KR20100066389A - 노즐 밸브들을 구비한 미세 압출 프린트헤드 - Google Patents

노즐 밸브들을 구비한 미세 압출 프린트헤드 Download PDF

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Abstract

태양 전지 압출 인쇄 시스템은 선택된 노즐 채널들의 출구 오리피스에 인접하여 조정 가능하게 배치되는 하나 이상의 가늘고 긴 밸브 구조체를 가지는 프린트헤드 조립체, 및 그리드라인 인쇄 공정 동안 프린트헤드 조립체의 선택된 노즐 채널들을 통한 제어 가능한 잉크 유동을 용이하게 하도록 밸브 구조체들의 위치를 제어하기 위한 밸브 제어 디바이스를 포함한다. 프린트 헤드 조립체는 각각의 선택된 노즐 채널을 교차하는(즉 통과하는) 가늘고 긴 개구(예를 들어, 슬롯 또는 구멍)을 한정하고, 가늘고 긴 부재는 슬롯에 가동 가능하게 배치되고, 밸브 구조체 압출 물질이 밸브 구조체에 의해 프린트헤드 외측으로 노즐 채널을 통과하는 제 1(개방된) 위치와, 압출 물질이 밸브 구조체에 의해 차단되고 노즐 채널을 통과하는 것이 방지되는 폐쇄 위치 사이에서 선택적으로 움직일 수 있다.
Figure P1020090120930
태양 전지, 미세 압출, 밸브 구조체, 프린트헤드 조립체

Description

노즐 밸브들을 구비한 미세 압출 프린트헤드{MICRO-EXTRUSION PRINTHEAD WITH NOZZLE VALVES}
본 발명은 미세 압출 시스템(micro-extrusion system)에서의 개선에 관한 것이고, 특히 태양 전지의 제조에 사용되는 미세 압출 시스템에 관한 것이다.
다음의 설명은 당업자가 특정 적용 및 그 필요 조건에 관련하여 제공되는 바와 같이 본 발명을 만들고 사용할 수 있도록 제공된다. 본원에 사용되는 바와 같이, "상부", "상면", "하부", "저면", "정면", "후면", 및 "측면"과 같은 방향성 용어들은 기술의 목적을 위한 상대 위치를 제공하도록 의도되며, 절대 기준 프레임을 지정하도록 의도되지 않는다. 바람직한 실시예에 대한 다양한 변경은 당업자에게 자명하며, 본원에서 정의된 일반적인 원리들은 태양 전지와 다른 적용물에 적용될 수 있다. 그러므로, 본 발명은 도시되고 기술된 특정 실시예에 제한되도록 의도되지 않지만, 본원에 개시된 원리 및 신규의 특징들과 일치하는 가장 넓은 범위에 따르도록 의도된다.
본 발명은 프린트헤드 조립체와, 예를 들어 태양 전지의 제조와 관련된 그리드라인(gridline) 인쇄 공정 동안 프린트헤드 내로 하나 이상의 압출 물질(잉크)을 펌핑하기 위한 물질 공급 시스템을 포함하는 태양 전지 압출 인쇄 시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 미세 압출 시스템은, 입구 포트와, 상기 입구 포트와 연통하는 입구 부분 및 관련 노즐 출구 오리피스와 연통하는 출구 부분을 각각 가지며 제 1 노즐 채널을 포함하는 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들을 한정하는 노즐 구조체를 구비하는 프린트헤드 조립체; 각각의 상기 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들의 노즐 출구 오리피스에 인접하여 가동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 밸브 구조체; 하나 이상의 물질들이 각각의 상기 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들의 입구 영역 내로 사전 결정된 압력으로 공급되도록 상기 입구 포트를 통해 상기 프린트헤드 조립체 내로 상기 물질들을 펌핑하기 위한 물질 공급 시스템; 및 제 1 및 제 2 작동 상태 사이에서 상기 적어도 하나의 밸브 구조체를 제어하여, 상기 제 1 작동 상태에서, 상기 적어도 하나의 밸브 구조체의 제 1 부분은 상기 하나 이상의 물질들이 상기 제 1 노즐 채널의 출구 오리피스로부터 상기 기판 상으로 보내지는 것이 상기 제 1 부분에 의해 방지되도록 위치되고, 상기 제 2 작동 상태에서, 상기 적어도 하나의 밸브 구조체의 제 1 부분은 상기 제 1 노즐 채널의 상기 노즐 출구 오리피스가 상 기 기판 상에 있도록 위치되게 하는 수단을 포함한다.
본 발명에 따라서, 밸브 구조체 압출 물질이 밸브 구조체에 의해 프린트헤드 외측으로 노즐 채널을 통과하는 제 1(개방된) 위치와, 압출 물질이 밸브 구조체에 의해 차단되고 노즐 채널을 통과하는 것이 방지되는 폐쇄 위치 사이에서 선택적으로 움직일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일반화된 실시예에 따른 태양 전지(예를 들어 도핑된 단결정 실리콘) 기판(41) 상으로 압출된 물질(잉크)를 인쇄(침착)하기 위한 미세 압출 시스템(50)의 일부를 도시한 사시도이다. 미세 압출 시스템(50)은 일반적으로 인쇄 공정 동안 기판(41) 위에 위치된 프린트헤드 조립체(100), 프린트헤드 조립체(100) 내로 잉크를 펌핑하기 위한 물질 공급 시스템(60), 및 인쇄 공정 동안 기판(41) 위에서 프린트헤드 조립체(100)를(또는 프린트헤드 조립체(100) 아래에 기판(41)을) 움직이기 위한 위치 선정 메커니즘(도시되지 않음)을 포함한다. 도 1에 도시된 실시예에서, 기판(41)은 도 10에 도시된 것과 유사한 방식으로 전방 가장자리(41F)와 측부 가장자리(41S) 사이에서 연장하는 모따기된(chamfered) 가장자리(41C)를 포함한다. 아래에 기술되는 바와 같이, 도 1을 참조하여 아래에 기술된 일반화된 실시예와 도 2 내지 도 6을 참조하여 아래에 기술되는 다양한 특정 실시예들은 직사각형 및 비직사각형 기판들 상에 태양 전지 패널을 제조하도록 유익하게 사용된다. 본 발명에 따라서 태양 전지 패널을 제조하기 위하여 본원에서 기술된 바와 같이 채택될 수 있는 미세 압출 시스템은 예를 들어 그 전체에 있어서 참조에 의해 본원에 통합되는 "방향성 압출된 비드 제어"라는 명칭으로 2008년 11월 7일자 출원되어 공동 소유되고 공동 계류중인 미국 특허 출원 제12/267,069호에 더욱 상세하게 기술되어 있다.
도 1의 상부 부분을 참조하여, 인쇄된 조립체(100)는, 물질 공급 시스템(60)으로부터 잉크를 수용하기 위한 입구 포트(160), 상당히 균일한 사전 결정된 압력으로 잉크를 저장하기 위한 저장부(120), 및 저장부(120)로부터 일련의 노즐 출구(오리피스)(169-1 내지 169-5)로 잉크롤 보내기 위한 일렬의 평행 노즐 채널(162-1 내지 162-5)들을 한정하는 노즐 구조체(150)를 포함하는 블록형 구조체(부분적으로 도시됨)이다. 각각의 노즐 채널(예를 들어, 노즐 채널(162-5))은 저장부(120)와 연통하는 입구(상부) 부분(예를 들어, 입구 영역(162-5I))과, 관련 노즐 출구(예를 들어 노즐 출구(169-5))와 연통하는 출구(하부) 부분(예를 들어, 출구 영역(162-5O))을 포함한다. 이러한 배열에 의해, 각각의 노즐 채널(162-1 내지 162-5)(예를 들어, 입구 영역(161-1I 및 162-5I)의 입구 영역에 배치된 잉크는 노즐 출구(169-1 내지 169-5)를 통하여 압출 인쇄하는데 적절한 사전 결정된 압력으로 유지된다.
본 발명의 양태에 따라서, 프린트헤드 조립체(100)는 노즐 채널(162-1 내지 162-5)에 조정 가능하게 배치된 밸브 구조체(190-1 및 190-2)를 포함하고, 시스템(50)은 또한 각각의 노즐 채널(162-1 내지 162-5)을 통한 잉크 유동에 관하여 개별적인 제어를 용이하게 하도록 밸브 구조체(190-1 및 190-2)를 제어하기 위한 밸브 제어 디바이스(192)를 포함한다. 특히 밸브 제어 디바이스(192)는 각각의 노즐 채널(162-1 내지 162-5)을 통한 잉크의 유동이 선택된 작동 상태에 의해 결정되는 경우에 다양한 작동 상태를 용이하게 하는 방식으로 밸브 구조체(190-1 및 190-2)들을 제어한다. 예를 들어, 도 1에 도시된 제 1 작동 상태에서, 밸브 구조체(190-1)는, 밸브 구조체(190-1)의 부분(190-11)이 입구 부분(162-1I)과 출구 부분(162-1O) 사이의 노즐 채널(162-1)에 배치되고, 부분(190-11)이 입구 부분(162-1I)과 출구 부분(162-1O) 사이에서 물질의 유동을 차단(방지)하도록 밸브 제어 디바이스(192)에 의해 위치된다. 그리하여, 본원에 기술된 바와 같이, 노즐 채널(162-1)은 제 1 작동 상태에서 폐쇄된다. 제 2 작동 상태(도 1에 도시되지 않지만, 아래에 기술됨)에서, 부분(190-11)은 입구 부분(162-1I)과 출구 부분(162-1O) 사이의 통로가 개방되도록 예를 들어 노즐 채널(162-1)의 입구 부분(162-1I)과 출구 부분(162-1O) 사이의 영역으로부터 멀리 위치되고, 잉크는 저장부(120)로부터 노즐 출구 오리피스(169-1)를 통해 기판(41)으로 흐른다(예를 들어, 도 1에서 노즐 채널(162-1 내지 162-5)에 대해 도시된 바와 같이). 부분(190-11)이 노즐 출구 오리피스(169-1)에 인접하여 배치되도록 프린트헤드 조립체(100) 내측에 밸브 구조체(190-1)을 배치하는 것에 의해, 본 발명은 각각의 그리드라인 인쇄 공정의 시작 및 종료시에 고압 물질 소스(예를 들어 저장부(120)와 입구 영역(162-1I))와 기판(41) 사이의 거리를 감소시키는 것에 의하여 종래의 프린트헤드와 관련된 단편화된 그리드라인(segmented gridline)들의 발생을 감소시킨다.
본 발명의 한 양태에 따라서, 각각의 밸브 구조체(190-1 및 190-2)들은, 특정의 밸브 구조체에 의해 제어된 하나 이상의 노즐 채널들이 선택적으로 폐쇄되는 한편, 동시에 특정의 밸브 구조체들에 의해 제어되는 하나 이상의 다른 노즐 채널들이 선택적으로 개방되도록, 하나 이상의 노즐 채널들을 통한 물질의 유동을 선택적으로 제어한다. 예를 들어, 도 1에 도시된 제 1 개방 상태에 따라서, 밸브 구조체(190-1)는 노즐 채널(162-1)을 폐쇄시키기 위해 부분(190-11)이 노즐 채널(162-1)의 입구 및 출구 부분 사이에 위치되고, 동시에, 노즐 채널(162-2)을 개방하기 위하여 밸브 구조체(190-1)의 부분(190-12)이 노즐 채널(162-2)의 입구 및 출구 부분들로부터 멀리 위치되도록 선택적으로 조정된다. 그러므로, 밸브 구조체(190-1)의 조정된 위치는 노즐 채널(162-1 및 162-2)을 통한 물질의 유동을 제어하고, 잉크는 노즐 출구(169-1)로부터가 아니라 노즐 출구(169-2)로부터 인쇄된다. 제 2 작동 상태(상기되었지만, 도 1에 도시되지 않음)에서, 밸브 구조체(190-1)는 노즐 채널(162-1 및 162-2)을 개방하기 위하여, 부분(190-11)이 노즐 채널(162-1)의 입구 부분(162-1I)과 출구 부분(162-1O) 사이의 영역의 외측으로 움직이도록 조정된다. 제 2 작동 상태에서, 노즐 채널(162-2)은 개방되거나(예를 들어, 부분(190-12)이 도 1에 도시된 바와 같이 노즐 채널(162-2)의 입구와 출구 부분으로부터 멀리 위치된다), 또는 폐쇄된다(즉, 부분(190-12)은 노즐 채널(162-2)의 입구와 출구 부분 사이에 위치된다). 아래에 더욱 상세히 기술되는 바와 같이, 필요한 작동 상태에 따라서 독자적으로 개방/폐쇄하도록 2개 이상의 노즐 채널들을 선택적으로 제어하는 것에 의하여, 본 발명은 가장자리 공간화 필요 조건을 위반함이 없이 비직각형 기판들 상에 그리드라인의 인쇄를 용이하게 한다. 부가하여, 독자적으로 개방/폐쇄하도록 2개 이상의 노즐 채널들을 선택적으로 제어하는 것은 태양 전지 패널 기 판(41)의 불일치를 자동으로 교정하는 것을 촉진한다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 측부 가장자리(41S)가 노즐 채널(162-1) 아래가 아니라 노즐 채널(162-2) 아래에 위치되도록(즉, 기판(41)이 프린트헤드 조립체(100)에 대해 우측으로 잘못 변위되는), 기판(41)이 프린트헤드 조립체(100) 아래에 부적절하게 위치될 때, 프린트헤드 조립체(100)의 작동 상태는 노즐 채널(162-1)이 인쇄 공정 동안 폐쇄되어 있도록 선택되고, 이에 의해 잘못 인쇄된 잉크와 관련된 낭비와 어수선함을 방지한다. 동시에, 기판(41)의 반대편 측부 가장자리 위에(도시되지 않음), 하나 이상의 노즐 채널들이 적소에 있지 않은(out-of-position) 기판(41)을 고려하여 선택적으로 개방되고, 이에 의해 본 발명의 특징들을 포함하지 않는 프린트헤드 하에서 기판(41)을 재위치시키는데 요구되는 시간 및 비용을 피한다.
본 발명의 또 다른 양태에 따라서, 밸브 구조체(190-1 및 190-2)들은, 밸브 구조체(190-1)가 노즐 채널(162-1 및 162-2)로부터의 물질 유동을 선택적으로 제어하고 밸브 구조체(190-2)가 노즐 채널(162-3, 162-4 및 162-5)들로부터의 잉크 유동을 선택적으로 제어하도록, 밸브 제어 디바이스(192)에 의해 독자적으로 제어된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이러한 독자적인 제어는 다른 노즐 채널(예를 들어 노즐 채널(162-1 및 162-2))들이 턴-오프된 동안 선택된 노즐 채널(예를 들어, 노즐 채널(162-3, 162-4 및 162-5))들이 동시에 턴-온되는 것을 허용하는 것에 의해 비직사각형 기판들 상에서의 인쇄를 더욱 용이하게 한다. 특히, 노즐 채널(162-3 내지 162-5)들이 기판(41)의 정면 가장자리(41F)로부터 사전 결정된 거리(S)에 배치되도록, 프린트헤드 조립체(100)가 기판(41)에 대해 위치될 때, 밸브 구조 체(190-2)는 노즐 채널(162-3, 162-4 및 162-5)들을 개방하도록 밸브 제어 디바이스(192)에 의해 제어되고, 이에 의해 각각 정면 가장자리(41F)로부터 사전 결정된 거리(S)만큼 이격된 정면 가장자리(44-3F, 44-4F 및 44-5F)들을 가지는 트레이스(44-3, 44-4 및 44-5, trace)들을 만든다. 노즐 채널(162-3, 162-4 및 162-5)들과 동시에 노즐 채널(162-2)을 개방하는 것은 가장자리 공간화 필요 조건(즉, 거리(S))를 위반하는 트레이스를 만들게 된다. 노즐 채널(162-3, 162-4 및 162-5)을 개방하는 것과 관련된 것과 이어지는 시점에, 즉, 노즐 출구(169-2)가 기판(41) 위에 적절하게 위치되도록 프린트헤드 조립체(100)가 위치될 때, 밸브 구조체(190-1)는 노즐 채널(162-2)을 개방하도록 밸브 제어 디바이스(192)에 의해 제어되고, 이에 의해, 모따기된 가장자리(41C)로부터 거리(S)만큼 이격된 정면 가장자리(44-2F)를 가지는 트레이스(44-2)를 만든다. 그러므로, 밸브 구조체(190-2)과 분리하여 밸브 구조체(190-1)를 제어하는 것에 의해, 본 발명은 사전 결정된 가장자리 공간화 필요 조건을 위반함이 없이 비직사각형 기판(41) 상에 그리드라인(44-1 내지 44-5)들을 인쇄하는 것을 용이하게 한다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 태양전지 패널 기판(도시되지 않음) 내로 잉크를 인쇄하기 위한 미세 압출 시스템(50A)의 일부를 도시한 변경된 부분 사시도이다. 미세 압출 시스템(50A)은 저장부(120A)와, 상기된 것과 유사한 방식으로 한정된 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)을 가지는 프린트헤드 조립체(100A)를 포함하며, 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)들은 3㎜ 이하의 피치(P)로 이격된다. 본 발명의 실시예에 따라서, 프린트헤드 조립체(100A)는, 헤드의 길이로 연장하고 노 즐 출구(예를 들어 노즐 출구(169-1A 및 169-5A))를 한정하는 하부면에 인접하여 이와 평행한 슬롯(195A, 가늘고 긴 개구)을 한정한다. 특히, 슬롯(195A)은 각각의 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)의 입구 및 출구 부분들 사이에서 연장한다. 예를 들어, 슬롯(195A)의 제 1 영역은 노즐 채널(162-1A)의 입구 부분(162-1AI)과 출구 부분(162-1AO) 사이에 위치되고, 슬롯(195A)의 제 2 영역은 노즐 채널(162-5A)의 입구 부분(162-5AI)과 출구 부분(162-5AO) 사이에 위치된다. 밀착 끼워진 태양 전지 직사각형 스트립(190-1A 및 190-2A, 가늘고 긴 부재)들은 밸브 구조체로서 작용하고, 각각의 스트립(190-1A 및 190-2A)들이 슬롯(195A)을 따라서 위치(슬라이딩)되도록(예를 들어, 프린트헤드 조립체(100A) 내로 더욱 움직이거나, 또는 프린트헤드 조립체(100A)로부터 전체적으로 또는 부분적으로 제거되는) 슬롯(195A)에 슬라이딩 가능하게(움직일 수 있도록) 배치된다.
도 2는 선택된 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)들을 개방/폐쇄하도록 스트립 위치 선정 메커니즘(90A)에 의해 스트립(190-1A 및 190-2A)들이 어떻게 선택적으로 위치될 수 있는지를 도시한 간략 도면으로서 작용한다. 점선 화살표에 의해 지시된 바와 같이, 스트립(190-1A)은, 스트립(190-1A)이 노즐 채널(162-1A 및 162-2A)을 통한 잉크의 유동을 차단하도록 노즐 채널(162-1A 및 162-2A)와 일치하는 슬롯(195A)의 부분에 위치되고, 스트립(190-2A)은 잉크가 노즐 채널(162-3A, 162-4A, 162-5A)을 통하여 유동하도록 노즐 채널(162-3A, 162-4A, 162-5A)과 일치하는 슬롯(195A)의 부분에 위치된다. 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)을 통한 잉크의 유동은 하나 이상의 스트립(190-1A 및 190-2A)을 선택적으로 삽입/회수하는 것에 의해 그 결과로서 조정될 수 있다. 예를 들어, 작은 양만큼의 좌측으로의 스트립(190-1A)의 움직임은 노즐 채널(162-2A)을 개방하고, 좌측으로의 추가의 움직임은 또한 노즐 채널(162-1A)을 또한 개방하게 된다. 유사하게, 좌측으로의 스트립(190-2A)의 삽입은 스트립(190-2A)이 삽입되는 거리에 따라서, 하나 이상의 노즐 채널(162-3A, 162-4A, 162-5A)들을 폐쇄하게 된다. 명백하게, 잉크를 펌핑하는 메커니즘은 일정한 속도로 활성(개방) 노즐 당 유속을 유지하도록 프린트헤드 조립체(100A) 내로 잉크 유동의 유속을 감소시키는 조정을 필요로 할 수 있다. 슬롯/스트립의 정확한 폭과 수직 배치는 제공된 종류의 제어를 실행한다. 이러한 디자인 및 사용 방법에서의 많은 변경들이 존재하고, 각각은 상이한 특징 및 문제점을 가진다.
도 3a 내지 도 3f는 비직사각형 기판(41) 상에서 수행된 그리드라인 인쇄 공정 동안 프린트헤드(100A, 도 2를 참조하여 위에서 기술된)를 도시하는 평면도이다. 상기된 바와 같이, 그리드라인 인쇄 공정은 그리드라인들이 모두 사전 결정된 가장자리 공간 필요 조건에 부합하도록 기판 상에 평행한 그리드라인을 형성하는 것을 수반한다.
도 3a를 참조하여, 그리드라인 인쇄 공정은 모든 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)들이 폐쇄되고, 이에 의해 잉크의 침착을 방지하도록 스트립(190-1A 및 190-2A)이 슬롯(195A) 내로 완전히 삽입되는 것에 의해 시작한다. 프린트헤드(100A)는 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)들이 정면 가장자리(41F)에 대해 평행하게 정렬되도록 기판(41) 위에 위치된다. 기판(41)은 도 3a에서 화살표(Y)에 의해 지시된 방향으로 프린트헤드(100A)에 대해 움직이고, 이에 의해, 노즐 채널(162-1A 내지 162-5A)들은 상부면(42) 위를 통과하게 된다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 노즐 채널(162-3A 내지 162-5A)들이 정면 가장자리(41F)로부터 사전 결정된 가장자리 공간화 거리(S)에 배치되도록 기판(41, 또는 프린트헤드 조립체(100A))이 움직였을 때, 스트립(190-2A)은 노즐 채널(162-3A 내지 162-5A)들이 개방되도록 슬롯(195A)에서 움직이고, 이에 의해, 잉크는 그리드라인(44-3, 44-4, 및 44-5)들을 각각 형성하도록 상부면(42) 상에 침착된다. 이러한 그리드라인들의 정면 가장자리들이 정면 가장자리(41F)로부터 거리(S)에 이격되는 것을 유념하여야 한다. 또한, 노즐 채널(162-1A 및 162-2A)들이 기판(41)의 모따기된 가장자리(41C) 위에 위치되기 때문에, 스트립(190-1A)이 슬롯(195A) 내측의 초기 위치에 남아 있고, 이에 의해 확립된 가장자리 제약들을 위반하게 되는 노즐 채널(162-1A 및 162-2A)로부터의 잉크의 침착을 방지한다.
도 3c에 도시된 바와 같이, 노즐 채널(162-2A 내지 162-5A)들이 가이드 라인(44-3 내지 44-5)을 형성하도록 개방되어 있는 것에 의해, 노즐 채널(162-2A)이 모따기된 가장자리(41C)로부터 거리(S)에 배치될 때, 노즐 채널(162-2A)이 개방되어, 잉크가 그리드라인(44-2)을 형성하도록 상부면(42) 상에 침착되도록, 스트립(190-1A)은 슬롯(195A)에서 약간 움직인다. 노즐 채널(162-1A)이 모따기된 가장자리(41C) 위에 위치되어 있어서, 잉크가 노즐 채널(162-1A)로부터 분출되는 것이 방지되도록 스트립(190-1A)이 슬롯(195A) 내측에 위치되어 있는 것을 유념하여야 한다.
도 3d는 노즐 채널(162-1A)이 모따기된 가장자리(41C)로부터 거리(S)에 배치 되고, 노즐 채널(162-1A)이 개방되도록 스트립(190-1A)이 슬롯(195A)에서 움직이며, 이에 의해, 잉크가 그리드라인(44-1)을 형성하도록 상부면(42) 상에 침착될 때의 인쇄 공정을 도시한다. 노즐 채널(162-2A 내지 162-5A)들은 그리드라인(44-2 내지 44-5)들을 계속 형성하도록 개방된 채로 있다.
도 3e 및 도 3f는 그리드라인 인쇄 공정의 종료 위상(즉, 기판(41)의 측면 가장자리(41S)와 배면 가장자리(41B) 사이에서 연장하는 후향 모따기된 가장자리(41C2) 위를 프린트헤드 조립체(100A)가 통과할 때)을 도시한다. 도 3e를 참조하여, 상기된 것과 반대 방식으로, 밸브 구조체(190-1A)는 그리드라인(44-1 및 44-2)의 배면 종점들이 후향 모따기된 가장자리(41C2)로부터 사전 결정된 거리(S)에 위치되도록 노즐 채널(162-1A 및 162-2A)을 폐쇄하기 위해 슬롯(195A) 내로 단계적으로 삽입된다. 그런 다음, 도 3f에 도시된 바와 같이, 밸브 구조체(190-2A)는 그리드라인(44-3, 44-4 및 44-5)들의 배면 종점(rear endpoint)들이 기판(41)의 배면 가장자리(41B)로부터 사전 결정된 거리(S)에 위치되도록 노즐 채널(162-3A, 162-4A, 및 162-5A)들을 폐쇄하기 위해 슬롯(195A) 내로 삽입된다.
도 3a 내지 도 3f는 프린트헤드 조립체의 노즐 채널들이 프린트헤드의 한 측부로부터 다른 측부로(예를 들어, 하나의 스트립이 사용되면), 또는 최내측 노즐 채널로부터 최외측 노즐 채널로(도 3a 내지 도 3f에 도시된 바와 같이, 2개의 스트립들이 사용되면) 순차적으로 개방/폐쇄될 수 있는 것을 도시한다. 도 11에 도시된 원형 전지와 같은 형상에 대해, 상기 공정은 유사하다. 예를 들어, 2개의 동일한 길이의 스트립들이 각각의 단부로부터 하나씩 슬롯에 배치된다. 초기에, 스트립들 은 둘다 완전히 삽입되고, 전지의 립(lip)이 프린트헤드 아래를 통과할 때까지 그 진행(way)을 유지한다. 대칭으로(그러나 비선형으로) 두 스트립들을 점차적으로 제거하는 것에 의해, 압출된 라인들을 반원을 만들게 된다. 전지의 중심이 헤드를 지나가면, 이러한 공정은 원형 인쇄의 다른 절반부를 만들도록 역전될 수 있다. 개별적인 트레이스에 대해 매끈한 시작/정지를 위해, 스트립은 노즐 바로 전에 있는 그 단부로부터(정상적인 잉크 유동) 노즐 바로 뒤에 있는 그 단부로(유동 없음) 급속히 움직여야 한다. 그러나, 보다 점차적인 운동은 트레이스의 시작 및 종료가 다소 구체화되는 것을 허용하게 된다. 동시 압출 공정(아래에 기술되는)과 관련하여 사용될 때, 이러한 방법은 그 아래에 버스 바(buss-bar)들이 궁극적으로 놓여지는 트레이스를 인쇄할 때 좁은 영역을 위하여 트레이스들로의 지지 물질의 유동을 차단하게 된다.
많은 태양 전지 구성에 있어서, 트레이스들의 단부는 전형적으로 중앙 부분보다 훨씬 적은 전류를 운반한다. 트레이스의 단부에서 잉크 유동을 점차적으로 교축하는 것에 의하여(특히 지지 물질이 그렇게 제한되지 않으면), 트레이스는 테이퍼진다(즉, 그 단부들에서 보다 좁게 만들어진다). 이러한 낮은 전류 영역에서, 새도잉(shadowing)을 감소시키는 것을 퉁해 전지의 효율을 약간 증가시키는 것은 전류 손실에서의 대응하는 증가로 인한 약간의 효율 감소를 극복한다. 이러한 형상화가 사용되었고 셀 기하학 체계가 트레이스의 테이퍼가 2개의 인접한 노즐들의 차단(shut-off) 사이의 거리보다 긴 거리에 걸쳐 통상 연장하는 정도이면, 교정된 V-노치는 스트립의 단부 내로 절단될 수 있다. 이러한 것은 노즐이 현재 턴-온 또는 차단된 후에 2개 이상의 노즐의 능동적인 제어를 허용하게 된다. 다른 형상화된 노치(예를 들어, 반원형 또는 포물형)들이 일부 예에서 적절할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라서 프린트헤드(100B) 내측에 슬라이딩 가능하게 배치되는 것을 도시한 간략화된 사시도이다. 프린트헤드(100B)는 노즐 채널(162-1B 내지 162-3B)들과, 입구 부분(162-1BI, 162-2BI, 및 162-3BI)들과 출구 부분(162-1BO, 162-2BO, 및 162-3B)들 사이를 지나가는 직사각형 슬롯(도시되지 않음)을 포함하며, 노즐 채널(162-1B 내지 162-3B)들을 둘러싸는 프린트헤드(100B)의 부분들은 명료성을 위하여 생략된다. 밸브 구조체(190B)는, 밸브 구조체(190-1A 및 190-2A)들이 실축 스트립(solid strip)이고, 밸브 구조체(190B)가 개방 위치(도 4a에 도시된) 내로 슬라이딩될 때 노즐 채널(162-1B 내지 162-3B)과 정렬하도록 배치되는 개구(197-B1 내지 197-B3)들을 밸브 구조체(190B)가 한정한다는 점에서 도 2를 참조하여 상기된 실시예와 다르다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 밸브 구조체(190B)가 폐쇄된 위치로 슬라이딩될 때, 개구(197-B1 내지 197-B3)들은 각각 노즐 채널(162-1B 내지 162-3B)로부터 편심되고, 노즐 채널(162-1B 내지 162-3B)들은 밸브 구조체(190B)의 고체 부분들에 의해 차단된다. 프린트헤드(100B)는 예를 들어 실축 스트립형 밸브 구조체를 신속하게 회수 또는 삽입하는 것이 그리드라인에 대해 용인 가능하지 않도록 엇갈려 배열되는 패턴을 만드는 정사각형 태양 전지 기판들을 위해 사용된다. 프린트헤드(100B)는 스트립(190B)의 비교적 작은 움직임으로 모든 노즐 채널들을 동시에 개방/폐쇄하는 것에 의해 이러한 엇갈린 배열을 방지한다. 이러한 실시는, 실축 스트립들이 사용될 때, 슬롯의 큰 영역들이 때때로 잉크로 채워지고, 심지어 스트립의 빈번한 움직임들이 전체적인 유동의 통상의 부분이 아닌 잉크의 작은 체적을 일으킬 수 있는 것으로 프린트헤드 세정을 위해 더욱 좋을 수 있다. 이러한 다량의 잉크가 적소에서 건조되고 그런 다음 추후에 제거되었으면, 이러한 것은 노즐 또는 통로의 추후 부분의 폐색을 유발할 수 있다. 입구/출구 통로의 크기(또는 보다 작은)의 구멍들을 구비한 스트립의 경우에, 단지 잉크의 작은 "코인(coin)" 만이 유동으로부터 제거되고, 유동으로 다시 정렬된 구멍 위에, 이러한 모든 잉크가 다시 한번 유동으로 복귀된다.
당업자는 도 4a 및 도 4b에 도시된 개념에서의 많은 변경이 가능하다는 것을 인식할 것이다. 예를 들어, 스트립에 있는 하나 이상이 가늘고 긴 구멍들을 사용하는 것에 의해, 사전 결정된 일련의 노즐 채널들이 밸브 구조체의 슬라이딩 위치에 기초하여 개방될 수 있다. 부가하여, 스트립 단부들에 있는 구멍, 가늘고 긴 구멍, 점진적으로 차단하는 노즐 및 노치들의 결합은 상이한 라인 형상 및 상이한 전체 인쇄된 패턴을 달성하도록 모두 사용될 수 있다.
도 5는 프린트헤드에서 한정된 원통형 구멍 또는 보어(도시되지 않음)에 가동 가능하게 배치된 막대형 밸브 구조체(190C)가 사용되는 또 다른 중요한 변형예를 도시한다. 원통형 구멍의 정밀한 가공은 직사각형 슬롯을 형성하는 것보다 훨씬 간단하여야 한다. 막대형 밸브 구조체는 실축 막대이며, 막대가 안밖으로 움직임으로써 먼저 최외측으로부터 노즐을 차단하는 것에 의해 도 2를 참조하여 상기된 실축 스트립 실시예과 유사하게 작동한다. 대안적으로, 막대형 밸브 구조체는 밸브 구조체(190C)가 프린트헤드의 안밖으로 움직임으로써 다수의 노즐 채널들을 동시에 개방/폐쇄하도록 도 4a 및 도 4b를 참조하여 상기된 것과 유사한 방식으로 작용하는 구멍들을 한정하도록 처리될 수 있다. 대안적으로, 둥근 외형이 노즐 채널들의 공간에 대응하는 공간을 가지는 막대형 구조물의 측부 내로 노치(197-C1, 197-C2 및 197-C3)들을 절단하는 것에 의해 노즐 채널을 개방/폐쇄하는 것을 용이하게 하도록 사용될 수 있다. 이러한 배열에 의해, 노즐 채널들을 개방/폐쇄하는 것은 밸부 구조체(190C)를 회전시키는 것에 의해(예를 들어 도 5에서의 이중 화살표에 의해 지시된 바와 같이) 달성되어서, 노치들은 잉크의 통로를 허용하거나, 또는 막대 물질이 잉크의 통행을 차단하도록 멀리 회전된다.
도 1을 참조하여 상기에서 제안된 바와 같이, 상기된 특정 실시예는 단면 방향으로 프린트헤드와 기판 사이의 불일치를 자동으로 교정하도록 또한 사용될 수 있다. 상기된 인쇄 공정에 의해, 단면 방향에서의 헤드에 대한 전지의 배치는 중요하다. 상기된 인쇄 공정에 의하여, 단면 방향으로의 헤드에 대한 전지의 배치는 중요하다. 몇 밀리미터의 변위는 인쇄된 여백(margin)이 위반되도록 하고; 한 측부에서 인쇄되지 않은 표면이 너무 크고(효율을 감소시키고), 다른 측부에서 기판 가장자리 위에 인쇄하는 위험이 있다(전지를 쓸모없게 한다). 한번 배치되면, 전지 기판을 측방으로 움직이는 것은 어려울 수 있으며 및/또는 비쌀 수 있다. 마찬가지로, 측부로부터 측부로 전체 헤드를 움직이는 것은 불필요하다. 그러나, 슬롯의 각각의 단부에 하나씩 있는 2개의 스트립을 사용하고 이것들을 일제히 움직이는 것에 의해, 인쇄된 영역은 단면 방향으로 움직일 수 있다. 헤드는 실제의 웨이퍼와 스트립에 의해 통상 차단되는 각각의 단부에 있는 2-3개의 노즐들 보다 다소 넓게 만들 어질 수 있다. 전지가 편심되도록 감지되면, 한 쪽 단부에 있는 스트립은 노즐을 개방하도록 사용될 수 있고, 다른 쪽 단부에 있는 스트립은 노즐을 폐쇄하도록 사용될 수 있다. 이러한 것은 하나의 라인 갭의 폭만큼 교차하여 인쇄된 영역을 움직인다.
도 6은 태양 전지 기판 상으로 2개의 물질(예를 들어, 비전도성 희생 물질(sacrificial material) 및 전도성(예를 들어, 은 잉크)을 동시에 침착하기 위한 공압출(co-extrusion) 프린트헤드(100D)의 일부분을 도시한 간략화된 측단면도이다. 이러한 물질의 공압출은 종래에 공지되어 있으며, 본원에 기술된 방식으로 변경하는데 적절한 프린트헤드는 공동 소유되고 동시 계류중인 미국 특허 출원 제12/267,069호(상기에서 인용된)에 더욱 상세히 기술되어 있다. 본 실시예에서, 프린트헤드(100D)는 노즐 채널(162D)의 일부분을 선택적으로 차단하도록 슬롯(195D, 단부도(end view)로 도시됨)에 슬라이딩 가능하게 배치된 스트립형 밸브 구조체(190D)를 포함한다. 단지 은 잉크 매니폴드(120D-1)로부터 유동하는 은 잉크만이 스트립(190D)의 존재에 의해 차단되는 것을 유념하여야 한다. 희생 물질이 비전도성이기 때문에, 희생 물질이 전지 경계를 교차하는 것이(즉, 가장자리 제약들의 외측에 침착되는 것이) 수용 가능하여서, 희생 물질 매니폴드(120D-2 및 120D-3)로부터의 물질의 유동은 스트립(190D)에 의해 제어되지 않는다. 작동 동안, 단지 은의 유동만이 예를 들어 상기된 방법을 사용하여 제어된다. 그러나, 필요하면, 동일한 위치에서 보다 넓은 스트립은 조정된 형태로 은 잉크와 희생 물질을 모두(둘은 동시에 턴-온 또는 턴-오프된다) 제어하게 된다. 스트립이 보다 낮게 위치되었으면, 3개의 스트림들의 합체 지점 후에, 조합된 스트림이 턴-온/턴-오프될 것이다.
비록 본 발명이 특정 실시예에 대하여 기술되었을지라도, 본 발명의 특징들이 다른 실시예들에 마찬가지로 적용 가능하다는 것은 당업자에 자명하며, 그 모든 것은 본 발명의 범위 내에 놓이도록 의도된다. 예를 들어, 본원에 기술된 밸브 제어는 프린트헤드 조립체로부터 분리될 수 있다(즉 프린트헤드에 또는 아래에 부착된다). 부가하여, 본원에 기술된 밸브 구조체들은 프린트헤드 조립체에서 보다 높게 설정될 수 있어서, 다중의 노즐 채널에 대한 잉크의 유동은 밸브 구조체들의 위치에 의해 즉시 제어된다.
도 1은 본 발명의 일반화된 실시예에 따라서 태양 전지를 제조하기 위한 미세 압출 시스템을 도시한 간략 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도 1의 미세 압출 시스템의 프린트헤드 조립체를 도시한 간략 사시도.
도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e, 및 도 3f는 그리드라인 인쇄 작업동안 도 2의 미세 압출 시스템의 일부분을 도시한 간략 평면도.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 특정 실시예에 따른 밸브 구조체를 도시한 간략 사시도.
도 5는 본 발명의 또 다른 특정 실시예에 따른 막대형 밸브 구조체를 도시한 간략도.
도 6은 본 발명의 또 다른 특정 실시예에 따른 밸브 구조체를 포함하는 공압출 프린트헤드의 단부 단면도.
도 7은 종래의 태양 전지를 도시한 간략 측단면도.
도 8a 및 도 8b는 각각 종래의 H-패턴 태양 전지를 도시한 평면 및 저면 사시도.
도 9는 종래의 그리드라인 공정을 도시하는 간략 평면도.
도 10은 비직사각형 기판 상에 형성된 종래의 H-패턴 태양 전지를 도시한 평면도.
도 11은 원형ㅍ 기판 상에 형성된 종래의 H-패턴 태양 전지를 도시한 평면 도.
도 12는 종래의 그리드라인 인쇄 공정을 도시한 간략 평면도.

Claims (2)

  1. 미세 압출 시스템으로서,
    입구 포트와, 상기 입구 포트와 연통하는 입구 부분 및 관련 노즐 출구 오리피스와 연통하는 출구 부분을 각각 가지며 제 1 노즐 채널을 포함하는 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들을 한정하는 노즐 구조체를 구비하는 프린트헤드 조립체;
    각각의 상기 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들의 노즐 출구 오리피스에 인접하여 가동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 밸브 구조체;
    하나 이상의 물질들이 각각의 상기 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들의 입구 영역 내로 사전 결정된 압력으로 공급되도록 상기 입구 포트를 통해 상기 프린트헤드 조립체 내로 상기 물질들을 펌핑하기 위한 물질 공급 시스템; 및
    제 1 및 제 2 작동 상태 사이에서 상기 적어도 하나의 밸브 구조체를 제어하여, 상기 제 1 작동 상태에서, 상기 적어도 하나의 밸브 구조체의 제 1 부분은 상기 하나 이상의 물질들이 상기 제 1 노즐 채널의 출구 오리피스로부터 상기 기판 상으로 보내지는 것이 상기 제 1 부분에 의해 방지되도록 위치되고, 상기 제 2 작동 상태에서, 상기 적어도 하나의 밸브 구조체의 제 1 부분은 상기 제 1 노즐 채널의 상기 노즐 출구 오리피스가 상기 기판 상에 있도록 위치되게 하는 수단을 포함하는 미세 압출 시스템.
  2. 물질 공급 시스템으로부터 하나 이상의 물질들을 받기 위한 저장부, 각각이 상기 저장부와 대응하는 노즐 출구들 사이에서 연장하는 다수의 가늘고 긴 노즐 채널을 포함하며, 적어도 하나의 밸브 구조체는 각각의 상기 다수의 가늘고 긴 노즐 채널들의 노즐 출구에 인접하여 조정 가능하게 배치되는 프린트헤드 조립체를 사용하여, 목표 기판 상에 다수의 평행한 그리드라인들을 형성하는 방법으로서,
    상기 적어도 하나의 밸브 구조체가 상기 다수의 노즐 채널들 모두를 폐쇄하고, 이에 의해, 상기 하나 이상의 물질들이 상기 저장부로부터 상기 다수의 노즐 채널들을 출구로 보내지는 것이 상기 적어도 하나의 밸브 구조체에 의해 방지되도록, 상기 적어도 하나의 밸브 구조체를 제어하는 단계;
    상기 프린트헤드 조립체의 다수의 노즐 채널들이 상기 목표 기판 위에 배치되도록 상기 목표 기판의 표면 위에 상기 프린트헤드 조립체를 위치시키는 단계; 및
    상기 기판에 관하여 상기 프린트헤드 조립체를 움직이는 동안, 상기 하나 이상의 물질이 상기 적어도 하나의 노즐 채널을 통해 상기 기판 상으로 보내지고, 이에 의해, 상기 물질이 상기 기판 상에 침착되어 상기 다수의 평행한 그리드라인 중 하나를 형성하기 위하여, 상기 다수의 노즐 채널 중 적어도 하나를 개방하도록 상기 적어도 하나의 밸브 구조체를 제어하는 단계를 포함하는 그리드라인 형성 방법.
KR1020090120930A 2008-12-09 2009-12-08 노즐 밸브들을 구비한 미세 압출 프린트헤드 KR20100066389A (ko)

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ES (1) ES2431349T3 (ko)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5676863B2 (ja) * 2009-09-15 2015-02-25 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス パターン形成方法およびパターン形成装置
KR101147165B1 (ko) 2010-10-27 2012-05-25 주식회사 나래나노텍 태양전지의 전극 패턴 형성용 멀티 디스펜싱 노즐, 및 이를 구비한 태양 전지의 전극 패턴 형성 장치
JP5857237B2 (ja) * 2010-11-29 2016-02-10 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 太陽電池セル及び太陽電池モジュール
JP2012200664A (ja) * 2011-03-25 2012-10-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン形成装置およびパターン形成方法
US8746506B2 (en) 2011-05-26 2014-06-10 Pepsico, Inc. Multi-tower modular dispensing system
US8985396B2 (en) 2011-05-26 2015-03-24 Pepsico. Inc. Modular dispensing system
JP2013046886A (ja) * 2011-08-29 2013-03-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン形成装置
US10371468B2 (en) 2011-11-30 2019-08-06 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded microchannel heat pipes
US9120190B2 (en) 2011-11-30 2015-09-01 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extruded microchannel heat pipes
CN102555521B (zh) * 2011-12-31 2014-08-27 浙江搏路尚新能源有限公司 一种太阳能电池正面银浆用打印喷头
US20130206220A1 (en) * 2012-02-10 2013-08-15 Palo Alto Research Center Incorporated Method For Generating Gridlines On Non-Square Substrates
US8875653B2 (en) * 2012-02-10 2014-11-04 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-extrusion printhead with offset orifices for generating gridlines on non-square substrates
CN104205351B (zh) * 2012-03-23 2016-10-12 松下知识产权经营株式会社 太阳电池
JP2012160768A (ja) * 2012-05-29 2012-08-23 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池セル
CN105283600A (zh) * 2013-04-10 2016-01-27 福伊特专利有限公司 用于制造工业用绷网的方法和工业用绷网
CN103456835B (zh) * 2013-07-31 2015-11-18 华中科技大学 一种制备太阳能电池栅电极的装置及方法
DE102013223250A1 (de) 2013-11-14 2015-05-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Druckkopf, Druckvorrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Druckmediums auf ein Substrat, insbesondere eine photovoltaische Solarzelle
US9855578B2 (en) * 2013-12-12 2018-01-02 Palo Alto Research Center Incorporated Co-extrusion print head with edge bead reduction
WO2016018396A1 (en) 2014-07-31 2016-02-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Methods and apparatus to control a heater associated with a printing nozzle
US10040291B2 (en) * 2014-07-31 2018-08-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and apparatus to reduce ink evaporation in printhead nozzles
JP2015188117A (ja) * 2015-07-29 2015-10-29 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 太陽電池セル
JP2017098460A (ja) * 2015-11-26 2017-06-01 信越化学工業株式会社 裏面電極型太陽電池の電極形成方法および電極形成装置
DE102019206706A1 (de) * 2019-05-09 2020-11-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen flüssiger Medien auf eine Substratoberfläche
CN110233181B (zh) * 2019-06-24 2021-06-25 大连理工大学 一种匀化直写太阳能电池电极的装置
DE102019135208B4 (de) * 2019-12-19 2022-02-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Druckeinheit, Druckvorrichtung und Verfahren zum Parallelextrudieren von Druckmedium auf ein Substrat
WO2023218491A1 (en) * 2022-05-09 2023-11-16 Ecoprogetti S.R.L. Apparatus for the automated finishing of photovoltaic modules or photovoltaic strings, and corresponding method
CN116406095A (zh) * 2023-04-28 2023-07-07 珠海东辉半导体装备有限公司 金属线路加工设备及其加工方法

Family Cites Families (220)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2031387A (en) 1934-08-22 1936-02-18 Schwarz Arthur Nozzle
US2326803A (en) 1941-03-18 1943-08-17 Samiran David Positive displacement pump for metering
IT557307A (ko) 1955-02-23 1900-01-01
US2789731A (en) 1955-06-06 1957-04-23 Leonard L Marraffino Striping dispenser
US3032008A (en) 1956-05-07 1962-05-01 Polaroid Corp Apparatus for manufacturing photographic films
US3159313A (en) 1961-05-16 1964-12-01 Dow Chemical Co Multi-component proportioning meter system
US3602193A (en) 1969-04-10 1971-08-31 John R Adams Apparatus for preparing coatings with extrusions
US3973994A (en) 1974-03-11 1976-08-10 Rca Corporation Solar cell with grooved surface
JPS5328751B2 (ko) 1974-11-27 1978-08-16
AT349415B (de) 1975-07-28 1979-04-10 Zimmer Peter Ag Spritzdruckeinrichtung zum bemustern einer ware
US3988166A (en) 1975-01-07 1976-10-26 Beam Engineering, Inc. Apparatus for enhancing the output of photovoltaic solar cells
US4045246A (en) 1975-08-11 1977-08-30 Mobil Tyco Solar Energy Corporation Solar cells with concentrators
US4021267A (en) 1975-09-08 1977-05-03 United Technologies Corporation High efficiency converter of solar energy to electricity
US4053327A (en) 1975-09-24 1977-10-11 Communications Satellite Corporation Light concentrating solar cell cover
US4018367A (en) 1976-03-02 1977-04-19 Fedco Inc. Manifold dispensing apparatus having releasable subassembly
GB1578018A (en) 1976-03-11 1980-10-29 Schmermund A Glue applications
US4086485A (en) 1976-05-26 1978-04-25 Massachusetts Institute Of Technology Solar-radiation collection apparatus with tracking circuitry
US4095997A (en) 1976-10-07 1978-06-20 Griffiths Kenneth F Combined solar cell and hot air collector apparatus
US4084985A (en) 1977-04-25 1978-04-18 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method for producing solar energy panels by automation
US4131485A (en) 1977-08-08 1978-12-26 Motorola, Inc. Solar energy collector and concentrator
US4177083A (en) 1977-09-06 1979-12-04 Acurex Corporation Photovoltaic concentrator
US4148301A (en) 1977-09-26 1979-04-10 Cluff C Brent Water-borne rotating solar collecting and storage systems
US4153476A (en) 1978-03-29 1979-05-08 Nasa Double-sided solar cell package
US4337758A (en) 1978-06-21 1982-07-06 Meinel Aden B Solar energy collector and converter
US4221468A (en) 1979-02-26 1980-09-09 Macken John A Multi-cavity laser mirror
US4331703A (en) 1979-03-28 1982-05-25 Solarex Corporation Method of forming solar cell having contacts and antireflective coating
US4254894A (en) 1979-08-23 1981-03-10 The Continental Group, Inc. Apparatus for dispensing a striped product and method of producing the striped product
US4301322A (en) 1980-04-03 1981-11-17 Exxon Research & Engineering Co. Solar cell with corrugated bus
DE8033450U1 (de) 1980-12-17 1982-07-22 Colgate-Palmolive Co., 10022 New York, N.Y. Laenglicher Behaelter fuer einen Spender fuer pastoeses gut
US4355196A (en) 1981-03-11 1982-10-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Solar cell having improved back surface reflector
DE3115418C2 (de) * 1981-04-16 1985-01-03 Reich Spezialmaschinen GmbH, 7440 Nürtingen Auftragsvorrichtung für Kleber
US4420510A (en) * 1982-03-23 1983-12-13 Weyerhaeuser Company Method for applying a foamed adhesive under start-stop conditions
JPS58180262A (ja) 1982-04-16 1983-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法
US4476165A (en) 1982-06-07 1984-10-09 Acumeter Laboratories, Inc. Method of and apparatus for multi-layer viscous fluid deposition such as for the application of adhesives and the like
US4521457A (en) 1982-09-21 1985-06-04 Xerox Corporation Simultaneous formation and deposition of multiple ribbon-like streams
DE3308269A1 (de) 1983-03-09 1984-09-13 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh Solarzelle
JPS6082680A (ja) 1983-10-07 1985-05-10 Fuji Photo Film Co Ltd 金属ウエブの表面処理装置
US4602120A (en) 1983-11-25 1986-07-22 Atlantic Richfield Company Solar cell manufacture
US4841946A (en) 1984-02-17 1989-06-27 Marks Alvin M Solar collector, transmitter and heater
GB8510706D0 (en) 1985-04-26 1985-06-05 Marconi Co Ltd Solar cell arrays
EP0257157A1 (en) 1986-08-29 1988-03-02 General Systems Research Inc. Optical apparatus for scanning radiation over a surface
US4796038A (en) 1985-07-24 1989-01-03 Ateq Corporation Laser pattern generation apparatus
DE3650656T2 (de) 1985-08-27 1998-04-30 Mitsui Toatsu Chemicals Polyimide und diese enthaltende hitzebeständige klebemittel
US4849028A (en) 1986-07-03 1989-07-18 Hughes Aircraft Company Solar cell with integrated interconnect device and process for fabrication thereof
JPS63175667A (ja) 1987-01-14 1988-07-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多列同時塗布方法
US5216543A (en) 1987-03-04 1993-06-01 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for patterning a film
US4747517A (en) 1987-03-23 1988-05-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Dispenser for metering proportionate increments of polymerizable materials
US4826777A (en) 1987-04-17 1989-05-02 The Standard Oil Company Making a photoresponsive array
US4746370A (en) 1987-04-29 1988-05-24 Ga Technologies Inc. Photothermophotovoltaic converter
US4792685A (en) 1987-04-29 1988-12-20 Masami Yamakawa Photoelectric sensor
US4938994A (en) 1987-11-23 1990-07-03 Epicor Technology, Inc. Method and apparatus for patch coating printed circuit boards
US4855884A (en) 1987-12-02 1989-08-08 Morpheus Lights, Inc. Variable beamwidth stage light
US4952026A (en) 1988-10-14 1990-08-28 Corning Incorporated Integral optical element and method
US5004319A (en) 1988-12-29 1991-04-02 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Crystal diffraction lens with variable focal length
US5075281A (en) 1989-01-03 1991-12-24 Testardi Louis R Methods of making a high dielectric constant, resistive phase of YBA2 CU3 OX and methods of using the same
JPH02187291A (ja) 1989-01-11 1990-07-23 Hitachi Ltd レーザ光による穿孔方法、及び、同穿孔装置
US4947825A (en) 1989-09-11 1990-08-14 Rockwell International Corporation Solar concentrator - radiator assembly
US5194721A (en) 1989-11-24 1993-03-16 Optical Recording Corporation Optical scanner
US5011565A (en) 1989-12-06 1991-04-30 Mobil Solar Energy Corporation Dotted contact solar cell and method of making same
US5089055A (en) 1989-12-12 1992-02-18 Takashi Nakamura Survivable solar power-generating systems for use with spacecraft
US4985715A (en) 1990-03-22 1991-01-15 Telesis Controls Corporation Marker assembly for spray marking dot matrix characters and method of fabrication thereof
EP0521878B1 (en) 1990-03-30 1994-11-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Composite materials and process
US5062899A (en) 1990-03-30 1991-11-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Wide acceptance angle, high concentration ratio, optical collector
DK170189B1 (da) 1990-05-30 1995-06-06 Yakov Safir Fremgangsmåde til fremstilling af halvlederkomponenter, samt solcelle fremstillet deraf
JPH04124645A (ja) 1990-09-14 1992-04-24 Fuji Photo Film Co Ltd 写真用支持体及びその製造方法
US5213628A (en) 1990-09-20 1993-05-25 Sanyo Electric Co., Ltd. Photovoltaic device
US5254388A (en) 1990-12-21 1993-10-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Light control film with reduced ghost images
US5120484A (en) 1991-03-05 1992-06-09 The Cloeren Company Coextrusion nozzle and process
US5151377A (en) 1991-03-07 1992-09-29 Mobil Solar Energy Corporation Method for forming contacts
US5167724A (en) 1991-05-16 1992-12-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Planar photovoltaic solar concentrator module
US5180441A (en) 1991-06-14 1993-01-19 General Dynamics Corporation/Space Systems Division Solar concentrator array
JP2857512B2 (ja) 1991-07-31 1999-02-17 株式会社神戸製鋼所 二層電線被覆装置における押出機のオーバフロー制御装置
US5356488A (en) 1991-12-27 1994-10-18 Rudolf Hezel Solar cell and method for its manufacture
SK102594A3 (en) 1992-02-25 1995-09-13 Cambridge Consultants Fluid delivery apparatus
US5353813A (en) 1992-08-19 1994-10-11 Philip Morris Incorporated Reinforced carbon heater with discrete heating zones
JP2613719B2 (ja) 1992-09-01 1997-05-28 キヤノン株式会社 太陽電池モジュールの製造方法
US5344496A (en) 1992-11-16 1994-09-06 General Dynamics Corporation, Space Systems Division Lightweight solar concentrator cell array
EP0632507A3 (en) 1993-05-12 1995-11-22 Optical Coating Laboratory Inc Cover for solar cells which reflects UV / IR rays.
JPH06337366A (ja) 1993-05-21 1994-12-06 Xerox Corp 電子写真プリンターにおけるラスター出力スキャナのための露光装置
WO1994028361A1 (en) 1993-06-02 1994-12-08 Stirbl Robert C Method for changing solar energy distribution
JPH0768208A (ja) 1993-09-06 1995-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 間欠塗布装置
US5543333A (en) 1993-09-30 1996-08-06 Siemens Solar Gmbh Method for manufacturing a solar cell having combined metallization
US5559677A (en) 1994-04-29 1996-09-24 Motorola, Inc. Method of forming a device by selectively thermal spraying a metallic conductive material thereon
US5529054A (en) 1994-06-20 1996-06-25 Shoen; Neil C. Solar energy concentrator and collector system and associated method
US5700325A (en) 1994-08-03 1997-12-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Coating device and a method of coating
US5501743A (en) 1994-08-11 1996-03-26 Cherney; Matthew Fiber optic power-generating system
US5540216A (en) 1994-11-21 1996-07-30 Rasmusson; James K. Apparatus and method for concentrating radiant energy emanated by a moving energy source
US5553747A (en) 1994-12-07 1996-09-10 Smithkline Beecham Corporation Container for multisegmental toothpaste
US5981902A (en) 1994-12-15 1999-11-09 Mitsubishi Chemical Corporation Texturing apparatus for magnetic recording medium and magnetic recording medium process thereby
US5679379A (en) 1995-01-09 1997-10-21 Fabbricante; Anthony S. Disposable extrusion apparatus with pressure balancing modular die units for the production of nonwoven webs
US5569399A (en) 1995-01-20 1996-10-29 General Electric Company Lasing medium surface modification
EP0807279B1 (en) 1995-02-02 1998-10-07 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method and apparatus for applying thin fluid coating stripes
US5538563A (en) 1995-02-03 1996-07-23 Finkl; Anthony W. Solar energy concentrator apparatus for bifacial photovoltaic cells
EP0729189A1 (en) 1995-02-21 1996-08-28 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Method of preparing solar cells and products obtained thereof
GB9507572D0 (en) 1995-04-12 1995-05-31 Smithkline Beecham Plc Dispenser
US5929530A (en) 1995-08-18 1999-07-27 Mcdonnell Douglas Corporation Advanced solar controller
FR2741194B1 (fr) 1995-11-13 1998-01-30 Photowatt Int Cellule solaire comportant du silicium multicristallin et procede de texturisation de la surface du silicium multicristallin de type p
ES2185901T3 (es) 1996-01-31 2003-05-01 Airspray Int Bv Aerosol concebido para la distribucion de un producto de componentes multiples.
US5605720A (en) 1996-04-04 1997-02-25 J & M Laboratories Inc. Method of continuously formulating and applying a hot melt adhesive
US5990413A (en) 1996-06-19 1999-11-23 Ortabasi; Ugur Bifacial lightweight array for solar power
US6047926A (en) 1996-06-28 2000-04-11 Alliedsignal Inc. Hybrid deicing system and method of operation
US6476343B2 (en) 1996-07-08 2002-11-05 Sandia Corporation Energy-beam-driven rapid fabrication system
US5902540A (en) 1996-10-08 1999-05-11 Illinois Tool Works Inc. Meltblowing method and apparatus
US5873495A (en) 1996-11-21 1999-02-23 Saint-Germain; Jean G. Device for dispensing multi-components from a container
EP0851511A1 (en) 1996-12-24 1998-07-01 IMEC vzw Semiconductor device with two selectively diffused regions
US6354791B1 (en) 1997-04-11 2002-03-12 Applied Materials, Inc. Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece
AU7967798A (en) 1997-07-01 1999-01-25 Smithkline Beecham Corporation Apparatus for inserting plural materials into containers
US6011307A (en) 1997-08-12 2000-01-04 Micron Technology, Inc. Anisotropic conductive interconnect material for electronic devices, method of use and resulting product
DE19735281A1 (de) 1997-08-14 1999-02-18 Rolf Hoericht Einrichtung zur Erzeugung von Energie
CA2306384A1 (en) 1997-10-14 1999-04-22 Patterning Technologies Limited Method of forming an electronic device
US6140570A (en) 1997-10-29 2000-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Photovoltaic element having a back side transparent and electrically conductive layer with a light incident side surface region having a specific cross section and a module comprising said photovolatic element
US6130465A (en) 1997-10-29 2000-10-10 Light Point Systems Inc. Micro-solar assembly
JP3185729B2 (ja) * 1997-11-07 2001-07-11 富士ゼロックス株式会社 画像形成装置及び画像形成方法
US6379521B1 (en) 1998-01-06 2002-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing zinc oxide film, method of producing photovoltaic element, and method of producing semiconductor element substrate
JP4003273B2 (ja) 1998-01-19 2007-11-07 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および基板製造装置
US6185030B1 (en) 1998-03-20 2001-02-06 James W. Overbeck Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6032997A (en) 1998-04-16 2000-03-07 Excimer Laser Systems Vacuum chuck
US6278054B1 (en) 1998-05-28 2001-08-21 Tecstar Power Systems, Inc. Solar cell having an integral monolithically grown bypass diode
US6231917B1 (en) * 1998-06-19 2001-05-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of forming liquid film
AUPP437598A0 (en) 1998-06-29 1998-07-23 Unisearch Limited A self aligning method for forming a selective emitter and metallization in a solar cell
JP3259692B2 (ja) 1998-09-18 2002-02-25 株式会社日立製作所 集光型太陽光発電モジュール及びその製造方法並びに集光型太陽光発電システム
US6204523B1 (en) 1998-11-06 2001-03-20 Lumileds Lighting, U.S., Llc High stability optical encapsulation and packaging for light-emitting diodes in the green, blue, and near UV range
US6118067A (en) 1998-11-20 2000-09-12 Swales Aerospace Method and apparatus for improved solar concentration arrays
US6274508B1 (en) 1999-02-05 2001-08-14 Alien Technology Corporation Apparatuses and methods used in forming assemblies
US6380729B1 (en) 1999-02-16 2002-04-30 Alien Technology Corporation Testing integrated circuit dice
US6291896B1 (en) 1999-02-16 2001-09-18 Alien Technology Corporation Functionally symmetric integrated circuit die
AU2875500A (en) 1999-02-26 2000-09-14 Procter & Gamble Company, The Process for extruding a continuous layer
US6020554A (en) 1999-03-19 2000-02-01 Photovoltaics International, Llc Tracking solar energy conversion unit adapted for field assembly
JP2000294813A (ja) 1999-04-07 2000-10-20 Bridgestone Corp 太陽電池用バックカバー材及び太陽電池
US6257450B1 (en) 1999-04-21 2001-07-10 Pechiney Plastic Packaging, Inc. Dual dispense container having cloverleaf orifice
US6164633A (en) 1999-05-18 2000-12-26 International Business Machines Corporation Multiple size wafer vacuum chuck
US6203621B1 (en) 1999-05-24 2001-03-20 Trw Inc. Vacuum chuck for holding thin sheet material
US6291016B1 (en) 1999-06-02 2001-09-18 Nordson Corporation Method for increasing contact area between a viscous liquid and a substrate
US6924493B1 (en) 1999-08-17 2005-08-02 The Regents Of The University Of California Ion beam lithography system
US6091017A (en) 1999-08-23 2000-07-18 Composite Optics Incorporated Solar concentrator array
FI115295B (fi) 1999-09-01 2005-04-15 Metso Paper Inc Verhopäällystin ja verhopäällystysmenetelmä
US6529220B1 (en) 1999-09-06 2003-03-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method and apparatus for forming image with image recording liquid and dummy liquid
JP2001110659A (ja) 1999-10-05 2001-04-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 充電用受電器
US6479395B1 (en) 1999-11-02 2002-11-12 Alien Technology Corporation Methods for forming openings in a substrate and apparatuses with these openings and methods for creating assemblies with openings
US6420266B1 (en) 1999-11-02 2002-07-16 Alien Technology Corporation Methods for creating elements of predetermined shape and apparatuses using these elements
US6623579B1 (en) 1999-11-02 2003-09-23 Alien Technology Corporation Methods and apparatus for fluidic self assembly
US6527964B1 (en) 1999-11-02 2003-03-04 Alien Technology Corporation Methods and apparatuses for improved flow in performing fluidic self assembly
JP2001148500A (ja) 1999-11-22 2001-05-29 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
ES2157846B1 (es) 1999-12-02 2002-03-01 Univ Madrid Politecnica Dispositivo con lente discontinua de reflexion total interna y dioptrico asferico para concentracion o colimacion de energia radiante.
JP4774146B2 (ja) 1999-12-23 2011-09-14 パナソニック株式会社 レーザを用いて波長より小さなピッチで穴を開けるための方法および装置
JP2001291881A (ja) 2000-01-31 2001-10-19 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール
US6719846B2 (en) 2000-03-14 2004-04-13 Nordson Corporation Device and method for applying adhesive filaments to materials such as strands or flat substrates
US6310281B1 (en) 2000-03-16 2001-10-30 Global Solar Energy, Inc. Thin-film, flexible photovoltaic module
US6433303B1 (en) 2000-03-31 2002-08-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus using laser pulses to make an array of microcavity holes
JP3865036B2 (ja) 2000-04-07 2007-01-10 セイコーエプソン株式会社 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置
US6423565B1 (en) 2000-05-30 2002-07-23 Kurt L. Barth Apparatus and processes for the massproduction of photovotaic modules
US6232217B1 (en) 2000-06-05 2001-05-15 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Post treatment of via opening by N-containing plasma or H-containing plasma for elimination of fluorine species in the FSG near the surfaces of the via opening
US6423140B1 (en) 2000-06-08 2002-07-23 Formosa Advanced Coating Technologies, Inc. Die set for preparing ABCABC multiple-stripe coating
JP2002111035A (ja) 2000-09-27 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 両面発電型太陽電池モジュール
US6558146B1 (en) 2000-10-10 2003-05-06 Delphi Technologies, Inc. Extrusion deposition molding with in-line compounding of reinforcing fibers
US6398370B1 (en) 2000-11-15 2002-06-04 3M Innovative Properties Company Light control device
US6620645B2 (en) 2000-11-16 2003-09-16 G.T. Equipment Technologies, Inc Making and connecting bus bars on solar cells
US20020149107A1 (en) 2001-02-02 2002-10-17 Avery Dennison Corporation Method of making a flexible substrate containing self-assembling microstructures
KR100378016B1 (ko) 2001-01-03 2003-03-29 삼성에스디아이 주식회사 태양 전지용 반도체 기판의 텍스처링 방법
JP2002289900A (ja) 2001-03-23 2002-10-04 Canon Inc 集光型太陽電池モジュール及び集光型太陽光発電システム
JP3848168B2 (ja) 2001-03-29 2006-11-22 三菱製紙株式会社 カーテン塗布装置
US7186102B2 (en) 2001-04-26 2007-03-06 Strandex Corporation Apparatus and method for low-density cellular wood plastic composites
US6606247B2 (en) 2001-05-31 2003-08-12 Alien Technology Corporation Multi-feature-size electronic structures
US7449070B2 (en) 2001-06-01 2008-11-11 Ulvac, Inc. Waveform generator for microdeposition control system
EP1329297A3 (en) 2001-06-15 2011-10-19 FUJIFILM Corporation Method of producing of cellulose ester film
CN2606309Y (zh) 2001-06-22 2004-03-10 高增世 双槽面镜式太阳能单向导光聚能板
US6555739B2 (en) 2001-09-10 2003-04-29 Ekla-Tek, Llc Photovoltaic array and method of manufacturing same
US7208674B2 (en) 2001-09-11 2007-04-24 Eric Aylaian Solar cell having photovoltaic cells inclined at acute angle to each other
US6531653B1 (en) 2001-09-11 2003-03-11 The Boeing Company Low cost high solar flux photovoltaic concentrator receiver
US6597510B2 (en) 2001-11-02 2003-07-22 Corning Incorporated Methods and apparatus for making optical devices including microlens arrays
US6697096B2 (en) 2001-11-16 2004-02-24 Applied Materials, Inc. Laser beam pattern generator having rotating scanner compensator and method
EP1458496B1 (en) 2001-12-13 2008-02-27 Dow Global Technologies Inc. Method and apparatus for curtain coating
EP1472072A1 (en) 2002-02-08 2004-11-03 E. I. du Pont de Nemours and Company Slot die
WO2003074254A1 (en) 2002-02-28 2003-09-12 Scimed Life Systems, Inc. Ultrasonic assisted apparatus and process
ATE467115T1 (de) 2002-03-15 2010-05-15 Affymetrix Inc System und verfahren zur abtastung von biologischen materialien
JP3889644B2 (ja) 2002-03-25 2007-03-07 三洋電機株式会社 太陽電池モジュール
US7270528B2 (en) 2002-05-07 2007-09-18 3D Systems, Inc. Flash curing in selective deposition modeling
AU2003261394A1 (en) 2002-08-05 2004-02-23 Research Foundation Of The State University Of New York System and method for manufacturing embedded conformal electronics
US6818818B2 (en) 2002-08-13 2004-11-16 Esmond T. Goei Concentrating solar energy receiver
US7160574B1 (en) 2002-08-28 2007-01-09 Pipe Restoration Technologies, Llc Barrier coating corrosion control methods and systems for interior piping systems
US6955348B2 (en) * 2002-09-20 2005-10-18 Canon Kabushiki Kaisha Sheet feeder which separates sheets with variable speed and/or direction blown air and image forming apparatus using same
US6896381B2 (en) 2002-10-11 2005-05-24 Light Prescriptions Innovators, Llc Compact folded-optics illumination lens
JP2004266023A (ja) 2003-02-28 2004-09-24 Sharp Corp 太陽電池およびその製造方法
US20050081908A1 (en) 2003-03-19 2005-04-21 Stewart Roger G. Method and apparatus for generation of electrical power from solar energy
JP2004288898A (ja) 2003-03-24 2004-10-14 Canon Inc 太陽電池モジュールの製造方法
GB0306788D0 (en) * 2003-03-25 2003-04-30 Willett Int Ltd Method
US7388147B2 (en) 2003-04-10 2008-06-17 Sunpower Corporation Metal contact structure for solar cell and method of manufacture
US7259323B2 (en) 2003-04-22 2007-08-21 The Aerospace Corporation Thin film solar cell thermal radiator
US7964789B2 (en) 2003-05-07 2011-06-21 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
US20040259382A1 (en) 2003-06-23 2004-12-23 Fuji Photo Film Co., Ltd. Apparatus and method of producing dope
JP4748955B2 (ja) 2003-06-30 2011-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 パターンの作製方法
US6959993B2 (en) 2003-07-10 2005-11-01 Energy Innovations, Inc. Solar concentrator array with individually adjustable elements
IL157716A0 (en) 2003-09-02 2004-03-28 Eli Shifman Solar energy utilization unit and solar energy utilization system
JP4121928B2 (ja) 2003-10-08 2008-07-23 シャープ株式会社 太陽電池の製造方法
JP4232597B2 (ja) 2003-10-10 2009-03-04 株式会社日立製作所 シリコン太陽電池セルとその製造方法
WO2005070224A1 (en) 2004-01-15 2005-08-04 Kellogg Company Nozzle assembly for imprinting patterns on an extruded product
JP2005347628A (ja) 2004-06-04 2005-12-15 Sharp Corp 電極形成方法、電極及び太陽電池
US7169228B2 (en) 2004-04-29 2007-01-30 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having linear motion operability
US7097710B2 (en) 2004-04-29 2006-08-29 The Procter & Gamble Company Extrusion applicator having rotational operability
JP2005340362A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Sharp Corp 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
US7045794B1 (en) 2004-06-18 2006-05-16 Novelx, Inc. Stacked lens structure and method of use thereof for preventing electrical breakdown
EP1763086A1 (en) 2005-09-09 2007-03-14 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Photovoltaic cell with thick silicon oxide and silicon nitride passivation and fabrication method
US20060207650A1 (en) 2005-03-21 2006-09-21 The Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with an aplanatic imaging system and coupled non-imaging light concentrator
US20070011936A1 (en) * 2005-04-16 2007-01-18 Marino Richard J Device to illuminate soft fishing baits
US7906722B2 (en) 2005-04-19 2011-03-15 Palo Alto Research Center Incorporated Concentrating solar collector with solid optical element
US7444934B2 (en) 2005-05-24 2008-11-04 Micron Technology, Inc. Supercritical fluid-assisted direct write for printing integrated circuits
US7394016B2 (en) 2005-10-11 2008-07-01 Solyndra, Inc. Bifacial elongated solar cell devices with internal reflectors
US20080047605A1 (en) 2005-07-28 2008-02-28 Regents Of The University Of California Multi-junction solar cells with a homogenizer system and coupled non-imaging light concentrator
US7799371B2 (en) 2005-11-17 2010-09-21 Palo Alto Research Center Incorporated Extruding/dispensing multiple materials to form high-aspect ratio extruded structures
US20070169806A1 (en) 2006-01-20 2007-07-26 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell production using non-contact patterning and direct-write metallization
US7765949B2 (en) 2005-11-17 2010-08-03 Palo Alto Research Center Incorporated Extrusion/dispensing systems and methods
EP1997154A2 (en) 2006-03-08 2008-12-03 Light Prescriptions Innovators, LLC. Multi-junction solar cells with a homogenizer system and coupled non-imaging light concentrator
DE102006011580B3 (de) * 2006-03-10 2007-10-11 Numatics Gmbh Drehschieberorgan zur pneumatischen Steuerung
US8575474B2 (en) 2006-03-20 2013-11-05 Heracus Precious Metals North America Conshohocken LLC Solar cell contacts containing aluminum and at least one of boron, titanium, nickel, tin, silver, gallium, zinc, indium and copper
JP2008036947A (ja) * 2006-08-04 2008-02-21 Ricoh Co Ltd 液体吐出装置および液体吐出方法
US20080029152A1 (en) 2006-08-04 2008-02-07 Erel Milshtein Laser scribing apparatus, systems, and methods
US7780812B2 (en) 2006-11-01 2010-08-24 Palo Alto Research Center Incorporated Extrusion head with planarized edge surface
US7928015B2 (en) 2006-12-12 2011-04-19 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell fabrication using extruded dopant-bearing materials
US20100117254A1 (en) 2008-11-07 2010-05-13 Palo Alto Research Center Incorporated Micro-Extrusion System With Airjet Assisted Bead Deflection
US8117983B2 (en) 2008-11-07 2012-02-21 Solarworld Innovations Gmbh Directional extruded bead control

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