KR20070069667A - Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof - Google Patents

Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20070069667A
KR20070069667A KR1020050132049A KR20050132049A KR20070069667A KR 20070069667 A KR20070069667 A KR 20070069667A KR 1020050132049 A KR1020050132049 A KR 1020050132049A KR 20050132049 A KR20050132049 A KR 20050132049A KR 20070069667 A KR20070069667 A KR 20070069667A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mixing
crystal display
liquid crystal
display panel
unit
Prior art date
Application number
KR1020050132049A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
권오기
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020050132049A priority Critical patent/KR20070069667A/en
Publication of KR20070069667A publication Critical patent/KR20070069667A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1316Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/54Arrangements for reducing warping-twist

Abstract

An apparatus and a method for manufacturing an LCD(Liquid Crystal Display) panel are provided to prevent the generation of damage of the LCD panel when the LCD panel is manufactured, improve manufacturing process efficiency, and reduce manufacturing cost. An apparatus for manufacturing an LCD panel includes a cleaning solution mixing unit(230) and a cleaning solution spray unit(240). The cleaning solution mixing unit mixes deionized water with a buffer chemical to produce a cleaning solution. The cleaning solution spray unit sprays the cleaning solution mixed by the cleaning solution mixing unit to the LCD panel. The apparatus further includes a detector(210) for detecting the LCD panel entering the cleaning solution spray unit, and a buffer chemical supply unit(220) for supplying the buffer chemical to the cleaning solution mixing unit according to the information detected by the detector.

Description

액정 표시 패널의 제조 장치 및 그 제조 방법{Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof}Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing Technical Field
도 1은 종래의 액정 표시 패널의 제조 장치를 설명하기 위한 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure for demonstrating the manufacturing apparatus of the conventional liquid crystal display panel.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a diagram for describing an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사부를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a cleaning liquid injection unit according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정액 분사부를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a cleaning liquid injection unit according to another embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to another embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to another embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.8 is a diagram for describing a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명********** Explanation of symbols for main parts of drawing *****
210, 320; 인입 검출부 220, 330; 버퍼 케미컬 공급부210, 320; Incoming detection units 220 and 330; Buffer Chemical Supply
230, 350, 500. 600. 700; 세정액 혼합부 240, 350; 세정액 분사부230, 350, 500. 600. 700; Washing liquid mixing parts 240 and 350; Cleaning liquid jet
300; 액정 표시 패널 310; 아쿠아 나이프 300; A liquid crystal display panel 310; Aqua knife
340; 탈이온수 공급부 410; 고압 샤워기 340; Deionized water supply unit 410; High pressure showerhead
510, 610, 710; 혼합 노즐 621, 622, 623; 임펠러 510, 610, 710; Mixing nozzles 621, 622, 623; Impeller
720; 요철720; Unevenness
본 발명은 액정 표시 패널에 관한 것으로 더욱 상세하게는 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a manufacturing apparatus for a liquid crystal display panel and a method for manufacturing a liquid crystal display panel.
최근에 반도체 기술의 급속한 진보에 의하여 각종 전자 장치의 저전압화 및 저전력화와 함께 전자 기기의 소형화, 박형화 및 경량화의 추세에 따라 새로운 환경에 적합한 전자 표시 장치로서 평판 패널형 표시 장치에 대한 요구가 급격히 증대되고 있다. 이에 따라 액정 표시 패널(Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel), 유기 이엘 표시 패널(Organic Electro Luminescence Display) 등과 같은 평판 패널형 표시 장치가 개발되고 있다. 특히, 평판 패널형 표시 장치 중에서 소형화, 경량화 및 박형화가 용이하며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖는 액정 표시 장치가 특히 주목 받고 있다.In recent years, due to the rapid progress of semiconductor technology, the demand for flat panel display devices as an electronic display device suitable for a new environment is rapidly increasing according to the trend of miniaturization, thinning, and lightening of electronic devices along with low voltage and low power of various electronic devices. It is increasing. Accordingly, flat panel display devices such as a liquid crystal display panel, a plasma display panel, an organic EL display panel, and the like have been developed. In particular, among flat panel display devices, a liquid crystal display device having a small size, a light weight, and a thin film is easy, and has a low power consumption and a low driving voltage.
액정 표시 장치는 화상을 표시하는 액정 표시 패널과 액정 표시 패널에 구동 신호를 인가하기 위한 구동부를 포함한다. 여기서, 액정 표시 패널은 소정의 간격을 가지고 합착되는 상부 기판과 하부 기판, 상부 기판과 하부 기판 사이에 형성되는 액정층으로 구성된다. The liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel displaying an image and a driver for applying a driving signal to the liquid crystal display panel. Here, the liquid crystal display panel is composed of a liquid crystal layer formed between the upper substrate and the lower substrate, and the upper substrate and the lower substrate to be bonded at predetermined intervals.
상부 기판은 컬러 필터 기판으로서, 화소영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과 칼라 색상을 표현하기 위한 적색(Red), 녹색(Green) 및 청색(Blue)의 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통전극이 형성된다. 하부 기판은 박막 트렌지스터 어레이 기판으로서, 복수의 게이트 라인과 게이트 라인과 교차하는 방향으로 배열되는 복수의 데이터 라인과 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의되는 각 픽셀에 형성되는 복수의 화소 전극과 데이터 라인의 신호를 각 화소 전극에 전달하는 복수의 박막 트랜지스터가 형성된다. 액정 표시 패널에 포함되는 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 액정층의 액정 물질의 분자 배열을 변경시킨다. 변경되는 분자 배열에 따라 투명한 액정 표시 패널에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 구현할 수 있다.The upper substrate is a color filter substrate, and implements an image with a color filter layer of red, green, and blue to express a color color, and a black matrix layer to block light in portions other than the pixel region. A common electrode for forming is formed. The lower substrate is a thin film transistor array substrate and includes a plurality of data lines arranged in a direction crossing the plurality of gate lines and the gate lines, and a plurality of pixel electrodes and data lines formed in each pixel defined by crossing the gate lines and the data lines. A plurality of thin film transistors for transmitting a signal of to each pixel electrode is formed. By applying different potentials to the pixel electrode and the common electrode included in the liquid crystal display panel, the molecular arrangement of the liquid crystal material of the liquid crystal layer is changed. The desired image may be realized by adjusting the amount of light transmitted through the transparent liquid crystal display panel according to the changed molecular arrangement.
이와 같은 구조를 갖는 액정 표시 패널의 제조 방법은 앞서 언급한 바와 같이, 소형화 박막화가 요구됨에 따라 투명 기판 상에 각 구성 요소들을 극세화된 패턴으로 형성시키기 위해 일반적인 반도체 제조 방법인 포토 리소그라피 기법에 따른다. 여기서, 포토 리소그라피 기법에 따른 액정 표시 패널의 제조 공정 중에서 식각 공정 후 감광성 물질을 제거하는 공정을 살펴보면 다음 도 1과 같다.As mentioned above, the manufacturing method of the liquid crystal display panel having such a structure follows a photolithography technique, which is a general semiconductor manufacturing method, to form each component in a micronized pattern on a transparent substrate as miniaturization and thinning are required. . Herein, a process of removing the photosensitive material after the etching process in the manufacturing process of the liquid crystal display panel according to the photolithography method is as follows.
도 1은 종래의 액정 표시 패널의 제조 장치를 설명하기 위한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure for demonstrating the manufacturing apparatus of the conventional liquid crystal display panel.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 액정 표시 패널의 제조 장치는 박리실(110), 버퍼링실(120), 세정실(130) 및 린싱실(140)을 구비한다.As illustrated in FIG. 1, a conventional apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel includes a peeling chamber 110, a buffering chamber 120, a cleaning chamber 130, and a rinsing chamber 140.
박리실(110)에서는 액정 표시 패널, 예컨대 하부 기판(미도시) 상에 식각 후 남은 감광성 물질을 제거하는 스트리퍼(stripper)를 분사한다. 버퍼링실(120)에서는 하부 기판 상에 버퍼 케미컬을 분사한다. 버퍼 커미컬은 스트리퍼와 혼합된다. 세정실(130)에서는 탈이온수(deionized water)를 이용하여 하부 기판을 세정한다. 린싱실(140)에서는 탈이온수를 이용하여 하부 기판에 잔존하는 이물질을 제거한다. 이로써, 감광성 물질 제거 공정이 완료된다.The stripper 110 sprays a stripper to remove the photosensitive material remaining after etching on a liquid crystal display panel, for example, a lower substrate. In the buffering chamber 120, a buffer chemical is sprayed on the lower substrate. The buffer chemical is mixed with the stripper. In the cleaning chamber 130, the lower substrate is cleaned using deionized water. In the rinsing chamber 140, foreign matter remaining on the lower substrate is removed using deionized water. This completes the photosensitive material removal process.
한편, 스트리퍼는 아민(amine)계 성분의 반응성이 강한 케미컬을 포함한다. 이러한 스트리퍼는 탈이온수와 반응하여 수산화기(OH-)를 발생시킨다. 수산화기는 구리(Cu), 알루미늄 합금(AlNd), 몰리브덴(Mo) 또는 크롬(Cr)등의 액정 표시 패널에 형성되는 금속 물질의 침식을 일으킨다. 즉, 액정 표시 패널 제조 공정시 액정 표시 패널이 손상되어 얼룩 무늬 또는 이물 불량이 발생되는 문제점이 있다. On the other hand, the stripper includes a highly reactive chemical of the amine (amine) component. This stripper reacts with deionized water to generate hydroxyl (OH-). The hydroxyl group causes erosion of a metal material formed on a liquid crystal display panel such as copper (Cu), aluminum alloy (AlNd), molybdenum (Mo), or chromium (Cr). That is, there is a problem in that the liquid crystal display panel is damaged during the manufacturing process of the liquid crystal display panel so that spots or foreign matters are generated.
이러한 수산화기의 발생을 방지하기 위해 종래에는 버퍼링실을 구비하여 버퍼 케미컬과 스트리퍼를 혼합시킴으로써, 탈이온수와 스트리퍼의 반응을 방지하고자 하였으나, 버퍼링실에서 버퍼 케미컬을 스트리퍼와 완전히 혼합되지 못함에 따라 액정 표시 패널의 세정실 유입시 스트리퍼가 잔존하는 문제점이 발생한다. 또한, 버퍼링실과 직접 연결되는 세정실로부터 탈이온수가 유입됨에 따라 스트리퍼와 탈이온수가 혼합되는 문제점이 발생한다. In order to prevent the occurrence of such hydroxyl groups, a buffering chamber is conventionally provided to mix the buffer chemical and the stripper to prevent the reaction of the deionized water and the stripper, but the liquid crystal display is not completely mixed with the stripper in the buffering chamber. The stripper remains when the panel enters the cleaning chamber. In addition, as the deionized water is introduced from the cleaning chamber directly connected to the buffering chamber, a problem occurs in that the stripper and the deionized water are mixed.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 액정 표시 패널 제조시 발생되는 얼룩 무늬 및 이물을 제거할 수 있는 액정 표시 패널의 제조 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel manufacturing apparatus capable of removing speckles and foreign substances generated during the manufacture of a liquid crystal display panel.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 액정 표시 패널의 제조 장치를 이용한 액정 표시 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display panel using the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel described above.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above may be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 세정액 혼합부; 및 상기 세정액 혼합부에서 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사하는 세정액 분사부를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel, including: a cleaning liquid mixing unit mixing deionized water and a buffer chemical; And a cleaning liquid spraying unit spraying the cleaning liquid mixed in the cleaning liquid mixing unit to the liquid crystal display panel.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 상기 액정 표시 패널이 상기 세정액 분사부로 인입됨을 검출하는 인입 검출부; 및 상기 인입 검출부에서 검출되는 인입 정보에 따라 상기 버퍼 케미컬을 상기 세정액 혼합부로 공급하는 버퍼 케미컬 공급부를 더 포함한다.An apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention includes an inlet detection unit for detecting that the liquid crystal display panel is drawn into the cleaning liquid injection unit; And a buffer chemical supply unit configured to supply the buffer chemical to the cleaning solution mixing unit in accordance with the inlet information detected by the inlet detection unit.
상기 버퍼 케미컬은 이소 프로필 알콜 또는 현상액 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The buffer chemical is characterized in that at least one of isopropyl alcohol or developer.
상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.The cleaning solution mixing unit may include a mixing nozzle for mixing the deionized water and the buffer chemical.
상기 혼합 노즐의 끝단은 나선형으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The end of the mixing nozzle is characterized in that consisting of a spiral.
상기 혼합 노즐의 끝단은 복수의 홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.The end of the mixing nozzle is characterized in that a plurality of holes are formed.
상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 임펠러를 포함하는 것을 특징으로 한다.The cleaning solution mixing unit may include an impeller for mixing the deionized water and the buffer chemical.
상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 복수의 요철이 형성되는 것을 특징으로 한다.The washing liquid mixing unit is characterized in that a plurality of irregularities for mixing the deionized water and the buffer chemical is formed.
상기 세정액 분사부는 아쿠아 나이프 또는 고압 샤워기 중 적어도 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The cleaning liquid injection unit is characterized in that at least one of aqua knife or high pressure shower.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법은 (a) 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 단계; 및 (b) 상기 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display panel, including: (a) mixing deionized water and a buffer chemical; And (b) spraying the mixed cleaning solution onto a liquid crystal display panel.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법은 상기 액정 표시 패널이 상기 (a) 단계로 인입됨을 검출하는 단계; 및 상기 검출되는 인입 정보에 따라 상기 버퍼 케미컬을 상기 (a) 단계로 공급하는 단계를 더 포함한다.A method of manufacturing a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention includes the steps of: detecting that the liquid crystal display panel is introduced into step (a); And supplying the buffer chemical to the step (a) according to the detected incoming information.
상기 버퍼 케미컬은 이소 프로필 알콜 또는 현상액 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The buffer chemical is characterized in that at least one of isopropyl alcohol or developer.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. Like reference numerals refer to like elements throughout.
이하에서는 본 발명에 따른 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a specific embodiment according to the present invention will be described.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a diagram for describing an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 인입 검출부(210), 버퍼 케미컬 공급부(220), 세정액 혼합부(230) 및 세정액 분사부(240)를 포함한다. 여기서, 상기 기능부들은 앞서 언급한 세정실에 구비될 수 있다. 또한, 감광성 물질을 보다 효과적으로 제거하기 위해 새로운 기능실이 추가되거나, 필요에 따라 기능실들의 위치가 바뀜에 따라 상기 기능부들의 위치도 변경 가능하다.As shown in FIG. 2, an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention may include an inlet detection unit 210, a buffer chemical supply unit 220, a cleaning solution mixing unit 230, and a cleaning solution spraying unit 240. Include. Here, the functional units may be provided in the cleaning chamber mentioned above. In addition, in order to remove the photosensitive material more effectively, a new functional chamber may be added, or the positions of the functional units may be changed as the positions of the functional chambers change as necessary.
인입 검출부(210)는 액정 표시 패널(미도시)이 박리 공정을 거친 후, 세정 공정을 위해 세정액 분사부(240)로 인입되는지 여부를 검출한다.The inlet detection unit 210 detects whether the liquid crystal display panel (not shown) is introduced into the cleaning liquid injection unit 240 for the cleaning process after the liquid crystal display panel (not shown) passes.
버퍼 케미컬 공급부(220)는 인입 검출(210)로부터 검출되는 인입 정보에 따라 버퍼 케미컬을 세정액 혼합부(230)로 공급한다. 버퍼 케미컬은 이소 프로필 알콜(Iso Propyl Alchol) 또는 현상액(developing solution) 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다. 이처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 인입 검출부(210)와 버퍼 케미컬 공급부(220)을 더 포함함으로써, 액 정 표시 패널이 세정실에 인입될 때만 버퍼 케미컬을 세정액 혼합부(230)로 공급한다. 이로써, 버퍼 케미컬의 사용량을 줄일 수 있어 제조 단가를 절감할 수 있다. The buffer chemical supply unit 220 supplies the buffer chemical to the cleaning liquid mixing unit 230 according to the inlet information detected from the inlet detection 210. As the buffer chemical, it is preferable to use at least one of Iso Propyl Alchol or developing solution . As such, the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention further includes an inlet detection unit 210 and a buffer chemical supply unit 220 such that the buffer liquid is mixed only when the liquid crystal display panel is introduced into the cleaning chamber. Supply to the unit (230). As a result, the amount of the buffer chemical can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost.
세정액 혼합부(230)는 미리 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬 공급부(230)로부터 공급되는 버퍼 케미컬을 혼합한다. 여기서, 버퍼 케미컬은 액정 표시 패널의 잔존하는 스트리퍼와 혼합하기 위한 것이고, 탈이온수는 버퍼 케미컬과 혼합된 스트리퍼를 제거하기 위한 것이다. 스트리퍼와의 혼합과 제거를 보다 효과적으로 수행하기 위해 세정액에 혼합되는 버퍼 케미컬의 비율은 탈이온수의 비율보다 작게하는 것이 바람직하며, 이에 따라 본 발명의 일실예에 따른 버퍼 케미컬은 버퍼링실에서 사용되는 버퍼 케미컬보다 저농도이다. 또한, 세정액 혼합부(230)는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐을 포함한다. 이에 관한 보다 상세한 설명은 이후 도 5 내지 7을 통해 기술하기로 한다.The washing liquid mixing unit 230 mixes the deionized water supplied in advance and the buffer chemical supplied from the buffer chemical supply unit 230. Here, the buffer chemical is for mixing with the remaining stripper of the liquid crystal display panel, and the deionized water is for removing the stripper mixed with the buffer chemical. In order to more effectively perform the mixing and removal with the stripper, the ratio of the buffer chemicals mixed in the cleaning liquid is preferably smaller than the ratio of the deionized water. Accordingly, the buffer chemicals according to one embodiment of the present invention are used in the buffering chamber. It is lower than chemical. In addition, the cleaning solution mixing unit 230 includes a mixing nozzle for mixing the deionized water and the buffer chemical. A more detailed description thereof will be described later with reference to FIGS. 5 to 7.
세정액 분사부(240)는 세정액 혼합부(230)로부터 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사한다. 본 발명의 일 실시예에서는 버퍼 케미컬을 포함하는 세정액을 세정실로 인입되는 액정 표시 패널에 분사함으로써, 잔존하는 스트리퍼는 세정액에 포함된 버퍼 케미컬과 우선적으로 혼합된다. 이로써, 잔존하는 스트리퍼와 세정실에서 사용되는 탈이온수와의 반응을 억제시킬 수 있다. 또한, 세정액이 버퍼링실에 유입되더라도 세정액에 포함되는 버퍼 케미컬에 의해 금속 물질의 침식을 방지할 수 있다. 본 발명의 세정액 분사부(240)에 관한 보다 상세한 설명은 이후 도 3 및 도 4를 통해 기술하기로 한다.The cleaning liquid spraying unit 240 sprays the cleaning liquid mixed from the cleaning liquid mixing unit 230 onto the liquid crystal display panel. In one embodiment of the present invention, by spraying the cleaning liquid containing the buffer chemical to the liquid crystal display panel introduced into the cleaning chamber, the remaining stripper is preferentially mixed with the buffer chemical contained in the cleaning liquid. As a result, the reaction between the remaining stripper and the deionized water used in the washing chamber can be suppressed. In addition, even if the cleaning liquid flows into the buffering chamber, it is possible to prevent the erosion of the metal material by the buffer chemical contained in the cleaning liquid. A more detailed description of the cleaning liquid injection unit 240 of the present invention will be described later with reference to FIGS. 3 and 4.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사부를 설명하기 위한 도면이 다.3 is a view for explaining a cleaning liquid injection unit according to an embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사부는 아쿠아 나이프(Aqua Knife; 310)로 구성된다. 아쿠아 나이프(310)는 세정실의 인입부에 위치한다. 이는 세정실에서 일반적으로 사용되는 세정액 샤워기에서 분사되는 탈이온수와 스트리퍼의 접촉에 의한 액정 표시 패널(300)의 손상을 최소화하고, 박리 공정 후 석출되는 이물을 제거하기 위한 것이다. 즉, 아쿠아 나이프(310)는 탈이온수를 고압으로 분사함으로써, 일괄적으로 액정 표시 패널(300)을 세정하는 기능을 한다. As shown in FIG. 3, the cleaning liquid jetting unit according to the exemplary embodiment of the present invention includes an Aqua Knife 310. Aqua knife 310 is located in the inlet of the cleaning chamber. This is to minimize the damage of the liquid crystal display panel 300 due to the contact of the stripper with the deionized water sprayed from the cleaning liquid shower which is generally used in the cleaning chamber, and to remove foreign matters deposited after the peeling process. That is, the aqua knife 310 functions to clean the liquid crystal display panel 300 by spraying deionized water at a high pressure.
본 발명의 일 실시예에서는 아쿠아 나이프(310)로부터 액정 표시 패널(300)로 분사되는 세정액에 버퍼 케미컬을 포함함으로써, 잔존하는 스트리퍼를 효과적으로 제거함과 아울러, 아쿠아 나이프(310)의 분사 각도 또는 분사 유량이 변화함에 따라 잔존 스트리퍼와 탈이온수가 반응하여 액정 표시 패널(300)에 얼룩 무늬가 발생하는 가능성을 방지할 수 있다.In one embodiment of the present invention, by including a buffer chemical in the cleaning liquid injected from the aqua knife 310 to the liquid crystal display panel 300, the remaining stripper is effectively removed, and the injection angle or the injection flow rate of the aqua knife 310 As a result of this change, it is possible to prevent the remaining stripper and the deionized water from reacting and causing a spot on the liquid crystal display panel 300.
여기서, 액정 표시 패널(300)이 인입될 때, 아쿠아 나이프(310)에서 세정액이 분사되기까지의 과정을 도 3을 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 액정 표시 패널(300)의 인입을 감지 센서로 구성되는 인입 검출부(320)로 검출한다. 이후, 인입 검출부(320)에서 제공되는 액정 표시 패널(300)의 인입 정보에 의해 버퍼 케미컬 공급부(330)는 동작한다. 즉, 탈이온수 공급부(340)에서 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하기 위해 혼합 노즐이 구비된 세정액 혼합부(350)로 버퍼 케미컬을 공급한다. 이후, 세정액 혼합부(350)는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하며, 혼합 된 세정액은 아쿠아 나이프(310)를 통해 액정 표시 패널(300)로 고속 분사된다.Here, when the liquid crystal display panel 300 is drawn in, the process from the aqua knife 310 to the spraying of the cleaning solution will be described with reference to FIG. 3. First, the incoming of the liquid crystal display panel 300 is detected by the incoming detector 320 configured as a sensing sensor. Subsequently, the buffer chemical supply unit 330 operates according to the pulling information of the liquid crystal display panel 300 provided by the pulling detection unit 320. That is, the buffer chemical is supplied to the cleaning liquid mixing unit 350 provided with the mixing nozzle in order to mix the deionized water and the buffer chemical supplied from the deionized water supply unit 340. Thereafter, the cleaning solution mixing unit 350 mixes the deionized water and the buffer chemical, and the mixed cleaning solution is sprayed to the liquid crystal display panel 300 through the aqua knife 310 at high speed.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정액 분사부를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a cleaning liquid injection unit according to another embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정액 분사부는 세정실(400) 내에는 인입되는 액정 표시 패널(300)을 일괄적으로 세정하기 위한 아쿠아 나이프(310)와 일괄 세정된 액정 표시 패널(300)을 고르게 세정하기 위한 고압 샤워기(410)를 구비한다. As shown in FIG. 4, the cleaning liquid jetting unit according to another exemplary embodiment of the present invention may be collectively cleaned with an aqua knife 310 for collectively cleaning the liquid crystal display panel 300 introduced into the cleaning chamber 400. A high pressure shower 410 is provided to evenly clean the liquid crystal display panel 300.
여기서, 고속 샤워기(410)는 복수의 미세 분사구를 통해 고압으로 세정액을 분사함으로써, 액정 표시 패널(300)의 전면 또는 배면 중 적어도 어느 하나의 면에는 미세입자의 세정액이 넓은 면적으로 고루 분사된다. 이로써, 스트리퍼를 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 고속 샤워기(410)를 복수개로 구비함으로써, 표시 패널(300)의 세정 효율을 보다 향상시킬 수 있다. 이때, 아쿠아 나이프(310)와 고압 샤워기(410)는 세정액 혼합부를 통해 탈이온수와 버퍼 케미컬이 혼합된 세정액을 사용한다.Here, the high speed shower 410 sprays the cleaning liquid at a high pressure through the plurality of fine injection holes, and thus the cleaning liquid of the fine particles is evenly sprayed on at least one surface of the front surface or the rear surface of the liquid crystal display panel 300. As a result, the stripper can be effectively removed. In addition, by providing a plurality of high speed showers 410, the cleaning efficiency of the display panel 300 may be further improved. At this time, the aqua knife 310 and the high-pressure shower 410 uses a washing liquid mixed with deionized water and a buffer chemical through the washing liquid mixing unit.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to an embodiment of the present invention.
도 5에 도시된 바와 같이, 세정액 혼합부(500)는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐(510)을 포함한다. 세정액은 세정액 분사부를 통해 고압으로 분사되기 때문에 공급 경로 상의 탈이온수와 버퍼 케미컬은 고속으로 공급된다. 본 발명의 일 실시예에서는 고속 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬의 혼합 효율을 향 상시키기 위해 혼합 노즐(510)의 끝단을 나선형으로 형성한다. 버퍼 케미컬이 탈이온수의 공급 경로 상에 유입될 때, 나선형으로 형성된 혼합 노즐(510)을 통해 공급되어 난류가 발생되어 혼합 효과를 향상시킬 수 있다. 이때, 난류를 보다 효과적으로 발생시키기 위해 나선형으로 형성된 혼합 노즐(510)에 복수의 홀을 형성하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 5, the cleaning solution mixing unit 500 includes a mixing nozzle 510 for mixing deionized water and a buffer chemical. Since the cleaning liquid is injected at a high pressure through the cleaning liquid injection unit, deionized water and the buffer chemical on the supply path are supplied at a high speed. In an embodiment of the present invention, the end of the mixing nozzle 510 is spirally formed to improve the mixing efficiency of the deionized water and the buffer chemical supplied at a high speed. When the buffer chemical is introduced onto the deionized water supply path, the buffer chemical may be supplied through the spirally formed mixing nozzle 510 to generate turbulent flow, thereby improving the mixing effect. In this case, in order to more effectively generate turbulence, it is preferable to form a plurality of holes in the spirally formed mixing nozzle 510.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to another embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 바와 같이, 세정액 혼합부(600)는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐(610)을 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에서는 고속 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬의 혼합 효율을 향상시키기 위해 혼합 노즐(610)의 끝단에 임펠러(impeller; 621)를 형성한다. 또한, 버퍼 케미컬이 유입되는 부분에 해당하는 탈이온수의 공급 경로의 내벽에 적어도 하나 이상의 임펠러(622, 623)를 형성하는 것도 가능하다. 이로써, 임펠러에 의해 난류가 발생되며, 탈이온수와 버퍼 케미컬의 혼합이 효율적으로 이루어진다.As shown in FIG. 6, the cleaning solution mixing unit 600 includes a mixing nozzle 610 for mixing deionized water and a buffer chemical. In another embodiment of the present invention, an impeller 621 is formed at the end of the mixing nozzle 610 to improve the mixing efficiency of the deionized water and the buffer chemical supplied at a high speed. In addition, it is also possible to form at least one impeller (622, 623) on the inner wall of the supply path of the deionized water corresponding to the portion where the buffer chemical is introduced. As a result, turbulence is generated by the impeller, and the mixing of the deionized water and the buffer chemical is performed efficiently.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세정액 혼합부를 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining a cleaning liquid mixing unit according to another embodiment of the present invention.
도 7에 도시된 바와 같이, 세정액 혼합부(700)는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐(710)을 포함한다. 본 발명의 또 다른 실시예에서는 고속 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬의 혼합 효율을 향상시키기 위해 버퍼 케미컬이 유입되는 부분에 해당하는 탈이온수의 공급 경로의 내벽에 요철(720)을 형성한다. 즉, 내벽에 대해 돌출부를 갖는 요철(720)을 형성함으로써, 탈이온수와 버퍼 케미컬의 유속을 감소시킬 수 있다. 유속이 감소됨에 따라 세정액의 혼합 효율을 향상시킬 수 있다.As shown in FIG. 7, the cleaning solution mixing unit 700 includes a mixing nozzle 710 for mixing deionized water and a buffer chemical. In another embodiment of the present invention, the concave-convex 720 is formed on the inner wall of the deionized water supply path corresponding to the portion where the buffer chemical flows in order to improve the mixing efficiency of the deionized water and the buffer chemical which is supplied at high speed. That is, by forming the concave-convex 720 having protrusions on the inner wall, it is possible to reduce the flow rate of the deionized water and the buffer chemical. As the flow rate is reduced, the mixing efficiency of the cleaning liquid can be improved.
여기서, 도 5 내지 도 7에 도시된 혼합부(500, 600, 700)들은 단일적으로 형성될 때의 기능 및 효과를 설명하기 위해 각각 도시하여 설명하였으나 혼합 효율을 보다 효과적으로 향상시키기 위해 적어도 둘 이상을 병행하여 형성하는 것도 가능하다.Here, although the mixing units 500, 600, and 700 shown in FIGS. 5 to 7 are illustrated and described to explain the functions and effects when they are formed singly, at least two or more to improve the mixing efficiency more effectively. It is also possible to form in parallel.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.8 is a diagram for describing a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 8에 도시된 바와 같이, 먼저, 액정 표시 패널이 세정실로 인입되었는지 여부를 검출한다(S801). 이후, 액정 표시 패널이 인입되면 버퍼 케미컬을 세정액 혼합 단계로 공급한다(S802). 이후, 공급되는 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합한다(S803). 이후, 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사한다(S804). 이로써, 액정 표시 패널의 손상을 억제할 수 있다. 여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에 대한 보다 구체적인 설명은 도 2 내지 도 7의 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치의 구성 및 동작 특성을 통해 충분히 설명하였으므로 생략하기로 한다.As shown in FIG. 8, first, it is detected whether the liquid crystal display panel is drawn into the cleaning chamber (S801). Subsequently, when the liquid crystal display panel is inserted, the buffer chemical is supplied to the cleaning solution mixing step (S802). Thereafter, the supplied deionized water and the buffer chemical are mixed (S803). Thereafter, the mixed cleaning liquid is sprayed onto the liquid crystal display panel (S804). Thereby, damage to a liquid crystal display panel can be suppressed. Here, a more detailed description of the manufacturing method of the liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention is sufficient through the configuration and operation characteristics of the manufacturing apparatus of the liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention of FIGS. Since it has been described, it will be omitted.
이와 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As such, the technical configuration of the present invention described above can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다 는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타나며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the exemplary embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects, and the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and All changes or modifications derived from the equivalent concept should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
이상에서와 같이 본 발명은 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법을 개선함으로써, 액정 표시 패널 제조시 발생되는 손상을 억제할 수 있는 효과가 있다. As mentioned above, this invention has the effect which can suppress the damage which arises at the time of manufacture of a liquid crystal display panel by improving the manufacturing apparatus of a liquid crystal display panel, and the manufacturing method of a liquid crystal display panel.
또한, 본 발명은 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법을 개선함으로써, 제조 공정의 효율성을 향상시키고, 제조 비용을 저감할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of improving the efficiency of the manufacturing process and reducing the manufacturing cost by improving the manufacturing apparatus of the liquid crystal display panel and the manufacturing method of the liquid crystal display panel.

Claims (12)

  1. 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 세정액 혼합부; 및Washing liquid mixing unit for mixing the deionized water and the buffer chemical; And
    상기 세정액 혼합부에서 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사하는 세정액 분사부를 포함하는 액정 표시 패널의 제조 장치.And a cleaning liquid spraying unit for spraying the cleaning liquid mixed in the cleaning liquid mixing unit to the liquid crystal display panel.
  2. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 액정 표시 패널이 상기 세정액 분사부로 인입됨을 검출하는 인입 검출부; 및An inlet detection unit for detecting that the liquid crystal display panel is introduced into the cleaning liquid injection unit; And
    상기 인입 검출부에서 검출되는 인입 정보에 따라 상기 버퍼 케미컬을 상기 세정액 혼합부로 공급하는 버퍼 케미컬 공급부를 더 포함하는 액정 표시 패널의 제조 장치.And a buffer chemical supply unit configured to supply the buffer chemical to the cleaning liquid mixing unit in accordance with the inlet information detected by the inlet detection unit.
  3. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 버퍼 케미컬은 이소 프로필 알콜 또는 현상액 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.The buffer chemicals are at least one of isopropyl alcohol or a developer.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2,
    상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 혼합 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.And the cleaning solution mixing unit comprises a mixing nozzle for mixing the deionized water and the buffer chemical.
  5. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 혼합 노즐의 끝단은 나선형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.And a distal end of the mixing nozzle is formed in a spiral shape.
  6. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 혼합 노즐의 끝단은 복수의 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.And a plurality of holes are formed at the end of the mixing nozzle.
  7. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 임펠러를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.The cleaning solution mixing unit includes an impeller for mixing the deionized water and the buffer chemicals.
  8. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 세정액 혼합부는 상기 탈이온수와 상기 버퍼 케미컬을 혼합하는 복수의 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치. And a plurality of irregularities for mixing the deionized water and the buffer chemical are formed in the cleaning liquid mixing unit.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2,
    상기 세정액 분사부는 아쿠아 나이프 또는 고압 샤워기 중 적어도 어느 하나 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.The cleaning liquid jet unit comprises at least one of an aqua knife or a high pressure shower.
  10. (a) 탈이온수와 버퍼 케미컬을 혼합하는 단계; 및(a) mixing deionized water and buffer chemical; And
    (b) 상기 혼합된 세정액을 액정 표시 패널에 분사하는 단계를 포함하는 액정 표시 패널의 제조 방법.(b) spraying the mixed cleaning solution onto a liquid crystal display panel.
  11. 제10항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 액정 표시 패널이 상기 (a) 단계로 인입됨을 검출하는 단계; 및Detecting that the liquid crystal display panel is drawn into step (a); And
    상기 검출되는 인입 정보에 따라 상기 버퍼 케미컬을 상기 (a) 단계로 공급하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 패널의 제조 방법.And supplying the buffer chemical to the step (a) according to the detected incoming information.
  12. 제10항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 버퍼 케미컬은 이소 프로필 알콜 또는 현상액 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.The buffer chemical is at least one of isopropyl alcohol or a developer.
KR1020050132049A 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof KR20070069667A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050132049A KR20070069667A (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050132049A KR20070069667A (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070069667A true KR20070069667A (en) 2007-07-03

Family

ID=38505257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050132049A KR20070069667A (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070069667A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101041450B1 (en) * 2009-04-22 2011-06-15 세메스 주식회사 apparatus and method for treating substrate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101041450B1 (en) * 2009-04-22 2011-06-15 세메스 주식회사 apparatus and method for treating substrate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006073996A (en) Photoresist coating equipment and photoresist coating method
KR20070069667A (en) Apparatus for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing thereof
JP4723398B2 (en) Spin cleaning device
CN201959946U (en) Cleaning device of photoresist nozzle
JP4157116B2 (en) Substrate processing equipment
KR20090015413A (en) Apparatus for cleaning slit nozzle used in manufacturing flat panal display devices
KR101252481B1 (en) In-line apparatus for developing having a cleaning device and method of fabricating liquid crystal display device using thereof
KR20070036398A (en) Cleaning apparatus for glass substrates
KR20050067276A (en) Device for stripping photo resist and the method for stripping photo resist using the same
KR20060000009A (en) Cleaning equipment
KR20060000936A (en) Apparatus and method cleaning of substartes
JP2007187962A (en) Method for manufacturing liquid crystal device
KR20070092342A (en) Cleaning equipment and cleaning method of liquid crystal display device using the same
KR101086486B1 (en) Apparatus for fabricating liquid crystal display
KR101966768B1 (en) Cleaning apparatus for substrate
KR100894647B1 (en) CLEANING APPARATuS
KR101049443B1 (en) Substrate processing apparatus and method using processing liquid injection unit
JP2007268362A (en) Substrate washing device, substrate washing method and substrate manufacturing method
KR20080061915A (en) Apparatus for preventing chemical liquid splattering of a substrate
KR20070102030A (en) Substrate cleaning apparatus and cleaning method thereof
KR20080049276A (en) Bubble jet cleaning unit
JP2008028156A (en) Method for removing resist of end of glass substrate
KR20050015448A (en) Wet Etching Apparatus
JP2008249854A (en) Method of cleaning photomask
KR20120075113A (en) Strip aparratus and method for stripping the same

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination