KR20080110744A - Texture material measuring device and texture material measuring method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 재료 내에서 발생한 초음파 진동을 계측함에 의해 그 재료를 평가하는 조직 재질 측정 장치 및 조직 재질 측정 방법에 관한 것으로, 특히, 초음파 진동 계측에 의한 금속재료의 조직 재질 측정에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
철강 재료의 조직 재질에는, 기계적 성질이라고 불리는 강도나 연성이 있고, 이들의 기계적 성질은, 일반적으로 인장시험 등의 각종 시험에 의해 계측된다. 또한, 이들 철강 재료의 기계적 성질은 결정 입경(粒徑) 등의 금속 조직에 관계가 있기 때문에, 결정 입경 등의 금속 조직을 파악함에 의해서도 상기 기계적 성질을 산출할 수 있다. 그러나, 종래의 상기 각종 시험이나 결정 입경의 계측에서는, 시험편의 잘라냄, 연마, 현미경 관찰 등의 많은 공정을 필요로 하고, 각 공정에서 많은 수고와 시간이 필요하게 되어 있다. 이 때문에, 전부터 비파괴로 결정 입경을 계측하는 것이 강하게 요망되고 있고, 최근에는 비파괴로 결정 입경의 계측을 행하는 방법의 하나로서, 초음파 진동을 이용하는 방법이 제안되어 있다.The structure material of steel materials has strength and ductility called mechanical properties, and these mechanical properties are generally measured by various tests, such as a tensile test. In addition, since the mechanical properties of these steel materials are related to metal structures such as grain size, the mechanical properties can be calculated by grasping metal structures such as grain size. However, in the aforementioned various tests and measurement of the crystal grain size, many steps such as cutting, polishing, and microscopic observation of the test piece are required, and much effort and time are required in each step. For this reason, it is strongly desired to measure the crystal grain size non-destructively from the past, and in recent years, the method of using ultrasonic vibration is proposed as one of the methods of measuring the crystal grain size non-destructively.
또한, 결정 입경의 계측을 비파괴로 행하는 종래 기술로서, Nd-YAG 레이저 등의 초음파 발진기로부터 피측정재의 일측 표면에 펄스 레이저광을 조사시켜서, 피측정재의 타측 표면을 진동 변위시킴과 함께, 호모다인 간섭계 등의 초음파 검출기에 의해 상기 피측정재의 타측 표면에 생긴 진동 변위를 검출하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 또한, 도 10은 종래의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 구성도이고, 상기 종래 기술을 모식적으로 나타낸 것이다.In addition, as a conventional technique for non-destructive measurement of the crystal grain size, a pulsed laser beam is irradiated to one surface of the material under measurement from an ultrasonic oscillator such as an Nd-YAG laser, thereby vibrating displacement of the other surface of the material under measurement and homodyne. It is proposed to detect the vibration displacement which occurred on the other surface of the said to-be-measured material by the ultrasonic detectors, such as an interferometer (for example, refer patent document 1). 10 is a block diagram showing a conventional tissue material measuring apparatus, and schematically shows the conventional technique.
특허 문헌 1 : 일본 특허 제3184368호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3184368
특허 문헌 1 기재의 것은, 다양한 측정 대상을 상정한 것이 아니고, 피측정재의 상태에 의해서는, 결정 입경의 해석에 적합하지 않은 경우가 있다. 특히, 초음파 검출기에 대향하는 피측정재의 타측 표면에 산화 피막이 붙어 있는 경우에는, 초음파 검출기로의 되돌아오는 광량이 적어서, 충분한 결정 입경의 해석을 실시할 수 없다는 문제가 있다.The thing of
본 발명은, 상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 피측정재의 표면에 붙은 산화 피막을 제거함에 의해, 비파괴로의 결정 입경의 계측을 확실하게 실시할 수 있는 조직 재질 측정 장치 및 조직 재질 측정 방법을 제공하는 것이다.This invention is made | formed in order to solve the subject as mentioned above, The objective is the measurement of the tissue material which can reliably measure the crystal grain diameter to nondestructive by removing the oxide film adhering to the surface of the to-be-measured material. It is to provide a method for measuring the device and tissue material.
본 발명에 관한 조직 재질 측정 장치는, 압연 제품의 일측 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면에 초음파 진동을 발생시키는 초음파 발진기와, 압연 제품의 타측 표면에 레이저광을 조사하고, 압연 제품의 타측 표면으로부터의 반사광을 수광함에 의해, 압연 제품의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 검출하는 초음파 검출기와, 초음파 검출기에 의한 검출 결과에 의거하여, 압연 제품의 결정 입경을 산출하는 입경 산출 수단과, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 조사되는 레이저광의 조사 위치에, 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거하는 표면 제거 장치를 구비한 것이다.The tissue material measuring apparatus which concerns on this invention irradiates a laser beam to the surface of one side of a rolled product, the ultrasonic oscillator which generate | occur | produces ultrasonic vibration to the other surface of a rolled product, and irradiates a laser beam to the other surface of a rolled product, and rolls An ultrasonic detector for detecting the ultrasonic vibration generated on the other surface of the rolled product by receiving the reflected light from the other surface of the product, and particle size calculating means for calculating the crystal grain size of the rolled product based on the detection result by the ultrasonic detector; The surface removal apparatus which irradiates a laser beam to the irradiation position of the laser beam irradiated to the other surface of a rolled product from an ultrasonic detector, and removes the oxide film of the other surface of a rolled product is provided.
또한, 본 발명에 관한 조직 재질 측정 방법은, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 조사되는 레이저광의 조사 위치에, 표면 제거 장치로부터 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거하는 스텝과, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거한 후, 초음파 발진기로부터 압연 제품의 일측 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면에 초음파 진동을 발생시키는 스텝과, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 레이저광을 조사하고, 압연 제품의 타측 표면으로부터의 반사광을 초음파 검출기에 의해 수광함에 의해, 압연 제품의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 검출하는 스텝과, 초음파 검출기에 의한 검출 결과에 의거하여, 압연 제품의 결정 입경을 산출하는 스텝을 구비한 것이다.Moreover, the tissue material measuring method which concerns on this invention irradiates a laser beam from a surface removal apparatus to the irradiation position of the laser beam irradiated to the other surface of a rolled product from an ultrasonic detector, and removes the oxide film of the other surface of a rolled product. Removing the oxide film on the other surface of the rolled product, and irradiating a laser beam to one surface of the rolled product from an ultrasonic oscillator to generate ultrasonic vibrations on the other surface of the rolled product; By irradiating the laser light to the other surface and receiving the reflected light from the other surface of the rolled product by the ultrasonic detector, the step of detecting the ultrasonic vibration generated on the other surface of the rolled product and the detection result by the ultrasonic detector And calculating the grain size of the rolled product.
본 발명은, 압연 제품의 일측 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면에 초음파 진동을 발생시키는 초음파 발진기와, 압연 제품의 타측 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면으로부터의 반사광을 수광함에 의해, 압연 제품의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 검출하는 초음파 검출기와, 초음파 검출기에 의한 검출 결과에 의거하여, 압연 제품의 결정 입경을 산출하는 입경 산출 수단과, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 조사되는 레이저광의 조사 위치에, 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거하는 표면 제거 장치를 구비하는 구성으로 함으로써, 피측정재의 표면에 붙은 산화 피막을 제거하여, 비파괴로의 결정 입경의 계측을 확실하게 실시할 수 있다.The present invention provides an ultrasonic oscillator for irradiating a laser beam to one surface of a rolled product, generating an ultrasonic vibration on the other surface of the rolled product, and irradiating a laser beam to the other surface of the rolled product, An ultrasonic detector for detecting the ultrasonic vibration generated on the other surface of the rolled product by receiving the reflected light, a particle size calculating means for calculating the crystal grain size of the rolled product based on the detection result by the ultrasonic detector, and the rolled product from the ultrasonic detector By providing a surface removal apparatus which irradiates a laser beam to the irradiation position of the laser beam irradiated to the other surface of the structure, and removes the oxide film of the other surface of a rolled product, the oxide film adhering to the surface of the to-be-measured material is removed, In this way, it is possible to reliably measure the grain size of the non-destructive furnace.
마찬가지로, 본 발명은, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 조사되는 레이저광의 조사 위치에, 표면 제거 장치로부터 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거하는 스텝과, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거한 후, 초음파 발진기로부터 압연 제품의 일측 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면에 초음파 진동을 발생시키는 스텝과, 초음파 검출기로부터 압연 제품의 타측 표면에 레이저광을 조사하고, 압연 제품의 타측 표면으로부터의 반사광을 초음파 검출기에 의해 수광함에 의해, 압연 제품의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 검출하는 스텝과, 초음파 검출기에 의한 검출 결과에 의거하여, 압연 제품의 결정 입경을 산출하는 스텝을 구비하는 구성으로 함으로써, 피측정재의 표면에 붙은 산화 피막을 제거하여, 비파괴로의 결정 입경의 계측을 확실하게 실시할 수 있다.Similarly, this invention irradiates a laser beam from a surface removal apparatus to the irradiation position of the laser beam irradiated to the other surface of a rolled product from an ultrasonic detector, and removes the oxide film of the other surface of a rolled product, and After removing the oxide film on the other side, the step of irradiating the laser beam to one surface of the rolled product from the ultrasonic oscillator to generate ultrasonic vibration on the other surface of the rolled product, and the laser beam to the other surface of the rolled product from the ultrasonic detector Irradiating and receiving the reflected light from the other surface of the rolled product with an ultrasonic detector, thereby detecting the ultrasonic vibration generated on the other surface of the rolled product and the crystal grain size of the rolled product based on the detection result by the ultrasonic detector. By setting it as the structure provided with the step which calculates the To remove the screen coating, it is possible to reliably carry out the measurement of the crystal grain size of the non-destructive.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram which shows the structure material measuring apparatus in
도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주요부 구성도.2 is an essential part configuration diagram showing a structure material measurement apparatus according to the first embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치의 배치를 도시한 도면.FIG. 3 is a diagram showing an arrangement of the tissue material measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG.
도 4는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주 요부 구성도.4 is a principal part configuration diagram showing a tissue material measuring apparatus according to
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주요부 구성도.5 is an essential part configuration diagram showing a structure material measurement apparatus according to
도 6은 본 발명의 실시의 형태 3에서의 조직 재질 측정 장치의 배치를 도시한 도면.FIG. 6 is a diagram showing an arrangement of a tissue material measuring apparatus according to
도 7은 본 발명의 실시의 형태 4에서의 압연 설비의 주요부를 도시하는 구성도.The structural figure which shows the principal part of the rolling installation in Embodiment 4 of this invention.
도 8은 조직 재질의 예측 모델을 도시하는 구성도.8 is a configuration diagram showing a predictive model of tissue material.
도 9는 본 발명의 실시의 형태 4에서의 압연 설비의 다른 구성을 도시하는 도면.The figure which shows the other structure of the rolling installation in Embodiment 4 of this invention.
도 10은 종래의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 구성도.10 is a block diagram showing a conventional tissue material measuring apparatus.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
1 : 피측정재1: material to be measured
2 : 초음파 발진기2: ultrasonic oscillator
3 : 초음파 검출기3: ultrasonic detector
4 : 신호 처리 수단4: signal processing means
5 : 입경 산출 수단5: particle size calculation means
6 : 표면 제거 장치6: surface removal device
7 : CW 레이저7: CW laser
8 : 미러8: mirror
9 : 빔 스플리터9: beam splitter
10 : 빔 스플리터10: beam splitter
11 : 파브리-페로 간섭계11: Fabry-Perot Interferometer
12 : 광검출기12: photodetector
13a : 반사 미러13a: reflective mirror
13b : 반사 미러13b: reflective mirror
14 : 액추에이터14: actuator
15 : 조밀파 에코 추출 수단15: Dense wave echo extraction means
16 : 주파수 분석 수단16: frequency analysis means
17 : 주파수별 감쇠 곡선 동정 수단17: means for identifying the attenuation curve for each frequency
18 : 다차함수 피팅 수단18: multiple function fitting means
19 : 포토리플렉티브 소자19: photoreflective element
20 : 가스 분출 장치20: gas blowing device
21 : 압연기21: rolling mill
22 : 스트립22: strip
23 : 아웃 런 테이블23: Out Run Table
24 : 코일24: coil
25 : 기계적 성질 실측 수단25: mechanical property measurement means
26 : 조직 재질 정보 실측 수단26: organizational material information measurement means
27 : 조직 재질 측정 장치27: tissue material measuring device
28 : 조직 재질 정보 수집 수단28: means of collecting tissue material information
29 : 제 1 조직 재질 정보 비교 수단29: first tissue material information comparison means
30 : 온도계30: thermometer
31 : 프로세스 데이터 수집 수단31: means for collecting process data
32 : 조직 재질 정보 예측 수단32: means of predicting tissue material information
33 : 제 2 조직 재질 정보 비교 수단33: second tissue material information comparison means
34 : 기계적 성질 예측 수단34: means for predicting mechanical properties
35 : 기계적 성질 비교 수단35: mechanical property comparison means
우선, 본 발명의 구체적 구성을 설명하기 전에, 금속재료의 결정 입경을 비파괴로 측정한 방법에 관해 설명한다. 금속재료의 결정 입경의 측정을 비파괴로 행하는 방법에는, 레일리히 산란을 이용하는 방법, 초음파의 전파 속도를 이용하는 방법, 및, 초음파 현미경을 이용하는 방법 등이 제안되어 있다. 또한, 각 측정 방법은 본 발명에서도 적절히 채용되는 것이지만, 여기서는, 대표적인 초음파의 결정 입자에 의한 산란(레일리히 산란)에 의해 생기는 감쇠를 이용하는 방법에 관해 설명한다.First, before demonstrating the specific structure of this invention, the method which measured the crystal grain diameter of a metal material non-destructively is demonstrated. As a method of nondestructively measuring the crystal grain size of a metal material, a method using Rayleigh scattering, a method using a propagation speed of ultrasonic waves, a method using an ultrasonic microscope, and the like have been proposed. In addition, although each measuring method is employ | adopted suitably also in this invention, here, the method of using the attenuation which arises from scattering (Reyrich scattering) by the crystal particle of typical ultrasonic wave is demonstrated.
초음파는, 그 진동 형태의 차이에 의해 종파나 횡파 등으로 분류된다. 레일리히 산란을 이용하는 결정 입경의 측정 방법으로는, 이 중 초음파의 종파(벌크파(波))를 이용한다. 또한, 벌크파의 감쇠는, 다음 식으로 표시되는 것이 알려져 있다.Ultrasound is classified into a longitudinal wave, a transverse wave, etc. by the difference of the vibration form. As a measuring method of the crystal grain diameter using Rayleigh scattering, the longitudinal wave (bulk wave) of an ultrasonic wave is used. It is also known that the attenuation of the bulk wave is expressed by the following equation.
[수식 1][Equation 1]
여기서, p 및 p0는 음압(音壓), a는 감쇠 정수, x는 강판중의 전파(傳播) 거리이다.Here, p and p 0 are negative pressure, a is a damping constant, and x is the propagation distance in a steel plate.
또한, 벌크파의 주파수가 「레일리히 영역」에 있는 경우, 상기 감쇠 정수(a)는 다음 식으로 표시된다.In the case where the frequency of the bulk wave is in the "Reirich region", the attenuation constant a is expressed by the following equation.
[수식 2][Formula 2]
여기서, a1 및 a4는 계수, f는 초음파 주파수이고, 상기한 바와 같이 감쇠 정수(a)는 초음파 주파수(f)의 4차함수로 근사된다. 또한, (2)식의 제 1항은 내부 마찰에 의한 흡수 감쇠항, 제 2항은 레일리히 산란항을 나타내고 있다.Here, a 1 and a 4 are coefficients, f is an ultrasonic frequency, and as described above, the attenuation constant a is approximated by a fourth order function of the ultrasonic frequency f. In addition, the 1st term | formula of (2) has shown the absorption damping term by internal friction, and the 2nd term has shown the Rayleigh scattering term | paragraph.
그리고, 상기 레일리히 영역이란, 결정 입경이 벌크파의 파장에 비하여 충분히 작은 영역을 의미하고, 예를 들면, 다음 식을 충족시키는 범위로 되어 있다.In addition, the said Rayleigh region means the area | region where crystal grain diameter is sufficiently small compared with the wavelength of a bulk wave, For example, it becomes the range which satisfy | fills following Formula.
[수식 3][Equation 3]
여기서, d는 결정 입경, λ는 벌크파의 파장을 나타내고 있다.Where d is the crystal grain diameter and? Is the wavelength of the bulk wave.
또한, (2)식의 4차의 계수(a4)는, 다음 식을 충족시키는 것이 알려져 있다.In addition, (2) the coefficient of the fourth order of the equation (4 a), it is known that to meet the following formula:
[수식 4][Equation 4]
여기서, S는 산란 정수이다. 즉, 계수(a4)는 결정 입경(d)의 3승에 비례한다.Where S is a scattering constant. That is, the coefficient a 4 is proportional to the third power of the crystal grain size d.
초음파 발진기로 송신되는 벌크파는, 그 파형중에, 어느 분포의 주파수 성분을 포함하고 있기 때문에, 초음파 검출기로 수신한 파형을 주파수 분석함에 의해, 각 주파수 성분의 감쇠율을 얻을 수 있다. 또한, 송수신의 시간차를 검출함에 의해 강판내에서의 전파 거리를 알기 때문에, 각 주파수 성분의 감쇠율과 전파 거리에 의거하여, (2)식의 각 계수를 도출할 수 있다. 그리고, 표준 샘플 등으로 미리 산란 정수(S)를 정하여 둠에 의해, (4)식에 의해 결정 입경(d)을 얻을 수 있다.Since the bulk wave transmitted to the ultrasonic oscillator includes a frequency component of a certain distribution in the waveform, the attenuation rate of each frequency component can be obtained by frequency analyzing the waveform received by the ultrasonic detector. In addition, since the propagation distance in the steel sheet is known by detecting the time difference between transmission and reception, each coefficient of the formula (2) can be derived based on the attenuation rate and the propagation distance of each frequency component. Then, the scattering constant S is determined in advance using a standard sample or the like, whereby the crystal grain size d can be obtained by the formula (4).
다음에, 본 발명에 관한 재질 측정 장치를 보다 상세히 설명하기 위해, 첨부한 도면에 따라 이것을 설명한다. 또한, 각 도면중, 동일 또는 상당하는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있고, 그 중복 설명은 적절히 간략화 내지 생략한다.Next, in order to demonstrate the material measuring apparatus which concerns on this invention in detail, it demonstrates according to attached drawing. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent part, and the duplication description is abbreviate | omitted or abbreviate | omitted suitably.
실시의 형태 1.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 구성도이다. 또한, 후술의 조직 재질 측정 장치는, 압연 소재(슬래브)로부터 압연 제품(슬래브로부터 제품으로서 완성한 도중의 상태도 포함한다. 이하 동일함)이 제조되는 압연 라인에 마련되고, 압연 라인을 흐르는 상기 압연 제품의 조직 재질을 측정한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram which shows the structure material measuring apparatus in
도 1에서, 1은 상기 압연 제품(강판)으로 이루어지는 피측정재, 2는 압연 라인을 흐르는 압연 제품의 하방에 마련되고, 압연 제품의 일측(一側) 표면에 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측(他側) 표면에 초음파 진동을 발생시키는 초음파 발진기(송신측 레이저), 3은 압연 라인을 흐르는 압연 제품의 상방에 마련되고, 압연 제품의 타측 표면에 레이저광을 조사함과 함께, 압연 제품의 타측 표면으로부터의 반사광을 수광함에 의해, 압연 제품의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 검출하는 초음파 검출기(수신측 레이저), 4는 초음파 검출기(3)에 접속되고, 초음파 검출기(3)로부터의 검출 신호를 수신하여, 압연 제품의 결정 입경 산출을 위해 수신한 검출 신호를 처리하는 신호 처리 수단, 5는 신호 처리 수단(4)의 처리 결과에 의거하여, 압연 제품의 결정 입경을 산출하는 입경 산출 수단, 6은 압연 라인을 흐르는 압연 제품의 상방에 마련되고, 초음파 검출기(3)로부터 압연 제품의 타측 표면에 조사되는 레이저광의 조사 위치에, 레이저광을 조사하여, 압연 제품의 타측 표면의 산화 피막을 제거하는 표면 제거 장치(추가 레이저)이다.In FIG. 1, 1 is a measurement material consisting of the said rolled product (steel plate), 2 is provided below the rolled product which flows through a rolling line, the surface of one side of a rolled product is irradiated with a laser beam, and a rolled product Ultrasonic oscillator (transmitting side laser) 3 which generate | occur | produces ultrasonic vibration on the other surface of this is provided above the rolled product which flows through a rolling line, and irradiates a laser beam to the other surface of a rolled product, and rolls By receiving the reflected light from the other surface of the product, an ultrasonic detector (receiving side laser) for detecting the ultrasonic vibration generated on the other surface of the rolled product, 4 is connected to the ultrasonic detector 3, and from the ultrasonic detector 3 Signal processing means for receiving the detection signal and processing the received detection signal for calculating the crystal grain size of the rolled product; 5 is the determination of the rolled product based on the processing result of the signal processing means 4 The particle size calculating means which calculates a diameter, 6 is provided above the rolled product which flows through a rolling line, and irradiates a laser beam to the irradiation position of the laser beam irradiated to the other surface of a rolled product from the ultrasonic detector 3, and rolled product It is a surface removal apparatus (additional laser) which removes the oxide film of the other surface of this.
상기 초음파 발진기(2)는, 피측정재(1)(압연 제품)의 일측 표면에 강력한 펄스형상의 레이저광을 조사하고, 피측정재(1)의 일측 표면에 초음파 펄스를 발생시킨다. 또한, 초음파 발진기(2)로부터 펄스 레이저광을 발한 펄스 레이저로서는, 예를 들면, Q스위치 동작이 가능한 YAG 레이저 등이 이용된다. 초음파 발진기(2)로부터 발하여진 펄스 레이저광은, 렌즈(도시 생략) 등에 의해 목적하는 빔 지름으로 조여지고, 피측정재(1)의 일측 표면에 조사된다. 그리고, 초음파 발진기(2)로부터 조사된 펄스 레이저광에 의해 피측정재(1)의 일측 표면에 발생한 초음파 펄스는, 피측정재(1)중을 전파하여 피측정재(1)의 타측 표면을 진동시킴과 함께, 피측정재(1)중을 왕복하여 다중 반사를 반복한다The
또한, 상기 초음파 검출기(3)에서는, CW(연속파) 레이저를 이용함에 의해, 상기 초음파 펄스에 의해 피측정재(1)의 타측 표면에 발생한 초음파 진동의 변위를 검출한다. 피측정재(1)의 타측 표면에 발생한 상기 초음파 진동의 변위(이하, 단지 「진동 변위」라고 한다)의 검출에는, 예를 들면, 포토리플렉티브를 이용한 간섭계가 채용된다. 또한, 포토리플렉티브를 이용한 간섭계 외에도, 초음파 검출기(3)의 설치 환경이 나쁜 경우에는 파브리-페로 간섭계가, 피측정재(1)의 타측 표면이 조면(粗面)이 아닌 경우에는 마이켈슨 간섭계 등이 적절히 채용된다. 여기서, 도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주요부 구성도이고, 파브리-페로 간섭계를 이용한 경우의 초음파 검출기(3)의 구성을 구체적으로 도시한 것이다. 이하에, 파브리-페로 방식의 초음파 검출기(3)에 의해 상기 진동 변위를 검출하는 경우에 관해 상세히 설명한다.Moreover, in the said
도 2에서, 7은 CW 레이저, 8은 미러, 9 및 10은 빔 스플리터, 11은 파브리-페로 간섭계, 12는 광검출기이다. 상기 파브리-페로 간섭계(11)는, 한 쌍의 반사 미러(13a 및 13b)와, 반사 미러(13a 및 13b) 사이 거리를 조절하는 액추에이터(14)와, 액추에이터(14)를 제어하는 제어 기구(도시 생략)로 구성된다. 또한, 상기 액추에이터(14)는, 예를 들면 피에조 소자로 이루어지고, 반사 미러(13a 및 13b) 사이 거리가 소망하는 값에 정확하게 유지되도록 제어 기구에 의해 순서대로 조작된다.In Fig. 2, 7 is a CW laser, 8 is a mirror, 9 and 10 are beam splitters, 11 is a Fabry-Perot interferometer, and 12 is a photodetector. The Fabry-Perot interferometer 11 includes a pair of reflection mirrors 13a and 13b, an
상기 구성을 갖는 초음파 검출기(3)에서는, CW 레이저(7)로부터 출력된 레이저광은, 미러(8)에 반사된 후, 빔 스플리터(9)에 입사되고, 피측정재(1)의 타측 표면에 조사되는 레이저광과, 리퍼런스 광으로서 파브리-페로 간섭계(11)에 직접 입사되는 레이저광으로 분기된다. 피측정재(1)의 타측 표면에 조사된 레이저광은, 초음파 진동하는 피측정재(1)의 타측 표면에서 반사되어, 파브리-페로 간섭계(11)에 입사된다. 파브리-페로 간섭계(11)에서는 피측정재(1)의 타측 표면에서 반사한 레이저광(반사광)과 리퍼런스 광을 반사 미러(13a 및 13b)에 의해 공진시킨다. 또한, 반사 미러(13a 및 13b)의 간격은, 반사광과 리퍼런스 광이 공진하도록 액추에이터(14)에 의해 조정된다. 파브리-페로 간섭계(11)에서 공진된 레이저광은, 간섭광이 되어 빔 스플리터(10)를 통하여 광검출기(12)에 입사된다. 그리고, 광검출기(12)에서는 입사된 간섭광에 의거하여, 반사광과 리퍼런스 광의 광로차에 의해 생기는 간섭 파형, 즉, 간섭광의 강도 변화를 검출한다.In the
한편, 상기 표면 제거 장치(6)는, 어브레이전을 일으킬 정도의 높은 에너지 밀도를 갖은 펄스 레이저를 구비하고, 피측정재(1)의 표면에 펄스 레이저광을 조사함에 의해, 피측정재(1) 표면의 산화 피막을 제거한다. 그리고, 어브레이전이란, 높은 에너지 밀도를 갖은 레이저광을 조사할 때에 발생하는, 플라즈마 발광과 충격음(衝擊音)을 수반한 고체 표면층의 폭발적인 박리인 것을 말한다.On the other hand, the
다음에, 상기 초음파 발진기(2), 초음파 검출기(3), 표면 제거 장치(6)의 설치 위치에 관해 설명한다. 또한, 도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치의 배치를 도시한 도면이다. 도 3에서, 초음파 발진기(2)는, 피측정재(1) 의 일측 표면(저면)에 소정의 거리를 가지고 설치된다. 그리고, 상기 초음파 발진기(2)는, 피측정재(1)의 일측 표면에 조사되는 펄스 레이저광의 광로가, 피측정재(1)의 일측 표면에 수직한 직선에 대해 0도 이상 45도 이하의 경사를 갖도록 배치된다. 또한, 도 3에서는 초음파 발진기(2)로부터의 펄스 레이저광의 광로가, 피측정재(1)의 일측 표면에 대해 수직이 되는 경우에 관해 도시하고 있다.Next, the installation position of the said
또한, 초음파 검출기(3)는, 피측정재(1)의 일측 표면의 반대측이 되는 타측 표면(윗면)에 소정의 거리를 가지고 설치된다. 그리고, 상기 초음파 검출기(3)는, CW 레이저(7)로부터 발사되는 레이저광의 광로가, 피측정재(1)의 타측 표면에 대해 개략 수직이 되도록 배치됨과 함께, 초음파 발진기(2)로부터 조사되는 펄스 레이저광의 광로가 피측정재(1)의 일측 표면과 교차하는 점(초음파 진동의 음원), 및, 상기 초음파 진동의 음원에 대응하는(실시예 1에서는 상기 초음파 진동의 음원의 직상부가 된다) 피측정재(1)의 타측 표면상의 점의 적어도 어느 한쪽을 통과하도록 배치된다. 또한, 초음파 검출기(3)는, 피측정재(1)의 타측 표면으로부터의 반사광을 수광 가능하게 배치된다. 또한, 초음파 발진기(2)로부터의 펄스 레이저광이 초음파 검출기(3)에 직접 입사되는 것을 방지하기 위해, 초음파 발진기(2)로부터 출력되는 펄스 레이저광의 광로의 연장선상에, 초음파 검출기(3)의 수광부(예를 들면, 렌즈 등)를 배치하지 않도록 하여도 좋다.In addition, the
한편, 상기 표면 제거 장치(6)는, 초음파 검출기(3)가 CW 레이저광을 조사하는 방향과 같은 방향으로부터 피측정재(1)의 타측 표면에 대해 펄스 레이저광을 조사하도록, 피측정재(1)의 타측 표면에 소정의 거리를 가지고 설치된다. 그리고, 표 면 제거 장치(6)는, 피측정재(1)에 대해 조사하는 펄스 레이저광이 초음파 검출기(3)에 직접 입사한 것을 방지하기 위해, 상기 펄스 레이저광의 광로가, 초음파 검출기(3)로부터 출력되는 CW 레이저광의 광로에 대해 0도 이상 90도 미만의 소정의 경사(θ)를 갖도록 배치된다.On the other hand, the
상기 구성을 갖는 초음파 발진기(2), 초음파 검출기(3), 표면 제거 장치(6)에서는 피측정재(1)의 조직 재질의 측정에 즈음하여, 우선, 초음파 검출기(3)로부터 피측정재(1)의 타측 표면(압연 제품의 윗면)에 조사되는 CW 레이저광의 조사 위치에, 표면 제거 장치(6)로부터 펄스 레이저광이 조사되어, 피측정재(1)의 타측 표면에 붙은 산화 피막이 제거된다. 그리고, 피측정재(1)의 타측 표면의 산화 피막이 제거된 후, 초음파 발진기(2)로부터 피측정재(1)의 일측 표면(압연 제품의 저면)에 대해 펄스 레이저광을 조사하여, 피측정재(1)의 타측 표면에 초음파 진동을 발생시킨다. 다음에, 초음파 검출기(3)로부터 피측정재(1)의 타측 표면에 CW 레이저광을 조사함과 함께, 피측정재(1)의 타측 표면에서 반사한 CW 레이저광의 반사광을 초음파 검출기(3)에 의해 수광함에 의해, 피측정재(1)의 타측 표면에 발생한 초음파 진동을 상기 초음파 검출기(3)에 의해 검출한다. 또한, 초음파 검출기(3)에 의해 검출된 검출 신호는, 디지털 파형 기억기(예를 들면, 디지털 오실로스코프) 등에 의해 받아들여지고, 신호 처리 수단(4)에 대해 출력된다.In the
또한, 상기 과정에서 표면 제거 장치(6)의 레이저 출력은, 대상이 되는 산화 피막을 제거하기 위해, 소정치 이상의 파워가 요구된다. 이 때문에, 실제로는 표면 제거 장치(6)의 레이저 출력의 조정이 필요하게 된다. 이들의 조정에서는, 예를 들 면, 표면 제거 장치(6)로부터 펄스 레이저광을 피측정재(1)의 타측 표면에 조사한 후, 초음파 검출기(3)의 출력을 확인함에 의해, 산화 피막의 제거 상태를 판단한다. 산화 피막의 제거가 충분하지 않다고 판단한 경우, 즉, 충분한 초음파 검출기(3)의 출력이 얻어지지 않은 경우에는, 표면 제거 장치(6)의 레이저 출력을 올려서 피측정재(1)의 타측 표면에 재차 펄스 레이저광을 조사하고, 초음파 검출기(3)의 출력 확인을 실시한다. 또한, 재차의 조사에 의해서도 초음파 검출기(3)의 출력이 충분하지 않다고 인정되는 경우에는, 표면 제거 장치(6)의 레이저 출력을 서서히 올려 가면서 피측정재(1)의 타측 표면에 펄스 레이저광을 조사하여, 조사마다 초음파 검출기(3)의 출력을 확인한다. 그리고, 충분하고 또한 적정한 초음파 검출기(3)의 출력을 얻어진 점에서 표면 제거 장치(6)의 레이저 출력의 상승을 정지시킨다.In addition, in the above process, the laser output of the
다음에, 초음파 검출기(3)로부터의 검출 신호를 수신한 신호 처리 수단(4)의 동작에 관해 설명한다. 도 4는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주요부 구성도이고, 특히 신호 처리 수단(4)과 입경 산출 수단(5)의 구성을 도시한 것이다. 도 4에서, 신호 처리 수단(4)은, 예를 들면, 조밀파(粗密波) 에코 추출 수단(15), 주파수 분석 수단(16), 주파수별 감쇠 곡선 동정(同定) 수단(17), 다차함수 피팅 수단(18)으로 구성된다.Next, the operation of the signal processing means 4 which has received the detection signal from the
신호 처리 수단(4)에서는, 우선, 초음파 검출기(3)로부터 입력된 검출 신호에 의거하여, 조밀파 에코 추출 수단(15)에 의해 복수개의 조밀파 에코 신호를 채취한다. 다음에, 주파수 분석 수단(16)에 의해, 채취한 복수개의 조밀파 에코 신호 의 주파수 분석을 행하고, 피측정재(1) 표면으로부터의 다중 에코 신호의 스펙트럼 강도의 차로부터 각 주파수마다의 감쇠량을 산출한다. 다음에, 필요하면, 확산 감쇠 보정, 투과 손실 보정을 행하고, 감쇠 정수의 주파수 특성을 산출한다. 또한, 감쇠 정수의 주파수 특성은, 4차곡선 등의 다차함수에 최소제곱법 등으로 피팅시킴에 의해, 다차함수의 계수 벡터를 구한다.In the signal processing means 4, first, based on the detection signal input from the
그리고, 상기의 감쇠 정수에 4차곡선을 최소제곱법 등으로 피팅시킨 때에 얻어지는 다차함수의 계수 벡터와, 교정을 위한 피측정재(1)로부터 얻어지는 산란 계수(S)로부터, 각 서브 조직의 체적률에 의한 보정을 행하기 전의 결정 입경의 측정치(d0)를 산출한다.The volume of each substructure is derived from the coefficient vector of the multiple order function obtained when the fourth order curve is fitted to the attenuation constant by the least square method, and the scattering coefficient S obtained from the
또한, 이하에 상기 처리 공정을 구체적으로 설명한다.In addition, the said processing process is demonstrated concretely below.
상기 초음파 검출기(3)에 의해 제 1 초음파 펄스, 제 2 초음파 펄스, ‥‥, 라고 하는 초음파 펄스열이 측정된다. 이 때, 각 초음파 펄스에 포함되어 있는 에너지는, 반사할 때의 손실이나 피측정재(1)중의 전파에 수반하는 감쇠에 의해 서서히 작아지고 있다. 즉, 제 1 초음파 펄스 및 제 2 초음파 펄스의 부분만을 취출하여 주파수 해석하고, 각각의 에너지(파워 스펙트럼)를 구하면, 제 2 초음파 펄스는 제 1 초음파 펄스에 비하여 피측정재(1)의 판두께(t)의 2배분만큼 전파 거리가 길기 때문에, 상기 (1)식에 따른 에너지의 감쇠가 생긴다. 또한, 제 1 초음파 펄스의 파워 스펙트럼과의 차로서, 양자 사이의 감쇠량을 구하면, 오른쪽으로 올라가는 곡선이 된다. 이 곡선은, 상기 (2)식의 감쇠 정수(a)에 전파 거리의 차(2t)를 곱한 것에 상당한다. 이로써, 단위 전파 거리에서의 상기 (2)식의 각 계수를 최소제곱법 등에 의해 구한다. 그리고, 미리 표준 샘플에 의해 구해 논 산란 정수(S)와, 상기한 바와 같이 구한 계수 중의 a4로부터, 상기 (3)식을 역산함에 의해, 결정 입경의 측정치(d0)를 구할 수 있다.Ultrasonic pulse trains such as the first ultrasonic pulse, the second ultrasonic pulse, ... are measured by the
본 발명의 실시의 형태 1에 의하면, 표면 제거 장치(6)를 구비함에 의해, 피측정재(1)의 타측 표면에 붙은 산화 피막을 제거할 수 있다. 즉, 상기 구성의 조직 재질 측정 장치에서는, 표면 제거 장치(6)로부터 발생되는 펄스 레이저광에 의해 피측정재(1)의 타측 표면의 산화 피막을 제거한 후, 초음파 발진기(2)로부터 피측정재(1)에 펄스 레이저광을 조사하여, 초음파 검출기(3)에 의해 피측정재(1)에 발생한 초음파 진동이 검출된다. 이 때문에, 초음파 검출기(3)로부터 CW 레이저광이 피측정재(1)에 조사될 때에는 피측정재(1)의 타측 표면의 산화 피막이 제거되어 있고, 초음파 검출기(3)에의 되돌아오는 광량을 증가시켜서, 초음파 검출기(3)의 분해능을 대폭적으로 향상시킬 수 있다.According to
또한, 표면 제거 장치(6)는, 출력된 펄스 레이저광의 광로가 초음파 검출기(3)로부터 발사되는 CW 레이저광의 광로에 대해 0도 이상 90도 미만의 경사(θ)를 갖도록 배치되어 있다. 이 때문에, 표면 제거 장치(6)로부터 출력된 펄스 레이저광이 피측정재(1)에 반사하여 직접 초음파 검출기(3)에 입사되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 표면 제거 장치(6)가 상기 배치를 갖기 때문에, 초음파 검출기(3)를 피측정재(1)에 대해 거의 수직으로 마련할 수 있고, 초음파 진동의 검출을 효율 좋 게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 초음파 검출기(3)가 작동하기 전에 표면 제거 장치(6)를 작동시켜서 산화 피막을 제거하기 때문에, 표면 제거 장치(6)로부터의 펄스 레이저광이 초음파 검출기(3)의 성능에 판파(板波) 발생 등의 악영향을 미치는 일은 없다.Moreover, the
또한, 상기 재질 측정 장치를 압연 라인에서 사용하는 경우에, 초음파 검출기(3) 및 표면 제거 장치(6)를 압연 제품의 상방에, 초음파 발진기(2)를 압연 제품의 하방에 설치함에 의해, 압연 라인으로부터 발생하는 수증기나 더스트 등의 낙하물, 압연 제품 하면에서의 체류를 피할 수 있고, 초음파 진동 검출의 악영향을 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서 압연 라인에서 압연 제품이 움직이고 있는 환경에서도, 초음파 검출기(3)에 의해 초음파 진동의 검출을 효율 좋게 또한 안전하게 행할 수 있고, 결정 입경의 계측을 비파괴로 확실하게 실시하는 것이 가능해진다.In addition, when using the said material measuring apparatus in a rolling line, by installing the
또한, 실시의 형태 1에서는, 초음파 발진기(2)를 압연 라인을 흐르는 압연 제품의 하방에, 초음파 검출기(3) 및 표면 제거 장치(6)를 압연 라인을 흐르는 압연 제품의 상방에 마련한 경우에 관해 설명하였지만, 조직 재질 측정 장치를 설치하는 환경 조건에 의해, 그 배치는 임의로 선택하는 것이 가능하다. 즉, 설치 환경에 의해서는, 초음파 발진기(2)를 압연 제품의 상방에 마련하고 초음파 발진기(2)로부터의 펄스 레이저광을 압연 제품의 윗면에 조사함과 함께, 초음파 검출기(3) 및 표면 제거 장치(6)를 압연 제품의 하방에 설치하고, 초음파 검출기(3)로부터의 CW 레이저광과 표면 제거 장치(6)로부터의 펄스 레이저광을 압연 제품의 저면에 조사하도록 구성하여도 좋다.In addition, in
실시의 형태 2.
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 조직 재질 측정 장치를 도시하는 주요부 구성도이고, 특히 초음파 검출기(3)의 구성을 구체적으로 도시한 것이다. 도 5에서, 초음파 검출기(3)는, CW 레이저(7), 미러(8), 빔 스플리터(9), 포토리플렉티브 소자(19), 광검출기(12)로 구성된다. 즉, 상기 초음파 검출기(3)는 포토리플렉티브 소자(19)를 이용한 포토리플렉티브 방식의 초음파 검출기이고, 그 이외는 실시의 형태 1과 같은 구성을 갖고 있다.FIG. 5: is a principal part block diagram which shows the structure | tissue material measuring apparatus in
이러한 구성을 갖는 초음파 검출기(3)에서는, CW 레이저(7)로부터 출력된 레이저광은, 미러(8)에 반사된 후, 빔 스플리터(9)에 입사되어, 피측정재(1)의 타측 표면에 조사되는 레이저광과, 리퍼런스 광으로서 포토리플렉티브 소자(19)에 직접 입사되는 레이저광으로 분기된다. 또한, 초음파 진동하는 피측정재(1)의 타측 표면에서 반사된 반사광은, 빔 스플리터(9)를 통과하고 포토리플렉티브 소자(19)에 입사된다. 포토리플렉티브 소자(19)에서는 결정 내에서 반사광과 리퍼런스 광을 간섭시켜서, 그 간섭광을 검출기(12)에 대해 직접 입사한다.In the
또한, 포토리플렉티브 소자(19)를 간섭계에 이용한 경우, 수신광의 파장의 1/8을 초과하는 표면 변위는 검출할 수 없다는 제약이 있다. 이 제약은, 특히 2㎜ 이하의 박판을 측정할 때에 문제가 된다. 이 때문에, 진폭이 상기 제약치의 범위 내에 수속되도록 초음파 발진기(2)의 레이저 출력을 내리기 위해, 표면의 변위가 66.5㎚(파장 532㎚=녹색), 또는, 133㎚(파장 1064㎚=적외)를 초과하는 경우에는, 초음파 발진기(2)의 레이저 출력을 조여서, 표면 변위 그 자체를 작게 할 필요가 있다. 또는, 초음파 발진기(2)의 레이저 출력을 내리지 않고, 스폿 지름을 작게 함에 의해, 판파 진동을 억제할 필요가 있다. 또한, 초음파 발진기(2)로부터의 레이저광은, 피측정재(1)에 도달하기 전에, 공간중에서 어브레이전을 일으키지 않을 정도를 하한으로 하여, 스폿 지름을 작게 하는 것으로 한다.In addition, when the
본 발명의 실시의 형태 2에 의하면, 포토리플렉티브 방식의 초음파 검출기(3)를 채용함에 의해, 파브리-페로 방식의 초음파 검출기(3)를 채용한 경우와 비교하여, 반사 미러(13a 및 13b)와 같은 외부 진동 등 외란에 의해 영향을 받기 쉬운 부위나, 액추에이터(14) 및 제어 기구 등의 정밀한 기구부를 적게 할 수 있다. 이 때문에, 진동 등 외란에 의한 영향을 받기 어렵고, 또한, 환경이 나쁜 압연 라인에서도 장시간에 걸쳐서 안정된 측정을 실현할 수 있다.According to
특히, 열간 압연 라인에서의 온라인 계측을 실시하는 경우, 압연기 및 피압연재의 통과 등에 기인하는 진동이나, 피압연재의 온도 제어를 위해 냉각 라인으로부터 피압연재에 대해 냉각수를 분사할 때에 생기는 수증기 등이 발생하고, 그 계측 환경은 나쁘다. 또한, 열간에서의 피압연재는 약 500도부터 약 900도에도 달하고, 피압연재 부근의 온도는 메우 높다. 따라서 포토리플렉티브 방식의 초음파 검출기(3)를 채용함에 의해, 상기 환경에도 적합한 조직 재질 측정 장치를 제공하는 것이 가능해진다.In particular, when performing on-line measurement in a hot rolling line, vibration caused by passage of a rolling mill and a rolled material, or water vapor generated when spraying cooling water from the cooling line to the rolled material for temperature control of the rolled material occurs. And the measurement environment is bad. In addition, the to-be-rolled material in hot ranges from about 500 degree | times to about 900 degree | times, and the temperature of the to-be-rolled material vicinity is very high. Therefore, by employing the photoreflective
또한, 초음파 발진기(2)로부터의 펄스 레이저광의 출력을 내리지 않고 스폿 지름을 작게 함에 의해, 저주파 진동의 진폭이 감소하고, 대신에 결정 입경의 계측에 필요한 초음파 성분의 진폭이 늘어난다. 이 때문에, 측정 정밀도 저하의 하나의 원인이 되는 판파 진동을 회피할 수 있고, 조직 재질의 측정에 유효한 초음파 진동을 검출하는 것이 가능해진다.Further, by decreasing the spot diameter without lowering the output of the pulsed laser light from the
실시의 형태 3.
도 6은 본 발명의 실시의 형태 3에서의 조직 재질 측정 장치의 배치를 도시한 도면이다. 도 6에서, 초음파 발진기(2), 초음파 검출기(3), 표면 제거 장치(6)는 실시의 형태 1 또는 2와 같은 구성 및 배치를 갖고 있다. 20은 압연 라인을 흐르는 압연 제품(피측정재(1))의 상방에 마련되고, 표면 제거 장치(6)로부터 피측정재(1)의 타측 표면에 조사된 펄스 레이저광의 조사 위치 및 그 조사 위치 부근에, 질소 가스 등의 불활성 가스를 분사하여, 산화 피막이 제거된 피측정재(1)의 타측 표면이 새롭게 산화되는 것을 방지하는 가스 분출 장치이다.It is a figure which shows the arrangement | positioning of the tissue material measuring apparatus in
이러한 구성을 갖는 조직 재질 측정 장치에서는, 표면 제거 장치(6)로부터 피측정재(1)의 타측 표면에 펄스 레이저광이 조사되어 산화 피막이 제거된 후, 산화 피막이 제거된 부분을 향하고 가스 분출 장치(20)로부터 불활성 가스가 분출된다. 그 밖의 구성 및 동작은, 실시의 형태 1 및 2와 마찬가지이다.In the tissue material measuring apparatus having such a configuration, after the pulsed laser light is irradiated to the other surface of the
본 발명의 실시의 형태 3에 의하면, 피측정재(1)의 타측 표면으로부터 산화 피막이 제거된 상태를 어느 정도의 시간 지속할 수 있기 때문에, 초음파 검출기(3)의 감도를 향상시켜서, 보다 확실한 결정 입경의 측정이 가능해진다.According to
실시의 형태 4.Embodiment 4.
이 실시의 형태에 관한 조직 재질 측정 장치는, 실시의 형태 1 또는 2에서, 표면 제거 장치의 측정점을, 압연 제품의 검사 라인에서의 기계적 성질 또는 조직 재질 정보의 측정 목표점과 일치하도록, 트래킹 정보 등을 이용하여 결정하도록 한 것이다. 도 7 및 도 8을 이용하여, 이하에 그 구성을 설명한다.In
도 7은 본 발명의 실시의 형태 4에서의 압연 설비의 주요부를 도시하는 구성도, 도 8은 조직 재질의 예측 모델을 도시하는 구성도이다. 도 7에서, 압연기(21)를 나온 스트립(22)은, 아웃 런 테이블(23)에서 냉각된 후, 권취기로 감겨서 코일(24)로 된다. 그 후, 코일(24)은, 검사 라인에 운반되고, 그 일부가 절취되어 시험편으로 가공된다. 또한, 검사 라인에서는, 기계적 성질 실측 수단(25)에 의해, 상기 시험편의 인장강도나 항복응력 등의 기계적 성질이 실측된다. 또한, 현미경 관찰 등에 의거한 조직 재질 정보 실측 수단(26)에 의해, 페라이트 입경이나 페라이트·펄라이트·베이나이트 등의 각 상(相)체적률이라는, 상기 시험편의 조직 재질 정보가 실측된다.FIG. 7: is a block diagram which shows the principal part of the rolling installation in Embodiment 4 of this invention, and FIG. 8 is a block diagram which shows the predictive model of a structure material. In FIG. 7, the
조직 재질 측정 장치(27)는, 압연기(21) 출구측 및 권취기 전에 설치되어 있고, 조직 재질 정보 수집 수단(28)에 의해, 상기 조직 재질 측정 장치(27)에서 측정된 결정 입경 등의 조직 재질 정보가 수집된다. 조직 재질 정보 수집 수단(28)에 의해 수집된 조직 재질 측정 장치(27)로부터의 지시치와, 조직 재질 정보 실측 수단(26)에 의한 실측치는, 제 1 조직 재질 정보 비교 수단(29)에 의해 비교된다. 그리고, 제 1 조직 재질 정보 비교 수단(29)의 비교 결과가 조직 재질 정보 수집 수단(28)에 반영되고, 조직 재질 측정 장치(27)의 교정이나 정밀도 확인에 이용된다. 또한, 제 1 조직 재질 정보 비교 수단(29)의 비교 결과는, 조직 재질 측정 장치(27)가 결정 입경을 산출할 때의 동정 수법의 튜닝 파라미터의 정밀도 향상에도 이용된다.The structure | tissue
한편, 압연기(21)로부터 얻어지는 하중이나 속도 데이터, 압연기(21)의 전후에 설치된 온도계(30)로부터 얻어지는 온도 데이터라는 프로세스 데이터는, 프로세스 데이터 수집 수단(31)에 의해 수집된다. 측정된 프로세스 데이터는, 검사 라인에서의 기계적 성질 또는 조직 재질 정보의 측정 목표점, 및 시각과 연관시켜지고, 데이터베이스로서, 예를 들면, 도시하지 않은 데이터 기억 수단에 격납된다. 그리고, 압연 시각 등으로부터, 데이터 기억 수단 내의 재질과 프로세스 데이터가 검색되고, 표면 제거 장치의 측정점과, 검사 라인에서의 기계적 성질 또는 조직 재질 정보의 측정 목표점이 일치하도록, 조직 재질 측정 장치(27)가 제어된다.On the other hand, the process data collection means 31, such as load and speed data obtained from the rolling
또한, 프로세스 데이터 수집 수단(31)으로부터 얻어지는 왜곡, 왜곡 속도, 온도 등이라는 프로세스 데이터는, 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 송신되고, 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 의해, 조직 재질 정보가 수식 모델에 의해 산출된다. 이하에, 도 8에 의거하여, 조직 재질 정보 예측 수단(32)에서의 산출 방법을 설명한다.In addition, process data such as distortion, distortion rate, temperature, and the like obtained from the process data collecting means 31 is transmitted to the tissue material information predicting means 32, and the tissue material information predicting means 32 gives the tissue material information. Calculated by the mathematical model. Below, the calculation method in the tissue material information prediction means 32 is demonstrated based on FIG.
조직 재질 정보를 산출하기 위한 조직 재질 모델은, 대별하여 열간 가공 모델과, 변태 모델로 구성된다. 열간 가공 모델은, 압연기(21)의 롤로 한창 압하되어 있는 중에 발생하는 동적 재결정, 동적 재결정에 계속해서 발생하는 회복, 정적 재결정, 입성장 등의 현상을 정식화함에 의해, 압연중 및 압연 후의 입경(단위 면적당의 입계 면적)이나, 잔류 전이(轉移) 밀도 등의 오스테나이트 상태를 계산하기 위해 준비되어있다. 이 열간 가공 모델은, γ입경과, 온도나 속도에 의거한 온도· 패스 사이 시간 정보와, 압하 패턴에 의거한 상당 왜곡·왜곡 속도 정보에 의해, 압연 γ입경이나 전이 밀도 등의 중간 조직 상태를 연산한다. 또한, 상기 온도·패스 사이 시간 정보와 상당 왜곡·왜곡 속도 정보란, 압연 조건(입측 판두께, 출측 판두께, 가열 온도, 패스 사이 시간, 롤 지름, 롤 회전수)에 의거하여 산출된다.The tissue material model for calculating the tissue material information is roughly composed of a hot working model and a transformation model. The hot working model formulates phenomena such as dynamic recrystallization, recovery occurring continuously during dynamic recrystallization, static recrystallization, grain growth, and the like, which occur while being pressed down by the roll of the rolling
변태(變態) 모델은, 핵(核) 생성과 성장을 분리하고, 입경이나, 펄라이트 및 베이나이트의 분률(分率) 등이라는 변태 후의 조직 상태를 추정하기 위해 준비되어 있다. 이 변태 모델은, 런 아웃 테이블(23)에서의 냉각 패턴에 의거한 온도 정보에 의해, 페라이트 입경이나 각 상의 조직 분률 등을 연산한다. 또한, 상기 온도 정보는, 냉각 조건(공냉 및 수냉 구분, 수량(水量) 밀도, 냉각 장치 내 통판(通板) 속도, 성분)과, 변태 모델에 의한 변태량의 각각에 의거하여 연산된다.The metamorphosis model is prepared for separating nucleation and growth, and for estimating the state of the tissue after metamorphosis such as particle size, fraction of pearlite and bainite, and the like. This transformation model calculates the ferrite particle diameter, the tissue fraction of each phase, etc. based on the temperature information based on the cooling pattern in the runout table 23. In addition, the said temperature information is computed based on each of cooling conditions (air cooling and water cooling division, water density, the speed of a plate in a cooling apparatus, a component), and the amount of transformation by a transformation model.
또한, 열간 가공 모델 및 변태 모델 외에, Nb, V, Ti 등의 미량 첨가 원소의 영향이 고려되는 경우는, 석출 입자의 영향을 고려하기 위해, 석출 모델을 적절히 이용하여도 좋다. 또한, 알루미늄이나 스테인리스 등의 일부의 금속재료에 관해서는, 변태 하지 않기 때문에, 상기 변태 모델을 이용하지 않아도 좋다.In addition, in addition to the hot working model and the transformation model, when the influence of trace additive elements such as Nb, V, and Ti is considered, a precipitation model may be appropriately used in order to consider the influence of the precipitated particles. In addition, since some metal materials, such as aluminum and stainless steel, are not transformed, it is not necessary to use the said transformation model.
상기 구성을 갖는 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 의해 산출된 조직 재질 정보와, 조직 재질 정보 실측 수단(26)에 의한 실측치는, 제 2 조직 재질 정보 비교 수단(33)에 의해 비교된다. 그리고, 제 2 조직 재질 정보 비교 수단(33)의 비교 결과가 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 반영됨에 의해, 조직 재질 모델의 동조가 행하여지고, 예측 정밀도의 향상이 도모된다.The tissue material information calculated by the tissue material information predicting means 32 having the above-described structure and the measured value by the tissue material information measuring means 26 are compared by the second tissue material
또한, 프로세스 데이터 수집 수단(31)으로부터 얻어지는 프로세스 데이터와, 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 의해 산출된 조직 재질 정보가, 기계적 성질 예측 수단(34)에 송신되고, 이 기계적 성질 예측 수단(34)에서, 소정의 예측 모델에 의거하여 기계적 성질이 산출된다. 기계적 성질 예측 수단(34)에 의해 산출된 기계적 성질과, 기계적 성질 실측 수단(25)에 의한 실측치는, 기계적 성질 비교 수단(35)에 의해 비교된다. 그리고, 기계적 성질 비교 수단(35)의 비교 결과가 기계적 성질 예측 수단(34)에 반영됨에 의해, 기계적 성질의 예측 모델의 동조가 행하여지고, 예측 정밀도의 향상이 도모된다.In addition, the process data obtained from the process data collecting means 31 and the tissue material information calculated by the tissue material information predicting means 32 are transmitted to the mechanical property predicting means 34, and the mechanical property predicting means 34 ), The mechanical properties are calculated based on the predetermined prediction model. The mechanical property calculated by the mechanical property predicting means 34 and the measured value by the mechanical property measuring means 25 are compared by the mechanical
본 발명의 실시의 형태 4에 의하면, 환경이 나쁜 압연 라인에서도, 조직 재질 측정의 목표점에 대해, 유효한 초음파 진동을 검출하는 조직 재질 측정 장치를 제공하는 것이 가능해진다.According to Embodiment 4 of this invention, even in the rolling line with a bad environment, it becomes possible to provide the tissue material measuring apparatus which detects the effective ultrasonic vibration with respect to the target point of tissue material measurement.
또한, 도 9는 본 발명의 실시의 형태 4에서의 압연 설비의 다른 구성을 도시하는 도면이다. 실시의 형태 4의 구성은, 도 9에 도시하는 바와 같이 입력 구성을 바꾸어도 좋다, 즉, 제 2 조직 재질 정보 비교 수단(33)에의 입력은, 조직 재질 정보 실측 수단(26)으로부터의 실측치에 대신하여, 조직 재질 정보 수집 수단(28)에 의해 수집된 조직 재질 측정 장치(27)로부터의 지시치라도 좋다. 또한, 기계적 성질 예측 수단(34)에의 입력은, 조직 재질 정보 예측 수단(32)에 의해 산출된 조직 재질 정보에 대신하여, 조직 재질 정보 수집 수단(28)에 의해 수집된 조직 재질 측정 장치(27)로부터의 지시치라도 좋다. 상기 구성에 의해서도, 상기한 바와 같은 효과를 이루는 것이 가능하다.9 is a figure which shows the other structure of the rolling installation in Embodiment 4 of this invention. In the configuration of Embodiment 4, the input configuration may be changed as shown in FIG. 9, that is, the input to the second tissue material
또한, 본 발명은 상기 실시의 형태 그대로 한정되는 것이 아니고, 실시 단계 에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성 요소를 변형하여 구체화할 수 있다. 또한, 상기 실시의 형태에 개시되어 있는 복수의 구성 요소가 적절한 조합에 의해, 여러가지의 발명을 형성할 수 있다. 예를 들면, 실시의 형태에 나타나는 전(全) 구성 요소로부터, 몇개인가의 구성 요소를 삭제하여도 좋다. 또한, 다른 실시의 형태에 걸치는 구성 요소를 적절히 조합시켜도 좋다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment as it is, In an implementation step, a component can be modified and actualized in the range which does not deviate from the summary. Moreover, various invention can form various invention by the suitable combination of the some component disclosed in the said embodiment. For example, some of the components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Moreover, you may combine suitably the component over other embodiment.
이상과 같이, 본 발명에 관한 조직 재질 측정 장치에 의하면, 피측정재의 산화 피막이 제거된 상태에서 그 타측 표면에 발생한 초음파 진동이 검출되기 때문에, 초음파 진동을 검출하는 초음파 검출기에의 되돌아오는 광량을 대폭적으로 증가시켜서, 피측정재의 결정 입경의 측정을 확실하게 실시하는 것이 가능해진다.As described above, according to the tissue material measuring apparatus according to the present invention, since the ultrasonic vibration generated on the other surface in the state where the oxide film of the measurement material is removed is detected, the amount of light returned to the ultrasonic detector for detecting the ultrasonic vibration is greatly reduced. It is possible to reliably measure the grain size of the measurement target by increasing the
또한, 피측정재에 붙은 산화 피막을 제거하여, 또한, 비파괴로 결정 입경의 측정이 가능하기 때문에, 특히, 열간 압연 라인에서의 온라인 측정에도 대응하는 것이 가능하다.In addition, since the oxide film adhered to the material to be measured can be removed, and the crystal grain size can be measured non-destructively, in particular, it is possible to cope with on-line measurement in a hot rolling line in particular.
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