KR20090035890A - 기판 척킹 장치 - Google Patents

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KR20090035890A
KR20090035890A KR1020070100919A KR20070100919A KR20090035890A KR 20090035890 A KR20090035890 A KR 20090035890A KR 1020070100919 A KR1020070100919 A KR 1020070100919A KR 20070100919 A KR20070100919 A KR 20070100919A KR 20090035890 A KR20090035890 A KR 20090035890A
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안기철
이석태
장정원
노일호
권오성
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 척킹 장치는 제1 플레이트, 제1 플레이트 상에 배치되고, 상호 평행하게 복수의 홈이 형성된 제2 플레이트 및 제1 플레이트 상에 상기 홈들 내부에 배치되고, 반데르발스 힘을 이용하여 기판을 척킹하는 섬모 부재들을 포함한다. 따라서 섬모 부재들은 기판을 정확한 위치에서 척킹하고 디척킹한다.

Description

기판 척킹 장치{APPARATUS FOR CHUCKING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 척킹 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 기판을 이송하거나 기판을 처리하는 공정에 있어서 기판을 에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 또는 액정 표시 패널들의 전자 소자들의 제조 공정들은 웨이퍼 또는 유리 기판 상에 복수의 회로 소자를 형성함으로써 제조된다.
상기 회로 소자를 형성하는 공정 중 웨이퍼 또는 유리 기판을 이송할 때 상기 웨이퍼 또는 유리 기판을 척킹하는 기판 척킹 장치가 이용되고 있다. 상기 기판 척킹 장치의 예로서, 진공 척 및 정전 척 등이 이용되고 있다. 진공을 이용하여 유리 기판을 척킹하는 진공 척은 척킹 판의 관통홀과 그 주위로 흡입되는 인력이 집중되어 유리 기판등을 국부적으로 잡아 당기게 되며 결과적으로 유리 기판 등이 오정렬될 수 있다. 따라서, 근래에는 정전기적 인력을 이용하여 기판을 척킹하는 정전 척이 이용되고 있다.
상기 정전척은 정전기력을 이용하여 반도체 기판을 흡착하며, 반도체 기판은 상기 플라즈마 가스에 의해 처리된다. 상기 플라즈마 가스는 상기 상부 전극에 인가된 RF 파워에 의해 형성되며, 상기 정전척에는 상기 플라즈마 가스의 거동을 조절하기 위한 바이어스 파워가 인가된다. 이와 반대로, 상기 정전척에 플라즈마 생성을 위한 RF 파워가 인가될 수도 있다.
하지만, 상기 정전 척은 부하의 비균일에 관한 문제, 불충분한 부하 발생 능력 및 척킹과 척킹 해제에 소요되는 시간의 비효율성의 문제 등이 있다. 특히, 유리 기판의 대형화 추세에 따라 유리 기판이 처지는 문제가 발생하여 유리 기판의 오정렬 문제가 발생하고 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 기판의 처짐을 억제하여 기판의 정렬 문제를 개선할 수 있는 기판 척킹 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 기판 척킹 장치는 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트 상에 배치되고, 상호 평행하게 복수의 홈이 형성된 제2 플레이트 및 상기 제1 플레이트 상에 상기 홈들 내부에 배치되고, 반데르발스 힘을 이용하여 상기 기판을 척킹하는 섬모 부재들을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 섬모 부재들은 상기 제1 플레이트의 중심선을 기준으로 상기 기판의 표면에 대하여 선대칭하게 기울어진 것을 특징으로 하는 기판 척킹 장치.
이러한 본 발명에 따른 기판 척킹 장치에 따르면, 섬모 부재들이 기판과 접촉하여 기판을 척킹 또는 디척킹함으로써 기판의 휨을 방지할 수 있고 안전하게 기판을 이송할 수 있다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 척킹 장치에 대해 상 세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 척킹 장치를 설명하기 위한 사시도 이다. 도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 척킹 장치(100)는 제1 플레이트(110), 제2 플레이트(120) 및 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)을 포함한다.
제1 플레이트(110)는 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)을 지지한다. 제1 플레이트(110)는 예를 들면, 알루미늄으로 이루어 질 수 있다. 제1 플레이트(110)는, 예를 들면, 직사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.
제2 플레이트(120)는 제1 플레이트(110)` 상에 배치된다. 제2 플레이트(120)는 제1 플레이트(110)보다 넓은 면적을 가질 수 있다. 제2 플레이트(120)는 기판을 이송하는 이송 유닛(미도시)과 연결될 수 있다. 상기 이송 유닛은 롤러 및 상기 롤러를 구동하는 구동부를 포함할 수 있다. 상기 롤러는 제2 플레이트(120)의 주변부와 접촉하여 기판의 이송 방향을 따라 제2 플레이트(120)를 이동시킨다. 따라서 상기 이송 유닛은 제1 플레이트(110)에 부착된 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)에 척킹된 기판을 이송한다.
제2 플레이트(120)에는 후술하는 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)을 수용하는 수용 홈이 형성된다. 수용 홈의 형상 및 수량은 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)의 배치 형태 및 수량에 의하여 결정된다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 네 개의 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)이 스트라이프 형상으로 배열될 경우 상기 수용 홈 또한, 네 개가 스트라이프 형상으로 형성된다.
제2 플레이트(120)는 제1 플레이트와 면접하는 제1 면 및 상기 제1 면에 반 대되는 제2 면을 가진다. 제2 플레이트(120)의 제2 면은 기판의 평판도를 향상시키기 위하여 기준면의 역할을 할 수 있다. 따라서 제2 플레이트(120)의 상기 제2 면은 균일한 평탄도를 가지도록 제작함이 바람직하다.
복수의 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 기판의 이송 방향에 대하여 실질적으로 수직한 방향으로 상호 평행하게 배열된다. 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 각각 스트라이프 형상으로 배열될 수 있다. 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 기판간의 부착력을 확보하기 위하여 섬모들의 주변에 형성된 반데르발스의 상호 작용력이 이용될 수 있다. 척킹과 척킹 해제 동작 중간에 부착력을 감소시키거나 제거할 필요가 있을 수 있다. 예를 들면 전기력 또는 정전기력을 이용하여 반데르발스 힘을 방해하여 상기 부착력을 감소시키거나 제거할 수 있다.
섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 각각 복수의 섬모들을 포함한다. 섬모들로 이루어진 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 섬모의 모양, 크기 및 상대적 위치와 반데르발스 힘을 근거로 기판에 대한 부착력을 확보할 수 있다. 상기 섬모들의 각 직경의 나노 사이즈를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 상기 제1 플레이트(110)의 중심선을 기준으로 상기 기판의 표면에 대하여 선대칭하게 기울어진 섬모들을 포함한다. 예를 들면, 섬모 부재들(131, 132)은 제1 플레이트의 중심선을 기준 방향으로 양의 각도인 제1 각도로 배열된 섬모들을 포함하고, 섬모 부재들(133, 144)은 상기 제1 각도에 대하여 선대칭으로 음의 각도인 제2 각도로 배열된 섬모들을 포함한다. 따라서, 섬모 부재들(131, 132) 및 섬모 부재들(133, 144)은 기판을 부착하교 상호 대칭되는 섬모의 배열 각도를 가짐에 따라 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)이 기판을 상승시킬 수 있다. 따라서 섬모 부재들(131, 132, 133, 144)은 기판을 척킹하게 된다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이와 같은 본 발명의 기판 척킹 장치에 따르면, 섬모 부재가 기판을 안전하게 척킹 또는 디척킹하여 기판의 휨을 방지함으로써 기판의 오정렬이 억제된다. 상기 기판 척킹 장치는 유리 기판을 이용하여 평판 표시 패널의 제조 공정에 이용될 수 있다. 또한, 기판 척킹 장치는 웨이퍼를 척킹 또는 디척킹하여 반도체 소자를 제조하는 공정에도 적용될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 척킹 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 기판 척킹 장치 110 : 제1 플레이트
120 : 제2 플레이트 131, 132, 133, 134 : 섬모 부재들

Claims (2)

  1. 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트 상에 배치되고, 상호 평행하게 복수의 홈이 형성된 제2 플레이트; 및
    상기 제1 플레이트 상에 상기 홈들 내부에 배치되고, 반데르발스 힘을 이용하여 상기 기판을 척킹하는 섬모 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 척킹 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 섬모 부재들은 상기 제1 플레이트의 중심선을 기준으로 상기 기판의 표면에 대하여 선대칭하게 기울어진 것을 특징으로 하는 기판 척킹 장치.
KR1020070100919A 2007-10-08 2007-10-08 기판 척킹 장치 KR20090035890A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101329980B1 (ko) * 2011-06-08 2013-11-13 주식회사 피엠티 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 복합형 척

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