 2종류의 가이드 레일이 마련된다. 하나는 동일 처리조 내에서 반송 지그(30)를 간헐 반송시키기 위한 고정 레일(232, 234, 235, 242, 243)이다. 다른 하나는 다른 처리조 사이에서, 칸막이벽을 넘어서 반송 지그(30)를 간헐 반송할 수 있는 승강 레일(231, 233, 236, 241)이다. The conveyance jig 30 is intermittently conveyed by the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240. For this reason, in the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240, two types of guide rails which convey a conveyance jig 30 are provided. One is the fixed rails 232, 234, 235, 242, 243 for intermittently conveying the conveyance jig 30 in the same process tank. The other is the lifting rails 231, 233, 236, 241 which can intermittently convey the conveyance jig 30 between partition walls.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 샤워조(230D, 240A) 이외의 제1, 제2 직선반송로(110, 120)에서는 이 2종류의 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 1 또는 복수개의 반송 지그(30)를 단위거리만큼 이동시키는 푸셔(pusher)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 한편 간헐 반송동작에 대해서는 도 3 및 도 4를 이용해서 후술한다. In the first and second linear conveyance paths 110 and 120 except for the shower tanks 230D and 240A of the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240, these two types of guide rails and one or more guide rails along the guide rails. The conveyance jig 30 is intermittently conveyed by the pusher which moves the some conveyance jig 30 by a unit distance. On the other hand, the intermittent conveyance operation will be described later with reference to FIGS. 3 and 4.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240) 중의 샤워조(230D, 240A)에서는 제1, 제2 회전장치(130, 140)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 이 때문에, 제1 회전장치(130)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(131, 132)을 가지며, 제2 회전장치(140)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(141, 142)을 가진다. In the shower tanks 230D and 240A in the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240, the conveyance jig 30 is intermittently conveyed by the first and second rotary devices 130 and 140. For this reason, the first rotary device 130 has two rotary rails 131 and 132 which are integrally driven to rotate, and the second rotary device 140 has two rotary rails 141 which are integrally driven to rotate. 142).

예를 들면 제1 회전장치(130)에서는 2개의 회전 레일(131, 132) 중, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 한쪽에 반송 지그(30)를 지지하고, 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른쪽은 빈 상태에서, 2개의 회전 레일(131, 132)을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동한다. 제2 회전장치(140)도 마찬가지이다. 제1, 제2 회전장치(130, 140)로 회전되는 반송 지그(30)에 홀딩된 워크(20)는 샤워조(230D) 또는 샤워조(240A)에서 샤워 세정된다. 이때, 샤워조(230D, 240A)에서는 워크(20)를 침지시키는 액을 수용할 필요가 없으므로 격벽이 있다고 해도 낮아도 되므로, 워크(20)의 수평 반송에 지장을 주지 않는다. For example, in the 1st rotating apparatus 130, the conveyance jig 30 is supported in one of the two rotary rails 131,132 which is located upstream of a circulation conveyance direction, and is located in the downstream of a circulation conveyance direction. In the other side, the two rotary rails 131 and 132 are intermittently rotated by 180 degrees in an empty state. The same applies to the second rotating device 140. The workpiece | work 20 held by the conveyance jig 30 rotated by the 1st, 2nd rotating apparatuses 130 and 140 is shower-washed by the shower tank 230D or the shower tank 240A. At this time, the shower baths 230D and 240A do not need to contain the liquid immersing the work 20, so even if there is a partition wall, it may be low, so that the horizontal conveyance of the work 20 is not impeded.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 회전장치(130, 140)의 각각에 마련된 2개의 회전 레일(131, 132, 141, 142)의 각각은 정지위치에서, 제1, 제2 직선반송로(110, 120)의 양 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일(234, 235, 242, 243)의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치된다. As shown in FIG. 1, each of the two rotary rails 131, 132, 141, and 142 provided in each of the 1st, 2nd rotating apparatuses 130 and 140 is a 1st, 2nd linear conveyance at a stop position. It is arranged in line with each corresponding one of four guide rails 234, 235, 242, 243 disposed at both ends of the furnace 110, 120, respectively.

도금조(200)에는 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 도 1의 평면도에서 도금조(200)의 길이방향과 평행하게 연장 설치되는 급전 레일(201)이 마련되어 있다. 급전 레일(201)에 지지되는 복수의 반송 지그(30)는 도금조(200) 내에 배치시켜 워크(20)를 각각 홀딩한다. 또한 복수의 반송 지그(30)를 급전 레일(201)을 따라 연속 반송시키는 연속 반송 수단(400)이 급전 레일(201)을 따라 마련된다. 한편 연속 반송동작에 대해서는 도 2를 이용해서 후술한다. The plating tank 200 is provided with a feed rail 201 extending in parallel with the longitudinal direction of the plating bath 200 in the plan view of FIG. 1 at a position deviating from the upper side of the plating bath 200. The plurality of conveying jig 30 supported by the power supply rail 201 is arrange | positioned in the plating tank 200, and hold | maintains the workpiece | work 20, respectively. Moreover, the continuous conveying means 400 which continuously conveys the several conveyance jig 30 along the feed rail 201 is provided along the feed rail 201. FIG. On the other hand, the continuous conveyance operation will be described later with reference to FIG.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)의 반출부(220)에서 반입부(210)에 걸쳐, 지그 되돌리기 반송로(150)를 더 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 예를 들면 2개의 엔드리스(endless) 체인(151, 152)을 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 빈 상태의 반송 지그(30)를 반출부(220)에서 반입부(210)로 되돌리기 반송하는 기능과, 반입부(210)의 상류측에서 빈 상태의 반송 지그(30)를 대기시키는 기능을 가진다. The circulation conveyance path 100 further has the jig return conveyance path 150 from the carrying out part 220 of the 1st linear conveyance path 110 to the carrying-in part 210. The jig return conveying path 150 has two endless chains 151, 152, for example. The jig return conveyance path 150 has a function of returning and conveying the empty conveyance jig 30 from the carrying out part 220 to the carrying-in part 210, and the conveying jig of the empty state in the upstream of the carrying part 210 ( 30) has a function of waiting.

2. 반송 지그의 간헐 반송과 연속 반송 2. Intermittent conveyance and continuous conveyance of conveying jig

도 2는 도금조(200) 내에서의 반송 지그(30)의 연속 반송동작과, 산세정조(230E)와 도금조(200) 사이에서의 반송 지그(30)의 간헐 반송동작을 나타내고 있다. 도 2는 승강 레일(236)에 지지되어 있던 3개의 반송 지그(30) 중, 쇄선으로 나타내는 선두에 있는 반송 지그(30)가 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)상의 실선으로 나타내는 위치로 건네진 직후의 상태를 나타내고 있다. 2 illustrates the continuous conveying operation of the conveying jig 30 in the plating vessel 200 and the intermittent conveying operation of the conveying jig 30 between the pickling tub 230E and the plating vessel 200. FIG. 2 is a position where the conveyance jig 30 at the head indicated by the broken line among the three conveyance jigs 30 supported by the elevating rail 236 is indicated by a solid line on the feed rail 201 from the elevating rail 236. The state immediately after passing is shown.

도 2에서 승강 레일(236)은 승강 모터(250)의 구동에 의해 승강축(252)을 따라 승강할 수 있다. 이 승강 레일(236)은 4개의 반송 지그(30)를 지지할 수 있는 길이를 가지며, 실제 구동에서는 2개 또는 3개의 반송 지그(30)가 지지된다. 따라서, 적어도 1개의 반송 지그(30)를 지지하는 스페이스를, 비어 있는 스페이스로서 가지고 있다. In FIG. 2, the lifting rail 236 may move up and down along the lifting shaft 252 by driving the lifting motor 250. The elevating rail 236 has a length capable of supporting four conveying jigs 30, and two or three conveying jigs 30 are supported in actual driving. Therefore, the space which supports the at least 1 conveyance jig 30 has as empty space.

도 2의 상태에서 승강 레일(236)이 상승되기 전에, 샤워조(230D)에 있던 1개의 반송 지그(30)(도 2에서는 도시하지 않음)가 승강 레일(236)에 지지되도록 보내기 동작된다. 이렇게 해서, 3개의 반송 지그(30)를 탑재한 승강 레일(236)이 상승된다. 상승위치에는 상부 푸셔(260)가 배치되어 있다. 이 상부 푸셔(260)는 로드(rod)(262)에 3개의 보내기 피스(264)를 가진다. 로드(262)는 보내기 모터(266)에 의해 구동되는 보내기 볼 나사(268)에 의해 전후진 가능하다. Before the lifting rail 236 is raised in the state of FIG. 2, one conveying jig 30 (not shown in FIG. 2) in the shower bath 230D is sent to be supported by the lifting rail 236. In this way, the lifting rail 236 which mounts three conveyance jig 30 is raised. The upper pusher 260 is disposed in the raised position. This upper pusher 260 has three sending pieces 264 on rod 262. The rod 262 can be moved back and forth by the sending ball screw 268 driven by the sending motor 266.

한편 승강 레일(236)에 지지된 3개의 반송 지그(30)의 각각에는 제1 구동편(320)이 고정되어 있다. 승강 레일(236)이 상승하면, 상부 푸셔(260)의 3개의 보내기 피스(264)의 전방에 3개의 제1 구동편(320)이 배치된다. 그 후 로드(262)를 전진시키면, 로드(262)와 함께 전진하는 3개의 보내기 피스(264)가 3개의 제1 구동편(320)을 눌러 동작시켜, 3개의 반송 지그(30)가 단위거리만큼 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다. On the other hand, the first drive piece 320 is fixed to each of the three conveying jigs 30 supported by the lifting rails 236. When the lifting rail 236 is raised, three first drive pieces 320 are disposed in front of the three sending pieces 264 of the upper pusher 260. Then, when the rod 262 is advanced, the three sending pieces 264 moving forward together with the rod 262 press the three first drive pieces 320 to operate, so that the three conveying jigs 30 are unit distances. As advanced. In this way, the conveyance jig 30 at the head is moved above the plating bath 200 from above the pickling bath 230E.

그 후, 승강 레일(236)이 하강된다. 그로 인해, 선두에 있는 반송 지그(30)는 도 2에서 쇄선으로 나타내는 바와 같이 도금조(200) 내에 배치된다. 이와 같이, 다른 처리조 사이의 격벽(237)을 넘기 위해, 승강 레일(236)과 상부 푸셔(260)를 이용해서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다. Thereafter, the lifting rail 236 is lowered. Therefore, the conveyance jig 30 at the head is arrange | positioned in the plating tank 200 as shown by the broken line in FIG. In this way, the conveyance jig 30 is intermittently conveyed by using the elevating rail 236 and the upper pusher 260 to cross the partition wall 237 between the different treatment tanks.

승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)(쇄선으로 도시함)는 하부 푸셔(270)에 의해, 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)로 건네진다. 하부 푸셔(270)는 로드(272)에 지지된 보내기 피스(274)를 가진다. 한편 반송 지그(30)는 보내기 피스(274)에 접촉 가능한 제2 구동편(321)을 가지며, 승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)의 제2 구동편(321)은 보내기 피스(274)의 전방에 배치된다. 그 후 로드(272)를 전진시키면, 로드(272)와 함께 전진하는 보내기 피스(274)가 제2 구동편(321)을 눌러 동작시켜, 반송 지그(30)가 단위거리만큼 화살표(A)방향으로 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다. 승강 레일(230E)에서 급전 레일(201)로 건네진다. The conveyance jig 30 (shown by the broken line) at the head supported on the lifting rail 236 is passed from the lifting rail 236 to the power supply rail 201 by the lower pusher 270. Lower pusher 270 has a sending piece 274 supported on rod 272. On the other hand, the conveyance jig 30 has the 2nd drive piece 321 which can contact the sending piece 274, and the 2nd drive piece 321 of the conveyance jig 30 at the head supported on the elevating rail 236. As shown in FIG. Is placed in front of the sending piece 274. Then, when the rod 272 is advanced, the sending piece 274 which advances with the rod 272 presses the 2nd drive piece 321, and the conveyance jig 30 moves in the direction of an arrow A by a unit distance. Is advanced. In this way, the conveyance jig 30 at the head is moved above the plating bath 200 from above the pickling bath 230E. It is passed from the lifting rail 230E to the feeding rail 201.

이때, 로드(272)의 시퀀셜 제어에 의해, 로드(272)로 전진된 후행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)는 급전 레일(201)상에서 저속도로 연속 반송 중인 선행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)와 약간의 갭(G)만큼 떨어져서 배치된다. 갭(G)은 좁을수록 좋지만, 선행 및 후행의 워크(20)들의 간섭을 방지할 필요가 있어, 설계값으로서 10mm 또는 그 전후의 치수로 설정된다. 갭(G)이 크면 워크(20)의 양 끝에 전해가 집중되어, 이른바 도그 본(개 뼈)이라고 불리는 것과 같이 워크(20)의 양 끝에서의 도금 두께가 두꺼워져 면내 균일성을 확보할 수 없기 때문이다. At this time, by the sequential control of the rod 272, the workpiece 20 supported by the trailing conveying jig 30 advanced to the rod 272 is continuously conveyed at a low speed on the feed rail 201 (the preceding conveying jig ( It is arranged apart from the workpiece 20 supported by 30 by a slight gap G. The narrower the gap G, the better. However, it is necessary to prevent the interference of the preceding and following workpieces 20, so that the gap G is set to a size of 10 mm or before and after. If the gap G is large, electrolysis is concentrated at both ends of the work 20, so that the plating thickness at both ends of the work 20 becomes thick, so-called dog bone (dog bone), thereby ensuring in-plane uniformity. Because it is not.

다음으로 도 3 및 도 4를 참조하여, 전처리조군(230)에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 동작에 대하여 설명한다. 도 3 및 도 4에서도 도 2에서의 간헐 반송동작과 마찬가지로, 동일조 내에서만 이루어지는 간헐 반송동작은 하부 푸셔(280, 284, 286)와 고정 레일(232, 234, 235)을 이용해서 실시되고, 다른 조 사이에서 격벽(237)을 넘는 간헐 반송동작을 포함할 경우에는 상부 푸셔(282)와 승강 레일(233)을 이용해서 간헐 반송동작이 실시된다. 한편 도 4는 물세정조(230C)에서 산세정조(230E)까지를 전개한 도면으로서 나타냈지만, 샤워조(230D) 내에서의 간헐 반송은 고정 레일 대신에, 수평으로 회전되는 회전 레일(131) 또는 회전 레일(132)이 이용되고, 회전 레일(131(132))과 그 전후의 고정 레일(234, 235) 사이의 간헐 반송은 하부 푸셔(284, 286)에 의해 실시된다. 또한 후처리조군(240)에서의 간헐 반송동작에 대해서는 설명을 생략하지만, 상기와 마찬가지로 해서, 회전 레일(141, 142), 고정 레일(242, 243)과 도시하지 않은 하부 푸셔를 이용해서 실시된다. Next, with reference to FIG. 3 and FIG. 4, operation | movement which intermittently conveys the conveyance jig 30 in the pretreatment tank group 230 is demonstrated. 3 and 4, similarly to the intermittent conveying operation in FIG. 2, the intermittent conveying operation performed only in the same tank is performed using the lower pushers 280, 284 and 286 and the fixed rails 232, 234 and 235. When intermittent conveyance operation | movement exceeding the partition 237 is included between tanks, the intermittent conveyance operation | movement is performed using the upper pusher 282 and the lifting rail 233. As shown in FIG. On the other hand, although FIG. 4 was shown as the figure which extended from the water washing tank 230C to the pickling tank 230E, the intermittent conveyance in the shower tank 230D is rotating rail 131 rotated horizontally instead of the fixed rail, or The rotary rail 132 is used, and the intermittent conveyance between the rotary rail 131 132 and the fixed rail 234,235 before and behind is performed by the lower pushers 284 and 286. As shown in FIG. In addition, although the intermittent conveyance operation | movement in the post-processing tank group 240 is abbreviate | omitted, it implements using the rotating rails 141 and 142, the fixed rails 242 and 243, and the lower pusher which are not shown in the same manner to the above. .

3. 회전장치 3. Rotator

도 1에 나타내는 제1, 제2 회전장치(130, 140)의 상세를, 도 5?도 7을 참조해서 설명한다. 한편 도 5?도 7은 제2 회전장치(140)를 나타내지만, 제1 회전장치(130)도 동일한 구조를 가진다. The detail of the 1st, 2nd rotating apparatuses 130 and 140 shown in FIG. 1 is demonstrated with reference to FIGS. 5 to 7 show the second rotating device 140, the first rotating device 130 also has the same structure.

연속 도금장치(10)의 정면측에서 본 도 5에 있어서, 제2 회전장치(140)는 연속 도금장치(10)의 기대(機臺)(10A)상에 채널형상(コ자 형상)의 부착 금구(金具)(500)를 가지며, 부착 금구(500)의 상부에 구동원인 모터, 예를 들면 브레이크 달린 모터(510)를 가진다. 모터(510)에 의해 구동되는 회전축(512)이, 모터(510)로부터 수직 아래쪽으로 연장되어 있다. In FIG. 5 as seen from the front side of the continuous plating apparatus 10, the 2nd rotating apparatus 140 adheres to a channel shape (co-shape) on the base 10A of the continuous plating apparatus 10. In FIG. It has the bracket 500, and has the motor which is a drive source, for example, the motor 510 with a brake, on the upper part of the attachment bracket 500. As shown in FIG. The rotating shaft 512 driven by the motor 510 extends vertically downward from the motor 510.

이 회전축(512)에는, 연속 도금장치(10)를 측면에서 본 도 6에 나타내는 바와 같이, 수평으로 연장되는 회전 암(514)이 고정되어 있다. 회전 암(514)의 양 끝에, 도 1에 나타내는 2개의 회전 레일(141, 142)이 고정되어 있다. 따라서 모터(510), 회전축(512) 및 회전 암(514)은 회전 레일(141, 142)을 회전 구동하는 회전 구동부를 구성한다. As shown in FIG. 6 when the continuous plating apparatus 10 is seen from the side, the rotating arm 514 which horizontally extends is fixed to this rotating shaft 512. As shown in FIG. At both ends of the rotary arm 514, two rotary rails 141 and 142 shown in FIG. 1 are fixed. Accordingly, the motor 510, the rotation shaft 512, and the rotation arm 514 constitute a rotation driving unit for rotationally driving the rotation rails 141 and 142.

3.1. 모따기부 3.1. Chamfer

여기서 평면으로 봤을 때인 도 7에 나타내는 바와 같이, 2개의 회전 레일(141, 142)은 평면으로 봤을 때 양 끝이 모따기되어 있다. 예를 들면, 도 7의 B부 확대도에 나타내는 바와 같이, 회전 레일(141)의 한쪽 끝에는 모따기부(141A)가 형성되고, 본 실시형태에서는 모따기부(141A)는 사변으로 형성되어 있다. 회전 레일(141)은 평면으로 봤을 때 선대칭형상이며, 회전 레일(141)의 다른쪽 끝에도 사변으로 형성된 모따기부(141B)가 형성되어 있다. 또 하나의 회전 레일(142)의 양 끝에도 사변으로 형성된 모따기부(142A, 142B)가 형성되어 있다. As shown in FIG. 7 when viewed in a plan view, the two rotary rails 141 and 142 are chamfered at both ends when viewed in a plan view. For example, as shown in the enlarged view of the portion B of FIG. 7, a chamfer 141A is formed at one end of the rotary rail 141, and in the present embodiment, the chamfer 141A is formed as a quadrilateral. The rotating rail 141 is linearly symmetrical in plan view, and the chamfered part 141B formed at the other end of the rotating rail 141 by quadrilateral is formed. Chamfered portions 142A and 142B are also formed at both ends of the other rotary rail 142 as quadrilaterals.

나아가 도 7에 있어서, 회전 레일(141) 또는 회전 레일(142)과 일직선상에 배치되는 고정 레일(242)에도, 회전 레일(141, 142)의 모따기부(141A, 142A)와 대향하는 단부가, 모따기부(141A, 142A)와 평행한 사변으로 형성되는 모따기부(242A)를 가진다. 도 7의 B부 확대도에서 나타내는 바와 같이, 대향하는 모따기부(141A, 242A) 사이에는 틈(δ)이 생겨 있다. 고정 레일(243)에도 동일한 모따기부(243A)가 형성되어 있다. Furthermore, in FIG. 7, the edge part which opposes the chamfer 141A, 142A of the rotation rail 141, 142 also in the fixed rail 242 arrange | positioned in line with the rotation rail 141 or the rotation rail 142 is shown. And a chamfer 242A formed in a quadrangle parallel to the chamfers 141A and 142A. As shown in the enlarged view of the portion B of FIG. 7, a gap δ is formed between the opposing chamfered portions 141A and 242A. The same chamfer 243A is formed in the fixed rail 243, too.

여기서 회전 레일(141, 142)은 도 7의 화살표(C)방향으로 180°씩 간헐적으로 회전된다. 즉, 2개의 회전 레일(141, 142)을 동일한 회전방향(C)으로 반복해서 회전 구동하고, 반송 지그(30)를 지지한 측의 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))은 제2 직선반송로(120)의 단부의 고정 레일(242)보다 외측을 통과해서 회전된다. 반송 지그(30)를 지지하지 않고 있는 빈 상태의 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(142))은 제1, 제2 직선반송로(110, 120) 사이를 통과해서 회전된다. Here, the rotary rails 141 and 142 are intermittently rotated by 180 ° in the direction of the arrow C of FIG. 7. That is, the two rotary rails 141 and 142 are repeatedly driven to rotate in the same rotation direction C, and the rotary rails (rotating rails 141 in FIG. 7) on the side supporting the conveying jig 30 are second to each other. It rotates passing outside the fixed rail 242 of the edge part of the linear conveyance path 120. The empty rotary rail (rotating rail 142 in FIG. 7) which does not support the conveyance jig 30 passes and rotates between the 1st, 2nd linear conveyance paths 110 and 120. FIG.

그 회전시에는 모따기부(141A, 141B, 142A, 142B, 242A, 243A)가 존재함으로 인해, 회전 레일(141, 142)은 최대 반경의 회전 궤적(D)이 고정 레일(242, 243)의 단부와 간섭하지 않는다. 게다가 모따기부를 형성함으로써, 도 7의 B부 확대도에서 나타내는 틈(δ)을 최소로 할 수 있다. Since the chamfers 141A, 141B, 142A, 142B, 242A, and 243A exist at the time of rotation, the rotary rails 141 and 142 have a rotational trajectory D of maximum radius at the ends of the fixed rails 242 and 243. Does not interfere with In addition, by forming the chamfer, the gap δ shown in the enlarged view of the portion B of FIG. 7 can be minimized.

바꿔 말하면, 회전 레일(141)은 도 7에 나타내는 평면으로 봤을 때 양 끝에 제1, 제2 사변(모따기부)(141A, 141B)을 가지는 사다리꼴로 형성되고, 회전 레일(141)의 정지위치에서, 사다리꼴의 긴 변(141C)이 사다리꼴의 짧은 변(141D)보다 회전반경방향의 내측에 배치된다. 회전 레일(142)도 마찬가지로, 제1, 제2 사변(모따기부)(142A, 142B)과, 긴 변(142C)과, 짧은 변(142D)을 가지는 평면으로 봤을 때 사다리꼴이다. 이러한 형상으로 인해, 회전 레일(141, 142)의 최대 회전 반경을 짧게 하여, 회전 레일(141, 142)과 고정 레일(242, 243)과의 간섭을 방지할 수 있는 동시에, 틈(δ)을 최소로 할 수 있다.In other words, the rotary rail 141 is formed in a trapezoid having first and second quadrilaterals (chamfered portions) 141A and 141B at both ends when viewed in the plane shown in FIG. 7, and at the stop position of the rotary rail 141. The trapezoidal long side 141C is disposed inside the radial radius direction than the trapezoidal short side 141D. Similarly, the rotary rail 142 is trapezoidal in plan view having the first and second quadrilaterals (chamfers) 142A and 142B, the long side 142C and the short side 142D. Due to this shape, the maximum rotation radius of the rotary rails 141 and 142 can be shortened to prevent interference between the rotary rails 141 and 142 and the fixed rails 242 and 243, and the gap δ can be prevented. It can be minimized.

여기서 도 7에 나타내는 바와 같이, 긴 변(142C)과 사변(142A(142B))의 교점을 제1 각부(P1)라고 하고, 짧은 변(142D)과 사변(142A(142B))의 교점을 제2 각부(P2)라고 한다. 회전 레일(141, 142)의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이를 실질적으로 동일하게 할 수 있다. 이 경우, 회전 레일(141, 142)의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이가 최대 반경이 된다. 따라서 제1, 제2 각부(P1, P2)의 회전 궤적이 고정 레일(242, 243)과 간섭하지 않도록 틈(δ)을 최소로 설정할 수 있다. As shown in FIG. 7, here, the intersection of the long side 142C and the quadrilateral 142A (142B) is called 1st corner part P1, and the intersection of the short side 142D and the quadrilateral 142A (142B) is made 1st. It is called 2 corner parts P2. Each length from the center of rotation O of the rotary rails 141 and 142 to the first and second corner portions P1 and P2 may be substantially the same. In this case, each length from the center of rotation O of the rotary rails 141, 142 to the first and second corner portions P1, P2 is the maximum radius. Therefore, the gap δ can be set to the minimum so that the rotation trajectories of the first and second corner portions P1 and P2 do not interfere with the fixed rails 242 and 243.

도 7에 나타내는 하부 푸셔(284)의 구동편(284A)을 이동함으로써, 반송 지그(30)의 제2 구동편(321)(도 2참조)을 눌러 작동시켜, 반송 지그(30)가 고정 레일(242)에서 회전 레일(141 또는 142)로 이송된다. 그 때 틈(δ)이 최소이면, 반송 지그(30)의 이송이 원활해진다. By moving the drive piece 284A of the lower pusher 284 shown in FIG. 7, the 2nd drive piece 321 (refer FIG. 2) of the conveyance jig 30 is pressed and operated, and the conveyance jig 30 fixes the fixed rail. At 242, it is conveyed to a rotating rail 141 or 142. If the gap δ is minimum at that time, the conveyance of the conveyance jig 30 becomes smooth.

3.2. 위치결정 고정부 3.2. Positioning fixture

제2 회전장치(140)는 2개의 회전 레일(141, 142)을, 정지위치에서 위치결정 고정하는 위치결정 고정부(520)를 가질 수 있다. 위치결정 고정부(520)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 반송 지그(30)를 건네기 전에, 2개의 회전 레일(141, 142)을 그 정지위치에서 위치결정 고정한다. The second rotating device 140 may have a positioning fixing part 520 for fixing the two rotating rails 141 and 142 at the stop position. The positioning fixing parts 520 are provided with two rotating rails 141 and 142 before passing the conveying jig 30 to the rotating rail (rotating rail 141 in FIG. 7) located upstream in the circulation conveyance direction A. FIG. ) At the stop position.

위치결정 고정부(520)는 회전 암(514)에 마련된 적어도 하나, 예를 들면 2개의 피위치결정부(521)와, 정지위치에 있는 한쪽의 피위치결정부(521)를 향해 구동, 예를 들면 상승 구동되어 피위치결정부(521)를 위치결정 고정하는 위치결정 구동부(522)를 가질 수 있다. The positioning fixing portion 520 is driven toward at least one, for example, two positioning portions 521 provided on the rotation arm 514 and one positioning portion 521 in the stop position, for example. For example, it may have a positioning drive unit 522 which is driven up to positionally fix the positioning unit 521.

피위치결정부(521)는 예를 들면 정점(頂點)을 하단으로 하는 원뿔형상이며, 위치결정 구동부(522)는 원뿔 부분을 받아들이는 테이퍼 홈을 가진다. 따라서 피위치결정부(521)를 향해 위치결정 구동부(522)를 상승 구동하면, 원뿔 부분과 테이퍼 홈의 센터링 기능에 의해, 회전 암(514) 및 그 양 끝의 회전 레일(141, 142)이 위치결정된다. The to-be-positioned part 521 is a cone shape which makes a vertex the lower end, for example, and the positioning drive part 522 has the taper groove which receives a cone part. Therefore, when the positioning drive unit 522 is driven up toward the position to be positioned, the rotary arm 514 and the rotary rails 141 and 142 at both ends thereof are driven by the centering function of the conical portion and the tapered groove. Is positioned.

2개의 피위치결정부(521)는 회전 암(514)의 회전중심에서 등거리에 있다. 본 실시형태에서는 2개의 피위치결정부(521)에 대하여, 2개의 위치결정 구동부(522)를 마련해도 되지만, 하나의 위치결정 구동부(522)만 마련하고 있다. 이 위치결정 구동부(522)는 회전중심보다, 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 가까운 위치에 배치된다. 한쪽의 피위치결정부(521)를 위치결정 구동부(522)에 의해 위치결정해도, 회전 레일(141, 142)은 일체로서 위치결정된다. 단, 도 7에 나타내는 회전 레일(141)에는, 반송 지그(30)가 반입되고, 이 반입시에 회전 레일(141)을 회전시키는 외력이 작용한다. 따라서, 외력이 작용하는 쪽에 위치결정 구동부(522)를 배치하고 있다. 그리고 위치결정 고정부(520)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(141 또는 142)에 고정 레일(242)로부터 반송 지그(30)를 건네기 전에, 회전 레일(141, 142)을 정지위치에서 위치결정 고정한다. 이로 인해, 반송 지그(30)의 반입시에 회전 레일(141, 142)이 모터(510)로부터의 출력 이외의 외력에 의해 회전되는 일이 없다. The two positioning portions 521 are equidistant from the center of rotation of the rotary arm 514. In this embodiment, although two positioning drive part 522 may be provided with respect to two to-be-positioned part 521, only one positioning drive part 522 is provided. This positioning drive part 522 is arrange | positioned at the position closer to the rotating rail (rotation rail 141 in FIG. 7) located upstream of the circulation conveyance direction A rather than a rotation center. Even if one of the to-be-positioned portions 521 is positioned by the positioning drive portion 522, the rotary rails 141 and 142 are integrally positioned. However, the conveyance jig 30 is carried in to the rotating rail 141 shown in FIG. 7, and the external force which rotates the rotating rail 141 at the time of this loading acts. Therefore, the positioning drive part 522 is arrange | positioned at the side which an external force acts. And the positioning fixing part 520 rotates the rotating rails 141 and 142 before passing the conveyance jig 30 from the fixing rail 242 to the rotating rail 141 or 142 located upstream of the circulation conveyance direction A. As shown in FIG. ) At the stop position. For this reason, the rotary rails 141 and 142 are not rotated by the external force other than the output from the motor 510 at the time of carrying in the conveyance jig 30.

한편 하나의 피위치결정부(521)를 회전 암(514)의 회전중심에 마련해도 된다. 이 경우, 하나의 위치결정 구동부(522)가 회전 암(514)의 회전중심선상에 마련되면 된다. On the other hand, one positioning portion 521 may be provided at the center of rotation of the rotary arm 514. In this case, one positioning driver 522 may be provided on the rotation center line of the rotation arm 514.

3.3. 시퀀스 제어 3.3. Sequence control

회전장치(140)는 회전 개시부터 회전 정지까지 시퀀셜로 제어된다. 먼저, 회전장치(140)의 회전 동작의 종료 제어에 대하여 설명한다. 회전장치(140)는 2개의 회전 레일(141, 142)과 일체로 회전 구동되는 제1 피검출부(530)와, 제1 피검출부(530)의 회전위치를 검출하는 위치검출부(531(532))를 더 가질 수 있다. The rotating device 140 is controlled sequentially from the start of rotation to the stop of rotation. First, the end control of the rotation operation of the rotating device 140 will be described. The rotating device 140 includes a first to-be-detected part 530 which is driven to rotate integrally with the two rotary rails 141 and 142, and a position-detection part to detect the rotational position of the first to-be-detected part 530. You can have more).

제1 피검출부(530)는 회전축(512)으로부터 수평으로 연장되는 띠형상 부재로 할 수 있다. 위치검출부(531(532))는 제1 피검출부(530)를 예를 들면 빛 또는 용량값의 변화에 따라 비접촉으로 검출할 수 있다. 모터(510)는 위치검출부(531(532))로부터의 출력에 기초하여 2개의 회전 레일(141, 142)을 정지위치에 정지시킨다. The first to-be-detected part 530 can be a strip | belt-shaped member extended horizontally from the rotating shaft 512. As shown in FIG. The position detecting unit 531 (532) may detect the first detecting unit 530 in a non-contact manner, for example, according to a change in light or a capacitance value. The motor 510 stops the two rotary rails 141, 142 in the stop position based on the output from the position detection unit 531 (532).

본 실시형태에서는 브레이크 달린 모터(510)를 채용하고 있다. 이 경우, 위치검출부는 정지위치를 검출하는 제1 위치검출부(531)와, 회전방향(C)에서 정지위치보다 상류위치의 감속개시위치를 검출하는 제2 위치검출부(532)를 포함할 수 있다. 이렇게 하면, 브레이크 달린 모터(510)는 제2 위치검출부(532)의 출력에 의해 감속을 개시하고, 제1 위치검출부(531)의 출력에 기초하여 정지된다. In this embodiment, the braked motor 510 is employed. In this case, the position detection unit may include a first position detection unit 531 for detecting a stop position, and a second position detection unit 532 for detecting a deceleration start position of an upstream position from the stop position in the rotation direction C. . In this way, the braked motor 510 starts deceleration by the output of the 2nd position detection part 532, and stops based on the output of the 1st position detection part 531. FIG.

다음으로 회전장치(140)의 회전 동작의 개시 제어에 대하여 설명한다. 도 9에 나타내는 대로, 복수의 반송 지그(30)의 각각은 반송 지그(30)의 유무를 센싱하기 위한 피검출편(제2 피검출부)(322)을 가진다. 한편 회전장치(140)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 반입되는 반송 지그(30)의 피검출편(제2 피검출부)(322)의 유무를 검출하는 제1 지그검출부(540)를 가진다. 회전장치(140)는 또한, 순환반송방향(A)의 하류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(142))로부터 반출되는 반송 지그(30)의 피검출편(제2 피검출부)(322)의 유무를 검출하는 제2 지그검출부(541)를 가진다. Next, start control of the rotation operation of the rotating apparatus 140 is demonstrated. As shown in FIG. 9, each of the some conveyance jig 30 has the to-be-detected piece (2nd to-be-detected part) 322 for sensing the presence or absence of the conveyance jig 30. On the other hand, the rotating device 140 detects the piece (second detected part) of the conveying jig 30 carried in the rotating rail (rotating rail 141 in FIG. 7) located upstream in the circulation conveyance direction A ( 322 has a first jig detection unit 540 for detecting the presence or absence. The rotating device 140 also detects a piece (the second to be detected part) of the conveying jig 30 carried out from a rotating rail (rotating rail 142 in FIG. 7) located downstream of the circulation conveyance direction A. FIG. And a second jig detection unit 541 for detecting the presence or absence of the 322.

모터(510)는 제1, 제2 지그검출부(540, 541)의 출력에 기초하여 회전 레일(141, 142)의 회전 구동을 개시한다. 즉, 제1 지그검출부(540)에서 상류측에 위치하는 회전 레일(141, 142)의 한쪽에 반송 지그(30)가 탑재된 것이 확인되고, 동시에 제1 지그검출부(540)에서 하류측에 위치하는 회전 레일(141, 142)의 다른쪽에서 반송 지그(30)가 반출된 것이 확인되어, 모터(510)는 구동 개시된다. 위치결정 구동부(520)를 구비할 경우에는 위치결정 구동부(522)가 하강 구동되어 위치결정이 해제되어 있는 것도 모터(510)의 구동 개시 조건이 된다. The motor 510 starts the rotation drive of the rotary rails 141 and 142 based on the outputs of the first and second jig detection units 540 and 541. That is, it is confirmed that the conveyance jig 30 is mounted in one of the rotary rails 141 and 142 which are located upstream from the 1st jig detection part 540, and is located downstream from the 1st jig detection part 540 simultaneously. It is confirmed that the conveyance jig 30 is carried out from the other side of the rotating rails 141 and 142 mentioned above, and the motor 510 starts to drive. In the case where the positioning driver 520 is provided, the driving start condition of the motor 510 is also driven by the positioning driver 522 being driven downward.

4. 도금조 4. Plating bath

도 8은 도금조(200)의 개략 단면도이다. 도금조(200)는 상부가 개구된 프레임(202)을 가진다. 프레임(202) 내에는 2개의 양극 박스(203)가 대향되어 배치되고, 양극 박스(203) 내에는 소모품인 양극 볼(203A)이 수용된다. 2개의 양극 박스(203) 사이에는 2열의 노즐관(204)이 배치된다. 2열의 노즐관(204)의 각각에는 종렬로 복수의 노즐(204A)이 고정되며, 도금액을 워크(20)의 양면을 향해 분출할 수 있다. 2열의 노즐관(204)의 하단은 분배 배관(205)에 각각 고정되어 있다. 8 is a schematic cross-sectional view of the plating bath 200. The plating bath 200 has a frame 202 with an upper opening. In the frame 202, two positive electrode boxes 203 are disposed to face each other, and the positive electrode balls 203A, which are consumables, are accommodated in the positive electrode box 203. Two rows of nozzle tubes 204 are disposed between the two anode boxes 203. A plurality of nozzles 204A are fixed to each of the two rows of nozzle tubes 204 in a row, and the plating liquid can be ejected toward both surfaces of the work 20. Lower ends of the two rows of nozzle pipes 204 are fixed to the distribution pipes 205, respectively.

워크(20)의 양측에는 워크(20)를 반송 가이드하는 가이드 부재나, 워크(20)의 상하 단부를 마스크하는 마스크 부재를 마련할 수 있다. 또한 워크(20)의 전체 길이에 맞춰 가이드 부재 및 마스크 부재의 높이위치를 조정할 수 있다. 마스크 부재가 워크(20)의 상하 단부를 마스크함으로써, 워크(20)의 하단에 전계가 집중되어 도금 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다. On both sides of the workpiece 20, guide members for conveying the workpiece 20 and mask members for masking the upper and lower ends of the workpiece 20 can be provided. In addition, the height positions of the guide member and the mask member can be adjusted in accordance with the entire length of the work 20. By masking the upper and lower ends of the work 20, the mask member can prevent the electric field from being concentrated on the lower end of the work 20 so that the plating thickness becomes thick.

5. 반송 지그 5. Bounce jig

워크(20)를 홀딩하는 반송 지그(30)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 급전 레일(201)에 안내되는 피안내부(300)와, 피안내부(300)측의 기단부에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 연결부(330)와, 연결부(330)의 자유단부에 연결되어 워크(20)를 수하 상태에서 홀딩하는 홀딩부(340)를 가진다. As shown in FIG. 9, the conveyance jig 30 holding the workpiece | work 20 is a horizontal direction toward the free end from the guide part 300 guided by the feed rail 201, and the base end of the guide part 300 side. It has a connecting portion 330 extending to the holding portion 340 is connected to the free end of the connecting portion 330 to hold the workpiece 20 in the drooping state.

여기서, 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)은 도 9에 나타내는 바와 같이, 종단면이, 상면(201A)과, 하면(201B)과, 도금조(200)측의 제1 측면(201C)과, 제1 측면(201C)과 대향하는 제2 측면(201D)을 가지는 직사각형 단면이다. 한편 급전 레일(201)의 형상은 도금조(200) 이외에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 가이드 레일(고정 레일(232, 234, 235, 242, 243), 승강 레일(231, 233, 236, 241) 또는 회전 레일(131, 132, 141, 142))의 형상과 일치하고 있다. Here, as shown in FIG. 9, the feed rail 201 which guides the to-be-guided part 300 has a longitudinal cross-section with the upper surface 201A, the lower surface 201B, and the 1st side surface 201C of the plating tank 200 side. ) And a second side surface 201D facing the first side surface 201C. On the other hand, the shape of the feed rail 201 is a guide rail (fixed rails 232, 234, 235, 242, 243, and elevating rails 231, 233, 236 for intermittently conveying the conveyance jig 30 from the plating bath 200). , 241 or the rotating rails 131, 132, 141, and 142.

피안내부(300)는 급전 레일(201)의 상면(201A)과 접촉하는 피(被)급전부(301)와, 급전 레일(201)의 제1 측면(201C)과 구름 접촉(轉接;rolling contact)하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제1 롤러(302)와, 급전 레일(201)의 제2 측면(201D)과 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 3개의 제2 롤러(303)와, 연속 반송 수단(400)에 맞물리는 피맞물림부(304)를 가진다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제3 롤러(305)를 마련할 수 있다. 이와 같이, 급전 레일(201)의 상면(201A)과 자중(自重)에 의해 접촉하는 피급전부(301)를 가지는 피안내부(300)는 급전 레일(201)의 양 측면(201C, 201D)을 끼우도록 구름 접촉하는 제1, 제2 롤러(302, 303)에 의해 급전 레일(201)에 안내된다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 제3 롤러(305)를 마련함으로써, 반송 지그(30)의 상하운동을 규제할 수 있다. 회전 레일(131, 132, 141, 142)도 급전 레일(201)과 동일 형상이므로, 이들 회전 레일에 반송 지그(30)를 홀딩한 회전 동작 중이라도, 반송 지그(30)는 수평방향 또는 상하방향으로 변동하는 일이 없다. The guided part 300 is rolling contacted with the feed part 301 which contacts the upper surface 201A of the feed rail 201, and the 1st side surface 201C of the feed rail 201. at least one contact, for example two first rollers 302, and at least one contact, for example three second rollers 303 in rolling contact with the second side 201D of the feed rail 201; And an engaged portion 304 engaged with the continuous conveying means 400. In addition, at least one, for example, two third rollers 305 in rolling contact with the lower surface 201B of the feed rail 201 can be provided. In this way, the guide portion 300 having the feed portion 301 in contact with the upper surface 201A of the feed rail 201 by its own weight sandwiches both sides 201C and 201D of the feed rail 201. The feed rail 201 is guided by the first and second rollers 302 and 303 which are in rolling contact with each other. Moreover, the vertical movement of the conveyance jig 30 can be regulated by providing the 3rd roller 305 which contacts the lower surface 201B of the feeding rail 201. Since the rotary rails 131, 132, 141, and 142 have the same shape as the feed rail 201, the conveyance jig 30 is horizontally or vertically moved even during the rotational operation of holding the conveyance jig 30 on these rotary rails. It does not change.

급전 레일(201)에 안내되는 피안내부(300) 자체에, 연속 반송 수단(400)과 맞물려서 피안내부(300)에 반송력을 작용시키는 피맞물림부(304)를 마련하였으므로, 피안내부(300)는 급전 레일(201)상을 원활하게 반송된다. 이 피안내부(300)에 는 도 9에 나타내는 바와 같이, 상술한 제1, 제2 구동편(320, 321)과, 반송 지그(30)의 유무를 센싱하기 위한 피검출편(제2 피검출부)(322)이 마련되어 있다. Since the to-be-engaged part 300 guided by the feeding rail 201 itself is provided with the to-be-engaged part 304 which engages with the continuous conveying means 400 and exerts a conveying force to the to-be-guided part 300, the to-be-guided part 300 is carried out. Is smoothly conveyed on the power supply rail 201. As shown in FIG. 9, in this guide part 300, the to-be-detected piece (2nd to-be-detected part) for sensing the presence or absence of the 1st, 2nd drive piece 320, 321 mentioned above and the conveyance jig 30 is shown. 322 is provided.

반송 지그(30)의 연결부(330)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 서로 격리되어 배치되는 피안내부(300)와 홀딩부(340)를 연결하는 것이다. 반송 지그(30)가 연결부(330)를 가짐으로써, 도 5에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(30)의 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)은 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치가 된다. 이로 인해 피안내부(300)가 급전 레일(201)을 슬라이딩했을 때에 발생하는 분진이 도금조(200)에 낙하하는 일이 없다. As shown in FIG. 9, the connection part 330 of the conveyance jig 30 connects the guide part 300 and the holding part 340 which are arrange | positioned separately from each other. As the conveyance jig 30 has the connection part 330, as shown in FIG. Location. For this reason, the dust which generate | occur | produces when the guide part 300 slides the feed rail 201 does not fall to the plating tank 200. FIG.

연결부(330)는 도 1에 나타내는 되돌리기 반송로(150)의 2개의 체인(151, 152)상에 얹혀, 반송 지그(30)가 되돌리기 반송로(150)를 따라 되돌리기 반송된다. The connection part 330 is mounted on the two chains 151 and 152 of the return conveyance path 150 shown in FIG. 1, and the conveyance jig 30 is conveyed back along the return conveyance path 150. As shown in FIG.

홀딩부(340)는 도 9에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 상부를 척(chuck)하는 복수개 예를 들면 3개의 척부(341)를 가진다. 폭이 넓은 워크(20)를 홀딩할 수 있도록, 표준 장비 또는 옵션으로서, 3개의 척부(341)의 양측에 가동(可動) 척부(342)를 마련할 수 있다. 가동 척부(342)는 워크(20)의 폭에 맞춰 슬라이드 이동 가능하게 되어 있다. As shown in FIG. 9, the holding portion 340 has a plurality of chuck portions 341 that chuck the upper portion of the work 20. The movable chuck 342 can be provided on both sides of the three chuck portions 341 as standard equipment or as an option so that the wide workpiece 20 can be held. The movable chuck | zipper part 342 is slidable to match the width | variety of the workpiece | work 20. As shown in FIG.

한편 상기와 같이 본 실시형태에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 신규사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 용이하게 이해될 것이다. 따라서 이러한 변형예는 모두 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면 명세서 또는 도면에서 적어도 1회, 보다 넓은 의미 또는 같은 의미의 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 바꿀 수 있다. 또한 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다. While the present embodiment has been described in detail as described above, it will be easily understood by those skilled in the art that many modifications are possible without departing substantially from the novelty and effects of the present invention. Therefore, all such modifications are intended to be included within the scope of the present invention. For example, a terminology described in the specification or drawings together with another term at least once, in a broader sense or in the same sense, may be replaced with that term in any part of the specification or drawing. In addition, all the combinations of this embodiment and a modification are included in the scope of the present invention.

20 워크
30 반송 지그
100 순환반송로
110 제1 직선반송로
120 제2 직선반송로
130 제1 회전장치
131, 132 회전 레일
140 제2 회전장치
141, 142 회전 레일
141A, 141B, 142A, 142B 모따기부(제1, 제2 사변)
141C, 142C 긴 변
141D, 142D 짧은 변
200 표면처리조(도금조)
201 급전 레일
234, 235, 242, 243 가이드 레일(고정 레일)
242A, 243A 모따기부
300 피안내부
322 제2 피검출부
330 연결부
340 홀딩부
400 연속 반송 수단
510, 512, 514 회전 구동부
520 위치결정 고정부
521 피위치결정부
522 위치결정 구동부
530 제1 피검출부
531, 532 위치검출부(제1, 제2 위치검출부)
540, 541 제1, 제2 지그검출부 20 walk
30 bounce jig
100 circular carrier
110 first straight carrier
120 2nd straight carrier
130 first rotating device
131, 132 swivel rail
140 2nd rotating device
141, 142 swivel rail
141A, 141B, 142A, 142B Chamfer (first, second quadrilateral)
141C, 142C long side
141D, 142D Short Side
200 Surface Treatment Tank (Plating Tank)
201 feeding rail
234, 235, 242, 243 guide rails (fixed rails)
242A, 243A Chamfer
300 blood guide
322 Second part to be detected
330 connections
340 holding part
400 continuous conveying means
510, 512, 514 rotary drive
520 Positioning fixture
521 Positioning Position
522 positioning drive
530 First detected part
531, 532 position detector (first and second position detector)
540, 541 First and second jig detection unit

Claims

A plurality of conveying jig for holding the work, respectively,
A circulation transport path through which the plurality of transport jigs are circulated and transported along a circulation transport direction;
A surface treatment tank provided in the circulation conveyance path and for surface treating the workpiece held in each of the plurality of conveying jigs;
A carrying-in portion provided upstream of said circulation transfer path from said surface treatment tank, and carrying an untreated workpiece into said plurality of transfer jigs;
It is provided downstream of the said circulation conveyance path than the said surface treatment tank, and has a carrying part which carries out the processed workpiece | work from the said several conveyance jig,
The circulation transport path,
The first straight carrier,
A second linear transport path parallel to the first linear transport path,
A first rotating device which horizontally rotates and passes at least one of the plurality of conveying jigs from one end of the first linear transport path to one end of the second straight transport path;
A second rotating device for horizontally rotating and passing at least one of the plurality of conveying jigs from the other end of the second straight conveying path to the other end of the first straight conveying path,
Each of the first and second rotary devices,
With two rolling rails,
In the state in which the said at least one conveyance jig was supported by the one rotation rail located in the upstream of the said circulation conveyance direction, the other two rotation rails located in the downstream of the said circulation conveyance direction are empty, It has a rotary drive unit for intermittently rotating the rotary rail by 180 °,
Each of the two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices includes four guide rails disposed at the one end and the other end of the first and second linear transport paths, respectively, at a stop position. Surface treatment apparatus, characterized in that arranged in line with the corresponding one of each.

The method of claim 1,
The two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices are chamfered at both ends in plan view,
Each one of the four guide rails is opposite to one of the both ends of the rotary rail disposed in a line with each one of the four guide rails at the time of rotation of the two rotary rails. Surface treatment apparatus characterized in that the chamfered so as not to interfere with the both ends of the two rotary rails.

The method of claim 1,
The two rotary rails provided in each of the first and second rotary devices are formed in a trapezoid having first and second quadrilateral ends at both ends in plan view, and in the stop position, the long sides of the trapezoid are trapezoidal. Is arranged inside the radius of rotation than the shorter side of
Each one of the four guide rails is provided at one end of the first and second quadrangles at an end portion of the four guide rails opposite to one of the first and second quadrilaterals of the rotary rail. Surface treatment apparatus characterized in that it has a substantially parallelogram.

The method of claim 3,
An intersection point of the long side and the quadrilateral is called a first corner portion, and an intersection point of the short side and the quadrilateral is called a second corner portion, from the center of rotation of the rotary rail to the first and second corner portions. Surface treatment apparatus, characterized in that each length is substantially the same.

The method of claim 1,
The rotary drive unit repeatedly drives the two rotary rails in the same rotational direction, and the one rotary rail that supports the at least one conveying jig is the one end of the first and second linear transport paths. Or it rotates through the outer side than the said other end, The said other one rotary rail of the said empty state is rotated through the said 1st, 2nd linear conveyance path, The surface treatment apparatus characterized by the above-mentioned.

The method of claim 5,
Each of the first and second rotating devices further has a positioning fixing part for positioning and fixing the two rotating rails at the stop position.

The method of claim 6,
The positioning fixing portion fixes the two rotating rails at the stop position by positioning the two rotating rails before passing the at least one conveying jig to one rotating rail positioned upstream in the circulation conveyance direction. Processing unit.

The method of claim 7, wherein
The rotary drive unit has a drive source, and the two rotary rails are fixed at both ends, and a rotary arm driven by the drive source,
The positioning fixing portion,
At least one to-be-positioned portion provided on the rotating arm;
And a positioning driver which is driven toward the at least one to-be-positioned part at the stop position to positionally fix the at least one to-be-positioned part.

The method of claim 8,
The at least one to-be-positioned portion is disposed at two portions equidistant from the center of rotation of the rotary arm,
And the positioning drive portion is disposed at a position closer to one rotary rail positioned upstream in the circulation conveyance direction than the rotation center.

The method according to any one of claims 1 to 9,
Each of the first and second rotary devices,
A first to-be-detected part which is driven to rotate integrally with the two rotary rails;
It further has a position detection unit for detecting a rotation position of the first detected portion,
And the rotation drive unit stops the two rotation rails at the stop position based on the output from the position detection unit.

The method of claim 10,
The rotary drive unit includes a braked motor,
And the position detecting unit includes a first position detecting unit detecting the stop position, and a second position detecting unit detecting the deceleration start position of an upstream position from the stop position in the rotational direction.

The method of claim 10,
Each of the plurality of conveying jigs has a second detected portion,
Each of the first and second rotary devices,
A first jig detecting unit for detecting the presence or absence of the second to-be-detected part of the at least one conveying jig carried in one rotary rail located upstream in the circulation conveyance direction;
It further has a 2nd jig detection part which detects the presence or absence of the said to-be-detected part of the said at least 1 conveyance jig carried out from another one rotary rail located downstream of the said circulation conveyance direction,
And the rotation drive unit initiates rotational drive of the two rotary rails based on the outputs of the first and second jig detection units.