KR20110000542A - Glass substrate inspection apparatus and glass substrate inspection method - Google Patents

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Abstract

유리 기판을 이동시키면서 결함의 검사를 행하는 요청에도 간이한 장치 구성으로 응하면서, 유리 기판의 변에 과도 한 응력 집중을 발생시키는 일없이 유리 기판의 휨을 교정해서 결함의 검출 정밀도를 향상시킨다. 세로 자세의 유리 기판(G)을 결함 검지 수단(3)에 대하여 유리 기판(G)의 폭 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 유리 기판(G)에 대하여 결함 검지 수단(3)을 주사해서 유리 기판(G)에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 장치(1)로서, 유리 기판(G)의 상변을 파지하는 상부 파지 수단(4)과, 유리 기판(G)의 하변을 파지하는 하부 파지 수단(5)을 구비하고, 상부 파지 수단(4)과 하부 파지 수단(5)에 의한 파지만으로 유리 기판(G)을 유지함과 아울러 상부 파지 수단(4)과 하부 파지 수단(5)을 이반시켜서 유리 기판(G)에 대하여 상하 방향으로 장력을 부여한 상태에서 유리 기판(G)을 결함 검지 수단(3)을 향해서 폭 방향으로 이동시킨다.While responding to the request of inspecting a defect while moving the glass substrate with a simple device configuration, the warpage of the glass substrate is corrected without generating excessive stress concentration on the sides of the glass substrate, thereby improving the detection accuracy of the defect. By moving the glass substrate G in a vertical position relative to the defect detection means 3 in the width direction of the glass substrate G, the defect detection means 3 is scanned with respect to the glass substrate G, and the glass substrate G In the glass substrate inspection apparatus 1 which inspects the presence or absence of a defect contained in the), the upper holding means 4 holding the upper side of the glass substrate G, and the lower holding means holding the lower side of the glass substrate G are shown. (5), and retains the glass substrate G only by the gripping by the upper holding means 4 and the lower holding means 5, and also separates the upper holding means 4 and the lower holding means 5 into glass. The glass substrate G is moved to the width direction toward the defect detection means 3 in the state which tensioned the board | substrate G in the up-down direction.

Description

유리 기판 검사 장치 및 유리 기판 검사 방법{GLASS SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND GLASS SUBSTRATE INSPECTING METHOD}Glass substrate inspection apparatus and glass substrate inspection method {GLASS SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND GLASS SUBSTRATE INSPECTING METHOD}

본 발명은 유리 기판에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 장치 및 유리 기판 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate inspection apparatus and a glass substrate inspection method for inspecting the presence or absence of a defect contained in the glass substrate.

이미 알고 있는 바와 같이, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 일렉트로루미네선스 디스플레이, 필드 에미션 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)용의 유리 기판을 비롯한 각종 유리판은, 용융로에서 용융된 용융 유리를 띠 형상의 유리 리본으로 성형하고, 이 유리 리본을 충분히 냉각한 후에 소정 치수로 절단함으로써 제작되는 경우가 많다. 여기에서, 유리 리본의 성형에는 플로트법 이외에, 오버플로우 다운드로우법(퓨전법)이나 슬롯 다운드로우법 등의 다운드로우법 등이 일반적으로 이용되고 있다.As already known, various glass plates, including glass substrates for flat panel displays (FPD), such as liquid crystal displays, plasma displays, electroluminescent displays, field emission displays, etc., have a band-shaped molten glass melted in a melting furnace. It is often produced by molding with a glass ribbon and cutting the glass ribbon to a predetermined size after sufficiently cooling the glass ribbon. Here, in addition to the float method, a downdraw method such as an overflow downdraw method (fusion method), a slot downdraw method, or the like is generally used for molding the glass ribbon.

그리고, 이러한 과정을 거쳐서 제작된 유리 기판(작은 유리 기판이 다분할되는 마더 유리 기판을 포함함)은 검사 공정에 보내져서 미소 상처나 이물 등의 결함의 유무가 검사되는 것이 통례이다.And the glass substrate produced through such a process (including the mother glass substrate by which a small glass substrate is divided | segmented) is sent to an inspection process, and it is common that the presence or absence of defects, such as a micro wound and a foreign material, is examined.

이러한 종류의 검사 공정에서 사용되는 장치로서는, 예를 들면 하기의 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 반송 롤러 상에 수평으로 유리 기판을 적재하고, 반송 롤러에 의해 유리 기판을 수평 자세로 이동시키면서 광원과 CCD 센서 등의 카메라에 의해 유리 기판의 결함을 검출하도록 구성된 것이 공지로 되어 있다.As an apparatus used in this kind of inspection process, as disclosed in the following patent document 1, for example, while loading a glass substrate horizontally on a conveyance roller and moving a glass substrate to a horizontal attitude | position by a conveyance roller, It is well-known that it is comprised so that the defect of a glass substrate may be detected by a camera, such as a light source and a CCD sensor.

그러나, 이러한 구성의 경우, 최근의 대형이며 또한 박판의 유리 기판을 검사 대상으로 하였을 때에 반송 롤러 사이에서 유리 기판이 자체 중량에 의해 하방으로 크게 휘어버린다고 하는 사태가 생길 수 있다. 유리 기판의 검사에는 카메라가 이용되는 것이 통례로 되어 있기 때문에, 이렇게 유리 기판의 휨이 발생하는 카메라의 초점 위치가 어긋나서 결함을 정확하게 검출할 수 없다고 하는 문제가 생길 수 있다. 특히, FPD용의 유리 기판의 경우에는 높은 품질을 확보하기 위해서, 예를 들면 수십㎛ 정도의 매우 작은 상처 등도 결함으로서 검출하는 것이 필요하게 되기 때문에, 유리 기판의 휨에 의한 검출 정밀도의 저하는 보다 큰 문제가 된다.However, in the case of such a structure, when the glass substrate of a thin and thin plate is a test object of recent years, the situation may arise that a glass substrate largely bends down by its own weight between conveyance rollers. Since it is common for a camera to be used for inspection of a glass substrate, the problem that a focal position of the camera which warpage | occurs | generates a glass substrate generate | occur | produces like this shifts | deviates and a defect cannot be detected correctly may arise. In particular, in the case of the glass substrate for FPD, in order to ensure high quality, it is necessary to detect very small wounds, such as a few tens of micrometers, for example as a defect, and the fall of the detection accuracy by the curvature of a glass substrate is more This is a big problem.

그래서, 하기의 특허문헌 2에는 연직 자세의 유리 기판의 4변 모두를 클램프 수단에 의해 파지함과 아울러, 유리 기판이 상하 방향 및 좌우 방향으로 연신되도록 각 클램프 수단에 의해 유리 기판을 잡아당긴 상태에서 정 위치에 고정하고, 이 고정된 유리 기판에 대하여 조명 장치와 카메라를 일체로 이동시켜서 유리 기판의 결함 유무를 검사하는 장치가 개시되어 있다.Therefore, in Patent Document 2 below, all four sides of the glass substrate in the vertical posture are gripped by the clamp means, and the glass substrate is pulled by the respective clamp means so that the glass substrate is stretched in the vertical direction and the horizontal direction. The apparatus which fixes to a fixed position, and examines the presence or absence of the defect of a glass substrate by moving a lighting apparatus and a camera integrally with respect to this fixed glass substrate is disclosed.

일본 특허 공개 2006-266933호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2006-266933 일본 특허 공개 2005-172782호 공보Japanese Patent Publication No. 2005-172782

그런데, 유리 기판의 단부인 4변은 파손을 초래하기 쉬운 부위이기 때문에 파지하는 변의 수는 최대한 억제하는 것이 중요하다. 그러나, 상기 특허문헌 2에 개시된 방법에서는, 유리 기판의 4변 모두가 클램프 수단에 의해 파지되어 있다. 또한, 유리 기판은 4변 모두가 파지된 상태에서 상하 방향 뿐만 아니라 좌우 방향으로도 잡아당겨져 있으므로, 클램프 수단에 의해 파지되어 있는 개소에는 과도한 응력 집중이 발생하기 쉬워 유리 기판이 단부를 기점으로 해서 파손을 초래할 우려가 있다.By the way, since the four edge | side which is an edge part of a glass substrate is a site | part which is easy to cause damage, it is important to suppress the number of the edge | side held by the maximum. However, in the method disclosed in the patent document 2, all four sides of the glass substrate are gripped by the clamp means. In addition, since the glass substrate is pulled not only in the up-down direction but also in the left-right direction in a state in which all four sides are gripped, excessive stress concentration is likely to occur at the position held by the clamp means, and the glass substrate is broken from the end. It may cause.

또한 상기 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 유리 기판의 검사에 있어서는 유리 기판을 이동시키면서 결함의 검사를 행하는 것이 요청될 경우도 많은 것이 실정이다. 그러나, 상기 특허문헌 2에 개시된 방법에서는, 유리 기판은 정위치에 고정되고, 조명 장치와 카메라만이 이동하도록 되어 있기 때문에 이러한 요청 에 따른 것은 아니다. 또한, 가령 이러한 요청에 따르기 위해서 유리 기판의 4변 모두를 파지한 상태인 채로 유리 기판을 폭 방향으로 이동시키려고 했을 경우에는, 이동 방향으로도 클램프 수단이 위치하기 때문에 유리 기판의 이동을 실현하기 위한 장치가 복잡하고 또한 대형화되어 버리므로 실용적이지 않다.Moreover, as described in the said patent document 1, there are many cases where it is requested | required to test a defect, moving a glass substrate in the inspection of a glass substrate. However, in the method disclosed in the patent document 2, the glass substrate is fixed in position, and only the illuminating device and the camera are to be moved, so this request is not made. In addition, when the glass substrate is to be moved in the width direction while all four sides of the glass substrate are gripped in order to comply with such a request, for example, the clamp means is also located in the movement direction to realize the movement of the glass substrate. It is not practical because the device is complicated and large.

본 발명은 상기 실정을 감안하여, 유리 기판을 이동시키면서 결함의 검사를 행하는 요청에도 간이한 장치 구성으로 응하면서, 유리 기판의 변에 과도한 응력 집중을 발생시키지 않고, 유리 기판의 휨을 교정해서 결함의 검출 정밀도를 향상시키는 것을 기술적 과제로 한다.In view of the above circumstances, the present invention responds to a request for inspecting a defect while moving the glass substrate, with a simple device configuration, without causing excessive stress concentration on the sides of the glass substrate, and correcting the warp of the glass substrate to correct the defect. Improving the detection accuracy is a technical problem.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 장치는, 세로 자세의 유리 기판을 결함 검지 수단에 대하여 상대 이동시킴으로써 상기 유리 기판에 대하여 상기 결함 검지 수단을 주사해서 상기 유리 기판에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 장치에 있어서, 상기 유리 기판의 상변을 파지하는 상부 파지 수단과, 상기 유리 기판의 하변을 파지하는 하부 파지 수단을 구비하고, 상기 상부 파지 수단과 상기 하부 파지 수단에 의한 파지만으로 상기 유리 기판을 유지함과 아울러, 상기 상부 파지 수단과 상기 하부 파지 수단을 이반시켜서 상기 유리 기판에 대하여 상하 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 유리 기판이 상기 결함 검지 수단을 향해서 폭 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것에 특징이 있다.An apparatus according to the present invention, which has been devised to solve the above-mentioned problems, scans the defect detection means with respect to the glass substrate by moving the glass substrate in a vertical position relative to the defect detection means, and whether or not there is a defect included in the glass substrate. A glass substrate inspection apparatus for inspecting a surface, comprising: an upper gripping means for gripping an upper side of the glass substrate and a lower gripping means for gripping a lower side of the glass substrate, the gripping by the upper gripping means and the lower gripping means The glass substrate is configured to move in the width direction toward the defect detecting means while maintaining the glass substrate with only the glass holding member, and the upper holding means and the lower holding means are separated so that the glass substrate is tensioned in the vertical direction. It is characterized by being done.

이러한 구성에 의하면, 상부 파지 수단과 하부 파지 수단에 의해 유리 기판의 4변 중 상변과 하변만이 파지되게 된다. 그 때문에 이 상태에서 상부 파지 수단과 하부 파지 수단을 이반시켜서 유리 기판에 상하 방향으로 장력을 부여했다고 해도, 유리 기판의 폭 방향의 양측 변에 과도한 응력 집중이 생길 일이 없다. 또한, 유리 기판의 이동 방향인 폭 방향으로는 파지 수단이 존재하지 않으므로 유리 기판의 이동을 간이한 장치 구성으로 실현할 수 있다.According to such a configuration, only the upper side and the lower side of the four sides of the glass substrate are held by the upper holding means and the lower holding means. Therefore, even if the upper holding means and the lower holding means are separated in this state and the tension is applied to the glass substrate in the vertical direction, excessive stress concentration does not occur on both sides of the glass substrate in the width direction. Moreover, since a holding means does not exist in the width direction which is a moving direction of a glass substrate, movement of a glass substrate can be implement | achieved by the simple apparatus structure.

상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판과 상기 결함 검지 수단 중 상기 유리 기판만이 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the said structure, it is preferable that only the said glass substrate moves among the said glass substrate and the said defect detection means.

이렇게 하면, 중량이 있는 카메라 등을 구비하고 있는 결함 검지 수단을 이동시킬 필요가 없기 때문에 결함 검지 수단을 이동시킬 경우에 비하여 메인터넌스의 빈도가 감소한다. 따라서, 결함 검지 수단을 장기간에 걸쳐서 안정된 상태에서 사용하는 것이 가능해져서 경제적으로도 매우 유리하게 된다.This reduces the frequency of maintenance compared to the case where the defect detection means is moved because there is no need to move the defect detection means having a heavy camera or the like. Therefore, it is possible to use the defect detection means in a stable state for a long time, which is very advantageous economically.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 방법은, 세로 자세의 유리 기판을 결함 검지 수단에 대하여 상기 유리 기판을 폭 방향으로 상대 이동시킴으로써 상기 유리 기판에 대하여 상기 결함 검지 수단을 주사해서 상기 유리 기판에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 방법에 있어서, 상기 유리 기판의 상변과 하변만을 파지해서 상하 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 유리 기판을 상기 결함 검지 수단을 향해서 폭 방향으로 이동시키는 것에 특징이 있다.The method according to the present invention, which was devised to solve the above-mentioned problems, scans the defect detection means with respect to the glass substrate by moving the glass substrate in a vertical position relative to the defect detection means in the width direction. A glass substrate inspection method for inspecting the presence or absence of a defect contained in a substrate, wherein the glass substrate is moved in the width direction toward the defect detection means in a state where only the upper and lower sides of the glass substrate are gripped and the tension is applied in the vertical direction. It is characterized by

이러한 방법에 의하면, 이미 단락 <0012>에서 서술한 작용 효과를 마찬가지로 향수할 수 있다.According to this method, the effect already described in paragraph <0012> can be enjoyed as well.

상기 방법에 있어서 상기 결함 검지 수단을 정위치에서 고정하고, 상기 유리 기판만을 이동시키는 것이 바람직하다.In the said method, it is preferable to fix the said defect detection means in a fixed position, and to move only the said glass substrate.

이렇게 하면, 이미 단락 <0014>에서 서술한 작용 효과를 마찬가지로 향수할 수 있다.In this way, the functional effects already described in paragraph <0014> can be enjoyed as well.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

이상과 같이 본 발명에 의하면, 유리 기판을 이동시키면서 결함의 검사를 행하는 요청에도 적확하게 응하면서, 유리 기판의 변에 과도한 응력 집중을 발생시키는 일없이 유리 기판의 휨을 교정해서 결함의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the bending accuracy of the glass substrate is corrected to improve the detection accuracy of the defect without causing excessive stress concentration on the sides of the glass substrate while accurately responding to the request for inspecting the defect while moving the glass substrate. You can.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 유리 기판 검사 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a glass substrate inspection device according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일실시형태를 첨부된 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention is described based on attached drawing.

도 1은 본 실시형태에 의한 유리 기판 검사 장치의 전체 구성을 나타내는 측면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 이 유리 기판 검사 장치(1)는 유리 기판(G)을 세로 자세(도면 예에서는 대략 연직 자세)인 채로 이동시키는 이동 수단(2)과, 이 이동 수단(2)에 의해 이동되는 유리 기판(G)의 이동 경로 상에 배치되어 유리 기판(G)의 결함를 검지하는 결함 검지 수단(3)을 구비한다. 또한, 유리 기판(G)으로서는, 예를 들면 두께가 0.05∼1.8㎜이고, 한 변의 치수가 1m 이상인 액정 디스플레이용의 유리 기판을 들 수 있다.1: is a side view which shows the whole structure of the glass substrate test | inspection apparatus which concerns on this embodiment. As shown in the figure, the glass substrate inspection apparatus 1 includes a moving means 2 for moving the glass substrate G in a vertical position (a substantially vertical position in the drawing example) and the moving means 2. It is provided on the movement path | route of the glass substrate G moved by the defect detection means 3 which detects the defect of the glass substrate G. FIG. Moreover, as glass substrate G, the thickness is 0.05-1.8 mm, for example, and the glass substrate for liquid crystal displays whose dimension of one side is 1 m or more is mentioned.

상기 이동 수단(2)은 유리 기판(G)의 상변을 파지하는 상부 파지 수단(4)과, 유리 기판(G)의 하변을 파지하는 하부 파지 수단(5)과, 상부 파지 수단(4)을 유리 기판(G)의 폭 방향(도면 중의 화살표 A의 방향)으로 안내하는 상부 가이드 레일(6)과, 하부 파지 수단(5)을 유리 기판(G)의 폭 방향(도면 중의 화살표 A의 방향)으로 안내하는 하부 가이드 레일(7)을 구비한다.The moving means 2 includes an upper gripping means 4 for holding an upper side of the glass substrate G, a lower gripping means 5 for holding a lower side of the glass substrate G, and an upper gripping means 4. The upper guide rail 6 and the lower holding means 5 which guide the width direction (direction of arrow A in the drawing) of the glass substrate G, and the width direction (direction of arrow A in the drawing) of the glass substrate G It has a lower guide rail (7) to guide the.

상부 가이드 레일(6)은 유리 기판(G)의 상변의 상방 위치에, 하부 가이드 레일(7)은 유리 기판(G)의 하변의 하방 위치에 각각 배치되어 있고, 양 가이드 레일 (6, 7)은 유리 기판(G)의 폭 방향으로 평행하게 연장되어 있다.The upper guide rails 6 are disposed at an upper position of the upper side of the glass substrate G, and the lower guide rails 7 are disposed at a lower position of the lower side of the glass substrate G, and both guide rails 6 and 7 Is extended in parallel in the width direction of the glass substrate G. As shown in FIG.

상부 파지 수단(4)은 유리 기판(G)의 상변의 중앙부와 그 양측을 파지하는 3개의 파지부(4a)와, 이 3개의 파지부(4a)가 부착된 베이스부(4b)를 구비하고 있고, 이 베이스부(4b)가 상부 가이드 레일(6)에 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. 또한, 상부 파지 수단(4)의 파지부(4a)의 수는, 특별하게 한정되는 것은 아니고, 유리 기판(G)의 크기나 두께에 따라 적당하게 조정해도 좋고, 유리 기판(G)의 상변 전체를 하나의 파지부(4a)로 파지하도록 하여도 좋다.The upper holding means 4 has a central portion of the upper side of the glass substrate G, three holding portions 4a for holding both sides thereof, and a base portion 4b to which the three holding portions 4a are attached. This base portion 4b is slidably attached to the upper guide rail 6. In addition, the number of the holding parts 4a of the upper holding means 4 is not specifically limited, You may adjust suitably according to the magnitude | size and thickness of glass substrate G, and the whole upper side of glass substrate G is carried out. May be held by one gripping portion 4a.

하부 파지 수단(5)은 유리 기판(G)의 하변의 중앙부와 그 양측을 파지하는 3개의 파지부(5a)와, 이 3개의 파지부(5a)가 부착되고 또한 상하 방향(도면 중의 화살표 B의 방향)으로 신축 가능한 에어 실린더(5b)와, 이 에어 실린더(5b)가 부착된 베이스부(5c)를 구비하고 있고, 이 베이스부(5c)가 상기 하부 가이드 레일(7)을 따라 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. 또한, 하부 파지 수단(5)의 파지부(5a)의 수는, 특별하게 한정되는 것은 아니고, 유리 기판(G)의 크기나 두께에 따라 적당하게 조정해도 좋고, 유리 기판(G)의 하변 전체를 하나의 파지부(5a)로 파지하도록 하여도 좋다.The lower gripping means 5 has a center portion of the lower side of the glass substrate G and three gripping portions 5a for gripping both sides thereof, and the three gripping portions 5a are attached to each other and an up and down direction (arrow B in the drawing). Direction) and a base portion 5c to which the air cylinder 5b is attached, and the base portion 5c is slidable along the lower guide rail 7. Is attached. In addition, the number of the holding parts 5a of the lower holding means 5 is not specifically limited, You may adjust suitably according to the magnitude | size and thickness of glass substrate G, and the whole lower edge of glass substrate G is carried out. May be held by one gripping portion 5a.

상기 결함 검지 수단(3)은 상하 방향으로 긴 라인광을 출사하는 광원(8)과, 복수의 카메라(9a)가 상하 방향으로 배열된 라인 센서(9)를 갖고, 광원(8)으로부터 유리 기판(G)을 향해서 조사된 광을 유리 기판(G)의 반대측에서 라인 센서(9)에 의해 수광하고, 그 수광한 광량의 변화에 기초하여 결함의 유무를 검출하게 되어 있다.The defect detecting means 3 has a light source 8 that emits long line light in the vertical direction, and a line sensor 9 in which a plurality of cameras 9a are arranged in the vertical direction, and the glass substrate from the light source 8. The light irradiated toward (G) is received by the line sensor 9 on the opposite side of the glass substrate G, and the presence or absence of a defect is detected based on the change of the received light quantity.

또한, 본 실시형태에서는 결함 검지 수단(3)은 유리 기판(G)의 이동 경로 상의 정위치에 고정되어 있고, 상부 파지 수단(4)과 하부 파지 수단(5)에 의해 유리 기판(G)을 결함 검지 수단(3)을 향해서 폭 방향으로 이동시킴으로써 유리 기판(G) 전체에 대하여 결함 검지 수단(3)의 카메라(9a)를 주사하게 되어 있다.In addition, in this embodiment, the defect detection means 3 is being fixed in the fixed position on the movement path | route of the glass substrate G, and the glass substrate G is fixed by the upper holding means 4 and the lower holding means 5, respectively. The camera 9a of the defect detection means 3 is scanned with respect to the whole glass substrate G by moving toward the defect detection means 3 in the width direction.

이어서, 이상과 같이 구성된 유리 기판 검사 장치(1)의 동작에 대하여 설명한다.Next, operation | movement of the glass substrate inspection apparatus 1 comprised as mentioned above is demonstrated.

우선, 유리 기판 검사 장치(1)의 상류측부터 순차적으로 반송되어 오는 유리 기판(G)의 상변을 상부 파지 수단(4)의 파지부(4a)에 의해 파지하여 유리 기판(G)을 매달아 지지한다. 이어서, 하부 파지 수단(5)이 에어 실린더(5b)에 의해 유리 기판(G)의 하변을 향해서 상승하고, 하부 파지 수단(5)의 파지부(5a)로 유리 기판(G)의 하변을 파지한다. 그리고, 이 상태로부터 다시 에어 실린더(5b)에 의해 하부 파지 수단(5)이 하강하여, 유리 기판(G)의 하변이 에어 실린더(5b)에 부착된 파지부(5a)에 의해 하방으로 잡아당겨진다. 즉, 상부 파지 수단(4)의 파지부(4a)에 대하여 하부 파지 수단(5)의 파지부(5a)가 하방으로 이간하게 되므로 유리 기판(G)에는 상하 방향으로 장력이 부여되게 된다. 따라서, 이 상하 방향으로 부여된 장력에 의해 유리 기판(G)의 휨을 교정하는 것이 가능해진다. 또한, 이 때 유리 기판(G)의 폭 방향의 양측 변은 외부로부터 지지되는 일없이 프리한 상태이기 때문에 상하 방향으로 부여한 장력에 의해 양측 변에 응력 집중이 생긴다고 하는 사태도 발생하기 어렵다.First, the upper side of the glass substrate G sequentially conveyed from the upstream side of the glass substrate inspection apparatus 1 is gripped by the holding part 4a of the upper holding means 4, and the glass substrate G is suspended. do. Subsequently, the lower holding means 5 is raised toward the lower side of the glass substrate G by the air cylinder 5b, and the lower side of the glass substrate G is held by the holding portion 5a of the lower holding means 5. do. Then, the lower gripping means 5 descends again by the air cylinder 5b from this state, and the lower side of the glass substrate G is pulled downward by the gripping portion 5a attached to the air cylinder 5b. Lose. That is, since the holding part 5a of the lower holding means 5 is spaced downward with respect to the holding part 4a of the upper holding means 4, tension is applied to the glass substrate G in the vertical direction. Therefore, the curvature of the glass substrate G can be correct | amended by the tension provided in this up-down direction. Moreover, at this time, since both sides of the width direction of the glass substrate G are free, without being supported from the outside, the situation that stress concentration arises in both sides by the tension provided in the up-down direction is unlikely to occur.

그리고, 이렇게 유리 기판(G)의 상하변을 파지해서 상하 방향으로 장력을 부여한 단계에서 상부 파지 수단(4)의 베이스부(4b)와, 하부 파지 수단(5)의 베이스부(5c)가 동기하면서 가이드 레일(6, 7)을 따라 하류측으로 이동하여 결함 검지 수단(3)의 광원(8)과 라인 센서(9) 사이에 유리 기판(G)이 통과시켜진다.And the base part 4b of the upper holding means 4 and the base part 5c of the lower holding means 5 synchronize | synchronize in the step which clamped the upper and lower sides of the glass substrate G in this way, and provided tension in the up-down direction. While moving downward along the guide rails 6 and 7, the glass substrate G is allowed to pass between the light source 8 and the line sensor 9 of the defect detection means 3.

이 때, 결함 검지 수단(3)의 광원(8)과 라인 센서(9) 사이에 통과시켜진 유리 기판(G)은, 상부 파지 수단(4)과 하부 파지 수단(5)에 의해 상하 방향으로 장력이 부여된 상태로 되어 있기 때문에 유리 기판(G)의 휨은 교정되어 있다. 따라서, 유리 기판(G)의 휨에 의해 라인 센서(9)의 카메라(9a)의 초점 위치가 어긋나서 결함의 검출 정밀도가 저하된다고 하는 사태를 확실하게 저감할 수 있다. 또한, 유리 기판(G)의 이동 방향인 폭 방향으로는 파지 수단이 존재하지 않으므로, 유리 기판(G)을 간이한 장치 구성으로 이동시킬 수 있다.At this time, the glass substrate G passed between the light source 8 and the line sensor 9 of the defect detection means 3 is moved up and down by the upper holding means 4 and the lower holding means 5. Since the tension is applied, the warpage of the glass substrate G is corrected. Therefore, the situation that the focal position of the camera 9a of the line sensor 9 shifts by the curvature of the glass substrate G can fall reliably, and can reduce reliably. Moreover, since a holding means does not exist in the width direction which is the moving direction of glass substrate G, glass substrate G can be moved with a simple apparatus structure.

또한, 유리 기판(G)의 전체가 결함 검지 수단(3)의 광원(8)과 라인 센서(9) 사이를 통과한 단계에서, 유리 기판(G)의 상변은 도시하지 않은 별도의 파지 수단에 의해 파지된다. 이 상태에서, 상부 파지 수단(4)과 하부 파지 수단(5)은 유리 기판(G)의 상하변으로부터 각각 멀어져, 가이드 레일(6, 7)을 따라 상류측으로 이동해서 원래의 위치로 복귀한다. 한편, 검사가 종료된 유리 기판(G)은 결함이 검출되지 않았을 경우에는 후속의 가공 공정으로 이송되고, 결함이 검출되었을 경우에는 불량품으로서 폐기되거나, 또는 결함이 없는 정상인 부분으로부터 새로운 유리 기판(G)이 채취된다.In addition, in the stage where the whole glass substrate G passed between the light source 8 of the defect detection means 3 and the line sensor 9, the upper side of the glass substrate G was carried out by the other holding means which is not shown in figure. Gripped by In this state, the upper holding means 4 and the lower holding means 5 move away from the upper and lower sides of the glass substrate G, respectively, and move upstream along the guide rails 6 and 7 to return to their original positions. On the other hand, when the inspection is completed, the glass substrate G is transferred to a subsequent processing step when a defect is not detected, and when a defect is detected, the glass substrate G is discarded as a defective product or a new glass substrate G is obtained from a normal part without a defect. ) Is collected.

이상과 같은 본 실시형태에 의한 유리 기판 검사 장치(1)에 의하면, 유리 기판(G)을 이동시키면서 결함의 검사를 행하는 요청에도 간단한 장치 구성으로 대응할 수 있고, 또한, 유리 기판(G)의 변에 과도한 응력 집중을 발생시키는 일없이 유리 기판(G)의 휨을 적확하게 교정해서 결함의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.According to the glass substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on the above-mentioned this embodiment, the request | requirement which examines a defect while moving the glass substrate G can respond with a simple apparatus structure, Moreover, the edge of the glass substrate G The deflection of the defect can be improved by correcting the warpage of the glass substrate G accurately without causing excessive stress concentration.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 여러 가지 형태로 실시할 수 있다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 에어 실린더(5b)에 의해 잡아당겨서 유리 기판(G)의 장력을 부여할 경우를 설명했지만, 하부 파지 수단(5)의 파지부(5a)의 중량에 의해 유리 기판(G)에 장력을 부여하도록 하여도 좋다. 또한, 이 경우, 하부 파지 수단(5)의 파지부(5a)의 중량이 지나치게 무거울 때에는 에어 실린더(5b)에 의해 파지부(5a)를 상방으로 들어올리고, 파지부(5a)의 중량이 지나치게 가벼울 때에는 에어 실린더(5b)에 의해 파지부(5a)를 하방으로 끌어내림으로써 유리 기판(G)에 작용하는 장력을 조정하는 것이 바람직하다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement in various forms. For example, in the said embodiment, although the case where the tension of the glass substrate G was given by pulling by the air cylinder 5b was demonstrated, it is based on the weight of the holding part 5a of the lower holding means 5, Tension may be applied to (G). In this case, when the weight of the gripper 5a of the lower gripper 5 is too heavy, the gripper 5a is lifted upward by the air cylinder 5b, and the weight of the gripper 5a is excessively high. When it is light, it is preferable to adjust the tension which acts on the glass substrate G by pulling down the holding | gripping part 5a below by the air cylinder 5b.

1 : 유리 기판 검사 장치 2 : 이동 수단
3 : 결함 검지 수단 4 : 상부 파지 수단
4a : 파지부 4b : 베이스부
5 : 하부 파지 수단 5a : 파지부
5b : 에어 실린더 5c : 베이스부
6 : 상부 가이드 레일 7 : 하부 가이드 레일
8 : 광원 9 : 라인 센서
9a : 카메라1: glass substrate inspection apparatus 2: moving means
3: defect detection means 4: upper holding means
4a: Holding part 4b: Base part
5: lower gripping means 5a: gripping portion
5b: Air cylinder 5c: Base portion
6: upper guide rail 7: lower guide rail
8: light source 9: line sensor
9a: camera

Claims (4)

세로 자세의 유리 기판을 결함 검지 수단에 대하여 상기 유리 기판의 폭 방향으로 상대 이동시킴으로써 상기 유리 기판에 대하여 상기 결함 검지 수단을 주사해서 상기 유리 기판에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 장치에 있어서:
상기 유리 기판의 상변을 파지하는 상부 파지 수단과, 상기 유리 기판의 하변을 파지하는 하부 파지 수단을 구비하고;
상기 상부 파지 수단과 상기 하부 파지 수단에 의한 파지만으로 상기 유리 기판을 유지함과 아울러 상기 상부 파지 수단과 상기 하부 파지 수단을 이반시켜서 상기 유리 기판에 대하여 상하 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 유리 기판이 상기 결함 검지 수단을 향해서 폭 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 검사 장치.In the glass substrate inspection apparatus which examines the presence or absence of the defect contained in the said glass substrate by scanning the said defect detection means with respect to the said glass substrate by moving the glass substrate of a vertical position relative to the defect detection means in the width direction of the said glass substrate. In:
An upper gripping means for gripping an upper side of the glass substrate and a lower gripping means for gripping the lower side of the glass substrate;
The glass substrate is held in the state where the glass substrate is held only by the upper holding means and the lower holding means, while the upper holding means and the lower holding means are separated and the tension is applied to the glass substrate in the vertical direction. It is comprised so that it may move to a width direction toward a defect detection means, The glass substrate inspection apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서,
상기 유리 기판과 상기 결함 검지 수단 중 상기 유리 기판만이 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 검사 장치.The method of claim 1,
It is comprised so that only the said glass substrate may move among the said glass substrate and the said defect detection means, The glass substrate inspection apparatus characterized by the above-mentioned. 세로 자세의 유리 기판을 결함 검지 수단에 대하여 상기 유리 기판의 폭 방향으로 상대 이동시킴으로써 상기 유리 기판에 대하여 상기 결함 검지 수단을 주사해서 상기 유리 기판에 포함되는 결함의 유무를 검사하는 유리 기판 검사 방법에 있어서:
상기 유리 기판의 상변과 하변만을 파지해서 상하 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 유리 기판을 상기 결함 검지 수단을 향해서 폭 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판 검사 방법.In the glass substrate inspection method of inspecting the presence or absence of a defect contained in the glass substrate by scanning the defect detection means relative to the glass substrate by moving the glass substrate in the vertical position relative to the defect detection means in the width direction of the glass substrate. In:
A glass substrate inspection method, wherein the glass substrate is moved in the width direction toward the defect detecting means in a state where only the upper and lower sides of the glass substrate are gripped and tension is applied in the vertical direction. 제 3 항에 있어서,
상기 유리 기판과 상기 결함 검지 수단 중 상기 유리 기판만이 이동하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 검사 방법.The method of claim 3, wherein
Only the said glass substrate of the said glass substrate and the said defect detection means moves, The glass substrate inspection method characterized by the above-mentioned.
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