KR20080049186A - 이미지 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서는, 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층; 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법은, 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층을 형성하는 단계; 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 형성하는 단계; 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 패터닝하는 단계; 결과물에 열처리를 수행하고, 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 단계를 포함한다.
Description
도 1은 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 패터닝된 상태를 나타낸 도면.
도 2는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면을 나타낸 도면.
도 3은 도 1의 II-II' 선에 따른 단면을 나타낸 도면.
도 4는 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈가 형성된 상태를 나타낸 도면.
도 5는 도 4의 III-III' 선에 따른 단면을 나타낸 도면.
도 6은 도 4의 IV-IV' 선에 따른 단면을 나타낸 도면.
도 7은 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 제조된 이미지 센서에서 입사된 빛이 집광되는 상태를 설명하기 위한 도면.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 형성된 상태를 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 패터닝된 상태를 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈가 형성된 상태를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 제조된 이미지 센서에서 입사된 빛이 집광되는 상태를 설명하기 위한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
111... 적색 컬러필터 113... 녹색 컬러필터
115... 청색 컬러필터 130... 마이크로 렌즈 형성용 감광막
131... 제 1 감광막 133... 제 2 감광막
135... 제 3 감광막 141... 제 1 마이크로 렌즈
143... 제 2 마이크로 렌즈 145... 제 3 마이크로 렌즈
151... 제 1 수광부 153... 제 2 수광부
155... 제 3 수광부
본 발명은 이미지 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
이미지 센서라 함은 광학 영상(optical image)을 전기 신호로 변환시키는 반도체 소자로서, 이중 전하결합소자(CCD: Charge Coupled Device)는 개개의 MOS(Metal-Oxide-Silicon) 커패시터가 서로 매우 근접한 위치에 있으면서 전하 캐리어가 커패시터에 저장되고 이송되는 소자이다. 그리고 씨모스(Complementary MOS; 이하 CMOS라 함) 이미지 센서는 제어회로(control circuit) 및 신호처리회로(signal processing circuit)를 주변회로로 사용하는 CMOS 기술을 이용하여 화소 수만큼 MOS 트랜지스터를 만들고 이것을 이용하여 차례차례 출력(output)을 검출하는 스위칭 방식을 채용하는 소자이다.
도 1은 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 패터닝된 상태를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면을 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1의 II-II' 선에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
종래 이미지 센서 제조방법에 의하면, 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 적색 컬러필터(11), 녹색 컬러필터(13), 청색 컬러필터(15) 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막(31, 33, 35)을 패터닝하여 형성한다.
이때, 상기 적색 컬러필터(11), 녹색 컬러필터(13), 청색 컬러필터(15)의 상부면의 높이에 단차가 있으므로, 이를 평탄화하기 위하여 상기 적색 컬러필터(11), 녹색 컬러필터(13), 청색 컬러필터(15) 위에 평탄화막(21)이 먼저 형성된다. 그리고 상기 평탄화막(21) 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막(31, 33, 35)을 형성한다.
상기 결과물에 대하여 써멀 플로잉(thermal flowing)과 같은 열처리 공정을 수행함으로써, 도 4 내지 도 6에 나타낸 바와 같은 이미지 센서를 형성할 수 있게 된다. 도 4는 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈가 형성된 상태를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4의 III-III' 선에 따른 단면을 나타낸 도면이고, 도 6은 도 4의 IV-IV' 선에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
종래 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 적색 컬러필터(11), 녹색 컬러필터(13), 청색 컬러필터(15) 위에 동일한 두께, 동일한 모양의 마이크로 렌즈(41, 43, 45)가 형성된다. 일반적으로 청색광의 경우 대략 455nm, 녹색광의 경우 대략 555nm, 적색광의 경우 대략 655nm의 파장 대역을 가진다.
도 7은 종래 이미지 센서 제조방법에 의하여 제조된 이미지 센서에서 입사된 빛이 집광되는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
종래 이미지 센서에 의하면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 3가지 컬러필터(11, 13, 15) 위에 빛을 모아 주는 마이크로 렌즈(41, 43, 45)의 두께 및 형상이 똑같을 경우 컬러에 따른 파장의 차이에 의해 빛의 초점이 맺히는 위치가 서로 틀려지게 된다. 파장이 가장 짧은 청색광의 경우 초점의 위치가 마이크로 렌즈(45)에서 가장 가깝고, 녹색광은 중간, 적색광은 마이크로 렌즈(41)로부터 가장 먼 거리 초점이 맺히게 된다. 이에 따라, 동일 위치에 형성된 수광부(51, 53, 55)에 빛이 집광되는 정도가 달라지게 되며 이미지 센서의 특성을 떨어뜨리게 된다.
본 발명은 적색, 녹색, 청색 컬러필터를 투과한 빛을 원하는 촛점 거리에 집광시킬 수 있는 이미지 센서 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서는, 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층; 상기 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 상기 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 상기 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이; 를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 제 1 마이크로 렌즈, 제 2 마이크로 렌즈, 제 3 마이크로 렌즈의 두께가 모두 서로 상이하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 제 1 두께와 상기 제 4 두께를 합한 두께와, 상기 제 2 두께와 상기 제 5 두께를 합한 두께와, 상기 제 3 두께와 상기 제 6 두께를 합한 두께가 서로 동일하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 제 1 두께 보다 상기 제 2 두께가 더 두껍게 형성되고, 상기 제 2 두께 보다 상기 제 3 두께가 더 두껍게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 제 4 두께 보다 상기 제 5 두께가 더 얇게 형성되고, 상기 제 5 두께 보다 상기 제 6 두께가 더 얇게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 컬러필터층에 접촉되어 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 제 1 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 2 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 3 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리가 모두 동일하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 상기 컬러필터층을 이루는 각 컬러필터의 두께 선택에 따라 상기 각 컬러필터 위에 형성되는 상기 각 마이크로 렌즈의 두께가 결정되고, 상기 각 마이크로 렌즈의 두께 결정에 따라 빛이 집광되는 거리가 각각 결정된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법은, 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층을 형성하는 단계; 상기 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 형성하는 단계; 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 패터닝하는 단계; 상기 결과물에 열처리를 수행하고, 상기 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 상기 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 상기 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 단계; 를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 제 1 마이크로 렌즈, 제 2 마이크로 렌즈, 제 3 마이크로 렌즈의 두께가 모두 서로 상이하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 제 1 두께와 상기 제 4 두께를 합한 두께와, 상기 제 2 두께와 상기 제 5 두께를 합한 두께와, 상기 제 3 두께와 상기 제 6 두께를 합한 두께가 서로 동일하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 제 1 두께 보다 상기 제 2 두께가 더 두껍게 형성되고, 상기 제 2 두께 보다 상기 제 3 두께가 더 두껍게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 제 4 두께 보다 상기 제 5 두께가 더 얇게 형성되고, 상기 제 5 두께 보다 상기 제 6 두께가 더 얇게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 컬러필터층에 접촉되어 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 제 1 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 2 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 3 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리가 모두 동일하게 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 컬러필터층을 이루는 각 컬러필터의 두께 선택에 따라 상기 각 컬러필터 위에 형성되는 상기 각 마이크로 렌즈의 두께가 결정되고, 상기 각 마이크로 렌즈의 두께 결정에 따라 빛이 집광되는 거리가 각각 결정된다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 형성하는 단계에 있어, 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막의 상부 표면이 평탄하도록 도포한다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 상기 컬러필터층을 형성함에 있어, 상기 적색 컬러필터, 상기 녹색 컬러필터, 상기 청색 컬러필터를 순차적으로 형성한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 적색, 녹색, 청색 컬러필터를 투과한 빛을 원하는 촛점 거리에 집광시킬 수 있는 이미지 센서 및 그 제조방법을 제공할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조 물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "위"에 또는 "아래"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 그 의미는 각 층(막), 영역, 패드, 패턴 또는 구조물들이 직접 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들에 접촉되어 형성되는 경우로 해석될 수도 있으며, 다른 층(막), 다른 영역, 다른 패드, 다른 패턴 또는 다른 구조물들이 그 사이에 추가적으로 형성되는 경우로 해석될 수도 있다. 따라서, 그 의미는 발명의 기술적 사상에 의하여 판단되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세히 설명한다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 형성된 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 적색 컬러필터(111), 녹색 컬러필터(113), 청색 컬러필터(115)를 구비하는 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막(130)을 형성한다.
여기서 상기 컬러필터층을 형성함에 있어, 상기 적색 컬러필터(111), 녹색 컬러필터(113), 청색 컬러필터(115)를 순차적으로 형성할 수 있다.
상기 적색 컬러필터(111)는 제 1 두께를 갖도록 형성되고, 상기 녹색 컬러필터(113)는 제 2 두께를 갖도록 형성되고, 상기 청색 컬러필터(115)는 제 3 두께를 갖도록 형성될 수 있다.
하나의 예로서, 제 1 두께를 갖는 상기 적색 컬러필터(111) 보다 제 2 두께를 갖는 상기 녹색 컬러필터(113)가 더 두껍게 형성되고, 제 2 두께를 갖는 상기 녹색 컬러필터(113) 보다 제 3 두께를 갖는 상기 청색 컬러필터(115)가 더 두껍게 형성되도록 할 수 있다.
이와 같이 상기 적색 컬러필터(111), 녹색 컬러필터(113), 청색 컬러필터(115)의 두께가 서로 다르게 형성되는 경우, 컬러필터층의 상부면은 평탄하지 않게 형성된다. 본 발명의 실시 예에서는 상기 컬러필터층 위에 평탄화막을 형성하지 않고 마이크로 렌즈 형성용 감광막(130)이 접촉되도록 형성할 수 있다. 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막(130)은 도포 방식으로 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막(130)의 상부 표면은 평탄하게 형성될 수 있게 된다.
이어서 도 9에 나타낸 바와 같이 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막에 대한 패터닝을 수행한다. 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈 형성용 감광막이 패터닝된 상태를 나타낸 도면이다.
상기 적색 컬러필터(111) 위에는 제 1 감광막(131)이 형성되고, 상기 녹색 컬러필터(113) 위에는 제 2 감광막(133)이 형성되고, 상기 청색 컬러필터(115) 위에는 제 3 감광막(135)이 형성된다. 이는 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막(130)에 대한 노광 및 현상을 통하여 형성될 수 있게 된다.
그리고, 상기 결과물에 대하여 써멀 플로잉(thermal flowing)과 같은 열처리 공정을 수행함으로써, 도 10에 나타낸 바와 같은 이미지 센서를 형성할 수 있게 된다. 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 마이크로 렌즈가 형성된 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈(141)가 상기 적색 컬러필터(111) 위에 형성되고, 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈(143)가 상기 녹색 컬러필터(113) 위에 형성되고, 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈(145)가 상기 청색 컬러필터(115) 위에 형성된다.
상기 제 1 마이크로 렌즈(141), 상기 제 2 마이크로 렌즈(143), 상기 제 3 마이크로 렌즈(145)는 동일 평면 상에 매트릭스 형상으로 반복 배열되어 마이크로 렌즈 어레이를 형성한다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 제 1 마이크로 렌즈(141), 제 2 마이크로 렌즈(143), 제 3 마이크로 렌즈(145)의 두께가 모두 상이하게 형성되도록 할 수 있다.
또한 본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 각 컬러필터의 두께와 각 마이크로 렌즈의 두께를 합한 두께가 동일하게 형성되도록 할 수 있다.
즉, 상기 적색 컬러필터(111)의 제 1 두께와 상기 제 1 마이크로 렌즈(141)의 제 4 두께를 합한 두께와, 상기 녹색 컬러필터(113)의 제 2 두께와 상기 제 2 마이크로 렌즈(143)의 제 5 두께를 합한 두께와, 상기 청색 컬러필터(115)의 제 3 두께와 상기 제 3 마이크로 렌즈(145)의 제 6 두께를 합한 두께가 서로 동일하게 형성되도록 할 수 있다.
또한 본 발명의 실시 예에 의하면, 하나의 예로서, 제 4 두께를 갖는 상기 제 1 마이크로 렌즈(141) 보다 제 5 두께를 갖는 상기 제 2 마이크로 렌즈(143)가 더 얇게 형성되고, 제 5 두께를 갖는 상기 제 2 마이크로 렌즈(143) 보다 제 6 두께를 갖는 상기 마이크로 렌즈(145)가 더 얇게 형성되도록 할 수 있다.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서 제조방법에 의하여 제조된 이미지 센서에서 입사된 빛이 집광되는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 제 1 마이크로 렌즈(141)를 통하여 적색광이 제 1 수광부(151)에 집광되는 거리와, 상기 제 2 마이크로 렌즈(143)를 통하여 녹색광이 제 2 수광부(153)에 집광되는 거리와, 상기 제 3 마이크로 렌즈(145)를 통하여 청색광이 제 3 수광부(155)에 집광되는 거리가 모두 동일하게 형성될 수 있게 된다.
즉, 상기 제 1 마이크로 렌즈(141)와, 상기 제 2 마이크로 렌즈(143)와, 상기 제 3 마이크로 렌즈(145)의 두께와 표면 형상을 조절함으로써, 파장대역이 다른 적색광, 녹색광, 청색광이 모두 동일한 거리에 위치된 제 1 수광부(151), 제 2 수광부(153), 제 3 수광부(155)에 각각 집광될 수 있게 되는 것이다.
본 발명의 실시 예에서는 의도적으로 컬러필터 간의 높이 차이를 유발하여 마이크로 렌즈 두께를 변경함으로써 원하는 높이에 모든 빛의 초점이 맺히도록 할 수 있다. 파장이 짧은 청색광에 대해서는 마이크로 렌즈 두께가 얇아야 하며, 파장이 가장 긴 적색광은 마이크로 렌즈의 두께가 청색광에 해당되는 마이크로 렌즈의 두께와 녹색광에 해당되는 마이크로 렌즈의 두께에 비해 두꺼워야 한다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면 각 수광부에 빛이 효율적으로 집광될 수 있게 되므로 이미지 특성이 향상될 수 있게 된다.
또한 본 발명의 실시 예에 의하면, 각 컬러필터의 높이가 차이가 나게 형성되므로, 마이크로 렌즈 형성을 위한 열처리 시 인접한 마이크로 렌즈간의 머 징(merging)도 방지가 되어 제로 갭(zero-gap)의 마이크로 렌즈 어레이를 용이하게 형성할 수 있게 된다. 또한 컬러필터 간의 높이 차이를 없애기 위한 평탄화 공정을 제거할 수 있으므로 공정 단순화를 이룰 수 있으며, 원가 절감도 가능하게 된다.
한편, 이상의 설명에서는 각 컬러필터의 두께와 각 마이크로 렌즈의 두께를 조정하여, 각 마이크로 렌즈로부터 동일 거리에 빛이 집광될 수 있는 방안에 대하여 설명하였다.
그러나, 이미지 센서의 설계에 따라서는 각 마이크로 렌즈로부터 빛이 집광되는 거리가 각 파장대역에 따라 달라져야 하는 경우도 발생될 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서는 이러한 경우에도 유용하게 적용될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서에 의하면, 컬러필터층을 이루는 각 컬러필터의 두께 선택에 따라 각 컬러필터 위에 형성되는 각 마이크로 렌즈의 두께를 결정할 수 있게 된다. 이에 따라 각 마이크로 렌즈의 두께 조정에 따라 빛이 집광되는 거리를 선택적으로 결정할 수 있게 된다.
즉, 본 발명의 실시 예에 의하면, 각 파장대역의 빛이 집광되는 초점을 의도적으로 서로 다른 거리에 맺히도록 하여, 각 컬러별로 최적의 초점을 구현할 수 있도록 이미지 센서를 설계할 수도 있다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 이미지 센서 및 그 제조방법에 의하면, 적색, 녹색, 청색 컬러필터를 투과한 빛을 원하는 촛점 거리에 집광시킬 수 있는 장점이 있다.
Claims (18)
- 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층;상기 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 상기 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 상기 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 마이크로 렌즈, 제 2 마이크로 렌즈, 제 3 마이크로 렌즈의 두께가 모두 서로 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 두께와 상기 제 4 두께를 합한 두께와, 상기 제 2 두께와 상기 제 5 두께를 합한 두께와, 상기 제 3 두께와 상기 제 6 두께를 합한 두께가 서로 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 두께 보다 상기 제 2 두께가 더 두껍게 형성되고, 상기 제 2 두께 보다 상기 제 3 두께가 더 두껍게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제 4 두께 보다 상기 제 5 두께가 더 얇게 형성되고, 상기 제 5 두께 보다 상기 제 6 두께가 더 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 컬러필터층에 접촉되어 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 2 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 3 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리가 모두 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1항에 있어서,상기 컬러필터층을 이루는 각 컬러필터의 두께 선택에 따라 상기 각 컬러필터 위에 형성되는 상기 각 마이크로 렌즈의 두께가 결정되고, 상기 각 마이크로 렌즈의 두께 결정에 따라 빛이 집광되는 거리가 각각 결정되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제 1 두께의 적색 컬러필터, 제 2 두께의 녹색 컬러필터, 제 3 두께의 청색 컬러필터를 구비하는 컬러필터층을 형성하는 단계;상기 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 형성하는 단계;상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 패터닝하는 단계;상기 결과물에 열처리를 수행하고, 상기 적색 컬러필터 위에 형성된 제 4 두께의 제 1 마이크로 렌즈, 상기 녹색 컬러필터 위에 형성된 제 5 두께의 제 2 마이크로 렌즈, 상기 청색 컬러필터 위에 형성된 제 6 두께의 제 3 마이크로 렌즈를 구비하는 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 마이크로 렌즈, 제 2 마이크로 렌즈, 제 3 마이크로 렌즈의 두께가 모두 서로 상이하게 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 두께와 상기 제 4 두께를 합한 두께와, 상기 제 2 두께와 상기 제 5 두께를 합한 두께와, 상기 제 3 두께와 상기 제 6 두께를 합한 두께가 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 두께 보다 상기 제 2 두께가 더 두껍게 형성되고, 상기 제 2 두께 보다 상기 제 3 두께가 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 제 4 두께 보다 상기 제 5 두께가 더 얇게 형성되고, 상기 제 5 두께 보다 상기 제 6 두께가 더 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 컬러필터층에 접촉되어 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 2 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리와, 상기 제 3 마이크로 렌즈를 통하여 빛이 집광되는 거리가 모두 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 컬러필터층을 이루는 각 컬러필터의 두께 선택에 따라 상기 각 컬러필터 위에 형성되는 상기 각 마이크로 렌즈의 두께가 결정되고, 상기 각 마이크로 렌즈의 두께 결정에 따라 빛이 집광되는 거리가 각각 결정되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 컬러필터층 위에 마이크로 렌즈 형성용 감광막을 형성하는 단계에 있어, 상기 마이크로 렌즈 형성용 감광막의 상부 표면이 평탄하도록 도포하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제 9항에 있어서,상기 컬러필터층을 형성함에 있어, 상기 적색 컬러필터, 상기 녹색 컬러필터, 상기 청색 컬러필터를 순차적으로 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
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