KR20100083364A - 전기적 특성 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기적 특성 검사 장치에 관한 것으로서, 측정대상물과 접촉되는 탐침; 상기 측정대상물의 직류 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 직류 신호를 전달하는 직류 신호 전달라인; 상기 측정대상물의 주파수 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 주파수 신호를 전달하는 주파수 신호 전달라인; 및 상기 탐침에 직류 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 주파수 신호 전달라인을 차단하고, 상기 탐침에 상기 주파수 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 직류 신호 전달라인을 차단하는 라인 선택장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하기 때문에 직류 특성과 주파수 특성을 용이하게 테스트할 수 있고, 장치 제작비용을 절감할 수 있으며, 장치의 성능과 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다.
라인 선택장치, 직류 신호 전달라인, 주파수 신호 전달라인

Description

전기적 특성 검사 장치{Apparatus for testing electrical characteristic}
본 발명은 전기적 특성 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 장치를 혼용화하여 직류 특성과 주파수 특성을 용이하게 테스트할 수 있고, 장치 제작비용을 절감할 수 있으며, 직류 신호 전달라인과 주파수 신호 전달라인 간의 간섭을 방지하여 장치의 성능과 신뢰도를 향상시킬 수 있게 하는 전기적 특성 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 메모리나 마이크로 프로세서 등의 반도체 소자나 각종 디스플레이 소자 등 정밀한 전자 장치들의 전기적 특성을 검사하기 위하여 탐침(Probe)을 이용한 전기적 특성 검사 장치가 널리 사용되고 있다.
이러한 전기적 특성 중에서 측정대상물에 직류 신호(DC Signal)를 전달하여 직류 신호에 대한 측정대상물의 특성을 검사하는 직류 특성 검사 장치는 측정대상물과 접촉되는 탐침 및 상기 탐침과 전기적으로 연결되는 미세한 패턴의 직류 신호 전달라인을 구비하여 이루어지는 구성이었다.
한편, 최근에는 전자 장치들이 고집적화, 고성능화, 고속도화되면서 전기적 특성 중에서 측정대상물의 주파수 특성을 검사하는 주파수 특성 검사 장치가 개발 되어 사용되고 있다.
이러한 주파수 특성 검사 장치는, 측정대상물에 주파수 신호(RF Signal)를 전달하여 주파수 신호에 대한 측정대상물의 특성을 검사하는 것으로서, 측정대상물과 접촉되는 탐침 및 상기 탐침과 전기적으로 연결되는 주파수 신호 전달라인을 구비하여 이루어지는 구성이었다.
따라서, 종래에는 작업자가, 측정대상물의 직류 특성을 검사하기 위해서 측정대상물에 종래의 직류 특성 검사 장치를 설치한 다음, 직류 특성 검사를 실행하고, 직류 특성 검사를 모두 마치면, 종래의 직류 특성 검사 장치를 해체한 후, 상기 측정대상물에 종래의 주파수 특성 검사 장치를 다시 설치하여야 하는 번거로움이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 직류 및 주파수 특성 테스트에서 탐침, 회로 기판, 테스터 헤드 등의 부품을 혼용하여 직류 특성과 주파수 특성을 빠르고 쉽게 테스트할 수 있고, 부품의 최적화로 장치 제작비용을 절감할 수 있으며, 직류 특성 테스트시 주파수 신호 전달라인을 차단하고, 주파수 특성 테스트시 직류 신호 전달라인을 차단하여 서로 간의 간섭을 방지함으로써 장치의 성능과 신뢰도를 향상시킬 수 있게 하는 전기적 특성 검사 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전기적 특성 검사 장치는, 측정대상물과 접촉되는 탐침; 상기 측정대상물의 직류 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 직류 신호를 전달하는 직류 신호 전달라인; 상기 측정대상물의 주파수 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 주파수 신호를 전달하는 주파수 신호 전달라인; 및 상기 탐침에 직류 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 주파수 신호 전달라인을 차단하고, 상기 탐침에 상기 주파수 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 직류 신호 전달라인을 차단하는 라인 선택장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 라인 선택장치는, 상기 탐침에 전기적으로 연결되는 제 1 단자; 상기 직류 신호 전달라인과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 접촉되는 제 2 단자; 및 상기 주파수 신호 전달라인과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 접촉되어 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되는 동시에 상기 제 1 단자와 상기 제 2 단자의 전기적 연결을 차단하는 제 3 단자;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 단자는, 상기 탐침과 연결되고, 상기 탐침이 설치된 회로 기판에 세워지는 봉형 단자이고, 상기 제 2 단자는, 상기 회로 기판에 형성된 직류 신호 전달 패턴과 전기적으로 연결되고, 상기 봉형 단자에 탄성 접촉되도록 상기 봉형 단자방향으로 복원력이 작용하는 탄성 단자이며, 상기 제 3 단자는, 상기 회로 기판과 착탈구를 이용하여 조립되는 착탈 조립체에 설치되고, 상기 착탈 조립체가 상기 회로기판에 부착될 때, 상기 봉형 단자와 탄성 단자 사이에 선택적으로 삽입되어 상기 봉형 단자와 탄성 단자의 전기적인 연결을 차단하고, 상기 봉형 단자와 연결될 수 있도록 상기 봉형 단자에 대응하는 전도체가 형성되며, 상기 탄성 단자에 대응하는 절연체가 형성되는 파이프형 단자인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 단자는, 상기 탐침과 연결되고, 회로 기판에 설치되며, 탄성 스프링에 의해 신장 및 수축이 가능한 버튼형 단자이고, 상기 제 2 단자는, 상기 회로 기판에 형성된 직류 신호 전달 패턴과 전기적으로 연결되고, 상기 버튼형 단자를 둘러싸는 형상으로 형성되며, 상기 버튼형 단자의 신장시 상기 버튼형 단자와 전기적으로 접촉되고, 수축시 상기 버튼형 단자와 전기적으로 차단되도록 상기 버튼형 단자의 신장 위치에 대응하는 내벽에 전기 접촉부가 형성되며, 상기 버튼형 단자의 수축 위치에 대응하는 내벽에 절연층이 형성되는 박스형 단자이며, 상기 제 3 단자는, 상기 회로 기판과 착탈구를 이용하여 조립되는 착탈 조립체에 설치되고, 상기 착탈 조립체가 상기 회로기판에 부착될 때, 상기 버튼형 단자를 가압하여 상기 버튼형 단자를 수축시키는 누름 단자인 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면, 본 발명의 전기적 특성 검사 장치는, 상기 회로기판 및 착탈 조립체와 선택적으로 연결되고, 상기 제 2 단자의 직류 신호 전달라인의 접촉 패드에 접촉되는 제 2 직류 신호 전달라인 및 상기 제 3 단자와 접촉되는 주파수 신호 전달라인이 설치되는 테스터 헤드(tester head);를 더 포함하여 이루어지는 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 착탈구는, 상기 회로기판에 설치되는 소켓 몰드(socket mold)의 걸림홈에 맞물림되고, 스프링의 복원력에 의해 상기 걸림홈과의 맞물림 상태를 유지하는 체결 블록인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따르면, 상기 라인 선택장치는, 제어부의 선택신호를 인가받아 직류 신호 전달라인과 주파수 신호 전달라인 중 어느 하나를 전기적으로 활성화시키는 선택 회로부인 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 라인 선택장치는, 상기 제 3 단자를 상기 제 1 단자와 제 2 단자 사이에 선택적으로 삽입하는 제 3 단자 삽입장치;를 더 포함하여 이루어지는 것이 가능하다.
이상에서와 같이 본 발명의 전기적 특성 검사 장치는, 직류 특성과 주파수 특성을 빠르고 간편하게 테스트하여 검사 시간, 검사 비용 및 장치 제작비용을 절감할 수 있고, 신호 전달라인 간의 간섭을 방지하여 장치의 성능과 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 여러 실시예들에 따른 전기적 특성 검사 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 직류 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이고, 도 2는 도 1의 직류 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이며, 도 3은 도 1의 주파수 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이고, 도 4는 도 1의 주파수 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치는, 크게 탐침(2)과, 직류 신호 전달라인(3)과, 주파수 신호 전달라인(4) 및 라인 선택장치(5)를 포함하여 이루어지는 구성이다.
여기서, 상기 탐침(2)은, 메모리나 마이크로 프로세서 등의 반도체 소자나 각종 디스플레이 소자 등의 측정대상물(1)과 접촉되는 것으로서, 직류 신호 및 주파수 신호가 인가될 수 있는 것이다.
또한, 상기 직류 신호 전달라인(3)은, 상기 측정대상물(1)의 직류 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침(2)에 직류 신호를 전달하는 것으로서, 다양한 형태의 직류 신호 전달라인(3)이 형성될 수 있으나, 바람직하기로는 상기 회로 기판(6)에 형성된 직류 신호 전달 패턴(31)을 포함하는 형태로 형성되는 것이 가능하다.
또한, 상기 주파수 신호 전달라인(4)은, 상기 측정대상물(1)의 주파수 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침(2)에 주파수 신호를 전달하는 것으로서, 이 역시 다양한 형태의 주파수 신호 전달라인(4)이 형성될 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 상기 라인 선택장치(5)는, 상기 탐침(2)에 직류 신호 전달라인(3)이 연결되는 경우, 상기 주파수 신호 전달라인(4)을 차단하고, 상기 탐침(2)에 상기 주파수 신호 전달라인(4)이 연결되는 경우, 상기 직류 신호 전달라인(3)을 차단하는 것으로서, 제 1 단자(51)와, 제 2 단자(52) 및 제 3 단자(53)를 포함하여 이루어지는 구성이다.
즉, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 단자(51)는, 상기 탐침(2)에 전기적으로 연결되는 것으로서, 상기 탐침(2)과 연결되고, 상기 탐침(2)이 설치 된 회로 기판(6)에 세워지는 봉형 단자(511)가 적용될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 단자(52)는, 상기 직류 신호 전달라인(3)과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자(51)와 전기적으로 접촉되는 것으로서, 상기 회로 기판(6)에 형성된 직류 신호 전달 패턴(31)과 전기적으로 연결되고, 상기 봉형 단자(511)에 탄성 접촉되도록 상기 봉형 단자(511)방향으로 복원력이 작용하는 탄성 단자(521)가 적용될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 단자(53)는, 상기 주파수 신호 전달라인(4)과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자(51)와 접촉되어 상기 제 1 단자(51)와 전기적으로 연결되는 동시에 상기 제 1 단자(51)와 상기 제 2 단자(52)의 전기적 연결을 차단하는 것으로서, 파이프형 단자(531)가 적용될 수 있다.
여기서, 도 3 및 도 4에 도시된 상기 파이프형 단자(531)는, 상기 봉형 단자(511)에 대응하는 전도체(531a)가 형성되며, 상기 탄성 단자(521)에 대응하는 절연체(531b)가 형성되는 것이다.
따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회로 기판(6)과 착탈구(7)를 이용하여 조립되는 착탈 조립체(8)에 설치되어 상기 착탈 조립체(8)가 상기 회로 기판(6)에 부착될 때, 상기 봉형 단자(511)와 탄성 단자(521) 사이에 선택적으로 삽입되어 상기 봉형 단자(511)와 탄성 단자(521)의 전기적인 연결을 차단하고, 상기 봉형 단자(511)와 연결시킬 수 있는 것이다.
여기서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 단자(51) 및 제 2 단 자(52)는 회로 기판(6)에 설치되고, 제 3 단자(53)는, 상기 회로 기판(6)과 착탈구(7)를 이용하여 조립되는 착탈 조립체(8)에 설치되며, 상기 회로 기판(6)에 조립된 착탈 조립체(8)와 선택적으로 접속되는 테스터 헤드(10)(tester head)가 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 테스터 헤드(10)는, 상기 회로 기판(6)과 상기 테스터 헤드(10) 사이의 공간에 상기 착탈 조립체(8)가 삽입될 수 있도록 상기 회로 기판(6) 및 착탈 조립체(8)와 선택적으로 연결되는 것으로서, 상기 제 2 단자(52)의 직류 신호 전달라인(3)의 접촉 패드(32)에 접촉되는 제 2 직류 신호 전달라인(9) 및 상기 제 3 단자(53)와 접촉되는 주파수 신호 전달라인(4)이 설치되는 될 수 있다.
여기서, 상기 착탈구(7)는, 예를 들어, 나사, 볼트, 트위스트 캡 등 다양한 형태의 체결 도구가 적용될 수 있으나, 바람직하기로는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회로 기판(6)에 설치되는 소켓 몰드(71)(socket mold)의 걸림홈(72)에 맞물림되고, 스프링(73)의 복원력에 의해 상기 걸림홈(72)과의 맞물림 상태를 유지하는 체결 블록(74)이 적용될 수 있다.
그러므로, 이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 검사 과정을 설명하면, 먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 직류 특성 테스트를 준비하기 위하여, 작업자는 상기 테스터 헤드(10)를 상기 회로 기판(6) 방향으로 하강시키고, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)의 제 2 직류 신호 전달라인(9)이 상기 회로 기판(6)의 접촉 패드(32)와 전기적으로 연결되면 상기 제 2 직류 신호 전달라인(9)에 직류 신호(DC Signal)를 인가하여 직류 특성 테스트를 실행 한다.
이 때, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)의 주파수 신호 전달라인(4)은 상기 제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)와 이격되어 있으므로 전기적으로 서로 연결되지 않고, 그 대신 제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)는 상기 제 2 단자의 탄성 단자(521)와 복원력에 의해 서로 접촉되어 있기 때문에 인가된 "직류 신호"는, 제 2 직류 신호 전달라인(9)-접촉 패드(32)-직류 신호 전달라인(3)의 직류 신호 전달 패턴(31)-제 2 단자(52)의 탄성 단자(521)-제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)-탐침(2)을 거쳐서 측정대상물(1)까지 전달될 수 있는 것이다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 주파수 특성 테스트를 준비하기 위하여, 작업자는 상기 테스터 헤드(10)와 회로 기판(6) 사이에 착탈 조립체(8)를 조립할 준비를 하고. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 체결 블록(74)을 상기 걸림홈(72)에 걸어 상기 착탈 조립체(8)를 상기 회로 기판(8)에 장착한다.
이 때, 상기 착탈 조립체(8)가 장착되면, 상기 봉형 단자(511)에 전도체(531a)가 연결되고, 상기 탄성 단자(521)는 절연체(531b)가 접촉되어 상기 제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)는 상기 탄성 단자(521)와의 연결이 차단될 수 있는 것이다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)를 상기 회로 기판(6) 방향으로 하강시키면, 상기 테스터 헤드(10)의 주파수 신호 전달라인(4)이 상기 전도체(531a)와 연결되어 상기 제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)는 상기 주파수 신호 전달라인(4)과 전기적으로 서로 연결될 수 있다.
그러므로, 작업자는, 상기 주파수 신호 전달라인(4)에 주파수 신호(RF Signal)를 인가함으로써, 인가된 "주파수 신호"가 주파수 신호 전달라인(4)-제 3 단자(53)의 전도체(531a)-제 1 단자(51)의 봉형 단자(511)-탐침(2)을 거쳐서 측정대상물(1)까지 전달되고, 상술된 바와 같이 차단된 상기 직류 신호 전달라인(3)과의 상호 간섭됨이 없이 고정밀, 고신뢰도의 주파수 특성 테스트를 실행할 수 있는 것이다.
한편, 도 5는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 직류 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이고, 도 6은 도 5의 직류 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이며, 도 7은 도 5의 주파수 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이고, 도 8은 도 5의 주파수 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치는, 상기 제 1 단자(51)로서, 상기 탐침(2)과 연결되고, 회로 기판(6)에 설치되며, 탄성 스프링(512a)에 의해 신장 및 수축이 가능한 버튼형 단자(512)가 적용될 수 있다.
또한, 상기 제 2 단자(52)로서, 상기 회로 기판(6)에 형성된 직류 신호 전달 패턴(31)과 전기적으로 연결되고, 상기 버튼형 단자(512)를 둘러싸는 형상으로 형성되는 박스형 단자(522)가 적용될 수 있다.
여기서, 상기 박스형 단자(522)는, 상기 버튼형 단자(512)의 신장시 상기 버튼형 단자(512)와 전기적으로 접촉되고, 수축시 상기 버튼형 단자(512)와 전기적으 로 차단되도록 상기 버튼형 단자(512)의 신장 위치에 대응하는 내벽에 전기 접촉부(522a)가 형성되며, 상기 버튼형 단자(512)의 수축 위치에 대응하는 내벽에 절연층(522b)이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 3 단자(53)로서, 상기 회로 기판(6)과 착탈구(7)를 이용하여 조립되는 착탈 조립체(8)에 설치되고, 상기 착탈 조립체(8)가 상기 회로 기판(6)에 부착될 때, 상기 버튼형 단자(512)를 가압하여 상기 버튼형 단자(512)를 수축시키는 누름 단자(532)가 적용될 수 있다.
그러므로, 이러한 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 검사 과정을 설명하면, 먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 직류 특성 테스트를 준비하기 위하여, 작업자는 상기 테스터 헤드(10)를 상기 회로 기판(6) 방향으로 하강시키고, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)의 제 2 직류 신호 전달라인(9)이 상기 회로 기판(6)의 접촉 패드(32)와 전기적으로 연결되면 상기 제 2 직류 신호 전달라인(9)에 직류 신호(DC Signal)를 인가하여 직류 특성 테스트를 실행한다.
이 때, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)의 주파수 신호 전달라인(4)은 상기 제 1 단자(51)의 버튼형 단자(512)와 이격되어 있으므로 전기적으로 서로 연결되지 않고, 그 대신 제 1 단자(51)의 버튼형 단자(512)는 신장된 상태에서 상기 제 2 단자의 박스형 단자(522)의 전기 접촉부(522a)와 접촉되어 있기 때문에 인가된 "직류 신호"는, 제 2 직류 신호 전달라인(9)-접촉 패드(32)-직류 신호 전달라인(3)의 직류 신호 전달 패턴(31)-제 2 단자(52)의 박스형 단자(522)의 전기 접촉부(522a)-제 1 단자(51)의 버튼형 단자(512)-탐침(2)을 거쳐서 측정대상물(1)까지 전달될 수 있는 것이다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 주파수 특성 테스트를 준비하기 위하여, 작업자는 상기 테스터 헤드(10)와 회로 기판(6) 사이에 착탈 조립체(8)를 조립할 준비를 하고. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 체결 블록(74)을 상기 걸림홈(72)에 걸어 상기 착탈 조립체(8)를 상기 회로 기판(8)에 장착한다.
이 때, 상기 착탈 조립체(8)가 장착되면, 상기 누름 단자(532)와 버튼형 단자(512)가 전기적으로 서로 연결되는 동시에 상기 누름 단자(532)에 의해 가압된 버튼형 단자(512)가 수축되면서 상기 절연층(522b)에 의해 상기 버튼형 단자(512)와 박스형 단자(522)와의 연결이 차단될 수 있는 것이다.
이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 테스터 헤드(10)를 상기 회로 기판(6) 방향으로 하강시키면, 상기 테스터 헤드(10)의 주파수 신호 전달라인(4)이 상기 누름 단자(532)와 연결되어 상기 제 1 단자(51)의 버튼형 단자(512)는 상기 주파수 신호 전달라인(4)과 전기적으로 서로 연결될 수 있다.
그러므로, 작업자는, 상기 주파수 신호 전달라인(4)에 주파수 신호(RF Signal)를 인가함으로써, 인가된 "주파수 신호"가 주파수 신호 전달라인(4)-제 3 단자(53)의 누름 단자(532)-제 1 단자(51)의 버튼형 단자(512)-탐침(2)을 거쳐서 측정대상물(1)까지 전달되고, 상술된 바와 같이 차단된 상기 직류 신호 전달라인(3)과의 상호 간섭됨이 없이 고정밀, 고신뢰도의 주파수 특성 테스트를 실행할 수 있는 것이다.
한편, 도 9는 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 라인 선택장치(5)는, 제어부(54)의 선택신호를 인가받아 직류 신호 전달라인(3)(9)과 주파수 신호 전달라인(4) 중 어느 하나를 전기적으로 활성화시키는 선택 회로부(55)가 적용될 수 있는 것이다.
여기서, 이러한 선택 회로부(55)는 반도체 소자, 마이크로 프로세서, 트랜지스터, 진공관 등 각종 액티브 소자가 적용될 수 있다.
따라서, 작업자는 상기 제어부(54)를 통해 선택 회로부(55)를 거쳐서 직류 신호 전달라인(3)(9) 및 주파수 신호 전달라인(4) 중 어느 하나만을 선택하여 직류 특성 테스트 및 주파수 특성 테스트를 수행할 수 있는 것이다.
한편, 도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치는, 상술된 바와 같이, 탐침(2)과, 직류 신호 전달라인(3)과, 주파수 신호 전달라인(4) 및 라인 선택장치(5)를 포함하여 이루어지고, 상기 라인 선택장치(5)는, 제 1 단자(51), 제 2 단자(52) 및 제 3 단자(53) 및 제 3 단자 삽입장치를 포함하여 이루어지는 구성이다.
여기서, 상기 제 3 단자 삽입장치(56)는, 상기 제 1 단자(51)와 제 2 단자(52) 사이에 상기 제 3 단자(53)를 선택적으로 삽입하는 것으로서, 유압 또는 공 압실린더나 모터를 이용하는 액츄에이터(561)가 적용될 수 있는 것이다.
따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 직류 특성을 테스트할 때는, 상기 제 3 단자(53)를 상승시켜서 상기 탐침(2)이 상기 제 1 단자(51)와 제 2 단자(52)를 통해 직류 신호 전달라인(3)과 연결될 수 있게 하고, 주파수 특성을 테스트할 때는, 상기 제 3 단자(53)를 하강시켜서 상기 제 3 단자(53)의 전도체(531a)가 제 1 단자(51)와 연결되어 주파수 신호 전달라인(4)이 전기적으로 연결되는 동시에 상기 절연체(531b)를 이용하여 상기 탐침(2)과 직류 신호 전달라인(3)의 전기적인 연결을 차단시킬 수 있는 것이다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다.
따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 직류 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 2는 도 1의 직류 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 3은 도 1의 주파수 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 4는 도 1의 주파수 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치의 직류 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 6은 도 5의 직류 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 7은 도 5의 주파수 특성 테스트 준비 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 8은 도 5의 주파수 특성 테스트 실행 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 전기적 특성 검사 장치를 나타내는 측단면도이다.
(도면의 주요한 부호에 대한 설명)
1: 측정대상물 2: 탐침
3: 직류 신호 전달라인 31: 직류 신호 전달 패턴
32: 접촉 패드 4: 주파수 신호 전달라인
5: 라인 선택장치 51: 제 1 단자
52: 제 2 단자 53: 제 3 단자
6: 회로 기판 511: 봉형 단자
521: 탄성 단자 7: 착탈구
71: 소켓 몰드 72: 걸림홈
73: 스프링 74: 체결 블록
8: 착탈 조립체 531: 파이프형 단자
531a: 전도체 531b: 절연체
512: 버튼형 단자 512a: 탄성 스프링
522: 박스형 단자 522a: 전기 접촉부
522b: 절연층 532: 누름 단자
9: 제 2 직류 신호 전달라인 10: 테스터 헤드
54: 제어부 55: 선택 회로부
56: 제 3 단자 삽입장치 561: 액츄에이터

Claims (10)

  1. 측정대상물과 접촉되는 탐침;
    상기 측정대상물의 직류 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 직류 신호를 전달하는 직류 신호 전달라인;
    상기 측정대상물의 주파수 특성을 테스트하기 위하여 상기 탐침에 주파수 신호를 전달하는 주파수 신호 전달라인; 및
    상기 탐침에 직류 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 주파수 신호 전달라인을 차단하고, 상기 탐침에 상기 주파수 신호 전달라인이 연결되는 경우, 상기 직류 신호 전달라인을 차단하는 라인 선택장치;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 선택장치는,
    상기 탐침에 전기적으로 연결되는 제 1 단자;
    상기 직류 신호 전달라인과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 전기적으로 접촉되는 제 2 단자; 및
    상기 주파수 신호 전달라인과 전기적으로 연결되고, 상기 제 1 단자와 접촉되어 상기 제 1 단자와 전기적으로 연결되는 동시에 상기 제 1 단자와 상기 제 2 단자의 전기적 연결을 차단하는 제 3 단자;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 단자는, 상기 탐침과 연결되고, 상기 탐침이 설치된 회로 기판에 세워지는 봉형 단자이고,
    상기 제 2 단자는, 상기 회로 기판에 형성된 직류 신호 전달 패턴과 전기적으로 연결되고, 상기 봉형 단자에 탄성 접촉되도록 상기 봉형 단자방향으로 복원력이 작용하는 탄성 단자이며,
    상기 제 3 단자는, 상기 회로 기판과 착탈구를 이용하여 조립되는 착탈 조립체에 설치되고, 상기 착탈 조립체가 상기 회로기판에 부착될 때, 상기 봉형 단자와 탄성 단자 사이에 선택적으로 삽입되어 상기 봉형 단자와 탄성 단자의 전기적인 연결을 차단하고, 상기 봉형 단자와 연결될 수 있도록 상기 봉형 단자에 대응하는 전도체가 형성되며, 상기 탄성 단자에 대응하는 절연체가 형성되는 파이프형 단자인 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 단자는, 상기 탐침과 연결되고, 회로 기판에 설치되며, 탄성 스프링에 의해 신장 및 수축이 가능한 버튼형 단자이고,
    상기 제 2 단자는, 상기 회로 기판에 형성된 직류 신호 전달 패턴과 전기적으로 연결되고, 상기 버튼형 단자를 둘러싸는 형상으로 형성되며, 상기 버튼형 단 자의 신장시 상기 버튼형 단자와 전기적으로 접촉되고, 수축시 상기 버튼형 단자와 전기적으로 차단되도록 상기 버튼형 단자의 신장 위치에 대응하는 내벽에 전기 접촉부가 형성되며, 상기 버튼형 단자의 수축 위치에 대응하는 내벽에 절연층이 형성되는 박스형 단자이며,
    상기 제 3 단자는, 상기 회로 기판과 착탈구를 이용하여 조립되는 착탈 조립체에 설치되고, 상기 착탈 조립체가 상기 회로기판에 부착될 때, 상기 버튼형 단자를 가압하여 상기 버튼형 단자를 수축시키는 누름 단자인 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 단자 및 제 2 단자는 회로 기판에 설치되고,
    제 3 단자는, 상기 회로 기판과 착탈구를 이용하여 조립되는 착탈 조립체에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 회로기판 및 착탈 조립체와 선택적으로 연결되고, 상기 제 2 단자의 직류 신호 전달라인의 접촉 패드에 접촉되는 제 2 직류 신호 전달라인 및 상기 제 3 단자와 접촉되는 주파수 신호 전달라인이 설치되는 테스터 헤드(tester head);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 착탈구는, 상기 회로기판에 설치되는 소켓 몰드(socket mold)의 걸림홈에 맞물림되고, 스프링의 복원력에 의해 상기 걸림홈과의 맞물림 상태를 유지하는 체결 블록인 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 선택장치는,
    제어부의 선택신호를 인가받아 직류 신호 전달라인과 주파수 신호 전달라인 중 어느 하나를 전기적으로 활성화시키는 선택 회로부인 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 3 단자를 상기 제 1 단자와 제 2 단자 사이에 선택적으로 삽입하는 제 3 단자 삽입장치;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 3 단자 삽입장치는, 유압실린더나 모터를 이용하는 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사 장치.
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