KR20080071856A - 반도체 중공 입자 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 금속염과 셀레늄염 화합물과 친수성 고분자를 함유한 용액에 초음파 조사에 의하여 생성된 금속-셀레늄 화합물의 내부가 비어 있는 30~50nm의 입자 크기를 가지는 반도체 중공 입자 및 이의 제조방법을 제공한다.

본 발명에 따라 얻어진 상기 반도체 중공 입자는 광촉매, 코팅제, 충진제, 진단 시약제 등으로 적용될 수 있다.

반도체 중공입자, 초음파, 친수성고분자

Description

반도체 중공 입자 및 이의 제조 방법{Hallow sphere for semiconductor and preparation method thereof}

도 1은 본 발명의 초음파 장치의 모식도이고,

도 2는 본 발명의 실시예 1에 따라 얻어진 중공입자의 투과전자현미경 사진이고,

도 3은 본 발명의 실시예 2에 따라 얻어진 중공입자의 투과전자현미경 사진이고,

도 4는 본 발명의 비교예 1에 따른 입자의 투과전자현미경 사진이다.

본 발명은 광촉매, 코팅제, 충진제, 진단 시약제 등에 적용될 수 있는 반도체 중공 입자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

반도체 화합물은 그 크기와 형태에 따라 전기적, 광학적 성질이 다양하게 변화하므로 최근, 나노 입자 및 모양 등을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 제조 방법 및 소자 응용에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다.

특이한 구조 중에서 중공 입자(Hollow sphere)는 기존의 입자와 비교했을 때 내부가 비어 있는 구조를 가진다. 이러한 구조적 특징으로, 비중이 낮고, 비표면적이 크기 때문에 각종 용매에 대한 분산성이 우수할 뿐만 아니라, 기능성 물질이 외측, 혹은 내부로 도입될 경우 코어(core)/쉘(shell) 구조를 형성하여 촉매, 충진제, 코팅제, 진단시약 등에 유용하게 사용될 수 있다.

상기와 같은 중공 입자의 통상적인 제조 방법으로는 마이크로 에멀젼법, 초음파 열분해법, 세크리피시얼 코어(sacrificial core)법 등이 있다.

상기 마이크로 에멀젼법은 화학적으로 균일하고 단일, 또는 복합 조성을 갖는 입자 제조가 가능하나, 열을 사용하므로 입자 제어가 용이하지 않다는 단점이 있다.

또한, 상기 초음파 열분해법은 금속염 함유 수용액에 초음파 작용에 의하여 미세한 액적을 생성시키고, 이를 가열 분해시켜 중공 입자를 제조하는 방법으로, 입도 범위가 넓고 중공입자의 생성율이 낮은 문제점이 있다.

한편, 세크리피시얼 코어법은 주로 구형 고분자를 코어(core)로 선택하고 다양한 코팅 기술을 이용하여 원하는 무기물을 둘러싼 후, 코어를 용매로 녹이거나 열분해시켜 중공입자를 제조하는 방법으로, 균일한 크기를 갖는 고분자 구(sphere)를 사용하기 때문에 쉽게 단분산된 중공입자를 얻을 수 있는 장점이 있다. 그러나 코어인 고분자를 용매로 녹이거나 가열 분해하여 완전히 제거하는데 어려움이 있다.

최근 나노 크기의 중공입자를 얻기 위해서 각종 고분자를 이용하여 자기 조 립(self-assembly)과정에 의하여 코어를 형성시키기 위한 시도가 활발히 진행되고 있다. 이것은 고분자를 함유한 수용액에서 단량체의 급속한 중합과정에 의하여 무질서한 코일(coil)을 형성시킨 후, 계면 반응에 의하여 외측으로 성장된 입자와 내부의 코어를 용매를 사용하여 제거함으로써 중공 입자를 얻을 수 있는 방법이다.

이러한 방법에서 단량체의 급속한 중합으로 코일이 형성되기 위해서는 자외선, 감마선, 초음파 등과 같은 외부 에너지의 도입이 필요하다. 또한, 이때 사용되는 고분자는 배위기를 갖는 수용성 고분자이거나 어떤 조건하에서 무질서한 코일을 형성할 수 있는 직선형 고분자가 요구된다. 대표적인 것으로, 메타아크릴레이트 및 아크릴아미드를 고분자로 사용한 수용액으로부터 감마선 또는 자외선을 조사하여 반도체 중공 입자를 제조한 기술이 보고되고 있다. [Y. Xie 등, Inorganic Chemistry Comm. 7, 417-419 (2004)]

따라서 본 발명의 목적은 금속염과 셀레늄염 화합물 및 결정성 고분자인 폴리비닐알코올과 같은 친수성 고분자를 함유한 수용액에 초음파를 조사하여 금속-셀레늄 화합물의 결합 반응으로 비교적 간단하게 반도체 중공 나노 입자를 효율적으로 제조할 수 있는 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 광촉매, 코팅제, 충진제, 진단 시약제 등에 적용할 수 있는 중공 입자를 제공하는 데도 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 중공 입자는 입자 크기30~50nm의 구형의 입자로서 내부가 비어 있는 구조인 것을 그 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 상기 반도체 중공 나노 입자의 제조 방법은 금속염과 셀레늄 화합물 존재 하에서 친수성 고분자를 함유한 용액에 초음파를 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 광촉매, 코팅제, 충진제, 진단 시약제 등에 적용할 수 있는 중공 입자 및 이의 제조방법을 제공한다.

본 발명의 상기 중공 입자는 금속염과 셀레늄염 존재 하에서, 친수성 고분자를 함유한 용액에 실온에서 초음파를 조사하면, 상기 친수성 고분자 단량체의 성장으로 무질서한 고분자 코일이 형성되고, 입자의 표면에서는 순간적으로 다량의 이온을 발생시켜 상기 금속염과 셀레늄염의 결합 반응으로 금속-셀레늄 화합물이 생성되어 성장되게 된다. 또한, 내부의 잔류 유기물을 세척시키면 내부가 비어 있는 형태의 중공 입자를 얻을 수 있다.

상기와 같이 금속염과 셀레늄염의 결합 반응이 이루어지기 위해서는 수산화 이온(OH^-)의 공급이 필요한 바, 본 발명에서는 상기 수산화 이온의 공급은 친수성 고분자를 사용한다. 이러한 친수성 고분자로는 -OH, -SO₃H 및 -COOH로 이루어진 그 룹으로부터 선택된 1종 이상의 친수성기를 포함하는 고분자이다. 이들 친수성 고분자의 수평균 분자량은 10,000 내지 100,000 인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하기로는 50,000 내지 80,000이다. 상기 친수성 고분자의 사용으로 초음파 조사 시 공동형상(cavitation)으로 OH 라디칼을 제공하여 반응 속도를 증대시킬 수 있고, 그 결과 얻어진 반도체 중공 입자의 크기를 제어할 수 있도록 한 것이다.

본 발명에서 중공 입자의 제조 기구를 친수성 고분자 중 PVA를 사용한 예를 들어 설명하면 다음과 같다. 중공 입자의 제조를 위하여 사용된 상기 PVA는 직선형 결정성 고분자로서, 초음파와 같은 외부 에너지가 가해질 경우 무질서한 많은 유기 라디칼을 발생시킨다. 또한, 상기 유기 라디칼들은 고분자 사슬을 유도하기 위하여 단량체의 중합이 일어나 무질서한 고분자 코일(coil)을 형성할 것이다. 이 경우, 수용액에 존재하는 금속 이온은 상기 폴리비닐알코올 사슬의 비닐기와 결합하여 코일의 표면이 전기적으로 양(+) 전하를 갖게 된다. 따라서, 입자 표면에서는 셀레늄 염의 분해로 생성된 셀레늄 이온이 상기 금속 이온과 반응하여 금속-셀레늄 반응 생성물이 형성된다.

반응이 지속적으로 진행됨에 따라 셀레늄 이온(혹은 아황산셀레늄 이온^-) 간의 정전기 반발력에 의하여 -물질이 주형의 내부로 들어가는 것을 막기 때문에 주형의 외부 계면에서 이온 반응에 의하여 핵생성 및 성장과정이 진행된다. 최종적으로 내부에 존재하는 잔류 유기물을 증류수와 알코올의 반복 수세시켜 제거함으로써 내부가 비어 있는 본 발명의 중공 입자 구조를 형성하게 된다.

본 발명과 같은 중공 입자의 제조에 유용한 친수성 고분자의 구체적인 예를 들면, 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol, PVA), 폴리아크릴아미드(Poly Acrylamide, PAA), 알긴산나트륨, 키토산 등이 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에서는 상기 친수성 고분자나 금속염을 용해시키는 용매로서 물을 단독으로 사용하거나, 혹은 알코올과 혼합한 용매를 사용한다. 이와 같이 용매를 물과 알코올의 혼합 용매를 사용할 경우 단지 물만을 용매로 사용하는 경우에 비하여, 친수성 고분자의 가용화를 높일 수 있고, 그 때문에 반응물이 주형 내부로 침투할 가능성을 갖고 있기 때문에 특이한 형태의 중공 입자를 형성하는 데 더 유리할 것으로 기대된다.

상기 물에 용해되는 친수성 고분자의 농도는 1~3wt%가 바람직하다. 상기 친수성 고분자의 농도가 1wt% 미만이면 중공 입자의 형성이 어렵고, 또한 3wt%를 초과하게 되면 입자 간의 응집이 형성되어 바람직하지 못하다.

또한, 용매로서 물과 알코올을 혼합 사용할 경우 함유되는 알코올의 함량은 전체 용매 중 10부피% 이내임이 바람직하다. 10부피%를 초과하게 되면 가용화로 인하여 중공입자의 형성이 어렵다. 또한, 상기 사용되는 알코올로서는 바람직하게는 메탄올, 에탄올, 및 프로판올로 이루어진 그룹으로부터 선택된 탄소수 1 내지 3의 지방족 알코올이 바람직하다.

바람직하게는, 상술한 바와 같은 용매 중에 알코올과, 친수성 고분자, 금속염과 셀레늄염을 용해시킨 상태를 얻기 위해서 적어도 물을 함유한 용매 중에 폴리비닐알코올을 용해시킴으로써 얻어지는 폴리비닐알코올 용액을 준비함과 함께, 여 기에 금속염을 용해시킴으로써 얻어지는 금속염 용액과, 적어도 셀레늄 금속 분말을 아황산 용액에 용해시킴으로써 얻어지는 셀레늄염 용액을 준비하고, 이들 금속염 용액과 셀레늄염 용액을 혼합하여 초음파 조사를 한다.

상기 친수성 고분자를 포함하는 용액 중에 용해되는 금속염의 농도는 1.0 몰/리터 이내의 범위가 바람직하다. 1.0몰/리터를 초과하면 중공입자 이외에 다량의 응집 입자가 형성되므로 바람직하지 않다.

본 발명의 금속염으로는 얻고자 하는 반도체 입자의 종류에 따라 선택할 수 있는 바, 예를 들면 Cd, Zn, Sn, Pb, Hg, 및 Mg 으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종의 금속원소를 포함하는 금속염이 이용된다. 또한 상기 금속염은 예를 들면, 염화물, 황산염, 염소산염 및 질산염으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종의 염이 사용된다. 이러한 금속염은 상기 친수성 고분자를 함유한 수용액에 양호하게 용해되는 것이 바람직하다.

보다 바람직한 실시형태에서는 폴리비닐알코올을 용해시킨 수용액에 금속염으로 Cd, Zn, Sn, Pb, Hg, 및 Mg로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종의 금속원소를 포함하는 염화물을 단독으로 사용한다.

한편, 셀레늄 용액은 셀레늄 화합물을 아황산나트륨 염 용액에 용해시켜 제조한다. 이때 함유되는 셀레늄 화합물의 농도는 금속염과 결합 반응을 위하여 화학양론적으로 상기 금속염 농도의 1~2배가 필요하다. 화학양론적으로 필요한 양 미만이면 반응결합이 종료되지 않고, 한편, 2배를 초과하면 과잉의 반응물이 존재하여 효과는 떨어진다. 따라서, 상기 셀레늄 용액 내에서 상기 셀레늄 화합물의 농도는 0.2 내지 0.4 몰/리터로 포함되는 것이 바람직하다.

구체적으로는, 용매인 물에 아황산나트륨을 용해한 후, 셀레늄(Se) 화합물을 첨가한 후 90℃에서 1시간 용해시킨 것을 사용한다. 선택적으로, 셀레늄화 알루미늄 분말을 묽은 황산 용액에서 용해시켜 얻어진 셀레늄화 수소 기체를 다시 물에 흡수시켜 얻어진 셀레늄염 용액을 사용할 수 있으나, 상기 셀레늄화 수소의 독성 때문에 취급상에 문제가 있어 바람직하지 않다.

한편, 초음파의 조사는 상기와 같이 준비된 금속염과 셀레늄 분말을 포함하는 수용액에 다음 도 1에 도식된 실험 장치와 같이 단일 용기에서 수행된다. 즉, 상기 제조된 금속염 용액과 셀레늄 용액의 혼합 수용액을 비이커에 담고 초음파 혼(horn)의 프로브를 이용하여 혼합용액에 초음파(20KHz, 455~560W)를 조사(5~30 분)한다. 초음파 조사는 전체 혼합 수용액으로부터 목적하는 양이 수득될 때까지 조사한다.

본 발명에서 사용된 실험 장치로는 실온에서 초음파 조사 시간은 5~30분 정도로 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 바람직한 실시 형태에 따라 반도체 나노 중공 입자를 제조하고자 할 때 적어도 물 또는 선택적으로, 알코올을 함유한 용매에 친수성 고분자를 용해시킨 수용액에 금속염을 용해시킴으로써 얻을 수 있는 금속염 용액을 먼저 준비한다. 계속해서 이와 같이하여 얻어진 금속염 용액을 셀레늄염 용액과 혼합하여 초음파 조사를 한다.

이와 같이 하여 금속염과 셀레늄 용액을 혼합하여 초음파를 조사하는 경우 친수성 고분자는 유기 단량체를 형성하고 고분자의 중합에 의하여 코일을 형성하기 때문에 중요하다. 초음파 조사에 얻어진 침전물은 후처리 공정에서는 물과 알코올을 사용하여 반복 수세함으로써 코어 내부의 잔류물을 제거할 수 있다. 계속해서 물과 알코올을 사용하여 반복 수세 한 후 50℃에서, 2시간 동안 진공 건조시켜 중공 입자를 제조할 수 있다.

본 발명의 제조 방법에 의하여 얻어진 반도체 나노 중공 입자는 금속-셀레늄 화합물의 결합 반응으로 생성된 것으로서, 바람직하게 30~50nm의 입자 크기를 갖는 내부가 비어 있는 구조를 가진다. 상기와 같이 얻어진 본 발명의 중공 입자는 광촉매, 코팅제, 충진제, 진단 시약제 등으로 적용될 수 있다.

또한 이하의 실시형태에서는 금속염과 셀레늄염을 각각 준비하여 금속염과 셀레늄염의 반응 결합을 발생시키기 위하여 이들 셀레늄염과 금속염을 혼합하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 친수성 고분자를 함유한 용액과, 금속염을 함유한 용액 및 셀레늄염을 함유한 용액을 각각 준비하고, 초음파 조사에 의하여 고분자 중합반응을 일으키기 위하여 이들 3개의 용액을 혼합하여도 된다. 또는 상술한 반응매질 함유 수용액만을 준비하고 여기에 직접 금속염을 첨가하거나 혹은 상술한 금속염 용액만을 준비하여 여기에 직접 친수성 고분자 용액 및 셀레늄염을 첨가하여도 된다.

이와 같이 여러 종류의 변형 예를 생각할 수 있지만 초음파 조사에 의하여 금속염과 셀레늄염의 반응 결합에 의하여 반도체 나노 입자를 생성하기 위하여 적어도 친수성 고분자를 함유한 수용액 중에, 금속염과 셀레늄염을 각각의 적어도 일 부가 용해되는 상태에서 존재시키는 공정을 구비하고 있으면 된다.

이하 반도체 중공 입자의 제조 방법에 관한 본 발명에 따른 실시예와 비교 예를 기재하면 다음과 같은 바, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.

실시예 1

폴리비닐알코올(수평균분자량 60,000) 0.9g을 물 90 ml에 용해시켜 폴리비닐알코올 수용액(1wt%)을 제조하였다. 염화카드뮴수화물 0.456g을 상기 폴리비닐알코올 수용액 90ml에 용해시킨 후 2-프로판올 5ml을 첨가하여 금속염 용액(0.02mol/ℓ)을 제조하였다. 이와는 별도로, 0.2M 아황산나트륨 용액에 셀레늄 분말 0.789 g(0.2 mol/ℓ)을 90℃, 1시간 용해하여 얻어진 아황산셀레늄나트륨 용액을 셀레늄 용액으로 제조하였다. 상기 금속염 용액 90mL에 상기 제조된 셀레늄 용액 10mL를 첨가하여 총 용액의 부피가 100mL가 되도록 하였다.

상기 카드뮴염 용액과 셀레늄염 용액을 혼합하여 고출력의 초음파 장치를 사용하여 상온에서 20KHz, 525W의 조건하에서 30분간 초음파 조사한 후 콜로이드 상태의 입자를 얻을 수 있었다. 상기 얻어진 콜로이드상 침전물을 증류수와 알코올을 사용하여 반복 수세하고, 원심분리기를 사용하여 원리 분리한 후, 50℃에서 2시간 동안 진공 건조시켰다.

상기 얻어진 카드뮴 셀레나이드 나노 입자를 투과전자현미경으로 관찰한 결과를 다음 도 2에 나타내었으며, 30~50nm의 입자 크기를 가지며, 내부가 비어 있는 중공 입자를 확인할 수 있었다.

실시예 2

수평균 분자량 74000의 PAA를 사용하는 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일한 방법으로, 중공입자를 제조하였다. 제조된 중공 입자를 투과전자현미경으로 관찰한 결과를 다음 도 3에 나타내었으며, 30~50nm의 입자 크기를 가지며, 내부가 비어 있는 중공 입자를 확인할 수 있었다.

비교예 1

폴리비닐알코올 0.8g을 물 80ml에 용해시켜 폴리비닐알코올 수용액(1wt%)을 제조하였다. 염화카드뮴수화물 0.456g을 상기 폴리비닐알코올 수용액에 용해시킨 후, 2-프로판올 10ml을 첨가하여 금속염 용액(0.02mol/ℓ) 90mL를 제조하였다. 이와는 별도로, 0.2M 아황산나트륨 용액에 셀레늄 분말 0.789g(0.2mol/ℓ)을 90℃, 1시간 용해하여 얻어진 아황산셀레늄나트륨 용액을 셀레늄 용액으로 제조하였다.

상기 얻어진 금속염 용액 90mL에 상기 제조된 셀레늄 용액 10mL를 첨가하여 총 용액의 부피가 100mL가 되도록 하였다.

상기의 카드뮴염 용액과 셀레늄염 용액을 혼합하여 고출력의 초음파 장치를 사용하여 상온에서 20KHz, 525W의 조건하에서 30분간 초음파 조사한 후 콜로이드 상태의 입자를 얻을 수 있었다. 상기 얻어진 콜로이드상 침전물을 증류수와 알코올 사용하여 반복 수세하고, 원심분리기를 사용하여 원리 분리한 후, 50℃에서 2시간 동안 진공 건조시켰다.

상기 얻어진 반응 생성물을 투과전자현미경으로 관찰한 결과를 다음 도 4에 나타내었으며, 70~100nm의 입자 크기를 가지며, 입자의 내부 혹은 표면에 다수의 미세 입자들이 분포된 불규칙한 큰 중공 입자가 형성된 것을 확인할 수 있었다.

이와 같이 본 발명에서는 금속염과 셀레늄염과의 결합 반응에 의한 중공 입자를 형성하기 위해서는 고분자 단량체의 중합에 의한 코일을 형성할 수 있는 물질의 선택이 필요하다. 따라서 본 발명에서 초음파와 같은 외부 에너지에 의하여 고분자 사슬이 엉겨 붙어 코일을 형성할 수 있는 친수성 고분자를 사용함으로써, 다양한 형태의 중공 입자를 얻을 수 있다.

Claims (19)

1. 입자 크기 30 내지 50nm의 내부가 비어 있는 구조의 반도체 중공 입자.
2. 제 1항에 있어서, 상기 중공 입자는 금속염과 셀레늄 화합물의 반응 결합에 의해 생성된 것을 특징으로 하는 반도체 중공 입자.
3. 제 2항에 있어서, 상기 금속염에서의 금속 원자는 Cd, Zn, Hg, Mn, 및 Mg으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 것임을 특징으로 하는 반도체 중공 입자.
4. 제 2항에 있어서, 상기 금속염에서의 염은 염화물, 황산염, 염소산염 및 질산염으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 것임을 특징으로 하는 반도체 중공 입자.
5. 금속염과 셀레늄 화합물 존재 하에서 친수성 고분자를 함유한 용액에 초음파를 조사하는 공정을 포함하는 제 1항에 따른 중공 입자의 제조방법.
6. 제 5항에 있어서, 상기 친수성 고분자는 -OH, -SO₃H, -COOH로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 친수성기를 포함하는 것으로, 수평균 분자량이 10,000 내지 100,000인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
7. 제 5항에 있어서, 상기 친수성 고분자 용액 중의 친수성 고분자의 농도는 1~3wt%인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
8. 제 5항에 있어서, 상기 친수성 고분자 용액의 용매는 물을 단독으로 사용하거나, 또는 알코올과의 혼합 용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 중공 입자의 제조방법.
9. 제 8항에 있어서, 상기 알코올은 메탄올, 에탄올, 및 프로판올로 이루어진 군으로부터 선택된 탄소수 1 내지 3의 지방족 알코올인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
10. 제 8항에 있어서, 상기 친수성 고분자 용액 내에 포함되는 알코올의 농도는 10부피% 이내인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
11. 제 5항에 있어서, 상기 금속염에서의 금속 원자는 Cd, Zn, Hg, Mn, 및 Mg 으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 것임을 특징으로 하는 중공입자의 제 조방법.
12. 제 5항에 있어서, 상기 금속염에서의 염은 염화물, 황산염, 염소산염 및 질산염으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 것임을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
13. 제 5항에 있어서, 상기 금속염은 상기 친수성 고분자 용액에 직접 첨가되거나, 또는 별도의 수용액에 용해되어 금속염을 함유한 수용액 형태로 첨가되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
14. 제 13항에 있어서, 상기 친수성 고분자 용액에 직접 첨가되는 상기 금속염의 농도는 1.0 몰/리터 이내인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
15. 제 5항에 있어서, 상기 셀레늄 화합물은 금속염을 함유한 친수성 고분자 용액에 직접 첨가되거나, 또는 아황산나트륨이 용해된 수용액에 셀레늄 화합물을 용해시킨 셀레늄 용액으로 첨가되는 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
16. 제 15항에 있어서, 상기 셀레늄 용액 내의 셀레늄 화합물의 농도는 0.2mol/ℓ 내지 0.4mol/ℓ인 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
17. 제 5항에 있어서, 상기 초음파의 조사는 20KHz, 455~560W의 조건에서 5 내지 30분간 수행되는 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.
18. 친수성 고분자를 함유한 수용액을 준비하는 공정,

    상기 수용액에 금속염을 용해시키는 공정,

    이와는 별도로, 셀레늄 화합물을 아황산나트륨 염 용액에 용해시켜 셀레늄 용액을 제조하는 공정,

    상기 친수성 고분자를 함유한 금속염 용액과 셀레늄 용액을 혼합하는 공정, 및

    상기 혼합 용액에 초음파를 조사하는 단계를 포함하는 중공입자의 제조방법.
19. 제 18항에 있어서, 상기 친수성 고분자를 함유한 용액의 용매로는 물을 단독 으로 사용하거나, 또는 알코올과의 혼합용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 중공입자의 제조방법.

Images