KR20070078550A - 노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR20070078550A
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Abstract

본 발명은 노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
이를 위하여, 본 발명은 입사광을 제어하여 박막의 일부 영역이 패턴으로 남게 하는 제1 영역과, 제1 영역과 상반되게 입사광을 제어하여 박막의 나머지 영역이 제거되게 하는 제2 영역과; 제1 영역의 모서리부로부터 연장되어 상기 박막 패턴이 상기 제1 영역에 대응하여 형성되게 하는 더미 영역을 구비하는 노광 마스크와 이를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 개시한다.

Description

노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법{EXPOSURE MASK AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY USING THE SAME AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반투과형 액정 패널의 일부분을 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 한 서브 화소 영역의 칼라 필터를 도시한 평면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 한 서브 화소 영역의 칼라 필터를 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 칼라 필터 형성 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 5a 내지 도 5c는 종래와 본 발명의 칼라 필터 형성용 노광 마스크를 비교하여 도시한 평면도.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 칼라 필터의 반사 영역을 확대 도시한 평면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
20, 50 : 절연 기판 22 : 게이트 전극
24 : 게이트 절연막 25 : 박막 트랜지스터 기판
26 : 활성층 28 : 오믹 접촉층
30 : 소스 전극 32 : 드레인 전극
34 : 유기 절연막 35 : 투과홀
36 : 화소 전극 37 : 컨택홀
38 : 반사 전극 40, 56 : 배향막
51, 57 : 슬릿 52 : 칼라 필터
53 : 오버 코트층 54 : 공통 전극
58 : 칼럼 스페이서 60 : 노광 마스크
62 : 차단부 64 : 투과부
65 : 더미 투과부 SPA : 서브 화소 영역
TA : 투과 영역 RA : 반사 영역
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 특히 반사 영역과 투과 영역의 색재현성 차이를 보상하기 위한 칼라 필터를 형성하기에 적합한 노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 액정의 전기적 및 광학적 특성을 이용하여 영상을 표시한 다. 이를 위하여 액정 표시 장치는 화소 매트릭스를 통해 화상을 표시하는 액정 표시 패널(이하, 액정 패널)과, 액정 패널을 구동하는 구동 회로와, 액정 패널에 빛을 공급하는 백라이트 유닛을 구비한다. 이러한 액정 표시 장치는 이동 통신 단말기, 휴대용 컴퓨터, 모니터, 액정 텔레비젼 등과 같이 소형 표시 장치부터 대형 표시 장치까지 널리 사용된다.
액정 표시 장치는 광원을 이용하는 방법에 따라 내부광을 이용하는 투과형과, 외부광을 이용하는 반사형과, 내부광 및 외부광을 모두 이용하는 반투과형으로 대별된다. 이들 중 반투과형 액정 표시 장치는 외부광이 충분하면 반사 모드로, 불충분하면 백라이트 유닛을 이용한 투과 모드로 화상을 표시함으로써 소비 전력을 줄일 수 있는 반사형의 장점과 외부광의 제약을 받지 않는 투과형의 장점을 모두 갖는다. 이를 위하여 반투과형 액정 표시 장치의 화소 매트릭스를 구성하는 각 서브 화소는 반사 영역과 투과 영역을 포함한다.
그런데 반투과형 액정 표시 장치의 각 서브 화소에서 외부로부터 반사 영역으로 입사되는 외부광은 칼라 필터 기판->액정층->반사 전극->액정층->칼라 필터 기판을 경유하여 출사되고, 백라이트 유닛으로부터 투과 영역으로 입사되는 내부광은 박막 트랜지스터 기판->액정층->칼라 필터 기판을 경유하여 출사된다. 이로 인하여 반사 영역의 외부광은 칼라 필터를 2회 경유하는 반면 투과 영역의 내부광은 컬러필터를 1회 통과하므로 반사 영역과 투과 영역의 색재현성의 차이가 발생되고 그 결과 휘도 차이가 발생되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 반사 영역과 투과 영역의 색재현성 차이를 보상하기 위한 칼라 필터를 형성하기에 적합한 노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
이를 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 노광 마스크는 박막 패터닝을 위해 입사광을 차단 및 투과시키는 노광 마스크에서 상기 입사광을 제어하여 상기 박막의 일부 영역이 패턴으로 남게 하는 제1 영역과, 상기 제1 영역과 상반되게 상기 입사광을 제어하여 상기 박막의 나머지 영역이 제거되게 하는 제2 영역과; 상기 제1 영역의 모서리부로부터 연장되어 상기 박막 패턴이 상기 제1 영역에 대응하여 형성되게 하는 더미 영역을 구비한다.
여기서 상기 제1 영역은 입사광을 투과하는 투과부, 상기 제2 영역은 상기 입사광을 차단하는 차단부이고, 상기 더미 영역은 상기 투과부의 모서리부로부터 연장된 더미 투과부이다.
이와 달리 상기 제1 영역은 입사광을 차단하는 차단부, 상기 제2 영역은 상기 입사광을 투과하는 투과부이고, 상기 더미 영역은 상기 차단부의 모서리부로부터 연장된 더미 차단부일 수 있다.
또한 상기 더미 영역은 상기 제1 영역의 끝단에서 한 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 제2 영역을 사이에 둔 상기 제1 영역들 각각에서 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결된다.
본 발명에 따른 노광 마스크를 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법은 절연 기판 상에 칼라 포토레지스트를 형성하는 단계와; 서로 상반되게 입사광을 제어하는 제1 영역 및 제2 영역과, 상기 제1 영역의 모서리부로부터 연장된 더미 영역을 갖는 노광 마스크를 이용하여 상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계와; 상기 칼라 포토레지스트를 현상하여 상기 노광 마스크의 제1 영역에 대응되는 칼라 필터를 형성하는 단계를 포함한다.
여기서 상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계는 상기 노광 마스크의 제1 영역인 투과부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 일부영역을 노광하고, 상기 제2 영역인 차단부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 나머지 영역에 대한 노광을 차단하며, 상기 더미 영역인 더미 투과부를 통해 상기 투과부의 모서리부 노광량이 증가되게 하는 단계를 포함한다.
이와 달리 상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계는 상기 노광 마스크의 제1 영역인 차단부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 일부 영역에 대한 노광을 차단하고, 상기 제2 영역인 투과부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 나머지 영역을 노광하며, 상기 더미 영역인 더미 차단부를 통해 상기 차단부의 모서리부에 대한 노광이 차단되게 하는 단계를 포함하기도 한다.
상기 노광 마스크에서 상기 제2 영역을 사이에 둔 상기 제1 영역들 각각에서 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결된다.
상기 칼라 필터는 반사 영역과 투과 영역을 포함하는 각 서브 화소 영역 중 해당 서브 화소 영역에 형성되고, 상기 칼라 필터의 반사 영역에 상기 제2 영역에 대응하는 슬릿이 형성된다.
상기 칼라 필터의 슬릿은 상기 서브 화소 영역의 단변 방향 또는 장변 방향으로 길게 형성된다. 상기 칼라 필터의 슬릿의 후속의 배향막 러빙 방향으로 길게 형성된다.
상기 마스크에서 상기 칼라 필터와 대응되는 상기 제1 영역들이 상기 칼라 필터의 슬릿과 대응되는 제2 영역을 사이에 두고 위치한 경우 상기 제1 영역 각각의 모서리부에서 상기 제2 영역 쪽으로 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결되어 상기 제2 영역이 고립되게 한다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치는 반사 영역과 투과 영역을 포함하는 각 서브 화소 영역에 해당색별로 형성된 칼라 필터와; 상기 칼라 필터가 형성된 절연 기판 상에 형성된 배향막과; 상기 반사 영역의 칼라 필터에 상기 배향막의 러빙 방향을 따라 길게 형성된 슬릿을 구비한다.
상기 칼라 필터의 슬릿은 상기 각 서브 화소 영역의 장변 방향을 따라 길게 형성된다.
상기 기술적 과제를 해결하는 것 이외에 본 발명의 다른 특징 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시 예에 대한 상세한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부한 도 1 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 반투과형 액정 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 1에 도시된 반투과형 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 박막 트랜지스터 기판(25)과 칼라 필터(52)가 형성된 칼라 필터 기판(55)이 액정층을 사이에 두고 합착된 구조를 갖는다.
박막 트랜지스터 기판(25)은 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과 접속된 박막 트랜지스터(TFT)와, 박막 트랜지스터(TFT)와 접속되고 각 서브 화소 영역(SPA)에 형성된 화소 전극(36)과, 박막 트랜지스터(TFT)와 접속되고 각 서브 화소 영역(SPA)의 반사 영역(RA)과 투과 영역(TA)을 정의하는 반사 전극(38)을 구비한다.
구체적으로 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 라인과 접속된 게이트 전극(22), 게이트 절연막(24)을 사이에 두고 게이트 전극(22)과 중첩된 활성층(26), 데이터 라인과 접속되고 활성층(26)의 일측부와 접속된 소스 전극(30), 활성층(26)의 타측부와 접속된 드레인 전극(32)을 구비한다. 또한 박막 트랜지스터(TFT)는 소스 전극(30) 및 드레인 전극(32)과 활성층(26) 사이의 오믹 컨택을 위한 오믹 컨택층(28)을 더 구비한다. 게이트 전극(22)은 게이트 라인과 함께 절연 기판(20) 위에 형성되고 활성층(26) 및 오믹 컨택층(28)은 게이트 절연막(24) 위에 적층되고, 그 위에 소스 전극(30)과 드레인 전극(32)이 데이터 라인과 함께 형성된다. 그리고 박막 트랜지스터(TFT)는 그 위에 형성된 유기 절연막(34)을 관통하는 컨택홀(37)을 통해 화소 전극(36) 및 반사 전극(38)과 접속된다. 이에 따라 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 라인의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인의 데이터 신호를 화소 전극(36) 및 반사 전극(38)에 공급한다.
박막 트랜지스터(TFT) 위에 형성된 유기 절연막(34)은 드레인 전극(32)을 노출시키는 컨택홀(37)과 함께 투과 영역(TA)에 형성된 투과홀(35)을 구비한다. 투과홀(35)은 반사 영역(RA)에서 액정층을 2회 경유하여 출사되는 외부광과, 투과 영역(TA)에서 액정층을 1회 경유하여 경유하여 출사되는 내부광의 광 경로 차이를 보상한다. 이러한 투과홀(35)은 유기 절연막(34)을 관통하여 게이트 절연막(24)이 노출되게 하거나, 게이트 절연막(24)까지 관통하여 절연 기판(20)이 노출되게 한다. 또한 유기 절연막(34)의 상부 및/또는 하부에는 무기 절연막이 추가로 형성되기도 한다.
화소 전극(36)은 각 서브 화소 영역에 유기 절연막(34)과 투과홀(35)을 경유하여 형성되고 컨택홀(37)을 통해 드레인 전극(32)과 접속된다. 화소 전극(36)은 투과율이 높은 투명 도전 물질로 형성되어 백라이트 유닛으로부터의 내부광을 투과시킨다.
반사 전극(38)은 각 서브 화소 영역(SPA)의 반사 영역(RA)에 형성되고 그 아래의 화소 전극(36)을 통해 드레인 전극(32)과 접속된다. 각 서브 화소 영역(SPA)에서 반사 전극(38)이 형성된 영역은 반사 영역(RA)으로 반사 전극(38)이 형성되지 않은 영역, 즉 반사 전극(38)의 관통홀을 통해 화소 전극(36)이 노출된 영역은 투과 영역(TA)으로 정의된다. 반사 전극(38)은 반사율이 높은 도전 물질로 형성되어 외부광을 반사시킨다. 반사 효율을 높이기 위해 반사 전극(38)이 엠보싱 표면을 갖도록 유기 절연막(34)의 표면이 엠보싱 표면을 갖게 형성된다. 또한 반사 전극 (38)의 외곽부가 각 서브 화소 영역(SPA)을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인의 일측부와 중첩되도록 형성되고 박막 트랜지스터(TFT)와 중첩되도록 형성되어 빛샘을 차단하므로 빛샘 방지를 위해 칼라 필터 기판(25)에 형성되는 블랙 매트릭스를 생략하기도 한다.
칼라 필터 기판(55)은 절연 기판(50) 위에 형성된 칼라 필터(52)와, 칼라 필터(52) 위에 적층된 칼럼 스페이서(58) 및 공통 전극(54)을 구비한다. 또한 칼라 필터 기판(55)은 칼라 필터(52)의 평탄화를 위한 오버 코트층(53)을 추가로 구비하기도 한다.
칼라 필터(52)는 절연 기판(50) 위에 적색(이하 R), 녹색(이하 G), 청(이하 B)서브 화소 영역(SPA) 별로 형성되어 R, G, B 서브 화소를 정의한다. 각 서브 화소 영역(SPA)의 칼라 필터(52)는 반사 영역(RA)과 투과 영역(TA)의 색재현성 차이를 보상하기 위하여 반사 영역(RA)에 형성된 다수의 슬릿(51)을 구비한다. 오버 코트층(53)은 칼라 필터(52) 위에 형성되어 슬릿(51)으로 인한 칼라 필터(52)의 단차와 R, G, B 칼라 필터들(52)간의 단차를 보상하여 평탄한 표면을 갖게 한다. 칼럼 스페이서(58)는 오버 코트층(53) 위에 기둥 형태로 형성되어 박막 트랜지스터 기판(25)과 칼라 필터 기판(55) 사이의 셀갭을 일정하게 유지하는 역할을 한다. 칼럼 스페이서(58)가 형성된 오버 코트층(53) 위에는 투명 도전 물질로 공통 전극(54)이 형성된다.
그리고 박막 트랜지스터 기판(25)과 칼라 필터 기판(55)에서 액정층과 접촉하는 최상부층에는 액정 배향을 위하여 일정 방향으로 러빙된 하부 배향막(40)과 상부 배향막(56)이 더 형성된다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 한 서브 화소 영역의 칼라 필터 구조를 도시한 평면도이다.
도 2에 도시된 한 서브 화소 영역(SPA)의 칼라 필터(52)는 반사 영역(RA)에서 수평 방향, 즉 서브 화소 영역(SPA)의 단변 방향으로 길게 형성된 다수의 슬릿(51)을 구비한다. 도 3에 도시된 한 서브 화소 영역(SPA)의 칼라 필터(52)는 반사 영역(RA)에서 배향막의 러빙 방향인 수직 방향, 즉 서브 화소 영역(SPA)의 장변 방향으로 길게 형성된 다수의 슬릿(51)을 구비한다.
도 2와 같이 칼라 필터(52)의 슬릿(51)이 수평 방향으로 길게 형성되고 도 1에 도시된 상부 배향막(56)의 러빙 방향은 수직인 경우 슬릿(51)으로 인한 칼라 필터(52)의 단차부에서는 러빙 불량이 발생하여 액정 배향이 제대로 이루어지 않아 빛샘이 발생할 수 있다. 이는 도 1에 도시된 오버 코트층(53)으로 칼라 필터(52)의 단차부를 보상한다 하더라도 슬릿(51)의 폭이 넓어 칼라 필터(52)의 단차부가 완전하게 보상되지 않는 경우가 발생할 수 있기 때문이다. 반면에 도 3과 같이 칼라 필터(52)의 슬릿(57)이 러빙 방향과 동일한 수직 방향으로 길게 형성되면 슬릿(57)으로 인한 칼라 필터(52)의 단차부 중 러빙 방향과 직교하는 면적이 현저히 감소되므로 러빙 불량을 최소화할 수 있게 된다. 또한 칼라 필터(52)의 슬릿(57)이 서브 화소 영역(SPA)의 장변 방향인 수직 방향으로 길게 형성되면 도 2와 같이 단변 방향으로 길게 형성된 슬릿(51) 보다 면적이 증가하므로 도 3과 같이 슬릿(57)의 폭을 감소시킬 수 있게 된다. 이에 따라 슬릿(57)의 폭이 좁아지게 되면 그 슬 릿(57)으로 인한 칼라 필터(52)의 단차가 오버 코트층(53)에 의해 충분히 보상될 수 있으므로 오버 코트층(53)의 평탄도가 향상된다. 이 결과 오버 코트층(53) 위에 적층된 공통 전극(54)과 상부 배향막(56)의 평탄도도 향상되므로 단차로 인한 러빙 불량을 방지할 수 있게 된다. 또한 평탄도가 향상된 오버 코트층(53) 위에 칼럼 스페이서(58)가 안정되게 형성되므로 박막 트랜지스터 기판(25)과 칼라 필터 기판(55) 사이의 셀갭을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
이하에서는 도 1에 도시된 칼라 필터(52)의 제조 방법을 구체적으로 살펴보기로 하고, 설명의 편의상 도 2에 도시된 칼라 필터(52) 구조만을 예로 들어 살펴보기로 한다.
도 4를 참조하면, 절연 기판(50) 상에 R, G, B 중 어느 하나로 착색된 칼라 포토레지스트를 도포하고 마스크(60)를 이용한 포토리소그래피(이하 포토) 공정으로 패터닝함으로써 칼라 필터(52)를 형성한다. 이때 각 서브 화소 영역(SPA)의 반사 영역(RA)에는 칼라 필터(52)를 관통하는 다수의 슬릿(51)이 형성된다. 칼라 필터(52)를 형성하기 위한 마스크(60)는 자외선을 차단하기 위하여 기판(60) 상에 차단 패턴(61)이 형성된 차단부(62)와, 기판(60) 상에 차단 패턴이 형성되지 않아 자외선을 투과하는 투과부(64)로 구분된다. 칼라 포토레지스트가 네거티브 타입인 경우 마스크(60)의 투과부(64)를 통해 자외선에 노광된 영역의 칼라 포토레지스트가 남아서 칼라 필터(52)가 되고, 차단부(62)에 의해 자외선이 차단된 영역의 칼라 포토레지스트는 현상액에 의해 제거된다.
여기서 마스크(60) 투과부(64)의 모서리부에서 자외선의 회절로 노광량이 부 족하여 도 5a에 도시된 바와 같이 마스크(60)의 투과부(64)에 대응하여 형성된 칼라 필터(52)의 모서리부가 과식각으로 제거될 수 있다. 이 경우 칼라 필터(52)의 모서리부의 과식각으로 칼라 필터(52)의 단차부가 증가하여 러빙 불량이 증가할 수 있다. 특히 도 5a와 같이 반사 영역(RA)의 슬릿들(51) 사이에 상대적으로 작은 폭으로 존재하는 칼라 필터(52)의 양측 경계부 상에 칼럼 스페이서(58)를 형성해야 하는 경우 칼라 필터(52) 모서리부의 과식각으로 인한 단차부에 칼럼 스페이서(58)가 불안정하게 형성되어 셀갭이 불균일해질 수 있다.
이를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크(60)는 도 5b에 도시된 바와 같이 투과부(64)의 4개의 모서리부 각각에서 상부 또는 하부로 연장된 더미 투과부(65)를 더 구비한다. 이와 달리 칼라 필터(52)의 슬릿(51) 폭이 좁은 경우, 즉 도 5c에 도시된 바와 같이 마스크(60)의 투과부(64) 사이의 간격이 좁은 경우 더미 투과부(65)는 서로 연결되기도 한다. 이 경우 칼라 필터(52)의 슬릿(51)을 형성하기 위한 차단부(62)는 더미 투과부(65)를 통해 연결된 투과부(64)에 사이에 고립된 형태로 형성된다. 이러한 마스크(60)의 돌출 투과부(65)에 의해 투과부(64)에 대응하는 칼라 필터(52)의 모서리부에 자외선이 충분하게 조사되므로 칼라 필터(52) 모서리부의 과식각을 방지할 수 있게 된다.
이 결과 도 6에 도시된 바와 같이 칼라 필터(52)는 그의 모서리부가 과식각 되지 않은 상태로, 즉 도 5b 및 도 5c에 도시된 마스크(60)의 투과부(64)에 대응하는 원하는 형태로 형성될 수 있게 된다. 따라서 반사 영역(RA)의 슬릿들(51) 사이에 상대적으로 작은 폭으로 존재하는 칼라 필터(52)의 경계부 상에도 칼럼 스페이 서(58)가 안정적으로 형성되어 셀갭을 균일하게 유지할 수 있게 한다. 또한 칼라 필터(52)의 모서리부가 과식각으로 제거된 경우 보다 칼라 필터(52)의 단차부 면적이 감소하게 되므로 러빙 불량을 감소시킬 수 있고, 반사 영역(RA)의 슬릿들(51) 사이에 작은 폭으로 존재하는 칼라 필터(52)가 원하는 면적으로 형성되므로 시인성이 향상된다.
한편, 칼라 포토레지스트가 포지티브 타입인 경우에는 전술한 본 발명의 마스크에서 차단부와 투과부가 서로 뒤바뀐 구조를 이용하면 된다. 이 경우 마스크의 차단부에 대응하는 칼라 포토레지스트만 잔존하여 칼라 필터가 되므로 마스크는 차단부의 모서리부로부터 연장된 더미 차단부를 더 구비한다. 여기서 더미 차단부는 차단부의 모서리부가 회절된 자외선에 의해 노광되는 것을 차단함으로써 칼라 필터의 모서리부가 과식각되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 노광 마스크와 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법은 마스크의 투과부(또는 차단부)에 대응하는 칼라 필터를 형성하기 위하여 그 투과부(또는 차단부)의 모서리부에서 연장된 더미 투과부(또는 더미 차단부)를 더 구비함으로써 칼라 필터 모서리부가 과식각되어 제거되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 각 서브 화소 영역의 반사 영역에 칼라 필터의 슬릿을 형성하는 경우에도 그 슬릿들 사이에 존재하는 칼라 필터가 원하는 형태로 형성됨으로써 칼럼 스페이서를 칼라 필터의 경계부 상에 안정적으로 형성하여 셀갭을 균 일하게 유지할 수 있다. 또한 칼라 필터의 모서리부가 과식각으로 제거된 경우 보다 칼라 필터의 단차부 면적이 감소하게 되므로 러빙 불량이 감소되어 화질을 향상시킬 수 있고, 반사 영역의 슬릿들 사이에 작은 폭으로 존재하는 칼라 필터가 원하는 면적으로 형성되므로 시인성을 향상시킬 수 있다. 또한 반사 영역에 형성되는 칼러 필터의 슬릿을 러빙 방향으로 길게 형성함으로써 칼라 필터의 단차로 인한 러빙 불량을 최소화하여 화질을 더욱 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (15)

  1. 박막 패터닝을 위해 입사광을 차단 및 투과시키는 노광 마스크에 있어서,
    상기 입사광을 제어하여 상기 박막의 일부 영역이 패턴으로 남게 하는 제1 영역과,
    상기 제1 영역과 상반되게 상기 입사광을 제어하여 상기 박막의 나머지 영역이 제거되게 하는 제2 영역과;
    상기 제1 영역의 모서리부로부터 연장되어 상기 박막 패턴이 상기 제1 영역에 대응하여 형성되게 하는 더미 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 영역은 입사광을 투과하는 투과부, 상기 제2 영역은 상기 입사광을 차단하는 차단부이고, 상기 더미 영역은 상기 투과부의 모서리부로부터 연장된 더미 투과부인 것을 특징으로 하는 노광 마스크.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 영역은 입사광을 차단하는 차단부, 상기 제2 영역은 상기 입사광을 투과하는 투과부이고, 상기 더미 영역은 상기 차단부의 모서리부로부터 연장된 더미 차단부인 것을 특징으로 하는 노광 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 더미 영역은 상기 제1 영역의 끝단에서 한 방향으로 연장되어 형성된 것을 특징으로 하는 노광 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 영역을 사이에 둔 상기 제1 영역들 각각에서 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결된 것을 특징으로 하는 노광 마스크.
  6. 절연 기판 상에 칼라 포토레지스트를 형성하는 단계와;
    서로 상반되게 입사광을 제어하는 제1 영역 및 제2 영역과, 상기 제1 영역의 모서리부로부터 연장된 더미 영역을 갖는 노광 마스크를 이용하여 상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계와;
    상기 칼라 포토레지스트를 현상하여 상기 노광 마스크의 제1 영역에 대응되는 칼라 필터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계는
    상기 노광 마스크의 제1 영역인 투과부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 일 부영역을 노광하고, 상기 제2 영역인 차단부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 나머지 영역에 대한 노광을 차단하며, 상기 더미 영역인 더미 투과부를 통해 상기 투과부의 모서리부 노광량이 증가되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 칼라 포토레지스트를 노광하는 단계는
    상기 노광 마스크의 제1 영역인 차단부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 일부 영역에 대한 노광을 차단하고, 상기 제2 영역인 투과부를 통해 상기 칼라 포토레지스트의 나머지 영역을 노광하며, 상기 더미 영역인 더미 차단부를 통해 상기 차단부의 모서리부에 대한 노광이 차단되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 노광 마스크에서 상기 제2 영역을 사이에 둔 상기 제1 영역들 각각에서 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 칼라 필터는 반사 영역과 투과 영역을 포함하는 각 서브 화소 영역 중 해당 서브 화소 영역에 형성되고, 상기 칼라 필터의 반사 영역에 상기 제2 영역에 대응하는 슬릿이 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 칼라 필터의 슬릿은 상기 서브 화소 영역의 단변 방향 또는 장변 방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 칼라 필터의 슬릿의 후속의 배향막 러빙 방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 마스크에서 상기 칼라 필터와 대응되는 상기 제1 영역들이 상기 칼라 필터의 슬릿과 대응되는 제2 영역을 사이에 두고 위치한 경우 상기 제1 영역 각각의 모서리부에서 상기 제2 영역 쪽으로 연장된 상기 더미 영역은 서로 연결되어 상기 제2 영역이 고립되게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  14. 반사 영역과 투과 영역을 포함하는 각 서브 화소 영역에 해당색별로 형성된 칼라 필터와;
    상기 칼라 필터가 형성된 절연 기판 상에 형성된 배향막과;
    상기 반사 영역의 칼라 필터에 상기 배향막의 러빙 방향을 따라 길게 형성된 슬릿을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 칼라 필터의 슬릿은 상기 각 서브 화소 영역의 장변 방향을 따라 길게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
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