KR20070088361A - 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치 - Google Patents

진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명인 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치는 내부에 수용공간부가 구비된 본체와 상기 본체의 상면에 설치되며, 외주면에는 다수개의 하부 고정관이 구비되고, 상면에 다수개의 상부 고정관이 구비된 상부진공용기와 그 상부진공용기의 하부에 설치되며 외주면에 다수개의 고정관이 구비된 하부진공용기를 포함하는 진공용기와 상기 하부진공용기의 고정관에 단속밸브를 매개로 연결되는 진공펌프와 상기 상부진공용기에 설치되는 것으로, 상기 상부 고정관에는 단속밸브, 가스 검출부, 연결관 및 일단에 작동실린더가 구비된 앵글밸브가 순차적으로 연결,설치되며, 상기 하부 고정관에는 단속밸브, 가스주입부 및 그 가스주입부에 일단이 설치되고 타단이 상기 앵글밸브에 설치되는 연결관이 순차적으로 연결,설치된 앵글밸브 검사장치와 상기 본체의 일측에 설치되어 상기 진공펌프를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되어, 다수개의 앵글밸브를 장,탈착가능하게 설치하여 그 앵글밸브의 불량유무(진공누설)를 검사함으로써, 다수개의 앵글밸브를 동시에 검사함으로써 검사시간을 단축시키는 효과가 있다.
앵글밸브, 진공용기, 진공펌프, 제어부

Description

진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치 {Leak rate and life cycles test system of pneumatic angle valve for vacuum}
도 1은 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치의 구성을 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치에 있어, 앵글밸브 검사장치를 나타낸 정면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
1 : 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치 2 : 본체
3 : 진공용기 4 : 진공펌프
5 : 앵글밸브 검사장치 6 : 제어부
21 : 수용 공간부 22 : 관통공
31 : 상부 진공용기 32 : 하부 진공용기
311 : 하부 고정관 312 : 상부 고정관
321 : 고정관 41 : 단속밸브
42 : 연결관 51 : 단속밸브
52 : 가스 검출부 53 : 연결관
54 : 앵글 밸브 55 : 단속밸브
56 : 가스 주입부 57 : 연결관
521 : 안전밸브 521a : 대기압게이지
522 : 가스검출기 541 : 작동실린더
561 : 안전밸브 561a : 대기압 게이지
562 : 가스단속밸브 563 : 가스 주입기
본 발명은 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치에 관한 것으로서, 다수개의 앵글밸브를 장,탈착가능하게 설치하여 그 앵글밸브의 불량유무(진공누설)를 검사함으로써, 다수개의 앵글밸브를 동시에 검사함으로써 검사시간을 단축시키는 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치에 관한 것이다.
반도체 산업의 급속한 발전과 더불어 이에 상응하는 진공 산업이 핵심기술로 부각되고 있으며, 진공 산업의 발전이 고부가가치를 창출하는 산업으로 빠르게 발전되어 가고 있다. 이러한 필수적인 요소들 중 하나가 바로 진공 밸브이며, 진공 시스템을 압력별로 분리시켜 줄 수 있고 외부와의 차단 역할도 담당하며 때로는 일정한 압력 유지 기능을 갖기도 한다.
특히 진공용 공압 앵글밸브는 진공 시스템을 구성하는 밸브들 중 용도가 매우 다양한 부품이며, 일반적으로 펌프 전 후단에 설치되어 펌프의 배기속도 조절 및 차폐용으로 이용된다. 이와 같은 앵글밸브가 갖추어야 할 조건 중에 하나는 닫힌 상태에서 밸브를 통한 누출이나 밸브 내부에서의 기체 누설이 없어야 한다. 또한 닫힌 상태와 열린 상태로의 반복에 의한 수명도 어느 정도 보장되어야 하므로 이에 따른 앵글밸브 테스트 장치가 개발되고 있다.
그러나 상기한 앵글밸브 테스트 장치는 상기 기본 조건 중의 하나인 진공 누설에 대한 테스트를 테스트 장치마다 개별적으로 각각의 앵글밸브를 장착하여 그 앵글밸브의 진공 누설의 평가를 수행함으로 다수개의 앵글밸브를 검사하는데 오랜 시간이 소요되고 이에 따른 경제적인 손실이 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다수개의 앵글밸브를 장,탈착가능하게 설치하여 그 앵글밸브의 불량유무(진공누설)를 검사함으로써, 다수개의 앵글밸브를 동시에 검사함으로써 검사시간을 단축시키는 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또 다른 목적은 작동실린더의 작동압력을 높임으로써 앵글밸브의 불량유무를 빠르게 판별할 수 있는 진공용 고압 앵글밸브의 테스트 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명인 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치는 내부에 수용공간부가 구비된 본체와 상기 본체의 상면에 설치되며, 외주면에는 다수개의 하부 고정관이 구비되고, 상면에 다수개의 상부 고정관이 구비된 상부진공용기와 그 상부진공용기의 하부에 설치되며 외주면에 다수개의 고정관이 구비된 하부진공용기를 포함하는 진공용기와 상기 하부진공용기의 고정관에 단속밸브를 매개로 연결되는 진공펌프와 상기 상부진공용기에 설치되는 것으로, 상기 상부 고정관에는 단속밸브, 가스 검출부, 연결관 및 일단에 작동실린더가 구비된 앵글밸브가 순차적으로 연결,설치되며, 상기 하부 고정관에는 단속밸브, 가스주입부 및 그 가스주입부에 일단이 설치되고 타단이 상기 앵글밸브에 설치되는 연결관이 순차적으로 연결,설치된 앵글밸브 검사장치와 상기 본체의 일측에 설치되어 상기 진공펌프를 제어하는 제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스 검출부는 대기압 게이지가 구비된 안전밸브와 그 안전밸브에 설치되어 가스의 양을 검출하는 가스검출기로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스 주입부는 대기압 게이지가 구비된 안전밸브와 그 안전밸브에 설치되어 가스의 주입을 단속하는 가스단속밸브와 그 가스단속밸브에 설치되는 가스 주입기로 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치의 구성을 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치의 구성을 나타낸 평면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치에 있어, 앵글밸브 검사장치를 나타낸 정면도이다.
도면에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치(이하 테스트 장치)(1)는 본체(2)와 진공용기(3)와 진공펌프(4)와 앵글밸브 검사장치(5)와 제어부(6)로 구성된다.
상기 본체(2)는 일측에 입출도어(도시생략)가 구비된 금속재의 하우징 구조로서, 내부에는 상기 진공펌프(4)가 수납되도록 수용 공간부(21)가 형성되며, 상면에는 상기 상부 진공용기(31)와 상기 하부진공용기(32)가 설치되도록 관통공(22)이 형성된다.
상기 진공용기(3)는 금속재로 이루어진 용기 구조로서, 상기 본체(2)의 관통공(22) 상부에 설치되는 상부 진공용기(31)와 그 상부진공용기(31)와 연동되게 설치되는 하부 진공용기(32)로 이루어진다. 이때 상기 상부 진공용기(31)는 외주면에 다수개의 하부 고정관(311)이 구비되고, 상면에 다수개의 상부 고정관(312)이 구비되며, 상기 하부 진공용기(32)의 외주면에는 다수개의 고정관(321)이 구비된다. 바람직하게는 상기 진공용기(32)에 상기 하부 고정관(311), 상부 고정관(312) 및 고정관(321)이 각각 4개가 한조를 이루며 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부 고정관(311), 상기 상부 고정관(312) 및 상기 고정관(321)은 상기 진공용기(3)에 연통 되게 용접 등에 의해 일체로 연결,설치된다. 이때, 상기 하부 고정관(311), 상기 상부 고정관(312) 및 상기 고정관(321)의 단부에는 플렌지부가 형성되어 그 플렌지부에 후술될 단속밸브(41,51) 및 앵글밸브(54)의 플렌지부가 나사체결되어 결합되도록 한다.
상기 진공펌프(4)는 상기 제어부(6)와 전기적으로 연결되며, 상기 단속밸브(41)를 매개로 상기 하부진공용기(32)에 설치되는데, 이때 상기 하부진공용기(32)의 고정관(321)에는 단속밸브(41)의 일측이 연결,설치되고, 그 단속밸브(41)의 타측이 연결관(42)에 의해 상기 진공펌프(4)에 연결된다. 이때 상기 연결관(42)의 양단부에는 플렌지부가 형성되어 상기 단속밸브(41)와 상기 진공펌프(4)에 나사체결된다.
상기 앵글밸브 검사장치(5)는 진공을 유지한 상태에서 반복작동된 앵글밸 브(54)의 파손유무를 측정하는 것으로써, 이에 이와 같은 앵글밸브 검사장치(5)는 상기 상부진공용기(31)의 상기 상부 고정관(312)에는 단속밸브(51), 가스 검출부(52), 연결관(53) 및 일단에 작동실린더(541)가 구비된 앵글밸브(54)가 순차적으로 연결,설치되며, 상기 하부연결관(311)에는 단속밸브(55), 가스주입부(56) 및 그 가스주입부(56)에 일단이 설치되고 타단이 상기 앵글밸브(54)에 설치되는 연결관(57)이 순차적으로 연결,설치된다. 여기서, 상기 앵글밸브(54)와 상기 연결관(53,57)에는 플렌지부가 형성되어 있어, 상기 앵글밸브(54)가 그 연결관(53,57)에 나사체결에 의해 장,탈착되게 설치된다.
그리고, 상기 가스 검출부(52)는 대기압 게이지(521a)가 구비된 안전밸브(521)와 그 안전밸브(521)에 설치되어 가스의 양을 검출하는 가스검출기(522)로 구성된다.
또한, 상기 가스 주입부(56)는 대기압 게이지(561a)가 구비된 안전밸브(561)와 그 안전밸브(561)에 설치되어 가스의 주입을 단속하는 가스단속밸브(562)와 그 가스단속밸브(562)에 설치되는 가스 주입기(563)로 구성된다.
상기 제어부(6)는 상기 본체(2)의 일측에 설치되어 상기 진공펌프(4)를 제어하는 것으로, 상기 진공펌프(4)와 전기적으로 연결되며, 작업자가 상기 진공펌프(4)의 작동과정을 육안으로 확인할 수 있도록 디스플레이부(도시생략)가 구비되고, 그 진공펌프(4)를 작동시키는 조작부(도시생략)가 구비된다.
여기서, 상기 하부 고정관, 상부 고정관, 고정관, 단속밸브, 안전밸브, 가스단속밸브 및 가스주입기가 상호 결합되는 관계는 연결되는 부분에 상술된 플렌지부 를 형성시켜 그 각각의 플렌지를 상호 나사 체결하여 고정시키되 그 플랜지와 플랜지 사이에는 고무 패킹을 개재시키는 것이 바람직하며, 결합된 플랜지를 감싸면 캡을 더 설치하는 것도 바람직하다.
상기와 같이 구성된 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치(1)의 작동과정를 설명하면 먼저, 작업자가 상기 제어부(6)의 조작부(도시생략)를 조작하여 그 제어부(6)와 전기적으로 연결된 진공펌프(4)를 구동시키게 되고, 그 진공펌프(4)와 연결된 상기 진공용기(3) 내부의 공기를 흡입하여 그 진공용기(3)가 진공상태를 유지하도록 한다. 이때, 상기 하부 진공용기(3)에 설치된 다수개의 고정관(321)에 단속밸브(41)와 연결관(42)을 매개로 진공펌프(4)가 설치될 수 있으며, 다르게는 도 1에서와 같이 다수개의 고정관(321) 중 어느하나에 상기 단속밸브(41)와 연결관(42)을 매개로 진공펌프(4)를 설치한 후 나머지 고정관(321)에는 상기 진공용기(3)의 진공이 유지되도록 고정마개(도시생략) 또는 고정캡(도시생략)을 끼워 진공을 유지한 상태에서 하나의 고정관만 사용하는 것도 가능하다.
다음, 상기 진공펌프(4)에 의해 상기 진공용기(3)가 진공상태를 유지하면서 그 진공용기(3)의 상부 진공용기(31)에 연결된 앵글 밸브 검사장치(5)도 그 진공펌프(4)에 의해 진공상태를 유지하게 된다. 즉 상기 진공용기(3)의 상부 고정관(312)에 순차적으로 연결된 상기 단속밸브(51), 가스 검출부(52), 연결관(53) 및 앵글밸브(54)가 진공되며, 상기 하부 고정관(311)에 순차적으로 연결된 상기 단속밸브(55), 가스주입부(56) 및 연결관(57)이 진공된다. 이때, 상기와 같이 상기 앵글밸브 검사장치(5)의 진공상태를 유지시키기 위해 작업자는 상기 단속밸브(51,55)의 손잡이를 회동시켜 잠금으로써, 상기 가스 검출부(52), 연결관(53,57), 앵글밸브(54) 및 가스주입부(56)가 진공상태를 유지하게 된다.
그리고, 작업자는 진공상태에서 상기 앵글밸브(54)의 불량유무를 측정하기 위해 그 앵글밸브(54)에 구비된 작동실린더(541)를 반복 구동(수만 또는 수십만)시켜 진공상태에서 상기 앵글밸브(54) 내부에 패킹 등이 파손 여부를 확인하게 된다. 다음 상기 앵글밸브(54)의 불량유무를 확인하기 위해 통상의 리크검사(진공누설검사)를 수행하게 된다. 즉 상기 가스 주입기(563)로 상기 가스 단속벨브(562)를 통해 가스를 주입하게 되고, 그 가스는 상기 연결관(57)을 통해 상기 앵글밸브(54)로 이동되는데 이때, 상기 앵글밸브(54)는 닫힌 상태이므로 앵글밸브(54)에 패킹 등에 불량이 발생되면 가스가 상기 앵글밸브(54)를 지나 상기 가스검출부(52)로 이동되어 상기 가스검출기(522)를 통해 그 가스가 검출되고, 상기 앵글밸브(54)의 불량이 발생되지 않으면, 가스가 상기 앵글밸브(54)를 통과하지 못함으로 상기 가스검출기(52)로 가스가 검출되지 않게 됨으로써, 상기 앵글밸브(54)의 불량여부를 판별할 수 있게 된다.
여기서, 상기 대기압게이지(521a,561a)는 상기 앵글밸브(54) 검사장치의 진공상태를 검사하게 된다.
그리고, 상기 가스주입기(56)와 상기 가스 검출기(52)는 상기 앵글밸브(54)의 파손유무를 확인하기 위한 것으로, 상기 작동실린더(541)의 작동이 완료된 다음 그 앵글밸브(541)의 파손여부를 확인하기 위해 상기 안절밸브(521)와 상기 가스 단속밸브(562)에 장,탈착 가능하게 장착하면 된다.
바람직하게는, 상기 작동실린더(541)의 작동압력을 높임으로써 상기 앵글밸브 내부의 패킹 등의 마찰을 극대화 시킴으로써 상기 앵글밸브(54)의 불량유무 검사시간을 단축시키는 것이 바람직하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치는 다수개의 앵글밸브를 장,탈착가능하게 설치하여 그 앵글밸브의 불량유무(진공누설)를 검사함으로써, 다수개의 앵글밸브를 동시에 검사함으로써 검사시간을 단축시키는 효과가 있다.
또한, 작동실린더의 작동압력을 높임으로써 앵글밸브의 불량유무를 빠르게 판별할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 내부에 수용공간부가 구비된 본체;
    상기 본체의 상면에 설치되며, 외주면에는 다수개의 하부 고정관이 구비되고, 상면에 다수개의 상부 고정관이 구비된 상부진공용기와 그 상부진공용기의 하부에 설치되며 외주면에 다수개의 고정관이 구비된 하부진공용기를 포함하는 진공용기;
    상기 하부진공용기의 고정관에 단속밸브를 매개로 연결되는 진공펌프;
    상기 상부진공용기에 설치되는 것으로, 상기 상부 고정관에는 단속밸브, 가스 검출부, 연결관 및 일단에 작동실린더가 구비된 앵글밸브가 순차적으로 연결,설치되며, 상기 하부 고정관에는 단속밸브, 가스주입부 및 그 가스주입부에 일단이 설치되고 타단이 상기 앵글밸브에 설치되는 연결관이 순차적으로 연결,설치된 앵글밸브 검사장치; 및
    상기 본체의 일측에 설치되어 상기 진공펌프를 제어하는 제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스 검출부는 대기압 게이지가 구비된 안전밸브와
    그 안전밸브에 설치되어 가스의 양을 검출하는 가스검출기로 구성된 것을 특 징으로 하는 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스 주입부는 대기압 게이지가 구비된 안전밸브와
    그 안전밸브에 설치되어 가스의 주입을 단속하는 가스단속밸브와
    그 가스단속밸브에 설치되는 가스 주입기로 구성된 것을 특징으로 하는 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치.
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