KR20080009092A - Automatic convey system - Google Patents

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KR20080009092A
KR20080009092A KR20077024603A KR20077024603A KR20080009092A KR 20080009092 A KR20080009092 A KR 20080009092A KR 20077024603 A KR20077024603 A KR 20077024603A KR 20077024603 A KR20077024603 A KR 20077024603A KR 20080009092 A KR20080009092 A KR 20080009092A
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Application number
KR20077024603A
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Korean (ko)
Inventor
마사나오 무라타
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아시스트 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤
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Abstract

Objects are conveyed on a plurality of convey tables between at least one storage unit and a plurality of manufacturing devices. The objects are easily managed by an instruction of a control device with a high reliability and at a low cost. An ID card (20) having a built-in radio communication function is installed in all carriers (18) and an ID reader/writer (25) having a built-in radio communication function is installed in some convey AGV (automated guided vehicles) (10). The carrier ID is read/written from/to the ID card (20) by the instruction of an MCS (4) connected to the ID reader/writer (25). A carrier ID management unit (4a) manages the carrier ID.

Description

자동 재료 취급 시스템{AUTOMATIC CONVEY SYSTEM} Automated material handling systems {AUTOMATIC CONVEY SYSTEM}

본 발명은 하나 이상의 보관 유닛과 복수의 제조 장치 사이에서 제어기의 명령에 따라 복수의 반송 대차에 의해 반송되는 피반송물을 관리하는 자동 재료 취급 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to automated material handling systems for managing the transported material carried by the plurality of the conveyance truck in accordance with the command of the controller between the one or more storage units and a plurality of manufacturing apparatus.

반도체, 액정 등의 제조 설비에서, 공기 중의 미세한 분진 등이 제품의 품질성능에 악영향을 미치기 때문에, 제조 프로세스 내 물품 (예를 들면, 반도체 제품 제조 설비의 경우, 반도체 기판 및 액정표시장치용 유리 기판, 포토 마스크용 유리 기판, 광디스크용 기판 등의 피제조물의 중간 물품)이 카세트에 격납되어, 제조 프로세스에 따라 반송 시스템에 의해 제조 장치, 그리고 스토커(stocker) 또는 간이 버퍼 유닛와 같은 보관 유닛의 사이에서 반송되게 하는, 자동 재료 취급 시스템(AMHS: Automated Material Handling System)이 채용되어 있다 (특허문헌 1 참조). In the production equipment for semiconductor, liquid crystal, since the fine dust and the like in the air adversely affect the quality of performance of the product, the manufacturing process items (e.g., a glass substrate for the case of a semiconductor manufacturing facility, the semiconductor substrate and a liquid crystal display device the photomask blood intermediate article of products such as a glass substrate, an optical substrate for a) contained in the cassette, the manufacturing apparatus by a conveying system according to the manufacturing process, and a stocker (stocker) or simple buffer between the storage unit such yunitwa , the automated material handling system to be conveyed: the (AMHS automated material handling system) is employed (see Patent Document 1). 반송 시스템으로서는, 천장에 매달린 궤도상을 주행해서 FOUP(FrontOpening UnifiedPod)을 반송하는 OHT(Over head Hoist Transport) 시스템과 OHS(Over Head Shuttle) 시스템 및 마루 위를 자동주행하는 반송 대차를 채용한 반송 시스템을 포함하는, 궤도상을 주행하는 반송 대차에 의한 반송 시스템이 주류가 되고 있다. OHT (Over head Hoist Transport) system and OHS (Over Head Shuttle) a transport system employing a transport truck, which automatically running the system and above floor for conveying as a transfer system, to drive the in-orbit suspended from the ceiling FOUP (FrontOpening UnifiedPod) , a conveying system according to the conveyance truck traveling on the orbit, and the liquor containing a.

또한, 자동 재료 취급 시스템에 있어서는, 피반송물인 캐리어들 각각에 캐리 어를 식별하기 위한 식별 정보인 캐리어 ID(바코드, RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신 ID 등)가 부착되어 있다. Further, in the automated material handling system, the carrier of the transported material of each carrier identification information ID for identifying the carrier to (bar code, RFID (Radio Frequency Identification), infrared communication, ID, etc.) is attached. 반송 대차에 의해 제조 장치로, 또는 스토커, 버퍼 스테이지 및 반송 경로에 평행하게 설치된 간이 버퍼 유닛 등의 보관 유닛으로 캐리어를 반송할 때, 이들의 로딩 포트, 언로딩 포트, 또는 양쪽 포트의 인터페이스 유닛부에는 각각 ID 판독 및 기록 유닛이 설치되고, 이 ID 판독 및 기록 유닛을 통하여 자동 재료 취급 시스템의 제어기에 의해 캐리어 ID의 확인 및 관리되는 캐리어 ID의 판독 및 기록이 행해진다. A production apparatus by the conveyance truck, or a stalker, a buffer stage and to transport the carrier to the storage unit such as a simple buffer unit in parallel is installed on the conveying path, the interface unit thereof of the loading ports and unloading ports or the ports unit in the ID is respectively read and write units are installed and, reading and writing of the ID read and check and manage a carrier ID which is ID of the carrier by a controller of the automated material handling system through the recording unit is performed.

예를 들면, 특허문헌 2에는, 호스트 컴퓨터(host computer)에 접속된 무선 통신 기능이 제조 장치 그리고, 스토커, 버퍼 스테이지, 간이 버퍼 유닛 등의 보관 유닛의 각 부분에 설치되고, 무선통신 기능을 갖추고 소정 정보(식별 정보)를 기억할 수 있는 전자 모듈이 카세트 (피반송물) 상에 개별적으로 탑재되며, 무선통신에 의해 소정 정보를 전자 모듈에 판독 및 기록해서 호스트 컴퓨터에 의해 카세트를 관리하는 기술이 공지되어 있다. For example, Patent Document 2, a wireless communication function connected to a host computer (host computer) is provided on each part of the storage unit such as a production apparatus and, stocker, the buffer stage, a simple buffer unit, equipped with a wireless communication function predetermined information (identification information) and the electronic module, which can store separately mounted on the cassette (the transported material), a technique that reads and writes the predetermined information to the electronic module by a wireless communication control a cassette by a host computer known It is.

특허문헌 1 : 특허 공개 제2005-1886호 공보 Patent Document 1: Unexamined Patent Publication No. 2005-1886 discloses

특허문헌 2 : 특허 공개 평성 제9-283595호 공보 Patent Document 2: Patent Publication No. Heisei 9-283595 discloses

그러나, ID 판독 및 기록 유닛은 고가이기 때문에, 제조 장치 그리고 스토커, 버퍼 스테이지, 반송 경로에 평행하게 설치되는 간이 버퍼 유닛 등의 보관 유닛의 개수가 많을 경우에는, 비용이 증가한다는 문제가 있다. However, there is a problem that since the ID read and write units are expensive, the manufacturing apparatus and the stocker, the buffer stage, the cost is increased if there are many number of storage unit such as a simple buffer unit that is parallel to the transport path.

또한, 무선통신 기술을 이용해서 피반송물의 식별 정보의 판독 및 기록을 행할 경우, 무선통신 기술에 이용된 안테나의 지향성(directivity) 때문에 그 무선통 신 기능의 설치 장소의 설정이 곤란하다고 하는 문제가 있다. Further, the problem that by that the setting of the radio communications, the installation place of the renal function is difficult because of the directivity (directivity) of the antenna used for the radio communication techniques when performing the reading and writing of the identification information of the transported material using a wireless communication technology have. 즉, 피반송물이 무선통신 가능범위의 사각에 들어가면 (예를 들면, 피반송물이 적정 위치로부터 벗어나면), 무선통신을 행할 수 없기 때문에, 피반송물 및 피반송물의 식별 정보를 확인할 수 없다고 하는 문제가 있다. That is, the problem that the transported material enters the square of the radio communication range (for example, the transported material is out from a proper position), because it can not perform the wireless communication, it could not confirm the identity of the transported material and the transported material a. 이러한 경우, 피반송물 및 피반송물의 식별 정보를 확인하기 위해서, 자동 재료 취급 시스템을 정지하고, 수동으로 모든 피반송물에 대하여 ID 판독 및 기록 유닛으로부터 식별 정보를 판독해야만 한다. In this case, it is necessary to read identification information from the transported material and the transported material identification ID reading and recording unit, stopping the automated material handling system, for all the transported material manually in order to confirm information. 캐리어의 수가 다수개인 경우에는, 노동력과 시간이 수반되며, 제조 프로세스를 장시간 동안 정지시키기 때문에, 제조 설비의 생산성에 영향을 주게 된다. When the number of carriers, the number of individuals, the labor and time are involved, because stopping the production process for a long time, and can affect the productivity of the manufacturing facility.

상기한 종래 문제점에 대하여, 본 발명은 하나 이상의 보관 유닛과 복수의 제조 장치 사이에서 제어기의 명령에 따라 복수의 반송 대차에 의해 반송되는 피반송물을 저렴하고 간편하게 그리고 높은 신뢰성을 가지고 관리할 수 있는 자동 재료 취급 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. With respect to the conventional problems mentioned above, automatically in the present invention are inexpensive and easy, and management has high reliability to the transported material carried by the plurality of the conveyance truck in accordance with the command of the controller between the one or more storage units and a plurality of manufacturing devices and an object thereof is to provide a material handling system.

본 발명에 따른 자동 재료 취급 시스템은, 하나 이상의 보관 유닛과 복수의 제조 장치 사이에서, 제어기의 명령에 따라 복수의 반송 대차에 의해 반송되는 피반송물을 관리하는 자동 재료 취급 시스템이며, 상기 피반송물은 해당 피반송물에 수용된 피처리물을 식별하는 식별 정보를 기록하는 판독 및 기록 가능한 식별 정보 기록 유닛을 포함하고, 상기 반송 대차의 일부는 상기 제어기의 명령을 기반으로 상기 식별 정보 기록 유닛에 대하여 상기 식별 정보의 판독 및 기록을 실시하는 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 포함하고, 상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 판독 및 기록을 행한 상기 식별 정보를 축적 관리하는 식별 정보 관리 유닛을 갖추고, 상기 식별 정보 기록 유닛에 기록된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적 Between the automated material handling system comprising: one or more storage units and a plurality of manufacturing apparatus according to the present invention, the automated material handling system to manage the transported material carried by the plurality of the conveyance truck in accordance with the command of the controller, wherein the transported material is including the read and write identifiable information recording unit for recording the identification information for identifying an object to be treated received in the the transported material, and a portion of the conveyance truck is the identification with respect to the identification information recording unit based on the command of the controller, including an identification information reading and writing unit for performing reading and writing of the information, and wherein the controller is equipped with an identification information management unit for storing management on the identification information subjected to the reading and writing the identification information reading and writing unit, the identification and the identification information recorded on an information recording unit, the identification information stored in the management unit 고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보를 기반으로 상기 제어기에 의해 상기 피처리물의 관리를 실시하는 것을 특징으로 한다. And by it said controller to said identification information based on the identification information managed by the managing unit is characterized in that for performing the management of the target object.

따라서, 피반송물에 탑재된 식별 정보 기록 유닛에 또는 이로부터, 제어기의 명령을 기반으로 식별 정보의 판독 및 기록을 행하는 식별 정보 판독 및 기록 유닛을, 일부의 반송 대차에만 탑재한다. Thus, with the identification information or from which the recording unit mounted on the transported material, the identification information reading and writing unit for performing reading and writing of the identification information based on the command of the controller, only a portion of the conveyance truck. 이에 의해, 제조 장치 및 보관 유닛의 모두에 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재한 종래의 경우에 비해 비용이 현저하게 감소된다. As a result, the cost is significantly reduced compared to the conventional one with the identification information reading and writing unit to all of the production apparatus and a storage unit. 또, 반송 대차에 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재하기 때문에, 반송 대차가 통상의 반송 동작을 실시하면서 식별 정보의 판독 및 기록을 행할 수 있으므로, 간편하게 피반송물을 관리할 수 있다. In addition, since the identification information with a reading and recording unit on the conveyance truck, since the conveyance truck while being subjected to the normal transportation operation can be carried out the reading and writing of the identification information, it is possible to easily manage the transported material. 게다가, 반송 대차는 제조 장치 및 보관 유닛에 대한 기동성(mobility)이 우수하고, 반송 대차에 탑재된 식별 정보 판독 및 기록 유닛과 피반송물에 탑재된 식별 정보 기록 유닛과의 사이의 통신을 확보하기 쉽기 때문에, 높은 신뢰성을 가지고 피반송물을 관리하는 것이 가능하다. In addition, the conveyance truck is easy to ensure the communication between the identification information recording unit with the identification information reading and recording unit and the transported material with a production apparatus and a mobility of the storage unit (mobility) is excellent, and the conveyance truck Therefore, it is possible to manage the transported material has a high reliability. 본 발명에 있어서, 식별 정보 판독 및 기록 유닛은, 빛이나 무선의 원리를 채용한 종래 통신 유닛 수단을 이용하여 식별 정보 판독 및 기록 장치를 이용할 수도 있다. In the present invention, the identification information reading and recording unit may use conventional means of communication unit employing a light or radio principle of using the identification information reading and recording apparatus.

여기에서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛은, 상기 보관 유닛 및 상기 제조 장치에 대하여 상기 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 경우에, 상기 식별 정보 기록 유닛으로부터 상기 식별 정보를 판독하고, 상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛으로 판독한 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하는지를 확인하는 식별 정보 확인 유닛을 더 포함하는 것이 바람직하다. Here, the identification information reading and recording unit, the storage unit, and when performing the carrying in and carrying out of the the transported material with respect to the production apparatus, and reading out the identification information from the identification information recording unit, wherein the controller may further include the above-described read out by said identification information reading and recording unit identification information, the identification information confirmation unit that is stored in the identification information management unit determine whether or not the identification information managed by said identification information managing unit matches Do.

따라서, 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재한 반송 대차가 보관 유닛 및 제조 장치에 대하여 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 때마다, 피반송물의 식별 정보 기록 유닛으로부터 판독한 식별 정보와, 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 식별 정보가 일치하는지를 확인한다. Thus, the identification information reading and recording unit, a conveying each time the balance is carried out for carrying in and carrying out of the transported material with respect to the storage unit and a production apparatus, the identification read from the identification information recording unit of the transported material information, the identification information management with the stored in the unit, and confirms whether the identification information managed by said identification information managing unit match. 이에 따라, 피반송물에 관한 식별 정보를 자주 확인하여 조속한 시기에 문제의 발생을 발견하므로, 피반송물의 관리 신뢰성을 향상시킬 수 있다. Accordingly, since the check back often to discover the occurrence of problems in the early period the identification information on the transported material, it is possible to improve the reliability management of the transported material.

또한, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛은, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 상태에서 상기 보관 유닛 및 상기 제조 장치에 대하여 상기 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 경우에, 상기 식별 정보 기록 유닛으로부터 상기 식별 정보를 판독하고, 상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하는지를 확인하는 식별 정보 확인 수단을 더 포함할 수 있다. Further, the identification information reading and writing unit, in a state wherein the identification information reading and writing unit is not installed in the case to perform the carrying in and carrying out of the the transported material with respect to said storage unit and the production apparatus, the identification information recorded from the unit reads the identification information, the controller may match the identification information read out and the identification read out the by the recording unit information, and the identification is stored in the information management unit the identification information management managed by a unit the identification information the identification information confirmation means for confirming whether or may further include.

따라서, 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 이미 설치되어 있는 보관 유닛 및 제조 장치에 대해서는, 설치된 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 채용한 종래 기술이 활용되는 반면, 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 보관 유닛 및 제조 장치에 대해서는, 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재한 반송 대차가 사용된다. Thus, the identification information reading and writing unit, while for the storage unit and a production apparatus that is already installed, this prior art employing an identification information reading and writing unit is installed technique is utilized, an identification information reading and writing unit is not installed storage unit and for the production apparatus, it has a conveyance truck with the identification information read and write units are used. 따라서, 기존의 설비를 이용하면서, 새롭게 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 설치할 필요가 없기 때문에, 비용이 삭감될 수 있다. Therefore, since while using existing equipment, there is no need to newly install an identification information reading and writing unit, the cost can be reduced. 그리고, 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 보관 유닛 및 제조 장치에 대해서는, 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재한 반송 대차가 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 때마다, 피반송물의 식별 정보 기록 유닛으로부터 판독한 식별 정보와, 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 식별 정보가 일치하는지에 관한 확인이 행하여진다. Then, the identification information reading and writing unit is not installed, storage unit, and equipped with, an identification information reading and writing unit for the manufacturing apparatus conveyance truck every time to perform the carrying in and carrying out of the transported material, the transported material identification information recorded in the It is stored in the identification information and the identification information management unit read from the unit a confirmation as to whether the identification information managed by said identification information managing unit matching is performed. 이에 의해, 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 보관 유닛 및 제조 장치에 대해서 피반송물에 관한 식별 정보를 자주 확인하여, 조속한 시기에 문제의 발생을 발견하므로, 피반송물의 관리 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다. As a result, the identification information about the transported material frequently check for identification information reading and storing unit and the apparatus for manufacturing a recording unit is not installed, since the early time found the occurrence of problems, further improve the management reliability of the transported material to can.

여기에서, 상기 식별 정보 확인 유닛에 있어서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독한 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하지 않는다고 판단한 경우에, 상기 제어기는 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 축적 및 관리되는 상기 식별 정보를 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독한 상기 식별 정보에 재기록하거나, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보에 일치시키도록 상기 피반송물을 재배치시킬 수 있다. Here, according to the identification information confirmation unit, said identification information readout and the identification information read by the recording unit, the identification being stored in the information management unit does not match the identification information managed by said identification information managing unit If it is determined does the controller is the identification information rewriting the identification information stored and managed by the managing unit to the said identification information read by the identification information reading and recording unit, or is stored in the identification information management unit the to match to the identification information managed by the identification information managing unit can be relocated to the the transported material.

이에 따라, 시스템 트러블에 기인하여 데이타에 혼란이 생겼을 경우 등 식별 정보 확인 유닛에 의해 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 식별 정보와, 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 식별 정보와의 불일치가 발견되었을 경우, 예를 들면, 자동 재료 취급 시스템을 일단 정지시켜, 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치된 반송 대차를 제조 장치 및 보관 유닛을 한바퀴 돌게 자동 주행시켜서, 모든 피반송물 또는 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재하지 않은 제조 장치 및 보관 유닛 상의 피반송물의 식별 정보를 판독하고, 판독한 식별 정보를 기반으로 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 식별 정보를 다시 기록한다. In this way, such as identification information identified by the unit and stored in the identification information management unit the identification information management managed by the unit identification information, the identification information read out, and read out by the record unit in the case, due to system troubles arises a confusing data If an inconsistency with the identification information is found, for example, by temporarily stopping the automated material handling systems, identified by the information reading and writing unit is automatically driving pumping conveyance truck round a production apparatus and a storage unit installed, all the transported material or reads the identification information read and write the prepared non-mounting unit device and the identification information of the transported material on the storage unit, and storing the identification information management unit based on the read identification information identifies the management by the identification information managing unit record the information. 다른 방법으로서, 식별 정보 관리 유닛에 의해 축적 및 관리되는 식별 정보에 일치되도록 피반송물을 각각 재배치한다. Alternatively, the relocation of the transported material such that each matches with the identification information stored and managed by the identification information managing unit. 이에 따라, 문제를 최소화할 수 있고, 조속한 시기에 자동 재료 취급 시스템을 재개할 수 있으므로, 피반송물의 관리의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다. Accordingly, it is possible to minimize the problem, it is possible to resume the automated material handling systems in the early period, it is possible to further improve the reliability of the management of the transported material.

도 1은 OHT 반송 대차, 간이 버퍼 유닛 및 제조 장치를 포함하는 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템을 나타내는 개략 사시도이다. 1 is a schematic perspective view of the automated material handling system according to the present embodiment including the OHT conveyance truck, a simple buffer unit and a production unit.

도 2는 캐리어의 구조를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 2 is a schematic perspective view showing the structure of the carrier.

도 3은 OHT 반송 대차의 구조를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 3 is a schematic perspective view showing the structure of the conveyance truck OHT.

도 4는 OHT 반송 대차가 간이 버퍼 유닛에 대하여 캐리어를 로딩 또는 언로딩하는 상태에서, OHT 반송 대차, 간이 버퍼 유닛 및 캐리어의 측면도이다. 4 is a side view in a state in which the OHT conveyance truck loading or unloading of the carrier relative to simple buffer unit, the conveyance truck OHT, simple buffer unit and the carrier.

도 5는 각 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템의 블록도이다. 5 is a block diagram of the automated material handling system according to each embodiment.

도 6은 OHT 반송 대차, OHT 반송 대차의 궤도, 간이 버퍼 유닛 및 제조 장치를 포함하는 자동 재료 취급 시스템의 구성을 나타내는 상면도이다. Figure 6 is a top view showing the configuration of the automated material handling system comprising a track, a simple buffer unit and a manufacturing device for the conveyance truck OHT, OHT conveyance truck.

도 7은 OHT 반송 대차의 구조의 변형예를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 7 is a schematic perspective view showing a modification of the structure of the conveyance truck OHT.

도 8은 OHT 반송 대차, 간이 버퍼 유닛 및 제조 장치를 포함하는 본 실시형태에 따른 재료 취급 시스템의 변형예를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 8 is a schematic perspective view showing a modified example of the material handling system according to the present embodiment including the OHT conveyance truck, a simple buffer unit and a production unit.

도 9는 OHT 반송 대차 구조의 변형예를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 9 is a schematic perspective view showing a modified example of the conveyance truck OHT architecture.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 관련되는 자동 재료 취급 시스템을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해서, 구체적인 일 예에 입각해서 설명한다. With reference to the drawings, with respect to the best mode for carrying out the automated material handling system according to the present invention is described with an example based on concrete.

본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템에 대해서, 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한다. For the automated material handling system according to the present embodiment will be described with reference to Figures 1 to 6. 도 1은, OHT 반송 대차, 간이 버퍼 유닛 및 제조 장치를 포함하는 본 실시형태에 영향을 미치는 자동 재료 취급 시스템의 개략 사시도이다. 1 is a schematic perspective view of the conveyance truck OHT, simple buffer unit, and the automated material handling system that affect the present embodiment comprises a manufacturing device. 도 2는 캐리어의 구조를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 2 is a schematic perspective view showing the structure of the carrier. 도 3은 OHT 반송 대차의 구조를 나타내는 개략 사시도이다. Figure 3 is a schematic perspective view showing the structure of the conveyance truck OHT. 도 4는 OHT 반송 대차가 간이 버퍼 유닛에 대하여 캐리어를 로딩 또는 언로딩하는 상태에 있어서의 OHT 반송 대차, 간이 버퍼 유닛 및 캐리어의 측면도이다. 4 is a side view of the conveyance truck in the OHT, simple buffer unit and the carrier in the state of loading or unloading of the carrier relative to the conveyance truck OHT a simple buffer unit. 도 5는 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템의 블록도이다. Figure 5 is a block diagram of an automated material handling system according to the present embodiment. 도 6은 OHT 반송 대차, OHT 반송 대차의 궤도, 간이 버퍼 유닛 및 제조 장치를 포함하는 자동 재료 취급 시스템의 구성을 나타내는 상면도이다. Figure 6 is a top view showing the configuration of the automated material handling system comprising a track, a simple buffer unit and a manufacturing device for the conveyance truck OHT, OHT conveyance truck.

도 1 및 도 6에서 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템에 있어서, 레일 현가 부재(16)에 의해 천장(9)에 부착된 레일(궤도)(15)위를 주행하는 OHT 반송 대차(반송 로봇)(10)는, 제조 프로세스에 따라, 즉 MES(Manufacturing Execution System; 5) 및 MCS(Material Control System; 4)의 명령에 따라, 반도체 제조 장치들(제조 장치들)(13) 사이에서, 기판이 수납된 캐리어(피반송물)(18)를 자동 반송하여, 로딩 포트(14a) 및 언로딩 포트(14b)를 통하여 캐리어(18)의 반입 및 반출을 수행한다. As it is shown in Figs. 1 and 6, OHT that in the automated material handling system according to the present embodiment, running on a rail suspension member of the rail (track) (15) attached to the ceiling (9) by (16) above, the conveyance truck (transport robot) 10 is, i.e., MES according to the manufacturing process (manufacturing Execution system; 5) and MCS; s in accordance with a command (Material Control system 4), the semiconductor manufacturing apparatus (the manufacturing apparatus, 13 ) between, the board is automatically conveyed to the storage carrier (the transported material) 18, and performs the carrying in and carrying out of the carrier 18 through the loading port (14a) and unloading ports (14b). 또한, 반송시에 공정 조정의 필요성에 따라, 반송 대차의 레일(15)의 양측(도 6의 12a, 12b 및 12c)에 배치되고 버퍼 현가 부재(17)에 의해 천장(9)에 부착된 간이 버퍼 유닛(보관 유닛)(12) 상에, 캐리어(18)를 일시 보관한다. Further, according to the need for process adjustments during the conveying, are arranged on both sides of the rail 15 of the conveyance truck (12a, 12b, and 12c in Fig. 6) is attached to the ceiling (9) by a buffer suspension member 17 is simplified on the buffer unit (storage unit) 12, and keep the carrier 18 temporarily. 한편, 간이 버퍼 유닛(12)은 천장(9) 뿐만 아니라 벽면이나 바닥면에 지지시킬 수도 있다는 것에 유의하여야 한다. On the other hand, a simple buffer unit 12. It should be noted that not only the ceiling (9) may be supported on a wall or floor. 여기에서, 본 실시형태에 있어서는, 반도체 제조 장치(13) 및 스토커(도시되지 않음)에는 ID 판독 및 기록 유닛이 이미 설치되고 있어서, 종래 기술에 따라 ID 데이타의 관리가 행하여 지는 것으로 가정한다. Here, in the present embodiment, in the semiconductor manufacturing apparatus 13 and the stocker (not shown), the ID read and write units are already installed, it is assumed that the management of the ID data is performed according to the prior art. 또, 간이 버퍼 유닛(12)에는 ID 판독 및 기록 유닛이 설치되어 있지 않다. In addition, a simple buffer unit 12, the ID read and write unit is not installed.

도 2에서 도시된 바와 같이, 캐리어(FOUP; 18)는 개폐 가능한 리드(23)를 갖는 기판 수용부(22)에, 즉 피처리물인 기판을 수용하고, 기판 수용부(22)의 상면에 마련된 플랜지(21)를 OHT 반송 대차(10)로 파지되어 반송된다. As shown in Figure 2, the carrier (FOUP; 18) has a substrate receiving portion 22 having a lid 23 can be opened, that is, receive the substrate is water-treatment and, provided on the upper surface of the substrate receiving portion 22 are holding the flange 21 to the OHT conveyance truck 10 is conveyed. 또, 기판 수용부(22)의 측면에는 ID 카드(식별 정보 기록 유닛)(20)가 설치되어 있다. In addition, the side of the substrate receiving portion 22 has an ID card (identification information storage unit) 20 is provided. 한편, ID 카드(20)는 모든 캐리어(18)에 설치되어 있는 것에 유의하여야 한다. On the other hand, ID card 20. It should be noted that is installed on all of the carriers (18). 여기에서, ID 카드(20)는 캐리어 ID(각 캐리어(18)가 수용하는 기판에 관한 정보나 캐리어(18)의 가공 공정 진척에 관한 정보 등과 같은 식별 정보)를 기록할 수 있는 판 독 및 기록 가능한 데이타 기록 매체이며, 착탈가능한 것이 바람직하다. Here, ID card 20 includes a carrier ID which can record (each carrier 18 identification information, such as information about the machining process advancement of information and the carrier 18 on the substrate that receive) board dock and recording The data recording medium as possible, preferably detachable. 또, ID 카드(20)는 무선통신 기능을 내장하고 있어, 후술하는 OHT 반송 대차(10)에 설치된 무선통신 기능을 내장하는 ID 판독 및 기록 유닛(식별 정보 판독 및 기록 유닛)(25)과 무선통신을 할 수 있게 되어 있다. In addition, ID card 20 has built-in wireless communication function, which incorporates a wireless communication function installed in the OHT transport truck 10, to be described later ID reading and recording unit (identification information reading and recording unit) 25 and the radio It is able to communicate. 또한, 후술하는 ID 판독 및 기록 유닛(25)으로부터 송신된 캐리어 ID는 ID 카드(20)상에 기록되고, ID 카드(20)는 ID 판독 및 기록 유닛(25)에 의해 판독되는, 캐리어 ID를 후술하는 ID 판독 및 기록 유닛(25)으로 송신한다. In addition, the transmission from below ID reading and writing unit 25, a carrier ID is recorded in the ID card 20, the ID card 20 has a carrier ID which is read by the ID reading and writing unit 25 and transmits the ID to be described later reading and recording unit (25). 한편, ID 카드(20)는 도 2에 도시되는 위치에 한정되지 않고, 후술하는 OHT 반송 대차(10)에 설치된 ID 판독 및 기록 유닛(25)과 통신가능한 위치이면, 캐리어(18) 상의 임의의 위치에 설치될 수 있다. On the other hand, ID card 20 can be any on not only the position, installed in the OHT transport truck 10, to be described later ID reading and writing unit 25 and communication is possible positions, the carrier 18 is shown in Fig. It can be installed on site.

도 3에서 도시된 바와 같이, OHT 반송 대차(10)는 위치결정 기구(28)에 의하여 레일(15) 상에 주행가능하게 설치되고, 반송 대차 본체(27) 안에 수용되고 회전·승강 기능을 가질 수 있게 설치된 반송 로봇(11) 상에 탑재된다. A, OHT conveyance truck 10 as shown in Figure 3 is installed to be traveling on the rail 15 by the positioning mechanism 28, and accommodated in the conveyance truck body 27 having a rotating-elevating function be mounted on the installation allows the transport robot (11). 반송 로봇(11)은, 회전·승강 가능한 회전/승강 축(30)에 접속된 제1 단 아암(31)과, 제2 단 아암(33)과, 제3 단 아암(35)과, 그리퍼부(26)로 구성되어 있다. Carrier robot 11 has a rotating-elevating rotatable / a and a first end arm 31 connected to the vertical moving shaft 30, a second end arm 33 and the third end arm 35 and a gripper unit It is composed of 26. 여기에서, 제1 단 아암(31)과 제2 단 아암(33)은 제1 단 아암(31)의 첨단부에서 회전축(32)을 통하여 서로 접속되고, 제2 단 아암(33)과 제3 단 아암(35)은 제2 단 아암(33)의 첨단부에 서 회전축(34)을 통하여 서로 접속되고, 제3 단 아암(35)과 그리퍼부(26)는 제3 단 아암(35)의 첨단부에서 회전축(36)을 통하여 접속된다. Here, a first end arm 31 and a second end arm 33 is first connected to each other through the rotating shaft 32 at the tip end of the short arm 31, the second end arm 33 and the third short arm 35 is connected to each other through the standing axis of rotation 34 to the leading-edge portion of the second end arm 33, the third stage the arm 35 and the gripper unit 26 of the third end arm 35 It is connected through the rotary shaft 36 in the tip end. 그리고, OHT 반송 대차(10)는 반송 로봇(11)의 제1 단 아암(31), 제2 단 아암(33), 제3 단 아암(35)을 회전 및 승강 또는 하강하게 하여, 그리퍼부(26)로 캐리어(18)의 플랜지(21)를 파 지한다. And, OHT to the conveyance truck (10) is rotating, and lifting or lowering the first end arm 31, a second end arm 33, the third stage the arm 35 of the transport robot 11, the gripper unit ( 26) the paper file the flange 21 of the carrier 18. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 간이 버퍼 유닛(12)에 캐리어(18)가 로딩된 경우, 반송 로봇(11)의 제1 단 아암(31), 제2 단 아암(33), 제3 단 아암(35)을 회전 및 승강 또는 하강하게 함으로써, 캐리어(18)의 플랜지(21)를 파지하는 그리퍼부(26)를 간이 버퍼 유닛(12) 상에 위치하게 이동시킨다. For example, a, a simple buffer, when the carrier 18 is loaded into the unit 12, a first end arm 31 of the transport robot 11, a second end arm 33 as shown in Figure 4, the third-stage by making the rotation and lifting or lowering the arm 35, is moved to position the gripper unit 26 to grip the flange 21 of the carrier 18 on a simple buffer unit 12. 캐리어(18)를 간이 버퍼 유닛(12)에 위치시킨 후, 캐리어(18)의 플랜지(21)에 대하여 그리퍼부(26)의 파지를 해제한다. After placing the carrier 18 in a simple buffer unit 12, to release the grip of the gripper unit 26 with respect to the flange 21 of the carrier 18. 한편, 간이 버퍼 유닛(12)으로부터 캐리어(18)가 언로딩된 경우, 반송 로봇(11)의 제1 단 아암(31), 제2 단 아암(33), 제3 단 아암(35)을 회전 및 승강 또는 하강하게 함으로써, 그리퍼부(26)를 간이 버퍼 유닛(12)의 캐리어(18) 상에 위치하게 이동시킨다. On the other hand, rotating the simple buffer unit 12 from the carrier 18 is frozen when the load, a first end arm 31, a second end arm 33, the third stage the arm 35 of the transport robot 11 and by the lifting or lowering and moves to place the gripper unit 26 to a carrier 18 of the simple buffer unit 12. 캐리어(18)를 간이 버퍼 유닛(12)에 위치한 후에, 그리퍼부(26)에 의해 캐리어(18)의 플랜지(21)를 파지한 다음, 반송 로봇(11)을 반송 대차 본체(27) 내부에 수용한다. The carrier 18 within the simple buffer unit after in (12), a gripping flange 21 of the carrier 18 by the gripper unit 26, and then, the conveyance truck body 27, the transport robot 11 It receives. 한편, OHT 반송 대차(10)가 주행할 때는, 반송 로봇(11)을 반송 대차 본체(27) 내부에 수용하여, 다른 설비와의 충돌을 방지하는 것에 유의하여야 한다. On the other hand, when the running OHT conveyance truck (10), to receive the transport robot 11 to the internal conveyance truck body 27, it should be noted that to prevent a collision with other equipment.

또한, 반송 대차 본체(27)의 내측면부에는, 반송 로봇(11)에 상대하는 위치에, 그리고 반송 로봇(11)을 반송 대차 본체(27)에 수용한 상태로 캐리어의 ID 카드(20)와 상대하는 위치에, ID 판독 및 기록 유닛(25)이 마련되어 있다. Further, the conveyance is in the side of the vehicle body 27, the carrying robot 11 in a relative position, and the transport robot 11, the conveyance truck body state ID card 20 in the carrier to accommodate the 27 to in that the relative position, it is provided with the ID read and write unit 25. 한편, ID 판독 및 기록 유닛(25)은 일부의 OHT 반송 대차(10)에 설치되어 있다. On the other hand, ID reading and writing unit 25 is provided on the portion of the OHT conveyance truck (10). 또한, ID 판독 및 기록 유닛(25)은 무선통신 기능을 내장하고 있어, ID 카드(20)와 무선통신을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. In addition, ID reading and recording unit 25 is enabled to carry out, ID card 20 and the wireless communications has built-in wireless communication function. 또, ID 판독 및 기록 유닛(25)은, 후술하는 MCS(4)에 접속되고 있어, 후술하는 MCS(4)로부터의 명령을 기반으로, ID 카드(20) 로 기록해야 할 캐리어 ID를 송신하고, ID 카드(20)로부터 판독해야할 캐리어 ID를 수신한다. In addition, ID reading and recording unit 25, it is connected to a later MCS (4), and transmits, based on an instruction from the MCS (4) to be described later, a carrier ID to be recorded to the ID card 20 receives the carrier do ID read from the ID card 20. 한편, ID 판독 및 기록 유닛(25)은, 도 3에 도시된 위치에 한정되지 않고, ID 카드(20)와 통신가능한 위치이면, OHT 반송 대차(10) 상의 임의의 위치에 설치될 수 있다. On the other hand, ID reading and writing unit 25 is not limited to the position shown in Figure 3, is capable ID card 20 and the communication position, OHT may be installed in any position on the conveyance truck (10).

도 5에서 도시된 바와 같이, 이러한 자동 재료 취급 시스템(1)에서, 제조 관리 시스템인 MES(Manufacturing Execution System)(5) 및 반송 제어 시스템(제어기)인 MCS(Material Control System)(4)와, 반도체 제조 장치(13)와, 반송 시스템인 OHT 반송 대차(10)와, 간이 버퍼 유닛(12) 및 설명하지 않는 스토커를 각각 갖춘 보관 유닛(2) 사이에서, 통신 관련 명령 및 보고 등에 관한 통신이 행하여 진다. And in as shown in Figure 5, these automated material handling system 1, production management system, MES (Manufacturing Execution System) (5) and the conveyance control system (controller), the MCS (Material Control System) (4), communication on between the semiconductor manufacturing apparatus 13, and the transfer system of OHT the conveyance truck (10), a simple buffer unit 12 and storage unit equipped with not described stocker, respectively (2), communication-related commands and report such a It is carried out.

MES(5)는 반도체 제조 라인의 진척 관리, 생산 자동화를 위한 정보처리 시스템이며, 스케줄러와 발송(dispatcher)의 기능을 포함하고, 반도체 제조 장치(13)로부터 포트의 상태 보고(발송 가능 보고, 발송 완료 보고 등)를 수신하고, 반도체 제조 장치(13)에 대하여 포트 예약이나 발송 명령 등을 실시한다. MES (5) is an information processing system for progress management, manufacturing automation of semiconductor manufacturing line, comprising the features of the scheduler and sending (dispatcher), reporting the port from the semiconductor manufacturing apparatus 13, the state (report can be sent, sending receiving the completion report, etc.), and subjected to such ports reserved or sending a command to the semiconductor manufacturing apparatus (13).

MCS(4)는 MES(5)로부터의 반송 명령을 접수하고, 그에 따라 OHT 반송 대차(10) 및 보관 유닛(2)의 각각이 유기적으로 동작해서 MES(5)로부터 받은 반송 명령을 수행하게 명령을 내린다. MCS (4) will be to the respective MES (5) conveying received the command and, OHT transport accordingly the balance 10 and the storage unit 2 from the operation organically perform bounce command received from the MES (5) Command down to. 또한, MCS(4)는 OHT 반송 대차(10) 및 보관 유닛(2)의 상태를 모니터한다. In addition, the MCS (4) monitors the status of the OHT conveyance truck 10 and the storage unit (2). 또, MCS(4)는 캐리어 ID 관리 유닛 (식별 정보 관리 유닛)(4a)와, 캐리어 ID 확인 유닛(식별 정보 확인 유닛)(4b)을 포함한다. In addition, the MCS (4) comprises a carrier ID management unit (identification information managing unit) (4a), and a carrier ID identification unit (identification information confirmation unit) (4b). 캐리어 ID 관리 유닛(4a)은 MES(5)로부터 각 캐리어에 대하여 그 캐리어 ID에 대응해서 출 력된 반송처 데이타(transport destination data)를 축적 및 관리하기 위한 것이다. Carrier ID management unit (4a) is to accumulate and manage ryeokdoen output corresponding to the carrier ID Send to data (transport destination data) for each carrier from MES (5). 캐리어 ID 확인 유닛(4b)은, OHT 반송 대차(10)가 캐리어(18)를 간이 버퍼 유닛(12)에 로딩 및 언로딩할 때마다, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 통하여 ID 카드(20)로부터 판독한 캐리어 ID와 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리되는 캐리어 ID가 일치하는지를 확인하기 위한 것이다. Carrier ID identification unit (4b) is, OHT conveyance truck 10, the ID card (20 through, ID reading and recording unit 25 every time the loading and unloading of the carrier 18 in a simple buffer unit 12 ) it is to ensure that the stored and managed by the carrier ID is matched by the carrier ID and a carrier ID management unit (4a) read from.

또한, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 통하여 ID 카드(20)로부터 판독한 캐리어 ID와, 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리되는 캐리어 ID가 일치하지 않을 경우, 자동 재료 취급 시스템(1)을 정지시켜 (즉, MCS(4)을 정지시켜), ID 판독 및 기록 유닛(25)이 설치된 OHT 반송 대차(10)가 간이 버퍼 유닛(12)을 한바퀴 돌게 해서, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 통하여 간이 버퍼 유닛(12)에 탑재되어 있는 모든 캐리어(18)의 ID 카드(20)로부터 캐리어 ID를 판독하고, 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리되는 캐리어 ID를 판독된 캐리어 ID에 재기록한 후, 자동 재료 취급 시스템(1)을 재개시킨다 (즉, MCS(4)을 다시 시작시킨다). On the contrary, if the storage and management carrier ID is by the carrier ID read from the ID card 20 via the ID read and write unit 25, a carrier ID management unit (4a) do not match, the automated material handling system ( 1) was (that is, MCS (4) is stopped to stop), OHT conveyance truck 10. the ID reading and writing unit 25 is installed is to round-watering a simple buffer unit (12), ID read and write unit reading out (25) the carrier ID from the simplified buffer unit ID card 20 of any carrier 18 mounted on the 12 through, and reads out the stored and managed carrier ID is by the carrier ID management unit (4a) after the rewriting to the carrier ID, thereby resuming the automated material handling system 1 (that is, the resume MCS (4)). 다른 방법으로서, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 통하여 ID 카드(20)로부터 판독한 캐리어 ID와 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리된 캐리어 ID가 일치하지 않을 경우는, 자동 재료 취급 시스템(1)을 정지시켜 (즉, MCS(4)을 정지시켜), 각 캐리어를 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리하는 캐리어 ID와 일치하도록 재배치시킨 후, 자동 재료 취급 시스템(1)을 재개시킨다 (즉, MCS(4)을 재시작시킨다). If Alternatively, ID reading and writing unit 25 for by the ID card-carrier ID and a carrier ID management unit (4a) read out from the 20 is accumulated and managed carrier ID does not match the through, the automated material handling to stop the system (1) (i.e., MCS (4) to stop a), was replaced by the respective carriers in the carrier ID management unit (4a) to match the carrier ID for storing and management, automated material handling system (1 ) to thereby resume (that is, MCS (4), thereby restarting the).

반도체 제조 장치(13)는 기판 등의 피처리물을 물리적 혹은 화학적으로 처리 하는 프로세스 장치와, 피처리물을 측정하는 (기판의 경우는 막 두께, 비저항, 패턴의 면적, 분진의 수를 측정한다) 측정 장치를 포함하는 것이다. A semiconductor manufacturing device 13 measures the number of the process unit and, in the case of (a substrate for measuring an object to be treated in the film thickness, specific resistance, the area of ​​the pattern, dust handling the object to be processed such as a substrate to physical or chemical ) to include the measuring device.

따라서, 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 의하면, 캐리어(18)에 탑재된 ID 카드(20)에 대하여, MCS(4)의 명령을 기반으로 캐리어 ID의 판독 및 기록을 행하는 ID 판독 및 기록 유닛(25)을 일부의 OHT 반송 대차(10)에만 탑재하고 있다. Therefore, according to the automated material handling system 1 according to this embodiment, with respect to the ID card 20 is mounted on a carrier (18), MCS (4) commands the base to perform the reading and writing of the carrier ID ID of the reading and writing unit 25 and with only a portion of the OHT conveyance truck (10). 이에 따라, 모든 반도체 제조 장치(13) 및 보관 유닛(2)에 ID 판독 및 기록 유닛(25)을 탑재한 종래의 경우에 비해 비용이 삭감된다. As a result, the cost is reduced as compared to all of the semiconductor manufacturing apparatus 13 and the storage unit 2 in the conventional one with the ID read and write unit 25 to.

또, OHT 반송 대차(10)에 ID 판독 및 기록 유닛(25)을 탑재하고 있다. Further, OHT is equipped with a conveyance truck (10), ID reading and writing unit 25 on. 따라서, OHT 반송 대차(10)가 통상의 반송 동작을 실시하면서 캐리어 ID의 판독 및 기록을 행할 수 있고, 간편하게 캐리어(18)를 관리할 수 있다. Thus, OHT, and the conveyance truck 10 can perform reading and writing of ID carrier while performing a normal transport operation, it is possible to easily manage the carrier 18.

또한, OHT 반송 대차(10)는 반도체 제조 장치(13) 및 보관 유닛(2)에 대한 기동성에 뛰어나, OHT 반송 대차(10)에 탑재된 ID 판독 및 기록 유닛(25)과 캐리어(18)에 탑재된 ID 카드(20) 사이에서의 통신이 확보하기 쉽고, 높은 신뢰성을 가지고 캐리어(18)를 관리하는 것이 가능하다. In addition, the OHT conveyance truck (10) is a semiconductor manufacturing apparatus 13 and the storage unit (2) excellent in mobility on, OHT conveyance truck 10, the ID read and write unit 25 and the carrier 18 with the ease of communication between the ID card 20 is mounted secured, it is possible to administer the carrier 18 has high reliability.

또한, ID 판독 및 기록 유닛이 이미 설치되어 있는 보관 유닛(2)(간이 버퍼 유닛(12)이외의 보관 유닛) 및 반도체 제조 장치(13)에 대해서는, 설치된 ID 판독 및 기록 유닛을 채용한 종래 기술을 활용하는 한편, 간이 버퍼 유닛(12)에 대해서는, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 탑재한 OHT 반송 대차(10)를 이용하고 있다. In addition, ID read and write unit storage unit (2) that is already installed (Simple buffer unit 12, other than the storage unit) and for the semiconductor manufacturing apparatus 13, installed ID reading and recording unit by the prior art employing for the other hand, a simple buffer unit 12 to take advantage of, and use the OHT conveyance truck (10) equipped with the ID read and write unit 25. 따라서, 기존의 설비를 이용하고, 간이 버퍼 유닛(12)에 새롭게 ID 판독 및 기록 유닛(25)을 설치할 필요가 없기 때문에, 비용이 삭감된다. Therefore, since use of the existing equipment, and simple buffer unit 12, there is no need to newly install the ID read and write unit 25, is reduced in cost.

또한, 간이 버퍼 유닛(12)에 대해서는, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 탑재한 OHT 반송 대차(10)가 캐리어(18)의 반입 및 반출을 수행할 때마다, MCS(4)의 캐리어 ID 확인 유닛(4b)에서, 캐리어(18)의 ID 카드(20)로부터 판독한 캐리어 ID와 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리된 캐리어 ID가 일치하는지를 확인한다. In addition, a simple buffer unit for 12, each time OHT conveyance truck 10 equipped with the ID reading and writing unit 25 is to perform the carrying in and carrying out of the carrier (18), MCS (4) the carrier ID of check unit (4b), to confirm that the storage and the management ID matching the carrier by the carrier ID and a carrier ID management unit (4a) the reading from the ID card 20 of the carrier 18. 이에 따라, 간이 버퍼 유닛(12)에 대해서 자주 캐리어(18)에 관한 캐리어 ID를 확인하여 조속한 시기에 문제의 발생을 발견할 수 있고, 캐리어(18)의 관리의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다. Accordingly, it is a simple buffer can often determine the carrier ID to find the occurrence of the problem in the early period of the carrier 18 for the unit 12, it is possible to further improve the management reliability of the carrier 18.

또한, 시스템 에러에 의해 데이타에 혼란이 생겼을 경우 등, MCS(4)의 캐리어 ID 확인 유닛(4b)에 있어서, 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 의해 축적 및 관리된 캐리어 ID와 ID 카드(20)로 판독한 캐리어 ID와의 불일치가 발견되었을 경우, 자동 재료 취급 시스템(1)을 일단 정지시켜, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 탑재한 OHT 반송 대차(10)에 간이 버퍼 유닛(12)을 한바퀴 돌게 자동주행시켜서 간이 버퍼 유닛(12)에 탑재된 캐리어(18)의 캐리어 ID를 판독하고, 판독한 캐리어 ID를 기반으로, 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 축적 관리하는 캐리어 ID를 재기록하거나, 각 캐리어를 캐리어 ID 관리 유닛(4a)에 축적 관리하는 캐리어 ID에 일치하도록 재배치시킨다. In addition,, MCS (4) Carrier ID check in the unit (4b), the carrier ID and the ID card 20 is stored and managed by the carrier ID management unit (4a), such as when the confusion occurs in the data by the system error a simple buffer unit 12 in the case of when the carrier ID with a mismatch is detected read, OHT conveyance truck (10) by temporarily stopping the automated material handling system (1), with the ID reading and writing unit 25 by one turn watering automatic running by a simple buffer, reads out the carrier ID of the carrier 18 with the unit 12 and, based on the read-out carrier ID, rewrites the carrier ID for storing management to the carrier ID management unit (4a), or each then relocated to match the carrier ID for storing the management ID management unit carrier on the carrier (4a). 따라서, 문제를 최소화할 수 있고, 조속한 시기에 자동 재료 취급 시스템(1)을 재개할 수 있으며, 캐리어(18)의 관리의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다. Therefore, it is possible to minimize the problem, it is possible to resume the automated material handling system (1) in the near time, it is possible to further improve the reliability of the management of the carrier 18.

전술한 바와 같이, 본 발명은 상기의 바람직한 실시형태에 기재되어 있지만, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. As described above, the present invention but are described in a preferred embodiment of the present invention it is not limited to this. 본 발명의 사상과 범주에서 벗어남 없이 여러 가지 실시형태가 이외에 행해지는 것으로 여겨진다. It believed to be performed in addition to a number of embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. 또한, 본 실시형태에 있어서, 본 발명의 구성에 의한 작용 및 효과를 개시하고 있지만, 이들 작용 및 효과는 하나의 일례이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니다. In the embodiment, although the start of the operation and effect due to the configuration of the present invention, these advantages and effects are one example of and it is not intended to limit the present invention. 또한, 구체적인 실시형태는 본 발명의 구성을 예시한 것으로서, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. In addition, the specific embodiment as it illustrated the configuration of the present invention, and are not intended to limit the invention.

본 발명의 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, 반송 시스템으로서 OHT 반송 대차(10)를 채용하고 있지만, 반송 시스템은 이에 제한되지 않는다. In the automated material handling system 1 according to an embodiment of the invention, but as an OHT transport system employing a transport truck 10, the transport system is not limited to this. 예를 들면, OHS 반송 대차, AGV 반송 대차, RGV 반송 대차 등의 다양한 반송 시스템을 이용할 수 있다. For example, it is possible to use various transport systems, such as OHS conveyance truck, the conveyance truck AGV, RGV conveyance truck.

또한, 본 발명의 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, ID 판독 및 기록 유닛(25) 및 ID 카드(10)는 무선통신 기능을 이용해서 통신을 실시하고 있지만, 이에 제한되지 않는다. Also, in the automated material handling system 1 according to the embodiment of the present invention, ID readout and writing unit 25 and the ID card 10, but subjected to communicate using a wireless communication function, but are not limited to, . 예를 들면, 빛의 원리를 채용한 종래로 통신 수단을 사용할 수도 있다. For example, it is also possible to use the communication means to the prior art employing the principles of light.

또한, 본 실시형태에 관련되는 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, OHT 반송 대차(10)가 반송 로봇(11)의 그리퍼부(26)에 의해 캐리어(18)의 플랜지(21)를 그래핑해서 로딩 및 언로딩을 실시하는 것이지만, 이에 제한하지 않는다. Also, in the automated material handling system 1 according to this embodiment, OHT conveyance truck 10 to the flange 21 of the carrier 18 by the gripper unit 26 of the transport robot 11 graphing it would be to carry out loading and unloading, it is not limited to this. 예를 들면, 도 7에서 도시된 바와 같이, OHT 반송 대차(10)의 반송 로봇(11)의 제3 단 아암(35)의 첨단에, 그리퍼부(26) 및 회전축(36)의 대신 캐리어 명령 부재(41)로 구성되어, 이 캐리어 명령 부재(41)에 의해 캐리어(18)의 저면을 들어올려서 로딩 및 언로딩을 실시할 수도 있다. For example, as shown in Figure 7, OHT at the peak of the 3-arm 35 of the transport robot 11 of the conveyance truck (10), the gripper unit 26 and the place of the carrier command of the rotary shaft 36 consists of member 41, by lifting the bottom of the carrier 18 by the carrier command member 41 may be subjected to loading and unloading. 한편, 캐리어 명령 부재(41)의 상면에는, 캐리어(18)의 저면에 마련되어진 리세스에 끼워맞춤된 돌출 운동 핀(42)이 마련되어져, 캐리어(18)과 반송 로봇(11)의 위치 맞춤을 확실하게 하고, 캐리어(18)와 반송 로 봇(11) 사이의 미끄럼을 방지한다는 것에 유의하여야 한다. On the other hand, the position of the carrier command member 41 top surface, the engaging protrusion in the recess movement pin 42 been provided on the lower surface of the carrier 18 is been provided, the carrier 18 and the carrier robot 11 in the alignment certainly, and it should be noted that the carrier 18 and the conveying prevent slipping between the robot (11).

또, 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, ID 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 간이 버퍼 유닛(12)이 레일(15)의 양측에 마련되어져 있지만, 이에 제한하지 않는다. Also, in the automated material handling system 1 according to the present embodiment, the ID simple read and write unit it is not installed, the buffer unit 12 been provided on both sides of the rail 15, and not to limit it. 예를 들면, 도 8에 도시되는 바와 같이, 간이 버퍼 유닛(12)은 레일(15)의 바로 아래에 위치하고, 버퍼 현가 부재(52)에 의해 천장(9) 에 지지되거나 천정으로부터 매달아지는 간이 버퍼 유닛(51)일 수도 있다. For example, as shown in Figure 8, a simple buffer unit 12 is located immediately below the rail 15, supported on the ceiling (9) by a buffer suspension member 52, or a simple buffer which is hung from the ceiling It may be a unit 51. 한편, 간이 버퍼 유닛(51)은 천장뿐만 아니라, 레일이나 벽면, 또는 바닥면에 지지시키는 것도 가능하다는 것에 유의하여야한다. On the other hand, a simple buffer unit 51 are to be noted that, as well as ceiling, also possible to support the side rails or walls, or floors. 이러한 경우, OHT 반송 대차(10)는 도 3에 도시된 반송 로봇(11)을 갖추는 구조에 한정되지 않고, 도 9에서 도시된 것과 같은, 현가 벨트(44)에 의해 상하 방향에 승강가능한 승강체(45)의 양측에 마련되어진 그리퍼(46)에 의해 캐리어(18)의 플랜지(21)를 클램핑 및 파지하는 구조일 수도 있다. In this case, OHT conveyance truck 10 has a transfer robot 11 is not limited to a structure equipped with, the as same, the suspension belt 44 is elevated as possible vertically movable member in the vertical direction by a shown in Figure 9 shown in Figure 3 It may be a structure for clamping and gripping the flange 21 of the carrier 18 by the gripper 46 been provided on both sides of (45).

또한, 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, 간이 버퍼 유닛(12)에만 본 발명을 적용하고, 간이 버퍼 유닛(12) 이외의 보관 유닛(2) 및 반도체 제조 장치(13)에는 이미 설치된 ID 판독 및 기록 유닛에 근거하여, 이들에 대한 캐리어(18)의 로딩 및 언로딩의 관리를 종래 기술을 따라 행하지만 이에 제한되지 않는다. Also, in the automated material handling system 1 according to this embodiment, a simple buffer unit only, and the present invention is applied, 12 a simple buffer unit storage unit 2 and the semiconductor manufacturing apparatus 13 other than the 12 is based on the ID read and write unit that is already installed, the management of the loading and unloading of the carrier 18 for these only performed in accordance with the prior art are not limited. 예를 들면, 간이 버퍼 유닛(12)을 갖춘 모든 보관 유닛(2) 및 반도체 제조 장치(13)에 대한 캐리어(18)의 로딩 및 언로딩의 관리에 본 발명을 적용할 수 도 있다. For example, there is a simple buffer unit 12, the present invention can be applied to the management of the loading and unloading of the carrier 18 for all the holding units (2) and the semiconductor manufacturing apparatus 13 is equipped with. 즉, 간이 버퍼 유닛(12)을 갖춘 모든 보관 유닛(2) 및 반도체 제조 장치(13)에 ID 판독 및 기록 유닛을 설치하지 않고, ID 판독 및 기록 유닛(25)을 갖 춘 일부의 OHT 반송 대차(10)에 의해, 간이 버퍼 유닛(12)을 갖춘 모든 보관 유닛(2) 및 반도체 제조 장치(13)에 대한 캐리어(18)의 로딩 및 언로딩 시에, ID 카드(20)의 판독 및 기록을 행하는 것에 의해, MCS(4)을 통하여 관리를 행할 수도 있다. In other words, a simple buffer unit all storage units with (12) (2) and the semiconductor manufacturing without providing the ID reading and writing unit to the apparatus (13), ID reading and writing unit has a 25 spring portion of the OHT conveyance truck by 10, a simple buffer unit all storage units with (12) (2) and at the time of loading and unloading of the carrier 18 for the semiconductor manufacturing apparatus 13, the reading and writing of the ID card 20 by performing, the administration may be carried out through the MCS (4).

또한, 본 실시형태에 따른 자동 재료 취급 시스템(1)에 있어서, 각 캐리어를 식별하기 위한 식별 정보를 기록하는 식별 정보 기록 유닛으로서, 식별 정보인 캐리어 ID를 기록하는 ID 카드(식별 정보 기록 유닛)(20)를 이용하고 있지만 이에 제한하지 않는다. Also, in the automated material handling system 1 according to this embodiment, as the identification information recording unit for recording the identification information for identifying each of the carriers, ID card for recording therein distinction information carrier ID (identification information storage units) using (20), but is not limited to this. 예를 들면, 식별 정보 기록 유닛으로서, 바코드를 이용할 수도 있다. For example, as the identification information recording unit, it is also possible to use a barcode. 이러한 경우, 식별 정보 판독 및 기록 유닛으로서 바코드 판독 및 기록 장치를 이용한다. Utilizes a bar code reading and recording apparatus as this case, the identification information reading and recording unit.

본 발명이 특정 실시형태를 참조하여 상세하게 기술되어 있으나, 본 발명의 사상 및 범주로부터 벗어남 없이 다양한 변형 및 변경이 가해질 수 있다는 것이 당업자에게 명백하다. Although the invention has been described in detail with reference to certain embodiments, that various modifications and changes without departing from the spirit and scope of the present invention may be made will be apparent to those skilled in the art.

본 발명은 2005년 3월 28일자로 출원된 일본 특허 출원번호(일본 특허 출원 번호 제2005-91673호)를 우선권 주장하며, 그 내용은 참조로서 본 발명에 통합되어 있다. The present invention claims priority to Japanese Patent Application No. (Japanese Patent Application No. 2005-91673 No.) filed on March 28, 2005, the contents of which are incorporated herein by reference.

본 발명에 따른 자동 재료 취급 시스템에 의하면, 제어기의 명령을 기반으로 식별 정보의 판독 및 기록을 행하는 식별 정보 판독 및 기록 유닛을, 일부의 반송 대차에만 탑재한다. According to the automated material handling system according to the present invention, the identification information reading and writing unit for performing reading and writing of the identification information based on the command of the controller, and with only a part of the conveyance truck. 이에 의해, 제조 장치 및 보관 유닛의 모두에 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재한 종래의 경우에 비해 각 단계의 비용이 현저하게 저감된다. As a result, remarkably reducing the cost of each stage than that of the conventional one with the identification information reading and writing unit to all of the production apparatus and a storage unit. 또, 반송 대차에 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 탑재하기 때문에, 반송 대차가 통상의 반송 동작을 실시하면서 식별 정보의 판독 및 기록을 행할 수 있으므로, 간편하게 피반송물을 관리할 수 있다. In addition, since the identification information with a reading and recording unit on the conveyance truck, since the conveyance truck while being subjected to the normal transportation operation can be carried out the reading and writing of the identification information, it is possible to easily manage the transported material. 게다가, 반송 대차는 제조 장치 및 보관 유닛에 대한 기동성이 뛰어나, 반송 대차에 탑재된 식별 정보 판독 및 기록 유닛과 피반송물에 탑재된 식별 정보 기록 유닛과의 사이의 통신이 확보하기 쉽기 때문에, 높은 신뢰성을 가지고 피반송물을 관리하는 것이 가능하다. In addition, the conveyance truck, since excellent mobility for the production apparatus and a storage unit, apt to the communication between the identification information reading and recording unit and the identification information recording unit mounted on the transported material mounted on the conveyance truck secure, reliable It has it is possible to manage the transported material.

Claims (5)

  1. 하나 이상의 보관 유닛과 복수의 제조 장치 사이에서, 제어기의 명령에 따라 복수의 반송 대차로 반송되는 피반송물을 관리하는 자동 재료 취급 시스템으로서, Between one or more storage units and a plurality of manufacturing apparatus, as the automated material handling system to manage the transported material carried in a plurality of the conveyance truck in accordance with the command of the controller,
    상기 피반송물은 피반송물에 수용된 피처리물을 식별하는 식별 정보를 기록하는 판독 및 기록 가능한 식별 정보 기록 유닛을 포함하고, Wherein the transported material is included in the read and write identifiable information recording unit for recording the identification information for identifying an object to be treated received in the transported material,
    상기 반송 대차의 일부는 각각 상기 제어기의 명령을 기반으로, 상기 식별 정보 기록 유닛에 대하여 상기 식별 정보의 판독 및 기록을 실시하는 식별 정보 판독 및 기록 유닛을 포함하며, A portion of the conveyance truck is based on the command of the controller, respectively, and with respect to the identification information recording unit includes an identification information reading and writing unit for performing reading and writing of the identification information,
    상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 판독 또는 기록을 행한 상기 식별 정보를 축적 및 관리하는 식별 정보 관리 유닛을 포함하고, Wherein the controller is included in the identification information management unit for storing and managing the identification information, performing a read or a write to the identification information reading and recording unit,
    상기 식별 정보 기록 유닛에 기록한 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보를 기반으로 상기 제어기에서 상기 피처리물의 관리를 실시하는 것을 특징으로 하는 자동 재료 취급 시스템. And the identification information recorded on the identification information recording unit, the identification being stored in the information managing unit in the controller based on the identification information managed by said identification information managing unit, characterized in that for performing the management of the target object automated material handling systems.
  2. 제1항에 있어서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛은 상기 보관 유닛 및 상기 제조 장치에 대하여 상기 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 경우에, 상기 식별 정보 기록 유닛으로부터 상기 식별 정보를 판독하고, The method of claim 1, wherein the identification information reading and writing unit reads the identification information on the case to perform the carrying in and carrying out of the the transported material with respect to said storage unit and the manufacturing apparatus, from the identification information recording unit,
    상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하는지를 확인하는 식별 정보 확인 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 재료 취급 시스템. Wherein the controller is further identification information confirmation unit confirming whether the identification information readout and the identification read out the by the recording unit information and the identification information of the identified and stored in the information management unit managed by the identification information managing unit matches the automated material handling system, comprising.
  3. 제1항에 있어서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛은 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛이 설치되지 않은 상기 보관 유닛 및 상기 제조 장치들에 대하여 상기 피반송물의 반입 및 반출을 수행할 경우에, 상기 식별 정보 기록 유닛으로부터 상기 식별 정보를 판독하고, The method of claim 1, wherein said identification information reading and recording unit in the case to perform the carrying in and carrying out of the the transported material with respect to said storage unit and the production apparatus wherein the identification information reading and writing unit is not installed, the identification from the information recording unit reads the identification information,
    상기 제어기는 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하는 지를 확인하는 식별 정보 확인 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 재료 취급 시스템. The controller is the identification information confirmation unit configured to confirm whether the identification information readout and the identification read out the by the recording unit information, and the identification is stored in the information management unit the identification information management managed by a unit the identification information matches, the automated material handling system according to claim 1, further comprising.
  4. 제2항에 있어서, 상기 식별 정보 확인 유닛에서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하지 않는다고 판단했을 경우, 상기 제어기는 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보를 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독한 상기 식별 정보에 재기록하거나, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보에 일치시키도록 상기 피반송물을 재배치시키는 것을 특징으로 하는 자동 재료 취급 시스템. The method of claim 2, wherein in the identification information confirmation unit, said identification information readout and the identification read out the by the recording unit information, and the identification is stored in the information management unit the identification information management managed by a unit the identification information is If it is determined not to match, the controller separates the identification information is stored in the managing unit the identification information management rewriting the identification information managed by the unit to a said identification information read by the identification information reading and recording unit, or the stored in the identification information management unit, and the automated material handling system, comprising a step of relocating the the transported material to match the identification information managed by said identification information managing unit.
  5. 제3항에 있어서, 상기 식별 정보 확인 유닛에서, 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독된 상기 식별 정보와, 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보가 일치하지 않는다고 판단했을 경우, 상기 제어기는 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보를 상기 식별 정보 판독 및 기록 유닛에 의해 판독한 상기 식별 정보에 재기록하거나, 또는 상기 식별 정보 관리 유닛에 축적되고 상기 식별 정보 관리 유닛에 의해 관리된 상기 식별 정보에 일치시키도록 상기 피반송물을 재배치시키는 것을 특징으로 하는 자동 재료 취급 시스템. The method of claim 3, wherein in the identification information confirmation unit, said identification information readout and the identification read out the by the recording unit information, and the identification is stored in the information management unit the identification information management managed by a unit the identification information is If it is determined not to match, the controller is the identification information management stored in the unit and the identification information management rewriting the identification information managed by the unit to a said identification information read by the identification information reading and writing unit, or the automated material handling system, comprising a step of relocating the the transported material to accumulate in the identification information management unit matches the identification information managed by said identification information managing unit.
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