KR20080006689A

KR20080006689A - 에칭액 조합 공급 시스템

Info

Publication number: KR20080006689A
Application number: KR1020060065702A
Authority: KR
Inventors: 김현규
Original assignee: 주식회사 에스씨티
Priority date: 2006-07-13
Filing date: 2006-07-13
Publication date: 2008-01-17

Abstract

본 발명은 약품원액탱크와 순수탱크, 조합탱크, 저장탱크를 연결하는 배관라인, 정량공급을 위한 자동밸브, 유량계, 자동유량조절밸브, 펌프와 순수의 승온을 위한 열교환기, 자동온도조절밸브를 포함하는 플라즈마 디스플레이 판넬의 후면 판넬의 제조를 위한 에칭액 조합 공급 시스템에 있어서 순수는 순수탱크에서 펌프를 이용하여 열교환기를 거쳐 조합탱크로 이송되며, 약품원액탱크에서 이송된 각각의 원액과 제1조합탱크에서 합쳐져 교반기를 이용하여 충분히 교반 된 뒤 저장탱크로 이송되어 계속해서 교반시켜주며 다시 한번 제2조합탱크에서 순수와 제1저장탱크에서 보내진 약액이 합쳐지며 교반기에 의해 충분히 교반된 후 제2저장탱크로 옮겨져 필요한 양만큼 에칭액 장비로 이송되어진다. 자동밸브와 유량계의 작동은 설정된 시스템에 의해 정확하게 제어가 되며 한번 설정된 시스템은 PLC를 이용하여 자동으로 운전되며 중앙감시반에서 현재의 운전상태를 실시간으로 Check 할 수 있는 통신시스템으로 구성된 에칭액 조합 공급 시스템을 제공한다.

에칭액, 약품원액탱크, 순수탱크, 자동밸브, 유량계

Description

에칭액 조합 공급 시스템{Etching Chemical Mixing and Supply System}

도 1는 플라즈마 디스플레이 판넬의 후면 판넬을 제조하기 위한 본 발명에 따른 에칭액 조합 공급 시스템

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100: 에칭액 조합 공급 시스템 101: 제1약품원액 탱크

102: 제2약품원액탱크 103: 제1펌프

104: 제2펌프 105: 제1약품원액SUB탱크

106: 제2약품원액SUB탱크

107: 제3펌프 108: 제4펌프

109: 제1유량계 110: 제1자동밸브

111: 제2유량계 112: 제2자동밸브

113: 제7자동밸브 114: 순수탱크

115: 제5펌프 116: 열교환기

117: 자동온도조절밸브

118: 제3유량계 119: 제3자동밸브

120: 제4유량계 121: 제4자동밸브

123: 제1조합탱크 124: 제6펌프

125: 제1교반기 126: 제1저장탱크

127: 제7펌프 128: 제2교반기

129: 제5유량계 130: 제5자동밸브

131: 제2조합탱크

132: 제8펌프

133: 제3교반기

134: 제2저장탱크

135: 제9펌프

136: 제4교반기

137: 제6자동밸브

138:자동유량조절밸브

140:제6유량계한 설명

본 발명은 플라즈마 디스플레이 판넬의 후면 판넬의 제조를 위한 에칭 장비에 필요한 에칭액을 조합하여 공급하는 시스템에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 약품원액과 순수를 정밀 조합하여 에칭 장비에 에칭액을 공급하는 시스템에 관한 것이다.

영상을 구현하는 디스플레이는 정보기기와 인간의 대화창으로 차세대 정보통신 및 디지털 가전의 핵심 기술이며, 제2의 반도체로 불릴 정도로 시장이 급속하게 성장하고 있다.

대표적인 디스플레이 제품인 플라즈마 디스플레이 판넬은 기체 방전시 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 디스플레이 소자로, 2.8mm 두께 정도 되는 유리 기판을 2장 사용하여 각각의 기판 위에 전극과 형광체를 도포하고 약 0.1~0.2mm 정도 간격을 유지하여 그 사이의 공간에 플라즈마를 형성하는 방법을 채택함으로써 LCD(Liquid Crystal Diaplay), FED(Field Emission Display), OLED(Organic Light Emitting Display)와 같은 Display 중 대형화에 적합한 장점을 지니고 있다.

플라즈마 디스플레이 판넬의 패널은 상면과 후면으로 구분되는데 상면에는 전극, 유전층, 보호층이 후면에는 어드레스 전극, 투명전극, 유전층, 격벽, 형광체 등이 있으며 밀봉된 두 패널의 내부에는 방전기체가 채워져 있다.

플라즈마 디스플레이 판넬의 제조 공정은 초기세정, 전극인쇄, 전극현상, GS/DFR 라미네이팅, 노광, DFR현상, 에칭, 박막, 검사, 출하로 진행된다.

한편, 플라즈마 디스플레이 판넬의 특성상 제조 과정에는 정밀한 농도의 화학약품(이하 약액이라 한다)의 조합과 조합조내에서의 완전균일혼합, 연속적인 공급이 이루어져야 한다.

그러나 종래 기술은 단순히 약액을 저장탱크에 담아 레벨게이지를 이용하여 필요한 장비에 공급하거나, 약액의 조합이 필요할 시에는 수동으로 조작하여 약액의 정밀 조합이 제대로 이루어지지 못하였으며 약액의 온도 제어 및 농도 제어가 제대로 이루어지지 못하였으며, 자체 결함, 주변요인 등에 의한 순간적인 정지로 약액 공급이 중단되는 현상이 발생하였다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기에서 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 약액과 순수의 양, 온도를 조절하여 원하는 에칭액의 농도로 설정이 가능하며 자동으로 조합, 자동으로 공급되는 시스템을 구성하여 효과적인 에칭이 이루어지는 에칭액 조합 공급 시스템을 제공하는 것이다.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명에 따른 에칭액 조합 공급 시스템은 약품공급차량으로부터 약품원액을 공급받아 저장하는 약품원액탱크, 순수제조실에서 제조된 순수를 저장하는 순수탱크, 상기 약품원액탱크로부터 공급된 약액을 순수와 섞어 조합액을 만드는 조합탱크, 상기 조합액을 공급받아 저장하는 저장탱크와 저장탱크로부터 약액을 공급받아 에칭이 이루어지는 에칭 장비로 공급하는 에칭액 조합 공급 시스템에 있어서, 상기 순수탱크 상단에 자동밸브와 약품원액탱크와 순수탱크에서 공급량을 조절할 수 있는 유량계와 자동밸브 , 상기 저장탱크에서 초기세정액 장비로 공급되는 약액의 양을 계측하고 조절할 수 있는 자동밸브와 자동유량조절밸브, 유량계가 설치되는 것과 조합탱크로 이송되는 순수는 열교환기를 통과하면서 Steam에 의해 온도가 승온되며, 일정온도로의 승온을 위해 온도센서와 온도 Controller에 의해 제1자동온도조절밸브가 작동하여 Steam 공급량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 약액의 농도, 온도를 조절하여 정밀 조합이 가능하며, 약액의 정량공급이 보다 잘 이루어 질수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도1는 발명의 실시예에 의한 에칭액 조합 공급 시스템을 도시한 것으로서, 약품원액을 저장하는 약품원액탱크, 순수와 약액을 조합하는 조합탱크, 조합액을 저장하는 저장탱크, 에칭장비로 약액을 보내는 배관으로 연결되어 있다.

순수제조실에서 공급되는 순수는 제7자동밸브에 의해 공급량이 조절되며, 순수탱크에서 나온 순수가 조합탱크로 들어가기 전에 열교환기를 통과하여 설정된 온도로 승온하여 제1조합탱크로 보내진다.

조합탱크로 들어가는 약액과 순수는 설정된 양을 정확히 공급하기 위해 아주 정밀한 유량계와 작동이 정확한 자동밸브를 사용하여 제1조합탱크로 이송되며, 이송이 완료되면 자동으로 펌프와 밸브가 닫힌다.

원액과 순수가 조합되고 저장되어 있는 동안 온도 손실을 보상하기 위해 탱크 외부에 온수가 흐르도록 하여 항상 일정한 온도를 유지할 수 있도록 하며, 열교환기 이후의 이송배관은 모두 단열처리를 한다. 특히 조합탱크와 저장탱크의 외부는 온수가 흐를 수 있도록 물 Jacket type으로 제작한다. 또한, 장시간 운전 후 탱크 내부 세정이 필요한 경우를 대비하여 쉽게 청소할 수 있도록 별도의 세정수 배관과 밸브, 탱크 내부에 스프레이 노즐을 설치한다.

제1조합탱크에서 조합이 잘 이루어지도록 교반기가 운전시키며 충분히 교반 후에는 제1저장탱크로 이송한다. 저장탱크로 이송된 약액이 다시 분리 되지 않도록 교반기를 운전시키며, 보다 정밀한 농도 제어를 위해 제2조합탱크에서 다시 한 번 순수와 제1저장탱크의 약액이 조합이 되고, 교반기로 충분히 혼합한 뒤 제2저장탱크로 이송된다. 정량으로 에칭 장비에 약액이 공급할 수 있도록 자동밸브, 자동유량조절밸브, 유량계를 이용하여 정량공급을 하며, 더 이상 약품을 공급하지 않을 때는 펌프의 작동을 멈추고 자동밸브가 닫히게 한다.

자동밸브와 자동유량조절밸브, 자동온도조절밸브, 펌프 등이 한번 설정되면 모든 시스템이 자동으로 운전할 수 있도록 PLC를 이용하고, 실시간으로 운전상태를 Check 할 수 있도록 통신시스템을 구성한다.

본 발명은 약액의 공급량과 농도, 온도의 설정이 가능하며, 실시간으로 운전상태를 Check 할 수 있는 에칭액 조합 공급 시스템을 제공하는 바, 이를 통해서 약품 조합 농도의 정밀성, 재현성을 혁신하며, 대용량 및 고정도 약액의 공급에도 유연한 대응이 가능하며, 사용자 상시 감시 시스템을 포함하여, 유지 관리의 편이성을 향상시켜 이상 유무 확인 및 관리가 쉽도록 하는 효과가 있다.

Claims

플라즈마 디스플레이 판넬의 후면 판넬 제조를 위한 에칭장비에 필요한 에칭액을 조합하여 공급하는 시스템으로서

약품원액을 저장하는 제1,2약품원액탱크,

약품원액을 공급받는 제1,2약품원액SUB탱크,

제1,2약품원액탱크로부터 제1,2약품원액SUB탱크를 연결하는 배관로 및 이에 구비된 펌프,

순수를 저장하는 순수탱크와

순수제조실로부터 상기 순수탱크를 연결하는 배관로 및 이에 구비된 자동밸브와

상기 순수탱크에서 나오는 순수와 제1,2약품원액SUB탱크에서 나오는 약품원액을 조합하는 제1조합탱크와 약액을 잘 섞기 위한 제1교반기와

상기 제1,2약품원액SUB탱크와 제1조합탱크를 연결하는 배관로 및 이에 구비된 펌프, 유량계, 자동밸브와

상기 순수탱크와 제1조합탱크를 연결하는 단열배관로 및 이에 구비된 펌프, 열교환기, 유량계, 자동밸브와

상기 열교환기에 스팀을 공급하는 배관과 이에 구비된 자동온도조절밸브와

상기 제1조합탱크에서 보내진 약액을 저장하기 위한 제1저장탱크와 약액을 잘 섞기 위한 제2교반기와 연결하는 단열배관로 및 이에 구비된 펌프

상기 제1저장탱크에서 보내진 약액과 순수탱크에서 보내지는 순수를 조합하기 위한 제2조합탱크와 이를 연결하는 단열배관로 및 이에 구비된 펌프, 유량계, 자동밸브, 제2조합탱크의 약액의 균일 혼합을 위한 교반기

제2조합탱크에서 보내진 조합액을 저장하는 제2저장탱크와 이를 연결하는 단열배관로 및 이에 구비된 펌프, 제2저장탱크의 조합액의 균일 혼합을 위한 교반기

상기 제2저장탱크와 에칭장비를 연결하는 단열배관로 및 이에 구비된 펌프, 유량계, 자동밸브

상기 자동밸브와 상기 펌프 및 계기의 ON/OFF에 필요한 정보를 인식 및 판단하고 그 결과에 따른 제어신호를 출력하여 자동 운전 하도록 이용하는 PLC와

실시간으로 상기 시스템의 상태를 체크할 수 있도록 구성된 통신시스템을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 판넬의 후면 판넬 제조를 위한 초기세정장비에 필요한 에칭액을 조합하여 공급하는 시스템