KR20090094911A - Linear Transfer Stage Apparatus - Google Patents

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Abstract

A linear transfer stage apparatus is provided to prevent productivity degradation due to operation abortion by not changing a horizontal position of a work head although a transfer stage is changed due to a long time operation. A stator(S) is fixed to a top surface of a base frame(110). A transfer stage(120) is installed in a top part of the base frame. A mover(M) is fixed to a bottom surface of the transfer stage. A first guide unit(130) is installed in order to guide the transfer stage. A Y direction movable block(140) is installed into a Y direction in order to prevent deformation of the transfer stage. A guide protrusion is formed in a bottom surface of the Y direction movable block, and is inserted to a guide groove which is formed in a top surface of the base frame.

Description

리니어 이송 스테이지 장치{Linear Transfer Stage Apparatus} Linear transfer stage apparatus Linear Transfer Stage Apparatus} {

본 발명은 리니어 모터 구조를 갖는 반도체 제조설비에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 장시간 사용시에도 리니어 모터의 가동자의 과열에 의해 워크 헤드의 수평 작업 위치가 변하지 않도록 이송 스테이지의 구조를 개선한 리니어 이송 스테이지 장치에 관한 것이다. The present invention, more specifically, a long time in the horizontal working position of the work head by the overheating of the mover by improving the structure of the transfer stage linear transfer stage apparatus unchanged the linear motor using a semiconductor fabrication facility with a linear motor structure relate to.

일반적으로 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템은 대부분 회전 운동을 직선 운동으로 변환시키는 동력 전환 장치, 예컨대, 벨트나 볼 스크류(ball screw) 등을 사용하여 직선 방향으로 이동된다. In general, using a rotational force converter which converts the linear motion system using a typical motor is mostly rotational motion into linear motion, for example, a belt or ball screw (ball screw) or the like is moved in a linear direction.

그러나 이러한 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템들은 모터 등에 상기 동력 전환 장치를 추가로 부가한 시스템이어서, 상기 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템의 에너지 효율을 떨어뜨리고, 마찰이나 진동과 같은 2차적인 문제를 야기하는 단점이 있을 수 있다. However, this time the linear motion system using the typical motor are dropped off the energy efficiency of the linear motion system using the rotary motors Then, a system adding further the power conversion device or the like motors, secondary problems, such as friction or vibration, there can be disadvantages that cause.

이에 근래 들어, 리니어 모터를 이용한 직선 운동 시스템이 고정밀도 및 고속을 요구하는 장비들에 적용되고 있다. In recent example, it is a linear motion system using the linear motor applied to the equipment that requires a high-precision and high-speed road.

리니어 모터는 전기적 입력에 대해 직접적으로 직선 운동을 할 수 있어, 회 전 운동을 직선 운동으로 변환시키기 위한 별도의 동력 전환 장치를 필요로 하지 않는다. Linear motor can be a direct linear motion of the electrical input, and does not require a separate power converter for converting a rotation motion into linear motion. 그리고 리니어 모터는 비접촉식 운동 방식으로 직선 운동을 하여 고속 및 저소음으로 작동할 수 있는 장점이 있다. And a linear motor has the advantage of being able to operate at high speed and low noise by a linear movement to movement Contactless way.

도 1은 종래 이송 스테이지 장치를 보인 정면도로서, 과열에 의한 워크 헤드의 변형을 설명하는 도면이다. Figure 1 is a front view showing a conventional transfer stage apparatus, a diagram explaining the deformation of a work head according to overheating.

도 1을 참조하면, 종래 이송 스테이지 장치(10)는 베이스 프레임(11)과, 상기 베이스 프레임(11)에 설치되는 고정자(12)와, 이송 스테이지(13)와, 상기 이송 스테이지(13)에 고정 설치되며 상기 고정자(12)와 대향되어 배치되는 가동자(14)로 구성되어 있다. To 1, the conventional transfer stage apparatus 10 includes a base frame 11, and the stator 12 which are mounted to the base frame 11, a transfer stage 13, and the transport stage 13 fixed installation and consists of a movable element 14 which is disposed opposite to the stator 12. 상기 베이스 프레임(11)과 이송 스테이지(13)의 양쪽 사이에는 이송 안내부(15)가 구비되어 있다. Between both sides of the base frame 11 and the transport stage 13 is provided with a conveying guide (15).

그리고 상기 이송 스테이지(13)의 상부에는 본딩 헤드와 같은 장비를 설치하기 위한 워크 헤드(16)가 고정되어 있다. And a upper part of the work head 16 for installing the equipment, such as a bonding head of the transfer stage 13 is fixed.

전자기력에 의하여 상기 가동자(14)는 상기 고정자(12)에 대하여 슬라이드 되는 구조로 이루어져 있다. The mover 14 by the electromagnetic force is made to be a slide structure relative to the stator 12.

종래 이송 스테이지 장치(10)는 가동자(14)가 반복적인 직선 슬라이드 운동을 진행함에 따라, 상기 고정자의 코일에 인가된 전류에 의해 상기 코일에서 상당히 높은 열이 발생한다. As a conventional transfer stage apparatus 10 advances the movable element 14 is repeatable linear sliding movement, and by the electric current applied to the coil of the stator is considerably high heat generation in the coil. 이러한 과열은 가동자(14) 및 이송 스테이지(13)의 변형을 초래하여, 도 1의 가상 선으로 도시된 바와 같이, 이송 스테이지(13)의 워크헤드(16)의 위치 왜곡을 초래하여 제품의 질을 떨어뜨리는 문제점이 있었다. This overheating of the product resulting in a position distortion of the work head 16 of the mover 14 and the transfer stage, the transport stage 13 as described results in a deformation of 13 and, shown in phantom in Fig. 1 there was a problem dropping quality.

종래에는 과열을 방지하기 위하여 이송 스테이지와 가동자 사이에 공냉식 냉 각장치 또는 수냉식 냉각장치를 설치하는 기술도 제안된바 있었으나, 공냉식 냉각장치를 설치할 경우, 공냉식 냉각장치를 설치하지 않을 때와 비교하여 냉각효율은 30 %정도 밖에는 더 얻지 못하여 매우 비효율적이었다. Conventionally, but proposed a technique to install the air-cooling cooling device or a water-cooled cooling device between the feed stage and a movable bar in order to prevent overheating, when installing the air-cooled chiller system, as compared to when not install the air-cooled chiller system cooling efficiency was a more inefficient mothayeo get outside for about 30%.

또 수냉식 냉각장치를 설치할 경우, 공냉식 냉각장치를 설치할 때보다 냉각효율은 좀더 올라가지만, 별도의 냉각 시스템을 구비해야 하고 누수가 발생할 경우 치명적인 손상을 입을 수 있는 문제점이 있었다. Also, if you install a water-cooled chiller, air-cooled cooling system than to install the cooling efficiency is only better go up, there is a problem that must be provided with a separate cooling system, and may be fatal if there is a leak.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 장시간 운전으로 인하여 이송 스테이가 변형되더라도 워크 헤드의 수평 위치가 변형되지 않기 때문에 제품에 대한 신뢰성을 높일 수 있는 리니어 이송 스테이지 장치를 제공함에 그 목적이 있다. The invention The purpose in designed to, provide a linear transfer stage apparatus which because of the transport due to long time driving the stay is not the horizontal position of the work head deformation even if modifications may improve the reliability of the product in order to solve the above-mentioned problems have.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 리니어 이송 스테이지 장치는 리니어 모터에 의해서 이송 스테이지가 베이스 프레임의 상부에서 X방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지의 슬라이드 이송을 가이드 하도록 상기 이송 스테이지의 양쪽에 제 1 가이드 유닛과 제 2 가이드 유닛이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛과 상기 제 2 가이드 유닛 중에서 상기 제 2 가이드 유닛이 Y방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지의 열 변형을 방지한다. Linear transfer stage apparatus of the present invention to achieve the above object is a feed stage by a linear motor is provided slidably in the X-direction from the upper portion of the base frame, each side of the transfer stage to guide the slide transfer of the transfer stage the first guide is provided with the unit and a second guide unit, the second guide unit from the first guide unit and the second guide unit is flexibly installed in the Y-direction to prevent the thermal deformation of the transfer stage.

본 발명의 일 관점에 따른 리니어 이송 스테이지 장치는 베이스 프레임; Linear transfer stage apparatus in accordance with one aspect of the present invention includes a base frame; 상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자; A stator fixed to the upper surface of the base frame; 상기 베이스 프레임 상부에 X방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지; Transfer stage can be installed in the X-direction sliding movement to the base frame the top; 상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자; The mover is secured to a lower surface of the transfer stage; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛; A first guide unit to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage is provided between the one side end portion of the base frame, the one side end portion of the feeding stage; 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 Y 방향 으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭; The Y-direction movable slide block is moved in the Y direction for the strain relief of the base frame of the other side end portion and the transfer stage between the other side end portion of the feeding stage; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함한다. And a second guide unit that is provided between the Y-direction movable unit, and the other side end portion of the transfer stages to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stages.

상기 Y방향 가동 블럭의 하면에 형성된 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 상면에 형성된 가이드 홈에 삽입된다. Guide protrusions formed on the lower surface of the Y direction of the movable block are inserted into the guide groove formed on the upper surface of the base frame.

상기 제 1 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; Fixed blocks the first guide unit has a guide groove that is fixed to the transfer stage; 및 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 베이스 프레임에 고정되는 가이드 돌기로 구성된다. And is inserted into the guide groove consists of a guide projection that is secured to the base frame.

상기 제 2 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; It said second guide unit fixed block has a guide groove that is fixed to the transfer stage; 및 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 Y 방향 가동 블럭에 고정되는 가이드 돌기로 구성된다. And inserted into the guide groove and is composed of a guide projection that is secured to the Y direction of the movable block.

본 발명의 다른 관점에 따른 리니어 이송 스테이지 장치는 베이스 프레임; Linear transfer stage apparatus according to the present invention of the base frame; 상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자; A stator fixed to the upper surface of the base frame; 상기 베이스 프레임 상부에 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지; Transfer stage can be installed in the X-direction sliding movement to the base frame the top; 상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자; The mover is secured to a lower surface of the transfer stage; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛; A first guide unit to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage is provided between the one side end portion of the base frame, the one side end portion of the feeding stage; 상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 Y 방향으로 슬라이드 이동되게 설치되는 Y 방향 가동 블럭; Y direction movable block for strain relief of the conveyance stage that is installed to be slid in the Y-direction between the other side end portion of the other side end portion and the transfer stage of the base frame; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스 테이지의 타 측 끝단 하부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함하되, 상기 Y 방향 가동 블럭이 2단 구조로 구성된다. In the Y-direction movable unit, comprising: a second guide unit that is provided between the other side end of the lower portion of the transfer the Stage, it is the Y-direction movable block two-stage structure so as to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stages It is configured.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 리니어 모터 구동시 발생하는 과열로 인하여 가동자 및 이송 스테이지가 변형되더라도 워크 헤드의 작업 위치가 변형되지 않아 제품의 질 저하를 효과적으로 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention does not work position of the work head is deformed even if the deformation and the movable conveying stage due to the overheating occurring in the linear motor drive can be prevented the deterioration of the product effectively.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다. Turning to the preferred embodiment described below, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as follows.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 이송 스테이지 장치를 보인 측면도이며, 도 4는 도 2의 I-I'선 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 가이드 돌기의 변형 예를 보인 종단면도이다. Figure 2 is a front view showing a transfer stage apparatus in accordance with one embodiment of the present invention, Figure 3 is a side view showing the transfer stage apparatus shown in Figure 2, Figure 4 is a I-I 'line cross-sectional view of FIG. 2, FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the guide projection shown in Fig.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)는 리니어 모터 구조에 의해서 이송 스테이지(120)가 베이스 프레임(110)의 상부에서 X 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지(120)의 슬라이드 이송을 가이드 하도록 상기 이송 스테이지(120)의 양쪽에 제 1 가이드 유닛(130)과 제 2 가이드 유닛(150)이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛(130)과 상기 제 2 가이드 유닛(150) 중에서 상기 제 2 가이드 유닛(150)이 Y 방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지(120)의 열 변형을 방지하는 구조로 이루어져 있다. Figures 2 to 4, the linear transfer stage apparatus 100 in accordance with one embodiment of the present invention, the transfer stage 120 by a linear motor structure slidably in the X-direction from the upper portion of the base frame 110, installed and, and the first guide unit 130 and the second guide unit 150 is provided on each side of the transfer stage 120 adapted to guide the sliding transfer of the transfer stage 120, the first guide unit (130 ) and wherein the second guide consists of a second guide unit 150 from the unit 150 is movable in the Y direction possibly installation structure for preventing thermal deformation of the transfer stage 120.

좀더 상세하게는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)는 베이스 프레임(110)을 구비한다. More specifically, the linear stage transfer unit 100 in accordance with one embodiment of the present invention comprises a base frame (110).

상기 베이스 프레임(110) 상면에는 리니어 모터의 고정자(S)가 고정되어 있다. Upper surface of the base frame 110 has a stator (S) of the linear motor is fixed.

상기 베이스 프레임(110) 상부에는 이송 스테이지(120)가 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있다. The base frame 110, the transfer stage 120, the upper is provided slidably in the X-direction. 상기 이송 스테이지(120)의 하면에는 리니어 모터의 가동자(M)가 고정되어 있다. When the transfer stage 120 has a movable element (M) of the linear motor it is fixed.

상기 이송 스테이지(120)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임(110)의 일 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(120)의 일 측 끝단 부 사이에 제 1 가이드 유닛(130)이 설치되어 있다. The first guide unit 130 is between the one side end portion of the one side end portion and the transfer stage 120 of the base frame 110 to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage 120 are installed have.

상기 제 1 가이드 유닛(130)은 가이드 홈(132)을 가지며 상기 이송 스테이지(120)에 고정되는 고정 블럭(131)을 구비한다. And the first guide unit 130 is provided with a fixed block 131 fixed to the transfer stage 120 has a guide groove (132). 상기 베이스 프레임(110)에는 가이드 돌기(133)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(113)는 상기 가이드 홈(132)에 삽입되어 있다. The base frame 110 is fixed a guide projection 133, the guide protrusion 113 is inserted into the guide groove (132).

상기 베이스 프레임(110)의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(120)의 타 측 끝단 부 사이에는 상기 이송 스테이지(120)의 변형 방지를 위해 Y 방향으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭(140)이 설치되어 있다. The other side end portion and the other side end portion, the Y direction, the movable block 140 is slid in the Y direction for the strain relief of the conveyance stage 120 between the transfer stage 120 of the base frame 110 is there is installed.

상기 Y 방향 가동 블럭(140)의 하면에 형성된 가이드 돌기(141)는 상기 베이스 프레임(110)의 상면에 형성된 가이드 홈(142)에 삽입되어 있다. The guide protrusion 141 formed on a bottom surface of the Y direction of the movable block 140 is inserted into the guide groove 142 formed on the upper surface of the base frame (110).

상기 가이드 돌기(141)가 상기 가이드 홈(142)에 삽입된 상태를 유지하여, 상기 Y 방향 가동 블럭(140)이 Y 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되는 것이다. The guide protrusion 141 is to maintain a state inserted in the guide groove 142, to the Y direction movable block 140 which is slidably moved in the Y direction.

상기 가이드 돌기(141) 및 상기 가이드 홈(142)은 설계 조건에 따라 여러 가지 형상으로 구성될 수 있는바, 도 4에 도시된 더브 테일 형상뿐만 아니라 도 5에 도시된 직사각 형상으로도 가능하다. The guide protrusion 141 and the guide groove 142 is also available in a rectangular shape shown in Figure 5 as well as the dovetail shape shown in a bar, Fig. 4 that it can be configured into various shapes according to the design conditions.

상기 이송 스테이지(120)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛(140)과 상기 이송 스테이지(120)의 타 측 끝단 부 사이에는 제 2 가이드 유닛(150)이 설치되어 있다. Between the other side end portion of the transfer stage 120 and the Y-direction moving unit 140 to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage 120 has a second guide unit 150 is provided.

상기 제 2 가이드 유닛(150)은 가이드 홈(152)을 가지며 상기 이송 스테이지(120)에 고정되는 고정 블럭(151)을 구비한다. The second guide unit 150 is provided with a fixed block 151 fixed to the transfer stage 120 has a guide groove (152). 상기 베이스 프레임(110)에는 가이드 돌기(153)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(153)는 상기 가이드 홈(152)에 삽입되어 있다. The base frame 110 is fixed a guide projection 153, the guide protrusion 153 is inserted into the guide groove 152.

이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치 작동을 설명하면 다음과 같다. Referring to the linear traverse stage device operating according to one embodiment of the present invention constructed in this manner as follows.

전원이 인가되면, 리니어 모터의 고정자(S)와 가동자(M)의 전자기력 작용에 의하여 상기 가동자(M)는 추진력을 받는다. When power is applied, the movable element by the electromagnetic force acting on the stator (S) and the moving element (M) of the linear motor (M) is subjected to the driving force.

이때 상기 가동자(M)가 고정 설치된 이송 스테이지(120)는 상기 제 1 가이드 유닛(130) 및 상기 제 2 가이드 유닛(150)에 의해서 X 방향으로 슬라이드 이동될 수 있다. The transport stage 120 the mover (M) is installed the fixed slide may be moved in the X direction by the first guide unit 130 and the second guide unit (150).

통상, 칩마운터와 같은 장비에 채택되는 리니어 이송 스테이지 장치는 장시 간 운전시에 고온의 열이 발생할 수 있고, 이러한 열 팽창으로 인하여 이송 스테이지의 수평 위치가 변형될 수 있다. Linear transfer stage apparatus is employed in such devices and conventional chip mounter may result in a high-temperature heat during operation for a long period, it is due to this thermal expansion of the horizontal position of the transfer stage can be modified.

이송 스테이지의 수평 위치가 변경될 경우, 이송 스테이지에 장착된 작업 헤드의 수평 위치도 변경되어 정밀 운전이 어렵게 되는 것이다. If a change has been made to the horizontal position of the transfer stage, is also change the horizontal position of the work head mounted on the transfer stage will be the precision driving difficult.

따라서 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)에서는 이송 스테이지(120)의 수평 위치 변경에 따른 작업 헤드(16)의 수평 위치 변경을 방지하기 위하여, 장시간 운전으로 인하여 이송 스테이지(120)가 Y 방향으로 변형되더라도, Y 방향 가동 블럭(140)이 Y 방향으로 움직이게 되기 때문에, 이송 스테이지(120)의 수평 위치 변경을 효과적으로 방지할 수 있다. Therefore, in order to prevent changes horizontal position of the linear transfer stage apparatus 100 in the transfer stage working head 16 according to change the horizontal position of 120, according to one embodiment of the present invention, due to the long time driving transfer stage (120 ), even if the deformation in the Y direction, because the Y-direction movable block 140 is moved in the Y direction, it is possible to effectively prevent changes horizontal position of the transfer stage 120.

한편, 도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도이고 도 7은 도 6에 도시된 이송 스테이지 장치의 측면도이다. On the other hand, Figure 6 is a side view of the transfer stage apparatus as shown in a front view showing a transfer stage apparatus in accordance with another embodiment of the present invention Figure 7 is Fig.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(200)는 베이스 프레임(210)을 구비한다. 6 and 7, the linear traverse stage device 200 in accordance with another embodiment of the present invention comprises a base frame (210).

상기 베이스 프레임(210) 상면에는 리니어 모터의 고정자(S)가 고정되어 있다. Upper surface of the base frame 210 has a stator (S) of the linear motor is fixed.

상기 베이스 프레임(210) 상부에는 이송 스테이지(220)가 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있다. The base frame 210, the transfer stage 220, the upper is provided slidably in the X-direction.

상기 이송 스테이지(220)의 하면에는 리니어 모터의 가동자(M)가 고정되어 있다. When the transfer stage 220 has a movable element (M) of the linear motor it is fixed.

상기 이송 스테이지(220)의 X방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임(210)의 일 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(220)의 일 측 끝단 부 사이에 제 1 가이드 유닛(230)이 설치되어 있다. The first guide unit 230 between one side end of the one side end portion and the transfer stage 220 of the base frame 210 to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage 220 are installed have.

상기 제 1 가이드 유닛(230)은 가이드 홈(232)을 가지며 상기 이송 스테이지(220)에 고정되는 고정 블럭(231)을 구비한다. And the first guide unit 230 is provided with a fixed block 231 fixed to the transfer stage 220 has a guide groove (232). 상기 베이스 프레임(210)에는 가이드 돌기(233)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(233)는 상기 가이드 홈(232)에 삽입되어 있다. The base frame 210 is fixed to the guide protrusion 233. The guide protrusion 233 is inserted into the guide groove (232).

상기 베이스 프레임(210)의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(220)의 타 측 끝단 부 사이에는 상기 이송 스테이지(220)의 변형 방지를 위해 Y 방향으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 설치되어 있다. The other side end portion and the transfer stage 220, the other side end portion, the Y movable block 240, the direction in which the slide moves in the Y direction for the strain relief of the conveyance stage 220 between the base frame 210 ( 240 ') are provided.

상기 이송 스테이지(220)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')과 상기 이송 스테이지(220)의 타 측 끝단 부 사이에는 제 2 가이드 유닛(250)이 설치되어 있다. In the second guide unit 250 is installed between the other side end portion of the Y direction of the movable block 240, 240 'and the transport stage 220 so as to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage 220 It is.

상기 제 2 가이드 유닛(250)도 가이드 홈(252)을 가지며 상기 이송 스테이지(220)에 고정되는 고정 블럭(252)을 구비한다. The second guide unit 250 is also provided with a fixed block 252 fixed to the transfer stage 220 has a guide groove (252). 상기 베이스 프레임(210)에는 가이드 돌기(253)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(253)는 상기 가이드 홈(252)에 삽입되어 있다. The base frame 210 is fixed to the guide protrusion 253. The guide protrusion 253 is inserted into the guide groove (252).

상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')의 하면에 형성된 가이드 돌기(241)는 상기 베이스 프레임(210)의 상면에 형성된 가이드 홈(242)에 삽입되어 있다. The guide protrusion 241 formed on the lower surface of the Y direction of the movable block 240, 240 'is inserted into the guide groove 242 formed on the upper surface of the base frame (210).

상기 가이드 돌기(241)가 상기 가이드 홈(242)에 삽입된 상태를 유지하여, 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 Y방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되는 것이 다. It is that the guide protrusion 241 is to maintain a state inserted in the guide groove 242, the Y direction, the movable blocks 240, 240 'which are slidably moved in the Y direction. 여기서, 상기 Y방향 가동 블럭(240)(240')은 다단, 예를 들어 2단 구조로 나누어져 구성되어 있다. Here, the Y direction, the movable blocks 240, 240 'is, for multi-stage, for example, is composed is divided into a two-stage structure.

이와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치의 작동은 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치의 작동과 거의 동일 하므로, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. Thus configured, because the operation of the linear transfer stage apparatus in accordance with another embodiment of the present invention is substantially the same as the operation of the linear transfer stage apparatus in accordance with one embodiment, the detailed description thereof will be omitted.

다만, 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 2단 구조로 구성되기 때문에 하나의 Y 방향 가동 블럭(240)이 고장 나더라도 나머지 Y 방향 가동 블럭(240')이 작동하기 때문에 운전 중단으로 인한 생산성 저하를 사전에 방지할 수 있다. However, the Y direction, the movable blocks 240, 240 'stops operation because a Y-direction movable block 240 is broken nadeora the remaining Y-direction movable block (240 because it is configured as a two-stage structure ") is operating it is possible to prevent a decrease in productivity due to the advance.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형 가능함은 물론이다. As described above, the invention has been shown and described with respect to preferred embodiments of the invention, those skilled in the art various modifications are possible within limits that do not depart from the scope of the present invention as a matter of course.

따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. Therefore, the scope of the invention limited to the described embodiments are jeonghaejyeoseo should not, as well as the claims below, should be defined by the claims and their equivalents.

도 1은 종래 이송 스테이지 장치의 워크 헤드의 변형을 설명하는 정면도 1 is a front view illustrating a modification of a work head of a conventional transfer stage apparatus

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도 2 is a front view showing a transfer stage apparatus in accordance with one embodiment of the present invention

도 3은 도 2에 도시된 이송 스테이지 장치를 보인 측면도 3 is a side view showing the transfer stage apparatus shown in Fig.

도 4는 도 2의 I-I'선 단면도 4 is a I-I 'line cross-sectional view of Figure 2

도 5는 도 4에 도시된 가이드 돌기의 변형 예를 보인 종단면도 Figure 5 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the guide projection shown in Figure 4

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도 Figure 6 is a front view showing a transfer stage apparatus in accordance with another embodiment of the present invention

도 7은 도 6에 도시된 이송 스테이지 장치의 측면도 Figure 7 is a side view of the transfer stage apparatus shown in Figure 6

* 주요부분에 대한 도면부호 * Reference numerals for main parts

110: 베이스 프레임 110: a base frame

120: 이송 스테이지 120: Feed Stage

130: 제 1 가이드 유닛 130: a first guide unit

131: 고정 블럭 131: fixed block

132: 가이드 홈 132: guide groove

133: 가이드 돌기 133: guide projection

S: 리니어 모터의 고정자 S: stator of the linear motor

M: 리니어 모터의 가동자 M: linear motor mover

140: Y 방향 가동 블럭 140: Y direction movable block

141: 가이드 돌기 141: guide projection

142: 가이드 홈 142: guide groove

150: 제 2 가이드 유닛 150: second guide unit

151: 고정 블럭 151: fixed block

152: 가이드 홈 152: Guide home

153: 가이드 돌기 153: guide projection

210: 베이스 프레임 210: The base frame

220: 이송 스테이지 220: Feed Stage

230: 제 1 가이드 유닛 230: a first guide unit

240: Y 방향 가동 블럭 240: Y direction movable block

241: 가이드 돌기 241: guide projection

242: 가이드 홈 242: Guide home

250,250': 제 2 가이드 유닛 250 250 ': second guide unit

251: 고정 블럭 251: fixed block

252: 가이드 홈 252: Guide home

253: 가이드 돌기 253: guide projection

Claims (6)

  1. 베이스 프레임; A base frame;
    상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자; A stator fixed to the upper surface of the base frame;
    상기 베이스 프레임 상부에 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지; Transfer stage can be installed in the X-direction sliding movement to the base frame the top;
    상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자; The mover is secured to a lower surface of the transfer stage;
    상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛; A first guide unit to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stage is provided between the one side end portion of the base frame, the one side end portion of the feeding stage;
    상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 Y 방향으로 슬라이드 이동되게 설치되는 Y 방향 가동 블럭; Y direction movable block for strain relief of the conveyance stage that is installed to be slid in the Y-direction between the other side end portion of the other side end portion and the transfer stage of the base frame; And
    상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함하는 리니어 이송 스테이지 장치. Linear transfer stage apparatus and a second guide unit that is provided between the Y-direction movable unit, and the other side end portion of the transfer stages to guide the sliding movement in the X direction of the transfer stages.
  2. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 Y 방향 가동 블럭의 하면에 형성된 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 상면에 형성된 가이드 홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치. Guide protrusions formed on the lower surface of the Y direction of the movable block is a linear transfer stage apparatus which is characterized in that inserted into the guide groove formed on the upper surface of the base frame.
  3. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제 1 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; Fixed blocks the first guide unit has a guide groove that is fixed to the transfer stage; And
    상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 베이스 프레임에 고정되는 가이드 돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치. Is inserted into the guide grooves linear transfer stage apparatus characterized in that the guide consists of a projection which is fixed to the base frame.
  4. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제 2 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; It said second guide unit fixed block has a guide groove that is fixed to the transfer stage; And
    상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 Y 방향 가동 블럭에 고정되는 가이드 돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치. Is inserted into the guide grooves linear transfer stage apparatus characterized in that the guide consists of a projection fixed to the Y direction of the movable block.
  5. 제 1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 Y 방향 가동 블럭은 2단 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치. The Y-direction movable block linear transfer stage apparatus, characterized in that consisting of a two-stage structure.
  6. 리니어 모터에 의해서 이송 스테이지가 베이스 프레임의 상부에서 X 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지의 슬라이드 이송을 가이드 하 도록 상기 이송 스테이지의 양쪽에 제 1 가이드 유닛과 제 2 가이드 유닛이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛과 상기 제 2 가이드 유닛 중에서 상기 제 2 가이드 유닛이 Y 방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지의 열 변형을 방지하는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치. The feed stage by a linear motor is provided slidably in the X-direction from the upper portion of the base frame, and the equipped with a first guide unit and a second guide unit on both sides of the transfer stage so that to guide the slide transfer of the transfer stage, linear transfer stage apparatus wherein the second guide unit from the first guide unit and the second guide unit is flexibly installed in the Y-direction, characterized in that for preventing the thermal deformation of the transfer stage.
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