KR20080074710A - 증발 코터와 이의 증발원 교체 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 프로세스 챔버;프로세스 챔버에 연결되어 있으며, 진공밸브와 감압밸브를 포함하고 있으며, 상기 진공밸브는 서브챔버와 프로세스챔버사이에 위치하며, 상기 감압밸브는 서브챔버와 외부사이에 위치하는 서브 챔버;와서브챔버내에 위치하는 제1증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 상기 증발코터는 상기 서브챔버내에 위치하는 축, 축에 연결된 다이아프램과 제2증발원을 추가로 포함하고 있으며, 상기 다이아프램은 상기 축에 의해 회전할 수 있고, 제1증발원과 제2증발원이 다이아프램의 반대편에 위치하는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 제1증발원과 제2증발원은 정공주입층 증발원을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 제1증발원과 제2증발원은 정공운반층 증발원을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 제1증발원과 제2증발원은 발광층 증발원을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 제1증발원과 제2증발원은 전자운반층 증발원을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 제1증발원은 케이싱, 플레이트, 다수의 결합부과 케이싱 위에 놓이는 용기를 포함하고 있으며, 증발물질은 용기내에 놓이게 되며, 플레이트는 결합부에 의하여 케이싱에 장착되는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에 있어서, 상기 프로세스 챔버는 레일과 금속나사막대를 포함하고 있으며, 제1증발원은 레일을 따라서 정해진 위치로 이동하며, 나사금속막대에 의해 서브 챔버로 나아가는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제1항에서의 증발 코터를 준비하는 단계;진공밸브를 닫는 단계;감압밸브를 열고 제1증발원을 교체하는 단계;감압밸브를 닫고 서브챔버를 진공으로 만드는 단계;와진공밸브를 여는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원 교체 방법.
- 제2항에서의 증발 코터를 준비하는 단계;진공밸브를 닫는 단계;감압밸브를 여는 단계;제2증발원에 의해 제1증발원을 교체하는 단계;감압밸브를 닫고 서브챔버를 진공으로 만드는 단계;와진공밸브를 여는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원 교체 방법.
- 프로세스 챔버;프로세스 챔버에 연결되어 있으며, 진공밸브와 감압밸브를 포함하고 있으며, 상기 진공밸브는 서브챔버와 프로세스챔버사이에 위치하며, 상기 감압밸브는 서브챔버와 외부사이에 위치하는 서브챔버;와서브챔버를 통하여 프로세스 챔버로 들어가는 제1증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제11항에 있어서, 상기 서브 챔버는 프로세스 챔버내에 위치하는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
- 제11항에 있어서, 상기 서브 챔버는 프로세스 챔버의 외부에 위치하는 것을 특징으로 하는 증발코터.
- 제11항에서의 증발 코터를 준비하는 단계;진공밸브를 열고 제1증발원을 서브챔버로 이동시키는 단계;진공밸브를 닫는 단계;감압밸브를 열고 제1증발원을 교체하는 단계;감압밸브를 닫고 서브챔버를 진공으로 만드는 단계;진공밸브를 여는 단계;와제1증발원을 프로세스 챔버를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원 교체 방법.
- 프로세스 챔버;프로세스 챔버에 연결되어 있으며, 진공밸브와 감압밸브를 포함하고 있으며, 상기 진공밸브는 서브챔버와 프로세스챔버사이에 위치하며, 상기 감압밸브는 서브챔버와 외부사이에 위치하는 서브챔버;프로세스 챔버내에 위치하는 제1증발원;과제1증발원과 진공밸브를 통하여 교환할 수 있으며, 서브챔버내에 위치하는 제2증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 코터.
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