KR20110022769A - 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치는, 매거진이나 보우트로부터 상승된 다수의 웨이퍼가 상기 매거진 픽커 또는 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트 사이에 2개의 부재씩 핀 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀 결합되어 연속적으로 연결되어진 다수의 웨이퍼 가이드를 수평이송 가능하게 설치하되, 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈에 삽입 수용된 상태에서 실린더의 길이가변에 따라 웨이퍼 가이드의 슬라이드 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼를 보우트 픽커 또는 매거진 픽커가 파지하여 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 한 번의 웨이퍼 피치간격조절 작업공정으로 매거진과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼를 보우트 내에 수용시킬 수 있으며, 특히 상기 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래에 비해 크게 단축됨에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.
솔라 셀, 웨이퍼, 웨이퍼 피치 간격, 기본 표준화 피치, 피치조절장치, 메인 트랜스퍼 유닛, 매거진 픽커, 보우트 픽커, 매거진, 보우트, 웨이퍼 가이드, 웨이퍼 가이드의 좌우이송, 링크작용, 상,하부 피치가이드 플레이트의 상하이송, 로케이션핀, 조절된 웨이퍼 가이드 위치 고정

Description

솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치{The pitch adjust device for solar cell wafer}
본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 양측에 매거진 픽커(Magazine Picker)와 보우트 픽커(Boat Picker)가 설치되는 메인 트랜스퍼 유닛(Main Transfer Unit)의 일측에 설치되는 웨이퍼 피치 조절 유닛(Wafer Pitch Adjust Unit)에 대하여, 매거진으로부터 상승된 다수의 웨이퍼가 매거진 픽커를 통해 파지된 상태로 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈에 이송 삽입되어 수용된 상태에서 작동실린더의 길이가변에 따라 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절함과 동시에 상기와 같이 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼를 보우트 픽커가 파지하여 이웃한 보우트 측에 공급 수용될 수 있도록 구성함으로써, 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 한 번의 웨이퍼 피치간격조절 작업공정으로 매거진과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼를 보우트 내에 수용시킬 수 있으며, 특히 상기 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래 에 비해 크게 단축됨에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치에 관한 것이다.
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정 을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.
그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같이 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.
그리고, 종래 매거진이나 보우트의 경우 이에 수용되는 다수 웨이퍼 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치 즉, 4.76mm의 피치 간격을 갖도록 형성되어 있기 때문에 매거진 대비 보우트 내에 수용되는 웨이퍼의 수 역시 동일 개수로 한정 수용될 수밖에 없으며, 이에 따른 보우트의 크기 역시 웨이퍼의 한정적 개수로 인해 제한적일 수밖에 없기 때문에 상기 웨이퍼의 전기로 가열작업을 위한 상기 매거진으로부터 보우트 측으로 잦은 웨이퍼 이송작업을 수행해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점과 아울러, 이를 통한 한 번의 웨이퍼 가열작업공정으로 인(P)이 주입된 웨이퍼 제품의 생산량 또한 불량률을 감안할 때 매거진으로부터 공급된 웨이퍼 공급 개수 이하로 저하되게 되는 등의 문제점도 있었다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 설치되는 웨이퍼 피치 조절 유닛에 대하여, 매거진이나 보우트로부터 상승된 다수의 웨이퍼가 상기 매거진 픽커 또는 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트 사이에 상호 간에 핀 결합되어 수평이송 가능하게 설치되면서 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈 내에 삽입 수용된 상태에서 작동실린더의 길이가변에 따라 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절함과 동시에 상기와 같이 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼를 보우트 픽커가 파지하여 이웃한 보우트 측에 공급 수용될 수 있도록 구성함에 따라 상기 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 한 번의 웨이퍼 피치간격조절 작업공정으로 상기 매거진과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼를 보우트 내에 수용시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 경우 상기 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래에 비해 크게 단축됨 에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 하는데 다른 목적이 있다.
그리고, 본 발명의 경우 전술한 바와 같이 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급이 짧은 시간에 이루어짐에 따라 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 한쪽 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 사용되는 보우트를 기존 크기 보다 대형으로 제작하거나 큰 용량의 공정장비를 적용할 시 그에 비례하여 많은 양의 와이퍼를 수용할 수 있음에 따라 한 번의 웨이퍼 가열작업공정으로 인(P)이 주입된 많은 양의 웨이퍼 제품을 생산할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명의 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치는, 매거진이나 보우트로부터 상승된 다수의 웨이퍼가 상기 매거진 픽커 또는 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트 사이에 2개의 부재씩 핀 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀 결합되어 연속적으로 연결되어진 다수의 웨이퍼 가이드를 수평이송 가능하게 설치하되, 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈에 삽입 수용된 상태에서 실린더의 길이가변에 따라 웨이퍼 가이드의 슬라이드 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼를 보우트 픽커 또는 매거진 픽커가 파지하여 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급할 수 있도록 구성된 것을 특징 으로 한다.
이러한 본 발명에 의하면, 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 한 번의 웨이퍼 피치간격조절 작업공정으로 상기 매거진과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼를 보우트 내에 수용시킬 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 경우 상기 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래에 비해 크게 단축됨에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 효과 역시 있다.
그리고, 본 발명의 경우 전술한 바와 같이 웨이퍼 피치 조절 유닛을 통한 보우트 측에 웨이퍼를 이송 공급이 짧은 시간에 이루어짐에 따라 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 한쪽 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 사용되는 보우트를 기존 크기 보다 대형으로 제작하거나 큰 용량의 공정장비를 적용할 시 그에 비례하여 많은 양의 와이퍼를 수용할 수 있음에 따라 한 번의 웨이퍼 가열작업공정으로 인(P)이 주입된 많은 양의 웨이퍼 제품을 생산할 수 있는 효과 등도 있다.
본 발명의 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치(이하, 웨이퍼 피치조절장치라 함)를 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 분해 사시도를 나타낸 것이다.
또한, 도 4는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 정면도를 나타낸 것이고, 도 5는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 측면도를 나타낸 것이다.
본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)는, 매거진(M)과 보우트(B) 사이에 설치되는 메인 트랜스퍼 유닛(Main Transfer Unit)(3)의 양측에 각각 매거진 픽커(Magazine Picker)(5)와 보우트 픽커(Boat Picker)(7)가 설치된 솔라 셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Picker Transfer System)(1) 중 상기 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치되어 이웃한 매거진(M)이나 보우트(B)로부터 상기 매거진 픽커(5)나 보우트 픽커(7)를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 조절하는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 상기 매거진(M)이나 보우트(B)로부터 상승된 다수의 웨이퍼(W)가 상기 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이에 2개의 부재씩 핀(19) 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀(19) 결합되어 연속적으로 연결되어진 다수의 웨이퍼 가이드(20)를 수평이송 가능하게 설치하되, 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드(20)에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈(22)에 삽입 수용된 상태에서 실린더의 길이가변에 따라 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용과 함께 연동되는 링크작 용을 통해 상기 웨이퍼(W) 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7) 또는 매거진 픽커(5)가 파지하여 이웃한 보우트(B)나 매거진(M) 측에 공급할 수 있도록 구성됨으로써, 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)를 통한 한 번의 작업공정으로 매거진(M)과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트(B)에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼(W)를 보우트(B) 내에 수용시킬 수 있음과 아울러, 특히 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)를 통한 보우트(B) 측에 웨이퍼(W)를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래에 비해 크게 단축됨에 따라 이를 통한 웨이퍼(W)의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 기술적 특징을 갖는다.
이상과 같은 기술적 특징을 갖도록 구성된 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 세부구성을 살펴보면, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치 고정되며, 수직가이드봉(16)의 양단을 지지하는 상,하부 베이스플레이트(11,12)와; 상기 상,하부 베이스플레이트(11,12)의 사이에 다수의 웨이퍼 가이드(20)가 수평이송되도록 상하 이격된 상태로 설치되며, 수직이송실린더(17)의 길이가변을 통해 수직가이드봉(16)을 따라 승하강되면서 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단을 결착하여 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태로 고정 유지토록 하는 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)와; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이에 2개의 부재씩 핀(19) 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀(19) 결합되어 연속적으로 연결되어져 일렬로 배열 설치되며, 수평이송실린더(28)의 길이가변을 통해 수평가이드봉(18)을 따라 좌우이송되면서 삽착된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치나, 또는 상기 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절되는 다수의 웨이퍼 가이드(20)와; 상기 각 웨이퍼 가이드(20)의 일측 상,하단에 연결 설치되며, 수평이송실린더(28)의 길이가변에 따른 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하는 링크대(27)와; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 사이에 위치되어 웨이퍼 가이드(20)가 삽착되는 수평가이드봉(18)의 양단을 지지함과 동시에 일측이 수평이송실린더(28)와 연결 설치되며, 길이가변되는 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 웨이퍼 가이드(20)를 좌우 이송시키는 웨이퍼가이드가동수단(29)과; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이 및 웨이퍼가이드가동수단(29)의 일측 하단에 각각 연결 설치되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변에 따라 상부 피치가이드 플레이트(13)의 승강작용과 웨이퍼가이드가동수단(29)의 좌우이송작용이 이루어지도록 하는 수직 및 수평이송실린더(28)로 구성되어 있다.
미 설명 부호 "17a"는 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이에 수직이송실린더(17)가 위치 결착되도록 고정 지지하는 수직이송실린더 고정브라켓(17a)을 나타낸 것이며, 이때 상기 수직이송실린더(17)는 로드가 실린더의 상하단에 각각 설치되어 상하 양방(兩方)으로 길이가변이 이루어지는 양방향실린더이다.
여기서, 상기 상,하부 베이스플레이트(11,12)의 경우 전체형상이 각기 사각판상으로 형성되어 있는데, 이때 상기 상,하부 베이스플레이트(11,12)의 각 모서리 에는 수직가이드봉(16)의 양단을 고정 지지할 수 있도록 볼트체결홀(11a,12a)이 각각 형성되어 있고, 상기 상부 베이스플레이트(11)에는 매거진 픽커(5)에 파지된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 가이드(20) 측에 공급 삽착시키거나 또는 상기 웨이퍼 가이드(20)에 삽착된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7)가 취부할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼 가이드(20)에 삽착된 웨이퍼(W)가 수평이송실린더(28)의 길이가변을 통해 좌우이송 될 수 있도록 직사각 형태의 웨이퍼슬라이드홈(11b)이 관통 형성되어 있다.
또한, 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 경우 전체형상이 각기 사각판상으로 형성되어 있는데, 이때 상기 상부 피치가이드 플레이트(13)에는 웨이퍼슬라이드홈(11b)이 형성된 상부 베이스플레이트(11)를 통과하여 매거진 픽커(5)에 파지된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 가이드(20) 측에 공급 삽착시키거나 또는 상기 웨이퍼 가이드(20)에 삽착된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7)가 취부할 수 있도록 상기 상부 베이스플레이트(11)와 마찬가지로, 직사각 형태의 웨이퍼슬라이드홈(13a)이 관통 형성되어 있고, 상기 하부 피치가이드 플레이트(14)에는 웨이퍼 가이드(20)에 삽착된 웨이퍼(W) 및 웨이퍼가이드가동수단(29)이 수평이송실린더(28)의 길이가변을 통해 좌우이송 될 수 있도록 상기 상부 피치가이드 플레이트(13)에 관통 형성된 웨이퍼슬라이드홈(13a)과 동일형상 및 동일크기의 가동플레이트슬라이드홈(14a)이 관통 형성되어 있으며, 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 각 모서리 및 일측면에는 수직가이드봉(16)과 함께 이와 결합된 가이드부싱(16a)이 삽입되어 수직이송실린더(17)의 길이가변에 따른 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)가 수직가이 드봉(16)을 따라 상하 이송될 수 있도록 부싱삽입홀(13b,14b)이 각각 관통 형성되어 있다.
이와 더불어, 상기 상부 피치가이드 플레이트(13)의 웨이퍼슬라이드홈(13a) 및 상기 하부 피치가이드 플레이트(14)의 가동플레이트슬라이드홈(14a)의 각 테두리 양측에는 수직이송실린더(17)의 길이가변을 통해 수직가이드봉(16)을 따라 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)가 승하강되면서 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단을 결착하여 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태로 고정 유지시킬 수 있도록 로케이션핀(15a,15b)이 각각 상하 대향되게 설치 고정되어 있다.
그리고, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 경우 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성됨과 동시에 서로 대향되는 각기 한 쌍의 절편 구조로서 이루어져 있는데, 이때 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하면에는 수평가이드봉(18)이 삽입 관통될 수 있도록 수평봉삽입홀(23)이 관통 형성되어 있고, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 수평봉삽입홀(23) 사이에는 각각 2개의 웨이퍼 가이드(20)씩 핀(19) 결합하여 하나의 단위 블록체를 형성하기 위한 핀홀(21a)이 관통 형성됨과 동시에 그 핀홀(21a) 주위에도 각각의 단위 블록체 간 역시 상호 핀(19) 결합시키기 위한 핀홀(21a)이 관통 형성되어 있는데, 이때 상기 수평이송실린더(28) 작동에 의한 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 좁게 조절시에 핀(19) 양단에 결착된 스냅링(19a)의 해당 웨이퍼 가이드(20) 내 삽입에 대한 간섭작용이 방지되도록 상기 핀(19) 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성하는 2개의 웨이퍼 가이드(20) 중 이웃한 단위 블록체의 후방측 웨이퍼 가이드(20)와 상호 핀(19) 결합되는 전방측 웨이퍼 가이드(20)에 형성된 핀홀(21a) 보다 후방측 웨 이퍼 가이드(20)에 형성된 핀홀(21b)이 넓게 형성되어 있다.
이와 더불어, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상호 대향되는 각 일측 즉, 내측면에는 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)를 통해 파지된 상태로 웨이퍼 가이드(20) 측으로 공급된 웨이퍼(W)를 삽입 수용시킬 수 있도록 요(凹) 형태의 슬롯홈(22)이 각각 형성되어 있으며, 더욱이 상기 한 쌍의 웨이퍼 가이드(20) 하단에는 슬롯홈(22)을 통해 삽입된 웨이퍼(W)를 수용함과 동시에 하방(下方)으로 분리 낙하되는 것을 방지할 수 있도록 개방된 하단을 밀폐시키기 위한 하부덮개(24)가 설치 고정되어 있다.
또한, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단 각 양측에는 상부 피치가이드 플레이트(13)에 형성된 웨이퍼슬라이드홈(13a) 및 하부 피치가이드 플레이트(14)에 형성된 가동플레이트슬라이드홈(14a)의 각 테두리 양측에 설치 고정된 로케이션핀(15a,15b)에 결속되어 피치 조절된 상태로 웨이퍼 가이드(20)가 고정 유지될 수 있도록 중앙에 핀홀(25a)이 관통 형성된 로케이션부재(25)가 설치 고정되어 있고, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 각 일측 또는 양측 상,하단에는 링크대(27)가 힌지 결합되어 수평이송실린더(28)의 길이가변에 따른 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어질 수 있도록 중앙에 핀홀(26a)이 관통 형성된 링크고정부재(26)가 수직 및 수평형태로 설치 고정되어 있다.
그리고, 상기 웨이퍼가이드가동수단(29)의 경우 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 주목적을 이루기 위한 방법 즉, 수평이송실린더(28)의 작동에 따른 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용을 통해 상기 웨이퍼(W) 간에 이격된 피 치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하는데 대한 주 구동수단으로서, 크게 상기 수평이송실린더(28)와 연결되어 이의 작동을 통해 좌우 슬라이드 이송되는 4개의 플레이트가 상호 연결된 구조로 이루어져 있는데, 이의 세부적 구성요소로는 상호 핀(19) 결합되어 연속적으로 연결된 다수의 웨이퍼 가이드(20) 중 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드(20)와 결합되며, 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 되면서 웨이퍼 가이드(20)를 좌우이송시켜 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치나, 또는 상기 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절하는 가이드가동플레이트(30)와; 상기 다수의 웨이퍼 가이드(20) 중 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드(20)와 결합되며, 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 되는 웨이퍼 가이드(20)의 이송작용이 원활하도록 상기 웨이퍼 가이드(20)를 지지하는 가이드베이스플레이트(31)와; 상기 가이드베이스플레이트(31)의 후방(後方)에 위치됨과 동시에 상기 가이드가동플레이트(30)에 일단이 결합된 상태로 가이드베이스플레이트(31)를 관통하여 설치된 수평가이드봉(18)의 타단에 결합되어 상기 수평가이드봉(18)을 지지하는 수평봉지지플레이트(33)와; 상기 수평이송실린더(28)와 가이드레일을 통해 연결됨과 동시에 가이드베이스플레이트(31)의 하단을 관통한 상태로 가이드가동플레이트(30)의 하단 및 수평봉지지플레이트(33)의 하단에 설치 고정되며, 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 가이드가동플레이트(30) 및 수평봉지지플레이트(33)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하는 플레이트지지가동판(34)으로 구성되어 있다.
여기서, 상기 가이드가동플레이트(30)의 경우 전체형상이 "Y"자 형태로 형성 됨과 동시에 그 양측면에는 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드(20) 및 수평가이드봉(18)의 일단을 각각 볼트 고정시킬 수 있도록 볼트체결홀(30a)이 관통 형성되어 있다.
또한, 상기 수평봉지지플레이트(33)의 경우 전체형상이 "Y"자 형태로 형성됨과 동시에 그 양측면에는 수평가이드봉(18)의 타단을 각각 볼트 고정시킬 수 있도록 볼트체결홀(33a)이 관통 형성되어 있다.
이와 더불어, 상기 가이드베이스플레이트(31)의 경우 전체형상이 "Y"자 형태로 형성됨과 동시에 그 양측면에는 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드(20)를 볼트 고정시킴과 동시에 수평가이드봉(18)이 삽입되기 위한 볼트체결홀(31a) 및 수평봉삽입홀(31b)이 각각 관통 형성되어 있고, 그 하단에는 수평이송실린더(28)의 작동에 따른 플레이트지지가동판(34)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어질 수 있도록 요(凹) 형태의 가동판슬라이드홈(32)이 형성되어 있다.
한편, 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치(10) 중 상기 웨이퍼가이드가동수단(29)의 하단 일측에는 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 가이드가동플레이트(30) 및 플레이트지지가동판(34)과 함께 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드(20)의 작동여부를 감지하기 위한 웨이퍼가이드 작동감지수단(35)이 설치되어 있는데, 이때 상기 웨이퍼가이드 작동감지수단(35)의 경우 수평이송실린더(28)의 일측에 설치 고정되는 센서고정블록(36)과; 상기 센서고정블록(36)의 상단에 설치 고정되며, 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 가이드가동플레이트(30) 및 플레이트지지가동판(34)과 함께 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드(20)의 작동여부를 감지하는 감지센서(37)와; 상기 감지센서(37)와 대응 위치되도록 가이드레일의 일측 에 설치 고정되며, 수평이송실린더(28)의 작동 시 상기 가이드레일과 함께 이송되면서 이를 감지센서(37)가 감지토록 하는 센싱이송블록(38)으로 구성되어 있다.
이하, 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 작동과정을 나타낸 상태도이다.
먼저, 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)가 상세한 설명의 서두(序頭)에서 밝힌 바와 같이 매거진(M)과 보우트(B) 사이에 설치되는 솔라 셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(1) 중 매거진 픽커(5)를 통해 매거진(M)으로부터 다수의 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 상기 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하여 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 상기 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 즉, 4.76mm 보다 좁게 조절한 후 이와 같이 피치 간격이 조절된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7)가 파지한 다음 보우트(B) 측으로 이송 공급하여 상기 보우트(B) 내에 웨이퍼(W)가 수용되도록 하거나, 또는 상기 보우트 픽커(7)를 통해 보우트(B)로부터 인(P) 주입을 위한 전기로의 가열작업이 끝난 다수의 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하여 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 상기 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절한 후 이와 같이 피치 간격이 조절된 웨이퍼(W)를 매거진 픽커(5)가 파지한 다음 매거진(M) 측으로 이송 공급하여 상기 매거진(M) 내에 웨이퍼(W)가 수용되 도록 하는데 사용되는 장치이기 때문에, 이에 따른 본 발명의 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 작동과정은 상기와 같이 매거진 픽커(5)를 통해 매거진(M)으로부터 다수의 웨이퍼(W)를 취부하여 웨이퍼 피치조절장치(10)로 공급 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절한 후 이를 보우트 픽커(7)가 취부 및 보우트(B) 측으로 공급하여 상기 보우트(B) 내에 웨이퍼(W)가 수용되는 과정으로서 한정하여 상세히 설명한다.
이와 같은 작동과정으로서, 먼저 매거진(M)에 수용된 다수의 웨이퍼(W)를 솔라 셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(1) 중 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하기 위하여 도 6a에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 양측에 설치된 매거진 픽커(5) 및 보우트 픽커(7) 중 상기 매거진 픽커(5)를 이용해 수용된 매거진(M)으로부터 일정높이로 상승된 다수의 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착 파지하여 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 측으로 이송시킨 다음, 이의 상태에서 도 6b에 도시한 바와 같이 매거진 픽커(5)의 하강작용을 통해 상기 매거진 픽커(5)에 진공 취부된 다수의 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 내에 설치된 웨이퍼 가이드(20) 즉, 4.76mm의 기본 표준화 피치 간격으로 이격된 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)을 통해 각기 1장씩 독립적으로 대응 삽입하는 등 상기 웨이퍼 가이드(20) 내에 웨이퍼(W)를 수용시킨다.
그리고, 상기와 같이 웨이퍼 가이드(20) 내에 웨이퍼(W)가 삽입 수용된 상태에서 상기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 간격 보다 좁게 조절하기 위하여, 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 중 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 사이에 위치됨과 동시에 수평이송실린더(28)와 연결 설치되어 상기 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 웨이퍼 가이드(20)를 좌우 이송시키는 웨이퍼가이드가동수단(29) 즉, 가이드레일을 통해 수평이송실린더(28)의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 플레이트지지가동판(34)의 일단에 위치 고정된 상태로 수평이송실린더(28)와 결합된 가이드가동플레이트(30)엔 다수의 웨이퍼 가이드(20) 중 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드(20)가 결합되고, 이와 대향되는 가이드베이스플레이트(31)엔 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드(20)가 결합되는 등 상기 가이드가동플레이트(30)와 가이드베이스플레이트(31) 사이에 수평가이드봉(18)에 결합된 상태로 다수의 웨이퍼 가이드(20)가 설치된 상태에서 수평이송실린더(28)의 길이단축에 따른 상기 가이드가동플레이트(30)를 가이드베이스플레이트(31) 측으로 슬라이드 이송시키게 되면 도 6c의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 가이드가동플레이트(30)의 이송작용과 함께 이와 연동되는 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단에 힌지 결합된 링크대(27)의 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 가이드(20) 역시 가이드베이스플레이트(31) 측으로 수평가이드봉(18)을 따라 슬라이드 이송되면서 초기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격 즉, 4.76mm의 기본 표준화 피치 간격 보다 좁게 조절되게 된다.
이와 더불어, 상기와 같이 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 피치 간격이 조절된 상태 그대로 웨이퍼 가이드(20)를 고정 유지시키기 위하여 도 6c의 (b)에 도시한 바와 같이 수직이송실린더(17)의 길이단축에 따른 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)를 상기 웨이퍼 가이드(20) 측으로 승하강시켜 상 기 상부 피치가이드 플레이트(13)의 웨이퍼슬라이드홈(13a) 및 상기 하부 피치가이드 플레이트(14)의 가동플레이트슬라이드홈(14a)의 각 테두리 양측에 설치된 로케이션핀(15a,15b)을 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단 각 양측에 설치된 로케이션부재(25)의 핀홀(25a)에 결속시킴으로써 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태 그대로 고정 유지시킨다.
그리고, 상기와 같이 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)로부터 보우트(B) 측에 이송 공급시키기 위하여 도 6d에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 양측에 설치된 매거진 픽커(5) 및 보우트 픽커(7) 중 상기 보우트 픽커(7)를 이용해 웨이퍼 피치조절장치(10)로부터 피치 간격이 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절된 다수의 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착 파지하여 상기 보우트(B) 측으로 이송시킨 다음, 이의 상태에서 도 6e에 도시한 바와 같이 보우트 픽커(7)의 하강작용을 통해 상기 보우트 픽커(7)에 진공 취부된 다수의 웨이퍼(W)를 상기 보우트(B) 내에 안착 수용시킴으로써, 매거진(M)으로부터 웨이퍼 피치조절장치(10)를 거쳐 보우트(B) 측으로 다수의 웨이퍼(W)를 이송시키되, 상기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절된 상태로 보우트(B) 측에 이송 공급하여 많은 양의 웨이퍼(W)를 하나의 보우트(B)에 수용시킬 수 있으며, 이로써 상기 매거진(M)으로부터 보우트(B) 측으로 웨이퍼(W)의 이송작업공정이 종료되게 된다.
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어 나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.
도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 사시도.
도 3은 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 분해 사시도.
도 4는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 정면도.
도 5는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 측면도.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명에 대한 웨이퍼 피치조절장치의 작동과정을 나타낸 상태도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1. 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템 3. 메인 트랜스퍼 유닛
5. 매거진 픽커 7. 보우트 픽커
10. 웨이퍼 피치조절장치 11. 상부 베이스플레이트
11b, 13a. 웨이퍼슬라이드홈 12. 하부 베이스플레이트
13. 상부 피치가이드 플레이트 14. 하부 피치가이드 플레이트
14a. 가동플레이트슬라이드홈 15a, 15b. 로케이션핀
16. 수직가이드봉 17. 수직이송실린더
18. 수평가이드봉 19. 핀
19a. 스냅링 20. 웨이퍼 가이드
21a, 21b, 25a, 26a. 핀홀 22. 슬롯홈
24. 하부덮개 25. 로케이션부재
26. 링크고정부재 27. 링크대
28. 수평이송실린더 29. 웨이퍼가이드가동수단
30. 가이드가동플레이트 31. 가이드베이스플레이트
32. 가동판슬라이드홈 33. 수평봉지지플레이트
34. 플레이트지지가동판 35. 웨이퍼가이드 작동감지수단
36. 센서고정블록 37. 감지센서
38. 센싱이송블록 B. 보우트
M. 매거진 W. 웨이퍼

Claims (11)

  1. 양측에 매거진 픽커와 보우트 픽커가 상하 및 전후, 좌우 이송이 가능하도록 설치된 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 위치되어 이웃한 매거진이나 보우트로부터 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 조절토록 구성된 웨이퍼 피치조절장치에 있어서,
    상기 웨이퍼 피치조절장치는, 매거진이나 보우트로부터 상승된 다수의 웨이퍼가 상기 매거진 픽커 또는 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트 사이에 2개의 부재씩 핀 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀 결합되어 연속적으로 연결되어진 다수의 웨이퍼 가이드를 수평이송 가능하게 설치하되, 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈에 삽입 수용된 상태에서 실린더의 길이가변에 따라 웨이퍼 가이드의 슬라이드 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼를 보우트 픽커 또는 매거진 픽커가 파지하여 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 피치조절장치는 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 설치 고정되며, 수직가이드봉의 양단을 지지하는 상,하부 베이스플레이트와;
    상기 상,하부 베이스플레이트의 사이에 다수의 웨이퍼 가이드가 수평이송되도록 상하 이격된 상태로 설치되며, 수직이송실린더의 길이가변을 통해 수직가이드봉을 따라 승하강되면서 웨이퍼 가이드의 상,하단을 결착하여 상기 웨이퍼 가이드를 피치 조절된 상태로 고정 유지토록 하는 상,하부 피치가이드 플레이트와;
    상기 상,하부 피치가이드 플레이트 사이에 2개의 부재씩 핀 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀 결합되어 연속적으로 연결되어져 일렬로 배열 설치되며, 수평이송실린더의 길이가변을 통해 수평가이드봉을 따라 좌우이송되면서 삽착된 웨이퍼 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치나, 또는 상기 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절되는 다수의 웨이퍼 가이드와;
    상기 각 웨이퍼 가이드의 일측 상,하단에 연결 설치되며, 수평이송실린더의 길이가변에 따른 각 웨이퍼 가이드의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하는 링크대와;
    상기 상,하부 피치가이드 플레이트의 사이에 위치되어 웨이퍼 가이드가 삽착되는 수평가이드봉의 양단을 지지함과 동시에 일측이 수평이송실린더와 연결 설치되며, 길이가변되는 수평이송실린더의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 웨이퍼 가이드를 좌우 이송시키는 웨이퍼가이드가동수단과;
    상기 상,하부 피치가이드 플레이트 사이 및 웨이퍼가이드가동수단의 일측 하단에 각각 연결 설치되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변에 따라 상부 피치가이드 플레이트의 승강작용과 웨이퍼가이드가동수단의 좌우이송작용이 이루어지도록 하는 수직 및 수평이송실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨 이퍼 피치조절장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 상부 베이스플레이트에는 매거진 픽커에 파지된 웨이퍼를 웨이퍼 가이드 측에 공급 삽착시키거나 또는 상기 웨이퍼 가이드에 삽착된 웨이퍼를 보우트 픽커가 취부할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼 가이드에 삽착된 웨이퍼가 수평이송실린더의 길이가변을 통해 좌우이송되도록 하기 위한 웨이퍼슬라이드홈이 관통 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 상,하부 피치가이드 플레이트에는 상부 베이스플레이트를 통과하여 매거진 픽커에 파지된 웨이퍼를 웨이퍼 가이드 측에 공급 삽착시키거나 또는 상기 웨이퍼 가이드에 삽착된 웨이퍼를 보우트 픽커가 취부할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼 가이드에 삽착된 웨이퍼 및 웨이퍼가이드가동수단이 수평이송실린더의 길이가변을 통해 좌우이송되도록 하기 위한 웨이퍼슬라이드홈 및 가동플레이트슬라이드홈이 각각 관통 형성되고,
    상기 웨이퍼슬라이드홈 및 가동플레이트슬라이드홈의 각 테두리 양측에는 수직이송실린더의 길이가변을 통해 수직가이드봉을 따라 상,하부 피치가이드 플레이트가 승하강되면서 웨이퍼 가이드의 상,하단을 결착하여 상기 웨이퍼 가이드를 피치 조절된 상태로 고정 유지시키기 위한 로케이션핀이 각각 대향되게 설치 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드의 상,하단 각 양측에는 상,하부 피치가이드 플레이트의 웨이퍼슬라이드홈 및 가동플레이트슬라이드홈 각 테두리 양측에 설치 고정된 로케이션핀에 결속되어 피치 조절된 상태로 웨이퍼 가이드가 고정 유지될 수 있도록 중앙에 핀홀이 관통 형성된 로케이션부재가 설치 고정되고,
    상기 웨이퍼 가이드의 각 일측 또는 양측 상,하단에는 링크대가 힌지 결합되어 수평이송실린더의 길이가변에 따른 각 웨이퍼 가이드의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 중앙에 핀홀이 관통 형성된 링크고정부재가 수직 및 수평형태로 설치 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드는 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성됨과 동시에 서로 대향되는 각기 한 쌍의 절편 구조로서 이루어지되,
    상기 웨이퍼 가이드의 상,하면에는 수평가이드봉이 삽입 관통되기 위한 수평봉삽입홀이 관통 형성되고,
    상기 웨이퍼 가이드의 수평봉삽입홀 사이에는 각각 2개의 웨이퍼 가이드씩 핀 결합하여 하나의 단위 블록체를 형성하기 위한 핀홀이 관통 형성됨과 동시에 그 핀홀 주위에도 각각의 단위 블록체 간 역시 상호 핀 결합시키기 위한 핀홀이 형성되며,
    상기 웨이퍼 가이드의 상호 대향되는 각 일측면에는 웨이퍼를 삽입 수용시키기 위한 슬롯홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 핀 결합된 2개의 웨이퍼 가이드 중 이웃한 단위 블록체의 후방측 웨이퍼 가이드와 상호 핀 결합되는 전방측 웨이퍼 가이드에 형성된 핀홀 보다 후방측 웨이퍼 가이드에 형성된 핀홀이 넓게 형성되며,
    상기 한 쌍의 웨이퍼 가이드 하단에는 슬롯홈을 통해 삽입된 웨이퍼를 수용함과 동시에 하방(下方)으로 분리 낙하되는 것을 방지하기 위한 하부덮개가 설치 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  8. 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼가이드가동수단은 상호 핀 결합되어 연속적으로 연결된 다수의 웨이퍼 가이드 중 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드와 결합되며, 수평이송실린더의 작동에 따라 슬라이드 되면서 웨이퍼 가이드를 좌우이송시켜 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치나, 또는 상기 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절하는 가이드가동플레이트와;
    상기 다수의 웨이퍼 가이드 중 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드와 결합되며, 수평이송실린더의 작동에 따라 슬라이드 되는 웨이퍼 가이드의 이송작용이 원활하도록 상기 웨이퍼 가이드를 지지하는 가이드베이스플레이트와;
    상기 가이드베이스플레이트의 후방(後方)에 위치됨과 동시에 상기 가이드가동플레이트에 일단이 결합된 상태로 가이드베이스플레이트를 관통하여 설치된 수평가이드봉의 타단에 결합되어 상기 수평가이드봉을 지지하는 수평봉지지플레이트와;
    상기 수평이송실린더와 가이드레일을 통해 연결됨과 동시에 가이드베이스플레이트의 하단을 관통한 상태로 가이드가동플레이트의 하단 및 수평봉지지플레이트 의 하단에 설치 고정되며, 수평이송실린더의 작동에 따라 가이드가동플레이트 및 수평봉지지플레이트의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하는 플레이트지지가동판으로 구성된 것을 특징으로 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 가이드가동플레이트는 전체형상이 "Y"자 형태로 형성되되, 그 양측면에 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드 및 수평가이드봉의 일단을 각각 볼트 고정시키기 위한 볼트체결홀이 관통 형성되고,
    상기 수평봉지지플레이트는 전체형상이 "Y"자 형태로 형성되되, 그 양측면에 수평가이드봉의 타단을 볼트 고정시키기 위한 볼트체결홀이 관통 형성되며,
    상기 가이드베이스플레이트는 전체형상이 "Y"자 형태로 형성되되, 그 양측면에 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드를 볼트 고정시킴과 동시에 수평가이드봉이 삽입되기 위한 볼트체결홀 및 수평봉삽입홀이 관통 형성되고, 그 하단에 수평이송실린더의 작동에 따른 플레이트지지가동판의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하기 위한 가동판슬라이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 웨이퍼가이드가동수단의 하단 일측에는 수평이송실린더의 작동에 따라 가이드가동플레이트 및 플레이트지지가동판과 함께 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 작동여부를 감지하기 위한 웨이퍼가이드 작동감지수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 웨이퍼가이드 작동감지수단은 수평이송실린더의 일측에 설치 고정되는 센서고정블록과;
    상기 센서고정블록의 상단에 설치 고정되며, 수평이송실린더의 작동에 따라 가이드가동플레이트 및 플레이트지지가동판과 함께 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 작동여부를 감지하는 감지센서와;
    상기 감지센서와 대응 위치되도록 가이드레일의 일측에 설치 고정되며, 수평이송실린더의 작동 시 상기 가이드레일과 함께 이송되면서 이를 감지센서가 감지토록 하는 센싱이송블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치.
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