KR20100092730A - Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치 - Google Patents

Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100092730A
KR20100092730A KR1020090012005A KR20090012005A KR20100092730A KR 20100092730 A KR20100092730 A KR 20100092730A KR 1020090012005 A KR1020090012005 A KR 1020090012005A KR 20090012005 A KR20090012005 A KR 20090012005A KR 20100092730 A KR20100092730 A KR 20100092730A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lcd substrate
unit
probe
lcd
support plate
Prior art date
Application number
KR1020090012005A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101000367B1 (ko
Inventor
이재길
Original Assignee
이재길
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이재길 filed Critical 이재길
Priority to KR1020090012005A priority Critical patent/KR101000367B1/ko
Publication of KR20100092730A publication Critical patent/KR20100092730A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101000367B1 publication Critical patent/KR101000367B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations

Abstract

본 발명은 LCD기판 동작 테스트장치에 관한 것으로 상세하게는 받침판의 상측면 상단에 형성되는 측정부와 상기 측정부를 전후좌우방향으로 이송시키며 상기 받침판의 양측에 설치되어지는 이송부와, 상기 받침판의 중앙에 형성되어 LCD기판을 고정시키는 고정부와, 상기 고정부에 고정되어지는 LCD기판의 동작을 테스트하는 측정부의 프로브와 상기 LCD기판이 접촉되는 부위를 촬영하는 카메라부를 포함하여 구성되어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판 동작 테스트장치에 관한 것이다.
프로브, LCD, 측정, 테스트, 이송

Description

ＬＣＤ기판 동작 테스트장치{Test equipment of action to liquid crystal display substrate}
본 발명은 LCD기판 동작 테스트장치에 관한 것으로 상세하게는 받침판의 상측면 상단에 형성되는 측정부와 상기 측정부를 전후좌우방향으로 이송시키며 상기 받침판의 양측에 설치되어지는 이송부와, 상기 받침판의 중앙에 형성되어 LCD기판을 고정시키는 고정부와, 상기 고정부에 고정되어지는 LCD기판의 동작을 테스트하는 측정부의 프로브와 상기 LCD기판이 접촉되는 부위를 촬영하는 카메라부를 포함하여 구성되어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판 동작 테스트장치에 관한 것이다.
종래에는 LCD를 최종 완성 단계 이전에 LCD의 패널의 상태를 반드시 확인절차를 거쳐야 한다.
LCD의 패널의 확인시 점등 테스트를 거칠시에 접촉되는 부위에서 이물질이 발생되어 점등 확인시에 이물질로 인해 불완전한 점등, 불완전한 색연출, 세정주기에 따라 장치의 수명을 현저하게 떨어뜨리는 문제점이 있다.
또한, 테스트 작업을 위한 점등시 이물질의 발생으로 인해 확인공정시 불량율이 증가할 뿐만 아니라, 작업속도가 늦어지는 등의 문제점을 야기시키고 있는 실 정이다.
이는 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, LCD의 패널을 점등 테스트시 접지시키는 모듈장치(2)에 장착되는 접지장치는 중간 고정편부(10)의 하부측에 수평으로 형성된 접지핀(12)은 에폭시 고정부(14)에 일체로 고정되어 있다.
상기와 같이 에폭시 고정부(14)에 고정된 접지핀(12)은 아주 촘촘한 간격을 유지한채로 전방으로 돌출되고, 그 끝단부가 하부측으로 꺾여지게 형성된 외팔보형으로 끝단에 토션이 작용되도록 구성되어 있다.
접지핀(12)은 그 끝단각이 하부측으로 꺾여져 있어 LCD의 패널의 접지부위가 하부측으로 눌려질시에 접지핀(12)의 끝단부가 눌려지면서 자체탄성력에 의해 LCD의 패널의 접지면을 하부측으로 긁어내리면서 접지되기 때문에, 접지핀(12) 에 의해 긁혀지면서 발생되는 이물질이 접지핀(12)의 사이에 끼이게 되므로 접지핀(12)들 사이에 끼어있는 이물질로 하여금 서로 쇼트되어 제대로 작동되지 않는 문제점을 발생시키고 있는 실정이다.
또한, 종래의 수평형식의 접지핀(12)은 긁혀지면서 마찰이 발생되기 때문에 마찰에 의해 이물질이 달라붙는 문제점이 있다.
종래의 접지핀(12)은 수평방향으로 돌출된 상태로 끝단부가 하부측으로 꺾여지게 형성되어 있어 잘못 접지핀(12)을 건드리면 구부러지거나 서로 다른 핀들을 밀치므로 쉽게 파손되는 경우가 발생되면 전체를 통체로 교체해야하는 문제점이 있다.
특히, LCD의 IZO소재는 동영상 구현시 속도를 높이기 위해 연성재질을 사용 해야하므로 최근에 많이 사용되고 있다.
IZO는 LCD 의 구동 라인의 구성중 글래스막의 표면을 이루는 소재로, 정지영상, 동영상속도, 화질 등에 크기 영향을 받는 물질이다.
따라서, IZO는 기존에 많이 쓰고 있는 ITO전극 보다 연성이기 때문에 종래의 접지핀(12)에 의해 LCD의 테스트 접지시에 이물질이 더 많이 발생되고 있다.
상기 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 받침판 상에 측정부를 형성하고, 상기 측정부를 이송부를 통해 이송시키며, 상기 측정부의 다수로 이루어진 이동부를 각각 이송시켜 동시에 다수위치에서 하나의 LCD기판의 테스트를 진행하며, 카메라부를 통해 상기 측정부와 LCD기판의 접촉을 조정하여 LCD기판과 측정부의 프로브 파손을 방지하는 LCD기판 동작 테스트장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은 LCD기판 동작 테스트장치에 관한 것으로 받침판의 상측면 상단에 형성되는 측정부와 상기 측정부를 전후좌우방향으로 이송시키며 상기 받침판의 양측에 설치되어지는 이송부와, 상기 받침판의 중앙에 형성되어 LCD기판을 고정시키는 고정부와, 상기 고정부에 고정되어지는 LCD기판의 동작을 테스트하는 측정부의 프로브와 상기 LCD기판이 접촉되는 부위를 촬영하는 카메라부를 포함하여 구성된다.
본 발명은 받침판 상에 측정부를 형성하고, 상기 측정부를 이송부를 통해 이송시키며, 상기 측정부의 다수로 이루어진 이동부를 각각 이송시켜 동시에 다수위치에서 하나의 LCD기판의 테스트를 진행하며, 카메라부를 통해 상기 측정부와 LCD기판의 접촉을 조정하여 LCD기판과 측정부의 프로브 파손을 방지하는 효과가 있으며, 다수의 프로브를 동시에 움직여 LCD기판의 테스트를 진행하기 때문에 빠른시간 에 LCD기판의 테스트를 할 수 있는 효과가 있다.
도 3내지 도 13에 도시되 바와같이 본 발명은 LCD기판(150)의 동작을 테스트하는 테스트 장치에 있어서, LCD기판(150)이 올려져 고정되어지는 받침판(110)과; 상기 받침판(110) 상단의 상측면에 형성되어 전측단에 LCD기판(150)을 테스트하는 프로브가 설치되어지는 다수개의 이동부(122)가 수평으로 설치된 가이드봉(121)에 설치되어 각각 이동되어지는 측정부(120)와; 상기 측정부(120)를 전후 좌우 방향으로 이동시키며, 상기 측정부(120)의 좌우 양측에 형성되어지는 이송부(140)와; 상기 받침판(110)의 중앙에 형성되어 LCD기판(150)이 고정되어지는 고정부와; 상기 고정부의 양측에 설치되어 상기 측정부(120)의 프로브(125)와 상기 LCD기판(150)이 접촉되어지는 부위를 촬영하는 카메라부(140)와; 상기 고정부에 고정되어 상기 측정부(120)를 통해 테스트되어지는 LCD기판(150);을 포함하여 구성되어진다.
이때, 도 5 내지 도 9에 도시되어진 바와같이 상기 측정부(120)는 상기 가이드봉(121)에 다수의 이동부(122)가 설치되어 좌우방향으로 상기 가이드봉(121)에 가이드 되어지고, 상기 이동부(122)에는 상기 이동부(122)를 각각 이동시키도록 스텝모터(123)가 각각 연결되어지며, 상기 스텝모터(123)와 상기 이동부(122) 간에는 타이밍벨트로 연결되며, 상기 이동부(122)의 전측에는 상기 LCD기판(150)의 테스트를 위한 프로브(125)가 형성되어지며, 상기 프로브(125)와 상기 이동부(122) 간에 프로브대(126)가 형성되어 상기 프로브(125)를 고정시키고, 상기 프로브대(126)의 하측단과 상기 받침판(110) 간에 상기 프로브대(126)의 이동거리를 측정하고 제어 하는 가이드가 형성되어진다.
그리고, 도 13에 도시되어진 바와같이 상기 카메라부(140)는 상기 LCD기판(150)과 프로브(125) 간을 촬영하며, 상기 받침판(110) 상측에 가이드부(131)가 설치되어 상기 가이드부(131)에 가이드 되어 상기 카메라부(140)가 좌우측 방향으로 이송되어지며, 상기 카메라부(140)의 상측에 조종레버가 형성되어 상기 카메라부(140)를 전후방향과 상하방향으로 이송시킨다.
즉, 본 발명윽 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 3 내지 도 13에 도시된 바와같이 본 발명은 받침판(110)의 상측면 상단에 형성되는 측정부(120)와 상기 측정부(120)를 전후좌우방향으로 이송시키며 상기 받침판(110)의 양측에 설치되어지는 이송부(140)와, 상기 받침판(110)의 중앙에 형성되어 LCD기판(150)을 고정시키는 고정부와, 상기 고정부에 고정되어지는 LCD기판(150)의 동작을 테스트하는 측정부(120)의 프로브(125)와 상기 LCD기판(150)이 접촉되는 부위를 촬영하는 카메라부(140)로 크게 구성되어진다.
이때, 도 3 내지 도 10에 도시된 바와같이 상기 측정부(120)는 상기 받침판(110)에 고정되어지는 가이드봉(121)에 이동부(122)가 다수 결합되어지고, 상기 이동부(122)의 전측으로 프로브대(126)가 결합되어 상기 LCD기판(150)측으로 형성되어지고, 상기 프로브대(126)의 끝단에 프로브(125)가 형성되며, 상기 프로브(125)의 끝단에 프로브탐침(127)이 결합되어지며, 상기 프로브대(126)의 상측에 스텝모터(123)가 결합되고, 상기 이동부(122)와 타이밍벨트로 연결되어 상기 이동부(122)를 상기 가이드봉(121)을 따라 이동시키게된다.
또한, 도 5 내지 도 6에 도시된 바와같이 프로브대(126)와 상기 받침판(110) 간에 가이드(124)가 형성되어 상기 프로브대(126)의 이동간격을 측정하여 상기 스텝모터(123)의 구동을 조종하게 된다.
도 11 내지 도 12에 도시된 바와같이 이러한 상기 프로브탐침(127)은 상기 LCD기판(150)의 전극과 접촉되어질때 상기 LCD기판(150)의 전극과 상기 프로브탐침(127)의 파손을 방지하기 위하여 상기 프로브탐침(127)이 상기 프로브(125) 내측으로 이송되어지며, 상기 프로브(125) 내부의 스프링으로 인해 상기 프로브탐침(127)과 상기 LCD기판(150)이 떨어졌을때 다시 상기 프로브탐침(127)이 튀어나오게 된다.
그리고, 상기 이송부(140)는 상기 측정부(120)의 양측에 형성되어 상기 측정부(120)의 다수 이동부(122)를 동시에 좌우 방향으로 이송시킬수 있으며, 상기 이송부(140) 간에 타임벨트(141)가 설치되어 상기 타임벨트(141)와 상기 이동부(122)가 연동되어 상기 이동부(122)가 상기 타임벨트(141)의 구동으로 동시에 이송되어진다.
또한, 도 13에 도시된 바와같이 상기 카메라부(140)는 상기 LCD기판(150)과 상기 프로브(125)의 접촉을 촬영하여 외부에 위치한 서버로 송신하며, 상기 받침판(110)에 형성되어진 가이드부(131)를 통해 좌우방향으로 각각 이동되어지고, 상기 카메라부(140)의 상측에 설치된 조절나사(133)로 상기 카메라부(140)의 카메라 각도를 조절하며, 상기 카메라부(140)의 상측에 설치된 이송나사(132)를 통해 상기 카메라부(140)를 전후측으로 이송시키게 된다.
이러한, 구성으로 이루어져 LCD기판(150)이 상기 받침판(110)의 고정부에 고정되어지면, 상기 측정부(120)의 이동부가 이동되어 상기 LCD기판(150)의 측정위치로 프로브(125)를 이송시켜 상기 LCD기판(150)의 전극과 위치를 일치시키며, 상기 프로브(125)의 위치를 상기 카메라부(140)로 촬영하여 눈으로 확인하여 상기 프로브(125)와 LCD기판(150)의 전극을 일치시키며, 상기 프로브(125)의 위치에따라 상기 카메라의 각도와 위치를 상기 가이드부(131)와 상기 조절나사(133) 및 이송나사(132)로 조종하여 상기 LCD기판(150)의 전극과 상기 프로브(125)의 접촉부위를 촬영하게 된다.
그리고 상기 측정부(120)의 프로브(125)를 상기 LCD기판(150)에 접촉시키기 위하여 상기 이송부(140)에서 상기 측정부(120)를 전후방향으로 이동시킨뒤 접촉되어지는 위치를 카메라로 촬영하여 조절하고, 상기 프로브(125)를 상기 LCD기판(150)의 전극에 접촉시켜 측정하게 된다.
도 1은 종래의 LCD기판 테스트 장치를 나타낸 사시도,
도 2는 종래의 LCD기판 테스트장치를 나타낸 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 전체 구성을 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 하측면 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 후측면도,
도 6은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 하측면도,
도 8은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 측면도,
도 9는 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 하측 분해 사시도,
도 10은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 하측 분해 동작 사시도,
도 11은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 측정부가 LCD기판에 접촉되는 것을 나타낸 부분 사시도,
도 12는 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 측정부의 프로브 동작도,
도 13은 본 발명에 따른 LCD기판 동작 테스트장치의 카메라부 동작도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 받침판 120 : 측정부
130 : 카메라부 140 : 이송부
150 : LCD기판

Claims (3)

  1. LCD기판의 동작을 테스트하는 테스트 장치에 있어서,
    LCD기판(150)이 올려져 고정되어지는 받침판(110)과;
    상기 받침판(110) 상단의 상측면에 형성되어 전측단에 LCD기판(150)을 테스트하는 프로브(125)가 설치되어지는 다수개의 이동부(122)가 수평으로 설치된 가이드봉(121)에 설치되어 각각 이동되어지는 측정부(120)와;
    상기 측정부(120)를 전후 좌우 방향으로 이동시키며, 상기 측정부(120)의 좌우 양측에 형성되어지는 이송부(140)와;
    상기 받침판(110)의 중앙에 형성되어 LCD기판(150)이 고정되어지는 고정부와;
    상기 고정부의 양측에 설치되어 상기 측정부(120)의 프로브와 상기 LCD기판(150)이 접촉되어지는 부위를 촬영하는 카메라부(140)와;
    상기 고정부에 고정되어 상기 측정부(120)를 통해 테스트되어지는 LCD기판(150);을 포함하여 구성되어지는 것을 특징으로하는 LCD기판 동작 테스트장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    이때, 상기 측정부(120)는 상기 가이드봉에 다수의 이동부(122)가 설치되어 좌우방향으로 상기 가이드봉(121)에 가이드 되어지고, 상기 이동부(122)에는 상기 이동부(122)를 각각 이동시키도록 스텝모터(123)가 각각 연결되어지며, 상기 스텝 모터(123)와 상기 이동부 간에는 타이밍벨트로 연결되며, 상기 이동부(122)의 전측에는 상기 LCD기판(150)의 테스트를 위한 프로브(125)가 형성되어지며, 상기 프로브(125)와 상기 이동부 간에 프로브대(126)가 형성되어 상기 프로브(125)를 고정시키고, 상기 프로브대(126)의 하측단과 상기 받침판 간에 상기 프로브대(126)의 이동거리를 측정하고 제어하는 가이드(124)가 형성된 것을 특징으로 하는 LCD기판 동작 테스트장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 카메라부(140)는 상기 LCD기판(150)과 프로브 간을 촬영하며, 상기 받침판(110) 상측에 가이드부(131)가 설치되어 상기 가이드부(131)에 가이드 되어 상기 카메라부(140)가 좌우측 방향으로 이송되어지며, 상기 카메라부(140)의 상측에 조종레버가 형성되어 상기 카메라부(140)를 전후방향과 상하방향으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 LCD기판 동작 테스트장치.
KR1020090012005A 2009-02-13 2009-02-13 Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치 KR101000367B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090012005A KR101000367B1 (ko) 2009-02-13 2009-02-13 Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090012005A KR101000367B1 (ko) 2009-02-13 2009-02-13 Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100092730A true KR20100092730A (ko) 2010-08-23
KR101000367B1 KR101000367B1 (ko) 2010-12-13

Family

ID=42757463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090012005A KR101000367B1 (ko) 2009-02-13 2009-02-13 Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101000367B1 (ko)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100538796B1 (ko) * 2005-02-04 2005-12-26 주식회사 영우디에스피 액정표시장치의 기판 모듈 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101000367B1 (ko) 2010-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8378708B2 (en) Inspecting method using an electro optical detector
CN104516132B (zh) 一种测试治具
KR101033776B1 (ko) 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치
KR100829892B1 (ko) 표시용 패널의 검사장치
KR101616564B1 (ko) 프로브 이동장치
CN106990567A (zh) 一种宏观检查装置及宏观检查方法
KR100890282B1 (ko) 어레이 테스트 장비
CN111856798A (zh) 一种tft液晶显示屏点亮测试治具
KR20070103990A (ko) 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법
KR101000367B1 (ko) Ｌｃｄ기판 동작 테스트장치
KR20110025318A (ko) 디스플레이 기판의 이물질 검사장치
CN206684252U (zh) 一种应用于lcd中tab模组的扫描检测机
CN102017114B (zh) 基板质量测试器
KR20130011263A (ko) 디스플레이 패널용 벤딩장치
KR20100058395A (ko) 평판 디스플레이 패널의 검사장치
KR101977305B1 (ko) 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치
KR20130056541A (ko) 어레이 테스트 장치
KR101924853B1 (ko) 디스플레이패널의 열화상 검사장치
KR101829846B1 (ko) 연성기판 검사장치
KR101378506B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
KR20100084829A (ko) 라인스캔 카메라를 구비한 검사장치
JP4031491B2 (ja) パネル検査装置
JP4483269B2 (ja) ディスプレイパネルの点灯検査装置
CN213825945U (zh) 一种光学功能板检测装置
KR101241969B1 (ko) 패널 테스트용 글라스 범프 타입의 프로브 블록 구조

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130923

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee