KR20080007733A - Micro bio chip for immunoreaction and manufacture method thereof and immunoreaction detecting method using micro bio chip - Google Patents

Micro bio chip for immunoreaction and manufacture method thereof and immunoreaction detecting method using micro bio chip Download PDF

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Abstract

A micro bio-chip for immunoreaction is provided to maximize the reliability and the satisfaction index in use by reducing the amount of a sample used and a testing time and accurately and rapidly measuring a biochemical test. A micro bio-chip for immunoreaction(100) is characterized in that a glass chip(10) for detecting the immunoreaction using an electric signal through a microelectrode(11) and a PDMS chip(20) for injecting a sample for detecting the immunoreaction are placed on the top side of the glass chip and integrated thereinto, wherein the PDMS chip consists of a chamber(21), a microfilter(22) and a channel(23). A method for preparing the micro bio-chip for immunoreaction comprises the steps of: (a) forming the glass chip for detecting the immunoreaction using the electric signal; (b) forming the PDMS chip for injecting the sample such as a bio-chemical material for detecting the immunoreaction; and (c) after connecting the PDMS chip to the top side of the glass chip, treating it with oxygen plasma with constant power for a predetermined time to integrate the PDMS chip into the glass chip. A method for detecting the immunoreaction using the micro bio-chip comprises the steps of: (a) fixing an antigen and an antibody using the micro bio-chip and a micro-bead; and (b) performing to detect the immunoreaction through an electric signal using nano-gold and a silver solution.

Description

면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법{MICRO BIO CHIP FOR IMMUNOREACTION AND MANUFACTURE METHOD THEREOF AND IMMUNOREACTION DETECTING METHOD USING MICRO BIO CHIP}MICRO BIO CHIP FOR IMMUNOREACTION AND MANUFACTURE METHOD THEREOF AND IMMUNOREACTION DETECTING METHOD USING MICRO BIO CHIP}

도 1은 본 발명에 따른 유리칩을 설명하기 위해 보여주는 개략적인 구성도,1 is a schematic configuration diagram showing a glass chip according to the present invention;

도 2는 본 발명에 의해 실시되는 PDMS칩의 구성을 개략적으로 보여주기 위한 예시도, 2 is an exemplary view for schematically showing a configuration of a PDMS chip implemented by the present invention;

도 3은 본 발명에 따라 실시되는 유리칩과 PDMS칩이 접합된 마이크로 바이오칩의 구성을 설명하기 위한 단면 예시도, Figure 3 is an exemplary cross-sectional view for explaining the configuration of a micro biochip bonded glass chip and PDMS chip implemented according to the present invention,

도 4는 본 발명에 의해 실시하고 있는 마이크로 바이오칩의 실시 상태를 보여주는 사시 예시도, 4 is a perspective illustration showing an embodiment of a micro biochip implemented according to the present invention;

도 5는 본 발명에 의해 실시되는 PDMS칩을 형성시키는 단계를 개략적으로 보여주는 과정 예시도, 5 is an exemplary view schematically showing a step of forming a PDMS chip implemented by the present invention;

도 6은 본 발명에 의해 실시되는 유리칩을 형성시키는 단계를 개략적으로 보여주는 과정 예시도, 6 is an exemplary view schematically showing a step of forming a glass chip implemented by the present invention;

도 7은 본 발명을 이용하여 면역반응 여부를 검출하는 과정을 개략적으로 보여주는 실시 예시도,7 is an exemplary view schematically showing a process of detecting whether an immune response using the present invention,

도 8은 본 발명인 마이크로 바이오칩을 이용하여 실시간으로 면역반응 여부를 전기적인 신호로 측정한 그래프.Figure 8 is a graph measuring the electrical response of the immune response in real time using the present invention micro biochip.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10 : 유리칩 11 : 마이크로전극10 glass chip 11: micro electrode

20 : PDMS칩 21 : 챔버20: PDMS chip 21: chamber

22 : 마이크로필터 100 : 마이크로 바이오칩22: micro filter 100: micro biochip

본 발명은 면역반응 실험과 같은 생화학적 실험에 적용하여 사용하기 위한 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법에 관한 것으로,The present invention relates to a micro biochip for immunoreaction for use in biochemical experiments such as an immune response experiment, a method for preparing the same, and a method for detecting an immune response using the same.

좀 더 상세하게는 생화학적 물질인 시료의 고정화를 용이하게 이루고, 면역반응 여부와 같은 생화학반응 여부에 대해 전극을 통한 전기적 신호로 검출하게 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법에 관한 것이다.More specifically, the micro biochip for immunoreaction, a method of preparing the same, and an immune reaction using the same, which facilitates immobilization of a sample, which is a biochemical, and is detected by an electrical signal through an electrode for a biochemical reaction such as an immune response. It relates to a method of detecting whether or not.

최근에, MEMS(Micro Electro-Mechanical System)의 출현과 생명공학의 발달로 인해 이를 기반으로 하는 BioMEMS에 의한 바이오칩에 대한 연구가 활발히 진행되고 있는 실정이다. Recently, due to the emergence of micro electro-mechanical systems (MEMS) and the development of biotechnology, research on biochips by BioMEMS based on this is being actively conducted.

상기의 바이오칩은 크게 두 가지로 나누게 되는데, 그 첫 번째는 마이크로 어레이 타입으로 시료에 포함된 특정 생화학물질을 프로브(capturing probe)에 의해 탐색하게 하고, 이 프로브(capturing probe)의 역할을 할 수 있는 물질을 칩의 표면에 고정화시킨 다음 여기에 분석하고자 하는 생화학물질을 반응시킨 후에 이러한 반응 유무를 검출하고 해석함으로써 생화학물질에 대한 정보를 얻을 수 있는 것이다.The biochip is divided into two types, the first of which is a microarray type, which allows a specific biochemical contained in a sample to be searched by a capturing probe, and can serve as a capturing probe. After immobilizing the substance on the surface of the chip and reacting the biochemical to be analyzed there, information on the biochemical can be obtained by detecting and interpreting the presence or absence of such a reaction.

그리고, 두 번째는 마이크로 플루이딕을 이용한 바이오칩으로 칩상에 마이크로 채널 및 마이크로 챔버, 믹서 밸브 등을 구현하여 미소유체를 제어하고 검출부에 생화학물질을 고정화시킨 다음 검출하고자 하는 생화학물질을 미소유체 흐름을 이용하여 검출부에 고정화된 생화학물질과 반응시켜 반응 유무를 검출하는 시스템으로, 이는 장기적인 관점에서 그리고 최근 소형화 추세에 따라 가장 활발히 연구가 진행되고 있는 분야이다.The second is a biochip using microfluidics, which implements microchannels, microchambers, and mixer valves on a chip to control microfluidics, immobilize biochemicals on the detection unit, and then use microfluidic flow for the biochemicals to be detected. This is a system that detects the reaction by reacting with the biochemicals immobilized on the detection unit, which is the field that is being actively researched in the long term and the recent miniaturization trend.

이러한 바이오칩을 위한 필수적인 기술로는 반응물질과 반응할 수 있는 프로브의 고정화 기술, 반응 유무를 검출할 수 있는 검출기술, 검출된 정보를 처리할 수 있는 정보처리기술 등이 있다.Essential technologies for such a biochip include immobilization of a probe that can react with a reactant, a detection technology that can detect the presence or absence of a reaction, and an information processing technology that can process detected information.

상기의 프로브를 고정화시키기 위한 종래에 실시하고 있는 기술에는 보통 기판에 직접 반응물질과 반응할 수 있는 프로브를 고정시키는 방법과 외부의 힘을 이용하여 검출부에 고정화시키는 방법을 이용하고 있다.Conventional techniques for immobilizing the probes generally employ a method of immobilizing a probe capable of reacting with a reactant directly on a substrate and a method of immobilizing a detector using an external force.

그러나, 기판에 직접 고정화시키는 방법은 어레이 타입에서는 유용하지만 미소유체를 이용한 바이오칩에서는 기판에 선택적으로 고정화시키기에 어려움이 많을 뿐만 아니라 많은 비용과 시간이 요구되는 문제점들이 있다.However, the method of directly immobilizing on a substrate is useful in an array type, but in biochips using microfluidics, it is difficult to selectively immobilize on a substrate.

그리고, 기판에 형성된 자성전극을 이용하여 프로브가 코팅된 마그네틱비드를 고정화시키는 방법과 같이 외부 힘을 이용하여 고정화시키는 방법이 있지만 이는 고정화시키기 위해 외부 힘을 발생시키는 부가적인 장치를 필요로 하는 문제점이 있다.In addition, there is a method of immobilizing by using an external force, such as a method of immobilizing a magnetic bead coated magnetic beads using a magnetic electrode formed on the substrate, but this requires a device that generates an additional force to immobilize have.

한편, 현재 주로 사용되고 있는 생화학 반응을 위한 검출방법은 레이저를 이용한 형광검출법과 산화환원반응을 이용한 전기화학적 검출법 등이 있는데, 상기 레이저를 이용한 형광검출법은 시료에 형광물질을 결합시켜 기판에 고정화된 프로브와의 반응여부를 결합시킨 형광물질을 이용하여 광학적으로 반응여부를 구별하는 방법으로 현재 가장 널리 이용되고 있는 방법이지만 이는 반응여부를 판별하기 위해 광학검출장비가 필요하게 되고, 이로 인해 많은 시간이 요구되는 문제점이 있을 뿐만 아니라 이러한 검출방식은 바이오칩을 기반으로 한 분석시스템을 소형화하는데 어느 정도 한계가 있다는 문제점이 있다.Meanwhile, detection methods for biochemical reactions, which are currently used mainly, include fluorescence detection using a laser and electrochemical detection using redox reactions. The fluorescence detection using a laser combines a fluorescent material with a sample and is immobilized on a substrate. It is the most widely used method to distinguish the reaction optically by using the fluorescent material combined with the reaction of the reaction with, but this requires an optical detection equipment to determine the reaction, which requires a lot of time In addition to this, there is a problem that such a detection method has some limitations in miniaturizing an analysis system based on a biochip.

또한, 상기 전기화학적 검출법은 프로브와 시료가 결합한 전극상에서 다른 화학물질의 전기화학반응을 이용하여 반응여부를 검출하는 방법이지만, 이는 형광검출법에 비해 비교적 검출능력이 떨어지는 문제점이 있다.In addition, the electrochemical detection method is a method of detecting whether the reaction using the electrochemical reaction of other chemicals on the electrode and the probe is coupled to the sample, but this has a problem that the detection ability is relatively lower than the fluorescence detection method.

따라서, 상기와 같이 종래에 실시하고 있는 고정화 방법 및 검출방법은 어느 정도 그 효율성에 한계가 있기 때문에 이를 적용하여 실행하는 생화학 실험에 대한 실질적인 사용상의 신뢰도 및 만족도가 극소화되는 문제점들이 항상 내포되어 있는 것이다.Therefore, the immobilization method and detection method conventionally performed as described above have some limitations in their efficiency, and thus problems of minimizing the reliability and satisfaction of practical use of the biochemical experiments applied and applied are always included. .

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술이 갖는 제반 문제점들을 해결하고자 창출된 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above has the following object.

본 발명은 마이크로필터라는 구조적인 형태와 마이크로비드를 이용함으로써, 면역반응 실험과 같은 생화학적 실험에 있어 항원이나 항체를 직접 고정화시키거나 외부의 힘을 이용하여 고정화시키기 위한 별도의 부가적인 장치 없이도 쉽고 간단하게 항원이나 항체를 고정화시키도록 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is easy to use without the need for an additional device for directly immobilizing the antigen or antibody in the biochemical experiments, such as immune response experiments, or by using external force by using a microbead structural form and microbeads It is an object of the present invention to provide a microbiochip for immune reaction, and a method of manufacturing the same and a method for detecting the immune response using the same.

본 발명의 다른 목적은 종래의 레이저를 이용한 광학검출장비와 같은 대형 검출시스템을 구비하지 않더라도 시중에서 쉽고 값싸게 구입할 수 있는 멀티미터로 측정이 가능한 동시에 소형화를 이루도록 하고, 바이오칩 또한 PDMS와 같은 폴리머를 이용한 몰딩방법을 통하여 대량생산이 가능하게 하는 동시에 생산비용을 최소화시키도록 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a miniaturization at the same time to be measured with a multimeter that can be easily and cheaply purchased on the market even without a large detection system such as an optical detection device using a conventional laser, and a biochip also uses a polymer such as PDMS. The present invention provides a micro biochip for an immune reaction, a method for manufacturing the same, and a method for detecting an immune reaction using the same, which allow mass production to be minimized while minimizing the production cost through the molding method.

본 발명의 또 다른 목적은 시료의 사용량과 실험시간을 줄어들게 하는 동시에 생화학적 실험에 대한 정확하고 신속한 측정을 가능하게 하는 등의 그 효율성을 향상시켜 이를 적용하여 실행하는 이용상의 신뢰도 및 만족도를 극대화시키도록 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부 를 검출하는 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to reduce the amount of use and the experiment time of the sample and at the same time to improve the efficiency, such as to enable accurate and rapid measurement of biochemical experiments to maximize the reliability and satisfaction of the use to apply it The present invention provides a micro biochip for immune response, a method for manufacturing the same, and a method for detecting the immune response using the same.

이하, 상기한 본 발명에 대해서 구체적으로 살펴보기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 실험자 및 측정자와 같은 사용자의 의도 또는 관례에 따라 달라 질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Terms to be described later are terms set in consideration of functions in the present invention, and may be changed according to a user's intention or custom such as an experimenter and a measurer, and a definition thereof should be made based on the contents throughout the present specification.

먼저, 본 발명에 의해 실시하기 위한 면역반응용 마이크로 바이오칩은 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위한 유리칩과, 상기 유리칩의 상부면에 면역반응의 여부를 검출하기 위해 시료를 주입하도록 하는 PDMS(Polydimethylsiloxane)칩이 위치되어 일체화되되, 상기 유리칩의 상부면에 위치된 PDMS칩과 일체화시키기 위해서 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리한 후에 상기 유리칩의 상부면에 PDMS칩이 접합되게 된다.First, the micro biochip for immune reaction to be carried out by the present invention is a glass chip for detecting whether the immune response as an electrical signal, and to inject a sample to detect the immune response on the upper surface of the glass chip PDMS (Polydimethylsiloxane) chip is located and integrated, but after processing for a certain time at a constant power with oxygen plasma in order to integrate with PDMS chip located on the upper surface of the glass chip so that the PDMS chip is bonded to the upper surface of the glass chip do.

이때, 상기 유리칩에는 면역반응의 여부를 전기적인 신호로 검출하기 위해 마이크로전극이 구비되되, 상기 마이크로전극은 크롬과 백금 박막으로 형성되고, 검출효율을 증가시키기 위해 인터디지테이티드 방식(interdigitated type)에 의한 두 개의 전극이 한 쌍으로 이루어지게 된다.In this case, the glass chip is provided with a micro electrode to detect the immune response as an electrical signal, the micro electrode is formed of a chromium and platinum thin film, interdigitated type (interdigitated type) to increase the detection efficiency The two electrodes by) become a pair.

또한, 상기 PDMS칩에는 생화학물질이 주입되어 담겨지는 챔버와, 상기 챔버의 중앙부에 위치되는 마이크로필터와, 인렛부와 아웃렛부 사이에 구비된 채널로 구성되어 이루어지게 된다.In addition, the PDMS chip is composed of a chamber in which biochemicals are injected, a micro filter positioned at the center of the chamber, and a channel provided between the inlet and the outlet.

이에 따른, 상기 챔버의 중앙부에 위치된 마이크로필터는 인렛부로 주입되는 마이크로비드를 안정적으로 고정시킬 수 있도록 걸리게 되고, 상기 마이크로비드는 생화학물질인 항원이 코팅되어 이루어지게 된다.Accordingly, the micro filter located in the central portion of the chamber is caught so as to stably fix the microbeads injected into the inlet, and the microbeads are coated with an antigen that is a biochemical.

상기와 같이, 상기 유리칩과 PDMS칩이 일체화되는 상태에서, 상기 유리칩에 구비된 마이크로전극은 PDMS칩에 구비된 마이크로필터와 상기 PDMS칩에 주입되어 마이크로필터에 의해 고정되는 마이크로비드를 이용하여 면역반응을 전기적인 신호로 용이하게 검출할 수 있도록 상기 마이크로필터의 전단부에 위치되게 되는 것이다.As described above, in the state in which the glass chip and the PDMS chip are integrated, the microelectrode provided in the glass chip uses a microfilter provided in the PDMS chip and a microbead injected into the PDMS chip and fixed by the microfilter. It is to be located at the front end of the micro filter so that the immune response can be easily detected by an electrical signal.

그리고, 본 발명의 다른 실시예인 면역반응용 마이크로 바이오칩을 제조하는 방법은 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위한 유리칩을 형성시키는 단계와, 면역반응의 여부를 검출하기 위해 생화학물질과 같은 시료를 주입하도록 하는 PDMS칩을 형성시키는 단계와, 상기에서 형성된 유리칩의 상부면에 PDMS칩을 접합시켜 일체화시키도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간 동안 처리하는 단계를 실행하는 것이다.In another embodiment of the present invention, a method for manufacturing a micro biochip for an immune reaction may include forming a glass chip for detecting an immune response with an electrical signal, and a sample such as a biochemical to detect the immune response. Forming a PDMS chip to inject the same, and treating the PDMS chip on the upper surface of the glass chip formed thereon for a predetermined time at a constant power with an oxygen plasma to integrate the PDMS chip.

또한, 본 발명의 또 다른 실시예인 면역반응용 마이크로 바이오칩을 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법은 마이크로 바이오칩과 마이크로비드를 이용하여 항원과 항체를 고정화시킨 다음 특이적인 항원이나 항체에 나노골드와 실버용액을 이용하여 면역반응 여부를 전기적인 신호로 검출하도록 실행하는 것이다.In addition, in another embodiment of the present invention, a method for detecting an immune reaction using a micro biochip for immune reaction is to immobilize an antigen and an antibody using a micro biochip and microbeads, and then nano gold and silver solution to a specific antigen or antibody. Using to detect whether the immune response as an electrical signal.

[실시예]EXAMPLE

상기한 본 발명을 이루기 위한 바람직한 실시예에 대해 첨부도면을 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다.With reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment for achieving the present invention will be described in detail.

먼저, 본 발명은 첨부도면 도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 도 1은 본 발명에 따른 유리칩을 설명하기 위해 보여주는 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명에 의해 실시되는 PDMS칩의 구성을 개략적으로 보여주기 위한 예시도이며, 도 3은 본 발명에 따라 실시되는 유리칩과 PDMS칩이 접합된 마이크로 바이오칩의 구성을 설명하기 위한 단면 예시도이고, 도 4는 본 발명에 의해 실시하고 있는 마이크로 바이오칩의 실시 상태를 보여주는 사시 예시도이며, 도 5는 본 발명에 의해 실시되는 PDMS칩을 형성시키는 단계를 개략적으로 보여주는 과정 예시도이고, 도 6은 본 발명에 의해 실시되는 유리칩을 형성시키는 단계를 개략적으로 보여주는 과정 예시도이며, 도 7은 본 발명을 이용하여 면역반응 여부를 검출하는 과정을 개략적으로 보여주는 실시 예시도를 나타낸 것이다.First, the present invention is shown in the accompanying drawings, Figures 1 to 7, Figure 1 is a schematic configuration showing for explaining a glass chip according to the present invention, Figure 2 is a PDMS chip of the present invention 3 is an exemplary view for schematically illustrating a configuration, and FIG. 3 is an exemplary cross-sectional view for explaining a configuration of a micro biochip to which a glass chip and a PDMS chip are bonded according to the present invention, and FIG. FIG. 5 is a perspective view illustrating an embodiment of a micro biochip, and FIG. 5 is a schematic view illustrating a process of forming a PDMS chip according to the present invention, and FIG. 6 illustrates a glass chip implemented by the present invention. FIG. 7 is an exemplary view schematically showing a step of making a step, and FIG. 7 illustrates an exemplary embodiment schematically showing a process of detecting an immune response using the present invention. It is shown.

즉, 본 발명은 생화학물질인 시료를 고정화시킨 다음 이를 이용하여 생화학반응과 같은 면역반응의 여부를 전극을 통해 전기적 신호로 검출하기 위한 것이다.That is, the present invention is intended to detect the immune response, such as a biochemical reaction by using an electrode and then immobilize the sample of the biochemical as an electrical signal through the electrode.

이를 위한, 면역반응용 마이크로 바이오칩(100)은 크게 유리칩(10)과 PDMS칩(20)으로 구성되는데, 상기 유리칩(10)은 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위해 전극이 형성되어 있고, 상기 PDMS칩(20)은 면역반응의 여부를 검출하기 위해 시료를 주입시키고 이때 주입된 시료가 전극에 용이하게 고정될 수 있도록 이루어지게 된다.To this end, the micro biochip 100 for immune reaction is largely composed of a glass chip 10 and a PDMS chip 20, the glass chip 10 is formed with an electrode to detect whether the immune response as an electrical signal In addition, the PDMS chip 20 is injected to the sample to detect whether the immune response and the injected sample is made to be easily fixed to the electrode.

이에 따른, 상기 면역반응용 마이크로 바이오칩(100)은 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위해서, 상기 유리칩(10)의 상부면에 PDMS칩(20)을 접합시켜 일체화시킬 수 있도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리하여 이루어지게 되는데, 이때 상기의 접합의 실행은 산소 플라즈마로 18W에서 1분 30초 동안 처리한 후에 접합시키는 것이 바람직하다.Accordingly, the micro biochip 100 for the immune reaction is an oxygen plasma to bond the PDMS chip 20 to the upper surface of the glass chip 10 so as to detect the immune response as an electrical signal. The treatment is performed at a constant power for a predetermined time, wherein the bonding is preferably performed after treatment at 18 W for 1 minute and 30 seconds with oxygen plasma.

이에 대해서, 상기 PDMS칩(20)과 유리칩(10)을 접합할 때 18W에서 1분 30초 동안 처리하는 것이 여러 실험을 수행하는 과정에서 최적의 접합조건임을 확인하였고, 그 이외의 조건에서는 접합이 제대로 이루어지지 못함을 확인하였다.On the other hand, when bonding the PDMS chip 20 and the glass chip 10, it was confirmed that the treatment for 1 minute and 30 seconds at 18W was the optimal bonding condition in the course of performing various experiments, and in other conditions, the bonding was performed. This did not work properly.

상기의 유리칩(10)에는 인터디지테이티드 방식(interdigitated type)에 의한 두 개의 전극이 한 쌍으로 이루어지는 마이크로전극(11)이 구비되어 있고, 상기 마이크로전극(11)은 크롬과 백금 박막으로 형성되어 있는데, 이는 면역반응의 여부를 전기적인 신호로 검출하는데 있어 검출효율을 증대시키기 위한 것이다.The glass chip 10 includes a microelectrode 11 having a pair of two electrodes of an interdigitated type, and the microelectrode 11 is formed of a chromium and platinum thin film. This is to increase the detection efficiency in detecting whether an immune response is an electrical signal.

또한, 상기 PDMS칩(20)에는 챔버(21)를 통해 생화학물질인 시료가 용이하게 주입되게 되고, 상기 챔버(21)의 중앙부에는 마이크로필터(22)가 위치되어 있기 때문에 상기 챔버를 통해 주입된 시료가 마이크로필터(22)에 의해 걸리게 되고, 이를 통해 면역반응 여부를 검출할 수 있도록 시료를 안정적으로 고정시킬 수 있는 것이다.In addition, the PDMS chip 20 is easily injected with a sample of a biochemical material through the chamber 21, and because the micro filter 22 is located in the center of the chamber 21 is injected through the chamber The sample is caught by the micro filter 22, through which the sample can be stably fixed to detect whether the immune response.

즉, 생화학물질인 항원이 코팅되어 있는 마이크로비드가 상기 챔버의 내부로 주입되게 되면, 상기 마이크로비드는 챔버의 중앙부에 위치되어 있는 마이크로필터(22)에 걸리게 되고, 이때 상기 마이크로필터(22)에 의해 마이크로비드가 안정적으로 고정이 되는 동시에 상기 마이크로필터(22)의 전단부에 위치되어 있는 마이크로전극(11)에도 고정되는 것이다.That is, when the microbead coated with the antigen, which is a biochemical, is injected into the chamber, the microbead is caught by the microfilter 22 which is located at the center of the chamber. As a result, the microbeads are stably fixed and fixed to the microelectrode 11 positioned at the front end of the microfilter 22.

이에 따라, 상기에서 안정적으로 고정되어 있는 마이크로비드를 이용하여 면역반응을 전기적인 신호로 용이하게 검출할 수 있는 것이다.Accordingly, the immune response can be easily detected as an electrical signal using the microbeads which are stably fixed above.

이때, 외부의 측정기기(예를 들어 멀티미터)를 통해 검출된 전기적 신호를 확인하는 것은 인렛부와 아웃렛부의 사이에 구비된 채널(23)에 연결시켜 이루어지게 된다.In this case, the checking of the electrical signal detected through an external measuring device (for example, a multimeter) is performed by connecting to a channel 23 provided between the inlet part and the outlet part.

그리고, 상기 마이크로 바이오칩(100)의 전체 형상에서 마이크로전극(11)이 형성된 유리칩(10)의 크기가 PDMS칩(20) 보다 크게 이루어져야 하는데, 이는 전기적 신호의 검출을 위한 마이크로전극(11)이 외부 측정장치와 연결이 되어야 하기 때문에 PDMS칩(20)보다 유리칩(10)의 크기를 더 크게 하여 두 칩을 접합할 때 조작이 쉽고 제어하게 쉽게 되는 것이다.In addition, the size of the glass chip 10 having the microelectrode 11 formed therein should be larger than that of the PDMS chip 20 in the overall shape of the micro biochip 100, which is a microelectrode 11 for detecting an electrical signal. Since the size of the glass chip 10 is larger than the PDMS chip 20 because it must be connected to an external measuring device, the operation is easy and easy to control when bonding the two chips.

또한, 첨부도면 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 채널(23)과 유리칩(10)의 사이를 160㎛로 하는 것이 바람직한데, 이는 마이크로비드의 크기가 50 ~ 80㎛정도 되기 때문에 상기 160㎛ 보다 작으면 전극에 마이크로비드가 한층만 있을 수 밖에 없어 보다 원활한 전기신호 측정을 위해서 전극 부분에 마이크로비드가 두층이 되도록 하였고, 만약 160㎛ 이상 형성시켜도 무방하나 PDMS 몰드로 사용하는 SU-8 이라는 음성감광제가 구현할 수 있는 높이의 한계가 있는 실정이다.In addition, as shown in FIG. 3, it is preferable to set the space between the channel 23 and the glass chip 10 to 160 μm, since the size of the microbead is about 50 to 80 μm. If it is smaller, there is only one layer of microbeads on the electrode, so that the microbeads have two layers on the electrode part for a smoother electrical signal measurement. There is a limit of the height that can be implemented by the photosensitizer.

상기에서 설명한 면역반응용 마이크로 바이오칩(100)에 대한 제조방법은 유리칩(10)과 PDMS칩(20)을 각각 형성시킨 다음 상기 유리칩(10)의 상부면에 PDMS칩(20)을 일체화시킬 수 있도록 산소 플라즈마로 18W에서 1분 30초 동안 처리한 후에 접합시키면 되는 것이다.The method for manufacturing the micro biochip 100 for immune reaction described above forms a glass chip 10 and a PDMS chip 20 and then integrates the PDMS chip 20 on the upper surface of the glass chip 10. This can be done after treatment for 1 minute and 30 seconds at 18W with oxygen plasma.

이때, 상기의 PDMS칩(20)을 형성시키기 위해서는, 먼저 4인치 실리콘 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거한 후에 스핀코터를 이용하여 일정한 두께로 음성감광제인 SU-8을 도포하게 되는데, 상기의 음성감광제인 SU-8을 도포하는 두께는 150㎛ 로 이루는 것이 바람직하다.At this time, in order to form the PDMS chip 20, the 4-inch silicon wafer is first immersed in a SPM (sulfuric acid and hydrogen peroxide mixture) solution to remove foreign substances, and then a spin coater is used to apply a negative photosensitive agent SU-8 to a constant thickness. The thickness of applying SU-8, which is the negative photosensitive agent, is preferably 150 μm.

상기에서 도포시킨 후에 소프트 베이크를 실시하여 음성감광제인 SU-8에 포함되어 있는 유기용제를 제거한 다음 노광공정과 포스트 베이크(post bake)를 통해 음성감광제의 레진 결합을 형성하고 현상시키게 된다.After the application, the soft bake is performed to remove the organic solvent contained in the negative photosensitive agent SU-8, and then a resin bond of the negative photosensitive agent is formed and developed through an exposure process and a post bake.

이에, 상기에서 음성감광제의 레진 결합을 형성하고 현상시킨 후에 PDMS칩(20)을 제작하기 위해서 하드 베이킹(hard baking)을 실시하여 SU-8 몰드를 완성시키게 된다.Thus, after forming and developing the resin bond of the negative photosensitive agent, a hard baking is performed to manufacture the PDMS chip 20 to complete the SU-8 mold.

상기에서 SU-8 몰드가 완성되면 기포를 제거시키기 위해 진공오븐에 일정시간 동안 방치시킨 다음 PDMS와 경화제를 일정한 비율(예를 들어 PDMS와 경화제를 10:1 비율)로 섞은 후에 이를 SU-8 몰드 위에 붓고 일정 온도에서 일정 시간 동안 경화시키게 되는데, 이때 65℃와 3시간30분 동안 경화시키는 것이 바람직하다.When the SU-8 mold is completed, it is left in a vacuum oven for a certain time to remove bubbles, and then mixed with PDMS and a curing agent in a constant ratio (for example, a 10: 1 ratio of PDMS and curing agent) and then the SU-8 mold. Pour over and cure at a certain temperature for a certain time, preferably at 65 ℃ and 3 hours 30 minutes.

이에 따른, PDMS와 경화제에 대한 비율과 경화시키기 위한 온도 및 시간은 여러 조건을 토대로 실험을 수행하여 살펴볼 때 최적의 상태에서 실행할 수 있는 조건들이다.Accordingly, the ratio of the PDMS and the curing agent, and the temperature and time for curing are conditions that can be performed under optimum conditions when the experiment is performed based on various conditions.

상기의 과정을 완료한 몰드에서 PDMS를 분리하게 되는데, 이때 분리된 PDMS를 펀치와 같은 도구를 이용하여 인렛(inlet)부와 아웃렛(outlet)부를 형성시키게 되고, 이에 의해 최종적인 PDMS칩(20)이 완성되어 형성되는 것이다.The PDMS is separated from the mold that has completed the above process. At this time, the inlet part and the outlet part are formed by using a tool such as a punch to separate the PDMS. This is completed and formed.

또한, 상기 유리칩(10)을 형성시키기 위해서, 먼저 4인치 파이렉스 유리 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시킨 후에 스핀코터를 이용하여 양성감광제인 AZ1512를 도포시키게 된다.In addition, in order to form the glass chip 10, the 4-inch Pyrex glass wafer is first immersed in a SPM (sulfuric acid and hydrogen peroxide mixture) solution to remove foreign substances, and then coated with a positive coating agent AZ1512 using a spin coater.

상기에서 도포가 완료되면 사진공정을 통해 전극형상을 패터닝하게 되고, 이때 패터닝된 부분에 크롬과 백금을 각각 100Å과 700Å으로 증착한 후에 금속층 밑에 남아 있는 양성감광제를 제거하게 된다.When the coating is completed in the above, the electrode shape is patterned through a photographic process. At this time, after depositing chromium and platinum at 100 kPa and 700 kPa on the patterned part, the positive photoresist remaining under the metal layer is removed.

상기의 크롬과 백금을 각각 100Å과 700Å으로 증착되는데, 이는 보통 유리 웨이퍼나 실리콘 웨이퍼에 금속 배선 등을 형성시킬 때 접착층을 올리게 되고, 상기 크롬을 그 접착층으로 사용되게 된다.The chromium and platinum are deposited at 100 kPa and 700 kPa, respectively, which usually raises an adhesive layer when forming metal wires or the like on a glass wafer or a silicon wafer, and the chromium is used as the adhesive layer.

만약, 백금만 웨이퍼에 증착시키면 웨이퍼에 용이하게 증착되지 않아 공정 도중에 웨이퍼에서 떨어져 나가는 문제점이 생길 수 있고, 이러한 문제를 방지하기 위해 접착층을 증착시키게 되는 것이다.If only platinum is deposited on the wafer, it may not be easily deposited on the wafer, which may cause a problem of falling off the wafer during the process, and to deposit an adhesive layer to prevent such a problem.

상기의 접착층은 두께에 따라서 50Å ~ 100Å 정도 올리는 것이 바람직하고, 보통 접착층과 올리는 금속층 두께 비는 약 1:10으로 올리는 것이 바람직하지만 본 발명의 경우 가격적인 면을 고려하여 백금을 700Å으로 정하였고, 700Å 이상 올려도 관계없으나 금속 증착 장비가 올릴 수 있는 한계가 있다(보통 ~ 수천Å 정도).It is preferable to raise the adhesive layer by about 50 kPa to 100 kPa depending on the thickness, and in general, the ratio of the thickness of the adhesive layer and the metal layer to be raised is preferably about 1:10, but in the case of the present invention, the platinum is set to 700 kPa in consideration of the cost. It can be raised above 700Å, but there is a limit that metal deposition equipment can raise (usually ~ thousands).

상기에서 양성감광제가 제거되면 최종적인 전극이 형성된 유리칩(10)이 완성되어 형성되는 것이다.When the positive photosensitive agent is removed, the glass chip 10 having the final electrode is completed.

한편, 본 발명에 의해 실시하고자 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩을 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법은 마이크로 바이오칩(100)과 마이크로비드를 이용하여 항원과 항체를 고정화시키고, 이때 특이적인 항원이나 항체에 나노골드와 실버용액을 이용하여 면역반응 여부를 전기적인 신호로 검출하여 실행시키는 것이다.On the other hand, the method for detecting the immune response using the micro-biochip for immune reaction to be carried out by the present invention is to immobilize the antigen and the antibody using the micro-biochip 100 and the microbeads, at this time to the specific antigen or antibody nano Gold and silver solutions are used to detect the immune response as an electrical signal.

이를 위해, 첨부도면 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 마이크로 바이오칩(100)에 항원과 같은 생화학물질이 코팅된 마이크로비드를 주입시켜 PDMS칩(20)에 형성된 챔버(21)의 중앙부에 위치하고 있는 마이크로필터(22)에 의해 마이크로비드를 걸리게 하여 고정시킨 다음 상기의 마이크로비드가 고정된 챔버(21)에 일차 항체를 주입시키게 된다.To this end, as shown in Figure 7, the micro-biochip (100) is injected into a microbead coated with a biochemical material such as an antigen is located in the central portion of the chamber 21 formed on the PDMS chip 20 The microbeads are caught and fixed by the filter 22, and then the primary antibody is injected into the chamber 21 in which the microbeads are fixed.

이때, 상기에서 마이크로비드가 고정된 챔버(21)에 일차 항체를 주입하게 되면, 항원과 특이적인 반응을 하는 경우에 있어 마이크로비드의 표면에 있는 항원과 결합하여 마이크로비드의 표면에 남아있게 되나, 항원과 비특이적인 반응을 하는 일차 항체인 경우에는 항원과 결합하지 못하고 마이크로비드의 표면에 남아있지 않게 된다. In this case, when the primary antibody is injected into the chamber 21 in which the microbeads are fixed, in the case of reacting with the antigen, the primary antibody binds to the antigen on the surface of the microbead and remains on the surface of the microbead. Primary antibodies that react nonspecifically with the antigen will not bind to the antigen and will not remain on the surface of the microbead.

이에, 본 발명에서는 상기에서 주입된 일차 항체가 항원과 특이적인 반응을 하는 경우에 마이크로비드의 표면에 고정된 일차 항체는 나노골드 입자가 붙은 이차 항체와 다시 결합하게 된다.Thus, in the present invention, when the primary antibody injected above reacts specifically with the antigen, the primary antibody immobilized on the surface of the microbead is recombined with the secondary antibody to which nanogold particles are attached.

이에 따른, 상기의 나노골드 입자의 크기를 증폭시키기 위해서 실버용액(silver enhancer)을 주입하게 되고, 상기에서 실버용액이 주입되면 마이크로비드의 표면에 일차 항제와 결합한 이차 항체에 붙어 있는 나노골드 입자의 직경이 커져 서로 연결되게 되는데, 이때 최종적으로 마이크로비드와 마이크로비드의 직경이 증폭되어 나노골드 입자에 의해서 전극과 전극 사이를 연결하는 전기적인 다리가 형성되게 된다.Accordingly, a silver enhancer is injected to amplify the size of the nano gold particles, and when the silver solution is injected, the nano gold particles adhered to the secondary antibody bound to the primary antibody on the surface of the microbead. The diameter is increased to be connected to each other, and finally the diameters of the microbeads and microbeads are amplified to form an electrical bridge connecting the electrodes to the electrodes by the nanogold particles.

이는, 상기에서 형성된 전기적인 다리에 의해 양쪽 전극에서 측정되는 저항을 낮추는 역할하게 되고, 전기적인 연결에 의한 저항을 측정하여 면역반응 여부를 판별하게 되는 것이다.This serves to lower the resistance measured at both electrodes by the electrical legs formed above, and to determine whether the immune response by measuring the resistance by the electrical connection.

첨부도면 도 8은 본 발명인 마이크로 바이오칩을 이용하여 실시간으로 면역반응 여부를 전기적인 신호로 측정한 그래프로서, 이는 항원항체반응의 특이적인 경우와 비특이적인 경우를 측정한 결과를 나타낸 것이다.Accompanying drawings Figure 8 is a graph measuring the electrical response of the immune response in real time using the micro-biochip of the present invention, which shows the results of measuring the specific and non-specific cases of the antigen antibody response.

상기와 같은, 본 발명은 면역반응 여부를 전기적 신호로 검출하는 것에 대해만 한정하여 설명하였으나, 면역반응 여부의 실험뿐만 아니라 일반적인 특이적인 반응을 일으키는 생화학물질에 대한 반응 여부를 판별하는데 응용하여 사용할 경우에도 본 발명의 기술적 범주에 속함을 미리 밝혀두는 바이다.As described above, the present invention has been limited to only detecting whether the immune response as an electrical signal, but when applied to determine whether the reaction to the biochemicals causing the general specific reaction as well as the experiment of the immune response. Even if it belongs to the technical scope of the present invention in advance.

마지막으로, 본 발명을 실시하고 있는 면역반응용 마이크로 바이오칩과 이의 제조방법 및 이를 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법에 대한 실시 구성에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다.Finally, in the implementation configuration for the micro-biochip for the immune reaction and the method of manufacturing the same and the method for detecting the immune response using the same can be variously modified and can take various forms.

하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되 는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents, and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to include.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 종래의 면역실험에 비해 시료의 양이 적게 소모될 뿐만 아니라 종래의 실험보다 신속하고 정확하게 측정할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention not only consumes less amount of sample than the conventional immunoassay, but also has the effect of measuring faster and more accurately than the conventional experiment.

또한, 본 발명은 마이크로필터라는 구조적인 형태와 마이크로비드를 이용하기 때문에 면역반응 실험과 같은 생화학적 실험에 있어 항원이나 항체를 직접 고정화시키거나 외부의 힘을 이용하여 고정화시키기 위한 별도의 부가적인 장치 없이도 쉽고 간단하게 항원이나 항체를 고정화시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, since the present invention utilizes a microbead structural form and microbeads, an additional device for directly immobilizing antigens or antibodies or immobilization using external forces in biochemical experiments such as immune response experiments. There is an effect that can be easily and simply immobilized antigen or antibody without.

또한, 본 발명은 종래의 레이저를 이용한 광학검출장비와 같은 대형 검출시스템을 구비하지 않더라도 시중에서 쉽고 값싸게 구입할 수 있는 멀티미터로 측정이 가능한 동시에 소형화를 이룰 수 있는 효과와, 바이오칩 또한 PDMS와 같은 폴리머를 이용한 몰딩방법을 통하여 대량생산이 가능하고 생산비용이 최소화되는 효과가 있다.In addition, the present invention can be measured with a multimeter that can be easily and cheaply purchased on the market even without a large detection system such as an optical detection device using a conventional laser, and at the same time, it can be miniaturized, and a biochip such as PDMS Through the molding method using a polymer, mass production is possible and the production cost is minimized.

또한, 본 발명은 전체적으로 볼 때 시료의 사용량과 실험시간이 줄어들고 생화학적 실험에 대한 정확하고 신속한 측정이 가능하게 이루어지는 등의 그 효율성이 향상되는 효과들로 인해 이를 적용하여 실행하는 이용상의 신뢰도 및 만족도가 극대화되는 여러 효과가 있다.In addition, the present invention as a whole, the reliability and satisfaction of the application to be implemented by implementing the effect due to the effect of improving the efficiency, such as reducing the amount of use of the sample and the experiment time, enabling accurate and rapid measurement of biochemical experiments There are several effects that are maximized.

Claims (15)

면역반응용 마이크로 바이오칩에 있어서,In micro biochip for immune reaction, 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위한 유리칩과, 상기 유리칩의 상부면에 면역반응의 여부를 검출하기 위해 시료를 주입하도록 하는 PDMS칩이 위치되어 일체화되는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.A glass chip for detecting an immune response with an electrical signal and a PDMS chip for injecting a sample to detect an immune response on an upper surface of the glass chip are located and integrated. Biochip. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유리칩의 상부면에 위치된 PDMS칩과의 일체화는 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리한 후에 상기 유리칩의 상부면에 PDMS칩이 접합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.Integrating with the PDMS chip located on the upper surface of the glass chip is a micro biochip for immune reaction, characterized in that the PDMS chip is bonded to the upper surface of the glass chip after a certain time at a constant power with oxygen plasma. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유리칩에는 면역반응의 여부를 전기적인 신호로 검출하기 위해 마이크로전극이 구비되되, 상기 마이크로전극은 크롬과 백금 박막으로 형성되고, 검출효율을 증가시키기 위해 인터디지테이티드 방식(interdigitated type)에 의한 두 개의 전극이 한 쌍으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The glass chip is provided with a micro electrode to detect whether the immune response as an electrical signal, the micro electrode is formed of a chromium and platinum thin film, in an interdigitated type (interdigitated type) to increase the detection efficiency The micro-biochip for immune reaction, characterized in that the two electrodes consisting of a pair. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 PDMS칩은 생화학물질이 주입되어 담겨지는 챔버와, 상기 챔버의 중앙부에 위치되는 마이크로필터와, 인렛부와 아웃렛부의 사이에 구비된 채널로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The PDMS chip is a micro biochip for immune reaction, comprising a chamber in which a biochemical is injected, a micro filter positioned in the center of the chamber, and a channel provided between the inlet and the outlet. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 챔버의 중앙부에 위치된 마이크로필터는 인렛부로 주입되는 마이크로비드를 안정적으로 고정시킬 수 있도록 걸리게 하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The micro-filter located in the center of the chamber is a micro biochip for immune response, characterized in that to catch the microbead injected into the inlet to stably be fixed. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 마이크로비드는 생화학물질인 항원이 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The microbeads microbiochips for immune reaction, characterized in that the antigen is coated with a biochemical material. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 유리칩과 PDMS칩이 일체화되되, 상기 PDMS칩에 구비된 마이크로필터와 상기 PDMS칩에 주입되어 마이크로필터에 의해 고정되는 마이크로비드를 이용하여 면역반응을 전기적인 신호로 용이하게 검출할 수 있도록 상기 마이크로필터의 전단부에는 유리칩에 구비된 마이크로전극이 위치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The glass chip and the PDMS chip are integrated, and the microfilter included in the PDMS chip and the microbeads injected into the PDMS chip are fixed by the microfilter so that the immune response can be easily detected as an electrical signal. Micro biochip for immune reaction, characterized in that the microelectrode provided on the glass chip is located at the front end of the micro filter. 면역반응용 마이크로 바이오칩에 있어서,In micro biochip for immune reaction, 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위한 유리칩과, 상기 유리칩의 상부면에 면역반응의 여부를 검출하기 위해 시료를 주입하도록 하는 PDMS칩이 위치되어 일체화되도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간동안 처리한 후에 상기 유리칩의 상부면에 PDMS칩이 접합되되,A glass chip for detecting an immune response with an electrical signal and a PDMS chip for injecting a sample to detect an immune response on the upper surface of the glass chip are positioned at a constant time at a constant power with an oxygen plasma. After processing for a PDMS chip is bonded to the upper surface of the glass chip, 상기 유리칩에는 마이크로전극이 구비되고, 상기 마이크로전극에 크롬과 백금 박막으로 형성되며, 검출효율을 증가시키기 위해 인터디지테이티드 방식(interdigitated type)에 의한 두 개의 전극이 한 쌍으로 이루어지는 것이고,The glass chip is provided with a microelectrode, and the microelectrode is formed of a chromium and a platinum thin film, and in order to increase the detection efficiency, two electrodes of an interdigitated type are formed in pairs. 상기 PDMS칩에는 생화학물질이 주입되어 담겨지는 챔버와, 인렛부와 아웃렛부의 사이에 구비된 채널과, 상기 인렛부로 주입되는 항원이 코팅된 마이크로비드를 안정적으로 고정시킬 수 있도록 상기 챔버의 중앙부에 위치되는 마이크로필터로 이루어지는 것이며,The PDMS chip is located in the center of the chamber to stably fix the chamber into which the biochemical is injected, the channel provided between the inlet and the outlet, and the microbead coated with the antigen injected into the inlet. Consisting of a micro filter, 상기 유리칩에 구비된 마이크로전극은 PDMS칩에 구비된 마이크로필터와 상기 PDMS칩에 주입되어 마이크로필터에 의해 고정되는 마이크로비드를 이용하여 면역반응을 전기적인 신호로 용이하게 검출할 수 있도록 상기 마이크로필터의 전단부에 위치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩.The microelectrode provided in the glass chip uses the microfilter provided in the PDMS chip and the microbeads injected into the PDMS chip and fixed by the microfilter so that the microreaction can be easily detected as an electrical signal. Micro biochip for immune reaction, characterized in that located in the front end of the. 면역반응용 마이크로 바이오칩을 제조하는 방법에 있어서,In the method for producing a micro biochip for immune reaction, 면역반응의 여부를 전기적 신호로 검출하기 위한 유리칩을 형성시키는 단계;Forming a glass chip for detecting an immune response with an electrical signal; 면역반응의 여부를 검출하기 위해 생화학물질과 같은 시료를 주입하도록 하 는 PDMS칩을 형성시키는 단계;Forming a PDMS chip to inject a sample, such as a biochemical, to detect the immune response; 상기에서 형성된 유리칩의 상부면에 PDMS칩을 접합시켜 일체화시키도록 산소 플라즈마로 일정한 전력에서 일정한 시간 동안 처리하는 단계;Treating the PDMS chip on the upper surface of the glass chip formed above by bonding the PDMS chip with an oxygen plasma for a predetermined time at a constant power; 를 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩의 제조방법.Method of producing a micro-biochip for immune reaction, characterized in that for executing. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 PDMS칩을 형성시키는 단계에서,In the forming of the PDMS chip, 4인치 실리콘 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, Dipping the 4-inch silicon wafer in a SPM (sulfuric acid and hydrogen peroxide mixture) solution to remove debris; 상기의 이물질을 제거한 후에 스핀코터를 이용하여 일정한 두께로 음성감광제인 SU-8을 도포시키는 단계와,After removing the foreign matter and applying a negative photosensitive agent SU-8 to a constant thickness using a spin coater, 상기에서 도포시킨 후에 음성감광제인 SU-8에 포함되어 있는 유기용제를 제거하기 위해 소프트 베이크를 실시하는 단계와,Performing a soft bake to remove the organic solvent contained in the SU-8, which is a negative photosensitizer, after the coating; 상기 소프트 베이크가 왼료된 후에 노광공정과 포스트 베이크(post bake)를 통해 음성감광제의 레진 결합을 형성하고 현상시키는 단계와,Forming and developing a resin bond of a negative photosensitive agent through an exposure process and a post bake after the soft bake is finished; 상기에서 음성감광제의 레진 결합을 형성하고 현상시킨 후에 PDMS칩을 제작하기 위한 SU-8 몰드가 완성되도록 하드 베이킹(hard baking)을 실시하는 단계와,Forming a resin bond of the negative photosensitive agent and developing the resin bond, and then performing hard baking to complete a SU-8 mold for manufacturing a PDMS chip; 상기에서 하드 베이킹(hard baking)을 실시한 후에 SU-8 몰드가 완성되면 진공오븐에 일정시간 동안 방치시켜 기포를 제거하는 단계와,After performing the hard baking (hard baking) in the SU-8 mold is completed, the step of leaving the vacuum oven for a predetermined time to remove bubbles; 상기의 기포 제거를 실행한 후에 PDMS와 경화제를 일정한 비율로 섞은 다음 이를 SU-8 몰드 위에 붓고 일정 온도에서 일정 시간 동안 경화시킨 후에 몰드에서 PDMS를 분리시키는 단계와,After performing the above bubble removal, mixing PDMS and a curing agent at a constant ratio, pouring it onto a SU-8 mold, curing the mixture for a predetermined time at a constant temperature, and then separating the PDMS from the mold, 상기에서 분리된 PDMS를 펀치와 같은 도구에 의해 인렛(inlet)부와 아웃렛(outlet)부를 형성시켜 최종적인 PDMS칩을 완성시키는 단계로 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩의 제조방법.The method of manufacturing a micro-biochip for immune reaction, characterized in that the PDMS separated in the step of forming an inlet (inlet) and an outlet (outlet) by a tool such as a punch to complete the final PDMS chip. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기의 두께는 150㎛ 이고, 상기 PDMS와 경화제의 비율은 10:1 이며, 상기에서 경화시키는 온도와 시간은 65℃와 3시간30분인 것으로 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩의 제조방법.The thickness is 150㎛, the ratio of the PDMS and the curing agent is 10: 1, the temperature and time to cure in the process of producing a micro biochip for immune reaction, characterized in that carried out to 65 ℃ and 3 hours 30 minutes. . 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 유리칩을 형성시키는 단계에서,In the step of forming the glass chip, 4인치 파이렉스 유리 웨이퍼를 SPM(황산과 과산화수소 혼합물)용액에서 담궈 이물질을 제거시키는 단계와, Dipping a 4-inch Pyrex glass wafer in a SPM (sulfuric acid and hydrogen peroxide mixture) solution to remove debris; 상기에서 이물질을 제거한 후에 스핀코터를 이용하여 양성감광제인 AZ1512를 도포시키는 단계와,After removing the foreign matter in the above step of applying a positive photosensitive agent AZ1512 using a spin coater, 상기의 도포가 완료된 후에 전극형상을 패터닝하기 위해 사진공정을 실시하는 단계와,Performing a photographic process to pattern the electrode shape after the application is completed; 상기의 사진공정을 통한 패터닝된 부분에 크롬과 백금을 각각 얇은 일정한 두께로 증착시키는 단계와,Depositing chromium and platinum in a thin constant thickness on the patterned part through the photo process, respectively, 상기에서 증착한 후에 금속층 밑에 남아 있는 양성감광제를 제거하면 최종적인 전극이 형성된 유리칩을 완성시키는 단계로 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩의 제조방법.Removing the positive photoresist remaining under the metal layer after the deposition in the method of producing a micro-chip for immune reaction, characterized in that to perform the step of completing the glass chip on which the final electrode is formed. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기에서 증착되는 크롬과 백금의 각각의 두께는 100Å과 700Å으로 형성시켜 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩의 제조방법.The thickness of each of the chromium and platinum to be deposited is formed by 100 Å and 700 Å, the method of producing a micro biochip for immune reaction, characterized in that the execution. 마이크로 바이오칩과 마이크로비드를 이용하여 항원과 항체를 고정화시킨 다음 특이적인 항원이나 항체에 나노골드와 실버용액을 이용하여 면역반응 여부를 전기적인 신호로 검출하도록 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩을 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법.Immobilization of antigens and antibodies using microbiochips and microbeads, and then micro-chips for immune reactions characterized in that the detection of the immune response with an electrical signal using nanogold and silver solutions to specific antigens or antibodies Method for detecting whether the immune response using. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기의 면역반응 여부를 전기적 신호로 검출하기 위해서, In order to detect whether the immune response is an electrical signal, 상기 마이크로 바이오칩에 항원과 같은 생화학물질이 코팅된 마이크로비드를 주입시켜 PDMS칩에 형성된 챔버의 중앙부에 위치하고 있는 마이크로필터에 의해 마이크로비드를 걸리게 하여 고정시키는 단계;Injecting microbeads coated with biochemicals such as antigens into the microbiochips so as to catch and fix the microbeads by a microfilter positioned at the center of a chamber formed in the PDMS chip; 상기의 마이크로비드가 고정된 챔버에 일차 항체를 주입시키는 단계;Injecting a primary antibody into the chamber to which the microbead is fixed; 상기에서 주입된 일차 항체가 항원과 특이적인 반응에 의해 마이크로비드의 표면에 고정된 일차 항체는 나노골드 입자가 붙은 이차 항체와 다시 결합하게 되는 단계;The primary antibody immobilized on the surface of the microbeads by specific reaction with the antigen is recombined with the secondary antibody to which nanogold particles are attached; 상기의 나노골드 입자의 크기를 증폭시키기 위해 실버용액(silver enhancer)을 주입시키는 단계;Injecting a silver enhancer to amplify the size of the nanogold particles; 상기에서 실버용액이 주입되면 마이크로비드의 표면에 일차 항제와 결합한 이차 항체에 붙어 있는 나노골드 입자의 직경이 커져 서로 연결되고, 최종적으로 마이크로비드와 마이크로비드의 직경이 증폭되어 나노골드 입자에 의해서 전극과 전극 사이를 연결하는 전기적인 다리가 형성되는 단계;When the silver solution is injected, the diameters of the nanogold particles attached to the secondary antibody bound to the primary agent on the surface of the microbead become larger and connected to each other. Forming an electrical bridge connecting the electrode with the electrode; 상기에서 형성된 전기적인 다리에 의해 양쪽 전극에서 측정되는 저항을 낮추는 역할하게 되고, 전기적인 연결에 의한 저항을 측정하여 면역반응 여부를 판별하게 되는 단계;Acting to lower the resistance measured at both electrodes by the formed electrical legs, and determining the immune response by measuring resistance by electrical connection; 를 실행하는 것을 특징으로 하는 면역반응용 마이크로 바이오칩을 이용한 면역반응 여부를 검출하는 방법.Method for detecting whether the immune response using the micro-biochip for immune response, characterized in that to carry out.
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